【課題】ダメージ層の形成および除去困難な残渣の発生を抑制することにより、二次元フォトニック結晶を有する半導体レーザ素子を歩留まりよく製造する方法を提供する。
【解決手段】半導体レーザ素子１０１の製造方法は、キャリアの注入により発光する活性層５と、互いに屈折率の異なる第１の部分２ｎおよび第２の部分Ｖ１を有し、かつ活性層５で発生する光の波長を規定する二次元回折格子を構成するように設けられた二次元フォトニック結晶７１とを備えた半導体レーザ素子１０１の製造方法である。ＧａＮ系材料からなる二次元フォトニック結晶７１となる部分を有する第１の薄膜５２ｎの第２の部分が光電気化学エッチングにより選択的に除去されることにより、第２の部分に空洞部Ｖ１となる凹部が形成される。 （もっと読む）

【課題】電流阻止層の配設に伴う電流密度の増加によって悪化しがちなリニアリティおよび信頼性を改善した電流狭窄型発光素子等を提供する。
【解決手段】本発明の発光素子１は、ＧａＡｓ基板2の上面2aに、下側クラッド層3、活性層4、上側クラッド層5、電流阻止層6、および第１開口7aをもつ第１電極層7を有し、ＧａＡｓ基板2の下面2bに第２電極層8を有し、活性層4が、不純物をドーピングしないアンドープ活性層であり、電流阻止層6は、上側クラッド層5の上方でかつ第１電極層7の直下位置に、上側クラッド層5の表面の一部5a1が前記第２開口6aよりも小さな径をもつ前記第１開口7aから露出するように配設されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】レーザ光を良好に出射するとともに、低コスト化、小型化が可能なレーザ光源装置、およびそのレーザ光源装置を備えたプロジェクタを提供する。
【解決手段】プロジェクタユニットを構成するレーザ光源装置３１は、所定波長のレーザ光を発振するレーザ光源３１１と、レーザ光源３１１から出射されたレーザ光の発振波長を変換して変換波長のレーザ光を出射する波長変換素子３１２を備える。波長変換素子３１２は、入射面にレーザ光源３１１から出射された発振波長のレーザ光を選択的に透過するバンドパスフィルタ多層膜３１２Ｂと、出射面に変換波長を透過し発振波長のレーザ光を反射する誘電体多層膜３１２Ｃを有する。バンドパスフィルタ多層膜３１２Ｂにおいて、発振波長のレーザ光は狭帯域化される。そして、狭帯域化されたレーザ光が波長変換素子３１２で変換波長のレーザ光に変換され、変換波長のレーザ光がレーザ光源装置３１から出射される。 （もっと読む）

【課題】超小体積・低コストで量産しやすく、且つ使用が簡便な高速光信号ケーブルを提供する。
【解決手段】高速ミニタイプ光信号ケーブルICであって、主としてファイバー・ホールを有する面発光型半導体レーザアレイと、ファイバー・ホールを有するピンアレイと、及び大直径オプチカル・コアのマルチモード・ファイバーからなり、ファイバー・ホールを有する面発光型半導体レーザアレイ及びファイバー・ホールを有するピンアレイは、VCSEL発光区及びPIN集光区において、すべてそれぞれマイクロエレクトロメカニカルシステムの技術によって直径100μｍ高さ30μｍ及び直径130μｍ高さ(80〜100μｍ)の同心円柱のファイバー・ホールを製作し、ただ機器量産で固定式ファイバー挿入のフォーカシング・パッケージを行うだけで、グルーによって固定接続し、一体成型パッケージングを行うことが出来る。 （もっと読む）

【課題】目的に応じて２次元フォトニック結晶内での帰還効果を弱め／強めた２次元フォトニック結晶面発光レーザを提供する。
【解決手段】２次元フォトニック結晶３１内に多数周期的に設けた主異屈折率領域３３のそれぞれに対して同一の相対的位置に副構造物３４を設ける。副構造物３４の位置は、２次元フォトニック結晶３１の面内の一方向に、主異屈折率領域３３により反射される主反射光３６１と、副構造物３４により反射される副反射光３６２が干渉により弱め／強められるように定める。これにより、帰還効果を弱め／強めることができる。帰還効果を弱めることにより、２次元フォトニック結晶３１内で増幅される光が結晶面の中心付近に局在することを防ぐことができ、それによりレーザ発振を安定化させることができる。 （もっと読む）

【課題】光の利用効率が高く、しかも、製造が容易で且つ素子特性のバラつきが小さい２次元フォトニック結晶面発光レーザを提供する。
【解決手段】２次元フォトニック結晶面発光レーザ１０は、半導体基板１２と、前記半導体基板１２の上に堆積された下部クラッド層２２、活性層１８、フォトニック結晶層２０、上部クラッド層２２、コンタクト層２４を有するレーザ本体１４と、前記２次元フォトニック結晶層２０の結晶面と平行な方向の前記レーザ本体１４の周囲全体に設けられた反射膜とを有している。反射膜３０は、スパッタ法により成膜されたチタン-金薄膜から構成されている。 （もっと読む）

【課題】スラブを導波する水平方向への光の漏れを有効活用し、光の出力を向上させることが可能となる面発光レーザ、面発光レーザを備えた発光装置を提供する。
【解決手段】面発光レーザであって、下部クラッド層１２０と、活性層１３０と、上部クラッド層１４０と、活性層１３０と光学的に結合するフォトニック結晶構造体１４５と、上部クラッド層１４０の上に設けられ、周期的な微細構造１５５を有する金属薄膜１５０とを備える。そして、この金属薄膜１５０により上部クラッド層の面内方向に導波する光を外部に取り出す。 （もっと読む）

【課題】波長変換素子を有するレーザ光源が出射するレーザ光のコヒーレンスを低減する。
【解決手段】レーザ光源装置１００ａは、第１の波長の光Ｗ１４ａを出射する第１のレーザアレイ光源１０２ａと、第１の波長とは異なる第２の波長の光Ｗ２４を出射する第２のレーザアレイ光源１０４とを備えている。第１のレーザアレイ光源１０２ａは、第１の原振波長の第１の基本波Ｗ１１ａを発生する第１の基本波レーザアレイ１１０ａと、第１の基本波Ｗ１１ａを波長変換して第１の波長の光Ｗ１４ａを生成する第１の波長変換素子１３０ａと、を有している。第２のレーザアレイ光源１０４は、第１の原振波長とは異なる第２の原振波長の第２の基本波Ｗ２１を発生する第２の基本波レーザアレイ１１０と、第２の基本波Ｗ２１を波長変換して第２の波長の光Ｗ２４を生成する第２の波長変換素子１３０とを有している。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、数ｍＷのチップ光出力と省電力動作の鍵となる低電流動作を低コストで実現するレーザ光源を実現することである。特に、光ファイバ伝送距離数〜数10ｋｍ程度以下の短距離用途として好適な1.3μｍ波長帯の上記光源の実現すること。また、これらのレーザの好適な実装手法に基づく消費電力の少ない光通信モジュールを実現することである。
【解決手段】低動作電流動作とレーザの高速性を維持しつつ光反射耐性を向上させ光アイソレータを不要とする新規レーザ構造として、複数の縦モードで動作する短共振器レーザを考案した。特に、面発光レーザの経済性を同時に実現するため、レーザの出射端部に光出力の出射方向を基板上面または基板下面に変える斜めミラー構造を導入した。 （もっと読む）

【課題】発光層の下地として良好な平坦性を有する窒化ガリウム系半導体層を提供可能な構造を有する窒化物系半導体発光素子を提供する。
【解決手段】ｎ型窒化ガリウム系半導体層１５は基板１３上に設けられ、例えばクラッド層である。発光層１７は、ｎ型窒化ガリウム系半導体層１５上に設けられ、また量子井戸構造２３を有する。ｐ型窒化ガリウム系半導体層１９は、発光層１７上に設けられている。平坦化層２１は、ｎ型窒化ガリウム系半導体層１５と発光層との間に設けられ、また窒化ガリウム系半導体領域からなる。窒化ガリウム系半導体領域もｎ型窒化ガリウム系半導体層と発光層との間に位置する。で表され、発光層１９の炭素濃度Ｎ_Ｃ１の炭素を含む。平坦化層の窒化ガリウム系半導体領域の平均炭素濃度Ｎ_Ｃ２は発光層１９の平均炭素濃度Ｎ_Ｃ１より大きい。平坦化層２１は、優れた平坦性の下地を発光層１７のために提供できる。 （もっと読む）