フィルム支持装置及びめっき被膜付きフィルムの製造装置
【課題】フィルムの搬送速度を上げても、フィルムの汚れを低減させることができるフィルム支持装置及びめっき被膜付きフィルムの製造装置を提供する。
【解決手段】めっき槽６０Ａと洗浄槽７０Ａとの間に感光ウエブ１８を空中搬送させる支持装置２００Ａが配置されている。支持装置２００Ａには、感光ウエブ１８の導電面１８Ａに接触する導電面支持ローラ２０２、２０４と、これらの間に感光ウエブ１８の裏面１８Ｂに接触する裏面支持ローラ２０６とが設けられている。導電面支持ローラ２０２、２０４と裏面支持ローラ２０６には、それぞれ洗浄装置２１０、２１２、２１４が配設されており、導電面支持ローラ２０２、２０４と裏面支持ローラ２０６の下部が洗浄液２１７に浸漬される洗浄液受け槽２１８、２２０、２２２と、洗浄液２１７の水面を一定に保つオーバーフロー堰２２６、２２８、２３０とが設けられている。
【解決手段】めっき槽６０Ａと洗浄槽７０Ａとの間に感光ウエブ１８を空中搬送させる支持装置２００Ａが配置されている。支持装置２００Ａには、感光ウエブ１８の導電面１８Ａに接触する導電面支持ローラ２０２、２０４と、これらの間に感光ウエブ１８の裏面１８Ｂに接触する裏面支持ローラ２０６とが設けられている。導電面支持ローラ２０２、２０４と裏面支持ローラ２０６には、それぞれ洗浄装置２１０、２１２、２１４が配設されており、導電面支持ローラ２０２、２０４と裏面支持ローラ２０６の下部が洗浄液２１７に浸漬される洗浄液受け槽２１８、２２０、２２２と、洗浄液２１７の水面を一定に保つオーバーフロー堰２２６、２２８、２３０とが設けられている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、帯状長尺のフィルムを搬送しながらフィルム導電面にめっき被膜を形成するめっき被膜付きフィルムの製造装置に用いられ、めっき浴を通過して次工程へ空中搬送されるフィルムを支持するフィルム支持装置、及びこのフィルム支持装置を備えためっき被膜付きフィルムの製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、帯状長尺のフィルムに連続的にめっきを行う際には、複数のローラにフィルムを張架してローラの回転によりフィルムを一定方向に搬送し、めっき浴槽を通過させる。このように複数のローラでフィルムを搬送するとき、めっき浴槽の下流側でローラにめっき液成分の析出物や汚れが固着するという問題がある。
【０００３】
ローラを洗浄するために、下記特許文献１では、フィルムの導電面に接触する２本のローラに洗浄装置を設けた構成が開示されている。この構成では、２本のローラを洗浄装置で洗浄することにより、ローラの汚れを低減させることができる。
【特許文献１】特開２００７−２７０３２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年、フィルムに連続的にめっきを行う際に、生産性の向上のため、フィルムの搬送速度を上げる必要が出てきている。しかし、特許文献１に記載の態様で、搬送速度を上げると、フィルムの汚れが悪化し、生産性を上げることが難しい。
【０００５】
この理由について、本発明者らが鋭意検討したところ、以下の要因が判っている。すなわち、従来の汚れは、フィルムの導電面に固着したものであり、この導電面に接する２本のローラを特許文献１に記載の洗浄装置で洗浄すれば良く、搬送速度を上げた場合は、２本のローラの水洗量を上げれば対応できると考えていた。しかし、水洗量を上げてもフィルムの汚れが増加した。鋭意検討の結果、搬送速度を上げた場合のフィルムの汚れの増加は、フィルムが搬送されるめっき浴からのめっき液の持ち出しが増えることで、下流側の液槽内の液への汚染が高まることが主因であることが判ってきた。
【０００６】
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、フィルムの搬送速度を上げても、フィルムの汚れを低減させることができるフィルム支持装置及びめっき被膜付きフィルムの製造装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、フィルムの導電面をカソード給電ローラに接触させ、前記導電面にめっき被膜を形成する電解めっき浴の下流側に配置され、次工程へ空中搬送される前記フィルムを支持するフィルム支持装置であって、前記フィルムの導電面に接触する少なくとも２本のフィルム導電面支持部材と、前記フィルム導電面支持部材の間に配置され、前記導電面と反対側の前記フィルムの裏面に接触する少なくとも１本のフィルム裏面支持部材と、前記フィルム導電面支持部材と前記フィルム裏面支持部材をそれぞれ洗浄する洗浄手段と、を有することを特徴としている。
【０００８】
請求項１に記載の発明によれば、電解めっき浴の下流側では、少なくとも２本のフィルム導電面支持部材がフィルムの導電面に接触し、フィルム導電面支持部材の間で少なくとも１本のフィルム裏面支持部材が導電面と反対側のフィルムの裏面に接触しており、フィルムがフィルム導電面支持部材及びフィルム裏面支持部材に支持された状態で次工程へ空中搬送される。フィルムの導電面に接触するフィルム導電面支持部材と、フィルムの裏面に接触するフィルム裏面支持部材は、洗浄手段によってそれぞれ洗浄される。これによって、フィルムの導電面のみならず、フィルムの裏面に付着しためっき液が次工程に持ち込まれることが低減される。従って、めっき液が次工程又はその下流側の液（例えば、防錆剤など）と反応して汚れの成分が増加することが低減される。このため、フィルムの搬送速度を上げても、フィルムの汚れを低減することができる。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のフィルム支持装置において、前記フィルム導電面支持部材と前記フィルム裏面支持部材は、それぞれローラで構成されており、前記洗浄手段は、洗浄液で満たされ、かつ、前記ローラの下部が前記洗浄液に浸漬される洗浄液受け槽と、前記洗浄液受け槽に新たな洗浄液を供給すると共に、前記洗浄液受け槽内の前記洗浄液を排出させる洗浄液供給排出手段と、を有することを特徴としている。
【００１０】
請求項２に記載の発明によれば、フィルム導電面支持部材とフィルム裏面支持部材は、それぞれローラで構成されており、ローラの下部が、洗浄液受け槽に満たされた洗浄液に浸漬されている。洗浄液受け槽には、洗浄液供給排出手段によって新たな洗浄液が供給されると共に、洗浄液受け槽内の洗浄液が排出される。これにより、ローラの回転に伴い、ローラの下部が洗浄液によって洗浄され、ローラの周面が清浄な状態に保たれる。このため、フィルムの導電面のみならず、フィルムの裏面に付着しためっき液が次工程に持ち込まれることがより一層低減される。
【００１１】
請求項３に記載の発明に係るめっき被膜付きフィルムの製造装置は、フィルムの導電面をカソード給電ローラに接触させ、前記導電面にめっき被膜を形成する電解めっき浴と、前記電解めっき浴の下流側に配置される請求項１又は請求項２に記載のフィルム支持装置と、を有することを特徴としている。
【００１２】
請求項３に記載の発明によれば、電解めっき浴の下流側に、次工程へフィルムを空中搬送する請求項１又は請求項２に記載のフィルム支持装置が設けられており、フィルム導電面支持部材とフィルム裏面支持部材が洗浄手段によってそれぞれ洗浄される。これによって、フィルムの導電面のみならず、フィルムの裏面に付着しためっき液が次工程に持ち込まれることが低減される。このため、めっき液が次工程又はその下流側の液（例えば、防錆剤など）と反応して汚れの成分が増加することが低減され、フィルムの搬送速度を上げても、フィルムの汚れを低減することができる。
【００１３】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載のめっき被膜付きフィルムの製造装置において、前記フィルム支持装置の下流側に設けられ、前記フィルムを洗浄する洗浄槽を備え、前記フィルムは前記フィルム支持装置に支持されて空中搬送されることにより、前記洗浄槽内の液のめっき金属濃度が５０ｐｐｍ以下に調整されることを特徴としている。
【００１４】
請求項４に記載の発明によれば、フィルム支持装置の下流側に、フィルムを洗浄する洗浄槽が設けられており、フィルムがフィルム支持装置に支持されて空中搬送されることにより、洗浄槽内の液のめっき金属濃度が５０ｐｐｍ以下（より好ましくは５０ｐｐｍ以下）に調整される。これにより、めっき液が洗浄槽の下流側の液（例えば、防錆剤など）と反応して汚れの成分が増加することがより一層低減される。従って、フィルムの搬送速度を上げても、フィルムの汚れを低減することができる。
【００１５】
請求項５に記載の発明は、請求項３又は請求項４に記載のめっき被膜付きフィルムの製造装置において、前記フィルムの導電面と前記カソード給電ローラとを濡れた状態で接触させて給電する濡れ給電手段を有することを特徴としている。
【００１６】
請求項５に記載の発明によれば、濡れ給電手段により、フィルムの導電面とカソード給電ローラとを濡れた状態で接触させて給電するので、フィルムの導電面を形成する細線が放電によりスパークすることが抑制される。このため、細線の断線などの発生を抑制することができる。
【００１７】
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載のめっき被膜付きフィルムの製造装置において、前記濡れ給電手段は、前記フィルムの導電面と前記カソード給電ローラとの接触部の上流側に設けられ、濡れ給電用液で満たされ、かつ、前記カソード給電ローラの一部が前記濡れ給電用液に浸漬される濡れ給電用液受け槽を有することを特徴としている。
【００１８】
請求項６に記載の発明によれば、フィルムの導電面とカソード給電ローラとの接触部の上流側で、カソード給電ローラの一部が濡れ給電用液受け槽に満たされた濡れ給電用液に浸漬されており、カソード給電ローラの周面に濡れ給電用液が付着する。そして、カソード給電ローラの回転に伴い、濡れ給電用液が付着したカソード給電ローラの周面がフィルムの導電面と接触し、フィルムの導電面とカソード給電ローラとが濡れた状態で給電される。従って、フィルムの導電面とカソード給電ローラとの接触部の上流側に、濡れ給電用液受け槽を設けるという簡易な構成で、フィルムの導電面とカソード給電ローラとを濡れた状態で接触させて給電することができる。
【００１９】
請求項７に記載の発明は、請求項４に記載のめっき被膜付きフィルムの製造装置において、前記洗浄槽の下流側に、前記フィルムを圧接しながら液切りする液切りローラを備え、前記液切りローラの材質が、ポリオレフィン及びポリウレタンのいずれか一方であることを特徴としている。
【００２０】
請求項７に記載の発明によれば、洗浄槽の下流側に、フィルムを圧接しながら液切りする液切りローラが設けられており、フィルムに付着した液が液切りローラによって液切りされる。その際、液切りローラの材質が、ポリオレフィン及びポリウレタンのいずれか一方であることにより、めっき液が洗浄槽の下流側の工程へ持ち込まれることがより効果的に低減される。このため、めっき液が洗浄槽の下流側の液と反応して汚れの成分が増加することがより効果的に低減され、フィルムの搬送速度を上げても、フィルムの汚れを低減することができる。
この材質は、吸水性が良く、適度な硬度と耐薬品性を有しており、これらの物性が汚れの低減効果を有していると考えている。
また、本発明の態様はロール搬送で特に効果を得ることができる。これはシート搬送では、先端と後端の影響による液持ち込みが大きく、本発明の態様の効果が発現し難いと考えている。
【発明の効果】
【００２１】
本発明は、上記のように構成したので、フィルムの導電面及び裏面に付着しためっき液が次工程及びその下流側の工程に持ち込まれることを抑制でき、めっき液が次工程又はその下流側の液と反応して汚れの成分が増加することを低減することができる。従って、フィルムの搬送速度を上げても、フィルムの汚れを低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。なお、実質的に同一の機能を有する部材には全図面を通して同じ符号を付与し、重複する説明は省略する場合がある。
【００２３】
図１は、本発明の一実施形態に係るフィルム支持装置としての支持装置２００Ａが搭載されためっき被膜付きフィルムの製造装置１０を示す概略構成図である。
このめっき被膜付きフィルムの製造装置１０は、図１に示すように、露光装置１２、現像装置１４、支持装置２００Ａを備えた電解めっき装置１６、後処理装置１７及び巻取装置１９から構成されている。
【００２４】
まず、露光装置１２について説明する。露光装置１２は、被めっき素材として、銀塩含有層（好ましくは、ハロゲン化銀乳剤層）が設けられた帯状の長尺フィルムからなる感光ウエブ１８を搬送しながら、所望の細線状パターン（例えば、格子状、ハニカム状などのパターン）露光を行う装置である。このパターン露光により、感光ウエブ１８の銀塩含有層の露光部には細線状のパターンが形成される。
【００２５】
露光装置１２には、感光ウエブ１８の搬送路に沿って複数の搬送ローラ対２０が設けられており、これらの搬送ローラ対２０は、駆動ローラとニップローラとから構成される。
露光装置１２には、搬送方向の最上流部に供給部２１が設けられている。供給部２１には、ローラ状に巻かれた長尺の感光ウエブ１８を収納するマガジン２２がセットされる。感光ウエブ１８には、感光ウエブ１８を引き出して下流側に向けて搬送するための引出ローラ２２Ａが設けられている。
【００２６】
そして、供給部２１からの感光ウエブ１８の搬送方向下流側は、露光ユニット２４が設けられている。この露光ユニット２４により、感光ウエブ１８に露光が行われる。露光ユニット２４は、フォトマスクを利用した連続面露光ユニットであってもよく、レーザービームによる走査露光ユニットあってもよい。露光装置１２は、銀塩写真フィルムや印画紙、印刷製版用フィルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に用いられる通常の露光装置を適用することができる。
【００２７】
次に、現像装置１４について説明する。現像装置１４は、露光装置１２の搬送方向の下流側に配置され、所望の細線状パターン露光が施された感光ウエブ１８を現像・定着・洗浄を行う装置である。
【００２８】
現像装置１４には、搬送方向の上流側から順に、現像槽２６、漂白定着槽２８、及び水洗槽３０が設けられており、水洗槽３０は、第１水洗槽３０Ａ、第２水洗槽３０Ｂ、第３水洗槽３０Ｃ、及び第４水洗槽３０Ｄからなる。現像槽２６には、例えば、現像液２６Ｌが所定量貯蔵され、漂白定着槽２８には、漂白定着液２８Ｌが所定量貯蔵され、第１水洗槽３０Ａ〜第４水洗槽３０Ｄには、洗浄液３０Ｌが所定量貯蔵されている。各処理槽２６〜３０内のローラとガイドによって感光ウエブ１８が各処理槽２６〜３０の液内を搬送されることで、現像・定着・洗浄の各処理が行われるようになっている。また、現像槽２６の最上流側には、駆動ローラ３２Ａと従動ローラ３２Ｂとを備えた搬入ローラ対３２が配置されており、この搬入ローラ対３２は、露光装置１２から搬出される感光ウエブ１８を現像液２６Ｌ内に案内している。
【００２９】
ここで、現像・定着・洗浄の各処理は、銀塩写真フィルム、印刷製版用フィルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に用いられる通常の現像処理技術を適用することができる。現像液２６Ｌ、漂白定着液２８Ｌ、洗浄液３０Ｌもこれらに準じて適宜適用することができる。なお、定着処理は、未露光部分の銀塩を除去して安定化させる目的で行われる。
なお、現像装置１４では、各処理槽２６〜３０の液内を通過した感光ウエブ１８は、乾燥させずに現像装置１４から排出されるようになっている。
【００３０】
次に、電解めっき装置１６について説明する。電解めっき装置１６は、露光・現像を施され、細線状の金属銀部が形成された感光ウエブ１８（フィルム）に対し、電解めっき処理を施し、当該金属銀部に導電性金属層を形成させめっき（導電性金属部）を形成する装置である。すなわち、感光ウエブ１８の金属銀部が形成された面が導電面１８Ａであり、感光ウエブ１８の金属銀部が形成された面と反対側が裏面１８Ｂとなっている（図２参照）。
【００３１】
電解めっき装置１６には、感光ウエブ１８の搬送方向上流側に、水洗槽３０を通過した後の感光ウエブ１８の水分を除去する水分除去装置４０Ａが配設されている。水分除去装置４０Ａには、感光ウエブ１８の両側にエアーナイフ装置４２、４４が配置されており、感光ウエブ１８の両側からエアーナイフを吹き付けることで、感光ウエブ１８に付着した水分を除去する。
【００３２】
図１及び図２に示されるように、水分除去装置４０Ａを通過した感光ウエブ１８は、ガイドローラ４６とガイドローラ４８によって案内され、感光ウエブ１８の導電面１８Ａ（金属銀部）に接触しながら給電を行うカソード給電ローラ５０Ａに搬送される。感光ウエブ１８を挟んでカソード給電ローラ５０Ａと対向する位置には、感光ウエブ１８の導電面１８Ａをカソード給電ローラ５０Ａに押圧して接触させる弾性ローラ５２Ａが配設されている。この弾性ローラ５２Ａは、回転可能に支持された芯金の外周面にゴムなどからなる弾性体層を備えるものであり、弾性ローラ５２Ａの両端部を支持する支持部材５３を図示しない押圧手段によって押圧することによって、弾性ローラ５２Ａがカソード給電ローラ５０Ａに押圧されるようになっている。弾性ローラ５２Ａを押圧することで、感光ウエブ１８とカソード給電ローラ５０Ａとを密着させることができる。
【００３３】
また、カソード給電ローラ５０Ａと感光ウエブ１８との接触部に対して、カソード給電ローラ５０Ａの回転方向上流側には、感光ウエブ１８の導電面１８Ａとカソード給電ローラ５０Ａとを濡れた状態で接触させて給電する濡れ給電装置１５０Ａが設けられている。この濡れ給電装置１５０Ａについては後に詳述する。濡れ給電装置１５０Ａによってカソード給電ローラ５０Ａの周面に濡れ給電用液が供給され、カソード給電ローラ５０Ａの回転により、濡れ給電用液が付着したカソード給電ローラ５０Ａが感光ウエブ１８の導電面１８Ａと接触する。これによって、感光ウエブ１８の導電面１８Ａとカソード給電ローラ５０Ａとが濡れた状態で接触して給電されるようになっている。
【００３４】
カソード給電ローラ５０Ａより感光ウエブ１８の搬送方向下流側には、めっき液６１で満たされためっき槽６０Ａが配置されている。めっき槽６０Ａのめっき液６１中には液中ローラ６２Ａが設けられており、液中ローラ６２Ａの周面に感光ウエブ１８が巻き掛けられている。この工程では、カソード給電ローラ５０Ａに接触させた感光ウエブ１８の導電面１８Ａをめっき槽６０Ａのめっき液６１中で液中ローラ６２Ａにより搬送する。銅ボールを積層充填したケース６４Ａをアノード電極にして、カソード電極をカソード給電ローラ５０Ａとして、直流電源（整流器）６６Ａにより給電し、感光ウエブ１８に層状のめっき被膜を形成する。本実施形態では、直流電源６６Ａにより、カソード給電ローラ５０Ａからアノード電極であるケース６４Ａへ給電し、感光ウエブ１８にめっき被膜を形成する。
【００３５】
ここで、電解めっき処理として、例えば、プリント配線板などで用いられている電解めっき技術を適用することができ、電解めっきは電解銅めっきであることが好ましい。本実施形態では、めっき液６１として、電解銅めっき浴液が適用されている。電解銅めっき浴としては、硫酸銅浴、ピロリン酸銅浴、ホウフッ化銅浴等が挙げられる。電解銅めっき液に含まれる化学種としては、硫酸銅や塩化銅、めっき液の安定性、導電性を高め、均一電着性の増加を図る硫酸、アノードの溶解促進及び添加剤の補助効果作用の塩素、浴の安定化やめっき緻密性を向上させるための添加剤としてポリエチレンオキサイド、ビピリジン等が挙げられる。
【００３６】
なお、めっき槽６０Ａの下部には循環パイプ（図示省略）が連結されており、めっき槽６０Ａ内のめっき液６１が循環パイプに供給され、フィルター（図示省略）を通すことでめっき液６１中の異物が除去され、めっき槽６０Ａ内に戻される構成となっている。
【００３７】
図４に示されるように、濡れ給電装置１５０Ａは、カソード給電ローラ５０Ａと感光ウエブ１８との接触部に対して、カソード給電ローラ５０Ａの回転方向上流側に、濡れ給電用液１５１で満たされた濡れ給電用液受け槽１５２を備えている。カソード給電ローラ５０Ａは、周面の一部が濡れ給電用液受け槽１５２内の濡れ給電用液１５１に浸漬されるように配置されている。
【００３８】
図５に示されるように、カソード給電ローラ５０Ａの軸部１６２は、両端部に配置されたフレーム１６４にベアリングを介して支持されており、感光ウエブ１８との接触部で感光ウエブ１８の搬送に従動して回転可能となっている。濡れ給電用液受け槽１５２の長手方向の一端部側には、供給管１５４が接続されており、ポンプ１５６により濡れ給電用液１５１が供給されるようになっている。濡れ給電用液受け槽１５２の長手方向の他端部側には、濡れ給電用液１５１の液面を規定するオーバーフロー堰１５８が設けられている。オーバーフロー堰１５８の外側（長手方向の他端部）には、濡れ給電用液受け槽１５２の底部に排出管１６０が接続されている。これによって、濡れ給電用液１５１がオーバーフロー堰１５８の高さで満たされると共に、オーバーフロー堰１５８の上端部からオーバーフローした濡れ給電用液１５１が排出管１６０から排出されるようになっている。濡れ給電用液１５１としては、例えば、Ａｕめっき、Ａｇめっき、Ｃｕめっき、Ｎｉめっき、Ｆｅ−Ｎｉめっき、Ｎｉ−Ｃｏめっき、Ｎｉ−Ｚｎめっき、Ｎｉ−Ｃｒめっき、Ｃｕ−Ｎｉ−Ｃｒめっきの液などを用いることができる。好ましくは、Ｃｕめっき、Ｎｉめっき、Ｎｉ−Ｚｎめっきの液に用いることが良い。
【００３９】
このような濡れ給電装置１５０Ａでは、濡れ給電用液受け槽１５２の濡れ給電用液１５１がカソード給電ローラ５０Ａの周面に供給され、カソード給電ローラ５０Ａの回転により、濡れ給電用液１５１が付着したカソード給電ローラ５０Ａが感光ウエブ１８の導電面１８Ａと接触する。これによって、感光ウエブ１８の導電面１８Ａとカソード給電ローラ５０Ａとが濡れた状態で接触して給電されるようになっている。このような給電により、感光ウエブ１８の導電面１８Ａを形成する細線が放電によりスパークすることが抑制され、細線の断線などの発生が抑制される。
【００４０】
図１及び図２に示されるように、めっき槽６０Ａより感光ウエブ１８の搬送方向下流側には、洗浄液７１で満たされた洗浄槽７０Ａが配設されている。めっき槽６０Ａと洗浄槽７０Ａとの隣接部の上方には、感光ウエブ１８を空中搬送させるように支持する支持装置２００Ａが配設されている。
【００４１】
支持装置２００Ａは、感光ウエブ１８の搬送方向における上流側と下流側で感光ウエブ１８の導電面１８Ａに接触するフィルム導電面支持部材としての２本の導電面支持ローラ２０２、２０４と、２本の導電面支持ローラ２０２、２０４の間で感光ウエブ１８の裏面１８Ｂに接触するフィルム裏面支持部材としての裏面支持ローラ２０６と、を備えている。導電面支持ローラ２０２と裏面支持ローラ２０６と導電面支持ローラ２０４は、図２に示す感光ウエブ１８の搬送方向と直交する方向から見て略千鳥状に配置されており、感光ウエブ１８が搬送方向上流側から導電面支持ローラ２０２、裏面支持ローラ２０６、導電面支持ローラ２０４の順番で接触する。すなわち、感光ウエブ１８の導電面１８Ａが導電面支持ローラ２０２に巻き掛けられ、その下流側で感光ウエブ１８の裏面１８Ｂが裏面支持ローラ２０６に巻き掛けられ、その下流側で感光ウエブ１８の導電面１８Ａが導電面支持ローラ２０４に巻き掛けられている。導電面支持ローラ２０２と裏面支持ローラ２０６と導電面支持ローラ２０４は、感光ウエブ１８の移動に伴って従動回転する。
【００４２】
また、洗浄槽７０Ａ内には、液中ローラ７２Ａが設けられており、感光ウエブ１８の裏面１８Ｂが巻き掛けられている。これにより、感光ウエブ１８は、めっき槽６０Ａのめっき液６１内を通過した後、支持装置２００Ａの導電面支持ローラ２０２と、裏面支持ローラ２０６と、導電面支持ローラ２０４によって空中搬送され、洗浄槽７０Ａの洗浄液７１内に搬送される。なお、本実施形態では、洗浄液７１として、純水が用いられている。
【００４３】
図３に示されるように、支持装置２００Ａは、導電面支持ローラ２０２と導電面支持ローラ２０４をそれぞれ洗浄する洗浄手段としての洗浄装置２１０、２１２と、裏面支持ローラ２０６を洗浄する洗浄手段としての洗浄装置２１４と、を備えている。洗浄装置２１０、２１２は、感光ウエブ１８の上流側と下流側で略対称に構成されている。
【００４４】
洗浄装置２１０には、導電面支持ローラ２０２の下方部に、洗浄液２１７が満たされた樋状の洗浄液受け槽２１８が配設されており、導電面支持ローラ２０２の下部が洗浄液２１７に浸漬されている。同様に、洗浄装置２１２には、導電面支持ローラ２０４の下方部に、洗浄液２１７が満たされた樋状の洗浄液受け槽２２０が配設されており、導電面支持ローラ２０４の下部が洗浄液２１７に浸漬されている。また、洗浄装置２１４には、裏面支持ローラ２０６の下方部に、洗浄液２１７が満たされた樋状の洗浄液受け槽２２２が配設されており、裏面支持ローラ２０６の下部が洗浄液２１７に浸漬されている。これらの洗浄液受け槽２１８、２２０、２２２は、導電面支持ローラ２０２、２０４及び裏面支持ローラ２０６の長手方向に沿って配置され、導電面支持ローラ２０２、２０４及び裏面支持ローラ２０６の全長が収まる長さに形成されている。
【００４５】
洗浄液受け槽２１８、２２０、２２２には、洗浄液２１７を供給する供給管２２４がそれぞれ接続されている。供給管２２４は、洗浄槽７０Ａと接続された１本の配管２２５から３本に分岐されており、図２に示されるように、ポンプ２３６により洗浄槽７０Ａ内の洗浄液７１が汲み上げられ、洗浄液２１７として洗浄液受け槽２１８、２２０、２２２に供給されるようになっている。
なお、本実施形態では、洗浄槽７０Ａ内の洗浄液７１が汲み上げられるが、洗浄液受け槽２１８、２２０、２２２に専用の洗浄液２１７が供給される構成でもよい。また、専用の洗浄液２１７として、例えば、純水を用いることができる。
【００４６】
洗浄液受け槽２１８の側部には、洗浄液２１７の液面を規定するオーバーフロー堰２２６が設けられている。そして、オーバーフロー堰２２６で洗浄液受け槽２１８内の洗浄液２１７をオーバーフローさせて洗浄液２１７の量を一定に保つように構成されている。同様に、洗浄液受け槽２２０、２２２の側部にも、洗浄液２１７の液面を規定するオーバーフロー堰２２８、２３０がそれぞれ設けられている。そして、オーバーフロー堰２２８、２３０で洗浄液受け槽２２０、２２２内の洗浄液２１７をオーバーフローさせて洗浄液２１７の量を一定に保つように構成されている。導電面支持ローラ２０２、２０４及び裏面支持ローラ２０６は、洗浄液２１７内に直径の略１／２〜１／１０が浸漬されるように設定されている。
【００４７】
洗浄液受け槽２１８、２２０、２２２のオーバーフロー堰２２６、２２８、２３０の外側には、オーバーフローした洗浄液２１７が流れる排出管２３２がそれぞれ設けられており、排出管２３２は１本の配管２３３に繋がっている。これにより、オーバーフロー堰２２６、２２８、２３０の上端部からオーバーフローした洗浄液２１７が排出管２３２、配管２３３を通って排出されるようになっている。なお、図示を省略するが、導電面支持ローラ２０２、２０４及び裏面支持ローラ２０６の周面に長手方向に沿ってそれぞれ当接するフレキシブルブレードを設けてもよい。これにより、導電面支持ローラ２０２、２０４及び裏面支持ローラ２０６の周面に付着した汚れや付着物を掻き落とすことができる。
【００４８】
洗浄槽７０Ａの上方側には、感光ウエブ１８の搬送方向下流側（搬出位置）に、感光ウエブ１８の表裏に圧接される１対の液切りローラ２４０（スクイズローラ）が配設されている。液切りローラ２４０は、感光ウエブ１８の移動に伴って従動回転する。液切りローラ２４０は、ポリオレフィン及びポリウレタンのいずれか一方で形成されている。この液切りローラ２４０によって感光ウエブ１８に付着した洗浄液７１が液切りされるように構成されている。洗浄槽７０Ａを通過した感光ウエブ１８は、液中ローラ７２Ａと上部に配置された支持ローラ８０に案内されて搬送される。
【００４９】
図１では図示を省略するが、電解めっき装置１６では、カソード給電ローラ５０Ａ及び濡れ給電装置１５０Ａと、めっき槽６０Ａと、支持装置２００Ａと、洗浄槽７０Ａと、液切りローラ２４０とを備えたユニットが複数配置されており（本実施形態では９ユニット）、上記のような工程が複数回繰り返されることで、感光ウエブ１８の導電面１８Ａに所定の厚さの銅めっきが形成される。
【００５０】
さらに、感光ウエブ１８の搬送方向下流側には、ニッケルめっきを施すためのカソード給電ローラ５０Ｂ及び濡れ給電装置１５０Ｂと、めっき槽６０Ｂと、洗浄槽７０Ｂと、液切りローラ２４０とを備えたユニットが複数配置されており（本実施形態では９ユニット）、上記と同様の工程が複数回繰り返されることで、感光ウエブ１８の導電面１８Ａに所定の厚さのニッケルめっきが形成される。
【００５１】
次いで、図１に示されるように、めっきが施された感光ウエブ１８は、フィルム張力を検出できるローラ１２５を介して、めっき液を除去する洗浄液１１５（水）の入った水洗部１１４、めっき被膜を保護する防錆処理液１１７の入った防錆処理部１１６を経て、過剰な防錆処理液を除去する洗浄液１１９（水）の入った水洗部１１８に搬送される。さらに、めっきが施された感光ウエブ１８は、水分を除去する乾燥炉をもつ乾燥工程部１２０を経て、速度調整部１２１を経て、バランスローラ部１２２を経て、張力調整された後、アキュムレータ１２３を通してロール状フィルム１２４Ａとする。このようにして、感光ウエブ１８の細線状金属銀部にめっき（導電性金属部）が形成される。このような工程により、めっき被膜付きフィルムを得ることができる。
【００５２】
実質的なフィルム搬送張力は、５Ｎ／ｍ以上２００Ｎ／ｍ以下とすることが好ましい。実際に張力を５Ｎ／ｍ未満にすると、フィルムが蛇行し始め、搬送経路の制御がうまくいかなかった。また２００Ｎ／ｍを超えると、フィルムの形成されるめっき被膜金属が内部歪みを持つために、製品にカールが発生するなどの問題があった。
【００５３】
なお、電解めっき装置１６のめっき槽の数は、所望のめっき膜厚（導電性金属部の厚み）に応じて複数セット増設してもよい。この数に応じて、所望のめっき膜厚（導電性金属部の厚み）を容易に得ることができる。
【００５４】
上記のような支持装置２００Ａでは、めっき槽６０Ａの下流側で、感光ウエブ１８が導電面支持ローラ２０２、裏面支持ローラ２０６、導電面支持ローラ２０４の順に支持された状態で洗浄槽７０Ａへ空中搬送される。導電面支持ローラ２０２、２０４及び裏面支持ローラ２０６の下部は、それぞれ洗浄液受け槽２１８、２２０、２２２内の洗浄液２１７に浸漬されており、導電面支持ローラ２０２、２０４及び裏面支持ローラ２０６の回転に伴い、洗浄液２１７によって洗浄され、導電面支持ローラ２０２、２０４及び裏面支持ローラ２０６の周面が清浄な状態に保たれる。これによって、感光ウエブ１８の導電面１８Ａのみならず、感光ウエブ１８の裏面１８Ｂに付着しためっき液６１が洗浄槽７０Ａ及びその下流側の工程に持ち込まれることが低減される。このため、洗浄槽７０Ａ及びその下流側の工程の液と反応して汚れの成分が増加することを低減することができる。このような作用は、めっき槽６０Ｂの下流側においても同様であり、例えば、ニッケルめっきにおいて、ニッケルが下流側の防錆剤と反応して汚れの成分が増加することを低減することができる。従って、感光ウエブ１８の搬送速度を上げても、感光ウエブ１８の汚れを低減することができる。
【００５５】
また、洗浄装置２１０、２１２、２１４では、洗浄液２１７は導電面支持ローラ２０２、２０４及び裏面支持ローラ２０６の下部にのみ接触するので少量で済み、導電面支持ローラ２０２、２０４及び裏面支持ローラ２０６に付着しためっき液などの汚れを少量の洗浄液２１７で効率よく確実に洗浄することができる。
【００５６】
また、感光ウエブ１８がめっき槽６０Ａ、６０Ｂの下流側で、支持装置２００Ａ、２００Ｂに支持されて空中搬送され、洗浄槽７０Ａ、７０Ｂに導入されることにより、洗浄槽７０Ａ、７０Ｂの洗浄液７１のめっき金属濃度を５０ｐｐｍ以下に調整することができる。めっき金属濃度が５０ｐｐｍ以下に調整されることにより、めっき液６１が洗浄槽７０Ａ、７０Ｂの下流側の液（例えば、防錆剤など）と反応して汚れの成分が増加することを低減することができる。
【００５７】
さらに、電解めっき装置１６では、濡れ給電装置１５０Ａ、１５０Ｂによって、感光ウエブ１８の導電面１８Ａとカソード給電ローラ５０Ａ、５０Ｂとを濡れた状態で接触させて給電するので、感光ウエブ１８の導電面１８Ａを形成する細線が放電でスパークすることが抑制される。このため、感光ウエブ１８の導電面１８Ａを形成する細線の断線などの発生を抑制することができる。
【００５８】
また、洗浄槽７０Ａ、７０Ｂの感光ウエブ１８の搬出位置に１対の液切りローラ２４０が配設されており、感光ウエブ１８の搬送に伴って液切りローラ２４０が従動回転する。液絞りローラ２４０に感光ウエブ１８が挟持されて搬送されることにより、感光ウエブ１８に付着した洗浄液７１が液切りされる。この液切りローラ２４０が、ポリオレフィン及びポリウレタンのいずれか一方であることにより、感光ウエブ１８の液切りがより確実となる。これにより、めっき液６１が洗浄槽７０Ａ、７０Ｂの下流側の工程へ持ち込まれることがより一層低減される。このため、めっき液６１が洗浄槽７０Ａの下流側の液と反応して汚れの成分が増加することをより一層低減することができる。
【００５９】
なお、上記実施形態の液切りローラ２４０は、洗浄槽７０Ａ、７０Ｂの洗浄液に浸漬された感光ウエブ１８の液切りを行うものであるが、これに限定されず、他の洗浄槽に浸漬された感光ウエブ１８の液切りを行うときにも適用可能である。また、洗浄槽に限定されず、液体の液切りを行うものであれば適用可能である。
なお、上記実施形態では、２本の導電面支持ローラ２０２、２０４の間に１本の裏面支持ローラ２０６が設けられているが、導電面支持ローラと裏面支持ローラの本数はこれに限定されず、導電面支持ローラを３本以上、或いは裏面支持ローラを２本以上設けてもよい。
また、洗浄装置は、導電面支持ローラと裏面支持ローラを洗浄可能な構成であれば、洗浄液を吹き付ける方式などの他の洗浄手段を用いてもよい。また、導電面支持ローラと裏面支持ローラは、洗浄手段によって洗浄できる構成であれば、ローラに限らず他の形状の支持部材を用いてもよい。
【００６０】
次に、感光ウエブ１８について説明する。被めっき素材としての感光ウエブ１８は、例えば、光透過性支持体上に銀塩（例えばハロゲン化銀）が含有した銀塩含有層を設けた、感光材料からなる長尺フレキシブル基材である。また、銀塩含有層上には保護層が設けられていてもよく、この保護層とは例えばゼラチンや高分子ポリマーといったバインダーからなる層を意味し、擦り傷防止や力学特性を改良する効果を発現するために銀塩含有層上に形成される。保護層の厚みは０．０２〜２０μｍであることが好ましい。
これらの銀塩含有層や保護層の組成などは、銀塩写真フィルム、印画紙、印刷製版用フィルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に適用されるハロゲン化銀乳剤層（銀塩含有層）や保護層を適宜適用することができる。
特に、感光ウエブ１８（感光材料）としては、銀塩写真フィルム（銀塩感光材料）が好ましく、白黒銀塩写真フィルム（白黒銀塩感光材料）が最もよい。また、銀塩含有層に適用する銀塩としては、特にハロゲン化銀が最も好適である。
【００６１】
一方、光透過性支持体としては、単層のプラスチックフィルムや、これを２層以上組み合わせた多層フィルムを適用することができる。プラスチックフィルムの原料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、及びポリエチレンナフタレートなどのポリエステル類；ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリスチレン、ＥＶＡなどのポリオレフィン類；ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデンなどのビニル系樹脂；その他、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリサルホン（ＰＳＦ）、ポリエーテルサルホン（ＰＥＳ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリアミド、ポリイミド、アクリル樹脂、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）などを用いることができる。
【００６２】
また、ディスプレイ用の電磁波遮蔽材では透明性が要求されるため、支持体の透明性は高いことが望ましい。この場合における光透過性支持体の全可視光透過率は７０〜１００％が好ましい。
感光ウエブ１８の幅は、例えば、２０ｃｍ以上とし、厚みは５０〜２００μｍとすることがよい。
【００６３】
また、感光ウエブ１８には、露光・現像後、その露光部に金属銀部が形成されるが、この金属銀部に含まれる金属銀の質量が、露光前の露光部に含まれていた銀の質量に対して５０質量％以上の含有率であることが好ましく、８０質量％以上であることがさらに好ましい。露光部に含まれる銀の質量が露光前の露光部に含まれていた銀の質量に対して５０質量％以上であれば、その後の電解めっき処理で高い導電性を得ることができるため好ましい。
【００６４】
露光及び現像処理により形成された金属銀部に導電性を付与するために、上述の電解めっき装置１６によって、金属銀部に導電性金属部を形成させる電解めっき処理を行う。すなわち、めっき被膜付きフィルムの製造装置１０では、被めっき素材として、銀塩含有層が設けられた感光ウエブ１８を用い、これの銀塩含有層に露光・現像を行って被めっき部として所望の細線状金属銀部を形成する。この細線状金属銀部は、銀塩含有層に露光・現像して形成されるため、非常に細い細線でパターン化された細線状金属銀部となる。このような感光ウエブ１８に対し、電解めっき処理を施すと、細線状金属銀部上に導電性金属部が形成される。このため、得られる電磁波遮蔽材料は、非常に細い細線でパターン化された細線状金属部と大面積の光透過部とを有することとなる。
【００６５】
なお、上記実施形態のフィルム支持装置は、フィルム上の金属銀部に電解めっきを施すめっき被膜付きフィルムの製造装置に適用するものであるが、これに限定するものではない。例えば、フィルムに、通常の電気めっき、無電解めっきを行うとき、又はプリント配線板の液切り乾燥に適用することもできる。
【実施例】
【００６６】
以下に実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。なお、以下の実施例に示される材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り適宜変更することができる。したがって、本発明の範囲は以下に示す具体例により限定的に解釈されるべきものではない。
【００６７】
［実施例１］
（ハロゲン化銀感光材料の作製）
ハロゲン化銀感光材料は特開２００６−３５２０７３号公報の実施例１に記載の試料を調整しポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）からなる支持体上に塗布した。
ＰＥＴ支持体の厚さは９０μｍ、幅７５ｃｍのものを用いた。幅７５ｃｍのＰＥＴ支持体に７０ｃｍの幅で１００００ｍ分塗布を行い、塗布の中央部６５ｃｍを残すように両端を５ｃｍずつ切り落としてロール状のハロゲン化銀感光材料を得た。
【００６８】
（露光）
ハロゲン化銀感光材料の露光は特開２００４−１２４４号公報の発明に記載のＤＭＤ（デジタル・ミラー・デバイス）を用いた露光ヘッドを６５ｃｍ幅になるように並べ、感光材料の感光層上にレーザー光が結像するように露光ヘッドおよび露光ステージを湾曲させて配置し、感材送り出し機構および巻取り機構を取り付けた上、露光面のテンション制御および巻取り、送り出し機構の速度変動が露光部分の速度に影響しないようにバッファー作用を有する撓みを設けた連続露光装置にて行った。露光の波長は４００ｎｍで、ビーム形は１２μｍの略正方形、およびレーザー光源の出力は１００μＪであった。
露光のパターンは、線幅８μｍの格子状のパターンが４５度の角度になるようにし、ピッチが３００μｍ間隔で幅６５ｃｍ長さ５００ｍ連続するように行った。
【００６９】
（現像処理）・現像液１Ｌ処方（補充液も同組成）
ハイドロキノン ２２ ｇ
亜硫酸ナトリウム ２５ ｇ
炭酸カリウム ３３ ｇ
エチレンジアミン・四酢酸 ２ ｇ
臭化カリウム ４ ｇ
ポリエチレングリコール４０００ １ ｇ
水酸化カリウム ４ ｇ
エリソルビン酸ナトリウム ３ ｇ
ジエチレングリコール ５ ｇ
ｐＨ １０．２に調整
【００７０】
・定着液１Ｌ処方（補充液も同組成）
チオ硫酸アンモニウム液（７５％） ３００ ｍｌ
亜硫酸アンモニウム・１水塩 ２５ ｇ
１，３-ジアミノプロパン・四酢酸 ８ ｇ
酢酸 ５ ｇ
アンモニア水（２７％） １ ｇ
ｐＨ ６．２に調整
【００７１】
上記処理剤を用いて露光済みハロゲン化銀感光材料を、富士フイルム社製自動現像機ＦＧ−７１０ＰＴＳを用いて処理条件としては現像３２℃で２７秒、定着３０℃で２７秒、第一水洗（イオン交換水 ０．７５Ｌ/min）３０℃で１３秒、第二水洗（流水 １０Ｌ/min）２５℃で１３秒の処理を行った。
ランニング処理条件として、感光材料の処理量を１３００ｍ2／日で現像液の補充量を５００ｍｌ／ｍ2、定着液の補充量を６４０ｍｌ／ｍ2で３日間のランニング処理を行った。
【００７２】
（めっき処理）
上記処理により銀メッシュパターンが形成されたフィルム（感光ウエブ１８）に対して、図２に示すめっき槽６０Ａと実質的に同じ機能槽構成である合計１８槽のめっき槽を備えた電解めっき装置を使用して電解めっきを行った。その際、各槽の電流値を表１に示すように調整して試料番号１０１〜１０８の電解めっき処理フィルム試料を作成した。電解めっき装置は、後述する工程になるように連続構成となっている。なお、フィルム（感光ウエブ１８）の銀メッシュ面が下向きとなるように（銀メッシュ面が給電ローラと接するように）、電解めっき装置に取り付けた。めっき槽６０Ａのサイズは、各浴ともに８０ｃｍ×８０ｃｍ×８０ｃｍであった。
【００７３】
【表１】
【００７４】
表１では、試料番号１０１〜１０４がフィルムを空中搬送させる際にフィルムの導電面に接触する２本の支持ローラを用いた比較例であり、試料番号１０５〜１０８がフィルムを空中搬送させる際にフィルムの導電面、裏面に接触する３本の支持ローラ２０２、２０４、２０６を用いた本発明である。
なお、カソード給電ローラ５０Ａ、５０Ｂとして、鏡面仕上げしたステンレス製ローラ（１０ｃｍφ、長さ１００ｃｍ）を使用し、支持ローラ２０２、２０４、２０６およびその他の搬送ローラとしては、５ｃｍφ、長さ１００ｃｍのローラを使用した。また、支持ローラ２０２、２０４、２０６の高さを調製することで、ライン速度が違っても一定の液中処理時間が確保されるようにした。
【００７５】
また入り口側のカソード給電ローラ５０Ａとフィルムの銀メッシュ面とが接している面の最下部とめっき液面との距離（図２に示す距離Ｌａ）を９ｃｍとした。また、ライン搬送速度は、２〜３．５ｍ／分に変更して処理した。
【００７６】
めっき処理におけるめっき液及び防錆液の組成、めっき槽は以下のとおりである。
・硬膜液 （補充液も同組成）
グルタルアルデヒド ２５ｇ
純水を加えて １Ｌ
【００７７】
・銅めっき１〜９液の組成 （補充液も同組成）
硫酸銅５水塩 ２３０ｇ
硫酸（４７％） ２００ｍＬ
荏原ユージライト（株）製のＣｕ−Ｂｒｉｔｅ２１ ２０ｍｌ
純水を加えて １Ｌ
ｐＨ −０．１＊
・銅めっき１０〜１８液の組成 （補充液も同組成）
硫酸銅５水塩 ２３０ｇ
硫酸（４７％） ２００ｍＬ
純水を加えて １Ｌ
ｐＨ −０．１＊
注 ＊；ｐＨメーターの読み取り値
【００７８】
・黒化第１液 （補充液も同組成）
硫酸ニッケル６水塩 １２０ｇ
チオシアン酸アンモニウム ２０ｇ
硫酸亜鉛７水塩 ４ｇ
硫酸ナトリウム １６ｇ
純水を加えて １Ｌ
ｐＨ（硫酸と水酸化ナトリウムでｐＨ調整） ５．０
・黒化第２液 （補充液も同組成）
硫酸ニッケル６水塩 １２０ｇ
チオシアン酸アンモニウム ２０ｇ
硫酸亜鉛７水塩 ３０ｇ
硫酸ナトリウム １６ｇ
純水を加えて １Ｌ
ｐＨ（硫酸と水酸化ナトリウムでｐＨ調整） ５．０
【００７９】
・防錆液
上村工業（株）製のスルカップＡＴ−２１ １００ｍｌ
純水を加えて １Ｌ
【００８０】
以下に、めっき槽６０Ａの処理時間を示す。なお、各槽で適用した電流値は下記の表１に示す。表１において、電解通電量を電流値（Ａ）で示した。
また、全ての銅めっき液、水洗及び防錆の温度は２５〜３０℃、硬膜液は３５℃、黒化液は３３℃、乾燥温度は５０℃〜７０℃で処理を行った。
【００８１】
硬膜 ４０秒
水洗 ３０秒
乾燥 ３０秒
銅めっき１ ４０秒
水洗 ３０秒
乾燥 ３０秒
銅めっき２ ４０秒
水洗 ３０秒
乾燥 ３０秒
銅めっき３ ４０秒
水洗 ３０秒
乾燥 ３０秒
銅めっき４ ４０秒
水洗 ３０秒
乾燥 ３０秒
銅めっき５ ４０秒
水洗 ３０秒
乾燥 ３０秒
銅めっき６ ４０秒
水洗 ３０秒
乾燥 ３０秒
銅めっき７ ４０秒
水洗 ３０秒
乾燥 ３０秒
銅めっき８ ４０秒
水洗 ３０秒
乾燥 ３０秒
銅めっき９ ４０秒
水洗 ３０秒
乾燥 ３０秒
銅めっき１０ ６０秒
水洗 ３０秒
乾燥 ３０秒
銅めっき１１ ６０秒
水洗 ３０秒
乾燥 ３０秒
銅めっき１２ ６０秒
水洗 ３０秒
乾燥 ３０秒
銅めっき１３ ６０秒
水洗 ３０秒
乾燥 ３０秒
銅めっき１４ ６０秒
水洗 ３０秒
乾燥 ３０秒
銅めっき１５ ６０秒
水洗 ３０秒
乾燥 ３０秒
銅めっき１６ ６０秒
水洗 ３０秒
乾燥 ３０秒
銅めっき１７ ６０秒
水洗 ３０秒
乾燥 ３０秒
銅めっき１８ ６０秒
水洗 ３０秒
乾燥 ３０秒
黒化第１処理 ６０秒
水洗 ３０秒
乾燥 ３０秒
黒化第２処理 ６０秒
水洗 ３０秒
水洗 ３０秒
防錆 ６０秒
水洗 ３０秒
乾燥 １分 ５０℃〜７０℃
【００８２】
（良品率）
点状の欠陥は直径１ｍｍ以上をＮＧ、線状の欠点は幅０．２ｍｍ以上、長さ１０ｍｍ以上をＮＧとした。ＮＧ欠点が発生した箇所は１ｍ欠損扱いとし、次の式で良品率を算出した。
良品率（％）＝ 欠損しなかった処理長（ｍ）／処理長（ｍ）×１００
【００８３】
［実施例２］
（導電性膜の作製）
導電性膜は特開２００６−３５２０７３号公報の実施例２に記載の導電性膜ａを作製した。
【００８４】
（めっき処理）
実施例１と同じ処方の液及び条件で実施した。
各槽で適用した電流値を表２に示すように調整して試料番号２０１〜２０５の電解めっき処理フィルム試料を作成した。給電条件、スクイズローラ（液切りローラ）の材質等は表２に示すように設定している。
【表２】
【００８５】
表１に示されるように、本発明の電解めっき処理フィルムでは、比較例の電解めっき処理フィルムに比べて、フィルムの搬送速度を速くしても、良品率が高いことが確認された。
表２に示されるように、濡れ給電を行った本発明の電解めっき処理フィルムでは、乾燥給電を行った比較例の電解めっき処理フィルムに比べて、良品率が高いことが確認された。また、スクイズローラの材質をＰＶＡ（ポリビニルアルコール）に設定した場合に比べて、ＰＵ（ポリウレタン）に設定した場合は、良品率が高いことが確認された。この効果は、水洗槽へのめっき液の持込み量を低減した効果と考えられ、水洗槽のめっき金属濃度が５０ｐｐｍ以下にすることによって、良品率が高いことが確認された。
【図面の簡単な説明】
【００８６】
【図１】本発明の一実施形態におけるめっき被膜付きフィルムの製造装置を示す概略縦断面図である。
【図２】図１に示す製造装置で用いられる電解めっき装置のめっき槽の下流側に配設される支持装置を示す概略構成図である。
【図３】図２に示す支持装置の洗浄液受け槽付近の構成を示す部分拡大図である。
【図４】図１に示す製造装置で用いられる電解めっき装置に配設される濡れ給電装置を示す概略構成図である。
【図５】図４に示す濡れ給電装置のカソード給電ローラの長手方向と直交する方向から見た概略断面図である。
【符号の説明】
【００８７】
１０ めっき被膜付きフィルムの製造装置
１６ 電解めっき装置
１７ 後処理装置
１８ 感光ウエブ（フィルム）
１８Ａ 導電面
１８Ｂ 裏面
２１ 供給部
５０Ａ カソード給電ローラ
５０Ｂ カソード給電ローラ
６０Ａ めっき槽
６０Ｂ めっき槽
６１ めっき液
７０Ａ 洗浄槽
７０Ｂ 洗浄槽
７１ 洗浄液
１５０Ａ 濡れ給電装置
１５０Ｂ 濡れ給電装置
１５１ 給電用液
１５２ 濡れ給電用液受け槽
２００Ａ 支持装置（フィルム支持装置）
２０２ 導電面支持ローラ
２０４ 導電面支持ローラ
２０６ 裏面支持ローラ
２１０ 洗浄装置
２１２ 洗浄装置
２１４ 洗浄装置
２１７ 洗浄液
２１８ 洗浄液受け槽
２２０ 洗浄液受け槽
２２２ 洗浄液受け槽
２２４ 供給管（洗浄液供給排出手段）
２３２ 排出管（洗浄液供給排出手段）
２３６ ポンプ（洗浄液供給排出手段）
２４０ 液切りローラ
【技術分野】
【０００１】
本発明は、帯状長尺のフィルムを搬送しながらフィルム導電面にめっき被膜を形成するめっき被膜付きフィルムの製造装置に用いられ、めっき浴を通過して次工程へ空中搬送されるフィルムを支持するフィルム支持装置、及びこのフィルム支持装置を備えためっき被膜付きフィルムの製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、帯状長尺のフィルムに連続的にめっきを行う際には、複数のローラにフィルムを張架してローラの回転によりフィルムを一定方向に搬送し、めっき浴槽を通過させる。このように複数のローラでフィルムを搬送するとき、めっき浴槽の下流側でローラにめっき液成分の析出物や汚れが固着するという問題がある。
【０００３】
ローラを洗浄するために、下記特許文献１では、フィルムの導電面に接触する２本のローラに洗浄装置を設けた構成が開示されている。この構成では、２本のローラを洗浄装置で洗浄することにより、ローラの汚れを低減させることができる。
【特許文献１】特開２００７−２７０３２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年、フィルムに連続的にめっきを行う際に、生産性の向上のため、フィルムの搬送速度を上げる必要が出てきている。しかし、特許文献１に記載の態様で、搬送速度を上げると、フィルムの汚れが悪化し、生産性を上げることが難しい。
【０００５】
この理由について、本発明者らが鋭意検討したところ、以下の要因が判っている。すなわち、従来の汚れは、フィルムの導電面に固着したものであり、この導電面に接する２本のローラを特許文献１に記載の洗浄装置で洗浄すれば良く、搬送速度を上げた場合は、２本のローラの水洗量を上げれば対応できると考えていた。しかし、水洗量を上げてもフィルムの汚れが増加した。鋭意検討の結果、搬送速度を上げた場合のフィルムの汚れの増加は、フィルムが搬送されるめっき浴からのめっき液の持ち出しが増えることで、下流側の液槽内の液への汚染が高まることが主因であることが判ってきた。
【０００６】
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、フィルムの搬送速度を上げても、フィルムの汚れを低減させることができるフィルム支持装置及びめっき被膜付きフィルムの製造装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、フィルムの導電面をカソード給電ローラに接触させ、前記導電面にめっき被膜を形成する電解めっき浴の下流側に配置され、次工程へ空中搬送される前記フィルムを支持するフィルム支持装置であって、前記フィルムの導電面に接触する少なくとも２本のフィルム導電面支持部材と、前記フィルム導電面支持部材の間に配置され、前記導電面と反対側の前記フィルムの裏面に接触する少なくとも１本のフィルム裏面支持部材と、前記フィルム導電面支持部材と前記フィルム裏面支持部材をそれぞれ洗浄する洗浄手段と、を有することを特徴としている。
【０００８】
請求項１に記載の発明によれば、電解めっき浴の下流側では、少なくとも２本のフィルム導電面支持部材がフィルムの導電面に接触し、フィルム導電面支持部材の間で少なくとも１本のフィルム裏面支持部材が導電面と反対側のフィルムの裏面に接触しており、フィルムがフィルム導電面支持部材及びフィルム裏面支持部材に支持された状態で次工程へ空中搬送される。フィルムの導電面に接触するフィルム導電面支持部材と、フィルムの裏面に接触するフィルム裏面支持部材は、洗浄手段によってそれぞれ洗浄される。これによって、フィルムの導電面のみならず、フィルムの裏面に付着しためっき液が次工程に持ち込まれることが低減される。従って、めっき液が次工程又はその下流側の液（例えば、防錆剤など）と反応して汚れの成分が増加することが低減される。このため、フィルムの搬送速度を上げても、フィルムの汚れを低減することができる。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のフィルム支持装置において、前記フィルム導電面支持部材と前記フィルム裏面支持部材は、それぞれローラで構成されており、前記洗浄手段は、洗浄液で満たされ、かつ、前記ローラの下部が前記洗浄液に浸漬される洗浄液受け槽と、前記洗浄液受け槽に新たな洗浄液を供給すると共に、前記洗浄液受け槽内の前記洗浄液を排出させる洗浄液供給排出手段と、を有することを特徴としている。
【００１０】
請求項２に記載の発明によれば、フィルム導電面支持部材とフィルム裏面支持部材は、それぞれローラで構成されており、ローラの下部が、洗浄液受け槽に満たされた洗浄液に浸漬されている。洗浄液受け槽には、洗浄液供給排出手段によって新たな洗浄液が供給されると共に、洗浄液受け槽内の洗浄液が排出される。これにより、ローラの回転に伴い、ローラの下部が洗浄液によって洗浄され、ローラの周面が清浄な状態に保たれる。このため、フィルムの導電面のみならず、フィルムの裏面に付着しためっき液が次工程に持ち込まれることがより一層低減される。
【００１１】
請求項３に記載の発明に係るめっき被膜付きフィルムの製造装置は、フィルムの導電面をカソード給電ローラに接触させ、前記導電面にめっき被膜を形成する電解めっき浴と、前記電解めっき浴の下流側に配置される請求項１又は請求項２に記載のフィルム支持装置と、を有することを特徴としている。
【００１２】
請求項３に記載の発明によれば、電解めっき浴の下流側に、次工程へフィルムを空中搬送する請求項１又は請求項２に記載のフィルム支持装置が設けられており、フィルム導電面支持部材とフィルム裏面支持部材が洗浄手段によってそれぞれ洗浄される。これによって、フィルムの導電面のみならず、フィルムの裏面に付着しためっき液が次工程に持ち込まれることが低減される。このため、めっき液が次工程又はその下流側の液（例えば、防錆剤など）と反応して汚れの成分が増加することが低減され、フィルムの搬送速度を上げても、フィルムの汚れを低減することができる。
【００１３】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載のめっき被膜付きフィルムの製造装置において、前記フィルム支持装置の下流側に設けられ、前記フィルムを洗浄する洗浄槽を備え、前記フィルムは前記フィルム支持装置に支持されて空中搬送されることにより、前記洗浄槽内の液のめっき金属濃度が５０ｐｐｍ以下に調整されることを特徴としている。
【００１４】
請求項４に記載の発明によれば、フィルム支持装置の下流側に、フィルムを洗浄する洗浄槽が設けられており、フィルムがフィルム支持装置に支持されて空中搬送されることにより、洗浄槽内の液のめっき金属濃度が５０ｐｐｍ以下（より好ましくは５０ｐｐｍ以下）に調整される。これにより、めっき液が洗浄槽の下流側の液（例えば、防錆剤など）と反応して汚れの成分が増加することがより一層低減される。従って、フィルムの搬送速度を上げても、フィルムの汚れを低減することができる。
【００１５】
請求項５に記載の発明は、請求項３又は請求項４に記載のめっき被膜付きフィルムの製造装置において、前記フィルムの導電面と前記カソード給電ローラとを濡れた状態で接触させて給電する濡れ給電手段を有することを特徴としている。
【００１６】
請求項５に記載の発明によれば、濡れ給電手段により、フィルムの導電面とカソード給電ローラとを濡れた状態で接触させて給電するので、フィルムの導電面を形成する細線が放電によりスパークすることが抑制される。このため、細線の断線などの発生を抑制することができる。
【００１７】
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載のめっき被膜付きフィルムの製造装置において、前記濡れ給電手段は、前記フィルムの導電面と前記カソード給電ローラとの接触部の上流側に設けられ、濡れ給電用液で満たされ、かつ、前記カソード給電ローラの一部が前記濡れ給電用液に浸漬される濡れ給電用液受け槽を有することを特徴としている。
【００１８】
請求項６に記載の発明によれば、フィルムの導電面とカソード給電ローラとの接触部の上流側で、カソード給電ローラの一部が濡れ給電用液受け槽に満たされた濡れ給電用液に浸漬されており、カソード給電ローラの周面に濡れ給電用液が付着する。そして、カソード給電ローラの回転に伴い、濡れ給電用液が付着したカソード給電ローラの周面がフィルムの導電面と接触し、フィルムの導電面とカソード給電ローラとが濡れた状態で給電される。従って、フィルムの導電面とカソード給電ローラとの接触部の上流側に、濡れ給電用液受け槽を設けるという簡易な構成で、フィルムの導電面とカソード給電ローラとを濡れた状態で接触させて給電することができる。
【００１９】
請求項７に記載の発明は、請求項４に記載のめっき被膜付きフィルムの製造装置において、前記洗浄槽の下流側に、前記フィルムを圧接しながら液切りする液切りローラを備え、前記液切りローラの材質が、ポリオレフィン及びポリウレタンのいずれか一方であることを特徴としている。
【００２０】
請求項７に記載の発明によれば、洗浄槽の下流側に、フィルムを圧接しながら液切りする液切りローラが設けられており、フィルムに付着した液が液切りローラによって液切りされる。その際、液切りローラの材質が、ポリオレフィン及びポリウレタンのいずれか一方であることにより、めっき液が洗浄槽の下流側の工程へ持ち込まれることがより効果的に低減される。このため、めっき液が洗浄槽の下流側の液と反応して汚れの成分が増加することがより効果的に低減され、フィルムの搬送速度を上げても、フィルムの汚れを低減することができる。
この材質は、吸水性が良く、適度な硬度と耐薬品性を有しており、これらの物性が汚れの低減効果を有していると考えている。
また、本発明の態様はロール搬送で特に効果を得ることができる。これはシート搬送では、先端と後端の影響による液持ち込みが大きく、本発明の態様の効果が発現し難いと考えている。
【発明の効果】
【００２１】
本発明は、上記のように構成したので、フィルムの導電面及び裏面に付着しためっき液が次工程及びその下流側の工程に持ち込まれることを抑制でき、めっき液が次工程又はその下流側の液と反応して汚れの成分が増加することを低減することができる。従って、フィルムの搬送速度を上げても、フィルムの汚れを低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。なお、実質的に同一の機能を有する部材には全図面を通して同じ符号を付与し、重複する説明は省略する場合がある。
【００２３】
図１は、本発明の一実施形態に係るフィルム支持装置としての支持装置２００Ａが搭載されためっき被膜付きフィルムの製造装置１０を示す概略構成図である。
このめっき被膜付きフィルムの製造装置１０は、図１に示すように、露光装置１２、現像装置１４、支持装置２００Ａを備えた電解めっき装置１６、後処理装置１７及び巻取装置１９から構成されている。
【００２４】
まず、露光装置１２について説明する。露光装置１２は、被めっき素材として、銀塩含有層（好ましくは、ハロゲン化銀乳剤層）が設けられた帯状の長尺フィルムからなる感光ウエブ１８を搬送しながら、所望の細線状パターン（例えば、格子状、ハニカム状などのパターン）露光を行う装置である。このパターン露光により、感光ウエブ１８の銀塩含有層の露光部には細線状のパターンが形成される。
【００２５】
露光装置１２には、感光ウエブ１８の搬送路に沿って複数の搬送ローラ対２０が設けられており、これらの搬送ローラ対２０は、駆動ローラとニップローラとから構成される。
露光装置１２には、搬送方向の最上流部に供給部２１が設けられている。供給部２１には、ローラ状に巻かれた長尺の感光ウエブ１８を収納するマガジン２２がセットされる。感光ウエブ１８には、感光ウエブ１８を引き出して下流側に向けて搬送するための引出ローラ２２Ａが設けられている。
【００２６】
そして、供給部２１からの感光ウエブ１８の搬送方向下流側は、露光ユニット２４が設けられている。この露光ユニット２４により、感光ウエブ１８に露光が行われる。露光ユニット２４は、フォトマスクを利用した連続面露光ユニットであってもよく、レーザービームによる走査露光ユニットあってもよい。露光装置１２は、銀塩写真フィルムや印画紙、印刷製版用フィルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に用いられる通常の露光装置を適用することができる。
【００２７】
次に、現像装置１４について説明する。現像装置１４は、露光装置１２の搬送方向の下流側に配置され、所望の細線状パターン露光が施された感光ウエブ１８を現像・定着・洗浄を行う装置である。
【００２８】
現像装置１４には、搬送方向の上流側から順に、現像槽２６、漂白定着槽２８、及び水洗槽３０が設けられており、水洗槽３０は、第１水洗槽３０Ａ、第２水洗槽３０Ｂ、第３水洗槽３０Ｃ、及び第４水洗槽３０Ｄからなる。現像槽２６には、例えば、現像液２６Ｌが所定量貯蔵され、漂白定着槽２８には、漂白定着液２８Ｌが所定量貯蔵され、第１水洗槽３０Ａ〜第４水洗槽３０Ｄには、洗浄液３０Ｌが所定量貯蔵されている。各処理槽２６〜３０内のローラとガイドによって感光ウエブ１８が各処理槽２６〜３０の液内を搬送されることで、現像・定着・洗浄の各処理が行われるようになっている。また、現像槽２６の最上流側には、駆動ローラ３２Ａと従動ローラ３２Ｂとを備えた搬入ローラ対３２が配置されており、この搬入ローラ対３２は、露光装置１２から搬出される感光ウエブ１８を現像液２６Ｌ内に案内している。
【００２９】
ここで、現像・定着・洗浄の各処理は、銀塩写真フィルム、印刷製版用フィルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に用いられる通常の現像処理技術を適用することができる。現像液２６Ｌ、漂白定着液２８Ｌ、洗浄液３０Ｌもこれらに準じて適宜適用することができる。なお、定着処理は、未露光部分の銀塩を除去して安定化させる目的で行われる。
なお、現像装置１４では、各処理槽２６〜３０の液内を通過した感光ウエブ１８は、乾燥させずに現像装置１４から排出されるようになっている。
【００３０】
次に、電解めっき装置１６について説明する。電解めっき装置１６は、露光・現像を施され、細線状の金属銀部が形成された感光ウエブ１８（フィルム）に対し、電解めっき処理を施し、当該金属銀部に導電性金属層を形成させめっき（導電性金属部）を形成する装置である。すなわち、感光ウエブ１８の金属銀部が形成された面が導電面１８Ａであり、感光ウエブ１８の金属銀部が形成された面と反対側が裏面１８Ｂとなっている（図２参照）。
【００３１】
電解めっき装置１６には、感光ウエブ１８の搬送方向上流側に、水洗槽３０を通過した後の感光ウエブ１８の水分を除去する水分除去装置４０Ａが配設されている。水分除去装置４０Ａには、感光ウエブ１８の両側にエアーナイフ装置４２、４４が配置されており、感光ウエブ１８の両側からエアーナイフを吹き付けることで、感光ウエブ１８に付着した水分を除去する。
【００３２】
図１及び図２に示されるように、水分除去装置４０Ａを通過した感光ウエブ１８は、ガイドローラ４６とガイドローラ４８によって案内され、感光ウエブ１８の導電面１８Ａ（金属銀部）に接触しながら給電を行うカソード給電ローラ５０Ａに搬送される。感光ウエブ１８を挟んでカソード給電ローラ５０Ａと対向する位置には、感光ウエブ１８の導電面１８Ａをカソード給電ローラ５０Ａに押圧して接触させる弾性ローラ５２Ａが配設されている。この弾性ローラ５２Ａは、回転可能に支持された芯金の外周面にゴムなどからなる弾性体層を備えるものであり、弾性ローラ５２Ａの両端部を支持する支持部材５３を図示しない押圧手段によって押圧することによって、弾性ローラ５２Ａがカソード給電ローラ５０Ａに押圧されるようになっている。弾性ローラ５２Ａを押圧することで、感光ウエブ１８とカソード給電ローラ５０Ａとを密着させることができる。
【００３３】
また、カソード給電ローラ５０Ａと感光ウエブ１８との接触部に対して、カソード給電ローラ５０Ａの回転方向上流側には、感光ウエブ１８の導電面１８Ａとカソード給電ローラ５０Ａとを濡れた状態で接触させて給電する濡れ給電装置１５０Ａが設けられている。この濡れ給電装置１５０Ａについては後に詳述する。濡れ給電装置１５０Ａによってカソード給電ローラ５０Ａの周面に濡れ給電用液が供給され、カソード給電ローラ５０Ａの回転により、濡れ給電用液が付着したカソード給電ローラ５０Ａが感光ウエブ１８の導電面１８Ａと接触する。これによって、感光ウエブ１８の導電面１８Ａとカソード給電ローラ５０Ａとが濡れた状態で接触して給電されるようになっている。
【００３４】
カソード給電ローラ５０Ａより感光ウエブ１８の搬送方向下流側には、めっき液６１で満たされためっき槽６０Ａが配置されている。めっき槽６０Ａのめっき液６１中には液中ローラ６２Ａが設けられており、液中ローラ６２Ａの周面に感光ウエブ１８が巻き掛けられている。この工程では、カソード給電ローラ５０Ａに接触させた感光ウエブ１８の導電面１８Ａをめっき槽６０Ａのめっき液６１中で液中ローラ６２Ａにより搬送する。銅ボールを積層充填したケース６４Ａをアノード電極にして、カソード電極をカソード給電ローラ５０Ａとして、直流電源（整流器）６６Ａにより給電し、感光ウエブ１８に層状のめっき被膜を形成する。本実施形態では、直流電源６６Ａにより、カソード給電ローラ５０Ａからアノード電極であるケース６４Ａへ給電し、感光ウエブ１８にめっき被膜を形成する。
【００３５】
ここで、電解めっき処理として、例えば、プリント配線板などで用いられている電解めっき技術を適用することができ、電解めっきは電解銅めっきであることが好ましい。本実施形態では、めっき液６１として、電解銅めっき浴液が適用されている。電解銅めっき浴としては、硫酸銅浴、ピロリン酸銅浴、ホウフッ化銅浴等が挙げられる。電解銅めっき液に含まれる化学種としては、硫酸銅や塩化銅、めっき液の安定性、導電性を高め、均一電着性の増加を図る硫酸、アノードの溶解促進及び添加剤の補助効果作用の塩素、浴の安定化やめっき緻密性を向上させるための添加剤としてポリエチレンオキサイド、ビピリジン等が挙げられる。
【００３６】
なお、めっき槽６０Ａの下部には循環パイプ（図示省略）が連結されており、めっき槽６０Ａ内のめっき液６１が循環パイプに供給され、フィルター（図示省略）を通すことでめっき液６１中の異物が除去され、めっき槽６０Ａ内に戻される構成となっている。
【００３７】
図４に示されるように、濡れ給電装置１５０Ａは、カソード給電ローラ５０Ａと感光ウエブ１８との接触部に対して、カソード給電ローラ５０Ａの回転方向上流側に、濡れ給電用液１５１で満たされた濡れ給電用液受け槽１５２を備えている。カソード給電ローラ５０Ａは、周面の一部が濡れ給電用液受け槽１５２内の濡れ給電用液１５１に浸漬されるように配置されている。
【００３８】
図５に示されるように、カソード給電ローラ５０Ａの軸部１６２は、両端部に配置されたフレーム１６４にベアリングを介して支持されており、感光ウエブ１８との接触部で感光ウエブ１８の搬送に従動して回転可能となっている。濡れ給電用液受け槽１５２の長手方向の一端部側には、供給管１５４が接続されており、ポンプ１５６により濡れ給電用液１５１が供給されるようになっている。濡れ給電用液受け槽１５２の長手方向の他端部側には、濡れ給電用液１５１の液面を規定するオーバーフロー堰１５８が設けられている。オーバーフロー堰１５８の外側（長手方向の他端部）には、濡れ給電用液受け槽１５２の底部に排出管１６０が接続されている。これによって、濡れ給電用液１５１がオーバーフロー堰１５８の高さで満たされると共に、オーバーフロー堰１５８の上端部からオーバーフローした濡れ給電用液１５１が排出管１６０から排出されるようになっている。濡れ給電用液１５１としては、例えば、Ａｕめっき、Ａｇめっき、Ｃｕめっき、Ｎｉめっき、Ｆｅ−Ｎｉめっき、Ｎｉ−Ｃｏめっき、Ｎｉ−Ｚｎめっき、Ｎｉ−Ｃｒめっき、Ｃｕ−Ｎｉ−Ｃｒめっきの液などを用いることができる。好ましくは、Ｃｕめっき、Ｎｉめっき、Ｎｉ−Ｚｎめっきの液に用いることが良い。
【００３９】
このような濡れ給電装置１５０Ａでは、濡れ給電用液受け槽１５２の濡れ給電用液１５１がカソード給電ローラ５０Ａの周面に供給され、カソード給電ローラ５０Ａの回転により、濡れ給電用液１５１が付着したカソード給電ローラ５０Ａが感光ウエブ１８の導電面１８Ａと接触する。これによって、感光ウエブ１８の導電面１８Ａとカソード給電ローラ５０Ａとが濡れた状態で接触して給電されるようになっている。このような給電により、感光ウエブ１８の導電面１８Ａを形成する細線が放電によりスパークすることが抑制され、細線の断線などの発生が抑制される。
【００４０】
図１及び図２に示されるように、めっき槽６０Ａより感光ウエブ１８の搬送方向下流側には、洗浄液７１で満たされた洗浄槽７０Ａが配設されている。めっき槽６０Ａと洗浄槽７０Ａとの隣接部の上方には、感光ウエブ１８を空中搬送させるように支持する支持装置２００Ａが配設されている。
【００４１】
支持装置２００Ａは、感光ウエブ１８の搬送方向における上流側と下流側で感光ウエブ１８の導電面１８Ａに接触するフィルム導電面支持部材としての２本の導電面支持ローラ２０２、２０４と、２本の導電面支持ローラ２０２、２０４の間で感光ウエブ１８の裏面１８Ｂに接触するフィルム裏面支持部材としての裏面支持ローラ２０６と、を備えている。導電面支持ローラ２０２と裏面支持ローラ２０６と導電面支持ローラ２０４は、図２に示す感光ウエブ１８の搬送方向と直交する方向から見て略千鳥状に配置されており、感光ウエブ１８が搬送方向上流側から導電面支持ローラ２０２、裏面支持ローラ２０６、導電面支持ローラ２０４の順番で接触する。すなわち、感光ウエブ１８の導電面１８Ａが導電面支持ローラ２０２に巻き掛けられ、その下流側で感光ウエブ１８の裏面１８Ｂが裏面支持ローラ２０６に巻き掛けられ、その下流側で感光ウエブ１８の導電面１８Ａが導電面支持ローラ２０４に巻き掛けられている。導電面支持ローラ２０２と裏面支持ローラ２０６と導電面支持ローラ２０４は、感光ウエブ１８の移動に伴って従動回転する。
【００４２】
また、洗浄槽７０Ａ内には、液中ローラ７２Ａが設けられており、感光ウエブ１８の裏面１８Ｂが巻き掛けられている。これにより、感光ウエブ１８は、めっき槽６０Ａのめっき液６１内を通過した後、支持装置２００Ａの導電面支持ローラ２０２と、裏面支持ローラ２０６と、導電面支持ローラ２０４によって空中搬送され、洗浄槽７０Ａの洗浄液７１内に搬送される。なお、本実施形態では、洗浄液７１として、純水が用いられている。
【００４３】
図３に示されるように、支持装置２００Ａは、導電面支持ローラ２０２と導電面支持ローラ２０４をそれぞれ洗浄する洗浄手段としての洗浄装置２１０、２１２と、裏面支持ローラ２０６を洗浄する洗浄手段としての洗浄装置２１４と、を備えている。洗浄装置２１０、２１２は、感光ウエブ１８の上流側と下流側で略対称に構成されている。
【００４４】
洗浄装置２１０には、導電面支持ローラ２０２の下方部に、洗浄液２１７が満たされた樋状の洗浄液受け槽２１８が配設されており、導電面支持ローラ２０２の下部が洗浄液２１７に浸漬されている。同様に、洗浄装置２１２には、導電面支持ローラ２０４の下方部に、洗浄液２１７が満たされた樋状の洗浄液受け槽２２０が配設されており、導電面支持ローラ２０４の下部が洗浄液２１７に浸漬されている。また、洗浄装置２１４には、裏面支持ローラ２０６の下方部に、洗浄液２１７が満たされた樋状の洗浄液受け槽２２２が配設されており、裏面支持ローラ２０６の下部が洗浄液２１７に浸漬されている。これらの洗浄液受け槽２１８、２２０、２２２は、導電面支持ローラ２０２、２０４及び裏面支持ローラ２０６の長手方向に沿って配置され、導電面支持ローラ２０２、２０４及び裏面支持ローラ２０６の全長が収まる長さに形成されている。
【００４５】
洗浄液受け槽２１８、２２０、２２２には、洗浄液２１７を供給する供給管２２４がそれぞれ接続されている。供給管２２４は、洗浄槽７０Ａと接続された１本の配管２２５から３本に分岐されており、図２に示されるように、ポンプ２３６により洗浄槽７０Ａ内の洗浄液７１が汲み上げられ、洗浄液２１７として洗浄液受け槽２１８、２２０、２２２に供給されるようになっている。
なお、本実施形態では、洗浄槽７０Ａ内の洗浄液７１が汲み上げられるが、洗浄液受け槽２１８、２２０、２２２に専用の洗浄液２１７が供給される構成でもよい。また、専用の洗浄液２１７として、例えば、純水を用いることができる。
【００４６】
洗浄液受け槽２１８の側部には、洗浄液２１７の液面を規定するオーバーフロー堰２２６が設けられている。そして、オーバーフロー堰２２６で洗浄液受け槽２１８内の洗浄液２１７をオーバーフローさせて洗浄液２１７の量を一定に保つように構成されている。同様に、洗浄液受け槽２２０、２２２の側部にも、洗浄液２１７の液面を規定するオーバーフロー堰２２８、２３０がそれぞれ設けられている。そして、オーバーフロー堰２２８、２３０で洗浄液受け槽２２０、２２２内の洗浄液２１７をオーバーフローさせて洗浄液２１７の量を一定に保つように構成されている。導電面支持ローラ２０２、２０４及び裏面支持ローラ２０６は、洗浄液２１７内に直径の略１／２〜１／１０が浸漬されるように設定されている。
【００４７】
洗浄液受け槽２１８、２２０、２２２のオーバーフロー堰２２６、２２８、２３０の外側には、オーバーフローした洗浄液２１７が流れる排出管２３２がそれぞれ設けられており、排出管２３２は１本の配管２３３に繋がっている。これにより、オーバーフロー堰２２６、２２８、２３０の上端部からオーバーフローした洗浄液２１７が排出管２３２、配管２３３を通って排出されるようになっている。なお、図示を省略するが、導電面支持ローラ２０２、２０４及び裏面支持ローラ２０６の周面に長手方向に沿ってそれぞれ当接するフレキシブルブレードを設けてもよい。これにより、導電面支持ローラ２０２、２０４及び裏面支持ローラ２０６の周面に付着した汚れや付着物を掻き落とすことができる。
【００４８】
洗浄槽７０Ａの上方側には、感光ウエブ１８の搬送方向下流側（搬出位置）に、感光ウエブ１８の表裏に圧接される１対の液切りローラ２４０（スクイズローラ）が配設されている。液切りローラ２４０は、感光ウエブ１８の移動に伴って従動回転する。液切りローラ２４０は、ポリオレフィン及びポリウレタンのいずれか一方で形成されている。この液切りローラ２４０によって感光ウエブ１８に付着した洗浄液７１が液切りされるように構成されている。洗浄槽７０Ａを通過した感光ウエブ１８は、液中ローラ７２Ａと上部に配置された支持ローラ８０に案内されて搬送される。
【００４９】
図１では図示を省略するが、電解めっき装置１６では、カソード給電ローラ５０Ａ及び濡れ給電装置１５０Ａと、めっき槽６０Ａと、支持装置２００Ａと、洗浄槽７０Ａと、液切りローラ２４０とを備えたユニットが複数配置されており（本実施形態では９ユニット）、上記のような工程が複数回繰り返されることで、感光ウエブ１８の導電面１８Ａに所定の厚さの銅めっきが形成される。
【００５０】
さらに、感光ウエブ１８の搬送方向下流側には、ニッケルめっきを施すためのカソード給電ローラ５０Ｂ及び濡れ給電装置１５０Ｂと、めっき槽６０Ｂと、洗浄槽７０Ｂと、液切りローラ２４０とを備えたユニットが複数配置されており（本実施形態では９ユニット）、上記と同様の工程が複数回繰り返されることで、感光ウエブ１８の導電面１８Ａに所定の厚さのニッケルめっきが形成される。
【００５１】
次いで、図１に示されるように、めっきが施された感光ウエブ１８は、フィルム張力を検出できるローラ１２５を介して、めっき液を除去する洗浄液１１５（水）の入った水洗部１１４、めっき被膜を保護する防錆処理液１１７の入った防錆処理部１１６を経て、過剰な防錆処理液を除去する洗浄液１１９（水）の入った水洗部１１８に搬送される。さらに、めっきが施された感光ウエブ１８は、水分を除去する乾燥炉をもつ乾燥工程部１２０を経て、速度調整部１２１を経て、バランスローラ部１２２を経て、張力調整された後、アキュムレータ１２３を通してロール状フィルム１２４Ａとする。このようにして、感光ウエブ１８の細線状金属銀部にめっき（導電性金属部）が形成される。このような工程により、めっき被膜付きフィルムを得ることができる。
【００５２】
実質的なフィルム搬送張力は、５Ｎ／ｍ以上２００Ｎ／ｍ以下とすることが好ましい。実際に張力を５Ｎ／ｍ未満にすると、フィルムが蛇行し始め、搬送経路の制御がうまくいかなかった。また２００Ｎ／ｍを超えると、フィルムの形成されるめっき被膜金属が内部歪みを持つために、製品にカールが発生するなどの問題があった。
【００５３】
なお、電解めっき装置１６のめっき槽の数は、所望のめっき膜厚（導電性金属部の厚み）に応じて複数セット増設してもよい。この数に応じて、所望のめっき膜厚（導電性金属部の厚み）を容易に得ることができる。
【００５４】
上記のような支持装置２００Ａでは、めっき槽６０Ａの下流側で、感光ウエブ１８が導電面支持ローラ２０２、裏面支持ローラ２０６、導電面支持ローラ２０４の順に支持された状態で洗浄槽７０Ａへ空中搬送される。導電面支持ローラ２０２、２０４及び裏面支持ローラ２０６の下部は、それぞれ洗浄液受け槽２１８、２２０、２２２内の洗浄液２１７に浸漬されており、導電面支持ローラ２０２、２０４及び裏面支持ローラ２０６の回転に伴い、洗浄液２１７によって洗浄され、導電面支持ローラ２０２、２０４及び裏面支持ローラ２０６の周面が清浄な状態に保たれる。これによって、感光ウエブ１８の導電面１８Ａのみならず、感光ウエブ１８の裏面１８Ｂに付着しためっき液６１が洗浄槽７０Ａ及びその下流側の工程に持ち込まれることが低減される。このため、洗浄槽７０Ａ及びその下流側の工程の液と反応して汚れの成分が増加することを低減することができる。このような作用は、めっき槽６０Ｂの下流側においても同様であり、例えば、ニッケルめっきにおいて、ニッケルが下流側の防錆剤と反応して汚れの成分が増加することを低減することができる。従って、感光ウエブ１８の搬送速度を上げても、感光ウエブ１８の汚れを低減することができる。
【００５５】
また、洗浄装置２１０、２１２、２１４では、洗浄液２１７は導電面支持ローラ２０２、２０４及び裏面支持ローラ２０６の下部にのみ接触するので少量で済み、導電面支持ローラ２０２、２０４及び裏面支持ローラ２０６に付着しためっき液などの汚れを少量の洗浄液２１７で効率よく確実に洗浄することができる。
【００５６】
また、感光ウエブ１８がめっき槽６０Ａ、６０Ｂの下流側で、支持装置２００Ａ、２００Ｂに支持されて空中搬送され、洗浄槽７０Ａ、７０Ｂに導入されることにより、洗浄槽７０Ａ、７０Ｂの洗浄液７１のめっき金属濃度を５０ｐｐｍ以下に調整することができる。めっき金属濃度が５０ｐｐｍ以下に調整されることにより、めっき液６１が洗浄槽７０Ａ、７０Ｂの下流側の液（例えば、防錆剤など）と反応して汚れの成分が増加することを低減することができる。
【００５７】
さらに、電解めっき装置１６では、濡れ給電装置１５０Ａ、１５０Ｂによって、感光ウエブ１８の導電面１８Ａとカソード給電ローラ５０Ａ、５０Ｂとを濡れた状態で接触させて給電するので、感光ウエブ１８の導電面１８Ａを形成する細線が放電でスパークすることが抑制される。このため、感光ウエブ１８の導電面１８Ａを形成する細線の断線などの発生を抑制することができる。
【００５８】
また、洗浄槽７０Ａ、７０Ｂの感光ウエブ１８の搬出位置に１対の液切りローラ２４０が配設されており、感光ウエブ１８の搬送に伴って液切りローラ２４０が従動回転する。液絞りローラ２４０に感光ウエブ１８が挟持されて搬送されることにより、感光ウエブ１８に付着した洗浄液７１が液切りされる。この液切りローラ２４０が、ポリオレフィン及びポリウレタンのいずれか一方であることにより、感光ウエブ１８の液切りがより確実となる。これにより、めっき液６１が洗浄槽７０Ａ、７０Ｂの下流側の工程へ持ち込まれることがより一層低減される。このため、めっき液６１が洗浄槽７０Ａの下流側の液と反応して汚れの成分が増加することをより一層低減することができる。
【００５９】
なお、上記実施形態の液切りローラ２４０は、洗浄槽７０Ａ、７０Ｂの洗浄液に浸漬された感光ウエブ１８の液切りを行うものであるが、これに限定されず、他の洗浄槽に浸漬された感光ウエブ１８の液切りを行うときにも適用可能である。また、洗浄槽に限定されず、液体の液切りを行うものであれば適用可能である。
なお、上記実施形態では、２本の導電面支持ローラ２０２、２０４の間に１本の裏面支持ローラ２０６が設けられているが、導電面支持ローラと裏面支持ローラの本数はこれに限定されず、導電面支持ローラを３本以上、或いは裏面支持ローラを２本以上設けてもよい。
また、洗浄装置は、導電面支持ローラと裏面支持ローラを洗浄可能な構成であれば、洗浄液を吹き付ける方式などの他の洗浄手段を用いてもよい。また、導電面支持ローラと裏面支持ローラは、洗浄手段によって洗浄できる構成であれば、ローラに限らず他の形状の支持部材を用いてもよい。
【００６０】
次に、感光ウエブ１８について説明する。被めっき素材としての感光ウエブ１８は、例えば、光透過性支持体上に銀塩（例えばハロゲン化銀）が含有した銀塩含有層を設けた、感光材料からなる長尺フレキシブル基材である。また、銀塩含有層上には保護層が設けられていてもよく、この保護層とは例えばゼラチンや高分子ポリマーといったバインダーからなる層を意味し、擦り傷防止や力学特性を改良する効果を発現するために銀塩含有層上に形成される。保護層の厚みは０．０２〜２０μｍであることが好ましい。
これらの銀塩含有層や保護層の組成などは、銀塩写真フィルム、印画紙、印刷製版用フィルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に適用されるハロゲン化銀乳剤層（銀塩含有層）や保護層を適宜適用することができる。
特に、感光ウエブ１８（感光材料）としては、銀塩写真フィルム（銀塩感光材料）が好ましく、白黒銀塩写真フィルム（白黒銀塩感光材料）が最もよい。また、銀塩含有層に適用する銀塩としては、特にハロゲン化銀が最も好適である。
【００６１】
一方、光透過性支持体としては、単層のプラスチックフィルムや、これを２層以上組み合わせた多層フィルムを適用することができる。プラスチックフィルムの原料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、及びポリエチレンナフタレートなどのポリエステル類；ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリスチレン、ＥＶＡなどのポリオレフィン類；ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデンなどのビニル系樹脂；その他、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリサルホン（ＰＳＦ）、ポリエーテルサルホン（ＰＥＳ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリアミド、ポリイミド、アクリル樹脂、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）などを用いることができる。
【００６２】
また、ディスプレイ用の電磁波遮蔽材では透明性が要求されるため、支持体の透明性は高いことが望ましい。この場合における光透過性支持体の全可視光透過率は７０〜１００％が好ましい。
感光ウエブ１８の幅は、例えば、２０ｃｍ以上とし、厚みは５０〜２００μｍとすることがよい。
【００６３】
また、感光ウエブ１８には、露光・現像後、その露光部に金属銀部が形成されるが、この金属銀部に含まれる金属銀の質量が、露光前の露光部に含まれていた銀の質量に対して５０質量％以上の含有率であることが好ましく、８０質量％以上であることがさらに好ましい。露光部に含まれる銀の質量が露光前の露光部に含まれていた銀の質量に対して５０質量％以上であれば、その後の電解めっき処理で高い導電性を得ることができるため好ましい。
【００６４】
露光及び現像処理により形成された金属銀部に導電性を付与するために、上述の電解めっき装置１６によって、金属銀部に導電性金属部を形成させる電解めっき処理を行う。すなわち、めっき被膜付きフィルムの製造装置１０では、被めっき素材として、銀塩含有層が設けられた感光ウエブ１８を用い、これの銀塩含有層に露光・現像を行って被めっき部として所望の細線状金属銀部を形成する。この細線状金属銀部は、銀塩含有層に露光・現像して形成されるため、非常に細い細線でパターン化された細線状金属銀部となる。このような感光ウエブ１８に対し、電解めっき処理を施すと、細線状金属銀部上に導電性金属部が形成される。このため、得られる電磁波遮蔽材料は、非常に細い細線でパターン化された細線状金属部と大面積の光透過部とを有することとなる。
【００６５】
なお、上記実施形態のフィルム支持装置は、フィルム上の金属銀部に電解めっきを施すめっき被膜付きフィルムの製造装置に適用するものであるが、これに限定するものではない。例えば、フィルムに、通常の電気めっき、無電解めっきを行うとき、又はプリント配線板の液切り乾燥に適用することもできる。
【実施例】
【００６６】
以下に実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。なお、以下の実施例に示される材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り適宜変更することができる。したがって、本発明の範囲は以下に示す具体例により限定的に解釈されるべきものではない。
【００６７】
［実施例１］
（ハロゲン化銀感光材料の作製）
ハロゲン化銀感光材料は特開２００６−３５２０７３号公報の実施例１に記載の試料を調整しポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）からなる支持体上に塗布した。
ＰＥＴ支持体の厚さは９０μｍ、幅７５ｃｍのものを用いた。幅７５ｃｍのＰＥＴ支持体に７０ｃｍの幅で１００００ｍ分塗布を行い、塗布の中央部６５ｃｍを残すように両端を５ｃｍずつ切り落としてロール状のハロゲン化銀感光材料を得た。
【００６８】
（露光）
ハロゲン化銀感光材料の露光は特開２００４−１２４４号公報の発明に記載のＤＭＤ（デジタル・ミラー・デバイス）を用いた露光ヘッドを６５ｃｍ幅になるように並べ、感光材料の感光層上にレーザー光が結像するように露光ヘッドおよび露光ステージを湾曲させて配置し、感材送り出し機構および巻取り機構を取り付けた上、露光面のテンション制御および巻取り、送り出し機構の速度変動が露光部分の速度に影響しないようにバッファー作用を有する撓みを設けた連続露光装置にて行った。露光の波長は４００ｎｍで、ビーム形は１２μｍの略正方形、およびレーザー光源の出力は１００μＪであった。
露光のパターンは、線幅８μｍの格子状のパターンが４５度の角度になるようにし、ピッチが３００μｍ間隔で幅６５ｃｍ長さ５００ｍ連続するように行った。
【００６９】
（現像処理）・現像液１Ｌ処方（補充液も同組成）
ハイドロキノン ２２ ｇ
亜硫酸ナトリウム ２５ ｇ
炭酸カリウム ３３ ｇ
エチレンジアミン・四酢酸 ２ ｇ
臭化カリウム ４ ｇ
ポリエチレングリコール４０００ １ ｇ
水酸化カリウム ４ ｇ
エリソルビン酸ナトリウム ３ ｇ
ジエチレングリコール ５ ｇ
ｐＨ １０．２に調整
【００７０】
・定着液１Ｌ処方（補充液も同組成）
チオ硫酸アンモニウム液（７５％） ３００ ｍｌ
亜硫酸アンモニウム・１水塩 ２５ ｇ
１，３-ジアミノプロパン・四酢酸 ８ ｇ
酢酸 ５ ｇ
アンモニア水（２７％） １ ｇ
ｐＨ ６．２に調整
【００７１】
上記処理剤を用いて露光済みハロゲン化銀感光材料を、富士フイルム社製自動現像機ＦＧ−７１０ＰＴＳを用いて処理条件としては現像３２℃で２７秒、定着３０℃で２７秒、第一水洗（イオン交換水 ０．７５Ｌ/min）３０℃で１３秒、第二水洗（流水 １０Ｌ/min）２５℃で１３秒の処理を行った。
ランニング処理条件として、感光材料の処理量を１３００ｍ2／日で現像液の補充量を５００ｍｌ／ｍ2、定着液の補充量を６４０ｍｌ／ｍ2で３日間のランニング処理を行った。
【００７２】
（めっき処理）
上記処理により銀メッシュパターンが形成されたフィルム（感光ウエブ１８）に対して、図２に示すめっき槽６０Ａと実質的に同じ機能槽構成である合計１８槽のめっき槽を備えた電解めっき装置を使用して電解めっきを行った。その際、各槽の電流値を表１に示すように調整して試料番号１０１〜１０８の電解めっき処理フィルム試料を作成した。電解めっき装置は、後述する工程になるように連続構成となっている。なお、フィルム（感光ウエブ１８）の銀メッシュ面が下向きとなるように（銀メッシュ面が給電ローラと接するように）、電解めっき装置に取り付けた。めっき槽６０Ａのサイズは、各浴ともに８０ｃｍ×８０ｃｍ×８０ｃｍであった。
【００７３】
【表１】
【００７４】
表１では、試料番号１０１〜１０４がフィルムを空中搬送させる際にフィルムの導電面に接触する２本の支持ローラを用いた比較例であり、試料番号１０５〜１０８がフィルムを空中搬送させる際にフィルムの導電面、裏面に接触する３本の支持ローラ２０２、２０４、２０６を用いた本発明である。
なお、カソード給電ローラ５０Ａ、５０Ｂとして、鏡面仕上げしたステンレス製ローラ（１０ｃｍφ、長さ１００ｃｍ）を使用し、支持ローラ２０２、２０４、２０６およびその他の搬送ローラとしては、５ｃｍφ、長さ１００ｃｍのローラを使用した。また、支持ローラ２０２、２０４、２０６の高さを調製することで、ライン速度が違っても一定の液中処理時間が確保されるようにした。
【００７５】
また入り口側のカソード給電ローラ５０Ａとフィルムの銀メッシュ面とが接している面の最下部とめっき液面との距離（図２に示す距離Ｌａ）を９ｃｍとした。また、ライン搬送速度は、２〜３．５ｍ／分に変更して処理した。
【００７６】
めっき処理におけるめっき液及び防錆液の組成、めっき槽は以下のとおりである。
・硬膜液 （補充液も同組成）
グルタルアルデヒド ２５ｇ
純水を加えて １Ｌ
【００７７】
・銅めっき１〜９液の組成 （補充液も同組成）
硫酸銅５水塩 ２３０ｇ
硫酸（４７％） ２００ｍＬ
荏原ユージライト（株）製のＣｕ−Ｂｒｉｔｅ２１ ２０ｍｌ
純水を加えて １Ｌ
ｐＨ −０．１＊
・銅めっき１０〜１８液の組成 （補充液も同組成）
硫酸銅５水塩 ２３０ｇ
硫酸（４７％） ２００ｍＬ
純水を加えて １Ｌ
ｐＨ −０．１＊
注 ＊；ｐＨメーターの読み取り値
【００７８】
・黒化第１液 （補充液も同組成）
硫酸ニッケル６水塩 １２０ｇ
チオシアン酸アンモニウム ２０ｇ
硫酸亜鉛７水塩 ４ｇ
硫酸ナトリウム １６ｇ
純水を加えて １Ｌ
ｐＨ（硫酸と水酸化ナトリウムでｐＨ調整） ５．０
・黒化第２液 （補充液も同組成）
硫酸ニッケル６水塩 １２０ｇ
チオシアン酸アンモニウム ２０ｇ
硫酸亜鉛７水塩 ３０ｇ
硫酸ナトリウム １６ｇ
純水を加えて １Ｌ
ｐＨ（硫酸と水酸化ナトリウムでｐＨ調整） ５．０
【００７９】
・防錆液
上村工業（株）製のスルカップＡＴ−２１ １００ｍｌ
純水を加えて １Ｌ
【００８０】
以下に、めっき槽６０Ａの処理時間を示す。なお、各槽で適用した電流値は下記の表１に示す。表１において、電解通電量を電流値（Ａ）で示した。
また、全ての銅めっき液、水洗及び防錆の温度は２５〜３０℃、硬膜液は３５℃、黒化液は３３℃、乾燥温度は５０℃〜７０℃で処理を行った。
【００８１】
硬膜 ４０秒
水洗 ３０秒
乾燥 ３０秒
銅めっき１ ４０秒
水洗 ３０秒
乾燥 ３０秒
銅めっき２ ４０秒
水洗 ３０秒
乾燥 ３０秒
銅めっき３ ４０秒
水洗 ３０秒
乾燥 ３０秒
銅めっき４ ４０秒
水洗 ３０秒
乾燥 ３０秒
銅めっき５ ４０秒
水洗 ３０秒
乾燥 ３０秒
銅めっき６ ４０秒
水洗 ３０秒
乾燥 ３０秒
銅めっき７ ４０秒
水洗 ３０秒
乾燥 ３０秒
銅めっき８ ４０秒
水洗 ３０秒
乾燥 ３０秒
銅めっき９ ４０秒
水洗 ３０秒
乾燥 ３０秒
銅めっき１０ ６０秒
水洗 ３０秒
乾燥 ３０秒
銅めっき１１ ６０秒
水洗 ３０秒
乾燥 ３０秒
銅めっき１２ ６０秒
水洗 ３０秒
乾燥 ３０秒
銅めっき１３ ６０秒
水洗 ３０秒
乾燥 ３０秒
銅めっき１４ ６０秒
水洗 ３０秒
乾燥 ３０秒
銅めっき１５ ６０秒
水洗 ３０秒
乾燥 ３０秒
銅めっき１６ ６０秒
水洗 ３０秒
乾燥 ３０秒
銅めっき１７ ６０秒
水洗 ３０秒
乾燥 ３０秒
銅めっき１８ ６０秒
水洗 ３０秒
乾燥 ３０秒
黒化第１処理 ６０秒
水洗 ３０秒
乾燥 ３０秒
黒化第２処理 ６０秒
水洗 ３０秒
水洗 ３０秒
防錆 ６０秒
水洗 ３０秒
乾燥 １分 ５０℃〜７０℃
【００８２】
（良品率）
点状の欠陥は直径１ｍｍ以上をＮＧ、線状の欠点は幅０．２ｍｍ以上、長さ１０ｍｍ以上をＮＧとした。ＮＧ欠点が発生した箇所は１ｍ欠損扱いとし、次の式で良品率を算出した。
良品率（％）＝ 欠損しなかった処理長（ｍ）／処理長（ｍ）×１００
【００８３】
［実施例２］
（導電性膜の作製）
導電性膜は特開２００６−３５２０７３号公報の実施例２に記載の導電性膜ａを作製した。
【００８４】
（めっき処理）
実施例１と同じ処方の液及び条件で実施した。
各槽で適用した電流値を表２に示すように調整して試料番号２０１〜２０５の電解めっき処理フィルム試料を作成した。給電条件、スクイズローラ（液切りローラ）の材質等は表２に示すように設定している。
【表２】
【００８５】
表１に示されるように、本発明の電解めっき処理フィルムでは、比較例の電解めっき処理フィルムに比べて、フィルムの搬送速度を速くしても、良品率が高いことが確認された。
表２に示されるように、濡れ給電を行った本発明の電解めっき処理フィルムでは、乾燥給電を行った比較例の電解めっき処理フィルムに比べて、良品率が高いことが確認された。また、スクイズローラの材質をＰＶＡ（ポリビニルアルコール）に設定した場合に比べて、ＰＵ（ポリウレタン）に設定した場合は、良品率が高いことが確認された。この効果は、水洗槽へのめっき液の持込み量を低減した効果と考えられ、水洗槽のめっき金属濃度が５０ｐｐｍ以下にすることによって、良品率が高いことが確認された。
【図面の簡単な説明】
【００８６】
【図１】本発明の一実施形態におけるめっき被膜付きフィルムの製造装置を示す概略縦断面図である。
【図２】図１に示す製造装置で用いられる電解めっき装置のめっき槽の下流側に配設される支持装置を示す概略構成図である。
【図３】図２に示す支持装置の洗浄液受け槽付近の構成を示す部分拡大図である。
【図４】図１に示す製造装置で用いられる電解めっき装置に配設される濡れ給電装置を示す概略構成図である。
【図５】図４に示す濡れ給電装置のカソード給電ローラの長手方向と直交する方向から見た概略断面図である。
【符号の説明】
【００８７】
１０ めっき被膜付きフィルムの製造装置
１６ 電解めっき装置
１７ 後処理装置
１８ 感光ウエブ（フィルム）
１８Ａ 導電面
１８Ｂ 裏面
２１ 供給部
５０Ａ カソード給電ローラ
５０Ｂ カソード給電ローラ
６０Ａ めっき槽
６０Ｂ めっき槽
６１ めっき液
７０Ａ 洗浄槽
７０Ｂ 洗浄槽
７１ 洗浄液
１５０Ａ 濡れ給電装置
１５０Ｂ 濡れ給電装置
１５１ 給電用液
１５２ 濡れ給電用液受け槽
２００Ａ 支持装置（フィルム支持装置）
２０２ 導電面支持ローラ
２０４ 導電面支持ローラ
２０６ 裏面支持ローラ
２１０ 洗浄装置
２１２ 洗浄装置
２１４ 洗浄装置
２１７ 洗浄液
２１８ 洗浄液受け槽
２２０ 洗浄液受け槽
２２２ 洗浄液受け槽
２２４ 供給管（洗浄液供給排出手段）
２３２ 排出管（洗浄液供給排出手段）
２３６ ポンプ（洗浄液供給排出手段）
２４０ 液切りローラ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルムの導電面をカソード給電ローラに接触させ、前記導電面にめっき被膜を形成する電解めっき浴の下流側に配置され、次工程へ空中搬送される前記フィルムを支持するフィルム支持装置であって、
前記フィルムの導電面に接触する少なくとも２本のフィルム導電面支持部材と、
前記フィルム導電面支持部材の間に配置され、前記導電面と反対側の前記フィルムの裏面に接触する少なくとも１本のフィルム裏面支持部材と、
前記フィルム導電面支持部材と前記フィルム裏面支持部材をそれぞれ洗浄する洗浄手段と、
を有することを特徴とするフィルム支持装置。
【請求項２】
前記フィルム導電面支持部材と前記フィルム裏面支持部材は、それぞれローラで構成されており、
前記洗浄手段は、
洗浄液で満たされ、かつ、前記ローラの下部が前記洗浄液に浸漬される洗浄液受け槽と、
前記洗浄液受け槽に新たな洗浄液を供給すると共に、前記洗浄液受け槽内の前記洗浄液を排出させる洗浄液供給排出手段と、
を有することを特徴とする請求項１に記載のフィルム支持装置。
【請求項３】
フィルムの導電面をカソード給電ローラに接触させ、前記導電面にめっき被膜を形成する電解めっき浴と、
前記電解めっき浴の下流側に配置される請求項１又は請求項２に記載のフィルム支持装置と、
を有することを特徴とするめっき被膜付きフィルムの製造装置。
【請求項４】
前記フィルム支持装置の下流側に設けられ、前記フィルムを洗浄する洗浄槽を備え、
前記フィルムは前記フィルム支持装置に支持されて空中搬送されることにより、前記洗浄槽内の液のめっき金属濃度が５０ｐｐｍ以下に調整されることを特徴とする請求項３に記載のめっき被膜付きフィルムの製造装置。
【請求項５】
前記フィルムの導電面と前記カソード給電ローラとを濡れた状態で接触させて給電する濡れ給電手段を有することを特徴とする請求項３又は請求項４に記載のめっき被膜付きフィルムの製造装置。
【請求項６】
前記濡れ給電手段は、
前記フィルムの導電面と前記カソード給電ローラとの接触部の上流側に設けられ、濡れ給電用液で満たされ、かつ、前記カソード給電ローラの一部が前記濡れ給電用液に浸漬される濡れ給電用液受け槽を有することを特徴する請求項５に記載のめっき被膜付きフィルムの製造装置。
【請求項７】
前記洗浄槽の下流側に、前記フィルムを圧接しながら液切りする液切りローラを備え、
前記液切りローラの材質が、ポリオレフィン及びポリウレタンのいずれか一方であることを特徴とする請求項４に記載のめっき被膜付きフィルムの製造装置。
【請求項１】
フィルムの導電面をカソード給電ローラに接触させ、前記導電面にめっき被膜を形成する電解めっき浴の下流側に配置され、次工程へ空中搬送される前記フィルムを支持するフィルム支持装置であって、
前記フィルムの導電面に接触する少なくとも２本のフィルム導電面支持部材と、
前記フィルム導電面支持部材の間に配置され、前記導電面と反対側の前記フィルムの裏面に接触する少なくとも１本のフィルム裏面支持部材と、
前記フィルム導電面支持部材と前記フィルム裏面支持部材をそれぞれ洗浄する洗浄手段と、
を有することを特徴とするフィルム支持装置。
【請求項２】
前記フィルム導電面支持部材と前記フィルム裏面支持部材は、それぞれローラで構成されており、
前記洗浄手段は、
洗浄液で満たされ、かつ、前記ローラの下部が前記洗浄液に浸漬される洗浄液受け槽と、
前記洗浄液受け槽に新たな洗浄液を供給すると共に、前記洗浄液受け槽内の前記洗浄液を排出させる洗浄液供給排出手段と、
を有することを特徴とする請求項１に記載のフィルム支持装置。
【請求項３】
フィルムの導電面をカソード給電ローラに接触させ、前記導電面にめっき被膜を形成する電解めっき浴と、
前記電解めっき浴の下流側に配置される請求項１又は請求項２に記載のフィルム支持装置と、
を有することを特徴とするめっき被膜付きフィルムの製造装置。
【請求項４】
前記フィルム支持装置の下流側に設けられ、前記フィルムを洗浄する洗浄槽を備え、
前記フィルムは前記フィルム支持装置に支持されて空中搬送されることにより、前記洗浄槽内の液のめっき金属濃度が５０ｐｐｍ以下に調整されることを特徴とする請求項３に記載のめっき被膜付きフィルムの製造装置。
【請求項５】
前記フィルムの導電面と前記カソード給電ローラとを濡れた状態で接触させて給電する濡れ給電手段を有することを特徴とする請求項３又は請求項４に記載のめっき被膜付きフィルムの製造装置。
【請求項６】
前記濡れ給電手段は、
前記フィルムの導電面と前記カソード給電ローラとの接触部の上流側に設けられ、濡れ給電用液で満たされ、かつ、前記カソード給電ローラの一部が前記濡れ給電用液に浸漬される濡れ給電用液受け槽を有することを特徴する請求項５に記載のめっき被膜付きフィルムの製造装置。
【請求項７】
前記洗浄槽の下流側に、前記フィルムを圧接しながら液切りする液切りローラを備え、
前記液切りローラの材質が、ポリオレフィン及びポリウレタンのいずれか一方であることを特徴とする請求項４に記載のめっき被膜付きフィルムの製造装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【公開番号】特開２００９−２５６７５７（Ｐ２００９−２５６７５７Ａ）
【公開日】平成２１年１１月５日（２００９．１１．５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−１１０１５５（Ｐ２００８−１１０１５５）
【出願日】平成２０年４月２１日（２００８．４．２１）
【出願人】（３０６０３７３１１）富士フイルム株式会社 (25,513)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年１１月５日（２００９．１１．５）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年４月２１日（２００８．４．２１）
【出願人】（３０６０３７３１１）富士フイルム株式会社 (25,513)
【Ｆターム（参考）】
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