【課題】金属ベースの温度を所定温度に維持可能な紫外線ランプ装置を提供する。
【解決手段】紫外線ランプ装置は、紫外線ランプ１０の端部１２を板状の金属ベース１３に載置し、この金属ベース１３を冷却機構２０により冷却する紫外線ランプ装置であって、冷却機構２０は、内部に冷却液の流路２４が設けられ、耐食性を有する冷却体２１と、冷却体２１よりも熱伝導性が高く、金属ベース１３と冷却体２１との間に配置される伝熱体２２とを備え、かつ流路２４は、金属ベース１３と伝熱体２２との接触面Ａとすべて略平行に設ける構成とする。 （もっと読む）

【課題】それぞれの光照射源に略均一に冷却風を送風可能な光照射装置を提供する。
【解決手段】光照射装置は、内部に細長い空間２１を備える長尺の給気側ボックス２と、出風口４１を備え、出風口４１から空間２１に冷却媒体を供給可能なように、給気側ボックス２に接続された給気ダクト４と、空間２１の長手方向に沿うように配置されたＵＶ照射モジュール５１〜５７（光照射源）を具備している。さらに、給気側ボックス２１は、空間２１の長手方向に沿うように設けられた分岐ダクト６１〜６７と、分岐ダクト６１における空間２１の高さＨ１を、分岐ダクト６２における空間２１の高さＨ２よりも低くするように設けられた傾斜面２３をさらに備えているとともに、給気ダクト４の出風口４１は、傾斜面２３に向かって冷却媒体を送風するように、空間２１の長手方向の端部に配置されている。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、上記の問題点に鑑み、蛍光体や反射膜を内部に備えたエキシマランプにおいて、エキシマランプが冷却される状態においてもゲッターの吸着性能を高めることのできる光照射装置を提供すること。
【解決手段】 内面に蛍光物質が設けられた放電容器の外面に一対の電極を配置した長尺状のエキシマランプと、該エキシマランプを内部に挿通した状態で設けられた光透過性材料よりなる外管と、該エキシマランプの一方の端部から他方の端部に向けて冷却風を送風させる冷却装置と、よりなる光照射装置において、該エキシマランプは、放電容器の内部であって他方の端部にゲッターが設けられたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 波長３２０〜３５０ｎｍの光照射が必要なプロセスに好適で、余分なフィルタ部材を必要とせずに紫外線照射可能なメタルハライドランプを提供する。
【解決手段】 ３２０〜３５０ｎｍの波長域の紫外線を照射するメタルハライドランプであって、発光管内に希ガスとハロゲン化インジウムとが封入され、
該発光管は、チタン、セリウム、スズ、及びバナジウムの酸化物が少なくとも１種以上添加された石英ガラス製部材から構成され、前記ランプ点灯時の光透過率が、波長３００ｎｍ以下で１０％未満で、波長３２５ｎｍで２０％以上３０％以下、波長３５０ｎｍで５０％以上７０％以下、波長４００ｎｍ以上で９０％以上であり、かつ波長３２０〜３７０ｎｍでは波長が長波長側へ向かうにつれて光透過率が単調に増加する分光透過率特性を有し、前記ハロゲン化インジウムの封入密度は０．０５〜０．２ｍｇ／ｃｍ^３である。 （もっと読む）

【課題】 メタルハライドランプを冷却風の通風路を備えた光照射装置に使用した場合にも、ランプから放射された光を効率よくワークに向けて放射することができると共に、ランプの過熱を防止できて、反射膜の剥れ、更には黒化を抑制して高い照度維持率を実現することができるメタルハライドランプ及び光照射装置を提供すること。
【解決手段】 ロングアーク型メタルハライドランプにおいて、発光管の外表面上に、その全長に亘って略一定幅に形成された紫外光に対して反射性を備えた反射膜を有し、反射膜はシリカ粒子を主成分として構成されている。またタルハライドランプと反射ミラーを備えた光照射装置において、反射ミラーは冷却風用の開口が形成されてなり、メタルハライドランプは、発光管の外表面上に反射ミラーの開口に対向した領域に紫外光に対して反射性を備えた反射膜を有し、該反射膜はシリカ粒子を主成分として構成されている。 （もっと読む）

【課題】一対の電極が対向配置された発光部と、当該発光部の両端に設けられた封止部とからなる発光管を備え、前記発光部と封止部の間には縮径部が設けられ、少なくとも該縮径部を覆う円筒状ベースを有するロングアーク型メタルハライドランプにおいて、封入金属が発光管の縮径部や封止部近傍に侵入して凝固・凝縮し、再蒸発しなくなることのないような構造を提供することにある。
【解決手段】前記縮径部が、前記円筒状ベースと同心状の円筒状部を有し、縮径部からの輻射光がベースによって反射されて、再び縮径部に戻るようにしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ロングアーク型メタルハライドランプと、このメタルハライドランプを取り囲むとともに頂部開口を有する樋状の反射ミラーとを備え、この反射ミラーの前面開口より前記頂部開口に向けて冷却風が流れる光照射装置において、待機点灯時にメタルハライドランプの発光管の、特に光出射側が過冷却されて封入金属が凝固してしまうことを防止し、定常点灯時に照度を垂直的に立ち上がるようにした構造を提供することである。
【解決手段】前記メタルハライドランプの発光管の外表面であって、前記反射ミラーの前面開口側には軸方向に伸びる帯状の保温膜が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】夫々エキシマ発光を行う複数の放電管で構成する放電ランプにおいて、単純な構造で放電効率の高効率化及び放射量の増加が可能となると共に、簡素化された製造工程で製造コストを低減することが可能な放電ランプを実現することにある。
【解決手段】複数のエキシマ放電管を、柱状の第一電極の周りに該第一電極に面接触した状態で且つ第一電極に平行に並設し、複数のエキシマ放電管を一括して環状に包み込んで該複数のエキシマ放電管の夫々と面接触するように網状、或いはメッシュ状の第二電極を設けた構成とした。 （もっと読む）

【課題】
紫外線発光素子の冷却を効率よく行なうことにより、紫外線発光素子の発光効率を比較的高く、紫外線発光素子の寿命が比較的長く、小型化された光照射装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明の光照射モジュールによれば、光照射デバイスと、前記光照射デバイスに冷却に用いる冷媒を流すための冷却配管と、前記光照射デバイス、前記冷却配管を収容する筐体とを備えており、前記筐体は、前記光照射デバイスと前記第１の冷却配管を収容した第１の空間と、前記第２の冷却配管を収容した第２の空間とを有し、前記第１の空間と前記第２の空間とが隔壁によって仕切られているため、光照射デバイスを比較的効率的に冷却することができる。その結果、光照射デバイスの照度が比較的高く、照度ばらつきが比較的少ない光照射モジュールが実現される。 （もっと読む）

【課題】放電管の外周に外管が被嵌された高圧放電ランプと、該高圧放電ランプの外管の周囲を覆うように設けられた水冷管とを備え、該冷却管と高圧放電ランプの間に冷却水流路が形成された間接水冷型高圧放電ランプ装置において、水冷管や外管が放電管からの紫外線歪によって破損することがなく、冷却水が漏洩してしまうようなことのない構造を提供することにある。
【解決手段】前記高圧放電ランプを構成する放電管の表面粗さを、前記外管および前記水冷管の表面粗さよりも大きくしたことを特徴とする。 （もっと読む）