ペリクル収納容器およびペリクル収納容器用の挟持部材
【課題】トレイと蓋との挟持する長手方向において、挟持力の差を小さくすることができるペリクル収納容器およびそのペリクル収納容器に用いられる挟持部材を提供する。
【解決手段】ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とからなるペリクルを輸送するためのペリクル収納容器であって、トレイ３と、その蓋となるカバー２と、トレイ３とカバー２を挟持する挟持部材４とを備え、挟持部材４が、装着状態においてカバー２に接してカバー２をトレイ３側に押しつける第一押圧部４１と、装着状態においてトレイ３に接してトレイ３をカバー２側に押しつける第二押圧部４２と、第一押圧部４１と第二押圧部４２とを連接する連接部４３とを有し、連接部４３におけるペリクル収納容器の辺長方向の開放端部の厚さを、２つの開放端部の間の厚さよりも大きくしたペリクル収納容器とする。
【解決手段】ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とからなるペリクルを輸送するためのペリクル収納容器であって、トレイ３と、その蓋となるカバー２と、トレイ３とカバー２を挟持する挟持部材４とを備え、挟持部材４が、装着状態においてカバー２に接してカバー２をトレイ３側に押しつける第一押圧部４１と、装着状態においてトレイ３に接してトレイ３をカバー２側に押しつける第二押圧部４２と、第一押圧部４１と第二押圧部４２とを連接する連接部４３とを有し、連接部４３におけるペリクル収納容器の辺長方向の開放端部の厚さを、２つの開放端部の間の厚さよりも大きくしたペリクル収納容器とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ペリクル膜とペリクル膜を支持する支持枠とからなるペリクルを輸送するためのペリクル収納容器およびペリクル収納容器用の挟持部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体回路パターンの製造工程の一部であるリソグラフィ工程で使用されるフォトマスク上に異物が付着すると、その異物のパターンが転写され、半導体チップの多くを不良品としてしまう危険性がある。このため、従来からフォトマスクの防塵を目的に、ペリクルが用いられている。
【０００３】
ペリクルは、一般的に、ニトロセルロース等の透明な高分子膜からなる厚さ約１０ミクロン程度のペリクル膜と、それを一方の周端面にて支持する厚さ数ミリ程度の支持枠とから構成されている。支持枠におけるペリクル膜と反対側の周端面には、フォトマスクに支持枠を固定するためのフィルム付きの粘着材が備えられている。粘着材は、ペリクルをフォトマスク上に配置した際にフォトマスクと支持枠との間に隙間ができないように、均一の厚みをもって備え付けられている。
【０００４】
フォトマスクに支持枠を固定する際には、フォトマスクの上方にペリクル膜が配置されるようにペリクルをセッティングし、フィルムを剥がして粘着材を介して支持枠をフォトマスクに固定して、フォトマスク上に異物が付くことを防止している。
【０００５】
また、近年、ペリクルは、液晶表示体の製造工程におけるリソグラフィ工程で使用されるフォトマスク用防塵手段としても多用されてきている。液晶表示体は、シリコンウェハに比べて大きな面積を有する。最近では、液晶表示体の大型化が進み、これに伴い、ペリクル膜も大型化し、１０００ｍｍ×１０００ｍｍ以上の大型ペリクル膜も多く使用されている。
【０００６】
一般に、ペリクルを製造元から使用者に輸送するには、樹脂製のペリクル収納容器が用いられる。ペリクル収納容器は、主に、ペリクルを載置するトレイと、そのトレイの上から被せる蓋とから構成される。トレイと蓋とを固定する方法としては、例えば、両者の外周部を互いに密着する方向に挟みつける固定部品で固定する方法が知られている（特許文献１を参照。）。
【特許文献１】特開平７−１４２５６２号公報（段落番号００１２、図１等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、ペリクル収納容器の大型化が進むと、上述の固定部品を用いてトレイと蓋とを挟んでも、その挟持する長手方向の挟持力の均一化を図ることが難しく、挟持力の弱い部分に生じた隙間から異物が入る危険性がある。
【０００８】
本発明は、上記課題に鑑み、トレイと蓋との挟持する長手方向において、挟持力の差を小さくすることができるペリクル収納容器およびそのペリクル収納容器に用いられる挟持部材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、本発明は、ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とからなるペリクルを輸送するためのペリクル収納容器であって、トレイと、その蓋となるカバーと、トレイとカバーを挟持する挟持部材とを備え、挟持部材が、カバーとトレイとを挟持した状態において、カバーに接してカバーをトレイ側に押しつける第一押圧部と、カバーとトレイとを挟持した状態において、トレイに接してトレイをカバー側に押しつける第二押圧部と、第一押圧部と第二押圧部とを連接する連接部とを有し、連接部におけるペリクル収納容器の辺長方向の開放端部の厚さはが２つの開放端部の間の厚さよりも大きいペリクル収納容器としている。
【００１０】
このため、連接部におけるペリクル収納容器の辺長方向の開放端部の剛性が高まり、挟持部材における当該辺長方向中央付近の挟持力と、開放端部の挟持力との差を小さくすることができる。したがって、トレイとカバーとの密着性が高まり、外部から容器内に異物が入り込む危険性を低減できる。ここで、「辺長方向」とは、ペリクル収納容器の各辺の長手方向をいう。各辺には、トレイとカバーとを挟持するための挟持部材を装着するので、「辺長方向」は、「挟持する長手方向」に相当する。
【００１１】
また、別の本発明は、先の発明における開放端部において、第一押圧部若しくは第二押圧部と連接部との接合部分を、その接合部分以外の部分より厚くしたペリクル収納容器としている。
【００１２】
このため、挟持部材におけるペリクル収納容器の辺長方向中央付近の挟持力と、当該辺長方向の開放端部の挟持力との差をより小さくすることができる。したがって、トレイとカバーとの密着性が高まり、外部から容器内に異物が入り込む危険性をより低減できる。
【００１３】
また、本発明は、ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とからなるペリクルを輸送するためのペリクル収納容器であって、トレイと、その蓋となるカバーと、トレイとカバーを挟持する挟持部材とを備え、挟持部材は、カバーとトレイとを挟持した状態において、カバーに接してカバーをトレイ側に押しつける第一押圧部と、カバーとトレイとを挟持した状態において、トレイに接してトレイをカバー側に押しつける第二押圧部と、第一押圧部と第二押圧部とを連接する連接部とを有し、第一押圧部または第二押圧部の少なくともいずれか一方の押圧部におけるペリクル収納容器の辺長方向の開放端部の厚さを、２つの開放端部の間の厚さよりも大きくしたペリクル収納容器としている。
【００１４】
このため、第一押圧部および第二押圧部におけるペリクル収納容器の辺長方向の開放端部の剛性が高まり、挟持部材における当該辺長方向中央付近の挟持力と、開放端部の挟持力との差を小さくすることができる。したがって、トレイとカバーとの密着性が高まり、外部から容器内に異物が入り込む危険性を低減できる。
【００１５】
また、本発明は、ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とからなるペリクルを輸送するためのペリクル収納容器のトレイとその蓋となるカバーとを挟持するペリクル収納容器用の挟持部材であって、カバーとトレイとを挟持した状態において、カバーに接してカバーをトレイ側に押しつける第一押圧部と、カバーとトレイとを挟持した状態において、トレイに接してトレイをカバー側に押しつける第二押圧部と、第一押圧部と第二押圧部とを連接する連接部とを有し、連接部におけるペリクル収納容器の辺長方向の開放端部の厚さを、２つの開放端部の間の厚さよりも大きくしたペリクル収納容器用の挟持部材としている。
【００１６】
このため、本発明に係るペリクル収納容器用の挟持部材を用いることによって、連接部におけるペリクル収納容器の辺長方向の開放端部の剛性が高まり、挟持部材における当該辺長方向中央付近の挟持力と、開放端部の挟持力との差を小さくすることができる。したがって、トレイとカバーとの密着性が高まり、外部から容器内に異物が入り込む危険性を低減できる。
【００１７】
また、別の本発明は、先の発明における開放端部において、第一押圧部若しくは第二押圧部と連接部との接合部分を、その接合部分以外の部分より厚くしたペリクル収納容器用の挟持部材としている。
【００１８】
このため、本発明に係るペリクル収納容器用の挟持部材を用いることによって、挟持部材におけるペリクル収納容器の辺長方向中央付近の挟持力と、当該辺長方向の開放端部の挟持力との差をより小さくすることができる。したがって、トレイとカバーとの密着性が高まり、外部から容器内に異物が入り込む危険性をより低減できる。
【００１９】
また、本発明は、ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とからなるペリクルを輸送するためのペリクル収納容器のトレイとその蓋となるカバーとを挟持するペリクル収納容器用の挟持部材であって、カバーとトレイとを挟持した状態において、カバーに接してカバーをトレイ側に押しつける第一押圧部と、カバーとトレイとを挟持した状態において、トレイに接してトレイをカバー側に押しつける第二押圧部と、第一押圧部と第二押圧部とを連接する連接部とを有し、第一押圧部または第二押圧部の少なくともいずれか一方の押圧部におけるペリクル収納容器の辺長方向の開放端部の厚さを、２つの開放端部の間の厚さよりも大きくしたペリクル収納容器用の挟持部材としている。
【００２０】
このため、本発明に係るペリクル収納容器用の挟持部材を用いることによって、第一押圧部および第二押圧部におけるペリクル収納容器の辺長方向の開放端部の剛性が高まり、挟持部材における当該辺長方向中央付近の挟持力と、開放端部の挟持力との差を小さくすることができる。したがって、トレイとカバーとの密着性が高まり、外部から容器内に異物が入り込む危険性を低減できる。
【００２１】
本発明に係るペリクル収納容器を構成するトレイとカバーとを挟持する挟持部材に用いられる材料は、特に限定されないが、ウレタン結合を有するゴム状弾性体であるウレタンエラストマーとするのが好ましい。特に、ポリオールとしてポリエーテルポリオール等のポリエーテルを用いて製造されるポリエーテル系ウレタンエラストマー、ポリオールとしてポリエステルポリオール等のポリエステルを用いて製造されるポリエステル系ウレタンエラストマーが好ましい。ただし、ポリエーテルおよびポリエステル以外のポリオールとして、ヒドロキシ末端ポリブタジエン及び部分的／完全に水素添加した誘導体、ポリカプロラクトンポリオール、ポリカーボネートポリオール等を用いて製造されるウレタンエラストマーを用いても良い。
【００２２】
本発明に係るペリクル収納容器を構成するトレイおよびカバーの材料には、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン樹脂（ＡＢＳ樹脂）の他、ポリエチレンテレフタレート樹脂等のポリエステル樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン樹脂、ポリスチレン樹脂等を用いることができ、特に、ＡＢＳ樹脂を用いるのがより好ましい。ただし、上述の樹脂は一例に過ぎず、他の樹脂材料を採用しても良い。
【００２３】
本発明に係るペリクル収納容器は、好適には射出成形または押出成形にて製造される。また、金型成形において、金型内部を真空にする真空成形、樹脂側から金型方向にガス圧を及ぼして成形する圧空成形、または真空成形と圧空成形の両方を組み合わせた圧空真空成形を採用することができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、ペリクル収納容器を構成するトレイと蓋とを挟持する長手方向において、挟持力の差を小さくすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明に係るペリクル収納容器の好適な各実施の形態について、図面を参照しながら詳述するが、本発明はこれに限定されるものではない。また、本発明に係るペリクル収納容器用の挟持部材の各実施の形態については、各実施の形態に係るペリクル収納容器の説明の中で説明する。各実施の形態の説明において、「上」および「下」は、それぞれトレイに対するカバーの位置方向およびカバーに対するトレイの位置方向をいう。
【００２６】
（第一の実施の形態）
図１は、本発明の第一の実施の形態に係るペリクル収納容器の分解斜視図である。また、図２は、図１に示すペリクル収納容器に挟持部材を装着した状態を示す斜視図である。
【００２７】
図１および図２に示すように、ペリクル収納容器１は、トレイ３と、その蓋であるカバー２とを備えている。カバー２とトレイ３とは、互いの外周部において重ね合わせるように接合できる構造を有している。ペリクルをペリクル収納容器１内に収納して輸送する際には、カバー２とトレイ３の両外周部に、当該外周部を挟持して固定するための挟持部材４が装着される。この実施の形態では、カバー２およびトレイ３は共に矩形の凹状体としているので、挟持部材４は、四辺に装着できるように、４つ用意される。ただし、後述するように、四辺に各１個の挟持部材４を装着せずに、各辺に複数の挟持部材を装着したり、各辺の装着個数を変えたり、一部の辺に挟持部材を装着しなくてもよい。
【００２８】
挟持部材４は、カバー２とトレイ３との両外周部を挟持する機能を有している。挟持部材４は、好適には、ポリエーテルポリオールおよび鎖延長剤と、ジイソシアネートとを重合させて製造したウレタンエラストマーの板状体を射出成形あるいは押出成形することにより得られる成形体である。挟持部材４の材料をウレタンエラストマーとすることにより、挟持部材４の着脱を繰り返しても、摩耗粉等が発生しにくい。
【００２９】
カバー２およびトレイ３は、元板の厚さが約３ｍｍのＡＢＳ樹脂を原料とし、真空成形用金型を用いた真空成形法により製造される。ただし、ＡＢＳ樹脂以外の樹脂を用いても良い。さらに、元板の厚みは３ｍｍに限定されず、３ｍｍより薄いあるいは３ｍｍを超える板状の樹脂を成形してもよい。
【００３０】
図３は、図２に示すペリクル収納容器１をＡ−Ａ線にて切断した際の断面図である。
【００３１】
カバー２は、トレイ３と対向する側に開口部を有する凹状体である。カバー２は、平面形状のカバー天面２０と、当該カバー天面２０から開口方向に広がるように筒状に形成される側面２１と、当該側面２１から水平に外方向に延出される水平面２２と、当該水平面２２から開口方向に広がるように筒状に形成される側面２３と、当該側面２３から水平に外方向に延出される水平面２４と、当該水平面２４から略垂直上向きに延びる垂直面２５と、当該垂直面２５から水平に外方向に延出される水平面２６とを備えている。
【００３２】
一方、トレイ３は、カバー２と対向する側に丘を形成させた開口部を有する凹状体である。トレイ３は、側面２１の開口面積よりも大きい平面形状のトレイ底面３０と、当該トレイ底面３０からその周囲にカバー２と逆側に下方傾斜させた斜面３１と、当該斜面３１から水平に外方向に延出される水平面３２と、当該水平面３２から略垂直上向きに延びる垂直面３３と、当該垂直面３３から水平に外方向に延出される水平面３４とを備えている。
【００３３】
カバー２の水平面２２とトレイ底面３０とは、上下方向に対向する重複部分を有しており、この部分で、後述するペリクルの支持枠が挟持される。また、カバー２の水平面２４、垂直面２５および水平面２６とから構成されるクランク形状部分は、トレイ３の水平面３２、垂直面３３および水平面３４から構成されるクランク形状部分とほぼ同じ形状であり、カバー２側のクランク形状部分の下面がトレイ３側のクランク形状部分の上面と密着可能となっている。カバー２の水平面２６とトレイ３の水平面３４とは、上述の挟持部材４で挟持されて固定される。
【００３４】
図４は、図３に示すペリクル収納容器１に収納するペリクル５を図２に示すＡ−Ａ線で切断した際の断面図である。
【００３５】
ペリクル５は、ニトロセルロース等の材質からなる厚さ１０ミクロン以下のペリクル膜６を、四角枠形状の支持枠７の一方の端面（図４における上面）に展張して張り付けた構成を有している。支持枠７の高さは、約５ｍｍである。ただし、ペリクル膜５の材質および厚さならびに支持枠７の高さは、上記に限定されるものではない。
【００３６】
図４におけるＸで示される部分の拡大図に示すように、支持枠７におけるペリクル膜６と反対側の周端面（底面）には、粘着材８が備えられている。粘着材８の表面には、通常、薄い剥離シート（不図示）が貼られている。ペリクル５を使用する場合には、当該剥離シートを粘着材８から剥がして、粘着力を発揮し得る状態としてから、支持枠７をフォトマスクに貼り付けて固定する。
【００３７】
図５は、図３に示すペリクル収納容器１内に、図４に示すペリクル５を収納した状態を示す図である。
【００３８】
ペリクル５は、その支持枠７の底面をトレイ底面３０に載置し、支持枠７の上面をカバー２の水平面２２に接触させた状態で、ペリクル収納容器１内に収納される。このように、支持枠７の高さ方向をカバー２とトレイ３とで挟持した状態にて輸送されるので、ペリクル５がペリクル収納容器１内で動く危険性は低くなる。
【００３９】
図６は、図２に示すペリクル収納容器１を挟持部材４の端面４ａに沿って矢印Ｓから切断した切断面近傍の部分拡大図である。図中、切断面を斜線の領域で示している。
【００４０】
図６に示すように、挟持部材４は、それを装着した際にカバー２に接してトレイ３側に押しつける第一押圧部４１と、トレイ３に接してカバー２側に押しつける第二押圧部４２と、第一押圧部４１と第二押圧部４２とを連接する連接部４３とを備えている。連接部４３は、第一押圧部４１および第二押圧部４２のそれぞれの上端から所定長さ下方に移動した部位に接続されている。
【００４１】
第一押圧部４１は、カバー２の垂直面２５に接するように立設された板状体であり、カバー２に接する端部に凸部４７を有している。第二押圧部４２は、第一押圧部４１よりも長く、トレイ３の外面から下面に至る折曲形状を有している。第二押圧部４２は、上方から下方に向かって、立設された板状体４４と、その板状体４４の下端からトレイ３の水平面３２の角部まで斜めに延出される板状体４５と、その板状体４５の下端から水平面３２の下面に沿って水平に延出される板状体４６とから構成されている。また、第二押圧部４２は、トレイ３の水平面３４と垂直面３３との角部およびトレイ３における水平面３２の下面に接する箇所に、それぞれ、凸部４８および凸部４９を有している。
【００４２】
図７は、挟持部材４を第一押圧部４１側から見た斜視図である。図８は、挟持部材４を、図７に示す点線で囲まれた仮想平面Ｂにより切断した第二押圧部４２側を示す図である。図８における斜線の部分は、仮想平面Ｂにて切断した切断面である。なお、図７以降の図において、第二押圧部４２を構成する板状体４４，４５，４６に、「（４２）」を付している。
【００４３】
連接部４３は、ペリクル収納容器１の辺長方向に沿って異なる厚さ（上下方向の厚さ）を有する。挟持部材４の両開放端部における厚さＸは、両開放端部に挟まれた内方部分の厚さＹよりも大きい。連接部４３の上面は、一方の開放端部側から他方の開放端部に向かって、略水平の上面５３、上面５３から下方に傾斜する斜面５２、斜面５２から略水平に延出する水平面５１、水平面５１から上方に傾斜する斜面５２、斜面５２に続く上面５３から構成されている。連接部４３の下面５０は、略水平の水平面である。このように、連接部４３の下面５０と上面５３との間の距離（厚さＸ）は、連接部４３の下面５０と水平面５１との間の距離（厚さＹ）よりも大きい。開放端部における連接部４３を肉厚化することによって、挟持部材４の中央部分と開放端部における両挟持力の差を低減でき、カバー２およびトレイ３の辺長方向に沿って、できるだけ均一な挟持力をもってカバー２とトレイ３とを挟持することが可能となる。なお、連接部４３の上側の面にのみ凹凸を形成して両開放端部の肉厚化を図る以外に、連接部４３の下面５０あるいは上下両面に凹凸を形成して両開放端部の肉厚化を図っても良い。
【００４４】
（第二の実施の形態）
次に、本発明に係るペリクル収納容器の第二の実施の形態について説明する。なお、この実施の形態において、前述の実施の形態と共通する部分については、同じ符号を付し、その部分の説明を省略する。
【００４５】
図９は、本発明の第二の実施の形態に係るペリクル収納容器１に用いられる挟持部材４を第一押圧部４１側から見た斜視図である。図１０は、図９に示す点線で囲まれた部分Ｐを拡大して示す斜視図である。
【００４６】
図９に示す挟持部材４は、挟持部材４の開放端部において、連接部４３の第一押圧部４１および第二押圧部４２との接合部分が、その両接合部分以外の部分よりも厚くなるような形態を有している。すなわち、連接部４３は、両開放端部がその内方よりも肉厚にしている以外に、両開放端部において第一押圧部４１と第二押圧部４２との接合部分を両接合部の間の部分よりも肉厚にしている点で、第一の実施の形態に係る挟持部材４と異なる。開放端部の連接部４３の上方の面は、第一押圧部４１側から下方に向かって形成される曲面５４ａと、略水平の上面５３と、その上面５３から上方に向かって形成される曲面５４ｂとから構成されている。一方、開放端部の連接部４３の下面５０は、第一押圧部４１から第二押圧部４２にわたって略水平である。このような構成により、開放端部における連接部４３では、第一押圧部４１および第二押圧部４２と連接部４３との接合部分が最も厚く、上面５３を有する部分が最も薄くなっている。
【００４７】
このように、開放端部において、連接部４３と第一押圧部４１および第二押圧部４２との各接合部分を肉厚化することによって、挟持部材４の中央部分と開放端部における両挟持力の差を低減でき、カバー２およびトレイ３の辺長方向に沿って、さらに均一な挟持力をもってカバー２とトレイ３とを挟持することが可能となる。なお、第一押圧部４１または第二押圧部４２のいずれか一方のみと連接部４３との接合部分を肉厚化しても良い。また、斜面５２を設けずに、水平面５１のまま両開放端部まで延出し、両開放端部において第一押圧部４１および第二押圧部４２と連接部４３との接合部分を肉厚化する構造を採用しても良い。
【００４８】
（第三の実施の形態）
次に、本発明に係るペリクル収納容器の第三の実施の形態について説明する。なお、この実施の形態において、前述の実施の形態と共通する部分については、同じ符号を付し、その部分の説明を省略する。
【００４９】
図１１は、本発明の第三の実施の形態に係るペリクル収納容器１に用いられる挟持部材４を第一押圧部４１側から見た斜視図である。図１２は、図１１に示す点線で囲まれた部分Ｐを拡大して示す斜視図である。
【００５０】
図１１に示す挟持部材４は、挟持部材４の両開放端部において、連接部４３を肉厚にせずに、第一押圧部４１および第二押圧部４２を肉厚化したものである。両開放端部において、第一押圧部４１の外側には突出部７０が、第二押圧部４２の外側には突出部６０が、それぞれ形成されている。突出部７０は、第一押圧部４１から続く曲面部７１と、その曲面部７１から第一押圧部４１の外面に平行な平面部７２とを備えている。同様に、突出部６０は、第二押圧部４２から続く曲面部６１と、その曲面部６１から第二押圧部４２の外面に平行な平面部６２とを備えている。ただし、曲面部６１，７１は、必須の部分ではなく、第一押圧部４１あるいは第二押圧部４２からほぼ直角にそれぞれ突出する突出部６０，７０を備えるようにしても良い。
【００５１】
このように、開放端部において、第一押圧部４１と第二押圧部４２とを肉厚化することによって、挟持部材４の中央部分と開放端部における両挟持力の差を低減でき、カバー２およびトレイ３の辺長方向に沿って、できるだけ均一な挟持力をもってカバー２とトレイ３とを挟持することが可能となる。なお、第一押圧部４１または第二押圧部４２のいずれか一方のみを肉厚化しても良い。
【００５２】
（第四の実施の形態）
次に、本発明に係るペリクル収納容器の第四の実施の形態について説明する。なお、この実施の形態において、前述の実施の形態と共通する部分については、同じ符号を付し、その部分の説明を省略する。
【００５３】
図１３は、本発明の第四の実施の形態に係るペリクル収納容器１に用いられる挟持部材４を第一押圧部４１側から見た斜視図である。図１４は、図１３に示す点線で囲まれた部分Ｐを拡大して示す斜視図である。
【００５４】
図１３に示す挟持部材４は、第二の実施の形態に係る挟持部材４と第三の実施の形態に係る挟持部材４の各特徴部分を両方とも備えたものである。すなわち、連接部４３は、両開放端部が両開放端部の間の部分よりも肉厚化され、両開放端部において連接部４３と第一押圧部４１および第二押圧部４２との両接合部分が当該両接合部分以外の箇所よりも肉厚化され、かつ第一押圧部４１および第二押圧部４２が肉厚化されている。
【００５５】
このように、開放端部において、連接部４３、第一押圧部４１、第二押圧部４２をそれぞれ肉厚化することによって、挟持部材４の中央部分と開放端部における両挟持力の差をより低減でき、カバー２およびトレイ３の辺長方向に沿って、より均一な挟持力をもってカバー２とトレイ３とを挟持することが可能となる。なお、第一押圧部４１または第二押圧部４２のいずれか一方のみを肉厚化しても良い。さらに、第一押圧部４１および／または第二押圧部４２の内面側を肉厚化しても良い。また、斜面５２を設けずに、水平面５１のまま両開放端部まで延出し、両開放端部において第一押圧部４１および第二押圧部４２と連接部４３との接合部分を肉厚化する構造を採用しても良い。
【００５６】
（第五の実施の形態）
次に、本発明に係るペリクル収納容器の第五の実施の形態について説明する。なお、この実施の形態において、前述の実施の形態と共通する部分については、同じ符号を付し、その部分の説明を省略する。
【００５７】
図１５は、本発明の第五の実施の形態に係るペリクル収納容器１に用いられる挟持部材４を第一押圧部４１側から見た斜視図である。図１６は、図１５に示す点線で囲まれた部分Ｐを拡大して示す斜視図である。
【００５８】
図１５に示す挟持部材４は、両開放端部において、連接部４３の上方の面を、第一押圧部４１側から下方に向かって形成される斜面５５ａと、略水平の上面５３と、その上面５３から上方に向かって形成される斜面５５ｂとから構成している点を除き、第四の実施の形態に係る挟持部材４（図１３、図１４）と同様の形態を有している。このように、曲面５４に替えて、斜面５５ａ，５５ｂを設けても、挟持部材４の中央部分と開放端部における両挟持力の差をより低減でき、カバー２およびトレイ３の辺長方向に沿って、より均一な挟持力をもってカバー２とトレイ３とを挟持することが可能となる。なお、第一押圧部４１または第二押圧部４２のいずれか一方のみを肉厚化しても良い。さらに、第一押圧部４１および／または第二押圧部４２の内面側を肉厚化しても良い。また、斜面５２を設けずに、水平面５１のまま両開放端部まで延出し、両開放端部において第一押圧部４１および第二押圧部４２と連接部４３との接合部分を肉厚化する構造を採用しても良い。
【００５９】
（第六の実施の形態）
次に、本発明に係るペリクル収納容器の第六の実施の形態について説明する。なお、この実施の形態において、前述の実施の形態と共通する部分については、同じ符号を付し、その部分の説明を省略する。
【００６０】
図１７は、本発明の第六の実施の形態に係るペリクル収納容器１の斜視図である。
【００６１】
図１７に示すように、挟持部材４をカバー２とトレイ３の各辺方向に１つのみとせずに、複数装着するようにしても良い。その場合であっても、各挟持部材４の両開放端部において、第一押圧部４１および／または第二押圧部４２を肉厚化することができる。また、各挟持部材４の両開放端部において、連接部４３におけるペリクル収納容器１の辺長方向の肉厚化および／または第一押圧部４１と第二押圧部４２とを結ぶ方向において、各押圧部４１，４２と連接部４３との接合部分の肉厚化を行うことができる。
【００６２】
以上、本発明に係るペリクル収納容器およびペリクル収納容器用の挟持部材の好適な各実施の形態について説明したが、本発明に係るペリクル収納容器およびペリクル収納容器用の挟持部材は、上述の各実施の形態に限定されず、種々変形した形態にて実施可能である。
【００６３】
上述の挟持部材４以外の形態を有する挟持部材を採用することもできる。例えば、カバー２の垂直面２５とトレイ３の垂直面３３とを挟持する挟持部材、カバー２の水平面２４とトレイ３の水平面３２とを挟持する挟持部材、カバー２の水平面２６とトレイ３の水平面３２とを挟持する挟持部材を採用してもよい。すなわち、挟持部材４は、カバー２とトレイ３とを挟持する部材であり、カバー２に接してトレイ３側に押圧する第一押圧部材と、トレイ３に接してカバー２側に押圧する第二押圧部材と、各押圧部材を連接する連接部とを備えるのであれば、カバー２とトレイ３の形状に応じて適切な形状を採用できる。
【産業上の利用可能性】
【００６４】
本発明は、ペリクルを輸送するための収納容器を製造あるいは使用する産業において利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明の第一の実施の形態に係るペリクル収納容器の分解斜視図である。
【図２】図１に示すペリクル収納容器に挟持部材を装着する状況を示す斜視図である。
【図３】図２に示すペリクル収納容器を、Ａ−Ａ線にて切断した際の断面図である。
【図４】図３に示すペリクル収納容器に収納するペリクルを、図２に示すＡ−Ａ線と同様の線で切断した際の断面図である。
【図５】図３に示すペリクル収納容器内に、図４に示すペリクルを収納した状態の断面図である。
【図６】図２に示すペリクル収納容器を挟持部材の端面に沿って矢印Ｓから切断した切断面近傍の部分拡大図である。
【図７】図６に示す挟持部材を第一押圧部側から見た斜視図である。
【図８】図７に示す挟持部材を、図７に示す点線で囲まれた仮想平面Ｂにより切断した第二押圧部側を示す図である。
【図９】本発明の第二の実施の形態に係るペリクル収納容器に装着される挟持部材を第一押圧部側から見た斜視図である。
【図１０】図９に示す挟持部材における図９に示す点線で囲まれた部分Ｐを拡大して示す図である。
【図１１】本発明の第三の実施の形態に係るペリクル収納容器に装着される挟持部材を第一押圧部側から見た斜視図である。
【図１２】図１１に示す挟持部材における図１１に示す点線で囲まれた部分Ｐを拡大して示す図である。
【図１３】本発明の第四の実施の形態に係るペリクル収納容器に装着される挟持部材を第一押圧部側から見た斜視図である。
【図１４】図１３に示す挟持部材における図１３に示す点線で囲まれた部分Ｐを拡大して示す図である。
【図１５】本発明の第五の実施の形態に係るペリクル収納容器に装着される挟持部材を第一押圧部側から見た斜視図である。
【図１６】図１５に示す挟持部材における図１５に示す点線で囲まれた部分Ｐを拡大して示す図である。
【図１７】本発明の第六の実施の形態に係るペリクル収納容器の斜視図である。
【符号の説明】
【００６６】
１ ペリクル収納容器
２ カバー
３ トレイ
４ 挟持部材
５ ペリクル
６ ペリクル膜
７ 支持枠
８ 粘着材
２０ カバー天面
２１ 側面
２２ 水平面
２３ 側面
２４ 水平面
２５ 垂直面
２６ 水平面
３０ トレイ底面
３１ 斜面
３２ 水平面
３３ 垂直面
３４ 水平面
４１ 第一押圧部
４２ 第二押圧部
４３ 連接部
４４ 板状体
４５ 板状体
４６ 板状体
４７ 凸部
４８ 凸部
４９ 凸部
５０ 下面
５１ 水平面
５２ 斜面
５３ 上面
５４ａ 曲面
５４ｂ 曲面
５５ａ 斜面
５５ｂ 斜面
６０ 突出部
６１ 曲面部
６２ 平面部
７０ 突出部
７１ 曲面部
７２ 平面部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ペリクル膜とペリクル膜を支持する支持枠とからなるペリクルを輸送するためのペリクル収納容器およびペリクル収納容器用の挟持部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体回路パターンの製造工程の一部であるリソグラフィ工程で使用されるフォトマスク上に異物が付着すると、その異物のパターンが転写され、半導体チップの多くを不良品としてしまう危険性がある。このため、従来からフォトマスクの防塵を目的に、ペリクルが用いられている。
【０００３】
ペリクルは、一般的に、ニトロセルロース等の透明な高分子膜からなる厚さ約１０ミクロン程度のペリクル膜と、それを一方の周端面にて支持する厚さ数ミリ程度の支持枠とから構成されている。支持枠におけるペリクル膜と反対側の周端面には、フォトマスクに支持枠を固定するためのフィルム付きの粘着材が備えられている。粘着材は、ペリクルをフォトマスク上に配置した際にフォトマスクと支持枠との間に隙間ができないように、均一の厚みをもって備え付けられている。
【０００４】
フォトマスクに支持枠を固定する際には、フォトマスクの上方にペリクル膜が配置されるようにペリクルをセッティングし、フィルムを剥がして粘着材を介して支持枠をフォトマスクに固定して、フォトマスク上に異物が付くことを防止している。
【０００５】
また、近年、ペリクルは、液晶表示体の製造工程におけるリソグラフィ工程で使用されるフォトマスク用防塵手段としても多用されてきている。液晶表示体は、シリコンウェハに比べて大きな面積を有する。最近では、液晶表示体の大型化が進み、これに伴い、ペリクル膜も大型化し、１０００ｍｍ×１０００ｍｍ以上の大型ペリクル膜も多く使用されている。
【０００６】
一般に、ペリクルを製造元から使用者に輸送するには、樹脂製のペリクル収納容器が用いられる。ペリクル収納容器は、主に、ペリクルを載置するトレイと、そのトレイの上から被せる蓋とから構成される。トレイと蓋とを固定する方法としては、例えば、両者の外周部を互いに密着する方向に挟みつける固定部品で固定する方法が知られている（特許文献１を参照。）。
【特許文献１】特開平７−１４２５６２号公報（段落番号００１２、図１等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、ペリクル収納容器の大型化が進むと、上述の固定部品を用いてトレイと蓋とを挟んでも、その挟持する長手方向の挟持力の均一化を図ることが難しく、挟持力の弱い部分に生じた隙間から異物が入る危険性がある。
【０００８】
本発明は、上記課題に鑑み、トレイと蓋との挟持する長手方向において、挟持力の差を小さくすることができるペリクル収納容器およびそのペリクル収納容器に用いられる挟持部材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、本発明は、ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とからなるペリクルを輸送するためのペリクル収納容器であって、トレイと、その蓋となるカバーと、トレイとカバーを挟持する挟持部材とを備え、挟持部材が、カバーとトレイとを挟持した状態において、カバーに接してカバーをトレイ側に押しつける第一押圧部と、カバーとトレイとを挟持した状態において、トレイに接してトレイをカバー側に押しつける第二押圧部と、第一押圧部と第二押圧部とを連接する連接部とを有し、連接部におけるペリクル収納容器の辺長方向の開放端部の厚さはが２つの開放端部の間の厚さよりも大きいペリクル収納容器としている。
【００１０】
このため、連接部におけるペリクル収納容器の辺長方向の開放端部の剛性が高まり、挟持部材における当該辺長方向中央付近の挟持力と、開放端部の挟持力との差を小さくすることができる。したがって、トレイとカバーとの密着性が高まり、外部から容器内に異物が入り込む危険性を低減できる。ここで、「辺長方向」とは、ペリクル収納容器の各辺の長手方向をいう。各辺には、トレイとカバーとを挟持するための挟持部材を装着するので、「辺長方向」は、「挟持する長手方向」に相当する。
【００１１】
また、別の本発明は、先の発明における開放端部において、第一押圧部若しくは第二押圧部と連接部との接合部分を、その接合部分以外の部分より厚くしたペリクル収納容器としている。
【００１２】
このため、挟持部材におけるペリクル収納容器の辺長方向中央付近の挟持力と、当該辺長方向の開放端部の挟持力との差をより小さくすることができる。したがって、トレイとカバーとの密着性が高まり、外部から容器内に異物が入り込む危険性をより低減できる。
【００１３】
また、本発明は、ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とからなるペリクルを輸送するためのペリクル収納容器であって、トレイと、その蓋となるカバーと、トレイとカバーを挟持する挟持部材とを備え、挟持部材は、カバーとトレイとを挟持した状態において、カバーに接してカバーをトレイ側に押しつける第一押圧部と、カバーとトレイとを挟持した状態において、トレイに接してトレイをカバー側に押しつける第二押圧部と、第一押圧部と第二押圧部とを連接する連接部とを有し、第一押圧部または第二押圧部の少なくともいずれか一方の押圧部におけるペリクル収納容器の辺長方向の開放端部の厚さを、２つの開放端部の間の厚さよりも大きくしたペリクル収納容器としている。
【００１４】
このため、第一押圧部および第二押圧部におけるペリクル収納容器の辺長方向の開放端部の剛性が高まり、挟持部材における当該辺長方向中央付近の挟持力と、開放端部の挟持力との差を小さくすることができる。したがって、トレイとカバーとの密着性が高まり、外部から容器内に異物が入り込む危険性を低減できる。
【００１５】
また、本発明は、ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とからなるペリクルを輸送するためのペリクル収納容器のトレイとその蓋となるカバーとを挟持するペリクル収納容器用の挟持部材であって、カバーとトレイとを挟持した状態において、カバーに接してカバーをトレイ側に押しつける第一押圧部と、カバーとトレイとを挟持した状態において、トレイに接してトレイをカバー側に押しつける第二押圧部と、第一押圧部と第二押圧部とを連接する連接部とを有し、連接部におけるペリクル収納容器の辺長方向の開放端部の厚さを、２つの開放端部の間の厚さよりも大きくしたペリクル収納容器用の挟持部材としている。
【００１６】
このため、本発明に係るペリクル収納容器用の挟持部材を用いることによって、連接部におけるペリクル収納容器の辺長方向の開放端部の剛性が高まり、挟持部材における当該辺長方向中央付近の挟持力と、開放端部の挟持力との差を小さくすることができる。したがって、トレイとカバーとの密着性が高まり、外部から容器内に異物が入り込む危険性を低減できる。
【００１７】
また、別の本発明は、先の発明における開放端部において、第一押圧部若しくは第二押圧部と連接部との接合部分を、その接合部分以外の部分より厚くしたペリクル収納容器用の挟持部材としている。
【００１８】
このため、本発明に係るペリクル収納容器用の挟持部材を用いることによって、挟持部材におけるペリクル収納容器の辺長方向中央付近の挟持力と、当該辺長方向の開放端部の挟持力との差をより小さくすることができる。したがって、トレイとカバーとの密着性が高まり、外部から容器内に異物が入り込む危険性をより低減できる。
【００１９】
また、本発明は、ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とからなるペリクルを輸送するためのペリクル収納容器のトレイとその蓋となるカバーとを挟持するペリクル収納容器用の挟持部材であって、カバーとトレイとを挟持した状態において、カバーに接してカバーをトレイ側に押しつける第一押圧部と、カバーとトレイとを挟持した状態において、トレイに接してトレイをカバー側に押しつける第二押圧部と、第一押圧部と第二押圧部とを連接する連接部とを有し、第一押圧部または第二押圧部の少なくともいずれか一方の押圧部におけるペリクル収納容器の辺長方向の開放端部の厚さを、２つの開放端部の間の厚さよりも大きくしたペリクル収納容器用の挟持部材としている。
【００２０】
このため、本発明に係るペリクル収納容器用の挟持部材を用いることによって、第一押圧部および第二押圧部におけるペリクル収納容器の辺長方向の開放端部の剛性が高まり、挟持部材における当該辺長方向中央付近の挟持力と、開放端部の挟持力との差を小さくすることができる。したがって、トレイとカバーとの密着性が高まり、外部から容器内に異物が入り込む危険性を低減できる。
【００２１】
本発明に係るペリクル収納容器を構成するトレイとカバーとを挟持する挟持部材に用いられる材料は、特に限定されないが、ウレタン結合を有するゴム状弾性体であるウレタンエラストマーとするのが好ましい。特に、ポリオールとしてポリエーテルポリオール等のポリエーテルを用いて製造されるポリエーテル系ウレタンエラストマー、ポリオールとしてポリエステルポリオール等のポリエステルを用いて製造されるポリエステル系ウレタンエラストマーが好ましい。ただし、ポリエーテルおよびポリエステル以外のポリオールとして、ヒドロキシ末端ポリブタジエン及び部分的／完全に水素添加した誘導体、ポリカプロラクトンポリオール、ポリカーボネートポリオール等を用いて製造されるウレタンエラストマーを用いても良い。
【００２２】
本発明に係るペリクル収納容器を構成するトレイおよびカバーの材料には、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン樹脂（ＡＢＳ樹脂）の他、ポリエチレンテレフタレート樹脂等のポリエステル樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン樹脂、ポリスチレン樹脂等を用いることができ、特に、ＡＢＳ樹脂を用いるのがより好ましい。ただし、上述の樹脂は一例に過ぎず、他の樹脂材料を採用しても良い。
【００２３】
本発明に係るペリクル収納容器は、好適には射出成形または押出成形にて製造される。また、金型成形において、金型内部を真空にする真空成形、樹脂側から金型方向にガス圧を及ぼして成形する圧空成形、または真空成形と圧空成形の両方を組み合わせた圧空真空成形を採用することができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、ペリクル収納容器を構成するトレイと蓋とを挟持する長手方向において、挟持力の差を小さくすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明に係るペリクル収納容器の好適な各実施の形態について、図面を参照しながら詳述するが、本発明はこれに限定されるものではない。また、本発明に係るペリクル収納容器用の挟持部材の各実施の形態については、各実施の形態に係るペリクル収納容器の説明の中で説明する。各実施の形態の説明において、「上」および「下」は、それぞれトレイに対するカバーの位置方向およびカバーに対するトレイの位置方向をいう。
【００２６】
（第一の実施の形態）
図１は、本発明の第一の実施の形態に係るペリクル収納容器の分解斜視図である。また、図２は、図１に示すペリクル収納容器に挟持部材を装着した状態を示す斜視図である。
【００２７】
図１および図２に示すように、ペリクル収納容器１は、トレイ３と、その蓋であるカバー２とを備えている。カバー２とトレイ３とは、互いの外周部において重ね合わせるように接合できる構造を有している。ペリクルをペリクル収納容器１内に収納して輸送する際には、カバー２とトレイ３の両外周部に、当該外周部を挟持して固定するための挟持部材４が装着される。この実施の形態では、カバー２およびトレイ３は共に矩形の凹状体としているので、挟持部材４は、四辺に装着できるように、４つ用意される。ただし、後述するように、四辺に各１個の挟持部材４を装着せずに、各辺に複数の挟持部材を装着したり、各辺の装着個数を変えたり、一部の辺に挟持部材を装着しなくてもよい。
【００２８】
挟持部材４は、カバー２とトレイ３との両外周部を挟持する機能を有している。挟持部材４は、好適には、ポリエーテルポリオールおよび鎖延長剤と、ジイソシアネートとを重合させて製造したウレタンエラストマーの板状体を射出成形あるいは押出成形することにより得られる成形体である。挟持部材４の材料をウレタンエラストマーとすることにより、挟持部材４の着脱を繰り返しても、摩耗粉等が発生しにくい。
【００２９】
カバー２およびトレイ３は、元板の厚さが約３ｍｍのＡＢＳ樹脂を原料とし、真空成形用金型を用いた真空成形法により製造される。ただし、ＡＢＳ樹脂以外の樹脂を用いても良い。さらに、元板の厚みは３ｍｍに限定されず、３ｍｍより薄いあるいは３ｍｍを超える板状の樹脂を成形してもよい。
【００３０】
図３は、図２に示すペリクル収納容器１をＡ−Ａ線にて切断した際の断面図である。
【００３１】
カバー２は、トレイ３と対向する側に開口部を有する凹状体である。カバー２は、平面形状のカバー天面２０と、当該カバー天面２０から開口方向に広がるように筒状に形成される側面２１と、当該側面２１から水平に外方向に延出される水平面２２と、当該水平面２２から開口方向に広がるように筒状に形成される側面２３と、当該側面２３から水平に外方向に延出される水平面２４と、当該水平面２４から略垂直上向きに延びる垂直面２５と、当該垂直面２５から水平に外方向に延出される水平面２６とを備えている。
【００３２】
一方、トレイ３は、カバー２と対向する側に丘を形成させた開口部を有する凹状体である。トレイ３は、側面２１の開口面積よりも大きい平面形状のトレイ底面３０と、当該トレイ底面３０からその周囲にカバー２と逆側に下方傾斜させた斜面３１と、当該斜面３１から水平に外方向に延出される水平面３２と、当該水平面３２から略垂直上向きに延びる垂直面３３と、当該垂直面３３から水平に外方向に延出される水平面３４とを備えている。
【００３３】
カバー２の水平面２２とトレイ底面３０とは、上下方向に対向する重複部分を有しており、この部分で、後述するペリクルの支持枠が挟持される。また、カバー２の水平面２４、垂直面２５および水平面２６とから構成されるクランク形状部分は、トレイ３の水平面３２、垂直面３３および水平面３４から構成されるクランク形状部分とほぼ同じ形状であり、カバー２側のクランク形状部分の下面がトレイ３側のクランク形状部分の上面と密着可能となっている。カバー２の水平面２６とトレイ３の水平面３４とは、上述の挟持部材４で挟持されて固定される。
【００３４】
図４は、図３に示すペリクル収納容器１に収納するペリクル５を図２に示すＡ−Ａ線で切断した際の断面図である。
【００３５】
ペリクル５は、ニトロセルロース等の材質からなる厚さ１０ミクロン以下のペリクル膜６を、四角枠形状の支持枠７の一方の端面（図４における上面）に展張して張り付けた構成を有している。支持枠７の高さは、約５ｍｍである。ただし、ペリクル膜５の材質および厚さならびに支持枠７の高さは、上記に限定されるものではない。
【００３６】
図４におけるＸで示される部分の拡大図に示すように、支持枠７におけるペリクル膜６と反対側の周端面（底面）には、粘着材８が備えられている。粘着材８の表面には、通常、薄い剥離シート（不図示）が貼られている。ペリクル５を使用する場合には、当該剥離シートを粘着材８から剥がして、粘着力を発揮し得る状態としてから、支持枠７をフォトマスクに貼り付けて固定する。
【００３７】
図５は、図３に示すペリクル収納容器１内に、図４に示すペリクル５を収納した状態を示す図である。
【００３８】
ペリクル５は、その支持枠７の底面をトレイ底面３０に載置し、支持枠７の上面をカバー２の水平面２２に接触させた状態で、ペリクル収納容器１内に収納される。このように、支持枠７の高さ方向をカバー２とトレイ３とで挟持した状態にて輸送されるので、ペリクル５がペリクル収納容器１内で動く危険性は低くなる。
【００３９】
図６は、図２に示すペリクル収納容器１を挟持部材４の端面４ａに沿って矢印Ｓから切断した切断面近傍の部分拡大図である。図中、切断面を斜線の領域で示している。
【００４０】
図６に示すように、挟持部材４は、それを装着した際にカバー２に接してトレイ３側に押しつける第一押圧部４１と、トレイ３に接してカバー２側に押しつける第二押圧部４２と、第一押圧部４１と第二押圧部４２とを連接する連接部４３とを備えている。連接部４３は、第一押圧部４１および第二押圧部４２のそれぞれの上端から所定長さ下方に移動した部位に接続されている。
【００４１】
第一押圧部４１は、カバー２の垂直面２５に接するように立設された板状体であり、カバー２に接する端部に凸部４７を有している。第二押圧部４２は、第一押圧部４１よりも長く、トレイ３の外面から下面に至る折曲形状を有している。第二押圧部４２は、上方から下方に向かって、立設された板状体４４と、その板状体４４の下端からトレイ３の水平面３２の角部まで斜めに延出される板状体４５と、その板状体４５の下端から水平面３２の下面に沿って水平に延出される板状体４６とから構成されている。また、第二押圧部４２は、トレイ３の水平面３４と垂直面３３との角部およびトレイ３における水平面３２の下面に接する箇所に、それぞれ、凸部４８および凸部４９を有している。
【００４２】
図７は、挟持部材４を第一押圧部４１側から見た斜視図である。図８は、挟持部材４を、図７に示す点線で囲まれた仮想平面Ｂにより切断した第二押圧部４２側を示す図である。図８における斜線の部分は、仮想平面Ｂにて切断した切断面である。なお、図７以降の図において、第二押圧部４２を構成する板状体４４，４５，４６に、「（４２）」を付している。
【００４３】
連接部４３は、ペリクル収納容器１の辺長方向に沿って異なる厚さ（上下方向の厚さ）を有する。挟持部材４の両開放端部における厚さＸは、両開放端部に挟まれた内方部分の厚さＹよりも大きい。連接部４３の上面は、一方の開放端部側から他方の開放端部に向かって、略水平の上面５３、上面５３から下方に傾斜する斜面５２、斜面５２から略水平に延出する水平面５１、水平面５１から上方に傾斜する斜面５２、斜面５２に続く上面５３から構成されている。連接部４３の下面５０は、略水平の水平面である。このように、連接部４３の下面５０と上面５３との間の距離（厚さＸ）は、連接部４３の下面５０と水平面５１との間の距離（厚さＹ）よりも大きい。開放端部における連接部４３を肉厚化することによって、挟持部材４の中央部分と開放端部における両挟持力の差を低減でき、カバー２およびトレイ３の辺長方向に沿って、できるだけ均一な挟持力をもってカバー２とトレイ３とを挟持することが可能となる。なお、連接部４３の上側の面にのみ凹凸を形成して両開放端部の肉厚化を図る以外に、連接部４３の下面５０あるいは上下両面に凹凸を形成して両開放端部の肉厚化を図っても良い。
【００４４】
（第二の実施の形態）
次に、本発明に係るペリクル収納容器の第二の実施の形態について説明する。なお、この実施の形態において、前述の実施の形態と共通する部分については、同じ符号を付し、その部分の説明を省略する。
【００４５】
図９は、本発明の第二の実施の形態に係るペリクル収納容器１に用いられる挟持部材４を第一押圧部４１側から見た斜視図である。図１０は、図９に示す点線で囲まれた部分Ｐを拡大して示す斜視図である。
【００４６】
図９に示す挟持部材４は、挟持部材４の開放端部において、連接部４３の第一押圧部４１および第二押圧部４２との接合部分が、その両接合部分以外の部分よりも厚くなるような形態を有している。すなわち、連接部４３は、両開放端部がその内方よりも肉厚にしている以外に、両開放端部において第一押圧部４１と第二押圧部４２との接合部分を両接合部の間の部分よりも肉厚にしている点で、第一の実施の形態に係る挟持部材４と異なる。開放端部の連接部４３の上方の面は、第一押圧部４１側から下方に向かって形成される曲面５４ａと、略水平の上面５３と、その上面５３から上方に向かって形成される曲面５４ｂとから構成されている。一方、開放端部の連接部４３の下面５０は、第一押圧部４１から第二押圧部４２にわたって略水平である。このような構成により、開放端部における連接部４３では、第一押圧部４１および第二押圧部４２と連接部４３との接合部分が最も厚く、上面５３を有する部分が最も薄くなっている。
【００４７】
このように、開放端部において、連接部４３と第一押圧部４１および第二押圧部４２との各接合部分を肉厚化することによって、挟持部材４の中央部分と開放端部における両挟持力の差を低減でき、カバー２およびトレイ３の辺長方向に沿って、さらに均一な挟持力をもってカバー２とトレイ３とを挟持することが可能となる。なお、第一押圧部４１または第二押圧部４２のいずれか一方のみと連接部４３との接合部分を肉厚化しても良い。また、斜面５２を設けずに、水平面５１のまま両開放端部まで延出し、両開放端部において第一押圧部４１および第二押圧部４２と連接部４３との接合部分を肉厚化する構造を採用しても良い。
【００４８】
（第三の実施の形態）
次に、本発明に係るペリクル収納容器の第三の実施の形態について説明する。なお、この実施の形態において、前述の実施の形態と共通する部分については、同じ符号を付し、その部分の説明を省略する。
【００４９】
図１１は、本発明の第三の実施の形態に係るペリクル収納容器１に用いられる挟持部材４を第一押圧部４１側から見た斜視図である。図１２は、図１１に示す点線で囲まれた部分Ｐを拡大して示す斜視図である。
【００５０】
図１１に示す挟持部材４は、挟持部材４の両開放端部において、連接部４３を肉厚にせずに、第一押圧部４１および第二押圧部４２を肉厚化したものである。両開放端部において、第一押圧部４１の外側には突出部７０が、第二押圧部４２の外側には突出部６０が、それぞれ形成されている。突出部７０は、第一押圧部４１から続く曲面部７１と、その曲面部７１から第一押圧部４１の外面に平行な平面部７２とを備えている。同様に、突出部６０は、第二押圧部４２から続く曲面部６１と、その曲面部６１から第二押圧部４２の外面に平行な平面部６２とを備えている。ただし、曲面部６１，７１は、必須の部分ではなく、第一押圧部４１あるいは第二押圧部４２からほぼ直角にそれぞれ突出する突出部６０，７０を備えるようにしても良い。
【００５１】
このように、開放端部において、第一押圧部４１と第二押圧部４２とを肉厚化することによって、挟持部材４の中央部分と開放端部における両挟持力の差を低減でき、カバー２およびトレイ３の辺長方向に沿って、できるだけ均一な挟持力をもってカバー２とトレイ３とを挟持することが可能となる。なお、第一押圧部４１または第二押圧部４２のいずれか一方のみを肉厚化しても良い。
【００５２】
（第四の実施の形態）
次に、本発明に係るペリクル収納容器の第四の実施の形態について説明する。なお、この実施の形態において、前述の実施の形態と共通する部分については、同じ符号を付し、その部分の説明を省略する。
【００５３】
図１３は、本発明の第四の実施の形態に係るペリクル収納容器１に用いられる挟持部材４を第一押圧部４１側から見た斜視図である。図１４は、図１３に示す点線で囲まれた部分Ｐを拡大して示す斜視図である。
【００５４】
図１３に示す挟持部材４は、第二の実施の形態に係る挟持部材４と第三の実施の形態に係る挟持部材４の各特徴部分を両方とも備えたものである。すなわち、連接部４３は、両開放端部が両開放端部の間の部分よりも肉厚化され、両開放端部において連接部４３と第一押圧部４１および第二押圧部４２との両接合部分が当該両接合部分以外の箇所よりも肉厚化され、かつ第一押圧部４１および第二押圧部４２が肉厚化されている。
【００５５】
このように、開放端部において、連接部４３、第一押圧部４１、第二押圧部４２をそれぞれ肉厚化することによって、挟持部材４の中央部分と開放端部における両挟持力の差をより低減でき、カバー２およびトレイ３の辺長方向に沿って、より均一な挟持力をもってカバー２とトレイ３とを挟持することが可能となる。なお、第一押圧部４１または第二押圧部４２のいずれか一方のみを肉厚化しても良い。さらに、第一押圧部４１および／または第二押圧部４２の内面側を肉厚化しても良い。また、斜面５２を設けずに、水平面５１のまま両開放端部まで延出し、両開放端部において第一押圧部４１および第二押圧部４２と連接部４３との接合部分を肉厚化する構造を採用しても良い。
【００５６】
（第五の実施の形態）
次に、本発明に係るペリクル収納容器の第五の実施の形態について説明する。なお、この実施の形態において、前述の実施の形態と共通する部分については、同じ符号を付し、その部分の説明を省略する。
【００５７】
図１５は、本発明の第五の実施の形態に係るペリクル収納容器１に用いられる挟持部材４を第一押圧部４１側から見た斜視図である。図１６は、図１５に示す点線で囲まれた部分Ｐを拡大して示す斜視図である。
【００５８】
図１５に示す挟持部材４は、両開放端部において、連接部４３の上方の面を、第一押圧部４１側から下方に向かって形成される斜面５５ａと、略水平の上面５３と、その上面５３から上方に向かって形成される斜面５５ｂとから構成している点を除き、第四の実施の形態に係る挟持部材４（図１３、図１４）と同様の形態を有している。このように、曲面５４に替えて、斜面５５ａ，５５ｂを設けても、挟持部材４の中央部分と開放端部における両挟持力の差をより低減でき、カバー２およびトレイ３の辺長方向に沿って、より均一な挟持力をもってカバー２とトレイ３とを挟持することが可能となる。なお、第一押圧部４１または第二押圧部４２のいずれか一方のみを肉厚化しても良い。さらに、第一押圧部４１および／または第二押圧部４２の内面側を肉厚化しても良い。また、斜面５２を設けずに、水平面５１のまま両開放端部まで延出し、両開放端部において第一押圧部４１および第二押圧部４２と連接部４３との接合部分を肉厚化する構造を採用しても良い。
【００５９】
（第六の実施の形態）
次に、本発明に係るペリクル収納容器の第六の実施の形態について説明する。なお、この実施の形態において、前述の実施の形態と共通する部分については、同じ符号を付し、その部分の説明を省略する。
【００６０】
図１７は、本発明の第六の実施の形態に係るペリクル収納容器１の斜視図である。
【００６１】
図１７に示すように、挟持部材４をカバー２とトレイ３の各辺方向に１つのみとせずに、複数装着するようにしても良い。その場合であっても、各挟持部材４の両開放端部において、第一押圧部４１および／または第二押圧部４２を肉厚化することができる。また、各挟持部材４の両開放端部において、連接部４３におけるペリクル収納容器１の辺長方向の肉厚化および／または第一押圧部４１と第二押圧部４２とを結ぶ方向において、各押圧部４１，４２と連接部４３との接合部分の肉厚化を行うことができる。
【００６２】
以上、本発明に係るペリクル収納容器およびペリクル収納容器用の挟持部材の好適な各実施の形態について説明したが、本発明に係るペリクル収納容器およびペリクル収納容器用の挟持部材は、上述の各実施の形態に限定されず、種々変形した形態にて実施可能である。
【００６３】
上述の挟持部材４以外の形態を有する挟持部材を採用することもできる。例えば、カバー２の垂直面２５とトレイ３の垂直面３３とを挟持する挟持部材、カバー２の水平面２４とトレイ３の水平面３２とを挟持する挟持部材、カバー２の水平面２６とトレイ３の水平面３２とを挟持する挟持部材を採用してもよい。すなわち、挟持部材４は、カバー２とトレイ３とを挟持する部材であり、カバー２に接してトレイ３側に押圧する第一押圧部材と、トレイ３に接してカバー２側に押圧する第二押圧部材と、各押圧部材を連接する連接部とを備えるのであれば、カバー２とトレイ３の形状に応じて適切な形状を採用できる。
【産業上の利用可能性】
【００６４】
本発明は、ペリクルを輸送するための収納容器を製造あるいは使用する産業において利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明の第一の実施の形態に係るペリクル収納容器の分解斜視図である。
【図２】図１に示すペリクル収納容器に挟持部材を装着する状況を示す斜視図である。
【図３】図２に示すペリクル収納容器を、Ａ−Ａ線にて切断した際の断面図である。
【図４】図３に示すペリクル収納容器に収納するペリクルを、図２に示すＡ−Ａ線と同様の線で切断した際の断面図である。
【図５】図３に示すペリクル収納容器内に、図４に示すペリクルを収納した状態の断面図である。
【図６】図２に示すペリクル収納容器を挟持部材の端面に沿って矢印Ｓから切断した切断面近傍の部分拡大図である。
【図７】図６に示す挟持部材を第一押圧部側から見た斜視図である。
【図８】図７に示す挟持部材を、図７に示す点線で囲まれた仮想平面Ｂにより切断した第二押圧部側を示す図である。
【図９】本発明の第二の実施の形態に係るペリクル収納容器に装着される挟持部材を第一押圧部側から見た斜視図である。
【図１０】図９に示す挟持部材における図９に示す点線で囲まれた部分Ｐを拡大して示す図である。
【図１１】本発明の第三の実施の形態に係るペリクル収納容器に装着される挟持部材を第一押圧部側から見た斜視図である。
【図１２】図１１に示す挟持部材における図１１に示す点線で囲まれた部分Ｐを拡大して示す図である。
【図１３】本発明の第四の実施の形態に係るペリクル収納容器に装着される挟持部材を第一押圧部側から見た斜視図である。
【図１４】図１３に示す挟持部材における図１３に示す点線で囲まれた部分Ｐを拡大して示す図である。
【図１５】本発明の第五の実施の形態に係るペリクル収納容器に装着される挟持部材を第一押圧部側から見た斜視図である。
【図１６】図１５に示す挟持部材における図１５に示す点線で囲まれた部分Ｐを拡大して示す図である。
【図１７】本発明の第六の実施の形態に係るペリクル収納容器の斜視図である。
【符号の説明】
【００６６】
１ ペリクル収納容器
２ カバー
３ トレイ
４ 挟持部材
５ ペリクル
６ ペリクル膜
７ 支持枠
８ 粘着材
２０ カバー天面
２１ 側面
２２ 水平面
２３ 側面
２４ 水平面
２５ 垂直面
２６ 水平面
３０ トレイ底面
３１ 斜面
３２ 水平面
３３ 垂直面
３４ 水平面
４１ 第一押圧部
４２ 第二押圧部
４３ 連接部
４４ 板状体
４５ 板状体
４６ 板状体
４７ 凸部
４８ 凸部
４９ 凸部
５０ 下面
５１ 水平面
５２ 斜面
５３ 上面
５４ａ 曲面
５４ｂ 曲面
５５ａ 斜面
５５ｂ 斜面
６０ 突出部
６１ 曲面部
６２ 平面部
７０ 突出部
７１ 曲面部
７２ 平面部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とからなるペリクルを輸送するためのペリクル収納容器であって、
トレイと
その蓋となるカバーと、
上記トレイと上記カバーを挟持する挟持部材と、
を備え、
上記挟持部材は、
上記カバーと上記トレイとを挟持した状態において、上記カバーに接して上記カバーを上記トレイ側に押しつける第一押圧部と、
上記カバーと上記トレイとを挟持した状態において、上記トレイに接して上記トレイを上記カバー側に押しつける第二押圧部と、
上記第一押圧部と上記第二押圧部とを連接する連接部と、
を有し、
上記連接部における上記ペリクル収納容器の辺長方向の開放端部の厚さは、２つの上記開放端部の間の厚さよりも大きいことを特徴とするペリクル収納容器。
【請求項２】
前記開放端部において、前記第一押圧部若しくは前記第二押圧部と前記連接部との接合部分を、その接合部分以外の部分より厚くしていることを特徴とする請求項１に記載のペリクル収納容器。
【請求項３】
ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とからなるペリクルを輸送するためのペリクル収納容器であって、
トレイと
その蓋となるカバーと、
上記トレイと上記カバーを挟持する挟持部材と、
を備え、
上記挟持部材は、
上記カバーと上記トレイとを挟持した状態において、上記カバーに接して上記カバーを上記トレイ側に押しつける第一押圧部と、
上記カバーと上記トレイとを挟持した状態において、上記トレイに接して上記トレイを上記カバー側に押しつける第二押圧部と、
上記第一押圧部と上記第二押圧部とを連接する連接部と、
を有し、
上記第一押圧部または上記第二押圧部の少なくともいずれか一方の押圧部における上記ペリクル収納容器の辺長方向の開放端部の厚さは、２つの上記開放端部の間の厚さよりも大きいことを特徴とするペリクル収納容器。
【請求項４】
ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とからなるペリクルを輸送するためのペリクル収納容器のトレイとその蓋となるカバーとを挟持するペリクル収納容器用の挟持部材であって、
上記カバーと上記トレイとを挟持した状態において、上記カバーに接して上記カバーを上記トレイ側に押しつける第一押圧部と、
上記カバーと上記トレイとを挟持した状態において、上記トレイに接して上記トレイを上記カバー側に押しつける第二押圧部と、
上記第一押圧部と上記第二押圧部とを連接する連接部と、
を有し、
上記連接部における上記ペリクル収納容器の辺長方向の開放端部の厚さは、２つの上記開放端部の間の厚さよりも大きいことを特徴とするペリクル収納容器用の挟持部材。
【請求項５】
前記開放端部において、前記第一押圧部若しくは前記第二押圧部と前記連接部との接合部分を、その接合部分以外の部分より厚くしていることを特徴とする請求項４に記載のペリクル収納容器用の挟持部材。
【請求項６】
ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とからなるペリクルを輸送するためのペリクル収納容器のトレイとその蓋となるカバーとを挟持するペリクル収納容器用の挟持部材であって、
上記カバーと上記トレイとを挟持した状態において、上記カバーに接して上記カバーを上記トレイ側に押しつける第一押圧部と、
上記カバーと上記トレイとを挟持した状態において、上記トレイに接して上記トレイを上記カバー側に押しつける第二押圧部と、
上記第一押圧部と上記第二押圧部とを連接する連接部と、
を有し、
上記第一押圧部または上記第二押圧部の少なくともいずれか一方の押圧部における上記ペリクル収納容器の辺長方向の開放端部の厚さを、２つの上記開放端部の間の厚さよりも大きくしていることを特徴とするペリクル収納容器用の挟持部材。
【請求項１】
ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とからなるペリクルを輸送するためのペリクル収納容器であって、
トレイと
その蓋となるカバーと、
上記トレイと上記カバーを挟持する挟持部材と、
を備え、
上記挟持部材は、
上記カバーと上記トレイとを挟持した状態において、上記カバーに接して上記カバーを上記トレイ側に押しつける第一押圧部と、
上記カバーと上記トレイとを挟持した状態において、上記トレイに接して上記トレイを上記カバー側に押しつける第二押圧部と、
上記第一押圧部と上記第二押圧部とを連接する連接部と、
を有し、
上記連接部における上記ペリクル収納容器の辺長方向の開放端部の厚さは、２つの上記開放端部の間の厚さよりも大きいことを特徴とするペリクル収納容器。
【請求項２】
前記開放端部において、前記第一押圧部若しくは前記第二押圧部と前記連接部との接合部分を、その接合部分以外の部分より厚くしていることを特徴とする請求項１に記載のペリクル収納容器。
【請求項３】
ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とからなるペリクルを輸送するためのペリクル収納容器であって、
トレイと
その蓋となるカバーと、
上記トレイと上記カバーを挟持する挟持部材と、
を備え、
上記挟持部材は、
上記カバーと上記トレイとを挟持した状態において、上記カバーに接して上記カバーを上記トレイ側に押しつける第一押圧部と、
上記カバーと上記トレイとを挟持した状態において、上記トレイに接して上記トレイを上記カバー側に押しつける第二押圧部と、
上記第一押圧部と上記第二押圧部とを連接する連接部と、
を有し、
上記第一押圧部または上記第二押圧部の少なくともいずれか一方の押圧部における上記ペリクル収納容器の辺長方向の開放端部の厚さは、２つの上記開放端部の間の厚さよりも大きいことを特徴とするペリクル収納容器。
【請求項４】
ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とからなるペリクルを輸送するためのペリクル収納容器のトレイとその蓋となるカバーとを挟持するペリクル収納容器用の挟持部材であって、
上記カバーと上記トレイとを挟持した状態において、上記カバーに接して上記カバーを上記トレイ側に押しつける第一押圧部と、
上記カバーと上記トレイとを挟持した状態において、上記トレイに接して上記トレイを上記カバー側に押しつける第二押圧部と、
上記第一押圧部と上記第二押圧部とを連接する連接部と、
を有し、
上記連接部における上記ペリクル収納容器の辺長方向の開放端部の厚さは、２つの上記開放端部の間の厚さよりも大きいことを特徴とするペリクル収納容器用の挟持部材。
【請求項５】
前記開放端部において、前記第一押圧部若しくは前記第二押圧部と前記連接部との接合部分を、その接合部分以外の部分より厚くしていることを特徴とする請求項４に記載のペリクル収納容器用の挟持部材。
【請求項６】
ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とからなるペリクルを輸送するためのペリクル収納容器のトレイとその蓋となるカバーとを挟持するペリクル収納容器用の挟持部材であって、
上記カバーと上記トレイとを挟持した状態において、上記カバーに接して上記カバーを上記トレイ側に押しつける第一押圧部と、
上記カバーと上記トレイとを挟持した状態において、上記トレイに接して上記トレイを上記カバー側に押しつける第二押圧部と、
上記第一押圧部と上記第二押圧部とを連接する連接部と、
を有し、
上記第一押圧部または上記第二押圧部の少なくともいずれか一方の押圧部における上記ペリクル収納容器の辺長方向の開放端部の厚さを、２つの上記開放端部の間の厚さよりも大きくしていることを特徴とするペリクル収納容器用の挟持部材。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【公開番号】特開２００７−３３３９５０（Ｐ２００７−３３３９５０Ａ）
【公開日】平成１９年１２月２７日（２００７．１２．２７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−１６４６８６（Ｐ２００６−１６４６８６）
【出願日】平成１８年６月１４日（２００６．６．１４）
【出願人】（０００１９０１１６）信越ポリマー株式会社 (1,394)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１９年１２月２７日（２００７．１２．２７）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年６月１４日（２００６．６．１４）
【出願人】（０００１９０１１６）信越ポリマー株式会社 (1,394)
【Ｆターム（参考）】
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