ガラス基板の検査用保持冶具及びガラス基板の検査方法
【課題】第５世代のマザーガラスの大きさ以上の大きさを有するガラス基板を容易に検査することのできるガラス基板の検査用保持冶具を提供する。
【解決手段】柱状部材４３，４４が柱状部材４１の右端近傍部分４１ａ及び柱状部材４２の右端近傍部分４２ａと共に形成する長方形によって、検査用保持冶具１０の柱状部材４１，４２及び柱状部材４３，４４の位置関係が強固に固定される。また、柱状部材４５，４６が柱状部材４１の左端近傍部分４１ｂ及び柱状部材４２の左端近傍部分４２ｂと共に形成する長方形によって、検査用保持冶具１０の柱状部材４１，４２及び柱状部材４５，４６の位置関係が強固に固定される。
【解決手段】柱状部材４３，４４が柱状部材４１の右端近傍部分４１ａ及び柱状部材４２の右端近傍部分４２ａと共に形成する長方形によって、検査用保持冶具１０の柱状部材４１，４２及び柱状部材４３，４４の位置関係が強固に固定される。また、柱状部材４５，４６が柱状部材４１の左端近傍部分４１ｂ及び柱状部材４２の左端近傍部分４２ｂと共に形成する長方形によって、検査用保持冶具１０の柱状部材４１，４２及び柱状部材４５，４６の位置関係が強固に固定される。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査時にガラス基板をハンドリングするためのガラス基板の検査用保持冶具、および当該検査用保持冶具を用いるガラス基板の検査方法に関し、特にフラットパネルディスプレイ等に使用されるガラス基板の検査用保持冶具およびガラス基板の検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置やプラズマディスプレイ装置などのフラットパネルディスプレイの表示部の部品として平らなガラス板が使用される。以下の説明では、このようなガラス板をフラットパネルディスプレイ用ガラス基板、あるいは単にガラス基板という。
【０００３】
例えば、液晶表示装置においては、ガラス基板の間に封入された液晶に印加される電界を変化させ、液晶の配向を変化させることにより、動画の表示が可能になる。液晶表示装置の画像の表示の際に電界を変化させる必要があるため、ガラス基板には、電圧を印加するための透明な電極が形成される。
【０００４】
また、ガラス基板上の電極に印加される電圧のオンオフを制御するため、高品質な表示が必要なテレビ受像機などに用いられる液晶表示装置では、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を使ったアクティブ・マトリクス方式の制御が採用されている。このＴＦＴもガラス基板上に形成される。
【０００５】
このように、フラットパネルディスプレイ用ガラス基板のガラス面上に、極めて薄い金属膜や半導体によって電極やアクティブな素子が形成されるため、ガラス基板のガラス表面には極めて高い平坦性が要求され、またガラス基板の内部も高い均質性が要求される。特に、フラットパネルディスプレイの分野においては、薄型テレビジョンや携帯電話機のモニタとして広く用いられており、高精細で美しい画像の表示が必要なものが増えているため、ガラス基板に要求される品質も年々高くなってきている。
【０００６】
ところで、フラットパネルディスプレイ用ガラス基板は、例えば、液晶表示装置に用いられるもの（以下、液晶用ガラス基板という）であれば、薄い長方形の板状の形態を呈する。液晶用ガラス基板は、通常、厚みが０．５ｍｍ〜０．７ｍｍ程度と１ｍｍよりも薄く、年々大型化の要求が高まってきている。そのため、ガラス基板に欠陥が発生したときに生じる損害の額も大きくなる傾向がある。
【０００７】
液晶用ガラス基板は、一つの液晶表示装置に必要な大きさのガラス基板の複数枚の大きさに相当する大きさを持つマザーガラスと呼ばれる形態で、液晶表示装置の製造工程に供給される。このマザーガラスの形態の液晶用ガラス基板の大きさは、慣用的に世代という呼び方で表現され、例えば、第５世代のマザーガラスが１１００ｍｍ×１２５０ｍｍ以上になる。そのため、１ｍｍよりも薄い液晶用ガラス基板であっても重さが数ｋｇ以上になる。
【０００８】
このような薄くて重いガラス基板の表面や内部の検査を行うために、従来は、例えば 特許文献１（特開２００６−２２０４９５号公報）に記載されているような基板検査装置を用いて頑丈な支持フレームに、ガラス基板がしっかりと固定されていた。そして、そのようにしっかりと固定されたガラス基板に光を照射して、ガラス基板から得られる光を機械または人間の目で受光することによってガラス基板の表面や内部の検査が行われていた。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかし、ガラス基板の表面の傷などが検査後に生じることがあり、マザーガラスの出荷前に検査が行なわれる場合などもあって、特許文献１に記載されているような頑丈な基板検査装置などにガラス基板を一枚ずつ取り付けと取り外しを繰り返しながら検査を行ったのでは、検査に費やす時間が多くなり過ぎてしまう。
【００１０】
そこで、ハンドリングが容易な軽い保持冶具を用いようとすると、ガラス基板の自重や保持冶具の自重などによって保持冶具に生じる歪みに起因してガラス基板に歪みが生じ、検査に要する時間が増える原因となるばかりでなく、検査時の見落としの原因ともなる。
【００１１】
本発明の課題は、第５世代のマザーガラスの大きさ以上の大きさを有するガラス基板を容易に検査することのできるガラス基板の検査用保持冶具を提供することにある。また、そのようなガラス基板の検査用保持冶具を用いたガラス基板の検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明に係るガラス基板の検査用保持冶具は、短辺が１１００ｍｍ以上の長方形状のガラス基板に光を当てて検査するためにガラス基板を保持するガラス基板の検査用保持冶具であって、第１金属製柱状部材及び第２金属製柱状部材と、第１骨組構造部材と、第２骨組構造部材と、複数のホルダとを備えている。第１金属製柱状部材及び第２金属製柱状部材は、それぞれ長手方向に延びる穴及び溝の少なくとも一方により軽量化されている。そして、第１金属製柱状部材と第２金属製柱状部材とは、互いに対向して上下に配置される。
【００１３】
第１骨組構造部材は、第１金属製柱状部材の右端近傍部分と第２金属製柱状部材の右端近傍部分とに接続されている。第１骨組構造部材と第１金属製柱状部材の右端近傍部分と第２金属製柱状部材の右端近傍部分とは、多角形を形成する。第２骨組構造部材は、第１金属製柱状部材の左端近傍部分と第２金属製柱状部材の左端近傍部分とに接続されている。そして、第２骨組構造部材と第１金属製柱状部材の左端近傍部分と第２金属製柱状部材の左端近傍部分とは、多角形を形成する。
【００１４】
複数のホルダは、互いに対向する第１骨組構造部材と第２骨組構造部材、及び、互いに対向する第１金属製柱状部材と第２金属製柱状部材のうちの少なくとも一方の組の部材の長手方向に沿ってそれぞれ３つ以上ずつ配置される。そして、これらの複数のホルダで、ガラス基板が保持される。
【００１５】
本発明に係るガラス基板の検査用保持冶具では、第１骨組構造部材が第１金属製柱状部材の右端近傍部分及び第２金属製柱状部材の右端近傍部分と共に形成する多角形によって、第１骨組構造部材と第１金属製柱状部材と第２金属製柱状部材との位置関係が強固に固定される。また、第２骨組構造部材が第１金属製柱状部材の左端近傍部分及び第２金属製柱状部材の左端近傍部分と共に形成する多角形によって、第２骨組構造部材と第１金属製柱状部材と第２金属製柱状部材との位置関係が強固に固定される。それにより、第１骨組構造部材と第２骨組構造部材と第１金属製柱状部材と第２金属製柱状部材との位置関係が強固に固定され、多角形の面内方向において検査用保持冶具が変形し難くなる。
【００１６】
一方、第１骨組構造部材で構成される骨組構造と第２骨組構造部材で構成される骨組構造は、骨組だけであるため非常に軽く作ることができる。また、第１金属製柱状部材と第２金属製柱状部材とは、それぞれ長手方向に延びる穴及び溝の少なくとも一方により軽量化されているため、必要な剛性を持っているが軽いものである。従って、第１骨組構造部材と第２骨組構造部材と第１金属製柱状部材と第２金属製柱状部材とで構成される検査用保持冶具は、軽いものとなる。なお、ここでいう長方形のガラス基板には、正方形のガラス基板も含まれる。
【００１７】
また、第１骨組構造部材は、それぞれ長手方向に延びる穴及び溝の少なくとも一方で軽量化されている互いに平行に配置された第３金属製柱状部材及び第４金属製柱状部材を含んでいることが好ましく、第２骨組構造部材は、それぞれ長手方向に延びる穴及び溝の少なくとも一方で軽量化されている互いに平行に配置された第５金属製柱状部材及び第６金属製柱状部材を含んでいることが好ましい。
【００１８】
そして、第３金属製柱状部材及び第４金属製柱状部材が第１金属製柱状部材の右端近傍部分と第２金属製柱状部材の右端近傍部分とに接続され、第３金属製柱状部材と第４金属製柱状部材と第１金属製柱状部材の右端近傍部分と第２金属製柱状部材の右端近傍部分とが長方形を形成する。また、第５金属製柱状部材及び第６金属製柱状部材が第１金属製柱状部材の左端近傍部分と第２金属製柱状部材の左端近傍部分とに接続され、第５金属製柱状部材と第６金属製柱状部材と第１金属製柱状部材の左端近傍部分と第２金属製柱状部材の左端近傍部分とが長方形を形成する。
【００１９】
第１金属製柱状部材の右端近傍部分及び左端近傍部分と第２金属製柱状部材の右端近傍部分及び左端近傍部分とをそれぞれ２本の第３金属製柱状部材及び第４金属製柱状部材と２本の第５金属製柱状部材及び第６金属製柱状部材とで接続するため、これらが形成する長方形の面内方向に変形し難いばかりでなく、長方形の面に垂直な方向にも変形し難くなる。そのため、 検査用保持冶具の第１骨組構造部材と第２骨組構造部材と第１金属製柱状部材と第２金属製柱状部材とで形成される２つの長方形の面内方向ばかりでなく、２つの長方形の面と垂直な方向への歪も軽減でき、ガラス基板の検査を正確かつ容易に行うことができる。
【００２０】
また、第１骨組構造部材が、第３金属製柱状部材と第４金属製柱状部材との間を接続する第１補助部材をさらに含むことが好ましく、第２骨組構造部材が、第５金属製柱状部材と第６金属製柱状部材との間を接続する第２補助部材をさらに含むことが好ましい。
【００２１】
第１補強部材によって、第３金属製柱状部材と第４金属製柱状部材と第１金属製柱状部材の右端近傍部分と第２金属製柱状部材の右端近傍部分とが形成する長方形がさらに変形し難くなり、第１金属製柱状部材と第２金属製柱状部材と第１骨組構造部材の位置関係がさらに強固に保たれるようになる。また、第２補強部材によって、第５金属製柱状部材と第６金属製柱状部材と第１金属製柱状部材の左端近傍部分と第２金属製柱状部材の左端近傍部分とが形成する長方形がさらに変形し難くなり、第１金属製柱状部材と第２金属製柱状部材と第２骨組構造部材との位置関係がさらに強固に保たれるようになる。それにより、検査用保持冶具の第１骨組構造部材と第２骨組構造部材と第１金属製柱状部材と第２金属製柱状部材とで形成される２つの多角形の面内方向の歪みを第１補助部材及び第２補助部材で軽減でき、さらに正確にガラス基板の検査を行うことができる。
【００２２】
また、異なるサイズのガラス基板に対応するために、それぞれ長手方向に延びる穴及び溝の少なくとも一方で軽量化されている第７金属製柱状部材及び第８金属製柱状部材をさらに備えることが好ましい。第７金属製柱状部材及び第８金属製柱状部材は、第１骨組構造部材と第２骨組構造部材との間で互いに平行になるように、それぞれ第１骨組構造部材及び第２骨組構造部材に沿って配置されることが好ましい。そして、第７金属製柱状部材及び第８金属製柱状部材は、第１金属製柱状部材と第２金属製柱状部材とに接続されている。そして、第７金属製柱状部材には、ホルダが３つ以上ずつ取り付けられ、第８金属製柱状部材には、ホルダが３つ以上ずつ取り付けられていることが好ましい。
【００２３】
第１金属製柱状部材と第２金属製柱状部材と第１骨組構造部材と第２骨組構造部材とを組立て直さなくても、第７金属製柱状部材と第８金属製柱状部材との間隔を調整することにより、左右の幅の異なる種々のガラス基板に対応することができ、左右方向の幅の異なるガラス基板の検査が容易になる。
【００２４】
また、異なるサイズのガラス基板に対応するために、長手方向に延びる穴及び溝の少なくとも一方で軽量化されている第９金属製柱状部材をさらに備えていることが好ましい。そして、第９金属製柱状部材は、第１金属製柱状部材に平行に配置され、第７金属製柱状部材と第８金属製柱状部材とに接続され、ホルダが３つ以上ずつ取り付けられていることが好ましい。
【００２５】
ガラス基板の上方をホルダで保持する場合において、第１金属製柱状部材と第２金属製柱状部材と第１骨組構造部材と第２骨組構造部材とを組立て直さなくても、第９金属製柱状部材と第２金属製柱状部材との間隔を調整することにより、上下の幅の異なる種々のガラス基板に対応することができる。それにより、上下方向の幅の異なるガラス基板の検査が容易になる。
【００２６】
また、ガラス基板の検査方法においては、本発明に係る検査用保持冶具の複数のホルダに、短辺が１１００ｍｍ以上の長方形状のガラス基板を保持させるセッティング工程と、検査用保持冶具に保持されたガラス基板に光を当てて検査するための光照射受光工程とを備えることが好ましい。
【発明の効果】
【００２７】
本発明に係るガラス基板の検査用保持冶具又はガラス基板の検査方法では、検査用保持冶具が軽量化されているにも拘らず、ガラス基板を保持した状態で検査用保持冶具に歪みが生じるのを防止できるため、第５世代のマザーガラスの大きさ以上の大きさを有するガラス基板に光を照射して正確かつ容易に検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明のガラス基板の検査の概要を説明するための概念図。
【図２】ガラス基板の製造工程中の検査工程の位置づけを説明するためのフローチャート。
【図３】図１に示す検査中のガラス基板を保持している検査用保持冶具の正面図。
【図４】図３のガラス基板よりも小さなガラス基板を保持するための検査用保持冶具の正面図。
【図５】図１に示す検査用保持冶具の右側面図。
【図６】図３に示す検査用保持冶具の柱状部材のｖｉ −ｖｉ 線断面の状態を示す端面図。
【図７】図６に示す検査用保持冶具の柱状部材についての他の断面構造を示す端面図。
【図８】図３に示す検査用保持冶具の第１継ぎ手の拡大正面図。
【図９】図８に示す第１継ぎ手のｉｘ −ｉｘ 線拡大断面図。
【図１０】図８に示す第１継ぎ手の拡大側面図。
【図１１】図３に示す検査用保持冶具の第２継ぎ手の拡大正面図。
【図１２】図１０に示す検査用保持冶具のｘｉｉ‐ｘｉｉ線拡大断面図。
【図１３】図１０に示す検査用保持冶具のｘｉｉｉ‐ｘｉｉｉ線拡大断面図。
【図１４】図３に示す検査用保持冶具のホルダの拡大正面図。
【図１５】図３に示す検査用保持冶具のホルダの一態様を示す拡大側面図。
【図１６】図３に示す検査用保持冶具のホルダの他の態様を示す拡大側面図。
【図１７】従来のガラス基板の保持冶具の変形について説明するための概念図。
【図１８】本発明に係る検査用保持冶具の変形について説明するための概念図。
【図１９】本発明の検査用保持冶具の他の態様を説明するための正面図。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
（ガラス基板の検査方法の概要）
ガラス基板の検査方法の概要について、図１及び図２を用いて説明する。例えば液晶用ガラス基板を例にすると、ガラス基板の検査は、液晶表示装置が製造される過程で、１回以上実施され、実施される検査項目も多種類に及ぶ。検査項目の中に、ガラス基板に光を当ててガラス基板から得られる光（反射光や透過光）を検査する光学的な検査がある。
【００３０】
図２には、マザーガラスの状態の液晶用ガラス基板が、原料の溶融からガラス表面に加工を施す次の工程に供給されるまでの工程の概略が示されている。図２のステップＳ１では、まず、原料となるケイ砂などの種々の粉体が秤量・混合されて、溶融炉に投入される。この粉体が、高温溶融炉の中で熔かされてガラス溶融液になる。その後、泡抜き・攪拌などによって均質化されたガラス溶融液が板状に成形される。板状に成形されたガラスが、冷めてから規定寸法に切断されて素板になる。
【００３１】
ステップＳ２の切断工程では、液晶表示装置の製造に適した大きさにするため、素板がさらに切断される。この素板から切り出されたガラス基板がマザーガラスの寸法に一致する。次の面取り工程（Ｓ３）では、切り出されたガラス基板が、その切り口を滑らかにするために研磨される。次の洗浄工程（Ｓ４）では、洗浄によって、ガラス基板のガラス表面の微細な異物や汚れが取り除かれる。
【００３２】
そして、次の検査工程（Ｓ５）では、泡や傷などの微細な欠陥の有無の検査が行われ、液晶表示装置に使用できないものが不良品として取り除かれ、良品がマザーガラスとなる。その後、例えば遠隔地の他の工場でマザーガラスのガラス表面に加工を施すなどの場合、マザーガラスが輸送可能な形態に梱包されて輸送される。
【００３３】
検査工程（Ｓ５）には、まず、図１に示す洗浄後のガラス基板３０を、図１に示す検査用保持冶具１０に保持させるセッティング工程（Ｓ５ａ）がある。次に、検査用保持冶具１０に保持されたガラス基板３０が投光器２０の設置場所に移動された後、投光器２０によってガラス基板３０にスポットライト２１が照射されて例えば目視による光学的な検査が行われる（Ｓ５ｂ）。検査工程（Ｓ５）では、光学的な検査以外の検査が行われてもよく、例えばガラス基板３０の大きさなどの検査が行われる。
【００３４】
スポットライト２１の範囲内に欠陥３１がある場合、照射されたスポットライト２１により、この欠陥３１が強調されて目視などの検査での欠陥の発見が容易になる。欠陥３１には、泡や傷以外に、例えば異物、脈理などがある。ここで脈理とは、シリカ原料などの未溶解粒子や二酸化ケイ素濃度の高いガラス質層のことであり、ガラス溶融液が溶解工程で均質にならなかった場合に発生する。
【００３５】
既に述べたように、スポットライト２１が照射される範囲を限定して移動しないと検査が散漫になり、欠陥の見落としの原因となる。しかし、このようにスポットライト２１の照射範囲を限定すると、スポットライト２１とガラス基板３０の相対的な位置関係を少しずつずらしながら検査を行わなくてはならなくなる。
【００３６】
簡易に素早くガラス基板全体の光学的な検査を行う際には、ガラス基板３０を保持した状態で検査用保持冶具１０がハンドリングされて移動される。例えば、ガラス基板３０の大きさが第８世代（Ｇ８）であれば、ガラス基板３０の縦方向の長さが２２００ｍｍにもなり、横方向の長さが２５００ｍｍにもなる。この場合は、２人の作業者が左右両側から検査用保持冶具を支え、検査者が所定の場所に立って目視検査を行う。これら２人の作業者が少しずつ検査用保持冶具１０を移動させることにより、スポットライト２１の当たる場所を少しずつ移動させることができる。あるいは、投光器２０のスポットライト２１の照射位置が移動装置によって自動的に移動するように構成することもできる。投光器２０のスポットライト２１と検査用保持冶具の相対位置の移動を、移動装置による移動と作業者による移動とを組合せることもできる。
【００３７】
（検査用保持冶具の全体の構成）
図３に示す検査用保持冶具１０は、ガラス基板３０を保持している。図３の検査用保持冶具１０の右側面の構造を図４に示す。なお、図３及び図４に描かれた検査用保持冶具１０，１０Ａについては、図３及び図４に書き込まれたシンボルに従って検査用保持冶具１０，１０Ａの上下左右を定義して説明し、図５においても図５に書き込まれたシンボルに従って検査用保持冶具１０の上下を定義して説明する。
【００３８】
図３に示す検査用保持冶具１０の基本的なフレームは、主に、９本のアルミニウム製の柱状部材４１〜４９で構成されている。これら９本の柱状部材４１〜４９は、同一の断面構造を有している。図６に、図３の柱状部材４４のｉｘ‐ｉｘ線断面の構造を示す。また、図７に柱状部材４４の他の断面構造の例を示す。これら９本の柱状部材４１〜４９は、長手方向に長く延びる穴４４ａ又は溝４４ｆによって軽量化されている。図６及び図７には、断面構造の例として、穴４４ａ又は溝４４ｆの一方のみが形成される場合が示されているが、穴と溝とを組み合わせて軽量化することもできる。また、軽量化するためには、任意の数の穴や溝を用いることができる。
【００３９】
これら柱状部材４１〜４９は、２種類の第１継ぎ手５０と第２継ぎ手６０とによって接続されることにより、フレーム形状に組み立てられる。そのため、柱状部材４１〜４９には、互いに対向する面に、長手方向に延びる溝４４ｂ，４４ｃ，４４ｄ，４４ｅが形成されている。
【００４０】
柱状部材４１，４２，４３，４５，４７，４８の両端部には、第１継ぎ手５０が嵌め込まれて固定されている。
【００４１】
左右両端部に第１継ぎ手５０が嵌め込まれた柱状部材４１は、第１継ぎ手５０によって、右端部が柱状部材４４の上端部に固定され、左端部が柱状部材４６の上端部に固定されている。左右両端部に第１継ぎ手５０が嵌め込まれた柱状部材４２は、第１継ぎ手５０によって、右端部が柱状部材４４の下端部に固定され、左端部が柱状部材４６の下端部に固定されている。
【００４２】
上下両端部に第１継ぎ手５０が嵌め込まれた柱状部材４３，４５，４７，４８は、第１継ぎ手５０によって、上端部が柱状部材４１に固定され、下端部が柱状部材４２に固定されている。そして、柱状部材４１の右端近傍の柱状部材４３，４４の間が右端近傍部分４１ａであり、柱状部材４１の左端近傍の柱状部材４５，４６の間が左端近傍部分４１ｂである。柱状部材４２の右端近傍の柱状部材４３，４４の間が右端近傍部分４２ａであり、柱状部材４１の左端近傍の柱状部材４５，４６の間が左端近傍部分４２ｂである。
【００４３】
柱状部材４９は、正面視において、その右端近傍が第２継ぎ手６０によって柱状部材４７と十字に交差するように組み止められており、その左端近傍が第２継ぎ手６０によって柱状部材４８と十字に交差するように組み止められている。
【００４４】
２本の平行に配置されている柱状部材４３，４４の間には、３本の補助部材７０が接続され、２本の平行に配置されている柱状部材４５，４６の間には３本の補助部材７１が接続されている。補助部材７０，７１の両端部にも第１継ぎ手５０がそれぞれ嵌め込まれており、補助部材７０，７１と柱状部材４３〜４６とは第１継ぎ手５０によって固定されている。
【００４５】
ガラス基板３０は、柱状部材４２，４７，４８，４９に囲まれる長方形の領域内に保持される。そのために、ガラス基板３０を吸着するホルダ８０が、それぞれの柱状部材４２，４７，４８，４９に多数取り付けられている。
【００４６】
通常、マザーガラスとしてのガラス基板３０の周囲には、液晶表示装置には用いられない未使用領域がある。ホルダ８０で吸着するとホルダ８０からゴミや油などの異物が付着する恐れがあるため、ホルダ８０による吸着は、ガラス基板３０のこの未使用領域を使って行われる。
【００４７】
ガラス基板３０の検査を行う場合、作業者は、例えば柱状部材４４，４６を手で掴むことによって、ガラス基板３０を立てた状態で、左右に移動したり、上下に移動したりといったガラス基板の移動を容易に行わせることができる。
【００４８】
図４に示す検査用保持冶具１０Ａは、図３に示すガラス基板３０よりも上下左右の寸法の小さなガラス基板３０Aを保持するため、図３に示す検査用保持冶具１０を組み変えたものである。
【００４９】
外側の枠構造を形成する柱状部材４１〜４６の接続は、図３に示す状態と図４に示す状態のいずれの場合も同じである。図３の検査用保持冶具１０と図４の検査用保持冶具１０Ａとの間において異なるのは、柱状部材４７〜４９の接続位置と、それら及び柱状部材４２に取り付けられているホルダ８０の個数である。
【００５０】
このような柱状部材４７〜４９の接続位置の変更は、第１継ぎ手５０と第２継ぎ手６０の取り付け位置を変更するだけで行うことができる。また、ホルダ８０の取り付け個数も、ホルダ８０を取り外すだけで行うことができる。そのため、検査用保持冶具１０，１０Ａを使った光学的な検査において、大きさの異なるガラス基板３０，３０Aに対する対応も容易に行うことができる。
【００５１】
（検査用保持冶具の部品の構造）
（１）第１継ぎ手
図８乃至図１０を用いて第１継ぎ手の構造について説明する。第１継ぎ手５０の正面形状を図８に示し、図８のｉｘ ‐ｉｘ 線断面を図９に示し、図８の状態に置いた第１継ぎ手５０の右側面を図１０に示す。
【００５２】
第１継ぎ手５０は、主に、台座部５２と溝嵌合締付部５３と端部嵌合締付部５４との３つの部分からなっている。台座部５２の左側には、断面視において、略円弧状に凹んだ凹部５２ａが形成されており、左端の近傍に第１継ぎ手５０の長手方向に対して垂直に延びる凸条５２ｂが形成されている。
【００５３】
一方、台座部５２の右側には、右側面から見て、長円を長手方向に沿って半分に割ったような形状に見える窪み５２ｃが台座部５２の右端から中央に向かって延びている。また、この右側の窪み５２ｃには、その窪み５２ｃが延びる方向に沿って凸条５２ｄが形成されている。そして、台座部５２には、六角ボルト５５，５６がねじ込まれる雌ネジが切られたネジ穴５２ｅ，５２ｆが形成されている。
【００５４】
溝嵌合締付部５３には、台座部５２の凹部５２ａと対をなす対称な形状の凹部５３ａが形成されている。そして、台座部５２に溝嵌合締付部５３を取り付けた状態において、台座部５２の凸条５２ｂと平行に向き合う位置に凸条５３ｂが形成されている。また、ネジ穴５２ｅに続くネジ穴５３ｃが溝嵌合締付部５３に形成されている。例えば、柱状部材４４の端部近傍に第１継ぎ手５０が接続される場合、凸条５２ｂ，５３ｂが溝４４ｂ，４４ｃに嵌め込まれて六角ボルト５５が締められて台座部５２に溝嵌合締付部５３が取り付けられることにより、台座部５２の凹部５２ａと溝嵌合締付部５３の凹部５３ａで柱状部材４４が挟まれて互いに動かないように固定される。
【００５５】
端部嵌合締付部５４には、台座部５２の窪み５２ｃと対をなす対称な形状の窪み５４ａが形成されている。台座部５２に端部嵌合締付部５４を取り付けた状態においては、窪み５２ｃと窪み５４ａが合わさって例えば図６や図７に示す柱状部材４４の外形におおよそ等しい嵌合穴５８が形成される。そして、台座部５２に端部嵌合締付部５４を取り付けた状態において、台座部５２の凸条５２ｄと平行に向き合う位置に凸条５４ｂが形成されている。また、ネジ穴５２ｅに続くネジ穴５４ｃが端部嵌合締付部５４に形成されている。例えば、柱状部材４４の端部に第１継ぎ手５０を接続する場合、凸条５２ｄ，５４ｂを溝４４ｂ，４４ｃに嵌め込んで六角ボルト５６を締めて、台座部５２に端部嵌合締付部５４を取り付けることにより、台座部５２の凹部５２ａと端部嵌合締付部５４の凹部５４ａで柱状部材４４が挟まれて互いに動かないように固定される。
【００５６】
（２）第２継ぎ手
図１１乃至図１３を用いて第２継ぎ手の構造について説明する。第２継ぎ手６０の正面形状を図１１に示し、図１１のｘｉｉ‐ｘｉｉ線断面を図１２に示し、図１１のｘｉｉｉ‐ｘｉｉｉ線断面を図１３に示す。
【００５７】
第２継ぎ手６０は、主に、基部６１と前方右溝嵌合部６２と前方左溝嵌合部６３と後方上溝嵌合部６４と後方下溝嵌合部６５とからなる。これら４つの部分は、それぞれ４つの六角ボルト６６〜６９によって、基部６１に取り付けられる。そのために、雌ネジが切られている４つのネジ穴６１ａ，６１ｂが基部６１に形成され、ネジの切られていない穴６２ｂ，６３ｂ，６４ｂ，６５ｂがそれぞれ前方右溝嵌合部６２と前方左溝嵌合部６３と後方上溝嵌合部６４と後方下溝嵌合部６５とに形成されている。
【００５８】
基部６１と前方右溝嵌合部６２と前方左溝嵌合部６３と後方上溝嵌合部６４と後方下溝嵌合部６５には、それぞれの部分の長手方向に沿って延びる凸条６２ａ，６３ａ，６４ａ，６５ａが設けられている。これらの凸条６２ａ，６３ａ，６４ａ，６５ａは、例えば柱状部材４４に第１継ぎ手５０が取り付けられるときに溝４４ｂ，４４ｃに凸条５２ｂ，５２ｄ，５３ａ，５４ａが嵌まるのと同様に、柱状部材４７〜４９の溝に嵌まるものである。例えば、柱状部材４７，４８の側面の溝（溝４４ｄ，４４ｅに相当する溝）に凸条６２ａ，６３ａが嵌まり、柱状部材４９の前面と後面の溝（溝４４ｂ，４４ｃに相当する溝）に凸条６４ａ，６５ａが嵌まる。
【００５９】
前方右溝嵌合部６２と前方左溝嵌合部６３とで固定される柱状部材４７，４８に対して、後方上溝嵌合部６４と後方下溝嵌合部６５とで固定される柱状部材４９は、正面視において十字に直交するように配置される。そして、図５に示すように側面視において柱状部材４７，４８と柱状部材４９と重なる位置に配置されない。そのため、ホルダ８０において、柱状部材４７，４８と柱状部材４９との配置位置の差から生じるガラス基板３０、３０Aまでの距離の調節が必要になる。
【００６０】
（３）補助部材
柱状部材４３，４４の間に設けられた補助部材７０及び柱状部材４５，４６の間に設けられた補助部材７１は、柱状部材４１〜４９と同じ材料で形成される短い柱状部材の両端に第１継ぎ手５０が嵌めこまれて構成されている。つまり、第１継ぎ手５０の端部嵌合締付部５４の側が短い柱状部材に嵌め込まれる。そして、溝嵌合締付部５３の側が柱状部材４３〜４６に取り付けられる。これらの補助部材７０，７１により、さらに、柱状部材４１〜４６で構成される枠の部分が強固に固定される。
【００６１】
（４）ホルダ
図１４乃至図１６を用いてホルダの構造について説明する。ホルダ８０の正面形状を図１４に示し、側面形状の一態様を図１５に示し、側面形状の他の態様を図１６に示す。
【００６２】
図１４に示すように、ホルダ８０は、ガラス基板３０，３０Aを吸着するために吸盤８１を備えている。吸盤８１には、空気を吸込むための開口部８１ａの周囲に薄い皿状の弾性体が形成されている。吸盤８１は、長い中空の支持部８２に取り付けられており、支持部８２の中空部が吸盤８１の開口部８１ａに繋がっている。そして、支持部８２の端部にコネクタ部８５が設けられている。コネクタ部８５はチューブ（図示省略）に接続されており、チューブに繋がっているポンプ（図示省略）によってコネクタ部８５を通して空気が吸い出される。
【００６３】
支持部８２の高さを調節するために、支持部８２が雄ネジ８３に嵌め込まれて固定されている。この雄ネジ８３が板状の基板８６にあけられた穴に垂直に差し込まれ、基板８６の上下から雄ネジ８３にねじ込まれる２つのナット８４によって挟まれて固定される。
【００６４】
基板８６の他端近傍に、ピン９０や凹部９１に嵌め込まれて下溝嵌合締付部８７が固定されている。そして、下溝嵌合締付部８７の上に上溝嵌合締付部８８が六角ボルト８９で取り付けられる。下溝嵌合締付部８７と上溝嵌合締付部８８には、互いに対向する位置に凸条８７ａ，８８ａが設けられている。下溝嵌合締付部８７と上溝嵌合締付部８８とは、第１継ぎ手５０の台座部５２と溝嵌合締付部５３の関係と同じように、凸条８７ａ，８８ａが柱状部材４２，４７〜４９の溝に嵌合された状態で六角ボルト８９によって締め付けられて柱状部材４２，４７〜４９に固定される。そのため、柱状部材４２，４７〜４９に取り付けられるホルダ８０の位置の変更が容易になる。
【００６５】
図１６に示すように基板８６に取り付ける吸盤８１の方向を図１５とは逆にすることもできる。例えば、柱状部材４２、４７，４８と柱状部材４９との取り付け位置の前後方向の差を補うために、図１５に示すホルダ８０を柱状部材４２、４７，４８に取り付けて図１６に示すホルダ８０を柱状部材４９に取り付けることができる。そのように取り付けると、柱状部材４２，４７〜４９に取り付けられる全てのホルダ８０の基板８６の前後方向の取り付け位置をほぼ同じ所に揃えることができる。それにより、吸盤８１の前後方向の位置合わせが容易になる。
【００６６】
＜特徴＞
（１）アルミニウム製の柱状部材４１（第１金属製柱状部材）の右端近傍部分４１ａとアルミニウム製の柱状部材４２（第２金属製柱状部材）の右端近傍部分４２ａとアルミニウム製の柱状部材４３，４４（第１骨組構造部材）とによって、図１８に斜線で示した長方形１０ａ（多角形）が形成されている。また、柱状部材４１（第１金属製柱状部材）の左端近傍部分４１ｂと柱状部材４２（第２金属製柱状部材）の左端近傍部分４２ｂとアルミニウム製の柱状部材４５，４６（第２骨組構造部材）とによって、図１８に斜線で示した長方形１０ｂ（多角形）が形成されている。これらのアルミニウム柱状部材４１〜４６は、長手方向に延びる穴及び溝の少なくとも一方によって軽量化されている。また、長方形１０ａ、１０ｂを骨組構造で形成することで更なる軽量化が図られている。
【００６７】
図１７に示すように、従来の保持冶具２００は、金属製柱状部材２０１，２０２，２０３，２０４で囲まれた領域２１１にガラス基板を保持していたため、保持冶具２００の変形によってガラス基板の変形も誘発されて、特に光学的な検査においては光な反射や透過などの仕方が変わるため、検査での見落としの原因となっていた。
【００６８】
図１８に示すように、ガラス基板を保持する領域１１の左右に長方形１０ａ，１０ｂが形成されているため、検査用保持冶具１０が歪み難く、従って検査用保持冶具１０に保持されているガラス基板も歪み難くなる。そのため、検査用保持冶具１０は、軽量であるため、図２に示すセッティング工程Ｓ５ａにおけるハンドリングが容易になるばかりでなく、図２の光照射受光工程Ｓ５ｂにおける光の照射と受光を伴う光学的な検査が正確に行えるようになる。なお、検査用保持冶具１０と同じ構造を持つ検査用保持冶具１０Ａも検査用保持冶具１０と同様の効果を奏する。
【００６９】
ここでは、多角形として長方形１０ａ，１０ｂを例に示しているが、三角形や五角形など他の多角形でもよい。また、多角形を２つ以上組み合わせたものでもよく、長方形１０ａ，１０ｂの対頂角を柱状部材で結んで例えば２つの三角形を組み合わせたような形状にすることもできる。また多角形が多面体の一部であってもよく、例えば第１骨組構造部材と第２骨組構造部材で２つの直方体を形成して第１金属製柱状部材と第２金属製柱状部材をそれらの直方体に渡すように構成し、直方体を構成する一部分の柱状部材と第１金属製柱状部材や第２金属製柱状部材とで多角形を形成することもできる。
【００７０】
例えば、多角形が長方形以外の場合について、図１９に示す検査用保持冶具１１０の枠と、図１８に示す検査用保持冶具１０の枠とを比較しながら説明する。検査用保持冶具１１０の柱状部材１４１，１４２は、それぞれ検査用保持冶具１０の柱状部材４１，４２に対応する。また、検査用保持冶具１１０の柱状部材１４３，１４５は、それぞれ検査用保持冶具１０の柱状部材４３，４５に対応する。ところが、検査用保持冶具１０の柱状部材４４，４６に対応するのは、それぞれ検査用保持冶具１１０の柱状部材１４４ａ，１４４ｂ，１４６ａ，１４６ｂである。そして、柱状部材１４１，１４２の右端近傍部分１４１ａ，１４２ａ及び左端近傍部分１４１ｂ，１４２ｂを含んで形成されている多角形は、三角形１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃ，１１０ｄである。主に、これらの三角形１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃ，１１０ｄによって検査用保持冶具１１０の変形が防がれている。なお、図１９に示されている柱状部材１４７，１４８は、取っ手の役割を果たすと同時に、検査用保持冶具１１０の変形を防止する補助部材の役割を果たす。
【００７１】
長方形１０ａの２辺を構成する互いに対向する柱状部材４３，４４の間が補助部材７０で接続されている。また、長方形１０ｂの２辺を構成する互いに対向する柱状部材４５，４６の間が補助部材７１で接続されている。このように、多角形を構成する辺を補助部材で接続することにより、多角形がより変形し難くなるため、検査用保持冶具１０，１０Ａの変形に伴う不具合の発生をさらに低減することができる。
【００７２】
検査用保持冶具１０，１０Ａは、その構成部品として、同じ材料の柱状部材を適当な長さに切り出したもの（柱状部材４１〜４９や補助部材７０，７１の柱状部分）と多数の第１継ぎ手５０と多数のホルダ８０とを用いている。そのため、材料の調達が容易で、各部品が破損したときの修理が容易であるばかりでなく、検査用保持冶具１０，１０Ａの製造コストも低く抑えることができる。
【００７３】
（２）
図３と図４とを比較して分かるように、ホルダ８０が取り付けられるアルミニウムの製柱状部材４７〜４９（第７金属製柱状部材、第８金属製柱状部材、第９金属製柱状部材）の位置関係を変更することにより、異なる大きさのガラス基板３０，３０Aに対応することができる。
【００７４】
すなわち、柱状部材４１の中央と柱状部材４２の中央を結ぶ中心線から柱状部材４７，４８が等距離に配置されるように柱状部材４７，４８の間隔を狭くすることで、左右の幅の狭いガラス基板に対応することができる。また、柱状部材４９の配置位置を下げることで、上下方向の幅の狭いガラス基板に対応することができる。
【００７５】
柱状部材４７，４８の間隔を狭くするときには、第１継ぎ手５０の溝嵌合締付部５３を締め付けている六角ボルト５５を緩めて柱状部材４７，４８をずらした後、再び六角ボルト５５を締め付けるだけの簡単な作業を行うだけでよい。ただし、第２継ぎ手６０で柱状部材４７，４８が固定されていると移動できないため、柱状部材４７，４８の間隔を変えるときには、第２継ぎ手６０を緩めておく必要がある。
【００７６】
柱状部材４９の配置位置を下げるときには、第２継ぎ手６０の４つの六角ボルト６６〜６９を緩めておき、柱状部材４９を下げた後、再び六角ボルト６６〜６９を締め付けるだけの簡単な作業を行うだけでよい。
【００７７】
＜変形例＞
（１）上記実施形態では、ガラス基板の検査用保持冶具１０，１０Ａが使用される場面として、液晶用ガラス基板のマザーガラスを輸送する前に行う目視検査を例にあげて説明したが、検査用保持冶具１０，１０Ａが使用される場面はこのような場合に限られるものではない。液晶用ガラス基板だけでなく、他のプラズマディスプレイなどのフラットパネルディスプレイに用いられるガラス基板の検査にも適用できる。
【００７８】
（２）また、上記実施形態では、ガラス基板の検査用保持冶具１０，１０Ａをガラス基板の表面に他の層が形成される前の検査に適用される例について説明したが、ガラス基板の表面にブラックマトリクスなどの層や電極や素子などを形成した後に行う光学的な検査にも用いることができる。
【００７９】
（３）上記実施形態では、複数の第１継ぎ手５０によってアルミニウム製の柱状部材４１〜４９を組み立てて検査用保持冶具１０，１０Ａを形成している。このように、柱状部材同士が複数の第１継ぎ手５０で接続されるため、長さの異なる柱状部材を準備することで種々の大きさの検査用保持冶具が組み立てられるから、大きさを変更し易くなっていて大きさの異なるガラス基板への適用性は優れている。しかし、大きさの変更を行わないタイプの検査用保持冶具を準備するのであれば、第１継ぎ手５０による接続に代えて溶接などの他の接続方法により行うこともできる。例えば一番外側の枠の大きさを変更しないタイプの検査用保持冶具であれば、柱状部材４１，４２と柱状部材４３，４４との接続を溶接により行うこともでき、その場合には対応できるガラス基板の大きさには限界ができるが、接続部分が強固になって検査用保持冶具の形状の安定性は増す。
【符号の説明】
【００８０】
１０，１０Ａ 検査用保持冶具
２０ 投光器
３０，３０A ガラス基板
４１〜４９，１４１〜１４８ 柱状部材
５０ 第１継ぎ手
６０ 第２継ぎ手
７０，７１ 補助部材
８０ ホルダ
【先行技術文献】
【特許文献】
【００８１】
【特許文献１】特開２００６−２２０４９５号公報
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査時にガラス基板をハンドリングするためのガラス基板の検査用保持冶具、および当該検査用保持冶具を用いるガラス基板の検査方法に関し、特にフラットパネルディスプレイ等に使用されるガラス基板の検査用保持冶具およびガラス基板の検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置やプラズマディスプレイ装置などのフラットパネルディスプレイの表示部の部品として平らなガラス板が使用される。以下の説明では、このようなガラス板をフラットパネルディスプレイ用ガラス基板、あるいは単にガラス基板という。
【０００３】
例えば、液晶表示装置においては、ガラス基板の間に封入された液晶に印加される電界を変化させ、液晶の配向を変化させることにより、動画の表示が可能になる。液晶表示装置の画像の表示の際に電界を変化させる必要があるため、ガラス基板には、電圧を印加するための透明な電極が形成される。
【０００４】
また、ガラス基板上の電極に印加される電圧のオンオフを制御するため、高品質な表示が必要なテレビ受像機などに用いられる液晶表示装置では、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を使ったアクティブ・マトリクス方式の制御が採用されている。このＴＦＴもガラス基板上に形成される。
【０００５】
このように、フラットパネルディスプレイ用ガラス基板のガラス面上に、極めて薄い金属膜や半導体によって電極やアクティブな素子が形成されるため、ガラス基板のガラス表面には極めて高い平坦性が要求され、またガラス基板の内部も高い均質性が要求される。特に、フラットパネルディスプレイの分野においては、薄型テレビジョンや携帯電話機のモニタとして広く用いられており、高精細で美しい画像の表示が必要なものが増えているため、ガラス基板に要求される品質も年々高くなってきている。
【０００６】
ところで、フラットパネルディスプレイ用ガラス基板は、例えば、液晶表示装置に用いられるもの（以下、液晶用ガラス基板という）であれば、薄い長方形の板状の形態を呈する。液晶用ガラス基板は、通常、厚みが０．５ｍｍ〜０．７ｍｍ程度と１ｍｍよりも薄く、年々大型化の要求が高まってきている。そのため、ガラス基板に欠陥が発生したときに生じる損害の額も大きくなる傾向がある。
【０００７】
液晶用ガラス基板は、一つの液晶表示装置に必要な大きさのガラス基板の複数枚の大きさに相当する大きさを持つマザーガラスと呼ばれる形態で、液晶表示装置の製造工程に供給される。このマザーガラスの形態の液晶用ガラス基板の大きさは、慣用的に世代という呼び方で表現され、例えば、第５世代のマザーガラスが１１００ｍｍ×１２５０ｍｍ以上になる。そのため、１ｍｍよりも薄い液晶用ガラス基板であっても重さが数ｋｇ以上になる。
【０００８】
このような薄くて重いガラス基板の表面や内部の検査を行うために、従来は、例えば 特許文献１（特開２００６−２２０４９５号公報）に記載されているような基板検査装置を用いて頑丈な支持フレームに、ガラス基板がしっかりと固定されていた。そして、そのようにしっかりと固定されたガラス基板に光を照射して、ガラス基板から得られる光を機械または人間の目で受光することによってガラス基板の表面や内部の検査が行われていた。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかし、ガラス基板の表面の傷などが検査後に生じることがあり、マザーガラスの出荷前に検査が行なわれる場合などもあって、特許文献１に記載されているような頑丈な基板検査装置などにガラス基板を一枚ずつ取り付けと取り外しを繰り返しながら検査を行ったのでは、検査に費やす時間が多くなり過ぎてしまう。
【００１０】
そこで、ハンドリングが容易な軽い保持冶具を用いようとすると、ガラス基板の自重や保持冶具の自重などによって保持冶具に生じる歪みに起因してガラス基板に歪みが生じ、検査に要する時間が増える原因となるばかりでなく、検査時の見落としの原因ともなる。
【００１１】
本発明の課題は、第５世代のマザーガラスの大きさ以上の大きさを有するガラス基板を容易に検査することのできるガラス基板の検査用保持冶具を提供することにある。また、そのようなガラス基板の検査用保持冶具を用いたガラス基板の検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明に係るガラス基板の検査用保持冶具は、短辺が１１００ｍｍ以上の長方形状のガラス基板に光を当てて検査するためにガラス基板を保持するガラス基板の検査用保持冶具であって、第１金属製柱状部材及び第２金属製柱状部材と、第１骨組構造部材と、第２骨組構造部材と、複数のホルダとを備えている。第１金属製柱状部材及び第２金属製柱状部材は、それぞれ長手方向に延びる穴及び溝の少なくとも一方により軽量化されている。そして、第１金属製柱状部材と第２金属製柱状部材とは、互いに対向して上下に配置される。
【００１３】
第１骨組構造部材は、第１金属製柱状部材の右端近傍部分と第２金属製柱状部材の右端近傍部分とに接続されている。第１骨組構造部材と第１金属製柱状部材の右端近傍部分と第２金属製柱状部材の右端近傍部分とは、多角形を形成する。第２骨組構造部材は、第１金属製柱状部材の左端近傍部分と第２金属製柱状部材の左端近傍部分とに接続されている。そして、第２骨組構造部材と第１金属製柱状部材の左端近傍部分と第２金属製柱状部材の左端近傍部分とは、多角形を形成する。
【００１４】
複数のホルダは、互いに対向する第１骨組構造部材と第２骨組構造部材、及び、互いに対向する第１金属製柱状部材と第２金属製柱状部材のうちの少なくとも一方の組の部材の長手方向に沿ってそれぞれ３つ以上ずつ配置される。そして、これらの複数のホルダで、ガラス基板が保持される。
【００１５】
本発明に係るガラス基板の検査用保持冶具では、第１骨組構造部材が第１金属製柱状部材の右端近傍部分及び第２金属製柱状部材の右端近傍部分と共に形成する多角形によって、第１骨組構造部材と第１金属製柱状部材と第２金属製柱状部材との位置関係が強固に固定される。また、第２骨組構造部材が第１金属製柱状部材の左端近傍部分及び第２金属製柱状部材の左端近傍部分と共に形成する多角形によって、第２骨組構造部材と第１金属製柱状部材と第２金属製柱状部材との位置関係が強固に固定される。それにより、第１骨組構造部材と第２骨組構造部材と第１金属製柱状部材と第２金属製柱状部材との位置関係が強固に固定され、多角形の面内方向において検査用保持冶具が変形し難くなる。
【００１６】
一方、第１骨組構造部材で構成される骨組構造と第２骨組構造部材で構成される骨組構造は、骨組だけであるため非常に軽く作ることができる。また、第１金属製柱状部材と第２金属製柱状部材とは、それぞれ長手方向に延びる穴及び溝の少なくとも一方により軽量化されているため、必要な剛性を持っているが軽いものである。従って、第１骨組構造部材と第２骨組構造部材と第１金属製柱状部材と第２金属製柱状部材とで構成される検査用保持冶具は、軽いものとなる。なお、ここでいう長方形のガラス基板には、正方形のガラス基板も含まれる。
【００１７】
また、第１骨組構造部材は、それぞれ長手方向に延びる穴及び溝の少なくとも一方で軽量化されている互いに平行に配置された第３金属製柱状部材及び第４金属製柱状部材を含んでいることが好ましく、第２骨組構造部材は、それぞれ長手方向に延びる穴及び溝の少なくとも一方で軽量化されている互いに平行に配置された第５金属製柱状部材及び第６金属製柱状部材を含んでいることが好ましい。
【００１８】
そして、第３金属製柱状部材及び第４金属製柱状部材が第１金属製柱状部材の右端近傍部分と第２金属製柱状部材の右端近傍部分とに接続され、第３金属製柱状部材と第４金属製柱状部材と第１金属製柱状部材の右端近傍部分と第２金属製柱状部材の右端近傍部分とが長方形を形成する。また、第５金属製柱状部材及び第６金属製柱状部材が第１金属製柱状部材の左端近傍部分と第２金属製柱状部材の左端近傍部分とに接続され、第５金属製柱状部材と第６金属製柱状部材と第１金属製柱状部材の左端近傍部分と第２金属製柱状部材の左端近傍部分とが長方形を形成する。
【００１９】
第１金属製柱状部材の右端近傍部分及び左端近傍部分と第２金属製柱状部材の右端近傍部分及び左端近傍部分とをそれぞれ２本の第３金属製柱状部材及び第４金属製柱状部材と２本の第５金属製柱状部材及び第６金属製柱状部材とで接続するため、これらが形成する長方形の面内方向に変形し難いばかりでなく、長方形の面に垂直な方向にも変形し難くなる。そのため、 検査用保持冶具の第１骨組構造部材と第２骨組構造部材と第１金属製柱状部材と第２金属製柱状部材とで形成される２つの長方形の面内方向ばかりでなく、２つの長方形の面と垂直な方向への歪も軽減でき、ガラス基板の検査を正確かつ容易に行うことができる。
【００２０】
また、第１骨組構造部材が、第３金属製柱状部材と第４金属製柱状部材との間を接続する第１補助部材をさらに含むことが好ましく、第２骨組構造部材が、第５金属製柱状部材と第６金属製柱状部材との間を接続する第２補助部材をさらに含むことが好ましい。
【００２１】
第１補強部材によって、第３金属製柱状部材と第４金属製柱状部材と第１金属製柱状部材の右端近傍部分と第２金属製柱状部材の右端近傍部分とが形成する長方形がさらに変形し難くなり、第１金属製柱状部材と第２金属製柱状部材と第１骨組構造部材の位置関係がさらに強固に保たれるようになる。また、第２補強部材によって、第５金属製柱状部材と第６金属製柱状部材と第１金属製柱状部材の左端近傍部分と第２金属製柱状部材の左端近傍部分とが形成する長方形がさらに変形し難くなり、第１金属製柱状部材と第２金属製柱状部材と第２骨組構造部材との位置関係がさらに強固に保たれるようになる。それにより、検査用保持冶具の第１骨組構造部材と第２骨組構造部材と第１金属製柱状部材と第２金属製柱状部材とで形成される２つの多角形の面内方向の歪みを第１補助部材及び第２補助部材で軽減でき、さらに正確にガラス基板の検査を行うことができる。
【００２２】
また、異なるサイズのガラス基板に対応するために、それぞれ長手方向に延びる穴及び溝の少なくとも一方で軽量化されている第７金属製柱状部材及び第８金属製柱状部材をさらに備えることが好ましい。第７金属製柱状部材及び第８金属製柱状部材は、第１骨組構造部材と第２骨組構造部材との間で互いに平行になるように、それぞれ第１骨組構造部材及び第２骨組構造部材に沿って配置されることが好ましい。そして、第７金属製柱状部材及び第８金属製柱状部材は、第１金属製柱状部材と第２金属製柱状部材とに接続されている。そして、第７金属製柱状部材には、ホルダが３つ以上ずつ取り付けられ、第８金属製柱状部材には、ホルダが３つ以上ずつ取り付けられていることが好ましい。
【００２３】
第１金属製柱状部材と第２金属製柱状部材と第１骨組構造部材と第２骨組構造部材とを組立て直さなくても、第７金属製柱状部材と第８金属製柱状部材との間隔を調整することにより、左右の幅の異なる種々のガラス基板に対応することができ、左右方向の幅の異なるガラス基板の検査が容易になる。
【００２４】
また、異なるサイズのガラス基板に対応するために、長手方向に延びる穴及び溝の少なくとも一方で軽量化されている第９金属製柱状部材をさらに備えていることが好ましい。そして、第９金属製柱状部材は、第１金属製柱状部材に平行に配置され、第７金属製柱状部材と第８金属製柱状部材とに接続され、ホルダが３つ以上ずつ取り付けられていることが好ましい。
【００２５】
ガラス基板の上方をホルダで保持する場合において、第１金属製柱状部材と第２金属製柱状部材と第１骨組構造部材と第２骨組構造部材とを組立て直さなくても、第９金属製柱状部材と第２金属製柱状部材との間隔を調整することにより、上下の幅の異なる種々のガラス基板に対応することができる。それにより、上下方向の幅の異なるガラス基板の検査が容易になる。
【００２６】
また、ガラス基板の検査方法においては、本発明に係る検査用保持冶具の複数のホルダに、短辺が１１００ｍｍ以上の長方形状のガラス基板を保持させるセッティング工程と、検査用保持冶具に保持されたガラス基板に光を当てて検査するための光照射受光工程とを備えることが好ましい。
【発明の効果】
【００２７】
本発明に係るガラス基板の検査用保持冶具又はガラス基板の検査方法では、検査用保持冶具が軽量化されているにも拘らず、ガラス基板を保持した状態で検査用保持冶具に歪みが生じるのを防止できるため、第５世代のマザーガラスの大きさ以上の大きさを有するガラス基板に光を照射して正確かつ容易に検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明のガラス基板の検査の概要を説明するための概念図。
【図２】ガラス基板の製造工程中の検査工程の位置づけを説明するためのフローチャート。
【図３】図１に示す検査中のガラス基板を保持している検査用保持冶具の正面図。
【図４】図３のガラス基板よりも小さなガラス基板を保持するための検査用保持冶具の正面図。
【図５】図１に示す検査用保持冶具の右側面図。
【図６】図３に示す検査用保持冶具の柱状部材のｖｉ −ｖｉ 線断面の状態を示す端面図。
【図７】図６に示す検査用保持冶具の柱状部材についての他の断面構造を示す端面図。
【図８】図３に示す検査用保持冶具の第１継ぎ手の拡大正面図。
【図９】図８に示す第１継ぎ手のｉｘ −ｉｘ 線拡大断面図。
【図１０】図８に示す第１継ぎ手の拡大側面図。
【図１１】図３に示す検査用保持冶具の第２継ぎ手の拡大正面図。
【図１２】図１０に示す検査用保持冶具のｘｉｉ‐ｘｉｉ線拡大断面図。
【図１３】図１０に示す検査用保持冶具のｘｉｉｉ‐ｘｉｉｉ線拡大断面図。
【図１４】図３に示す検査用保持冶具のホルダの拡大正面図。
【図１５】図３に示す検査用保持冶具のホルダの一態様を示す拡大側面図。
【図１６】図３に示す検査用保持冶具のホルダの他の態様を示す拡大側面図。
【図１７】従来のガラス基板の保持冶具の変形について説明するための概念図。
【図１８】本発明に係る検査用保持冶具の変形について説明するための概念図。
【図１９】本発明の検査用保持冶具の他の態様を説明するための正面図。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
（ガラス基板の検査方法の概要）
ガラス基板の検査方法の概要について、図１及び図２を用いて説明する。例えば液晶用ガラス基板を例にすると、ガラス基板の検査は、液晶表示装置が製造される過程で、１回以上実施され、実施される検査項目も多種類に及ぶ。検査項目の中に、ガラス基板に光を当ててガラス基板から得られる光（反射光や透過光）を検査する光学的な検査がある。
【００３０】
図２には、マザーガラスの状態の液晶用ガラス基板が、原料の溶融からガラス表面に加工を施す次の工程に供給されるまでの工程の概略が示されている。図２のステップＳ１では、まず、原料となるケイ砂などの種々の粉体が秤量・混合されて、溶融炉に投入される。この粉体が、高温溶融炉の中で熔かされてガラス溶融液になる。その後、泡抜き・攪拌などによって均質化されたガラス溶融液が板状に成形される。板状に成形されたガラスが、冷めてから規定寸法に切断されて素板になる。
【００３１】
ステップＳ２の切断工程では、液晶表示装置の製造に適した大きさにするため、素板がさらに切断される。この素板から切り出されたガラス基板がマザーガラスの寸法に一致する。次の面取り工程（Ｓ３）では、切り出されたガラス基板が、その切り口を滑らかにするために研磨される。次の洗浄工程（Ｓ４）では、洗浄によって、ガラス基板のガラス表面の微細な異物や汚れが取り除かれる。
【００３２】
そして、次の検査工程（Ｓ５）では、泡や傷などの微細な欠陥の有無の検査が行われ、液晶表示装置に使用できないものが不良品として取り除かれ、良品がマザーガラスとなる。その後、例えば遠隔地の他の工場でマザーガラスのガラス表面に加工を施すなどの場合、マザーガラスが輸送可能な形態に梱包されて輸送される。
【００３３】
検査工程（Ｓ５）には、まず、図１に示す洗浄後のガラス基板３０を、図１に示す検査用保持冶具１０に保持させるセッティング工程（Ｓ５ａ）がある。次に、検査用保持冶具１０に保持されたガラス基板３０が投光器２０の設置場所に移動された後、投光器２０によってガラス基板３０にスポットライト２１が照射されて例えば目視による光学的な検査が行われる（Ｓ５ｂ）。検査工程（Ｓ５）では、光学的な検査以外の検査が行われてもよく、例えばガラス基板３０の大きさなどの検査が行われる。
【００３４】
スポットライト２１の範囲内に欠陥３１がある場合、照射されたスポットライト２１により、この欠陥３１が強調されて目視などの検査での欠陥の発見が容易になる。欠陥３１には、泡や傷以外に、例えば異物、脈理などがある。ここで脈理とは、シリカ原料などの未溶解粒子や二酸化ケイ素濃度の高いガラス質層のことであり、ガラス溶融液が溶解工程で均質にならなかった場合に発生する。
【００３５】
既に述べたように、スポットライト２１が照射される範囲を限定して移動しないと検査が散漫になり、欠陥の見落としの原因となる。しかし、このようにスポットライト２１の照射範囲を限定すると、スポットライト２１とガラス基板３０の相対的な位置関係を少しずつずらしながら検査を行わなくてはならなくなる。
【００３６】
簡易に素早くガラス基板全体の光学的な検査を行う際には、ガラス基板３０を保持した状態で検査用保持冶具１０がハンドリングされて移動される。例えば、ガラス基板３０の大きさが第８世代（Ｇ８）であれば、ガラス基板３０の縦方向の長さが２２００ｍｍにもなり、横方向の長さが２５００ｍｍにもなる。この場合は、２人の作業者が左右両側から検査用保持冶具を支え、検査者が所定の場所に立って目視検査を行う。これら２人の作業者が少しずつ検査用保持冶具１０を移動させることにより、スポットライト２１の当たる場所を少しずつ移動させることができる。あるいは、投光器２０のスポットライト２１の照射位置が移動装置によって自動的に移動するように構成することもできる。投光器２０のスポットライト２１と検査用保持冶具の相対位置の移動を、移動装置による移動と作業者による移動とを組合せることもできる。
【００３７】
（検査用保持冶具の全体の構成）
図３に示す検査用保持冶具１０は、ガラス基板３０を保持している。図３の検査用保持冶具１０の右側面の構造を図４に示す。なお、図３及び図４に描かれた検査用保持冶具１０，１０Ａについては、図３及び図４に書き込まれたシンボルに従って検査用保持冶具１０，１０Ａの上下左右を定義して説明し、図５においても図５に書き込まれたシンボルに従って検査用保持冶具１０の上下を定義して説明する。
【００３８】
図３に示す検査用保持冶具１０の基本的なフレームは、主に、９本のアルミニウム製の柱状部材４１〜４９で構成されている。これら９本の柱状部材４１〜４９は、同一の断面構造を有している。図６に、図３の柱状部材４４のｉｘ‐ｉｘ線断面の構造を示す。また、図７に柱状部材４４の他の断面構造の例を示す。これら９本の柱状部材４１〜４９は、長手方向に長く延びる穴４４ａ又は溝４４ｆによって軽量化されている。図６及び図７には、断面構造の例として、穴４４ａ又は溝４４ｆの一方のみが形成される場合が示されているが、穴と溝とを組み合わせて軽量化することもできる。また、軽量化するためには、任意の数の穴や溝を用いることができる。
【００３９】
これら柱状部材４１〜４９は、２種類の第１継ぎ手５０と第２継ぎ手６０とによって接続されることにより、フレーム形状に組み立てられる。そのため、柱状部材４１〜４９には、互いに対向する面に、長手方向に延びる溝４４ｂ，４４ｃ，４４ｄ，４４ｅが形成されている。
【００４０】
柱状部材４１，４２，４３，４５，４７，４８の両端部には、第１継ぎ手５０が嵌め込まれて固定されている。
【００４１】
左右両端部に第１継ぎ手５０が嵌め込まれた柱状部材４１は、第１継ぎ手５０によって、右端部が柱状部材４４の上端部に固定され、左端部が柱状部材４６の上端部に固定されている。左右両端部に第１継ぎ手５０が嵌め込まれた柱状部材４２は、第１継ぎ手５０によって、右端部が柱状部材４４の下端部に固定され、左端部が柱状部材４６の下端部に固定されている。
【００４２】
上下両端部に第１継ぎ手５０が嵌め込まれた柱状部材４３，４５，４７，４８は、第１継ぎ手５０によって、上端部が柱状部材４１に固定され、下端部が柱状部材４２に固定されている。そして、柱状部材４１の右端近傍の柱状部材４３，４４の間が右端近傍部分４１ａであり、柱状部材４１の左端近傍の柱状部材４５，４６の間が左端近傍部分４１ｂである。柱状部材４２の右端近傍の柱状部材４３，４４の間が右端近傍部分４２ａであり、柱状部材４１の左端近傍の柱状部材４５，４６の間が左端近傍部分４２ｂである。
【００４３】
柱状部材４９は、正面視において、その右端近傍が第２継ぎ手６０によって柱状部材４７と十字に交差するように組み止められており、その左端近傍が第２継ぎ手６０によって柱状部材４８と十字に交差するように組み止められている。
【００４４】
２本の平行に配置されている柱状部材４３，４４の間には、３本の補助部材７０が接続され、２本の平行に配置されている柱状部材４５，４６の間には３本の補助部材７１が接続されている。補助部材７０，７１の両端部にも第１継ぎ手５０がそれぞれ嵌め込まれており、補助部材７０，７１と柱状部材４３〜４６とは第１継ぎ手５０によって固定されている。
【００４５】
ガラス基板３０は、柱状部材４２，４７，４８，４９に囲まれる長方形の領域内に保持される。そのために、ガラス基板３０を吸着するホルダ８０が、それぞれの柱状部材４２，４７，４８，４９に多数取り付けられている。
【００４６】
通常、マザーガラスとしてのガラス基板３０の周囲には、液晶表示装置には用いられない未使用領域がある。ホルダ８０で吸着するとホルダ８０からゴミや油などの異物が付着する恐れがあるため、ホルダ８０による吸着は、ガラス基板３０のこの未使用領域を使って行われる。
【００４７】
ガラス基板３０の検査を行う場合、作業者は、例えば柱状部材４４，４６を手で掴むことによって、ガラス基板３０を立てた状態で、左右に移動したり、上下に移動したりといったガラス基板の移動を容易に行わせることができる。
【００４８】
図４に示す検査用保持冶具１０Ａは、図３に示すガラス基板３０よりも上下左右の寸法の小さなガラス基板３０Aを保持するため、図３に示す検査用保持冶具１０を組み変えたものである。
【００４９】
外側の枠構造を形成する柱状部材４１〜４６の接続は、図３に示す状態と図４に示す状態のいずれの場合も同じである。図３の検査用保持冶具１０と図４の検査用保持冶具１０Ａとの間において異なるのは、柱状部材４７〜４９の接続位置と、それら及び柱状部材４２に取り付けられているホルダ８０の個数である。
【００５０】
このような柱状部材４７〜４９の接続位置の変更は、第１継ぎ手５０と第２継ぎ手６０の取り付け位置を変更するだけで行うことができる。また、ホルダ８０の取り付け個数も、ホルダ８０を取り外すだけで行うことができる。そのため、検査用保持冶具１０，１０Ａを使った光学的な検査において、大きさの異なるガラス基板３０，３０Aに対する対応も容易に行うことができる。
【００５１】
（検査用保持冶具の部品の構造）
（１）第１継ぎ手
図８乃至図１０を用いて第１継ぎ手の構造について説明する。第１継ぎ手５０の正面形状を図８に示し、図８のｉｘ ‐ｉｘ 線断面を図９に示し、図８の状態に置いた第１継ぎ手５０の右側面を図１０に示す。
【００５２】
第１継ぎ手５０は、主に、台座部５２と溝嵌合締付部５３と端部嵌合締付部５４との３つの部分からなっている。台座部５２の左側には、断面視において、略円弧状に凹んだ凹部５２ａが形成されており、左端の近傍に第１継ぎ手５０の長手方向に対して垂直に延びる凸条５２ｂが形成されている。
【００５３】
一方、台座部５２の右側には、右側面から見て、長円を長手方向に沿って半分に割ったような形状に見える窪み５２ｃが台座部５２の右端から中央に向かって延びている。また、この右側の窪み５２ｃには、その窪み５２ｃが延びる方向に沿って凸条５２ｄが形成されている。そして、台座部５２には、六角ボルト５５，５６がねじ込まれる雌ネジが切られたネジ穴５２ｅ，５２ｆが形成されている。
【００５４】
溝嵌合締付部５３には、台座部５２の凹部５２ａと対をなす対称な形状の凹部５３ａが形成されている。そして、台座部５２に溝嵌合締付部５３を取り付けた状態において、台座部５２の凸条５２ｂと平行に向き合う位置に凸条５３ｂが形成されている。また、ネジ穴５２ｅに続くネジ穴５３ｃが溝嵌合締付部５３に形成されている。例えば、柱状部材４４の端部近傍に第１継ぎ手５０が接続される場合、凸条５２ｂ，５３ｂが溝４４ｂ，４４ｃに嵌め込まれて六角ボルト５５が締められて台座部５２に溝嵌合締付部５３が取り付けられることにより、台座部５２の凹部５２ａと溝嵌合締付部５３の凹部５３ａで柱状部材４４が挟まれて互いに動かないように固定される。
【００５５】
端部嵌合締付部５４には、台座部５２の窪み５２ｃと対をなす対称な形状の窪み５４ａが形成されている。台座部５２に端部嵌合締付部５４を取り付けた状態においては、窪み５２ｃと窪み５４ａが合わさって例えば図６や図７に示す柱状部材４４の外形におおよそ等しい嵌合穴５８が形成される。そして、台座部５２に端部嵌合締付部５４を取り付けた状態において、台座部５２の凸条５２ｄと平行に向き合う位置に凸条５４ｂが形成されている。また、ネジ穴５２ｅに続くネジ穴５４ｃが端部嵌合締付部５４に形成されている。例えば、柱状部材４４の端部に第１継ぎ手５０を接続する場合、凸条５２ｄ，５４ｂを溝４４ｂ，４４ｃに嵌め込んで六角ボルト５６を締めて、台座部５２に端部嵌合締付部５４を取り付けることにより、台座部５２の凹部５２ａと端部嵌合締付部５４の凹部５４ａで柱状部材４４が挟まれて互いに動かないように固定される。
【００５６】
（２）第２継ぎ手
図１１乃至図１３を用いて第２継ぎ手の構造について説明する。第２継ぎ手６０の正面形状を図１１に示し、図１１のｘｉｉ‐ｘｉｉ線断面を図１２に示し、図１１のｘｉｉｉ‐ｘｉｉｉ線断面を図１３に示す。
【００５７】
第２継ぎ手６０は、主に、基部６１と前方右溝嵌合部６２と前方左溝嵌合部６３と後方上溝嵌合部６４と後方下溝嵌合部６５とからなる。これら４つの部分は、それぞれ４つの六角ボルト６６〜６９によって、基部６１に取り付けられる。そのために、雌ネジが切られている４つのネジ穴６１ａ，６１ｂが基部６１に形成され、ネジの切られていない穴６２ｂ，６３ｂ，６４ｂ，６５ｂがそれぞれ前方右溝嵌合部６２と前方左溝嵌合部６３と後方上溝嵌合部６４と後方下溝嵌合部６５とに形成されている。
【００５８】
基部６１と前方右溝嵌合部６２と前方左溝嵌合部６３と後方上溝嵌合部６４と後方下溝嵌合部６５には、それぞれの部分の長手方向に沿って延びる凸条６２ａ，６３ａ，６４ａ，６５ａが設けられている。これらの凸条６２ａ，６３ａ，６４ａ，６５ａは、例えば柱状部材４４に第１継ぎ手５０が取り付けられるときに溝４４ｂ，４４ｃに凸条５２ｂ，５２ｄ，５３ａ，５４ａが嵌まるのと同様に、柱状部材４７〜４９の溝に嵌まるものである。例えば、柱状部材４７，４８の側面の溝（溝４４ｄ，４４ｅに相当する溝）に凸条６２ａ，６３ａが嵌まり、柱状部材４９の前面と後面の溝（溝４４ｂ，４４ｃに相当する溝）に凸条６４ａ，６５ａが嵌まる。
【００５９】
前方右溝嵌合部６２と前方左溝嵌合部６３とで固定される柱状部材４７，４８に対して、後方上溝嵌合部６４と後方下溝嵌合部６５とで固定される柱状部材４９は、正面視において十字に直交するように配置される。そして、図５に示すように側面視において柱状部材４７，４８と柱状部材４９と重なる位置に配置されない。そのため、ホルダ８０において、柱状部材４７，４８と柱状部材４９との配置位置の差から生じるガラス基板３０、３０Aまでの距離の調節が必要になる。
【００６０】
（３）補助部材
柱状部材４３，４４の間に設けられた補助部材７０及び柱状部材４５，４６の間に設けられた補助部材７１は、柱状部材４１〜４９と同じ材料で形成される短い柱状部材の両端に第１継ぎ手５０が嵌めこまれて構成されている。つまり、第１継ぎ手５０の端部嵌合締付部５４の側が短い柱状部材に嵌め込まれる。そして、溝嵌合締付部５３の側が柱状部材４３〜４６に取り付けられる。これらの補助部材７０，７１により、さらに、柱状部材４１〜４６で構成される枠の部分が強固に固定される。
【００６１】
（４）ホルダ
図１４乃至図１６を用いてホルダの構造について説明する。ホルダ８０の正面形状を図１４に示し、側面形状の一態様を図１５に示し、側面形状の他の態様を図１６に示す。
【００６２】
図１４に示すように、ホルダ８０は、ガラス基板３０，３０Aを吸着するために吸盤８１を備えている。吸盤８１には、空気を吸込むための開口部８１ａの周囲に薄い皿状の弾性体が形成されている。吸盤８１は、長い中空の支持部８２に取り付けられており、支持部８２の中空部が吸盤８１の開口部８１ａに繋がっている。そして、支持部８２の端部にコネクタ部８５が設けられている。コネクタ部８５はチューブ（図示省略）に接続されており、チューブに繋がっているポンプ（図示省略）によってコネクタ部８５を通して空気が吸い出される。
【００６３】
支持部８２の高さを調節するために、支持部８２が雄ネジ８３に嵌め込まれて固定されている。この雄ネジ８３が板状の基板８６にあけられた穴に垂直に差し込まれ、基板８６の上下から雄ネジ８３にねじ込まれる２つのナット８４によって挟まれて固定される。
【００６４】
基板８６の他端近傍に、ピン９０や凹部９１に嵌め込まれて下溝嵌合締付部８７が固定されている。そして、下溝嵌合締付部８７の上に上溝嵌合締付部８８が六角ボルト８９で取り付けられる。下溝嵌合締付部８７と上溝嵌合締付部８８には、互いに対向する位置に凸条８７ａ，８８ａが設けられている。下溝嵌合締付部８７と上溝嵌合締付部８８とは、第１継ぎ手５０の台座部５２と溝嵌合締付部５３の関係と同じように、凸条８７ａ，８８ａが柱状部材４２，４７〜４９の溝に嵌合された状態で六角ボルト８９によって締め付けられて柱状部材４２，４７〜４９に固定される。そのため、柱状部材４２，４７〜４９に取り付けられるホルダ８０の位置の変更が容易になる。
【００６５】
図１６に示すように基板８６に取り付ける吸盤８１の方向を図１５とは逆にすることもできる。例えば、柱状部材４２、４７，４８と柱状部材４９との取り付け位置の前後方向の差を補うために、図１５に示すホルダ８０を柱状部材４２、４７，４８に取り付けて図１６に示すホルダ８０を柱状部材４９に取り付けることができる。そのように取り付けると、柱状部材４２，４７〜４９に取り付けられる全てのホルダ８０の基板８６の前後方向の取り付け位置をほぼ同じ所に揃えることができる。それにより、吸盤８１の前後方向の位置合わせが容易になる。
【００６６】
＜特徴＞
（１）アルミニウム製の柱状部材４１（第１金属製柱状部材）の右端近傍部分４１ａとアルミニウム製の柱状部材４２（第２金属製柱状部材）の右端近傍部分４２ａとアルミニウム製の柱状部材４３，４４（第１骨組構造部材）とによって、図１８に斜線で示した長方形１０ａ（多角形）が形成されている。また、柱状部材４１（第１金属製柱状部材）の左端近傍部分４１ｂと柱状部材４２（第２金属製柱状部材）の左端近傍部分４２ｂとアルミニウム製の柱状部材４５，４６（第２骨組構造部材）とによって、図１８に斜線で示した長方形１０ｂ（多角形）が形成されている。これらのアルミニウム柱状部材４１〜４６は、長手方向に延びる穴及び溝の少なくとも一方によって軽量化されている。また、長方形１０ａ、１０ｂを骨組構造で形成することで更なる軽量化が図られている。
【００６７】
図１７に示すように、従来の保持冶具２００は、金属製柱状部材２０１，２０２，２０３，２０４で囲まれた領域２１１にガラス基板を保持していたため、保持冶具２００の変形によってガラス基板の変形も誘発されて、特に光学的な検査においては光な反射や透過などの仕方が変わるため、検査での見落としの原因となっていた。
【００６８】
図１８に示すように、ガラス基板を保持する領域１１の左右に長方形１０ａ，１０ｂが形成されているため、検査用保持冶具１０が歪み難く、従って検査用保持冶具１０に保持されているガラス基板も歪み難くなる。そのため、検査用保持冶具１０は、軽量であるため、図２に示すセッティング工程Ｓ５ａにおけるハンドリングが容易になるばかりでなく、図２の光照射受光工程Ｓ５ｂにおける光の照射と受光を伴う光学的な検査が正確に行えるようになる。なお、検査用保持冶具１０と同じ構造を持つ検査用保持冶具１０Ａも検査用保持冶具１０と同様の効果を奏する。
【００６９】
ここでは、多角形として長方形１０ａ，１０ｂを例に示しているが、三角形や五角形など他の多角形でもよい。また、多角形を２つ以上組み合わせたものでもよく、長方形１０ａ，１０ｂの対頂角を柱状部材で結んで例えば２つの三角形を組み合わせたような形状にすることもできる。また多角形が多面体の一部であってもよく、例えば第１骨組構造部材と第２骨組構造部材で２つの直方体を形成して第１金属製柱状部材と第２金属製柱状部材をそれらの直方体に渡すように構成し、直方体を構成する一部分の柱状部材と第１金属製柱状部材や第２金属製柱状部材とで多角形を形成することもできる。
【００７０】
例えば、多角形が長方形以外の場合について、図１９に示す検査用保持冶具１１０の枠と、図１８に示す検査用保持冶具１０の枠とを比較しながら説明する。検査用保持冶具１１０の柱状部材１４１，１４２は、それぞれ検査用保持冶具１０の柱状部材４１，４２に対応する。また、検査用保持冶具１１０の柱状部材１４３，１４５は、それぞれ検査用保持冶具１０の柱状部材４３，４５に対応する。ところが、検査用保持冶具１０の柱状部材４４，４６に対応するのは、それぞれ検査用保持冶具１１０の柱状部材１４４ａ，１４４ｂ，１４６ａ，１４６ｂである。そして、柱状部材１４１，１４２の右端近傍部分１４１ａ，１４２ａ及び左端近傍部分１４１ｂ，１４２ｂを含んで形成されている多角形は、三角形１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃ，１１０ｄである。主に、これらの三角形１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃ，１１０ｄによって検査用保持冶具１１０の変形が防がれている。なお、図１９に示されている柱状部材１４７，１４８は、取っ手の役割を果たすと同時に、検査用保持冶具１１０の変形を防止する補助部材の役割を果たす。
【００７１】
長方形１０ａの２辺を構成する互いに対向する柱状部材４３，４４の間が補助部材７０で接続されている。また、長方形１０ｂの２辺を構成する互いに対向する柱状部材４５，４６の間が補助部材７１で接続されている。このように、多角形を構成する辺を補助部材で接続することにより、多角形がより変形し難くなるため、検査用保持冶具１０，１０Ａの変形に伴う不具合の発生をさらに低減することができる。
【００７２】
検査用保持冶具１０，１０Ａは、その構成部品として、同じ材料の柱状部材を適当な長さに切り出したもの（柱状部材４１〜４９や補助部材７０，７１の柱状部分）と多数の第１継ぎ手５０と多数のホルダ８０とを用いている。そのため、材料の調達が容易で、各部品が破損したときの修理が容易であるばかりでなく、検査用保持冶具１０，１０Ａの製造コストも低く抑えることができる。
【００７３】
（２）
図３と図４とを比較して分かるように、ホルダ８０が取り付けられるアルミニウムの製柱状部材４７〜４９（第７金属製柱状部材、第８金属製柱状部材、第９金属製柱状部材）の位置関係を変更することにより、異なる大きさのガラス基板３０，３０Aに対応することができる。
【００７４】
すなわち、柱状部材４１の中央と柱状部材４２の中央を結ぶ中心線から柱状部材４７，４８が等距離に配置されるように柱状部材４７，４８の間隔を狭くすることで、左右の幅の狭いガラス基板に対応することができる。また、柱状部材４９の配置位置を下げることで、上下方向の幅の狭いガラス基板に対応することができる。
【００７５】
柱状部材４７，４８の間隔を狭くするときには、第１継ぎ手５０の溝嵌合締付部５３を締め付けている六角ボルト５５を緩めて柱状部材４７，４８をずらした後、再び六角ボルト５５を締め付けるだけの簡単な作業を行うだけでよい。ただし、第２継ぎ手６０で柱状部材４７，４８が固定されていると移動できないため、柱状部材４７，４８の間隔を変えるときには、第２継ぎ手６０を緩めておく必要がある。
【００７６】
柱状部材４９の配置位置を下げるときには、第２継ぎ手６０の４つの六角ボルト６６〜６９を緩めておき、柱状部材４９を下げた後、再び六角ボルト６６〜６９を締め付けるだけの簡単な作業を行うだけでよい。
【００７７】
＜変形例＞
（１）上記実施形態では、ガラス基板の検査用保持冶具１０，１０Ａが使用される場面として、液晶用ガラス基板のマザーガラスを輸送する前に行う目視検査を例にあげて説明したが、検査用保持冶具１０，１０Ａが使用される場面はこのような場合に限られるものではない。液晶用ガラス基板だけでなく、他のプラズマディスプレイなどのフラットパネルディスプレイに用いられるガラス基板の検査にも適用できる。
【００７８】
（２）また、上記実施形態では、ガラス基板の検査用保持冶具１０，１０Ａをガラス基板の表面に他の層が形成される前の検査に適用される例について説明したが、ガラス基板の表面にブラックマトリクスなどの層や電極や素子などを形成した後に行う光学的な検査にも用いることができる。
【００７９】
（３）上記実施形態では、複数の第１継ぎ手５０によってアルミニウム製の柱状部材４１〜４９を組み立てて検査用保持冶具１０，１０Ａを形成している。このように、柱状部材同士が複数の第１継ぎ手５０で接続されるため、長さの異なる柱状部材を準備することで種々の大きさの検査用保持冶具が組み立てられるから、大きさを変更し易くなっていて大きさの異なるガラス基板への適用性は優れている。しかし、大きさの変更を行わないタイプの検査用保持冶具を準備するのであれば、第１継ぎ手５０による接続に代えて溶接などの他の接続方法により行うこともできる。例えば一番外側の枠の大きさを変更しないタイプの検査用保持冶具であれば、柱状部材４１，４２と柱状部材４３，４４との接続を溶接により行うこともでき、その場合には対応できるガラス基板の大きさには限界ができるが、接続部分が強固になって検査用保持冶具の形状の安定性は増す。
【符号の説明】
【００８０】
１０，１０Ａ 検査用保持冶具
２０ 投光器
３０，３０A ガラス基板
４１〜４９，１４１〜１４８ 柱状部材
５０ 第１継ぎ手
６０ 第２継ぎ手
７０，７１ 補助部材
８０ ホルダ
【先行技術文献】
【特許文献】
【００８１】
【特許文献１】特開２００６−２２０４９５号公報
【特許請求の範囲】
【請求項１】
短辺が１１００ｍｍ以上の長方形状のガラス基板に光を当てて検査するために前記ガラス基板を保持するガラス基板の検査用保持冶具であって、
互いに対向して上下に配置され、それぞれ長手方向に延びる穴及び溝の少なくとも一方により軽量化されている第１金属製柱状部材及び第２金属製柱状部材と、
多角形を形成するように前記第１金属製柱状部材の右端近傍部分と前記第２金属製柱状部材の右端近傍部分とに接続されている第１骨組構造部材と、
多角形を形成するように前記第１金属製柱状部材の左端近傍部分と前記第２金属製柱状部材の左端近傍部分とに接続されている第２骨組構造部材と、
互いに対向する前記第１骨組構造部材と前記第２骨組構造部材、及び、互いに対向する前記第１金属製柱状部材と前記第２金属製柱状部材のうちの少なくとも一方の組の部材の長手方向に沿ってそれぞれ３つ以上ずつ配置され、前記ガラス基板を保持するための複数のホルダと、
を備える、ガラス基板の検査用保持冶具。
【請求項２】
前記第１骨組構造部材は、それぞれ長手方向に延びる穴及び溝の少なくとも一方で軽量化されている互いに平行に配置された第３金属製柱状部材及び第４金属製柱状部材を含み、前記第３金属製柱状部材及び前記第４金属製柱状部材が長方形を形成するように前記第１金属製柱状部材の前記右端近傍部分と前記第２金属製柱状部材の前記右端近傍部分とに接続され、
前記第２骨組構造部材は、それぞれ長手方向に延びる穴及び溝の少なくとも一方で軽量化されている互いに平行に配置された第５金属製柱状部材及び第６金属製柱状部材を含み、前記第５金属製柱状部材及び前記第６金属製柱状部材が長方形を形成するように前記第１金属製柱状部材の前記左端近傍部分と前記第２金属製柱状部材の前記右端近傍部分とに接続されている、
請求項１に記載のガラス基板の検査用保持冶具。
【請求項３】
前記第１骨組構造部材は、前記第３金属製柱状部材と前記第４金属製柱状部材との間を接続する第１補助部材をさらに含み、
前記第２骨組構造部材は、前記第５金属製柱状部材と前記第６金属製柱状部材との間を接続する第２補助部材をさらに含む、
請求項２に記載のガラス基板の検査用保持冶具。
【請求項４】
異なるサイズのガラス基板に対応するために、それぞれ長手方向に延びる穴及び溝の少なくとも一方で軽量化されている第７金属製柱状部材及び第８金属製柱状部材をさらに備え、
前記第７金属製柱状部材及び前記第８金属製柱状部材は、
前記第１骨組構造部材と前記第２骨組構造部材との間で互いに平行になるように、それぞれ前記第１骨組構造部材及び前記第２骨組構造部材に沿って配置され、
前記第１金属製柱状部材と前記第２金属製柱状部材とに接続され、
それぞれ前記ホルダが３つ以上ずつ取り付けられている、
請求項１から３のいずれか１項に記載のガラス基板の検査用保持冶具。
【請求項５】
異なるサイズのガラス基板に対応するために、長手方向に延びる穴及び溝の少なくとも一方で軽量化されている第９金属製柱状部材をさらに備え、
前記第９金属製柱状部材は、前記第１金属製柱状部材に平行に配置され、前記第７金属製柱状部材と前記第８金属製柱状部材とに接続され、前記ホルダが３つ以上ずつ取り付けられている、
請求項４に記載のガラス基板の検査用保持冶具。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか１項に記載のガラス基板の検査用保持冶具の前記複数のホルダに、短辺が１１００ｍｍ以上の長方形状のガラス基板を保持させるセッティング工程と、
前記検査用保持冶具に保持された前記ガラス基板に光を当てて検査するための光照射受光工程と、
を備える、ガラス基板の検査方法。
【請求項１】
短辺が１１００ｍｍ以上の長方形状のガラス基板に光を当てて検査するために前記ガラス基板を保持するガラス基板の検査用保持冶具であって、
互いに対向して上下に配置され、それぞれ長手方向に延びる穴及び溝の少なくとも一方により軽量化されている第１金属製柱状部材及び第２金属製柱状部材と、
多角形を形成するように前記第１金属製柱状部材の右端近傍部分と前記第２金属製柱状部材の右端近傍部分とに接続されている第１骨組構造部材と、
多角形を形成するように前記第１金属製柱状部材の左端近傍部分と前記第２金属製柱状部材の左端近傍部分とに接続されている第２骨組構造部材と、
互いに対向する前記第１骨組構造部材と前記第２骨組構造部材、及び、互いに対向する前記第１金属製柱状部材と前記第２金属製柱状部材のうちの少なくとも一方の組の部材の長手方向に沿ってそれぞれ３つ以上ずつ配置され、前記ガラス基板を保持するための複数のホルダと、
を備える、ガラス基板の検査用保持冶具。
【請求項２】
前記第１骨組構造部材は、それぞれ長手方向に延びる穴及び溝の少なくとも一方で軽量化されている互いに平行に配置された第３金属製柱状部材及び第４金属製柱状部材を含み、前記第３金属製柱状部材及び前記第４金属製柱状部材が長方形を形成するように前記第１金属製柱状部材の前記右端近傍部分と前記第２金属製柱状部材の前記右端近傍部分とに接続され、
前記第２骨組構造部材は、それぞれ長手方向に延びる穴及び溝の少なくとも一方で軽量化されている互いに平行に配置された第５金属製柱状部材及び第６金属製柱状部材を含み、前記第５金属製柱状部材及び前記第６金属製柱状部材が長方形を形成するように前記第１金属製柱状部材の前記左端近傍部分と前記第２金属製柱状部材の前記右端近傍部分とに接続されている、
請求項１に記載のガラス基板の検査用保持冶具。
【請求項３】
前記第１骨組構造部材は、前記第３金属製柱状部材と前記第４金属製柱状部材との間を接続する第１補助部材をさらに含み、
前記第２骨組構造部材は、前記第５金属製柱状部材と前記第６金属製柱状部材との間を接続する第２補助部材をさらに含む、
請求項２に記載のガラス基板の検査用保持冶具。
【請求項４】
異なるサイズのガラス基板に対応するために、それぞれ長手方向に延びる穴及び溝の少なくとも一方で軽量化されている第７金属製柱状部材及び第８金属製柱状部材をさらに備え、
前記第７金属製柱状部材及び前記第８金属製柱状部材は、
前記第１骨組構造部材と前記第２骨組構造部材との間で互いに平行になるように、それぞれ前記第１骨組構造部材及び前記第２骨組構造部材に沿って配置され、
前記第１金属製柱状部材と前記第２金属製柱状部材とに接続され、
それぞれ前記ホルダが３つ以上ずつ取り付けられている、
請求項１から３のいずれか１項に記載のガラス基板の検査用保持冶具。
【請求項５】
異なるサイズのガラス基板に対応するために、長手方向に延びる穴及び溝の少なくとも一方で軽量化されている第９金属製柱状部材をさらに備え、
前記第９金属製柱状部材は、前記第１金属製柱状部材に平行に配置され、前記第７金属製柱状部材と前記第８金属製柱状部材とに接続され、前記ホルダが３つ以上ずつ取り付けられている、
請求項４に記載のガラス基板の検査用保持冶具。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか１項に記載のガラス基板の検査用保持冶具の前記複数のホルダに、短辺が１１００ｍｍ以上の長方形状のガラス基板を保持させるセッティング工程と、
前記検査用保持冶具に保持された前記ガラス基板に光を当てて検査するための光照射受光工程と、
を備える、ガラス基板の検査方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【公開番号】特開２０１１−１６３９２０（Ｐ２０１１−１６３９２０Ａ）
【公開日】平成２３年８月２５日（２０１１．８．２５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−２６７９４（Ｐ２０１０−２６７９４）
【出願日】平成２２年２月９日（２０１０．２．９）
【出願人】（５９８０５５９１０）ＡｖａｎＳｔｒａｔｅ株式会社 (81)
【出願人】（５０８２７１４２５）安瀚視特股▲ふん▼有限公司 (10)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年８月２５日（２０１１．８．２５）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年２月９日（２０１０．２．９）
【出願人】（５９８０５５９１０）ＡｖａｎＳｔｒａｔｅ株式会社 (81)
【出願人】（５０８２７１４２５）安瀚視特股▲ふん▼有限公司 (10)
【Ｆターム（参考）】
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