【課題】コンパクト化を図ることが可能なプラズマ生成モジュールを提供する。
【解決手段】 プラズマ生成モジュール４０は、陽極として機能するハース４２と、ハース４２の周囲に配置された磁石４４と、磁石４４によってチャンバ２０内に形成されるリターンフラックスＦ上に配置されたプラズマガン４６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】無駄な放電を防止するための電極構造の大気圧プラズマ発生装置を提供する。
【解決手段】電源供給手段５０から放電電圧が印加される第１電極１０と、第１電極１０と所定間隔が離隔され、第１電極１０を取り囲む誘電体３０と、第１電極１０と誘電体３０との間の空間に充填される液体誘電体４０と、誘電体３０と所定間隔が離隔されるように設置される第２電極２０と、を備える。さらに、第２電極２０と所定間隔が離隔され、第２電極２０を取り囲む第２誘電体と、第２電極２０と前記第２誘電体との間の空間に充填される第２液体誘電体とを付加することもできる。 （もっと読む）

【課題】 高温の反応場を生成して処理効率を高めることができるプラズマ発生装置を提供すること。
【解決手段】 プラズマ発生装置１１は、液体を導入可能な容器１２と、超音波発生装置１３と、マイクロ波発生装置１４と、中性子照射装置１６とを備える。超音波発生装置１３は、容器１２内の液体中に超音波を照射してキャビテーションを多発的に生じさせる。マイクロ波発生装置１４は、液体におけるキャビテーション発生領域にマイクロ波を照射して放電プラズマを発生させる。中性子照射装置１６は、液体における放電プラズマ発生領域に中性子を照射する。 （もっと読む）

【課題】隣接し、一箇所以上が接触した複数の被処理物をバッチ処理した場合において、全ての被処理物の被覆を高速に除去できるプラズマ処理方法及び装置を提供すること、また、プラズマにより短時間で被覆を除去することで、例えば圧着端子とのかしめのような、所望の金属部材との導通を確保しやすくなる導線を提供すること。
【解決手段】 上部電極１と下部電極２の間に絶縁体チャンバー３を設け、その内部にガス流路４を形成している。振動ユニット１３で被処理物１０を振動させつつ、処理ガス供給装置５より内部に処理ガスを供給し、高周波電源９より電極間に交流電界を供給することでプラズマ１２を生成し、隣接し、一箇所以上が接触した複数の被処理物１０を電極間から離して位置させることで、全ての被処理物の被覆を高速に除去できる。 （もっと読む）

【課題】放電プラズマにより励起された処理対象ガスを分解・合成・改質可能とし、ドライ洗浄装置やオゾン発生装置として使用可能にした大気圧プラズマ素子を提供する。
【解決手段】大気圧雰囲気中で処理対象ガスを流通可能とした筒状誘電体部材２の外周壁に電極を付設して外部電極６とし、該筒状誘電体部材２の内部に配され、螺旋状に正回転する第１羽根部分３、螺旋状に逆回転する第２羽根部分４とを交互に長手方向に延設してそれぞれを内部電極７とし、処理対象ガスと酸素を筒状誘電体部材２内で剪断力を受けて分割及び合流を繰り返すことにより両者が攪拌混合すると同時に両電極間６、７に高周波・高電圧を印加して放電プラズマを誘起することで筒状誘電体部材２内側の処理対象ガスの分解・合成・改質を可能とする。 （もっと読む）

【課題】電極の寿命を延ばし、電極の製造費用を下げるることができる常圧プラズマ発生用電極の製造方法及び電極構造とこれを利用した常圧プラズマの発生装置の提供。
【解決手段】プラズマの電極構造３００は、プラズマの形成のための高周波電力を供給するため、上下部にお互いに平行を取って向き合う平板型の電源電極３１１及び接地電極３２１を具備し、電源電極３１１及び接地電極３２１の全表面にそれぞれ酸化被膜層３１０，３２０を均一に形成して、電源電極３１１及び接地電極３２１の間にプラズマの発生空間３３０を形成する。 （もっと読む）

【課題】 液体中にマイクロ波を効率よく照射することができるプラズマ発生装置を提供すること。
【解決手段】 超音波発生装置のトランスデューサ２１は、容器１２内の液体Ｗ中に超音波を照射してキャビテーションを多発的に生じさせる。マイクロ波発生装置の導波管２９は、液体Ｗにおけるキャビテーション発生領域Ｒにマイクロ波を照射して放電プラズマを発生させる。導波管２９は、先端が容器１２内に突出するように配置された管本体３１と、管本体３１の先端の内部に配置されたマイクロ波透過体３２とを有する。マイクロ波透過体３２の先端部には、管本体３１の長手方向に対して傾斜したテーパ面３６が形成されている。 （もっと読む）

【課題】平面でない被処理面に対して、全面を一括処理することで処理時間を短縮できるプラズマ処理方法および装置、また、簡易的な構造あるいは汎用性の高い構造とすることで装置コストを低減できるプラズマ処理方法及び装置を提供すること。
【解決手段】上部電極１と下部電極２の間に異形被処理物１１−ａを載置し、独立したガス系統でガスを供給できる処理ガス供給装置４−ａ乃至４−ｆ、ガス流路５およびガス噴出板６と、ガス噴出板６上のガス噴出面７と、ガス噴出面７の面内に設けた複数のガス噴出口８を経由して、異形被処理物１１−ａに対して処理ガスを供給する。また、両電極間に高周波電源９より電力を供給することで、異形被処理物１１−ａの被処理面にプラズマ１０を生成でき、被処理面全体を一括で均一に処理できる。 （もっと読む）

【課題】プラズマを均一に生成することができる処理ガス吐出装置などを提供する。
【解決手段】処理ガス吐出装置２０は、上部外周面に形成された供給穴２３ａ、及び下部外周面に形成された吐出穴２３ｂを有する管状の外部誘電体２３と、外部誘電体２３の外周面に設けられ、接地された接地電極２４と、外部誘電体２３の管内にこれと一定間隔を隔てて同軸に設けられる管状の内部誘電体２５と、内部誘電体２５の管内に設けられる内部電極２６と、内部電極２６と接地電極２４との間に高周波電力を印加する高周波電源２７と、外部誘電体２３と内部誘電体２５との間の、外部誘電体２３の円周方向において供給穴２３ａと吐出穴２３ｂとの間に、長手方向が外部誘電体２３の軸線と平行に配設される棒状のガス流制御部材２８と、供給穴２３ａに接続した供給管４０ａを介して外部誘電体２３と内部誘電体２５との間に処理ガスを供給するガス供給機構４０とを備える。 （もっと読む）

本発明は、加工物、特に中空体加工物のプラズマ処理の方法に関する。この方法によれば、反応室内で処理区域が少なくとも部分的に排気され、処理区域内、特に加工物の中空体内にプロセスガスが導入され、放射される電磁エネルギーを用いて処理区域に導入されたプロセスガスでプラズマが点火される。本発明は、プラズマ処理中に、処理区域の両端間を通ってプロセスガスが流れることを特徴とする。 （もっと読む）