外観検査装置
【課題】個々の基板の様態や検査者の個人的な差異に対応可能な処理レシピを備える外観検査装置を提供する。
【解決手段】薄板状の基板に光を照射する照明部と、基板を保持した状態で揺動可能とされた基板支持部とを備える外観検査装置において、基板を外観検査装置で検査する事前に、他の検査装置によって取得された基板の検査データを取得し（Ｓ４０６）、検査データを予め作成したテーブルに入れることによって検査者が目視観察しやすい検査条件を自動で算出して（Ｓ４０８）処理レシピを作成する（Ｓ４０９）処理レシピ作成手段を備えるとともに、処理レシピ作成手段によって作成された処理レシピに従い外観検査装置を動作させる（Ｓ４１１）実行手段を備える。
【解決手段】薄板状の基板に光を照射する照明部と、基板を保持した状態で揺動可能とされた基板支持部とを備える外観検査装置において、基板を外観検査装置で検査する事前に、他の検査装置によって取得された基板の検査データを取得し（Ｓ４０６）、検査データを予め作成したテーブルに入れることによって検査者が目視観察しやすい検査条件を自動で算出して（Ｓ４０８）処理レシピを作成する（Ｓ４０９）処理レシピ作成手段を備えるとともに、処理レシピ作成手段によって作成された処理レシピに従い外観検査装置を動作させる（Ｓ４１１）実行手段を備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば液晶ディスプレイ装置等に使用されるＦＰＤ（Flat Panel Display）基板（基板）を検査する外観検査装置に関し、特に基板に照明光を照射しその反射光または透過光を検査者が目視観察することによって検査を行う外観検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば液晶ディスプレイ装置等に使用されるＦＰＤ基板（以下、基板という）は、基板表面に照明光を照射し、その反射光や透過光を検査者が目視観察し、異常な反射光または透過光を検知することによって基板表面に塗布されたレジストの膜むらやピンホールなどの欠陥、塵埃付着の有無など（以下、欠陥という）が確認されている。この種の検査には、基板に照明光を照射するための照明部や光の入射角を可変するよう揺動可能に基板を保持する基板支持部などを備えた、いわゆる外観検査装置と称される検査装置が用いられている。
【０００３】
一般に、外観検査装置には、検査者が基板表面の欠陥を確実に検知できるように、例えば、基板支持部の揺動速度を調整する機構や、照明部に照射する光の照射位置や入射角、強さ、色、光種などを調整する機構などが備えられている。例えば、基板表面に生じている欠陥の種類によっては光の反射率が異なり、光を散乱光にして照射すると膜むらを検知しやすくなり、収束光にすると付着した塵埃や傷などが検知しやすくなる。
【０００４】
また、外観検査装置には、効率的に検査を行うことや検査者の熟練度により検査精度の差異を極力なくすことを目的として、標準的なモデル基板の処理レシピが備えられている。この処理レシピは、基板支持部の揺動速度や光の照射状態などの検査条件を予め定め、レシピ情報に基づき動作されることにより、検査者が基板表面の欠陥を検知しやすい状態に外観検査装置を導くものとされている。これにより、例えば検査時間の短縮を図るとともに、熟練度の異なる検査者に対しても同程度の検査精度で検査を行うことを可能にする。
【０００５】
なお、例えば特許文献１には、作業の効率化を図り、習熟度の異なる操作者に同程度の取扱性を付与することを目的とした処理レシピを備える基板処理装置が示されている。
【特許文献１】特開平９−１３９３３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、処理レシピが備えられている場合においても、標準的なモデル基板の処理レシピであるため、個々の基板の様態に充分に対応できない場合があり、この場合には、処理レシピを作成し直す必要があった。処理レシピの作成を必要とした場合には、検査時間の短縮を図るための処理レシピの作成に多大な時間と習熟を要するという問題があった。このため、事前に登録された処理レシピを使用せず、検査者が外観検査装置を手動操作して検査を行うことも多く、熟練度の異なる検査者によって検査精度が異なってしまうという問題があった。
【０００７】
また、標準的な処理レシピでは、検査者の個人的な差異に対応することができないという問題があった。つまり、例えば身長の異なる検査者では、基板の反射光を検知する眼の高さが異なるため、ある検査者には検知できる欠陥が他の検査者では検知できないという問題が生じる。このため、検査者の個人的な差異によって検査精度が異なる場合があるという問題があった。
【０００８】
本発明は、上記事情を鑑み、個々の基板の様態や検査者の個人的な差異に対応可能な処理レシピを備える外観検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達するために、この発明は以下の手段を提供している。
【００１０】
本発明では、薄板状の基板に光を照射する照明部と、前記基板を保持した状態で揺動可能とされた基板支持部とを備える外観検査装置において、前記基板を前記外観検査装置で検査する事前に、他の検査装置によって取得された該基板の検査データを取得し、該検査データを予め作成したテーブルに入れることによって検査者が目視観察しやすい検査条件を自動で算出して処理レシピを作成する処理レシピ作成手段を備えるとともに、該処理レシピ作成手段によって作成された前記処理レシピに従い前記外観検査装置を動作させる実行手段を備えることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明において、前記他の検査装置によって取得され、前記処理レシピの作成に用いられる前記検査データは、前記基板の欠陥の種類であることが好ましい。
【００１２】
さらに、本発明において、前記他の検査装置によって取得され、前記処理レシピの作成に用いられる前記検査データは、前記基板の欠陥の位置座標であることが好ましい。
【００１３】
また、本発明において、前記処理レシピには、前記検査者毎の検査条件が反映されていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の外観検査装置によれば、外観検査装置で検査を行う前に、他の検査装置の検査データを反映させて基板の処理レシピを作成することができる。このため、改めて基板に応じた処理レシピを作成する必要がなく、検査時間の短縮を図ることができる。
【００１５】
また、処理レシピが個々の基板の様態に応じているため、処理レシピを充分に活用させることができ、熟練度の異なる検査者が検査を行った場合においても同程度の検査精度を確保することができる。
【００１６】
さらに、本発明の外観検査装置によれば、他の検査装置から欠陥の種類の検査データが取得されることによって、個々の基板に対して検査者が欠陥を検知可能な光の入射角や光種、基板支持部の傾斜角度などを算出することができる。また、検査データが欠陥の位置座標であることによって光の照射位置や検査者が注視すべき位置などを特定することができる。これにより、検査時間を短縮することができるとともに、検査精度を向上させることが可能となる。
【００１７】
また、本発明の外観検査装置によれば、処理レシピに検査者毎の検査条件が反映されていることで、検査者の個人差に合った処理レシピを作成することができ、検査者毎で検査精度が異なることを防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、図１から図４を参照し、本発明の一実施形態に係る外観検査装置について説明する。
【００１９】
本発明の一実施形態は、例えば液晶ディスプレイ装置等に使用されるＦＰＤ基板（以下、基板という）の検査を行う外観検査装置に関するものである。この外観検査装置Ａは、図１に示すように、光源１ａと、光源から出射される光を偏向するミラー１ｂと、ミラー１ｂにより偏向された光を収束し、収束した光を基板２の表面２ａに照射させる例えばフレネルレンズなどの収束レンズ１ｃとからなる照明部１と、基板２を保持した状態で揺動可能とされた基板支持部３とが主な構成要素とされている。
【００２０】
照明部１は、例えばミラー１ｂが回転軸１ｄに接続され、回転軸１ｄが例えばモータなどの駆動手段１ｅに連結されることにより、光源１ａから出射した光の方向を可変とするように構成されている。これにより、収束レンズ１ｃによって収束され基板２表面２ａに照射される光の光軸Ｏ１を変化させることができ、基板２に照射される照明光の照射位置や入射角θ１を変えることができる。よって、この外観検査装置Ａでは、例えば大きな基板２を検査する場合に、基板２の表面２ａを分割し、それぞれの分割範囲に照明光を照射させ順次検査を行うことができる。また、光源１ａには、例えばナトリウムランプやメタルハライドランプなどが具備され、且つ例えばモータなどの駆動手段が備えられていることによって、光の色や向きなどを変化させることが可能とされている。さらに、例えば光源１ａとミラー１ｂとの間に、フィルター１ｆが介在され光の強さや光の色を変えることができる。
【００２１】
基板支持部３は、矩形板状に形成されており、下端３ａ側の一端辺３ｂが基台３ｃに支持された回転軸３ｄに連結され、例えばモータなどの駆動手段３ｅによって、回転軸３ｄの軸線Ｏ２中心に揺動可能とされている。
【００２２】
この外観検査装置Ａには、上記の照明部１や基板支持部３の動作を制御する例えばコンピュータなどの主制御部４が接続されている。また、この主制御部４には、制御内容（動作状況および後述する処理レシピなど）を表示するための例えばモニタなどの表示部５と、動作指令の入力や処理レシピの編集などを行うための操作部６とが接続されている。さらに、主制御部４は、図２に示すように、例えば詳細は後述する自動マクロ検査装置などの他の検査装置７に接続された欠陥情報サーバー８と、検査する基板２の基本情報を保管する基板情報サーバー９とに接続され、各情報の受け渡しが可能とされている。
【００２３】
ここで、図２に示す欠陥情報サーバー８は、例えば自動マクロ検査装置などの他の検査装置７と接続され、検査データファイル（検査データ）１０を取得し保存する。また、この欠陥情報サーバー８は、欠陥別検査条件データベース１１と、検査者別データ１２とを有している。一方、基板情報サーバー９には、設計寸法などの基板２の基本情報が保管されている。
この欠陥情報サーバー８と基板情報サーバー９とに接続した主制御部４は、図３に示すように、演算機能を有する処理レシピ作成手段１４が備えられており、欠陥情報サーバー８にアクセスして、検査データ１０と欠陥別検査条件データベース１１と検査者別データ１２とを読出し、これらの情報を用いて外観検査装置Ａおよび検査者１３に適した検査条件を自動で算出し処理レシピを作成する。さらに、主制御部４は、処理レシピ作成手段１４によって作成した処理レシピに従い外観検査装置Ａを動作させる実行手段１５を備えている。この実行手段１５は、指令を受けて外観検査装置Ａの動作を制御する照明制御部１６と基板制御部１７とに接続されている。
【００２４】
また、主制御部４には、照明制御部１６と基板制御部１７とへの動作指令を入力する操作部６が接続され、この操作部６には、図示せぬ動作指令スイッチが設けられている他、手動で、ミラー１ｂや光源１ａの向きを変えるためのジョイスティック１８や照明光色切替スイッチ１９、光量切替スイッチ２０、照明光種（散乱光／収束光）切替スイッチ２１、基板支持部３の傾斜角度θ２や移動速度を調整するジョイスティック２２などが設けられている。
【００２５】
ここで、前述の自動マクロ検査装置７は、外観検査装置Ａと同様、基板に生じた欠陥を検知するための検査装置であり、ライン状に照射されたライン照明光の基板からの反射光または透過光をラインセンサカメラで撮像し、基板に生じた欠陥の種類や位置座標などを自動的に取得できるものである。しかし、この自動マクロ検査装置７は、検査者１３の肉眼で欠陥を観察する外観検査装置Ａと比較し、特に欠陥の種類の判別能力が劣り、例えば基板表面に付着した塵埃と傷とを判別できない場合などがある。このため、自動マクロ検査装置７では、塵埃を取り除くなど簡易な修正で製品化可能な基板か、製品化不可能な不良基板かを判別することができない場合があり、通常、確実に基板の欠陥を検出するため、自動マクロ検査装置７によって検査を行った後、検査者１３の肉眼による外観検査装置Ａでの検査が行われている。
【００２６】
ついで、図１および図４を参照し、上記の構成からなる外観検査装置Ａを用いて基板２の検査を行う方法について説明する。
【００２７】
他の検査装置７により検査が完了した段階で、検査データ１０は欠陥情報サーバー８に送られ記憶される（Ｓ４０１）。そして、例えば搬送ロボットによって外観検査装置Ａに基板２が搬送され、基板支持部３に保持された段階で、検査者１３が操作部６から基板２の識別ＩＤ（Identification）および検査者１３の識別ＩＤを入力する（Ｓ４０２）。この段階で、主制御部４は、はじめに基板情報サーバー９にアクセスし（Ｓ４０３）、基板２の基本情報の取得を行う（Ｓ４０４）。続いて、欠陥情報サーバー８にアクセスし（Ｓ４０５）、他の検査装置７から欠陥情報サーバー８に保存されている当該基板２の欠陥の種類と欠陥の位置座標の検査データ１０を読出し取得する（Ｓ４０６）。また、検査者別データ１２をも読出し取得する（Ｓ４０６）。
【００２８】
ついで、欠陥別検査条件データベース１１に問合わせ（Ｓ４０７）、取得した検査データ１０と検査者別データ１２とを予め作成したテーブルに入れることによって処理レシピ作成手段１４による演算を実行する（Ｓ４０８）。このとき、この処理レシピ作成手段１４の演算では、外観検査装置Ａにより検査者１３が確実に他の検査装置７で検出された欠陥を検知できる、例えば基板支持部３の傾斜角度θ２や照明部１から照射される光の入射角θ１、光の色や種類などの検査条件が算出される。具体的には、検査データ１０に登録された欠陥を外観検査装置Ａで観察できるように、例えば光源１ａやフィルター１ｆの種類を選定して照明光の色を欠陥に対して補色にしたり、欠陥が傷の場合には照明光を収束光とし、膜むらの場合には照明光を散乱光としたり、金属が付着している場合には光の強さを小さくするなどの検査条件が算出される。
【００２９】
この算出された検査条件に基づき、検査者１３に適した処理レシピが作成され、この処理レシピのレシピ情報が表示部５に表示される（Ｓ４０９）。ついで、実行手段１５によって、処理レシピのレシピ情報に従い検査を行う開始指令が出力される（Ｓ４１０）。これにより、外観検査装置Ａが動作を開始し、検査者１３がはじめの欠陥を観察できるように照明部１から照射される光の照射位置や色、種類、入射角θ１が調整されるとともに、基板支持部３が矢印ａ方向に揺動され、所定の傾斜角度θ２となるように調整される。この段階で、基板２の表面２ａに照射した光は、検査者１３に向けて反射しており、基板２表面２ａを目視観察する検査者１３は、表面２ａに例えば乱反射する欠陥を確実に見つけ出すことができる。この欠陥を詳細に観察することによって、その欠陥が例えば修正可能であるかなどの状況把握を行う（Ｓ４１１）。はじめの欠陥の詳細観察可能な時間が経過した段階で、外観検査装置Ａは、処理レシピに従い、順次基板２表面２ａの全ての欠陥の観察を行うことができるように動作する。全ての欠陥の観察が可能となるように動作を終えた段階で、実行手段１５から外観検査装置Ａの動作停止指令が出され、検査が完了する（Ｓ４１２）。
【００３０】
したがって、上記の外観検査装置Ａによれば、欠陥情報サーバー８に保存した他の検査装置７の検査データ（欠陥の種類、欠陥の位置座標）１０を取得し、この検査データ１０をもとに処理レシピを作成することができる。また、この処理レシピは、検査者別データ１２をも反映させて作成される。これにより、この外観検査装置Ａの処理レシピは、外観検査装置Ａに搬入した個々の基板２および検査を行う検査者１３の個人差に応じたものとすることができる。よって、検査を行う基板２毎や検査者１３毎に改めて処理レシピを作成し直す必要がない。
【００３１】
よって、上記の外観検査装置Ａによれば、検査時間の短縮を図ることが可能になるばかりか、検査者１３に処理レシピを充分に活用することが可能になるため、検査者１３の熟練度や身体的な個人差などの相違を問わず、高い精度で検査を行うことができる。
【００３２】
なお、本発明は、上記の一実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、上記の一実施形態では、外観検査装置Ａに基板２を搬送する手段として搬送ロボットを使用するものとしたが、例えば外観検査装置Ａを基板２の製造ラインに組み込むなどした場合には、製造ラインの基板搬送装置を使用して搬送してもよい。この場合には、他の検査装置７の検査データ１０を、欠陥情報サーバー８を経由することなく、外観検査装置Ａの主制御部４に直接記憶させてもよい。
【００３３】
また、外観検査装置Ａに基板２が保持された段階で、欠陥情報サーバー８にアクセスして処理レシピを作成するものとしたが、例えば欠陥情報サーバー８に他の検査装置７から検査データ１０が保存された時点で、処理レシピの作成を行ってもよい。
【００３４】
さらに、実行手段１５により、処理レシピに従い検査を開始し、基板２表面２ａの全ての欠陥の観察が完了した段階で、はじめて外観検査装置Ａの動作停止指令が出されるように説明を行ったが、処理レシピに従う外観検査装置Ａの動作は、その途中で一時停止や再開が行われてもよい。また、この場合には、操作部６に設けたジョイスティック１８、２２などによって、検査者１３の意思に従い手動で外観検査装置Ａの動作を制御するようにしてもよい。
【００３５】
また、処理レシピを作成するための検査データ１０として、欠陥の種類と欠陥の位置座標の双方を使用するものとしたが、どちらか一方もしくは他の検査データを用いて処理レシピを作成するようにしてもよい。さらに、検査データ１０は、自動マクロ検査装置７により取得するものとしたが、処理レシピを作成するための検査データ１０を提供する他の検査装置７は特に限定する必要はない。
【００３６】
また、基板情報サーバー９にアクセスして、基板２の基本情報の取得を行うものとしたが、この基本情報がなくても処理レシピの作成は可能であるため、欠陥情報サーバー８のみにアクセスして処理レシピを作成するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の一実施形態に係る外観検査装置を示した図である。
【図２】図１に示した外観検査装置と欠陥情報サーバーと基板情報サーバーと他の検査装置との関係を示した図である。
【図３】図１に示した外観検査装置の主制御部を示した図である。
【図４】図１に示した外観検査装置により検査を行う際の手順を示した図である。
【符号の説明】
【００３８】
１ 照明部
１ａ 光源
２ 基板
２ａ 基板表面
３ 基板支持部
４ 主制御部
５ 表示部
６ 操作部
７ 他の検査装置
８ 欠陥情報サーバー
９ 基板情報サーバー
１０ 検査データ（欠陥の種類、欠陥の位置座標）
１１ 欠陥別検査条件データベース
１２ 検査者別データ
１３ 検査者
１４ 処理レシピ作成手段
１５ 実行手段
１６ 照明制御部
１７ 基板制御部
Ａ 外観検査装置
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば液晶ディスプレイ装置等に使用されるＦＰＤ（Flat Panel Display）基板（基板）を検査する外観検査装置に関し、特に基板に照明光を照射しその反射光または透過光を検査者が目視観察することによって検査を行う外観検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば液晶ディスプレイ装置等に使用されるＦＰＤ基板（以下、基板という）は、基板表面に照明光を照射し、その反射光や透過光を検査者が目視観察し、異常な反射光または透過光を検知することによって基板表面に塗布されたレジストの膜むらやピンホールなどの欠陥、塵埃付着の有無など（以下、欠陥という）が確認されている。この種の検査には、基板に照明光を照射するための照明部や光の入射角を可変するよう揺動可能に基板を保持する基板支持部などを備えた、いわゆる外観検査装置と称される検査装置が用いられている。
【０００３】
一般に、外観検査装置には、検査者が基板表面の欠陥を確実に検知できるように、例えば、基板支持部の揺動速度を調整する機構や、照明部に照射する光の照射位置や入射角、強さ、色、光種などを調整する機構などが備えられている。例えば、基板表面に生じている欠陥の種類によっては光の反射率が異なり、光を散乱光にして照射すると膜むらを検知しやすくなり、収束光にすると付着した塵埃や傷などが検知しやすくなる。
【０００４】
また、外観検査装置には、効率的に検査を行うことや検査者の熟練度により検査精度の差異を極力なくすことを目的として、標準的なモデル基板の処理レシピが備えられている。この処理レシピは、基板支持部の揺動速度や光の照射状態などの検査条件を予め定め、レシピ情報に基づき動作されることにより、検査者が基板表面の欠陥を検知しやすい状態に外観検査装置を導くものとされている。これにより、例えば検査時間の短縮を図るとともに、熟練度の異なる検査者に対しても同程度の検査精度で検査を行うことを可能にする。
【０００５】
なお、例えば特許文献１には、作業の効率化を図り、習熟度の異なる操作者に同程度の取扱性を付与することを目的とした処理レシピを備える基板処理装置が示されている。
【特許文献１】特開平９−１３９３３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、処理レシピが備えられている場合においても、標準的なモデル基板の処理レシピであるため、個々の基板の様態に充分に対応できない場合があり、この場合には、処理レシピを作成し直す必要があった。処理レシピの作成を必要とした場合には、検査時間の短縮を図るための処理レシピの作成に多大な時間と習熟を要するという問題があった。このため、事前に登録された処理レシピを使用せず、検査者が外観検査装置を手動操作して検査を行うことも多く、熟練度の異なる検査者によって検査精度が異なってしまうという問題があった。
【０００７】
また、標準的な処理レシピでは、検査者の個人的な差異に対応することができないという問題があった。つまり、例えば身長の異なる検査者では、基板の反射光を検知する眼の高さが異なるため、ある検査者には検知できる欠陥が他の検査者では検知できないという問題が生じる。このため、検査者の個人的な差異によって検査精度が異なる場合があるという問題があった。
【０００８】
本発明は、上記事情を鑑み、個々の基板の様態や検査者の個人的な差異に対応可能な処理レシピを備える外観検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達するために、この発明は以下の手段を提供している。
【００１０】
本発明では、薄板状の基板に光を照射する照明部と、前記基板を保持した状態で揺動可能とされた基板支持部とを備える外観検査装置において、前記基板を前記外観検査装置で検査する事前に、他の検査装置によって取得された該基板の検査データを取得し、該検査データを予め作成したテーブルに入れることによって検査者が目視観察しやすい検査条件を自動で算出して処理レシピを作成する処理レシピ作成手段を備えるとともに、該処理レシピ作成手段によって作成された前記処理レシピに従い前記外観検査装置を動作させる実行手段を備えることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明において、前記他の検査装置によって取得され、前記処理レシピの作成に用いられる前記検査データは、前記基板の欠陥の種類であることが好ましい。
【００１２】
さらに、本発明において、前記他の検査装置によって取得され、前記処理レシピの作成に用いられる前記検査データは、前記基板の欠陥の位置座標であることが好ましい。
【００１３】
また、本発明において、前記処理レシピには、前記検査者毎の検査条件が反映されていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の外観検査装置によれば、外観検査装置で検査を行う前に、他の検査装置の検査データを反映させて基板の処理レシピを作成することができる。このため、改めて基板に応じた処理レシピを作成する必要がなく、検査時間の短縮を図ることができる。
【００１５】
また、処理レシピが個々の基板の様態に応じているため、処理レシピを充分に活用させることができ、熟練度の異なる検査者が検査を行った場合においても同程度の検査精度を確保することができる。
【００１６】
さらに、本発明の外観検査装置によれば、他の検査装置から欠陥の種類の検査データが取得されることによって、個々の基板に対して検査者が欠陥を検知可能な光の入射角や光種、基板支持部の傾斜角度などを算出することができる。また、検査データが欠陥の位置座標であることによって光の照射位置や検査者が注視すべき位置などを特定することができる。これにより、検査時間を短縮することができるとともに、検査精度を向上させることが可能となる。
【００１７】
また、本発明の外観検査装置によれば、処理レシピに検査者毎の検査条件が反映されていることで、検査者の個人差に合った処理レシピを作成することができ、検査者毎で検査精度が異なることを防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、図１から図４を参照し、本発明の一実施形態に係る外観検査装置について説明する。
【００１９】
本発明の一実施形態は、例えば液晶ディスプレイ装置等に使用されるＦＰＤ基板（以下、基板という）の検査を行う外観検査装置に関するものである。この外観検査装置Ａは、図１に示すように、光源１ａと、光源から出射される光を偏向するミラー１ｂと、ミラー１ｂにより偏向された光を収束し、収束した光を基板２の表面２ａに照射させる例えばフレネルレンズなどの収束レンズ１ｃとからなる照明部１と、基板２を保持した状態で揺動可能とされた基板支持部３とが主な構成要素とされている。
【００２０】
照明部１は、例えばミラー１ｂが回転軸１ｄに接続され、回転軸１ｄが例えばモータなどの駆動手段１ｅに連結されることにより、光源１ａから出射した光の方向を可変とするように構成されている。これにより、収束レンズ１ｃによって収束され基板２表面２ａに照射される光の光軸Ｏ１を変化させることができ、基板２に照射される照明光の照射位置や入射角θ１を変えることができる。よって、この外観検査装置Ａでは、例えば大きな基板２を検査する場合に、基板２の表面２ａを分割し、それぞれの分割範囲に照明光を照射させ順次検査を行うことができる。また、光源１ａには、例えばナトリウムランプやメタルハライドランプなどが具備され、且つ例えばモータなどの駆動手段が備えられていることによって、光の色や向きなどを変化させることが可能とされている。さらに、例えば光源１ａとミラー１ｂとの間に、フィルター１ｆが介在され光の強さや光の色を変えることができる。
【００２１】
基板支持部３は、矩形板状に形成されており、下端３ａ側の一端辺３ｂが基台３ｃに支持された回転軸３ｄに連結され、例えばモータなどの駆動手段３ｅによって、回転軸３ｄの軸線Ｏ２中心に揺動可能とされている。
【００２２】
この外観検査装置Ａには、上記の照明部１や基板支持部３の動作を制御する例えばコンピュータなどの主制御部４が接続されている。また、この主制御部４には、制御内容（動作状況および後述する処理レシピなど）を表示するための例えばモニタなどの表示部５と、動作指令の入力や処理レシピの編集などを行うための操作部６とが接続されている。さらに、主制御部４は、図２に示すように、例えば詳細は後述する自動マクロ検査装置などの他の検査装置７に接続された欠陥情報サーバー８と、検査する基板２の基本情報を保管する基板情報サーバー９とに接続され、各情報の受け渡しが可能とされている。
【００２３】
ここで、図２に示す欠陥情報サーバー８は、例えば自動マクロ検査装置などの他の検査装置７と接続され、検査データファイル（検査データ）１０を取得し保存する。また、この欠陥情報サーバー８は、欠陥別検査条件データベース１１と、検査者別データ１２とを有している。一方、基板情報サーバー９には、設計寸法などの基板２の基本情報が保管されている。
この欠陥情報サーバー８と基板情報サーバー９とに接続した主制御部４は、図３に示すように、演算機能を有する処理レシピ作成手段１４が備えられており、欠陥情報サーバー８にアクセスして、検査データ１０と欠陥別検査条件データベース１１と検査者別データ１２とを読出し、これらの情報を用いて外観検査装置Ａおよび検査者１３に適した検査条件を自動で算出し処理レシピを作成する。さらに、主制御部４は、処理レシピ作成手段１４によって作成した処理レシピに従い外観検査装置Ａを動作させる実行手段１５を備えている。この実行手段１５は、指令を受けて外観検査装置Ａの動作を制御する照明制御部１６と基板制御部１７とに接続されている。
【００２４】
また、主制御部４には、照明制御部１６と基板制御部１７とへの動作指令を入力する操作部６が接続され、この操作部６には、図示せぬ動作指令スイッチが設けられている他、手動で、ミラー１ｂや光源１ａの向きを変えるためのジョイスティック１８や照明光色切替スイッチ１９、光量切替スイッチ２０、照明光種（散乱光／収束光）切替スイッチ２１、基板支持部３の傾斜角度θ２や移動速度を調整するジョイスティック２２などが設けられている。
【００２５】
ここで、前述の自動マクロ検査装置７は、外観検査装置Ａと同様、基板に生じた欠陥を検知するための検査装置であり、ライン状に照射されたライン照明光の基板からの反射光または透過光をラインセンサカメラで撮像し、基板に生じた欠陥の種類や位置座標などを自動的に取得できるものである。しかし、この自動マクロ検査装置７は、検査者１３の肉眼で欠陥を観察する外観検査装置Ａと比較し、特に欠陥の種類の判別能力が劣り、例えば基板表面に付着した塵埃と傷とを判別できない場合などがある。このため、自動マクロ検査装置７では、塵埃を取り除くなど簡易な修正で製品化可能な基板か、製品化不可能な不良基板かを判別することができない場合があり、通常、確実に基板の欠陥を検出するため、自動マクロ検査装置７によって検査を行った後、検査者１３の肉眼による外観検査装置Ａでの検査が行われている。
【００２６】
ついで、図１および図４を参照し、上記の構成からなる外観検査装置Ａを用いて基板２の検査を行う方法について説明する。
【００２７】
他の検査装置７により検査が完了した段階で、検査データ１０は欠陥情報サーバー８に送られ記憶される（Ｓ４０１）。そして、例えば搬送ロボットによって外観検査装置Ａに基板２が搬送され、基板支持部３に保持された段階で、検査者１３が操作部６から基板２の識別ＩＤ（Identification）および検査者１３の識別ＩＤを入力する（Ｓ４０２）。この段階で、主制御部４は、はじめに基板情報サーバー９にアクセスし（Ｓ４０３）、基板２の基本情報の取得を行う（Ｓ４０４）。続いて、欠陥情報サーバー８にアクセスし（Ｓ４０５）、他の検査装置７から欠陥情報サーバー８に保存されている当該基板２の欠陥の種類と欠陥の位置座標の検査データ１０を読出し取得する（Ｓ４０６）。また、検査者別データ１２をも読出し取得する（Ｓ４０６）。
【００２８】
ついで、欠陥別検査条件データベース１１に問合わせ（Ｓ４０７）、取得した検査データ１０と検査者別データ１２とを予め作成したテーブルに入れることによって処理レシピ作成手段１４による演算を実行する（Ｓ４０８）。このとき、この処理レシピ作成手段１４の演算では、外観検査装置Ａにより検査者１３が確実に他の検査装置７で検出された欠陥を検知できる、例えば基板支持部３の傾斜角度θ２や照明部１から照射される光の入射角θ１、光の色や種類などの検査条件が算出される。具体的には、検査データ１０に登録された欠陥を外観検査装置Ａで観察できるように、例えば光源１ａやフィルター１ｆの種類を選定して照明光の色を欠陥に対して補色にしたり、欠陥が傷の場合には照明光を収束光とし、膜むらの場合には照明光を散乱光としたり、金属が付着している場合には光の強さを小さくするなどの検査条件が算出される。
【００２９】
この算出された検査条件に基づき、検査者１３に適した処理レシピが作成され、この処理レシピのレシピ情報が表示部５に表示される（Ｓ４０９）。ついで、実行手段１５によって、処理レシピのレシピ情報に従い検査を行う開始指令が出力される（Ｓ４１０）。これにより、外観検査装置Ａが動作を開始し、検査者１３がはじめの欠陥を観察できるように照明部１から照射される光の照射位置や色、種類、入射角θ１が調整されるとともに、基板支持部３が矢印ａ方向に揺動され、所定の傾斜角度θ２となるように調整される。この段階で、基板２の表面２ａに照射した光は、検査者１３に向けて反射しており、基板２表面２ａを目視観察する検査者１３は、表面２ａに例えば乱反射する欠陥を確実に見つけ出すことができる。この欠陥を詳細に観察することによって、その欠陥が例えば修正可能であるかなどの状況把握を行う（Ｓ４１１）。はじめの欠陥の詳細観察可能な時間が経過した段階で、外観検査装置Ａは、処理レシピに従い、順次基板２表面２ａの全ての欠陥の観察を行うことができるように動作する。全ての欠陥の観察が可能となるように動作を終えた段階で、実行手段１５から外観検査装置Ａの動作停止指令が出され、検査が完了する（Ｓ４１２）。
【００３０】
したがって、上記の外観検査装置Ａによれば、欠陥情報サーバー８に保存した他の検査装置７の検査データ（欠陥の種類、欠陥の位置座標）１０を取得し、この検査データ１０をもとに処理レシピを作成することができる。また、この処理レシピは、検査者別データ１２をも反映させて作成される。これにより、この外観検査装置Ａの処理レシピは、外観検査装置Ａに搬入した個々の基板２および検査を行う検査者１３の個人差に応じたものとすることができる。よって、検査を行う基板２毎や検査者１３毎に改めて処理レシピを作成し直す必要がない。
【００３１】
よって、上記の外観検査装置Ａによれば、検査時間の短縮を図ることが可能になるばかりか、検査者１３に処理レシピを充分に活用することが可能になるため、検査者１３の熟練度や身体的な個人差などの相違を問わず、高い精度で検査を行うことができる。
【００３２】
なお、本発明は、上記の一実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、上記の一実施形態では、外観検査装置Ａに基板２を搬送する手段として搬送ロボットを使用するものとしたが、例えば外観検査装置Ａを基板２の製造ラインに組み込むなどした場合には、製造ラインの基板搬送装置を使用して搬送してもよい。この場合には、他の検査装置７の検査データ１０を、欠陥情報サーバー８を経由することなく、外観検査装置Ａの主制御部４に直接記憶させてもよい。
【００３３】
また、外観検査装置Ａに基板２が保持された段階で、欠陥情報サーバー８にアクセスして処理レシピを作成するものとしたが、例えば欠陥情報サーバー８に他の検査装置７から検査データ１０が保存された時点で、処理レシピの作成を行ってもよい。
【００３４】
さらに、実行手段１５により、処理レシピに従い検査を開始し、基板２表面２ａの全ての欠陥の観察が完了した段階で、はじめて外観検査装置Ａの動作停止指令が出されるように説明を行ったが、処理レシピに従う外観検査装置Ａの動作は、その途中で一時停止や再開が行われてもよい。また、この場合には、操作部６に設けたジョイスティック１８、２２などによって、検査者１３の意思に従い手動で外観検査装置Ａの動作を制御するようにしてもよい。
【００３５】
また、処理レシピを作成するための検査データ１０として、欠陥の種類と欠陥の位置座標の双方を使用するものとしたが、どちらか一方もしくは他の検査データを用いて処理レシピを作成するようにしてもよい。さらに、検査データ１０は、自動マクロ検査装置７により取得するものとしたが、処理レシピを作成するための検査データ１０を提供する他の検査装置７は特に限定する必要はない。
【００３６】
また、基板情報サーバー９にアクセスして、基板２の基本情報の取得を行うものとしたが、この基本情報がなくても処理レシピの作成は可能であるため、欠陥情報サーバー８のみにアクセスして処理レシピを作成するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の一実施形態に係る外観検査装置を示した図である。
【図２】図１に示した外観検査装置と欠陥情報サーバーと基板情報サーバーと他の検査装置との関係を示した図である。
【図３】図１に示した外観検査装置の主制御部を示した図である。
【図４】図１に示した外観検査装置により検査を行う際の手順を示した図である。
【符号の説明】
【００３８】
１ 照明部
１ａ 光源
２ 基板
２ａ 基板表面
３ 基板支持部
４ 主制御部
５ 表示部
６ 操作部
７ 他の検査装置
８ 欠陥情報サーバー
９ 基板情報サーバー
１０ 検査データ（欠陥の種類、欠陥の位置座標）
１１ 欠陥別検査条件データベース
１２ 検査者別データ
１３ 検査者
１４ 処理レシピ作成手段
１５ 実行手段
１６ 照明制御部
１７ 基板制御部
Ａ 外観検査装置
【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄板状の基板に光を照射する照明部と、前記基板を保持した状態で揺動可能とされた基板支持部とを備える外観検査装置において、
前記基板を前記外観検査装置で検査する事前に、他の検査装置によって取得された該基板の検査データを取得し、該検査データを予め作成したテーブルに入れることによって検査者が目視観察しやすい検査条件を自動で算出して処理レシピを作成する処理レシピ作成手段を備えるとともに、該処理レシピ作成手段によって作成された前記処理レシピに従い前記外観検査装置を動作させる実行手段を備えることを特徴とする外観検査装置。
【請求項２】
請求項１記載の外観検査装置において、
前記他の検査装置によって取得され、前記処理レシピの作成に用いられる前記検査データは、前記基板の欠陥の種類であることを特徴とする外観検査装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２記載の外観検査装置において、
前記他の検査装置によって取得され、前記処理レシピの作成に用いられる前記検査データは、前記基板の欠陥の位置座標であることを特徴とする外観検査装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の外観検査装置において、
前記処理レシピには、前記検査者毎の検査条件が反映されていることを特徴とする外観検査装置。
【請求項１】
薄板状の基板に光を照射する照明部と、前記基板を保持した状態で揺動可能とされた基板支持部とを備える外観検査装置において、
前記基板を前記外観検査装置で検査する事前に、他の検査装置によって取得された該基板の検査データを取得し、該検査データを予め作成したテーブルに入れることによって検査者が目視観察しやすい検査条件を自動で算出して処理レシピを作成する処理レシピ作成手段を備えるとともに、該処理レシピ作成手段によって作成された前記処理レシピに従い前記外観検査装置を動作させる実行手段を備えることを特徴とする外観検査装置。
【請求項２】
請求項１記載の外観検査装置において、
前記他の検査装置によって取得され、前記処理レシピの作成に用いられる前記検査データは、前記基板の欠陥の種類であることを特徴とする外観検査装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２記載の外観検査装置において、
前記他の検査装置によって取得され、前記処理レシピの作成に用いられる前記検査データは、前記基板の欠陥の位置座標であることを特徴とする外観検査装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の外観検査装置において、
前記処理レシピには、前記検査者毎の検査条件が反映されていることを特徴とする外観検査装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図２】
【図３】
【図４】
【公開番号】特開２００８−１４６４７（Ｐ２００８−１４６４７Ａ）
【公開日】平成２０年１月２４日（２００８．１．２４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−１８３１１３（Ｐ２００６−１８３１１３）
【出願日】平成１８年７月３日（２００６．７．３）
【出願人】（００００００３７６）オリンパス株式会社 (11,466)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年１月２４日（２００８．１．２４）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年７月３日（２００６．７．３）
【出願人】（００００００３７６）オリンパス株式会社 (11,466)
【Ｆターム（参考）】
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