【課題】耐熱性、感度及び解像度に優れ、オゾン水によるレジスト剥離速度が速く、アルカリ水溶液で現像することができ、さらに現像の際にレジストの溶け残り物であるスカムが生じ難いポジ型フォトレジストを提供する。
【解決手段】本発明は、易オゾン分解性かつアルカリ可溶性のノボラック樹脂（Ａ）と、キノンジアジド基含有感光剤（Ｂ）と、難オゾン分解性かつアルカリ可溶性の樹脂又はオリゴマー（Ｃ）と、を含むポジ型フォトレジストを提供する。 （もっと読む）

【課題】耐熱性、感度及び解像度に優れ、オゾン水に対する分解性に優れ、アルカリ水溶液で現像することができ、さらに現像の際にレジストの溶け残り物であるスカムが生じ難いポジ型フォトレジストを提供する。
【解決手段】本発明は、アルカリ可溶性のノボラック樹脂（Ａ）と、キノンジアジド基含有感光剤（Ｂ）と、を含むポジ型フォトレジストであって、前記キノンジアジド基含有感光剤（Ｂ）中の水酸基が１分子当たり平均２未満である、ポジ型フォトレジストを提供する。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、液晶表示装置回路、半導体集積回路などの微細回路の製造に使用されるフォトレジスト組成物に関する。本発明によるフォトレジスト組成物は、流動性向上剤及び感度増進剤を使用することによって、強い減圧乾燥によるパターンの変形を防止し、パターン均一度を向上させて、感光速度、残膜率、現像コントラスト、解像度、高分子樹脂の溶解性、基板との接着力、及び回路線幅均一度が同時に優れている長所がある。
【解決手段】
本発明によるフォトレジスト組成物は、（ａ）ノボラック樹脂、（ｂ）ジアジド系感光性化合物、（ｃ）流動性向上剤、（ｄ）感度増進剤、及び（ｅ）有機溶媒を含むフォトレジスト組成物である。 （もっと読む）

【課題】 高耐溶剤性、高耐水性、高耐酸性、高耐アルカリ性、高耐熱性、高透明性、下地との密着性等に優れ、アルカリ水溶液で現像することにより得られるパターン状透明膜を形成できるポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】 本発明は、一般式（I）


で表されるモノマー（Ａ）と他のラジカル重合性モノマー（Ｂ）を共重合して得られるアルカリ可溶性重合体および１，２−キノンジアジド化合物を含有するポジ型感光性樹脂組成物を提供する。
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【課題】感度、解像度にすぐれるポジ型感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】下記一般式（１）で表される繰り返し単位を有するヒドロキシポリアミド１００質量部とウレタン化合物０．０１〜５０質量部と光酸発生剤１〜５０質量部を含むポジ型感光性樹脂組成物。
【化１】
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【課題】 高耐溶剤性、高耐水性、高耐酸性、高耐アルカリ性、高耐熱性、高透明性、下地との密着性等に優れ、アルカリ水溶液で現像することにより得られるパターン状透明膜を形成できるポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】 本発明はオキセタニルを有するラジカル重合性モノマー（Ａ）、エポキシを有するラジカル重合性モノマー（Ｂ）および水酸基を有するラジカル重合性モノマー（Ｃ）を共重合して得られるアルカリ可溶性重合体、並びに、１，２−キノンジアジド化合物を含有するポジ型感光性樹脂組成物を提供する。 （もっと読む）

【課題】 感光性樹脂組成物の感光剤成分として有用である新規なシルセスキオキサン骨格を有するキノンジアジドスルホン酸エステル誘導体を提供し、またその前駆体のフェノール誘導体を該組成物における添加物として提供する。
【解決手段】 ４〜１２個のケイ素と、それぞれのケイ素に結合している酸素及び一価のＲとによって構成される基本構造を含み、端部に前記酸素を有していてもよく、端部の前記酸素にはＲが結合していてもよいし、また端部の二つの前記酸素に、二つのＲが結合している一つのケイ素が結合していてもよいシルセスキオキサン誘導体のＲの少なくとも一つに、特定のキノンジアジドスルホン酸系の基か又は水酸基を含有する特定の基を導入して、ポジ型感光性組成物における感光性化合物又は添加用化合物とする。 （もっと読む）

【課題】現像後の平坦度、感度、解像度、耐熱性、透明性などの性能が優れているだけでなく、特に低誘電率有機絶縁膜を実現可能にすることによって消費電力を低くすることができ、クロストークを減らすことができて、多様なディスプレイ工程での有機絶縁膜に適した感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】シルセスキオキサン多面体オリゴマー含有不飽和化合物；ｉｉ）不飽和カルボン酸、不飽和カルボン酸無水物又はこれらの混合物；ｉｉｉ）エポキシ基含有不飽和化合物；及びｉｖ）オレフィン系不飽和化合物を共重合させたアクリル系共重合体；ｂ）１，２−キノンジアジド化合物；及びｃ）溶媒を含む感光性樹脂組成物である。 （もっと読む）

【課題】耐熱性を有するレリーフ構造体を製造可能であり、現像後の面内均一性に優れ、さらには熱硬化後の面内均一性に優れ、スカムが低減され、密着性にも優れた感光性樹脂組成物、及び該組成物を用いた半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】末端にベンゼン環を有するポリアミド樹脂及びフェノール化合物のキノンジアジドスルフォン酸エステル感光剤を含有する感光性樹脂組成物及び該組成物を用いた半導体装置の製造方法。 （もっと読む）

【課題】
本発明のポジ型感光性樹脂組成物は、膜減りが少なく、パターン形状の崩れがなく、更に露光部の感光性樹脂組成物の残り（スカム）がない特性を有する高感度で高解像度、かつ硬化膜物性に優れるものである。
【解決手段】
ポリアミドイミド樹脂（Ａ）、光により酸を発生する化合物（Ｂ）、フェノール性水酸基を有する化合物（Ｃ）及び、熱により（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）と反応する架橋剤（Ｄ）を含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。 （もっと読む）