【課題】本発明は、ガスを原料とするプラズマプロセスにおいて、運転状況を常時自動監視して高安定な運転を行うとともに、従来よりも高度なプラズマ運転条件制御を行い製造物及び被処理物の製造・処理速度の均一化、均質化、高性能化、高度処理化を行うためのプラズマ成分変化計測方法及び装置を提供することを課題とする。
【解決手段】プラズマ発生前後の気体の物性値を測定し、プラズマ装置内の気体の物性値と気体成分との相関関係から、プラズマ発生前後の気体成分の変化を検出する成分変化計測方法であって、前記物性値は粘性とし、前記物性値を測定する測定装置として、水晶振動子センサー１、水晶摩擦真空計またはスピニングロータゲージを用いた （もっと読む）

【課題】異常の有無及び原因を容易に判別することができるプラズマ処理装置の異常検出器、プラズマ処理システム、及びプラズマ処理装置の異常検出方法を提供する。
【解決手段】プラズマ処理システム１では、マッチングボックス３０を介して取得したＲＦ反射波の出力信号の波形をモニタリングし、この波形に予め設定された所定の閾値を超えるピーク部分が現れたか否かを検出する。そして、ピーク部分が検出された場合には、さらに、ピーク部分が閾値を超えている持続時間の検出、及び予め設定された所定時間内におけるピーク部分の検出回数の計数を行う。このように、ＲＦ反射波の波形におけるピーク部分の持続時間及び検出回数を検出することにより、アークモードと故障モードとで異なるＲＦ反射波の波形の挙動を互いに区別でき、異常の有無及び原因を容易に判断することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】解の発散を防止することができるプラズマ粒子シミュレーション方法を提供する。
【解決手段】複数のプラズマ粒子２２を代表する超粒子２４を用いてシミュレータ１２が実行する、プラズマが発生するチャンバ１１を備えるプラズマ処理装置１０におけるプラズマ粒子シミュレーション方法では、チャンバ１１内の処理空間Ｓを複数のセルに分割し、チャンバ１１内に発生が予測されるプラズマの形態に基づいて、各分割されたセルにプラズマ粒子２２を設定すると共に、各分割されたセルに対して重み因子を設定し、各分割されたセルにおいて、設定されたプラズマ粒子２２の数及び重み因子を用いて当該セルにおける超粒子２４を設定し、超粒子２４を用いてプラズマ粒子２２の挙動を算出する。ここで、重み因子はセルがチャンバ１１の固体壁面１１ａに近づくほど小さくなる。 （もっと読む）

【課題】プラズマ放電の有無や放電異常を正しく監視することができるプラズマ処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】真空チャンバを構成する蓋部２に設けられた開口部２ａに誘電体部材２１およびプローブ電極ユニット２２を組み合わせた放電検出センサ２３を装着し、プローブ電極２２ｂにプラズマ放電の変化に応じて誘発される電位変化を波形検出部で受信し、所定の条件に合致した電位変化の出現毎に検出信号を出力する。波形検出部から出力された検出信号をカウントしてカウント値を保持する複数のカウンタを、予め設定された波形監視時間帯に対応したタイミングだけカウントを行うようにカウンタ制御部４１によって制御し、判定に有意なタイミングに出現した波形のみをカウントする。 （もっと読む）

【課題】装置稼働状態を最適に保つために必要とされる適切なメンテナンス時期が到達したか否かを精度良く判定することができるプラズマ処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】真空チャンバを構成する蓋部２に設けられた開口部２ａに誘電体部材２１およびプローブ電極ユニット２２を組み合わせた放電検出センサ２３を装着し、プローブ電極２２ｂにプラズマ放電の変化に応じて誘発される電位変化を受信し、真空チャンバ内での異物付着と相関するリーク放電に起因して生じるＶ字状の特定パターンのＶ型波形をＶ型波形検出部３５によって検出した検出回数をリーク放電波形カウンタ３９によってカウントしたカウント値を、メンテナンス判定部４４によって予め設定した許容値と比較することにより、メンテナンスの要否を判定する。 （もっと読む）

【課題】プラズマ放電の有無・放電異常や、真空チャンバのメンテナンスの要否の判定などを含めた運転状態の監視を高精度で行うことができるプラズマ処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】真空チャンバを構成する蓋部２に設けられた開口部２ａに誘電体部材２１およびプローブ電極ユニット２２を組み合わせた放電検出センサ２３を装着し、複数の波形検出部によってプローブ電極にプラズマ放電の変化に応じて誘発される電位変化を受信しそれぞれ異なる所定の条件に合致した電位変化の出現毎に検出信号を出力し、複数の波形検出部によって対応する波形検出部から出力された検出信号をカウントしてカウント値を保持し、これらのカウント値に基づいて、プラズマ放電の有無・放電異常や、真空チャンバのメンテナンスの要否の判定などを含めた運転状態の監視を高精度で行う。 （もっと読む）

【課題】プラズマ放電の有無や放電異常を正しく監視することができるプラズマ放電状態監視装置を提供することを目的とする。
【解決手段】真空チャンバを構成する蓋部２に設けられた開口部２ａに誘電体部材２１およびプローブ電極ユニット２２を組み合わせた放電検出センサ２３を装着し、電位が正負両側に振れた後に定常値に戻るＮ字状の波形パターンを有するＮ型の電位変化波形を検出するＮ型波形検出部３４と、電位が負側にのみ振れた後に定常値に戻るＶ字状の波形パターンを有するＶ型の電位変化波形を検出するＶ型波形検出部３５とを備えた構成を採用する。これにより、プラズマ放電状態の変化に応じた特有の電位変化波形を高精度で検出した検出結果を用いて、放電の有無や異常を正しく監視することができる。 （もっと読む）

【課題】プラズマ放電の有無や放電異常を正しく監視することができるプラズマ処理装置およびプラズマ処理装置におけるプラズマ放電状態の監視方法を提供することを目的とする。
【解決手段】真空チャンバを構成する蓋部２に設けられた開口部２ａに誘電体部材２１およびプローブ電極ユニット２２を組み合わせた放電検出センサ２３を装着し、プローブ電極２２ｂにプラズマ放電の変化に応じて誘発される電位変化を受信し、Ｎ型波形検出部３４，Ｖ型波形検出部３５によってそれぞれ特定パターンの電位変化波形を検出し、放電ＯＮ波形カウンタ３６，放電ＯＦＦ波形カウンタ３７，異常放電波形カウンタ３８およびリーク放電波形カウンタ３９によって波形種別ごとにこれらの電位変化波形の出現回数をカウントしたカウント値に基づき、放電の有無および放電異常の判定を含む放電状態判定を行う。 （もっと読む）

【課題】高圧力下において、大規模なプラズマを、容易、かつ、低コストで得ることができるプラズマの存在領域の制御装置を提供する。
【解決手段】マイクロ波発振器と、マイクロ波発振器に接続されたアンテナと、マイクロ波発振器及びアンテナの位置を制御する制御手段とを備え、制御手段は、各時刻におけるプラズマの形成領域の指定に基づいてプラズマの形成領域に向けてアンテナを配置し、指定されたプラズマの温度状態に基づいてマイクロ波発振器の駆動シーケンスを設定し、この駆動シーケンスにしたがいマイクロ波発振器を駆動する。 （もっと読む）

【課題】処理条件の設定が容易で、かつ、難加工性材料あるいは複雑な構造の被処理基板のエッチング処理にも対応できる処理ステップの記述が可能な記録媒体を提供する。
【解決手段】処理ガスを供給するガス供給装置１０９およびガス排気装置を備えた減圧処理室１１０と、前記減圧処理室内に配置され、被処理基板を載置する基板電極１１２と、前記減圧処理室内の処理ガスに高周波エネルギを供給してプラズマを生成するプラズマ生成装置１０１と、前記ガス供給装置、ガス排気装置およびプラズマ生成装置を制御する制御装置を備えたプラズマ処理装置における前記制御装置が使用する制御プログラムを記憶したコンピュータ利用可能な記録媒体であって、前記制御プログラムは、前記プラズマ処理装置が前記被処理基板に対して施す複数の処理ステップのそれぞれを記述した部分、前記それぞれの処理ステップの実行順序を記述した部分および実行回数を記述した部分を備える。 （もっと読む）