【課題】外部との接続端子部に加わる力による破損を防止し得るガスセンサ、及び耐熱性に優れたガスセンサを提供する。
【解決手段】スペーサ４は、電極ピン７ａ、８ａをスペーサ４に設けられた貫通孔４ａに挿通するようにして配置されている。ここで、スペーサ４の溝４ｂの底面までの厚み（貫通孔４ａ深さ）は、外側に突出する電極ピン７ａ、８ａの長さよりも若干低くなるように設定され、電極ピン７ａ、８ａの先端部が、スペーサ４に設けられた溝４ｂの底面に若干突出した状態で配置されている。この電極ピン７ａ、８ａの先端部には、アウトリード５ａ、５ｂ、５ｃが溶接等の手段によって接続されている。そして、スペーサ４の各アウトリード５ａ、５ｂ、５ｃを支える側の略全面を覆うように押さえ部材６を密着させ、スペーサ４と押さえ部材６により、前記アウトリードを挟み込むようにして保持している。 （もっと読む）

【課題】保持部材にかかる機械的応力や、ガスの燃焼による熱応力などにより、ガスセンサの検出素子は、損壊してしまっていた。
【解決手段】ガスのセンサ領域Ｒを円形または角部を有しない形状に形成する。また、薄膜熱感知体及びガス感知体を保持する保持部材の上部、中央領域に薄膜熱感知体、ガス感知体を設ける。また、保持部材には、薄膜熱感知体の搭載部を避けて、複数の貫通孔を分散して設ける。このような構成により、支持基板に熱応力や保持部材に機械的応力がかかっても、クラックなどによる損壊の発生を抑える効果が得られる。また、これによって、ガスセンサの寿命も向上する。 （もっと読む）

【課題】過度の発熱が起きず、検知感度の良いガス検知素子を提供する。
【解決手段】センサ領域Ｒ内に複数の梁部で構成する保持部材を、支持基板４１から延設して設ける。梁部に設ける薄膜熱感知体は、センサ領域Ｒの中心領域Ｂから外れた位置に複数設ける。それぞれの薄膜熱感知体は、センサ領域Ｒの中心点Ｃに対して点対称にしてもよく、中心点Ｃから等距離の位置にしてもよい。こうすることで、ガスの到来時に熱が集中せず、また、複数の薄膜熱感知体は同一形状、同一大きさにして熱容量が同一になるようにすれば、ガスの検知の際の感度特性や反応速度特性も向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】ガス検知素子の薄膜熱感知体の電気特性の劣化を防止し、検知精度を向上させると共に、長寿命を図る。
【解決手段】薄膜型ガスセンサにおいて、保持部材である梁部４３上に設ける薄膜熱感知体４６の両側に、ガス感知体４８を焼結する焼結用ヒータ５６，６６を薄膜熱感知体４６に近接して、平行に設ける。ガス感知体４８は、薄膜熱感知体４６と焼結用ヒータ５６，６６とに平面的に重なって設けており、焼結用ヒータ５６，６６でガス感知体４８を焼結する。また、薄膜熱感知体４６と焼結用ヒータ５６，６６とは、九十九折りの形状に形成することで、配設スペースを小さくすることができ、薄膜型ガスセンサ自体も小型化することができる。 （もっと読む）

【課題】薄膜熱感知体に発生する熱応力を分散させて薄膜熱感知体を搭載する絶縁膜なる保持部材のクラック発生を防止する。
【解決手段】絶縁膜で構成する保持部材上に搭載する薄膜熱感知体４６を、湾曲した折り返し部Ｄを有する九十九折りのパターン形状に形成し、そのパターン幅ｗの断面を、両端に傾斜面４６ｄをもたせた台形形状に形成する。九十九折りの折り返し部やパターンの幅の両端部に直角や鋭角なる角部がなくなり、熱応力が分散して小さくなり、保持部材への熱の影響を抑制して、保持部材のクラック発生を抑える。 （もっと読む）

【課題】サージ電圧等の印加に対しても破壊されることがなく、安定で信頼性の高い薄膜ガスセンサを提供する。
【解決手段】図は薄膜ガスセンサの平面図であり、感知膜電極７間にバリスタ（R）等の非直線性抵抗素子を形成した例である。つまり、感知膜電極７を形成する際に、ニードル状に突起のあるパターンを図示のように対向させる。そして、上層のSnO₂層を形成する際に、図示のようにSnO₂を形成する部分に窓開けし、ここにバリスタ（R）等の非直線性抵抗素子10を形成したものである。 （もっと読む）

【課題】被毒による接触燃焼式ガスセンサの感度低下を補正すること。
【解決手段】接触燃焼式ガスセンサからなる測定用検出素子1と前記測定用素子1とは被毒による感度の低下度が相違する接触燃焼式ガスセンサからなる感度変化検出用素子2と、前記測定用検出素子1と感度変化検出用素子2のそれぞれの検出出力の差分を検出し、前記差分に基づいて前記測定用検出素子1の出力を補正する感度補正手段3とを有する。 （もっと読む）

【課題】ダイアフラム構造の薄膜ガスセンサにおけるガス選択性を、従来のものより向上させる。
【解決手段】感知層７を、第１層としてドナーとなる＋５価または＋６価の元素を添加したＳｎＯ２層９、その上の第２層として触媒となる元素を添加したＳｎＯ２層１０の、２層構造とするものは既に公知であるが、ガス選択性の点でいまだ不十分なので、この発明では、第２層１０における触媒添加量を１０ｗｔ％を超え６０ｗｔ％以下とすることにより、水素ガス選択性，メタンガス選択性ともに向上させる。 （もっと読む）

【課題】簡単に検出素子と比較素子との熱的バランスを評価することができるガスセンサの性能評価方法及びガスセンサの性能評価装置を提供する。
【解決手段】検出素子Ｒｓ及び比較素子Ｒｒを含むブリッジ回路Ｂに交流電源３から交流電圧を供給する。その後、検出素子Ｒｓ及び比較素子Ｒｒの温度が２００℃〜４００℃になるように交流電圧の大きさを調整する。次に、交流電圧を供給したときのブリッジ回路Ｂの中点電位差Ｖ０が最小になるようにブリッジ回路Ｂを構成する可変抵抗Ｒｖを調整する。可変抵抗Ｒｖを調整した後に検出素子Ｒｓ及び比較素子Ｒｒの温度が２００℃〜４００℃になるように交流電圧の大きさを再び調整する。その後、ブリッジ回路Ｂの中点電位差Ｖ０の大きさに基づいてガスセンサ２を評価する。 （もっと読む）

【課題】不活性ガス中の低濃度の有機溶媒の濃度を継続的に検出する方法、不活性ガス中の有機溶媒の濃度を低濃度に調整する方法、不活性ガス中の有機溶媒の濃度を継続的に検出する装置、湿式法による有機デバイスの製造方法の提供。
【解決手段】ガス検出装置で不活性ガス中の有機溶媒ガスの濃度を検出する方法であって、
前記ガス検出装置に前記有機溶媒ガスを含んだ前記不活性ガス及び酸素ガス、又は酸化性ガスを供給し、前記有機溶媒ガスの濃度を検出することを特徴とする不活性ガス中の有機溶媒ガス濃度の検出方法。 （もっと読む）