ウエハー接合型ＣＭＵＴアレイは、基板に沿って配設される複数のＣＭＵＴエレメントを備えており、各エレメントは、基板に形成されるキャビティおよび信号電極と、キャビティを塞いで、接地電極を形成する導電性膜とを有しており、複数のＣＭＵＴエレメントのこれらの導電性膜が、ＣＭＵＴアレイの表面全体にわたる連続した接地面を形成しており、また、信号電極への電気接続部が、信号電極から基板の裏面へ基板を貫通して延びる導電性ビアによって提供されている。 （もっと読む）

【課題】ＣＭＵＴウエハ接合プロセスにおいて、接合されるウエハ上の集積回路が高温で破壊されることを防止する。
【解決手段】能動電気デバイスを既に含むウエハ上にＣＭＵＴを作製するために、低温ウエハ接合（４５０℃またはそれ以下の温度）が用いられる。結果として得られる構造は、低温ウエハ接合法により能動エレクトロニクスと一体化されたＣＭＵＴアレイである。低温法を用いることにより、ＣＭＵＴ作製中にエレクトロニクスが保護される。この手法を用いれば、犠牲層除去による作製手法によくあるように、ＣＭＵＴまたはエレクトロニクス設計において妥協する必要がない。犠牲層除去手法の様々な欠点は、本発明の手法により回避できる。この手法を用いれば、ＣＭＵＴアレイに、基板集積回路に接続されたセル毎の電極を提供することができる。これにより、ＣＭＵＴアレイ素子へのＣＭＵＴセルの電子的割当を十分に柔軟に行うことが可能になる。 （もっと読む）

【課題】金属ガラス層に導線を安定して接合することができる金属ガラスへの導線の接合方法を提供する。
【解決手段】金属ガラス層たる金属ガラス基板１に導線２を接合するにあって、金属ガラス基板１における接合表面１ａに対して導線２を押し付け導線２に超音波ツール３から超音波エネルギを与えることにより金属ガラス基板１と導線２とを接合する。導線２としてＡｌ系ボンディングワイヤを用いる場合には、超音波ツール３としてウェッジツールを用いる。 （もっと読む）

超音波ＣＭＵＴトランスデューサアレイでの使用に適したＣＭＵＴトランスデューサセルが、第１の電極を持つメンブレンと、第２の電極を持つ基板と、メンブレン及び基板の間の空腔とを持つ。このＣＭＵＴは、空腔の床との間で圧壊状態にあるようメンブレンをバイアスすることにより、事前圧壊状態にて作動され、レンズが、圧壊メンブレンに対して流し込まれる。レンズ物質が、重合するか、又は充分な剛性のとき、バイアス電圧は、除去され、レンズ物質は、メンブレンを圧壊状態に保持する。
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【課題】超音波の送信時及び受信時のいずれにおいても最大限の性能を発揮できる、超音波センサーユニットを提供する。
【解決手段】超音波を送信する超音波送信用センサー５２を複数有する超音波送信用センサーアレイ５０と、超音波を受信する超音波受信用センサー５３を複数有する超音波受信用センサーアレイ５１と、を備えた超音波センサーユニット１０である。超音波送信用センサーアレイ５０及び超音波受信用センサーアレイ５１は、超音波送信用センサー５２及び超音波受信用センサー５３が平面視した状態で重ならないように貼り合わされ、超音波送信用センサーアレイ５０及び超音波受信用センサーアレイ５１の一方には、他方のアレイ５１における超音波センサー５３を露出させる貫通孔１１ｂが形成されている。 （もっと読む）

【課題】高精度に超音波を発生することが可能な超音波センサを提供する。
【解決手段】超音波センサ１０は、基板１と、第１および第２ねじれ梁１１、１２と、第１および第２回転フレーム７１、７２と、第１および第２駆動リンク梁３１、３２と、駆動フレーム２１と、駆動電極５と、第１および第２振動リンク梁４１、４２と、振動フレーム２２と、検出電極６とを備える。第１駆動リンク梁３１は、第１回転フレーム７１の一方端部側に第１ねじれ軸Ｔ１を移動した軸上に位置する。第２駆動リンク梁３２は、一方端部側への第１ねじれ軸Ｔ１の移動の方向と逆方向に第２ねじれ軸Ｔ２を移動した軸上に位置する。第１振動リンク梁４１は、第１ねじれ軸Ｔ１と交差する方向に沿って第１回転フレーム７１の他方端部側に第１ねじれ軸Ｔ１を移動した軸上に位置する。第２振動リンク梁４２は、一方端部側への第１ねじれ軸Ｔ１の移動の方向に第２ねじれ軸Ｔ２を移動した軸上に位置する。 （もっと読む）

本発明は、電場及び／または音波の影響の下で振動が可能な少なくとも一つの薄膜（１０５、２０５）を含み、前記薄膜が、並置されたナノチューブまたはナノワイヤーまたはナノビームの一つ以上の層（３０１から３０６）よりなる容量性電気音響ＣＭＵＴ変換器に関連しており、及びそのような変換器を含むＵＨＦソーナーの音響画像デバイスに関連している。
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【課題】 機械電気変換素子のメンブレンの信頼性を向上させると共に寄生容量を低減する。
【解決手段】 本発明の機械電気変換素子は、第１の電極と第２の電極とを複数有し、前記第１の電極と前記第２の電極とは支持部によって形成された空隙を挟んで対向している。前記第１の電極同士は配線により電気的に接続されており、前記支持部の、前記配線と前記第２の電極との間に存在する領域の少なくとも一部に空洞が形成されている。 （もっと読む）

【課題】構成部品の数の増加を抑えつつ、ユーザの話声を明瞭に収音できるようにする。
【解決手段】携帯電話機は、自装置に内蔵されるマイクロホン１９を、通話状態のときにはユーザの話声を収音する“マイクロホン”として用い、ユーザによる携帯電話機の位置や姿勢の調整を助ける制御を行うときには、ユーザ及びダイアフラム１９２１間の距離を特定するための“超音波センサ”としても用いる。これにより、センサ等の構成部品を別途設けることなく、携帯電話機は、ユーザの話声を収音するマイクロホン１９を用いて、ユーザ及びダイアフラム１９２１間の距離を特定し、ユーザの話声が明瞭に収音されるように、ユーザに対して携帯電話機の位置や姿勢の修正を促すことができる。 （もっと読む）

【課題】製造において、基板側に金属性の電極を別度設ける工程を省くことが可能である上に、高温での処理が必要であるセラミックスを振動膜又は犠牲層の材料として選択でき、製造工程において自由度が高まる超音波振動子を提供する。
【解決手段】振動膜１に固着され、振動膜と共に振動する振動電極４と、振動膜１が基板３に対向するように振動膜１を支持する振動膜支持部２とを備え、基板３が振動電極４と対向する部分に導体を有するように構成し、又は基板３の全体を導体とすることにより、例えば、超音波の受信により振動膜１が振動する場合は、振動電極４と基板３（又は導体）との間に生じる静電容量の変化を用い、受信した超音波に係る電気信号を取得する。 （もっと読む）