【課題】修正品位が高いパターン修正装置を提供する。
【解決手段】このパターン修正装置では、塗布針チャック４０の２本のフィンガ４１の間に挿入し、２本のフィンガ４１を閉じて２つの軟質材４３を介して塗布針２１の先端部を挟み込み、塗布針２１を上昇させることにより、塗布針２１の先端部の修正ペースト３１を軟質材４３によって拭き取る。したがって、修正ペースト３１の種類に関係なく、修正ペースト３１を完全に除去できる。 （もっと読む）

【課題】１０μｍ前後の細線で電極断線部などを修正することができ、欠陥部周辺の汚染が小さく、任意形状の修正パターンを安定して得ることが可能なパターン修正方法を提供する。
【解決手段】このパターン修正方法では、フィルム３の表面にレーザ光を照射して複数の直線状の溝３ｂからなる欠陥部２ａに応じた形状の凹部３ｃを形成するとともに各溝３ｂの底に貫通孔３ａを形成し、凹部３ｃの開口部を欠陥部２ａに所定の隙間を開けて対峙させ、凹部３ｃおよび貫通孔３ａを含む所定の範囲でフィルム３を基板１に押圧するとともに貫通孔３ａを介して欠陥部２ａに修正ペースト１０を塗布し、フィルム３の復元力でフィルム３を基板１から剥離させる。したがって、貫通孔３ａによって修正ペースト１０の液量を制限できるので、修正ペースト１０がフィルム３と基板１の間に侵入することを抑制できる。 （もっと読む）

【課題】 安全、かつ、簡単に高真空状態を解除することができるブラウン管を提供することを目的とする。
【解決手段】 画像を表示する前面パネル２と、この前面パネル２の後ろに形成されたコーン状のファンネル３と、このファンネル３の終端部に連接して形成され、内部に電子銃４１が納められたネック部４とを備え、内部１１を高真空状態に維持してなるブラウン管１において、ファンネル３は、その一部に外部に突出し、高真空状態を解除する際に切断される突起部５を設けている。 （もっと読む）

【課題】１０μｍ前後の細線で任意形状の欠陥を高品位で修正することが可能なパターン修正方法を提供する。
【解決手段】このパターン修正方法では、欠陥部２ａの形状に応じたコの字形状に配列された３つの直線状の孔３ａ１〜３ａ３をフィルム３に形成し、３つの孔３ａ１〜３ａ３を介して欠陥部２ａに修正ペースト１０を塗布し、３つの孔３ａ１〜３ａ３を接続したコの字形状の修正層１０Ａを形成する。したがって、修正層１０Ａの角部を膨らませることなく、欠陥部２ａを高品位で修正できる。 （もっと読む）

【課題】欠陥部の角部にも修正液を隙間無く充填することが可能なパターン修正装置を提供する。
【解決手段】このパターン修正装置は、リブ欠け欠陥部１３ａを含む範囲で基板１４を加熱する基板加熱部６と、支点３４を中心として揺動可能に設けられ、霧状の修正液２０を収束させて噴射し修正液２０を欠陥部１３ａに堆積させる堆積装置５と、修正液２０が欠陥部全体に堆積するように堆積装置５を揺動させる駆動部３５とを備える。したがって、塗布ノズル３０が基板１４に対して傾斜するので、欠陥部１３ａの角部１３ｂにも確実に修正液２０を噴射できる。 （もっと読む）

【課題】欠陥セルの不点灯化処理を確実に実行することができるインバス構造のプラズマディスプレイパネル及びその製造方法を提供する。
【解決手段】複数の電極対の各々を構成する第１及び第２電極各々は、ギャップを介して対向する放電電極と放電電極の一部に接続された本体電極とで構成され、第２電極においては、第１電極と比べてギャップに近い側の放電電極の部分において本体電極と接続されている。 （もっと読む）

【課題】エミッタ電極の先端面をエッチング加工することによりエミッタ電極の先端に極めて細い針状部を形成することができる電界放出型電子銃の製造方法を提供する。
【解決手段】電子ビームの出射のための複数分割エミッタ電極を備える電界放出型電子銃の製造方法であって、エミッタ電極（２１）の先端部２８に集束イオンビームＩを照射して先端部２８を除去加工することにより、先端部２８に互いに独立しかつ電子ビームの出射方向に伸長する複数の針状部３０を形成する。 （もっと読む）

【課題】インク塗布動作時における基板上での塗布針の位置ずれという問題の発生を抑制することが可能な液体材料塗布ユニットを提供する。
【解決手段】基板上に形成された微細パターンの欠陥部に液体材料を塗布する液体材料塗布ユニットであって、塗布機構とＺ軸駆動機構（モータ２１およびボールネジ２３）と接続機構（ボールネジ連結板２５、連結板２６）とを備える。塗布機構は、微細パターンの欠陥部に液体材料を塗布する。Ｚ軸駆動機構は、塗布機構を基板の表面に対して交差する方向であるＺ軸方向に移動させる。接続機構は、塗布機構のＺ軸稼動板２８とＺ軸駆動機構のボールネジ２３とを接続する。塗布機構のＺ軸稼動板２８は、接続機構と接続された連結部２９以外の部分において接続機構との間に空隙が形成された領域を含む。 （もっと読む）

【課題】油分を嫌う雰囲気においても使用可能な転がり軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】転がり軸受スピンドル１において、シール部２２は、通気路１２と排出路２３とを隔てる。シール用気体１９は、給気口１８から給気路１７を通ってシール部２２と排出路２３との少なくともいずれか一方に供給され、円板４と多孔質カーボン２０との隙間に非接触シールを形成するように、シール部２２にシール用気体１９が供給される。シール用気体１９の一部はシール部２２および排気路１５を通って排気口１６から排気され、一部は排出路２３を通って開口部１３から排気される。よって、モータ９を冷却するための冷却用気体１４は、通気路１２において転がり軸受７、８に接し油分を含むが、排気路１５を通って排気口１６から排気されるので、油分が開口部１３から外部へ排出される可能性を大幅に低減できる。 （もっと読む）

【課題】１０μｍ前後の細線で電極断線部などを修正することができ、かつ、欠陥部周辺の汚染が小さなパターン修正方法を提供する。
【解決手段】このパターン修正方法では、フィルム３にレーザ光を照射して欠陥部２ａに応じた形状の溝３ｂを形成するとともに溝３ｂの底に貫通孔３ｃを形成し、溝３ｂの開口部を欠陥部２ａに所定の隙間を開けて対峙させ、溝３ｂを含む所定の範囲でフィルム３を基板１に押圧するとともに貫通孔３ｃを介して欠陥部２ａに修正ペースト１０を塗布し、フィルム３の復元力でフィルム３を基板１から剥離させる。したがって、貫通孔３ｃで修正ペースト１０の量を絞り、かつフィルム３と基板１の接触時間を短縮化するので、フィルム３と基板１の隙間への修正ペースト１０の侵入を抑制できる。 （もっと読む）