半導体集積回路の検査装置
【課題】コネクタの接続を容易に行いながら、ロードボード側コネクタに位置ずれが発生しても、ロードボードと検査装置の電気的な接続を維持することを目的とする。
【解決手段】検査装置側のコネクタ３に、検査装置側のコネクタ３との間に隙間を設けた規制治具８と、ロードボード側コネクタの位置にあわせ、検査装置側コネクタ３の位置を誘導するガイド斜面３１を備えることにより、隙間の分だけコネクタ３が稼動可能な状態で検査装置１に検査装置側のコネクタ３を固定できるため、コネクタ３の接続を容易に行いながら、ロードボード側コネクタに位置ずれが発生しても、ロードボードと検査装置１の電気的な接続を維持することができる。
【解決手段】検査装置側のコネクタ３に、検査装置側のコネクタ３との間に隙間を設けた規制治具８と、ロードボード側コネクタの位置にあわせ、検査装置側コネクタ３の位置を誘導するガイド斜面３１を備えることにより、隙間の分だけコネクタ３が稼動可能な状態で検査装置１に検査装置側のコネクタ３を固定できるため、コネクタ３の接続を容易に行いながら、ロードボード側コネクタに位置ずれが発生しても、ロードボードと検査装置１の電気的な接続を維持することができる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体集積回路の製造工程における良否検査等に用いる半導体集積回路の検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、測定デバイス用の周辺回路を形成して半導体集積回路等の測定デバイスを搭載するロードボードと、測定デバイスを測定する検査装置の間はポゴピンにより電気的に接続されている。しかし、昨今の検査装置におけるピン数の増加に伴い、ポゴピンによる接続では、検査装置とロードボードの接触不良や、コストの増大を引き起こす場合が発生している。そのため、ポゴピンによる接続ではなく、コネクタにより電気的接続を行う検査装置が提案されている（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。
以下、図１２，図１３を用いて従来の半導体集積回路の検査装置について説明する。
【０００３】
図１２は従来の半導体集積回路の検査装置を示す概略図、図１３は従来のコネクタと測定ボードをケーブルで接続した半導体集積回路の検査装置を示す概略図である。
図１２，図１３において、ロードボード５に取り付けられたコネクタ４と、検査装置１に設置されたコネクタ３とが嵌合されることで、ロードボード５と検査装置１は電気的に接合される。ロードボード５に取り付けられたコネクタ４は、ロードボード５に固定され、また、検査装置１に設置されたコネクタ３は、検査装置１に固定された図示されない基板、または、検査装置１内に挿入され測定デバイスに対して電流・電圧を印加・測定を行う測定ボード２に固定されている。
【特許文献１】特開２００５−３２１２３８号公報
【特許文献２】特開２００２−７１７５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
昨今の半導体集積回路の多ピン化に伴い、検査装置に用いられるコネクタは多数に及ぶ。また、半導体集積回路の複雑化によって、ロードボードも大きくなっている。したがって、図１２の構成であるとロードボード５に取り付けられた複数のコネクタ４または検査装置１に設置された複数のコネクタ３のうち、１つでも位置が規定の場所から少しでもずれるとコネクタ同士の嵌合がうまくいかず、結果ロードボード５と検査装置の電気的接合に失敗する。すなわち、検査装置１とロードボード５の電気的接合には、コネクタの高精度な位置あわせ、すなわちコネクタの位置精度が要求となる。コネクタの位置精度は、コネクタの数が増えれば増えるほど高度さが要求される。さらに、ロードボードが大きくなることで、年月を経るにつれ発生するロードボードの反りも大きくなる傾向があり、反りの影響によるコネクタの位置のずれも大きくなる。図１３に示すとおり検査装置１に設置されたコネクタ３を検査装置１に固定された図示しない基板または測定ボード２に直接固定するのではなく、コネクタ３と測定ボード２の接続をケーブル６で接続するなどの手段でフローティング状態にすればコネクタの位置精度は不要となる。しかし、メンテナンスや組立て時等に多数の検査装置１のコネクタ３を設置する際、たわんだケーブル６による圧力などの意図しない外力により、フローティング状態であるコネクタ３が意図せず規定場所より動くことがあり、検査装置１のコネクタ３の設置が困難となるという問題点があった。
【０００５】
本発明の半導体集積回路の検査装置は、コネクタの接続を容易に行いながら、ロードボード側コネクタに位置ずれが発生しても、ロードボードと検査装置の電気的な接続を維持することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために請求項１記載の半導体集積回路の検査装置は、半導体集積回路を搭載するロードボードと電気的に接続して前記半導体集積回路の検査を行う半導体集積回路の検査装置であって、前記ロードボードに設けられた１または複数のロードボード用コネクタそれぞれに対応して電気的に接続する１つまたは複数のコネクタと、前記各コネクタとの間に隙間を設けて前記各コネクタの位置を前記隙間の分だけ可動な状態で位置決めする１つまたは複数の規制治具とを有することを特徴とする。
【０００７】
請求項２記載の半導体集積回路の検査装置は、請求項１記載の半導体集積回路の検査装置において、前記ロードボードの接合時に前記ロードボード用コネクタに前記コネクタ接合面に誘導するガイド機構を有し、前記ガイド機構によって、前記ロードボードコネクタの水平または垂直位置を規制できる最大量以下の隙間を有することを特徴とする。
【０００８】
請求項３記載の半導体集積回路の検査装置は、請求項１または請求項２のいずれかに記載の半導体集積回路の検査装置において、前記規制治具は、前記コネクタとの隙間の距離を調整する機構を有することを特徴とする。
【０００９】
請求項４記載の半導体集積回路の検査装置は、請求項１または請求項２または請求項３のいずれかに記載の半導体集積回路の検査装置において、前記規制治具は、その一端にて前記検査装置に取り付けられ、前記一端を中心に回転することにより規制状態と非規制状態を切り替える機能を有することを特徴とする。
【００１０】
請求項５記載の半導体集積回路の検査装置は、請求項１または請求項２または請求項３または請求項４のいずれかに記載の半導体集積回路の検査装置において、前記各コネクタに対して２個以上の前記規制治具を設け、前記各コネクタに対する前記規制治具の一端の取り付け位置が対角線上に位置することを特徴とする。
【００１１】
請求項６記載の半導体集積回路の検査装置は、請求項１または請求項２または請求項３または請求項４または請求項５のいずれかに記載の半導体集積回路の検査装置において、前記コネクタは窪みを有し、前記規制治具は前記窪みより小さい凸型部分を有することを特徴とする。
【００１２】
請求項７記載の半導体集積回路の検査装置は、請求項１または請求項２または請求項３または請求項４または請求項５または請求項６のいずれかに記載の半導体集積回路の検査装置において、前記規制治具は、隙間を設けて前記コネクタの少なくとも一部を囲むことを特徴とする。
【００１３】
請求項８記載の半導体集積回路の検査装置は、請求項１または請求項２または請求項３または請求項４または請求項５または請求項６または請求項７のいずれかに記載の半導体集積回路の検査装置において、前記隙間部分に弾性材を有することを特徴とする。
【００１４】
請求項９記載の半導体集積回路の検査装置は、半導体集積回路を搭載するロードボードと電気的に接続して前記半導体集積回路の検査を行う半導体集積回路の検査装置であって、磁性体を備え、前記ロードボードに設けられた１つまたは複数のロードボード用コネクタそれぞれに対応して電気的に接続する１または複数のコネクタと、磁気を帯び、前記コネクタの位置決めを行うように前記各コネクタの前記磁性体と対応する位置に設けられる１つまたは複数の規制治具とを有することを特徴とする。
【００１５】
請求項１０記載の半導体集積回路の検査装置は、請求項９記載の半導体集積回路の検査装置において、前記磁性体の磁気を電流により調整することにより規制状態と非規制状態前を切り替えることを特徴とする。
【００１６】
請求項１１記載の半導体集積回路の検査装置は、請求項１または請求項２または請求項３または請求項４または請求項５または請求項６または請求項７または請求項８または請求項９または請求項１０記載の半導体集積回路の検査装置において、前記規制治具はそれぞれ異なる位置に凸部分を有し、前記コネクタは対応する前記規制治具が位置決めする位置にある場合のみ前記凸部分と嵌合する窪みを有することを特徴とする。
【００１７】
請求項１２記載の半導体集積回路の検査装置は、請求項１または請求項２または請求項３または請求項４または請求項５または請求項６または請求項７または請求項８または請求項９または請求項１０または請求項１１のいずれかに記載の半導体集積回路の検査装置において、前記ロードボードとの接続位置を固定する機能を有することを特徴とする。
【００１８】
以上により、コネクタの接続を容易に行いながら、ロードボード側コネクタに位置ずれが発生しても、ロードボードと検査装置の電気的な接続を維持することができる。
【発明の効果】
【００１９】
以上のように、検査装置側のコネクタに、検査装置側のコネクタとの間に隙間を設けた規制治具と、半導体集積回路の検査装置に設けられたコネクタを誘導するガイド機構を備えることにより、隙間の分だけコネクタが稼動可能な状態で検査装置に検査装置側のコネクタを固定できるため、コネクタの接続を容易に行いながら、ロードボード側コネクタに位置ずれが発生しても、ロードボードと検査装置の電気的な接続を維持することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態における半導体集積回路の検査装置について、図面を参照しながら具体的に説明する。なお、図１から図１１に対して、対応する部分に同じ符号を付し、重複説明を省略する。
【００２１】
まず、本発明の第１の実施の形態を図１に基づいて説明する。
図１（ａ）は第１の実施の形態における検査装置の概略図、図１（ｂ）は第１の実施の形態における検査装置側コネクタの要部拡大図である。
【００２２】
図１において、１は半導体集積回路の製造工程における良否検査、あるいは機能・性能評価を目的とした半導体集積回路の検査装置、５は半導体集積回路等の測定対象デバイスを搭載するロードボード、４はロードボード５に取り付けられたロードボード側コネクタ、３は検査装置１に設置されロードボード側コネクタと接続される検査装置側コネクタ、７は検査装置側コネクタの可動方向に隙間を有し、検査装置側コネクタ毎に検査装置１に取り付けられたコネクタの位置を規制する規制治具、２は測定ボード、６はケーブル、３１は図示しないロードボード側コネクタを検査装置側コネクタ３の接合面に誘導し、規制治具７における規制できる最大値以下の隙間を設けるガイド斜面である。
【００２３】
検査装置側コネクタ３は、検査装置１に設置され、また測定ボード２とケーブル６を介して接続されており、フローティング状態である。コネクタの位置を規制する規制治具７は、検査装置側コネクタ３と隙間を介して検査装置に固定されている。この構成によれば、検査装置側コネクタ３は、フローティング状態であり、かつコネクタの位置を規制する規制治具７との隙間分以上の移動は制限されるため、ロードボード側コネクタに位置ずれが発生しても、ガイド斜面３１に沿って検査装置側コネクタが動くことでロードボードと検査装置は電気的に接合することが可能である。すなわち、ロードボード側コネクタに高度な位置精度は不要である。また、コネクタの位置を規制する規制治具により検査装置側コネクタの隙間分以上の移動は制限され、検査装置へのコネクタ設置時、意図しない外力によりコネクタの位置を規制する規制治具のある場所以上に移動することがなくなる。
コネクタの位置を規制する規制治具は、常に検査装置に固定されている必要はなく、検査装置から取り外すことのできる構成を有してもよい。また、ロードボード側コネクタを可動とし、ロードボード側コネクタにコネクタの位置を規制する規制治具を有してもよい。
【００２４】
また、図１の構成によれば、ロードボード５が複数枚、検査装置１に設置された際に、各ロードボード間の位置を個別に調整することが可能となる。測定対象の半導体集積回路の搬送装置を検査装置１およびロードボード５にドッキングする際、ロードボード間の位置精度が要求されるが、ロードボード間の位置を個別に調整できることで、ロードボード間の高い位置精度が不要となる。
【００２５】
次に、本発明の第１―２の実施の形態を図２〜図５に基づいて説明する。
図２は第１―２の実施の形態における検査装置側コネクタの要部拡大図、図３は第１−２の実施の形態における複数のコネクタを対角線上で固定する検査装置を示す上面図、図４は第１―２の実施の形態における複数のコネクタを対角線上で固定する検査装置を示す側面図、図５は第１―２の実施の形態における凸部分を備える規制治具により位置決めする検査装置を示す側面図である。
【００２６】
図２は、図１の検査装置側コネクタ３及びコネクタの位置を規制する規制治具７を拡大した図であり、図２において、８はコネクタの位置を規制する規制治具、９はコネクタの位置を規制する規制治具８を検査装置１に固定するねじ、１０は図示しないロードボード側コネクタと電気的に接合するピンである。コネクタの位置を規制する規制治具８は、検査装置１にねじ９で固定され、ねじ９を中心に回転することができ、検査装置側コネクタ３の一面を覆う状態と、覆わない状態を回転により切り替えることが可能である。コネクタの位置を規制する規制治具８が検査装置側コネクタ３の一面を覆っている状態では、検査装置側コネクタ３はフローティング状態であり、かつコネクタの位置を規制する規制治具８との隙間分以上の移動は制限される。コネクタの位置を規制する規制治具８が検査装置側コネクタ３を覆わない状態の時には検査装置側コネクタ３の規制治具は制限されておらず、どのような方向・距離にも位置を変更することが可能であり、検査装置側コネクタ３を検査装置１から取り外したり、検査装置側コネクタ３を検査装置１に取り付けたりすることができる。すなわち、コネクタの位置を規制する規制治具８を回転させることで、検査装置側コネクタ３の規制治具を制限された状態と、規制治具を制限されていない状態を簡単に切り替えることが可能となる。このように、検査装置に取り付けられた一端を中心に回転することで、検査装置側コネクタの一面との間に隙間を有した状態となり、単純な構成でかつ簡単な操作で、検査装置側コネクタの規制治具を制限することが可能となる。
【００２７】
図３において、１１及び１２は、コネクタの位置を規制する規制治具８と検査装置１を固定するねじであり、図２に示した例に対して規制治具が２つある構成である。検査装置側コネクタ３は、２つのコネクタの位置を規制する規制治具８で固定されている。２つのコネクタの位置を規制する規制治具８は、それぞれ検査装置１にねじ１１及びねじ１２で固定される。また、ねじ１１とねじ１２は、対角線上に位置する。単一の規制治具を使用し、検査装置側コネクタに、検査装置に接続されていない一端の方向に外力が加わった場合、その外力はコネクタの位置を規制する規制治具のみに加わるため、大きな外力が加わり、コネクタの位置を規制する規制治具の変形や、コネクタの位置を規制する規制治具を取り付けた場所以上にコネクタが移動する可能性があるが、このように、２個以上の規制治具それぞれの検査装置に取り付けられる部分が対角線上にあることにより、複数のコネクタの位置を規制する規制治具のねじ等により検査装置に取り付けられる部分が対角線上であれば、どのような方向の意図しない外力に対しても、検査装置に対する固定箇所でコネクタが動くことを妨げることができる。また、検査装置に対する固定箇所によりコネクタにかかる意図しない外力を抑えることができるので、強度の低いコネクタの位置を規制する規制治具を使用することも可能となる。
【００２８】
また、図４は図２を横から見た図であり、２７はコネクタの位置を規制する規制治具８を検査装置１に固定するねじ９と検査装置側コネクタ３との隙間、２８はコネクタの位置を規制する規制治具８と検査装置側コネクタ３との隙間である。ねじ９とコネクタの位置を規制する規制治具８は一体であり、ねじを上下させることでコネクタの位置を規制する規制治具８の位置を上下させ、隙間２８を変化させることができる。すなわち検査装置側コネクタ３の上の可動範囲を変化させることが可能となる。また、ねじ９を検査装置１に固定する左右位置を変化させることで、隙間２７を変化させることができ、検査装置側コネクタ３の左の可動範囲を変化させることが可能となる。
【００２９】
図５は複数の検査装置側コネクタの規制治具を制限した場合を示した図である。３０はコネクタの位置を規制する規制治具８に取り付けられた凸部分、２９は検査装置側コネクタ３に加工された窪みである。コネクタの位置を規制する規制治具８に取り付けられたと凸部分３０は、２個のコネクタの位置を規制する規制治具８それぞれで位置が異なり、検査装置側コネクタ３に加工された窪み２９は、対応するコネクタの位置を規制する規制治具８の凸部分３０と同位置にある。すなわち、コネクタの位置を規制する規制治具８により検査装置側コネクタ３を制限した場合、凸部分３０と窪み２９が嵌合する。凸部分３０の位置と異なる位置に窪み２９がある検査装置側コネクタ３の規制治具を制限しようとしても、凸部分３０と窪み２９が嵌合しない。このため、異なるコネクタの位置を規制する規制治具８に検査装置側コネクタを誤配置するのを防止することができる。すなわち、誤った位置に検査装置側コネクタを配置した際、コネクタの位置を規制する規制治具により制限しようとしても、コネクタの窪みとコネクタの位置を規制する規制治具の突起が合わず、コネクタをロックすることができない。
【００３０】
ここでは、２個の規制治具を用いた場合について説明したが、複数の規制治具それぞれに異なる位置の窪みと凸部分を設けることにより、複数のコネクタの誤配置を防ぐことができる。
【００３１】
次に、本発明の第２の実施の形態を図６に基づいて説明する。
図６は第２の実施の形態における検査装置側コネクタの要部拡大図である。
図６において、１３は検査装置側コネクタ３に作られた窪み、１４は窪み１３に挿入できるよう作成された凸型のコネクタの位置を規制する規制治具、１６はコネクタの位置を規制する規制治具１４に加工された切込み、１５は検査装置１に取り付けられ、コネクタの位置を規制する規制治具１４の切込み１６に差し込まれ、規制治具１４を図６に示す矢印方向に動かして、規制治具１４によるコンタクト３の規制状態および非規制状態を制御すための規制治具の台である。
【００３２】
コネクタの位置を規制する規制治具１４は図６に示された矢印の左方向に動かすことで、検査装置側コネクタ３の窪み１３に挿入され、検査装置側コネクタ３はフローティング状態であり、かつコネクタの位置を規制する規制治具１４の凸部分と検査装置側コネクタ３の窪み１３との隙間分以上の移動は制限される状態となる。
【００３３】
このように、規制治具に切込みを設け、切込みが規制治具の台に沿って移動可能な構成にすることにより、規制治具によるコネクタの規制を制御でき、ロードボード側コネクタに位置ずれが発生しても、検査装置側コネクタが動くことでロードボードと検査装置を電気的に接合することが可能である。すなわち、ロードボード側コネクタに高度な位置精度は不要である。また、コネクタの位置を規制する規制治具により検査装置側コネクタの隙間分以上の移動は制限され、検査装置へのコネクタ設置時、意図しない外力によりコネクタの位置を規制する規制治具のある場所以上に移動することがなくなる。
【００３４】
次に、本発明の第３の実施の形態を図７に基づいて説明する。
図７は第３の実施の形態における検査装置側コネクタの要部拡大図である。
図７において、１７はコネクタの位置を規制する規制治具、１８は検査装置側コネクタ３に設けられた窪み、１９はコネクタの位置を規制する規制治具１７での折り曲げ点である。
【００３５】
コネクタの位置を規制する規制治具１７は、図示しない検査装置に固定され、折り曲げ点１９が折れ曲がることで、コネクタの位置を規制する規制治具１７にある凸部分が検査装置側コネクタ３の窪み１８に挿入されることにより検査装置側コネクタ３の規制治具は制限される。
【００３６】
また、第３の実施の形態は、図４で説明した隙間の大きさを変化させる機構を設けることも可能である。
次に、本発明の第４の実施の形態を図８に基づいて説明する。
【００３７】
図８は第４の実施の形態における検査装置の概略図である。
図８において、２０は検査装置側コネクタの全面に対して隙間を有して囲むコネクタの位置を規制する規制治具、２１は検査装置１に固定され、コネクタの位置を規制する規制治具２０の穴部分をとおり、コネクタの位置を規制する規制治具２０が図８に示す矢印方向に動くためのコネクタの位置を規制する規制治具の台である。コネクタの位置を規制する規制治具２０を、図８に示された矢印の左方向に動かすことで、検査装置側コネクタ３の一部を囲み、検査装置側コネクタ３はフローティング状態であり、かつコネクタの位置を規制する規制治具２０の穴部分の隙間分以上の移動は制限される状態となる。図８に示す矢印右方向にコネクタの位置を規制する規制治具２０を動かすと、コネクタ３は規制治具を制限されていない状態となり、検査装置１から取り外すことが可能となる。
【００３８】
このように、検査装置側コネクタの全面に対して隙間を有して囲むことで、検査装置側コネクタの規制治具を制限することができ、コネクタへの加工の必要なしに、全方向に対しての検査装置側コネクタの可動範囲を制限することが可能となる。
【００３９】
次に、本発明の第５の実施の形態を図９に基づいて説明する。
図９は第５の実施の形態における検査装置側コネクタの要部拡大図である。
図９において、２３はコネクタの位置を規制する規制治具、２４は検査装置側コネクタ３と接し、金属板を丸めて作成した弾性のある金具、２２はコネクタの位置を規制する規制治具２３を検査装置１に固定するねじである。検査装置側コネクタ３は、コネクタの位置を規制する規制治具２３と弾性金具２４を介して接している。金具２４は弾性を示すので、金具２４に接する検査装置側コネクタ３はフローティング状態となり、金具２４が許容する弾性力以上の力を及ぼす位置移動は制限されるまた、検査装置側コネクタ３が外力により規定位置よりずれた場合は、金具２４の弾性力により、外力がなくなり次第検査装置側コネクタ３には元の位置に戻ろうとする力が加わり、検査装置側コネクタ３は自ら元の位置に戻ることが可能である。なお、金具２４は、弾性材であれば、必ずしも金具である必要はない。
【００４０】
次に、本発明の第６の実施の形態を図１０に基づいて説明する。
図１０は第６の実施の形態における検査装置側コネクタの要部拡大図である。
図１０において、２５は磁性体を装着する検査装置側コネクタ、２６は磁気を有し検査装置に取り付けられたコネクタの位置を規制する規制治具である。検査装置１に固定されたコネクタの位置を規制する規制治具２６の磁気と検査装置側コネクタ３の磁性体をひきつけることで検査装置側コネクタ３の検査装置１への設置が行われる。磁気と磁性体の磁力に弱い外力が加わった場合、検査装置側コネクタは動き、すなわちフローティング状態となる。検査装置側コネクタ３が外力により規定位置よりずれた場合は、外力がなくなり次第、磁力により検査装置側コネクタ３には元の位置に戻ろうとする力が加わり、検査装置側コネクタ３は自ら元の位置に戻る、すなわち位置を制限されている状態と同じ効果が得られる。なお、検査装置側コネクタ３及びコネクタの位置を規制する規制治具２６に有するのは、少なくとも一方が磁気を有していれば、もう一方は磁性体であっても磁気を有していてもよい。
【００４１】
磁気を電磁石とし、図示しない電流を流すことで磁気の有無を調整することで、コネクタが、磁力によって位置制限されている状態と、磁力がなく位置制限されていない状態を切り替えることが可能となる。また、複数のコネクタの規制治具の制限を個々に位置制限の状態と位置制限されていない状態に切り替える手間無く、複数のコネクタを一斉に位置制限の状態と位置制限のかかっていない状態に切り替えることが可能となる。
【００４２】
次に、本発明の第７の実施の形態を図１１に基づいて説明する。
図１１は第７の実施の形態における検査装置の概略図である。
図１１において、３２はロードボード５を検査装置１に固定するねじ、３３は検査装置１のねじ穴、３４はロードボード５にあけられたねじ穴である。ロードボード５と検査装置１の嵌合後、検査装置側コネクタ３が外力にそって動くため、ロードボード５も外力にそって動くが、ねじ３２をねじ穴３３及び３４を通して閉めることにより、ロードボード５の位置を固定することが可能となる。
【００４３】
また、本実施の形態は、第１〜第６の全ての実施の形態において実施可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明は、コネクタの接続を容易に行いながら、ロードボード側コネクタに位置ずれが発生しても、ロードボードと検査装置の電気的な接続を維持することができ、半導体集積回路の製造工程における良否検査等に用いる半導体集積回路の検査装置等に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】（ａ）第１の実施の形態における検査装置の概略図（ｂ）第１の実施の形態における検査装置の概略図
【図２】第１−２の実施の形態における検査装置側コネクタの要部拡大図
【図３】第１−２の実施の形態における複数のコネクタを対角線上で固定する検査装置を示す上面図
【図４】第１−２の実施の形態における複数のコネクタを対角線上で固定する検査装置を示す側面図
【図５】第１−２の実施の形態における凸部分を備える規制治具により位置決めする検査装置を示す側面図
【図６】第２の実施の形態における検査装置側コネクタの要部拡大図
【図７】第３の実施の形態における検査装置側コネクタの要部拡大図
【図８】第４の実施の形態における検査装置の概略図
【図９】第５の実施の形態における検査装置側コネクタの要部拡大図
【図１０】第６の実施の形態における検査装置側コネクタの要部拡大図
【図１１】第７の実施の形態における検査装置の概略図
【図１２】従来の半導体集積回路の検査装置を示す概略図
【図１３】従来のコネクタと測定ボードをケーブルで接続した半導体集積回路の検査装置を示す概略図
【符号の説明】
【００４６】
１ 検査装置
２ 測定ボード
３ コネクタ
４ コネクタ
５ ロードボード
６ ケーブル
７ 規制治具
８ 規制治具
９ ねじ
１０ ピン
１１ ねじ
１２ ねじ
１３ 窪み
１４ 規制治具
１５ 規制治具の台
１６ 切込み
１７ 規制治具
１８ 窪み
１９ 折り曲げ点
２０ 規制治具
２１ 規制治具の台
２２ ねじ
２３ 規制治具
２４ 金具
２５ 検査装置側コネクタ
２６ 規制治具
２７ 隙間
２８ 隙間
２９ 窪み
３０ 凸部分
３１ ガイド斜面
３２ ねじ
３３ ねじ穴
３４ ねじ穴
３５ ソケット
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体集積回路の製造工程における良否検査等に用いる半導体集積回路の検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、測定デバイス用の周辺回路を形成して半導体集積回路等の測定デバイスを搭載するロードボードと、測定デバイスを測定する検査装置の間はポゴピンにより電気的に接続されている。しかし、昨今の検査装置におけるピン数の増加に伴い、ポゴピンによる接続では、検査装置とロードボードの接触不良や、コストの増大を引き起こす場合が発生している。そのため、ポゴピンによる接続ではなく、コネクタにより電気的接続を行う検査装置が提案されている（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。
以下、図１２，図１３を用いて従来の半導体集積回路の検査装置について説明する。
【０００３】
図１２は従来の半導体集積回路の検査装置を示す概略図、図１３は従来のコネクタと測定ボードをケーブルで接続した半導体集積回路の検査装置を示す概略図である。
図１２，図１３において、ロードボード５に取り付けられたコネクタ４と、検査装置１に設置されたコネクタ３とが嵌合されることで、ロードボード５と検査装置１は電気的に接合される。ロードボード５に取り付けられたコネクタ４は、ロードボード５に固定され、また、検査装置１に設置されたコネクタ３は、検査装置１に固定された図示されない基板、または、検査装置１内に挿入され測定デバイスに対して電流・電圧を印加・測定を行う測定ボード２に固定されている。
【特許文献１】特開２００５−３２１２３８号公報
【特許文献２】特開２００２−７１７５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
昨今の半導体集積回路の多ピン化に伴い、検査装置に用いられるコネクタは多数に及ぶ。また、半導体集積回路の複雑化によって、ロードボードも大きくなっている。したがって、図１２の構成であるとロードボード５に取り付けられた複数のコネクタ４または検査装置１に設置された複数のコネクタ３のうち、１つでも位置が規定の場所から少しでもずれるとコネクタ同士の嵌合がうまくいかず、結果ロードボード５と検査装置の電気的接合に失敗する。すなわち、検査装置１とロードボード５の電気的接合には、コネクタの高精度な位置あわせ、すなわちコネクタの位置精度が要求となる。コネクタの位置精度は、コネクタの数が増えれば増えるほど高度さが要求される。さらに、ロードボードが大きくなることで、年月を経るにつれ発生するロードボードの反りも大きくなる傾向があり、反りの影響によるコネクタの位置のずれも大きくなる。図１３に示すとおり検査装置１に設置されたコネクタ３を検査装置１に固定された図示しない基板または測定ボード２に直接固定するのではなく、コネクタ３と測定ボード２の接続をケーブル６で接続するなどの手段でフローティング状態にすればコネクタの位置精度は不要となる。しかし、メンテナンスや組立て時等に多数の検査装置１のコネクタ３を設置する際、たわんだケーブル６による圧力などの意図しない外力により、フローティング状態であるコネクタ３が意図せず規定場所より動くことがあり、検査装置１のコネクタ３の設置が困難となるという問題点があった。
【０００５】
本発明の半導体集積回路の検査装置は、コネクタの接続を容易に行いながら、ロードボード側コネクタに位置ずれが発生しても、ロードボードと検査装置の電気的な接続を維持することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために請求項１記載の半導体集積回路の検査装置は、半導体集積回路を搭載するロードボードと電気的に接続して前記半導体集積回路の検査を行う半導体集積回路の検査装置であって、前記ロードボードに設けられた１または複数のロードボード用コネクタそれぞれに対応して電気的に接続する１つまたは複数のコネクタと、前記各コネクタとの間に隙間を設けて前記各コネクタの位置を前記隙間の分だけ可動な状態で位置決めする１つまたは複数の規制治具とを有することを特徴とする。
【０００７】
請求項２記載の半導体集積回路の検査装置は、請求項１記載の半導体集積回路の検査装置において、前記ロードボードの接合時に前記ロードボード用コネクタに前記コネクタ接合面に誘導するガイド機構を有し、前記ガイド機構によって、前記ロードボードコネクタの水平または垂直位置を規制できる最大量以下の隙間を有することを特徴とする。
【０００８】
請求項３記載の半導体集積回路の検査装置は、請求項１または請求項２のいずれかに記載の半導体集積回路の検査装置において、前記規制治具は、前記コネクタとの隙間の距離を調整する機構を有することを特徴とする。
【０００９】
請求項４記載の半導体集積回路の検査装置は、請求項１または請求項２または請求項３のいずれかに記載の半導体集積回路の検査装置において、前記規制治具は、その一端にて前記検査装置に取り付けられ、前記一端を中心に回転することにより規制状態と非規制状態を切り替える機能を有することを特徴とする。
【００１０】
請求項５記載の半導体集積回路の検査装置は、請求項１または請求項２または請求項３または請求項４のいずれかに記載の半導体集積回路の検査装置において、前記各コネクタに対して２個以上の前記規制治具を設け、前記各コネクタに対する前記規制治具の一端の取り付け位置が対角線上に位置することを特徴とする。
【００１１】
請求項６記載の半導体集積回路の検査装置は、請求項１または請求項２または請求項３または請求項４または請求項５のいずれかに記載の半導体集積回路の検査装置において、前記コネクタは窪みを有し、前記規制治具は前記窪みより小さい凸型部分を有することを特徴とする。
【００１２】
請求項７記載の半導体集積回路の検査装置は、請求項１または請求項２または請求項３または請求項４または請求項５または請求項６のいずれかに記載の半導体集積回路の検査装置において、前記規制治具は、隙間を設けて前記コネクタの少なくとも一部を囲むことを特徴とする。
【００１３】
請求項８記載の半導体集積回路の検査装置は、請求項１または請求項２または請求項３または請求項４または請求項５または請求項６または請求項７のいずれかに記載の半導体集積回路の検査装置において、前記隙間部分に弾性材を有することを特徴とする。
【００１４】
請求項９記載の半導体集積回路の検査装置は、半導体集積回路を搭載するロードボードと電気的に接続して前記半導体集積回路の検査を行う半導体集積回路の検査装置であって、磁性体を備え、前記ロードボードに設けられた１つまたは複数のロードボード用コネクタそれぞれに対応して電気的に接続する１または複数のコネクタと、磁気を帯び、前記コネクタの位置決めを行うように前記各コネクタの前記磁性体と対応する位置に設けられる１つまたは複数の規制治具とを有することを特徴とする。
【００１５】
請求項１０記載の半導体集積回路の検査装置は、請求項９記載の半導体集積回路の検査装置において、前記磁性体の磁気を電流により調整することにより規制状態と非規制状態前を切り替えることを特徴とする。
【００１６】
請求項１１記載の半導体集積回路の検査装置は、請求項１または請求項２または請求項３または請求項４または請求項５または請求項６または請求項７または請求項８または請求項９または請求項１０記載の半導体集積回路の検査装置において、前記規制治具はそれぞれ異なる位置に凸部分を有し、前記コネクタは対応する前記規制治具が位置決めする位置にある場合のみ前記凸部分と嵌合する窪みを有することを特徴とする。
【００１７】
請求項１２記載の半導体集積回路の検査装置は、請求項１または請求項２または請求項３または請求項４または請求項５または請求項６または請求項７または請求項８または請求項９または請求項１０または請求項１１のいずれかに記載の半導体集積回路の検査装置において、前記ロードボードとの接続位置を固定する機能を有することを特徴とする。
【００１８】
以上により、コネクタの接続を容易に行いながら、ロードボード側コネクタに位置ずれが発生しても、ロードボードと検査装置の電気的な接続を維持することができる。
【発明の効果】
【００１９】
以上のように、検査装置側のコネクタに、検査装置側のコネクタとの間に隙間を設けた規制治具と、半導体集積回路の検査装置に設けられたコネクタを誘導するガイド機構を備えることにより、隙間の分だけコネクタが稼動可能な状態で検査装置に検査装置側のコネクタを固定できるため、コネクタの接続を容易に行いながら、ロードボード側コネクタに位置ずれが発生しても、ロードボードと検査装置の電気的な接続を維持することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態における半導体集積回路の検査装置について、図面を参照しながら具体的に説明する。なお、図１から図１１に対して、対応する部分に同じ符号を付し、重複説明を省略する。
【００２１】
まず、本発明の第１の実施の形態を図１に基づいて説明する。
図１（ａ）は第１の実施の形態における検査装置の概略図、図１（ｂ）は第１の実施の形態における検査装置側コネクタの要部拡大図である。
【００２２】
図１において、１は半導体集積回路の製造工程における良否検査、あるいは機能・性能評価を目的とした半導体集積回路の検査装置、５は半導体集積回路等の測定対象デバイスを搭載するロードボード、４はロードボード５に取り付けられたロードボード側コネクタ、３は検査装置１に設置されロードボード側コネクタと接続される検査装置側コネクタ、７は検査装置側コネクタの可動方向に隙間を有し、検査装置側コネクタ毎に検査装置１に取り付けられたコネクタの位置を規制する規制治具、２は測定ボード、６はケーブル、３１は図示しないロードボード側コネクタを検査装置側コネクタ３の接合面に誘導し、規制治具７における規制できる最大値以下の隙間を設けるガイド斜面である。
【００２３】
検査装置側コネクタ３は、検査装置１に設置され、また測定ボード２とケーブル６を介して接続されており、フローティング状態である。コネクタの位置を規制する規制治具７は、検査装置側コネクタ３と隙間を介して検査装置に固定されている。この構成によれば、検査装置側コネクタ３は、フローティング状態であり、かつコネクタの位置を規制する規制治具７との隙間分以上の移動は制限されるため、ロードボード側コネクタに位置ずれが発生しても、ガイド斜面３１に沿って検査装置側コネクタが動くことでロードボードと検査装置は電気的に接合することが可能である。すなわち、ロードボード側コネクタに高度な位置精度は不要である。また、コネクタの位置を規制する規制治具により検査装置側コネクタの隙間分以上の移動は制限され、検査装置へのコネクタ設置時、意図しない外力によりコネクタの位置を規制する規制治具のある場所以上に移動することがなくなる。
コネクタの位置を規制する規制治具は、常に検査装置に固定されている必要はなく、検査装置から取り外すことのできる構成を有してもよい。また、ロードボード側コネクタを可動とし、ロードボード側コネクタにコネクタの位置を規制する規制治具を有してもよい。
【００２４】
また、図１の構成によれば、ロードボード５が複数枚、検査装置１に設置された際に、各ロードボード間の位置を個別に調整することが可能となる。測定対象の半導体集積回路の搬送装置を検査装置１およびロードボード５にドッキングする際、ロードボード間の位置精度が要求されるが、ロードボード間の位置を個別に調整できることで、ロードボード間の高い位置精度が不要となる。
【００２５】
次に、本発明の第１―２の実施の形態を図２〜図５に基づいて説明する。
図２は第１―２の実施の形態における検査装置側コネクタの要部拡大図、図３は第１−２の実施の形態における複数のコネクタを対角線上で固定する検査装置を示す上面図、図４は第１―２の実施の形態における複数のコネクタを対角線上で固定する検査装置を示す側面図、図５は第１―２の実施の形態における凸部分を備える規制治具により位置決めする検査装置を示す側面図である。
【００２６】
図２は、図１の検査装置側コネクタ３及びコネクタの位置を規制する規制治具７を拡大した図であり、図２において、８はコネクタの位置を規制する規制治具、９はコネクタの位置を規制する規制治具８を検査装置１に固定するねじ、１０は図示しないロードボード側コネクタと電気的に接合するピンである。コネクタの位置を規制する規制治具８は、検査装置１にねじ９で固定され、ねじ９を中心に回転することができ、検査装置側コネクタ３の一面を覆う状態と、覆わない状態を回転により切り替えることが可能である。コネクタの位置を規制する規制治具８が検査装置側コネクタ３の一面を覆っている状態では、検査装置側コネクタ３はフローティング状態であり、かつコネクタの位置を規制する規制治具８との隙間分以上の移動は制限される。コネクタの位置を規制する規制治具８が検査装置側コネクタ３を覆わない状態の時には検査装置側コネクタ３の規制治具は制限されておらず、どのような方向・距離にも位置を変更することが可能であり、検査装置側コネクタ３を検査装置１から取り外したり、検査装置側コネクタ３を検査装置１に取り付けたりすることができる。すなわち、コネクタの位置を規制する規制治具８を回転させることで、検査装置側コネクタ３の規制治具を制限された状態と、規制治具を制限されていない状態を簡単に切り替えることが可能となる。このように、検査装置に取り付けられた一端を中心に回転することで、検査装置側コネクタの一面との間に隙間を有した状態となり、単純な構成でかつ簡単な操作で、検査装置側コネクタの規制治具を制限することが可能となる。
【００２７】
図３において、１１及び１２は、コネクタの位置を規制する規制治具８と検査装置１を固定するねじであり、図２に示した例に対して規制治具が２つある構成である。検査装置側コネクタ３は、２つのコネクタの位置を規制する規制治具８で固定されている。２つのコネクタの位置を規制する規制治具８は、それぞれ検査装置１にねじ１１及びねじ１２で固定される。また、ねじ１１とねじ１２は、対角線上に位置する。単一の規制治具を使用し、検査装置側コネクタに、検査装置に接続されていない一端の方向に外力が加わった場合、その外力はコネクタの位置を規制する規制治具のみに加わるため、大きな外力が加わり、コネクタの位置を規制する規制治具の変形や、コネクタの位置を規制する規制治具を取り付けた場所以上にコネクタが移動する可能性があるが、このように、２個以上の規制治具それぞれの検査装置に取り付けられる部分が対角線上にあることにより、複数のコネクタの位置を規制する規制治具のねじ等により検査装置に取り付けられる部分が対角線上であれば、どのような方向の意図しない外力に対しても、検査装置に対する固定箇所でコネクタが動くことを妨げることができる。また、検査装置に対する固定箇所によりコネクタにかかる意図しない外力を抑えることができるので、強度の低いコネクタの位置を規制する規制治具を使用することも可能となる。
【００２８】
また、図４は図２を横から見た図であり、２７はコネクタの位置を規制する規制治具８を検査装置１に固定するねじ９と検査装置側コネクタ３との隙間、２８はコネクタの位置を規制する規制治具８と検査装置側コネクタ３との隙間である。ねじ９とコネクタの位置を規制する規制治具８は一体であり、ねじを上下させることでコネクタの位置を規制する規制治具８の位置を上下させ、隙間２８を変化させることができる。すなわち検査装置側コネクタ３の上の可動範囲を変化させることが可能となる。また、ねじ９を検査装置１に固定する左右位置を変化させることで、隙間２７を変化させることができ、検査装置側コネクタ３の左の可動範囲を変化させることが可能となる。
【００２９】
図５は複数の検査装置側コネクタの規制治具を制限した場合を示した図である。３０はコネクタの位置を規制する規制治具８に取り付けられた凸部分、２９は検査装置側コネクタ３に加工された窪みである。コネクタの位置を規制する規制治具８に取り付けられたと凸部分３０は、２個のコネクタの位置を規制する規制治具８それぞれで位置が異なり、検査装置側コネクタ３に加工された窪み２９は、対応するコネクタの位置を規制する規制治具８の凸部分３０と同位置にある。すなわち、コネクタの位置を規制する規制治具８により検査装置側コネクタ３を制限した場合、凸部分３０と窪み２９が嵌合する。凸部分３０の位置と異なる位置に窪み２９がある検査装置側コネクタ３の規制治具を制限しようとしても、凸部分３０と窪み２９が嵌合しない。このため、異なるコネクタの位置を規制する規制治具８に検査装置側コネクタを誤配置するのを防止することができる。すなわち、誤った位置に検査装置側コネクタを配置した際、コネクタの位置を規制する規制治具により制限しようとしても、コネクタの窪みとコネクタの位置を規制する規制治具の突起が合わず、コネクタをロックすることができない。
【００３０】
ここでは、２個の規制治具を用いた場合について説明したが、複数の規制治具それぞれに異なる位置の窪みと凸部分を設けることにより、複数のコネクタの誤配置を防ぐことができる。
【００３１】
次に、本発明の第２の実施の形態を図６に基づいて説明する。
図６は第２の実施の形態における検査装置側コネクタの要部拡大図である。
図６において、１３は検査装置側コネクタ３に作られた窪み、１４は窪み１３に挿入できるよう作成された凸型のコネクタの位置を規制する規制治具、１６はコネクタの位置を規制する規制治具１４に加工された切込み、１５は検査装置１に取り付けられ、コネクタの位置を規制する規制治具１４の切込み１６に差し込まれ、規制治具１４を図６に示す矢印方向に動かして、規制治具１４によるコンタクト３の規制状態および非規制状態を制御すための規制治具の台である。
【００３２】
コネクタの位置を規制する規制治具１４は図６に示された矢印の左方向に動かすことで、検査装置側コネクタ３の窪み１３に挿入され、検査装置側コネクタ３はフローティング状態であり、かつコネクタの位置を規制する規制治具１４の凸部分と検査装置側コネクタ３の窪み１３との隙間分以上の移動は制限される状態となる。
【００３３】
このように、規制治具に切込みを設け、切込みが規制治具の台に沿って移動可能な構成にすることにより、規制治具によるコネクタの規制を制御でき、ロードボード側コネクタに位置ずれが発生しても、検査装置側コネクタが動くことでロードボードと検査装置を電気的に接合することが可能である。すなわち、ロードボード側コネクタに高度な位置精度は不要である。また、コネクタの位置を規制する規制治具により検査装置側コネクタの隙間分以上の移動は制限され、検査装置へのコネクタ設置時、意図しない外力によりコネクタの位置を規制する規制治具のある場所以上に移動することがなくなる。
【００３４】
次に、本発明の第３の実施の形態を図７に基づいて説明する。
図７は第３の実施の形態における検査装置側コネクタの要部拡大図である。
図７において、１７はコネクタの位置を規制する規制治具、１８は検査装置側コネクタ３に設けられた窪み、１９はコネクタの位置を規制する規制治具１７での折り曲げ点である。
【００３５】
コネクタの位置を規制する規制治具１７は、図示しない検査装置に固定され、折り曲げ点１９が折れ曲がることで、コネクタの位置を規制する規制治具１７にある凸部分が検査装置側コネクタ３の窪み１８に挿入されることにより検査装置側コネクタ３の規制治具は制限される。
【００３６】
また、第３の実施の形態は、図４で説明した隙間の大きさを変化させる機構を設けることも可能である。
次に、本発明の第４の実施の形態を図８に基づいて説明する。
【００３７】
図８は第４の実施の形態における検査装置の概略図である。
図８において、２０は検査装置側コネクタの全面に対して隙間を有して囲むコネクタの位置を規制する規制治具、２１は検査装置１に固定され、コネクタの位置を規制する規制治具２０の穴部分をとおり、コネクタの位置を規制する規制治具２０が図８に示す矢印方向に動くためのコネクタの位置を規制する規制治具の台である。コネクタの位置を規制する規制治具２０を、図８に示された矢印の左方向に動かすことで、検査装置側コネクタ３の一部を囲み、検査装置側コネクタ３はフローティング状態であり、かつコネクタの位置を規制する規制治具２０の穴部分の隙間分以上の移動は制限される状態となる。図８に示す矢印右方向にコネクタの位置を規制する規制治具２０を動かすと、コネクタ３は規制治具を制限されていない状態となり、検査装置１から取り外すことが可能となる。
【００３８】
このように、検査装置側コネクタの全面に対して隙間を有して囲むことで、検査装置側コネクタの規制治具を制限することができ、コネクタへの加工の必要なしに、全方向に対しての検査装置側コネクタの可動範囲を制限することが可能となる。
【００３９】
次に、本発明の第５の実施の形態を図９に基づいて説明する。
図９は第５の実施の形態における検査装置側コネクタの要部拡大図である。
図９において、２３はコネクタの位置を規制する規制治具、２４は検査装置側コネクタ３と接し、金属板を丸めて作成した弾性のある金具、２２はコネクタの位置を規制する規制治具２３を検査装置１に固定するねじである。検査装置側コネクタ３は、コネクタの位置を規制する規制治具２３と弾性金具２４を介して接している。金具２４は弾性を示すので、金具２４に接する検査装置側コネクタ３はフローティング状態となり、金具２４が許容する弾性力以上の力を及ぼす位置移動は制限されるまた、検査装置側コネクタ３が外力により規定位置よりずれた場合は、金具２４の弾性力により、外力がなくなり次第検査装置側コネクタ３には元の位置に戻ろうとする力が加わり、検査装置側コネクタ３は自ら元の位置に戻ることが可能である。なお、金具２４は、弾性材であれば、必ずしも金具である必要はない。
【００４０】
次に、本発明の第６の実施の形態を図１０に基づいて説明する。
図１０は第６の実施の形態における検査装置側コネクタの要部拡大図である。
図１０において、２５は磁性体を装着する検査装置側コネクタ、２６は磁気を有し検査装置に取り付けられたコネクタの位置を規制する規制治具である。検査装置１に固定されたコネクタの位置を規制する規制治具２６の磁気と検査装置側コネクタ３の磁性体をひきつけることで検査装置側コネクタ３の検査装置１への設置が行われる。磁気と磁性体の磁力に弱い外力が加わった場合、検査装置側コネクタは動き、すなわちフローティング状態となる。検査装置側コネクタ３が外力により規定位置よりずれた場合は、外力がなくなり次第、磁力により検査装置側コネクタ３には元の位置に戻ろうとする力が加わり、検査装置側コネクタ３は自ら元の位置に戻る、すなわち位置を制限されている状態と同じ効果が得られる。なお、検査装置側コネクタ３及びコネクタの位置を規制する規制治具２６に有するのは、少なくとも一方が磁気を有していれば、もう一方は磁性体であっても磁気を有していてもよい。
【００４１】
磁気を電磁石とし、図示しない電流を流すことで磁気の有無を調整することで、コネクタが、磁力によって位置制限されている状態と、磁力がなく位置制限されていない状態を切り替えることが可能となる。また、複数のコネクタの規制治具の制限を個々に位置制限の状態と位置制限されていない状態に切り替える手間無く、複数のコネクタを一斉に位置制限の状態と位置制限のかかっていない状態に切り替えることが可能となる。
【００４２】
次に、本発明の第７の実施の形態を図１１に基づいて説明する。
図１１は第７の実施の形態における検査装置の概略図である。
図１１において、３２はロードボード５を検査装置１に固定するねじ、３３は検査装置１のねじ穴、３４はロードボード５にあけられたねじ穴である。ロードボード５と検査装置１の嵌合後、検査装置側コネクタ３が外力にそって動くため、ロードボード５も外力にそって動くが、ねじ３２をねじ穴３３及び３４を通して閉めることにより、ロードボード５の位置を固定することが可能となる。
【００４３】
また、本実施の形態は、第１〜第６の全ての実施の形態において実施可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明は、コネクタの接続を容易に行いながら、ロードボード側コネクタに位置ずれが発生しても、ロードボードと検査装置の電気的な接続を維持することができ、半導体集積回路の製造工程における良否検査等に用いる半導体集積回路の検査装置等に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】（ａ）第１の実施の形態における検査装置の概略図（ｂ）第１の実施の形態における検査装置の概略図
【図２】第１−２の実施の形態における検査装置側コネクタの要部拡大図
【図３】第１−２の実施の形態における複数のコネクタを対角線上で固定する検査装置を示す上面図
【図４】第１−２の実施の形態における複数のコネクタを対角線上で固定する検査装置を示す側面図
【図５】第１−２の実施の形態における凸部分を備える規制治具により位置決めする検査装置を示す側面図
【図６】第２の実施の形態における検査装置側コネクタの要部拡大図
【図７】第３の実施の形態における検査装置側コネクタの要部拡大図
【図８】第４の実施の形態における検査装置の概略図
【図９】第５の実施の形態における検査装置側コネクタの要部拡大図
【図１０】第６の実施の形態における検査装置側コネクタの要部拡大図
【図１１】第７の実施の形態における検査装置の概略図
【図１２】従来の半導体集積回路の検査装置を示す概略図
【図１３】従来のコネクタと測定ボードをケーブルで接続した半導体集積回路の検査装置を示す概略図
【符号の説明】
【００４６】
１ 検査装置
２ 測定ボード
３ コネクタ
４ コネクタ
５ ロードボード
６ ケーブル
７ 規制治具
８ 規制治具
９ ねじ
１０ ピン
１１ ねじ
１２ ねじ
１３ 窪み
１４ 規制治具
１５ 規制治具の台
１６ 切込み
１７ 規制治具
１８ 窪み
１９ 折り曲げ点
２０ 規制治具
２１ 規制治具の台
２２ ねじ
２３ 規制治具
２４ 金具
２５ 検査装置側コネクタ
２６ 規制治具
２７ 隙間
２８ 隙間
２９ 窪み
３０ 凸部分
３１ ガイド斜面
３２ ねじ
３３ ねじ穴
３４ ねじ穴
３５ ソケット
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体集積回路を搭載するロードボードと電気的に接続して前記半導体集積回路の検査を行う半導体集積回路の検査装置であって、
前記ロードボードに設けられた１つまたは複数のロードボード用コネクタそれぞれに対応して電気的に接続する１または複数のコネクタと、
前記各コネクタとの間に隙間を設けて前記各コネクタの位置を前記隙間の分だけ可動な状態で位置決めする１つまたは複数の規制治具と
を有することを特徴とする半導体集積回路の検査装置。
【請求項２】
前記ロードボードの接合時に前記ロードボード用コネクタに前記コネクタ接合面に誘導するガイド機構を有し、前記ガイド機構によって、前記ロードボードコネクタの水平または垂直位置を規制できる最大量以下の隙間を有することを特徴とする請求項１記載の半導体集積回路の検査装置。
【請求項３】
前記規制治具は、前記コネクタとの隙間の距離を調整する機構を有することを特徴とする請求項１または請求項２のいずれかに記載の半導体集積回路の検査装置。
【請求項４】
前記規制治具は、その一端にて前記検査装置に取り付けられ、前記一端を中心に回転することにより規制状態と非規制状態を切り替える機能を有することを特徴とする請求項１または請求項２または請求項３のいずれかに記載の半導体集積回路の検査装置。
【請求項５】
前記各コネクタに対して２個以上の前記規制治具を設け、前記各コネクタに対する前記規制治具の一端の取り付け位置が対角線上に位置することを特徴とする請求項１または請求項２または請求項３または請求項４のいずれかに記載の半導体集積回路の検査装置。
【請求項６】
前記コネクタは窪みを有し、前記規制治具は前記窪みより小さい凸型部分を有することを特徴とする請求項１または請求項２または請求項３または請求項４または請求項５のいずれかに記載の半導体集積回路の検査装置。
【請求項７】
前記規制治具は、隙間を設けて前記コネクタの少なくとも一部を囲むことを特徴とする請求項１または請求項２または請求項３または請求項４または請求項５または請求項６のいずれかに記載の半導体集積回路の検査装置。
【請求項８】
前記隙間部分に弾性材を有することを特徴とする請求項１または請求項２または請求項３または請求項４または請求項５または請求項６または請求項７のいずれかに記載の半導体集積回路の検査装置。
【請求項９】
半導体集積回路を搭載するロードボードと電気的に接続して前記半導体集積回路の検査を行う半導体集積回路の検査装置であって、
磁性体を備え、前記ロードボードに設けられた１つまたは複数のロードボード用コネクタそれぞれに対応して電気的に接続する１または複数のコネクタと、
磁気を帯び、前記コネクタの位置決めを行うように前記各コネクタの前記磁性体と対応する位置に設けられる１つまたは複数の規制治具と
を有することを特徴とする半導体集積回路の検査装置。
【請求項１０】
前記磁性体の磁気を電流により調整することにより規制状態と非規制状態前を切り替えることを特徴とする請求項９記載の半導体集積回路の検査装置。
【請求項１１】
前記規制治具はそれぞれ異なる位置に凸部分を有し、前記コネクタは対応する前記規制治具が位置決めする位置にある場合のみ前記凸部分と嵌合する窪みを有することを特徴とする請求項１または請求項２または請求項３または請求項４または請求項５または請求項６または請求項７または請求項８または請求項９または請求項１０のいずれかに記載の半導体集積回路の検査装置。
【請求項１２】
前記ロードボードとの接続位置を固定する機能を有することを特徴とする請求項１または請求項２または請求項３または請求項４または請求項５または請求項６または請求項７または請求項８または請求項９または請求項１０または請求項１１のいずれかに記載の半導体集積回路の検査装置。
【請求項１】
半導体集積回路を搭載するロードボードと電気的に接続して前記半導体集積回路の検査を行う半導体集積回路の検査装置であって、
前記ロードボードに設けられた１つまたは複数のロードボード用コネクタそれぞれに対応して電気的に接続する１または複数のコネクタと、
前記各コネクタとの間に隙間を設けて前記各コネクタの位置を前記隙間の分だけ可動な状態で位置決めする１つまたは複数の規制治具と
を有することを特徴とする半導体集積回路の検査装置。
【請求項２】
前記ロードボードの接合時に前記ロードボード用コネクタに前記コネクタ接合面に誘導するガイド機構を有し、前記ガイド機構によって、前記ロードボードコネクタの水平または垂直位置を規制できる最大量以下の隙間を有することを特徴とする請求項１記載の半導体集積回路の検査装置。
【請求項３】
前記規制治具は、前記コネクタとの隙間の距離を調整する機構を有することを特徴とする請求項１または請求項２のいずれかに記載の半導体集積回路の検査装置。
【請求項４】
前記規制治具は、その一端にて前記検査装置に取り付けられ、前記一端を中心に回転することにより規制状態と非規制状態を切り替える機能を有することを特徴とする請求項１または請求項２または請求項３のいずれかに記載の半導体集積回路の検査装置。
【請求項５】
前記各コネクタに対して２個以上の前記規制治具を設け、前記各コネクタに対する前記規制治具の一端の取り付け位置が対角線上に位置することを特徴とする請求項１または請求項２または請求項３または請求項４のいずれかに記載の半導体集積回路の検査装置。
【請求項６】
前記コネクタは窪みを有し、前記規制治具は前記窪みより小さい凸型部分を有することを特徴とする請求項１または請求項２または請求項３または請求項４または請求項５のいずれかに記載の半導体集積回路の検査装置。
【請求項７】
前記規制治具は、隙間を設けて前記コネクタの少なくとも一部を囲むことを特徴とする請求項１または請求項２または請求項３または請求項４または請求項５または請求項６のいずれかに記載の半導体集積回路の検査装置。
【請求項８】
前記隙間部分に弾性材を有することを特徴とする請求項１または請求項２または請求項３または請求項４または請求項５または請求項６または請求項７のいずれかに記載の半導体集積回路の検査装置。
【請求項９】
半導体集積回路を搭載するロードボードと電気的に接続して前記半導体集積回路の検査を行う半導体集積回路の検査装置であって、
磁性体を備え、前記ロードボードに設けられた１つまたは複数のロードボード用コネクタそれぞれに対応して電気的に接続する１または複数のコネクタと、
磁気を帯び、前記コネクタの位置決めを行うように前記各コネクタの前記磁性体と対応する位置に設けられる１つまたは複数の規制治具と
を有することを特徴とする半導体集積回路の検査装置。
【請求項１０】
前記磁性体の磁気を電流により調整することにより規制状態と非規制状態前を切り替えることを特徴とする請求項９記載の半導体集積回路の検査装置。
【請求項１１】
前記規制治具はそれぞれ異なる位置に凸部分を有し、前記コネクタは対応する前記規制治具が位置決めする位置にある場合のみ前記凸部分と嵌合する窪みを有することを特徴とする請求項１または請求項２または請求項３または請求項４または請求項５または請求項６または請求項７または請求項８または請求項９または請求項１０のいずれかに記載の半導体集積回路の検査装置。
【請求項１２】
前記ロードボードとの接続位置を固定する機能を有することを特徴とする請求項１または請求項２または請求項３または請求項４または請求項５または請求項６または請求項７または請求項８または請求項９または請求項１０または請求項１１のいずれかに記載の半導体集積回路の検査装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図２】
【図３】
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【図１０】
【図１１】
【図１２】
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【公開番号】特開２００７−３３３３８６（Ｐ２００７−３３３３８６Ａ）
【公開日】平成１９年１２月２７日（２００７．１２．２７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−１６１７３３（Ｐ２００６−１６１７３３）
【出願日】平成１８年６月１２日（２００６．６．１２）
【出願人】（０００００５８２１）松下電器産業株式会社 (73,050)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１９年１２月２７日（２００７．１２．２７）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年６月１２日（２００６．６．１２）
【出願人】（０００００５８２１）松下電器産業株式会社 (73,050)
【Ｆターム（参考）】
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