マイクロリソグラフィ投影露光装置（１０）の光学系は、ユニットとして光学系に取り付け、かつ、光学系から取り外すことができるモジュール（５０、１５０）を含む。モジュールは、液体（３４、１３４）で完全に満たし、かつ、気密に密封することができる空洞（４２、１４２）と、投影露光装置（１０）の動作中、頂部において空洞の境界となる凹に湾曲した光学面（Ｓ）を含む。これは、光学系の外でモジュールを満たすことを可能にする。完全な充填を妨害する空気の泡が凹に湾曲した光学面の下方に形成できないように、モジュールを傾けることができる。
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蛍光分子のイメージを低ノイズで記録し、デジタル化するビデオカメラに試料イメージを可視化・投影する光学系と、イメージを記録・処理するためのコンピュータと、対物レンズの前側に配置された試料ホルダーと、蛍光放射励起源と、試料蛍光光を分離するための、置換可能な抑制フィルタのセットを備えた顕微鏡を用いて実行される。別個に蛍光された可視の分子とナノ分子が、異なった対象部分内で周期的に形成され、レーザにより、オーバラップしないイメージを記録するため、既に記録された蛍光分子をデカラーリングするのに充分な、分子及びナノ分子の振動を生起し、記録された個別分子及びナノ分子イメージの１００００枚のイメージが、個別の蛍光分子及びナノ分子の座標に相応する計算された多数のステイン中心座標に従って、ステインの中心の座標をサーチし、対象のイメージを形成するために、コンピュータにより処理される。 （もっと読む）

本発明は、光学軸（ＨＡ）を中心として、光学軸（ＨＡ）に沿って配置された、第１の鏡（Ｍ１）、第２の鏡（Ｍ２）、第３の鏡（Ｍ３）、第４の鏡（Ｍ４）、第５の鏡（Ｍ５）、第６の鏡（Ｍ６）を少なくとも備え、光が物体面（１）から第１の鏡（Ｍ１）へ、第１の鏡（Ｍ１）から第２の鏡（Ｍ２）へ、第２の鏡（Ｍ２）から第３の鏡（Ｍ３）へ、第３の鏡（Ｍ３）から第４の鏡（Ｍ４）へ、第４の鏡（Ｍ４）から第５の鏡（Ｍ５）へ、第５の鏡（Ｍ５）から第６の鏡（Ｍ６）へ進む、波長が１９３ｎｍ以下の光を物体面（１）から像面（３）へ導く投影光学系に関する。本発明は、第１の鏡（Ｍ１）が光学軸（ＨＡ）に沿って、幾何学的に第５の鏡（Ｍ５）と第６の鏡（Ｍ６）の間に配置され、第３の鏡（Ｍ３）が凸面鏡であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光照射等に弱い生物標本や低反射率の試料に対して合焦位置および試料位置を蛍光像観察時にも損失無く高精度で広範囲に計測できる試料位置高精度計測法を提供する。
【解決手段】位置計測用の光を、対物レンズの辺縁部分の全反射領域を含む高開口数の領域に通すと、試料境界面からの全反射光及び大きな照明角度からの反射光により、透明試料等で低反射率の試料においても、強い反射光を得ることができる。試料境界面が高さ方向にΔｚ変化すると、反射光は試料境界面内で横方向にΔｘ＝ ２Δｚ×ｔａｎθで与えられるΔｘずれた位置から出てくると見なされ、入射角θを大きくすることにより、Δｚの変化量に対しても、より大きなΔｘの変化量を得ることができる。蛍光用のダイクロイックミラーを位置計測用と共通に用いて、顕微鏡像の光路上に位置計測光を導入することにより、蛍光像観察にも影響無く、試料位置の高精度計測ができる。 （もっと読む）

【課題】 紫外線領域から赤外線領域までの広い波長帯域の励起光を試料に照射しても、鮮明な蛍光画像を取得することを可能とする。
【解決手段】 複数の異なる波長の励起光Ｌを出射可能な光源装置５と、励起光Ｌを走査する走査装置１７と、励起光Ｌを試料Ａに集光する対物光学系２０と、励起光Ｌを照射された試料Ａにおいて発生し、対物光学系２０、走査装置１７を介して戻る蛍光Ｆを集光する集光光学系１２と、該集光光学系１２により集光された蛍光Ｆを検出する光検出装置６と、励起光Ｌの光路上に配置され、励起光Ｌの波面を調節する第１の波面調節装置２４と、蛍光Ｆの光路上に配置され、蛍光Ｆの波面を調節する第２の波面調節装置１２ａと、光源装置５から出射される励起光Ｌの波長に基づいて、第１および第２の波面調節装置２４，１２ａを連動させる制御装置４とを備える走査型蛍光観察装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成で波長選択の効率を向上する。
【解決手段】 超短パルスレーザ光Ｌ１を出射するレーザ光源５と、該レーザ光源５からの超短パルスレーザ光Ｌ１を顕微鏡本体３に導く際に、超短パルスレーザ光Ｌ１のスペクトルを拡散させる光ファイバ８と、該光ファイバ８の出射端に配置され、出射されるスペクトル拡散されたレーザ光Ｌ２を集光させる集光レンズ１０と、該集光レンズ１０による集光位置に配置される空間フィルタ１１とを備え、集光レンズ１０が、入射されるレーザ光Ｌ２の波長毎に異なる焦点距離を有する顕微鏡用照明装置１を提供する。 （もっと読む）

三次元微細構造の表面を補助物質で被膜して該三次元微細構造の顕微鏡解析を行うために、補助物質として、ルミネセンス特性の点で異なる２つの状態を有するルミネセンス物質が選択され、その際、ルミネセンス物質は、可逆性を有するが、ほぼ完全に光信号によって一方の状態からもう一方の状態へと遷移でき、また、該ルミネセンス物質で被膜された三次元微細構造の表面の特性を求めるために、該ルミネセンス物質から放出されるルミネセンス光が測定され、その際、該ルミネセンス物質が、観察中の各測定点の周囲内で自らの両状態のうち他方の状態へ移行される。
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【課題】 高屈折率で安定した液浸油として有用な、ジチオカルボン酸エステル化合物を提供する。
【解決手段】 分子内にジチオカルボン酸エステル基を２個以上有するジチオカルボン酸エステル化合物およびそれを液浸油、およびそれを用いた顕微鏡、蛍光顕微鏡、生物学的材料の分析装置、光学的測定装置から選ばれる装置の光学系。 （もっと読む）

【課題】動力化され一体化された蛍光軸を有する顕微鏡の一体化を可能とするレーザー顕微解剖ユニットを示す。
【解決手段】レーザー（１９）のレーザービームを用いて顕微鏡サンプル（３）を切断するレーザー顕微解剖ユニットは、サンプル（３）に向けられた照明ビーム路とサンプル（３）を映し出す画像形成ビーム路とを有する顕微鏡（１）を含み、当該顕微鏡は更に励起フィルター（１５）、二色性ビームスプリッター（１６）及び阻止フィルター（１７）を備える蛍光装置（１４）を含む。二色性ビームスプリッター（１６）と阻止フィルター（１７）が上記レーザービームに対し分光的に透明であり、レーザービームは阻止フィルター（１７）と二色性ビームスプリッター（１６）を通ってサンプル（３）に向けられている。 （もっと読む）

【課題】 対物レンズの鏡筒に設けた純水供給流路及び純水回収流路の内壁に熱を加えたり又は薬液を流したりすること無く、直接紫外線を照射してＵＶ殺菌を行うこと。
【解決手段】 明視野観察時には、ハーフミラー７は、液浸対物レンズ８の光軸（Ｌ１）位置にあり、照明光源２の紫外光の略半分はウエハＷに落射させる。殺菌時には、反射ミラー３０を、液浸対物レンズ８の光軸（Ｌ１）位置に移動させる。照明光源２の紫外光は、反射ミラー３０の丸穴３０ａのため、中央部の紫外光は、液浸対物レンズ８の方向に行かない。一方、その周辺部のミラー面３０ｂで反射された紫外光は、純水供給・回収流路２１，２２の中心軸（Ｌ２）に沿って進み、カバーガラス２５を介して、純水供給・回収流路２１，２２に入射して、この内部の純水ＰＷを殺菌する。 （もっと読む）