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国際特許分類[H01L21/60]の内容

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【課題】従来構造のメタルボールグリッドアレイパッケージは、構造上の理由から多ピン化が難しかった。本発明は、容易に多ピン化を可能とすることを目的とする。
【解決手段】ポリイミド8の絶縁フィルムに両面に銅配線2を設けた3層銅箔ポリイミドフィルム配線基板17を形成し、この3層銅箔ポリイミドフィルム配線基板17にビア1を介して両面配線接続ができるようにして薄膜の配線パターンを設ける。また、従来のメタル基板に相当する基板は、外部電極の存在する位置に半田バンプ穴15を設けたメタル基板4を準備し、両者を接着した構造である。その後に半田バンプ穴15に半田ボール7を形成したものである。 (もっと読む)



【課題】 電解めっき法で形成されたバンプ接点でありながら、高さのばらつきがより抑制されたバンプ接点を有するプローブの製造方法とそれに用いられる回路基板を提供すること。
【解決手段】 プローブを製造するに際し、高さを減少させるべきバンプ接点2aが成長する貫通孔4aの近傍に、内部に導電性回路3を露出させたダミー貫通孔4cを1以上設けることによって、このダミー貫通孔内に接点材料を析出させ、貫通孔4a内への析出量を調節し、バンプ接点2aの成長を抑制する。 (もっと読む)



【課題】 基板上に付着させるハンダの量が微小であっても、その量のばらつきを防止することができると共に、ハンダによる半導体素子と基板の回路との間の接続不良を防止することができる半導体装置の製造方法及び製造装置を提供する。
【解決手段】ハンダシート6をダイ5上に載置した後、パンチピン3をハンダシート6に向けて下降させることにより、微小ハンダ粒を打ち抜き、この微小ハンダ粒をダイ5のパンチ穴5a内に配置されている押しピン4上に落下させる。その後、ハンダシート6をダイ5上から取り除き、パンチピン3とダイ5との間に基板7を配置する。そして、パンチ穴5aに配置されている押しピン4を基板7に向けて上昇させることにより、前記微小ハンダ粒を押しピン4で下方から押し上げ、この微小ハンダ粒を基板7の下面に圧接させて付着させる。 (もっと読む)



【課題】本発明は、半導体チップとパッケージ基台とをフリップチップ接続により接合してなるCSPおよびその製造方法において、チップと基台との隙間に樹脂を充填する工程を不要にでき、生産性を向上できるようにすることを最も主要な特徴とする。
【解決手段】たとえば、半導体チップ10の表面に硬化剤30aを塗布した後、その裏面を、フリップチップボンダのホルダ40によって保持させる。また、パッケージ基台20の表面には主剤30bを塗布し、ステージ上に固定する。そして、半導体チップ10とパッケージ基台20とを位置合わせした後、上記ホルダ40を降下させながら加圧することにより、両者をフェイス・ダウン接合する。その際に、硬化剤30aと主剤30bとを徐々に混合しながら、半導体チップ10とパッケージ基台20との間に接着層30を充填させるようになっている。 (もっと読む)


【課題】 電子機器、電気機器、通信機器および計測制御機器などの民生機器に用いられる半導体装置に関するものである。
【解決手段】 配線基板1の半導体ディバイス4がマウントされる面とこの面と対面する金属ボール3が配列形成される面を電気的に接続しているビアホールに接続導体2bを埋め込み、この接続導体2b直下に金属ボール3を形成する構成を有することにより、半導体装置の十分な放熱が図れると共に、金属ボール3の接合強度を強くでき、信頼性の優れた半導体装置が提供できる。 (もっと読む)



【課題】本発明はリードレス表面実装型でかつ樹脂封止型の半導体装置及びその製造方法、及びこの半導体装置を製造するために用いるリードフレーム及びその製造方法に関し、実装面積が小さく、コストが低く、かつ小型化を図ることを課題とする。
【解決手段】半導体素子11と、この半導体素子11を封止する樹脂パッケージ12と、この樹脂パッケージ12の実装側面16に突出形成された樹脂突起178と、この樹脂突起17に配設された金属膜13と、前記半導体素子11上の電極パッド14と金属膜13とを電気的に接続するワイヤ18とを具備した構成とする。 (もっと読む)


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