【課題】製造するのが容易で、かつ高い変形率を有するマイクロエレクトロメカニカルシステムを提案する。
【解決手段】マイクロエレクトロメカニカルシステムは梁１と、静電相互作用によって梁に結合された電極１０とを有する。梁は、弾性曲げ変形を受けるように構成され、概ね一定の断面を有している。梁１は、梁の全長Ｌにわたり延び、各々が断面の外側寸法ｗ、ｔよりも小さい厚さを有する４つの平坦な面Ｐ₁〜Ｐ₄からなっている。これによって、梁１の曲げ振動周波数が、同じ外側寸法のソリッドな梁と比較して大きくなる。このようなマイクロエレクトロメカニカルシステムは、非常に短い遷移時間を必要とする用途、すなわち高周波発振器および共振器を製造するのに適している。 （もっと読む）

【課題】 ニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛膜、これを有するニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛積層体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係るニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛積層体１００は、サファイア基板１１と、サファイア基板１１の上に形成されたニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛膜１２と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 小型化・薄型化を実現し、弾性表面波素子片の実装に適したパッケージの構造を提供する。
【解決手段】 上記課題を解決するための弾性表面波デバイスのパッケージ構造は、弾性表面波素子片１２を配置する厚底部１６ｂと、電子部品１４を配置する薄底部１６ａとを備え、平面座標系における前記弾性表面波素子片と前記電子部品との搭載位置を近接させたベース１６を有することを特徴とする。また上記のようなパッケージ構造において、前記薄底部１６ａと前記厚底部１６ｂとの高低差は、前記薄底部１６ａに搭載する電子部品１４の厚さ以上すると良い。 （もっと読む）

【課題】 ニオブ酸カリウムの薄膜を有するニオブ酸カリウム堆積体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係るニオブ酸カリウム堆積体１００は，
Ｒ面サファイア基板１１と、
Ｒ面サファイア基板１１の上方に形成されたニオブ酸カリウム層１３またはニオブ酸カリウム固溶体層と、
を含み、
ニオブ酸カリウム層１３またはニオブ酸カリウム固溶体層は、擬立方晶表示において（１００）配向でエピタキシャル成長しており、
ニオブ酸カリウム層１３またはニオブ酸カリウム固溶体層の（１００）面は、Ｒ面サファイア基板１１のＲ面（１−１０２）に対して、［１１−２０］方向ベクトルを回転軸として傾いている。 （もっと読む）

機械的発振器（２０）が、サブミクロンの範囲の寸法を有する構成要素を有し、ギガヘルツの範囲において共振モードの発振を生じる。大きな要素（２１）が、小さなサブミクロンの要素（２２）と結合され、直ちに利用可能な技術を用いて検出される大増幅のギガヘルツ周波数発振を生じる。機械的構造は、ビームと、リングとを含む多くのジオメトリに従って形成され得、静電気と、磁気と、熱に関係する力ならびに他の励起技術を用いて励起される。機械的構造は、増幅およびミキシングなどの適用のためにアレイに配列され得、電気的または光学的な相対物よりも衝撃および放熱の環境に対して感応しにくい。
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【課題】弾性表面波素子の振動が半導体装置を有する基板上に漏れないようにでき、半導体装置の電気的動作に影響を及ぼすことの無い弾性表面波素子複合装置を提供すること。
【解決手段】半導体装置２１を有する基板２３と、基板２３に設けられた圧電膜と、圧電膜に配置されたくし歯電極３０を有する弾性表面波素子２０と、を備える弾性表面波素子複合装置１０であって、弾性表面波素子２０と基板２３の間には、バイアス電圧を印加するための金属膜２００が配置されている。 （もっと読む）

【課題】 良好な圧電特性を得ることができる圧電素子を提供する。
【解決手段】 本発明に係る圧電素子１０は，
基板１と、
基板１の上方に形成された第１導電層４と、
第１導電層４の上方に形成された、ペロブスカイト構造を有する圧電体からなる圧電体層５と、
圧電体層５に電気的に接続された第２導電層６と、を含み、
第１導電層４は，（００１）に優先配向しているランタン系層状ペロブスカイト化合物からなるバッファ層４１を１層以上含む。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波素子の波が半導体装置に漏れないようにでき、半導体装置の電気的動作に影響を及ぼすことを防ぐ弾性表面波素子複合装置を提供すること。
【解決手段】半導体装置２１を有する基板２３と、基板２３に設けられた圧電膜と、圧電膜に配置されたくし歯電極３０を有する弾性表面波素子２０と、を備える弾性表面波素子複合装置１０であって、弾性表面波素子２０と基板２３の間には、エアーギャップ部１００が配置されている。 （もっと読む）

【課題】 良好な圧電特性を得ることができる圧電素子を提供する。
【解決手段】 本発明に係る圧電素子１０は，
基板１と、
基板１の上方に形成された第１導電層４と、
第１導電層４の上方に形成された、ペロブスカイト構造を有する圧電体からなる圧電体層５と、
圧電体層５に電気的に接続された第２導電層６と、を含み、
第１導電層４は、（００１）に優先配向しているニッケル酸ランタンからなる導電性酸化層４２を含み、
ニッケル酸ランタンは，酸素が欠損している。 （もっと読む）

本発明はアナログの振動素子（ＳＥ）を備えた振動回路に関する。本発明の核となる着想は、振動回路が少なくとも１つのアナログ・ディジタル変換手段（Ａ／Ｄ）を有することである。さらに本発明は、機械的な発振器（ＳＥ）が固有周波数での振動を行う振動回路の作動方法に関する。振動振幅は測定され（Ｄ１，Ｄ２）、ディジタル化される（Ａ／Ｄ）。ディジタルの振幅制御器（ＡＧＣ）を用いてディジタル制御信号（２１０）が形成され、このディジタル制御信号（２１０）からまた駆動信号（１２０）が形成され、この駆動信号（１２０）は駆動部（Ａ１，Ａ２）を用いて機械的な発振器（ＳＥ）を駆動させる。この制御回路は振動振幅を安定させる。
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