【課題】保持した電子部品を容易に取り外すことができ、しかも、全体の大きな変形により電子部品の破損や脱落を抑制できる電子部品保持具を提供する。
【解決手段】枠体１と、この枠体１内に遊嵌されて薄化された半導体ウェーハ４を着脱自在に保持する保持板６と、これら枠体１と保持板６とを連結する緩衝連結層８とを備え、枠体１、保持板６、及び緩衝連結層８に可撓性をそれぞれ付与する。保持板６の表面には、半導体ウェーハ４用の粘着層７を積層して粘着する。作業や搬送の際、振動が生じて枠体１に作用しても、緩衝連結層８が振動を吸収して発生加速度を低くし、保持板６に振動が伝達されるのを抑制防止するので、枠体１と保持板６とが共に大きく変形することがない。したがって、振動等に伴い、半導体ウェーハ４が破損したり、保持板６から脱落するのを有効に防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】処理装置と基板収容部との間での基板の搬送の時間を短縮し、基板処理システムのスループットを向上させる。
【解決手段】処理装置２２に対して基板Ｗの搬送行う基板搬送装置２４は、処理装置２２に搬入される複数の基板Ｗを鉛直方向に多段に収容する基板収容部５０と、処理装置２２から搬出される複数の基板Ｗａを鉛直方向に多段に収容する基板収容部５１と、基板収容部５０から処理装置２２に基板Ｗを搬送する基板保持部５６と、処理装置２２から基板収容部５１に基板を搬送する基板保持部５７を有している。基板収容部内５０は基板Ｗと基板保持部５６とを相対的に上下方向に移動させる昇降機構５４を備え、基板収容部内５１は基板Ｗａと基板保持部５７とを相対的に上下方向に移動させる昇降機構５５を備えている。 （もっと読む）

【課題】基板を縦に収納する基板収納容器の基板収納状態に関し、測定や検討を容易にする基板収納容器の検討用治具を提供する。
【解決手段】正面の開口した容器本体に半導体ウェーハをＶ溝を介して縦に収納する基板収納容器の半導体ウェーハの収納状態に関して検討する治具であり、台座１０と、この台座１０の支柱１２上部に回転可能に軸支される複数のアーム１３と、各アーム１３の先端部に設けられ、接離可能な第一、第二の対向片２１・２４の間に半導体ウェーハ用のＶ溝２３を区画する溝形成ブロック２０とを備える。市販されている汎用の測定器ではなく、専用の検討用治具の使用により、支持ブロックによる半導体ウェーハの支持位置、Ｖ溝の形状、角度、間隔等を正確、かつ迅速に測定して検討できるので、実用性に優れる新たな基板収納容器を早期に開発することができる。 （もっと読む）

【課題】振動や衝撃で保持片や保持溝が回転するのを抑制し、保持溝から基板が外れて磨耗、汚染、破損するおそれを排除できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】複数枚の半導体ウェーハ１を整列収納する容器本体と、この容器本体の開口した正面部を着脱自在に開閉する蓋体とを備え、この蓋体の半導体ウェーハ１に対向する対向内面に、複数枚の半導体ウェーハ１を保持する基板保持具３０を装着する。また、基板保持具３０を、蓋体の半導体ウェーハ１に対向する対向内面方向から半導体ウェーハ１に接近する第一、第二の保持片３４Ａ・３４Ｂと、この第一、第二の保持片３４Ａ・３４Ｂにそれぞれ形成されて半導体ウェーハ１の周縁部２前方を保持する保持溝３６とから構成し、各保持溝３６の半導体ウェーハ１の周縁部２前方との接触部３９を第一、第二の保持片３４Ａ・３４Ｂの肉厚Ｔの範囲内に位置させる。 （もっと読む）

【課題】容器本体の棚板から基板を適切に浮上させ、容器本体の開口した正面部に蓋体を圧入する際の圧力増加を抑制できる基板収納容器及び基板の取り出し方法を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハＷ収納用の容器本体と、容器本体の正面部に嵌合圧入される蓋体とを備え、容器本体の背面壁２内に、半導体ウェーハＷの周縁部後方を遊嵌支持する断面略Ｕ字形の支持溝３を形成し、容器本体の両側壁内に、半導体ウェーハＷの周縁部側方を支持するティースを形成し、容器本体の背面壁２に対向する蓋体の対向内面に、半導体ウェーハＷの周縁部前方を保持するフロントリテーナを装着する。支持溝３を、蓋体の嵌合圧入時に半導体ウェーハＷのティースからの浮上を案内する緩高配の第一の傾斜底面４と、蓋体の容器本体からの取り外し時に半導体ウェーハＷのティースへの滑落を案内する急高配の第二の傾斜底面５とから形成する。 （もっと読む）

【課題】基板の搬送を行うにあたり、基板にパーティクルが付着することを抑制し、基板の処理システムで製造される製品の歩留まりを向上させる。
【解決手段】基板搬送装置は、内部に基板を収容し、側面に基板の搬入出口９８が形成された基板収容容器９１と、基板収容容器内９１の基板Ｗの裏面に向けて所定のガスを噴射するガス噴射部９２と、ガス噴射部９２から供給される前記所定のガスの供給量を調整し記基板収容容器内９１の基板Ｗを所定の高さに制御する制御部９３と、を有している。 （もっと読む）

【課題】位置を確定する作業中に塵などがフォトマスクに付着すること及び運搬中にガタツキが発生することを抑制することができるフォトマスクケースを提供する。
【解決手段】
収納するフォトマスクの上下方向一方側に当接する当接部と、該フォトマスクの左右方向及び上下方向での位置を確定するための保持手段とを備えたケース本体と、該フォトマスクを厚み方向でケース本体側に押し付けて固定するための蓋体とを備え、保持手段が、フォトマスクの左右方向及び上下方向での位置の確定を行う左右方向保持手段８及び上下方向保持手段１１を備え、左右方向保持手段８の操作部８Ｃ及び左右方向保持手段１１の操作部１１Ｃをフォトマスクの左右両端から外れた外側の位置に配置した。 （もっと読む）

【課題】設置場所の省スペースを図るとともに、設備コストを低減し、好ましくは安全性を高めることができるようにした搬送物品の一時保管装置を提供する。
【解決手段】物品Ａの搬送手段２７が設けられた複数の棚２０を上下に有する保管部１０と、この保管部１０を昇降可能とし、かつ前記保管部１０のうちの選択された所定の棚２０を搬送経路１と同じ高さに位置させる昇降手段１５とを備えるとともに、前記搬送経路１の搬送手段５，６，７と前記所定の棚２０の搬送手段２７とを同期させることにより、前記搬送経路１から搬送される物品Ａを、前記所定の棚２０上に向けて搬入するか、または前記所定の棚２０上の物品を、前記搬送経路１上に向けて搬出しうるようにする。 （もっと読む）

【課題】基板の位置ずれを防いで円滑に取り出すことのできる基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ１を収納する容器本体１０を正面が開口したフロントオープンボックスに成形してその内部下方には半導体ウェーハ１を支持する下部支持ブロック１５を装着し、この下部支持ブロック１５の半導体ウェーハ１に対向する対向面には、半導体ウェーハの周縁部２下方を縦に支持する支持溝１６を複数形成する。また、容器本体１０の内部上方に、下部支持ブロック１５に対向する上部支持ブロック１７を装着してその半導体ウェーハ１に対向する対向面には半導体ウェーハ１の周縁部２上方を縦に支持する支持溝１８を複数形成するとともに、各支持溝１８の谷部１９を半導体ウェーハ１の周縁部２上方に半導体ウェーハ１移動用の空隙２２を介して対向させる。 （もっと読む）

【課題】大口径・極薄な半導体ウェハの半導体製造装置における自動搬送中の撓み、また真空吸着アームによる応力、あるいは半導体製造装置内で受け渡しの際に与えられる僅かな衝撃による割れ等の破損を防ぎ、半導体ウェハを取り外す際に破損することのない半導体ウェハケースを提供する。
【解決手段】半導体ウェハを粘着、かつ再剥離可能な粘着部を有し、半導体ウェハと同じ径で同じ切り欠きを有し、表面と裏面を繋ぐ貫通孔を持つ半導体ウェハケースに半導体ウェハを載置することで破損を防止する。 （もっと読む）