エッチング溶液の処理方法
【課題】アルカリ過マンガン酸エッチング溶液の管理や処理を複雑な操作を要し、且つ生成する溶性の炭酸塩を濾過するフィルタ−や限外濾過の管理等に多大な労力を要する従来のエッチング溶液の処理方法の課題を解決する。
【解決手段】炭酸根を含有するアルカリ過マンガン酸エッチング溶液をバッチ処理して、前記溶液中の炭酸根を難溶性又は不溶性固体物質として除去する際に、前記炭酸根を含有するアルカリ過マンガン酸エッチング溶液の所定量を第１反応室２０に収容した後、前記溶液を攪拌しつつ、前記溶液中の炭酸根と反応して難溶性又は不溶性固体物質を生成するストロンチウム化合物を添加し、次いで、第１反応室２０の側部又は上部に形成された第１液体排出部に設けられた第１フィルター２８を介して、第１反応室２０内の溶液を排出し、且つ第１フィルター２８を通過できずに第１反応室２０の底部に沈殿した前記難溶性又は不溶性固体物質を含む沈殿物２６を、第１反応室２０から排出する。
【解決手段】炭酸根を含有するアルカリ過マンガン酸エッチング溶液をバッチ処理して、前記溶液中の炭酸根を難溶性又は不溶性固体物質として除去する際に、前記炭酸根を含有するアルカリ過マンガン酸エッチング溶液の所定量を第１反応室２０に収容した後、前記溶液を攪拌しつつ、前記溶液中の炭酸根と反応して難溶性又は不溶性固体物質を生成するストロンチウム化合物を添加し、次いで、第１反応室２０の側部又は上部に形成された第１液体排出部に設けられた第１フィルター２８を介して、第１反応室２０内の溶液を排出し、且つ第１フィルター２８を通過できずに第１反応室２０の底部に沈殿した前記難溶性又は不溶性固体物質を含む沈殿物２６を、第１反応室２０から排出する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はエッチング溶液の処理方法に関し、更に詳細には炭酸根を含有するアルカリ過マンガン酸エッチング溶液をバッチ処理して、前記溶液中の炭酸根を難溶性又は不溶性固体物質として除去するエッチング溶液の処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、アルカリ過マンガン酸エッチング溶液（又はデスミア液）は、樹脂製の配線基板のデスミア処理又は粗化処理のような樹脂のエッチング処理に用いられている。かかるデスミア処理とは、例えば樹脂製の配線基板に設けられたスルーホールを形成した際に、形成したスルーホール内に残存する樹脂から成る削りかす等をアルカリ過マンガン酸エッチング溶液（デスミア液）中で樹脂成分を分解する処理である。
また、最近、コア層板の表面に形成した樹脂から成る絶縁層の表面に直接的にめっきを形成し、これをパターンエッチングして配線基板を作製するアディティブ方式が採用されつつある。かかるアディティブ方式では、樹脂製の絶縁層とめっきの密着性を良好にするために、予め絶縁層の表面を粗化するために粗化処理を施した後に、めっきを施すことが行われている。この粗化処理にも、アルカリ過マンガン酸エッチング溶液が用いられている。
この様な、アルカリ過マンガン酸エッチング溶液を用いた樹脂のエッチング処理では、アルカリ過マンガン酸エッチング溶液中で、樹脂成分の炭素（Ｃ）と水酸基（ＯＨ−）とが過マンガン酸と下記化１に示すように反応して樹脂成分を分解している。
【０００３】
【化１】
【０００４】
しかしながら、アルカリ過マンガン酸エッチング溶液（以下、単にエッチング溶液と称することがある）を継続的に使用すると、樹脂中の炭素（Ｃ）から生じる二酸化炭素（ＣＯ２）と空気中の二酸化炭素が液中に取り込まれ下記化２に示すように反応して液中の炭酸イオン（炭酸根）が増加する。
【０００５】
【化２】
この様に、エッチング溶液中に炭酸イオンとして蓄積され、一方では、エッチングに必要な水酸基（ＯＨ−）濃度が低下することになる。エッチング溶液中に炭酸イオンが蓄積されると、エッチング溶液の液寿命が短くなる。また、エッチング溶液中の水酸基イオンが低下するとエッチング能力が低下する。
更に、エッチング溶液のアルカリ規定度は、中和滴定により管理しているが、中和滴定では、水酸基イオンのみならず炭酸イオン（ＣＯ３２−）をも中和することになり、正確なアルカリ度を分析することができず、液分析精度が低下する。
この様に、アルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の炭酸イオン濃度が増加することにより、エッチング効率が低下し、正確な水酸基濃度を分析することが困難となる問題が生じていた。
【０００６】
この様に炭酸イオン濃度が増加したアルカリ過マンガン酸エッチング溶液は、従来、使用済みとして廃棄処分されていたが、省資源及び廃棄処分費用等の観点から、近年、アルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の炭酸根を可及的に減少することが行われるようになった。
かかるアルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の炭酸根の減少に関連する先行技術として、次のようなものがある。
【特許文献１】特開平６−６０３３号公報
【特許文献２】特開２０００−１３０００号公報
【特許文献３】特開２００１−１５６４２８号公報
【０００７】
特許文献１では、エッチング浴の安定性が保たれ、エッチング処理不良が防止でき、且つ一定のエッチングスピード処理を維持するための提案がなされている。これによると、エッチング浴より一定時間ごとにエッチング溶液を所定量サンプリングし、自動分析装置により過マンガン酸塩、水酸化ナトリウム、マンガン酸塩濃度を分析し、その分析値をコントローラーにて演算し、水酸化ナトリウム濃度を所定濃度に合わせる為の補充量を水酸化ナトリウム定量ポンプに伝送する。また、エッチングスピード測定セルには、一定時間毎にエッチング溶液を所定量サンプリングし、循環ポンプにて比色計で液色が赤紫色から緑色に変わるまで被処理物と同種系の有機溶剤の滴下を続け、エッチング溶液中の過マンガン酸塩濃度を一定範囲に維持しながらエッチング浴中のエッチングスピードの管理を行う。
特許文献２では、エッチング溶液中の反応生成物として蓄積される炭酸イオンを特定の処理液で沈殿除去し、エッチング溶液の安定化及び長寿命化を図るべく、エッチング槽中のアルカリ性過マンガン酸液をホンプで循環する際、配管の途中に特定の液を注入し、反応生成物の炭酸塩を沈殿させフィルターにより濾過して除去し、自動分析装置によりアルカリ規定度測定し、所定の規定度に調整し、この液により樹脂のエッチングを行う。
特許文献３では、エッチング溶液中の炭酸根を除去すべく、炭酸根が蓄積されたアルカリ過マンガン酸エッチング溶液を収容した反応室に、添加物タンクから塩化バリウムを注入して、炭酸イオンと反応して難溶性塩である炭酸バリウムとした後、炭酸バリウムを限外濾過装置によって除去する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上述した特許文献１及び特許文献２では、エッチング溶液の管理や処理に複雑な手段が必要となり、特許文献２及び特許文献３では、反応によって生成した難溶性の炭酸塩をフィルターや限外濾過によって除去しており、その管理等に多大な労力を要する。
そこで、本発明では、アルカリ過マンガン酸エッチング溶液の管理や処理を複雑な操作を要し、且つ生成する不溶性の炭酸塩を濾過するフィルターや限外濾過の管理等に多大な労力を要する従来のエッチング溶液の処理方法の課題を解決し、簡単且つ効率よくアルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の炭酸根を処理し得るエッチング溶液の処理方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者は、前記課題を解決すべく検討を重ねた結果、アルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の炭酸根とストロンチウム化合物とを反応させると、難溶性又は不溶性固体物質を生成し、かかる難溶性又は不溶性固体物質を除去することによってアルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の炭酸根を除去できること、及びかかるアルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の炭酸根の処理をバッチ処理で行うことによって、アルカリ過マンガン酸エッチング溶液中で生成した難溶性又は不溶性固体物質を反応室内で充分に沈殿できることを見出し、本発明に到達した。
すなわち、本発明は、炭酸根を含有するアルカリ過マンガン酸エッチング溶液をバッチ処理して、前記溶液中の炭酸根を難溶性又は不溶性固体物質として除去する際に、前記炭酸根を含有するアルカリ過マンガン酸エッチング溶液の所定量を第１反応室に収容した後、前記溶液を攪拌しつつ、前記溶液中の炭酸根と反応して難溶性又は不溶性固体物質を生成するストロンチウム化合物を添加し、次いで、前記第１反応室の側部又は上部に形成された第１液体排出部に設けられた第１フィルターを介して、前記第１反応室内の溶液を排出し、且つ前記第１フィルターを通過できずに第１反応室の底部に沈殿した前記難溶性又は不溶性固体物質を含む沈殿物を、前記第１反応室から排出することを特徴とするエッチング溶液の処理方法にある。
【００１０】
かかる本発明において、ストロンチウム化合物として、塩化ストロンチウムを使用することにより、処理したアルカリ過マンガン酸エッチング溶液のｐＨ調整を不要にできる。
かかるストロンチウム化合物を、アルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の炭酸根に対して０．９４モル当量以上添加することによって、処理したアルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の炭酸根をゼロにできる。
また、第１フィルターに付着した難溶性又は不溶性固体物質の一部を、第１液体排出部の遮蔽壁を兼ねたスキージ扉により掻き落すことによって、第１フィルターの詰まりを防止できる。
更に、第１反応室の液体排出部から排出されたアルカリ過マンガン酸エッチング溶液を第２反応室に収容し、前記アルカリ過マンガン酸エッチング溶液に含まれる難溶性又は不溶性固体物質を沈殿させつつ、前記第２反応室の側部に形成された第２液体排出部に設けられた第２フィルターを介してアルカリ過マンガン酸エッチング溶液液体を排出し、且つ前記第２フィルターを通過できず第２反応室の底部に沈殿した難溶性又は不溶性固体物質を含む沈殿物を第２反応室から排出することによって、第１反応室で生成した難溶性又は不溶性固体物質を可及的に分離できる。
尚、第２フィルターに付着した難溶性又は不溶性固体物質を、第２液体排出部の遮蔽壁を兼ねた第２スキージ扉により掻き落とすことによって、第２フィルターの目詰まりを防止できる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明において、アルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の炭酸根とストロンチウム化合物とを反応させた反応生成物は難溶性又は不溶性固体物質であって、この難溶性又は不溶性固体物質を簡単に且つ容易に除去できれば、アルカリ過マンガン酸エッチング溶液の再生を容易に行うことができる。
この点、本発明では、アルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の炭酸根の処理をバッチ処理で行い、反応室内でアルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の炭酸根とストロンチウム化合物とを反応させて生成した難溶性又は不溶性固体物質を充分に沈殿できる結果、限外濾過等によって難溶性又は不溶性固体物質を分離することを要せず、容易に且つ簡単にアルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の炭酸根を除去できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明に係るエッチング溶液の処理方法を実施できる装置の一例を図１に示す。図１は、エッチング溶液の処理装置を説明するための概略図である。
図１に示すエッチング溶液の処理装置では、エッチング槽１０は内部にアルカリ過マンガン酸エッチング溶液１２が収容され、樹脂製の配線基板等の樹脂のデスミヤ処理や粗化処理等のエッチング処理が行われる。
エッチング槽１０内のアルカリ過マンガン酸エッチング溶液１２は、自動分析装置１３によりマンガン（Ｍｎ）と水酸化ナトリウム（ＮａＯＨ）の濃度の分析と自動調整が行われる。
エッチング槽１０内のアルカリ過マンガン酸エッチング溶液１２は、前述のように、樹脂のエッチングを行う過程で炭酸根（炭酸イオン）濃度が増加することにより、エッチング効率が低下するので、所定時間経過後にエッチング溶液中の炭酸根を除去するために、エッチング槽１０の下部に連結されたパイプ１５を通してバルブＶ１及びポンプＰ１により第１反応室２０に供給される。
【００１３】
第１反応室２０は、その上部にストロンチウム化合物の粉末又は水溶液を反応室２０内へ自動的に添加するための自動添加装置２２が設けられている。かかるストロンチウム化合物としては、アルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の炭酸根と反応するストロンチウム化合物であって、具体的には塩化ストロンチウム、酸化ストロンチウム、水酸化ストロンチウムを挙げることができる。特に、塩化ストロンチウムは、後述する様に、再生処理を施したアルカリ過マンガン酸エッチング溶液のｐＨ調整を行うことを要しないため好ましい。
かかるストロンチウム化合物として、塩化ストロンチウムを使用することによって、再生したアルカリ過マンガン酸エッチング溶液のｐＨ調整を不要にできる。
このストロンチウム化合物を、アルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の炭酸根に対して０．９４モル当量以上添加することによって、再生したアルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の炭酸根をゼロにでき好ましい。
【００１４】
アルカリ過マンガン酸エッチング溶液１２に水酸化カルシウム１４の粉末又は水溶液が添加した第１反応室２０内の溶液２４は、第１反応室２０の側部に連結されたポンプＰ２によって攪拌される。第１反応室２０内の溶液２４中には、アルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の炭酸根とストロンチウム化合物との反応生成物から成る難溶性又は不溶性固体物質を含む沈殿物２６は、第１反応室２０内で沈降し底部に溜まる。
【００１５】
第１反応室２０の排出側の側壁部又は上部には、第１液体排出部として上部排出口３０と下部排出口３２とが設けられ、かかる上部排出口３０と下部排出口３２との入口側に設けられた第１フィルター２８を介して第１反応室２０内の液体を排出する。第１フィルター２８には、上部排出口３０と下部排出口３２との遮蔽壁を兼ねた第１スキージ扉３４が設けられている。第１スキージ扉３４は矢印Ａのように上下移動可能になっており、上部排出口３０と下部排出口３２との開閉を行うと共に、液体２４が第１フィルター２８を通過する際に、第１フィルター２８に付着した難溶性又は不溶性固体物質を含む沈殿物２６を掻き落とす作用をする。
上部排出口３０及び下部排出口３２は、それぞれのバルブＶ２、Ｖ３を介して第２次反応室４０に連結されている。第１反応室２０の液体は、ポンプＰ３により第２次反応室４０へ送られる。
【００１６】
第２次反応室４０の排出側の側壁部又は上部には、第２液体排出部としての排出口４４に設けられた第２フィルター４２を介して第２次反応室４０内の液体２４を排出する。第２フィルター４２にも、第１フィルター２８と同様に、排出口４４の遮蔽壁を兼ねた第２スキージ扉４６が設けられている。この愛２スキージ扉４６も、第１スキージ扉３４と同様に、矢印Ｂのように上下移動可能になっており、排出口４４の開閉を行うと共に、液体２４が第２フィルター４２を通過する際に、第２フィルター４２に付着した難溶性又は不溶性固体物質を含む沈殿物２６を掻き落とす作用をする。排出口４４にはポンプＰ４が設けられ、このポンプＰ４により第２次反応室４０内の液体２４は電解再生槽５０に送られる。
【００１７】
電解再生槽５０には電極５２が設けられ６価のマンガンが７価のマンガンに酸化される（電解酸化）。再生された（炭酸塩などの難溶性又は不溶性固体物質が取り除かれ、電解酸化された）エッチング溶液１２は再生液供給経路５４を経て、ポンプＰ５によりエッチング槽１０に戻され、図示しない自動分析装置１３により再度マンガン（Ｍｎ）と水酸化ナトリウムの濃度の分析と自動調整が行われ、エッチング槽１０内で再生されたアルカリ過マンガン酸エッチング溶液１２として、樹脂製の配線基板等の樹脂のデスミヤ処理や粗化処理等のエッチング処理のために使用される。
第１反応室２０及び第２次反応室４０の底部には、蓄積された難溶性又は不溶性固体物質を含む沈殿物２６を下部へ排出するための開閉扉３６、４８がそれぞれ設けられている。これらの開閉扉３６、４８の下部には、沈殿物２６の排出槽５６があり、この排出槽５６の底壁５７は傾斜しており、落下した沈殿物２６は傾斜底壁５７を下降して排出口５８から排出される。
【００１８】
本発明では、図１に示す装置を用いてバッチ処理によりアルカリ過マンガン酸エッチング溶液１２中の炭酸根の除去が行われる。
つまり、エッチング槽１０内のアルカリ過マンガン酸エッチング溶液１２が一定期間使用されると、バルブＶ１が開放されポンプＰ１が作動されることにより、炭酸根を含有するアルカリ過マンガン酸エッチング溶液１２が第１反応室２０へ供給される。そして、第１反応室２０に供給されたアルカリ過マンガン酸エッチング溶液１２に、塩化ストロンチウム、酸化ストロンチウム、水酸化ストロンチウム等の炭酸根と反応するストロンチウム化合物の粉末又は水溶液が自動添加装置２２により添加され、ポンプＰ２により攪拌される。
かかる攪拌の過程でアルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の炭酸根とストロンチウム化合物とが反応して、炭酸塩等の難溶性又は不溶性固体物質を生成する。この反応は、液体２４の温度を７５〜８５℃に保持して行うことが好ましい。このため、第１反応室２０内には、ヒータ２５が設けられている。
生成した難溶性又は不溶性固体物質は、第１反応室２０内の底部に沈降して沈殿物２６として溜まる。
【００１９】
その後、第１スキージ扉３４が上部排出口３０よりも上部へ移動して、上部排出口３０が開放し、上部バルブＶ２が開放され且つポンプＰ３が作動されると、第１反応室２０内の上部の液体２４は第１フィルター２８及び上部排出口３０を介して第１反応室２０から第２次反応室４０へ流入する。第１フィルター２８に付着した難溶性又は不溶性固定物質を含む沈殿物２６は、第１スキージ扉３４を上下移動させることにより掻き落とされる。
第１反応室２０内の液体が上部の排出口３０の位置まで排出されると、第１スキージ扉３４が上部排出口３０を塞ぐ位置まで下降し、次いで、第１スキージ扉３４が下部排出口３２を開放し、上部バルブＶ２が閉じられ下部バルブＶ３が開放される。これにより、反応室２０の中間部乃至下部の液体２４は第１フィルター２８及び排出口３２を介して第１反応室２０から第２次反応室４０へ流入する。同様に、第１フィルター２８に付着した難溶性又は不溶性固体物質を含む沈殿物２６は、第１スキージ扉３４を上下移動させることにより掻き落とされる。
第１反応室２０内の液体が下部の排出口３２の位置まで排出されると、第１反応室２０の底部付近に残された液体２４には多くの難溶性又は不溶性固体物質を含む沈殿物２６となり廃液となる。この廃液は、第１反応室２０の底部の開閉扉３６を開くことにより、下部の排出槽５６に落下して、傾斜壁５７から排出口５８へ移動し排出される。
【００２０】
第２次反応室４０に供給された液体２４は、第２次反応室４０内で残存している難溶性又は不溶性固体物質を含む沈殿物２６が除去される。
すなわち、第２次反応室４０内の液体２４は所定時間経過することにより残存している沈殿物２６の沈降が行われる。所定時間経過後に、第２スキージ扉４２を開き且つポンプＰ４を作動させることにより第２次反応室４０内の液体２４は電解再生槽５０へ供給される。その間に、第２フィルター４２に付着された難溶性または不溶性固体物質を含む沈殿物２６は第２スキージ扉４６を矢印Ｂのように上下移動させることにより、掻き落とされる。
かかる第２反応室４０でも、溶液２４中の炭酸根とストロンチウム化合物との反応が進行する可能性がある場合には、図１に示す様に、第２反応室４０内にもヒータ２５を設け、液体２４の温度を７５〜８５℃に保持することが好ましい。
第２次反応室４０内の液体２４が排出口４４の位置まで排出されると、第２次反応室４０の底部付近に残された液体２４には沈殿物２６を含んでいる廃液となる。この廃液は第２次反応室４０の底部の開閉扉４８を開くことにより、下部の排出槽５６に落下して、傾斜壁５７から排出口５８から排出される。
尚、この第２次反応室４０内の液体２４に対しても、再度、ストロンチウム化合物の粉末又は水溶液を添加してもよく、その他の沈殿剤などを再度添加してもよい。
【００２１】
この様に、図１に示す装置では、第１フィルター２８や第２フィルター４２を通過できなかった難溶性炭酸根等を含む廃液は第１反応室２０や第２次反応室４０の下層部から排出される。第１フィルター２８や第２フィルター４２に一部付着して堆積した難溶性又は不溶性固体物質は、遮蔽壁を兼ねた第１スキージ扉３４と第２スキージ扉４６により掻き落とされ下部に落下する。
【００２２】
以上説明したように、本発明のアルカリ過マンガン酸エッチング溶液の再生方法は、連続処理ではなく、一旦使用済みのエッチング溶液を、第１反応室２０や第２次反応室４０へ移してから炭酸根を含む沈殿物の除去の操作を行い、廃液を再び使用可能な状態へもどし再生するものである。すなわち、廃液を単位ごとにバッチ処理するものである。
【実施例１】
【００２３】
炭酸根濃度４３．１ｇ／Ｌのアルカリ過マンガン酸エッチング溶液２００ｍｌをビーカーへとり、液温を約８０℃に保持して塩化ストロンチウム六水和物［関東化学（株）製 ９９％］２０．４８５ｇ（０．０７６モル）を少量づつゆっくり加えた。この際に、特に激しい反応は惹起されなかった。
次いで、ビーカー内の液温を８０±５℃に保持しつつスターラーで１時間攪拌した後、室温下で２時間放置した。その後、ビーカーの底面に析出していた沈殿物をガラスフィルター（Ｇ４）で吸引ろ過した。
得られた沈殿物の重量は１２．７９５ｇ（炭酸ストロンチウムに換算して０．０８７モル）であった。炭酸根濃度から計算した炭酸ストロンチウム量と略一致した。一方、濾液として得られた処理済みアルカリ過マンガン酸エッチング溶液では、炭酸根濃度が０ｇ／Ｌであり、ｐＨは１３．２であった。また、処理済みアルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の過マンガン酸（７価）は６６．２ｇ／Ｌであり、マンガン酸（６価）は２．１ｇ／Ｌである。更に、処理済みアルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の水酸化ナトリム濃度は３４．０ｇ／Ｌである。
この様に、炭酸根を含有するアルカリ過マンガン酸エッチング溶液に塩化ストロンチウム六水和物を添加して、炭酸根を難溶性又は不溶性固体物質とすることによって、濾液として得られた処理済みアルカリ過マンガン酸エッチング溶液には炭酸根をゼロとすることができる。
更に、得られた処理済みアルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の過マンガン酸濃度を減少させることなくもなく、アルカリ濃度を上昇させることもなかった。
かかる炭酸根と塩化ストロンチウム六水和物との反応は、下記化３に示す反応式で表される。
【００２４】
【化３】
【実施例２】
【００２５】
実施例１において、炭酸根を含有するアルカリ過マンガン酸エッチング溶液及びこの溶液中の炭酸根濃度に対して、塩化ストロンチウム六水和物の添加量を下記表１に示すように変更した他は、実施例１と同様にしてアルカリ過マンガン酸エッチング溶液の処理を行った。処理済みアルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の過マンガン酸濃度、マンガン酸濃度、水酸化ナトリム濃度及び炭酸根を測定し、その結果を下記表１に併せて示す。
尚、処理前のアルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の炭酸根濃度４３ｇ／Ｌ、過マンガン酸濃度６７．８ｇ／Ｌ、マンガン酸濃度３．８ｇ／Ｌ、ＮａＯＨ濃度３７．２ｇ／Ｌであった。
【００２６】
【表１】
表１から明らかな様に、塩化ストロンチウム六水和物の添加量が炭酸根に対して０．７モル当量の場合には、処理済みアルカリ過マンガン酸エッチング溶液中に若干の炭酸根が残ったが、炭酸根に対して０．９４モル当量以上では、処理済みアルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の炭酸根をゼロとすることができた。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明に係るアルカリ過マンガン酸エッチング溶液の処理方法を実施する装置の一例を示す概略図である。
【符号の説明】
【００２８】
１０ エッチング槽
１３ 自動分析装置
１５ パイプ
２０ 第１反応室
２５ ヒータ
２６ 沈殿物
２８ 第１フィルター
３０ 上部排出口
３２ 下部排出口
３４ 第１スキージ扉
４０ 第２反応室
４２ 第２フィルター
４６ 第２スキージ扉
【技術分野】
【０００１】
本発明はエッチング溶液の処理方法に関し、更に詳細には炭酸根を含有するアルカリ過マンガン酸エッチング溶液をバッチ処理して、前記溶液中の炭酸根を難溶性又は不溶性固体物質として除去するエッチング溶液の処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、アルカリ過マンガン酸エッチング溶液（又はデスミア液）は、樹脂製の配線基板のデスミア処理又は粗化処理のような樹脂のエッチング処理に用いられている。かかるデスミア処理とは、例えば樹脂製の配線基板に設けられたスルーホールを形成した際に、形成したスルーホール内に残存する樹脂から成る削りかす等をアルカリ過マンガン酸エッチング溶液（デスミア液）中で樹脂成分を分解する処理である。
また、最近、コア層板の表面に形成した樹脂から成る絶縁層の表面に直接的にめっきを形成し、これをパターンエッチングして配線基板を作製するアディティブ方式が採用されつつある。かかるアディティブ方式では、樹脂製の絶縁層とめっきの密着性を良好にするために、予め絶縁層の表面を粗化するために粗化処理を施した後に、めっきを施すことが行われている。この粗化処理にも、アルカリ過マンガン酸エッチング溶液が用いられている。
この様な、アルカリ過マンガン酸エッチング溶液を用いた樹脂のエッチング処理では、アルカリ過マンガン酸エッチング溶液中で、樹脂成分の炭素（Ｃ）と水酸基（ＯＨ−）とが過マンガン酸と下記化１に示すように反応して樹脂成分を分解している。
【０００３】
【化１】
【０００４】
しかしながら、アルカリ過マンガン酸エッチング溶液（以下、単にエッチング溶液と称することがある）を継続的に使用すると、樹脂中の炭素（Ｃ）から生じる二酸化炭素（ＣＯ２）と空気中の二酸化炭素が液中に取り込まれ下記化２に示すように反応して液中の炭酸イオン（炭酸根）が増加する。
【０００５】
【化２】
この様に、エッチング溶液中に炭酸イオンとして蓄積され、一方では、エッチングに必要な水酸基（ＯＨ−）濃度が低下することになる。エッチング溶液中に炭酸イオンが蓄積されると、エッチング溶液の液寿命が短くなる。また、エッチング溶液中の水酸基イオンが低下するとエッチング能力が低下する。
更に、エッチング溶液のアルカリ規定度は、中和滴定により管理しているが、中和滴定では、水酸基イオンのみならず炭酸イオン（ＣＯ３２−）をも中和することになり、正確なアルカリ度を分析することができず、液分析精度が低下する。
この様に、アルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の炭酸イオン濃度が増加することにより、エッチング効率が低下し、正確な水酸基濃度を分析することが困難となる問題が生じていた。
【０００６】
この様に炭酸イオン濃度が増加したアルカリ過マンガン酸エッチング溶液は、従来、使用済みとして廃棄処分されていたが、省資源及び廃棄処分費用等の観点から、近年、アルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の炭酸根を可及的に減少することが行われるようになった。
かかるアルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の炭酸根の減少に関連する先行技術として、次のようなものがある。
【特許文献１】特開平６−６０３３号公報
【特許文献２】特開２０００−１３０００号公報
【特許文献３】特開２００１−１５６４２８号公報
【０００７】
特許文献１では、エッチング浴の安定性が保たれ、エッチング処理不良が防止でき、且つ一定のエッチングスピード処理を維持するための提案がなされている。これによると、エッチング浴より一定時間ごとにエッチング溶液を所定量サンプリングし、自動分析装置により過マンガン酸塩、水酸化ナトリウム、マンガン酸塩濃度を分析し、その分析値をコントローラーにて演算し、水酸化ナトリウム濃度を所定濃度に合わせる為の補充量を水酸化ナトリウム定量ポンプに伝送する。また、エッチングスピード測定セルには、一定時間毎にエッチング溶液を所定量サンプリングし、循環ポンプにて比色計で液色が赤紫色から緑色に変わるまで被処理物と同種系の有機溶剤の滴下を続け、エッチング溶液中の過マンガン酸塩濃度を一定範囲に維持しながらエッチング浴中のエッチングスピードの管理を行う。
特許文献２では、エッチング溶液中の反応生成物として蓄積される炭酸イオンを特定の処理液で沈殿除去し、エッチング溶液の安定化及び長寿命化を図るべく、エッチング槽中のアルカリ性過マンガン酸液をホンプで循環する際、配管の途中に特定の液を注入し、反応生成物の炭酸塩を沈殿させフィルターにより濾過して除去し、自動分析装置によりアルカリ規定度測定し、所定の規定度に調整し、この液により樹脂のエッチングを行う。
特許文献３では、エッチング溶液中の炭酸根を除去すべく、炭酸根が蓄積されたアルカリ過マンガン酸エッチング溶液を収容した反応室に、添加物タンクから塩化バリウムを注入して、炭酸イオンと反応して難溶性塩である炭酸バリウムとした後、炭酸バリウムを限外濾過装置によって除去する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上述した特許文献１及び特許文献２では、エッチング溶液の管理や処理に複雑な手段が必要となり、特許文献２及び特許文献３では、反応によって生成した難溶性の炭酸塩をフィルターや限外濾過によって除去しており、その管理等に多大な労力を要する。
そこで、本発明では、アルカリ過マンガン酸エッチング溶液の管理や処理を複雑な操作を要し、且つ生成する不溶性の炭酸塩を濾過するフィルターや限外濾過の管理等に多大な労力を要する従来のエッチング溶液の処理方法の課題を解決し、簡単且つ効率よくアルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の炭酸根を処理し得るエッチング溶液の処理方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者は、前記課題を解決すべく検討を重ねた結果、アルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の炭酸根とストロンチウム化合物とを反応させると、難溶性又は不溶性固体物質を生成し、かかる難溶性又は不溶性固体物質を除去することによってアルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の炭酸根を除去できること、及びかかるアルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の炭酸根の処理をバッチ処理で行うことによって、アルカリ過マンガン酸エッチング溶液中で生成した難溶性又は不溶性固体物質を反応室内で充分に沈殿できることを見出し、本発明に到達した。
すなわち、本発明は、炭酸根を含有するアルカリ過マンガン酸エッチング溶液をバッチ処理して、前記溶液中の炭酸根を難溶性又は不溶性固体物質として除去する際に、前記炭酸根を含有するアルカリ過マンガン酸エッチング溶液の所定量を第１反応室に収容した後、前記溶液を攪拌しつつ、前記溶液中の炭酸根と反応して難溶性又は不溶性固体物質を生成するストロンチウム化合物を添加し、次いで、前記第１反応室の側部又は上部に形成された第１液体排出部に設けられた第１フィルターを介して、前記第１反応室内の溶液を排出し、且つ前記第１フィルターを通過できずに第１反応室の底部に沈殿した前記難溶性又は不溶性固体物質を含む沈殿物を、前記第１反応室から排出することを特徴とするエッチング溶液の処理方法にある。
【００１０】
かかる本発明において、ストロンチウム化合物として、塩化ストロンチウムを使用することにより、処理したアルカリ過マンガン酸エッチング溶液のｐＨ調整を不要にできる。
かかるストロンチウム化合物を、アルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の炭酸根に対して０．９４モル当量以上添加することによって、処理したアルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の炭酸根をゼロにできる。
また、第１フィルターに付着した難溶性又は不溶性固体物質の一部を、第１液体排出部の遮蔽壁を兼ねたスキージ扉により掻き落すことによって、第１フィルターの詰まりを防止できる。
更に、第１反応室の液体排出部から排出されたアルカリ過マンガン酸エッチング溶液を第２反応室に収容し、前記アルカリ過マンガン酸エッチング溶液に含まれる難溶性又は不溶性固体物質を沈殿させつつ、前記第２反応室の側部に形成された第２液体排出部に設けられた第２フィルターを介してアルカリ過マンガン酸エッチング溶液液体を排出し、且つ前記第２フィルターを通過できず第２反応室の底部に沈殿した難溶性又は不溶性固体物質を含む沈殿物を第２反応室から排出することによって、第１反応室で生成した難溶性又は不溶性固体物質を可及的に分離できる。
尚、第２フィルターに付着した難溶性又は不溶性固体物質を、第２液体排出部の遮蔽壁を兼ねた第２スキージ扉により掻き落とすことによって、第２フィルターの目詰まりを防止できる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明において、アルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の炭酸根とストロンチウム化合物とを反応させた反応生成物は難溶性又は不溶性固体物質であって、この難溶性又は不溶性固体物質を簡単に且つ容易に除去できれば、アルカリ過マンガン酸エッチング溶液の再生を容易に行うことができる。
この点、本発明では、アルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の炭酸根の処理をバッチ処理で行い、反応室内でアルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の炭酸根とストロンチウム化合物とを反応させて生成した難溶性又は不溶性固体物質を充分に沈殿できる結果、限外濾過等によって難溶性又は不溶性固体物質を分離することを要せず、容易に且つ簡単にアルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の炭酸根を除去できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明に係るエッチング溶液の処理方法を実施できる装置の一例を図１に示す。図１は、エッチング溶液の処理装置を説明するための概略図である。
図１に示すエッチング溶液の処理装置では、エッチング槽１０は内部にアルカリ過マンガン酸エッチング溶液１２が収容され、樹脂製の配線基板等の樹脂のデスミヤ処理や粗化処理等のエッチング処理が行われる。
エッチング槽１０内のアルカリ過マンガン酸エッチング溶液１２は、自動分析装置１３によりマンガン（Ｍｎ）と水酸化ナトリウム（ＮａＯＨ）の濃度の分析と自動調整が行われる。
エッチング槽１０内のアルカリ過マンガン酸エッチング溶液１２は、前述のように、樹脂のエッチングを行う過程で炭酸根（炭酸イオン）濃度が増加することにより、エッチング効率が低下するので、所定時間経過後にエッチング溶液中の炭酸根を除去するために、エッチング槽１０の下部に連結されたパイプ１５を通してバルブＶ１及びポンプＰ１により第１反応室２０に供給される。
【００１３】
第１反応室２０は、その上部にストロンチウム化合物の粉末又は水溶液を反応室２０内へ自動的に添加するための自動添加装置２２が設けられている。かかるストロンチウム化合物としては、アルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の炭酸根と反応するストロンチウム化合物であって、具体的には塩化ストロンチウム、酸化ストロンチウム、水酸化ストロンチウムを挙げることができる。特に、塩化ストロンチウムは、後述する様に、再生処理を施したアルカリ過マンガン酸エッチング溶液のｐＨ調整を行うことを要しないため好ましい。
かかるストロンチウム化合物として、塩化ストロンチウムを使用することによって、再生したアルカリ過マンガン酸エッチング溶液のｐＨ調整を不要にできる。
このストロンチウム化合物を、アルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の炭酸根に対して０．９４モル当量以上添加することによって、再生したアルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の炭酸根をゼロにでき好ましい。
【００１４】
アルカリ過マンガン酸エッチング溶液１２に水酸化カルシウム１４の粉末又は水溶液が添加した第１反応室２０内の溶液２４は、第１反応室２０の側部に連結されたポンプＰ２によって攪拌される。第１反応室２０内の溶液２４中には、アルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の炭酸根とストロンチウム化合物との反応生成物から成る難溶性又は不溶性固体物質を含む沈殿物２６は、第１反応室２０内で沈降し底部に溜まる。
【００１５】
第１反応室２０の排出側の側壁部又は上部には、第１液体排出部として上部排出口３０と下部排出口３２とが設けられ、かかる上部排出口３０と下部排出口３２との入口側に設けられた第１フィルター２８を介して第１反応室２０内の液体を排出する。第１フィルター２８には、上部排出口３０と下部排出口３２との遮蔽壁を兼ねた第１スキージ扉３４が設けられている。第１スキージ扉３４は矢印Ａのように上下移動可能になっており、上部排出口３０と下部排出口３２との開閉を行うと共に、液体２４が第１フィルター２８を通過する際に、第１フィルター２８に付着した難溶性又は不溶性固体物質を含む沈殿物２６を掻き落とす作用をする。
上部排出口３０及び下部排出口３２は、それぞれのバルブＶ２、Ｖ３を介して第２次反応室４０に連結されている。第１反応室２０の液体は、ポンプＰ３により第２次反応室４０へ送られる。
【００１６】
第２次反応室４０の排出側の側壁部又は上部には、第２液体排出部としての排出口４４に設けられた第２フィルター４２を介して第２次反応室４０内の液体２４を排出する。第２フィルター４２にも、第１フィルター２８と同様に、排出口４４の遮蔽壁を兼ねた第２スキージ扉４６が設けられている。この愛２スキージ扉４６も、第１スキージ扉３４と同様に、矢印Ｂのように上下移動可能になっており、排出口４４の開閉を行うと共に、液体２４が第２フィルター４２を通過する際に、第２フィルター４２に付着した難溶性又は不溶性固体物質を含む沈殿物２６を掻き落とす作用をする。排出口４４にはポンプＰ４が設けられ、このポンプＰ４により第２次反応室４０内の液体２４は電解再生槽５０に送られる。
【００１７】
電解再生槽５０には電極５２が設けられ６価のマンガンが７価のマンガンに酸化される（電解酸化）。再生された（炭酸塩などの難溶性又は不溶性固体物質が取り除かれ、電解酸化された）エッチング溶液１２は再生液供給経路５４を経て、ポンプＰ５によりエッチング槽１０に戻され、図示しない自動分析装置１３により再度マンガン（Ｍｎ）と水酸化ナトリウムの濃度の分析と自動調整が行われ、エッチング槽１０内で再生されたアルカリ過マンガン酸エッチング溶液１２として、樹脂製の配線基板等の樹脂のデスミヤ処理や粗化処理等のエッチング処理のために使用される。
第１反応室２０及び第２次反応室４０の底部には、蓄積された難溶性又は不溶性固体物質を含む沈殿物２６を下部へ排出するための開閉扉３６、４８がそれぞれ設けられている。これらの開閉扉３６、４８の下部には、沈殿物２６の排出槽５６があり、この排出槽５６の底壁５７は傾斜しており、落下した沈殿物２６は傾斜底壁５７を下降して排出口５８から排出される。
【００１８】
本発明では、図１に示す装置を用いてバッチ処理によりアルカリ過マンガン酸エッチング溶液１２中の炭酸根の除去が行われる。
つまり、エッチング槽１０内のアルカリ過マンガン酸エッチング溶液１２が一定期間使用されると、バルブＶ１が開放されポンプＰ１が作動されることにより、炭酸根を含有するアルカリ過マンガン酸エッチング溶液１２が第１反応室２０へ供給される。そして、第１反応室２０に供給されたアルカリ過マンガン酸エッチング溶液１２に、塩化ストロンチウム、酸化ストロンチウム、水酸化ストロンチウム等の炭酸根と反応するストロンチウム化合物の粉末又は水溶液が自動添加装置２２により添加され、ポンプＰ２により攪拌される。
かかる攪拌の過程でアルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の炭酸根とストロンチウム化合物とが反応して、炭酸塩等の難溶性又は不溶性固体物質を生成する。この反応は、液体２４の温度を７５〜８５℃に保持して行うことが好ましい。このため、第１反応室２０内には、ヒータ２５が設けられている。
生成した難溶性又は不溶性固体物質は、第１反応室２０内の底部に沈降して沈殿物２６として溜まる。
【００１９】
その後、第１スキージ扉３４が上部排出口３０よりも上部へ移動して、上部排出口３０が開放し、上部バルブＶ２が開放され且つポンプＰ３が作動されると、第１反応室２０内の上部の液体２４は第１フィルター２８及び上部排出口３０を介して第１反応室２０から第２次反応室４０へ流入する。第１フィルター２８に付着した難溶性又は不溶性固定物質を含む沈殿物２６は、第１スキージ扉３４を上下移動させることにより掻き落とされる。
第１反応室２０内の液体が上部の排出口３０の位置まで排出されると、第１スキージ扉３４が上部排出口３０を塞ぐ位置まで下降し、次いで、第１スキージ扉３４が下部排出口３２を開放し、上部バルブＶ２が閉じられ下部バルブＶ３が開放される。これにより、反応室２０の中間部乃至下部の液体２４は第１フィルター２８及び排出口３２を介して第１反応室２０から第２次反応室４０へ流入する。同様に、第１フィルター２８に付着した難溶性又は不溶性固体物質を含む沈殿物２６は、第１スキージ扉３４を上下移動させることにより掻き落とされる。
第１反応室２０内の液体が下部の排出口３２の位置まで排出されると、第１反応室２０の底部付近に残された液体２４には多くの難溶性又は不溶性固体物質を含む沈殿物２６となり廃液となる。この廃液は、第１反応室２０の底部の開閉扉３６を開くことにより、下部の排出槽５６に落下して、傾斜壁５７から排出口５８へ移動し排出される。
【００２０】
第２次反応室４０に供給された液体２４は、第２次反応室４０内で残存している難溶性又は不溶性固体物質を含む沈殿物２６が除去される。
すなわち、第２次反応室４０内の液体２４は所定時間経過することにより残存している沈殿物２６の沈降が行われる。所定時間経過後に、第２スキージ扉４２を開き且つポンプＰ４を作動させることにより第２次反応室４０内の液体２４は電解再生槽５０へ供給される。その間に、第２フィルター４２に付着された難溶性または不溶性固体物質を含む沈殿物２６は第２スキージ扉４６を矢印Ｂのように上下移動させることにより、掻き落とされる。
かかる第２反応室４０でも、溶液２４中の炭酸根とストロンチウム化合物との反応が進行する可能性がある場合には、図１に示す様に、第２反応室４０内にもヒータ２５を設け、液体２４の温度を７５〜８５℃に保持することが好ましい。
第２次反応室４０内の液体２４が排出口４４の位置まで排出されると、第２次反応室４０の底部付近に残された液体２４には沈殿物２６を含んでいる廃液となる。この廃液は第２次反応室４０の底部の開閉扉４８を開くことにより、下部の排出槽５６に落下して、傾斜壁５７から排出口５８から排出される。
尚、この第２次反応室４０内の液体２４に対しても、再度、ストロンチウム化合物の粉末又は水溶液を添加してもよく、その他の沈殿剤などを再度添加してもよい。
【００２１】
この様に、図１に示す装置では、第１フィルター２８や第２フィルター４２を通過できなかった難溶性炭酸根等を含む廃液は第１反応室２０や第２次反応室４０の下層部から排出される。第１フィルター２８や第２フィルター４２に一部付着して堆積した難溶性又は不溶性固体物質は、遮蔽壁を兼ねた第１スキージ扉３４と第２スキージ扉４６により掻き落とされ下部に落下する。
【００２２】
以上説明したように、本発明のアルカリ過マンガン酸エッチング溶液の再生方法は、連続処理ではなく、一旦使用済みのエッチング溶液を、第１反応室２０や第２次反応室４０へ移してから炭酸根を含む沈殿物の除去の操作を行い、廃液を再び使用可能な状態へもどし再生するものである。すなわち、廃液を単位ごとにバッチ処理するものである。
【実施例１】
【００２３】
炭酸根濃度４３．１ｇ／Ｌのアルカリ過マンガン酸エッチング溶液２００ｍｌをビーカーへとり、液温を約８０℃に保持して塩化ストロンチウム六水和物［関東化学（株）製 ９９％］２０．４８５ｇ（０．０７６モル）を少量づつゆっくり加えた。この際に、特に激しい反応は惹起されなかった。
次いで、ビーカー内の液温を８０±５℃に保持しつつスターラーで１時間攪拌した後、室温下で２時間放置した。その後、ビーカーの底面に析出していた沈殿物をガラスフィルター（Ｇ４）で吸引ろ過した。
得られた沈殿物の重量は１２．７９５ｇ（炭酸ストロンチウムに換算して０．０８７モル）であった。炭酸根濃度から計算した炭酸ストロンチウム量と略一致した。一方、濾液として得られた処理済みアルカリ過マンガン酸エッチング溶液では、炭酸根濃度が０ｇ／Ｌであり、ｐＨは１３．２であった。また、処理済みアルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の過マンガン酸（７価）は６６．２ｇ／Ｌであり、マンガン酸（６価）は２．１ｇ／Ｌである。更に、処理済みアルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の水酸化ナトリム濃度は３４．０ｇ／Ｌである。
この様に、炭酸根を含有するアルカリ過マンガン酸エッチング溶液に塩化ストロンチウム六水和物を添加して、炭酸根を難溶性又は不溶性固体物質とすることによって、濾液として得られた処理済みアルカリ過マンガン酸エッチング溶液には炭酸根をゼロとすることができる。
更に、得られた処理済みアルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の過マンガン酸濃度を減少させることなくもなく、アルカリ濃度を上昇させることもなかった。
かかる炭酸根と塩化ストロンチウム六水和物との反応は、下記化３に示す反応式で表される。
【００２４】
【化３】
【実施例２】
【００２５】
実施例１において、炭酸根を含有するアルカリ過マンガン酸エッチング溶液及びこの溶液中の炭酸根濃度に対して、塩化ストロンチウム六水和物の添加量を下記表１に示すように変更した他は、実施例１と同様にしてアルカリ過マンガン酸エッチング溶液の処理を行った。処理済みアルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の過マンガン酸濃度、マンガン酸濃度、水酸化ナトリム濃度及び炭酸根を測定し、その結果を下記表１に併せて示す。
尚、処理前のアルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の炭酸根濃度４３ｇ／Ｌ、過マンガン酸濃度６７．８ｇ／Ｌ、マンガン酸濃度３．８ｇ／Ｌ、ＮａＯＨ濃度３７．２ｇ／Ｌであった。
【００２６】
【表１】
表１から明らかな様に、塩化ストロンチウム六水和物の添加量が炭酸根に対して０．７モル当量の場合には、処理済みアルカリ過マンガン酸エッチング溶液中に若干の炭酸根が残ったが、炭酸根に対して０．９４モル当量以上では、処理済みアルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の炭酸根をゼロとすることができた。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明に係るアルカリ過マンガン酸エッチング溶液の処理方法を実施する装置の一例を示す概略図である。
【符号の説明】
【００２８】
１０ エッチング槽
１３ 自動分析装置
１５ パイプ
２０ 第１反応室
２５ ヒータ
２６ 沈殿物
２８ 第１フィルター
３０ 上部排出口
３２ 下部排出口
３４ 第１スキージ扉
４０ 第２反応室
４２ 第２フィルター
４６ 第２スキージ扉
【特許請求の範囲】
【請求項１】
炭酸根を含有するアルカリ過マンガン酸エッチング溶液をバッチ処理して、前記溶液中の炭酸根を難溶性又は不溶性固体物質として除去する際に、
前記炭酸根を含有するアルカリ過マンガン酸エッチング溶液の所定量を第１反応室に収容した後、前記溶液を攪拌しつつ、前記溶液中の炭酸根と反応して難溶性又は不溶性固体物質を生成するストロンチウム化合物を添加し、
次いで、前記第１反応室の側部又は上部に形成された第１液体排出部に設けられた第１フィルタを介して、前記第１反応室内の溶液を排出し、
且つ前記第１フィルタを通過できずに第１反応室の底部に沈殿した前記難溶性又は不溶性固体物質を含む沈殿物を、前記第１反応室から排出することを特徴とするエッチング溶液の処理方法。
【請求項２】
ストロンチウム化合物として、塩化ストロンチウムを使用する請求項１に記載のエッチング溶液の処理方法。
【請求項３】
ストロンチウム化合物を、使用済みのアルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の炭酸根に対して０．９４モル当量以上添加する請求項１又は請求項３記載のエッチング溶液の処理方法。
【請求項４】
第１フィルタに付着した難溶性又は不溶性固体物質の一部を、第１液体排出部の遮蔽壁を兼ねた第１スキージ扉により掻き落す請求項１〜３のいずれか一項記載のエッチング溶液の処理方法。
【請求項５】
第１反応室の液体排出部から排出された溶液を第２反応室に収容し、前記溶液に含まれる難溶性又は不溶性固体物質を沈殿させつつ、前記第２反応室の側部に形成された第２液体排出部に設けられた第２フィルタを前記溶液を排出し、
且つ前記第２フィルタを通過できず第２反応室の底部に沈殿した難溶性又は不溶性固体物質を含む沈殿物を第２反応室から排出する請求項１〜４のいずれか一項に記載のエッチング溶液の処理方法。
【請求項６】
第２フィルタに付着した難溶性又は不溶性固体物質を、第２液体排出部の遮蔽壁を兼ねた第２スキージ扉により掻き落とす請求項５に記載のエッチング溶液の処理方法。
【請求項１】
炭酸根を含有するアルカリ過マンガン酸エッチング溶液をバッチ処理して、前記溶液中の炭酸根を難溶性又は不溶性固体物質として除去する際に、
前記炭酸根を含有するアルカリ過マンガン酸エッチング溶液の所定量を第１反応室に収容した後、前記溶液を攪拌しつつ、前記溶液中の炭酸根と反応して難溶性又は不溶性固体物質を生成するストロンチウム化合物を添加し、
次いで、前記第１反応室の側部又は上部に形成された第１液体排出部に設けられた第１フィルタを介して、前記第１反応室内の溶液を排出し、
且つ前記第１フィルタを通過できずに第１反応室の底部に沈殿した前記難溶性又は不溶性固体物質を含む沈殿物を、前記第１反応室から排出することを特徴とするエッチング溶液の処理方法。
【請求項２】
ストロンチウム化合物として、塩化ストロンチウムを使用する請求項１に記載のエッチング溶液の処理方法。
【請求項３】
ストロンチウム化合物を、使用済みのアルカリ過マンガン酸エッチング溶液中の炭酸根に対して０．９４モル当量以上添加する請求項１又は請求項３記載のエッチング溶液の処理方法。
【請求項４】
第１フィルタに付着した難溶性又は不溶性固体物質の一部を、第１液体排出部の遮蔽壁を兼ねた第１スキージ扉により掻き落す請求項１〜３のいずれか一項記載のエッチング溶液の処理方法。
【請求項５】
第１反応室の液体排出部から排出された溶液を第２反応室に収容し、前記溶液に含まれる難溶性又は不溶性固体物質を沈殿させつつ、前記第２反応室の側部に形成された第２液体排出部に設けられた第２フィルタを前記溶液を排出し、
且つ前記第２フィルタを通過できず第２反応室の底部に沈殿した難溶性又は不溶性固体物質を含む沈殿物を第２反応室から排出する請求項１〜４のいずれか一項に記載のエッチング溶液の処理方法。
【請求項６】
第２フィルタに付着した難溶性又は不溶性固体物質を、第２液体排出部の遮蔽壁を兼ねた第２スキージ扉により掻き落とす請求項５に記載のエッチング溶液の処理方法。
【図１】
【公開番号】特開２００９−１７８６３７（Ｐ２００９−１７８６３７Ａ）
【公開日】平成２１年８月１３日（２００９．８．１３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−１８４６７（Ｐ２００８−１８４６７）
【出願日】平成２０年１月３０日（２００８．１．３０）
【出願人】（０００１９０６８８）新光電気工業株式会社 (1,516)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年８月１３日（２００９．８．１３）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年１月３０日（２００８．１．３０）
【出願人】（０００１９０６８８）新光電気工業株式会社 (1,516)
【Ｆターム（参考）】
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