光学測定機
【課題】被検物を透過照明する場合に、装置全体を大型化させることなく、より効率的に被検物を照明できるようにする。
【解決手段】被検物１２が載置されるステージ３１には、複数の発光ダイオードが並べられて構成された透過照明パネル３５が設けられている。被検物１２の寸法測定を行なう場合、コントローラ２２は、ステージ３１の移動量に基づいて、ステージ３１上における対物レンズ３２の観察視野の中心位置を求める。そして、コントローラ２２は、求めた中心位置と、対物レンズ３２の観察視野の大きさとから、透過照明パネル３５を構成する発光ダイオードのうち、対物レンズ３２の観察視野内にあるものだけが発光するように、各発光ダイオードの点灯を制御する。本発明は、光学測定機に適用することができる。
【解決手段】被検物１２が載置されるステージ３１には、複数の発光ダイオードが並べられて構成された透過照明パネル３５が設けられている。被検物１２の寸法測定を行なう場合、コントローラ２２は、ステージ３１の移動量に基づいて、ステージ３１上における対物レンズ３２の観察視野の中心位置を求める。そして、コントローラ２２は、求めた中心位置と、対物レンズ３２の観察視野の大きさとから、透過照明パネル３５を構成する発光ダイオードのうち、対物レンズ３２の観察視野内にあるものだけが発光するように、各発光ダイオードの点灯を制御する。本発明は、光学測定機に適用することができる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ステージに載置された被検物を透過照明する場合において、装置全体を大型化させることなく、より効率的に被検物を照明できるようにした光学測定機に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、測定顕微鏡や画像測定機、測定投影機などの光学測定機は、部品等の被検物の幾何寸法を計測するために広く使用されている。
【０００３】
このような光学測定機には、被検物が載置され、被検物上において観察光学系が観察している視野中心の位置を読み取り可能なステージと、ステージの観察光学系側とは反対側から、被検物を透過照明する照明装置が設けられている。
【０００４】
例えば、ステージに対して観察光学系を鉛直方向に配置した縦型の光学測定機では、照明装置はステージの鉛直方向下側に配置され、さらにステージ中央には、照明装置からの照明光を通過させるために、照明光学系の光軸に沿って貫通穴が設けられている（例えば、特許文献１参照）。ステージに貫通穴を設けた光学測定機には、ステージ上面に、被検物を載置するためのガラス板が配置されているものも多い。
【０００５】
また、ステージに貫通穴を設けずに、ステージ上面に透過照明用の発光パネルを設けた顕微鏡も提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−１８１２０号公報
【０００７】
【特許文献２】特開平８−１４６３００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上述した技術では、装置全体を大型化させることなく、効率的に被検物を照明することは困難であった。
【０００９】
例えば、縦型の光学測定機では、貫通穴を設けるとステージ強度が低下してしまうので、その強度低下を補うため、ステージの部材を厚くする必要があり、結果的に装置全体が大きくなり、装置も重くなってしまう。
【００１０】
また、ステージ上面に発光パネルを設けた顕微鏡では、ステージ上面全体を発光させるため、消費電力が多くなってしまうだけでなく、被検物の観察対象とならない部分、すなわち観察視野外の領域も常に照明されるため、効率的とはいえなかった。
【００１１】
本発明は、このような状況に鑑みてなされたものであり、装置全体を大型化させることなく、より効率的に被検物を照明することができるようにするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の光学測定機は、被検物が載置されるステージと、前記被検物が載置される前記ステージ表面の各領域に照明光を照射することで、前記被検物を透過照明する複数の照明部と、前記被検物からの光を集光して、前記被検物の像を結像させる観察光学系と、前記ステージに対する前記観察光学系の観察視野の位置を検出する位置検出手段と、前記位置検出手段による検出結果に基づいて、前記ステージ表面における、前記観察光学系の前記観察視野中心を含む所定の大きさの領域が前記照明光により照明されるように、複数の前記照明部による前記照明光の照射を制御する照明制御手段とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、装置全体を大型化させることなく、より効率的に被検物を照明することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明を適用した光学測定機の一実施の形態の構成例を示す図である。
【図２】ステージとコントローラのより詳細な構成例を示す図である。
【図３】照明処理を説明するフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を参照して、本発明を適用した実施の形態について説明する。
【００１６】
［光学測定機の構成］
図１は、本発明を適用した光学測定機の一実施の形態の構成例を示す図である。なお、図１において、横方向、奥行き方向、および縦方向は、互いに直交するｘ方向、ｙ方向、およびｚ方向を示している。
【００１７】
例えば、光学測定機１１は、測定対象である被検物１２の任意の部位の寸法を測定する測定機であり、測定機本体２１とコントローラ２２とから構成される。
【００１８】
測定機本体２１には、被検物１２が載置されるステージ３１、被検物１２からの光を集光する対物レンズ３２、および被検物１２を観察するための接眼レンズ３３が設けられている。また、ステージ３１には、原点スイッチ３４と、被検物１２を対物レンズ３２側とは反対側から透過照明するための透過照明パネル３５が設けられている。
【００１９】
ここで、原点スイッチ３４は、例えばストロークエンドセンサなどからなり、ｘｙ平面上におけるステージ３１の位置、より詳細には、ステージ３１に対する対物レンズ３２の観察視野の中心位置を検出するときの基準となる位置をリセットするスイッチである。なお、原点スイッチ３４は、ユーザにより直接操作されるスイッチなどとされてもよい。そのような場合、ユーザは、原点スイッチ３４を操作することで、光学測定機１１に、基準となる位置を認識させる。
【００２０】
透過照明パネル３５から被検物１２に照明光が照射されると、被検物１２からの光は、対物レンズ３２、接眼レンズ３３、および図示せぬレンズ等により構成される観察光学系により集光されて、被検物１２の像が結像される。これにより、ユーザは接眼レンズ３３から被検物１２を観察することができる。
【００２１】
なお、測定機本体２１にカメラを設け、カメラにより撮像された被検物１２の観察画像が、コントローラ２２に表示されるようにしてもよい。
【００２２】
さらに、測定機本体２１の対物レンズ３２近傍には、対物レンズ３２の光学倍率を特定するための認識センサ３６が設けられている。
【００２３】
例えば、認識センサ３６は、測定機本体２１に装着された対物レンズ３２に関する情報を、測定機本体２１から読み出すことで、対物レンズ３２の光学倍率を特定し、得られた光学倍率を示す倍率情報をコントローラ２２に供給する。この倍率情報から、観察光学系（対物レンズ３２）の観察視野、すなわち対物レンズ３２が観察可能なステージ３１上の領域の大きさを特定することができる。以下では、対物レンズ３２の観察視野は円形状であるものとし、観察視野の半径を半径Ｒと称する。
【００２４】
コントローラ２２は、ユーザの操作に応じて測定機本体２１の動作を制御する。例えば、コントローラ２２は、認識センサ３６からの倍率情報と、対物レンズ３２の観察視野の中心位置とに基づいて、ステージ３１における、対物レンズ３２の観察視野内の領域のみが透過照明されるように、透過照明パネル３５を制御する。また、コントローラ２２は、ユーザの操作に応じて、被検物１２の指定された部位間の寸法を測定し、その測定結果を液晶ディスプレイなどからなる表示部３７に表示させる。
【００２５】
［コントローラ等の構成］
また、図１のステージ３１およびコントローラ２２は、より詳細には、図２に示すように構成される。なお、図２において、横方向、奥行き方向、および縦方向は、それぞれｘ方向、ｙ方向、およびｚ方向を示している。また、図２において、図１における場合と対応する部分には、同一の符号を付してあり、その説明は適宜省略する。
【００２６】
図２の例では、ステージ３１は、主にステージ台座６１、ｘ可動部６２、ｙ可動部６３、透過照明パネル３５、およびすりガラス６４から構成される。
【００２７】
ステージ台座６１は、測定機本体２１に固定されており、このステージ台座６１の図中、上側にｘ方向に移動可能なｘ可動部６２が設けられている。また、ｘ可動部６２の図中、上側には、ｙ方向に移動可能なｙ可動部６３が設けられている。
【００２８】
これらのｘ可動部６２およびｙ可動部６３が、ステージ台座６１およびｘ可動部６２に対してｘ方向およびｙ方向に移動することで、ステージ３１上に載置された被検物１２もｘｙ方向に移動する。すなわち、測定機本体２１に固定された対物レンズ３２に対して、対物レンズ３２の光軸と垂直な方向に被検物１２を移動させることで、被検物１２の任意の部位を観察することができるようになる。
【００２９】
さらに、ｙ可動部６３の図中、上側には、例えばｘｙ方向に並べられた複数の発光ダイオードからなる板状の透過照明パネル３５が設けられ、透過照明パネル３５の図中、上側には、被検物１２が載置される板状のすりガラス６４が設けられている。被検物１２と透過照明パネル３５との間にすりガラス６４を設けることで、各発光ダイオードからの照明光がすりガラス６４で拡散され、被検物１２に照射される照明光にむらが生じることを防止することができる。つまり、略均一な明るさの照明光を、被検物１２に照射することができる。
【００３０】
ここで、透過照明パネル３５のｘｙ方向の寸法は、ステージ３１が対物レンズ３２に対してｘｙ方向に可動可能なストローク（測定範囲）と、対物レンズ３２の観察視野の大きさとが考慮されて定められる。すなわち、ステージ３１の位置によらず、対物レンズ３２の観察視野内が常に照明光により照明できるように、透過照明パネル３５の大きさが予め定められている。
【００３１】
なお、透過照明パネル３５を構成する発光ダイオードが射出する照明光は、どのような色の光であってもよいが、ユーザの目の疲労や観察光学系での色収差の低減を考慮すると、白色光や、緑等の単色光であることが望ましい。
【００３２】
また、透過照明パネル３５を構成する発光素子は、発光ダイオードに限らず、その他の固体発光素子や、冷陰極放電管などであればよい。ここでいう固体発光素子には、発光ダイオード、レーザダイオード、有機ＥＬ（Electro Luminescence）、プラズマ発光素子などが含まれるものとする。さらに、すりガラス６４も、照明光を拡散することができる板状の部材であれば、どのようなものであってもよい。
【００３３】
ステージ台座６１およびｘ可動部６２には、ｘ可動部６２およびｙ可動部６３のｘ方向およびｙ方向への移動に応じて信号を出力するエンコーダ６５およびエンコーダ６６が設けられている。例えば、これらのエンコーダ６５およびエンコーダ６６は、リニアエンコーダから構成される。
【００３４】
図２の例では、エンコーダ６５は、ステージ台座６１の側面ではなく、ステージ台座６１の略中心に位置するように、つまり対物レンズ３２の略真下に位置するようにステージ台座６１に固定されている。同様に、エンコーダ６６もｘ可動部６２の略中心に位置するように、ｘ可動部６２に固定されている。
【００３５】
このように、ステージ３１では、被検物１２が載置されるすりガラス６４の直下に透過照明パネル３５を配置する構成とされているので、従来の光学測定機のように、ステージに照明用の貫通穴を設ける必要がない。そのため、対物レンズ３２の略真下にエンコーダ６５とエンコーダ６６を配置し、アッベ誤差を低減させることができる。これにより、対物レンズ３２に対するステージ３１のｘｙ方向への移動量をより正確に検出することができる。
【００３６】
なお、エンコーダ６５やエンコーダ６６は、リニアエンコーダに限らず、モータやハンドル等の回転機構に設けられるロータリエンコーダなど、ステージ３１のｘｙ方向への移動量を検出できるものであれば、どのようなものであってもよい。
【００３７】
また、コントローラ２２は、位置演算部６７、照明領域演算部６８、照明制御部６９、測定部７０、および表示部３７から構成される。
【００３８】
位置演算部６７は、エンコーダ６５およびエンコーダ６６から出力された信号に基づいて、ｘ方向およびｙ方向に平行な軸をｘ軸およびｙ軸とするｘｙ座標系における、対物レンズ３２の観察視野の中心位置の座標を算出する。
【００３９】
例えば、ｘｙ座標系は、ステージ３１を構成するすりガラス６４の１つの端を原点とする座標系とされる。この場合、ステージ３１がｘｙ方向に移動すると、ステージ３１に対して相対的に対物レンズ３２が移動することになるので、ステージ３１のすりガラス６４表面上における対物レンズ３２の観察視野の中心位置、つまりｘｙ座標系における観察視野の中心位置の座標は変化する。
【００４０】
位置演算部６７は、エンコーダ６５およびエンコーダ６６からの信号に基づいて、ステージ３１の移動量を検出し、ｘｙ座標系における対物レンズ３２の観察視野の中心位置の座標（Pos_X，Pos_Y）を算出する。なお、以下では、観察視野の中心位置の座標（Pos_X，Pos_Y）を示す情報を、位置情報と称することとする。
【００４１】
照明領域演算部６８は、認識センサ３６からの倍率情報に基づいて、対物レンズ３２の観察視野の半径Ｒを算出するとともに、得られた半径Ｒと、位置演算部６７からの位置情報とに基づいて、対物レンズ３２の観察視野の領域を特定する。
【００４２】
また、照明領域演算部６８は、ステージ３１上における観察視野の領域の特定結果に基づいて、照明制御部６９を制御する。照明制御部６９は、照明領域演算部６８の制御に従って、透過照明パネル３５を構成する各発光ダイオードを個別に発光させたり、消灯させたりする。測定部７０は、ユーザの操作に応じて、位置演算部６７から位置情報を取得して、被検物１２の指定された部位間の距離（寸法）を演算し、部位間の距離の測定結果等を表示部３７に表示させる。
【００４３】
［光学測定機の動作］
次に、光学測定機１１の動作について説明する。
【００４４】
光学測定機１１の電源がオンされ、ユーザがステージ３１に設けられたハドルを操作してステージ３１を所定の位置に移動させることで、原点スイッチ３４をオンさせると、光学測定機１１は、ｘｙ座標系の原点位置をリセットする。なお、ステージ３１の移動は、ユーザがハンドル操作により手動で行なうようにしてもよいし、コントローラ２２がユーザの操作に従って、電動で行なうようにしてもよい。
【００４５】
また、ユーザがステージ３１上に被検物１２を載置し、被検物１２の特定の部位間の距離の測定開始を指示すると、光学測定機１１は、ユーザの操作に応じて測定処理を行う。
【００４６】
具体的には、例えば、ユーザが接眼レンズ３３を覗くと、ユーザには、観察光学系（対物レンズ３２）の観察視野内にある被検物１２の部位と、被検物１２の任意の位置を指定するための照準（レクチル）が見えるようになされている。ユーザは、被検物１２の所望の部位が照準の中心と重なるように、ステージ３１に設けられたハンドルを操作し、ｘ可動部６２とｙ可動部６３を移動させる。
【００４７】
そして、被検物１２の所望の部位に照準が合わせられた状態で、ユーザが測定開始を指示すると、位置演算部６７は、エンコーダ６５とエンコーダ６６から出力された信号に基づいて、観察視野の中心位置の座標（Pos_X，Pos_Y）を算出する。
【００４８】
測定部７０は、位置演算部６７から座標（Pos_X，Pos_Y）を示す位置情報を取得するとともに、取得された座標の位置を、被検物１２の距離測定の始点の位置とする。
【００４９】
また、測定部７０は、被検物１２の距離測定の始点の位置を原点とするｘ’ｙ’座標系における対物レンズ３２の観察視野の中心位置の座標（ｘ’，ｙ’）を表示部３７に表示させる。ここで、ｘ’ｙ’座標系は、ｘ’軸とｙ’軸がｘｙ座標系のｘ軸およびｙ軸と平行であり、原点の位置だけがｘｙ座標系とは異なる座標系である。
【００５０】
したがって、例えば、現時点では、対物レンズ３２の観察視野の中心位置は、被検物１２の距離測定の始点位置にあるので、表示部３７には、観察視野の中心位置の座標（ｘ’，ｙ’）として、（０，０）が表示されることになる。
【００５１】
また、ユーザがステージ３１を移動させ、被検物１２における距離測定の終点の位置に照準が合った状態で、距離測定を指示すると、測定部７０は、被検物１２の距離測定の終点位置の座標（Pos_X，Pos_Y）を示す位置情報を、位置演算部６７から取得する。
【００５２】
そして、測定部７０は、被検物１２の距離測定の始点と終点の座標（Pos_X，Pos_Y）に基づいて、始点から終点までの距離を算出し、算出された距離を測定結果として表示部３７に表示させる。さらに、測定部７０は、ｘ’ｙ’座標系における被検物１２の距離測定の終点位置の座標（ｘ’，ｙ’）も表示部３７に表示させる。
【００５３】
このようにして、光学測定機１１は、ユーザの操作に応じて被検物１２上の２点間の距離を測定し、その測定結果を表示する。このとき、光学測定機１１は、ステージ３１がどのように移動されても、ステージ３１における対物レンズ３２の観察視野内の領域のみが、照明光により継続して透過照明されるように、透過照明パネル３５による被検物１２の照明を制御する。
【００５４】
次に、図３のフローチャートを参照して、光学測定機１１が透過照明パネル３５による照明を制御する処理である照明処理について説明する。この照明処理は、光学測定機１１の電源がオンされると開始される。
【００５５】
ステップＳ１１において、位置演算部６７は、エンコーダ６５とエンコーダ６６から出力された信号に基づいて、ｘｙ座標系における対物レンズ３２の観察視野の中心位置の座標（Pos_X，Pos_Y）を算出する。そして、位置演算部６７は、その算出結果を示す座標情報を照明領域演算部６８に供給する。
【００５６】
ステップＳ１２において、照明領域演算部６８は、認識センサ３６から供給された倍率情報に基づいて、対物レンズ３２の観察視野の半径Ｒを算出する。
【００５７】
そして、ステップＳ１３において、照明領域演算部６８は、算出した観察視野の半径Ｒと、位置演算部６７からの位置情報とを用いて、透過照明パネル３５を構成する発光ダイオードのうち、点灯させるべき発光ダイオードを特定する。
【００５８】
具体的には、例えば、照明領域演算部６８は、透過照明パネル３５を構成する各発光ダイオードを特定する情報と、それらの発光ダイオードのｘｙ座標系における位置を示す座標（ＸＬ，ＹＬ）とが対応付けられている位置テーブルを予め保持している。
【００５９】
そして、照明領域演算部６８は、位置テーブルを参照するとともに、位置情報に示される観察視野の座標を（Pos_X，Pos_Y）として、次式（１）を満たす発光ダイオードを、点灯（発光）させるべき発光ダイオードとする。
【００６０】
（ＸＬ−Pos_X）２＋（ＹＬ−Pos_Y）２＜Ｒ２ ・・・（１）
【００６１】
なお、式（１）において、ＸＬ，ＹＬは、透過照明パネル３５を構成する発光ダイオードの配置位置のｘ座標およびｙ座標であり、Ｒは対物レンズ３２の観察視野の半径を示している。
【００６２】
したがって、式（１）を満たす座標（ＸＬ，ＹＬ）の位置にある発光ダイオードは、現時点において、ステージ３１上における、対物レンズ３２の観察視野内にある発光ダイオード、つまり観察視野内の領域に照明光を照射する発光ダイオードである。
【００６３】
照明領域演算部６８は、式（１）を用いて、透過照明パネル３５を構成する発光ダイオードのうち、対物レンズ３２の観察視野内にある発光ダイオードを点灯すべきものとし、観察視野外にある発光ダイオードを消灯すべきものとする。
【００６４】
ステップＳ１４において、照明領域演算部６８は、点灯させるべき発光ダイオードの特定結果に基づいて、照明制御部６９を制御することで、透過照明パネル３５を構成する各発光ダイオードの点灯，消灯を制御する。
【００６５】
照明制御部６９は、照明領域演算部６８の制御に応じた電流信号を、透過照明パネル３５を構成する各発光ダイオードに供給し、発光ダイオードを点灯させたり、消灯させたりする。これにより、対物レンズ３２の観察視野内にある発光ダイオードのみが発光し、被検物１２が照明光により透過照明される。また、対物レンズ３２の観察視野外に位置する発光ダイオードは発光しない。
【００６６】
このようにして、透過照明パネル３５の発光ダイオードの点灯，消灯が制御されると、その後、処理はステップＳ１１に戻り、上述した処理が繰り返される。すなわち、ステージ３１が移動されると、対物レンズ３２の新たな観察視野内にある発光ダイオードが点灯するように、各発光ダイオードの点灯，消灯が制御される。この照明処理は、上述した測定処理中など、光学測定機１１の電源がオフされるまで継続して行なわれる。
【００６７】
以上のようにして、光学測定機１１は、ステージ３１の移動を検出し、その検出結果から得られた観察視野の中心位置と、観察視野の半径Ｒとに基づいて、観察視野内に位置する発光ダイオードのみを点灯させる。
【００６８】
このように、透過照明パネル３５の発光ダイオードのうち、観察視野内にある発光ダイオードのみを点灯させる照明処理を、被検物１２の距離測定時に行なうことで、被検物１２の注目すべき領域だけを、効率よく照明することができる。また、発光ダイオードを必要以上に発光させないことで、透過照明パネル３５における消費電力も低減させることができる。
【００６９】
さらに、光学測定機１１では、必要な発光ダイオードのみを点灯させるので、照明光等による発熱を抑えることができる。これにより、熱膨張によるステージ３１等の変形を抑制し、被検物１２の距離の測定精度を向上させることができる。
【００７０】
また、光学測定機１１では、被検物１２が載置されるすりガラス６４の直下に、複数の発光ダイオードを並べて配置する構成としたので、ステージ３１に照明用の貫通穴を設ける必要がなく、ステージ３１の強度を充分に確保することができる。したがって、ステージ３１を従来と比較してより薄いものとすることができ、その結果、光学測定機１１の小型化を図ることができる。
【００７１】
なお、以上においては、透過照明パネル３５が、ステージ３１に設けられる例について説明したが、透過照明パネル３５は、各発光ダイオードがステージ３１の各領域を透過照明できれば、どこに設けられていてもよい。
【００７２】
また、予め被検物１２の各部における照明光の透過率が求められている場合には、被検物１２を透過した照明光の光量が、各領域においてが均一となるように、点灯させる各発光ダイオードの照明光の光量が調整されるようにしてもよい。
【００７３】
そのような場合、例えば、照明領域演算部６８は、被検物１２の各部の透過率に応じた強度で照明光が射出されるように、照明制御部６９を制御する。照明制御部６９は、照明領域演算部６８の制御に従って、透過照明パネル３５の発光ダイオードに供給する電流信号の大きさ（振幅）を調整することで、所望の強度で発光ダイオードから照明光を射出させる。これにより、より良好な状態で被検物１２の観察を行なうことができる。
【００７４】
また、例えば、対物レンズ３２の観察視野の中心に近い位置ほど、照射される照明光の強度が強くなるように、照明領域演算部６８が観察視野内の発光ダイオードの照明光の強度を調整するようにしてもよい。さらに、ステージ３１の透過照明される領域は、必ずしも対物レンズ３２の観察視野の領域である必要はなく、観察視野の中心を含む所定の大きさの領域であればよい。
【００７５】
なお、本発明は、画像測定機、測定投影機、顕微鏡等に適用可能である。
【００７６】
また、本発明の実施の形態は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。
【符号の説明】
【００７７】
１１ 光学測定機， １２ 被検物， ２１ 測定機本体， ２２ コントローラ， ３１ ステージ， ３２ 対物レンズ， ３５ 透過照明パネル， ３６ 認識センサ， ６４ すりガラス， ６７ 位置演算部， ６８ 照明領域演算部， ６９ 照明制御部， ７０ 測定部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ステージに載置された被検物を透過照明する場合において、装置全体を大型化させることなく、より効率的に被検物を照明できるようにした光学測定機に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、測定顕微鏡や画像測定機、測定投影機などの光学測定機は、部品等の被検物の幾何寸法を計測するために広く使用されている。
【０００３】
このような光学測定機には、被検物が載置され、被検物上において観察光学系が観察している視野中心の位置を読み取り可能なステージと、ステージの観察光学系側とは反対側から、被検物を透過照明する照明装置が設けられている。
【０００４】
例えば、ステージに対して観察光学系を鉛直方向に配置した縦型の光学測定機では、照明装置はステージの鉛直方向下側に配置され、さらにステージ中央には、照明装置からの照明光を通過させるために、照明光学系の光軸に沿って貫通穴が設けられている（例えば、特許文献１参照）。ステージに貫通穴を設けた光学測定機には、ステージ上面に、被検物を載置するためのガラス板が配置されているものも多い。
【０００５】
また、ステージに貫通穴を設けずに、ステージ上面に透過照明用の発光パネルを設けた顕微鏡も提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−１８１２０号公報
【０００７】
【特許文献２】特開平８−１４６３００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上述した技術では、装置全体を大型化させることなく、効率的に被検物を照明することは困難であった。
【０００９】
例えば、縦型の光学測定機では、貫通穴を設けるとステージ強度が低下してしまうので、その強度低下を補うため、ステージの部材を厚くする必要があり、結果的に装置全体が大きくなり、装置も重くなってしまう。
【００１０】
また、ステージ上面に発光パネルを設けた顕微鏡では、ステージ上面全体を発光させるため、消費電力が多くなってしまうだけでなく、被検物の観察対象とならない部分、すなわち観察視野外の領域も常に照明されるため、効率的とはいえなかった。
【００１１】
本発明は、このような状況に鑑みてなされたものであり、装置全体を大型化させることなく、より効率的に被検物を照明することができるようにするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の光学測定機は、被検物が載置されるステージと、前記被検物が載置される前記ステージ表面の各領域に照明光を照射することで、前記被検物を透過照明する複数の照明部と、前記被検物からの光を集光して、前記被検物の像を結像させる観察光学系と、前記ステージに対する前記観察光学系の観察視野の位置を検出する位置検出手段と、前記位置検出手段による検出結果に基づいて、前記ステージ表面における、前記観察光学系の前記観察視野中心を含む所定の大きさの領域が前記照明光により照明されるように、複数の前記照明部による前記照明光の照射を制御する照明制御手段とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、装置全体を大型化させることなく、より効率的に被検物を照明することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明を適用した光学測定機の一実施の形態の構成例を示す図である。
【図２】ステージとコントローラのより詳細な構成例を示す図である。
【図３】照明処理を説明するフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を参照して、本発明を適用した実施の形態について説明する。
【００１６】
［光学測定機の構成］
図１は、本発明を適用した光学測定機の一実施の形態の構成例を示す図である。なお、図１において、横方向、奥行き方向、および縦方向は、互いに直交するｘ方向、ｙ方向、およびｚ方向を示している。
【００１７】
例えば、光学測定機１１は、測定対象である被検物１２の任意の部位の寸法を測定する測定機であり、測定機本体２１とコントローラ２２とから構成される。
【００１８】
測定機本体２１には、被検物１２が載置されるステージ３１、被検物１２からの光を集光する対物レンズ３２、および被検物１２を観察するための接眼レンズ３３が設けられている。また、ステージ３１には、原点スイッチ３４と、被検物１２を対物レンズ３２側とは反対側から透過照明するための透過照明パネル３５が設けられている。
【００１９】
ここで、原点スイッチ３４は、例えばストロークエンドセンサなどからなり、ｘｙ平面上におけるステージ３１の位置、より詳細には、ステージ３１に対する対物レンズ３２の観察視野の中心位置を検出するときの基準となる位置をリセットするスイッチである。なお、原点スイッチ３４は、ユーザにより直接操作されるスイッチなどとされてもよい。そのような場合、ユーザは、原点スイッチ３４を操作することで、光学測定機１１に、基準となる位置を認識させる。
【００２０】
透過照明パネル３５から被検物１２に照明光が照射されると、被検物１２からの光は、対物レンズ３２、接眼レンズ３３、および図示せぬレンズ等により構成される観察光学系により集光されて、被検物１２の像が結像される。これにより、ユーザは接眼レンズ３３から被検物１２を観察することができる。
【００２１】
なお、測定機本体２１にカメラを設け、カメラにより撮像された被検物１２の観察画像が、コントローラ２２に表示されるようにしてもよい。
【００２２】
さらに、測定機本体２１の対物レンズ３２近傍には、対物レンズ３２の光学倍率を特定するための認識センサ３６が設けられている。
【００２３】
例えば、認識センサ３６は、測定機本体２１に装着された対物レンズ３２に関する情報を、測定機本体２１から読み出すことで、対物レンズ３２の光学倍率を特定し、得られた光学倍率を示す倍率情報をコントローラ２２に供給する。この倍率情報から、観察光学系（対物レンズ３２）の観察視野、すなわち対物レンズ３２が観察可能なステージ３１上の領域の大きさを特定することができる。以下では、対物レンズ３２の観察視野は円形状であるものとし、観察視野の半径を半径Ｒと称する。
【００２４】
コントローラ２２は、ユーザの操作に応じて測定機本体２１の動作を制御する。例えば、コントローラ２２は、認識センサ３６からの倍率情報と、対物レンズ３２の観察視野の中心位置とに基づいて、ステージ３１における、対物レンズ３２の観察視野内の領域のみが透過照明されるように、透過照明パネル３５を制御する。また、コントローラ２２は、ユーザの操作に応じて、被検物１２の指定された部位間の寸法を測定し、その測定結果を液晶ディスプレイなどからなる表示部３７に表示させる。
【００２５】
［コントローラ等の構成］
また、図１のステージ３１およびコントローラ２２は、より詳細には、図２に示すように構成される。なお、図２において、横方向、奥行き方向、および縦方向は、それぞれｘ方向、ｙ方向、およびｚ方向を示している。また、図２において、図１における場合と対応する部分には、同一の符号を付してあり、その説明は適宜省略する。
【００２６】
図２の例では、ステージ３１は、主にステージ台座６１、ｘ可動部６２、ｙ可動部６３、透過照明パネル３５、およびすりガラス６４から構成される。
【００２７】
ステージ台座６１は、測定機本体２１に固定されており、このステージ台座６１の図中、上側にｘ方向に移動可能なｘ可動部６２が設けられている。また、ｘ可動部６２の図中、上側には、ｙ方向に移動可能なｙ可動部６３が設けられている。
【００２８】
これらのｘ可動部６２およびｙ可動部６３が、ステージ台座６１およびｘ可動部６２に対してｘ方向およびｙ方向に移動することで、ステージ３１上に載置された被検物１２もｘｙ方向に移動する。すなわち、測定機本体２１に固定された対物レンズ３２に対して、対物レンズ３２の光軸と垂直な方向に被検物１２を移動させることで、被検物１２の任意の部位を観察することができるようになる。
【００２９】
さらに、ｙ可動部６３の図中、上側には、例えばｘｙ方向に並べられた複数の発光ダイオードからなる板状の透過照明パネル３５が設けられ、透過照明パネル３５の図中、上側には、被検物１２が載置される板状のすりガラス６４が設けられている。被検物１２と透過照明パネル３５との間にすりガラス６４を設けることで、各発光ダイオードからの照明光がすりガラス６４で拡散され、被検物１２に照射される照明光にむらが生じることを防止することができる。つまり、略均一な明るさの照明光を、被検物１２に照射することができる。
【００３０】
ここで、透過照明パネル３５のｘｙ方向の寸法は、ステージ３１が対物レンズ３２に対してｘｙ方向に可動可能なストローク（測定範囲）と、対物レンズ３２の観察視野の大きさとが考慮されて定められる。すなわち、ステージ３１の位置によらず、対物レンズ３２の観察視野内が常に照明光により照明できるように、透過照明パネル３５の大きさが予め定められている。
【００３１】
なお、透過照明パネル３５を構成する発光ダイオードが射出する照明光は、どのような色の光であってもよいが、ユーザの目の疲労や観察光学系での色収差の低減を考慮すると、白色光や、緑等の単色光であることが望ましい。
【００３２】
また、透過照明パネル３５を構成する発光素子は、発光ダイオードに限らず、その他の固体発光素子や、冷陰極放電管などであればよい。ここでいう固体発光素子には、発光ダイオード、レーザダイオード、有機ＥＬ（Electro Luminescence）、プラズマ発光素子などが含まれるものとする。さらに、すりガラス６４も、照明光を拡散することができる板状の部材であれば、どのようなものであってもよい。
【００３３】
ステージ台座６１およびｘ可動部６２には、ｘ可動部６２およびｙ可動部６３のｘ方向およびｙ方向への移動に応じて信号を出力するエンコーダ６５およびエンコーダ６６が設けられている。例えば、これらのエンコーダ６５およびエンコーダ６６は、リニアエンコーダから構成される。
【００３４】
図２の例では、エンコーダ６５は、ステージ台座６１の側面ではなく、ステージ台座６１の略中心に位置するように、つまり対物レンズ３２の略真下に位置するようにステージ台座６１に固定されている。同様に、エンコーダ６６もｘ可動部６２の略中心に位置するように、ｘ可動部６２に固定されている。
【００３５】
このように、ステージ３１では、被検物１２が載置されるすりガラス６４の直下に透過照明パネル３５を配置する構成とされているので、従来の光学測定機のように、ステージに照明用の貫通穴を設ける必要がない。そのため、対物レンズ３２の略真下にエンコーダ６５とエンコーダ６６を配置し、アッベ誤差を低減させることができる。これにより、対物レンズ３２に対するステージ３１のｘｙ方向への移動量をより正確に検出することができる。
【００３６】
なお、エンコーダ６５やエンコーダ６６は、リニアエンコーダに限らず、モータやハンドル等の回転機構に設けられるロータリエンコーダなど、ステージ３１のｘｙ方向への移動量を検出できるものであれば、どのようなものであってもよい。
【００３７】
また、コントローラ２２は、位置演算部６７、照明領域演算部６８、照明制御部６９、測定部７０、および表示部３７から構成される。
【００３８】
位置演算部６７は、エンコーダ６５およびエンコーダ６６から出力された信号に基づいて、ｘ方向およびｙ方向に平行な軸をｘ軸およびｙ軸とするｘｙ座標系における、対物レンズ３２の観察視野の中心位置の座標を算出する。
【００３９】
例えば、ｘｙ座標系は、ステージ３１を構成するすりガラス６４の１つの端を原点とする座標系とされる。この場合、ステージ３１がｘｙ方向に移動すると、ステージ３１に対して相対的に対物レンズ３２が移動することになるので、ステージ３１のすりガラス６４表面上における対物レンズ３２の観察視野の中心位置、つまりｘｙ座標系における観察視野の中心位置の座標は変化する。
【００４０】
位置演算部６７は、エンコーダ６５およびエンコーダ６６からの信号に基づいて、ステージ３１の移動量を検出し、ｘｙ座標系における対物レンズ３２の観察視野の中心位置の座標（Pos_X，Pos_Y）を算出する。なお、以下では、観察視野の中心位置の座標（Pos_X，Pos_Y）を示す情報を、位置情報と称することとする。
【００４１】
照明領域演算部６８は、認識センサ３６からの倍率情報に基づいて、対物レンズ３２の観察視野の半径Ｒを算出するとともに、得られた半径Ｒと、位置演算部６７からの位置情報とに基づいて、対物レンズ３２の観察視野の領域を特定する。
【００４２】
また、照明領域演算部６８は、ステージ３１上における観察視野の領域の特定結果に基づいて、照明制御部６９を制御する。照明制御部６９は、照明領域演算部６８の制御に従って、透過照明パネル３５を構成する各発光ダイオードを個別に発光させたり、消灯させたりする。測定部７０は、ユーザの操作に応じて、位置演算部６７から位置情報を取得して、被検物１２の指定された部位間の距離（寸法）を演算し、部位間の距離の測定結果等を表示部３７に表示させる。
【００４３】
［光学測定機の動作］
次に、光学測定機１１の動作について説明する。
【００４４】
光学測定機１１の電源がオンされ、ユーザがステージ３１に設けられたハドルを操作してステージ３１を所定の位置に移動させることで、原点スイッチ３４をオンさせると、光学測定機１１は、ｘｙ座標系の原点位置をリセットする。なお、ステージ３１の移動は、ユーザがハンドル操作により手動で行なうようにしてもよいし、コントローラ２２がユーザの操作に従って、電動で行なうようにしてもよい。
【００４５】
また、ユーザがステージ３１上に被検物１２を載置し、被検物１２の特定の部位間の距離の測定開始を指示すると、光学測定機１１は、ユーザの操作に応じて測定処理を行う。
【００４６】
具体的には、例えば、ユーザが接眼レンズ３３を覗くと、ユーザには、観察光学系（対物レンズ３２）の観察視野内にある被検物１２の部位と、被検物１２の任意の位置を指定するための照準（レクチル）が見えるようになされている。ユーザは、被検物１２の所望の部位が照準の中心と重なるように、ステージ３１に設けられたハンドルを操作し、ｘ可動部６２とｙ可動部６３を移動させる。
【００４７】
そして、被検物１２の所望の部位に照準が合わせられた状態で、ユーザが測定開始を指示すると、位置演算部６７は、エンコーダ６５とエンコーダ６６から出力された信号に基づいて、観察視野の中心位置の座標（Pos_X，Pos_Y）を算出する。
【００４８】
測定部７０は、位置演算部６７から座標（Pos_X，Pos_Y）を示す位置情報を取得するとともに、取得された座標の位置を、被検物１２の距離測定の始点の位置とする。
【００４９】
また、測定部７０は、被検物１２の距離測定の始点の位置を原点とするｘ’ｙ’座標系における対物レンズ３２の観察視野の中心位置の座標（ｘ’，ｙ’）を表示部３７に表示させる。ここで、ｘ’ｙ’座標系は、ｘ’軸とｙ’軸がｘｙ座標系のｘ軸およびｙ軸と平行であり、原点の位置だけがｘｙ座標系とは異なる座標系である。
【００５０】
したがって、例えば、現時点では、対物レンズ３２の観察視野の中心位置は、被検物１２の距離測定の始点位置にあるので、表示部３７には、観察視野の中心位置の座標（ｘ’，ｙ’）として、（０，０）が表示されることになる。
【００５１】
また、ユーザがステージ３１を移動させ、被検物１２における距離測定の終点の位置に照準が合った状態で、距離測定を指示すると、測定部７０は、被検物１２の距離測定の終点位置の座標（Pos_X，Pos_Y）を示す位置情報を、位置演算部６７から取得する。
【００５２】
そして、測定部７０は、被検物１２の距離測定の始点と終点の座標（Pos_X，Pos_Y）に基づいて、始点から終点までの距離を算出し、算出された距離を測定結果として表示部３７に表示させる。さらに、測定部７０は、ｘ’ｙ’座標系における被検物１２の距離測定の終点位置の座標（ｘ’，ｙ’）も表示部３７に表示させる。
【００５３】
このようにして、光学測定機１１は、ユーザの操作に応じて被検物１２上の２点間の距離を測定し、その測定結果を表示する。このとき、光学測定機１１は、ステージ３１がどのように移動されても、ステージ３１における対物レンズ３２の観察視野内の領域のみが、照明光により継続して透過照明されるように、透過照明パネル３５による被検物１２の照明を制御する。
【００５４】
次に、図３のフローチャートを参照して、光学測定機１１が透過照明パネル３５による照明を制御する処理である照明処理について説明する。この照明処理は、光学測定機１１の電源がオンされると開始される。
【００５５】
ステップＳ１１において、位置演算部６７は、エンコーダ６５とエンコーダ６６から出力された信号に基づいて、ｘｙ座標系における対物レンズ３２の観察視野の中心位置の座標（Pos_X，Pos_Y）を算出する。そして、位置演算部６７は、その算出結果を示す座標情報を照明領域演算部６８に供給する。
【００５６】
ステップＳ１２において、照明領域演算部６８は、認識センサ３６から供給された倍率情報に基づいて、対物レンズ３２の観察視野の半径Ｒを算出する。
【００５７】
そして、ステップＳ１３において、照明領域演算部６８は、算出した観察視野の半径Ｒと、位置演算部６７からの位置情報とを用いて、透過照明パネル３５を構成する発光ダイオードのうち、点灯させるべき発光ダイオードを特定する。
【００５８】
具体的には、例えば、照明領域演算部６８は、透過照明パネル３５を構成する各発光ダイオードを特定する情報と、それらの発光ダイオードのｘｙ座標系における位置を示す座標（ＸＬ，ＹＬ）とが対応付けられている位置テーブルを予め保持している。
【００５９】
そして、照明領域演算部６８は、位置テーブルを参照するとともに、位置情報に示される観察視野の座標を（Pos_X，Pos_Y）として、次式（１）を満たす発光ダイオードを、点灯（発光）させるべき発光ダイオードとする。
【００６０】
（ＸＬ−Pos_X）２＋（ＹＬ−Pos_Y）２＜Ｒ２ ・・・（１）
【００６１】
なお、式（１）において、ＸＬ，ＹＬは、透過照明パネル３５を構成する発光ダイオードの配置位置のｘ座標およびｙ座標であり、Ｒは対物レンズ３２の観察視野の半径を示している。
【００６２】
したがって、式（１）を満たす座標（ＸＬ，ＹＬ）の位置にある発光ダイオードは、現時点において、ステージ３１上における、対物レンズ３２の観察視野内にある発光ダイオード、つまり観察視野内の領域に照明光を照射する発光ダイオードである。
【００６３】
照明領域演算部６８は、式（１）を用いて、透過照明パネル３５を構成する発光ダイオードのうち、対物レンズ３２の観察視野内にある発光ダイオードを点灯すべきものとし、観察視野外にある発光ダイオードを消灯すべきものとする。
【００６４】
ステップＳ１４において、照明領域演算部６８は、点灯させるべき発光ダイオードの特定結果に基づいて、照明制御部６９を制御することで、透過照明パネル３５を構成する各発光ダイオードの点灯，消灯を制御する。
【００６５】
照明制御部６９は、照明領域演算部６８の制御に応じた電流信号を、透過照明パネル３５を構成する各発光ダイオードに供給し、発光ダイオードを点灯させたり、消灯させたりする。これにより、対物レンズ３２の観察視野内にある発光ダイオードのみが発光し、被検物１２が照明光により透過照明される。また、対物レンズ３２の観察視野外に位置する発光ダイオードは発光しない。
【００６６】
このようにして、透過照明パネル３５の発光ダイオードの点灯，消灯が制御されると、その後、処理はステップＳ１１に戻り、上述した処理が繰り返される。すなわち、ステージ３１が移動されると、対物レンズ３２の新たな観察視野内にある発光ダイオードが点灯するように、各発光ダイオードの点灯，消灯が制御される。この照明処理は、上述した測定処理中など、光学測定機１１の電源がオフされるまで継続して行なわれる。
【００６７】
以上のようにして、光学測定機１１は、ステージ３１の移動を検出し、その検出結果から得られた観察視野の中心位置と、観察視野の半径Ｒとに基づいて、観察視野内に位置する発光ダイオードのみを点灯させる。
【００６８】
このように、透過照明パネル３５の発光ダイオードのうち、観察視野内にある発光ダイオードのみを点灯させる照明処理を、被検物１２の距離測定時に行なうことで、被検物１２の注目すべき領域だけを、効率よく照明することができる。また、発光ダイオードを必要以上に発光させないことで、透過照明パネル３５における消費電力も低減させることができる。
【００６９】
さらに、光学測定機１１では、必要な発光ダイオードのみを点灯させるので、照明光等による発熱を抑えることができる。これにより、熱膨張によるステージ３１等の変形を抑制し、被検物１２の距離の測定精度を向上させることができる。
【００７０】
また、光学測定機１１では、被検物１２が載置されるすりガラス６４の直下に、複数の発光ダイオードを並べて配置する構成としたので、ステージ３１に照明用の貫通穴を設ける必要がなく、ステージ３１の強度を充分に確保することができる。したがって、ステージ３１を従来と比較してより薄いものとすることができ、その結果、光学測定機１１の小型化を図ることができる。
【００７１】
なお、以上においては、透過照明パネル３５が、ステージ３１に設けられる例について説明したが、透過照明パネル３５は、各発光ダイオードがステージ３１の各領域を透過照明できれば、どこに設けられていてもよい。
【００７２】
また、予め被検物１２の各部における照明光の透過率が求められている場合には、被検物１２を透過した照明光の光量が、各領域においてが均一となるように、点灯させる各発光ダイオードの照明光の光量が調整されるようにしてもよい。
【００７３】
そのような場合、例えば、照明領域演算部６８は、被検物１２の各部の透過率に応じた強度で照明光が射出されるように、照明制御部６９を制御する。照明制御部６９は、照明領域演算部６８の制御に従って、透過照明パネル３５の発光ダイオードに供給する電流信号の大きさ（振幅）を調整することで、所望の強度で発光ダイオードから照明光を射出させる。これにより、より良好な状態で被検物１２の観察を行なうことができる。
【００７４】
また、例えば、対物レンズ３２の観察視野の中心に近い位置ほど、照射される照明光の強度が強くなるように、照明領域演算部６８が観察視野内の発光ダイオードの照明光の強度を調整するようにしてもよい。さらに、ステージ３１の透過照明される領域は、必ずしも対物レンズ３２の観察視野の領域である必要はなく、観察視野の中心を含む所定の大きさの領域であればよい。
【００７５】
なお、本発明は、画像測定機、測定投影機、顕微鏡等に適用可能である。
【００７６】
また、本発明の実施の形態は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。
【符号の説明】
【００７７】
１１ 光学測定機， １２ 被検物， ２１ 測定機本体， ２２ コントローラ， ３１ ステージ， ３２ 対物レンズ， ３５ 透過照明パネル， ３６ 認識センサ， ６４ すりガラス， ６７ 位置演算部， ６８ 照明領域演算部， ６９ 照明制御部， ７０ 測定部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検物が載置されるステージと、
前記被検物が載置される前記ステージ表面の各領域に照明光を照射することで、前記被検物を透過照明する複数の照明部と、
前記被検物からの光を集光して、前記被検物の像を結像させる観察光学系と、
前記ステージに対する前記観察光学系の観察視野の位置を検出する位置検出手段と、
前記位置検出手段による検出結果に基づいて、前記ステージ表面における、前記観察光学系の前記観察視野中心を含む所定の大きさの領域が前記照明光により照明されるように、複数の前記照明部による前記照明光の照射を制御する照明制御手段と
を備えることを特徴とする光学測定機。
【請求項２】
前記観察光学系の光学倍率に基づいて、前記観察視野の大きさを算出する算出手段をさらに備え、
前記照明制御手段は、前記ステージ表面における、前記観察視野内の領域が前記照明光により照明されるように、前記照明部による前記照明光の照射を制御する
ことを特徴とする請求項１に記載の光学測定機。
【請求項３】
前記照明部は、前記ステージに設けられている
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の光学測定機。
【請求項４】
前記ステージには、前記照明部に隣接して、前記照明光を拡散させる板状の拡散部が設けられ、前記被検物は前記拡散部に載置される
ことを特徴とする請求項３に記載の光学測定機。
【請求項５】
前記照明部は固体発光素子である
ことを特徴とする請求項４に記載の光学測定機。
【請求項６】
前記照明制御手段は、予め求められた前記被検物の各領域における前記照明光の透過率に基づいて、前記被検物の各領域を透過した前記照明光の光量が略均一になるように、前記照明部からの前記照明光の光量を制御する
ことを特徴とする請求項１に記載の光学測定機。
【請求項１】
被検物が載置されるステージと、
前記被検物が載置される前記ステージ表面の各領域に照明光を照射することで、前記被検物を透過照明する複数の照明部と、
前記被検物からの光を集光して、前記被検物の像を結像させる観察光学系と、
前記ステージに対する前記観察光学系の観察視野の位置を検出する位置検出手段と、
前記位置検出手段による検出結果に基づいて、前記ステージ表面における、前記観察光学系の前記観察視野中心を含む所定の大きさの領域が前記照明光により照明されるように、複数の前記照明部による前記照明光の照射を制御する照明制御手段と
を備えることを特徴とする光学測定機。
【請求項２】
前記観察光学系の光学倍率に基づいて、前記観察視野の大きさを算出する算出手段をさらに備え、
前記照明制御手段は、前記ステージ表面における、前記観察視野内の領域が前記照明光により照明されるように、前記照明部による前記照明光の照射を制御する
ことを特徴とする請求項１に記載の光学測定機。
【請求項３】
前記照明部は、前記ステージに設けられている
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の光学測定機。
【請求項４】
前記ステージには、前記照明部に隣接して、前記照明光を拡散させる板状の拡散部が設けられ、前記被検物は前記拡散部に載置される
ことを特徴とする請求項３に記載の光学測定機。
【請求項５】
前記照明部は固体発光素子である
ことを特徴とする請求項４に記載の光学測定機。
【請求項６】
前記照明制御手段は、予め求められた前記被検物の各領域における前記照明光の透過率に基づいて、前記被検物の各領域を透過した前記照明光の光量が略均一になるように、前記照明部からの前記照明光の光量を制御する
ことを特徴とする請求項１に記載の光学測定機。
【図１】
【図２】
【図３】
【図２】
【図３】
【公開番号】特開２０１２−１１８１９４（Ｐ２０１２−１１８１９４Ａ）
【公開日】平成２４年６月２１日（２０１２．６．２１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−２６６３５４（Ｐ２０１０−２６６３５４）
【出願日】平成２２年１１月３０日（２０１０．１１．３０）
【出願人】（０００００４１１２）株式会社ニコン (12,601)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年６月２１日（２０１２．６．２１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年１１月３０日（２０１０．１１．３０）
【出願人】（０００００４１１２）株式会社ニコン (12,601)
【Ｆターム（参考）】
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