【課題】簡単な構成とすることができ、しかも光ファイバへの導光の効率を向上させることができるレーザビーム装置を得る。
【解決手段】速軸方向コリメータ５は、長径及び短径を持つ発光部から照射されたレーザビームを速軸方向についてコリメートする。速軸方向コリメータ５の後段には分割用光学素子８が配置され、分割用光学素子８の後段にはシフト用光学素子９が配置されている。長径方向についてレーザビームの一部のみが第１の分割ビーム１１として分割用光学素子８内を進行し、残りのレーザビームが第２の分割ビーム１２として分割用光学素子８外を進行する。これにより、レーザビームが第１及び第２の分割ビームに分割される。シフト用光学素子９は、第１及び第２の分割ビームのいずれか一方の光路を変更することにより、第１及び第２の分割ビームの短径方向についての位置を互いに重なる位置とする。 （もっと読む）

【課題】サイドローブが、さらに低減された多重ビームを生成する。
【解決手段】多重ビーム生成手段９は、入射するレーザ平行光束に基づくレーザ光束を所定の収束角で光軸上に収束させることにより生成されるベッセルビームを、異なる収束角でそれぞれ生成するとともに、生成された収束角毎のベッセルビームを、それぞれのサイドローブが互いに打ち消し合うように重ね合わせることにより、多重ビームを生成する。ビーム制限手段８は、サイドローブの発生に寄与するレーザ平行光束又は多重ビームの通過を制限する。 （もっと読む）

【課題】伝送損失、偏光依存性を抑制することができ、出射レーザ光の強度分布の均一性を向上可能な小型で、高出力のレーザ光に対しても十分光学的、熱的に耐久性がある、安価で機械的に強固で耐久性に優れた導波路型ビームホモジナイザを提供する。
【解決手段】レーザ光が伝搬する断面矩形空間１２を有する中空金属部材１０の金属内壁面１３上に誘電体薄膜１４を形成した導波路型ビームホモジナイザ１において、誘電体薄膜１４の膜厚ｄを、誘電体薄膜１４に最も深い角度で入射するレーザ光のＳ偏光波における反射率とＰ偏光波における反射率の相加平均反射率が最も大きくなるときの膜厚ｄaと、この膜厚ｄaと最も近いところに存在するＳ偏光波における反射率とＰ偏光波における反射率とが等しくなるときの膜厚ｄbとの間にあるように設定した。 （もっと読む）

【課題】複数の異なる波長のレーザー光束に対し、発散光束を略平行光に変換できるカップリングレンズの提供。
【解決手段】２以上の波長λ_ｉ（ｉ＝１，２，３，…）の異なるレーザー光源１を備える照射光学系２０における、該レーザー光源１から出射する光束をカップリングするカップリングレンズ２であって、少なくとも一方の面（例えば、出射面２ｂ）に回折構造２ｃを有し、レーザー光源側の第１面２ａおよび出射側の第２面２ｂの曲面は凸形状であって、各レーザー光源１から出射された各光束の光強度分布を、光束の有効範囲において略均一な強度分布に補正し、かつ、回折構造２ｃは、各光束の波長変動に伴う、焦点位置の変化をそれぞれ補正する。 （もっと読む）

【課題】簡易に製作でき、スペックルノイズや空間光強度分布を改善して画像表示に適した照明光を出射できる照明光学系および画像表示装置を得る。
【解決手段】複数の発光点から出射される発散性の光が重なりあって入射するようにレーザアレイ光源２から所定の間隔Ｌｘをあけて配置され、入射した光をアレイ面内において平行光として出射するコリメートレンズ４（アレイ方向コリメート光学素子）、および入射光をアレイ垂直面内において平行光に変換して出射するアレイ垂直方向コリメートレンズ５ｂと、レーザアレイ光源２から入射した光をアレイ垂直方向で分割し、該分割した各光束をアレイ垂直方向コリメートレンズ５ｂに重畳するように照射する１次元多段レンズ５ａ（１次元アレイ垂直方向ビーム整形光学素子）と、を有するアレイ垂直方向コリメート光学素子５を備える。 （もっと読む）

【課題】
瞳面における露光光ＥＬの強度分布を調整できる露光装置等を提供する。
【解決手段】
二次元面内に配置された複数の反射面を有する反射光学部材１６は、複数の反射面の間の少なくとも一部に設けられ、反射面に入射する入射光又は反射面によって反射される反射光の少なくとも一方の光量を調整する調整部材２２を備えている。
調整部材２２は、複数の反射面の間から出し入れ可能であり、反射面からの調整部材２２の突出量を個別に調整することで、照明光学系または投影光学系の瞳面、またはこの瞳面と共役な位置における露光光ＥＬの強度分布を補正することができる。 （もっと読む）

【課題】ポインティングスタビリティおよびビーム径の変動に対応可能なレーザビーム照射装置を提供する。
【解決手段】レーザビーム照射装置１は、レーザ発振器１１と、ビームエキスパンダ１２と、ビームエキスパンダ１２から出射したレーザビームの強度分布を変換する強度変換素子１４と、強度変換素子１４から出射したレーザビームを複数本のレーザビームに分岐するＤＯＥ１５と、複数本のレーザビームを被照射物９１の被照射面に集光する集光レンズ１７と、集光レンズ１７から出射した複数本のレーザビームのうち少なくとも１本のレーザビームのビームプロファイルを測定するビームプロファイラ１８と、基準となるビームプロファイルを格納した記憶装置１９と、測定されたビームプロファイルが基準となるビームプロファイルとなるように強度変換素子１４の位置とビームエキスパンダ１２によるビーム径の設定とを制御する制御装置２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】レーザー光を用いた走査型の画像表示装置において、従来のガウスビームを用いて画像表示を行う際に生じる不具合を解消し、鮮明で高解像度感が得られる画像表示を可能として、高品質な画像表示が可能な画像表示装置を提供することを目的とする。
【解決手段】高次のエルミートガウスビームＬを射出する光源部１０と、光源部から射出されたエルミートガウスビームＬを被投射面５０上で２次元方向に走査して画像を描画する走査光学系２０と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光源からの熱やライトトンネルに対する荷重に起因する光学特性の変動を回避し、組立工数を減じて作業性に優れたライトトンネルの保持機構及び画像投射装置を提供する。
【解決手段】光源３１から射出された光を内部の反射面により導光して射出するライトトンネル５２の保持機構であって、ライトトンネル５２の隣り合う２つの面の各々に接触して接着剤で固定するための２つの基準面３５ａ，３５ｂを有するライトトンネルホルダー３３と、ライトトンネル５２をライトトンネルホルダー３３に接着する際にライトトンネル５２と基準面３５ａ，３５ｂとが密着するようにライトトンネル５２に対して付勢力を付加するとともに、接着後にライトトンネル５２に対する付勢力を解除する第１付勢部とを備える。 （もっと読む）

光ビームを偏向させるビーム操作デバイス(300)が供される。当該ビーム操作デバイスは、第1偏向部(310)、回転部(320)、及び第2偏向部(330)を有する。当該ビーム操作デバイスの光学軸(314,334)に対して平行な偏光(303’)及び垂直な偏光(302’)を有する成分(303,302)を有する入射光ビームについて、前記平行な偏光を有する成分(303)は、前記第1偏向部(310)を通過するときに、第1角度(304)で偏向される。前記回転部(320)を通過するとき、前記光ビームの偏光は、90°(303’’,302’’)に回転される。前記第2偏向部(330)を通過するとき、前記垂直な偏光を有する成分(302)は、第2角度(305)で偏向される。
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