【課題】様々な形のトレイに対応可能であり、且つ、トレイ上の物品の適否の検出精度が向上する検査装置、検査方法および検査プログラムを提供することを課題とする。
【解決手段】物品を載せたトレイを検査する検査装置であって、検査対象のトレイを映した検査画像のデータを取得すると、記憶媒体に格納されている画像のデータであって、物品を適正に載置したトレイを映した第一の画像のデータと、物品を載置していないトレイを映した第二の画像のデータとにアクセスして、前記第一の画像のデータに対する前記検査画像のデータの近似度と前記第二の画像のデータに対する前記検査画像のデータの近似度とをそれぞれ算出し、算出した各近似度に基づいて前記トレイに載っている物品の有無および適否の少なくとも何れかを判定する判定処理部を備える。 （もっと読む）

【課題】複数個所の検査と、０．１ｍｍ位の異物とか欠けの検査がより簡単に且つ安価になる画像検査装置を提供する。
【解決手段】ロボット１のハンド部３がワーク４を把持。ハンド部３の構造としては把持した状態の繰り返し位置ずれを少なくする把持子１４を持つ。さらに当該位置ずれを少なくするためにロボット１が把持したワーク４をレーザセンサ１１又はカメラ５にかざしワーク４の位置を、予め当該ワーク４の良品をレーザセンサ１１又はカメラ５にかざしたデータと比較する。このデータを基にワーク４を、ロボット１が座標変換プログラムにより位置修正する。そしてワーク４をカメラ５にかざしトリガ信号をだして撮像する。予め当該ワークの良品を登録した画像と比較して画像検査し良品であれば良品シューター９位置にワーク４を開放し、不良品であれば不良品シューター１０位置に開放する。 （もっと読む）

【課題】同一仕様で形成され同一方法で保持された複数の平面基板上の、同一箇所に形成された同一パターンの形状を確実に順次検査するための簡単な方法を提供すること。
【解決手段】１枚目の検査対象基板に対して、検査のためのカメラと検査対象となるパターンとの撮像距離を順次変化させて各撮像距離で撮像して合計で複数の画像情報を入力し、入力した複数の画像情報を予め登録してある登録画像情報と比較して、登録画像情報に最も類似した一画像の情報を複数の画像情報の中から選択して、検査判定するとともに、選択した画像情報に対応する撮像距離をカメラ最適高さとして特定し、２枚目以降の平面基板上の同一箇所に形成された同一パターンの形状検査において、カメラ最適高さとした撮像距離で検査することを特徴とするパターン検査方法。 （もっと読む）

【課題】粉体への異物混入を効果的に検出する。
【解決手段】保持機構１２は、粉体を収容したボトル１４を垂直方向に立てた状態で、側方から保持する。この保持機構１２を水平方向に回動させ、前記ボトル１４を寝かせた状態とし、この寝かされたボトル１４を支持台３４で下方から支持する。振動装置３２により、支持台３４を介しボトルを振動させ、ボトル内の粉体を一方向に移動させる。そして、支持台３４上に寝かされたボトル１４内で移動する粉体の前方部分を撮影し、撮影したボトルの画像に基づいて、前記振動によって、粉体より大きく移動した異物を検出する。 （もっと読む）

【課題】基板縁部の状態を簡単に早く検出することが出来る基板検査装置を提供する。
【解決手段】基板検査装置１００は、表面に膜を塗布した基板Ｗを保持し回転する回転テーブル５と、基板Ｗに光を照射する光照射手段２と、光照射手段２による基板Ｗ表面からの正反射光を受光し、撮像画像の信号出力する光電変換手段４と、を備える。そして、基板Ｗの回転中心を含んで回転中心から半径方向の一走査分の電気信号の回転手段一周分の検出値を加算して二次元画像を生成し、二次元画像の一方向に沿って設定された判定バンドから変化点を判断する。したがって、基板Ｗ上においてＥＢＲ線の良否を簡単に判断することができ、処理効率の良い検査が可能になる効果を奏する。 （もっと読む）

【課題】ワークに設けられる貫通孔の内部に生じたバリを、ロボットを用いて確実に検出する。
【解決手段】各孔検出カメラ５１ａ，５１ｂにより各油孔２１ａ〜２１ｇの両端側を撮像し、ずれ算出部で各油孔２１ａ〜２１ｇの軸線と軸線Ｃ２とのずれ量を算出し、ずれ量に基づいてロボット３０を駆動制御してクランクシャフト２０をバリ検出カメラ５３と正対させる。軸線Ｃ１は軸線Ｃ２と平行なので、バリ検出カメラ５３は各油孔２１ａ〜２１ｇの内部を全域に亘ってとらえることができる。したがって、ロボット３０によりクランクシャフト２０を精度良く移動して、バリ検出カメラ５３により各油孔２１ａ〜２１ｇの内部に生じたバリを確実に検出し、バリ有無判定部により各油孔２１ａ〜２１ｇの内部に生じたバリの有無を間違えること無く判定することができる。 （もっと読む）

【課題】安価な構成により、外観検査の検査精度を向上する。
【解決手段】ウェーハ外観検査装置１は、同一の基板に複数の半導体装置が形成されているウェーハを搬送し、半導体装置を検査位置に移動させるプローバ装置１０と、検査位置の半導体装置に照明光を照射する光源部（マルチアングル照明５０）と、照明光を照射された半導体装置の画像を撮像するカメラ４０と、カメラ４０によって撮像された画像データに基づいて、半導体装置を検査する画像判定部（外観コントローラ２０）と、半導体装置のサイズに応じて半導体装置を複数の領域に分割し、分割した複数の領域に対応してカメラ４０に撮像させる検査位置に、ウェーハを順次移動させる制御部（ＰＣ３０）とを備える。 （もっと読む）

【課題】検査装置においては検査速度を向上させるためにウェハ表面に細長い光を照明し、照明領域の像を光検出器で結像して、検査を行う方式も考えられる。しかし、光検出器に照明領域の像を正しく結像させるのは容易ではない。従来技術ではこの点に配慮なされていなかった。
【解決手段】本発明は、光ファイバの束を有する結像光学系を有し、さらに前記光ファイバの束の集光側を回転させる機構を有することを特徴とする。本発明によれば、照明領域からの散乱光を正しく光検出器に結像させることができる。 （もっと読む）

【課題】パターンドメディアディスクの両側の表面を検査する検査装置において、スループットを高い状態に維持しながら検査を実施することを可能にする。
【解決手段】光学検査ユニット１００Ａ，Ｂと基板を載置して回転させる基板回転駆動部を複数備えて回転駆動部に載置した基板を検査する位置と基板を取出・供給する位置との間を回転して搬送するテーブルユニット２００Ａ，Ｂと基板反転ユニット３００と基板を収納するカセット部と、未検査の基板を取り出してテーブルユニット２００Ａ，Ｂに供給すると共に、両面を検査し終えた基板を収納する基板ハンドリングユニット４００とを備えて構成し、光学検査ユニット１００Ａ，Ｂとテーブルユニット２００Ａ，Ｂとを複数備え、基板反転ユニット３００による基板の反転と基板ハンドリングユニット４００による検査を終えた基板の取出し未検査基板の供給とを交互に行なうようにした。 （もっと読む）

【課題】露光ユニット全体を小型化することができ、また、タクトタイムの短縮を図ることができ、且つ、適切に基板の温調を行うことができる異物検出装置及び異物検出異物検出方法を提供する。
【解決手段】異物検出装置２０は、精密温調プレート２２に載置された基板Ｗを温調する基板温調機構、精密温調プレート２２の上方に配置され、所定の方向に直線状に配置される複数のカメラ３０と、該カメラ３０が撮像する基板の位置に光を照射する光源３１と、を有し、精密温調プレート２２に載置された基板Ｗの異物を検出する異物検出機構３４とを有することで、異物検出機構と基板温調機構３４とが単一の装置に設けられため、露光ユニット全体を小型化でき、また、温調が行われている基板Ｗの異物の検出を行う場合には、タクトタイム短縮ができ、さらに、異物を検出する際に、基板Ｗにはレーザー以外の光源３１を照射するため、活性化による基板Ｗの温度上昇を防止できる。 （もっと読む）

【課題】設置スペースを抑制した検査ステージを備えたマクロ検査装置を提供する。
【解決手段】基板を目視によって検査する場合に用いられるマクロ検査装置であって、基板を搬送する搬送ラインの横に配置し、少なくとも、基板の１つの基板端を吸着及び吸着解除する基板端吸着及び吸着解除手段と、前記基板端吸着及び吸着解除手段をスライドする手段と、前記基板端が吸着された基板をスライドする際には浮上させ、スライドした後には浮上を解除し吸着する浮上吸着手段と、を有する検査ステージを備えたことを特徴とする基板マクロ検査装置。 （もっと読む）

【課題】高反射性面の表面特性測定に適した装置および
方法を提供する。
【解決手段】測定面（１０）は少なくとも１つの放射線装置（２）によって照射され、測定面で散乱された前記放射線のうち少なくとも１つの測定信号を出力する少なくとも１つの第１の放射線検出装置（４）とを備え、前記測定面（１０）の光沢度測定を実施するための第２の放射線装置（１２）と第２の放射線検出装置（１４）とを含む。前記第２の放射線装置（１２）は、前記測定面（１０）に所定の入射角（ａ）で放射を行い、前記第２の放射線検出装置（１４）は少なくとも前記第２の放射線装置（２）によって照射され、その後に、前記測定面（１０）から反射された前記放射線の少なくとも一部を受信する。本発明によれば、前記第２の放射線装置（１２）が前記測定面に放射するにあたり、前記測定面（１０）に垂直な方向（Ｍ）に対して形成される前記入射角（ａ）が５０°以下である。 （もっと読む）

【課題】
磁気ディスク検査において、カセットから取り出した磁気ディスクの両面を検査し、検査結果に応じたグレード分けをして再びカセットに戻すまでのトータルをスループットを高い状態を維持しつつ、低発塵環境の中で実施することを可能にする。
【解決手段】
カセットに収納された複数の未検査の基板をカセットから取出し、このカセットから取出した複数の基板を磁気ディスク検査装置の複数の基板取出・供給位置で複数の回転駆動部に載置し複数の検査位置に搬送し、この複数の基板を複数の回転駆動部で回転させながら光を照射して光学的に検査し、光学的な検査を終了した複数の基板を複数の基板取出・供給位置に搬送し、この搬送された複数の基板を取出し、この取出した複数の基板を検査が終了した基板を収納するカセットに光学的な検査の結果に応じて分別して収納するようにした。 （もっと読む）

【課題】液体系内に生成された沈殿物を評価する方法及び装置について記述している。
【解決手段】本発明の方法は、沈殿物に関連する高さの計測、ひいては、体積のデータの計測を実現するための情報を光学的に取得するステップを有している。液体系の単一のサンプルを処理することが可能であるが、本発明の方法は、複数のサンプルを処理することにより、沈殿物に関係するデータを高速で取得するのに特に適している。本発明の装置は、ワークステーション間において、且つ、沈殿物に関係する情報の取得に使用される関連した光学装置に対して、サンプルを移動することが可能な自動運搬装置を備えている。 （もっと読む）

【課題】簡易な装置を用いて、複雑な形状のワークに対しても、精度良く欠陥を検出することができる欠陥検出方法および欠陥検出装置を提供することを目的としている。
【解決手段】視点Ｓ１から撮像した検査画像Ｇ１と、視点Ｓ２から撮像した検査画像Ｇ２と、視点Ｓ１から撮像した良品画像Ｌ１と、視点Ｓ２から撮像した良品画像Ｌ２と、を取得して、検査画像Ｇ１と良品画像Ｌ１の、輝度比Ｒ１を表した画像である第一のコントラスト画像Ｃ１と、検査画像Ｇ２と良品画像Ｌ２の輝度比Ｒ２を表した画像である第二のコントラスト画像Ｃ２と、を生成するとともに、各コントラスト画像Ｃ１・Ｃ２の輝度比の差分ΔＲを表した差分画像ΔＣを生成して、差分画像ΔＣにおいて、輝度比の差分ΔＲが閾値αを越えている各画素８ａ・８ａ・・・を検出するとともに、検出した各画素８ａ・８ａ・・・が連続する範囲の面積が、閾値βを越えている範囲を欠陥部として検出する。 （もっと読む）

【課題】透明体の検出を簡易かつ高精度に行う。
【解決手段】透過光の偏光方向が変化する特性を有する透明体１１４を含む第一領域を撮像して、垂直偏光画像および水平偏光画像を撮像するカメラ１２と、透明体１１４を載置する載置台１１３と、カメラ１２から載置台１１３を挟んで、第一領域のうち少なくとも透明体１１４を含んで撮影される第二領域の範囲を含む位置に設置された偏光フィルタ１１２と、垂直偏光画像および水平偏光画像に基づく縦横偏光度画像の縦横偏光度の分布に基づいて透明体を検出する画像処理装置１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】透明平板の検出を簡易かつ高精度に行う。
【解決手段】透明平板１１４を含む領域を、該透明平板１１４の平面部法線方向に対して所定の角度から撮像して、垂直偏光画像および水平偏光画像を撮像するカメラ１２と、載置台１１３と、載置台１３の下側に設置された反射面１１１と、透明平板１１４の平面部法線に対して、カメラ１２と対向するように配置され、透明平板１１４の平面部からの正反射光がカメラ１２に入射しないように遮光する遮光板１０２と、垂直偏光画像および水平偏光画像に基づく縦横偏光度画像の縦横偏光度の分布に基づいて透明平板１１４を検出する画像処理装置１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】車両ボデーとなるワーク等に行った塗装における塗装不良の検出を、簡易な構成の機器を用いて確実に行う。
【解決手段】光源２０３は、ワークＷＫの表面の撮像を行うカメラ２０２の光軸ＡＸを軸回りに取り囲むように、複数配置される。これらの光源２０３は、制御回路チップ２０４の制御によって一つずつ順次点灯し、ワークＷＫの表面に様々な方向から光を照射する。カメラ２０２は、光源２０３が一つずつ順次点灯するその都度に、ワークＷＫの表面を撮像する。画像処理装置１０４は、カメラ２０２から送信された画像データを受けて画像処理を行い、その処理結果をモニタ１０５に出力する。 （もっと読む）

【課題】基板のずれ及び／又は破損を検出するのに必要なセンサの数を少なくし、比較的低コストで実施する。
【解決手段】移動中の基板１０６の少なくとも２つの平行な端部の長さに沿った、破損やずれ等の基板の欠陥の存在を検出する少なくとも２つのセンサ１４０Ａ、１４０Ｂを組み込んだ装置及び方法を提供する。一実施形態において、装置は、基板の欠陥を検出するための、少なくとも２つの平行な端部近傍で、基板をセンシングするセンサ構成を含む。他の実施形態において、装置は、基板サポート表面を有するロボット１１４又は１３０と、基板の欠陥を検出するための、少なくとも２つの平行な端部近傍で、基板をセンシングするセンサ構成とを含む。 （もっと読む）

【課題】ウェハ１０の回転精度を向上させた表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、ウェハ１０を保持して回転可能なウェハホルダ２８と、ウェハホルダ２８に保持されて回転するウェハ１０のアペックス部１３を連続的に撮像する撮像部３５と、ウェハホルダ２８の回転軸と垂直な方向へ２次元的にウェハホルダ２８を相対移動させるＸＹステージ２１と、ウェハ１０の中心Ｃ１とウェハホルダ２８の回転中心Ｃ２との間のオフセットＤを測定するためのステージアライメント用センサ３０と、ステージアライメント用センサ３０を用いて測定したオフセットＤに応じて、撮像部３５がウェハ１０のアペックス部１３を連続的に撮像できるようにＸＹステージ２１の作動を制御する制御部４５とを備え、制御部４５は、ウェハホルダ２８の回転中心Ｃ２の移動軌跡Ｔが円弧状となるようにＸＹステージ２１の作動を制御する。 （もっと読む）