【課題】 180°の方位角にわたる半導体ウェハの端縁全体の像をモニタ上に同時に表示できる撮像システムを提供する。
【解決手段】 本発明では、ライン状光ビームを発生する光源装置(1，2，3)、ライン状光ビームを集束して試料に投射する対物レンズ(10)、及びリニァイメージセンサ(13)を有する撮像ヘッドを用い、ウェハ端縁を３次元的に走査し、複数の角度方向からウェハ端縁を撮像する。信号処理回路(16)において、複数の角度から撮像した複数の画像を合成して画像表示装置(16)上に表示する。さらに、本発明では、ウェハ端縁を３次元的に走査しているので、奥行方向の高さ情報を利用してウェハ端縁の画像を３次元的に表示することができる。 （もっと読む）

【課題】試験片表面に付着した異物の悪影響を排除する高精度な水蒸気透過度測定装置及び水蒸気透過度測定方法を提供すること。
【解決手段】カルシウム腐食法による試験片の水蒸気透過度測定装置であって、試験片表面側の一方側斜め上方から所定の角度で照明光を照射する照明手段と、試験片表面側の他方側斜め上方で試験片からの反射光を撮影する撮影手段と、撮影手段から得られる画像から腐食領域候補を抽出する腐食領域候補抽出手段と、抽出された腐食領域候補から試験片表面異物を判別する表面異物判別手段とを備えていることを特徴とする水蒸気透過度測定装置。 （もっと読む）

【課題】大データ容量の近接場光記録用機器及び方法の提供。
【解決手段】この機器は、空気軸受け表面を有するスライダと、空気軸受け表面に隣接する焦点に電磁放射を方向づける第１導波路と、空気軸受け表面に隣接して位置決めされた記憶媒体と、記憶媒体から反射された電磁放射を検出する検出器と、反射された電磁放射を収集し、反射された電磁放射を検出器に向かって送るために、焦点に隣接して位置決めされた構造体とを備える。 （もっと読む）

【課題】 道路沿い等に設置されている監視カメラ等のカメラハウジングの前方に設けてある透過部材、例えば、ガラス面が外気で汚れても、その汚れ状態や付着物の状態をプリズムを使って簡単に検出する汚れ検出装置及び監視カメラを提供する。
【解決手段】 汚れ検出装置は、外部を覗くための透明部材と面一状態或は略面一状態に一端面を配置し、該一端面が表面に汚れや付着物の付着を検出するための汚れ検出面であるプリズムと、前記プリズムの前記汚れ検出面の背面に向かって入射光を発光する発光手段と、前記汚れ検出面の背面で反射する反射光を受光する受光手段と、を備え、前記入射光の入射角度及びプリズムの形状を、前記入射光が前記プリズムの一方の境界面に入射する時及び前記反射光が前記プリズムの他方の境界面から出射する時に減衰が生じないように設定し、前記受光手段が前記反射光を受光して前記汚れ検出面に付着した汚れや付着物を検出することである。 （もっと読む）

【課題】透過照明で撮像された画像のみを用いることで低コスト、省スペースに撮像系を構成し、従来よりも高精度で気泡を判別して容器内の液体の液面を検出可能とする。
【解決手段】撮像画像から濃淡画像を得るとともに濃淡画像の画素毎の濃度値を微分することで液面に対応するエッジを検出する。そして、このエッジの連続性が変化する部分の有無を判断し、連続性が変化する部分が無いときは当該エッジを液面として検出する。一方、連続性が変化する部分が有るときは当該部分に含まれる画素の濃度平均値に基づいて気泡の存否を識別し、気泡が存在しなければ前記エッジを液面として検出し、気泡が存在すれば該気泡における鉛直下側の前記エッジを液面として検出する。 （もっと読む）

【課題】 記録材に依存しない安定した画質を得ること。
【解決手段】 反射用LED３０１による測定を行い、次に透過用LED３０２による測定を行う。この二つの測定結果を映像比較演算し、この映像比較演算結果に基づき紙種を判定する。判定された紙種によって定着処理条件を変更し、記録材の搬送を開始する。記録材を搬送させながら映像読取センサ123によって撮影された映像を映像比較演算し、汚れ量を算出する。記録材が移動しているため記録材の表面性が平均化される。しかしながら汚れによる光量の低下は記録材の挙動には依存しないため、汚れによる光量低下のみ映像読取装置の出力信号の低下として現れる。この信号低下を上述の第２の演算手段である記録材表面の凹凸エッジ量検出方法で処理することにより、汚れの量を判別することができる。 （もっと読む）

【課題】石英ガラスルツボの除去対象物を自動的に除去できる石英ガラスルツボの除去対象物の除去装置を提供する。
【解決手段】本石英ガラスルツボの除去対象物の除去装置は、同一位置の深さが異なる点に各々焦点が合わされる複数の撮像単位からなる撮像手段と、各々発光波長の異なる光を発する照明手段と、除去対象物の３次元位置を検出する位置検出手段と、サイズ判定手段と、種類識別手段と、レーザ光の照射位置を制御する照射位置制御手段と、前記除去対象物のサイズおよび種類に応じて、出力が変化されるレーザ光発振手段を有する。 （もっと読む）

【課題】熟練者による光学素子の光散乱計測の検査を数値化によって定量化することにより検査を容易化する方法及び手段を提供する。
【解決手段】本発明による光学素子評価方法は、光源から光学素子の表面に非垂直方向にレーザを照射し、光学素子の表面からの散乱光の画像をデジタルカメラで撮像し、デジタルカメラからの画像信号の２次元高速フーリエスペクトル及び２次元パワースペクトルを得て、該２次元パワースペクトルを基に光学素子性能を評価する。 （もっと読む）

【課題】高い駆動性能を得ることができるとともに、簡単な構成で製造が容易な薄板駆動装置を提供する。
【解決手段】薄板駆動装置は、磁場を発生させる磁場発生部を有する台座部と、板材よりなり台座部に対して固定される固定部２１と固定部２１に連結支持部２２を介して連続して形成され連結支持部２２にて固定部２１に対して互いに直交する２軸Ａ，Ｂ中心で傾動可能に支持される１つの傾動部２３とを有する薄板部材１３と、傾動部２３を２軸Ａ，Ｂ中心で傾動させるべく該傾動部２３に設けられる複数のコイル部１４〜１７とを備える。連結支持部２２は、一方の軸Ａに対して平行且つ他方の軸Ｂに対して直角に延びる第１連結部２２ａと、一方の軸Ａに対して直角且つ他方の軸Ｂに対して平行に延びる第２連結部２２ｂとが連結された形状とされる。 （もっと読む）