基板の検査装置
【課題】同一の基板に対して重複して検査が行われることを確実に防止する。
【解決手段】基板Ｐを検査する検査ユニット５０と、この検査ユニット５０に手動で基板Ｐを供給可能な基板供給ユニット２４と、上記基板Ｐの検査結果を含んだ所定の情報を表示する液晶モニタ４とを備えた基板の検査装置１において、上記基板Ｐに付与される識別情報を認識するカメラ５２と、このカメラ５２を通じて取得された識別情報に基づいて上記基板Ｐの検査履歴を確認するとともに、その基板Ｐが検査済みであることが確認された場合に、上記液晶モニタ４にその旨の表示を行わせるとともに、上記検査ユニット５０による基板Ｐの検査動作の実行を禁止するように制御するコントロールユニット６０とを設ける。
【解決手段】基板Ｐを検査する検査ユニット５０と、この検査ユニット５０に手動で基板Ｐを供給可能な基板供給ユニット２４と、上記基板Ｐの検査結果を含んだ所定の情報を表示する液晶モニタ４とを備えた基板の検査装置１において、上記基板Ｐに付与される識別情報を認識するカメラ５２と、このカメラ５２を通じて取得された識別情報に基づいて上記基板Ｐの検査履歴を確認するとともに、その基板Ｐが検査済みであることが確認された場合に、上記液晶モニタ４にその旨の表示を行わせるとともに、上記検査ユニット５０による基板Ｐの検査動作の実行を禁止するように制御するコントロールユニット６０とを設ける。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に実装された部品の実装状態、基板上のプリント配線パターン、基板上のクリームはんだの印刷パターン等を検査する基板の検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、上記検査装置として、いわゆるインライン型のものとは別に、作業者の手動操作により個別に基板を検査するアウトライン用の卓上据え置き型（以下、単に卓上型という）の検査装置が知られている。
【０００３】
例えば下記特許文献１に、この種の卓上型検査装置の一つが開示されている。この検査装置は、基板の画像を取り込む試験ユニットと、良否判定等の処理を行うメインユニットとを有しており、作業者が基板を試験ユニットにセットして検査開始の指示を与えると、当該ユニットに搭載された走査ユニットにより基板表面の画像が取り込まれてその画像データがメインユニットに転送され、この画像データに基づき良否判定等の処理が行われるとともに、その結果がメインユニットのモニタに表示されるようになっている。そして、このようにして１つの基板に対して検査が終了すると、作業者による基板の交換が行われ、その新たな基板に対して同様の検査が繰り返されることになる。
【特許文献１】特開２００２−１８１７３０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上記のように基板を手動操作で試験ユニットにセットし、試験が終了すると次の基板と交換するというにして使用する卓上型検査装置では、作業者のミスによって検査済みの基板が再度試験ユニットにセットされてしまうおそれがあり、このような事態が生じると、同一の基板に対して重複して検査が行われてしまい、基板検査の作業効率が低下することなる。
【０００５】
本発明は、上記のような事情に鑑みてなされたものであり、同一の基板に対して重複して検査が行われることを確実に防止することのできる基板の検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するためのものとして、本発明は、基板を検査する検査ユニットと、この検査ユニットに手動で基板を供給可能な基板供給ユニットと、上記基板の検査結果を含んだ所定の情報を表示する表示手段とを備えた基板の検査装置であって、上記基板に付与される識別情報を認識する認識手段と、この認識手段を通じて上記基板の識別情報を取得するとともに、その識別情報に基づいて上記基板の検査履歴を確認する履歴確認手段と、この履歴確認手段により基板が検査済みであることが確認された場合に、上記表示手段にその旨の表示を行わせるとともに、上記検査ユニットによる基板の検査動作の実行を禁止するように制御する制御手段とを備えることを特徴とするものである（請求項１）。
【０００７】
本発明によれば、基板供給ユニットを介して手動で供給された基板が検査ユニットにより検査され、その検査結果が表示手段に表示されるように構成された検査装置において、基板に付与される識別情報に基づきその基板が検査済みであることが確認された場合に、上記表示手段にその旨が表示されるとともに、上記検査ユニットによる基板の検査動作が禁止されるように制御されるため、同一の基板に対して重複して検査が行われるのを確実に防止することができ、この重複検査によるロス時間の発生を回避しながら効率よく基板検査を行うことができる。
【０００８】
上記構成においては、上記検査ユニットによる検査が済んだときに、基板が検査済みであることを表す検査終了マークを上記識別情報として基板に付与するマーキング手段をさらに備え、上記履歴確認手段は、上記検査終了マークの有無を上記認識手段を通じて判定することにより上記基板の検査履歴を確認することが好ましい（請求項２）。
【０００９】
このようにすれば、検査終了マークの有無を調べるだけの簡単な構成で基板の検査履歴を確認できるという利点がある。
【００１０】
この構成とは別の態様として、上記識別情報として基板に付与されたＩＤコードとその基板の検査履歴とを対応付けて記憶する記憶手段をさらに備え、上記履歴確認手段は、上記認識手段を通じて取得された上記ＩＤコードを上記記憶手段に記憶された履歴情報と照合することにより上記基板の検査履歴を確認するものであることも、また好ましい（請求項３）。
【００１１】
このようにすれば、基板に付与されたＩＤコードを記憶手段内の履歴情報と照合することによって確実に基板の検査履歴を確認できるという利点がある。
【００１２】
上記基板供給ユニットは、手動操作による基板の着脱が可能なホームポジションと、上記検査ユニットによる基板の検査が行われる検査ポジションとの間で基板を往復移動させるように構成されていることが好ましい（請求項４）。
【００１３】
このようにすれば、基板供給ユニットのホームポジションに基板をセットするだけで、その後の一連の動作、すなわち、基板の検査ポジションへの移動や、そこで検査された基板のホームポジションへの復帰等の動作が自動的に実行されるため、検査装置の使い勝手を効果的に向上させることができる。
【００１４】
上記履歴確認手段が、上記検査ポジションに基板が搬送された時点で上記認識手段を通じて基板の識別情報を取得する場合、上記基板供給ユニットは、上記履歴確認手段により基板が検査済みであることが確認されると、上記検査ポジションにある基板を上記ホームポジションに移動させることが好ましい（請求項５）。
【００１５】
このように、検査ポジションに搬送された時点で検査済みということが確認された基板を、基板供給ユニットの作動に応じて直ちにホームポジションに移動（復帰）させるようにした場合には、検査済みの基板を誤って基板供給ユニットにセットしたことで生じるロス時間の長さをできるだけ短くすることができ、基板検査の作業効率の低下を効果的に抑制できるという利点がある。
【００１６】
この場合、上記制御手段は、上記検査ポジションにある基板を基板供給ユニットがホームポジションへ移動させる動作を、作業者からの検査継続の指示がないことを確認してから実行させることが好ましい（請求項６）。
【００１７】
このようにすれば、作業者の意図に応じて適正に基板の検査を中止または継続することができる。
【００１８】
上記構成においては、上記基板供給ユニットのホームポジションに基板がセットされたか否かを検知する基板検知手段をさらに備え、上記制御手段は、上記基板検知手段により基板が検知されなかった場合に、上記基板供給ユニットによる検査ポジションへの搬送動作を禁止することが好ましい（請求項７）。
【００１９】
このようにすれば、基板がセットされていない状態（基板のセットを忘れた状態）で基板供給ユニットが作動してしまうのを防止でき、それによるロス時間の発生を確実に回避することができる。
【００２０】
以上のような基板の検査装置においては、上記検査ユニット、基板供給ユニット、表示手段等の各部が一体的に組み付けられて卓上に載置可能に構成されていることが好ましい（請求項８）。
【００２１】
このようにすれば、検査装置の省スペース化等を図ることができるとともに、特に場所を問わずに様々な場所でこの検査装置を使用できるという利点がある。
【発明の効果】
【００２２】
以上説明したように、本発明の基板の検査装置によれば、同一の基板に対して重複して検査が行われることを確実に防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
図１および図２は、本発明の一実施形態に係る基板の検査装置１を概略的に示している。これらの図に示すように、検査装置１は、全体が箱形を成し、その後方側を構成する後側部分２Ａと、この後側部分２Ａの前端下部から前方に延びる前側部分２Ｂとを具備した側面視Ａ字型の外観形状を有している。このような検査装置１の外形は、後述する検査ユニット５０等の内部部品を覆うケーシングＣａにより形成されている。
【００２４】
この検査装置１のうち上記前側部分２Ｂには、プリント基板Ｐを装置内に出し入れするための出し入れ口６が設けられている。この出し入れ口６は、ケーシングＣａに形成される開口部からなり、検査装置１の幅方向中央（図２では左右方向における中央）に設けられている。
【００２５】
上記出し入れ口６の上方であって後側部分２Ａの前面部分には、液晶モニタ４（本発明にかかる表示手段に相当）が配置されている。この液晶モニタ４は、いわゆるタッチパネル型液晶表示器からなり、検査結果等の各種情報がこの液晶モニタ４上に表示されるとともに、モニタ表示に作業者が指先で触れることにより検査装置１に対して各種操作入力を行えるようになっている。
【００２６】
上記前側部分２Ｂのうち液晶モニタ４に並ぶ部分にはメンテナンス用の扉９が設けられている。この扉９は、上記ケーシングＣａの一部が開閉可能に構成されたもので、必要に応じてこの扉９を開くことにより作業者が検査装置１の内部にアクセスして後述するチェックペン５６の交換等を行えるようになっている。また、上記ケーシングＣａのうち上面カバーＣａ１は取り外し可能とされており、この上面カバーＣａ１を取り外した状態で後述する撮像ユニット５１のメンテナンス等を行えるようになっている。
【００２７】
図１に示すように、上記ケーシングＣａには、その後側部分２Ａの左右両側部に、凹部からなる取手部３が設けられており、この取手部３を手に掛けた状態で検査装置１を持ち運べるようになっている。なお、図１および図２において符号８は非常停止用ボタンである。
【００２８】
検査装置１は、その幅が装置後側から前側に向かって先細りに形成されている。詳しくは、上記ケーシングＣａにより構成される検査装置１の側面のうち前側部分２Ｂの一方側の側面（図２では左側の側面）が前後方向に対して所定角度αだけ傾斜して設けられることにより検査装置１の幅が先細りに形成されている。これは複数台の検査装置１をコンパクトに設置して作業性を高めるための工夫であって、この点については後に詳述する。
【００２９】
図３および図４は、検査装置１の具体的な内部構成を示すための図である。本図に示すように、検査装置１の内部にはベースフレーム１０が設けられており、このベースフレーム１０には、作業者の手により上記出し入れ口６を通じて供給されたプリント基板Ｐを保持してこれを移動させる基板供給ユニット２４と、この基板供給ユニット２４に保持されたプリント基板Ｐの撮像等を行うことによりこの基板Ｐの外観を検査する検査ユニット５０等が組み付けられている。
【００３０】
上記ベースフレーム１０は、前方側（液晶モニタ４が設置されている側）に至るほど高さが低くなる前下がりの傾斜面１２ａを有した基台部１２と、この基台部１２の左右両端からそれぞれ立ち上がる側壁部１４とを一体に備えた構造を有しており、例えばアルミダイカスト等の鋳造品により構成されている。
【００３１】
上記基板供給ユニット２４は、上記基台部１２の傾斜面１２ａ上に固定され、当該斜面１２ａに沿ってスライダ２２を前後方向（以下、この方向をＹ軸方向という）に移動させるリニアモータ式の単軸ロボット２０と、上記スライダ２２に固定されるテーブル３０とから構成されている。
【００３２】
上記テーブル３０は、プリント基板Ｐを保持するもので、上記単軸ロボット２０の作動に応じて、上記出し入れ口６に対向するホームポジション（図３の実線で示す位置）と、後述する撮像ユニット５１に対向する検査ポジション（図３の二点鎖線で示す位置）とに亘ってＹ軸方向に移動可能に構成されている。そして、上記ホームポジションにおいてテーブル３０に対するプリント基板Ｐの着脱が作業者の手動操作により行われるとともに、そこから検査ポジションまでテーブル３０が移動した状態で、撮像ユニット５１によるプリント基板Ｐの撮像が行われるようになっている。
【００３３】
このテーブル３０は、上記スライダ２２の上面部に固定されたプレート３２と、このプレート３２に組み付けられて左右方向に延びる前後一対の基板保持フレーム３６，３８（以下、前側フレーム３６，後側フレーム３８ということがある）とを有しており、これらフレーム３６，３８の間にプリント基板Ｐが挟持されるようになっている。具体的には、両フレーム３６，３８のうちの後側フレーム３８に、Ｙ軸方向に変位可能でかつ圧縮コイルバネ等の弾性部材により前方側に付勢される可動部３９が設けられ、この可動部３９と前側フレーム３６との対向する部分に、それぞれ階段状の基板受部が形成されている。そして、プリント基板Ｐを手に持った作業者が、これら基板受部にプリント基板Ｐの前後縁部を載せ、当該基板Ｐを前側フレーム３６と可動部３９との間に嵌め込むと（図３参照）、圧縮コイルバネ等の弾性力により基板Ｐが両フレーム３６，３８の間に弾性的に挟み込まれ、これに応じてプリント基板Ｐが前側フレーム３６を基準としてＹ軸方向に位置決めされた状態でテーブル３０に保持されるようになっている。また、前側フレーム３６の左右方向の一端側には、位置決めプレート３６ａが設けられており、このプレート３６ａにプリント基板Ｐの一端（左右方向の一端）が当接することにより、当該基板Ｐが左右方向（以下、Ｘ軸方向という）に位置決めされるようになっている。
【００３４】
なお、上記前側および後側フレーム３６，３８の間隔は基板サイズに応じて可変となっている。具体的には、上記プレート３２の後端にエンドプレート３４が固定され、このエンドプレート３４と上記前側フレーム３６とに亘って互いに平行な左右一対のガイドバー３５が固定されている。そして、これらガイドバー３５に対して上記後側フレーム３８がスライド可能に装着されるとともに、上記ガイドバー３５に対して後側フレーム３８を任意の位置でロックできる図外のロック手段が設けられている。つまり、前側フレーム３６を基準として後側フレーム３８をスライドさせ、上記ロック手段により後側フレーム３８を所望の位置でロックすることによって両フレーム３６，３８の間隔を変更できる構成となっている。
【００３５】
上記テーブル３０のプレート３２には、図４に示すように、光学式センサからなる基板検知手段３３が埋め込まれており、この基板検知手段３３により、プリント基板Ｐがテーブル３０にセットされたか否かが検知されるようになっている。なお、当実施形態では、プリント基板Ｐがテーブル３０上にセットされている状態では基板検知手段３３の検出信号がＯＮとなり、プリント基板Ｐがセットされていない状態ではＯＦＦになるようになっている。
【００３６】
上記検査ユニット５０は、スライダ４２をＸ軸方向に移動させる単軸ロボット４０と、この単軸ロボット４０に上記スライダ４２を介して組み付けられる撮像ユニット５１とを備えている。
【００３７】
上記単軸ロボット４０は、テーブル３０駆動用の上記単軸ロボット２０と同様に、リニアモータ式の単軸ロボットからなり、上記両側壁部１４に亘って横架された状態でベースフレーム１０に固定されている。
【００３８】
上記撮像ユニット５１は、ＣＣＤあるいはＣＭＯＳイメージセンサ等のエリアセンサからなるカメラ５２（本発明にかかる認識手段に相当）と、被写体であるプリント基板Ｐに照明光を照射する照明装置５４とを備えており、上記テーブル３０に保持されたプリント基板Ｐを、その表面に対して直交する方向からカメラ５２が撮像するように構成されている。この撮像ユニット５１は、上記スライダ４２のＸ軸方向の移動に伴い、基板供給ユニット２４の単軸ロボット２０上方にあたる撮像位置や、図４において二点鎖線および実線で示す位置に移動可能とされている。そして、撮像ユニット５１は、通常時において上記撮像位置に保持されているとともに、後述するようなマーキングユニット５５の交換時等に図４の二点鎖線で示す位置に移動したり、上面カバーＣａ１を取り外しての撮像ユニット５１のメンテナンス時等に図４の実線で示す位置に移動したりする。
【００３９】
上記検査ユニット５０には、検査結果等に応じてプリント基板Ｐに所定のマークを記入するマーキングユニット５５（本発明にかかるマーキング手段に相当）が取り付けられている。このマーキングユニット５５は、マークを記入するためのチェックペン５６と、このチェックペン５６を進退駆動する駆動機構とから構成されており、この駆動機構の作動に応じて、上記チェックペン５６が、テーブル３０に保持されたプリント基板Ｐに当接する作業位置（図３において二点鎖線で示す位置）と、この位置から上方に退避する退避位置（図３において実線で示す位置）とに亘って進退移動するようになっている。
【００４０】
上記マーキングユニット５５は、図３および図４に示すように、連結アーム５８を介して撮像ユニット５１に固定されることにより、この撮像ユニット５１と一体的にＸ軸方向に移動するように構成されている。なお、マーキングユニット５５は、その左右方向の可動領域のうちの一端側（図４において二点鎖線で示す位置）において、図１および図２に示した扉９の裏側（後方側）に位置するようになっている。つまり、この位置にマーキングユニット５５を配置した状態で扉９を開くことによって作業者が容易にチェックペン５６の交換等を行えるようになっている。
【００４１】
上記ベースフレーム１０の上方には、前後方向に延びるビーム１９がさらに設けられている。このビーム１９は、図５に示すように、ベースフレーム１０の両側壁部１４に亘って固定された前後一対の門型のサブフレーム１６，１８に固定されている。そして、このビーム１９の先端に上記液晶パネル４がチルト可能に支持されている。具体的には、上記ビーム１９の前端部に、Ｘ軸方向に延びる支軸４５を支点に回動可能な状態でジョイント４６が連結され、このジョイント４６に上記液晶モニタ４が組み付けられることにより、この液晶モニタ４の鉛直軸に対する傾斜角が可変（前後方向に姿勢変更可能）となるように構成されている。
【００４２】
また、図３に示すように、上記基板供給ユニット２４の設置部の上方であってかつ上記検査ユニット５０の後方側のスペースには、検査ユニット５０における上記単軸ロボット４０の駆動制御を行うドライバ６６が配置されている。具体的には、ベースフレーム１０の両側壁部１４およびサブフレーム１８に左右一対の側板６７が固定されるとともにこれら側板６７間に支持プレート６８が横架され、この支持プレート６８上に上記ドライバ６６が固定されている。
【００４３】
一方、上記ベースフレーム１０における基台部１２の内部には、検査装置１を統括的に制御するコントロールユニット６０や、上記基板供給ユニット２４の単軸ロボット２０用のドライバ６２等が配設されている。すなわち、図６に示すように、上記基台部１２の内部には下方および後方に開口する断面略三角形状の空間１５が形成されており、この空間１５に上記コントロールユニット６０やドライバ６２が配設されている。なお、図３および図６において符号６４は、上記コントロールユニット６０等を冷却するための冷却ファンである。
【００４４】
上記コントロールユニット６０、ドライバ６２、および冷却ファン６４は、検査装置１の下面部および後面部を主に覆うアンダカバー６５に一体的に固定されており、このアンダカバー６５がベースフレーム１０の基台部１２に対して下側から組み付けられた状態で、上記各デバイス６０，６２，６４がこの基台部１２における上記空間１５に収容されるようになっている。
【００４５】
上記コントロールユニット６０は、論理演算を実行するＣＰＵ、そのＣＰＵを制御する種々のプログラムなどを記憶するＲＯＭ、装置動作中に種々のデータを一時的に記憶するＲＡＭ、各種データやソフトを記憶するＨＤＤ等から構成されている。そして、図７のブロック図に示すように、このコントロールユニット６０には、基板供給ユニット２４および検査ユニット５０用の各単軸ロボット２０，４０、撮像ユニット５１（カメラ５２および照明装置５４）、マーキングユニット５５、液晶モニタ４、および基板検知手段３３が電気的に接続されている。なお、このうち単軸ロボット２０，４０は、上記ドライバ６２，６６を介してそれぞれコントロールユニット６０に接続されている。そして、コントロールユニット６０は、あらかじめ記憶された動作プログラムに従ってプリント基板Ｐに対する一連の検査作業を進めるべく、上記基板供給ユニット２４や検査ユニット５０等の動作を統括的に制御するとともに、上記検査ユニット５０のカメラ５２により撮像された画像に基づいてプリント基板Ｐの良否を判定したり、その判定結果に応じて上記液晶モニタ４の表示内容を制御したりする等の動作を行うように構成されている。
【００４６】
以上のように構成された検査装置１では、例えば以下のようにしてプリント基板Ｐの検査が実行される。
【００４７】
検査装置１が起動されると、試験が開始されるまで装置１はスタンバイ状態に保たれる。このスタンバイ状態では、上記基板供給ユニット２４のテーブル３０がホームポジションにセットされるとともに、液晶パネル４に所定のメニュー画面が表示される。
【００４８】
この状態で、作業者が手動操作によって上記ホームポジションにあるテーブル３０にプリント基板Ｐをセットし、さらに液晶パネル４をタッチ操作して上記メニュー画面から「検査開始」を選択すると、当該基板Ｐの検査が開始される。なお、上記テーブル３０へのプリント基板Ｐのセットは、プリント基板Ｐをその被検査面（部品が実装された側の面）を上向きにした状態で基板保持フレーム３６，３８の間に嵌め込むことにより行う。この際、位置決めプレート３６ａにプリント基板Ｐが当接することによりその位置決めがなされる。
【００４９】
そして、検査が開始されると、プリント基板Ｐがテーブル３０にセットされていることが上記基板検知手段３３の検出信号に基づき確認された上で、上記基板供給ユニット２４の単軸ロボット２０の作動によりテーブル３０がＹ軸方向に移動して検査ポジションに位置決めされる。さらに、検査ユニット５０の単軸ロボット４０の作動により撮像ユニット５１がＸ軸方向に移動し、これに応じて撮像ユニット５１のカメラ５２がプリント基板Ｐに対向する位置に位置決めされ、上記照明装置５４による照明光の下、このカメラ５２によるプリント基板Ｐの撮像が行われる。
【００５０】
このカメラ５２によるプリント基板Ｐの撮像は、プリント基板Ｐのサイズや部品の実装密度等の諸条件により、あらかじめ設定された撮像エリアごとに分けて行われる。つまり、プリント基板Ｐのサイズ等に応じて、プリント基板Ｐの被検査面が複数の撮像エリアに分割されるとともに、その分割された各撮像エリアが、テーブル３０および撮像ユニット５１の移動に伴いプリント基板Ｐに対してＸＹ方向に相対移動するカメラ５２により順次撮像されるようになっている。これにより、プリント基板Ｐのサイズが大きい場合等においても優れた解像度でこの基板Ｐの撮像を行うことができる。なお、プリント基板Ｐのサイズ等によっては、１回の撮像処理でプリント基板Ｐの全体像を撮像することも可能である。
【００５１】
そして、上記カメラ５２によるプリント基板Ｐの撮像が完了すると、その撮像画像に基づいて上記コントロールユニット６０がプリント基板Ｐの外観（より具体的にはプリント基板Ｐ上の部品の実装状態）の良否を判定する。そして、ここでの判定結果が不良品であると、コントロールユニット６０は、その基板Ｐの画像を液晶パネル４に表示させ、この液晶パネル４に表示された基板Ｐの画像に基づいて作業者に目視判定を行わせる。そしてさらに、ここでの目視判定で再度不良品と判定された場合、すなわち、上記コントロールユニット６０による自動判定と作業者による目視判定との両方でプリント基板Ｐが不良品と判定された場合に、プリント基板Ｐがはじめて不良品として処理されることになる。なお、上記コントロールユニット６０によるプリント基板Ｐの良否判定動作の具体的内容については後で詳述する。
【００５２】
このようにしてプリント基板Ｐの良否判定動作が完了すると、テーブル３０および撮像ユニット５１の移動に伴いプリント基板Ｐ上方の所定位置に位置決めされたマーキングユニット５５が作動して図８に示すように、プリント基板Ｐの上面（被検査面）の所定箇所にこの基板Ｐが検査済みであることを表す検査終了マークＭが付与される。なお、この図８の例では、テーブル３０にセットされた状態で装置後側（検査ポジション側）にあたるプリント基板Ｐの端部（隅角部）に検査終了マークＭが付与されている。そして、テーブル３０の移動に応じてプリント基板Ｐがホームポジションに復帰するとともに、作業者の手によりこのプリント基板Ｐがテーブル３０から取り出され、当該基板Ｐに対する検査が終了する。その後は、以上のような検査手順が繰り返し行われることにより、複数のプリント基板Ｐに対して次々と外観検査が実行される。なお、検査終了後、作業者が液晶パネル４に対して所定のタッチ操作を行うと、当該液晶パネル４の表示がメニュー画面に戻り、検査装置１が上記のスタンバイ状態にリセットされるようになっている。
【００５３】
ところで、上記検査ユニット５０による検査の対象となっている（つまりカメラ５２による撮像処理等の対象となっている）プリント基板Ｐが、既に検査が済んだ基板である可能性がある。すなわち、検査ユニット５０により一度検査されたプリント基板Ｐが、作業者のミスによって再び基板供給ユニット２４にセットされることがあり、このような検査済みの基板に対して再度検査ユニット５０による検査が行われると、その分だけ検査作業の時間にロスが生じてしまう。そこで、このような検査ユニット２０によるプリント基板Ｐの重複検査を防止するための措置として、コントロールユニット６０は、検査済みのプリント基板Ｐに付与される上記検査終了マークＭが存在するか否かをまずカメラ５２を通じて確認し、ここで検査終了マークＭが存在しないこと（つまりプリント基板Ｐが未だ検査を受けていないこと）が判明したときにはじめて、カメラ５２によるプリント基板Ｐの撮像（基板Ｐ上の部品の実装状態の撮像）等の一連の検査動作を検査ユニット５０に実行させるように構成されている。一方、これとは逆に、上記検査終了マークＭがプリント基板Ｐに付与されていること（つまりプリント基板Ｐが既に検査を受けていること）が確認された場合、コントロールユニット６０は、上記検査ユニット５０にプリント基板Ｐの検査動作を実行させることなく、液晶モニタ４にプリント基板Ｐが検査済みである旨を表示させる。すなわち、検査終了マークＭの有無に応じてプリント基板Ｐの検査履歴を確認する履歴確認手段と、このプリント基板Ｐが検査済みであることが確認された場合に、液晶モニタ４にその旨の表示を行わせるとともに、上記検査ユニット５０による基板Ｐの検査動作の実行を禁止するように制御する制御手段とが、上記コントロールユニット６０によって構成されている。
【００５４】
次に、上記コントロールユニット６０による良否判定動作等の具体的内容について説明する。上記カメラ５２によりプリント基板Ｐの被検査面が撮像されると、コントロールユニット６０は、まず、上記基板Ｐの撮像画像を、良品基板の基準となる基準画像データと比較する処理を行う。具体的に、コントロールユニット６０は、その内部に設けられた記憶部６１（図７）に、１つまたは複数の良品基板のサンプル画像からなる基準画像データを記憶しており、この基準画像データと、上記カメラ５２によるプリント基板Ｐの撮像画像とを比較して差分をとり、その差分画像に基づいてプリント基板Ｐの良否を判定する。なお、この差分画像の抽出は、例えばプリント基板Ｐの上面（被実装面）の複数個所に離間して設けられた位置合わせ用のフィデューシャルマークＦ（図８参照）を、プリント基板Ｐの撮像画像と基準画像データとの間で一致させ、それによって両画像を位置合わせした状態で実行される。
【００５５】
図９は、上記のような画像処理の内容を模式的に説明するための図であり、同図（ａ）はカメラ５２により撮像されたプリント基板Ｐの撮像画像、同図（ｂ）は基準画像データ、同図（ｃ）はコントロールユニット６０による画像処理を経て得られた差分画像を示している。これらの図に示すように、プリント基板Ｐ上には各種電子部品が実装されており、この電子部品の実装位置や種類等が、図９（ａ）の撮像画像と同図（ｂ）の基準画像データとの間で相違した場合に、これに応じた差分要素が図９（ｃ）の差分画像に表示されるようになっている。例えば、図９（ａ）における電子部品ａと、同図（ｂ）における電子部品ａ’とは、その実装位置にずれが存在するため、同図（ｃ）の差分画像には、各電子部品ａ，ａ’の位置ずれに応じた差分要素αが表示されることになる。また、図９（ａ）における電子部品ｂと、同図（ｂ）における電子部品ｂ’とは、その部品の種類が異なっているため、同図（ｃ）の差分画像には、各電子部品ｂ，ｂ’の表面色の相違等に応じた差分要素βが表示されることになる。なお、図９（ｃ）の差分画像には、上記のような差分要素α，β以外にも、符号εで示すような微小な差分要素も表示されている。
【００５６】
所定の画像処理を経て上記図９（ｃ）に示すような差分画像を抽出したコントロールユニット６０は、次いで、上記各差分要素（α，βなど）の面積があらかじめ定められた上限値以下であるか否かを判定し、上限値以下であった場合にはプリント基板Ｐを良品と判定するとともに、上限値よりも大きかった場合には不良品と判定する。
【００５７】
図１０は、作業者の目視判定のための画像として上記液晶モニタ４に表示されるプリント基板Ｐの画像を示している。本図に示すように、液晶モニタ４には、図９（ａ）に示したプリント基板Ｐの撮像画像に、図９（ｃ）の差分画像を足し合わせた画像が表示される。この際、面積が上記上限値以下であった差分要素（図１０（ｃ）のε）は省略されるとともに、上限値よりも大きい差分要素α，βについては、その差分の特性に応じて異なる色に着色された状態で表示される。これは、作業者の目視判定をより容易化するための措置であり、例えば、電子部品の位置ずれにより生じた差分要素αについては青色、電子部品の種類が異なるために生じた差分要素βについては赤色、などのようにして着色される。そして、作業者は、このような液晶モニタ４の表示画面を見ながら、プリント基板Ｐの目視判定を行うとともに、その結果を液晶モニタ４のタッチ操作を通じて入力する。
【００５８】
次に、以上のように構成された検査装置１におけるコントロールユニット６０の制御動作を、図１１〜図１２に示すフローチャートに基づいて説明する。この制御動作がスタートすると、コントロールユニット６０は、液晶パネル４が作業者によりタッチ操作されて検査開始の指示が入力されるのを待ってから（ステップＳ１）、基板供給ユニット２４のテーブル３０にプリント基板Ｐがセットされた否か、すなわち、ホームポジションにあるテーブル３０（図３の実線参照）に作業者の手によってプリント基板Ｐがセットされた否かを判定する（ステップＳ３）。具体的には、上記ステップＳ１で検査開始の指示が入力される前に基板検知手段３３の検出信号がＯＦＦ→ＯＮに切り替わったかどうかを確認することにより、テーブル３０にプリント基板Ｐがセットされたか否かを判定する。そして、このステップＳ３でＮＯと判定されてプリント基板Ｐがテーブル３０にセットされていない状態（検出信号がＯＦＦの状態）にあること、または前回検査された基板Ｐが交換されずにテーブル３０に残されている状態（検出信号がＯＮのまま変わらない状態）にあることが確認された場合には、液晶モニタ４に警告メッセージを表示して作業者にプリント基板Ｐを新たにセットする（または別の基板Ｐにセットし直す）ように促す制御を実行する（ステップＳ５）。
【００５９】
一方、上記ステップＳ３でＹＥＳと判定されてプリント基板Ｐが適正にテーブル３０にセットされていることが確認された場合には、単軸ロボット２０を作動させて上記テーブル３０をＹ軸方向に移動させ、これに応じてプリント基板Ｐを図３の二点鎖線で示す検査ポジションに移動させる制御を実行する（ステップＳ７）。そして、次のステップＳ９に移行してプリント基板Ｐが既に検査済みであるか否かを判定する。具体的には、単軸ロボット４０の作動に応じて撮像ユニット５１のカメラ５２をＸ軸方向に移動させるとともに、必要に応じて上記テーブル３０をＹ軸方向に移動させることにより、プリント基板Ｐにおける検査終了マークＭ（図８）が付与される部位の上方にカメラ５２を位置決めし、このカメラ５２を通じて上記検査終了マークＭの有無を確認することにより、プリント基板Ｐが検査済みであるか否かを判定する。
【００６０】
そして、上記ステップＳ９でＮＯと判定されてプリント基板Ｐが検査済みでないことが確認された場合には、プリント基板Ｐを撮像してその良否を判定する等の動作を行う基板検査制御に移行する（ステップＳ１１）。なお、この基板検査制御の具体的内容については後で詳述する。そして、この基板検査制御が終了してプリント基板Ｐの検査動作が完了すると、コントロールユニット６０は、マーキングユニット５５を作動させてプリント基板Ｐに検査終了マークＭを付与する制御を実行した後に（ステップＳ１３）、単軸ロボット２０を作動させてテーブル３０をＹ軸方向に移動させることにより、このテーブル３０上のプリント基板Ｐを、作業者による基板Ｐの着脱操作が可能なホームポジションに復帰させる制御を実行する（ステップＳ１５）。
【００６１】
一方、上記ステップＳ９でＹＥＳと判定されてプリント基板Ｐが検査済みであること、すなわち、一度検査された基板Ｐが再度基板供給ユニット２４にセットされていることが確認された場合には、プリント基板Ｐが既に検査済みである旨の警告メッセージを液晶モニタ４に表示させる制御を実行する（ステップＳ１７）。このとき、液晶モニタ４には、検査を継続するかどうかの指示を行うための選択画面が同時に表示されるようになっている。これは、検査済みのプリント基板Ｐに対して作業者が何らかの理由でもう一度検査をしたいときがあるため、そのような作業者の意図を確認するためのものである。そして、この液晶モニタ４の選択操作により検査を継続する旨の指示が入力されたか否かを判定し（ステップＳ１９）、ここでＹＥＳと判定されて検査継続の指示があったことが確認された場合には、上記ステップＳ１１に移行して基板検査制御を実行する。一方、上記ステップＳ１９でＮＯと判定されて検査を中止する旨の指示が入力されたことが確認された場合には、上記基板検査制御を実行することなくステップＳ１５に移行し、プリント基板Ｐをホームポジションに復帰させる制御を実行する。
【００６２】
図１２は、上記図１１のステップＳ１１における基板検査制御の具体的内容を示すサブルーチンである。このサブルーチンがスタートすると、コントロールユニット６０は、まず、撮像ユニット５１のカメラ５２によりプリント基板Ｐを撮像する制御を実行する（ステップＳ２１）。具体的には、単軸ロボット４０を作動させて上記検査ポジションにあるプリント基板Ｐの上方に撮像ユニット５１を位置決めするとともに、照明装置５４に照明光を照射させてプリント基板Ｐを照らし、その状態でカメラ５２に制御信号を出力してプリント基板Ｐの撮像を行わせる。そして、このプリント基板Ｐの撮像画像の大きさ等に応じて、後のステップでプリント基板Ｐの良否を判定する際の基準となる上限差分面積Ａを決定する制御を実行する（ステップＳ２３）。
【００６３】
次いで、コントロールユニット６０は、その記憶部６１から良品基板の基準となる基準画像データを読み出すとともに（ステップＳ２５）、その基準画像データと、上記ステップＳ２１で得られたプリント基板Ｐの撮像画像とを比較して差分をとることにより、図９（ｃ）に示したような差分画像を抽出し、その画像内の各差分要素（同図におけるαやβ）の面積ｓを算出する制御を実行する（ステップＳ２７）。
【００６４】
そして、コントロールユニット６０は、上記各差分要素の面積ｓ（以下差分面積ｓと略称する）が、上記ステップＳ２３で求められた上限差分面積Ａ以下である否かを判定し（ステップＳ２９）、ここでＹＥＳと判定されて上記差分面積ｓが上限差分面積Ａ以下であることが確認された場合、すなわち、プリント基板Ｐ上の電子部品に大きな位置ずれ等の不具合が存在しないことが確認された場合には、次のステップＳ３１に移行し、液晶パネル４に検査結果が良品である旨を表示する制御を実行する。なお、プリント基板Ｐが上述したように複数のエリアごとに分けて撮像されている場合、上記ステップＳ２９における差分面積ｓの判定処理は、その撮像エリアごとに行われる。この場合、全ての撮像エリアにおいて上記差分面積ｓが上限差分面積Ａ以下であることが確認されたときに、上記ステップＳ２９でＹＥＳと判定されることになる。また、このステップＳ２９において、上記基準画像データが複数個存在する場合には、その複数の基準画像データのうちのいずれかのデータとの比較において上記差分面積ｓが上限差分面積Ａ以下であることが確認されれば、このプリント基板Ｐは良品と判定される（ステップＳ２９でＹＥＳ）。逆に、上記ステップＳ２９では、複数の基準画像データのうちの全てのデータとの比較において上記差分面積ｓが上限差分面積Ａよりも大きいことが確認された場合に、はじめてＮＯと判定されることになる。
【００６５】
上記ステップＳ２９でＮＯと判定されて上記差分面積ｓが上限差分面積Ａよりも大きいことが確認された場合、すなわち、電子部品の実装位置が大きくずれている等の不具合が存在する可能性が確認された場合には、次のステップＳ３３に移行し、液晶モニタ４に作業員による目視判定用の画像を表示させる制御を実行する。具体的には、カメラ５２によるプリント基板Ｐの撮像画像に、上記ステップＳ２７で抽出した差分画像を足し合わせ、さらに上述したような着色処理（差分の特性に応じた色に差分要素を着色する処理）等を施したもの（図１０参照）を、液晶モニタ４に表示させる。そして、コントロールユニット６０は、この液晶モニタ４に表示された画像に基づいて行われた目視判定の結果が良品であったか否かを判定する（ステップＳ３５）。具体的には、作業者による液晶パネル４のタッチ操作を通じて判定結果が良品であることを示す操作信号が液晶パネル４から入力されたか否かを判定する。
【００６６】
そして、上記ステップＳ３５でＹＥＳと判定されて作業者による目視判定の結果が良品であることが確認された場合には、上記ステップＳ３１に移行し、液晶パネル４に検査結果が良品である旨を表示する制御を実行する。一方、上記ステップＳ３５でＮＯと判定されて作業者による目視判定の結果が不良品であることが確認された場合には、警報用のアラームを発するとともに（ステップＳ３７）、上記マーキングユニット５５を作動させてプリント基板Ｐに、この基板Ｐが不良品であることを表すＮＧマーク（図示省略）を付与する制御を実行する（ステップＳ３９）。なお、図１１のステップＳ１３でプリント基板Ｐに付与される検査終了マークＭの種類を、基板Ｐが良品である場合と不良品である場合とで異なるものにすれば、この検査終了マークＭをＮＧマークとしても兼用できるため、上記ステップＳ３９の処理を省略することができる。
【００６７】
以上説明したような制御動作に基づき行われるプリント基板Ｐの外観検査には、ある程度の時間を要するため、通常は、上記検査装置１を複数台並べて設置し、各検査装置１に時間差を持たせて基板Ｐの検査を行うようにする。これにより、一人の作業者でプリント基板Ｐの検査を効率的に進めることができる。この場合、図１３に示すように、複数台（図例では５台）の検査装置１，１・・を扇形状に並べて配置することにより、作業者はより効率よく検査を行うことが可能になる。すなわち、検査装置１は、上記の通り前側部分２Ｂの幅が先窄まりに形成されているため、この部分を互いに当接させた状態で各検査装置１，１・・を並べることにより、作業者の立ち位置を中心とした扇形状に複数の検査装置１，１・・を配置することができる。
【００６８】
以上のようにプリント基板Ｐを検査する検査ユニット５０と、この検査ユニット５０に手動でプリント基板Ｐを供給可能な基板供給ユニット２４と、上記プリント基板Ｐの検査結果を含んだ所定の情報を表示する液晶モニタ４とを備えた検査装置１において、プリント基板Ｐに付与される検査終了マークＭに基づきその基板Ｐが検査済みであることが確認された場合に、上記液晶モニタ４にその旨を表示させるとともに、上記検査ユニット５０による基板Ｐの検査動作（カメラ５２による基板Ｐの撮像等の一連の動作）の実行を禁止するように制御するコントロールユニット６０を設けたため、同一の基板Ｐに対して重複して検査が行われるのを確実に防止することができ、この重複検査によるロス時間の発生を回避しながら効率よく基板検査を行うことができるという利点がある。
【００６９】
すなわち、上記実施形態では、プリント基板Ｐが部品供給ユニット２４により搬送されて検査ポジションに到達すると、直ちにこのプリント基板Ｐ上の検査終了マークＭの有無がカメラ５２により調べられ、それによってこの検査終了マークＭが存在しないこと、つまりプリント基板Ｐが未だ検査を受けていないことが確認された場合にのみ、カメラ５２によるプリント基板Ｐの撮像（基板Ｐ上の部品の実装状態の撮像）やその画像処理等の動作が実行されるように制御されるため、検査済みのプリント基板Ｐに対して検査ユニット５０が再度検査を行ってしまうことがなく、同一の基板Ｐが重複して検査されることに起因したロス時間の発生を有効に回避することができる。
【００７０】
特に、図１３に示すように検査装置１を複数台用いてプリント基板Ｐの検査を行う場合には、既に検査されたプリント基板Ｐを誤って再度検査装置１（の基板供給ユニット２４）にセットしてしまうミスが相対的に生じ易くなると考えられるため、このような使用状態において上記構成を採用することにより、ロス時間の発生を有効に回避しながらより効率的にプリント基板Ｐの検査を進めることが可能になる。
【００７１】
また、上記実施形態のように、プリント基板Ｐに対する検査が終了した時点で、この基板Ｐが終了済みであることを表す検査終了マークＭを、マーキングユニット５５の作動に応じてプリント基板Ｐに付与するようにした場合には、プリント基板Ｐが検査済みであるか否かを、この検査終了マークＭの有無を調べるだけの簡単な構成で判定できるという利点がある。
【００７２】
また、上記実施形態のように、基板供給ユニット２４の作動に応じて、プリント基板Ｐの着脱が可能なホームポジションと、検査ユニット５０による基板の検査が行われる検査ポジションとの間でプリント基板Ｐを往復移動させるようにした場合には、上記基板供給ユニット２４のホームポジションにプリント基板Ｐをセットするだけで、その後の一連の動作、すなわち、プリント基板Ｐの検査ポジションへの移動や、そこで検査された基板Ｐのホームポジションへの復帰等の動作が自動的に実行されるため、検査装置の使い勝手を効果的に向上させることができる。
【００７３】
また、上記実施形態のように、プリント基板Ｐが基板供給ユニット２４により検査ポジションに搬送された時点でこの基板Ｐが検査済みであるか否かを調べ、そこでプリント基板Ｐが検査済みということが確認されたときに、液晶モニタ４に警告メッセージを表示させる等の所定の動作を経て直ちに基板供給ユニット２４を作動させ、プリント基板Ｐをホームポジションへ移動（復帰）させるようにした場合には、検査済みのプリント基板Ｐを誤って基板供給ユニット２４にセットしたことで生じるロス時間の長さをできるだけ短くすることができ、基板検査の作業効率の低下を効果的に抑制できるという利点がある。
【００７４】
また、上記実施形態のように、検査ポジションにあるプリント基板Ｐを基板供給ユニット２４がホームポジションへ移動させる動作を、作業者からの検査継続の指示がないこと（液晶モニタ４を通じて作業者が検査を中止する旨の指示を入力したこと）を確認してから実行させるようにした場合には、作業者の意図に応じて適正にプリント基板Ｐの検査を中止または継続することができるという利点がある。
【００７５】
また、上記実施形態のように、基板供給ユニット２４のホームポジションにセットされたプリント基板Ｐを検査ポジションまで搬送する動作を、上記基板供給ユニット２４に設けられた基板検知手段３３によりプリント基板Ｐの存在を確認してから実行するようにした場合には、上記プリント基板Ｐがホームポジションにセットされていない状態（基板Ｐのセットを忘れた状態）で基板供給ユニット２４による検査ポジションへの搬送動作が実行されるのを防止できるため、それによるロス時間の発生を確実に回避することができる。
【００７６】
また、上記実施形態における検査装置１のように、検査ユニット５０、基板供給ユニット２４、液晶パネル４等の各部が一体的に組み付けられて卓上に載置可能に構成されている場合には、検査装置１の省スペース化等を図ることができるとともに、特に場所を問わずに様々な場所でこの検査装置１を使用できるという利点がある。
【００７７】
なお、上記実施形態では、プリント基板Ｐ上の検査終了マークＭの有無を確認する動作（当該マークＭの有無をカメラ５２で確認する動作）を、プリント基板Ｐが図３の二点鎖線で示す検査ポジションに移動してから実行するようにしたが、このプリント基板Ｐの検査ポジションへの移動が完了する前に（基板Ｐがホームポジションと検査ポジションとの間に位置する状態で）上記検査終了マークＭの確認動作を実行するようにしてもよい。そして、この時点で検査終了マークＭの存在が確認されれば直ちにプリント基板Ｐをホームポジションに復帰させることにより、検査済みの基板Ｐを誤ってセットしたことで生じるロス時間の長さをより短縮することができる。特に、図８に示すように、テーブル３０にセットされたプリント基板Ｐにおける検査ポジション側の端部に検査終了マークＭが付与されている場合には、上記プリント基板Ｐの検査ポジション側の端部が撮像ユニット５１の下方に到達した時点で上記検査終了マークＭの有無をカメラ５２で確認することができるため、この検査終了マークＭの確認が可能な位置までプリント基板Ｐを移動させる距離がより短くなり、上記ロス時間をより効果的に短縮することができる。
【００７８】
また、上記実施形態では、プリント基板Ｐが検査済みであるか否かを判定する（すなわちプリント基板Ｐの検査履歴を確認する）ための識別情報として、検査済みのプリント基板Ｐに付与される検査終了マークＭを用いたが、例えば図８の二点鎖線で示すように、プリント基板Ｐを個々に特定可能なＩＤコードＢが各基板Ｐに付与されている場合には、このＩＤコードＢを上記識別情報として利用することも可能である。すなわち、例えばコントロールユニット６０の記憶部６１（記憶手段）に、上記ＩＤコードＢとプリント基板Ｐの検査履歴とを対応付けて記憶させておき、カメラ５２を通じて取得されたＩＤコードＢを上記記憶部６１内の履歴情報と照合することにより、現在検査対象となっているプリント基板Ｐが検査済みであるか否かを確実に判定することができる。
【００７９】
また、上記実施形態では、基板供給ユニット２４のテーブル３０にプリント基板Ｐがセットされたか否かを検知する基板検知手段３３として光学式センサを用いたが、この基板検知手段３３としてはプリント基板Ｐの有無を検知できるものであればよく、例えばカメラ５２を基板検知手段３３として兼用することも可能である。具体的には、テーブル３０のプレート３２に、周囲とは色の異なる白色プレートを貼り付ければ、この白色プレートがカメラ５２により認識されたか否かでプリント基板Ｐの有無を確認することができる。すなわち、プリント基板Ｐがセットされていない状態では上記テーブル３０上の白色プレートが撮像されて撮像画像の輝度が高くなるが、プリント基板Ｐがセットされると、この白色プレートが遮られて画像の輝度が低下する。そして、このような画像の輝度の差によってプリント基板Ｐを検知することができる。
【００８０】
また、上記実施形態では、作業者による目視判定によりプリント基板Ｐが不良品と判定されたとき（プリント基板Ｐが不良品であることが確定したとき）に警報用のアラームを発生させるようにしたが、上記のようなタイミング以外にも適宜アラームを発生させることが可能である。例えば、検査終了後にプリント基板Ｐがホームポジションに戻された時点で、作業者にプリント基板Ｐの取り出しを促す意味で短時間アラームを発生させるようにしてもよいし、コントロールユニット６０による自動判定でプリント基板Ｐが不良品と判定されたときに、作業者にプリント基板Ｐの目視判定を促す意味で短時間アラームを発生させるようにしてもよい。そして、このように複数のタイミングでアラームを発生させる場合、アラームの長さや音をタイミングに応じて変化させるようにすれば、作業者はアラームの意味を容易に理解することができる。
【００８１】
なお、本発明の検査装置において検査対象となる基板は、プリント基板に限らず、例えばリードフレームに回路が形成された基板等であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８２】
【図１】本発明の一実施形態にかかる外観検査装置を示す斜視図である。
【図２】上記外観検査装置を示す平面図である。
【図３】上記外観検査装置の内部構成を示す縦断面図である。
【図４】上記外観検査装置の内部構成を示す平断面図である。
【図５】図３のうち液晶パネル４を支持する部分を抽出した図である。
【図６】制御ユニットの組み付け構造を示すベースフレームの断面図である。
【図７】上記外観検査装置の制御系を示すブロック図である。
【図８】基板に付与される検査終了マーク等を示す図である。
【図９】上記外観検査装置において行われる画像処理の内容を模式的に説明するための図であり、（ａ）は基板の撮像画像、（ｂ）は基準画像データ、（ｃ）は（ａ）と（ｂ）との差分画像を示している。
【図１０】作業者による目視判定用に液晶モニタに表示される画像を示す図である。
【図１１】コントロールユニットにおいて実行される制御動作の内容を示すフローチャートである。
【図１２】図１１のフローチャートにおいて行われる基板検査制御を示すサブルーチンである。
【図１３】複数の外観検査装置を扇形状に並べた状態を示す平面図である。
【符号の説明】
【００８３】
４ 液晶モニタ（表示手段）
２４ 基板供給ユニット
３３ 基板検知手段
５０ 検査ユニット
５２ カメラ（認識手段）
６０ コントロールユニット（履歴確認手段、制御手段）
６１ 記憶部（記憶手段）
Ｐ プリント基板（基板）
Ｍ 検査終了マーク
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に実装された部品の実装状態、基板上のプリント配線パターン、基板上のクリームはんだの印刷パターン等を検査する基板の検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、上記検査装置として、いわゆるインライン型のものとは別に、作業者の手動操作により個別に基板を検査するアウトライン用の卓上据え置き型（以下、単に卓上型という）の検査装置が知られている。
【０００３】
例えば下記特許文献１に、この種の卓上型検査装置の一つが開示されている。この検査装置は、基板の画像を取り込む試験ユニットと、良否判定等の処理を行うメインユニットとを有しており、作業者が基板を試験ユニットにセットして検査開始の指示を与えると、当該ユニットに搭載された走査ユニットにより基板表面の画像が取り込まれてその画像データがメインユニットに転送され、この画像データに基づき良否判定等の処理が行われるとともに、その結果がメインユニットのモニタに表示されるようになっている。そして、このようにして１つの基板に対して検査が終了すると、作業者による基板の交換が行われ、その新たな基板に対して同様の検査が繰り返されることになる。
【特許文献１】特開２００２−１８１７３０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上記のように基板を手動操作で試験ユニットにセットし、試験が終了すると次の基板と交換するというにして使用する卓上型検査装置では、作業者のミスによって検査済みの基板が再度試験ユニットにセットされてしまうおそれがあり、このような事態が生じると、同一の基板に対して重複して検査が行われてしまい、基板検査の作業効率が低下することなる。
【０００５】
本発明は、上記のような事情に鑑みてなされたものであり、同一の基板に対して重複して検査が行われることを確実に防止することのできる基板の検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するためのものとして、本発明は、基板を検査する検査ユニットと、この検査ユニットに手動で基板を供給可能な基板供給ユニットと、上記基板の検査結果を含んだ所定の情報を表示する表示手段とを備えた基板の検査装置であって、上記基板に付与される識別情報を認識する認識手段と、この認識手段を通じて上記基板の識別情報を取得するとともに、その識別情報に基づいて上記基板の検査履歴を確認する履歴確認手段と、この履歴確認手段により基板が検査済みであることが確認された場合に、上記表示手段にその旨の表示を行わせるとともに、上記検査ユニットによる基板の検査動作の実行を禁止するように制御する制御手段とを備えることを特徴とするものである（請求項１）。
【０００７】
本発明によれば、基板供給ユニットを介して手動で供給された基板が検査ユニットにより検査され、その検査結果が表示手段に表示されるように構成された検査装置において、基板に付与される識別情報に基づきその基板が検査済みであることが確認された場合に、上記表示手段にその旨が表示されるとともに、上記検査ユニットによる基板の検査動作が禁止されるように制御されるため、同一の基板に対して重複して検査が行われるのを確実に防止することができ、この重複検査によるロス時間の発生を回避しながら効率よく基板検査を行うことができる。
【０００８】
上記構成においては、上記検査ユニットによる検査が済んだときに、基板が検査済みであることを表す検査終了マークを上記識別情報として基板に付与するマーキング手段をさらに備え、上記履歴確認手段は、上記検査終了マークの有無を上記認識手段を通じて判定することにより上記基板の検査履歴を確認することが好ましい（請求項２）。
【０００９】
このようにすれば、検査終了マークの有無を調べるだけの簡単な構成で基板の検査履歴を確認できるという利点がある。
【００１０】
この構成とは別の態様として、上記識別情報として基板に付与されたＩＤコードとその基板の検査履歴とを対応付けて記憶する記憶手段をさらに備え、上記履歴確認手段は、上記認識手段を通じて取得された上記ＩＤコードを上記記憶手段に記憶された履歴情報と照合することにより上記基板の検査履歴を確認するものであることも、また好ましい（請求項３）。
【００１１】
このようにすれば、基板に付与されたＩＤコードを記憶手段内の履歴情報と照合することによって確実に基板の検査履歴を確認できるという利点がある。
【００１２】
上記基板供給ユニットは、手動操作による基板の着脱が可能なホームポジションと、上記検査ユニットによる基板の検査が行われる検査ポジションとの間で基板を往復移動させるように構成されていることが好ましい（請求項４）。
【００１３】
このようにすれば、基板供給ユニットのホームポジションに基板をセットするだけで、その後の一連の動作、すなわち、基板の検査ポジションへの移動や、そこで検査された基板のホームポジションへの復帰等の動作が自動的に実行されるため、検査装置の使い勝手を効果的に向上させることができる。
【００１４】
上記履歴確認手段が、上記検査ポジションに基板が搬送された時点で上記認識手段を通じて基板の識別情報を取得する場合、上記基板供給ユニットは、上記履歴確認手段により基板が検査済みであることが確認されると、上記検査ポジションにある基板を上記ホームポジションに移動させることが好ましい（請求項５）。
【００１５】
このように、検査ポジションに搬送された時点で検査済みということが確認された基板を、基板供給ユニットの作動に応じて直ちにホームポジションに移動（復帰）させるようにした場合には、検査済みの基板を誤って基板供給ユニットにセットしたことで生じるロス時間の長さをできるだけ短くすることができ、基板検査の作業効率の低下を効果的に抑制できるという利点がある。
【００１６】
この場合、上記制御手段は、上記検査ポジションにある基板を基板供給ユニットがホームポジションへ移動させる動作を、作業者からの検査継続の指示がないことを確認してから実行させることが好ましい（請求項６）。
【００１７】
このようにすれば、作業者の意図に応じて適正に基板の検査を中止または継続することができる。
【００１８】
上記構成においては、上記基板供給ユニットのホームポジションに基板がセットされたか否かを検知する基板検知手段をさらに備え、上記制御手段は、上記基板検知手段により基板が検知されなかった場合に、上記基板供給ユニットによる検査ポジションへの搬送動作を禁止することが好ましい（請求項７）。
【００１９】
このようにすれば、基板がセットされていない状態（基板のセットを忘れた状態）で基板供給ユニットが作動してしまうのを防止でき、それによるロス時間の発生を確実に回避することができる。
【００２０】
以上のような基板の検査装置においては、上記検査ユニット、基板供給ユニット、表示手段等の各部が一体的に組み付けられて卓上に載置可能に構成されていることが好ましい（請求項８）。
【００２１】
このようにすれば、検査装置の省スペース化等を図ることができるとともに、特に場所を問わずに様々な場所でこの検査装置を使用できるという利点がある。
【発明の効果】
【００２２】
以上説明したように、本発明の基板の検査装置によれば、同一の基板に対して重複して検査が行われることを確実に防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
図１および図２は、本発明の一実施形態に係る基板の検査装置１を概略的に示している。これらの図に示すように、検査装置１は、全体が箱形を成し、その後方側を構成する後側部分２Ａと、この後側部分２Ａの前端下部から前方に延びる前側部分２Ｂとを具備した側面視Ａ字型の外観形状を有している。このような検査装置１の外形は、後述する検査ユニット５０等の内部部品を覆うケーシングＣａにより形成されている。
【００２４】
この検査装置１のうち上記前側部分２Ｂには、プリント基板Ｐを装置内に出し入れするための出し入れ口６が設けられている。この出し入れ口６は、ケーシングＣａに形成される開口部からなり、検査装置１の幅方向中央（図２では左右方向における中央）に設けられている。
【００２５】
上記出し入れ口６の上方であって後側部分２Ａの前面部分には、液晶モニタ４（本発明にかかる表示手段に相当）が配置されている。この液晶モニタ４は、いわゆるタッチパネル型液晶表示器からなり、検査結果等の各種情報がこの液晶モニタ４上に表示されるとともに、モニタ表示に作業者が指先で触れることにより検査装置１に対して各種操作入力を行えるようになっている。
【００２６】
上記前側部分２Ｂのうち液晶モニタ４に並ぶ部分にはメンテナンス用の扉９が設けられている。この扉９は、上記ケーシングＣａの一部が開閉可能に構成されたもので、必要に応じてこの扉９を開くことにより作業者が検査装置１の内部にアクセスして後述するチェックペン５６の交換等を行えるようになっている。また、上記ケーシングＣａのうち上面カバーＣａ１は取り外し可能とされており、この上面カバーＣａ１を取り外した状態で後述する撮像ユニット５１のメンテナンス等を行えるようになっている。
【００２７】
図１に示すように、上記ケーシングＣａには、その後側部分２Ａの左右両側部に、凹部からなる取手部３が設けられており、この取手部３を手に掛けた状態で検査装置１を持ち運べるようになっている。なお、図１および図２において符号８は非常停止用ボタンである。
【００２８】
検査装置１は、その幅が装置後側から前側に向かって先細りに形成されている。詳しくは、上記ケーシングＣａにより構成される検査装置１の側面のうち前側部分２Ｂの一方側の側面（図２では左側の側面）が前後方向に対して所定角度αだけ傾斜して設けられることにより検査装置１の幅が先細りに形成されている。これは複数台の検査装置１をコンパクトに設置して作業性を高めるための工夫であって、この点については後に詳述する。
【００２９】
図３および図４は、検査装置１の具体的な内部構成を示すための図である。本図に示すように、検査装置１の内部にはベースフレーム１０が設けられており、このベースフレーム１０には、作業者の手により上記出し入れ口６を通じて供給されたプリント基板Ｐを保持してこれを移動させる基板供給ユニット２４と、この基板供給ユニット２４に保持されたプリント基板Ｐの撮像等を行うことによりこの基板Ｐの外観を検査する検査ユニット５０等が組み付けられている。
【００３０】
上記ベースフレーム１０は、前方側（液晶モニタ４が設置されている側）に至るほど高さが低くなる前下がりの傾斜面１２ａを有した基台部１２と、この基台部１２の左右両端からそれぞれ立ち上がる側壁部１４とを一体に備えた構造を有しており、例えばアルミダイカスト等の鋳造品により構成されている。
【００３１】
上記基板供給ユニット２４は、上記基台部１２の傾斜面１２ａ上に固定され、当該斜面１２ａに沿ってスライダ２２を前後方向（以下、この方向をＹ軸方向という）に移動させるリニアモータ式の単軸ロボット２０と、上記スライダ２２に固定されるテーブル３０とから構成されている。
【００３２】
上記テーブル３０は、プリント基板Ｐを保持するもので、上記単軸ロボット２０の作動に応じて、上記出し入れ口６に対向するホームポジション（図３の実線で示す位置）と、後述する撮像ユニット５１に対向する検査ポジション（図３の二点鎖線で示す位置）とに亘ってＹ軸方向に移動可能に構成されている。そして、上記ホームポジションにおいてテーブル３０に対するプリント基板Ｐの着脱が作業者の手動操作により行われるとともに、そこから検査ポジションまでテーブル３０が移動した状態で、撮像ユニット５１によるプリント基板Ｐの撮像が行われるようになっている。
【００３３】
このテーブル３０は、上記スライダ２２の上面部に固定されたプレート３２と、このプレート３２に組み付けられて左右方向に延びる前後一対の基板保持フレーム３６，３８（以下、前側フレーム３６，後側フレーム３８ということがある）とを有しており、これらフレーム３６，３８の間にプリント基板Ｐが挟持されるようになっている。具体的には、両フレーム３６，３８のうちの後側フレーム３８に、Ｙ軸方向に変位可能でかつ圧縮コイルバネ等の弾性部材により前方側に付勢される可動部３９が設けられ、この可動部３９と前側フレーム３６との対向する部分に、それぞれ階段状の基板受部が形成されている。そして、プリント基板Ｐを手に持った作業者が、これら基板受部にプリント基板Ｐの前後縁部を載せ、当該基板Ｐを前側フレーム３６と可動部３９との間に嵌め込むと（図３参照）、圧縮コイルバネ等の弾性力により基板Ｐが両フレーム３６，３８の間に弾性的に挟み込まれ、これに応じてプリント基板Ｐが前側フレーム３６を基準としてＹ軸方向に位置決めされた状態でテーブル３０に保持されるようになっている。また、前側フレーム３６の左右方向の一端側には、位置決めプレート３６ａが設けられており、このプレート３６ａにプリント基板Ｐの一端（左右方向の一端）が当接することにより、当該基板Ｐが左右方向（以下、Ｘ軸方向という）に位置決めされるようになっている。
【００３４】
なお、上記前側および後側フレーム３６，３８の間隔は基板サイズに応じて可変となっている。具体的には、上記プレート３２の後端にエンドプレート３４が固定され、このエンドプレート３４と上記前側フレーム３６とに亘って互いに平行な左右一対のガイドバー３５が固定されている。そして、これらガイドバー３５に対して上記後側フレーム３８がスライド可能に装着されるとともに、上記ガイドバー３５に対して後側フレーム３８を任意の位置でロックできる図外のロック手段が設けられている。つまり、前側フレーム３６を基準として後側フレーム３８をスライドさせ、上記ロック手段により後側フレーム３８を所望の位置でロックすることによって両フレーム３６，３８の間隔を変更できる構成となっている。
【００３５】
上記テーブル３０のプレート３２には、図４に示すように、光学式センサからなる基板検知手段３３が埋め込まれており、この基板検知手段３３により、プリント基板Ｐがテーブル３０にセットされたか否かが検知されるようになっている。なお、当実施形態では、プリント基板Ｐがテーブル３０上にセットされている状態では基板検知手段３３の検出信号がＯＮとなり、プリント基板Ｐがセットされていない状態ではＯＦＦになるようになっている。
【００３６】
上記検査ユニット５０は、スライダ４２をＸ軸方向に移動させる単軸ロボット４０と、この単軸ロボット４０に上記スライダ４２を介して組み付けられる撮像ユニット５１とを備えている。
【００３７】
上記単軸ロボット４０は、テーブル３０駆動用の上記単軸ロボット２０と同様に、リニアモータ式の単軸ロボットからなり、上記両側壁部１４に亘って横架された状態でベースフレーム１０に固定されている。
【００３８】
上記撮像ユニット５１は、ＣＣＤあるいはＣＭＯＳイメージセンサ等のエリアセンサからなるカメラ５２（本発明にかかる認識手段に相当）と、被写体であるプリント基板Ｐに照明光を照射する照明装置５４とを備えており、上記テーブル３０に保持されたプリント基板Ｐを、その表面に対して直交する方向からカメラ５２が撮像するように構成されている。この撮像ユニット５１は、上記スライダ４２のＸ軸方向の移動に伴い、基板供給ユニット２４の単軸ロボット２０上方にあたる撮像位置や、図４において二点鎖線および実線で示す位置に移動可能とされている。そして、撮像ユニット５１は、通常時において上記撮像位置に保持されているとともに、後述するようなマーキングユニット５５の交換時等に図４の二点鎖線で示す位置に移動したり、上面カバーＣａ１を取り外しての撮像ユニット５１のメンテナンス時等に図４の実線で示す位置に移動したりする。
【００３９】
上記検査ユニット５０には、検査結果等に応じてプリント基板Ｐに所定のマークを記入するマーキングユニット５５（本発明にかかるマーキング手段に相当）が取り付けられている。このマーキングユニット５５は、マークを記入するためのチェックペン５６と、このチェックペン５６を進退駆動する駆動機構とから構成されており、この駆動機構の作動に応じて、上記チェックペン５６が、テーブル３０に保持されたプリント基板Ｐに当接する作業位置（図３において二点鎖線で示す位置）と、この位置から上方に退避する退避位置（図３において実線で示す位置）とに亘って進退移動するようになっている。
【００４０】
上記マーキングユニット５５は、図３および図４に示すように、連結アーム５８を介して撮像ユニット５１に固定されることにより、この撮像ユニット５１と一体的にＸ軸方向に移動するように構成されている。なお、マーキングユニット５５は、その左右方向の可動領域のうちの一端側（図４において二点鎖線で示す位置）において、図１および図２に示した扉９の裏側（後方側）に位置するようになっている。つまり、この位置にマーキングユニット５５を配置した状態で扉９を開くことによって作業者が容易にチェックペン５６の交換等を行えるようになっている。
【００４１】
上記ベースフレーム１０の上方には、前後方向に延びるビーム１９がさらに設けられている。このビーム１９は、図５に示すように、ベースフレーム１０の両側壁部１４に亘って固定された前後一対の門型のサブフレーム１６，１８に固定されている。そして、このビーム１９の先端に上記液晶パネル４がチルト可能に支持されている。具体的には、上記ビーム１９の前端部に、Ｘ軸方向に延びる支軸４５を支点に回動可能な状態でジョイント４６が連結され、このジョイント４６に上記液晶モニタ４が組み付けられることにより、この液晶モニタ４の鉛直軸に対する傾斜角が可変（前後方向に姿勢変更可能）となるように構成されている。
【００４２】
また、図３に示すように、上記基板供給ユニット２４の設置部の上方であってかつ上記検査ユニット５０の後方側のスペースには、検査ユニット５０における上記単軸ロボット４０の駆動制御を行うドライバ６６が配置されている。具体的には、ベースフレーム１０の両側壁部１４およびサブフレーム１８に左右一対の側板６７が固定されるとともにこれら側板６７間に支持プレート６８が横架され、この支持プレート６８上に上記ドライバ６６が固定されている。
【００４３】
一方、上記ベースフレーム１０における基台部１２の内部には、検査装置１を統括的に制御するコントロールユニット６０や、上記基板供給ユニット２４の単軸ロボット２０用のドライバ６２等が配設されている。すなわち、図６に示すように、上記基台部１２の内部には下方および後方に開口する断面略三角形状の空間１５が形成されており、この空間１５に上記コントロールユニット６０やドライバ６２が配設されている。なお、図３および図６において符号６４は、上記コントロールユニット６０等を冷却するための冷却ファンである。
【００４４】
上記コントロールユニット６０、ドライバ６２、および冷却ファン６４は、検査装置１の下面部および後面部を主に覆うアンダカバー６５に一体的に固定されており、このアンダカバー６５がベースフレーム１０の基台部１２に対して下側から組み付けられた状態で、上記各デバイス６０，６２，６４がこの基台部１２における上記空間１５に収容されるようになっている。
【００４５】
上記コントロールユニット６０は、論理演算を実行するＣＰＵ、そのＣＰＵを制御する種々のプログラムなどを記憶するＲＯＭ、装置動作中に種々のデータを一時的に記憶するＲＡＭ、各種データやソフトを記憶するＨＤＤ等から構成されている。そして、図７のブロック図に示すように、このコントロールユニット６０には、基板供給ユニット２４および検査ユニット５０用の各単軸ロボット２０，４０、撮像ユニット５１（カメラ５２および照明装置５４）、マーキングユニット５５、液晶モニタ４、および基板検知手段３３が電気的に接続されている。なお、このうち単軸ロボット２０，４０は、上記ドライバ６２，６６を介してそれぞれコントロールユニット６０に接続されている。そして、コントロールユニット６０は、あらかじめ記憶された動作プログラムに従ってプリント基板Ｐに対する一連の検査作業を進めるべく、上記基板供給ユニット２４や検査ユニット５０等の動作を統括的に制御するとともに、上記検査ユニット５０のカメラ５２により撮像された画像に基づいてプリント基板Ｐの良否を判定したり、その判定結果に応じて上記液晶モニタ４の表示内容を制御したりする等の動作を行うように構成されている。
【００４６】
以上のように構成された検査装置１では、例えば以下のようにしてプリント基板Ｐの検査が実行される。
【００４７】
検査装置１が起動されると、試験が開始されるまで装置１はスタンバイ状態に保たれる。このスタンバイ状態では、上記基板供給ユニット２４のテーブル３０がホームポジションにセットされるとともに、液晶パネル４に所定のメニュー画面が表示される。
【００４８】
この状態で、作業者が手動操作によって上記ホームポジションにあるテーブル３０にプリント基板Ｐをセットし、さらに液晶パネル４をタッチ操作して上記メニュー画面から「検査開始」を選択すると、当該基板Ｐの検査が開始される。なお、上記テーブル３０へのプリント基板Ｐのセットは、プリント基板Ｐをその被検査面（部品が実装された側の面）を上向きにした状態で基板保持フレーム３６，３８の間に嵌め込むことにより行う。この際、位置決めプレート３６ａにプリント基板Ｐが当接することによりその位置決めがなされる。
【００４９】
そして、検査が開始されると、プリント基板Ｐがテーブル３０にセットされていることが上記基板検知手段３３の検出信号に基づき確認された上で、上記基板供給ユニット２４の単軸ロボット２０の作動によりテーブル３０がＹ軸方向に移動して検査ポジションに位置決めされる。さらに、検査ユニット５０の単軸ロボット４０の作動により撮像ユニット５１がＸ軸方向に移動し、これに応じて撮像ユニット５１のカメラ５２がプリント基板Ｐに対向する位置に位置決めされ、上記照明装置５４による照明光の下、このカメラ５２によるプリント基板Ｐの撮像が行われる。
【００５０】
このカメラ５２によるプリント基板Ｐの撮像は、プリント基板Ｐのサイズや部品の実装密度等の諸条件により、あらかじめ設定された撮像エリアごとに分けて行われる。つまり、プリント基板Ｐのサイズ等に応じて、プリント基板Ｐの被検査面が複数の撮像エリアに分割されるとともに、その分割された各撮像エリアが、テーブル３０および撮像ユニット５１の移動に伴いプリント基板Ｐに対してＸＹ方向に相対移動するカメラ５２により順次撮像されるようになっている。これにより、プリント基板Ｐのサイズが大きい場合等においても優れた解像度でこの基板Ｐの撮像を行うことができる。なお、プリント基板Ｐのサイズ等によっては、１回の撮像処理でプリント基板Ｐの全体像を撮像することも可能である。
【００５１】
そして、上記カメラ５２によるプリント基板Ｐの撮像が完了すると、その撮像画像に基づいて上記コントロールユニット６０がプリント基板Ｐの外観（より具体的にはプリント基板Ｐ上の部品の実装状態）の良否を判定する。そして、ここでの判定結果が不良品であると、コントロールユニット６０は、その基板Ｐの画像を液晶パネル４に表示させ、この液晶パネル４に表示された基板Ｐの画像に基づいて作業者に目視判定を行わせる。そしてさらに、ここでの目視判定で再度不良品と判定された場合、すなわち、上記コントロールユニット６０による自動判定と作業者による目視判定との両方でプリント基板Ｐが不良品と判定された場合に、プリント基板Ｐがはじめて不良品として処理されることになる。なお、上記コントロールユニット６０によるプリント基板Ｐの良否判定動作の具体的内容については後で詳述する。
【００５２】
このようにしてプリント基板Ｐの良否判定動作が完了すると、テーブル３０および撮像ユニット５１の移動に伴いプリント基板Ｐ上方の所定位置に位置決めされたマーキングユニット５５が作動して図８に示すように、プリント基板Ｐの上面（被検査面）の所定箇所にこの基板Ｐが検査済みであることを表す検査終了マークＭが付与される。なお、この図８の例では、テーブル３０にセットされた状態で装置後側（検査ポジション側）にあたるプリント基板Ｐの端部（隅角部）に検査終了マークＭが付与されている。そして、テーブル３０の移動に応じてプリント基板Ｐがホームポジションに復帰するとともに、作業者の手によりこのプリント基板Ｐがテーブル３０から取り出され、当該基板Ｐに対する検査が終了する。その後は、以上のような検査手順が繰り返し行われることにより、複数のプリント基板Ｐに対して次々と外観検査が実行される。なお、検査終了後、作業者が液晶パネル４に対して所定のタッチ操作を行うと、当該液晶パネル４の表示がメニュー画面に戻り、検査装置１が上記のスタンバイ状態にリセットされるようになっている。
【００５３】
ところで、上記検査ユニット５０による検査の対象となっている（つまりカメラ５２による撮像処理等の対象となっている）プリント基板Ｐが、既に検査が済んだ基板である可能性がある。すなわち、検査ユニット５０により一度検査されたプリント基板Ｐが、作業者のミスによって再び基板供給ユニット２４にセットされることがあり、このような検査済みの基板に対して再度検査ユニット５０による検査が行われると、その分だけ検査作業の時間にロスが生じてしまう。そこで、このような検査ユニット２０によるプリント基板Ｐの重複検査を防止するための措置として、コントロールユニット６０は、検査済みのプリント基板Ｐに付与される上記検査終了マークＭが存在するか否かをまずカメラ５２を通じて確認し、ここで検査終了マークＭが存在しないこと（つまりプリント基板Ｐが未だ検査を受けていないこと）が判明したときにはじめて、カメラ５２によるプリント基板Ｐの撮像（基板Ｐ上の部品の実装状態の撮像）等の一連の検査動作を検査ユニット５０に実行させるように構成されている。一方、これとは逆に、上記検査終了マークＭがプリント基板Ｐに付与されていること（つまりプリント基板Ｐが既に検査を受けていること）が確認された場合、コントロールユニット６０は、上記検査ユニット５０にプリント基板Ｐの検査動作を実行させることなく、液晶モニタ４にプリント基板Ｐが検査済みである旨を表示させる。すなわち、検査終了マークＭの有無に応じてプリント基板Ｐの検査履歴を確認する履歴確認手段と、このプリント基板Ｐが検査済みであることが確認された場合に、液晶モニタ４にその旨の表示を行わせるとともに、上記検査ユニット５０による基板Ｐの検査動作の実行を禁止するように制御する制御手段とが、上記コントロールユニット６０によって構成されている。
【００５４】
次に、上記コントロールユニット６０による良否判定動作等の具体的内容について説明する。上記カメラ５２によりプリント基板Ｐの被検査面が撮像されると、コントロールユニット６０は、まず、上記基板Ｐの撮像画像を、良品基板の基準となる基準画像データと比較する処理を行う。具体的に、コントロールユニット６０は、その内部に設けられた記憶部６１（図７）に、１つまたは複数の良品基板のサンプル画像からなる基準画像データを記憶しており、この基準画像データと、上記カメラ５２によるプリント基板Ｐの撮像画像とを比較して差分をとり、その差分画像に基づいてプリント基板Ｐの良否を判定する。なお、この差分画像の抽出は、例えばプリント基板Ｐの上面（被実装面）の複数個所に離間して設けられた位置合わせ用のフィデューシャルマークＦ（図８参照）を、プリント基板Ｐの撮像画像と基準画像データとの間で一致させ、それによって両画像を位置合わせした状態で実行される。
【００５５】
図９は、上記のような画像処理の内容を模式的に説明するための図であり、同図（ａ）はカメラ５２により撮像されたプリント基板Ｐの撮像画像、同図（ｂ）は基準画像データ、同図（ｃ）はコントロールユニット６０による画像処理を経て得られた差分画像を示している。これらの図に示すように、プリント基板Ｐ上には各種電子部品が実装されており、この電子部品の実装位置や種類等が、図９（ａ）の撮像画像と同図（ｂ）の基準画像データとの間で相違した場合に、これに応じた差分要素が図９（ｃ）の差分画像に表示されるようになっている。例えば、図９（ａ）における電子部品ａと、同図（ｂ）における電子部品ａ’とは、その実装位置にずれが存在するため、同図（ｃ）の差分画像には、各電子部品ａ，ａ’の位置ずれに応じた差分要素αが表示されることになる。また、図９（ａ）における電子部品ｂと、同図（ｂ）における電子部品ｂ’とは、その部品の種類が異なっているため、同図（ｃ）の差分画像には、各電子部品ｂ，ｂ’の表面色の相違等に応じた差分要素βが表示されることになる。なお、図９（ｃ）の差分画像には、上記のような差分要素α，β以外にも、符号εで示すような微小な差分要素も表示されている。
【００５６】
所定の画像処理を経て上記図９（ｃ）に示すような差分画像を抽出したコントロールユニット６０は、次いで、上記各差分要素（α，βなど）の面積があらかじめ定められた上限値以下であるか否かを判定し、上限値以下であった場合にはプリント基板Ｐを良品と判定するとともに、上限値よりも大きかった場合には不良品と判定する。
【００５７】
図１０は、作業者の目視判定のための画像として上記液晶モニタ４に表示されるプリント基板Ｐの画像を示している。本図に示すように、液晶モニタ４には、図９（ａ）に示したプリント基板Ｐの撮像画像に、図９（ｃ）の差分画像を足し合わせた画像が表示される。この際、面積が上記上限値以下であった差分要素（図１０（ｃ）のε）は省略されるとともに、上限値よりも大きい差分要素α，βについては、その差分の特性に応じて異なる色に着色された状態で表示される。これは、作業者の目視判定をより容易化するための措置であり、例えば、電子部品の位置ずれにより生じた差分要素αについては青色、電子部品の種類が異なるために生じた差分要素βについては赤色、などのようにして着色される。そして、作業者は、このような液晶モニタ４の表示画面を見ながら、プリント基板Ｐの目視判定を行うとともに、その結果を液晶モニタ４のタッチ操作を通じて入力する。
【００５８】
次に、以上のように構成された検査装置１におけるコントロールユニット６０の制御動作を、図１１〜図１２に示すフローチャートに基づいて説明する。この制御動作がスタートすると、コントロールユニット６０は、液晶パネル４が作業者によりタッチ操作されて検査開始の指示が入力されるのを待ってから（ステップＳ１）、基板供給ユニット２４のテーブル３０にプリント基板Ｐがセットされた否か、すなわち、ホームポジションにあるテーブル３０（図３の実線参照）に作業者の手によってプリント基板Ｐがセットされた否かを判定する（ステップＳ３）。具体的には、上記ステップＳ１で検査開始の指示が入力される前に基板検知手段３３の検出信号がＯＦＦ→ＯＮに切り替わったかどうかを確認することにより、テーブル３０にプリント基板Ｐがセットされたか否かを判定する。そして、このステップＳ３でＮＯと判定されてプリント基板Ｐがテーブル３０にセットされていない状態（検出信号がＯＦＦの状態）にあること、または前回検査された基板Ｐが交換されずにテーブル３０に残されている状態（検出信号がＯＮのまま変わらない状態）にあることが確認された場合には、液晶モニタ４に警告メッセージを表示して作業者にプリント基板Ｐを新たにセットする（または別の基板Ｐにセットし直す）ように促す制御を実行する（ステップＳ５）。
【００５９】
一方、上記ステップＳ３でＹＥＳと判定されてプリント基板Ｐが適正にテーブル３０にセットされていることが確認された場合には、単軸ロボット２０を作動させて上記テーブル３０をＹ軸方向に移動させ、これに応じてプリント基板Ｐを図３の二点鎖線で示す検査ポジションに移動させる制御を実行する（ステップＳ７）。そして、次のステップＳ９に移行してプリント基板Ｐが既に検査済みであるか否かを判定する。具体的には、単軸ロボット４０の作動に応じて撮像ユニット５１のカメラ５２をＸ軸方向に移動させるとともに、必要に応じて上記テーブル３０をＹ軸方向に移動させることにより、プリント基板Ｐにおける検査終了マークＭ（図８）が付与される部位の上方にカメラ５２を位置決めし、このカメラ５２を通じて上記検査終了マークＭの有無を確認することにより、プリント基板Ｐが検査済みであるか否かを判定する。
【００６０】
そして、上記ステップＳ９でＮＯと判定されてプリント基板Ｐが検査済みでないことが確認された場合には、プリント基板Ｐを撮像してその良否を判定する等の動作を行う基板検査制御に移行する（ステップＳ１１）。なお、この基板検査制御の具体的内容については後で詳述する。そして、この基板検査制御が終了してプリント基板Ｐの検査動作が完了すると、コントロールユニット６０は、マーキングユニット５５を作動させてプリント基板Ｐに検査終了マークＭを付与する制御を実行した後に（ステップＳ１３）、単軸ロボット２０を作動させてテーブル３０をＹ軸方向に移動させることにより、このテーブル３０上のプリント基板Ｐを、作業者による基板Ｐの着脱操作が可能なホームポジションに復帰させる制御を実行する（ステップＳ１５）。
【００６１】
一方、上記ステップＳ９でＹＥＳと判定されてプリント基板Ｐが検査済みであること、すなわち、一度検査された基板Ｐが再度基板供給ユニット２４にセットされていることが確認された場合には、プリント基板Ｐが既に検査済みである旨の警告メッセージを液晶モニタ４に表示させる制御を実行する（ステップＳ１７）。このとき、液晶モニタ４には、検査を継続するかどうかの指示を行うための選択画面が同時に表示されるようになっている。これは、検査済みのプリント基板Ｐに対して作業者が何らかの理由でもう一度検査をしたいときがあるため、そのような作業者の意図を確認するためのものである。そして、この液晶モニタ４の選択操作により検査を継続する旨の指示が入力されたか否かを判定し（ステップＳ１９）、ここでＹＥＳと判定されて検査継続の指示があったことが確認された場合には、上記ステップＳ１１に移行して基板検査制御を実行する。一方、上記ステップＳ１９でＮＯと判定されて検査を中止する旨の指示が入力されたことが確認された場合には、上記基板検査制御を実行することなくステップＳ１５に移行し、プリント基板Ｐをホームポジションに復帰させる制御を実行する。
【００６２】
図１２は、上記図１１のステップＳ１１における基板検査制御の具体的内容を示すサブルーチンである。このサブルーチンがスタートすると、コントロールユニット６０は、まず、撮像ユニット５１のカメラ５２によりプリント基板Ｐを撮像する制御を実行する（ステップＳ２１）。具体的には、単軸ロボット４０を作動させて上記検査ポジションにあるプリント基板Ｐの上方に撮像ユニット５１を位置決めするとともに、照明装置５４に照明光を照射させてプリント基板Ｐを照らし、その状態でカメラ５２に制御信号を出力してプリント基板Ｐの撮像を行わせる。そして、このプリント基板Ｐの撮像画像の大きさ等に応じて、後のステップでプリント基板Ｐの良否を判定する際の基準となる上限差分面積Ａを決定する制御を実行する（ステップＳ２３）。
【００６３】
次いで、コントロールユニット６０は、その記憶部６１から良品基板の基準となる基準画像データを読み出すとともに（ステップＳ２５）、その基準画像データと、上記ステップＳ２１で得られたプリント基板Ｐの撮像画像とを比較して差分をとることにより、図９（ｃ）に示したような差分画像を抽出し、その画像内の各差分要素（同図におけるαやβ）の面積ｓを算出する制御を実行する（ステップＳ２７）。
【００６４】
そして、コントロールユニット６０は、上記各差分要素の面積ｓ（以下差分面積ｓと略称する）が、上記ステップＳ２３で求められた上限差分面積Ａ以下である否かを判定し（ステップＳ２９）、ここでＹＥＳと判定されて上記差分面積ｓが上限差分面積Ａ以下であることが確認された場合、すなわち、プリント基板Ｐ上の電子部品に大きな位置ずれ等の不具合が存在しないことが確認された場合には、次のステップＳ３１に移行し、液晶パネル４に検査結果が良品である旨を表示する制御を実行する。なお、プリント基板Ｐが上述したように複数のエリアごとに分けて撮像されている場合、上記ステップＳ２９における差分面積ｓの判定処理は、その撮像エリアごとに行われる。この場合、全ての撮像エリアにおいて上記差分面積ｓが上限差分面積Ａ以下であることが確認されたときに、上記ステップＳ２９でＹＥＳと判定されることになる。また、このステップＳ２９において、上記基準画像データが複数個存在する場合には、その複数の基準画像データのうちのいずれかのデータとの比較において上記差分面積ｓが上限差分面積Ａ以下であることが確認されれば、このプリント基板Ｐは良品と判定される（ステップＳ２９でＹＥＳ）。逆に、上記ステップＳ２９では、複数の基準画像データのうちの全てのデータとの比較において上記差分面積ｓが上限差分面積Ａよりも大きいことが確認された場合に、はじめてＮＯと判定されることになる。
【００６５】
上記ステップＳ２９でＮＯと判定されて上記差分面積ｓが上限差分面積Ａよりも大きいことが確認された場合、すなわち、電子部品の実装位置が大きくずれている等の不具合が存在する可能性が確認された場合には、次のステップＳ３３に移行し、液晶モニタ４に作業員による目視判定用の画像を表示させる制御を実行する。具体的には、カメラ５２によるプリント基板Ｐの撮像画像に、上記ステップＳ２７で抽出した差分画像を足し合わせ、さらに上述したような着色処理（差分の特性に応じた色に差分要素を着色する処理）等を施したもの（図１０参照）を、液晶モニタ４に表示させる。そして、コントロールユニット６０は、この液晶モニタ４に表示された画像に基づいて行われた目視判定の結果が良品であったか否かを判定する（ステップＳ３５）。具体的には、作業者による液晶パネル４のタッチ操作を通じて判定結果が良品であることを示す操作信号が液晶パネル４から入力されたか否かを判定する。
【００６６】
そして、上記ステップＳ３５でＹＥＳと判定されて作業者による目視判定の結果が良品であることが確認された場合には、上記ステップＳ３１に移行し、液晶パネル４に検査結果が良品である旨を表示する制御を実行する。一方、上記ステップＳ３５でＮＯと判定されて作業者による目視判定の結果が不良品であることが確認された場合には、警報用のアラームを発するとともに（ステップＳ３７）、上記マーキングユニット５５を作動させてプリント基板Ｐに、この基板Ｐが不良品であることを表すＮＧマーク（図示省略）を付与する制御を実行する（ステップＳ３９）。なお、図１１のステップＳ１３でプリント基板Ｐに付与される検査終了マークＭの種類を、基板Ｐが良品である場合と不良品である場合とで異なるものにすれば、この検査終了マークＭをＮＧマークとしても兼用できるため、上記ステップＳ３９の処理を省略することができる。
【００６７】
以上説明したような制御動作に基づき行われるプリント基板Ｐの外観検査には、ある程度の時間を要するため、通常は、上記検査装置１を複数台並べて設置し、各検査装置１に時間差を持たせて基板Ｐの検査を行うようにする。これにより、一人の作業者でプリント基板Ｐの検査を効率的に進めることができる。この場合、図１３に示すように、複数台（図例では５台）の検査装置１，１・・を扇形状に並べて配置することにより、作業者はより効率よく検査を行うことが可能になる。すなわち、検査装置１は、上記の通り前側部分２Ｂの幅が先窄まりに形成されているため、この部分を互いに当接させた状態で各検査装置１，１・・を並べることにより、作業者の立ち位置を中心とした扇形状に複数の検査装置１，１・・を配置することができる。
【００６８】
以上のようにプリント基板Ｐを検査する検査ユニット５０と、この検査ユニット５０に手動でプリント基板Ｐを供給可能な基板供給ユニット２４と、上記プリント基板Ｐの検査結果を含んだ所定の情報を表示する液晶モニタ４とを備えた検査装置１において、プリント基板Ｐに付与される検査終了マークＭに基づきその基板Ｐが検査済みであることが確認された場合に、上記液晶モニタ４にその旨を表示させるとともに、上記検査ユニット５０による基板Ｐの検査動作（カメラ５２による基板Ｐの撮像等の一連の動作）の実行を禁止するように制御するコントロールユニット６０を設けたため、同一の基板Ｐに対して重複して検査が行われるのを確実に防止することができ、この重複検査によるロス時間の発生を回避しながら効率よく基板検査を行うことができるという利点がある。
【００６９】
すなわち、上記実施形態では、プリント基板Ｐが部品供給ユニット２４により搬送されて検査ポジションに到達すると、直ちにこのプリント基板Ｐ上の検査終了マークＭの有無がカメラ５２により調べられ、それによってこの検査終了マークＭが存在しないこと、つまりプリント基板Ｐが未だ検査を受けていないことが確認された場合にのみ、カメラ５２によるプリント基板Ｐの撮像（基板Ｐ上の部品の実装状態の撮像）やその画像処理等の動作が実行されるように制御されるため、検査済みのプリント基板Ｐに対して検査ユニット５０が再度検査を行ってしまうことがなく、同一の基板Ｐが重複して検査されることに起因したロス時間の発生を有効に回避することができる。
【００７０】
特に、図１３に示すように検査装置１を複数台用いてプリント基板Ｐの検査を行う場合には、既に検査されたプリント基板Ｐを誤って再度検査装置１（の基板供給ユニット２４）にセットしてしまうミスが相対的に生じ易くなると考えられるため、このような使用状態において上記構成を採用することにより、ロス時間の発生を有効に回避しながらより効率的にプリント基板Ｐの検査を進めることが可能になる。
【００７１】
また、上記実施形態のように、プリント基板Ｐに対する検査が終了した時点で、この基板Ｐが終了済みであることを表す検査終了マークＭを、マーキングユニット５５の作動に応じてプリント基板Ｐに付与するようにした場合には、プリント基板Ｐが検査済みであるか否かを、この検査終了マークＭの有無を調べるだけの簡単な構成で判定できるという利点がある。
【００７２】
また、上記実施形態のように、基板供給ユニット２４の作動に応じて、プリント基板Ｐの着脱が可能なホームポジションと、検査ユニット５０による基板の検査が行われる検査ポジションとの間でプリント基板Ｐを往復移動させるようにした場合には、上記基板供給ユニット２４のホームポジションにプリント基板Ｐをセットするだけで、その後の一連の動作、すなわち、プリント基板Ｐの検査ポジションへの移動や、そこで検査された基板Ｐのホームポジションへの復帰等の動作が自動的に実行されるため、検査装置の使い勝手を効果的に向上させることができる。
【００７３】
また、上記実施形態のように、プリント基板Ｐが基板供給ユニット２４により検査ポジションに搬送された時点でこの基板Ｐが検査済みであるか否かを調べ、そこでプリント基板Ｐが検査済みということが確認されたときに、液晶モニタ４に警告メッセージを表示させる等の所定の動作を経て直ちに基板供給ユニット２４を作動させ、プリント基板Ｐをホームポジションへ移動（復帰）させるようにした場合には、検査済みのプリント基板Ｐを誤って基板供給ユニット２４にセットしたことで生じるロス時間の長さをできるだけ短くすることができ、基板検査の作業効率の低下を効果的に抑制できるという利点がある。
【００７４】
また、上記実施形態のように、検査ポジションにあるプリント基板Ｐを基板供給ユニット２４がホームポジションへ移動させる動作を、作業者からの検査継続の指示がないこと（液晶モニタ４を通じて作業者が検査を中止する旨の指示を入力したこと）を確認してから実行させるようにした場合には、作業者の意図に応じて適正にプリント基板Ｐの検査を中止または継続することができるという利点がある。
【００７５】
また、上記実施形態のように、基板供給ユニット２４のホームポジションにセットされたプリント基板Ｐを検査ポジションまで搬送する動作を、上記基板供給ユニット２４に設けられた基板検知手段３３によりプリント基板Ｐの存在を確認してから実行するようにした場合には、上記プリント基板Ｐがホームポジションにセットされていない状態（基板Ｐのセットを忘れた状態）で基板供給ユニット２４による検査ポジションへの搬送動作が実行されるのを防止できるため、それによるロス時間の発生を確実に回避することができる。
【００７６】
また、上記実施形態における検査装置１のように、検査ユニット５０、基板供給ユニット２４、液晶パネル４等の各部が一体的に組み付けられて卓上に載置可能に構成されている場合には、検査装置１の省スペース化等を図ることができるとともに、特に場所を問わずに様々な場所でこの検査装置１を使用できるという利点がある。
【００７７】
なお、上記実施形態では、プリント基板Ｐ上の検査終了マークＭの有無を確認する動作（当該マークＭの有無をカメラ５２で確認する動作）を、プリント基板Ｐが図３の二点鎖線で示す検査ポジションに移動してから実行するようにしたが、このプリント基板Ｐの検査ポジションへの移動が完了する前に（基板Ｐがホームポジションと検査ポジションとの間に位置する状態で）上記検査終了マークＭの確認動作を実行するようにしてもよい。そして、この時点で検査終了マークＭの存在が確認されれば直ちにプリント基板Ｐをホームポジションに復帰させることにより、検査済みの基板Ｐを誤ってセットしたことで生じるロス時間の長さをより短縮することができる。特に、図８に示すように、テーブル３０にセットされたプリント基板Ｐにおける検査ポジション側の端部に検査終了マークＭが付与されている場合には、上記プリント基板Ｐの検査ポジション側の端部が撮像ユニット５１の下方に到達した時点で上記検査終了マークＭの有無をカメラ５２で確認することができるため、この検査終了マークＭの確認が可能な位置までプリント基板Ｐを移動させる距離がより短くなり、上記ロス時間をより効果的に短縮することができる。
【００７８】
また、上記実施形態では、プリント基板Ｐが検査済みであるか否かを判定する（すなわちプリント基板Ｐの検査履歴を確認する）ための識別情報として、検査済みのプリント基板Ｐに付与される検査終了マークＭを用いたが、例えば図８の二点鎖線で示すように、プリント基板Ｐを個々に特定可能なＩＤコードＢが各基板Ｐに付与されている場合には、このＩＤコードＢを上記識別情報として利用することも可能である。すなわち、例えばコントロールユニット６０の記憶部６１（記憶手段）に、上記ＩＤコードＢとプリント基板Ｐの検査履歴とを対応付けて記憶させておき、カメラ５２を通じて取得されたＩＤコードＢを上記記憶部６１内の履歴情報と照合することにより、現在検査対象となっているプリント基板Ｐが検査済みであるか否かを確実に判定することができる。
【００７９】
また、上記実施形態では、基板供給ユニット２４のテーブル３０にプリント基板Ｐがセットされたか否かを検知する基板検知手段３３として光学式センサを用いたが、この基板検知手段３３としてはプリント基板Ｐの有無を検知できるものであればよく、例えばカメラ５２を基板検知手段３３として兼用することも可能である。具体的には、テーブル３０のプレート３２に、周囲とは色の異なる白色プレートを貼り付ければ、この白色プレートがカメラ５２により認識されたか否かでプリント基板Ｐの有無を確認することができる。すなわち、プリント基板Ｐがセットされていない状態では上記テーブル３０上の白色プレートが撮像されて撮像画像の輝度が高くなるが、プリント基板Ｐがセットされると、この白色プレートが遮られて画像の輝度が低下する。そして、このような画像の輝度の差によってプリント基板Ｐを検知することができる。
【００８０】
また、上記実施形態では、作業者による目視判定によりプリント基板Ｐが不良品と判定されたとき（プリント基板Ｐが不良品であることが確定したとき）に警報用のアラームを発生させるようにしたが、上記のようなタイミング以外にも適宜アラームを発生させることが可能である。例えば、検査終了後にプリント基板Ｐがホームポジションに戻された時点で、作業者にプリント基板Ｐの取り出しを促す意味で短時間アラームを発生させるようにしてもよいし、コントロールユニット６０による自動判定でプリント基板Ｐが不良品と判定されたときに、作業者にプリント基板Ｐの目視判定を促す意味で短時間アラームを発生させるようにしてもよい。そして、このように複数のタイミングでアラームを発生させる場合、アラームの長さや音をタイミングに応じて変化させるようにすれば、作業者はアラームの意味を容易に理解することができる。
【００８１】
なお、本発明の検査装置において検査対象となる基板は、プリント基板に限らず、例えばリードフレームに回路が形成された基板等であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８２】
【図１】本発明の一実施形態にかかる外観検査装置を示す斜視図である。
【図２】上記外観検査装置を示す平面図である。
【図３】上記外観検査装置の内部構成を示す縦断面図である。
【図４】上記外観検査装置の内部構成を示す平断面図である。
【図５】図３のうち液晶パネル４を支持する部分を抽出した図である。
【図６】制御ユニットの組み付け構造を示すベースフレームの断面図である。
【図７】上記外観検査装置の制御系を示すブロック図である。
【図８】基板に付与される検査終了マーク等を示す図である。
【図９】上記外観検査装置において行われる画像処理の内容を模式的に説明するための図であり、（ａ）は基板の撮像画像、（ｂ）は基準画像データ、（ｃ）は（ａ）と（ｂ）との差分画像を示している。
【図１０】作業者による目視判定用に液晶モニタに表示される画像を示す図である。
【図１１】コントロールユニットにおいて実行される制御動作の内容を示すフローチャートである。
【図１２】図１１のフローチャートにおいて行われる基板検査制御を示すサブルーチンである。
【図１３】複数の外観検査装置を扇形状に並べた状態を示す平面図である。
【符号の説明】
【００８３】
４ 液晶モニタ（表示手段）
２４ 基板供給ユニット
３３ 基板検知手段
５０ 検査ユニット
５２ カメラ（認識手段）
６０ コントロールユニット（履歴確認手段、制御手段）
６１ 記憶部（記憶手段）
Ｐ プリント基板（基板）
Ｍ 検査終了マーク
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を検査する検査ユニットと、この検査ユニットに手動で基板を供給可能な基板供給ユニットと、上記基板の検査結果を含んだ所定の情報を表示する表示手段とを備えた基板の検査装置であって、
上記基板に付与される識別情報を認識する認識手段と、
この認識手段を通じて上記基板の識別情報を取得するとともに、その識別情報に基づいて上記基板の検査履歴を確認する履歴確認手段と、
この履歴確認手段により基板が検査済みであることが確認された場合に、上記表示手段にその旨の表示を行わせるとともに、上記検査ユニットによる基板の検査動作の実行を禁止するように制御する制御手段とを備えることを特徴とする基板の検査装置。
【請求項２】
請求項１記載の基板の検査装置において、
上記検査ユニットによる検査が済んだときに、基板が検査済みであることを表す検査終了マークを上記識別情報として基板に付与するマーキング手段をさらに備え、
上記履歴確認手段は、上記検査終了マークの有無を上記認識手段を通じて判定することにより上記基板の検査履歴を確認することを特徴とする基板の検査装置。
【請求項３】
請求項１記載の基板の検査装置において、
上記識別情報として基板に付与されたＩＤコードとその基板の検査履歴とを対応付けて記憶する記憶手段をさらに備え、
上記履歴確認手段は、上記認識手段を通じて取得された上記ＩＤコードを上記記憶手段に記憶された履歴情報と照合することにより上記基板の検査履歴を確認することを特徴とする基板の検査装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の基板の検査装置において、
上記基板供給ユニットは、手動操作による基板の着脱が可能なホームポジションと、上記検査ユニットによる基板の検査が行われる検査ポジションとの間で基板を往復移動させるように構成されていることを特徴とする基板の検査装置。
【請求項５】
請求項４記載の基板の検査装置において、
上記履歴確認手段は、基板が検査ポジションに搬送された時点で上記認識手段を通じて基板の識別情報を取得し、
上記基板供給ユニットは、上記履歴確認手段により基板が検査済みであることが確認されると、上記検査ポジションにある基板を上記ホームポジションに移動させることを特徴とする基板の検査装置。
【請求項６】
請求項５記載の基板の検査装置において、
上記制御手段は、上記検査ポジションにある基板を基板供給ユニットがホームポジションへ移動させる動作を、作業者からの検査継続の指示がないことを確認してから実行させることを特徴とする基板の検査装置。
【請求項７】
請求項４〜６のいずれか１項に記載の基板の検査装置において、
上記基板供給ユニットのホームポジションに基板がセットされたか否かを検知する基板検知手段をさらに備え、
上記制御手段は、上記基板検知手段により基板が検知されなかった場合に、上記基板供給ユニットによる検査ポジションへの搬送動作を禁止することを特徴とする基板の検査装置。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項に記載の基板の検査装置において、
上記検査ユニット、基板供給ユニット、表示手段等の各部が一体的に組み付けられて卓上に載置可能に構成されていることを特徴とする基板の検査装置。
【請求項１】
基板を検査する検査ユニットと、この検査ユニットに手動で基板を供給可能な基板供給ユニットと、上記基板の検査結果を含んだ所定の情報を表示する表示手段とを備えた基板の検査装置であって、
上記基板に付与される識別情報を認識する認識手段と、
この認識手段を通じて上記基板の識別情報を取得するとともに、その識別情報に基づいて上記基板の検査履歴を確認する履歴確認手段と、
この履歴確認手段により基板が検査済みであることが確認された場合に、上記表示手段にその旨の表示を行わせるとともに、上記検査ユニットによる基板の検査動作の実行を禁止するように制御する制御手段とを備えることを特徴とする基板の検査装置。
【請求項２】
請求項１記載の基板の検査装置において、
上記検査ユニットによる検査が済んだときに、基板が検査済みであることを表す検査終了マークを上記識別情報として基板に付与するマーキング手段をさらに備え、
上記履歴確認手段は、上記検査終了マークの有無を上記認識手段を通じて判定することにより上記基板の検査履歴を確認することを特徴とする基板の検査装置。
【請求項３】
請求項１記載の基板の検査装置において、
上記識別情報として基板に付与されたＩＤコードとその基板の検査履歴とを対応付けて記憶する記憶手段をさらに備え、
上記履歴確認手段は、上記認識手段を通じて取得された上記ＩＤコードを上記記憶手段に記憶された履歴情報と照合することにより上記基板の検査履歴を確認することを特徴とする基板の検査装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の基板の検査装置において、
上記基板供給ユニットは、手動操作による基板の着脱が可能なホームポジションと、上記検査ユニットによる基板の検査が行われる検査ポジションとの間で基板を往復移動させるように構成されていることを特徴とする基板の検査装置。
【請求項５】
請求項４記載の基板の検査装置において、
上記履歴確認手段は、基板が検査ポジションに搬送された時点で上記認識手段を通じて基板の識別情報を取得し、
上記基板供給ユニットは、上記履歴確認手段により基板が検査済みであることが確認されると、上記検査ポジションにある基板を上記ホームポジションに移動させることを特徴とする基板の検査装置。
【請求項６】
請求項５記載の基板の検査装置において、
上記制御手段は、上記検査ポジションにある基板を基板供給ユニットがホームポジションへ移動させる動作を、作業者からの検査継続の指示がないことを確認してから実行させることを特徴とする基板の検査装置。
【請求項７】
請求項４〜６のいずれか１項に記載の基板の検査装置において、
上記基板供給ユニットのホームポジションに基板がセットされたか否かを検知する基板検知手段をさらに備え、
上記制御手段は、上記基板検知手段により基板が検知されなかった場合に、上記基板供給ユニットによる検査ポジションへの搬送動作を禁止することを特徴とする基板の検査装置。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項に記載の基板の検査装置において、
上記検査ユニット、基板供給ユニット、表示手段等の各部が一体的に組み付けられて卓上に載置可能に構成されていることを特徴とする基板の検査装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【公開番号】特開２００８−５１７８３（Ｐ２００８−５１７８３Ａ）
【公開日】平成２０年３月６日（２００８．３．６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−２３１２８２（Ｐ２００６−２３１２８２）
【出願日】平成１８年８月２８日（２００６．８．２８）
【出願人】（５００２２０１８６）アイパルス株式会社 (86)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年３月６日（２００８．３．６）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年８月２８日（２００６．８．２８）
【出願人】（５００２２０１８６）アイパルス株式会社 (86)
【Ｆターム（参考）】
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