シート剥離装置及び剥離方法
【課題】剥離用テープが半導体ウエハに貼付された接着シート以外の部位に接着することを防止しつつ、接着シートを被着体から確実に剥離できるシート剥離装置を提供する。
【解決手段】半導体ウエハＷに貼付された接着シートＳの外周縁部に剥離用テープＰＴを貼付し、当該剥離用テープを介して接着シートを半導体ウエハから剥離するシート剥離装置１０。同装置は、半導体ウエハを保持するテーブル２０を含む保持手段１１と、剥離用テープの支持手段１２と、剥離用テープを接着シートに相対する位置に案内するガイドプレート２７を含む案内手段１３と、剥離用テープを接着シートに接着させる接着手段１４と、接着シートを剥離する剥離手段１５とを備える。ガイドプレート２７は、その前端側にマスキング手段３０を備え、当該マスキング手段により、剥離用テープが半導体ウエハに貼付された接着シート以外の部位に接着しないように保たれる。
【解決手段】半導体ウエハＷに貼付された接着シートＳの外周縁部に剥離用テープＰＴを貼付し、当該剥離用テープを介して接着シートを半導体ウエハから剥離するシート剥離装置１０。同装置は、半導体ウエハを保持するテーブル２０を含む保持手段１１と、剥離用テープの支持手段１２と、剥離用テープを接着シートに相対する位置に案内するガイドプレート２７を含む案内手段１３と、剥離用テープを接着シートに接着させる接着手段１４と、接着シートを剥離する剥離手段１５とを備える。ガイドプレート２７は、その前端側にマスキング手段３０を備え、当該マスキング手段により、剥離用テープが半導体ウエハに貼付された接着シート以外の部位に接着しないように保たれる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はシート剥離装置及び剥離方法に係り、更に詳しくは、被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを接着し、当該剥離用テープを介して接着シートを剥離することに適したシート剥離装置及び剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と称する）は、その回路面に保護用の接着シートが貼付され、種々の工程を経た後に剥離されるものとなっている。このような接着シートの剥離装置としては、例えば、特許文献１に開示されている。
【特許文献１】特開平１１−１６８６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
特許文献１に開示されたシート剥離装置は、剥離用テープのリード端をテープチャックで挟持して所定長さ引き出し、当該引き出された剥離用テープの中間部を接着シートの外縁部に溶融接着させる構成が採用されている。
しかしながら、特許文献１に記載されたシート剥離装置にあっては、テープチャックとヒータ工具との間の剥離用テープに弛み等が生じたときに、当該剥離用テープがウエハの縁部やウエハ保持用のテーブル面に接着してしまう。そのような状態で剥離動作が行われると、ウエハの破損や接着シートの剥離ミスといった剥離不良を発生する、という不都合を招来する。
【０００４】
［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、剥離用テープが接着シート以外の部位に接着してしまうことを防止しつつ、接着シートを被着体から確実に剥離することのできるシート剥離装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記目的を達成するため、本発明は、被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープを介して前記接着シートを被着体から剥離するシート剥離装置において、前記被着体を保持する保持手段と、前記剥離用テープを繰り出し可能に支持する支持手段と、剥離用テープを接着シートに相対する位置に案内する案内手段と、剥離用テープを接着シートに接着させる接着手段と、接着シートに接着された剥離用テープを介して前記保持手段との相対移動により接着シートを剥離する剥離手段とを備え、前記案内手段は、前記剥離用テープが接着シート以外の部位に接着することを防止するマスキング手段を備える、という構成を採っている。
【０００６】
本発明において、前記案内手段は、前記支持手段から繰り出された剥離用テープを支持するガイドプレートを備え、前記マスキング手段は、当該ガイドプレートの一部に開口部を設けることによって構成することができる。
【０００７】
また、前記開口部は、前記ガイドプレートを構成する本体部と、当該本体部の一端側に位置する可動部とで形成され、前記案内手段は、前記可動部が変位することで接着シートの剥離を行うための相対移動方向に剥離用テープの剥離経路を確保するように設けられている。
【０００８】
更に、前記開口部は、接着シートの外周縁部分に向き合うように位置して前記剥離用テープが接着シート以外の部位に接触することを防止する開口縁部を有する、という構成を採るとよい。
【０００９】
また、前記開口部は、接着シートの外周縁部分に向き合うように位置して前記剥離用テープが接着シート以外の部位に接触することを防止する開口縁部を有する、という構成を採ることが好ましい。
【００１０】
更に、前記剥離用テープの切断手段を更に含み、当該切断手段は、前記剥離手段が接着シートの剥離を開始するときに剥離用テープを切断する、という構成を採ることができる。
【００１１】
また、本発明は、被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープを介して前記接着シートを被着体から剥離するシート剥離方法において、前記被着体を保持する工程と、前記剥離用テープを繰り出す工程と、剥離用テープを接着シートに相対する位置に案内手段を介して案内する工程と、剥離用テープを接着シートに接着させる工程と、前記接着シートに接着した剥離用テープを保持して当該接着シートを剥離する工程と、からなり、前記案内手段を前記剥離用テープが接着シート以外の部位に接触することを防止するマスキング手段としても使用する、という手法を採っている。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、案内手段がマスキング手段を備えて構成されているため、接着シートに接着される剥離用テープは、接着すべき箇所の周辺領域が前記マスキング手段によってカバーされることになる。従って、繰り出された剥離用テープに弛み等が生じても、剥離用テープが意図しない部分や領域に接着してしまうことを確実に防止でき、ウエハの破損や接着シートの剥離ミスといった不都合を未然に防止することができる。
また、前記案内手段が剥離用テープのガイドプレートを備えて構成され、当該ガイドプレートに開口部を設けることでマスキング手段が構成された場合には、繰り出された剥離用テープを安定して支持することができるとともに、マスキング手段の構成をシンプルにすることができる。しかも、開口部内に位置する剥離用テープを接着シートに向かって押圧することで、所望の部位にのみ剥離用テープを接着させることができる。
更に、前記開口部が、接着シートの外周縁部分に向き合うように位置して前記剥離用テープが接着シート以外の部位に接触することを防止する開口縁部を設けたことで、剥離用テープが接着シート以外の部位に接着してしまう不都合を一層確実に回避することができる。
また、切断手段を備えた構成では、帯状の剥離用テープを用いて必要な長さ毎に切断して利用が可能となり、剥離用シートの無駄な使用をなくし、ランニングコストの低減が図れる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１４】
図１には、本実施形態に係るシート剥離装置の概略正面図が示され、図２には、図１の一部構成を省略した平面図が示されている。これらの図において、シート剥離装置１０は、被着体としてのウエハＷを保持する保持手段１１と、ウエハＷの回路面（上面）に貼付された保護用の接着シートＳに接着される帯状の剥離用テープＰＴを繰り出し可能に支持する支持手段１２と、剥離用テープＰＴのリード端側を接着シートＳに相対する位置に案内する案内手段１３と、剥離用テープＰＴを接着シートＳの外周縁部に接着させる接着手段１４と、剥離用テープＰＴを保持するとともに、前記保持手段１１との相対移動によって接着シートＳを剥離する剥離手段１５と、この剥離用手段１５よりも上流側で剥離用テープＰＴを切断する切断手段１６とを備えて構成されている。なお、剥離用テープＰＴは、特に限定されるものではないが、本実施形態では、感熱接着性の接着テープが採用されている。
【００１５】
前記保持手段１１は、上面側がウエハＷの吸着面として形成されたテーブル２０と、当該テーブル２０を図１中左右方向に移動可能に支持する図示しない駆動機構とを備えて構成されている。
【００１６】
前記支持手段１２は、略鉛直面内に位置するフレーム２２と、当該フレーム２２に回転可能に支持されるとともに、ロール状に巻回された剥離用テープＰＴを支持する支持ローラ２３とにより構成されている。フレーム２２の下部にはブラケット２４を介して剥離用テープＰＴを案内手段１３に沿わせるためのガイドローラ２５が支持されている。
【００１７】
前記案内手段１３は、平面視略長方形状のガイドプレート２７と、このガイドプレート２７の後端側（図１中右端側）を支持するスライダ２８を備えた直動モータ２９と、ガイドプレート２７の前端側に設けられたマスキング手段３０とにより構成されている。ガイドプレート２７の上面側には、図２に示されるように、図示しない減圧源に連通する吸着孔２７Ａが形成され、これにより、剥離用テープＰＴの浮き上がりを防止できるようになっている。ここで、ガイドプレート２７は、前記スライダ２８から左側に延びる本体部３１と、当該本体部３１の前端側に位置する可動部３２とにより構成されている。可動部３２は、アーム３４を介して本体部３１に固定されたモータＭの出力軸に固定されており、当該モータＭの回転により、可動部３２が図４中実線と二点鎖線で示される位置との間で回転可能となっている。
【００１８】
前記マスキング手段３０は、前記ガイドプレート２７の一部に開口部３３を設けることによって構成されている。この開口部３３は、図３にも示されるように、前記本体部３１と可動部３２とで形成されている。これを更に詳述すると、本体部３１の前端側は、可動部３２側に開放する平面視略コ字状に切り欠いた形状に設けられ、その上面は、可動部３２側に向かって板厚が次第に減少する傾斜面部３６として形成されている。この一方、可動部３２は、傾斜面部３６に対向するように傾斜面部３７を備えた形状に設けられている。本実施形態において、開口部３３の一部となる傾斜面部３６側の開口縁部３６Ａは、接着シートＳの外周縁部分に向き合うように位置して略一致する形状に設けられている（図４参照）。
【００１９】
前記接着手段１４は、前記接着シートＳの外周側上方に位置するシリンダ４０と、このシリンダ４０を介して上下方向に進退するヒータ４１と、当該ヒータ４１の下部側に設けられた加熱片４２とにより構成されている。加熱片４２は、図２に示されるように、接着シートＳの外周縁と略一致するように湾曲した形状に設けられている。
【００２０】
前記剥離手段１５は、シリンダ４５と、当該シリンダ４５のロッド４６を介して昇降可能に支持された昇降ローラ４７と、昇降ローラ４７の上部に設けられた定位置ローラ４８とを含む。昇降ローラ４７は、剥離用テープＰＴを接着シートＳに接着する際に、当該剥離用テープＰＴの下面側に位置するようになっており、接着シートＳを剥離するときに上昇して定位置ローラ４８との間に剥離用テープＰＴを挟み込んで保持するように設けられている。
【００２１】
前記切断手段１６は、シリンダ５０と、当該シリンダ５０のロッド５１の下端側に位置するテープ押さえ５３と、ブラケット５４に支持された切断用シリンダ５６を介して図１中紙面直交方向に移動可能に設けられたカッター刃５７とを含む。カッター刃５７は、可動部３２に形成された溝３２Ａに沿って移動可能とされ、これにより、剥離用テープＰＴを幅方向に切断して接着シートＳに接着された剥離用テープＰＴ部分を切り離しできるようになっている。
【００２２】
なお、図１中符号６０は、テープ押さえを示し、当該テープ押さえ６０は、ガイドプレート２７の本体部３１上に剥離用テープＰＴを跨ぐように取り付けられたフレーム６１と、当該フレーム６１に支持されたシリンダ６２と、このシリンダ６２のロッド６３に固定されて剥離用テープＰＴを本体部３１上に押さえ付ける押さえ板６４とにより構成されている。
【００２３】
次に、前記シート剥離装置１０による接着シートＳの剥離方法について、図４ないし図７をも参照して説明する。
【００２４】
シート剥離装置１０を構成する各手段は、図１に示される位置を初期位置とし、剥離用テープＰＴは、そのリード端側が切断手段１６によって切断され、吸着孔２７Ａと押さえ板６４とでガイドプレート２７上に引き寄せられた状態となっている。
【００２５】
接着シートＳが貼付されたウエハＷが図示しない搬送手段を介してテーブル２０上に移載されると、図５に示されるように、ガイドプレート２７が直動モータ２９を介して前進する。この前進移動は、開口部３３の開口縁部３６Ａが接着シートＳの外周縁部分に向き合った状態で略一致する上方位置で停止する（図４参照）。
【００２６】
次いで、接着手段１４の加熱片４２が下降し、開口部３３上に位置する剥離用テープＰＴ部分を上方より押さえ込んで剥離用テープＰＴを接着シートＳの外周縁部に溶融接着する。加熱片４２が剥離用テープＰＴを開口３３内で押さえ込むときに、剥離用テープＰＴは前述した傾斜面３６、３７に沿って凹状に変形するが、本体部３１上の剥離用テープＰＴは、テープ押さえ６０によって押さえ付けられているため、そのリード端側が前記変形に追従するように所定量後退する。
【００２７】
剥離用テープＰＴの接着が完了すると、前記可動部３２が図４中二点鎖線で示される位置に回転する。これにより、図６、図７に示されるように、剥離用テープＰＴがテーブル２０に対して相対移動する方向（矢印ＰＲの方向）に剥離経路を確保することができる。
【００２８】
そして、図７に示されるように、押さえ板６４が剥離用テープＰＴの押さえ込みを解除するとともに、ガイドプレート２７が初期位置に後退して可動部３２が開口部３３を形成する位置に復帰する。その後、昇降ローラ４７が上昇し、剥離用テープＰＴを定位置ローラ４８との間に挟み込んで保持することとなる。
【００２９】
この状態で、前記切断手段１６が作動し、可動部３２上の剥離用テープＰＴを押さえ付けるとともに、カッター刃５７が溝３２Ａに沿って移動することで剥離用テープＰＴが切断される。
【００３０】
次いで、図７中二点鎖線で示されるように、接着手段１４が上方へ退避し、剥離手段１５が左方向に移動するとともに、テーブル２０が右方向に相対移動することで、接着シートＳがウエハＷから剥離される。このとき定位置ローラ４８は、図示しないモータによって回転不能とされている。剥離手段１５は、接着シートＳを完全に剥離した後に、昇降ローラ４７が定位置ローラ４８から離間して剥離用テープＰＴの保持を解除し、図示しない廃棄ボックス内に落下させる一方、接着シートＳが剥離されたウエハＷは、図示しない搬送手段を介して次工程若しくは所定のストッカに搬送される。
【００３１】
従って、このような実施形態によれば、ガイドプレート２７がマスキング手段３０を備えて構成されているため、剥離用テープＰＴがウエハＷの縁部やウエハ保持用のテーブル面に接着してしまうような不都合はなく、接着シートＳの剥離を確実に行うことができる、という効果を得る。
【００３２】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
【００３３】
例えば、前記実施形態では、剥離用テープＰＴとして感熱接着性のテープを用いた場合を図示、説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、感圧接着性の剥離用テープを採用することもできる。この場合、感圧接着性剥離用テープの接着剤層に接する部位となるガイドプレート２７の上面側を非接着処理面として形成すればよく、接着手段１４はヒータ４１を省略してもよく、加熱片４２に変えて押圧片を採用することができる。
【００３４】
また、前記実施形態では、帯状の剥離用テープＰＴを用いたが、当該剥離用テープＰＴは、枚葉タイプとしてもよい。このような枚葉タイプの剥離用テープを用いた場合には、切断手段１６を省略することもできる。
【００３５】
更に、マスキング手段３０は、開口部３３に限らず、少なくとも、保持手段１１の上面側に剥離用テープＰＴが接着することを防止できる切欠等でもよい。
【００３６】
また、被着体は半導体ウエハＷに限定されるものではなく、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の被着体も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコンウエハや化合物ウエハであってもよい。
【００３７】
更に、剥離手段と保持手段との相対移動は、何れか一方が停止していてもよい。また、接着シートの剥離動作時に定位置ローラ４８を図示しないモータによって巻き取るように構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本実施形態に係るシート剥離装置の概略正面図。
【図２】前記シート剥離装置の一部構成を省略した概略平面図。
【図３】マスキング手段を含む案内手段を構成するガイドプレートの要部斜視図。
【図４】前記ガイドプレートが接着シートの上部に前進したときの要部概略平面図。
【図５】剥離用テープが接着シートの外周縁部に接着された状態を示す概略正面図。
【図６】可動部が回転して剥離用テープの剥離経路が形成された状態を示す概略正面図。
【図７】剥離手段が接着シートを剥離する状態を示す概略正面図。
【符号の説明】
【００３９】
１０ シート貼付装置
１１ 保持手段
１２ 支持手段
１３ 案内手段
１４ 接着手段
１５ 剥離手段
１６ 切断手段
２７ ガイドプレート
３０ マスキング
３１ 本体部
３２ 可動部
３３ 開口部
３６Ａ 開口縁部
ＰＴ 剥離用テープ
ＰＲ 剥離経路
Ｓ 接着シート
Ｗ 半導体ウエハ（被着体）
【技術分野】
【０００１】
本発明はシート剥離装置及び剥離方法に係り、更に詳しくは、被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを接着し、当該剥離用テープを介して接着シートを剥離することに適したシート剥離装置及び剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と称する）は、その回路面に保護用の接着シートが貼付され、種々の工程を経た後に剥離されるものとなっている。このような接着シートの剥離装置としては、例えば、特許文献１に開示されている。
【特許文献１】特開平１１−１６８６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
特許文献１に開示されたシート剥離装置は、剥離用テープのリード端をテープチャックで挟持して所定長さ引き出し、当該引き出された剥離用テープの中間部を接着シートの外縁部に溶融接着させる構成が採用されている。
しかしながら、特許文献１に記載されたシート剥離装置にあっては、テープチャックとヒータ工具との間の剥離用テープに弛み等が生じたときに、当該剥離用テープがウエハの縁部やウエハ保持用のテーブル面に接着してしまう。そのような状態で剥離動作が行われると、ウエハの破損や接着シートの剥離ミスといった剥離不良を発生する、という不都合を招来する。
【０００４】
［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、剥離用テープが接着シート以外の部位に接着してしまうことを防止しつつ、接着シートを被着体から確実に剥離することのできるシート剥離装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記目的を達成するため、本発明は、被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープを介して前記接着シートを被着体から剥離するシート剥離装置において、前記被着体を保持する保持手段と、前記剥離用テープを繰り出し可能に支持する支持手段と、剥離用テープを接着シートに相対する位置に案内する案内手段と、剥離用テープを接着シートに接着させる接着手段と、接着シートに接着された剥離用テープを介して前記保持手段との相対移動により接着シートを剥離する剥離手段とを備え、前記案内手段は、前記剥離用テープが接着シート以外の部位に接着することを防止するマスキング手段を備える、という構成を採っている。
【０００６】
本発明において、前記案内手段は、前記支持手段から繰り出された剥離用テープを支持するガイドプレートを備え、前記マスキング手段は、当該ガイドプレートの一部に開口部を設けることによって構成することができる。
【０００７】
また、前記開口部は、前記ガイドプレートを構成する本体部と、当該本体部の一端側に位置する可動部とで形成され、前記案内手段は、前記可動部が変位することで接着シートの剥離を行うための相対移動方向に剥離用テープの剥離経路を確保するように設けられている。
【０００８】
更に、前記開口部は、接着シートの外周縁部分に向き合うように位置して前記剥離用テープが接着シート以外の部位に接触することを防止する開口縁部を有する、という構成を採るとよい。
【０００９】
また、前記開口部は、接着シートの外周縁部分に向き合うように位置して前記剥離用テープが接着シート以外の部位に接触することを防止する開口縁部を有する、という構成を採ることが好ましい。
【００１０】
更に、前記剥離用テープの切断手段を更に含み、当該切断手段は、前記剥離手段が接着シートの剥離を開始するときに剥離用テープを切断する、という構成を採ることができる。
【００１１】
また、本発明は、被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープを介して前記接着シートを被着体から剥離するシート剥離方法において、前記被着体を保持する工程と、前記剥離用テープを繰り出す工程と、剥離用テープを接着シートに相対する位置に案内手段を介して案内する工程と、剥離用テープを接着シートに接着させる工程と、前記接着シートに接着した剥離用テープを保持して当該接着シートを剥離する工程と、からなり、前記案内手段を前記剥離用テープが接着シート以外の部位に接触することを防止するマスキング手段としても使用する、という手法を採っている。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、案内手段がマスキング手段を備えて構成されているため、接着シートに接着される剥離用テープは、接着すべき箇所の周辺領域が前記マスキング手段によってカバーされることになる。従って、繰り出された剥離用テープに弛み等が生じても、剥離用テープが意図しない部分や領域に接着してしまうことを確実に防止でき、ウエハの破損や接着シートの剥離ミスといった不都合を未然に防止することができる。
また、前記案内手段が剥離用テープのガイドプレートを備えて構成され、当該ガイドプレートに開口部を設けることでマスキング手段が構成された場合には、繰り出された剥離用テープを安定して支持することができるとともに、マスキング手段の構成をシンプルにすることができる。しかも、開口部内に位置する剥離用テープを接着シートに向かって押圧することで、所望の部位にのみ剥離用テープを接着させることができる。
更に、前記開口部が、接着シートの外周縁部分に向き合うように位置して前記剥離用テープが接着シート以外の部位に接触することを防止する開口縁部を設けたことで、剥離用テープが接着シート以外の部位に接着してしまう不都合を一層確実に回避することができる。
また、切断手段を備えた構成では、帯状の剥離用テープを用いて必要な長さ毎に切断して利用が可能となり、剥離用シートの無駄な使用をなくし、ランニングコストの低減が図れる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１４】
図１には、本実施形態に係るシート剥離装置の概略正面図が示され、図２には、図１の一部構成を省略した平面図が示されている。これらの図において、シート剥離装置１０は、被着体としてのウエハＷを保持する保持手段１１と、ウエハＷの回路面（上面）に貼付された保護用の接着シートＳに接着される帯状の剥離用テープＰＴを繰り出し可能に支持する支持手段１２と、剥離用テープＰＴのリード端側を接着シートＳに相対する位置に案内する案内手段１３と、剥離用テープＰＴを接着シートＳの外周縁部に接着させる接着手段１４と、剥離用テープＰＴを保持するとともに、前記保持手段１１との相対移動によって接着シートＳを剥離する剥離手段１５と、この剥離用手段１５よりも上流側で剥離用テープＰＴを切断する切断手段１６とを備えて構成されている。なお、剥離用テープＰＴは、特に限定されるものではないが、本実施形態では、感熱接着性の接着テープが採用されている。
【００１５】
前記保持手段１１は、上面側がウエハＷの吸着面として形成されたテーブル２０と、当該テーブル２０を図１中左右方向に移動可能に支持する図示しない駆動機構とを備えて構成されている。
【００１６】
前記支持手段１２は、略鉛直面内に位置するフレーム２２と、当該フレーム２２に回転可能に支持されるとともに、ロール状に巻回された剥離用テープＰＴを支持する支持ローラ２３とにより構成されている。フレーム２２の下部にはブラケット２４を介して剥離用テープＰＴを案内手段１３に沿わせるためのガイドローラ２５が支持されている。
【００１７】
前記案内手段１３は、平面視略長方形状のガイドプレート２７と、このガイドプレート２７の後端側（図１中右端側）を支持するスライダ２８を備えた直動モータ２９と、ガイドプレート２７の前端側に設けられたマスキング手段３０とにより構成されている。ガイドプレート２７の上面側には、図２に示されるように、図示しない減圧源に連通する吸着孔２７Ａが形成され、これにより、剥離用テープＰＴの浮き上がりを防止できるようになっている。ここで、ガイドプレート２７は、前記スライダ２８から左側に延びる本体部３１と、当該本体部３１の前端側に位置する可動部３２とにより構成されている。可動部３２は、アーム３４を介して本体部３１に固定されたモータＭの出力軸に固定されており、当該モータＭの回転により、可動部３２が図４中実線と二点鎖線で示される位置との間で回転可能となっている。
【００１８】
前記マスキング手段３０は、前記ガイドプレート２７の一部に開口部３３を設けることによって構成されている。この開口部３３は、図３にも示されるように、前記本体部３１と可動部３２とで形成されている。これを更に詳述すると、本体部３１の前端側は、可動部３２側に開放する平面視略コ字状に切り欠いた形状に設けられ、その上面は、可動部３２側に向かって板厚が次第に減少する傾斜面部３６として形成されている。この一方、可動部３２は、傾斜面部３６に対向するように傾斜面部３７を備えた形状に設けられている。本実施形態において、開口部３３の一部となる傾斜面部３６側の開口縁部３６Ａは、接着シートＳの外周縁部分に向き合うように位置して略一致する形状に設けられている（図４参照）。
【００１９】
前記接着手段１４は、前記接着シートＳの外周側上方に位置するシリンダ４０と、このシリンダ４０を介して上下方向に進退するヒータ４１と、当該ヒータ４１の下部側に設けられた加熱片４２とにより構成されている。加熱片４２は、図２に示されるように、接着シートＳの外周縁と略一致するように湾曲した形状に設けられている。
【００２０】
前記剥離手段１５は、シリンダ４５と、当該シリンダ４５のロッド４６を介して昇降可能に支持された昇降ローラ４７と、昇降ローラ４７の上部に設けられた定位置ローラ４８とを含む。昇降ローラ４７は、剥離用テープＰＴを接着シートＳに接着する際に、当該剥離用テープＰＴの下面側に位置するようになっており、接着シートＳを剥離するときに上昇して定位置ローラ４８との間に剥離用テープＰＴを挟み込んで保持するように設けられている。
【００２１】
前記切断手段１６は、シリンダ５０と、当該シリンダ５０のロッド５１の下端側に位置するテープ押さえ５３と、ブラケット５４に支持された切断用シリンダ５６を介して図１中紙面直交方向に移動可能に設けられたカッター刃５７とを含む。カッター刃５７は、可動部３２に形成された溝３２Ａに沿って移動可能とされ、これにより、剥離用テープＰＴを幅方向に切断して接着シートＳに接着された剥離用テープＰＴ部分を切り離しできるようになっている。
【００２２】
なお、図１中符号６０は、テープ押さえを示し、当該テープ押さえ６０は、ガイドプレート２７の本体部３１上に剥離用テープＰＴを跨ぐように取り付けられたフレーム６１と、当該フレーム６１に支持されたシリンダ６２と、このシリンダ６２のロッド６３に固定されて剥離用テープＰＴを本体部３１上に押さえ付ける押さえ板６４とにより構成されている。
【００２３】
次に、前記シート剥離装置１０による接着シートＳの剥離方法について、図４ないし図７をも参照して説明する。
【００２４】
シート剥離装置１０を構成する各手段は、図１に示される位置を初期位置とし、剥離用テープＰＴは、そのリード端側が切断手段１６によって切断され、吸着孔２７Ａと押さえ板６４とでガイドプレート２７上に引き寄せられた状態となっている。
【００２５】
接着シートＳが貼付されたウエハＷが図示しない搬送手段を介してテーブル２０上に移載されると、図５に示されるように、ガイドプレート２７が直動モータ２９を介して前進する。この前進移動は、開口部３３の開口縁部３６Ａが接着シートＳの外周縁部分に向き合った状態で略一致する上方位置で停止する（図４参照）。
【００２６】
次いで、接着手段１４の加熱片４２が下降し、開口部３３上に位置する剥離用テープＰＴ部分を上方より押さえ込んで剥離用テープＰＴを接着シートＳの外周縁部に溶融接着する。加熱片４２が剥離用テープＰＴを開口３３内で押さえ込むときに、剥離用テープＰＴは前述した傾斜面３６、３７に沿って凹状に変形するが、本体部３１上の剥離用テープＰＴは、テープ押さえ６０によって押さえ付けられているため、そのリード端側が前記変形に追従するように所定量後退する。
【００２７】
剥離用テープＰＴの接着が完了すると、前記可動部３２が図４中二点鎖線で示される位置に回転する。これにより、図６、図７に示されるように、剥離用テープＰＴがテーブル２０に対して相対移動する方向（矢印ＰＲの方向）に剥離経路を確保することができる。
【００２８】
そして、図７に示されるように、押さえ板６４が剥離用テープＰＴの押さえ込みを解除するとともに、ガイドプレート２７が初期位置に後退して可動部３２が開口部３３を形成する位置に復帰する。その後、昇降ローラ４７が上昇し、剥離用テープＰＴを定位置ローラ４８との間に挟み込んで保持することとなる。
【００２９】
この状態で、前記切断手段１６が作動し、可動部３２上の剥離用テープＰＴを押さえ付けるとともに、カッター刃５７が溝３２Ａに沿って移動することで剥離用テープＰＴが切断される。
【００３０】
次いで、図７中二点鎖線で示されるように、接着手段１４が上方へ退避し、剥離手段１５が左方向に移動するとともに、テーブル２０が右方向に相対移動することで、接着シートＳがウエハＷから剥離される。このとき定位置ローラ４８は、図示しないモータによって回転不能とされている。剥離手段１５は、接着シートＳを完全に剥離した後に、昇降ローラ４７が定位置ローラ４８から離間して剥離用テープＰＴの保持を解除し、図示しない廃棄ボックス内に落下させる一方、接着シートＳが剥離されたウエハＷは、図示しない搬送手段を介して次工程若しくは所定のストッカに搬送される。
【００３１】
従って、このような実施形態によれば、ガイドプレート２７がマスキング手段３０を備えて構成されているため、剥離用テープＰＴがウエハＷの縁部やウエハ保持用のテーブル面に接着してしまうような不都合はなく、接着シートＳの剥離を確実に行うことができる、という効果を得る。
【００３２】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
【００３３】
例えば、前記実施形態では、剥離用テープＰＴとして感熱接着性のテープを用いた場合を図示、説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、感圧接着性の剥離用テープを採用することもできる。この場合、感圧接着性剥離用テープの接着剤層に接する部位となるガイドプレート２７の上面側を非接着処理面として形成すればよく、接着手段１４はヒータ４１を省略してもよく、加熱片４２に変えて押圧片を採用することができる。
【００３４】
また、前記実施形態では、帯状の剥離用テープＰＴを用いたが、当該剥離用テープＰＴは、枚葉タイプとしてもよい。このような枚葉タイプの剥離用テープを用いた場合には、切断手段１６を省略することもできる。
【００３５】
更に、マスキング手段３０は、開口部３３に限らず、少なくとも、保持手段１１の上面側に剥離用テープＰＴが接着することを防止できる切欠等でもよい。
【００３６】
また、被着体は半導体ウエハＷに限定されるものではなく、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の被着体も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコンウエハや化合物ウエハであってもよい。
【００３７】
更に、剥離手段と保持手段との相対移動は、何れか一方が停止していてもよい。また、接着シートの剥離動作時に定位置ローラ４８を図示しないモータによって巻き取るように構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本実施形態に係るシート剥離装置の概略正面図。
【図２】前記シート剥離装置の一部構成を省略した概略平面図。
【図３】マスキング手段を含む案内手段を構成するガイドプレートの要部斜視図。
【図４】前記ガイドプレートが接着シートの上部に前進したときの要部概略平面図。
【図５】剥離用テープが接着シートの外周縁部に接着された状態を示す概略正面図。
【図６】可動部が回転して剥離用テープの剥離経路が形成された状態を示す概略正面図。
【図７】剥離手段が接着シートを剥離する状態を示す概略正面図。
【符号の説明】
【００３９】
１０ シート貼付装置
１１ 保持手段
１２ 支持手段
１３ 案内手段
１４ 接着手段
１５ 剥離手段
１６ 切断手段
２７ ガイドプレート
３０ マスキング
３１ 本体部
３２ 可動部
３３ 開口部
３６Ａ 開口縁部
ＰＴ 剥離用テープ
ＰＲ 剥離経路
Ｓ 接着シート
Ｗ 半導体ウエハ（被着体）
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープを介して前記接着シートを被着体から剥離するシート剥離装置において、
前記被着体を保持する保持手段と、前記剥離用テープを繰り出し可能に支持する支持手段と、剥離用テープを接着シートに相対する位置に案内する案内手段と、剥離用テープを接着シートに接着させる接着手段と、接着シートに接着された剥離用テープを介して前記保持手段との相対移動により接着シートを剥離する剥離手段とを備え、
前記案内手段は、前記剥離用テープが接着シート以外の部位に接着することを防止するマスキング手段を備えていることを特徴とするシート剥離装置。
【請求項２】
前記案内手段は、前記支持手段から繰り出された剥離用テープを支持するガイドプレートを備え、前記マスキング手段は、当該ガイドプレートの一部に開口部を設けることによって構成されていることを特徴とする請求項１記載のシート剥離装置。
【請求項３】
前記開口部は、前記ガイドプレートを構成する本体部と、当該本体部の一端側に位置する可動部とで形成され、前記案内手段は、前記可動部が変位することで接着シートの剥離を行うための相対移動方向に剥離用テープの剥離経路を確保することを特徴とする請求項２記載のシート剥離装置。
【請求項４】
前記開口部は、接着シートの外周縁部分に向き合うように位置して前記剥離用テープが接着シート以外の部位に接触することを防止する開口縁部を有することを特徴とする請求項２又は３記載のシート剥離装置。
【請求項５】
前記剥離用テープの切断手段を更に含み、当該切断手段は、前記剥離手段が接着シートの剥離を開始するときに剥離用テープを切断することを特徴とする請求項１ないし４の何れかに記載のシート剥離装置。
【請求項６】
被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープを介して前記接着シートを被着体から剥離するシート剥離方法において、
前記被着体を保持する工程と、
前記剥離用テープを繰り出す工程と、
剥離用テープを接着シートに相対する位置に案内手段を介して案内する工程と、
剥離用テープを接着シートに接着させる工程と、
前記接着シートに接着した剥離用テープを保持して当該接着シートを剥離する工程と、からなり、
前記案内手段を前記剥離用テープが接着シート以外の部位に接触することを防止するマスキング手段としても使用することを特徴とするシート剥離方法。
【請求項１】
被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープを介して前記接着シートを被着体から剥離するシート剥離装置において、
前記被着体を保持する保持手段と、前記剥離用テープを繰り出し可能に支持する支持手段と、剥離用テープを接着シートに相対する位置に案内する案内手段と、剥離用テープを接着シートに接着させる接着手段と、接着シートに接着された剥離用テープを介して前記保持手段との相対移動により接着シートを剥離する剥離手段とを備え、
前記案内手段は、前記剥離用テープが接着シート以外の部位に接着することを防止するマスキング手段を備えていることを特徴とするシート剥離装置。
【請求項２】
前記案内手段は、前記支持手段から繰り出された剥離用テープを支持するガイドプレートを備え、前記マスキング手段は、当該ガイドプレートの一部に開口部を設けることによって構成されていることを特徴とする請求項１記載のシート剥離装置。
【請求項３】
前記開口部は、前記ガイドプレートを構成する本体部と、当該本体部の一端側に位置する可動部とで形成され、前記案内手段は、前記可動部が変位することで接着シートの剥離を行うための相対移動方向に剥離用テープの剥離経路を確保することを特徴とする請求項２記載のシート剥離装置。
【請求項４】
前記開口部は、接着シートの外周縁部分に向き合うように位置して前記剥離用テープが接着シート以外の部位に接触することを防止する開口縁部を有することを特徴とする請求項２又は３記載のシート剥離装置。
【請求項５】
前記剥離用テープの切断手段を更に含み、当該切断手段は、前記剥離手段が接着シートの剥離を開始するときに剥離用テープを切断することを特徴とする請求項１ないし４の何れかに記載のシート剥離装置。
【請求項６】
被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープを介して前記接着シートを被着体から剥離するシート剥離方法において、
前記被着体を保持する工程と、
前記剥離用テープを繰り出す工程と、
剥離用テープを接着シートに相対する位置に案内手段を介して案内する工程と、
剥離用テープを接着シートに接着させる工程と、
前記接着シートに接着した剥離用テープを保持して当該接着シートを剥離する工程と、からなり、
前記案内手段を前記剥離用テープが接着シート以外の部位に接触することを防止するマスキング手段としても使用することを特徴とするシート剥離方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２００９−１８２１９９（Ｐ２００９−１８２１９９Ａ）
【公開日】平成２１年８月１３日（２００９．８．１３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−２０６６６（Ｐ２００８−２０６６６）
【出願日】平成２０年１月３１日（２００８．１．３１）
【出願人】（０００１０２９８０）リンテック株式会社 (1,750)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年８月１３日（２００９．８．１３）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年１月３１日（２００８．１．３１）
【出願人】（０００１０２９８０）リンテック株式会社 (1,750)
【Ｆターム（参考）】
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