【課題】石英ガラスなどのガラスに較べて紫外線透過率の低い樹脂シートの表面に形成した透明電極の検査に必要な測定精度を得ることのできる透明電極の観察装置を提供すること。
【解決手段】樹脂シートＦの表面に形成された透明電極Ｐの光透過率が５０％以下となる２００〜３００ｎｍの波長帯域の紫外線光を含む光を照射する光源１と、光源１から照射された紫外線光によって励起され、蛍光発光した樹脂シートＦの光の強度が０．１以上となる４００〜５００ｎｍの波長帯域の光を透過する光学フィルタ２と、光学フィルタ２を透過した可視域の波長に感度を有する画像を撮影するカメラ３とを備えたので、透明電極Ｐが形成された部位は暗くなり、それ以外の部位は明るく撮影される。これにより、可視光では視認が困難な透明電極Ｐの形状を特定でき、透明電極Ｐの検査に必要な測定精度を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】結果の研究およびコンピュータ解析のために、対象物を染色し、対象物を準備する方法を提供することにある。
【解決手段】・対象物を非蛍光体により染色し、
・生成プロセスで、前記非蛍光体の分子を、励起されると蛍光することのできる分子に修正し、
・励起プロセスで、前記修正された分子を励起し、これにより蛍光させ、
・記録プロセスで、
−前記染色された対象物をフレームごとに検出装置によって光学的にキャプチャし、
−前記フレーム中に蛍光する分子を少なくとも１つの検出装置によって、回折に依存する大きさを有するスポットとして記録し、
−前記記録されたフレームを記憶媒体に記憶し、
・前記生成プロセス、前記励起プロセス、および前記記録プロセスを周期的に繰り返すナノスコピー方法。 （もっと読む）

【課題】小型化したカタジオプトリック型対物系を使用するシステムを開示する。
【解決手段】このシステムでは小型化された対物系に加え各種サブシステムを用いて結像能力を増強する。サブシステムには照明、結像、自動合焦、位置決め、センサ、データ取得及びデータ分析サブシステムが含まれる。対物系が使用される光エネルギ波長は例えば約１９０ｎｍ〜赤外域であり、対物系を構成する素子の直径は１００ｎｍ未満とする。対物系はレンズ型合焦装置（１６０７）、少なくとも１個の視野レンズ（１６０５）及び配列マンジャンミラー（１６０１）を備える。視野レンズ（１６０５）の向きは、レンズ型合焦装置（１６０７）から合焦済光エネルギを受け取り中間光エネルギを供給するよう設定する。本発明においては、０．６５超で約０．９０以下の開口数にて標本に対し結像用に調整済光エネルギを与える。本発明は様々な環境にて使用できる。 （もっと読む）

【課題】紫外領域と可視領域の２つの領域における光に対して、光学的に安定して、光の吸収が少なく、かつ所定の反射防止を効果的に実現可能な反射防止膜を提供する。
【解決手段】透明な基板上に、空気側から基板側へ順に第１層、第２層、第３層、第４層、第５層、第６層、と、６層以上の薄膜を形成した構成を備え、空気側から奇数番目の薄膜が低屈折率膜であり、偶数番目の薄膜が低屈折率膜又は低屈折率膜より屈折率の大きな中間屈折率膜であって、中心波長λ０での中間屈折率膜と低屈折率膜の屈折率を各々Ｎ_Ｍ、Ｎ_Ｌとしたとき、これらが所定の式を満足し、さらに、紫外域の波長λ１と、可視域の波長λ２と、が所定の式を満足する。 （もっと読む）

【課題】蛍光、ラマン散乱光等の観察光と励起光の波長の順序が変動しても同一の光学系を用いて複数の波長の光を観察することができる。
【解決手段】異なる照明光を射出する複数の光源部４，５と、該光源部４，５から射出された複数の照明光を標本Ａに集光する対物光学系６，７と、光源部４，５からの複数の照明光を標本Ａ上の異なる位置に集光させるように対物光学系６，７に導光する照明光学系８，９，１０と、照明光を照射することにより標本Ａにおいて発生した複数の観察光を異なる位置に結像させる結像光学系１１と、該結像光学系１１による異なる結像位置において複数の観察光を検出する光検出部１２とを備える顕微鏡１を提供する。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化、複雑化およびコストアップを招くことなく、観察対象から発生する蛍光を高いＳＮ比で検出できる蛍光検出装置を提供する。
【解決手段】励起光源102から射出される励起光を観察対象115に照射し、該観察対象115から発生する蛍光を光増幅器110により光増幅して検出する蛍光検出装置１において、励起光源102から射出される励起光を光増幅器110に入射させて、観察対象115から発生する蛍光を光増幅する。 （もっと読む）

【課題】広範囲ズーム機能を備えた超広帯域紫外（ＵＶ）カタディオプトリック映像顕微鏡システムが開示される。
【解決手段】カタディオプトリックレンズ群及びズーミングチューブレンズ群を含む顕微鏡システムは、極ＵＶ波長で高光学解像度と、連続的に調整可能な倍率と、高開口数とを有する。このシステムは、部品点数を削減し、システムの製造プロセスを簡単化するため、対物レンズ、チューブレンズ及びズーム光学系のような顕微鏡モジュールを統合する。好ましい実施例によれば、全屈折ズーミングチューブレンズと組み合わせることにより、非常に広い極紫外スペクトル域に亘って優れた画質が得られる。ズーミングチューブレンズは、一般的に性能を制限する高次色収差を補償するように変更される。 （もっと読む）

【課題】ターゲットに標識されるべき蛍光体の退色を早めず、かつ生体試料の負担を過大にさせることもなく合焦し得るようにする。
【解決手段】生体サンプルのターゲットに標識されるべき蛍光体に対して未励起状態であり、該ターゲットよりも占有量の高い対照に標識されるべき蛍光体を励起状態とする光を照射し、撮像面に結像される生体サンプル部位の像を用いて、該生体サンプル部位に対して焦点を合わせる。その後、対照に標識されるべき蛍光体を励起状態とする光に代えて、生体サンプルのターゲットに標識されるべき蛍光体を励起状態とする光を照射し、撮像面に結像される生体サンプル部位の像を、記録対象とすべき暗視野像として取得する。 （もっと読む）

【課題】フォトマスクなどの試料についての望まれない粒子や、パターンきず等の検査するためのデザインを提供する。
【解決手段】このシステムは、開口（絞り）およびフーリエフィルタリングのための外部瞳がなく、比較的緩い製造公差を提供し、ブロードバンド明視野やおよびレーザ暗視野イメージングおよび波長３６５ｎｍ以下における検査に適する。使用されるレンズは単一の材料を用いて形成または構成される。少なくとも１つの小さな折り返しミラー（３０４）およびマンジャンミラー（３０６）を含んでいる。第２の戻りイメージが第１のイメージから横方向にずれるように軸をはずして構成される。これによって、受光を許容する横方向分離および各イメージを別々に操作することが可能になる。 （もっと読む）