【課題】環境負荷が小さく且つ歪量が大きい液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】ノズル開口から液体を吐出する液体噴射ヘッドであって、圧電体層と前記圧電体層に設けられた電極とを具備する圧電素子を備え、前記圧電体層は、ビスマス、鉄、バリウム及びチタンを含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなり、３０Ｖ １ｋＨｚの三角波１周期分を印加した際の印加終了時の残留分極量Ｐｒ１と、この印加終了時から１．０秒経過した時の残留分極量Ｐｒ２との比であるＰｒ２／Ｐｒ１が、０．３９以上０．７０以下である液体噴射ヘッドとする。 （もっと読む）

【課題】 水晶振動板の高周波化と小型化を容易にするとともに耐衝撃性能を高めた水晶振動デバイスを提供する。
【解決手段】 ＡＴカットの矩形状の水晶振動板１があり、その主面に励振電極２，３と、当該励振電極から水晶振動板の主面の外周端部うちＺ’軸方向の辺の一部に延出された引出電極４，５を形成した水晶振動デバイスであって、前記水晶振動板の主面の外周端部うち少なくともＸ軸方向の辺には、金属膜により構成された肉厚部１１１，１３１を有し、前記水晶振動板の主面の外周端部うち少なくともＺ’軸方向の辺で、かつ前記引出電極の延出された辺には、水晶母材からなる肉厚部１２１を有する。 （もっと読む）

【課題】 ボンディングワイヤが接続されるボンディングパッドを備えた基板パッケージにおいて、歩留まりを向上可能な基板パッケージを提供する。
【解決手段】 基板パッケージ１は、基板２上に下部電極３を成膜し、該下部電極３上にＰＺＴからなる圧電体膜を成膜した後、該膜を部分的に除去することで圧電素子４を形状加工するように製造され、下部電極３に電気的に接続されるボンディングパッド５にボンディングワイヤ６が接続される。ボンディングパッド５のボンディングワイヤ６が接続される部位と基板２との間には、圧電体膜を残して圧電素子４が形状加工されている。 （もっと読む）

【課題】複数の振動腕を音響結合させて、１つの発振回路でそれぞれの振動腕の振動を励起でき、物理量検出の感度向上が図れる物理量検出素子を提供する。
【解決手段】ジャイロ素子（物理量検出素子）１は、基部２からＸ軸に沿って互いに反対方向へそれぞれ延出した連結部３１と、連結部３１の付け根６からＹ軸に沿った方向またはＸ軸に対して斜め方向へ延出し駆動信号電極７を有して駆動振動をする第１駆動振動腕４１乃至第８駆動振動腕４８と、基部２からＸ軸に対して斜め方向へ延出し検出信号電極８を有する第１検出振動腕５１乃至第４検出振動腕５４と、を有し、第１駆動振動腕乃至第４駆動振動腕におけるＺ軸方向の第１面外振動の周波数と、第５駆動振動腕乃至第８駆動振動腕におけるＺ軸方向の第２面外振動の周波数と、の差が、駆動振動の周波数と第２面外振動の周波数との差である第２離調周波数よりも大きい、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子の破壊を長期間に亘って確実に防止することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、圧電体層７０と前記圧電体層に設けられた電極とを備えた圧電素子３００と、を具備し、前記圧電素子が、ＡＬＣＶＤ法により形成された酸化アルミニウム膜を含む保護膜１００によって覆うようにする。 （もっと読む）

【課題】強誘電体材料層の電気特性をより一層向上させることが可能な強誘電体材料層の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の１つの強誘電体材料層の製造方法は、基材上にゾルゲル溶液を塗布することにより、強誘電体材料の前駆体層を形成する強誘電体材料前駆体層形成工程と、その前駆体層を１２０℃〜２５０℃の範囲内にある第１温度で乾燥させる乾燥工程と、その前駆体層を第１温度よりも高く、かつ、１５０℃〜３００℃の範囲内にある第２温度に加熱した状態で前述の前駆体層に対して型押し加工を施す型押し工程と、その前駆体層を第２温度よりも高い第３温度で熱処理することにより、その前駆体層から強誘電体材料層を形成する強誘電体材料層形成工程とを、この順序で含む。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つクラックの発生が抑制された液体噴射ヘッド、液体噴射装置、及び圧電素子を提供する。
【解決手段】弾性膜５０、密着層５６、第１電極６０、圧電体層７０、及び第２電極８０を備えた圧電素子３００を具備し、圧電体層７０は、少なくともビスマス、バリウム、鉄、及びチタンを含むペロブスカイト型構造の複合酸化物からなり、チタンとバリウムのモル比（Ｔｉ／Ｂａ）が１．１７以上１．４５以下である。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく、圧電体層にクラックがより形成されにくい圧電素子を備えた液体噴射ヘッド等を提供する。
【解決手段】本発明に係る液体噴射ヘッドは、ノズル孔に連通する圧力発生室と、圧電体部、及び前記圧電体部に設けられた電極を有する圧電素子と、を含み、前記圧電体部は、ビスマス、バリウム、鉄、及びチタンを含むペロブスカイト型複合酸化物からなり、前記圧電体部は、前記ペロブスカイト型複合酸化物からなる第1圧電体層および第２圧電体層と、前記第１圧電体層及び第２圧電体層に挟まれた膜厚５ｎｍ以上２０ｎｍ以下の酸化イリジウムからなる中間層と、を有する。 （もっと読む）

【課題】プラズマを用いたスパッタ法によって、Ｐｂ、Ｚｒ、Ｔｉを含む誘電体薄膜を成膜する場合でも、圧電特性の高い誘電体薄膜を安定して成膜する。
【解決手段】誘電体薄膜のスパッタによる成膜中に、プラズマの発光分析を行って、上記プラズマの発光スペクトルを取得する。そして、上記発光スペクトルに含まれる、Ｐｂ（４０６ｎｍ）のスペクトル強度Ｉ_Ｐｂ、Ｚｒ（４６８ｎｍ）のスペクトル強度Ｉ_Ｚｒ、Ｔｉ（４５３ｎｍ）のスペクトル強度Ｉ_Ｔｉをそれぞれ求める。Ｉ_Ｐｂ／（Ｉ_Ｚｒ＋Ｉ_Ｔｉ）の値をＰ_１としたとき、０．４＜Ｐ_１＜０．７を満足するように成膜条件を制御しながら、上記誘電体薄膜を成膜する。 （もっと読む）

【課題】厚み滑り振動以外の振動を抑えつつ、厚み滑り振動を効率的に励振することができる振動片、振動子および圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】振動片２は、厚みすべり振動する第１の圧電体基板２１と、第１の圧電体基板２１に積層され、厚みすべり振動する第２の圧電体基板２２と、第１の圧電体基板２１の第２の圧電体基板２２とは反対側の面に接合された励振電極２３ａと、第２の圧電体基板２２の第１の圧電体基板２１とは反対側の面に接合された励振電極２３ｃと、第１の圧電体基板２１と第２の圧電体基板２２との間に設けられた励振電極２３ｂと、第１の圧電体基板２１および第２の圧電体基板２２の側面に設けられ、励振電極２３ａと励振電極２３ｃとを電気的に接続する第１の側面電極と、第２の圧電体基板２２の側面に設けられ、励振電極２３ｂに電気的に接続された第２の側面電極とを有する。 （もっと読む）