ペリクル枠体及びペリクル
【課題】分割枠とする場合であっても接合部に枠体よりも剛性の高い部材等を用いることなく実用上問題のない剛性及び寸法安定性を維持すると共に、歩留まりを向上させることができるペリクル枠体及びペリクルを提供する。
【解決手段】ペリクル１のペリクル枠体２では、接合部２２ａ〜２２ｈにおける接合強度を１０ｋｇｆ以上としているため、分割枠体であっても、撓みや歪みを抑制できると共に、剛性を確保することができる。また、分割枠体とすることで、寸法を容易に調整することができ、寸法精度を確保することができると共に製造工程を簡易化できる。そのため、接合部を有さない枠体と同様の寸法精度を容易にでることができる。したがって、分割枠体を用いる際に、接合部２２ａ〜２２ｈに剛性の高い部材等を用いることなく剛性及び寸法安定性を維持できると共に、歩留まりを向上させることができる。
【解決手段】ペリクル１のペリクル枠体２では、接合部２２ａ〜２２ｈにおける接合強度を１０ｋｇｆ以上としているため、分割枠体であっても、撓みや歪みを抑制できると共に、剛性を確保することができる。また、分割枠体とすることで、寸法を容易に調整することができ、寸法精度を確保することができると共に製造工程を簡易化できる。そのため、接合部を有さない枠体と同様の寸法精度を容易にでることができる。したがって、分割枠体を用いる際に、接合部２２ａ〜２２ｈに剛性の高い部材等を用いることなく剛性及び寸法安定性を維持できると共に、歩留まりを向上させることができる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばＩＣ（Integrated Circuit：集積回路）、ＬＳＩ（Large ScaleIntegration：大規模集積回路）、ＴＦＴ型ＬＣＤ（Thin Film Transistor，Liquid Crystal Display：薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ）等の半導体装置を製造する際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマクスやレティクルに異物が付着することを防止するために用いるペリクル枠体及びペリクルに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体回路パターン等の製造においては、フォトマスクやレティクルの両面側にペリクルと称する防塵手段を配置して、フォトマスクやレティクルへの異物の付着を防止することが行われている。
【０００３】
ペリクルの一般的な構造としては、金属、セラミックス、又はポリマー製のペリクル枠体の片側に、ポリマー又はガラス等の透明な薄膜を貼り付け、その反対側に、マスクに貼り付けるための貼着剤層（粘着材）を設けたものが挙げられる。例えば、ペリクルは、フォトマスクやレティクルの形状に合わせた形状を有する厚さ数ミリ程度のペリクル枠体の一方の縁面に、厚さ１０μｍ以下のニトロセルロース又はセルロース誘導体等の透明な高分子膜から成るペリクル膜を展張して接着し、且つペリクル枠体の他方の縁面に粘着材を介してフォトマスクやレティクルの表面に貼着している。
【０００４】
フォトマスクやレティクルの表面に異物が付着した場合、その異物が半導体ウエハ上に形成されたフォトレジスト上に結像して回路パターン欠陥の原因となるが、フォトマスクやレティクルの少なくともパターン面にペリクルを配置した場合、ペリクルの表面に付着した異物はフォーカス位置がずれるため、半導体ウエハ上に形成されたフォトレジスト上に結像することがなく、回路パターンに欠陥を生じさせることがない。
【０００５】
また、近年では、各種のマルチメディアの普及により、高画質・高精細表示が可能な大型のカラーＴＦＴＬＣＤのフォトリソグラフィ工程で使用される大型のフォトマスクに適用できるペリクルが要望されている。
【０００６】
例えば、特許文献１には、大型のフォトマスクに適用できるペリクルが開示されている。また、特許文献２には、ペリクル枠体の撓みや歪に対応するために、枠体と枠体より弾性係数の大きい補強材を利用した枠体も開示されている。
【０００７】
また、特許文献３には、高解像度を必要とする露光において使用される２００ｎｍ以下の紫外光露光に利用されるペリクル枠体であって、マスクの平坦性の精度に影響しないペリクル枠体として、弾性率が異なる２種類以上の材料を枠体の厚み方向に接合した枠体を利用することも開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００１−１０９１３５号公報
【特許文献２】特開２００６−２８４９２７号公報
【特許文献３】特開２００９−０６３７４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、ペリクル枠体は、１枚のシート状母材を打ち抜くことにより作製され、接合部のない一体型のものが多い。これは、ペリクルの平坦性を確保する観点等に基づくものである。母材の平坦性によってはペリクル枠体の作製に使用できない母材もあり、ペリクル枠体が大型化するほど、ペリクル枠体の平坦性の精度を出すことは容易ではない。そのため、製造工程にも手間がかかり、歩留まり低下やペリクル枠体作製のコスト向上の原因となっている。
【００１０】
また、ペリクルの大型化に伴い、ペリクル枠体自体の自重、ペリクル膜の張力、及び温度変化に起因する応力といった各種要因により、ペリクル枠体に撓みや歪が発生する可能性がある。そのため、一般的に、剛性の高い１枚のシート状母材を打ち抜いてペリクル枠体を作製して使用している。ペリクル枠体の撓みや歪は、ペリクル膜を張り付けた後に、ペリクル膜の張力により内側に向かって生じるものであるが、フォトマスクメーカーの露光面積を確保したいという要求に対応するために、できるだけ小さくする必要がある。そこで、ペリクル枠体の断面積を大きくして（部材を太くして）ペリクル枠体の剛性を向上させる方法があるが、この方法は有効露光面積等を考慮すると好ましくない。
【００１１】
上述の理由から、ペリクル枠体は、一体型ものよりも分割された枠体（以下、分割枠体という）であることが好ましいと考えられる。しかし、ペリクル枠体を分割枠体とする場合には、コスト低減といった利点がある一方、撓みや歪が発生する可能性があり、また、剛性が実用のための特性を充たさず、商品としての実用化が難しいといった現状がある。この点に関して、上記特許文献２では、剛性を確保するために、接合部にペリクル枠体よりも剛性の高い部材を用いて接着剤等を使用したり、摩擦攪拌溶接等の特殊な方法を使用している。しかしながら、異なる素材の部材を強固に接着するのは容易ではなく、また、接着剤溜りのような接合部に特殊な加工が必要であったり、露光中に接着剤からのアウトガス発生が懸念されたり、摩擦攪拌溶接等のような特殊な溶接技術が必要になる。
【００１２】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、分割枠体とする場合であっても接合部に剛性の高い部材等を用いることなく剛性及び寸法安定性を維持できると共に、歩留まりを向上させることができるペリクル枠体及びペリクルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決するために、本発明に係るペリクル枠体は、平面視において矩形状を有する開口部を覆うようにペリクル膜を展張支持するペリクル枠体であって、開口部の周縁は枠部材によって形成されていると共に、枠部材は少なくとも一つの接合部によって接合されており、接合部における接合強度が１０ｋｇｆ以上であることを特徴とする。
【００１４】
このペリクル枠体では、枠部材の接合部における接合強度を１０ｋｇｆ以上としているため、分割枠体であっても、撓みや歪みを抑制できると共に、剛性を確保することができる。また、分割した枠部材により構成することで、寸法を容易に調整することができ、寸法精度を確保することができると共に、製造工程を簡易化できる。そのため、接合部を有さない枠体と同様の寸法精度を容易に得ることができる。したがって、分割枠体とする場合であっても接合部に剛性の高い部材等を用いることなく剛性及び寸法安定性を維持できると共に、歩留まりを向上させることができる。
【００１５】
また、分割枠体とすることで、１枚のシート状母材からの切り出しよりも切削加工工数が少なくなり、加工時にかかる枠部材への残留応力が小さくなる。また、素材の異方性を考えると、同じ方向性の枠部材を使用可能とするため、ペリクル枠体全体としての異方性が小さくなる。このように残留応力や異方性が小さくなるため、ペリクル製造工程内での加熱工程中での応力歪等による開放が小さくなり、ペリクルとして寸法が安定する。このため、残留応力を開放するために事前に加熱処理等を行う必要がなくなり、工程数が減るといった製造上のメリットもでてくる。また、応力歪は経時的に開放方向に向かうため、残留応力の小さい分割枠体の方が長期的に保管しても寸法の安定性を確保できる。
【００１６】
更に、複数の枠部材でペリクル枠体を形成することで、母材の平坦性の良い箇所の切り出しが可能になり、接合後のペリクル枠体の平坦性も向上することになる。また、小さな母材から大きなペリクル枠体を作製することも可能であり、コスト低減といったメリットもある。
【００１７】
接合部は、枠部材の一端部に形成された凸部と、枠部材の一端部に形成された凸部と接合する凹部とから構成されている好ましい。このような構成とすることにより、接合部の接合強度を良好に１０ｋｇｆ以上とすることができる。
【００１８】
接合部は、嵌合、接着剤及びカシメのいずれかにて接合されていることが好ましい。これらの接合方法を用いることにより、接合部の接合強度を十分に確保することができる。
【００１９】
枠部材は、対向する一対の長辺と、対向する一対の短辺とが角部を形成するように構成されており、接合部の少なくとも一つと接合部と最も近い距離にある角部との間の距離は、接合部が設けられた辺の長さの４５％以下であることが好ましい。このような構成によれば、枠体は矩形状であり、角部近傍は剛性が高いため、接合部を角部の近傍に配置することで、剛性を維持でき、ペリクル枠体の撓み等を抑えることが可能となる。また、角部近傍に接合部を設けることで、直角性もよくなり矩形の形状を保つ方向になるため、ペリクル枠体の撓み量を公差の範囲内（０％〜３％）とすることができる。
【００２０】
本発明に係るペリクルは、上述のいずれかのペリクル枠体と、ペリクル枠体の開口部を覆うように展張支持されたペリクル膜とを含むことを特徴とする。上述のペリクル枠体にペリクル膜を展張することにより、分割枠体とする場合であっても接合部に剛性の高い部材等を用いることなく剛性及び寸法安定性を維持できると共に、歩留まりを向上させることができる。また、従来のペリクルと同様の剛性、寸法精度が確保されているため、ペリクルを検品のとき等に治具にて操作する際、治具からの落下を抑制することができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、分割枠体とする場合であっても接合部に枠体よりも剛性の高い部材等を用いることなく実用上問題のない剛性及び寸法安定性を維持すると共に、歩留まりを向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の一実施形態に係るペリクルを示す斜視図である。
【図２】図１に示すペリクルを上からみた図である。
【図３】ペリクル枠体の角部を拡大して示す斜視図である。
【図４】接合部を示す図である。
【図５】接合部の他の形態を示す図である。
【図６】接合部の他の形態を示す図である。
【図７】変形例に係るペリクル枠体を上から見た図である。
【図８】変形例に係るペリクル枠体を上から見た図である。
【図９】実施例に係る接合部を示す図である。
【図１０】実施例に係る接合部を示す図である。
【図１１】実施例に係る接合部を示す図である。
【図１２】実施例に係る接合部を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、図面を参照しながら、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。
【００２４】
図１は、本発明の一実施形態に係るペリクルを示す斜視図であり、図２は、図１に示すペリクルを上から見た図である。各図に示すように、ペリクル１は、ペリクル枠体２と、ペリクル枠体２の上縁面２ｅに展張支持されたペリクル膜３とを備えている。なお、図示しないが、ペリクル１は、ペリクル枠体２の下縁面に塗布された貼着剤層と、貼着剤層に粘着され、この貼着剤層を保護する保護フィルムとを更に備えている。ペリクル１は、大型ペリクルであり、ペリクル枠体２は、大型のペリクル用枠体である。
【００２５】
ペリクル枠体２は、例えばアルミニウム、アルミニウム合金（５０００系、６０００系、７０００系等）、鉄及び鉄系合金、セラミックス（ＳｉＣ、ＡｌＮ、Ａｌ２Ｏ３等）、セラミックスと金属との複合材料（Ａｌ−ＳｉＣ、Ａｌ−ＡｌＮ、Ａｌ−Ａｌ２Ｏ３等）、炭素鋼、工具鋼、ステンレスシリーズ、マグネシウム合金、又はポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂等の樹脂等からなり、略矩形状を呈している。ペリクル１は、貼着剤層を介してマスクに貼り付くため、剛性が高くて比較的重量が小さいものが好ましく、アルミニウム、アルミニウム合金、マグネシウム合金、樹脂等の素材が好ましい。なお、ペリクル枠体２は、後述する複数の分割部材２０ａ〜２０ｄ及び連結部材２１ａ〜２１ｄにて構成されており、分割部材２０ａ〜２０ｄ及び連結部材２１ａ〜２１ｄは、同じ弾性係数を有する素材で形成されていることが好ましい。また、ペリクル枠体２の表面処理としては、アルマイト処理、塗装、塗料コーティング、めっき処理、低融点ガラスフリット処理、ＣＶＤ処理、スパッタ法などによるＰＶＤ処理などが挙げられる。
【００２６】
このペリクル枠体２は、対向する一対の長辺２ａ，２ｂと、この長辺２ａ，２ｂよりも短い対向する一対の短辺２ｃ，２ｄとを有している。ペリクル枠体２において、長辺２ａと長辺２ｂとの長さは等しく形成されており、短辺２ｃと短辺２ｄとの長さは等しく形成されている。ペリクル枠体２は、矩形状の開口部４を有している。この開口部４の開口面積は、好ましくは１０００ｃｍ２以上、より好ましくは３０００ｃｍ２以上、更に好ましくは５０００ｃｍ２以上、３５０００ｃｍ２以下である。
【００２７】
一対の長辺２ａ，２ｂは、幅が例えば９．０ｍｍの柱部材からなり、その長さは、例えば８００ｍｍである。一対の短辺２ｃ，２ｄは、幅が例えば７．０ｍｍの柱部材からなり、その長さは、例えば４８０ｍｍである。つまり、短辺２ｃ，２ｄの平面視（上面視）における幅は、長辺２ａ，２ｂの幅よりも狭い。ペリクル枠体２の角部５の曲率は、例えば、Ｒ＝２ｍｍである。なお、角部５に曲率が存しないと仮定した際の頂点を、以下、単に「頂点」と記載する。ペリクル枠体２の側面６には、溝部７が長手方向（辺方向）に沿って設けられている。
【００２８】
ペリクル枠体２の各辺２ａ〜２ｄの幅は、露光面積を確保する観点からは細ければ細いほど好ましいが、細すぎるとペリクル膜３の展張時にペリクル膜３の張力でペリクル枠体２が撓んでしまうという問題が生じるおそれがある。各辺の長さに対して剛性を考慮した幅の太さとするために、各辺２ａ〜２ｄは、３ｍｍ〜２５ｍｍ程度とすることができる。
【００２９】
また、ペリクル枠体２の厚みに関しても、薄ければ薄いほど軽くて扱いやすいペリクル１となるが、薄すぎるとペリクル膜３の展張時にペリクル膜３の張力でペリクル枠体２が撓んでしまうという問題が生じるおそれがある。各辺２ａ〜２ｄの長さに応じた両者のバランスから、ペリクル枠体２の厚みは、好ましくは３．５ｍｍ〜１２ｍｍ程度とすることができる。
【００３０】
ペリクル膜３は、例えばニトロセルロースやセルロース誘導体、フッ素系ポリマー、又はシクロオレフィン系ポリマー等の透明な高分子膜からなり、その厚さは、例えば１０μｍ以下０．１μｍ以上が好ましい。このペリクル膜３は、ペリクル枠体２の開口部４を覆うように上縁面２ｅに展張され、ペリクル枠体２に貼着支持されている。
【００３１】
ペリクル膜３をペリクル枠体２の上縁面２ｅに接着する接着剤は、例えば、アクリル樹脂接着剤、エポキシ樹脂接着剤、シリコーン樹脂接着剤、又は含フッ素シリコーン接着剤等のフッ素系ポリマーを用いることができる。
【００３２】
また、ペリクル膜３を貼着支持する粘着材としては、スチレンエチレンブチレンスチレン、スチレンエチレンプロピレンスチレン、もしくはオレフィン系等のホットメルト粘着材、シリコーン系粘着材、アクリル系粘着材、又は発泡体を基材とした粘着テープを用いることができる。粘着材層の厚さは、ペリクル枠体２の厚さと粘着材厚さの合計が規定されたペリクル膜３とフォトマスクの距離を越えない範囲で設定するものであり、例えば、１０ｍｍ以下０．０１ｍｍ以上が好ましい。
【００３３】
また、ペリクル膜３をフォトマスクに貼り付けた際に、貼着剤層の内側に空間が存在すると、該空間に異物が滞留する可能性がある。そのため、ペリクル枠体２の下縁面に粘着剤を塗布する際には、ペリクル１をフォトマスクに貼り付ける際の加圧で粘着剤層が潰れて広がることを考慮した上で、加圧時に開口部４に粘着剤がはみ出さない程度にペリクル枠体２の開口部４内側寄りに塗布することが好ましい。具体的には、貼着剤層内側の空間が粘着剤層の塗布幅の０．３５倍以内となるように塗布することが好ましい。粘着剤層の塗布幅はペリクル枠体２の各辺２ａ〜２ｄの幅に対し０．３〜０．６倍であることが好ましく、ペリクル枠体２の各辺２ａ〜２ｄに沿って塗布することが好ましい。
【００３４】
粘着材を保護する保護フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレート樹脂、又はポリエチレン樹脂からなるフィルムを用いることができる。また、粘着材の粘着力に応じて、離型剤、例えばシリコーン系離型剤、又はフッ素系離型剤を、保護フィルムの表面に塗布しても良い。保護フィルムの厚さは、例えば、１ｍｍ以下０．０１ｍｍ以上が好ましい。
【００３５】
続いて、ペリクル枠体２について、図２及び図３を参照しながら詳細に説明する。図３は、角部を拡大して示す斜視図である。
【００３６】
ペリクル枠体２は、開口部４の周縁を形成する複数の枠部材から構成される分割枠体であり、一対の長辺２ａ，２ｂの各々を構成する分割部材２０ａ，２０ｂと、一対の短辺２ｃ，２ｄの各々を構成する分割部材２０ｃ．２０ｄと、角部５を構成すると共に分割部材２０ａ，２０ｂと分割部材２０ｃ，２０ｄとを連結する連結部材２１ａ〜２１ｄとから構成されている。すなわち、ペリクル枠体２は、分割部材２０ａ，２０ｂの一端部と分割部材２０ｃ．２０ｄの一端部とが連結部材２１ａ〜２１ｄを介して略直角をなすように連結されることで略矩形状を呈している。ペリクル枠体２は、枠体の周方向に沿って８箇所の接合部２２ａ〜２２ｈを有している。
【００３７】
分割部材２０ａと分割部材２０ｂとは、実質的に同一で形状であり、分割部材２０ｃと分割部材２０ｄとは、実質的に同一形状である。また、角部５を各々形成する連結部材２１ａ〜２１ｄは、Ｌ字状を呈しており、いずれも実質的に同一形状である。分割部材２０ａ，２０ｂの長さは、例えば７００ｍｍであり、分割部材２０ｃ．２０ｄの長さは、例えば３８０ｍｍである。連結部材２１ａ〜２１ｄの長さは、一辺が例えば５０ｍｍである。接合部２２ａ〜２２ｈとこの接合部２２ａ〜２２ｈと最も近い距離にある角部５との間の距離は、接合部２２ａ〜２２ｈが設けられた長辺２ａ，２ｂ又は短辺２ｃ，２ｄの長さの４５％以下に設定されている。
【００３８】
ペリクル枠体２は、分割部材２０ａを基点とすると、開口部４の開口軸を基準とした時計回り方向に、分割部材２０ａ、連結部材２１ａ、分割部材２０ｄ、連結部材２１ｂ、分割部材２０ｂ、連結部材２１ｃ、分割部材２０ｃ、連結部材２１ｄの順に接続されて形成されている。なお、図２においては、接合部２２ａ〜２２ｈを８箇所としているが、接合部の数としては、１箇所以上あればよく、好ましくは２〜３０箇所、より好ましくは２〜２０箇所、更に好ましくは３〜１５箇所である。
【００３９】
ここで、接合部が１箇所の場合、１枚のシート状母材からの切削時において、接合部のない一体型ほどの平坦性や寸法精度を求めなくても接合部にて調整可能になり、また、１本の分割部材を塑性変形させて枠体にすることも可能となるため、母材の節約になりコストの低減を図れる。更に、接合部を２箇所以上とする場合、平坦性の調整が容易となるため更に好ましい。このように接合部を２箇所以上とすることで、ペリクル枠体２を構成する各々のパーツの加工精度を高めることができ、１枚のシート状母材から一体型のペリクル枠体を切り出すよりも容易に平坦性の精度を出すことが可能となり寸法精度が高まることになる。
【００４０】
上述の接合部２２ａ〜２２ｈは、図４に示すように、複雑形状（凹凸形状）を呈している。具体的には、例えば接合部２２ｆは、連結部材２１ｃに形成された凸部２３と、分割部材２０ｃに形成された凹部２４とから構成されている。連結部材２１ｃに形成された凸部２３は、平面視において略円形状を呈しており、基端側の幅寸法ｄ１よりも先端側の幅寸法ｄ２が大きくなっている。これに対応して、分割部材２０ｃに形成された凹部２４は、平面視において略円形状を呈している。接合部２２ｆは、連結部材２１ｃに形成された凸部２３と分割部材２０ｃに形成された凹部２４とか嵌合することにより接合されている。接合部２２ａ〜２２ｅ，２２ｇ，２２ｈについても、同様の構成を有している。
【００４１】
なお、接合部２２ａ〜２２ｈの形状は、上記形状以外の形状であってもよい。例えば、図５（ａ）に示すように、連結部材２１ａに複数（ここでは２つ）の凸部２３ａ，２３ｂが形成されており、これに対応して、分割部材２０ａに複数の凹部２４ａ，２４ｂが形成されていてもよい。また、図５（ｂ）に示すように、連結部材２１ａ及び分割部材２０ａにおいて、凸部２３及び凹部２４がそれぞれに形成された構成であってもよい。また、図６（ａ）及び（ｂ）に示すように、凸部２３ａ〜２３ｃ及び凹部２４ａ〜２４ｃが平面視において略台形形状を呈していてもよい。接合部２２ａ〜２２ｈの好ましい形状としては、ほぞと溝とから構成され、凸部（ほぞ）２３の全外周面（側面）を凹部（溝）２４の内周面が覆う形状が好ましい。つまり、図９に示すような分割部材５０ａ，５０ｂの平坦な端面５１ａ，５１ｂ同士を突き合わせるだけの単純形状ではなく、この単純形状と比較して相対的に接合面積が大きくなっていればよい。なお、角部５付近に接合部を設ける場合には、ペリクル枠体２の周方向に沿って端面を突き合わせる構成に限定されず、分割部材の側面に分割部材の端面を当接させる構成であってもよいし、角部５部分において傾斜する端面同士を当接させる構成でもよい。
【００４２】
接合部２２ａ〜２２ｈの接合強度は、１０ｋｇｆ以上となっている。ペリクル枠体２は、ペリクル膜３を張り付けた際に内側へ撓む。このとき、接合強度が１０ｋｇｆ以上である場合には、応力集中が緩和されるため、接合部２２ａ〜２２ｈにおいて隙間やガタ等が発生しにくくなる。これにより、分割部材２０ａ〜２０ｄ及び連結部材２１ａ〜２１ｄによりペリクル枠体２を構成しても寸法が安定する。また、ペリクル１は、ペリクル膜３を展張したときのペリクル枠体２の内側への撓みが少ないほうが好ましいが、接合部２２ａ〜２２ｈの接合強度を１０ｋｇｆ以上とすることで、ペリクル枠体２の内側への撓みを抑制できる。
【００４３】
このペリクル１の内側への撓みは、ペリクル１の有効露光面積の確保の観点から、マスクメーカーによって所定の量に規制されている。ペリクル枠体２においては、許容されている範囲内の撓み量とする必要があるが、接合強度を１０ｋｇｆ以上とすることで、上述のように撓みを抑制でき、撓み量を所定の範囲内に設定することができる。更に、ペリクル１をハンドリング（移動等の操作）する際には、ペリクル枠体２の溝部７に治具を装着して上下左右にペリクル１をハンドリングするが、内側への撓みが大きいと治具から外れてペリクル１が落下するおそれがある一方、外側に大きく撓むと治具への装着時にこすれが生じて異物が発生するおそれがある。この点、ペリクル枠体２では、接合部２２ａ〜２２ｈにおける接合強度を１０ｋｇｆとすることで、ペリクル１の落下を防止しつつ、異物の発生を抑制できる。
【００４４】
また、ペリクル枠体２へのペリクル膜３の貼り付けは、ペリクル枠体２に荷重をかけて行われるが、この荷重は、装置によって１０ｋｇｆ〜７０ｋｇｆと異なる。そのため、装置によってそれぞれ異なる荷重により接合部２２ａ〜２２ｈが変形しない対策が必要となる。また、ペリクル枠体２の形状が所定の寸法からずれている場合は、寸法修正を行うため接合部２２ａ〜２２ｈに局所的に加重がかかり、接合部２２ａ〜２２ｈが変形するおそれがある。これらの課題を解決するために、接合部２２ａ〜２２ｈの接合強度が１０ｋｇｆ以上であることが好ましく、より好ましくは１５ｋｇｆ以上であり、更に好ましくは２５ｋｇｆ以上である。
【００４５】
上述のような接合部２２ａ〜２２ｈの接合強度を達成し、ペリクル１として外観上も使用可能な接合方法としては、分割部材２０ａ〜２０ｄ及び連結部材２１ａ〜２１ｄを嵌合させる、或いは接着剤を用いること等が好ましい。嵌合させる場合、接合の端部に凸部を設け、他方の端部に嵌合させる凹部が設けられている形状が好ましい。更には、凸部の根元寸法（基端側寸法）が先端側の最大横寸法よりも小さい形状が長さ方向への引張にも強いためより好ましい。
【００４６】
接着剤を用いる場合は、接合部の様々な形状に適しており、形状によっては剛性を更に高めることができる。接着剤の塗布面積が大きい方が接着強度が強くなる方向になるため、垂直に切断された断面の接合（単純接合）よりも接着面積が大きい方が好ましい。単純接合でなければ、前述の接合等を併用して、接合強度を１０ｋｇｆ以上とすることができる。また、カシメは、接合部の表面を一部潰すため打痕キズが生じるが、剛性の面やマスク粘着材、膜接着剤等が問題なく塗布可能なため使用できる。また、嵌合や接着等の方法をとることで接合部２２ａ〜２２ｈの平坦性やペリクル１としての外観上、全く問題のないものになる。
【００４７】
上記のような接着以外の接合方法としては、レーザー溶接や焼きバメ、冷しバメ等も考えられるが、レーザー溶接は、接合強度は高いが、接合部に凹凸が生じるため極端に接合部のみ平坦性が悪くなり、また外観も好ましくない。また、焼きバメの場合、嵌合にプレス等の余計な圧力が不要なため外観上は良いが、熱伝導率の高いアルミ合金の場合は、焼きバメの効果が期待できず接合強度が低くなる可能性があるため好ましくない。冷しバメも焼きバメと同様な効果になり好ましくない。したがって、接合部の接合方法は、これらの理由から嵌合、接着剤が好ましい。
【００４８】
以上説明したように、ペリクル１のペリクル枠体２では、分割部材２０ａ〜２０ｄと連結部材２１ａ〜２１ｄとの接合部２２ａ〜２２ｈにおける接合強度を１０ｋｇｆ以上としているため、分割枠体であっても、撓みや歪みを抑制できると共に、剛性を確保することができる。また、分割部材２０ａ〜２０ｄ及び連結部材２１ａ〜２１ｄからなる分割枠体とすることで、寸法を容易に調整することができ、寸法精度を確保することができると共に製造工程を簡易化できる。そのため、接合部を有さない枠体と同様の寸法精度を容易にでることができる。したがって、分割枠体を用いる際に、接合部２２ａ〜２２ｈに剛性の高い部材等を用いることなく剛性及び寸法安定性を維持できると共に、歩留まりを向上させることができる。特に、ペリクル１が大型の場合には、本実施形態の構成が更に効果的となる。
【００４９】
続いて、上記実施形態の変形例について説明する。図７は、変形例に係るペリクル枠体を上から見た図である。図７に示すように、ペリクル枠体２Ａは、接合形態が上述のペリクル枠体２と異なっている。ペリクル枠体２Ａは、長辺２Ａａ，２Ａｂを構成する分割部材３０ａ，３０ｂと、短辺２Ａｃ，２Ａｄを構成する分割部材３０ｃ，３０ｄとから形成されている。長辺２Ａａ，２Ａｂ、つまり分割部材３０ａ，３０ｂの長さは等しく形成されており、短辺２Ａｃ，２Ａｄ、つまり分割部材３０ｃ，３０ｄの長さは等しく形成されている。ペリクル枠体２Ａは、分割部材３０ａ，３０ｂと分割部材３０ｃ，３０ｄとが接合されることにより構成されており、４箇所の接合部３１ａ〜３１ｄを有している。接合部３１ａ〜３１ｄの構成は、接合部２２ａ〜２２ｈと同様である。なお、接合部３１ａ〜３１ｄは、その他の形状であってもよい。
【００５０】
図８は、変形例に係るペリクル枠体を上から見た図である。図８に示すように、ペリクル枠体２Ｂは、接合形態が上述のペリクル枠体２と異なっている。ペリクル枠体２Ｂは、長辺２Ｂａ，２Ｂｂを構成する分割部材４０ａ〜４０ｄと、短辺２Ｂｃ，２Ｂｄを構成する分割部材４０ｅ〜４０ｈとから形成されている。長辺２Ｂａ，２Ｂｂを構成する分割部材４０ａ〜４０ｄの長さは等しく形成されており、短辺２Ｂｃ，２Ｂｄを構成する分割部材４０ｅ〜４０ｈの長さは等しく形成されている。ペリクル枠体２Ｂは、分割部材４０ａ〜４０ｄと分割部材４０ｅ〜４０ｈとが接合されることにより構成されており、８箇所の接合部４１ａ〜４１ｈを有している。接合部４１ａ〜４１ｈの構成は、図５（ａ）に示す構成と同様となっている。なお、接合部４１ａ〜４１ｈは、その他の形状であってもよい。
【実施例】
【００５１】
次に、実施例及び比較例を挙げて本実施形態をより具体的に説明するが、本実施の形態はその要旨を超えない限り、下記の実施例に限定されるものではない。
【００５２】
［実施例１］
ペリクル枠体の材質（全ての分割枠体の材質）は、アルミニウム合金であり、厚みを４．０ｍｍ、長辺の幅を６．０ｍｍ、長さを４３０ｍｍとした。また、短辺は、幅を６．０ｍｍ、長さを３００ｍｍとし、短辺の側面全長に渡って溝を設け、溝の深さを２ｍｍ、溝の高さを１．５ｍｍとした。また、角部の曲率をＲ＝２ｍｍとした。その他の構成は、図２に示す構成にてペリクル枠体を作製した。長辺を構成する分割部材の長さは３７０ｍｍであり、短辺を構成する分割部材の長さは２４０ｍｍとした。接合部は、図１０に示すように、分割部材８０ａの段差を有する端面８１ａと分割部材８０ｂの段差を有する端面８１ｂとを当接させた階段形状とした。具体的な寸法は、図１２において、下面から垂直に１．３ｍｍ、長手方向に１０ｍｍ、また垂直に１．３ｍｍ、長手方向に１０ｍｍ、更に垂直に１．４ｍｍとし、接着剤を使用した。接着剤は、ロックタイト６３８（ヘンケル製）を使用した。目視検査をした結果、外観上は問題がなかった。
【００５３】
（寸法安定測定の測定方法）
測定装置は、レーザー変位計（キーエンス製ＬＪ−Ｇ０３０）を用いて行った。正四角形の標準サンプルを枠体の外寸にあわせて１本ずつ作成した。それとは別に、実施例及び比較例の条件でそれぞれ１例につき５サンプル作成し、正四角形の標準サンプルと比較した。一番差がある部分が、５サンプル中１サンプルでも１．０ｍｍ以上あれば×、０．５ｍｍ以上１．０ｍｍ未満であれば△、０．５ｍｍ未満であれば○とした。
【００５４】
（接合強度テスト）
次に、接合強度テストを行った。上記と同様の形状の接合部を含む１００ｍｍの棒状の枠体のサンプルを作製した。接合部は、１００ｍｍの棒状の半分の５０ｍｍの位置とした。幅方向を上面に向けて、接合部から１０ｍｍあけてチャッキングを行い（チャッキングは、接合部から１０ｍｍ〜３０ｍｍの範囲）、チャッキングした反対側を接合部から１０ｍｍの箇所に力を加えて測定した。測定装置は、イマダのデジタルフォースゲージを使用した。結果を表１及び表２に示す。
【００５５】
次に、このペリクル枠体に対し、粘着剤としてスチレンエチレンブチレンスチレン系のホットメルト粘着剤、厚み１．４ｍｍをペリクル枠体の各辺に沿って塗布した。
【００５６】
別途、基板上にセルロースエステルのペリクル膜をスピンコート法により成膜し、そのペリクル膜を仮枠に接着させ、その後基板から剥離させた。この仮枠は、アルミニウム製のものを使用した。その後、上記ホットメルト粘着材を塗布したペリクル枠体において、ホットメルト接着剤が塗布されていない反対側の面に、アクリル系の膜接着剤を塗布し、仮枠のペリクル膜を接着させ硬化した。そして、余剰膜を切断してペリクルを作製し、目視により外観を検査し、問題のないことを確認した。切断後、ペリクル枠体が内側に撓むため、形状が安定した後、接合部の接合面を目視により確認した。その結果を表１及び表２に示す。
【表１】
【表２】
【００５７】
［実施例２］
ペリクル枠体は、長辺の幅を９．０ｍｍ、長さを８００ｍｍ、短辺の幅を７．０ｍｍ、長さを４８０ｍｍ、角部は曲率をＲ＝０ｍｍとした。それ以外の溝の長さ・深さ、ペリクル枠体の厚みは実施例１と同様にした。ペリクル枠体は、図７に示すような４分割とし、長辺を構成する分割枠材の長さを７９０ｍｍ、短辺を構成する分割枠材の長さを４８０ｍｍとした。接合部は、図５（ａ）に示す形状とした。各々の接合端面の最大接合距離を上記幅に対して１．５ｍｍ、各々の接合部内面の最大接合距離を２．０ｍｍ、前記接合部内面の大きさに対して０．０２ｍｍの嵌め合い時に潰れる部分（余剰部分）を設けた。そして、接着剤は使用せずに上下方向から嵌め合いを行った。目視検査を行った結果、外観上は問題がなかった。その後、ホットメルト粘着材の厚さを２．０ｍｍにした以外は実施例１と同様にペリクルを作製し、同じように評価を行った。その結果を表１及び表２に示す。
【００５８】
［実施例３］
ペリクル枠体は、長辺の幅を２１．０ｍｍ、長さを２０００ｍｍ、短辺の幅を１９．５ｍｍ、長さを１８００ｍｍ、角部は曲率をＲ＝０ｍｍとし、枠体の厚みを６．０ｍｍとした。それ以外の溝の長さ・深さは実施例１と同様にした。ペリクル枠体は、図８に示すような８分割とし、長辺を構成する分割部材の長さを各々９００ｍｍ、短辺を構成する分割部材の長さを各々９８２ｍｍとした。接合部は、図６（ｂ）に示す形状とした。各々の接合端面の最大接合距離を上記幅に対して２．１ｍｍ、各々の接合部内面の最大接合距離を４．２ｍｍ、クリアランスを０．０１５ｍｍにして、接着剤は使用せずに上下方向から嵌め合いを行った。目視検査を行った結果、外観上は問題がなかった。その後、ホットメルト粘着材の厚さを２．０ｍｍにした以外は実施例１と同様にペリクルを作製し、同じように評価を行った。その結果を表１及び表２に示す。
【００５９】
［比較例１］
ペリクル枠体は、接合部の無い、１枚のシート状母材からの切り出したものを用意した。長辺の幅を９．０ｍｍ、長さを８００ｍｍ、短辺の幅を７．０ｍｍ、長さを４８０ｍｍとした。材質はアルミニウム合金、厚みを４．０ｍｍとした。短辺の側面には、全長に渡って溝を設け、溝の深さを２ｍｍ、溝の高さを１．５ｍｍとした。また、角部の曲率をＲ＝２ｍｍとした。それ以外は、実施例１と同様にペリクルを作製し、評価を同様に行った。その結果を表１及び表２に示す。但し、接合部がないので接合強度テストは行っていない。
【００６０】
［比較例２］
接合部の形状を図９のような単純形状(枠体を垂直に切断した形状)にして、レーザー溶接を行った以外は実施例１と同様の構成とした。その結果を表１及び表２に示す。ペリクル膜を展張後外観にガタがあって異物が発生していた。
【００６１】
[比較例３]
接合部の形状を図９のような単純結合として、２液性の常温硬化型ウレタン接着剤を用いて接合した以外は、実施例１と同様にしてペリクル枠体を作製した後、実施例１と同様にペリクルを作成し、評価を同様に行った。その結果を表１及び表２に示す。ペリクル枠体を作製後、目視検査を行ったところ、接着剤のダレが発生し、外観上も接着剤のダレによるシミ等が見受けられた。
【００６２】
［参考例１］
ペリクル枠体は、図１１に示すように、接合部の形状を正三角形に、接合部分を２個形成した。各々の辺を２．０ｍｍとし、ヤキバメの方法にて接合した。それ以外は、実施例２と同様のペリクル枠体を作製した後、実施例１と同様に評価を行った。その結果を表１及び表２に示す。ペリクル枠体を作製後、目視検査を行ったところ、接合部に溶接の後の凹凸が発生し、外観としてはよくないものであった。また、ペリクル作製後の外観も、凹凸部分がキラキラ光って異物に見えて、検査性も良くないものとなった。
【００６３】
［参考例２］
ペリクル枠体は、図１２に示すように、接合部の形状を、分割部材７０ａ，７０ｂの端面７１ａ，７１ｂを台形状のほぞと溝とを形成した形状として、接合部分が３個形成された形状とした。各々の接合端面の最大接合距離を上記幅に対して４．２ｍｍ、各々の接合部内面の最大接合距離を２．１ｍｍとして、焼きバメを用いて接合し、ペリクル枠体を作製した。その後は、実施例１と同様にペリクルを作製し、評価を同様に行った。その結果を表１及び表２に示す。ペリクル枠体を作製後、目視検査を行ったところ、外観は良好であったが、接合強度が弱いため、ペリクル作製後の目視検査にて、隙間やガタが見受けられ、そこに異物が挟まっていた。また、形状が矩形状ではなくなっていた。
【００６４】
本発明は、上述の実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、各分割部材２０ａ，２０ｂ（分割部材３０ａ，３０ｂ、分割部材４０ａ〜４０ｄ）、分割部材２０ｃ，２０ｄ（分割部材３０ａ，３０ｂ、分割部材４０ｅ〜４０ｈ）の形状をある程度揃えているが、各分割部材の形状がそれぞれ相違していても差し支えない。
【符号の説明】
【００６５】
１…ペリクル、２…ペリクル枠体、３…ペリクル膜、４…開口部、２０ａ〜２０ｄ…分割部材（枠部材）、２１ａ〜２１ｄ…連結部材（枠部材）、２２ａ〜２２ｈ…接合部、２３…凸部、２４…凹部。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばＩＣ（Integrated Circuit：集積回路）、ＬＳＩ（Large ScaleIntegration：大規模集積回路）、ＴＦＴ型ＬＣＤ（Thin Film Transistor，Liquid Crystal Display：薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ）等の半導体装置を製造する際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマクスやレティクルに異物が付着することを防止するために用いるペリクル枠体及びペリクルに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体回路パターン等の製造においては、フォトマスクやレティクルの両面側にペリクルと称する防塵手段を配置して、フォトマスクやレティクルへの異物の付着を防止することが行われている。
【０００３】
ペリクルの一般的な構造としては、金属、セラミックス、又はポリマー製のペリクル枠体の片側に、ポリマー又はガラス等の透明な薄膜を貼り付け、その反対側に、マスクに貼り付けるための貼着剤層（粘着材）を設けたものが挙げられる。例えば、ペリクルは、フォトマスクやレティクルの形状に合わせた形状を有する厚さ数ミリ程度のペリクル枠体の一方の縁面に、厚さ１０μｍ以下のニトロセルロース又はセルロース誘導体等の透明な高分子膜から成るペリクル膜を展張して接着し、且つペリクル枠体の他方の縁面に粘着材を介してフォトマスクやレティクルの表面に貼着している。
【０００４】
フォトマスクやレティクルの表面に異物が付着した場合、その異物が半導体ウエハ上に形成されたフォトレジスト上に結像して回路パターン欠陥の原因となるが、フォトマスクやレティクルの少なくともパターン面にペリクルを配置した場合、ペリクルの表面に付着した異物はフォーカス位置がずれるため、半導体ウエハ上に形成されたフォトレジスト上に結像することがなく、回路パターンに欠陥を生じさせることがない。
【０００５】
また、近年では、各種のマルチメディアの普及により、高画質・高精細表示が可能な大型のカラーＴＦＴＬＣＤのフォトリソグラフィ工程で使用される大型のフォトマスクに適用できるペリクルが要望されている。
【０００６】
例えば、特許文献１には、大型のフォトマスクに適用できるペリクルが開示されている。また、特許文献２には、ペリクル枠体の撓みや歪に対応するために、枠体と枠体より弾性係数の大きい補強材を利用した枠体も開示されている。
【０００７】
また、特許文献３には、高解像度を必要とする露光において使用される２００ｎｍ以下の紫外光露光に利用されるペリクル枠体であって、マスクの平坦性の精度に影響しないペリクル枠体として、弾性率が異なる２種類以上の材料を枠体の厚み方向に接合した枠体を利用することも開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００１−１０９１３５号公報
【特許文献２】特開２００６−２８４９２７号公報
【特許文献３】特開２００９−０６３７４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、ペリクル枠体は、１枚のシート状母材を打ち抜くことにより作製され、接合部のない一体型のものが多い。これは、ペリクルの平坦性を確保する観点等に基づくものである。母材の平坦性によってはペリクル枠体の作製に使用できない母材もあり、ペリクル枠体が大型化するほど、ペリクル枠体の平坦性の精度を出すことは容易ではない。そのため、製造工程にも手間がかかり、歩留まり低下やペリクル枠体作製のコスト向上の原因となっている。
【００１０】
また、ペリクルの大型化に伴い、ペリクル枠体自体の自重、ペリクル膜の張力、及び温度変化に起因する応力といった各種要因により、ペリクル枠体に撓みや歪が発生する可能性がある。そのため、一般的に、剛性の高い１枚のシート状母材を打ち抜いてペリクル枠体を作製して使用している。ペリクル枠体の撓みや歪は、ペリクル膜を張り付けた後に、ペリクル膜の張力により内側に向かって生じるものであるが、フォトマスクメーカーの露光面積を確保したいという要求に対応するために、できるだけ小さくする必要がある。そこで、ペリクル枠体の断面積を大きくして（部材を太くして）ペリクル枠体の剛性を向上させる方法があるが、この方法は有効露光面積等を考慮すると好ましくない。
【００１１】
上述の理由から、ペリクル枠体は、一体型ものよりも分割された枠体（以下、分割枠体という）であることが好ましいと考えられる。しかし、ペリクル枠体を分割枠体とする場合には、コスト低減といった利点がある一方、撓みや歪が発生する可能性があり、また、剛性が実用のための特性を充たさず、商品としての実用化が難しいといった現状がある。この点に関して、上記特許文献２では、剛性を確保するために、接合部にペリクル枠体よりも剛性の高い部材を用いて接着剤等を使用したり、摩擦攪拌溶接等の特殊な方法を使用している。しかしながら、異なる素材の部材を強固に接着するのは容易ではなく、また、接着剤溜りのような接合部に特殊な加工が必要であったり、露光中に接着剤からのアウトガス発生が懸念されたり、摩擦攪拌溶接等のような特殊な溶接技術が必要になる。
【００１２】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、分割枠体とする場合であっても接合部に剛性の高い部材等を用いることなく剛性及び寸法安定性を維持できると共に、歩留まりを向上させることができるペリクル枠体及びペリクルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決するために、本発明に係るペリクル枠体は、平面視において矩形状を有する開口部を覆うようにペリクル膜を展張支持するペリクル枠体であって、開口部の周縁は枠部材によって形成されていると共に、枠部材は少なくとも一つの接合部によって接合されており、接合部における接合強度が１０ｋｇｆ以上であることを特徴とする。
【００１４】
このペリクル枠体では、枠部材の接合部における接合強度を１０ｋｇｆ以上としているため、分割枠体であっても、撓みや歪みを抑制できると共に、剛性を確保することができる。また、分割した枠部材により構成することで、寸法を容易に調整することができ、寸法精度を確保することができると共に、製造工程を簡易化できる。そのため、接合部を有さない枠体と同様の寸法精度を容易に得ることができる。したがって、分割枠体とする場合であっても接合部に剛性の高い部材等を用いることなく剛性及び寸法安定性を維持できると共に、歩留まりを向上させることができる。
【００１５】
また、分割枠体とすることで、１枚のシート状母材からの切り出しよりも切削加工工数が少なくなり、加工時にかかる枠部材への残留応力が小さくなる。また、素材の異方性を考えると、同じ方向性の枠部材を使用可能とするため、ペリクル枠体全体としての異方性が小さくなる。このように残留応力や異方性が小さくなるため、ペリクル製造工程内での加熱工程中での応力歪等による開放が小さくなり、ペリクルとして寸法が安定する。このため、残留応力を開放するために事前に加熱処理等を行う必要がなくなり、工程数が減るといった製造上のメリットもでてくる。また、応力歪は経時的に開放方向に向かうため、残留応力の小さい分割枠体の方が長期的に保管しても寸法の安定性を確保できる。
【００１６】
更に、複数の枠部材でペリクル枠体を形成することで、母材の平坦性の良い箇所の切り出しが可能になり、接合後のペリクル枠体の平坦性も向上することになる。また、小さな母材から大きなペリクル枠体を作製することも可能であり、コスト低減といったメリットもある。
【００１７】
接合部は、枠部材の一端部に形成された凸部と、枠部材の一端部に形成された凸部と接合する凹部とから構成されている好ましい。このような構成とすることにより、接合部の接合強度を良好に１０ｋｇｆ以上とすることができる。
【００１８】
接合部は、嵌合、接着剤及びカシメのいずれかにて接合されていることが好ましい。これらの接合方法を用いることにより、接合部の接合強度を十分に確保することができる。
【００１９】
枠部材は、対向する一対の長辺と、対向する一対の短辺とが角部を形成するように構成されており、接合部の少なくとも一つと接合部と最も近い距離にある角部との間の距離は、接合部が設けられた辺の長さの４５％以下であることが好ましい。このような構成によれば、枠体は矩形状であり、角部近傍は剛性が高いため、接合部を角部の近傍に配置することで、剛性を維持でき、ペリクル枠体の撓み等を抑えることが可能となる。また、角部近傍に接合部を設けることで、直角性もよくなり矩形の形状を保つ方向になるため、ペリクル枠体の撓み量を公差の範囲内（０％〜３％）とすることができる。
【００２０】
本発明に係るペリクルは、上述のいずれかのペリクル枠体と、ペリクル枠体の開口部を覆うように展張支持されたペリクル膜とを含むことを特徴とする。上述のペリクル枠体にペリクル膜を展張することにより、分割枠体とする場合であっても接合部に剛性の高い部材等を用いることなく剛性及び寸法安定性を維持できると共に、歩留まりを向上させることができる。また、従来のペリクルと同様の剛性、寸法精度が確保されているため、ペリクルを検品のとき等に治具にて操作する際、治具からの落下を抑制することができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、分割枠体とする場合であっても接合部に枠体よりも剛性の高い部材等を用いることなく実用上問題のない剛性及び寸法安定性を維持すると共に、歩留まりを向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の一実施形態に係るペリクルを示す斜視図である。
【図２】図１に示すペリクルを上からみた図である。
【図３】ペリクル枠体の角部を拡大して示す斜視図である。
【図４】接合部を示す図である。
【図５】接合部の他の形態を示す図である。
【図６】接合部の他の形態を示す図である。
【図７】変形例に係るペリクル枠体を上から見た図である。
【図８】変形例に係るペリクル枠体を上から見た図である。
【図９】実施例に係る接合部を示す図である。
【図１０】実施例に係る接合部を示す図である。
【図１１】実施例に係る接合部を示す図である。
【図１２】実施例に係る接合部を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、図面を参照しながら、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。
【００２４】
図１は、本発明の一実施形態に係るペリクルを示す斜視図であり、図２は、図１に示すペリクルを上から見た図である。各図に示すように、ペリクル１は、ペリクル枠体２と、ペリクル枠体２の上縁面２ｅに展張支持されたペリクル膜３とを備えている。なお、図示しないが、ペリクル１は、ペリクル枠体２の下縁面に塗布された貼着剤層と、貼着剤層に粘着され、この貼着剤層を保護する保護フィルムとを更に備えている。ペリクル１は、大型ペリクルであり、ペリクル枠体２は、大型のペリクル用枠体である。
【００２５】
ペリクル枠体２は、例えばアルミニウム、アルミニウム合金（５０００系、６０００系、７０００系等）、鉄及び鉄系合金、セラミックス（ＳｉＣ、ＡｌＮ、Ａｌ２Ｏ３等）、セラミックスと金属との複合材料（Ａｌ−ＳｉＣ、Ａｌ−ＡｌＮ、Ａｌ−Ａｌ２Ｏ３等）、炭素鋼、工具鋼、ステンレスシリーズ、マグネシウム合金、又はポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂等の樹脂等からなり、略矩形状を呈している。ペリクル１は、貼着剤層を介してマスクに貼り付くため、剛性が高くて比較的重量が小さいものが好ましく、アルミニウム、アルミニウム合金、マグネシウム合金、樹脂等の素材が好ましい。なお、ペリクル枠体２は、後述する複数の分割部材２０ａ〜２０ｄ及び連結部材２１ａ〜２１ｄにて構成されており、分割部材２０ａ〜２０ｄ及び連結部材２１ａ〜２１ｄは、同じ弾性係数を有する素材で形成されていることが好ましい。また、ペリクル枠体２の表面処理としては、アルマイト処理、塗装、塗料コーティング、めっき処理、低融点ガラスフリット処理、ＣＶＤ処理、スパッタ法などによるＰＶＤ処理などが挙げられる。
【００２６】
このペリクル枠体２は、対向する一対の長辺２ａ，２ｂと、この長辺２ａ，２ｂよりも短い対向する一対の短辺２ｃ，２ｄとを有している。ペリクル枠体２において、長辺２ａと長辺２ｂとの長さは等しく形成されており、短辺２ｃと短辺２ｄとの長さは等しく形成されている。ペリクル枠体２は、矩形状の開口部４を有している。この開口部４の開口面積は、好ましくは１０００ｃｍ２以上、より好ましくは３０００ｃｍ２以上、更に好ましくは５０００ｃｍ２以上、３５０００ｃｍ２以下である。
【００２７】
一対の長辺２ａ，２ｂは、幅が例えば９．０ｍｍの柱部材からなり、その長さは、例えば８００ｍｍである。一対の短辺２ｃ，２ｄは、幅が例えば７．０ｍｍの柱部材からなり、その長さは、例えば４８０ｍｍである。つまり、短辺２ｃ，２ｄの平面視（上面視）における幅は、長辺２ａ，２ｂの幅よりも狭い。ペリクル枠体２の角部５の曲率は、例えば、Ｒ＝２ｍｍである。なお、角部５に曲率が存しないと仮定した際の頂点を、以下、単に「頂点」と記載する。ペリクル枠体２の側面６には、溝部７が長手方向（辺方向）に沿って設けられている。
【００２８】
ペリクル枠体２の各辺２ａ〜２ｄの幅は、露光面積を確保する観点からは細ければ細いほど好ましいが、細すぎるとペリクル膜３の展張時にペリクル膜３の張力でペリクル枠体２が撓んでしまうという問題が生じるおそれがある。各辺の長さに対して剛性を考慮した幅の太さとするために、各辺２ａ〜２ｄは、３ｍｍ〜２５ｍｍ程度とすることができる。
【００２９】
また、ペリクル枠体２の厚みに関しても、薄ければ薄いほど軽くて扱いやすいペリクル１となるが、薄すぎるとペリクル膜３の展張時にペリクル膜３の張力でペリクル枠体２が撓んでしまうという問題が生じるおそれがある。各辺２ａ〜２ｄの長さに応じた両者のバランスから、ペリクル枠体２の厚みは、好ましくは３．５ｍｍ〜１２ｍｍ程度とすることができる。
【００３０】
ペリクル膜３は、例えばニトロセルロースやセルロース誘導体、フッ素系ポリマー、又はシクロオレフィン系ポリマー等の透明な高分子膜からなり、その厚さは、例えば１０μｍ以下０．１μｍ以上が好ましい。このペリクル膜３は、ペリクル枠体２の開口部４を覆うように上縁面２ｅに展張され、ペリクル枠体２に貼着支持されている。
【００３１】
ペリクル膜３をペリクル枠体２の上縁面２ｅに接着する接着剤は、例えば、アクリル樹脂接着剤、エポキシ樹脂接着剤、シリコーン樹脂接着剤、又は含フッ素シリコーン接着剤等のフッ素系ポリマーを用いることができる。
【００３２】
また、ペリクル膜３を貼着支持する粘着材としては、スチレンエチレンブチレンスチレン、スチレンエチレンプロピレンスチレン、もしくはオレフィン系等のホットメルト粘着材、シリコーン系粘着材、アクリル系粘着材、又は発泡体を基材とした粘着テープを用いることができる。粘着材層の厚さは、ペリクル枠体２の厚さと粘着材厚さの合計が規定されたペリクル膜３とフォトマスクの距離を越えない範囲で設定するものであり、例えば、１０ｍｍ以下０．０１ｍｍ以上が好ましい。
【００３３】
また、ペリクル膜３をフォトマスクに貼り付けた際に、貼着剤層の内側に空間が存在すると、該空間に異物が滞留する可能性がある。そのため、ペリクル枠体２の下縁面に粘着剤を塗布する際には、ペリクル１をフォトマスクに貼り付ける際の加圧で粘着剤層が潰れて広がることを考慮した上で、加圧時に開口部４に粘着剤がはみ出さない程度にペリクル枠体２の開口部４内側寄りに塗布することが好ましい。具体的には、貼着剤層内側の空間が粘着剤層の塗布幅の０．３５倍以内となるように塗布することが好ましい。粘着剤層の塗布幅はペリクル枠体２の各辺２ａ〜２ｄの幅に対し０．３〜０．６倍であることが好ましく、ペリクル枠体２の各辺２ａ〜２ｄに沿って塗布することが好ましい。
【００３４】
粘着材を保護する保護フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレート樹脂、又はポリエチレン樹脂からなるフィルムを用いることができる。また、粘着材の粘着力に応じて、離型剤、例えばシリコーン系離型剤、又はフッ素系離型剤を、保護フィルムの表面に塗布しても良い。保護フィルムの厚さは、例えば、１ｍｍ以下０．０１ｍｍ以上が好ましい。
【００３５】
続いて、ペリクル枠体２について、図２及び図３を参照しながら詳細に説明する。図３は、角部を拡大して示す斜視図である。
【００３６】
ペリクル枠体２は、開口部４の周縁を形成する複数の枠部材から構成される分割枠体であり、一対の長辺２ａ，２ｂの各々を構成する分割部材２０ａ，２０ｂと、一対の短辺２ｃ，２ｄの各々を構成する分割部材２０ｃ．２０ｄと、角部５を構成すると共に分割部材２０ａ，２０ｂと分割部材２０ｃ，２０ｄとを連結する連結部材２１ａ〜２１ｄとから構成されている。すなわち、ペリクル枠体２は、分割部材２０ａ，２０ｂの一端部と分割部材２０ｃ．２０ｄの一端部とが連結部材２１ａ〜２１ｄを介して略直角をなすように連結されることで略矩形状を呈している。ペリクル枠体２は、枠体の周方向に沿って８箇所の接合部２２ａ〜２２ｈを有している。
【００３７】
分割部材２０ａと分割部材２０ｂとは、実質的に同一で形状であり、分割部材２０ｃと分割部材２０ｄとは、実質的に同一形状である。また、角部５を各々形成する連結部材２１ａ〜２１ｄは、Ｌ字状を呈しており、いずれも実質的に同一形状である。分割部材２０ａ，２０ｂの長さは、例えば７００ｍｍであり、分割部材２０ｃ．２０ｄの長さは、例えば３８０ｍｍである。連結部材２１ａ〜２１ｄの長さは、一辺が例えば５０ｍｍである。接合部２２ａ〜２２ｈとこの接合部２２ａ〜２２ｈと最も近い距離にある角部５との間の距離は、接合部２２ａ〜２２ｈが設けられた長辺２ａ，２ｂ又は短辺２ｃ，２ｄの長さの４５％以下に設定されている。
【００３８】
ペリクル枠体２は、分割部材２０ａを基点とすると、開口部４の開口軸を基準とした時計回り方向に、分割部材２０ａ、連結部材２１ａ、分割部材２０ｄ、連結部材２１ｂ、分割部材２０ｂ、連結部材２１ｃ、分割部材２０ｃ、連結部材２１ｄの順に接続されて形成されている。なお、図２においては、接合部２２ａ〜２２ｈを８箇所としているが、接合部の数としては、１箇所以上あればよく、好ましくは２〜３０箇所、より好ましくは２〜２０箇所、更に好ましくは３〜１５箇所である。
【００３９】
ここで、接合部が１箇所の場合、１枚のシート状母材からの切削時において、接合部のない一体型ほどの平坦性や寸法精度を求めなくても接合部にて調整可能になり、また、１本の分割部材を塑性変形させて枠体にすることも可能となるため、母材の節約になりコストの低減を図れる。更に、接合部を２箇所以上とする場合、平坦性の調整が容易となるため更に好ましい。このように接合部を２箇所以上とすることで、ペリクル枠体２を構成する各々のパーツの加工精度を高めることができ、１枚のシート状母材から一体型のペリクル枠体を切り出すよりも容易に平坦性の精度を出すことが可能となり寸法精度が高まることになる。
【００４０】
上述の接合部２２ａ〜２２ｈは、図４に示すように、複雑形状（凹凸形状）を呈している。具体的には、例えば接合部２２ｆは、連結部材２１ｃに形成された凸部２３と、分割部材２０ｃに形成された凹部２４とから構成されている。連結部材２１ｃに形成された凸部２３は、平面視において略円形状を呈しており、基端側の幅寸法ｄ１よりも先端側の幅寸法ｄ２が大きくなっている。これに対応して、分割部材２０ｃに形成された凹部２４は、平面視において略円形状を呈している。接合部２２ｆは、連結部材２１ｃに形成された凸部２３と分割部材２０ｃに形成された凹部２４とか嵌合することにより接合されている。接合部２２ａ〜２２ｅ，２２ｇ，２２ｈについても、同様の構成を有している。
【００４１】
なお、接合部２２ａ〜２２ｈの形状は、上記形状以外の形状であってもよい。例えば、図５（ａ）に示すように、連結部材２１ａに複数（ここでは２つ）の凸部２３ａ，２３ｂが形成されており、これに対応して、分割部材２０ａに複数の凹部２４ａ，２４ｂが形成されていてもよい。また、図５（ｂ）に示すように、連結部材２１ａ及び分割部材２０ａにおいて、凸部２３及び凹部２４がそれぞれに形成された構成であってもよい。また、図６（ａ）及び（ｂ）に示すように、凸部２３ａ〜２３ｃ及び凹部２４ａ〜２４ｃが平面視において略台形形状を呈していてもよい。接合部２２ａ〜２２ｈの好ましい形状としては、ほぞと溝とから構成され、凸部（ほぞ）２３の全外周面（側面）を凹部（溝）２４の内周面が覆う形状が好ましい。つまり、図９に示すような分割部材５０ａ，５０ｂの平坦な端面５１ａ，５１ｂ同士を突き合わせるだけの単純形状ではなく、この単純形状と比較して相対的に接合面積が大きくなっていればよい。なお、角部５付近に接合部を設ける場合には、ペリクル枠体２の周方向に沿って端面を突き合わせる構成に限定されず、分割部材の側面に分割部材の端面を当接させる構成であってもよいし、角部５部分において傾斜する端面同士を当接させる構成でもよい。
【００４２】
接合部２２ａ〜２２ｈの接合強度は、１０ｋｇｆ以上となっている。ペリクル枠体２は、ペリクル膜３を張り付けた際に内側へ撓む。このとき、接合強度が１０ｋｇｆ以上である場合には、応力集中が緩和されるため、接合部２２ａ〜２２ｈにおいて隙間やガタ等が発生しにくくなる。これにより、分割部材２０ａ〜２０ｄ及び連結部材２１ａ〜２１ｄによりペリクル枠体２を構成しても寸法が安定する。また、ペリクル１は、ペリクル膜３を展張したときのペリクル枠体２の内側への撓みが少ないほうが好ましいが、接合部２２ａ〜２２ｈの接合強度を１０ｋｇｆ以上とすることで、ペリクル枠体２の内側への撓みを抑制できる。
【００４３】
このペリクル１の内側への撓みは、ペリクル１の有効露光面積の確保の観点から、マスクメーカーによって所定の量に規制されている。ペリクル枠体２においては、許容されている範囲内の撓み量とする必要があるが、接合強度を１０ｋｇｆ以上とすることで、上述のように撓みを抑制でき、撓み量を所定の範囲内に設定することができる。更に、ペリクル１をハンドリング（移動等の操作）する際には、ペリクル枠体２の溝部７に治具を装着して上下左右にペリクル１をハンドリングするが、内側への撓みが大きいと治具から外れてペリクル１が落下するおそれがある一方、外側に大きく撓むと治具への装着時にこすれが生じて異物が発生するおそれがある。この点、ペリクル枠体２では、接合部２２ａ〜２２ｈにおける接合強度を１０ｋｇｆとすることで、ペリクル１の落下を防止しつつ、異物の発生を抑制できる。
【００４４】
また、ペリクル枠体２へのペリクル膜３の貼り付けは、ペリクル枠体２に荷重をかけて行われるが、この荷重は、装置によって１０ｋｇｆ〜７０ｋｇｆと異なる。そのため、装置によってそれぞれ異なる荷重により接合部２２ａ〜２２ｈが変形しない対策が必要となる。また、ペリクル枠体２の形状が所定の寸法からずれている場合は、寸法修正を行うため接合部２２ａ〜２２ｈに局所的に加重がかかり、接合部２２ａ〜２２ｈが変形するおそれがある。これらの課題を解決するために、接合部２２ａ〜２２ｈの接合強度が１０ｋｇｆ以上であることが好ましく、より好ましくは１５ｋｇｆ以上であり、更に好ましくは２５ｋｇｆ以上である。
【００４５】
上述のような接合部２２ａ〜２２ｈの接合強度を達成し、ペリクル１として外観上も使用可能な接合方法としては、分割部材２０ａ〜２０ｄ及び連結部材２１ａ〜２１ｄを嵌合させる、或いは接着剤を用いること等が好ましい。嵌合させる場合、接合の端部に凸部を設け、他方の端部に嵌合させる凹部が設けられている形状が好ましい。更には、凸部の根元寸法（基端側寸法）が先端側の最大横寸法よりも小さい形状が長さ方向への引張にも強いためより好ましい。
【００４６】
接着剤を用いる場合は、接合部の様々な形状に適しており、形状によっては剛性を更に高めることができる。接着剤の塗布面積が大きい方が接着強度が強くなる方向になるため、垂直に切断された断面の接合（単純接合）よりも接着面積が大きい方が好ましい。単純接合でなければ、前述の接合等を併用して、接合強度を１０ｋｇｆ以上とすることができる。また、カシメは、接合部の表面を一部潰すため打痕キズが生じるが、剛性の面やマスク粘着材、膜接着剤等が問題なく塗布可能なため使用できる。また、嵌合や接着等の方法をとることで接合部２２ａ〜２２ｈの平坦性やペリクル１としての外観上、全く問題のないものになる。
【００４７】
上記のような接着以外の接合方法としては、レーザー溶接や焼きバメ、冷しバメ等も考えられるが、レーザー溶接は、接合強度は高いが、接合部に凹凸が生じるため極端に接合部のみ平坦性が悪くなり、また外観も好ましくない。また、焼きバメの場合、嵌合にプレス等の余計な圧力が不要なため外観上は良いが、熱伝導率の高いアルミ合金の場合は、焼きバメの効果が期待できず接合強度が低くなる可能性があるため好ましくない。冷しバメも焼きバメと同様な効果になり好ましくない。したがって、接合部の接合方法は、これらの理由から嵌合、接着剤が好ましい。
【００４８】
以上説明したように、ペリクル１のペリクル枠体２では、分割部材２０ａ〜２０ｄと連結部材２１ａ〜２１ｄとの接合部２２ａ〜２２ｈにおける接合強度を１０ｋｇｆ以上としているため、分割枠体であっても、撓みや歪みを抑制できると共に、剛性を確保することができる。また、分割部材２０ａ〜２０ｄ及び連結部材２１ａ〜２１ｄからなる分割枠体とすることで、寸法を容易に調整することができ、寸法精度を確保することができると共に製造工程を簡易化できる。そのため、接合部を有さない枠体と同様の寸法精度を容易にでることができる。したがって、分割枠体を用いる際に、接合部２２ａ〜２２ｈに剛性の高い部材等を用いることなく剛性及び寸法安定性を維持できると共に、歩留まりを向上させることができる。特に、ペリクル１が大型の場合には、本実施形態の構成が更に効果的となる。
【００４９】
続いて、上記実施形態の変形例について説明する。図７は、変形例に係るペリクル枠体を上から見た図である。図７に示すように、ペリクル枠体２Ａは、接合形態が上述のペリクル枠体２と異なっている。ペリクル枠体２Ａは、長辺２Ａａ，２Ａｂを構成する分割部材３０ａ，３０ｂと、短辺２Ａｃ，２Ａｄを構成する分割部材３０ｃ，３０ｄとから形成されている。長辺２Ａａ，２Ａｂ、つまり分割部材３０ａ，３０ｂの長さは等しく形成されており、短辺２Ａｃ，２Ａｄ、つまり分割部材３０ｃ，３０ｄの長さは等しく形成されている。ペリクル枠体２Ａは、分割部材３０ａ，３０ｂと分割部材３０ｃ，３０ｄとが接合されることにより構成されており、４箇所の接合部３１ａ〜３１ｄを有している。接合部３１ａ〜３１ｄの構成は、接合部２２ａ〜２２ｈと同様である。なお、接合部３１ａ〜３１ｄは、その他の形状であってもよい。
【００５０】
図８は、変形例に係るペリクル枠体を上から見た図である。図８に示すように、ペリクル枠体２Ｂは、接合形態が上述のペリクル枠体２と異なっている。ペリクル枠体２Ｂは、長辺２Ｂａ，２Ｂｂを構成する分割部材４０ａ〜４０ｄと、短辺２Ｂｃ，２Ｂｄを構成する分割部材４０ｅ〜４０ｈとから形成されている。長辺２Ｂａ，２Ｂｂを構成する分割部材４０ａ〜４０ｄの長さは等しく形成されており、短辺２Ｂｃ，２Ｂｄを構成する分割部材４０ｅ〜４０ｈの長さは等しく形成されている。ペリクル枠体２Ｂは、分割部材４０ａ〜４０ｄと分割部材４０ｅ〜４０ｈとが接合されることにより構成されており、８箇所の接合部４１ａ〜４１ｈを有している。接合部４１ａ〜４１ｈの構成は、図５（ａ）に示す構成と同様となっている。なお、接合部４１ａ〜４１ｈは、その他の形状であってもよい。
【実施例】
【００５１】
次に、実施例及び比較例を挙げて本実施形態をより具体的に説明するが、本実施の形態はその要旨を超えない限り、下記の実施例に限定されるものではない。
【００５２】
［実施例１］
ペリクル枠体の材質（全ての分割枠体の材質）は、アルミニウム合金であり、厚みを４．０ｍｍ、長辺の幅を６．０ｍｍ、長さを４３０ｍｍとした。また、短辺は、幅を６．０ｍｍ、長さを３００ｍｍとし、短辺の側面全長に渡って溝を設け、溝の深さを２ｍｍ、溝の高さを１．５ｍｍとした。また、角部の曲率をＲ＝２ｍｍとした。その他の構成は、図２に示す構成にてペリクル枠体を作製した。長辺を構成する分割部材の長さは３７０ｍｍであり、短辺を構成する分割部材の長さは２４０ｍｍとした。接合部は、図１０に示すように、分割部材８０ａの段差を有する端面８１ａと分割部材８０ｂの段差を有する端面８１ｂとを当接させた階段形状とした。具体的な寸法は、図１２において、下面から垂直に１．３ｍｍ、長手方向に１０ｍｍ、また垂直に１．３ｍｍ、長手方向に１０ｍｍ、更に垂直に１．４ｍｍとし、接着剤を使用した。接着剤は、ロックタイト６３８（ヘンケル製）を使用した。目視検査をした結果、外観上は問題がなかった。
【００５３】
（寸法安定測定の測定方法）
測定装置は、レーザー変位計（キーエンス製ＬＪ−Ｇ０３０）を用いて行った。正四角形の標準サンプルを枠体の外寸にあわせて１本ずつ作成した。それとは別に、実施例及び比較例の条件でそれぞれ１例につき５サンプル作成し、正四角形の標準サンプルと比較した。一番差がある部分が、５サンプル中１サンプルでも１．０ｍｍ以上あれば×、０．５ｍｍ以上１．０ｍｍ未満であれば△、０．５ｍｍ未満であれば○とした。
【００５４】
（接合強度テスト）
次に、接合強度テストを行った。上記と同様の形状の接合部を含む１００ｍｍの棒状の枠体のサンプルを作製した。接合部は、１００ｍｍの棒状の半分の５０ｍｍの位置とした。幅方向を上面に向けて、接合部から１０ｍｍあけてチャッキングを行い（チャッキングは、接合部から１０ｍｍ〜３０ｍｍの範囲）、チャッキングした反対側を接合部から１０ｍｍの箇所に力を加えて測定した。測定装置は、イマダのデジタルフォースゲージを使用した。結果を表１及び表２に示す。
【００５５】
次に、このペリクル枠体に対し、粘着剤としてスチレンエチレンブチレンスチレン系のホットメルト粘着剤、厚み１．４ｍｍをペリクル枠体の各辺に沿って塗布した。
【００５６】
別途、基板上にセルロースエステルのペリクル膜をスピンコート法により成膜し、そのペリクル膜を仮枠に接着させ、その後基板から剥離させた。この仮枠は、アルミニウム製のものを使用した。その後、上記ホットメルト粘着材を塗布したペリクル枠体において、ホットメルト接着剤が塗布されていない反対側の面に、アクリル系の膜接着剤を塗布し、仮枠のペリクル膜を接着させ硬化した。そして、余剰膜を切断してペリクルを作製し、目視により外観を検査し、問題のないことを確認した。切断後、ペリクル枠体が内側に撓むため、形状が安定した後、接合部の接合面を目視により確認した。その結果を表１及び表２に示す。
【表１】
【表２】
【００５７】
［実施例２］
ペリクル枠体は、長辺の幅を９．０ｍｍ、長さを８００ｍｍ、短辺の幅を７．０ｍｍ、長さを４８０ｍｍ、角部は曲率をＲ＝０ｍｍとした。それ以外の溝の長さ・深さ、ペリクル枠体の厚みは実施例１と同様にした。ペリクル枠体は、図７に示すような４分割とし、長辺を構成する分割枠材の長さを７９０ｍｍ、短辺を構成する分割枠材の長さを４８０ｍｍとした。接合部は、図５（ａ）に示す形状とした。各々の接合端面の最大接合距離を上記幅に対して１．５ｍｍ、各々の接合部内面の最大接合距離を２．０ｍｍ、前記接合部内面の大きさに対して０．０２ｍｍの嵌め合い時に潰れる部分（余剰部分）を設けた。そして、接着剤は使用せずに上下方向から嵌め合いを行った。目視検査を行った結果、外観上は問題がなかった。その後、ホットメルト粘着材の厚さを２．０ｍｍにした以外は実施例１と同様にペリクルを作製し、同じように評価を行った。その結果を表１及び表２に示す。
【００５８】
［実施例３］
ペリクル枠体は、長辺の幅を２１．０ｍｍ、長さを２０００ｍｍ、短辺の幅を１９．５ｍｍ、長さを１８００ｍｍ、角部は曲率をＲ＝０ｍｍとし、枠体の厚みを６．０ｍｍとした。それ以外の溝の長さ・深さは実施例１と同様にした。ペリクル枠体は、図８に示すような８分割とし、長辺を構成する分割部材の長さを各々９００ｍｍ、短辺を構成する分割部材の長さを各々９８２ｍｍとした。接合部は、図６（ｂ）に示す形状とした。各々の接合端面の最大接合距離を上記幅に対して２．１ｍｍ、各々の接合部内面の最大接合距離を４．２ｍｍ、クリアランスを０．０１５ｍｍにして、接着剤は使用せずに上下方向から嵌め合いを行った。目視検査を行った結果、外観上は問題がなかった。その後、ホットメルト粘着材の厚さを２．０ｍｍにした以外は実施例１と同様にペリクルを作製し、同じように評価を行った。その結果を表１及び表２に示す。
【００５９】
［比較例１］
ペリクル枠体は、接合部の無い、１枚のシート状母材からの切り出したものを用意した。長辺の幅を９．０ｍｍ、長さを８００ｍｍ、短辺の幅を７．０ｍｍ、長さを４８０ｍｍとした。材質はアルミニウム合金、厚みを４．０ｍｍとした。短辺の側面には、全長に渡って溝を設け、溝の深さを２ｍｍ、溝の高さを１．５ｍｍとした。また、角部の曲率をＲ＝２ｍｍとした。それ以外は、実施例１と同様にペリクルを作製し、評価を同様に行った。その結果を表１及び表２に示す。但し、接合部がないので接合強度テストは行っていない。
【００６０】
［比較例２］
接合部の形状を図９のような単純形状(枠体を垂直に切断した形状)にして、レーザー溶接を行った以外は実施例１と同様の構成とした。その結果を表１及び表２に示す。ペリクル膜を展張後外観にガタがあって異物が発生していた。
【００６１】
[比較例３]
接合部の形状を図９のような単純結合として、２液性の常温硬化型ウレタン接着剤を用いて接合した以外は、実施例１と同様にしてペリクル枠体を作製した後、実施例１と同様にペリクルを作成し、評価を同様に行った。その結果を表１及び表２に示す。ペリクル枠体を作製後、目視検査を行ったところ、接着剤のダレが発生し、外観上も接着剤のダレによるシミ等が見受けられた。
【００６２】
［参考例１］
ペリクル枠体は、図１１に示すように、接合部の形状を正三角形に、接合部分を２個形成した。各々の辺を２．０ｍｍとし、ヤキバメの方法にて接合した。それ以外は、実施例２と同様のペリクル枠体を作製した後、実施例１と同様に評価を行った。その結果を表１及び表２に示す。ペリクル枠体を作製後、目視検査を行ったところ、接合部に溶接の後の凹凸が発生し、外観としてはよくないものであった。また、ペリクル作製後の外観も、凹凸部分がキラキラ光って異物に見えて、検査性も良くないものとなった。
【００６３】
［参考例２］
ペリクル枠体は、図１２に示すように、接合部の形状を、分割部材７０ａ，７０ｂの端面７１ａ，７１ｂを台形状のほぞと溝とを形成した形状として、接合部分が３個形成された形状とした。各々の接合端面の最大接合距離を上記幅に対して４．２ｍｍ、各々の接合部内面の最大接合距離を２．１ｍｍとして、焼きバメを用いて接合し、ペリクル枠体を作製した。その後は、実施例１と同様にペリクルを作製し、評価を同様に行った。その結果を表１及び表２に示す。ペリクル枠体を作製後、目視検査を行ったところ、外観は良好であったが、接合強度が弱いため、ペリクル作製後の目視検査にて、隙間やガタが見受けられ、そこに異物が挟まっていた。また、形状が矩形状ではなくなっていた。
【００６４】
本発明は、上述の実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、各分割部材２０ａ，２０ｂ（分割部材３０ａ，３０ｂ、分割部材４０ａ〜４０ｄ）、分割部材２０ｃ，２０ｄ（分割部材３０ａ，３０ｂ、分割部材４０ｅ〜４０ｈ）の形状をある程度揃えているが、各分割部材の形状がそれぞれ相違していても差し支えない。
【符号の説明】
【００６５】
１…ペリクル、２…ペリクル枠体、３…ペリクル膜、４…開口部、２０ａ〜２０ｄ…分割部材（枠部材）、２１ａ〜２１ｄ…連結部材（枠部材）、２２ａ〜２２ｈ…接合部、２３…凸部、２４…凹部。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面視において矩形状を有する開口部を覆うようにペリクル膜を展張支持するペリクル枠体であって、
前記開口部の周縁は枠部材によって形成されていると共に、前記枠部材は少なくとも一つの接合部によって接合されており、
前記接合部における接合強度が１０ｋｇｆ以上であることを特徴とするペリクル枠体。
【請求項２】
前記接合部は、枠部材の一端部に形成された凸部と、当該枠部材の一端部に形成された前記凸部と接合する凹部とから構成されている請求項１記載のペリクル枠体。
【請求項３】
前記接合部は、嵌合、接着剤及びカシメのいずれかにて接合されている請求項１又は２記載のペリクル枠体。
【請求項４】
前記枠部材は、対向する一対の長辺と、対向する一対の短辺とが角部を形成するように構成されており、
前記接合部の少なくとも一つと当該接合部と最も近い距離にある角部との間の距離は、当該接合部が設けられた辺の長さの４５％以下である請求項１〜３のいずれか１項に記載のペリクル枠体。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載のペリクル枠体と、当該ペリクル枠体の開口部を覆うように展張支持されたペリクル膜とを含むことを特徴とするペリクル。
【請求項１】
平面視において矩形状を有する開口部を覆うようにペリクル膜を展張支持するペリクル枠体であって、
前記開口部の周縁は枠部材によって形成されていると共に、前記枠部材は少なくとも一つの接合部によって接合されており、
前記接合部における接合強度が１０ｋｇｆ以上であることを特徴とするペリクル枠体。
【請求項２】
前記接合部は、枠部材の一端部に形成された凸部と、当該枠部材の一端部に形成された前記凸部と接合する凹部とから構成されている請求項１記載のペリクル枠体。
【請求項３】
前記接合部は、嵌合、接着剤及びカシメのいずれかにて接合されている請求項１又は２記載のペリクル枠体。
【請求項４】
前記枠部材は、対向する一対の長辺と、対向する一対の短辺とが角部を形成するように構成されており、
前記接合部の少なくとも一つと当該接合部と最も近い距離にある角部との間の距離は、当該接合部が設けられた辺の長さの４５％以下である請求項１〜３のいずれか１項に記載のペリクル枠体。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載のペリクル枠体と、当該ペリクル枠体の開口部を覆うように展張支持されたペリクル膜とを含むことを特徴とするペリクル。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【公開番号】特開２０１２−５３３０５（Ｐ２０１２−５３３０５Ａ）
【公開日】平成２４年３月１５日（２０１２．３．１５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−１９６２３０（Ｐ２０１０−１９６２３０）
【出願日】平成２２年９月１日（２０１０．９．１）
【出願人】（３０９００２３２９）旭化成イーマテリアルズ株式会社 (771)
【出願人】（５９５１５２１６２）株式会社村元工作所 (11)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年３月１５日（２０１２．３．１５）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年９月１日（２０１０．９．１）
【出願人】（３０９００２３２９）旭化成イーマテリアルズ株式会社 (771)
【出願人】（５９５１５２１６２）株式会社村元工作所 (11)
【Ｆターム（参考）】
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