【課題】光量を低下させることなく所望する波長域の光を抽出できるとともに、抽出した複数の波長域の光に対する２次光源をすべてテレセントリックに結像できること。
【解決手段】波長選択ユニットは、光源２１が発した光を集光して自光学系の光軸２０に対して傾斜した平行光束ＰＦを射出するコレクタレンズ２２と、平行光束ＰＦ中の所定波長域の光を選択的に反射する選択反射光学系２３と、選択反射光学系２３が反射した各反射光束ＲＦＡ，ＲＦＢ，ＲＦＣを各々対応する選択反射光学系２３の反射光軸２０Ａ〜２０Ｃに対して対称に折り返す折返光学系２４Ａ〜２４Ｃとを備え、コレクタレンズ２２は、折返光学系２４Ａ〜２４Ｃが折り返した光束であって選択反射光学系２３が再反射した光束ＢＦを集光し、光源２１の光源像２６を結像する。 （もっと読む）

【課題】光源の高輝度部の移動を検出し、この検出結果に基づいて高輝度部の位置を補正できること。
【解決手段】紫外線顕微鏡１００は、光源１１が発した光を集光して２次光源ＳＳを形成するとともに、この２次光源ＳＳと共役な位置に入射瞳３ａが設けられた対物レンズ３を介して、２次光源ＳＳからの光を標本１に照射する顕微鏡であって、光源１１が発した光のうち一部の光を非照明光として分岐して射出するダイクロイックミラー１３と、非照明光を集光し、２次光源ＳＳと実質的に共役な検出面上に光源１１の光源像を形成するとともに、この光源像を検出して像強度情報を出力する光源像検出部７と、光源１１を光軸断面方向に移動可能に保持する光源保持機構２７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明では、試料及び対物レンズ等への紫外光の誤照射を回避し、より操作性の良い切り換え法をもつ顕微鏡システムを提供する。
【解決手段】複数の観察法により試料の観察ができる顕微鏡システムは、２つ以上の光源と、前記光源に対応する観察光学系と、前記観察法の切り換えの指示を行う観察法切り換え指示手段と、前記切り換え指示手段に基づいて、前記観察法の切り換えを制御する制御手段と、前記切り換え指示手段に基づいて、選択された前記観察法に関する調整の指示が入力される調整指示入力手段と、を備えることにより、上記課題の解決を図る。 （もっと読む）

試料の対象となる組織を３次元高分解能撮影するため、切替信号によって第１光学特性を有する第１状態から第２光学特性を有する第２状態に繰り返し遷移可能であり且つこの第２状態からこの第１状態に帰還され得る複数の物質から成るグループから１つの物質を選択し、試料の対象となる組織にこの物質によって標識付けし、この物質の変化する部分を切替信号によって第２状態に遷移させ、前記試料をセンサアレイ上に撮影し、この場合、イメージの３次元分解能限界が、前記試料中の前記物質の最も近くに隣接した分子間の平均間隔より大きく（すなわち、悪く）、前記第２状態にある前記物質のその都度の部分から放射する光学信号を前記センサアレイによって３次元分解して記録するステップが実施される。前記物質の第２状態に遷移したそれぞれの分子のうちの少なくとも10％の分子とこれらの分子に最も近く隣接した前記第２状態にある分子との間隔が、前記試料を前記センサアレイ上に撮影する時の３次元分解能限界より大きいように、前記切替信号の強度が、前記物質の前記部分の前記第２状態への遷移時に設定される。 （もっと読む）

【課題】全反射照明により励起された蛍光のロスを極力無くして、蛍光を効率よく取得可能な全反射蛍光顕微鏡を提供する。
【解決手段】光源１１と、光源１１からの光を集光させる集光レンズ１２と、対物レンズ１３と、標本１６からの光から蛍光を抽出するバリアフィルタ１４と、撮像素子１８を有する全反射蛍光顕微鏡である。対物レンズ１３の後側焦点位置をリレーし、対物レンズ１３の後側焦点位置Ｐ１と共役な位置Ｐ１’が集光レンズ１２による光源１１からの集光点に一致するように配置されたリレーレンズ１７と、リレーレンズ１７を介した対物レンズ１３の瞳位置と共役な位置に配置され、前記集光点に配置され、該集光点に集光された光線のみを反射するミラー２０と、ミラー２０の配置位置近傍に、リレーレンズ１７を経た標本１６からの光を撮像素子１８に向けて通過させる開口部材２１を有する。 （もっと読む）

【課題】 １よりも大きな開口数を有し且つ収差が良好に補正された対物光学系。
【解決手段】 本発明の対物光学系は、物体側から順に、ほぼ平行平面状の形態を有する第１光学部材（３１ａ）と、射出側に凸面を向けた正の屈折力を有する第２光学部材（３１ｂａ）と、正レンズ群（３１ｂｂ）と、負レンズ群（３１ｂｃ）とを備えている。第１光学部材と第２光学部材との間の光路は、対物光学系の入射側最大開口数よりも大きい屈折率を有する媒質（Ｌｍ３）で満たされている。 （もっと読む）

【課題】 高解像度の検査を可能とする極端紫外線顕微鏡を提供する。
【解決手段】
極端紫外線を発光する光源１２と、光源１２が発光した極端紫外線を集光して試料２に照射し、試料２が反射した極端紫外線波長領域の試料反射光を集光する、複数の多層膜からなる反射素子から構成される結像光学系１３と、光源１２と結像光学系１３との間に配置され、極端紫外線波長領域の光の一部を反射し、一部を透過する、複数の多層膜からなる半透鏡１４と、試料２からの試料反射光が結像光学系１３により集光されて半透鏡１４を介して入射され、試料反射光による像を検出する像検出部１５と、像検出部１５が検出した像を表示する表示部１６とを備える。 （もっと読む）

試料を検査する方法および装置を提供する。本装置は、第１照明源と、第１照明源から受け取った光エネルギを実質的に垂直な角度で前記試料に向かうように誘導する、中央掩蔽を提示する反射屈折対物レンズと、前記反射屈折対物レンズによって生じる前記中央掩蔽内に配置され、第２照明源からの追加照明を受け取って、前記試料に向けて追加照明の進路を変える、プリズムや反射面等の光学装置と、を含む。本方法は、第１照明源を用いて、前記試料の表面を各種の角度で照光することと、第２照明源を用いて前記表面を照光することとを含み、前記第２照明源による照光は、実質的に垂直な入射角度で行われ、また、反射、散乱、および回折されたすべてのリグを結像させることを更に含む。
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【課題】試料と油浸系対物レンズとの間に充填されるイマージョンオイルからの自家蛍光を極力無くして蛍光像のＳＮを高くすることが可能な油浸系対物レンズを用いた顕微鏡、及び油浸系対物レンズを用いた顕微鏡の観察方法を提供する。
【解決手段】試料を保護するカバーガラスＣＧと最も試料側のレンズ面との間に油を充填して観察する、油浸系対物レンズ１と結像レンズ２を有する顕微鏡において、油浸系対物レンズ１における最も試料側のレンズよりも像側に配置された、レンズ群Ｇ２，Ｇ３，Ｇ４を光軸に沿って移動させることによって、カバーガラスＣＧと油浸系対物レンズ１における最も試料側のレンズ面との間の作動距離ＷＤを０＜ＷＤ≦０．０３ｍｍにした状態で試料の所定深度位置に合焦するように、前側焦点距離および前側焦点位置を調整し得るようにしている。 （もっと読む）

【課題】紫外光による照明が行われていることを正確に報知すること。
【解決手段】光源３５から出射されて波長選択素子３６により波長選択された紫外領域の波長光の第１の照明光を光分割素子４０により２方向に分割し、そのうちの一方の第１の照明光を紫外光照明部２９の外部から観察可能な位置に設けられたスクリーン４６に照射し、このスクリーン４６から可視領域の蛍光を発せさせる。 （もっと読む）