ペリクル収納容器
【課題】ペリクル収納容器の軽量化と共に、ペリクルの品質を高く維持できるペリクル収納容器を提供すること。
【解決手段】ペリクル膜およびペリクル膜を支持する支持枠を有するペリクルを、トレイ４と当該トレイ４と対向配置されるカバー１Ａの間に形成される空間に収納して輸送するためのペリクル収納容器１であって、支持枠を保持するための保持部材２を備え、保持部材２は、弾性部材３を介してトレイ４に配置されているペリクル収納容器１としている。
【解決手段】ペリクル膜およびペリクル膜を支持する支持枠を有するペリクルを、トレイ４と当該トレイ４と対向配置されるカバー１Ａの間に形成される空間に収納して輸送するためのペリクル収納容器１であって、支持枠を保持するための保持部材２を備え、保持部材２は、弾性部材３を介してトレイ４に配置されているペリクル収納容器１としている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ペリクル収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネル等に用いられるフォトマスク等には、防塵用の保護膜として、ペリクルが貼り付けられる。ペリクルは、ペリクル膜とペリクル膜を支持する支持枠とから主に構成される。
【０００３】
ペリクルを製造者から使用者に搬送する際には、ペリクル膜に異物等が付着する、あるいはペリクル膜が損傷することを防ぐ必要がある。そのため、トレイとそのカバーとを備えた収納容器にペリクルを入れて搬送するのが一般的である。
【０００４】
近年、液晶パネルの大型化と共に、ペリクルも大型化している。ペリクル収納容器の大型化に伴い、ペリクル収納容器の反りの量が増加している。ペリクル収納容器の反り等により、収納しているペリクル膜が変形あるいは損傷する危険性がある。かかる事態を防止するため、補強部材等によりトレイを補強したペリクル収納容器が考案されている（例えば、特許文献１を参照）。
【特許文献１】特開２００５−８１５３３号公報（特許請求の範囲等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１のペリクル収納容器の場合、補強部材を加えた分、ペリクル収納容器が重くなり、その搬送およびペリクルの収納作業に労力を有するという問題がある。また、ペリクル収納容器が、自重により一層大きく変形する危険性も高まる。
【０００６】
さらに、ペリクル収納容器とペリクルとの温度に対する線膨張率が異なるために、大型のペリクルおよびペリクル収納容器の大型化に伴い、両者の膨張あるいは収縮の幅の差がより大きくなるという問題がある。かかる膨張あるいは収縮に対して何らかの措置を講じないと、ペリクルに大きな応力が加わり、ペリクルの変形や破損が生じる可能性が高くなる。
【０００７】
そこで、本発明は、上記課題を解決すること、すなわち、ペリクル収納容器の軽量化と共に、ペリクルの品質を高く維持できるペリクル収納容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
かかる目的を達成するため、本発明の有利な形態は、ペリクル膜およびペリクル膜を支持する支持枠を有するペリクルを、トレイと当該トレイと対向配置されるカバーの間に形成される空間に収納して輸送するためのペリクル収納容器であって、支持枠を保持するための保持部材を備え、保持部材は、弾性部材を介してトレイに配置されている。
【０００９】
さらに、弾性部材と保持部材との間に載置部材が配置され、保持部材は、外側方向に突出する突出部を有し、突出部を、載置部材に固定することにより、保持部材をトレイに固定するのが好ましい。
【００１０】
また、保持部材は、支持枠と同じあるいはそれよりも小さい線膨張率を有するものとするのが好ましい。
【００１１】
また、保持部材は、繊維強化樹脂から主に構成されるものとすることが好ましい。
【００１２】
また、保持部材は、トレイから着脱可能に配置されているものとすることが好ましい。
【００１３】
また、保持部材と、トレイとは、１５ｍｍ〜４５ｍｍ離間して配置されていることが好ましい。
【００１４】
また、保持部材は、中空であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、ペリクル収納容器の軽量化と共に、ペリクルの品質を高く維持できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明に係るペリクル収納容器の好適な各実施の形態について、図面を参照しながら詳述するが、本発明はこれに限定されるものではない。各実施の形態の説明において、ペリクル収納容器の載置面のうち短辺に沿う方向をＸ軸方向、長辺に沿う方向をＹ軸方向、および載置面からの高さをＺ軸方向とし、トレイからカバーに向かう方向を「上」、カバーからトレイに向かう方向を「下」という。
【００１７】
（第１の実施の形態）
図１は、本実施の形態に係るペリクル収納容器１の分解斜視図である。図２は、図１のペリクル収納容器１のうち、カバー１Ａ以外の部材を組み立てた状態の斜視図である。図３は、図２のペリクル収納容器１をＷ−Ｗ線を含むＺ軸方向に伸びる面で切断した場合の断面図である。図４は、図２のペリクル収納容器１をＴ−Ｔ線を含むＺ軸方向に伸びる面で切断した場合の断面図である。図５は、図２のペリクル収納容器１に、ペリクル２０を配置した場合の上面図である。なお、各図の見やすさを優先するため、各図の縮尺を変えている。
【００１８】
図１に示すように、ペリクル収納容器１は、上側から、カバー１Ａ、保持部材２、弾性部材３、トレイ４を備える。
【００１９】
カバー１Ａは、は、トレイ４と対向する側に開口部を有する凹状体である。例えば、約５ｍｍの厚さの樹脂板等により、形成されている。また、カバー１Ａとトレイ４とは、互いの外周部分において重ね合わせるように接合できる構造を有している。カバー１Ａとトレイ４の固定は、例えば、それぞれの外周部分をクリップ等で留める方法等を採用できる。
【００２０】
保持部材２は、ペリクル２０の支持枠２１を保持するための枠状の部材である。なお、保持部材２の形状は、枠状に限定されず、ペリクル２０の支持枠２１（図３、図４を参照）に沿って形成される棒状、ブロック体等の他の形状であってもよい。本実施の形態において、保持部材２は、長方形の枠部５、その長辺にあってＸ方向外側へ突出する固定部６および突出部７を有する。また、保持部材２は、トレイ４よりも剛性が高い材料により構成されているのが好ましい。さらに、保持部材２は、ペリクル２０の線膨張係数と等しいあるいはそれに近い値の線膨張係数を有する材料から構成されることがより好ましい。なぜなら、ペリクル収納容器１の周囲の温度が変化しても、保持部材２とペリクル２０とが同程度に膨張あるいは収縮するため、ペリクル２０に無理な応力が加わらず、ペリクル２０の変形や破損を防止できるからである。なお、線膨張係数は、ＪＩＳ Ｋ ７１９７に規定される試験方法等により得られる数値で比較することができる。固定部６は、保持部材２にペリクル２０の支持枠２１を固定するための固定部材（不図示）を取り付けるための部分である。本実施の形態において、固定部６は、枠部５の長辺の両端から、Ｘ方向外側へ突出する平板状の部材である。
【００２１】
図１および図２に示すように、突出部７は、保持部材２をトレイ４に固定するために設けられている。本実施の形態において、枠部５の長辺の両端に配置された２つの固定部６の間を略３等分する位置に、突出部７が合計４個配置されている。また、突出部７は、平板状の部材であり、幅広面をＺ方向に向けて、枠部５のＸ方向外側の面からＸ方向外側に向かって突出している。また、突出部７の裏面側には、後述のネジ１２を挿入するための溝が設けられている。
【００２２】
弾性部材３は、保持部材２とトレイ４との間に配置される。弾性部材３は、トレイ４の変形を保持部材２に伝達しにくくするための部材、あるいは保持部材２とトレイ４との相対位置のずれを緩衝するための部材である。本実施の形態において、弾性部材３は、突出部７の下側の面と同じ大きさあるいはそれよりも小さいものである。しかし、弾性部材３は、保持部材２の下側の面の全面に配置されていても良い。本実施の形態において、弾性部材３は、ＸＹ平面状の位置を決めるための貫通孔８を４箇所に有する。
【００２３】
弾性部材３の材料としては、適度な弾性を有する熱可塑性のエラストマー等からなることが好ましい。例えば、ポリエステル系、ポリオレフィン系あるいはポリウレタン等のエラストマーが好適に用いられる。これらの材料は、ペリクル膜への付着物を発生しにくいので、特に好ましい。
【００２４】
トレイ４は、好適には、厚さが約３ｍｍのＡＢＳ樹脂を原料とし、真空成形法により製造される。なお、トレイ４は、ＡＢＳ樹脂以外の樹脂から構成されても良いし、その厚みは３ｍｍに限定されず、３ｍｍより薄いあるいは３ｍｍを超える板状の樹脂を成形してもよい。
【００２５】
また、トレイ４は、上に凹の凹状体であり、例えば、約３ｍｍの板材により形成されている。トレイ４は、外周部分に、Ｚ方向上側に突出する外周部９を有する。また、外周部９の内周側には、段部１０が設けられている。段部１０には、保持部材２の突出部７および弾性部材３が配置される。段部１０に囲まれた領域には、段部１０の上面よりも下方向に凹む凹部１１が形成されている。また、凹部１１の外周は、枠部５の外周よりも小さく、枠部５の内周よりも大きい。
【００２６】
上述のようなペリクル収納容器１には、以下のようにしてペリクル２０が収納される。まず、保持部材２の上面側に、ペリクル膜が固定された支持枠２１が載置される。次に、弾性部材３を突出部５の下面側に介在するように、ペリクル２０を載置した保持部材２をトレイ４に配置する。保持部材２は、そのＸ方向端部およびＹ方向端部が、トレイ４の外周部９の内側に接しないように、トレイ４の開口部内に配置される。最後に、トレイ４の下面側から突出部５に設けられた溝に向かって、トレイ４、弾性部材３および突出部５をネジ１２で緩く留める。
【００２７】
なお、トレイ４の下面には、ネジ１２の挿入部分に、ネジ１２の頭部が収納される溝１４が形成されている。したがって、ネジ１２は、溝１４の内部に収納されて、トレイ４の下面側に突出しない。なお、弾性部材３がトレイ４に対して、数ｍｍ動くことができるように、ネジ１２を必要以上に強く締めないのが好ましい。
【００２８】
また、弾性部材３の下面は、枠部５の下面よりも突出している。そのため、保持部材２は、トレイ４の上面から、弾性部材３により、距離Ｄの間隙を有して離間した状態を保つことができる。なお、保持部材２は、トレイ４と一部で接触していてもよいが、トレイ４と保持部材２とが弾性部材３のみにより支持されている場合には、トレイ４の変形の影響を保持部材２が受けにくく、その結果、ペリクル２０が変形しにくくなる。
【００２９】
このようなペリクル収納容器１を用いることにより、周囲の温度によりトレイ４が膨張あるいは変形した場合に、弾性部材３がその変位を吸収するような役割を果たす。したがって、トレイ４の変形により保持部材２が変形しにくく、保持部材２に載置されているペリクル２０に、無理な応力が加わりにくい。
【００３０】
また、ペリクル２０の下面の全面を覆うトレイ４が、剛性の低い部材から構成される場合であっても弾性部材３がそのトレイ４の変形を吸収できる。したがって、剛性は低いがより軽量な樹脂製のトレイ４と、トレイ４により剛性が高い保持部材２３と組み合せることにより、ペリクル収納容器１が変形してもペリクル２０が変形しにくい。加えて、ペリクル収納容器１の軽量化も図ることができる。
【００３１】
（第２の実施の形態）
次に、第２の実施の形態に係るペリクル収納容器３０について、図面を参照して説明する。
【００３２】
第２の実施の形態に係るペリクル収納容器３０は、第１の実施の形態に係るペリクル収納容器１とは、保持部材２とトレイ４との間の固定方法において異なる。以下、その相違点について主として説明する。以下の説明においては、第１の実施の形態と同一または同種の部材については、同一の符号をなし、その説明を省略または簡略化する。
【００３３】
図６は、本発明の第２の実施の形態に係るペリクル収納容器３０の斜視図および一点鎖線で囲われた部分の拡大斜視図である。ペリクル収納容器１は、上側から、カバー１Ａ、保持部材２、弾性部材３、トレイ４を備える。
【００３４】
第２の実施の形態のペリクル収納容器３０は、保持部材２とトレイ４とを固定するための載置部材４０を有する。載置部材４０は、幅広面をＺ軸方向に向けている板状部材４１に、Ｘ軸方向に貫通する穴４２を有する脚部４３が配置されている。また、板状部材４１の長手方向外側に隣接する下面側には、それぞれ弾性部材４４が配置されている。そして、Ｚ軸方向に板状部材４１を貫通する２箇所のネジ穴および弾性部材４４の孔を通って、トレイ４のネジ穴（不図示）に、上面側からネジ４５が挿入されている。
【００３５】
保持部材２の突出部７は、載置部材４０の脚部４３が有する穴４２の内周と同じあるいはそれよりも小さい外周を有している。
【００３６】
上述のようなペリクル収納容器３０にペリクル２０を収納する場合には、まず、保持部材２の突出部７を載置部材４０の穴４２に通す。次に、保持部材２の枠部５の上面側にペリクル２０を載置する。そして、ペリクル２０が載置された保持部材２をトレイ４の所定の場所に配置する。最後に、突出部７に通された載置部材４０のネジ穴に、上面側からネジ４５を入れて、ネジ止めする。
【００３７】
このようなペリクル収納容器３０は、ペリクル収納容器１と同様に、弾性部材４４により枠部５をトレイ４の上面から浮いた状態を保つことができる。また、第２の実施の形態に係る収納容器３０は、第１の実施の形態に係るペリクル収納容器１と異なり、保持部材２の突出部７に穴を設ける必要がない。硬質の保持部材２に穴を設ける必要がないので、保持部材２の作製が容易になる。さらに、保持部材２に穴を設けないので、保持部材２の強度を高めることができる。
【００３８】
（第３の実施の形態）
次に、第３の実施の形態に係るペリクル収納容器について説明する。第３の実施の形態に係るペリクル収納容器が、上述の各実施の形態に係るペリクル収納容器１，３０と異なるのは、保持部材２の材料である。
【００３９】
第３の実施の形態における保持部材２は、繊維を含有する樹脂から主に構成される。繊維を含有する樹脂としては、ＣＦＲＰ（Ｃａｒｂｏｎ Ｆｉｂｅｒ Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ Ｐｌａｓｔｉｃｓ）が好適に用いられる。ＣＦＲＰは、例えば、プリプレグ法にて製造されたＣＦＲＰを用いることができる。プリプレグ法では、まず、ポリアクリロニトリル繊維を焼成した炭素繊維を一方向に引き揃えた織物に樹脂を含浸させて作成した中間素材（プリプレグ）を、繊維の方向を変えて何枚も積層する。次に、プリプレグを高温下で加圧および硬化することでＣＦＲＰが得られる。しかし、プリプレグ法で作製されたＣＦＲＰに限らず、フィラメントワインディング法やレジントランスファー成形法により成形されたＣＦＲＰを用いてもよい。また、炭素繊維ではなくガラス繊維を樹脂に含有するＧＲＰ（Ｇｌａｓｓ−Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ Ｐｌａｓｔｉｃｓ）等、他の繊維により強化された樹脂を用いてもよい。
【００４０】
上述のような保持部材２とすることで、より軽量かつ強度が高い保持部材２とすることができる。なぜなら、繊維含有樹脂は、非常に高強度であると共に、鉄やアルミなどの金属から構成される保持部材２に比べ、同じ強度あるいは剛性であっても、より軽量であるからである。また、一般的に繊維含有樹脂は、非常に高価であるが、保持部材２は、枠状であるため、トレイ４を繊維含有樹脂で製造する場合に比べて、安価となる。
【００４１】
さらに、一般的に繊維含有樹脂は、温度変化に対して低膨張率であるため、ペリクル２０と、線膨張係数が近いものとなる。したがって、温度が変化した場合に、ペリクル２０に無理な力を加えることが少ないものとなる。
【００４２】
（第４の実施の形態）
次に、第４の実施の形態に係るペリクル収納容器について説明する。
【００４３】
第４の実施の形態に係るペリクル収納容器５０は、第１の実施の形態に係るペリクル収納容器１とは、保持部材とトレイとの固定方法において異なる。以下、その相違点について主として説明する。以下の説明においては、第１の実施の形態と同一または同種の部材については、同一の符号を付し、その説明を省略または簡略化する。
【００４４】
図７は、本発明の第４の実施の形態に係るペリクル収納容器５０の分解斜視図である。また、図８は、図７のＥで示す領域を拡大して示す拡大図である。
【００４５】
第４の実施の形態のペリクル収納容器５０では、保持部材５１とトレイ５２とが接離可能に固定されている。また、保持部材５１は、第１の実施の形態の保持部材２と異なり、突出部７を有していない。さらに、保持部材５１は、後述するシール材５３およびブロック部５４をネジなどにて固定するためのネジ穴５５を有する。たとえば、ネジ穴５５は、保持部材５１の長辺の両端付近およびその長辺を２等分する位置に、４箇所ずつ形成されている。保持部材５１としては、軽量化と剛性の向上とを両方可能にするために、内部が中空の、いわゆる角パイプを用いてもよい。
【００４６】
シール材５３は、保持部材５１とブロック部５４との間を埋めるため、および支持枠２１の外周側の面と接触する緩衝材料として機能する。本実施の形態において、シール材５３は、保持部材５１のネジ穴５５が設けられた領域の上面側に配置される。シール材５３は、下面側が略四角形の底面部６０と、底面部６０の辺のうち、支持枠２１の外周側と接する辺の両端に設けられる壁部６１と、を有する。底面部６０は、保持部材５１のネジ穴５５とＺ軸方向に重なる位置に貫通孔６２を有する。また、１つのシール材５３が有する２つの壁部６１の間は、空隙が形成されている。なお、壁部６１のＺ方向の高さは、支持枠２１のＺ方向の高さよりも高いことが好ましい。また、壁部６１がより衝撃を吸収しやすくするために、壁部６１の外周側に突起６２を設けてもよい。さらに、シール材５３の壁部６１は、支持枠２１と接触するため、耐摩耗性を向上させる目的でウレタン系樹脂から構成されるのが望ましい。このようなシール材５３を用いることで、保持部材５１とトレイ５２との相対位置のずれを壁部６１で緩衝することができる。
【００４７】
ブロック部５４は、シール材５３の底面部６０のＺ軸方向上面側に配置される。また、ブロック部５４は、保持部材５１のネジ穴５５とＺ軸方向で重なる位置に孔を有し、保持部材５１の下方側から挿入されるネジ（不図示）により、シール材５３と一緒に保持部材５１に固定される。また、ブロック部５４は、略立方体の基体部７０と、ピン７１とを有する。基体部７０の内周側は、シール材５３の壁部６１の外周側に接触する。ピン７１は、基体部７０の内部を外周側から内周側へ貫通している。なお、ピン７１の内周側端部は、シール材５３の２つの壁部６１の間に形成された空隙から、内周側に突出している。また、支持枠２１の外側面には非貫通の孔（不図示）が設けられており、そこに、ピン７１の内周側先端が挿入される。各々のピン７１が支持枠２１の外側面に設けられた孔（不図示）に挿入されることにより、支持枠２１は、保持部材５１に固定される。基体部７０およびピン７１は、ＡＢＳ等の樹脂を射出成形して製作することが好ましい。さらに、支持枠２１とピン７１との擦れによる発塵を防止するために、ピン７１の先端に弾性体等を設けてもよい。
【００４８】
図９は、図７のＦで示す領域を拡大して示す拡大斜視図である。トレイ５２には、トレイ４と同様に、Ｚ方向上側に突出する外周部８１、外周部８１の内側の段部８２、そして段部８２の上面よりも下方向に凹む凹部８３が形成されている。しかし、凹部８３の外周は、保持部材５１の外周よりも大きい。さらに、凹部８３の四隅には、受け部８４が形成されている。具体的には、受け部８４は、トレイ５２の底面に配置される底部８５そして、段部８２の内周から１５〜４５ｍｍ程度の幅で突出しているＬ字状の凸部８６を有する。
【００４９】
弾性部材８７は、底部８５の上面および凸部８６の内壁に接触するように受け部８４に配置される。弾性部材８７は、底部８５と略同一の底面を有する底面部８８を有し、ネジ１２などにより固定されている。また、弾性部材８７は、凸部８５との接触面に沿って壁部８９を有する。弾性部材８７の壁部８９と底面部８８により、支持枠２１の角部が収納される。弾性部材８７を介してトレイ５２に保持部材５１が配置されると、トレイ５２と保持部材５１とは、Ｚ方向に１５〜４５ｍｍ、好ましくは、３０ｍｍ以上隔てられて、保持部材５１は、浮いた状態となる。なお、受け部８４の凸部８６は、段部８２の内周から１５〜４５ｍｍ程度の幅で突出しているので、保持部材５１の外周とトレイ５２の内周は、凸部８６が突出している分だけ離間している。ここで、保持部材５１の外周とトレイ５２の内周が４０ｍｍ以上離れ、かつ、保持部材５１の底面とトレイ５２の底面との間が３０ｍｍ以上であることがより好ましい。なぜなら、ペリクル２０が載置された保持部材５１を取り出す際に、保持部材５１の外側から下部に指を入れて、保持部材５１を持ち上げることができるからである。
【００５０】
上述のようなペリクル収納容器５０にペリクル２０を収納する場合には、まず、保持部材５１にシール材５３およびブロック部５４をネジで取り付ける。次に、ペリクル２０を保持部材５１に配置および固定する。具体的には、ペリクル２０の支持枠２１外側面に設けられた孔（不図示）にブロック部５４のピン７１が挿入されることにより、保持部材５１に支持枠２１が固定される。次に、トレイ５２の受け部８４に、保持部材５１の角部を合わせるようにして、ペリクル２０、シール材５３およびブロック部５４が固定された保持部材５１をトレイ５２に配置する。すなわち、保持部材５１は、受け部８４に配置された弾性部材８７を介してトレイ５２の底面から浮いた状態となる。
【００５１】
一方、ペリクル収納容器５０に収納されたペリクル２０を取り出す場合には、保持部材５１の外周と凹部の間に指をいれて、ペリクル２０が載置された保持部材５１を取り出すことができる。そして、ピン７１の内周側先端を支持枠２１の孔（不図示）から抜くことでペリクル２０を保持部材５１から外すことができる。すなわち、剛性の高い保持部材５１に載せたまま、ペリクル２０をトレイ５２から取り出し、所望の場所に載置できる。
【００５２】
また、このようなペリクル収納容器５０は、上述の各実施の形態と同様に、弾性部材８７により支持枠２１および保持部材５１をトレイ５２の上面から浮いた状態を保つことができる。すなわち、トレイ５２が膨張あるいは変形した場合に、弾性部材８７がその変位を吸収するため、ペリクル２０に傷などがつきにくいものとなる。
【００５３】
以上、本発明に係るペリクル収納容器の好適な実施の形態について説明したが、本発明は、上述の各実施の形態に何ら限定されることなく、種々変形した形態にて実施可能である。
【００５４】
例えば、第１の実施の形態では、保持部材２は、固定部６および突出部７を有するものとしたが、これらは必須ではない。保持部材２が突出部７を有していない場合には、枠部５の下面に弾性部材を配置することができる。同様に、保持部材２が固定部６を有していない場合には、枠部５の上面等にペリクル２０の支持枠２１を固定するための部材を配置することができる。
【００５５】
また、上述の実施の形態では、トレイ４，５２は、外周部９，８１および凹部１１，８３を有しているものとしているが、外周部９，８１および凹部１１，８３は必須ではない。しかし、凹部１１，８３があることにより、ペリクル２０がトレイ４，５２に接触することを効果的に防ぐことができる。また、外周部９，８１があることにより、横方向からの異物等が入りにくく、ペリクル２０を汚染から保護できる。
【００５６】
また、上述の実施の形態では、ネジ１２等により、弾性部材３，４４を介して保持部材２をトレイ４に固定するものとしたが、このような形態に限らない。例えば、粘着テープあるいは接着剤等、各部材を固定できるものであればどのようなものを用いて保持部材２と弾性部材３，４４、あるいは弾性部材３，４４とトレイ４とを固定してもよい。
【００５７】
また、第２の実施の形態では、脚部４３を有する載置部材４０としたが、このような形態に限らない。突出部７を挿入あるいは固定できる手段であればどのような手段を用いてもよい。例えば、脚部４３は、貫通する穴４２を有さずに、貫通していない凹部を有するような形態であってもよい。
【００５８】
また、各実施の形態において、保持部材２，５１にペリクル２０を載置した後、保持部材２，５１をトレイ４，５２に載置する形態としているが、このような形態に限らない。トレイ４，５２に保持部材２，５１を載置してから、ペリクル２０を保持部材２，５１に載置してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るペリクル収納容器の分解斜視図である。
【図２】図１のペリクル収納容器のうち、カバー以外の部材を組み立てた状態の斜視図である。
【図３】図２のペリクル収納容器を図２のＷ−Ｗ線で切断し矢印方向に見た場合の断面図である。
【図４】図２のペリクル収納容器を図２のＴ−Ｔ線で切断し矢印方向に見た場合の断面図である。
【図５】図２のペリクル収納容器にペリクルを載置した状態を示す上面図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態に係るペリクル収納容器（カバーを除く）の斜視図および一点鎖線で囲まれた部分の拡大斜視図である。
【図７】本発明の第４の実施の形態に係るペリクル収納容器の分解斜視図である。
【図８】図７のペリクル収納容器のうち、Ｅで示す領域を拡大して示す拡大斜視図である。
【図９】図７のペリクル収納容器うち、Ｆで示す領域を拡大した斜視図である。
【符号の説明】
【００６０】
１，３０，５０ ペリクル収納容器
１Ａ カバー
２，５１ 保持部材
３，４４，８７ 弾性部材
４，５２ トレイ
７ 突出部
２０ ペリクル
２１ 支持枠
４０ 載置部材
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ペリクル収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネル等に用いられるフォトマスク等には、防塵用の保護膜として、ペリクルが貼り付けられる。ペリクルは、ペリクル膜とペリクル膜を支持する支持枠とから主に構成される。
【０００３】
ペリクルを製造者から使用者に搬送する際には、ペリクル膜に異物等が付着する、あるいはペリクル膜が損傷することを防ぐ必要がある。そのため、トレイとそのカバーとを備えた収納容器にペリクルを入れて搬送するのが一般的である。
【０００４】
近年、液晶パネルの大型化と共に、ペリクルも大型化している。ペリクル収納容器の大型化に伴い、ペリクル収納容器の反りの量が増加している。ペリクル収納容器の反り等により、収納しているペリクル膜が変形あるいは損傷する危険性がある。かかる事態を防止するため、補強部材等によりトレイを補強したペリクル収納容器が考案されている（例えば、特許文献１を参照）。
【特許文献１】特開２００５−８１５３３号公報（特許請求の範囲等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１のペリクル収納容器の場合、補強部材を加えた分、ペリクル収納容器が重くなり、その搬送およびペリクルの収納作業に労力を有するという問題がある。また、ペリクル収納容器が、自重により一層大きく変形する危険性も高まる。
【０００６】
さらに、ペリクル収納容器とペリクルとの温度に対する線膨張率が異なるために、大型のペリクルおよびペリクル収納容器の大型化に伴い、両者の膨張あるいは収縮の幅の差がより大きくなるという問題がある。かかる膨張あるいは収縮に対して何らかの措置を講じないと、ペリクルに大きな応力が加わり、ペリクルの変形や破損が生じる可能性が高くなる。
【０００７】
そこで、本発明は、上記課題を解決すること、すなわち、ペリクル収納容器の軽量化と共に、ペリクルの品質を高く維持できるペリクル収納容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
かかる目的を達成するため、本発明の有利な形態は、ペリクル膜およびペリクル膜を支持する支持枠を有するペリクルを、トレイと当該トレイと対向配置されるカバーの間に形成される空間に収納して輸送するためのペリクル収納容器であって、支持枠を保持するための保持部材を備え、保持部材は、弾性部材を介してトレイに配置されている。
【０００９】
さらに、弾性部材と保持部材との間に載置部材が配置され、保持部材は、外側方向に突出する突出部を有し、突出部を、載置部材に固定することにより、保持部材をトレイに固定するのが好ましい。
【００１０】
また、保持部材は、支持枠と同じあるいはそれよりも小さい線膨張率を有するものとするのが好ましい。
【００１１】
また、保持部材は、繊維強化樹脂から主に構成されるものとすることが好ましい。
【００１２】
また、保持部材は、トレイから着脱可能に配置されているものとすることが好ましい。
【００１３】
また、保持部材と、トレイとは、１５ｍｍ〜４５ｍｍ離間して配置されていることが好ましい。
【００１４】
また、保持部材は、中空であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、ペリクル収納容器の軽量化と共に、ペリクルの品質を高く維持できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明に係るペリクル収納容器の好適な各実施の形態について、図面を参照しながら詳述するが、本発明はこれに限定されるものではない。各実施の形態の説明において、ペリクル収納容器の載置面のうち短辺に沿う方向をＸ軸方向、長辺に沿う方向をＹ軸方向、および載置面からの高さをＺ軸方向とし、トレイからカバーに向かう方向を「上」、カバーからトレイに向かう方向を「下」という。
【００１７】
（第１の実施の形態）
図１は、本実施の形態に係るペリクル収納容器１の分解斜視図である。図２は、図１のペリクル収納容器１のうち、カバー１Ａ以外の部材を組み立てた状態の斜視図である。図３は、図２のペリクル収納容器１をＷ−Ｗ線を含むＺ軸方向に伸びる面で切断した場合の断面図である。図４は、図２のペリクル収納容器１をＴ−Ｔ線を含むＺ軸方向に伸びる面で切断した場合の断面図である。図５は、図２のペリクル収納容器１に、ペリクル２０を配置した場合の上面図である。なお、各図の見やすさを優先するため、各図の縮尺を変えている。
【００１８】
図１に示すように、ペリクル収納容器１は、上側から、カバー１Ａ、保持部材２、弾性部材３、トレイ４を備える。
【００１９】
カバー１Ａは、は、トレイ４と対向する側に開口部を有する凹状体である。例えば、約５ｍｍの厚さの樹脂板等により、形成されている。また、カバー１Ａとトレイ４とは、互いの外周部分において重ね合わせるように接合できる構造を有している。カバー１Ａとトレイ４の固定は、例えば、それぞれの外周部分をクリップ等で留める方法等を採用できる。
【００２０】
保持部材２は、ペリクル２０の支持枠２１を保持するための枠状の部材である。なお、保持部材２の形状は、枠状に限定されず、ペリクル２０の支持枠２１（図３、図４を参照）に沿って形成される棒状、ブロック体等の他の形状であってもよい。本実施の形態において、保持部材２は、長方形の枠部５、その長辺にあってＸ方向外側へ突出する固定部６および突出部７を有する。また、保持部材２は、トレイ４よりも剛性が高い材料により構成されているのが好ましい。さらに、保持部材２は、ペリクル２０の線膨張係数と等しいあるいはそれに近い値の線膨張係数を有する材料から構成されることがより好ましい。なぜなら、ペリクル収納容器１の周囲の温度が変化しても、保持部材２とペリクル２０とが同程度に膨張あるいは収縮するため、ペリクル２０に無理な応力が加わらず、ペリクル２０の変形や破損を防止できるからである。なお、線膨張係数は、ＪＩＳ Ｋ ７１９７に規定される試験方法等により得られる数値で比較することができる。固定部６は、保持部材２にペリクル２０の支持枠２１を固定するための固定部材（不図示）を取り付けるための部分である。本実施の形態において、固定部６は、枠部５の長辺の両端から、Ｘ方向外側へ突出する平板状の部材である。
【００２１】
図１および図２に示すように、突出部７は、保持部材２をトレイ４に固定するために設けられている。本実施の形態において、枠部５の長辺の両端に配置された２つの固定部６の間を略３等分する位置に、突出部７が合計４個配置されている。また、突出部７は、平板状の部材であり、幅広面をＺ方向に向けて、枠部５のＸ方向外側の面からＸ方向外側に向かって突出している。また、突出部７の裏面側には、後述のネジ１２を挿入するための溝が設けられている。
【００２２】
弾性部材３は、保持部材２とトレイ４との間に配置される。弾性部材３は、トレイ４の変形を保持部材２に伝達しにくくするための部材、あるいは保持部材２とトレイ４との相対位置のずれを緩衝するための部材である。本実施の形態において、弾性部材３は、突出部７の下側の面と同じ大きさあるいはそれよりも小さいものである。しかし、弾性部材３は、保持部材２の下側の面の全面に配置されていても良い。本実施の形態において、弾性部材３は、ＸＹ平面状の位置を決めるための貫通孔８を４箇所に有する。
【００２３】
弾性部材３の材料としては、適度な弾性を有する熱可塑性のエラストマー等からなることが好ましい。例えば、ポリエステル系、ポリオレフィン系あるいはポリウレタン等のエラストマーが好適に用いられる。これらの材料は、ペリクル膜への付着物を発生しにくいので、特に好ましい。
【００２４】
トレイ４は、好適には、厚さが約３ｍｍのＡＢＳ樹脂を原料とし、真空成形法により製造される。なお、トレイ４は、ＡＢＳ樹脂以外の樹脂から構成されても良いし、その厚みは３ｍｍに限定されず、３ｍｍより薄いあるいは３ｍｍを超える板状の樹脂を成形してもよい。
【００２５】
また、トレイ４は、上に凹の凹状体であり、例えば、約３ｍｍの板材により形成されている。トレイ４は、外周部分に、Ｚ方向上側に突出する外周部９を有する。また、外周部９の内周側には、段部１０が設けられている。段部１０には、保持部材２の突出部７および弾性部材３が配置される。段部１０に囲まれた領域には、段部１０の上面よりも下方向に凹む凹部１１が形成されている。また、凹部１１の外周は、枠部５の外周よりも小さく、枠部５の内周よりも大きい。
【００２６】
上述のようなペリクル収納容器１には、以下のようにしてペリクル２０が収納される。まず、保持部材２の上面側に、ペリクル膜が固定された支持枠２１が載置される。次に、弾性部材３を突出部５の下面側に介在するように、ペリクル２０を載置した保持部材２をトレイ４に配置する。保持部材２は、そのＸ方向端部およびＹ方向端部が、トレイ４の外周部９の内側に接しないように、トレイ４の開口部内に配置される。最後に、トレイ４の下面側から突出部５に設けられた溝に向かって、トレイ４、弾性部材３および突出部５をネジ１２で緩く留める。
【００２７】
なお、トレイ４の下面には、ネジ１２の挿入部分に、ネジ１２の頭部が収納される溝１４が形成されている。したがって、ネジ１２は、溝１４の内部に収納されて、トレイ４の下面側に突出しない。なお、弾性部材３がトレイ４に対して、数ｍｍ動くことができるように、ネジ１２を必要以上に強く締めないのが好ましい。
【００２８】
また、弾性部材３の下面は、枠部５の下面よりも突出している。そのため、保持部材２は、トレイ４の上面から、弾性部材３により、距離Ｄの間隙を有して離間した状態を保つことができる。なお、保持部材２は、トレイ４と一部で接触していてもよいが、トレイ４と保持部材２とが弾性部材３のみにより支持されている場合には、トレイ４の変形の影響を保持部材２が受けにくく、その結果、ペリクル２０が変形しにくくなる。
【００２９】
このようなペリクル収納容器１を用いることにより、周囲の温度によりトレイ４が膨張あるいは変形した場合に、弾性部材３がその変位を吸収するような役割を果たす。したがって、トレイ４の変形により保持部材２が変形しにくく、保持部材２に載置されているペリクル２０に、無理な応力が加わりにくい。
【００３０】
また、ペリクル２０の下面の全面を覆うトレイ４が、剛性の低い部材から構成される場合であっても弾性部材３がそのトレイ４の変形を吸収できる。したがって、剛性は低いがより軽量な樹脂製のトレイ４と、トレイ４により剛性が高い保持部材２３と組み合せることにより、ペリクル収納容器１が変形してもペリクル２０が変形しにくい。加えて、ペリクル収納容器１の軽量化も図ることができる。
【００３１】
（第２の実施の形態）
次に、第２の実施の形態に係るペリクル収納容器３０について、図面を参照して説明する。
【００３２】
第２の実施の形態に係るペリクル収納容器３０は、第１の実施の形態に係るペリクル収納容器１とは、保持部材２とトレイ４との間の固定方法において異なる。以下、その相違点について主として説明する。以下の説明においては、第１の実施の形態と同一または同種の部材については、同一の符号をなし、その説明を省略または簡略化する。
【００３３】
図６は、本発明の第２の実施の形態に係るペリクル収納容器３０の斜視図および一点鎖線で囲われた部分の拡大斜視図である。ペリクル収納容器１は、上側から、カバー１Ａ、保持部材２、弾性部材３、トレイ４を備える。
【００３４】
第２の実施の形態のペリクル収納容器３０は、保持部材２とトレイ４とを固定するための載置部材４０を有する。載置部材４０は、幅広面をＺ軸方向に向けている板状部材４１に、Ｘ軸方向に貫通する穴４２を有する脚部４３が配置されている。また、板状部材４１の長手方向外側に隣接する下面側には、それぞれ弾性部材４４が配置されている。そして、Ｚ軸方向に板状部材４１を貫通する２箇所のネジ穴および弾性部材４４の孔を通って、トレイ４のネジ穴（不図示）に、上面側からネジ４５が挿入されている。
【００３５】
保持部材２の突出部７は、載置部材４０の脚部４３が有する穴４２の内周と同じあるいはそれよりも小さい外周を有している。
【００３６】
上述のようなペリクル収納容器３０にペリクル２０を収納する場合には、まず、保持部材２の突出部７を載置部材４０の穴４２に通す。次に、保持部材２の枠部５の上面側にペリクル２０を載置する。そして、ペリクル２０が載置された保持部材２をトレイ４の所定の場所に配置する。最後に、突出部７に通された載置部材４０のネジ穴に、上面側からネジ４５を入れて、ネジ止めする。
【００３７】
このようなペリクル収納容器３０は、ペリクル収納容器１と同様に、弾性部材４４により枠部５をトレイ４の上面から浮いた状態を保つことができる。また、第２の実施の形態に係る収納容器３０は、第１の実施の形態に係るペリクル収納容器１と異なり、保持部材２の突出部７に穴を設ける必要がない。硬質の保持部材２に穴を設ける必要がないので、保持部材２の作製が容易になる。さらに、保持部材２に穴を設けないので、保持部材２の強度を高めることができる。
【００３８】
（第３の実施の形態）
次に、第３の実施の形態に係るペリクル収納容器について説明する。第３の実施の形態に係るペリクル収納容器が、上述の各実施の形態に係るペリクル収納容器１，３０と異なるのは、保持部材２の材料である。
【００３９】
第３の実施の形態における保持部材２は、繊維を含有する樹脂から主に構成される。繊維を含有する樹脂としては、ＣＦＲＰ（Ｃａｒｂｏｎ Ｆｉｂｅｒ Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ Ｐｌａｓｔｉｃｓ）が好適に用いられる。ＣＦＲＰは、例えば、プリプレグ法にて製造されたＣＦＲＰを用いることができる。プリプレグ法では、まず、ポリアクリロニトリル繊維を焼成した炭素繊維を一方向に引き揃えた織物に樹脂を含浸させて作成した中間素材（プリプレグ）を、繊維の方向を変えて何枚も積層する。次に、プリプレグを高温下で加圧および硬化することでＣＦＲＰが得られる。しかし、プリプレグ法で作製されたＣＦＲＰに限らず、フィラメントワインディング法やレジントランスファー成形法により成形されたＣＦＲＰを用いてもよい。また、炭素繊維ではなくガラス繊維を樹脂に含有するＧＲＰ（Ｇｌａｓｓ−Ｒｅｉｎｆｏｒｃｅｄ Ｐｌａｓｔｉｃｓ）等、他の繊維により強化された樹脂を用いてもよい。
【００４０】
上述のような保持部材２とすることで、より軽量かつ強度が高い保持部材２とすることができる。なぜなら、繊維含有樹脂は、非常に高強度であると共に、鉄やアルミなどの金属から構成される保持部材２に比べ、同じ強度あるいは剛性であっても、より軽量であるからである。また、一般的に繊維含有樹脂は、非常に高価であるが、保持部材２は、枠状であるため、トレイ４を繊維含有樹脂で製造する場合に比べて、安価となる。
【００４１】
さらに、一般的に繊維含有樹脂は、温度変化に対して低膨張率であるため、ペリクル２０と、線膨張係数が近いものとなる。したがって、温度が変化した場合に、ペリクル２０に無理な力を加えることが少ないものとなる。
【００４２】
（第４の実施の形態）
次に、第４の実施の形態に係るペリクル収納容器について説明する。
【００４３】
第４の実施の形態に係るペリクル収納容器５０は、第１の実施の形態に係るペリクル収納容器１とは、保持部材とトレイとの固定方法において異なる。以下、その相違点について主として説明する。以下の説明においては、第１の実施の形態と同一または同種の部材については、同一の符号を付し、その説明を省略または簡略化する。
【００４４】
図７は、本発明の第４の実施の形態に係るペリクル収納容器５０の分解斜視図である。また、図８は、図７のＥで示す領域を拡大して示す拡大図である。
【００４５】
第４の実施の形態のペリクル収納容器５０では、保持部材５１とトレイ５２とが接離可能に固定されている。また、保持部材５１は、第１の実施の形態の保持部材２と異なり、突出部７を有していない。さらに、保持部材５１は、後述するシール材５３およびブロック部５４をネジなどにて固定するためのネジ穴５５を有する。たとえば、ネジ穴５５は、保持部材５１の長辺の両端付近およびその長辺を２等分する位置に、４箇所ずつ形成されている。保持部材５１としては、軽量化と剛性の向上とを両方可能にするために、内部が中空の、いわゆる角パイプを用いてもよい。
【００４６】
シール材５３は、保持部材５１とブロック部５４との間を埋めるため、および支持枠２１の外周側の面と接触する緩衝材料として機能する。本実施の形態において、シール材５３は、保持部材５１のネジ穴５５が設けられた領域の上面側に配置される。シール材５３は、下面側が略四角形の底面部６０と、底面部６０の辺のうち、支持枠２１の外周側と接する辺の両端に設けられる壁部６１と、を有する。底面部６０は、保持部材５１のネジ穴５５とＺ軸方向に重なる位置に貫通孔６２を有する。また、１つのシール材５３が有する２つの壁部６１の間は、空隙が形成されている。なお、壁部６１のＺ方向の高さは、支持枠２１のＺ方向の高さよりも高いことが好ましい。また、壁部６１がより衝撃を吸収しやすくするために、壁部６１の外周側に突起６２を設けてもよい。さらに、シール材５３の壁部６１は、支持枠２１と接触するため、耐摩耗性を向上させる目的でウレタン系樹脂から構成されるのが望ましい。このようなシール材５３を用いることで、保持部材５１とトレイ５２との相対位置のずれを壁部６１で緩衝することができる。
【００４７】
ブロック部５４は、シール材５３の底面部６０のＺ軸方向上面側に配置される。また、ブロック部５４は、保持部材５１のネジ穴５５とＺ軸方向で重なる位置に孔を有し、保持部材５１の下方側から挿入されるネジ（不図示）により、シール材５３と一緒に保持部材５１に固定される。また、ブロック部５４は、略立方体の基体部７０と、ピン７１とを有する。基体部７０の内周側は、シール材５３の壁部６１の外周側に接触する。ピン７１は、基体部７０の内部を外周側から内周側へ貫通している。なお、ピン７１の内周側端部は、シール材５３の２つの壁部６１の間に形成された空隙から、内周側に突出している。また、支持枠２１の外側面には非貫通の孔（不図示）が設けられており、そこに、ピン７１の内周側先端が挿入される。各々のピン７１が支持枠２１の外側面に設けられた孔（不図示）に挿入されることにより、支持枠２１は、保持部材５１に固定される。基体部７０およびピン７１は、ＡＢＳ等の樹脂を射出成形して製作することが好ましい。さらに、支持枠２１とピン７１との擦れによる発塵を防止するために、ピン７１の先端に弾性体等を設けてもよい。
【００４８】
図９は、図７のＦで示す領域を拡大して示す拡大斜視図である。トレイ５２には、トレイ４と同様に、Ｚ方向上側に突出する外周部８１、外周部８１の内側の段部８２、そして段部８２の上面よりも下方向に凹む凹部８３が形成されている。しかし、凹部８３の外周は、保持部材５１の外周よりも大きい。さらに、凹部８３の四隅には、受け部８４が形成されている。具体的には、受け部８４は、トレイ５２の底面に配置される底部８５そして、段部８２の内周から１５〜４５ｍｍ程度の幅で突出しているＬ字状の凸部８６を有する。
【００４９】
弾性部材８７は、底部８５の上面および凸部８６の内壁に接触するように受け部８４に配置される。弾性部材８７は、底部８５と略同一の底面を有する底面部８８を有し、ネジ１２などにより固定されている。また、弾性部材８７は、凸部８５との接触面に沿って壁部８９を有する。弾性部材８７の壁部８９と底面部８８により、支持枠２１の角部が収納される。弾性部材８７を介してトレイ５２に保持部材５１が配置されると、トレイ５２と保持部材５１とは、Ｚ方向に１５〜４５ｍｍ、好ましくは、３０ｍｍ以上隔てられて、保持部材５１は、浮いた状態となる。なお、受け部８４の凸部８６は、段部８２の内周から１５〜４５ｍｍ程度の幅で突出しているので、保持部材５１の外周とトレイ５２の内周は、凸部８６が突出している分だけ離間している。ここで、保持部材５１の外周とトレイ５２の内周が４０ｍｍ以上離れ、かつ、保持部材５１の底面とトレイ５２の底面との間が３０ｍｍ以上であることがより好ましい。なぜなら、ペリクル２０が載置された保持部材５１を取り出す際に、保持部材５１の外側から下部に指を入れて、保持部材５１を持ち上げることができるからである。
【００５０】
上述のようなペリクル収納容器５０にペリクル２０を収納する場合には、まず、保持部材５１にシール材５３およびブロック部５４をネジで取り付ける。次に、ペリクル２０を保持部材５１に配置および固定する。具体的には、ペリクル２０の支持枠２１外側面に設けられた孔（不図示）にブロック部５４のピン７１が挿入されることにより、保持部材５１に支持枠２１が固定される。次に、トレイ５２の受け部８４に、保持部材５１の角部を合わせるようにして、ペリクル２０、シール材５３およびブロック部５４が固定された保持部材５１をトレイ５２に配置する。すなわち、保持部材５１は、受け部８４に配置された弾性部材８７を介してトレイ５２の底面から浮いた状態となる。
【００５１】
一方、ペリクル収納容器５０に収納されたペリクル２０を取り出す場合には、保持部材５１の外周と凹部の間に指をいれて、ペリクル２０が載置された保持部材５１を取り出すことができる。そして、ピン７１の内周側先端を支持枠２１の孔（不図示）から抜くことでペリクル２０を保持部材５１から外すことができる。すなわち、剛性の高い保持部材５１に載せたまま、ペリクル２０をトレイ５２から取り出し、所望の場所に載置できる。
【００５２】
また、このようなペリクル収納容器５０は、上述の各実施の形態と同様に、弾性部材８７により支持枠２１および保持部材５１をトレイ５２の上面から浮いた状態を保つことができる。すなわち、トレイ５２が膨張あるいは変形した場合に、弾性部材８７がその変位を吸収するため、ペリクル２０に傷などがつきにくいものとなる。
【００５３】
以上、本発明に係るペリクル収納容器の好適な実施の形態について説明したが、本発明は、上述の各実施の形態に何ら限定されることなく、種々変形した形態にて実施可能である。
【００５４】
例えば、第１の実施の形態では、保持部材２は、固定部６および突出部７を有するものとしたが、これらは必須ではない。保持部材２が突出部７を有していない場合には、枠部５の下面に弾性部材を配置することができる。同様に、保持部材２が固定部６を有していない場合には、枠部５の上面等にペリクル２０の支持枠２１を固定するための部材を配置することができる。
【００５５】
また、上述の実施の形態では、トレイ４，５２は、外周部９，８１および凹部１１，８３を有しているものとしているが、外周部９，８１および凹部１１，８３は必須ではない。しかし、凹部１１，８３があることにより、ペリクル２０がトレイ４，５２に接触することを効果的に防ぐことができる。また、外周部９，８１があることにより、横方向からの異物等が入りにくく、ペリクル２０を汚染から保護できる。
【００５６】
また、上述の実施の形態では、ネジ１２等により、弾性部材３，４４を介して保持部材２をトレイ４に固定するものとしたが、このような形態に限らない。例えば、粘着テープあるいは接着剤等、各部材を固定できるものであればどのようなものを用いて保持部材２と弾性部材３，４４、あるいは弾性部材３，４４とトレイ４とを固定してもよい。
【００５７】
また、第２の実施の形態では、脚部４３を有する載置部材４０としたが、このような形態に限らない。突出部７を挿入あるいは固定できる手段であればどのような手段を用いてもよい。例えば、脚部４３は、貫通する穴４２を有さずに、貫通していない凹部を有するような形態であってもよい。
【００５８】
また、各実施の形態において、保持部材２，５１にペリクル２０を載置した後、保持部材２，５１をトレイ４，５２に載置する形態としているが、このような形態に限らない。トレイ４，５２に保持部材２，５１を載置してから、ペリクル２０を保持部材２，５１に載置してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るペリクル収納容器の分解斜視図である。
【図２】図１のペリクル収納容器のうち、カバー以外の部材を組み立てた状態の斜視図である。
【図３】図２のペリクル収納容器を図２のＷ−Ｗ線で切断し矢印方向に見た場合の断面図である。
【図４】図２のペリクル収納容器を図２のＴ−Ｔ線で切断し矢印方向に見た場合の断面図である。
【図５】図２のペリクル収納容器にペリクルを載置した状態を示す上面図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態に係るペリクル収納容器（カバーを除く）の斜視図および一点鎖線で囲まれた部分の拡大斜視図である。
【図７】本発明の第４の実施の形態に係るペリクル収納容器の分解斜視図である。
【図８】図７のペリクル収納容器のうち、Ｅで示す領域を拡大して示す拡大斜視図である。
【図９】図７のペリクル収納容器うち、Ｆで示す領域を拡大した斜視図である。
【符号の説明】
【００６０】
１，３０，５０ ペリクル収納容器
１Ａ カバー
２，５１ 保持部材
３，４４，８７ 弾性部材
４，５２ トレイ
７ 突出部
２０ ペリクル
２１ 支持枠
４０ 載置部材
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ペリクル膜および当該ペリクル膜を支持する支持枠を有するペリクルを、トレイと当該トレイと対向配置されるカバーの間に形成される空間に収納して輸送するためのペリクル収納容器であって、
上記支持枠を保持するための保持部材を備え、
上記保持部材は、弾性部材を介して上記トレイに配置されていることを特徴とするペリクル収納容器。
【請求項２】
請求項１に記載のペリクル収納容器であって、
前記弾性部材と前記保持部材との間に載置部材が配置され、
上記保持部材は、外側方向に突出する突出部を有し、
上記突出部を上記載置部材に固定することにより、上記保持部材を前記トレイに固定することを特徴とするペリクル収納容器。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のペリクル収納容器であって、
前記保持部材は、前記支持枠と同じあるいはそれよりも小さい線膨張率を有することを特徴とするペリクル収納容器。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のペリクル収納容器であって、
前記保持部材は、繊維含有樹脂から主に構成されることを特徴とするペリクル収納容器。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のペリクル収納容器であって、
前記保持部材は、前記トレイから着脱可能に配置されていることを特徴とするペリクル収納容器。
【請求項６】
請求項５に記載のペリクル収納容器であって、
前記保持部材の外周と、前記トレイの内側とは、１５ｍｍ〜４５ｍｍ離間してそれらが配置されていることを特徴とするペリクル収納容器。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれか１項に記載のペリクル収納容器であって、
前記保持部材は、中空であることを特徴とするペリクル収納容器。
【請求項１】
ペリクル膜および当該ペリクル膜を支持する支持枠を有するペリクルを、トレイと当該トレイと対向配置されるカバーの間に形成される空間に収納して輸送するためのペリクル収納容器であって、
上記支持枠を保持するための保持部材を備え、
上記保持部材は、弾性部材を介して上記トレイに配置されていることを特徴とするペリクル収納容器。
【請求項２】
請求項１に記載のペリクル収納容器であって、
前記弾性部材と前記保持部材との間に載置部材が配置され、
上記保持部材は、外側方向に突出する突出部を有し、
上記突出部を上記載置部材に固定することにより、上記保持部材を前記トレイに固定することを特徴とするペリクル収納容器。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のペリクル収納容器であって、
前記保持部材は、前記支持枠と同じあるいはそれよりも小さい線膨張率を有することを特徴とするペリクル収納容器。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のペリクル収納容器であって、
前記保持部材は、繊維含有樹脂から主に構成されることを特徴とするペリクル収納容器。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のペリクル収納容器であって、
前記保持部材は、前記トレイから着脱可能に配置されていることを特徴とするペリクル収納容器。
【請求項６】
請求項５に記載のペリクル収納容器であって、
前記保持部材の外周と、前記トレイの内側とは、１５ｍｍ〜４５ｍｍ離間してそれらが配置されていることを特徴とするペリクル収納容器。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれか１項に記載のペリクル収納容器であって、
前記保持部材は、中空であることを特徴とするペリクル収納容器。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【公開番号】特開２０１０−１３４２８０（Ｐ２０１０−１３４２８０Ａ）
【公開日】平成２２年６月１７日（２０１０．６．１７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−３１１４５６（Ｐ２００８−３１１４５６）
【出願日】平成２０年１２月５日（２００８．１２．５）
【出願人】（０００１９０１１６）信越ポリマー株式会社 (1,394)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年６月１７日（２０１０．６．１７）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年１２月５日（２００８．１２．５）
【出願人】（０００１９０１１６）信越ポリマー株式会社 (1,394)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]