幅広い電子デバイスのアレイ及びシステムにおける電力消費を低減する一式の新たな構造及び方法が提供される。これらの構造及び方法のうちの一部は、大部分が既存のバルクＣＭＯＳのプロセスフロー及び製造技術を再利用することで実現され、半導体産業及びより広いエレクトロニクス産業がコスト及びリスクを伴って代替技術へ切り替わることを回避可能にする。これらの構造及び方法のうちの一部は、深空乏化チャネル（ＤＤＣ）設計に関係し、ＣＭＯＳベースのデバイスが従来のバルクＣＭＯＳと比較して低減されたσＶＴを有することと、チャネル領域にドーパントを有するＦＥＴの閾値電圧ＶＴがより一層正確に設定されることとを可能にする。ＤＤＣ設計はまた、従来のバルクＣＭＯＳトランジスタと比較して強いボディ効果を有することができ、それにより、ＤＤＣトランジスタにおける電力消費の有意義な動的制御が可能になる。
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【解決手段】
半導体デバイス（４００）を製造する方法は、半導体材質（４０２）の層及び半導体材質（４０２）の層の上の絶縁材質（４０４）の層を備える基板上に、ハードマスク材質（４０８）の層が絶縁材質（４０４）の層の上になるように、ハードマスク材質（４０８）の層を形成することによって開始する。多重露光フォトリソグラフィ手順が実行されて、ハードマスク材質（４０８）の層の上にフォトレジスト特徴部の結合されたパターンが作製され、またフォトレジスト特徴部の結合されたパターンを用いてハードマスク材質内に凹部線パターンが作製される。方法は、凹部線パターン（４２２）の指定された区画をフォトレジスト特徴部の遮断パターン（４４２）で覆い、そして溝（４５２）のパターンを絶縁材質（４０４）内に形成することによって継続し、ここで溝（４５２）のパターンは、フォトレジスト特徴部の遮断パターン（４４２）及びハードマスク材質（４０８）によって規定される。その後、電気伝導材質（４７２）が溝（４５２）内に堆積させられて、半導体デバイスのための導電線がもたらされる。 （もっと読む）

【課題】回路構成を複雑化することなくソフトエラー低減化を図ったメモリセル構造を有する半導体記憶装置を得る。
【解決手段】ＮＭＯＳトランジスタＮ１及びＰＭＯＳトランジスタＰ１によるインバータＩ１（出力部が記憶端子Ｎａ）とＮＭＯＳトランジスタＮ２及びＰＭＯＳトランジスタＰ２によるインバータＩ２（出力部が記憶端子Ｎｂ）とが交叉接続され、さらにＮＭＯＳトランジスタＮ３及びＮ４が記憶端子Ｎａ及びＮｂにそれぞれ接続される。記憶端子Ｎａに一方電極が接続されるＮＭＯＳトランジスタＮ１及びＮ３はＰウエル領域ＰＷ０及びＰＷ１に分けて形成されるともに、記憶端子Ｎｂに一方電極が接続されるＮＭＯＳトランジスタＮ２及びＮ４はＰウエル領域ＰＷ１及びＰＷ０に分けて形成される。Ｐウエル領域ＰＷ０及びＰＷ１はＮウエル領域ＮＷを挟んで各々反対側に形成される。 （もっと読む）

【課題】ＣＡＭにおけるメモリセル面積の縮小化を図る。
【解決手段】データ線（Ｄ０，Ｄ１）を第１記憶部（ＭＡ）及び第２記憶部（ＭＢ）とで共有し、また、第１比較データ線（ＣＤ０）に結合された第１トランジスタ（ＭＣ０）と、第１記憶部の記憶ノードに結合された第２トランジスタ（ＭＣＡ）とを直列接続して第１比較回路（１１）を形成し、第２比較データ線（ＣＤ１）に結合された第３トランジスタ（ＭＣ１）と、上記第２記憶部の記憶ノードに結合された第４トランジスタ（ＭＣＢ）とを直列接続して第２比較回路（１２）を形成することは、拡散層や配線層のレイアウトにおける対称性を向上させ、メモリセルをその中心を通る中心線に対して線対称となるレイアウトの容易化を達成する。それにより製造プロセス条件を最適化し易くなり、製造プロセスのばらつきが低減されてメモリセルの微細化が達成される。 （もっと読む）

【課題】ゲート電極とプラグとの接続信頼性を向上することができる技術を提供する。
【解決手段】本発明では、ＭＩＳＦＥＴのゲート電極Ｇ１を金属膜ＭＦ２とポリシリコン膜ＰＦ１の積層膜から構成するＭＩＰＳ電極を前提とする。そして、このＭＩＰＳ電極から構成されるゲート電極Ｇ１のゲート長に比べて、ゲートコンタクトホールＧＣＮＴ１の開口径を大きく形成する第１特徴点と、ゲート電極Ｇ１を構成する金属膜ＭＦ２の側面に凹部ＣＰ１を形成する第２特徴点により、さらなるゲート抵抗（寄生抵抗）の低減と、ゲート電極Ｇ１とゲートプラグＧＰＬＧ１との接続信頼性を向上することができる。 （もっと読む）

【課題】基板の内部であって、活性領域と素子分離領域との境界領域にコンタクトホールが形成された場合に、基板に流れるリーク電流を抑制できるようにする。
【解決手段】半導体基板１０の上部に形成された素子分離領域１０ａ及び活性領域１０ｂと、半導体基板１０の上に形成された絶縁膜１２と、絶縁膜１２に少なくとも活性領域１０ｂを露出するように形成され、且つ、素子分離領域１０ａにおける活性領域１０ｂとの境界領域を含む領域に形成されたコンタクトホール１３と、コンタクトホール１３における、活性領域１０ｂの上に位置する第１の底面の上に形成された第１のバリアメタル膜１４と、コンタクトホール１３における、最下端に位置する第２の底面と第１の底面とをつなぐ壁面上に形成された第２のバリアメタル膜１７とを備える。第２のバリアメタル膜１７は、第１のバリアメタル膜１４よりも比抵抗が高いことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ｎ型ＭＩＳトランジスタを有する半導体装置の特性ばらつきを低減させる。
【解決手段】シリコン基板１上のメモリ領域ＲＭに形成された、ｎ型導電型である第１トランジスタＱ１は、ホウ素を含むメモリ用チャネル領域ＣＨ１と、メモリ用ゲート電極ＧＥ１の両側壁側下に形成された、ｎ型のメモリ用エクステンション領域ＥＴ１および酸素を含む拡散防止領域ＰＡ１とを有している。ここで、拡散防止領域ＰＡ１はメモリ用エクステンション領域ＥＴ１を内包するようにして形成されている。また、拡散防止領域ＰＡ１は、少なくともその一部が、メモリ用エクステンション領域ＥＴ１とメモリ用チャネル領域ＣＨ１との間に配置されている。 （もっと読む）

【課題】複数のコアチップとインターフェースチップからなる半導体記憶装置において、Ｉ／Ｏ構成の切り替えを容易とする。
【解決手段】互いに異なるチップ識別情報ＬＩＤが割り当てられた複数のコアチップＣＣ０〜ＣＣ７と、コアチップＣＣ０〜ＣＣ７を制御するインターフェースチップＩＦとを備える。インターフェースチップＩＦは、外部との間で同時に入出力する単位外部データのビット数が可変であり、チップ識別情報ＬＩＤと比較するためのチップ選択情報ＳＥＬを、単位外部データのビット数に応じて可変とする。これにより、Ｉ／Ｏ構成の変更に伴うページ構成の切り替えを不要とすることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】ＳＲＡＭのメモリセルの面積を減少させる。
【解決手段】半導体装置は、基板上のメモリセル領域内に設けられた第１活性領域と、第１活性領域と素子分離により分離され、第１活性領域内よりもメモリセル領域の中心に近い位置に設けられた第２活性領域と、第１活性領域を横断する第１ゲート電極と、第１ゲート電極と離間し、第１活性領域および第２活性領域を横断する第２ゲート電極と、第１活性領域で、第１ゲート電極と第２ゲート電極との間の第１ドレイン部と、第２活性領域で、第２ゲート電極の第１ドレイン部側の第２ドレイン部と、第１ドレイン部と第２ドレイン部とを接続する第１配線と、第１ゲート電極および第２ゲート電極と離間し、端部が第１ゲート電極の第２活性領域側の端部と対向する第３ゲート電極と、第２ドレイン部と第３ゲート電極とを接続する第２配線とを備え、第３ゲート電極の上面と第２配線の上面はほぼ同じ高さに形成されている。 （もっと読む）

【課題】ゲート電極周辺の寄生容量を低減させることのできる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板上にゲート絶縁膜を形成する。ゲート絶縁膜上に、その上部に絶縁膜を有するゲート電極を形成する。ゲート電極を形成した後、半導体基板とゲート電極を覆う第１シリコン酸化膜を形成する。第１シリコン酸化膜を形成した後、第１シリコン酸化膜を覆う第１シリコン窒化膜を形成する。第１シリコン窒化膜を形成した後、第１シリコン窒化膜を覆う第２シリコン酸化膜を形成する。第２シリコン酸化膜を形成した後、第２シリコン酸化膜をエッチングして、第２シリコン酸化膜をゲート電極の側壁部に残す。第２シリコン酸化膜をゲート電極の側壁部に残す工程の後、半導体基板に不純物拡散層を形成する。不純物拡散層を形成した後、第２シリコン酸化膜を除去する。第２シリコン酸化膜を除去した後、半導体基板を覆う第２シリコン窒化膜を形成する。 （もっと読む）