【課題】簡易に製造できる構成とする。
【解決手段】カソード基板１に多数本のストライプ状の溝を形成し、この溝内に、カソードライン５、抵抗層４、および、エミッタ層３からなるエミッタライン２を形成する。エミッタライン２は平面状とされるとされると共に、ストライプ状の溝内にエミッタライン２が形成されるため、その製造を容易に行える。 （もっと読む）

【課題】 表面に尖った先端形状部を有するエミッタ電極と、その上に絶縁膜を介してゲート電極を有する電界放出型冷電極の真空マイクロデバイスでは、エミッタ電極の尖った先端形状部の下部に存在するボイドの内部に閉じこめられた空気層による破壊等が生じる。
【解決手段】 エミッタ電極１１が接着される構造基板１０にくぼみ１７を設けることによって個々のボイドに空気層が閉じこめられないようにする。また、ゲート電極１３の厚さの増大により、エミッタ電極１１、絶縁膜１２、ゲート電極１３の三層構造体を取り扱うことによって製造工程の途中のデバイスの機械強度が増加される。 （もっと読む）

【目的】 所定面内で、均一かつ安定した電子放出が可能であり、また、製造プロセスが簡便なＭＩＭ／ＭＩＳ電子源およびその製造方法を提供する。
【構成】 ５００ｔｏｒｒの第１のチャンバ内にヘリウムと酸素を導入し、アルミニウムを蒸発させ、表面が酸化膜（Ａｌ_２Ｏ_３）に覆われた直径２０ｎｍ程度の超微粒子Ａｌを生成する。この超微粒子を第２のチャンバ内に導入し、ノズルから吹き出させて、下部電極層５の上面に吹き付け、微粒子層６を形成する。この微粒子層６の上面に厚み１０ｎｍ程度の金の薄膜７を形成する。点ＰＱ間に電圧Ｖ１を印加すると、Ａｌ→Ａｌ_２Ｏ_３→ＡｕというＭＩＭ接合においてトンネル電流が流れ、薄膜７の上面から対向電極８に向けて電子放出が起こる。 （もっと読む）

【目的】球面状の電子放出面を持つ冷陰極を実現し、電流密度が高く、リップルが小さい電子ビームを形成し、寿命の長い電子銃、ならびに高性能なマイクロ波管を実現する。
【構成】球面状の基板１の上に、仕事関数の小さい材料で構成した電子放出領域あるいは、球面２の曲率半径中心あるいはその付近を通る集束イオンビーム（ＦＩＢ）加工・形成した微小冷陰極を備えた電子放出領域を形成して冷陰極６を構成する。この冷陰極と、陰極電位のビーム形成電極２１あるいは陰極電位を基準として正または負電位のビーム形成電極と、陽極２２とで電子銃を構成し、この電子銃を用いてマイクロ波管をも構成する。 （もっと読む）

【目的】 本発明は、真空中或いは固体・固体間の量子力学的なトンネリング現象に利用される針状電極とその製造方法に関し、安定で大面積の素子にも適用可能な電界放射等に用いる針状電極を提供する。
【構成】 基板上の金属酸化物導電体の上に少なくともシリコン針状構造を有し、そのシリコン針状構造の先端部に金属が被覆されてなる構造の針状電極。 （もっと読む）

【目的】 低コストで低抵抗でかつ高精細な電子源基板の製造方法及び該製造方法を用いた画像形成装置の製造方法を提供する。
【構成】 素子電極材料を素子電極形成位置と配線形成位置に配置する工程と素子電極形成位置にメッキマスクを配置する工程と該配線形成位置に位置された素子電極材料上にメッキ法により導電材料を形成する工程と該メッキマスクを除去する工程を有することを特徴とする電子源基板の製造方法及び該製造方法を用いた画像形成装置の製造方法。 （もっと読む）

【目的】電界放出型電子放出素子の電子放出特性の安定化を図る。
【構成】絶縁層を挟んで対向するエミッタとアノードとの間に電圧を印加してエミッタから電子を放出させるものにおいて、電子放出部以外の部分で対向するエミッタ・アノード間距離を十分にとり、異常放電やもれ電流を防止する。絶縁層上の電極の外周端近傍に溝を設け、溝内に例えば低溶融点ガラスや、酸化膜を介して多結晶シリコンを充填する方法もある。また、その溝で、素子を分離することもできる。 （もっと読む）

【目的】 製造上のばらつきを有するエミッタで構成されたエミッタアレイにおいて、各エミッタの動作状態を均一化し、エミッタアレイ全体での放出電流量を増大させるとともに、エミッタの耐久性を向上させる。
【構成】 絶縁基板２上に、矩形のエミッタ部３が平面的に連続するように形成されたエミッタ電極１と、該エミッタ電極に比べ深さ方向に段差５を設けた位置に直線的に形成されたゲート電極４がそれぞれ配置されている。エミッタ部３は、熱膨張率の異なる２層の薄膜６，７で構成されている。該エミッタ部３の温度が上昇すると、変形してエミッタ先端部３ａとゲート電極４との距離が増加し、エミッタ部３からの電子放出が減少し、過電流によるエミッタ部の破壊が防止される。 （もっと読む）

【目的】 駆動時における電気的耐性に優れ、安定性及び電子放出効率に優れる電子放出素子、電子源及び画像形成装置を提供する。
【構成】 基体上に形成された対向する一対の素子電極５，６と電子放出部３を有する薄膜４からなる表面伝導型電子放出素子において、該電子放出部３を有する薄膜４が導電性微粒子とグラファイトまたは／およびアモルファスカーボンを含む電子放出素子。該電子放出素子を基体上に複数個配置してなる電子源、その電子源を使用した画像形成装置。 （もっと読む）