【課題】光の波長に依存することなく、所望のパターンの光を対象物に照射する技術を提供することを課題とする。
【解決手段】空間光変調装置１は、空間光変調器３の隣接する変調領域（変調領域３ａ、変調領域３ｂ）で変調された変調光（光線Ｌａ、光線Ｌｂ）間で生じる光路長差を、光路長差補償器２の補償領域（補償領域２ａ、補償領域２ｂ）での偏向により補償する。 （もっと読む）

本発明の一実施形態は、照明光学系の光路中に配置され、連続性の高い周方向偏光状態の瞳強度分布を実現するための構造を備えた偏光変換ユニットに関する。入射光を所定の偏光状態の光に変換する偏光変換ユニットは、第１光学素子と第２光学素子を備える。第１光学素子は、複数の第１領域を有し、少なくとも隣り合う２つの第１領域は、異なる偏光変換特性を有するよう厚みが異なる。第２光学素子も、同様に、複数の第２領域を有し、少なくとも隣り合う２つの第２領域は、異なる偏光変換特性を有する。第１および第２光学素子は、１つの第１領域を経た光束が隣り合う２つの第２領域に入射するように配置され、これにより、光の通過位置ことに第１および第２光学素子の厚みの合計が変えられている。 （もっと読む）

【課題】レーザ加工ヘッドにおいて、熱レンズ効果が形成される遷移時間を約１分程度から１秒程度まで低下させる。また、透過する光学部品で吸収されるパワーの割合を低減させるとともに、小型化、軽量化を図る。
【解決手段】高輝度、つまり、単一横モード、あるいは、準単一横モードのファイバレーザ６と、コリメータレンズ６及び収束レンズ８からなるレンズ系とを備える。コリメータレンズ７における熱レンズ効果による収束レンズ８の入射面での波面曲率の変化が、収束レンズ８内で発生する熱レンズ効果により補償され、両レンズ７，８の中で起こる熱レンズ効果に対して、収束レンズ８の出射面での波面曲率が変化せず、収束レンズ８は、この収束レンズ８の出射面でのビーム半径が、コリメータレンズ７の焦点距離の変化に依らずに一定となる位置に配置されている。 （もっと読む）

【課題】 光学系、特に照明システム内に備えられる光学配置を提供することであり、高発光パワー密度においても、光学系内にて存在する熱を効率的に分散させることである。
【解決手段】光学系、特に照明光学系内の光学配置であって、
少なくとも一つの光学素子（１０１，２０１，３５２，３７０）と、光学素子（１０１，２０１，３５２，３７０）内で生成された熱エネルギーを少なくとも部分的には光学系の外部環境に放出させる、少なくとも一つの放熱素子（１２０，１３０，２２０，２２０’、３５１，３６０，３８０）と、を備え、放熱素子（１２０，１３０，２２０，２２０’、３５１，３６０，３８０）は、光学素子（１０１，２０１，３５２，３７０）と直接接触しないように配置される。 （もっと読む）

基板平面（１４）内に配置した基板を処理するための光ビームを生成する光学システムであって、光ビームは、光ビームの伝播方向（Ｚ）に対して垂直な第１次元（Ｘ）内のビーム長（Ｌ）と第１次元（Ｘ）及び光伝播方向（Ｚ）に対して垂直な第２次元（Ｙ）内の光ビーム幅（Ｂ）とを有する、光学システムは、第１次元及び第２次元の少なくとも一方における光ビームを相互に重畳して基板平面（１４）に入射する複数の光路（２４ａ〜２４ｃ）に分割する少なくとも１つの混合光学構成体（１８）を備える。少なくとも１つのコヒーレンスに影響する光学構成体が、光ビームのビーム経路内に存在し、少なくとも１つの他の光路からの１つの光路の少なくとも１つの光路間隔に関する光のコヒーレンス度を少なくとも低減するよう光ビームに作用する。 （もっと読む）

【課題】 光学部品の点数を小さく抑えつつ、光源から射出されたほぼ平行光束状態の光を露光装置本体まで導いてほぼ平行光束状態で入射させる伝送光学系。
【解決手段】 光源の光出力口（１ａ）から射出されたほぼ平行光束状態の光を露光装置本体の光取入口（３）まで導いて該光取入口へほぼ平行光束状態で入射させる伝送光学系は、光の入射側から順に、第１軸線（２１ｂ）に関して回転対称な曲面の一部からなる第１反射面（２１ａ）を有する第１ミラー（２１）と、第２軸線（２２ｂ）に関して回転対称な曲面の一部からなる第２反射面（２２ａ）を有する第２ミラー（２２）とを備えている。第１軸線を含む平面と第１反射面との交線は円錐曲線であり、第２軸線を含む平面と第２反射面との交線は円錐曲線である。 （もっと読む）

【課題】ビーム動作軸と同軸にカメラを置くことで、画像処理による精密な位置制御と照射状況の認識から、適切なビーム制御、画像記録による品質管理など精度の高い加工と確認が出来る。
【解決手段】任意の照射範囲に対して平面鏡を弧上に取り付け、弧の中心からビームを配り、ワークに対する照射幅より少ない焦点距離で、ワーク面に水平分割落射を行う。各々の平面鏡の位置は各焦点距離が等しくなる位置で、中心からのビームをワークに対して垂直に反射する角度である。制御は、ビームと同軸にカメラの画像撮影軸を置き、その画像から対象の位置や種別情報を得てビームを照射し、その状況の画像から判断してビームの位置と出力操作を行う。 （もっと読む）

【課題】光入射面の位置を動かすことなく光出射面の位置を調節可能とする。
【解決手段】インテグレータ装置３０は、柱状プリズム２５とホルダ３１と保持枠３２とから構成される。柱状プリズム２５が挿入されたホルダ３１は、バネ５４によって光出射面３４側に付勢され、光入射面３３の中心を球心とする凸の部分球面状に形成された当接面４２が、当接面４２と同一形状で凹の球面に形成された保持枠３２の受け面６０に摺動自在に支持される。保持枠３２の光出射面３４側にはバネ付勢された押圧ピン４６，４７とイモネジ４８，４９がホルダ３１を挟むように設けられ、光出射面３４の位置調節を行う。ホルダ３１は、光入射面３３の中心を支点として光出射面３４側が揺動自在となり、光出射面３４の位置が調節されても光入射面３３の位置は変わらない。 （もっと読む）

【課題】 光学ガラス（完全に反射型のみの設計、または屈折原理および反射原理の両方に作用する反射屈折設計）から製造される中実のレフラキシコンと、中空のレフラキシコン（完全に反射のみに作用する）との両方、これらの種々の組み合わせに基づく新規な構造を提案する。
【解決手段】 ２つ以上のレフラキシコンを備え、これらのレフラキシコンのうちの１つまたは両方が中実の光透過性材料で形成され、あるいはこれらのレフラキシコンのいずれも中実の光透過性材料では形成され、対物レンズ、リレー、ビーム拡大器として使用および実装されるレフラキシコン装置であって、各レフラキシコンは、略円錐形の中心面と円錐台のような形の遠心面とを有し、これらの面が中心軸に合わせてこの中心軸を中心として対称となるように配置されたことを特徴とする。また、レフラキシコン装置において、前記中心軸は、位置が合わせられ、レフラキシコン装置の光学軸を構成し、前記各面のいずれかならびにレフラキシコン装置の入射面および反射面をさらに曲面とすることにより、用途によって異なる求められる光学的効果が得られるようにする。さらに、中心反射体を構成する円錐面は、それぞれあるいはいずれも、凸面または凹面であり、好ましい実施形態としては、構成の軽減を容易にするために２つの凹形中心反射体を用いる。 （もっと読む）

【課題】投影表示のための新規で向上したランプ照明システムであって、効率、サイ
ズおよび低価格性が向上したシステムを提供する。
【解決手段】光を作り出すための複数の光手段と、前記各光手段からの光を集め、集
束するための複数の集光手段と、前記集光手段からの集められた光をまとめ、集めら
れた光を単一の出力にまとめるためのまとめ手段とを含み、各前記集光手段は、再帰
反射体及び各前記光手段からの光を集光するデュアル放物面反射体（ＤＰＲ）を有す
る。 （もっと読む）