【課題】真空度の悪い雰囲気および／または活性ガスの雰囲気においても、荷電粒子の平均自由行程を正確かつ簡便に測定可能な平均自由行程を測定する装置、真空計、および平均自由行程を測定する方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る装置1007は、雰囲気ガスから真空的に隔離されたフィラメント111と、真空紫外光330を透過させるＵＶ透明型真空隔壁700と、雰囲気ガス内に設置され真空紫外光330を受けて光電子340を放出する光/電子変換電極610とを有した真空紫外光源600を備える。また、装置1007は、真空紫外光源600からの飛行距離が０以上の距離である荷電粒子の第１の荷電粒子数を検出する第１のコレクタと、上記距離よりも長い距離の荷電粒子の第２の荷電粒子数を検出する第２のコレクタとを備える。上記装置1007の制御部1000は、第１、第２の荷電粒子数の比率から平均自由行程を算出する。 （もっと読む）

【課題】検査装置内部の汚染に起因した、形状観察、寸法精度の観察分解能の低下を防止及び観察対象の汚染を抑制する。
【解決手段】検査装置内部の汚染をモニターする手段として、固体表面に汚染成分を吸着し、吸着した汚染成分を加熱ガス化して気体分析装置により検出する。
モニターした汚染量に応じて、検査装置内の清浄化を実施する。検査装置清浄化は、試料観察室に酸素の活性種を生成する手段を設け、観察室内部に残留している汚染を低減し、汚染影響による観察分解能の低下が少ない形状観察や寸法測定を可能とするとともに、観察対象の試料の汚染を防止する。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、減圧雰囲気のガス種の分圧比とともに全圧の計測を
可能とし、各ガス種分圧の正確な計測が可能なガス分析装置を提供することにあ
る。
【解決手段】 円筒状のグリッド及びその外側に配置されたフィラメントからな
る、ガスをイオン化するイオン源と、グリッドの一端部に隣接し、その中心軸と
同一軸上に設けられたイオンを引き出すための引出し電極と、引出されたイオン
を分別する質量分析器と、質量分別されたイオンを検出する分圧用コレクタと、
中心軸上に配置された全圧用コレクタと、からなり、グリッド内に電界方向の異
なる二つの領域を同時に形成し、又は、電界方向が異なる二つの状態を交互に形
成して、全圧用コレクタ及び分圧用コレクタに流れる電流により、混合ガスの全
圧及び分圧比を計測可能な構成としたことを特徴とする。 （もっと読む）

分圧分析器用のイオン源装置、および、イオン源の内側で中空陰極放電（ＨＣＤ）を誘導することに基づいた、その原位置洗浄方法。ＨＣＤは、陽極電極、レンズフォーカスプレートおよび少なくとも１つの他のレンズもしくは他の形態のプレート、例えば全圧収集機プレート、を含む、イオン源の１つ以上の部品に高い負電圧を加えることにより、形成される。
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【課題】電離真空計の稼働寿命をガス処理環境中で延ばすためのマルチ熱陰極電離真空計を操作する方法および装置を提供する。
【解決手段】
例示的実施形態において、電子を放出するには不十分であるがその表面に付着する物質の量を低減するのに十分な温度に、またはプロセスガスと少なくとも１つの予備陰極（１１５）を形成する物質との化学的相互作用を低減するのに最適な温度に予備陰極（１１５）を加熱することによって、この予備陰極（１１５）の寿命が延長される。予備陰極（１１５）は定常的に加熱されるか周期的に加熱されることができる。他の実施形態では、処理圧力が所定の圧力閾値を超えた後、複数の陰極（１１０，１１５）が非放出温度に加熱されるか、複数の陰極（１１０，１１５）が低減された放出温度に加熱されるか、または放出陰極（１１０）が電子放出電流を低減させる温度に加熱される。 （もっと読む）

【課題】発生する雑音電流を極めて小さくすることが可能であり、超高真空領域から極高真空領域に亘る全圧の測定を簡単且つ高精度に行うことができる電離真空計を提供する。
【解決手段】電子銃部は、筒状格子型電極Ｌ１の一端側に設けられ、加速させた電子を筒状格子型電極Ｌ１内に入射する。電子収集電極Ｌ３は、筒状格子型電極Ｌ１の他端側に設けられ、筒状格子型電極Ｌ１内を通過してその他端側から出射した電子を収集する。イオン収集電極Ｌ４は、筒状格子型電極Ｌ１の一端側に設けられ、Ｌ１内を飛行する電子によって発生したイオンを収集する。これにより、ほとんど全部の電子を電子収集電極Ｌ３に収集することが可能となり、従来の電離真空計において主要な雑音電流であったＸ線光電子電流や電子衝撃脱離イオン電流などの発生を避けることができる。 （もっと読む）

【課題】 高精度の圧力測定を行い、且つ高精度のガス分析も同時に行える四重極質量分析計を提供すること。また、１台の真空装置に取り付ける圧力計測を四重極質量分析計だけにして、電離真空計を廃止することのできる手段を提供すること。
【解決手段】 本発明は、イオン電流強度から真空装置（９）内のガス種類別の分圧強度を測定する四重極質量分析計（Q）において、グリッド電極（２）とイオン集束電極（４）とで形成する画定空間（Ａ）内に、イオン密度を探査する全圧測定電極（１）を設けた全圧測定電極付き四重極質量分析計である。また、本発明は、イオン電流強度から該真空装置（９）内のガス種類別の分圧強度を測定する四重極質量分析計（Q）だけが取り付けられ、該四重極質量分析計以外の電離真空計を持たない真空装置である。 （もっと読む）

電離真空計において、平行化された電子ビームが計器構造のグリッド表面に当たるときに出射されるＸ線の影響を、羽板付ビーム止めにより低減した。この羽板付ビーム止めはＸ線を持たない影領域を形成し、これによりコレクタプレートに当たるＸ線の量を最小にし、残留電流のＸ線作用部分を減少させる。
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電子源を気体分子から隔離している電離真空計は、電子を発生する電子源と、電子と気体分子の衝突により生成されるイオンを捕集する捕集電極と、電子源を気体分子から隔離する電子窓とを含む。電離真空計は陽極空間を形成し、および陽極領域内に電子を保持する陽極を有する。電離真空計は複数の電子源および／または捕集電極を有する。捕集電極は陽極空間内または陽極空間の外側に置く。電離真空計は質量−電荷比に基づいてイオンを分離するマスフィルタを有することができる。電離真空計は、圧力を測定するベアード−アルパート型または気体の種類を決定する残留ガス分析計である。 （もっと読む）