【課題】フライアイレンズにより生じるレーザ光の干渉縞を平均化すると共に、レーザ光の照度ムラを低減する。
【解決手段】レーザ光の断面形状を拡大する第１のフライアイレンズ２と、第１のフライアイレンズ２のレーザ光の入射側に配置され、第１のフライアイレンズ２の各集光レンズ２ａに夫々入射するレーザ光に位相差を生じさせる第１の光路差調整部材３と、第１のフライアイレンズ３を射出したレーザ光を平行光にするコンデンサーレンズ４と、レーザ光によるフォトマスクの照明領域内の光強度分布を均一化する第２のフライアイレンズ６と、第２のフライアイレンズ６のレーザ光の入射側に配置され、第２のフライアイレンズ６の各集光レンズ６ａに夫々入射するレーザ光に位相差を生じさせる第２の光路差調整部材７と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】ＬＥＤ素子が発光する光を効率良く利用でき、さらに、ＬＥＤ素子の温度が上がりにくい光源装置、投射型表示装置、及び背面投射型表示装置を提供する。
【解決手段】
カバー部１１は光源２を保護する。集光部１０において、光源２が発する光が入射する入射部２００ｂを、カバー部１１よりも光源２側に位置させ、入射部２００ｂより入射された光を集光した光が射出する射出部２００ｔを、カバー部１１に対して光源２とは反対側に位置させる。 （もっと読む）

【課題】切断時間を短縮することができ、装置構成が簡単であるレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】レーザ光を照射して半導体ウェハ（加工対象物）を切断する装置であって、レーザ光を発生させるレーザ光源１０と、レーザ光を半導体ウェハに集光する集光用レンズ１２とを備える。集光用レンズ１２は、レーザ光の光軸Ｌに対して垂直方向に並べられた２つのレンズ部分１２ａ，１２ｂを有する。２つのレンズ部分１２ａ，１２ｂは、それぞれ光軸Ｌの方向の高さの異なる焦点を持つ。集光用レンズ１２は、２つのレンズ部分１２ａ，１２ｂが一体的に形成された一枚のレンズからなる。 （もっと読む）

【課題】機械的な振動や、光量の利用効率の低下、光量の不均一な分布等を生じることなく、低コストにてスペックルノイズの低減を実現することが可能な照明光学装置および投影装置を提供する。
【解決手段】側面に複数の貫通孔４３がランダムに配置された多角形筒体４２を、ライトトンネル４１の内部における入射端４１ａの側に同軸に配置して回転させ、多角形筒体４２の入射端４２ａから入射するレーザー光等の照明光２９を、多角形筒体４２の入射端４２ａから出射端４２ｂに至る全反射光２９ａと、貫通孔４３が出射する透過光２９ｂとに分散させて通過させ、多角形筒体４２の回転によって、ライトトンネル４１の出射端４１ｂから出射される照明光２９のスペックルを均一化して目立たなくする光学装置４０である。 （もっと読む）

【課題】ブレーズドグレーティングパターンと所定の位相変調分布を有する位相パターンとが重畳されてなる位相パターンを位相変調型の空間光変調器に呈示させる技術において所望のビーム断面を有する光を得ることができる光制御装置を提供する。
【解決手段】光制御装置１は、光源１０、プリズム２０、空間光変調器３０、駆動部３１、制御部３２、レンズ４１、アパーチャ４２、レンズ４３を備える。空間光変調器３０は、位相変調型のものであって、２次元配列された複数の画素を有し、これら複数の画素それぞれにおける位相変調が４πの範囲で可能であり、複数の画素それぞれにおいて光の位相を変調する位相パターンを呈示する。この位相パターンは、位相変調範囲が２π以下である光回折の為のブレーズドグレーティングパターンと、位相変調範囲が２π以下である所定の位相変調分布を有する位相パターンとが重畳されてなる。 （もっと読む）

【課題】円偏光ビームを断面が円形のラジアル偏光ビーム（径偏光ビーム）に変換することができる偏光素子およびこの偏光素子を用いたレーザーユニットを提供する。
【解決手段】レーザー発振器から発振された直線偏光ビームがλ／4波長板によって変換された円偏光ビームをラジアル偏光ビームに変換するための偏光素子であって、アキシコンレンズの円錐面に誘電体膜が成膜して形成されている。 （もっと読む）

【課題】多原色の光源を採用した光学系においても、小さな構成で照度分布の均一性を向上させることができる投写型表示装置を得ること。
【解決手段】光源４と、光源４から出射された光束の強度分布を均一化する光強度均一化素子と、を有するとともに、光強度均一化素子から出射された光束を用いて画像の投写表示を行う投写型表示装置において、光強度均一化素子６は、強度分布を均一化する光強度均一化部６１，６２が光軸１ａ方向に接合されて構成されるとともに、光強度均一化部６１は光軸１ａ方向に向かって断面形状の面積が減少するテーパー形状を有し光強度均一化部６２は光軸１ａ方向に向かって断面形状の面積が増加するテーパー形状を有している。 （もっと読む）

本発明は、放射線感応基板（１７）が放射線反応する波長を有するコヒーレント放射線（２）を使用して、プログラマブルテンプレート（６）が基板上（１７）に投射される放射線感応基板（１７）を撮像するための方法に関する。画像グリッド（３０）を有するプログラマブルテンプレート（６）の全体画像は、複数の投射が基板（１７）の異なる位置に作用して基板（１７）上の画像グリッド（３０）に細かい部分グリッド（３１）が形成されるように、音響光学または電気光学偏向ユニット（１１）によって同時に変位される。本発明はさらに、前記方法を実行する装置に関する。
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【課題】 大掛かりな設備を設けることなく、動的且つ正確に熱レンズ効果を補正することができる透過型光学素子、レーザー発振器、及びレーザー加工機を提供する。
【解決手段】 透過型光学素子は、正の熱ひずみ係数を有する物質からなりウェッジ面と平面とを有する第１光学部材と、負の熱ひずみ係数を有する物質からなりウェッジ面と平面とを有する第２光学部材とを備え、第１光学部材のウェッジ面と第２光学部材のウェッジ面とを向かい合わせに配置して、第１光学部材と第２光学部材とが相対的に平面に平行に移動し、レーザービームに生じる熱レンズ効果を補正する。 （もっと読む）

【課題】 縦方向と横方向に異なる広がり角を持つレーザ光線を、縦横方向とも光ファイバの入射端面からはみ出さないように集光することを目的とする。
【解決手段】 レーザ素子７から縦方向と横方向で異なる広がり角を持って照射されるレーザ光線９を、第１の鏡筒１のシリンドリカルレンズ１０、１１で広がり角の大きい方を、また、シリンドリカルレンズ１２で広がり角の小さい方を平行光線にし、この平行光線を第２の鏡筒２の丸レンズ１３、１４により光ファイバ３の入口に集光する構成とし、第１の鏡筒１と第２の鏡筒２の光軸が一致するように位置決めして結合した。 （もっと読む）