【課題】長時間安定したプラズマを放出する。
【解決手段】電極ピン３８は、プラズマ発生ノズル３１から放出されるプラズマ中のイオンを取り込み、電流計９６１は、電極ピン３８により取り込まれたイオンのイオン電流値を測定し、センサ入力部９６に出力する。ＰＷＭ制御部９０１は、センサ入力部９６から出力されたイオン電流値が、目標イオン範囲に属するように、マイクロ波出力制御部９１にＰＷＭ信号を生成させ、マイクロ波のパワーを調整する。 （もっと読む）

【課題】界面活性剤を特別に用いることなく油と水とを十分に混合、乳化させたエマルジョンが得られるようにする。
【解決手段】プラズマ放電処理油生成装置は、油を貯留した液槽Ｖと、この液槽の油面上の空間に配設される放電用の陽電極Ｐと、この液槽の油中に少なくとも一部を臨ませた陰電極Ｍと、その陰電極Ｍより油中に電子を過度に放出させて陽電極Ｐと油面との間でプラズマ放電を生じさせ得るように該陽電極Ｐと陰電極Ｍとの間で高電圧放電を行うための高電圧放電手段Ｅとを備える。 （もっと読む）

【課題】処理対象とされるワークＷにプラズマ化されたガスであるプルームを照射して所定の処理を施与するワーク処理装置において、プルームを広い範囲に均一に照射するためのプラズマ発生ノズルの回転機構を小さくかつ簡単なものにすることができるだけでなく、プラズマ発生ノズルにおいて発生するプルームをより安定したものにする。
【解決手段】プラズマ発生ノズル３１は、マイクロ波を受電してその受電エネルギーに基づいてガスをプラズマ化する内部導電体３２と、内部導電体３２で発生するプルームＰをプラズマ発生ノズル３１の内部に覆うようにプラズマ発生ノズル３１の先端に設けられた回転可能な回転板３６とを備え、この回転板３６は、回転板３６が覆っているノズル内部のプルームＰをノズル内部からノズルの外へと噴出可能な噴出管３８を備えるとともに、噴出管３８から噴出されるプルームＰの反力により自転可能とされている。 （もっと読む）

【課題】プラズマ発生ノズルから処理対象とされるワークにプラズマ化されたガスであるプルームを照射して所定の処理を施与するワーク処理装置において、プルーム照射による分解残渣などの塵埃を吹き飛ばすための送風設備をワークの周辺に設ける必要がない簡素で安価な集塵設備を備えたワーク処理装置を実現する。
【解決手段】プラズマ発生ノズル３１は、プラズマ化されたガスを放出してワークＷの上の塵埃を吹き飛ばすものであり、プラズマ発生ノズル３１から放出されるプラズマ化されたガスが吹き飛ばした塵埃を収集する集塵装置１２０をさらに備えている。 （もっと読む）

【課題】少ない消費電力で効率的に、排気ガス中の微量物質を除去する。
【解決手段】陽極１３と陰極１４との間にプラズマ放電を発生させるためのプラズマ放電装置において、プラス側にのみパルス状の電圧波形を有する非対称の波形であって、放電基底電圧をマイナス電圧に設定した放電波形を生成する波形生成手段１６と、波形生成手段１６で生成された放電波形の電圧を出力する出力手段１６と、出力手段１６の出力を所定の増幅率で増幅し、陽極１３と陰極１４との間に印可する増幅手段１５とを備えた。 （もっと読む）

本発明の主題は、レーザアブレーションにもとづくコーティング方法であって、基材とアブレーションされるターゲットとの間の距離が例外的に小さいコーティング方法に関する。この短い距離は、基材のコーティングを、工業的規模においても、好ましくは低真空あるいは非真空の雰囲気のもとですら可能にする。本発明は、あらゆる大型サイズの物体または種々の形状を有する物体の最適なコーティングに関して好ましい。
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【課題】ノズル部の交換作業やメンテナンス作業を容易に行うことができるようにする。
【解決手段】ワーク処理装置Ｓは、マイクロ波を発生するマイクロ波発生装置２０と、マイクロ波を伝搬する導波管１０と、導波管１０により伝搬されるマイクロ波を受信し、そのマイクロ波のエネルギーに基づき所定の処理ガスをプラズマ化して放出するノズル部３１ａとを備えている。そして、ノズル部３１ａは、導波管１０に対して着脱可能に取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】プラズマ発生ノズルの耐久性を向上させることが可能なプラズマ発生装置を提供する。
【解決手段】プラズマ発生装置ＰＵは、マイクロ波を発生するマイクロ波発生装置２０と、マイクロ波を伝搬する導波管１０と、導波管１０のワークＷとの対向面に設けられたプラズマ発生部３０とを具備し、該プラズマ発生部３０には、マイクロ波を受信しそのマイクロ波のエネルギーに基づきプラズマ化したガスを生成して放出するプラズマ発生ノズル３１が複数個配列して取り付けられている。プラズマ発生ノズル３１は、シール部材３５で保持され導波管１０の内部に一端が突出する中心導電体３２と、該中心導電体３２の周囲に離間して配置されたノズル本体３３とを含んでおり、シール部材３５を冷却すべくガスをシール部材３５内部に形成されたシール部材側流路３５４を経由させて中心導電体３２とノズル本体３３との間に供給するように構成されている。 （もっと読む）

本発明はプラズマ補助の下で実現する気体保存の方法と設備を公開する。一つの設備の内に、コロナ放電の方法を採用し、分子気体の中から非平衡負イオンを発生し、それを活性化極性持ち多孔質物質（例えばスパー活性炭微粒子の中）に吸着させ、気体の保存を実現する。吸着した負電気性気体の多孔質物質を適当な温度まで加熱し、且つ補助紫外光の照射を加える時、負電気性気体は釈放される。 （もっと読む）

【課題】基板の改質等、ワークの処理などに使用されるプラズマ発生装置において、プラズマの点灯状態を反映した制御を可能にする。
【解決手段】プラズマ発生ノズル３１の先端に、防蝕のために石英ガラスパイプから成る保護管３６を取付け、その保護管３６の外周面に熱電対３８を取付け、その起電圧をセンサ入力部９８でアナログ／デジタル変換して全体制御部９０へ入力し、処理ガスの流量制御弁９２３をフィードバック制御する。したがって、プラズマの点灯状態を反映した制御が可能になり、安定したプルームＰを得ることができる。 （もっと読む）