外観検査装置
【課題】光の干渉による影響を大幅に抑制し、検査対象物の外観検査を極めて高精度に行うことを可能とすると共に、高い検査精度を確保しながら検査処理能力を向上させることのできる外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置１０は、透明テーブルＴと、素体供給ユニットＡ１０と、外・内周側第１姿勢矯正ユニットＢ１０，Ｂ１１０と、外・内周側第２姿勢矯正ユニットＣ１０，Ｃ１１０と、外・内周側第１撮像ユニットＤ１０，Ｄ１１０と、外・内周側第２撮像ユニットＥ１０，Ｅ１１０と、外・内周側第３撮像ユニットＦ１０，Ｆ１１０と、外・内周側第４撮像ユニットＧ１０，Ｇ１１０と、外・内周側第５撮像ユニットＨ１０，Ｈ１１０と、外・内周側第６撮像ユニットＩ１０，Ｉ１１０と、外・内周側良品回収ユニットＪ１０，Ｊ１１０と、外・内周側不良品回収ユニットＫ１０，Ｋ１１０と、制御部１２とを備える。
【解決手段】外観検査装置１０は、透明テーブルＴと、素体供給ユニットＡ１０と、外・内周側第１姿勢矯正ユニットＢ１０，Ｂ１１０と、外・内周側第２姿勢矯正ユニットＣ１０，Ｃ１１０と、外・内周側第１撮像ユニットＤ１０，Ｄ１１０と、外・内周側第２撮像ユニットＥ１０，Ｅ１１０と、外・内周側第３撮像ユニットＦ１０，Ｆ１１０と、外・内周側第４撮像ユニットＧ１０，Ｇ１１０と、外・内周側第５撮像ユニットＨ１０，Ｈ１１０と、外・内周側第６撮像ユニットＩ１０，Ｉ１１０と、外・内周側良品回収ユニットＪ１０，Ｊ１１０と、外・内周側不良品回収ユニットＫ１０，Ｋ１１０と、制御部１２とを備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、外観検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、チップコンデンサやチップインダクタ等の略直方体形状の電子部品の外観を検査する外観検査装置が知られている（例えば、下記特許文献１参照）。この外観検査装置は、透明テーブルと、上下面撮像ブロックと、側面撮像ブロックと、端面撮像ブロックとを備えている。
【０００３】
上下面撮像ブロックは、透明テーブルを間に置くように配置された一対の第１撮像手段（カメラ及び照明部）を有しており、透明テーブル上の電子部品の上下面を同時に撮像する。側面撮像ブロックは、一対の第２撮像手段（カメラ及び照明部）及び２つのプリズムを有し、この２つのプリズムによって２つのカメラの光軸が互いに対向するようになっており、透明テーブル上の電子部品の両側面を同時に撮像する。端面撮像ブロックは、一対のカメラを有し、この一対のカメラが、電子部品の各端面に向かうように、透明テーブルに対して所定の角度傾いた状態で配置されており、透明テーブル上の電子部品の両端面を同時に撮像する。
【０００４】
この外観検査装置では、透明テーブルによって電子部品を搬送しているため、電子部品の外表面に向かういずれの方向からでも電子部品を視認することができ、電子部品の撮像にあたって電子部品を持ち替える必要がない。そのため、高速に効率よく電子部品の外観検査が行えるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−１３９５１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記特許文献１に記載されたような従来の外観検査装置では、電子部品の上下面及び両側面をそれぞれ同時に撮像しているため、一方の撮像手段の照明部からの光が他方の撮像手段のカメラに入射してしまうことがあった。そのため、一方の撮像手段の照明部からの光と、他方の撮像手段の照明部の光が電子部品において反射した光とが、同時に他方の撮像手段のカメラに入射し、それぞれの光が互いに干渉し合い、欠陥を誤認識してしまう虞があった。また、一対の撮像手段の照明部は、電子部品の撮像面を挟んで相対する方向から、狭い投光角度で、同時に撮像面の照明を行うことから、電子部品の撮像面に陰影が生じ、欠陥の検出精度が低下してしまうことがあった。
【０００７】
更に、このような外観検査装置においては、装置を大型化することなしに検査処理能力を高めることが求められているが、単に高速化しただけでは、電子部品の表面に存在する凹凸形状による陰影を欠陥と誤認識してしまうように、検査精度が低下してしまうという問題が発生する。
【０００８】
そこで、本発明は、光の干渉による影響を大幅に抑制し、検査対象物の外観検査を極めて高精度に行うことを可能とすると共に、高い検査精度を確保しながら検査処理能力を向上させることのできる外観検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る外観検査装置は、第１側面、第２側面、第３側面、第４側面、第５側面及び第６側面を有し、第１側面及び第３側面は、第２側面と第４側面とを連結し且つ第５側面と第６側面とを連結すると共に互いに対向しており、第２側面及び第４側面は、第１側面と第３側面とを連結し且つ第５側面と第６側面とを連結すると共に互いに対向しており、第５側面及び第６側面は、第１側面と第３側面とを連結し且つ第２側面と第４側面とを連結すると共に互いに対向している、略直方体形状の検査対象物の外観検査を行うための外観検査装置であって、自身の中心軸を中心として一定方向に回転可能な略円形状の透明テーブルと、第３側面が透明テーブルに当接すると共に第４側面が中心軸側に向くように、検査対象物を透明テーブルの表面における外周側の周縁部に配置すると共に、検査対象物を透明テーブルの表面における内周側の周縁部に配置する配置手段と、透明テーブルの上方から外周側検査対象物の第１側面を撮像する外周側第１撮像手段及び透明テーブルの上方から内周側検査対象物の第１側面を撮像する内周側第１撮像手段と、透明テーブルの径方向における外側から外周側検査対象物の第２側面を撮像する外周側第２撮像手段及び透明テーブルの径方向における外側から内周側検査対象物の第２側面を撮像する内周側第２撮像手段と、透明テーブルを通して外周側検査対象物の第３側面を撮像する外周側第３撮像手段及び透明テーブルを通して内周側検査対象物の第３側面を撮像する内周側第３撮像手段と、透明テーブルの径方向における内側から外周側検査対象物の第４側面を撮像する外周側第４撮像手段及び透明テーブルの径方向における内側から内周側検査対象物の第４側面を撮像する内周側第４撮像手段と、透明テーブルの回転方向における前方側から外周側検査対象物の第５側面を撮像する外周側第５撮像手段及び透明テーブルの回転方向における前方側から内周側検査対象物の第５側面を撮像する外周側第５撮像手段と、透明テーブルの回転方向における後方側から外周側検査対象物の第６側面を撮像する外周側第６撮像手段及び透明テーブルの回転方向における後方側から内周側検査対象物の第６側面を撮像する内周側第６撮像手段とを備え、外周側第１撮像手段及び内周側第１撮像手段は、外周側検査対象物及び内周側検査対象物の第１側面の撮像をそれぞれ行う第１撮像部と、外周側検査対象物及び内周側検査対象物の第１側面の照明をそれぞれ行う第１照明部とを有し、第１照明部は、一対の開口が設けられており、該一対の開口のうち一方の開口から他方の開口に向かう側に窪む凹曲面状とされると共に第１撮像部の撮像軸線を囲む内壁面を含む第１保持部材と、第１撮像部の撮像軸線を囲むように第１保持部材の内壁面において保持され、第１保持部材の一方の開口側に向けて光を照射する複数の第１投光部材とを含み、第１撮像部よりも透明テーブル上に位置する外周側検査対象物及び内周側検査対象物寄りとなると共に、第１保持部材の一方の開口が透明テーブル上に位置する外周側検査対象物及び内周側検査対象物の第１側面に向かうようにそれぞれ配置され、外周側第２撮像手段及び内周側第２撮像手段は、外周側検査対象物及び内周側検査対象物の第２側面の撮像をそれぞれ行う第２撮像部と、外周側検査対象物及び内周側検査対象物の第２側面の照明をそれぞれ行う一対の第２照明部とをそれぞれ有し、一対の第２照明部は、半筒状を呈しており、基端側から先端側に向かうにつれて拡径された曲面状の内壁面を含む第２保持部材と、第２保持部材の内壁面において保持され、第２保持部材の先端側に向けて光を照射する複数の第２投光部材とをそれぞれ含み、第２撮像部よりも透明テーブル上に位置する外周側検査対象物及び内周側検査対象物寄りにそれぞれ配置されていると共に、第２保持部材の先端が透明テーブル上に位置する外周側検査対象物及び内周側検査対象物の第２側面に向かい、互いの内壁面が向かい合い且つ中心軸に沿って透明テーブルの表面を含む仮想平面、及び透明テーブルを間に置くようにそれぞれ配置されており、外周側第３撮像手段及び内周側第３撮像手段は、外周側検査対象物及び内周側検査対象物の第３側面の撮像をそれぞれ行う第３撮像部と、外周側検査対象物及び内周側検査対象物の第３側面の照明をそれぞれ行う第３照明部とを有し、第３照明部は、一対の開口が設けられており、該一対の開口のうち一方の開口から他方の開口に向かう側に窪む凹曲面状とされると共に第３撮像部の撮像軸線を囲む内壁面を含む第３保持部材と、第３撮像部の撮像軸線を囲むように第３保持部材の内壁面において保持され、第３保持部材の一方の開口側に向けて光を照射する複数の第３投光部材とを含み、第３撮像部よりも透明テーブル上に位置する外周側検査対象物及び内周側検査対象物寄りとなると共に、第３保持部材の一方の開口が透明テーブル上に位置する外周側検査対象物及び内周側検査対象物の第３側面に向かうようにそれぞれ配置され、外周側第４撮像手段及び内周側第４撮像手段は、外周側検査対象物及び内周側検査対象物の第４側面の撮像をそれぞれ行う第４撮像部と、外周側検査対象物及び内周側検査対象物の第４側面の照明をそれぞれ行う一対の第４照明部とを有し、一対の第４照明部は、半筒状を呈しており、基端側から先端側に向かうにつれて拡径された曲面状の内壁面を含む第４保持部材と、第４保持部材の内壁面において保持され、第４保持部材の前端側に向けて光を照射する複数の第４投光部材とをそれぞれ含み、第４撮像部よりも透明テーブル上に位置する外周側検査対象物及び内周側検査対象物寄りにそれぞれ配置されていると共に、第４保持部材の先端が透明テーブル上に位置する外周側検査対象物及び内周側検査対象物の第４側面に向かい、互いの内壁面が向かい合い且つ中心軸に沿って透明テーブルを間に置くようにそれぞれ配置されており、外周側第５撮像手段及び内周側第５撮像手段は、外周側検査対象物及び内周側検査対象物の第５側面の撮像をそれぞれ行う第５撮像部と、外周側検査対象物及び内周側検査対象物の第５側面の照明をそれぞれ行う一対の第５照明部とを有し、一対の第５照明部は、半筒状を呈しており、基端側から先端側に向かうにつれて拡径された曲面状の内壁面を含む第５保持部材と、第５保持部材の内壁面において保持され、第５保持部材の先端側に向けて光を照射する複数の第５投光部材とをそれぞれ含み、第５撮像部よりも透明テーブル上に位置する外周側検査対象物及び内周側検査対象物寄りにそれぞれ配置されていると共に、第５保持部材の先端が透明テーブル上に位置する外周側検査対象物及び内周側検査対象物の第５側面に向かい、互いの内壁面が向かい合い且つ中心軸に沿って透明テーブルを間に置くようにそれぞれ配置されており、外周側第６撮像手段及び内周側第６撮像手段は、外周側検査対象物及び内周側検査対象物の第６側面の撮像をそれぞれ行う第６撮像部と、外周側検査対象物及び内周側検査対象物の第６側面の照明をそれぞれ行う一対の第６照明部とを有し、一対の第６照明部は、半筒状を呈しており、基端側から先端側に向かうにつれて拡径された曲面状の内壁面を含む第６保持部材と、第６保持部材の内壁面において保持され、第６保持部材の先端側に向けて光を照射する複数の第６投光部材とをそれぞれ含み、第６撮像部よりも透明テーブル上に位置する外周側検査対象物及び内周側検査対象物寄りにそれぞれ配置されていると共に、第６保持部材の先端が透明テーブル上に位置する外周側検査対象物及び内周側検査対象物の第６側面に向かい、互いの内壁面が向かい合い且つ中心軸に沿って透明テーブルを間に置くようにそれぞれ配置されており、外周側第１撮像手段、外周側第２撮像手段、外周側第３撮像手段、外周側第４撮像手段、外周側第５撮像手段及び外周側第６撮像手段は、それぞれが互いに異なる位置となるように、透明テーブルの周縁部に沿って並んで配置され、透明テーブルの回転方向の順に、外周側第５撮像手段及び外周側第６撮像手段が隣り合うように並んで配置され、外周側第４撮像手段は、外周側第５撮像手段又は外周側第６撮像手段と隣り合うように配置され、外周側第１撮像手段、外周側第２撮像手段及び外周側第３撮像手段は、外周側第４撮像手段に対して外周側第５撮像手段及び外周側第６撮像手段とは反対側において、外周側第１撮像手段及び外周側第３撮像手段が外周側第２撮像手段を間に置くと共に互いに隣り合うように並んで配置されており、内周側第１撮像手段、内周側第２撮像手段、内周側第３撮像手段、内周側第４撮像手段、内周側第５撮像手段及び内周側第６撮像手段は、それぞれが互いに異なる位置となるように、外周側第１撮像手段、外周側第２撮像手段、外周側第３撮像手段、外周側第４撮像手段、外周側第５撮像手段及び外周側第６撮像手段よりも内周側において、透明テーブルの周縁部に沿って並んで配置され、透明テーブルの回転方向の順に、内周側第５撮像手段及び内周側第６撮像手段が隣り合うように並んで配置され、内周側第４撮像手段は、内周側第５撮像手段又は内周側第６撮像手段と隣り合うように配置され、内周側第１撮像手段、内周側第２撮像手段及び内周側第３撮像手段は、内周側第４撮像手段に対して内周側第５撮像手段及び内周側第６撮像手段とは反対側において、内周側第１撮像手段及び内周側第３撮像手段が内周側第２撮像手段を間に置くと共に互いに隣り合うように並んで配置されていることを特徴とする。
【００１０】
近年、検査対象物である電子部品等はより一層の小型化が要求されている。ところが、検査対象物が小さくなればなるほど、検査対象物の表面の凹凸によって生じる陰影の割合が相対的に多くなってしまい、欠陥によって生じる陰影の識別が困難となる傾向にある。しかしながら、本発明に係る外観検査装置では、外周側・内周側第１撮像手段及び外周側・内周側第３撮像手段がそれぞれ有する照明部が、一対の開口のうち一方の開口から他方の開口に向かう側に窪む凹曲面状（いわゆるドーム状）とされると共に撮像軸線を囲む内壁面を含む保持部材と、撮像軸線を囲むように保持部材の内壁面において保持され、保持部材の一方の開口側に向けて光を照射する複数の投光部材とを含んでいる。また、外周側・内周側第２撮像手段、外周側・内周側第４撮像手段、外周側・内周側第５撮像手段及び外周側・内周側第６撮像手段がそれぞれ有する一対の照明部が、半筒状を呈しており、基端側から先端側に向かうにつれて拡径された曲面状の内壁面を含む保持部材と、保持部材の内壁面において保持され、保持部材の先端側に向けて光を照射する複数の投光部材とをそれぞれ含み、保持部材の先端が透明テーブル上に位置する検査対象物の側面に向かうと共に、互いの内壁面が向かい合うように配置されている。そのため、検査対象物の各側面には様々な方向（角度）から投光部材による光が照射されることとなる。その結果、検査対象物の表面の凹凸によって生じる陰影の影響が低減されるので、検査対象物の外観検査を極めて高精度に行うことが可能となる。更に、本発明に係る外観検査装置では、外周側・内周側第１撮像手段、外周側・内周側第２撮像手段、外周側・内周側第３撮像手段、外周側・内周側第４撮像手段、外周側・内周側第５撮像手段及び外周側・内周側第６撮像手段が、それぞれが互いに異なる位置となるように、透明テーブルの周縁部に沿って並んで配置されている。そのため、上記特許文献１に記載されているような従来の外観検査装置のように、電子部品の異なる面を撮像するために各々設けられた複数の撮像手段が、透明テーブル上の検査対象物の対向する一対の側面を同時に撮像することがない。その結果、光の干渉による影響を大幅に抑制し、検査対象物の外観検査を極めて高精度に行うことが可能となっている。
【００１１】
更に、透明テーブルの周縁部においては、外周側及び内周側の両方について、透明テーブルの回転方向の順に、外周側・内周側第５撮像手段及び外周側・内周側第６撮像手段が隣り合うように並んで配置され、外周側・内周側第４撮像手段は、外周側・内周側第５撮像手段又は外周側・内周側第６撮像手段と隣り合うように、透明テーブルの周縁部に配置され、外周側・内周側第１撮像手段、外周側・内周側第２撮像手段及び外周側・内周側第３撮像手段は、外周側・内周側第４撮像手段に対して外周側・内周側第５撮像手段及び外周側・内周側第６撮像手段とは反対側において、外周側・内周側第１撮像手段及び外周側・内周側第３撮像手段が外周側・内周側第２撮像手段を間に置くと共に互いに隣り合うように、透明テーブルの周縁部に並んで配置されている。このように、透明テーブルの回転方向の順に、外周側・内周側第５撮像手段及び外周側・内周側第６撮像手段が隣り合うように並んで透明テーブルの周縁部に配置されることから、外周側・内周側第５撮像手段の照明部と外周側・内周側第６撮像手段の照明部とがそれぞれ互いに背中合わせとなる。そのため、外周側・内周側第５撮像手段及び外周側・内周側第６撮像手段が隣り合うように並んでいても、外周側・内周側第５撮像手段及び外周側・内周側第６撮像手段のうち一方の撮像手段における照明部からの光が他方の撮像手段における撮像部に入射し難くなっている。
【００１２】
また、外周側・内周側第４撮像手段が、外周側・内周側第５撮像手段又は外周側・内周側第６撮像手段と隣り合うように、透明テーブルの周縁部に配置されている。そのため、外周側・内周側第５撮像手段の照明部又は外周側・内周側第６撮像手段の照明部からの光が主として透明テーブルの外周の接線方向に向かい、外周側・内周側第４撮像手段の撮像部に入射し難くなっていると共に、外周側・内周側第４撮像手段の照明部からの光が主として透明テーブルの径方向に向かい、外周側・内周側第５撮像手段の撮像部又は外周側・内周側第６撮像手段の撮像部に入射し難くなっている。
【００１３】
更に、外周側・内周側第４撮像手段に対して外周側・内周側第５撮像手段及び外周側・内周側第６撮像手段とは反対側において、外周側・内周側第１撮像手段及び外周側・内周側第３撮像手段が外周側・内周側第２撮像手段を間に置くと共に互いに隣り合うように、外周側・内周側第１撮像手段、外周側・内周側第２撮像手段及び外周側・内周側第３撮像手段が透明テーブルの周縁部に並んで配置されている。そのため、外周側・内周側第１撮像手段、外周側・内周側第２撮像手段、外周側・内周側第３撮像手段及び外周側・内周側第４撮像手段のうち一の撮像手段における照明部による照明方向と当該一の撮像手段と隣り合う撮像手段における照明部による照明方向とは、互いに空間的にねじれの位置の関係にある。従って、外周側・内周側第１撮像手段、外周側・内周側第２撮像手段、外周側・内周側第３撮像手段及び外周側・内周側第４撮像手段のうち一の撮像手段における照明部からの光が当該一の撮像手段と隣り合う撮像手段における撮像部に入射し難くなっている。以上の結果、撮像手段間における光の干渉をより一層排除することが可能となっている。
【００１４】
更に、配置手段で検査対象物を透明テーブルの周縁部の外周側と内周側にそれぞれ配置して二列に並べると共に、外周側検査対象物と内周側検査対象物のそれぞれに対して配置された各撮像ユニットで並列処理を行うことが可能となるため、一列で処理した場合に比して単位時間当たりの検査処理能力を向上させることが可能となる。以上によって、光の干渉による影響を大幅に抑制し、検査対象物の外観検査を極めて高精度に行うことを可能とすると共に、高い検査精度を確保しながら検査処理能力を向上させることができる。
【００１５】
また、本発明に係る外観検査装置では、外周側第１撮像手段、外周側第２撮像手段、外周側第３撮像及び外周側第４撮像から構成されるグループを外周側第１グループとし、外周側第５撮像手段及び外周側第６撮像手段から構成されるグループを外周側第２グループとし、内周側第１撮像手段、内周側第２撮像手段、内周側第３撮像手段及び内周側第４撮像から構成されるグループを内周側第１グループとし、内周側第５撮像手段及び内周側第６撮像手段から構成されるグループを内周側第２グループとした場合に、透明テーブルの回転方向に、外周側第１グループ及び外周側第２グループの順に配置すると共に、内周側第２グループ及び内周側第１グループの順に配置することが好ましい。あるいは、透明テーブルの回転方向に、外周側第２グループ及び外周側第１グループの順に配置すると共に、内周側第１グループ及び内周側第２グループの順に配置することが好ましい。このように、外周側のグループ配列と内周側のグループ配列を互い違いにすることによって、透明テーブルの回転軸線周りの位相（角度位置）を考慮した場合に、同じ位相上に配置される撮像手段のタイプ（例えば、外周側第１撮像手段と内周側第１撮像手段を同じタイプとする）を外周側と内周側とで異なるものとすることができる。これによって、外周側の撮像手段と内周側の撮像手段同士が配置上干渉することを回避し、装置全体をコンパクトな構成とすることができる。
【００１６】
また、本発明に係る外観検査装置では、透明テーブルの径方向において、外周側第１撮像手段は、内周側第３撮像手段以外の内周側の撮像手段と隣接し、外周側第２撮像手段は、内周側第４撮像手段以外の内周側の撮像手段と隣接し、外周側第３撮像手段は、内周側第１撮像手段以外の内周側の撮像手段と隣接することが好ましい。外周側と内周側とで撮像方向が互いに対向し合う撮像手段同士が透明テーブルの径方向において隣接しない配置とすることによって、一方の撮像手段における照明部からの光が他方の撮像手段における撮像部に入射し難くなっている。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、光の干渉による影響を大幅に抑制し、検査対象物の外観検査を極めて高精度に行うことを可能とすると共に、高い検査精度を確保しながら検査処理能力を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】図１は、本実施形態に係る外観検査装置の全体を示す上面図である。
【図２】図２は、本実施形態に係る外観検査装置を示すブロック図である。
【図３】図３は、素体供給ユニットを示す斜視図である。
【図４】図４は、第１姿勢矯正ユニットを示す斜視図である。
【図５】図５は、第２姿勢矯正ユニットを示す斜視図である。
【図６】図６は、第１撮像ユニットを一部破断して示す図である。
【図７】図７は、第２撮像ユニットを一部破断して示す図である。
【図８】図８は、第３撮像ユニットを一部破断して示す図である。
【図９】図９は、第４撮像ユニットを一部破断して示す図である。
【図１０】図１０は、第５撮像ユニットを一部破断して示す図である。
【図１１】図１１は、第６撮像ユニットを一部破断して示す図である。
【図１２】図１２は、良品回収ボックス又は不良品回収ボックスを一部破断して示す図である。
【図１３】図１３は、本実施形態に係る外観検査装置の検査対象物である素体を示す斜視図である。
【図１４】図１４は、本実施形態に係る外観検査装置の他の例の全体を示す上面図である。
【図１５】図１５は、本実施形態に係る外観検査装置の他の例の全体を示す上面図である。
【図１６】図１６は、本実施形態に係る外観検査装置の他の例の全体を示す上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
本発明に係る外観検査装置１０の好適な実施形態について、図面を参照して説明する。外観検査装置１０は、チップコンデンサやチップインダクタ等といった電子部品を構成する素体（外周側検査対象物）１及び素体（内周側検査対象物）１０１をそれぞれ円形状に二列に配列し、素体１，１０１の表面における欠陥の有無を検出するものである。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。
【００２０】
［素体の構成］
まず、外周側に配列される素体１及びに内周側に配列される素体１０１について、図１３を参照して説明する。素体１，１０１は、素体１，１０１が電子部品となったときにコンデンサとして機能させるための内部電極となる電極パターンや、素体１，１０１が電子部品となったときにインダクタとして機能させるための内部導体となる導体パターンが形成されたセラミックグリーンシートを複数積層して圧着し、所定温度にて所定時間焼成した後、バレル研磨することで形成される。
【００２１】
素体１は、略直方体形状を呈している。素体１は、Ｘ軸方向（以下、「高さ方向」という）に対向する一対の側面ｓ１（第１側面），ｓ３（第３側面）と、Ｙ軸方向（以下、「幅方向」という）に対向する一対の側面ｓ２（第２側面），ｓ４（第４側面）と、Ｚ軸方向（以下、「長さ方向」という）に対向する一対の側面ｓ５（第５側面），ｓ６（第６側面）とを有している。そのため、側面ｓ１，ｓ２と側面ｓ３，ｓ４とは隣り合うように位置しており、側面ｓ１，ｓ２と側面ｓ５，ｓ６とは隣り合うように位置しており、側面ｓ３，ｓ４と側面ｓ５，ｓ６とは隣り合うように位置している。また、側面ｓ１，ｓ２は、側面ｓ３と側面ｓ４とを連結すると共に側面ｓ５と側面ｓ６とを連結し、側面ｓ３，ｓ４は、側面ｓ１と側面ｓ２とを連結すると共に側面ｓ５と側面ｓ６とを連結し、側面ｓ５，ｓ６は、側面ｓ１と側面ｓ２とを連結すると共に側面ｓ３と側面ｓ４とを連結している。
【００２２】
ここで、素体１が電子部品となったときにいわゆる０４０２や０６０３と呼ばれる大きさとなるように素体１の大きさを設定することが好ましく、素体１の高さは、例えば０．２ｍｍ〜０．５ｍｍ程度に設定することができ、素体１の幅は、例えば０．２ｍｍ〜０．５ｍｍ程度に設定することができ、素体１の長さは、例えば０．４ｍｍ〜１ｍｍ程度に設定することができる。なお、素体１の稜部は、素体１を形成する際のバレル研磨工程によって面取りされており、丸みを帯びた状態となっている。
【００２３】
内周側に配列される素体１０１は、素体１と同様の構成を有しており、高さ方向に対向する一対の側面ｓ１（第１側面），ｓ３（第３側面）と、幅方向に対向する一対の側面ｓ２（第２側面），ｓ４（第４側面）と、長さ方向に対向する一対の側面ｓ５（第５側面），ｓ６（第６側面）とを有している。
【００２４】
［外観検査装置の構成］
続いて、外観検査装置１０の構成について、図１及び図２を参照して説明する。外観検査装置１０は、図１及び図２に示されるように、透明テーブルＴと、素体供給ユニットＡ１０（配置手段）と、外周側第１姿勢矯正ユニットＢ１０と、内周側第１姿勢矯正ユニットＢ１１０と、外周側第２姿勢矯正ユニットＣ１０と、内周側第２姿勢矯正ユニットＣ１１０と、外周側第１撮像ユニットＤ１０（外周側第１撮像手段）と、内周側第１撮像ユニットＤ１１０（内周側第１撮像手段）と、外周側第２撮像ユニットＥ１０（外周側第２撮像手段）と、内周側第２撮像ユニットＥ１１０（内周側第２撮像手段）と、外周側第３撮像ユニットＦ１０（外周側第３撮像手段）と、内周側第３撮像ユニットＦ１１０（内周側第３撮像手段）と、外周側第４撮像ユニットＧ１０（外周側第４撮像手段）と、内周側第４撮像ユニットＧ１１０（内周側第４撮像手段）と、外周側第５撮像ユニットＨ１０（外周側第５撮像手段）と、内周側第５撮像ユニットＨ１１０（内周側第５撮像手段）と、外周側第６撮像ユニットＩ１０（外周側第６撮像手段）と、内周側第６撮像ユニットＩ１１０（内周側第６撮像手段）と、外周側良品回収ユニットＪ１０と、内周側良品回収ユニットＪ１１０と、外周側不良品回収ユニットＫ１０と、内周側不良品回収ユニットＫ１１０と、制御部１２とを備える。
【００２５】
透明テーブルＴは、例えばガラス、合成樹脂によって構成されている。透明テーブルＴは、図１に示されるように、上方から見て略円形状を呈しており、その直径は、例えば４０ｃｍ〜５０ｃｍ程度に設定することができる。
【００２６】
透明テーブルＴの下面側には、例えばサーボモータ（図示せず）が配置されている。透明テーブルＴは、このサーボモータによって駆動され、自身の中心軸線Ａを中心に図１の矢印Ｒ方向に回転（自転）する。
【００２７】
透明テーブルＴの周縁近傍には、素体供給ユニットＡ１０が配置されており、更に透明テーブルＴの回転方向（矢印Ｒ方向）に沿って、外周側第１姿勢矯正ユニットＢ１０、外周側第２姿勢矯正ユニットＣ１０、外周側第１撮像ユニットＤ１０、外周側第２撮像ユニットＥ１０、外周側第３撮像ユニットＦ１０、外周側第４撮像ユニットＧ１０、外周側第５撮像ユニットＨ１０、外周側第６撮像ユニットＩ１０、外周側良品回収ユニットＪ１０及び外周側不良品回収ユニットＫ１０がこの順に配置されており、さらにその内周側には、内周側第１姿勢矯正ユニットＢ１１０、内周側第２姿勢矯正ユニットＣ１１０、内周側第１撮像ユニットＤ１１０、内周側第２撮像ユニットＥ１１０、内周側第３撮像ユニットＦ１１０、内周側第４撮像ユニットＧ１１０、内周側第５撮像ユニットＨ１１０、内周側第６撮像ユニットＩ１１０、内周側良品回収ユニットＪ１１０及び内周側不良品回収ユニットＫ１１０がこの順に配置されている（図１参照）。
【００２８】
［素体供給ユニットの構成］
続いて、素体供給ユニットＡ１０の構成について、図３を参照して説明する。素体供給ユニットＡ１０は、ホッパＡ１２と、第１リニアフィーダＡ１４と、ボールフィーダＡ１６と、外周側第２リニアフィーダＡ１８と、内周側第２リニアフィーダＡ１１８とを有する。
【００２９】
ホッパＡ１２は、漏斗形状を呈しており、素体１，１０１を所定量貯蔵する。ホッパＡ１２は、その底部が開閉可能となっており、底部が開放されると貯蔵している素体１，１０１を第１リニアフィーダＡ１４に供給する。なお、ホッパＡ１２には、人手により多数の素体１，１０１が供給される。
【００３０】
第１リニアフィーダＡ１４は、シュートＡ１４ａ及び駆動部Ａ１４ｂによって構成されている。シュートＡ１４ａは、その長手方向に延びるＵ字状又はＶ字状の溝を有しており、この溝に沿って素体１，１０１を案内することにより、素体１をボールフィーダ１４ｃに向けて搬送する。駆動部Ａ１４ｂは、図示しない電磁石と板バネとを有する電磁式のものであり、電磁石の振動が板バネにより増幅されることで自ら振動する。駆動部Ａ１４ｂは、自ら振動することによりシュートＡ１４ａを振動させ、シュートＡ１４ａに形成された溝に沿ってホッパＡ１２から供給された素体１，１０１をボールフィーダＡ１６に押し出す。
【００３１】
ボールフィーダＡ１６は、ボールＡ１６ａと、駆動部Ａ１６ｂとを有しており、いわゆるロータリフィーダである。ボールＡ１６ａは、その内部の周方向の側面が下部に向かうのに伴い径が小さくなるすり鉢状傾斜面を呈しており、周方向の側面に螺旋状の溝が形成されている。駆動部Ａ１６ｂは、図示しない電磁石と板バネとを有する電磁式のものであり、電磁石の振動が板バネにより増幅されることで自ら振動する。駆動部Ａ１６ｂは、自ら振動することによりボールＡ１６ａを振動させ、ボールＡ１６ａに形成された螺旋状の溝に沿って素体１，１０１を徐々に上昇させながら素体１の姿勢を揃えて、素体１，１０１を外周側第２リニアフィーダＡ１８あるいは内周側第２リニアフィーダＡ１１８に押し出す。なお、外周側第２リニアフィーダＡ１８あるいは内周側第２リニアフィーダＡ１１８に押し出されるまでの段階では、素体１と素体１０１との区別はなされておらず、外周側第２リニアフィーダＡ１８と内周側第２リニアフィーダＡ１１８とのいずれかに押し出されることによって、外周側と内周側の区別がなされる。
【００３２】
外周側第２リニアフィーダＡ１８は、シュートＡ１８ａ及び駆動部Ａ１８ｂによって構成されている。シュートＡ１８ａは、その長手方向に延びるＵ字状又はＶ字状の溝を有しており、この溝に沿って外周側の素体１を案内することにより、素体１を透明テーブルＴに向けて搬送する。シュートＡ１８ａは、透明テーブルＴの外周の接線方向に沿って延びており、その先端が透明テーブルＴの表面上に位置している。駆動部Ａ１８ｂは、図示しない電磁石と板バネとを有する電磁式のものであり、電磁石の振動が板バネにより増幅されることで自ら振動する。駆動部Ａ１８ｂは、自ら振動することによりシュートＡ１８ａを振動させ、シュートＡ１８ａに形成された溝に沿ってボールフィーダＡ１６から供給された素体１を透明テーブルＴに押し出す。これにより、素体１が透明テーブルＴの表面における周縁部に供給されることとなる。なお、本実施形態においては、素体１の側面ｓ３が透明テーブルＴの表面に当接すると共に素体１の側面ｓ４が透明テーブルＴの中心軸線Ａ側に向くように、素体１を第２リニアフィーダＡ１８によって透明テーブルＴに供給している。
【００３３】
内周側第２リニアフィーダＡ１１８は、シュートＡ１１８ａ及び駆動部Ａ１１８ｂによって構成されている。シュートＡ１１８ａは、その長手方向に延びるＵ字状又はＶ字状の溝を有しており、この溝に沿って内周側の素体１０１を案内することにより、素体１０１を透明テーブルＴに向けて搬送する。シュートＡ１１８ａは、外周側第２リニアフィーダＡ１８のシュートＡ１８ａよりも内周側で当該シュートＡ１８ａと平行をなして配置されると共に、その先端が透明テーブルＴの表面上に位置している。駆動部Ａ１１８ｂは、図示しない電磁石と板バネとを有する電磁式のものであり、電磁石の振動が板バネにより増幅されることで自ら振動する。駆動部Ａ１１８ｂは、自ら振動することによりシュートＡ１１８ａを振動させ、シュートＡ１１８ａに形成された溝に沿ってボールフィーダＡ１６から供給された素体１０１を透明テーブルＴに押し出す。これにより、素体１０１が透明テーブルＴの表面における周縁部であって素体１が供給される位置よりも内周側に供給されることとなる。径方向における素体１と素体１０１との間の間隔は５〜１５ｍｍ程度とされている。なお、本実施形態においては、素体１０１の側面ｓ１０３が透明テーブルＴの表面に当接すると共に素体１０１の側面ｓ１０４が透明テーブルＴの中心軸線Ａ側に向くように、素体１０１を内周側第２リニアフィーダＡ１１８によって透明テーブルＴに供給している。
【００３４】
この素体供給ユニットＡ１０は、図１に示すように、透明テーブルＴの外周側に並べられる素体１と内周側に並べられる素体１０１との間で、中心軸線Ａ周りの位相が互いに異なる配置となるように素体１及び素体１０１をそれぞれ供給することができる。素体供給ユニットＡ１０は、具体的に、中心軸線Ａから径方向に延びて当該中心軸線Ａ周りに等間隔をなす位相線ＰＨＬ１上に配置されるように内周側の素体１０１を供給すると、素体１０１同士の隙間を通るように中心軸線Ａから径方向に延びて当該中心軸線Ａ周りに等間隔をなす位相線ＰＨＬ２上に配置されるように外周側の素体１を供給することができる。素体供給ユニットＡ１０は、駆動部Ａ１８ｂ及び駆動部Ａ１１８ｂの振動速度を調節することによって、素体１及び素体１０１の供給スピードを調節して互いに位相が異なる配置となるように供給する。なお、図１においては、説明の便宜上、外周側良品回収ユニットＪ１０、内周側良品回収ユニットＪ１１０、外周側不良品回収ユニットＫ１０、内周側不良品回収ユニットＫ１１０で既に回収された後の素体１，１０１の位置関係を仮想線で示し、それらの素体１，１０１に対して位相線ＰＨＬ１，ＰＨＬ２を付したが、回収前の素体１，１０１についても同様の位置関係が成り立つ。
【００３５】
［第１姿勢矯正ユニットの構成］
続いて、外周側第１姿勢矯正ユニットＢ１０及び内周側第１姿勢矯正ユニットＢ１１０の構成について、図４を参照して説明する。外周側第１姿勢矯正ユニットＢ１０は、一対の姿勢矯正アームＢ１２，Ｂ１４を有する。
【００３６】
姿勢矯正アームＢ１２は、図４に示されるように、基部Ｂ１２ａと、腕部Ｂ１２ｂと、突出部Ｂ１２ｃとを有する。基部Ｂ１２ａは、透明テーブルＴの表面と略平行となるように、透明テーブルＴの外方から透明テーブルＴに向けて、透明テーブルＴの径方向に延びている。腕部Ｂ１２ｂは、基部Ｂ１２ａの先端に接続されており、透明テーブルＴの表面と略平行となるように、透明テーブルＴの外周の接線方向に沿って延びている。突出部Ｂ１２ｃは、腕部Ｂ１２ｂの先端に接続されおり、腕部Ｂ１２ｂの先端から下方（透明テーブルＴの表面側）に向けて突出している。
【００３７】
ここで、基部Ｂ１２ａ及び腕部Ｂ１２ｂは、共に、透明テーブルＴの表面から所定の距離だけ離間した状態で透明テーブルＴ上に配置されている。基部Ｂ１２ａ及び腕部Ｂ１２ｂと透明テーブルＴの表面との離間距離は、透明テーブルＴ上に供給された素体１が第１姿勢矯正ユニットＢ１０を通過する際に、素体１が基部Ｂ１２ａ及び腕部Ｂ１２ｂに接触しない程度（素体１の側面ｓ１が透明テーブルＴの表面に当接した状態となる本実施形態においては、少なくとも素体１の高さを超える程度）に設定されている。一方、突出部Ｂ１２ｃの下面（透明テーブルＴの表面と対向する面）は、透明テーブルＴの表面から僅かに離間している。
【００３８】
姿勢矯正アームＢ１４は、基部Ｂ１４ａと、腕部Ｂ１４ｂとによって構成されている。基部Ｂ１４ａは、透明テーブルＴの表面と略平行となるように、透明テーブルＴの外方から透明テーブルＴに向けて、透明テーブルＴの径方向に延びている。腕部Ｂ１４ｂは、基部Ｂ１４ａの先端に接続されており、透明テーブルＴの表面と略平行となるように、透明テーブルＴの外周の接線方向に沿って延びている。腕部Ｂ１４ｂは、基部Ｂ１４ａよりも下方（透明テーブルＴの表面側）に向けて突出している。
【００３９】
ここで、基部Ｂ１４ａは、透明テーブルＴの表面から所定の距離だけ離間した状態で透明テーブルＴ上に配置されている。基部Ｂ１４ａと透明テーブルＴの表面との離間距離は、透明テーブルＴ上に供給された素体１が第１姿勢矯正ユニットＢ１０を通過する際に、素体１が基部Ｂ１４ａに接触しない程度（素体１の側面ｓ３が透明テーブルＴの表面に当接した状態となる本実施形態においては、少なくとも素体１の高さを超える程度）に設定されている。一方、腕部Ｂ１４ｂの下面（透明テーブルＴの表面と対向する面）は、透明テーブルＴの表面から僅かに離間している。
【００４０】
姿勢矯正アームＢ１２の先端部（突出部Ｂ１２ｃのうち透明テーブルＴの回転方向に向かう側の端部）Ｂ１２ｄ及び姿勢矯正アームＢ１４の先端部（腕部Ｂ１４ｂのうち透明テーブルＴの回転方向に向かう側の端部）Ｂ１４ｃは、外周側第２リニアフィーダＡ１８のシュートＡ１８ａの先端に向かうと共に、当該先端から僅かに離間している。また、姿勢矯正アームＢ１２の先端部Ｂ１２ｄ（突出部Ｂ１２ｃ）と姿勢矯正アームＢ１４の先端部Ｂ１４ｃ（腕部Ｂ１４ｂ）との離間距離は、素体１が通過可能であると共に通過する素体１の姿勢が大きく崩されない程度（素体１の側面ｓ４が透明テーブルＴの中心軸線Ａ側に向く状態となる本実施形態においては、素体１の幅よりも僅かに広い程度）に設定されている。
【００４１】
以上のように姿勢矯正アームＢ１２，Ｂ１４が構成されているため、突出部Ｂ１２ｃ及び腕部Ｂ１４ｂが素体１を案内する機能を発揮することとなるから、素体１がシュートＡ１８ａから透明テーブルＴに供給される際に、シュートＡ１８ａの溝と透明テーブルＴの表面との間に生じている段差を素体１が通過しても、当該段差によって素体１の姿勢が崩されることなく透明テーブルＴに素体１が供給されるようになっている。また、基部Ｂ１２ａが透明テーブルＴの表面から所定の距離だけ離間しているから、素体１が突出部Ｂ１２ｃと腕部Ｂ１４ｂとの間を通過した後に、姿勢矯正アームＢ１２の基部Ｂ１２ａによって阻害されることなく素体１が透明テーブルＴによって搬送されるようになっている。
【００４２】
また、内周側第１姿勢矯正ユニットＢ１１０は、外周側第１姿勢矯正ユニットＢ１０と内周側で隣接する位置に配置されており、一対の姿勢矯正アームＢ１１２，Ｂ１１４を有する。内周側第１姿勢矯正ユニットＢ１１０は、外周側第１姿勢矯正ユニットＢ１０と同様の構成を備えており、姿勢矯正アームＢ１１２は、基部Ｂ１１２ａ、腕部Ｂ１１２ｂ、突出部Ｂ１１２ｃを備え、姿勢矯正アームＢ１１４も、基部Ｂ１１４ａ、腕部Ｂ１１４ｂ、先端部Ｂ１１４ｃ（内周側第２リニアフィーダＡ１１８のシュートＡ１１８ａの先端に向かう）とを備えている。以上のように姿勢矯正アームＢ１１２，Ｂ１１４が構成されているため、突出部Ｂ１１２ｃ及び腕部Ｂ１１４ｂが素体１０１を案内する機能を発揮することとなるから、素体１０１がシュートＡ１１８ａから透明テーブルＴに供給される際に、シュートＡ１１８ａの溝と透明テーブルＴの表面との間に生じている段差を素体１０１が通過しても、当該段差によって素体１０１の姿勢が崩されることなく透明テーブルＴに素体１０１が供給されるようになっている。また、基部Ｂ１１２ａが透明テーブルＴの表面から所定の距離だけ離間しているから、素体１０１が突出部Ｂ１１２ｃと腕部Ｂ１１４ｂとの間を通過した後に、姿勢矯正アームＢ１１２の基部Ｂ１１２ａによって阻害されることなく素体１０１が透明テーブルＴによって搬送されるようになっている。
【００４３】
［第２姿勢矯正ユニットの構成］
続いて、外周側第２姿勢矯正ユニットＣ１０及び内周側第２姿勢矯正ユニットＣ１１０の構成について、図５を参照して説明する。外周側第２姿勢矯正ユニットＣ１０と内周側第２姿勢矯正ユニットＣ１１０とは、図５に示されるように、互いに一体に構成されており、外周側第２姿勢矯正ユニットＣ１０は、姿勢矯正部材Ｃ１２と、一対のアームＣ１４，１６と、外周側レーザ発光器Ｃ１８と、外周側レーザ受光器Ｃ２０とを有し、内周側第２姿勢矯正ユニットＣ１１０は、姿勢矯正部材Ｃ１１２と、内周側レーザ発光器Ｃ１１８と、内周側レーザ受光器Ｃ１２０とを有する。
【００４４】
外周側第２姿勢矯正ユニットＣ１０の姿勢矯正部材Ｃ１２は、略直方体形状を呈する基部Ｃ１２ａと、基部Ｃ１２ａの先端に設けられた姿勢矯正部Ｃ１２ｂとを有する。姿勢矯正部材Ｃ１２は、姿勢矯正部Ｃ１２ｂが透明テーブルＴの中心軸線Ａ側に向かうように、透明テーブルＴの周縁に配置されている。
【００４５】
姿勢矯正部Ｃ１２ｂは、基部Ｃ１２ａと接続されている基端部から透明テーブルＴの中心軸線Ａ側の先端部に向かうにつれて、その厚みが薄くなっている。そのため、姿勢矯正部Ｃ１２ｂは、側方から見たときに、三角形状を呈している。また、姿勢矯正部Ｃ１２ｂの先端Ｃ１２ｃは、透明テーブルＴの中心軸線Ａ側（基部Ｃ１２ａから姿勢矯正部Ｃ１２ｂに向かう方向）に向けて突出する円弧状を呈している。この円弧状の先端Ｃ１２ｃに外周側の素体１の側面ｓ２が当接しつつ素体１が透明テーブルＴによって搬送されることで、素体１の傾きが矯正される。姿勢矯正部材Ｃ１２によって素体１の姿勢を矯正することで、姿勢矯正部材Ｃ１２を通過する全ての素体１が所望の姿勢（具体的には、透明テーブルＴの径方向に対する素体１の幅方向の傾きが±５°以内）となるようにする。これにより、いずれの素体１においても、撮像条件を略均一にすることが可能となる。
【００４６】
内周側第２姿勢矯正ユニットＣ１１０の姿勢矯正部材Ｃ１１２は、略直方体形状を呈する基部Ｃ１１２ａと、基部Ｃ１１２ａの先端に設けられた姿勢矯正部Ｃ１１２ｂとを有する。姿勢矯正部材Ｃ１１２は、姿勢矯正部Ｃ１１２ｂが透明テーブルＴの中心軸線Ａ側に向かうように、透明テーブルＴの周縁部であって姿勢矯正部材Ｃ１２と内周側で隣接する位置に配置されている。なお、姿勢矯正部材Ｃ１２の先端Ｃ１２ｃと姿勢矯正部材Ｃ１１２の外周側の端面との間には外周側の素体１が通過できる大きさの間隙が形成されている。
【００４７】
姿勢矯正部Ｃ１１２ｂは、基部Ｃ１１２ａと接続されている基端部から透明テーブルＴの中心軸線Ａ側の先端部に向かうにつれて、その厚みが薄くなっている。そのため、姿勢矯正部Ｃ１１２ｂは、側方から見たときに、三角形状を呈している。また、姿勢矯正部Ｃ１１２ｂの先端Ｃ１１２ｃは、透明テーブルＴの中心軸線Ａ側（基部Ｃ１１２ａから姿勢矯正部Ｃ１１２ｂに向かう方向）に向けて突出する円弧状を呈している。この円弧状の先端Ｃ１１２ｃに内周側の素体１０１の側面ｓ１０２が当接しつつ素体１０１が透明テーブルＴによって搬送されることで、素体１０１の傾きが矯正される。姿勢矯正部材Ｃ１１２によって素体１０１の姿勢を矯正することで、姿勢矯正部材Ｃ１１２を通過する全ての素体１０１が所望の姿勢（具体的には、透明テーブルＴの径方向に対する素体１０１の幅方向の傾きが±５°以内）となるようにする。これにより、いずれの素体１０１においても、撮像条件を略均一にすることが可能となる。
【００４８】
アームＣ１４は、側方から見てＬ字形状を呈しており、その一端が姿勢矯正部材Ｃ１２の基部Ｃ１２ａの上面側に接続され、その他端が透明テーブルＴの中心軸線Ａ側（基部Ｃ１２ａから姿勢矯正部Ｃ１２ｂに向かう方向）に向けて延びている。そのため、アームＣ１４は、透明テーブルＴの表面側に位置している。また、アームＣ１４の略中央位置には下方へ向かって延びて先端部に姿勢矯正部材Ｃ１１２の基部Ｃ１１２ａが固定される支持部Ｃ１４ａが形成されている。アームＣ１４の支持部Ｃ１４ａと姿勢矯正部材Ｃ１２との間には、外周側レーザ発光器Ｃ１８が設けられている。外周側レーザ発光器Ｃ１８は、レーザ光Ｌを、アームＣ１４から透明テーブルＴ及び外周側レーザ受光器Ｃ２０に向けて照射する。このレーザ光Ｌの照射位置は、姿勢矯正部Ｃ１２ｂの先端Ｃ１２ｃにおける頂部よりもやや透明テーブルＴの中心軸線Ａ側であって、外周側の素体１が姿勢矯正部Ｃ１２ｂの先端Ｃ１２ｃにおける頂部と接している場合には素体１にレーザ光Ｌが当たるような位置となっている。また、アームＣ１４の他端部には、内周側レーザ発光器Ｃ１１８が設けられている。内周側レーザ発光器Ｃ１１８は、レーザ光Ｌ１００を、アームＣ１４から透明テーブルＴ及び内周側レーザ受光器Ｃ１２０に向けて照射する。このレーザ光Ｌ１００の照射位置は、姿勢矯正部Ｃ１１２ｂの先端Ｃ１１２ｃにおける頂部よりもやや透明テーブルＴの中心軸線Ａ側であって、内周側の素体１０１が姿勢矯正部Ｃ１１２ｂの先端Ｃ１１２ｃにおける頂部と接している場合には素体１０１にレーザ光Ｌ１００が当たるような位置となっている。
【００４９】
アームＣ１６は、側方から見てＬ字形状を呈しており、その一端が姿勢矯正部材Ｃ１２の基部Ｃ１２ａの下面側に接続され、その他端が透明テーブルＴの中心軸線Ａ側（基部Ｃ１２ａから姿勢矯正部Ｃ１２ｂに向かう方向）に向けて延びている。そのため、アームＣ１６は、透明テーブルＴの裏面側に位置している。アームＣ１６における外周側レーザ発光器Ｃ１８の下方位置には、外周側レーザ受光器Ｃ２０が設けられている。外周側レーザ受光器Ｃ２０は、外周側レーザ発光器Ｃ１８からのレーザ光Ｌの入射の有無によって、姿勢矯正部Ｃ１２ｂの先端Ｃ１２ｃにおける頂部を外周側の素体１が通過したか否かを検出する。また、アームＣ１６の他端には、内周側レーザ受光器Ｃ１２０が設けられている。内周側レーザ受光器Ｃ１２０は、内周側レーザ発光器Ｃ１１８からのレーザ光Ｌ１００の入射の有無によって、姿勢矯正部Ｃ１１２ｂの先端Ｃ１１２ｃにおける頂部を素体１０１が通過したか否かを検出する。
【００５０】
［第１撮像ユニットの構成］
続いて、外周側第１撮像ユニットＤ１０及び内周側第１撮像ユニットＤ１１０の構成について、図６を参照して説明する。外周側第１撮像ユニットＤ１０は、外周側の素体１の側面ｓ１を撮像するためのものであり、内周側第１撮像ユニットＤ１１０は、内周側の素体１０１の側面ｓ１０１を撮像するためのものである。外周側第１撮像ユニットＤ１０による素体１の側面ｓ１の撮像は、透明テーブルＴの上方から行われ、外周側第１撮像ユニットＤ１１０による素体１０１の側面ｓ１０１の撮像は、透明テーブルＴの上方から行われる。また、内周側第１撮像ユニットＤ１１０は、透明テーブルＴにおける内周側で外周側第１撮像ユニットＤ１０と隣接する位置に配置されている。
【００５１】
外周側第１撮像ユニットＤ１０は、図６に示されるように、撮像が行われるカメラＤ１２（第１撮像部）と、図示しないレンズを収容する鏡胴Ｄ１４と、ドーム状照明Ｄ１６（第１照明部）とを有し、ドーム状照明Ｄ１６がカメラＤ１２及び鏡胴Ｄ１４よりも透明テーブルＴ上に位置する外周側の素体１寄りに位置するように透明テーブルＴの上方に配置されている。
【００５２】
ドーム状照明Ｄ１６は、椀状部材Ｄ１６ａ（第１保持部材）と、複数の投光部材Ｄ１６ｂ（第１投光部材）とにより構成されている。椀状部材Ｄ１６ａは、開口Ｄ１６ｃ（一方の開口）が設けられた側壁部Ｄ１６ｄと、鏡胴Ｄ１４と連通する開口Ｄ１６ｅ（他方の開口）が中央部分に設けられた基部Ｄ１６ｆとを含む。側壁部Ｄ１６ｄは、内壁面が開口Ｄ１６ｃから開口Ｄ１６ｅに向かう側に向けて窪んだ凹曲面状（例えば、球面状や放物面状）とされている。基部Ｄ１６ｆは、平板状を呈しており、開口Ｄ１６ｃとは反対側に配置されている。
【００５３】
ドーム状照明Ｄ１６は、椀状部材Ｄ１６ａの開口Ｄ１６ｃが透明テーブルＴ上に位置する外周側の素体１の側面ｓ１に向かうように、透明テーブルＴの上方に配置されている。そのため、カメラＤ１２の撮像軸線ＤＬは、鏡胴Ｄ１４、基部Ｄ１６ｆの開口Ｄ１６ｅ、側壁部Ｄ１６ｄ及び開口Ｄ１６ｃを通って、外周側の素体１に向かうこととなる。つまり、カメラＤ１２の撮像軸線ＤＬは、側壁部Ｄ１６ｄの内壁面によって取り囲まれている。
【００５４】
投光部材Ｄ１６ｂは、例えば発光ＬＥＤ（LightEmitting Diode）である。投光部材Ｄ１６ｂは、側壁部Ｄ１６ｄの内壁面全体及び基部Ｄ１６ｆの内壁面全体にわたって配置されている。そのため、投光部材Ｄ１６ｂもカメラＤ１２の撮像軸線ＤＬを取り囲んでおり、基部Ｄ１６ｆの内壁面に配置されている投光部材Ｄ１６ｂによって、素体１の側面ｓ１の垂線に沿った方向から素体１の側面ｓ１が照明されると共に、側壁部Ｄ１６ｄの内壁面に配置されている投光部材Ｄ１６ｂによって、素体１の側面ｓ１の垂線に対して０°を超え且つ９０°未満の方向から素体１の側面ｓ１が照明され、素体１の側面ｓ１からの反射光が鏡胴Ｄ１４及びカメラＤ１２に導入されて、素体１の側面ｓ１が撮像されることとなる。
【００５５】
このように、素体１の側面ｓ１の垂線に沿った方向から素体１の側面ｓ１が照明されることで、素体１の側面ｓ１における傷、凹凸、欠け等を明瞭に映し出すことができる。また、素体１の側面ｓ１の垂線に対して０°を超え且つ９０°未満の方向から素体１の側面ｓ１が照明されることで、素体１の側面ｓ１が様々な方向（角度）から照明され、クラックやチッピングといった素体１の側面ｓ１から内部へと繋がる欠陥を明瞭に映し出すことができる。
【００５６】
内周側第１撮像ユニットＤ１１０は、配置される位置及び撮像対象が内周側の素体１０１であることを除いては外周側第１撮像ユニットＤ１０と同様の構成を有しており、カメラＤ１２、鏡胴Ｄ１４、ドーム状照明Ｄ１６、椀状部材Ｄ１６ａ、複数の投光部材Ｄ１６ｂ、開口Ｄ１６ｃ、側壁部Ｄ１６ｄ、開口Ｄ１６ｅ、基部Ｄ１６ｆとそれぞれ同様の構成を有するカメラＤ１１２（第１撮像部）、鏡胴Ｄ１１４、ドーム状照明Ｄ１１６（第１照明部）、椀状部材Ｄ１１６ａ（第１保持部材）、複数の投光部材Ｄ１１６ｂ（第１投光部材）、開口Ｄ１１６ｃ（一方の開口）、側壁部Ｄ１１６ｄ、開口Ｄ１１６ｅ（他方の開口）、基部Ｄ１１６ｆを備えている。
【００５７】
［第２撮像ユニットの構成］
続いて、外周側第２撮像ユニットＥ１０及び内周側第２撮像ユニットＥ１１０の構成について、図７を参照して説明する。外周側第２撮像ユニットＥ１０は、外周側の素体１の側面ｓ２を撮像するためのものであり、内周側第２撮像ユニットＥ１１０は、内周側の素体１０１の側面ｓ１０２を撮像するためのものである。外周側第２撮像ユニットＥ１０による素体１の側面ｓ２の撮像は、透明テーブルＴの径方向における外方から行われ、内周側第２撮像ユニットＥ１１０による素体１０１の側面ｓ１０２の撮像は、透明テーブルＴの径方向における外側から行われる。また、内周側第２撮像ユニットＥ１１０は、透明テーブルＴにおける内周側で外周側第２撮像ユニットＥ１０と隣接する位置に配置されている。より具体的には、内周側第２撮像ユニットＥ１１０は、透明テーブルＴの径方向における外周側の素体１の配列と内周側の素体１０１の配列との間に配置されている。
【００５８】
外周側第２撮像ユニットＥ１０は、図７に示されるように、撮像が行われるカメラＥ１２（第２撮像部）と、図示しないレンズを収容する鏡胴Ｅ１４と、プリズムアダプタＥ１６と、一対の半筒状照明Ｅ１８，Ｅ２０（第２照明部）とを有し、一対の半筒状照明Ｅ１８，Ｅ２０がカメラＥ１２、鏡胴Ｅ１４及びプリズムアダプタＥ１６よりも透明テーブルＴ上に位置する内周側の素体１寄りに位置するように透明テーブルＴの周縁よりも外方に配置されている。
【００５９】
プリズムアダプタＥ１６は、素体１の側面ｓ２からの反射光が導入される開口部Ｅ１６ａと、開口部Ｅ１６ａから導入された反射光を反射する直角プリズムＥ１６ｂと、鏡胴Ｅ１４の先端と接続されると共に直角プリズムＥ１６ｂによって反射された反射光を鏡胴Ｅ１４及びカメラＥ１２に向けて導出する開口部Ｅ１６ｃとを含んで構成されている。
【００６０】
一対の半筒状照明Ｅ１８，Ｅ２０は、それぞれ、半筒状部材Ｅ１８ａ，Ｅ２０ａ（第２保持部材）と、複数の投光部材Ｅ１８ｂ，Ｅ２０ｂ（第２投光部材）とにより構成されている。半筒状部材Ｅ１８ａ，Ｅ２０ａは、それぞれ、側壁部Ｅ１８ｃ，Ｅ２０ｃと、基部Ｅ１８ｄ，Ｅ２０ｄとを含む。側壁部Ｅ１８ｃ，Ｅ２０ｃは、内壁面が半筒状部材Ｅ１８ａ，Ｅ２０ａの基端Ｅ１８ｅ，Ｅ２０ｅ側から先端Ｅ１８ｆ、Ｅ２０ｆ側に向かうにつれて拡径された曲面状（例えば、球面状や放物面状）とされている。基部Ｅ１８ｄ，Ｅ２０ｄは、平板状を呈しており、半筒状部材Ｅ１８ａ，Ｅ２０ａの基端Ｅ１８ｅ，Ｅ２０ｅ側に配置されている。つまり、一対の半筒状照明Ｅ１８，Ｅ２０は、ドーム状照明Ｄ１６が開口Ｄ１６ｃ及び開口Ｄ１６ｅの双方と交差する平面にて２つに分割されたものとなっている。そのため、一対の半筒状照明Ｅ１８，Ｅ２０は、それぞれ分割面Ｅ１８ｇ，Ｅ２０ｇを有している。
【００６１】
一対の半筒状照明Ｅ１８，Ｅ２０は、分割面Ｅ１８ｇ，Ｅ２０ｇが透明テーブルＴの表面と略平行となるように配置されている。また、一対の半筒状照明Ｅ１８，Ｅ２０は、半筒状部材Ｅ１８ａ，Ｅ２０ａの先端Ｅ１８ｆ、Ｅ２０ｆが透明テーブルＴ上に位置する素体１の側面ｓ２に向かい、互いの内壁面が向かい合い、且つ、透明テーブルＴの中心軸線Ａに沿って透明テーブルＴの表面を含む仮想平面Ｖを間に置くように配置されている。そのため、カメラＥ１２の撮像軸線ＥＬは、鏡胴Ｅ１４及びプリズムアダプタＥ１６の開口部Ｅ１６ｃを通って直角プリズムＥ１６ｂによりその向きが変えられ、その後プリズムアダプタＥ１６の開口部Ｅ１６ａ及び半筒状照明Ｅ１８と半筒状照明Ｅ２０との間を通って、素体１に向かうこととなる。
【００６２】
投光部材Ｅ１８ｂ，Ｅ２０ｂは、例えば発光ＬＥＤである。投光部材Ｅ１８ｂ，Ｅ２０ｂは、側壁部Ｅ１８ｃ，Ｅ２０ｃの内壁面全体及び基部Ｅ１８ｄ，Ｅ２０ｄの内壁面全体にわたって配置されている。そのため、基部Ｅ１８ｄ，Ｅ２０ｄの内壁面に配置されている投光部材Ｅ１８ｂ，Ｅ２０ｂによって、素体１の側面ｓ２の垂線に沿った方向から素体１の側面ｓ２が照明されると共に、側壁部Ｅ１８ｃ，Ｅ２０ｃの内壁面に配置されている投光部材Ｅ１８ｂ，Ｅ２０ｂによって、素体１の側面ｓ２の垂線に対して０°を超え且つ９０°未満の方向から素体１の側面ｓ２が照明され、素体１の側面ｓ２からの反射光が鏡胴Ｅ１４及びカメラＥ１２に導入されて、素体１の側面ｓ２が撮像されることとなる。
【００６３】
このように、素体１の側面ｓ２の垂線に沿った方向から素体１の側面ｓ２が照明されることで、素体１の側面ｓ２における傷、凹凸、欠け等を明瞭に映し出すことができる。また、素体１の側面ｓ２の垂線に対して０°を超え且つ９０°未満の方向から素体１の側面ｓ２が照明されることで、素体１の側面ｓ２が様々な方向（角度）から照明され、クラックやチッピングといった素体１の側面ｓ２から内部へと繋がる欠陥を明瞭に映し出すことができる。
【００６４】
内周側第２撮像ユニットＥ１１０は、配置される位置、撮像対象が内周側の素体１０１の側面ｓ１０２であること、及び一対の半筒状照明Ｅ１８，Ｅ２０の配置される位置を除いては外周側第２撮像ユニットＥ１０と同様の構成を有しており、カメラＥ１２、鏡胴Ｅ１４、プリズムアダプタＥ１６、一対の半筒状照明Ｅ１８，Ｅ２０、開口部Ｅ１６ａ、直角プリズムＥ１６ｂ、開口部Ｅ１６ｃ、半筒状部材Ｅ１８ａ，Ｅ２０ａ、複数の投光部材Ｅ１８ｂ，Ｅ２０ｂ、側壁部Ｅ１８ｃ，Ｅ２０ｃ、基部Ｅ１８ｄ，Ｅ２０ｄ、基端Ｅ１８ｅ，Ｅ２０ｅ、先端Ｅ１８ｆ、Ｅ２０ｆ、分割面Ｅ１８ｇ，Ｅ２０ｇと同様の構成を有するカメラＥ１１２（第２撮像部）、鏡胴Ｅ１１４、プリズムアダプタＥ１１６、一対の半筒状照明Ｅ１１８，Ｅ１２０（第２照明部）、開口部Ｅ１１６ａ、直角プリズムＥ１１６ｂ、開口部Ｅ１１６ｃ、半筒状部材Ｅ１１８ａ，Ｅ１２０ａ（第２保持部材）、複数の投光部材Ｅ１１８ｂ，Ｅ１２０ｂ（第２投光部材）、側壁部Ｅ１１８ｃ，Ｅ１２０ｃ、基部Ｅ１１８ｄ，Ｅ１２０ｄ、基端Ｅ１１８ｅ，Ｅ１２０ｅ、先端Ｅ１１８ｆ、Ｅ１２０ｆ、分割面Ｅ１１８ｇ，Ｅ１２０ｇを備えている。なお、内周側第２撮像ユニットＥ１００では、カメラＥ１１２、鏡胴Ｅ１１４、プリズムアダプタＥ１１６、半筒状照明Ｅ１１８が透明テーブルＴよりも上方に配置され、半筒状照明Ｅ１２０が透明テーブルＴよりも下方に配置されている。具体的には、半筒状照明Ｅ１１８の分割面Ｅ１８ｇ，Ｅ２０ｇが透明テーブルＴの表面と略平行となり、半筒状照明Ｅ１２０の分割面Ｅ１２０ｇが透明テーブルＴの下面と略平行となるように配置されている。また、一対の半筒状照明Ｅ１８，Ｅ２０は、半筒状部材Ｅ１８ａ，Ｅ２０ａの先端Ｅ１８ｆ、Ｅ２０ｆが透明テーブルＴ上に位置する素体１０１の側面ｓ１０２に向かい、互いの内壁面が向かい合い、且つ、透明テーブルＴの中心軸線Ａに沿って透明テーブルＴを間に置くように配置されている。そのため、カメラＥ１１２の撮像軸線ＥＬ１００は、鏡胴Ｅ１１４及びプリズムアダプタＥ１１６の開口部Ｅ１１６ｃを通って直角プリズムＥ１１６ｂによりその向きが変えられ、その後プリズムアダプタＥ１１６の開口部Ｅ１１６ａ及び半筒状照明Ｅ１１８と透明テーブルＴとの間を通って、素体１０１に向かうこととなる。
【００６５】
［第３撮像ユニットの構成］
続いて、外周側第３撮像ユニットＦ１０及び内周側第３撮像ユニットＦ１１０の構成について、図８を参照して説明する。外周側第３撮像ユニットＦ１０は、外周側の素体１の側面ｓ３を撮像するためのものであり、内周側第３撮像ユニットＦ１１０は、内周側の素体１０１の側面ｓ１０３を撮像するためのものである。外周側第３撮像ユニットＦ１０による素体１の側面ｓ３の撮像は、透明テーブルＴの下方から透明テーブルＴを通して行われ、内周側第３撮像ユニットＦ１１０による素体１０１の側面ｓ１０３の撮像は、透明テーブルＴの下方から透明テーブルＴを通して行わる。また、内周側第３撮像ユニットＦ１１０は、透明テーブルＴにおける内周側で外周側第３撮像ユニットＦ１０と隣接する位置に配置されている。
【００６６】
外周側第３撮像ユニットＦ１０は、図８に示されるように、撮像が行われるカメラＦ１２（第３撮像部）と、図示しないレンズを収容する鏡胴Ｆ１４と、プリズムアダプタＦ１６と、ドーム状照明Ｆ１８（第３照明部）とを有し、ドーム状照明Ｆ１８がカメラＦ１２、鏡胴Ｆ１４及びプリズムアダプタＦ１６よりも透明テーブルＴ上に位置する素体１寄りに位置するように透明テーブルＴの下方に配置されている。
【００６７】
プリズムアダプタＦ１６は、素体１の側面ｓ３からの反射光が導入される開口部Ｆ１６ａと、開口部Ｆ１６ａから導入された反射光を反射する直角プリズムＦ１６ｂと、鏡胴Ｆ１４の先端と接続されると共に直角プリズムＦ１６ｂによって反射された反射光を鏡胴Ｆ１４及びカメラＦ１２に向けて導出する開口部Ｆ１６ｃとを含んで構成されている。
【００６８】
ドーム状照明Ｆ１８は、椀状部材Ｆ１８ａ（第３保持部材）と、複数の投光部材Ｆ１８ｂ（第３投光部材）とにより構成されている。椀状部材Ｆ１８ａは、開口Ｆ１８ｃ（一方の開口）が設けられた側壁部Ｆ１８ｄと、開口Ｆ１８ｅ（他方の開口）が中央部分に設けられた基部Ｆ１８ｆとを含む。側壁部Ｆ１８ｄは、内壁面が開口Ｆ１８ｃから開口Ｆ１８ｅに向かう側に向けて窪んだ凹曲面状（例えば、球面状や放物面状）とされている。基部Ｆ１８ｆは、平板状を呈しており、開口Ｆ１８ｃとは反対側に配置されている。
【００６９】
ドーム状照明Ｆ１８は、椀状部材Ｆ１８ａの開口Ｆ１８ｃが透明テーブルＴ上に位置する素体１の側面ｓ３に向かうように、透明テーブルＴの下方に配置されている。そのため、カメラＦ１２の撮像軸線ＦＬは、鏡胴Ｆ１４及びプリズムアダプタＦ１６の開口部Ｆ１６ｃを通って直角プリズムＦ１６ｂによりその向きが変えられ、その後プリズムアダプタＦ１６の開口部Ｆ１６ａ、基部Ｆ１８ｆの開口Ｆ１８ｅ、側壁部Ｆ１８ｄ及び開口Ｆ１８ｃを通って、素体１に向かうこととなる。つまり、カメラＦ１２の撮像軸線ＦＬは、側壁部Ｆ１８ｄの内壁面によって取り囲まれている。
【００７０】
投光部材Ｆ１８ｂは、例えば発光ＬＥＤである。投光部材Ｆ１８ｂは、側壁部Ｆ１８ｄの内壁面全体及び基部Ｆ１８ｆの内壁面全体にわたって配置されている。そのため、投光部材Ｆ１８ｂもカメラＦ１２の撮像軸線ＦＬを取り囲んでおり、基部Ｆ１８ｆの内壁面に配置されている投光部材Ｆ１８ｂによって、素体１の側面ｓ３の垂線に沿った方向から素体１の側面ｓ３が照明されると共に、側壁部Ｆ１８ｄの内壁面に配置されている投光部材Ｆ１８ｂによって、素体１の側面ｓ３の垂線に対して０°を超え且つ９０°未満の方向から素体１の側面ｓ３が照明されて、素体１の側面ｓ３からの反射光が直角プリズムＦ１６ｂを介して鏡胴Ｆ１４及びカメラＦ１２に導入されて、素体１の側面ｓ３が撮像されることとなる。
【００７１】
このように、素体１の側面ｓ３の垂線に沿った方向から素体１の側面ｓ３が照明されることで、素体１の側面ｓ３における傷、凹凸、欠け等を明瞭に映し出すことができる。また、素体１の側面ｓ３の垂線に対して０°を超え且つ９０°未満の方向から素体１の側面ｓ３が照明されることで、素体１の側面ｓ３が様々な方向（角度）から照明され、クラックやチッピングといった素体１の側面ｓ３から内部へと繋がる欠陥を明瞭に映し出すことができる。
【００７２】
内周側第３撮像ユニットＦ１１０は、配置される位置及び撮像対象が内周側の素体１０１であることを除いては外周側第３撮像ユニットＦ１０と同様の構成を有しており、カメラＦ１２、鏡胴Ｆ１４と、プリズムアダプタＦ１６、ドーム状照明Ｆ１８、開口部Ｆ１６ａ、直角プリズムＦ１６ｂ、開口部Ｆ１６ｃ、椀状部材Ｆ１８ａ、複数の投光部材Ｆ１８ｂ、開口Ｆ１８ｃ、側壁部Ｆ１８ｄ、開口Ｆ１８ｅ、基部Ｆ１８ｆと同様の構成を有するカメラＦ１１２（第３撮像部）、鏡胴Ｆ１１４、プリズムアダプタＦ１１６、ドーム状照明Ｆ１１８（第３照明部）、開口部Ｆ１１６ａ、直角プリズムＦ１１６ｂ、開口部Ｆ１１６ｃ、椀状部材Ｆ１１８ａ（第３保持部材）、複数の投光部材Ｆ１１８ｂ（第３投光部材）、開口Ｆ１１８ｃ（一方の開口）、側壁部Ｆ１１８ｄ、開口Ｆ１１８ｅ（他方の開口）、基部Ｆ１１８ｆを備えている。
【００７３】
［第４撮像ユニットの構成］
続いて、外周側第４撮像ユニットＧ１０及び内周側第４撮像ユニットＧ１１０の構成について、図９を参照して説明する。外周側第４撮像ユニットＧ１０は、外周側の素体１の側面ｓ４を撮像するためのものであり、内周側第４撮像ユニットＧ１１０は、内周側の素体１０１の側面ｓ１０４を撮像するためのものである。外周側第４撮像ユニットＧ１０による素体１の側面ｓ４の撮像は、透明テーブルＴの径方向における内方から行われ、内周側第４撮像ユニットＧ１１０による素体１０１の側面ｓ１０４の撮像は、透明テーブルＴの径方向における内方から行われる。また、内周側第４撮像ユニットＧ１１０は、透明テーブルＴにおける内周側で外周側第４撮像ユニットＧ１０と隣接する位置に配置されている。更に、外周側第４撮像ユニットＧ１０は、透明テーブルＴの径方向における外周側の素体１の配列と内周側の素体１０１の配列との間に配置されている。
【００７４】
外周側第４撮像ユニットＧ１０は、図９に示されるように、撮像が行われるカメラＧ１２（第４撮像部）と、図示しないレンズを収容する鏡胴Ｇ１４と、プリズムアダプタＧ１６と、一対の半筒状照明Ｇ１８，Ｇ２０（第４照明部）とを有し、一対の半筒状照明Ｇ１８，Ｇ２０がカメラＧ１２、鏡胴Ｇ１４及びプリズムアダプタＧ１６よりも透明テーブルＴ上に位置する素体１寄りに位置するように透明テーブルＴの周縁近傍に配置されている。
【００７５】
プリズムアダプタＧ１６は、素体１の側面ｓ４からの反射光が導入される開口部Ｇ１６ａと、開口部Ｇ１６ａから導入された反射光を反射する直角プリズムＧ１６ｂと、鏡胴Ｇ１４の先端と接続されると共に直角プリズムＧ１６ｂによって反射された反射光を鏡胴Ｇ１４及びカメラＧ１２に向けて導出する開口部Ｇ１６ｃとを含んで構成されている。なお、プリズムアダプタＧ１６と比較して素体１が小さいことから、直角プリズムＧ１６ｂは、図９に示されるように、プリズムアダプタＧ１６内において透明テーブルＴの表面側に向かうようにやや傾けられた状態となっている。
【００７６】
一対の半筒状照明Ｇ１８，Ｇ２０は、それぞれ、半筒状部材Ｇ１８ａ，Ｇ２０ａ（第４保持部材）と、複数の投光部材Ｇ１８ｂ，Ｇ２０ｂ（第４投光部材）とにより構成されている。半筒状部材Ｇ１８ａ，Ｇ２０ａは、それぞれ、側壁部Ｇ１８ｃ，Ｇ２０ｃと、基部Ｇ１８ｄ，Ｇ２０ｄとを含む。側壁部Ｇ１８ｃ，Ｇ２０ｃは、内壁面が半筒状部材Ｇ１８ａ，Ｇ２０ａの基端Ｇ１８ｅ，Ｇ２０ｅ側から先端Ｇ１８ｆ、Ｇ２０ｆ側に向かうにつれて拡径された曲面状（例えば、球面状や放物面状）とされている。基部Ｇ１８ｄ，Ｇ２０ｄは、平板状を呈しており、半筒状部材Ｇ１８ａ，Ｇ２０ａの基端Ｇ１８ｅ，Ｇ２０ｅ側に配置されている。つまり、一対の半筒状照明Ｇ１８，Ｇ２０は、ドーム状照明Ｄ１６が開口Ｄ１６ｃ及び開口Ｄ１６ｅの双方と交差する平面にて２つに分割されたものとなっている。そのため、一対の半筒状照明Ｇ１８，Ｇ２０は、それぞれ分割面Ｇ１８ｇ，Ｇ２０ｇを有している。
【００７７】
一対の半筒状照明Ｇ１８，Ｇ２０は、分割面Ｇ１８ｇ，Ｇ２０ｇが透明テーブルＴの表面と略平行となるように配置されている。また、一対の半筒状照明Ｇ１８，Ｇ２０は、半筒状部材Ｇ１８ａ，Ｇ２０ａの先端Ｇ１８ｆ、Ｇ２０ｆが透明テーブルＴ上に位置する素体１の側面ｓ４に向かい、互いの内壁面が向かい合い、且つ、透明テーブルＴの中心軸線Ａに沿って透明テーブルＴを間に置くように配置されている。そのため、カメラＧ１２の撮像軸線ＧＬは、鏡胴Ｇ１４及びプリズムアダプタＧ１６の開口部Ｇ１６ｃを通って直角プリズムＧ１６ｂによりその向きが変えられ、その後プリズムアダプタＧ１６の開口部Ｇ１６ａ及び半筒状照明Ｇ１８と半筒状照明Ｇ２０との間を通って、素体１に向かうこととなる。
【００７８】
投光部材Ｇ１８ｂ，Ｇ２０ｂは、例えば発光ＬＥＤである。投光部材Ｇ１８ｂ，Ｇ２０ｂは、側壁部Ｇ１８ｃ，Ｇ２０ｃの内壁面全体及び基部Ｇ１８ｄ，Ｇ２０ｄの内壁面全体にわたって配置されている。そのため、基部Ｇ１８ｄ，Ｇ２０ｄの内壁面に配置されている投光部材Ｇ１８ｂ，Ｇ２０ｂによって、素体１の側面ｓ４の垂線に沿った方向から素体１の側面ｓ４が照明されると共に、側壁部Ｇ１８ｃ，Ｇ２０ｃの内壁面に配置されている投光部材Ｇ１８ｂ，Ｇ２０ｂによって、素体１の側面ｓ４の垂線に対して０°を超え且つ９０°未満の方向から素体１の側面ｓ４が照明され、素体１の側面ｓ４からの反射光が直角プリズムＧ１６ｂを介して鏡胴Ｇ１４及びカメラＧ１２に導入されて、素体１の側面ｓ４が撮像されることとなる。
【００７９】
このように、素体１の側面ｓ４の垂線に沿った方向から素体１の側面ｓ４が照明されることで、素体１の側面ｓ４における傷、凹凸、欠け等を明瞭に映し出すことができる。また、素体１の側面ｓ４の垂線に対して０°を超え且つ９０°未満の方向から素体１の側面ｓ４が照明されることで、素体１の側面ｓ４が様々な方向（角度）から照明され、クラックやチッピングといった素体１の側面ｓ４から内部へと繋がる欠陥を明瞭に映し出すことができる。
【００８０】
内周側第４撮像ユニットＧ１１０は、配置される位置及び撮像対象が内周側の素体１０１の側面ｓ１０４であることを除いては外周側第４撮像ユニットＧ１０と同様の構成を有しており、カメラＧ１２、鏡胴Ｇ１４、プリズムアダプタＧ１６、一対の半筒状照明Ｇ１８，Ｇ２０、開口部Ｇ１６ａ、直角プリズムＧ１６ｂ、開口部Ｇ１６ｃ、半筒状部材Ｇ１８ａ，Ｇ２０ａ、複数の投光部材Ｇ１８ｂ，Ｇ２０ｂ、側壁部Ｇ１８ｃ，Ｇ２０ｃ、基部Ｇ１８ｄ，Ｇ２０ｄ、基端Ｇ１８ｅ，Ｇ２０ｅ、先端Ｇ１８ｆ、Ｇ２０ｆ、分割面Ｇ１８ｇ，Ｇ２０ｇと同様の構成を有するカメラＧ１１２（第４撮像部）、鏡胴Ｇ１１４、プリズムアダプタＧ１１６、一対の半筒状照明Ｇ１１８，Ｇ１２０（第４照明部）、開口部Ｇ１６ａ、直角プリズムＧ１１６ｂ、開口部Ｇ１１６ｃ、半筒状部材Ｇ１１８ａ，Ｇ１２０ａ（第４保持部材）、複数の投光部材Ｇ１１８ｂ，Ｇ１２０ｂ（第４投光部材）、側壁部Ｇ１１８ｃ，Ｇ１２０ｃ、基部Ｇ１１８ｄ，Ｇ１２０ｄ、基端Ｇ１１８ｅ，Ｇ１２０ｅ、先端Ｇ１１８ｆ、Ｇ１２０ｆ、分割面Ｇ１１８ｇ，Ｇ１２０ｇを備えている。
【００８１】
［第５撮像ユニットの構成］
続いて、外周側第５撮像ユニットＨ１０及び内周側第５撮像ユニットＨ１１０の構成について、図１０を参照して説明する。外周側第５撮像ユニットＨ１０は、外周側の素体１の側面ｓ５を撮像するためのものであり、内周側第５撮像ユニットＨ１１０は、内周側の素体１０１の側面ｓ１０５を撮像するためのものである。外周側第５撮像ユニットＨ１０による素体１の側面ｓ５の撮像は、透明テーブルＴの回転方向Ｒにおける前方側から行われ、内周側第５撮像ユニットＨ１１０による素体１０１の側面ｓ１０５の撮像は、透明テーブルＴの回転方向Ｒにおける前方側から行われる。
【００８２】
外周側第５撮像ユニットＨ１０は、図１０に示されるように、撮像が行われるカメラＨ１２（第５撮像部）と、図示しないレンズを収容する鏡胴Ｈ１４と、プリズムアダプタＨ１６と、一対の半筒状照明Ｈ１８，Ｈ２０（第５照明部）とを有し、一対の半筒状照明Ｈ１８，Ｈ２０がカメラＨ１２、鏡胴Ｈ１４及びプリズムアダプタＨ１６よりも透明テーブルＴ上に位置する素体１寄りに位置するように透明テーブルＴの周縁近傍に配置されている。
【００８３】
プリズムアダプタＨ１６は、素体１の側面ｓ５からの反射光が導入される開口部Ｈ１６ａと、開口部Ｈ１６ａから導入された反射光を反射する直角プリズムＨ１６ｂと、鏡胴Ｈ１４の先端と接続されると共に直角プリズムＨ１６ｂによって反射された反射光を鏡胴Ｈ１４及びカメラＨ１２に向けて導出する開口部Ｈ１６ｃとを含んで構成されている。なお、プリズムアダプタＨ１６と比較して素体１が小さく、また、素体１の側面ｓ５の撮像を透明テーブルＴの回転方向Ｒにおける前方側から行うことから、カメラＨ１２、鏡胴Ｈ１４及びプリズムアダプタＨ１６が透明テーブルＴの表面側に向かうようにやや傾けられた状態となっていると共に、カメラＨ１２、鏡胴Ｈ１４及びプリズムアダプタＨ１６のうち最も透明テーブルＴ側に位置するプリズムアダプタＨ１６が透明テーブルＴの表面から所定の距離（具体的には、素体１がプリズムアダプタＨ１６と透明テーブルＴの表面との間を通過可能な距離）だけ離間した状態となっている。
【００８４】
一対の半筒状照明Ｈ１８，Ｈ２０は、それぞれ、半筒状部材Ｈ１８ａ，Ｈ２０ａ（第５保持部材）と、複数の投光部材Ｈ１８ｂ，Ｈ２０ｂ（第５投光部材）とにより構成されている。半筒状部材Ｈ１８ａ，Ｈ２０ａは、それぞれ、側壁部Ｈ１８ｃ，Ｈ２０ｃと、基部Ｈ１８ｄ，Ｈ２０ｄとを含む。側壁部Ｈ１８ｃ，Ｈ２０ｃは、内壁面が半筒状部材Ｈ１８ａ，Ｈ２０ａの基端Ｈ１８ｅ，Ｈ２０ｅ側から先端Ｈ１８ｆ、Ｈ２０ｆ側に向かうにつれて拡径された曲面状（例えば、球面状や放物面状）とされている。基部Ｈ１８ｄ，Ｈ２０ｄは、平板状を呈しており、半筒状部材Ｈ１８ａ，Ｈ２０ａの基端Ｈ１８ｅ，Ｈ２０ｅ側に配置されている。つまり、一対の半筒状照明Ｈ１８，Ｈ２０は、ドーム状照明Ｄ１６が開口Ｄ１６ｃ及び開口Ｄ１６ｅの双方と交差する平面にて２つに分割されたものとなっている。そのため、一対の半筒状照明Ｈ１８，Ｈ２０は、それぞれ分割面Ｈ１８ｇ，Ｈ２０ｇを有している。
【００８５】
一対の半筒状照明Ｈ１８，Ｈ２０は、分割面Ｈ１８ｇ，Ｈ２０ｇが透明テーブルＴの表面に対して所定の角度で傾いた状態、具体的には、先端Ｈ１８ｆ、Ｈ２０ｆ側が基端Ｈ１８ｅ，Ｈ２０ｅ側よりも透明テーブルＴに近づいた状態となるように配置されている。また、一対の半筒状照明Ｈ１８，Ｈ２０は、半筒状部材Ｈ１８ａ，Ｈ２０ａの先端Ｈ１８ｆ、Ｈ２０ｆが透明テーブルＴ上に位置する素体１の側面ｓ５に向かい、互いの内壁面が向かい合い、且つ、透明テーブルＴの中心軸線Ａに沿って透明テーブルＴを間に置くように配置されている。そのため、カメラＨ１２の撮像軸線ＨＬは、鏡胴Ｈ１４及びプリズムアダプタＨ１６の開口部Ｈ１６ｃを通って直角プリズムＨ１６ｂによりその向きが変えられ、その後プリズムアダプタＨ１６の開口部Ｈ１６ａ及び半筒状照明Ｈ１８と半筒状照明Ｈ２０との間を通って、素体１に向かうこととなる。
【００８６】
投光部材Ｈ１８ｂ，Ｈ２０ｂは、例えば発光ＬＥＤである。投光部材Ｈ１８ｂ，Ｈ２０ｂは、側壁部Ｈ１８ｃ，Ｈ２０ｃの内壁面全体及び基部Ｈ１８ｄ，Ｈ２０ｄの内壁面全体にわたって配置されている。そのため、基部Ｈ１８ｄ，Ｈ２０ｄの内壁面に配置されている投光部材Ｈ１８ｂ，Ｈ２０ｂによって、素体１の側面ｓ５の垂線に沿った方向から素体１の側面ｓ５が照明されると共に、側壁部Ｈ１８ｃ，Ｈ２０ｃの内壁面に配置されている投光部材Ｈ１８ｂ，Ｈ２０ｂによって、素体１の側面ｓ５の垂線に対して０°を超え且つ略９０°の方向から素体１の側面ｓ５が照明され、素体１の側面ｓ５からの反射光が直角プリズムＨ１６ｂを介して鏡胴Ｈ１４及びカメラＨ１２に導入されて、素体１の側面ｓ５が撮像されることとなる。
【００８７】
このように、素体１の側面ｓ５の垂線に沿った方向から素体１の側面ｓ５が照明されることで、素体１の側面ｓ５における傷、凹凸、欠け等を明瞭に映し出すことができる。また、素体１の側面ｓ５の垂線に対して０°を超え且つ略９０°の方向から素体１の側面ｓ５が照明されることで、素体１の側面ｓ５が様々な方向（角度）から照明され、クラックやチッピングといった素体１の側面ｓ５から内部へと繋がる欠陥を明瞭に映し出すことができる。
【００８８】
内周側第５撮像ユニットＨ１１０は、配置される位置及び撮像対象が内周側の素体１０１の側面ｓ１０５であることを除いては外周側第５撮像ユニットＨ１０と同様の構成を有しており、カメラＨ１２、プリズムアダプタＨ１６、一対の半筒状照明Ｈ１８，Ｈ２０、開口部Ｈ１６ａ、直角プリズムＨ１６ｂ、鏡胴Ｈ１４、開口部Ｈ１６ｃ、半筒状部材Ｈ１８ａ，Ｈ２０ａ、複数の投光部材Ｈ１８ｂ，Ｈ２０ｂ、側壁部Ｈ１８ｃ，Ｈ２０ｃ、基部Ｈ１８ｄ，Ｈ２０ｄ、基端Ｈ１８ｅ，Ｈ２０ｅ、先端Ｈ１８ｆ、Ｈ２０ｆ、分割面Ｈ１８ｇ，Ｈ２０ｇと同様の構成を有するカメラＨ１１２（第５撮像部）、プリズムアダプタＨ１１６、一対の半筒状照明Ｈ１１８，Ｈ１２０（第５照明部）、開口部Ｈ１１６ａ、直角プリズムＨ１１６ｂ、鏡胴Ｈ１１４、開口部Ｈ１１６ｃ、半筒状部材Ｈ１１８ａ，Ｈ１２０ａ（第５保持部材）、複数の投光部材Ｈ１１８ｂ，Ｈ１２０ｂ（第５投光部材）、側壁部Ｈ１１８ｃ，Ｈ１２０ｃ、基部Ｈ１１８ｄ，Ｈ１２０ｄ、基端Ｈ１１８ｅ，Ｈ１２０ｅ、先端Ｈ１１８ｆ、Ｈ１２０ｆ、分割面Ｈ１１８ｇ，Ｈ１２０ｇを備えている。
【００８９】
［第６撮像ユニットの構成］
続いて、外周側第６撮像ユニットＩ１０及び内周側第６撮像ユニットＩ１１０の構成について、図１１を参照して説明する。外周側第６撮像ユニットＩ１０は、素体１の側面ｓ６を撮像するためのものであり、内周側第６撮像ユニットＩ１１０は、素体１０１の側面ｓ１０６を撮像するためのものである。外周側第６撮像ユニットＩ１０による素体１の側面ｓ６の撮像は、透明テーブルＴの回転方向Ｒにおける後方側から行われ、内周側第６撮像ユニットＩ１１０による素体１０１の側面ｓ１０６の撮像は、透明テーブルＴの回転方向Ｒにおける後方側から行われる。
【００９０】
外周側第６撮像ユニットＩ１０は、図１１に示されるように、撮像が行われるカメラＩ１２（第６撮像部）と、図示しないレンズを収容する鏡胴Ｉ１４と、プリズムアダプタＩ１６と、一対の半筒状照明Ｉ１８，Ｉ２０（第６照明部）とを有し、一対の半筒状照明Ｉ１８，Ｉ２０がカメラＩ１２、鏡胴Ｉ１４及びプリズムアダプタＩ１６よりも透明テーブルＴ上に位置する素体１寄りに位置するように透明テーブルＴの周縁近傍に配置されている。
【００９１】
プリズムアダプタＩ１６は、素体１の側面ｓ６からの反射光が導入される開口部Ｉ１６ａと、開口部Ｉ１６ａから導入された反射光を反射する直角プリズムＩ１６ｂと、鏡胴Ｉ１４の先端と接続されると共に直角プリズムＩ１６ｂによって反射された反射光を鏡胴Ｉ１４及びカメラＩ１２に向けて導出する開口部Ｉ１６ｃとを含んで構成されている。なお、プリズムアダプタＩ１６と比較して素体１が小さく、また、素体１の側面ｓ６の撮像を透明テーブルＴの回転方向Ｒにおける後方側から行うことから、カメラＩ１２、鏡胴Ｉ１４及びプリズムアダプタＩ１６が透明テーブルＴの表面側に向かうようにやや傾けられた状態となっていると共に、カメラＩ１２、鏡胴Ｉ１４及びプリズムアダプタＩ１６のうち最も透明テーブルＴ側に位置するプリズムアダプタＩ１６が透明テーブルＴの表面から所定の距離（具体的には、素体１がプリズムアダプタＩ１６と透明テーブルＴの表面との間を通過可能な距離）だけ離間した状態となっている。
【００９２】
一対の半筒状照明Ｉ１８，Ｉ２０は、それぞれ、半筒状部材Ｉ１８ａ，Ｉ２０ａ（第６保持部材）と、複数の投光部材Ｉ１８ｂ，Ｉ２０ｂ（第６投光部材）とにより構成されている。半筒状部材Ｉ１８ａ，Ｉ２０ａは、それぞれ、側壁部Ｉ１８ｃ，Ｉ２０ｃと、基部Ｉ１８ｄ，Ｉ２０ｄとを含む。側壁部Ｉ１８ｃ，Ｉ２０ｃは、内壁面が半筒状部材Ｉ１８ａ，Ｉ２０ａの基端Ｉ１８ｅ，Ｉ２０ｅ側から先端Ｉ１８ｆ、Ｉ２０ｆ側に向かうにつれて拡径された曲面状（例えば、球面状や放物面状）とされている。基部Ｉ１８ｄ，Ｉ２０ｄは、平板状を呈しており、半筒状部材Ｉ１８ａ，Ｉ２０ａの基端Ｉ１８ｅ，Ｉ２０ｅ側に配置されている。つまり、一対の半筒状照明Ｉ１８，Ｉ２０は、ドーム状照明Ｄ１６が開口Ｄ１６ｃ及び開口Ｄ１６ｅの双方と交差する平面にて２つに分割されたものとなっている。そのため、一対の半筒状照明Ｉ１８，Ｉ２０は、それぞれ分割面Ｉ１８ｇ，Ｉ２０ｇを有している。
【００９３】
一対の半筒状照明Ｉ１８，Ｉ２０は、分割面Ｉ１８ｇ，Ｉ２０ｇが透明テーブルＴの表面に対して所定の角度で傾いた状態、具体的には、先端Ｉ１８ｆ、Ｉ２０ｆ側が基端Ｉ１８ｅ，Ｉ２０ｅ側よりも透明テーブルＴに近づいた状態となるように配置されている。また、一対の半筒状照明Ｉ１８，Ｉ２０は、半筒状部材Ｉ１８ａ，Ｉ２０ａの先端Ｉ１８ｆ、Ｉ２０ｆが透明テーブルＴ上に位置する素体１の側面ｓ６に向かい、互いの内壁面が向かい合い、且つ、透明テーブルＴの中心軸線Ａに沿って透明テーブルＴを間に置くように配置されている。そのため、カメラＩ１２の撮像軸線ＩＬは、鏡胴Ｉ１４及びプリズムアダプタＩ１６の開口部Ｉ１６ｃを通って直角プリズムＩ１６ｂによりその向きが変えられ、その後プリズムアダプタＩ１６の開口部Ｉ１６ａ及び半筒状照明Ｉ１８と半筒状照明Ｉ２０との間を通って、素体１に向かうこととなる。
【００９４】
投光部材Ｉ１８ｂ，Ｉ２０ｂは、例えば発光ＬＥＤである。投光部材Ｉ１８ｂ，Ｉ２０ｂは、側壁部Ｉ１８ｃ，Ｉ２０ｃの内壁面全体及び基部Ｉ１８ｄ，Ｉ２０ｄの内壁面全体にわたって配置されている。そのため、基部Ｉ１８ｄ，Ｉ２０ｄの内壁面に配置されている投光部材Ｉ１８ｂ，Ｉ２０ｂによって、素体１の側面ｓ６の垂線に沿った方向から素体１の側面ｓ６が照明されると共に、側壁部Ｉ１８ｃ，Ｉ２０ｃの内壁面に配置されている投光部材Ｉ１８ｂ，Ｉ２０ｂによって、素体１の側面ｓ６の垂線に対して０°を超え且つ略９０°の方向から素体１の側面ｓ６が照明され、素体１の側面ｓ６からの反射光が直角プリズムＩ１６ｂを介して鏡胴Ｉ１４及びカメラＩ１２に導入されて、素体１の側面ｓ６が撮像されることとなる。
【００９５】
このように、素体１の側面ｓ６の垂線に沿った方向から素体１の側面ｓ６が照明されることで、素体１の側面ｓ６における傷、凹凸、欠け等を明瞭に映し出すことができる。また、素体１の側面ｓ６の垂線に対して０°を超え且つ略９０°の方向から素体１の側面ｓ６が照明されることで、素体１の側面ｓ６が様々な方向（角度）から照明され、クラックやチッピングといった素体１の側面ｓ６から内部へと繋がる欠陥を明瞭に映し出すことができる。
【００９６】
内周側第６撮像ユニットＩ１１０は、配置される位置及び撮像対象が内周側の素体１０１の側面ｓ１０６であることを除いては外周側第６撮像ユニットＩ１０と同様の構成を有しており、カメラＩ１２、プリズムアダプタＩ１６、一対の半筒状照明Ｉ１８，Ｈ２０、開口部Ｉ１６ａ、直角プリズムＩ１６ｂ、鏡胴Ｉ１４、開口部Ｉ１６ｃ、半筒状部材Ｉ１８ａ，Ｉ２０ａ、複数の投光部材Ｉ１８ｂ，Ｉ２０ｂ、側壁部Ｉ１８ｃ，Ｉ２０ｃ、基部Ｉ１８ｄ，Ｉ２０ｄ、基端Ｉ１８ｅ，Ｉ２０ｅ、先端Ｉ１８ｆ、Ｉ２０ｆ、分割面Ｉ１８ｇ，Ｉ２０ｇと同様の構成を有するカメラＩ１１２（第６撮像部）、プリズムアダプタＩ１１６、一対の半筒状照明Ｉ１１８，Ｉ１２０（第６照明部）、開口部Ｉ１１６ａ、直角プリズムＩ１１６ｂ、鏡胴Ｉ１１４、開口部Ｉ１１６ｃ、半筒状部材Ｉ１１８ａ，Ｉ１２０ａ（第６保持部材）、複数の投光部材Ｉ１１８ｂ，Ｉ１２０ｂ（第６投光部材）、側壁部Ｉ１１８ｃ，Ｉ１２０ｃ、基部Ｉ１１８ｄ，Ｉ１２０ｄ、基端Ｉ１１８ｅ，Ｉ１２０ｅ、先端Ｉ１１８ｆ、Ｉ１２０ｆ、分割面Ｉ１１８ｇ，Ｉ１２０ｇを備えている。
【００９７】
［良品回収ユニット及び不良品回収ユニットの構成］
続いて、外周側良品回収ユニットＪ１０、外周側不良品回収ユニットＫ１０及び内周側良品回収ユニットＪ１１０、内周側不良品回収ユニットＫ１１０の構成について、図１２を参照して説明する。外周側良品回収ユニットＪ１０は、外観検査の結果、良品であると判断された外周側の素体１を回収するためのものであり、外周側不良品回収ユニットＫ１０は、外観検査の結果、不良品であると判断された外周側の素体１を回収するためのものである。内周側良品回収ユニットＪ１１０は、外観検査の結果、良品であると判断された内周側の素体１０１を回収するためのものであり、内周側不良品回収ユニットＫ１１０は、外観検査の結果、不良品であると判断された内周側の素体１０１を回収するためのものである。内周側良品回収ユニットＪ１１０及び内周側不良品回収ユニットＫ１１０は、外周側良品回収ユニットＪ１０及び外周側不良品回収ユニットＫ１０よりも内周側であって回転方向Ｒへ位相がずれた位置に配置されている。
【００９８】
外周側良品回収ユニットＪ１０及び外周側不良品回収ユニットＫ１０は、それぞれ、外周側イオナイザＪ１２，Ｋ１２と、回収ボックスＪ１４，Ｋ１４とを有している。外周側イオナイザＪ１２（Ｋ１２）は、大気をイオン化して、透明テーブルＴの表面に生じる電荷を中和させるためのガスを吹き付ける装置である。外周側イオナイザＪ１２（Ｋ１２）は、透明テーブルＴの周縁近傍における上方に配置されている。外周側イオナイザＪ１２（Ｋ１２）のノズルは、回収ボックスＪ１４（Ｋ１４）側に向けられ、やや透明テーブルＴの表面に向かうようにやや傾けられている。そのため、外周側イオナイザＪ１２（Ｋ１２）のノズルからイオン化されたガスが吹き出されると、そのガスが透明テーブルの表面から回収ボックスＪ１４（Ｋ１４）に向かうこととなる。
【００９９】
回収ボックスＪ１４（Ｋ１４）は、筐体Ｊ１４ａ（Ｋ１４ａ）と、筐体Ｊ１４ａ（Ｋ１４ａ）の内部に設けられたシュートＪ１４ｂ（Ｋ１４ｂ）及び緩衝シートＪ１４ｃ（Ｋ１４ｃ）とを含んで構成されている。筐体Ｊ１４ａ（Ｋ１４ａ）は、直方体形状を呈する中空の部材であって、導電性樹脂材料によって形成されている。筐体Ｊ１４ａ（Ｋ１４ａ）には、筐体Ｊ１４ａ（Ｋ１４ａ）の一の稜部が切り欠かれて開口Ｊ１４ｄ（Ｋ１４ｄ）が形成されている。筐体Ｊ１４ａ（Ｋ１４ａ）は、この開口Ｊ１４ｄ（Ｋ１４ｄ）が透明テーブルＴの周縁に向かうように、透明テーブルＴの周縁よりも外方に配置されている。なお、筐体Ｊ１４ａ（Ｋ１４ａ）は接地（アース）されており、電荷を筐体Ｊ１４ａ（Ｋ１４ａ）の外部に逃すことができるようになっている。
【０１００】
シュートＪ１４ｂ（Ｋ１４ｂ）は、三角柱形状を呈しており、導電性樹脂材料によって形成されている。シュートＪ１４ｂ（Ｋ１４ｂ）は、筐体Ｊ１４ａ（Ｋ１４ａ）内において透明テーブルＴに近づくにつれて下方に向かうように傾斜している。そのため、外周側イオナイザＪ１２（Ｋ１２）によって筐体Ｊ１４ａ（Ｋ１４ａ）内に吹き飛ばされた素体１は、シュートＪ１４ｂ（Ｋ１４ｂ）によって筐体Ｊ１４ａ（Ｋ１４ａ）内の透明テーブルＴ寄りに集められる。この際、素体１は、シュートＪ１４ｂ（Ｋ１４ｂ）の斜面を滑り降りることとなるので、素体１が筐体Ｊ１４ａ（Ｋ１４ａ）内に吹き飛ばされることにより素体１に生じる衝撃が緩和されるようになっている。
【０１０１】
緩衝シートＪ１４ｃ（Ｋ１４ｃ）は、導電性の柔軟な材料によってシート状に形成されたものである。緩衝シートＪ１４ｃ（Ｋ１４ｃ）は、その一方の主面が筐体Ｊ１４ａ（Ｋ１４ａ）における透明テーブルＴ寄りの壁部に向かうように、筐体Ｊ１４ａ（Ｋ１４ａ）の天板に取り付けられている。そのため、外周側イオナイザＪ１２（Ｋ１２）によって筐体Ｊ１４ａ（Ｋ１４ａ）内に吹き飛ばされた素体１は、まず緩衝シートＪ１４ｃ（Ｋ１４ｃ）に衝突し、シュートＪ１４ｂ（Ｋ１４ｂ）の斜面を滑り降り、その後筐体Ｊ１４ａ（Ｋ１４ａ）内に回収される。
【０１０２】
内周側良品回収ユニットＪ１１０及び内周側不良品回収ユニットＫ１１０は、外周側良品回収ユニットＪ１０及び外周側不良品回収ユニットＫ１０と同様の構成を有しており、それぞれ外周側イオナイザＪ１２，Ｋ１２、回収ボックスＪ１４，Ｋ１４、筐体Ｊ１４ａ，Ｋ１４ａ、シュートＪ１４ｂ，Ｋ１４ｂ、緩衝シートＪ１４ｃ，Ｋ１４ｃ、開口Ｊ１４ｄ，Ｋ１４ｄと同様の構成を有する内周側イオナイザＪ１１２，Ｋ１１２、回収ボックスＪ１１４，Ｋ１１４、筐体Ｊ１１４ａ，Ｋ１１４ａ、シュートＪ１１４ｂ，Ｋ１１４ｂ、緩衝シートＪ１１４ｃ，Ｋ１１４ｃ、開口Ｊ１１４ｄ，Ｋ１１４ｄを備えている。
【０１０３】
［制御部の構成］
続いて、制御部１２の構成について、図２を参照して説明する。制御部１２は、図２に示されるように、透明テーブルＴに接続されたサーボモータ、第１リニアフィーダＡ１４、ボールフィーダＡ１６、外周側第２リニアフィーダＡ１８、内周側第２リニアフィーダＡ１１８、外周側レーザ発光器Ｃ１８、内周側レーザ発光器Ｃ１１８、外周側レーザ受光器Ｃ２０、内周側レーザ受光器Ｃ１２０、外周側第１撮像ユニットＤ１０、内周側第１撮像ユニットＤ１１０、外周側第２撮像ユニットＥ１０、内周側第２撮像ユニットＥ１１０、外周側第３撮像ユニットＦ１０、内周側第３撮像ユニットＦ１１０、外周側第４撮像ユニットＧ１０、内周側第４撮像ユニットＧ１１０、外周側第５撮像ユニットＨ１０、内周側第５撮像ユニットＨ１１０、外周側第６撮像ユニットＩ１０、内周側第６撮像ユニットＩ１１０及び外周側イオナイザＪ１２，Ｋ１２、内周側イオナイザＪ１１２，Ｋ１１２と接続されている。
【０１０４】
制御部１２は、透明テーブルＴのサーボモータに信号を出力して、透明テーブルＴの回転及び停止を制御する。制御部１２は、第１リニアフィーダＡ１４、ボールフィーダＡ１６及び外周側第２リニアフィーダＡ１８、内周側第２リニアフィーダＡ１１８に信号を出力して、第１リニアフィーダＡ１４、ボールフィーダＡ１６及び外周側第２リニアフィーダＡ１８、内周側第２リニアフィーダＡ１１８の駆動及び停止を制御する。
【０１０５】
制御部１２は、外周側レーザ発光器Ｃ１８に信号を出力して、外周側レーザ受光器Ｃ２０に向けてレーザ光Ｌを照射させる。そして、外周側レーザ受光器Ｃ２０では、外周側レーザ発光器Ｃ１８からのレーザ光Ｌを受光している場合（外周側の素体１が外周側第２姿勢矯正ユニットＣ１０を通過していない場合）には制御部１２に信号を出力して、外周側レーザ発光器Ｃ１８からのレーザ光Ｌを受光していない場合（外周側の素体１の外周側第２姿勢矯正ユニットＣ１０の通過に伴い、レーザ光Ｌが素体１に照射された場合）には制御部１２への信号出力を停止する。ここで、制御部１２では、外周側レーザ受光器Ｃ２０からの信号出力が停止されたことを契機（トリガ）として、外周側の素体１が外周側第２姿勢矯正ユニットＣ１０を通過したと判断すると共に、当該素体１が各外周側撮像ユニットＤ１０，Ｅ１０，Ｆ１０，Ｇ１０，Ｈ１０，Ｉ１０及び各外周側回収ユニットＪ１０，Ｋ１０のそれぞれに到達するのにどのくらい透明テーブルＴを回転させることが必要であるのかを算出する。
【０１０６】
制御部１２は、算出された透明テーブルＴの回転量に基づいて、当該素体１が各外周側撮像ユニットＤ１０，Ｅ１０，Ｆ１０，Ｇ１０，Ｈ１０，Ｉ１０のそれぞれに到達したと判定すると、各照明Ｄ１６，Ｅ１８，Ｅ２０，Ｆ１６，Ｇ１８，Ｇ２０，Ｈ１８，Ｈ２０，Ｉ１８，Ｉ２０に信号を出力して、ストロボ光による照明を行わせると共に、各カメラＤ１２，Ｅ１２，Ｆ１２，Ｇ１２，Ｈ１２，Ｉ１２に信号を出力して、素体１の各側面ｓ１〜ｓ６を撮像させる。そして、制御部１２は、各カメラＤ１２，Ｅ１２，Ｆ１２，Ｇ１２，Ｈ１２，Ｉ１２によって撮像された素体１の側面ｓ１〜ｓ６の撮像画像データに基づいて画像処理を行い、素体１の傷等の欠陥の有無を検査し、素体１が不良品であるか否かの判断を行う。
【０１０７】
制御部１２は、算出された透明テーブルＴの回転量及び外観検査結果に基づいて、当該素体１が良品で且つ外周側良品回収ユニットＪ１０に到達したと判定すると、外周側イオナイザＪ１２に信号を出力して、外周側イオナイザＪ１２にイオン化されたガスを噴射させる。これにより、外周側の良品の素体１は、外周側イオナイザＪ１２からのイオン化されたガスによって回収ボックスＪ１４内に吹き飛ばされ、回収ボックスＪ１４に回収される。一方、制御部１２は、算出された透明テーブルＴの回転量及び外観検査結果に基づいて、当該素体１が不良品で且つ外周側不良品回収ユニットＫ１０に到達したと判定すると、外周側イオナイザＫ１２に信号を出力して、外周側イオナイザＫ１２にイオン化されたガスを噴射させる。これにより、外周側の不良品の素体１は、外周側イオナイザＫ１２からのイオン化されたガスによって回収ボックスＫ１４内に吹き飛ばされ、回収ボックスＫ１４に回収される。
【０１０８】
制御部１２は、内周側レーザ発光器Ｃ１１８に信号を出力して、内周側レーザ受光器Ｃ１２０に向けてレーザ光Ｌ１００を照射させる。そして、内周側レーザ受光器Ｃ１２０では、内周側レーザ発光器Ｃ１１８からのレーザ光Ｌを受光している場合（内周側の素体１０１が内周側第２姿勢矯正ユニットＣ１１０を通過していない場合）には制御部１２に信号を出力して、内周側レーザ発光器Ｃ１１８からのレーザ光Ｌを受光していない場合（内周側の素体１０１の内周側第２姿勢矯正ユニットＣ１１０の通過に伴い、レーザ光Ｌが素体１０１に照射された場合）には制御部１２への信号出力を停止する。ここで、制御部１２では、内周側レーザ受光器Ｃ１２０からの信号出力が停止されたことを契機（トリガ）として、内周側の素体１０１が内周側第２姿勢矯正ユニットＣ１１０を通過したと判断すると共に、当該素体１０１が各内周側撮像ユニットＤ１１０，Ｅ１１０，Ｆ１１０，Ｇ１１０，Ｈ１１０，Ｉ１１０及び各内周側回収ユニットＪ１１０，Ｋ１１０のそれぞれに到達するのにどのくらい透明テーブルＴを回転させることが必要であるのかを算出する。
【０１０９】
制御部１２は、算出された透明テーブルＴの回転量に基づいて、当該素体１０１が各内周側撮像ユニットＤ１１０，Ｅ１１０，Ｆ１１０，Ｇ１１０，Ｈ１１０，Ｉ１１０のそれぞれに到達したと判定すると、各照明Ｄ１１６，Ｅ１１８，Ｅ１２０，Ｆ１１６，Ｇ１１８，Ｇ１２０，Ｈ１１８，Ｈ１２０，Ｉ１１８，Ｉ１２０に信号を出力して、ストロボ光による照明を行わせると共に、各カメラＤ１１２，Ｅ１１２，Ｆ１１２，Ｇ１１２，Ｈ１１２，Ｉ１１２に信号を出力して、素体１０１の各側面ｓ１〜ｓ６を撮像させる。そして、制御部１２は、各カメラＤ１１２，Ｅ１１２，Ｆ１１２，Ｇ１１２，Ｈ１１２，Ｉ１１２によって撮像された素体１０１の側面ｓ１０１〜ｓ１０６の撮像画像データに基づいて画像処理を行い、素体１０１の傷等の欠陥の有無を検査し、素体１０１が不良品であるか否かの判断を行う。
【０１１０】
制御部１２は、算出された透明テーブルＴの回転量及び外観検査結果に基づいて、当該素体１０１が良品で且つ内周側良品回収ユニットＪ１１０に到達したと判定すると、内周側イオナイザＪ１１２に信号を出力して、内周側イオナイザＪ１１２にイオン化されたガスを噴射させる。これにより、内周側の良品の素体１０１は、内周側イオナイザＪ１１２からのイオン化されたガスによって回収ボックスＪ１１４内に吹き飛ばされ、回収ボックスＪ１１４に回収される。一方、制御部１２は、算出された透明テーブルＴの回転量及び外観検査結果に基づいて、当該素体１０１が不良品で且つ内周側不良品回収ユニットＫ１１０に到達したと判定すると、内周側イオナイザＫ１１２に信号を出力して、内周側イオナイザＫ１１２にイオン化されたガスを噴射させる。これにより、内周側の不良品の素体１０１は、内周側イオナイザＫ１１２からのイオン化されたガスによって回収ボックスＫ１１４内に吹き飛ばされ、回収ボックスＫ１１４に回収される。
【０１１１】
以上のような本実施形態においては、素体供給ユニットＡ１０によって、素体１の側面ｓ３が透明テーブルＴに当接するように素体１を透明テーブルＴの周縁部に配置すると共に、素体１の内周側で素体１０１の側面ｓ１０３が透明テーブルＴに当接するように素体１０１を透明テーブルＴの周縁部に配置する透明テーブルＴによって、素体１及び素体１０１を搬送している。そのため、素体１の六つの側面ｓ１〜ｓ６に向かういずれの方向からでも素体１を視認できることから、各外周側撮像ユニットＤ１０，Ｅ１０，Ｆ１０，Ｇ１０，Ｈ１０，Ｉ１０による素体１の各側面ｓ１〜ｓ６の撮像にあたって素体１を持ち替えたりする必要がなくなっている。また、素体１０１の六つの側面ｓ１０１〜ｓ１０６に向かういずれの方向からでも素体１０１を視認できることから、各内周側撮像ユニットＤ１１０，Ｅ１１０，Ｆ１１０，Ｇ１１０，Ｈ１１０，Ｉ１１０による素体１０１の各側面ｓ１０１〜ｓ１０６の撮像にあたって素体１０１を持ち替えたりする必要がなくなっている。その結果、高速に効率よく素体１０１の外観検査が行えるようになっている。
【０１１２】
ところで、近年、電子部品となる素体１，１０１はより一層の小型化が要求されている。ところが、素体１，１０１が小さくなればなるほど、素体１，１０１の表面の凹凸によって生じる陰影の割合が相対的に多くなってしまい、欠陥によって生じる陰影の識別が困難となる傾向にある。しかしながら、本実施形態においては、外周側・内周側第１撮像ユニットＤ１０，Ｄ１１０及び外周側・内周側第３撮像ユニットＦ１０，Ｆ１１０がそれぞれ有するドーム状照明Ｄ１６，Ｄ１１６，Ｆ１６，Ｆ１１６が、開口Ｄ１６ｃ，Ｄ１１６ｃ，Ｆ１６ｃ，Ｆ１１６ｃから開口Ｄ１６ｅ，Ｄ１１６ｅ，Ｆ１６ｅ，Ｆ１１６ｅに向かう側に向けて窪んだ凹曲面状とされた内壁面を含む椀状部材Ｄ１６ａ，Ｄ１１６ａ，Ｆ１６ａ，Ｆ１１６ａと、椀状部材Ｄ１６ａ，Ｄ１１６ａ，Ｆ１６ａ，Ｆ１１６ａの開口Ｄ１６ｃ，Ｄ１１６ｃ，Ｆ１６ｃ，Ｆ１１６ｃ側に向けて光を照射する複数の投光部材Ｄ１６ｂ，Ｄ１１６ｂ，Ｆ１６ｂ，Ｆ１１６ｂとを含んでいる。また、外周側・内周側第２撮像ユニットＥ１０，Ｅ１１０、外周側・内周側第４撮像ユニットＧ１０，Ｇ１１０、外周側・内周側第５撮像ユニットＨ１０，Ｈ１１０及び外周側・内周側第６撮像ユニットＩ１０，Ｉ１１０がそれぞれ有する一対の半筒状照明Ｅ１８，Ｅ１１８，Ｅ２０，Ｅ１２０，Ｇ１８，Ｇ１１８，Ｇ２０，Ｇ１２０，Ｈ１８，Ｈ１１８，Ｈ２０，Ｈ１２０，Ｉ１８，Ｉ１１８，Ｉ２０，Ｉ１２０が、半筒状を呈しており、半筒状部材Ｅ１８ａ，Ｅ１１８ａ，Ｅ２０ａ，Ｅ１２０ａ，Ｇ１８ａ，Ｇ１１８ａ，Ｇ２０ａ，Ｇ１２０ａ，Ｈ１８ａ，Ｈ１１８ａ，Ｈ２０ａ，Ｈ１２０ａ，Ｉ１８ａ，Ｉ１１８ａ，Ｉ２０ａ，Ｉ１２０ａの基端Ｅ１８ｅ，Ｅ１１８ｅ，Ｅ２０ｅ，Ｅ１２０ｅ，Ｇ１８ｅ，Ｇ１１８ｅ，Ｇ２０ｅ，Ｇ１２０ｅ，Ｈ１８ｅ，Ｈ１１８ｅ，Ｈ２０ｅ，Ｈ１２０ｅ，Ｉ１８ｅ，Ｉ１１８ｅ，Ｉ２０ｅ，Ｉ１２０ｅ側から先端Ｅ１８ｆ，Ｅ１１８ｆ，Ｅ２０ｆ，Ｅ１２０ｆ，Ｇ１８ｆ，Ｇ１１８ｆ，Ｇ２０ｆ，Ｇ１２０ｆ，Ｈ１８ｆ，Ｈ１１８ｆ，Ｈ２０ｆ，Ｈ１２０ｆ，Ｉ１８ｆ，Ｉ１１８ｆ，Ｉ２０ｆ，Ｉ１２０ｆ側に向かうにつれて拡径された曲面状の内壁面を含む半筒状部材Ｅ１８ａ，Ｅ１１８ａ，Ｅ２０ａ，Ｅ１２０ａ，Ｇ１８ａ，Ｇ１１８ａ，Ｇ２０ａ，Ｇ１２０ａ，Ｈ１８ａ，Ｈ１１８ａ，Ｈ２０ａ，Ｈ１２０ａ，Ｉ１８ａ，Ｉ１１８ａ，Ｉ２０ａ，Ｉ１２０ａと、半筒状部材Ｅ１８ａ，Ｅ１１８ａ，Ｅ２０ａ，Ｅ１２０ａ，Ｇ１８ａ，Ｇ１１８ａ，Ｇ２０ａ，Ｇ１２０ａ，Ｈ１８ａ，Ｈ１１８ａ，Ｈ２０ａ，Ｈ１２０ａ，Ｉ１８ａ，Ｉ１１８ａ，Ｉ２０ａ，Ｉ１２０ａの先端Ｅ１８ｆ，Ｅ１１８ｆ，Ｅ２０ｆ，Ｅ１２０ｆ，Ｇ１８ｆ，Ｇ１１８ｆ，Ｇ２０ｆ，Ｇ１２０ｆ，Ｈ１８ｆ，Ｈ１１８ｆ，Ｈ２０ｆ，Ｈ１２０ｆ，Ｉ１８ｆ，Ｉ１１８ｆ，Ｉ２０ｆ，Ｉ１２０ｆ側に向けて光を照射する複数の投光部材Ｅ１８ｂ，Ｅ１１８ｂ，Ｅ２０ｂ，Ｅ１２０ｂ，Ｇ１８ｂ，Ｇ１１８ｂ，Ｇ２０ｂ，Ｇ１２０ｂ，Ｈ１８ｂ，Ｈ１１８ｂ，Ｈ２０ｂ，Ｈ１２０ｂ，Ｉ１８ｂ，Ｉ１１８ｂ，Ｉ２０ｂ，Ｉ１２０ｂとをそれぞれ含み、半筒状部材Ｅ１８ａ，Ｅ１１８ａ，Ｅ２０ａ，Ｅ１２０ａ，Ｇ１８ａ，Ｇ１１８ａ，Ｇ２０ａ，Ｇ１２０ａ，Ｈ１８ａ，Ｈ１１８ａ，Ｈ２０ａ，Ｈ１２０ａ，Ｉ１８ａ，Ｉ１１８ａ，Ｉ２０ａ，Ｉ１２０ａの先端Ｅ１８ｆ，Ｅ１１８ｆ，Ｅ２０ｆ，Ｅ１２０ｆ，Ｇ１８ｆ，Ｇ１１８ｆ，Ｇ２０ｆ，Ｇ１２０ｆ，Ｈ１８ｆ，Ｈ１１８ｆ，Ｈ２０ｆ，Ｈ１２０ｆ，Ｉ１８ｆ，Ｉ１１８ｆ，Ｉ２０ｆ，Ｉ１２０ｆが透明テーブルＴ上に位置する素体１の各側面ｓ１〜ｓ６及び素体１０１の各側面ｓ１０１〜ｓ１０６のそれぞれに向かうと共に、互いの内壁面が向かい合うように配置されている。そのため、素体１の各側面ｓ１〜ｓ６及び素体１０１の各側面ｓ１０１〜ｓ１０６には様々な方向（角度）から投光部材Ｄ１６ｂ，Ｄ１１６ｂ，Ｅ１８ｂ，Ｅ１１８ｂ，Ｅ２０ｂ，Ｅ１２０ｂ，Ｆ１６ｂ，Ｆ１１６ｂ，Ｇ１８ｂ，Ｇ１１８ｂ，Ｇ２０ｂ，Ｇ１２０ｂ，Ｈ１８ｂ，Ｈ１１８ｂ，Ｈ２０ｂ，Ｈ１２０ｂ，Ｉ１８ｂ，Ｉ１１８ｂ，Ｉ２０ｂ，Ｉ１２０ｂによる光がそれぞれ照射されることとなる。その結果、素体１，１０１の表面の凹凸によって生じる陰影の影響が低減されるので、素体１，１０１の外観検査を極めて高精度に行うことが可能となる。
【０１１３】
また、本実施形態においては、透明テーブルＴの周縁近傍に、透明テーブルＴの回転方向（矢印Ｒ方向）に沿って、外周側に外周側第１撮像ユニットＤ１０、外周側第２撮像ユニットＥ１０、外周側第３撮像ユニットＦ１０、外周側第４撮像ユニットＧ１０、外周側第５撮像ユニットＨ１０及び外周側第６撮像ユニットＩ１０がこの順に配置され、内周側に内周側第１撮像ユニットＤ１１０、内周側第２撮像ユニットＥ１１０、内周側第３撮像ユニットＦ１１０、内周側第４撮像ユニットＧ１１０、内周側第５撮像ユニットＨ１１０及び内周側第６撮像ユニットＩ１１０がこの順に配置されているそのため、上記特許文献１に記載されているような従来の外観検査装置のように、透明テーブルＴ上の素体１，１０１の対向する一対の側面を同時に撮像することがない。その結果、光の干渉による影響を大幅に抑制し、素体１，１０１の外観検査を極めて高精度に行うことが可能となっている。
【０１１４】
特に、透明テーブルＴの回転方向（矢印Ｒ方向）の順に、外・内周側第５撮像ユニットＨ１０，Ｈ１１０及び外・内周側第６撮像ユニットＩ１０，Ｉ１１０が隣り合うように並んで透明テーブルＴの周縁に配置されることから、半筒状照明Ｈ１８，Ｈ１１８，Ｈ２０，Ｈ１２０と半筒状照明Ｉ１８，Ｉ１１８，Ｉ２０，Ｉ１２０とが互いに背中合わせとなる。そのため、外・内周側第５撮像ユニットＨ１０，Ｈ１１０及び外・内周側第６撮像ユニットＩ１０，Ｉ１１０が隣り合うように並んでいても、外・内周側第５撮像ユニットＨ１０，Ｈ１１０及び外・内周側第６撮像ユニットＩ１０，Ｉ１１０のうち一方の撮像ユニットにおける半筒状照明からの光が他方の撮像ユニットにおけるカメラに入射し難くなっている。
【０１１５】
また、外・内周側第４撮像ユニットＧ１０，Ｇ１１０が、外・内周側第５撮像ユニットＨ１０，Ｈ１１０と隣り合うように、透明テーブルＴの周縁に配置されている。そのため、半筒状照明Ｈ１８，Ｈ１１８，Ｈ２０，Ｈ１２０からの光が主として透明テーブルＴの外周の接線方向に向かい、カメラＧ１２，Ｇ１１２に入射し難くなっていると共に、半筒状照明Ｇ１８，Ｇ１１８，Ｇ２０，Ｇ１２０からの光が主として透明テーブルＴの径方向に向かい、カメラＨ１２，Ｈ１１２に入射し難くなっている。
【０１１６】
さらに、外・内周側第４撮像ユニットＧ１０，Ｇ１１０に対して外・内周側第５撮像ユニットＨ１０，Ｈ１１０及び外・内周側第６撮像ユニットＩ１０，Ｉ１１０とは反対側において、外・内周側第１撮像ユニットＤ１０，Ｄ１１０及び外・内周側第３撮像ユニットＦ１０，Ｆ１１０が外・内周側第２撮像ユニットＥ１０，Ｅ１１０を間に置くと共に互いに隣り合うように、外・内周側第１撮像ユニットＤ１０，Ｄ１１０、外・内周側第２撮像ユニットＥ１０，Ｅ１１０及び外・内周側第３撮像ユニットＦ１０，Ｆ１１０が透明テーブルＴの周縁に並んで配置されている。そのため、外・内周側第１撮像ユニットＤ１０，Ｄ１１０、外・内周側第２撮像ユニットＥ１０，Ｅ１１０、外・内周側第３撮像ユニットＦ１０，Ｆ１１０及び外・内周側第４撮像ユニットＧ１０，Ｇ１１０のうち一の撮像ユニットにおけるドーム状照明又は半筒状照明による照明方向と当該一の撮像ユニットと隣り合う撮像ユニットにおけるドーム状照明又は半筒状照明による照明方向とは、互いに空間的にねじれの位置の関係にある。従って、外・内周側第１撮像ユニットＤ１０，Ｄ１１０、外・内周側第２撮像ユニットＥ１０，Ｅ１１０、外・内周側第３撮像ユニットＦ１０，Ｆ１１０及び外・内周側第４撮像ユニットＧ１０，Ｇ１１０のうち一の撮像ユニットにおけるドーム状照明又は半筒状照明からの光が当該一の撮像ユニットと隣り合う撮像ユニットにおけるカメラに入射し難くなっている。以上の結果、撮像ユニット間における光の干渉をより一層排除することが可能となっている。
【０１１７】
ここで、外観検査装置１０の雰囲気における屈折率と透明テーブルＴにおける屈折率とは一般に異なっているため、透明テーブルＴの内部を通過して素体１，１０１に到達する光は、外観検査装置１０の雰囲気と透明テーブルＴとの境界面において屈折する。そのため、透明テーブルＴの内部を通過して素体１，１０１に到達する光と透明テーブルＴの内部を通過しないで直接素体１，１０１に到達する光との間の照明条件が異なってしまうことが起こり得る。しかしながら、本実施形態においては、外・内周側第２撮像ユニットＥ１０，Ｅ１１０、外・内周側第４撮像ユニットＧ１０，Ｇ１１０、外・内周側第５撮像ユニットＨ１０，Ｈ１１０及び外・内周側第６撮像ユニットＩ１０，Ｉ１１０がそれぞれ一対の半筒状照明Ｅ１８，Ｅ１１８，Ｅ２０，Ｅ１２０，Ｇ１８，Ｇ１１８，Ｇ２０，Ｇ１２０，Ｈ１８，Ｈ１１８，Ｈ２０，Ｈ１２０，Ｉ１８，Ｉ１１８，Ｉ２０，Ｉ１２０を有しており、各一対の半筒状照明Ｅ１８，Ｅ１１８，Ｅ２０，Ｅ１２０，Ｇ１８，Ｇ１１８，Ｇ２０，Ｇ１２０，Ｈ１８，Ｈ１１８，Ｈ２０，Ｈ１２０，Ｉ１８，Ｉ１１８，Ｉ２０，Ｉ１２０が、互いの内壁面が向かい合い且つ中心軸線Ａに沿って透明テーブルＴ又は透明テーブルＴの表面を含む仮想平面Ｖを間におくように配置されている。そのため、一対の半筒状照明Ｅ１８，Ｅ１１８，Ｅ２０，Ｅ１２０，Ｇ１８，Ｇ１１８，Ｇ２０，Ｇ１２０，Ｈ１８，Ｈ１１８，Ｈ２０，Ｈ１２０，Ｉ１８，Ｉ１１８，Ｉ２０，Ｉ１２０のうち一方又は両方の角度、位置等を調整しながら一対の半筒状照明Ｅ１８，Ｅ１１８，Ｅ２０，Ｅ１２０，Ｇ１８，Ｇ１１８，Ｇ２０，Ｇ１２０，Ｈ１８，Ｈ１１８，Ｈ２０，Ｈ１２０，Ｉ１８，Ｉ１１８，Ｉ２０，Ｉ１２０を配置することで、光の干渉による影響を抑制しつつ、素体１，１０１の照明条件を均一に近づけることが可能となる。
【０１１８】
更に、素体供給ユニットＡ１０で素体１，１０１を透明テーブルの周縁部の外周側と内周側に配置して二列に並べると共に、素体１と素体１０１のそれぞれに対して配置された各撮像ユニットで並列処理を行うことが可能となるため、一列で処理した場合に比して単位時間当たりの検査処理能力を向上させることが可能となる。以上によって、光の干渉による影響を大幅に抑制し、検査対象物の外観検査を極めて高精度に行うことを可能とすると共に、高い検査精度を確保しながら検査処理能力を向上させることができる。
【０１１９】
またここで、外周側第２撮像ユニットＥ１０が透明テーブルＴの径方向における外方から素体１の側面ｓ２を撮像し、半筒状部材Ｅ１８ａ，Ｅ２０ａの先端が透明テーブルＴ上に位置する素体１の側面ｓ２に向かうように一対の半筒状照明Ｅ１８，Ｅ２０が配置されていることから、一対の半筒状照明Ｅ１８，Ｅ２０は透明テーブルＴの径方向における外方に位置していることになる。そして、本実施形態においては、この一対の半筒状照明Ｅ１８，Ｅ２０が、透明テーブルＴの中心軸線Ａに沿って透明テーブルＴの表面を含む仮想平面Ｖを間に置くように配置されているので、透明テーブルＴを取り外して外観検査装置１０をメンテナンスする際に、透明テーブルＴを一対の半筒状照明Ｅ１８，Ｅ２０間を通すことができる。そのため、外観検査装置１０のメンテナンスを容易に行えるようになる。
【０１２０】
また、本実施形態においては、外・内周側良品回収ユニットＪ１０，Ｊ１１０及び外・内周側不良品回収ユニットＫ１０，Ｋ１１０によって、各撮像ユニットＤ１０，Ｅ１０，Ｆ１０，Ｇ１０，Ｈ１０，Ｉ１０，Ｄ１１０，Ｅ１１０，Ｆ１１０，Ｇ１１０，Ｈ１１０，Ｉ１１０によって各側面ｓ１〜ｓ６，ｓ１０１〜ｓ１０６の撮像が行われた後の素体１，１０１に対してイオン化されたガスを吹き付け、透明テーブルＴ上からその素体１，１０１を取り除き、回収ボックスＪ１４、Ｋ１４，Ｊ１１４、Ｋ１１４に回収している。ここで、イオン化されていないガスを透明テーブルＴに吹き付けると、吹き付けられたガスと透明テーブルＴの表面との間に摩擦が生じ、透明テーブルＴの表面が帯電することがある。このように、透明テーブルＴの表面が帯電すると、外観検査装置１０の雰囲気中のゴミや素体１，１０１の破片等の異物が透明テーブルＴの表面に付着してしまい、透明テーブルＴが汚染されたり、素体１，１０１自体が透明テーブルＴの表面に付着してしまい、素体１，１０１を透明テーブルＴから除去することが困難となるという懸念がある。しかしながら、本実施形態においては、素体１，１０１に対してイオン化されたガスを吹き付けるようにしているので、透明テーブルＴの表面の帯電を除去（除電）でき、異物や素体１，１０１の透明テーブルＴへの付着を抑制することが可能となると共に、透明テーブルＴの表面の帯電自体を防止することが可能となる。
【０１２１】
以上、本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記した実施形態に限定されるものではない。例えば、本実施形態では外観検査装置１０により素体１，１０１の外観を検査していたが、素体１，１０１の外表面に更に電極を設けて完成された各種電子部品に対しても本発明を適用することができる。
【０１２２】
また、本実施形態では、素体１，１０１の側面ｓ３，ｓ１０３が透明テーブルＴの表面に当接すると共に素体１，１０１の側面ｓ４，ｓ１０４が透明テーブルＴの中心軸線Ａ側に向くように（素体１，１０１の幅方向が透明テーブルＴの径方向に沿うと共に素体１，１０１の高さ方向が透明テーブルＴの表面の垂線に沿うように）、素体１，１０１が透明テーブルＴに供給されていたが、透明テーブルＴに供給される素体１，１０１の姿勢はこれ以外であってもよい。例えば、素体１，１０１の側面ｓ３，ｓ１０３が透明テーブルＴの表面に当接すると共に素体１，１０１の側面ｓ６，ｓ１０６が透明テーブルＴの中心軸線Ａ側に向いて（素体１，１０１の幅方向が透明テーブルＴの径方向に沿うと共に素体１，１０１の長さ方向が透明テーブルＴの表面の垂線に沿って）いてもよく、素体１，１０１の側面ｓ４，ｓ１０４が透明テーブルＴの表面に当接すると共に素体１，１０１の側面ｓ１，ｓ１０１が透明テーブルＴの中心軸線Ａ側に向いて（素体１，１０１の高さ方向が透明テーブルＴの径方向に沿うと共に素体１，１０１の幅方向が透明テーブルＴの表面の垂線に沿って）いてもよく、素体１，１０１の側面ｓ４，ｓ１０４が透明テーブルＴの表面に当接すると共に素体１，１０１の側面ｓ６，ｓ１０６が透明テーブルＴの中心軸線Ａ側に向いて（素体１，１０１の長さ方向が透明テーブルＴの径方向に沿うと共に素体１，１０１の幅方向が透明テーブルＴの表面の垂線に沿って）いてもよく、素体１，１０１の側面ｓ６，ｓ１０６が透明テーブルＴの表面に当接すると共に素体１，１０１の側面ｓ１，ｓ１０１が透明テーブルＴの中心軸線Ａ側に向いて（素体１，１０１の高さ方向が透明テーブルＴの径方向に沿うと共に素体１，１０１の長さ方向が透明テーブルＴの表面の垂線に沿って）いてもよく、素体１，１０１の側面ｓ６，ｓ１０６が透明テーブルＴの表面に当接すると共に素体１，１０１の側面ｓ４，ｓ１０４が透明テーブルＴの中心軸線Ａ側に向いて（素体１，１０１の幅方向が透明テーブルＴの径方向に沿うと共に素体１，１０１の長さ方向が透明テーブルＴの表面の垂線に沿って）いてもよい。
【０１２３】
また、本実施形態では、透明テーブルＴの周縁近傍に、透明テーブルＴの回転方向（矢印Ｒ方向）に沿って、外・内周側第１撮像ユニットＤ１０，Ｄ１１０、外・内周側第２撮像ユニットＥ１０，Ｅ１１０、外・内周側第３撮像ユニットＦ１０，Ｆ１１０、外・内周側第４撮像ユニットＧ１０，Ｇ１１０、外・内周側第５撮像ユニットＨ１０，Ｈ１１０及び外・内周側第６撮像ユニットＩ１０，Ｉ１１０がこの順に配置されていたが、この配置に限定されない。ここで、外・内周側第５撮像ユニットＨ１０，Ｈ１１０及び外・内周側第６撮像ユニットＩ１０，Ｉ１１０から構成されており、透明テーブルＴの回転方向の順に、外・内周側第５撮像ユニットＨ１０，Ｈ１１０及び外・内周側第６撮像ユニットＩ１０，Ｉ１１０が隣り合うように並んで配置される配列グループをそれぞれ外周側第２グループ及び内周側第２グループとし、外・内周側第１撮像ユニットＤ１０，Ｄ１１０、外・内周側第２撮像ユニットＥ１０，Ｅ１１０、外・内周側第３撮像ユニットＦ１０，Ｆ１１０、外・内周側第４撮像ユニットＧ１０，Ｇ１１０から構成されており、外・内周側第４撮像ユニットＧ１０，Ｇ１１０が外・内周側第５撮像ユニットＨ１０，Ｈ１１０又は外・内周側第６撮像ユニットＩ１０，Ｉ１１０と隣り合うように配置され、外・内周側第１撮像ユニットＤ１０，Ｄ１１０、外・内周側第２撮像ユニットＥ１０，Ｅ１１０及び外・内周側第３撮像ユニットＦ１０，Ｆ１１０は、外・内周側第４撮像ユニットＧ１０，Ｇ１１０に対して外・内周側第５撮像ユニットＨ１０，Ｈ１１０及び外・内周側第６撮像ユニットＩ１０，Ｉ１１０とは反対側において、外・内周側第１撮像ユニットＤ１０，Ｄ１１０及び外・内周側第３撮像ユニットＦ１０，Ｆ１１０が外・内周側第２撮像ユニットＥ１０，Ｅ１１０を間に置くと共に互いに隣り合うように並んで配置される配列グループをそれぞれ外周側第１グループ及び内周側第１グループとして説明する。まず、上述の実施形態では、透明テーブルの回転方向に、外周側第１グループ及び外周側第２グループの順に配置すると共に、内周側第１グループ及び内周側第２グループの順に配置するパターン（第１配列パターンとする）であったが、これに代えて、透明テーブルＴの回転方向に、外周側第２グループ及び外周側第１グループの順に配置すると共に、内周側第２グループ及び内周側第１グループの順に配置するパターン（第２配列パターンとする）でもよく、あるいは、透明テーブルＴの回転方向に、外周側第１グループ及び外周側第２グループの順に配置すると共に、内周側第２グループ及び内周側第１グループの順に配置するパターン（第３配列パターンとする）でもよく、あるいは、透明テーブルＴの回転方向に、外周側第２グループ及び外周側第１グループの順に配置すると共に、内周側第１グループ及び内周側第２グループの順に配置するパターン（第４配列パターンとする）であってもよい。
【０１２４】
第２配列パターンについて具体的に説明する。第２配列パターンでは、図１４に示されるように、透明テーブルＴの周縁近傍に、透明テーブルＴの回転方向に沿って、外周側第５撮像ユニットＨ１０、外周側第６撮像ユニットＩ１０、外周側第４撮像ユニットＧ１０、外周側第１撮像ユニットＤ１０、外周側第２撮像ユニットＥ１０及び外周側第３撮像ユニットＦ１０がこの順に配置されると共に、それより内周側に内周側第５撮像ユニットＨ１１０、内周側第６撮像ユニットＩ１１０、内周側第４撮像ユニットＧ１１０、内周側第１撮像ユニットＤ１１０、内周側第２撮像ユニットＥ１１０及び内周側第３撮像ユニットＦ１１０がこの順に配置される。
【０１２５】
第３配列パターンについて具体的に説明する。第３配列パターンでは、図１５に示されるように、透明テーブルＴの周縁近傍に、透明テーブルＴの回転方向に沿って、外周側第１撮像ユニットＤ１０、外周側第２撮像ユニットＥ１０、外周側第３撮像ユニットＦ１０、外周側第４撮像ユニットＧ１０、外周側第５撮像ユニットＨ１０、外周側第６撮像ユニットＩ１０、がこの順に配置されると共に、それより内周側に内周側第５撮像ユニットＨ１１０、内周側第６撮像ユニットＩ１１０、内周側第４撮像ユニットＧ１１０、内周側第１撮像ユニットＤ１１０、内周側第２撮像ユニットＥ１１０及び内周側第３撮像ユニットＦ１１０がこの順に配置される。
【０１２６】
第４配列パターンについて具体的に説明する。第４配列パターンでは、図１６に示されるように、透明テーブルＴの周縁近傍に、透明テーブルＴの回転方向に沿って、外周側第５撮像ユニットＨ１０、外周側第６撮像ユニットＩ１０、外周側第４撮像ユニットＧ１０、外周側第１撮像ユニットＤ１０、外周側第２撮像ユニットＥ１０及び外周側第３撮像ユニットＦ１０がこの順に配置されると共に、それより内周側に内周側第１撮像ユニットＤ１１０、内周側第２撮像ユニットＥ１１０、内周側第３撮像ユニットＦ１１０、内周側第４撮像ユニットＧ１１０、内周側第５撮像ユニットＨ１１０、内周側第６撮像ユニットＩ１１０がこの順に配置される。
【０１２７】
特に、第３配列パターン及び第４配列パターンを採用した場合は、外周側のグループ配列と内周側のグループ配列を互い違いにすることによって、透明テーブルＴの回転軸線周りの位相（角度位置）を考慮した場合に、同じ位相上に配置される撮像ユニットのタイプ（例えば、外周側第１撮像ユニットＤ１０と内周側第１撮像ユニットＤ１１０を同じタイプとする）を外周側と内周側とで異なるものとすることができる。これによって、外周側の撮像ユニットと内周側の撮像ユニット同士が配置上干渉することを回避し、装置全体をコンパクトな構成とすることができる。
【０１２８】
なお、第１配列パターン、第２配列パターン、第３配列パターン、第４配列パターンのいずれの場合についても、外周側第１グループ内で外周側第１撮像ユニットＤ１０と外周側第３撮像ユニットＨ１０とを入れ替えてもよく、更に、内周側第１グループ内で内周側第１撮像ユニットＤ１１０とに内周側第３撮像ユニットＨ１１０とを入れ替えてもよい。
【０１２９】
また、図１、図１４〜図１６の例では、何れも６個の外周側撮像ユニットと６個の内周側撮像ユニットの位相が同じであったが（回転方向の順で一番目の外周側撮像ユニットと一番目の内周側撮像ユニットとは径方向に隣接しており、二番目〜六番目の撮像ユニットについても同じ関係が成り立つ状態）、外周側と内周側で撮像ユニットの位相がずれていてもよい。更に、外周側あるいは内周側の撮像ユニットが回転方向に向かって撮像ユニット一つ分位相がずれていてもよく、二つ以上位相がずれていてもよい。例えば、内周側撮像ユニットが回転方向に向かって撮像ユニット一つ分の位相がずれる場合は、回転方向の順で一番目の内周側撮像ユニットは、二番目の外周側撮像ユニットと径方向に隣接する位置関係となる。ただし、この場合、透明テーブルＴの径方向において、外周側第１撮像ユニットＤ１０は、内周側第３撮像ユニットＦ１１０以外の内周側の撮像ユニットと隣接し、外周側第２撮像ユニットＥ１０は、内周側第４撮像ユニットＧ１１０以外の内周側の撮像ユニットと隣接し、外周側第３撮像ユニットＦ１０は、内周側第１撮像ユニットＤ１０以外の内周側の撮像ユニットと隣接する位置関係としなければならない。外周側と内周側とで撮像方向が互いに対向し合う撮像ユニット同士が透明テーブルＴの径方向において隣接しない配置とすることによって、一方の撮像ユニットにおける照明部からの光が他方の撮像ユニットにおけるカメラに入射し難くなっている。
【０１３０】
また、ドーム状照明Ｄ１６，Ｆ１６，Ｄ１１６，Ｆ１１６及び半筒状照明Ｅ１８，Ｅ２０，Ｇ１８，Ｇ２０，Ｈ１８，Ｈ２０，Ｉ１８，Ｉ２０，Ｅ１１８，Ｅ１２０，Ｇ１１８，Ｇ１２０，Ｈ１１８，Ｈ１２０，Ｉ１１８，Ｉ１２０の形状によって撮像ユニット間における光の干渉を排除することに加え、隣り合う撮像ユニット同士の間に遮光板等を配置することで、更に光の干渉を排除するようにしてもよい。
【０１３１】
また、本実施形態では、ドーム状照明Ｄ１６，Ｆ１６，Ｄ１１６，Ｆ１１６及び半筒状照明Ｅ１８，Ｅ２０，Ｇ１８，Ｇ２０，Ｈ１８，Ｈ２０，Ｉ１８，Ｉ２０，Ｅ１１８，Ｅ１２０，Ｇ１１８，Ｇ１２０，Ｈ１１８，Ｈ１２０，Ｉ１１８，Ｉ１２０がいずれも平板状の基部を有していたが、基部が平板状でなくてもよい。
【０１３２】
また、ドーム状照明Ｄ１６，Ｆ１６，Ｄ１１６，Ｆ１１６及び半筒状照明Ｅ１８，Ｅ２０，Ｇ１８，Ｇ２０，Ｈ１８，Ｈ２０，Ｉ１８，Ｉ２０，Ｅ１１８，Ｅ１２０，Ｇ１１８，Ｇ１２０，Ｈ１１８，Ｈ１２０，Ｉ１１８，Ｉ１２０の位置や角度を調整するための調整機構を設け、素体１，１０１の大きさ等に合わせて位置や角度を変更するようにしてもよい。特に、調整機構によって半筒状照明Ｅ１８，Ｅ２０，Ｇ１８，Ｇ２０，Ｈ１８，Ｈ２０，Ｉ１８，Ｉ２０，Ｅ１１８，Ｅ１２０，Ｇ１１８，Ｇ１２０，Ｈ１１８，Ｈ１２０，Ｉ１１８，Ｉ１２０の位置や角度を調整することで、外観検査装置１０の雰囲気と透明テーブルＴとの境界面において生じる光の屈折の影響を低減することが可能となる。
【０１３３】
また、透明テーブルＴの表面を、透明な導電膜で覆うようにしてもよい。このようにすると、導電膜において電荷が移動しやすくなるので、素体１が載置される面の帯電を抑制することが可能となる。なお、透明テーブルＴの表面を覆う透明な導電膜を接地（アース）しておくと、電荷を外部に逃すことができるようになるため好ましい。
【０１３４】
また、本実施形態では、素体１の各側面ｓ１〜ｓ６，ｓ１０１〜１０６の撮像にあたり、制御部１２によって各照明Ｄ１６，Ｅ１８，Ｅ２０，Ｆ１６，Ｇ１８，Ｇ２０，Ｈ１８，Ｈ２０，Ｉ１８，Ｉ２０，Ｄ１１６，Ｅ１１８，Ｅ１２０，Ｆ１１６，Ｇ１１８，Ｇ１２０，Ｈ１１８，Ｈ１２０，Ｉ１１８，Ｉ１２０に対しストロボ光による照明を行わせているが、各照明Ｄ１６，Ｅ１８，Ｅ２０，Ｆ１６，Ｇ１８，Ｇ２０，Ｈ１８，Ｈ２０，Ｉ１８，Ｉ２０，Ｄ１１６，Ｅ１１８，Ｅ１２０，Ｆ１１６，Ｇ１１８，Ｇ１２０，Ｈ１１８，Ｈ１２０，Ｉ１１８，Ｉ１２０を常時点灯させるようにしてもよい。ただし、ストロボ光を用いた方が、より大きな光量を瞬間的に得ることができるので、素体１，１０１の各側面ｓ１〜ｓ６，ｓ１０１〜ｓ１０６を均一に照らすことができる。
【０１３５】
また、本実施形態においては、外周側と内周側の二列並列処理を行う場合について説明したが、外周側や内周側に更に列を追加し、３列以上で並列処理を行ってもよい。これによって、更に処理能力を向上させることができる。
【符号の説明】
【０１３６】
１…素体（検査対象物）、１０…外観検査装置、１２…制御部、ｓ１…側面（第１側面）、ｓ２…側面（第２側面）、ｓ３…側面（第３側面）、ｓ４…側面（第４側面）、ｓ５…側面（第５側面）、ｓ６…側面（第６側面）、Ａ…中心軸、Ａ１０…素体供給ユニット（配置手段）、Ｄ１０…第１撮像ユニット（第１撮像手段）、Ｄ１２…カメラ（第１撮像部）、Ｄ１６…ドーム状照明（第１照明部）、Ｄ１６ａ…椀状部材（第１保持部材）、Ｄ１６ｂ…投光部材（第１投光部材）、Ｄ１６ｃ…開口（一方の開口）、Ｄ１６ｅ…開口（他方の開口）、Ｅ１０…第２撮像ユニット（第２撮像手段）、Ｅ１２…透明テーブルＴカメラ（第２撮像部）、Ｅ１８，Ｅ２０…半筒状照明（第２照明部）、Ｅ１８ａ，Ｅ２０ａ…半筒状部材（第２保持部材）、Ｅ１８ｂ，Ｅ２０ｂ…投光部材（第２投光部材）、Ｆ１０…第３撮像ユニット（第３撮像手段）、Ｆ１２…カメラ（第３撮像部）、Ｆ１８…ドーム状照明（第３照明部）、Ｆ１８ａ…椀状部材（第３保持部材）、Ｆ１８ｂ…投光部材（第３投光部材）、Ｆ１８ｃ…開口（一方の開口）、Ｆ１８ｅ…開口（他方の開口）、Ｇ１０…第４撮像ユニット（第４撮像手段）、Ｇ１２…カメラ（第４撮像部）、Ｇ１８，Ｇ２０…半筒状照明（第４照明部）、Ｇ１８ａ，Ｇ２０ａ…半筒状部材（第４保持部材）、Ｇ１８ｂ，Ｇ２０ｂ…投光部材（第４投光部材）、Ｈ１０…第５撮像ユニット（第５撮像手段）、Ｈ１２…カメラ（第５撮像部）、Ｈ１８，Ｈ２０…半筒状照明（第５照明部）、Ｈ１８ａ，Ｈ２０ａ…半筒状部材（第５保持部材）、Ｈ１８ｂ，Ｈ２０ｂ…投光部材（第５投光部材）、Ｉ１０…第６撮像ユニット（第６撮像手段）、Ｉ１２…カメラ（第６撮像部）、Ｉ１８，Ｉ２０…半筒状照明（第６照明部）、Ｉ１８ａ，Ｉ２０ａ…半筒状部材（第６保持部材）、Ｉ１８ｂ，Ｉ２０ｂ…投光部材（第６投光部材）、Ｊ１０…良品回収ユニット（除去手段）、Ｋ１０…不良品回収ユニット（除去手段）、Ｔ…透明テーブル。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、外観検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、チップコンデンサやチップインダクタ等の略直方体形状の電子部品の外観を検査する外観検査装置が知られている（例えば、下記特許文献１参照）。この外観検査装置は、透明テーブルと、上下面撮像ブロックと、側面撮像ブロックと、端面撮像ブロックとを備えている。
【０００３】
上下面撮像ブロックは、透明テーブルを間に置くように配置された一対の第１撮像手段（カメラ及び照明部）を有しており、透明テーブル上の電子部品の上下面を同時に撮像する。側面撮像ブロックは、一対の第２撮像手段（カメラ及び照明部）及び２つのプリズムを有し、この２つのプリズムによって２つのカメラの光軸が互いに対向するようになっており、透明テーブル上の電子部品の両側面を同時に撮像する。端面撮像ブロックは、一対のカメラを有し、この一対のカメラが、電子部品の各端面に向かうように、透明テーブルに対して所定の角度傾いた状態で配置されており、透明テーブル上の電子部品の両端面を同時に撮像する。
【０００４】
この外観検査装置では、透明テーブルによって電子部品を搬送しているため、電子部品の外表面に向かういずれの方向からでも電子部品を視認することができ、電子部品の撮像にあたって電子部品を持ち替える必要がない。そのため、高速に効率よく電子部品の外観検査が行えるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−１３９５１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記特許文献１に記載されたような従来の外観検査装置では、電子部品の上下面及び両側面をそれぞれ同時に撮像しているため、一方の撮像手段の照明部からの光が他方の撮像手段のカメラに入射してしまうことがあった。そのため、一方の撮像手段の照明部からの光と、他方の撮像手段の照明部の光が電子部品において反射した光とが、同時に他方の撮像手段のカメラに入射し、それぞれの光が互いに干渉し合い、欠陥を誤認識してしまう虞があった。また、一対の撮像手段の照明部は、電子部品の撮像面を挟んで相対する方向から、狭い投光角度で、同時に撮像面の照明を行うことから、電子部品の撮像面に陰影が生じ、欠陥の検出精度が低下してしまうことがあった。
【０００７】
更に、このような外観検査装置においては、装置を大型化することなしに検査処理能力を高めることが求められているが、単に高速化しただけでは、電子部品の表面に存在する凹凸形状による陰影を欠陥と誤認識してしまうように、検査精度が低下してしまうという問題が発生する。
【０００８】
そこで、本発明は、光の干渉による影響を大幅に抑制し、検査対象物の外観検査を極めて高精度に行うことを可能とすると共に、高い検査精度を確保しながら検査処理能力を向上させることのできる外観検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る外観検査装置は、第１側面、第２側面、第３側面、第４側面、第５側面及び第６側面を有し、第１側面及び第３側面は、第２側面と第４側面とを連結し且つ第５側面と第６側面とを連結すると共に互いに対向しており、第２側面及び第４側面は、第１側面と第３側面とを連結し且つ第５側面と第６側面とを連結すると共に互いに対向しており、第５側面及び第６側面は、第１側面と第３側面とを連結し且つ第２側面と第４側面とを連結すると共に互いに対向している、略直方体形状の検査対象物の外観検査を行うための外観検査装置であって、自身の中心軸を中心として一定方向に回転可能な略円形状の透明テーブルと、第３側面が透明テーブルに当接すると共に第４側面が中心軸側に向くように、検査対象物を透明テーブルの表面における外周側の周縁部に配置すると共に、検査対象物を透明テーブルの表面における内周側の周縁部に配置する配置手段と、透明テーブルの上方から外周側検査対象物の第１側面を撮像する外周側第１撮像手段及び透明テーブルの上方から内周側検査対象物の第１側面を撮像する内周側第１撮像手段と、透明テーブルの径方向における外側から外周側検査対象物の第２側面を撮像する外周側第２撮像手段及び透明テーブルの径方向における外側から内周側検査対象物の第２側面を撮像する内周側第２撮像手段と、透明テーブルを通して外周側検査対象物の第３側面を撮像する外周側第３撮像手段及び透明テーブルを通して内周側検査対象物の第３側面を撮像する内周側第３撮像手段と、透明テーブルの径方向における内側から外周側検査対象物の第４側面を撮像する外周側第４撮像手段及び透明テーブルの径方向における内側から内周側検査対象物の第４側面を撮像する内周側第４撮像手段と、透明テーブルの回転方向における前方側から外周側検査対象物の第５側面を撮像する外周側第５撮像手段及び透明テーブルの回転方向における前方側から内周側検査対象物の第５側面を撮像する外周側第５撮像手段と、透明テーブルの回転方向における後方側から外周側検査対象物の第６側面を撮像する外周側第６撮像手段及び透明テーブルの回転方向における後方側から内周側検査対象物の第６側面を撮像する内周側第６撮像手段とを備え、外周側第１撮像手段及び内周側第１撮像手段は、外周側検査対象物及び内周側検査対象物の第１側面の撮像をそれぞれ行う第１撮像部と、外周側検査対象物及び内周側検査対象物の第１側面の照明をそれぞれ行う第１照明部とを有し、第１照明部は、一対の開口が設けられており、該一対の開口のうち一方の開口から他方の開口に向かう側に窪む凹曲面状とされると共に第１撮像部の撮像軸線を囲む内壁面を含む第１保持部材と、第１撮像部の撮像軸線を囲むように第１保持部材の内壁面において保持され、第１保持部材の一方の開口側に向けて光を照射する複数の第１投光部材とを含み、第１撮像部よりも透明テーブル上に位置する外周側検査対象物及び内周側検査対象物寄りとなると共に、第１保持部材の一方の開口が透明テーブル上に位置する外周側検査対象物及び内周側検査対象物の第１側面に向かうようにそれぞれ配置され、外周側第２撮像手段及び内周側第２撮像手段は、外周側検査対象物及び内周側検査対象物の第２側面の撮像をそれぞれ行う第２撮像部と、外周側検査対象物及び内周側検査対象物の第２側面の照明をそれぞれ行う一対の第２照明部とをそれぞれ有し、一対の第２照明部は、半筒状を呈しており、基端側から先端側に向かうにつれて拡径された曲面状の内壁面を含む第２保持部材と、第２保持部材の内壁面において保持され、第２保持部材の先端側に向けて光を照射する複数の第２投光部材とをそれぞれ含み、第２撮像部よりも透明テーブル上に位置する外周側検査対象物及び内周側検査対象物寄りにそれぞれ配置されていると共に、第２保持部材の先端が透明テーブル上に位置する外周側検査対象物及び内周側検査対象物の第２側面に向かい、互いの内壁面が向かい合い且つ中心軸に沿って透明テーブルの表面を含む仮想平面、及び透明テーブルを間に置くようにそれぞれ配置されており、外周側第３撮像手段及び内周側第３撮像手段は、外周側検査対象物及び内周側検査対象物の第３側面の撮像をそれぞれ行う第３撮像部と、外周側検査対象物及び内周側検査対象物の第３側面の照明をそれぞれ行う第３照明部とを有し、第３照明部は、一対の開口が設けられており、該一対の開口のうち一方の開口から他方の開口に向かう側に窪む凹曲面状とされると共に第３撮像部の撮像軸線を囲む内壁面を含む第３保持部材と、第３撮像部の撮像軸線を囲むように第３保持部材の内壁面において保持され、第３保持部材の一方の開口側に向けて光を照射する複数の第３投光部材とを含み、第３撮像部よりも透明テーブル上に位置する外周側検査対象物及び内周側検査対象物寄りとなると共に、第３保持部材の一方の開口が透明テーブル上に位置する外周側検査対象物及び内周側検査対象物の第３側面に向かうようにそれぞれ配置され、外周側第４撮像手段及び内周側第４撮像手段は、外周側検査対象物及び内周側検査対象物の第４側面の撮像をそれぞれ行う第４撮像部と、外周側検査対象物及び内周側検査対象物の第４側面の照明をそれぞれ行う一対の第４照明部とを有し、一対の第４照明部は、半筒状を呈しており、基端側から先端側に向かうにつれて拡径された曲面状の内壁面を含む第４保持部材と、第４保持部材の内壁面において保持され、第４保持部材の前端側に向けて光を照射する複数の第４投光部材とをそれぞれ含み、第４撮像部よりも透明テーブル上に位置する外周側検査対象物及び内周側検査対象物寄りにそれぞれ配置されていると共に、第４保持部材の先端が透明テーブル上に位置する外周側検査対象物及び内周側検査対象物の第４側面に向かい、互いの内壁面が向かい合い且つ中心軸に沿って透明テーブルを間に置くようにそれぞれ配置されており、外周側第５撮像手段及び内周側第５撮像手段は、外周側検査対象物及び内周側検査対象物の第５側面の撮像をそれぞれ行う第５撮像部と、外周側検査対象物及び内周側検査対象物の第５側面の照明をそれぞれ行う一対の第５照明部とを有し、一対の第５照明部は、半筒状を呈しており、基端側から先端側に向かうにつれて拡径された曲面状の内壁面を含む第５保持部材と、第５保持部材の内壁面において保持され、第５保持部材の先端側に向けて光を照射する複数の第５投光部材とをそれぞれ含み、第５撮像部よりも透明テーブル上に位置する外周側検査対象物及び内周側検査対象物寄りにそれぞれ配置されていると共に、第５保持部材の先端が透明テーブル上に位置する外周側検査対象物及び内周側検査対象物の第５側面に向かい、互いの内壁面が向かい合い且つ中心軸に沿って透明テーブルを間に置くようにそれぞれ配置されており、外周側第６撮像手段及び内周側第６撮像手段は、外周側検査対象物及び内周側検査対象物の第６側面の撮像をそれぞれ行う第６撮像部と、外周側検査対象物及び内周側検査対象物の第６側面の照明をそれぞれ行う一対の第６照明部とを有し、一対の第６照明部は、半筒状を呈しており、基端側から先端側に向かうにつれて拡径された曲面状の内壁面を含む第６保持部材と、第６保持部材の内壁面において保持され、第６保持部材の先端側に向けて光を照射する複数の第６投光部材とをそれぞれ含み、第６撮像部よりも透明テーブル上に位置する外周側検査対象物及び内周側検査対象物寄りにそれぞれ配置されていると共に、第６保持部材の先端が透明テーブル上に位置する外周側検査対象物及び内周側検査対象物の第６側面に向かい、互いの内壁面が向かい合い且つ中心軸に沿って透明テーブルを間に置くようにそれぞれ配置されており、外周側第１撮像手段、外周側第２撮像手段、外周側第３撮像手段、外周側第４撮像手段、外周側第５撮像手段及び外周側第６撮像手段は、それぞれが互いに異なる位置となるように、透明テーブルの周縁部に沿って並んで配置され、透明テーブルの回転方向の順に、外周側第５撮像手段及び外周側第６撮像手段が隣り合うように並んで配置され、外周側第４撮像手段は、外周側第５撮像手段又は外周側第６撮像手段と隣り合うように配置され、外周側第１撮像手段、外周側第２撮像手段及び外周側第３撮像手段は、外周側第４撮像手段に対して外周側第５撮像手段及び外周側第６撮像手段とは反対側において、外周側第１撮像手段及び外周側第３撮像手段が外周側第２撮像手段を間に置くと共に互いに隣り合うように並んで配置されており、内周側第１撮像手段、内周側第２撮像手段、内周側第３撮像手段、内周側第４撮像手段、内周側第５撮像手段及び内周側第６撮像手段は、それぞれが互いに異なる位置となるように、外周側第１撮像手段、外周側第２撮像手段、外周側第３撮像手段、外周側第４撮像手段、外周側第５撮像手段及び外周側第６撮像手段よりも内周側において、透明テーブルの周縁部に沿って並んで配置され、透明テーブルの回転方向の順に、内周側第５撮像手段及び内周側第６撮像手段が隣り合うように並んで配置され、内周側第４撮像手段は、内周側第５撮像手段又は内周側第６撮像手段と隣り合うように配置され、内周側第１撮像手段、内周側第２撮像手段及び内周側第３撮像手段は、内周側第４撮像手段に対して内周側第５撮像手段及び内周側第６撮像手段とは反対側において、内周側第１撮像手段及び内周側第３撮像手段が内周側第２撮像手段を間に置くと共に互いに隣り合うように並んで配置されていることを特徴とする。
【００１０】
近年、検査対象物である電子部品等はより一層の小型化が要求されている。ところが、検査対象物が小さくなればなるほど、検査対象物の表面の凹凸によって生じる陰影の割合が相対的に多くなってしまい、欠陥によって生じる陰影の識別が困難となる傾向にある。しかしながら、本発明に係る外観検査装置では、外周側・内周側第１撮像手段及び外周側・内周側第３撮像手段がそれぞれ有する照明部が、一対の開口のうち一方の開口から他方の開口に向かう側に窪む凹曲面状（いわゆるドーム状）とされると共に撮像軸線を囲む内壁面を含む保持部材と、撮像軸線を囲むように保持部材の内壁面において保持され、保持部材の一方の開口側に向けて光を照射する複数の投光部材とを含んでいる。また、外周側・内周側第２撮像手段、外周側・内周側第４撮像手段、外周側・内周側第５撮像手段及び外周側・内周側第６撮像手段がそれぞれ有する一対の照明部が、半筒状を呈しており、基端側から先端側に向かうにつれて拡径された曲面状の内壁面を含む保持部材と、保持部材の内壁面において保持され、保持部材の先端側に向けて光を照射する複数の投光部材とをそれぞれ含み、保持部材の先端が透明テーブル上に位置する検査対象物の側面に向かうと共に、互いの内壁面が向かい合うように配置されている。そのため、検査対象物の各側面には様々な方向（角度）から投光部材による光が照射されることとなる。その結果、検査対象物の表面の凹凸によって生じる陰影の影響が低減されるので、検査対象物の外観検査を極めて高精度に行うことが可能となる。更に、本発明に係る外観検査装置では、外周側・内周側第１撮像手段、外周側・内周側第２撮像手段、外周側・内周側第３撮像手段、外周側・内周側第４撮像手段、外周側・内周側第５撮像手段及び外周側・内周側第６撮像手段が、それぞれが互いに異なる位置となるように、透明テーブルの周縁部に沿って並んで配置されている。そのため、上記特許文献１に記載されているような従来の外観検査装置のように、電子部品の異なる面を撮像するために各々設けられた複数の撮像手段が、透明テーブル上の検査対象物の対向する一対の側面を同時に撮像することがない。その結果、光の干渉による影響を大幅に抑制し、検査対象物の外観検査を極めて高精度に行うことが可能となっている。
【００１１】
更に、透明テーブルの周縁部においては、外周側及び内周側の両方について、透明テーブルの回転方向の順に、外周側・内周側第５撮像手段及び外周側・内周側第６撮像手段が隣り合うように並んで配置され、外周側・内周側第４撮像手段は、外周側・内周側第５撮像手段又は外周側・内周側第６撮像手段と隣り合うように、透明テーブルの周縁部に配置され、外周側・内周側第１撮像手段、外周側・内周側第２撮像手段及び外周側・内周側第３撮像手段は、外周側・内周側第４撮像手段に対して外周側・内周側第５撮像手段及び外周側・内周側第６撮像手段とは反対側において、外周側・内周側第１撮像手段及び外周側・内周側第３撮像手段が外周側・内周側第２撮像手段を間に置くと共に互いに隣り合うように、透明テーブルの周縁部に並んで配置されている。このように、透明テーブルの回転方向の順に、外周側・内周側第５撮像手段及び外周側・内周側第６撮像手段が隣り合うように並んで透明テーブルの周縁部に配置されることから、外周側・内周側第５撮像手段の照明部と外周側・内周側第６撮像手段の照明部とがそれぞれ互いに背中合わせとなる。そのため、外周側・内周側第５撮像手段及び外周側・内周側第６撮像手段が隣り合うように並んでいても、外周側・内周側第５撮像手段及び外周側・内周側第６撮像手段のうち一方の撮像手段における照明部からの光が他方の撮像手段における撮像部に入射し難くなっている。
【００１２】
また、外周側・内周側第４撮像手段が、外周側・内周側第５撮像手段又は外周側・内周側第６撮像手段と隣り合うように、透明テーブルの周縁部に配置されている。そのため、外周側・内周側第５撮像手段の照明部又は外周側・内周側第６撮像手段の照明部からの光が主として透明テーブルの外周の接線方向に向かい、外周側・内周側第４撮像手段の撮像部に入射し難くなっていると共に、外周側・内周側第４撮像手段の照明部からの光が主として透明テーブルの径方向に向かい、外周側・内周側第５撮像手段の撮像部又は外周側・内周側第６撮像手段の撮像部に入射し難くなっている。
【００１３】
更に、外周側・内周側第４撮像手段に対して外周側・内周側第５撮像手段及び外周側・内周側第６撮像手段とは反対側において、外周側・内周側第１撮像手段及び外周側・内周側第３撮像手段が外周側・内周側第２撮像手段を間に置くと共に互いに隣り合うように、外周側・内周側第１撮像手段、外周側・内周側第２撮像手段及び外周側・内周側第３撮像手段が透明テーブルの周縁部に並んで配置されている。そのため、外周側・内周側第１撮像手段、外周側・内周側第２撮像手段、外周側・内周側第３撮像手段及び外周側・内周側第４撮像手段のうち一の撮像手段における照明部による照明方向と当該一の撮像手段と隣り合う撮像手段における照明部による照明方向とは、互いに空間的にねじれの位置の関係にある。従って、外周側・内周側第１撮像手段、外周側・内周側第２撮像手段、外周側・内周側第３撮像手段及び外周側・内周側第４撮像手段のうち一の撮像手段における照明部からの光が当該一の撮像手段と隣り合う撮像手段における撮像部に入射し難くなっている。以上の結果、撮像手段間における光の干渉をより一層排除することが可能となっている。
【００１４】
更に、配置手段で検査対象物を透明テーブルの周縁部の外周側と内周側にそれぞれ配置して二列に並べると共に、外周側検査対象物と内周側検査対象物のそれぞれに対して配置された各撮像ユニットで並列処理を行うことが可能となるため、一列で処理した場合に比して単位時間当たりの検査処理能力を向上させることが可能となる。以上によって、光の干渉による影響を大幅に抑制し、検査対象物の外観検査を極めて高精度に行うことを可能とすると共に、高い検査精度を確保しながら検査処理能力を向上させることができる。
【００１５】
また、本発明に係る外観検査装置では、外周側第１撮像手段、外周側第２撮像手段、外周側第３撮像及び外周側第４撮像から構成されるグループを外周側第１グループとし、外周側第５撮像手段及び外周側第６撮像手段から構成されるグループを外周側第２グループとし、内周側第１撮像手段、内周側第２撮像手段、内周側第３撮像手段及び内周側第４撮像から構成されるグループを内周側第１グループとし、内周側第５撮像手段及び内周側第６撮像手段から構成されるグループを内周側第２グループとした場合に、透明テーブルの回転方向に、外周側第１グループ及び外周側第２グループの順に配置すると共に、内周側第２グループ及び内周側第１グループの順に配置することが好ましい。あるいは、透明テーブルの回転方向に、外周側第２グループ及び外周側第１グループの順に配置すると共に、内周側第１グループ及び内周側第２グループの順に配置することが好ましい。このように、外周側のグループ配列と内周側のグループ配列を互い違いにすることによって、透明テーブルの回転軸線周りの位相（角度位置）を考慮した場合に、同じ位相上に配置される撮像手段のタイプ（例えば、外周側第１撮像手段と内周側第１撮像手段を同じタイプとする）を外周側と内周側とで異なるものとすることができる。これによって、外周側の撮像手段と内周側の撮像手段同士が配置上干渉することを回避し、装置全体をコンパクトな構成とすることができる。
【００１６】
また、本発明に係る外観検査装置では、透明テーブルの径方向において、外周側第１撮像手段は、内周側第３撮像手段以外の内周側の撮像手段と隣接し、外周側第２撮像手段は、内周側第４撮像手段以外の内周側の撮像手段と隣接し、外周側第３撮像手段は、内周側第１撮像手段以外の内周側の撮像手段と隣接することが好ましい。外周側と内周側とで撮像方向が互いに対向し合う撮像手段同士が透明テーブルの径方向において隣接しない配置とすることによって、一方の撮像手段における照明部からの光が他方の撮像手段における撮像部に入射し難くなっている。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、光の干渉による影響を大幅に抑制し、検査対象物の外観検査を極めて高精度に行うことを可能とすると共に、高い検査精度を確保しながら検査処理能力を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】図１は、本実施形態に係る外観検査装置の全体を示す上面図である。
【図２】図２は、本実施形態に係る外観検査装置を示すブロック図である。
【図３】図３は、素体供給ユニットを示す斜視図である。
【図４】図４は、第１姿勢矯正ユニットを示す斜視図である。
【図５】図５は、第２姿勢矯正ユニットを示す斜視図である。
【図６】図６は、第１撮像ユニットを一部破断して示す図である。
【図７】図７は、第２撮像ユニットを一部破断して示す図である。
【図８】図８は、第３撮像ユニットを一部破断して示す図である。
【図９】図９は、第４撮像ユニットを一部破断して示す図である。
【図１０】図１０は、第５撮像ユニットを一部破断して示す図である。
【図１１】図１１は、第６撮像ユニットを一部破断して示す図である。
【図１２】図１２は、良品回収ボックス又は不良品回収ボックスを一部破断して示す図である。
【図１３】図１３は、本実施形態に係る外観検査装置の検査対象物である素体を示す斜視図である。
【図１４】図１４は、本実施形態に係る外観検査装置の他の例の全体を示す上面図である。
【図１５】図１５は、本実施形態に係る外観検査装置の他の例の全体を示す上面図である。
【図１６】図１６は、本実施形態に係る外観検査装置の他の例の全体を示す上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
本発明に係る外観検査装置１０の好適な実施形態について、図面を参照して説明する。外観検査装置１０は、チップコンデンサやチップインダクタ等といった電子部品を構成する素体（外周側検査対象物）１及び素体（内周側検査対象物）１０１をそれぞれ円形状に二列に配列し、素体１，１０１の表面における欠陥の有無を検出するものである。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。
【００２０】
［素体の構成］
まず、外周側に配列される素体１及びに内周側に配列される素体１０１について、図１３を参照して説明する。素体１，１０１は、素体１，１０１が電子部品となったときにコンデンサとして機能させるための内部電極となる電極パターンや、素体１，１０１が電子部品となったときにインダクタとして機能させるための内部導体となる導体パターンが形成されたセラミックグリーンシートを複数積層して圧着し、所定温度にて所定時間焼成した後、バレル研磨することで形成される。
【００２１】
素体１は、略直方体形状を呈している。素体１は、Ｘ軸方向（以下、「高さ方向」という）に対向する一対の側面ｓ１（第１側面），ｓ３（第３側面）と、Ｙ軸方向（以下、「幅方向」という）に対向する一対の側面ｓ２（第２側面），ｓ４（第４側面）と、Ｚ軸方向（以下、「長さ方向」という）に対向する一対の側面ｓ５（第５側面），ｓ６（第６側面）とを有している。そのため、側面ｓ１，ｓ２と側面ｓ３，ｓ４とは隣り合うように位置しており、側面ｓ１，ｓ２と側面ｓ５，ｓ６とは隣り合うように位置しており、側面ｓ３，ｓ４と側面ｓ５，ｓ６とは隣り合うように位置している。また、側面ｓ１，ｓ２は、側面ｓ３と側面ｓ４とを連結すると共に側面ｓ５と側面ｓ６とを連結し、側面ｓ３，ｓ４は、側面ｓ１と側面ｓ２とを連結すると共に側面ｓ５と側面ｓ６とを連結し、側面ｓ５，ｓ６は、側面ｓ１と側面ｓ２とを連結すると共に側面ｓ３と側面ｓ４とを連結している。
【００２２】
ここで、素体１が電子部品となったときにいわゆる０４０２や０６０３と呼ばれる大きさとなるように素体１の大きさを設定することが好ましく、素体１の高さは、例えば０．２ｍｍ〜０．５ｍｍ程度に設定することができ、素体１の幅は、例えば０．２ｍｍ〜０．５ｍｍ程度に設定することができ、素体１の長さは、例えば０．４ｍｍ〜１ｍｍ程度に設定することができる。なお、素体１の稜部は、素体１を形成する際のバレル研磨工程によって面取りされており、丸みを帯びた状態となっている。
【００２３】
内周側に配列される素体１０１は、素体１と同様の構成を有しており、高さ方向に対向する一対の側面ｓ１（第１側面），ｓ３（第３側面）と、幅方向に対向する一対の側面ｓ２（第２側面），ｓ４（第４側面）と、長さ方向に対向する一対の側面ｓ５（第５側面），ｓ６（第６側面）とを有している。
【００２４】
［外観検査装置の構成］
続いて、外観検査装置１０の構成について、図１及び図２を参照して説明する。外観検査装置１０は、図１及び図２に示されるように、透明テーブルＴと、素体供給ユニットＡ１０（配置手段）と、外周側第１姿勢矯正ユニットＢ１０と、内周側第１姿勢矯正ユニットＢ１１０と、外周側第２姿勢矯正ユニットＣ１０と、内周側第２姿勢矯正ユニットＣ１１０と、外周側第１撮像ユニットＤ１０（外周側第１撮像手段）と、内周側第１撮像ユニットＤ１１０（内周側第１撮像手段）と、外周側第２撮像ユニットＥ１０（外周側第２撮像手段）と、内周側第２撮像ユニットＥ１１０（内周側第２撮像手段）と、外周側第３撮像ユニットＦ１０（外周側第３撮像手段）と、内周側第３撮像ユニットＦ１１０（内周側第３撮像手段）と、外周側第４撮像ユニットＧ１０（外周側第４撮像手段）と、内周側第４撮像ユニットＧ１１０（内周側第４撮像手段）と、外周側第５撮像ユニットＨ１０（外周側第５撮像手段）と、内周側第５撮像ユニットＨ１１０（内周側第５撮像手段）と、外周側第６撮像ユニットＩ１０（外周側第６撮像手段）と、内周側第６撮像ユニットＩ１１０（内周側第６撮像手段）と、外周側良品回収ユニットＪ１０と、内周側良品回収ユニットＪ１１０と、外周側不良品回収ユニットＫ１０と、内周側不良品回収ユニットＫ１１０と、制御部１２とを備える。
【００２５】
透明テーブルＴは、例えばガラス、合成樹脂によって構成されている。透明テーブルＴは、図１に示されるように、上方から見て略円形状を呈しており、その直径は、例えば４０ｃｍ〜５０ｃｍ程度に設定することができる。
【００２６】
透明テーブルＴの下面側には、例えばサーボモータ（図示せず）が配置されている。透明テーブルＴは、このサーボモータによって駆動され、自身の中心軸線Ａを中心に図１の矢印Ｒ方向に回転（自転）する。
【００２７】
透明テーブルＴの周縁近傍には、素体供給ユニットＡ１０が配置されており、更に透明テーブルＴの回転方向（矢印Ｒ方向）に沿って、外周側第１姿勢矯正ユニットＢ１０、外周側第２姿勢矯正ユニットＣ１０、外周側第１撮像ユニットＤ１０、外周側第２撮像ユニットＥ１０、外周側第３撮像ユニットＦ１０、外周側第４撮像ユニットＧ１０、外周側第５撮像ユニットＨ１０、外周側第６撮像ユニットＩ１０、外周側良品回収ユニットＪ１０及び外周側不良品回収ユニットＫ１０がこの順に配置されており、さらにその内周側には、内周側第１姿勢矯正ユニットＢ１１０、内周側第２姿勢矯正ユニットＣ１１０、内周側第１撮像ユニットＤ１１０、内周側第２撮像ユニットＥ１１０、内周側第３撮像ユニットＦ１１０、内周側第４撮像ユニットＧ１１０、内周側第５撮像ユニットＨ１１０、内周側第６撮像ユニットＩ１１０、内周側良品回収ユニットＪ１１０及び内周側不良品回収ユニットＫ１１０がこの順に配置されている（図１参照）。
【００２８】
［素体供給ユニットの構成］
続いて、素体供給ユニットＡ１０の構成について、図３を参照して説明する。素体供給ユニットＡ１０は、ホッパＡ１２と、第１リニアフィーダＡ１４と、ボールフィーダＡ１６と、外周側第２リニアフィーダＡ１８と、内周側第２リニアフィーダＡ１１８とを有する。
【００２９】
ホッパＡ１２は、漏斗形状を呈しており、素体１，１０１を所定量貯蔵する。ホッパＡ１２は、その底部が開閉可能となっており、底部が開放されると貯蔵している素体１，１０１を第１リニアフィーダＡ１４に供給する。なお、ホッパＡ１２には、人手により多数の素体１，１０１が供給される。
【００３０】
第１リニアフィーダＡ１４は、シュートＡ１４ａ及び駆動部Ａ１４ｂによって構成されている。シュートＡ１４ａは、その長手方向に延びるＵ字状又はＶ字状の溝を有しており、この溝に沿って素体１，１０１を案内することにより、素体１をボールフィーダ１４ｃに向けて搬送する。駆動部Ａ１４ｂは、図示しない電磁石と板バネとを有する電磁式のものであり、電磁石の振動が板バネにより増幅されることで自ら振動する。駆動部Ａ１４ｂは、自ら振動することによりシュートＡ１４ａを振動させ、シュートＡ１４ａに形成された溝に沿ってホッパＡ１２から供給された素体１，１０１をボールフィーダＡ１６に押し出す。
【００３１】
ボールフィーダＡ１６は、ボールＡ１６ａと、駆動部Ａ１６ｂとを有しており、いわゆるロータリフィーダである。ボールＡ１６ａは、その内部の周方向の側面が下部に向かうのに伴い径が小さくなるすり鉢状傾斜面を呈しており、周方向の側面に螺旋状の溝が形成されている。駆動部Ａ１６ｂは、図示しない電磁石と板バネとを有する電磁式のものであり、電磁石の振動が板バネにより増幅されることで自ら振動する。駆動部Ａ１６ｂは、自ら振動することによりボールＡ１６ａを振動させ、ボールＡ１６ａに形成された螺旋状の溝に沿って素体１，１０１を徐々に上昇させながら素体１の姿勢を揃えて、素体１，１０１を外周側第２リニアフィーダＡ１８あるいは内周側第２リニアフィーダＡ１１８に押し出す。なお、外周側第２リニアフィーダＡ１８あるいは内周側第２リニアフィーダＡ１１８に押し出されるまでの段階では、素体１と素体１０１との区別はなされておらず、外周側第２リニアフィーダＡ１８と内周側第２リニアフィーダＡ１１８とのいずれかに押し出されることによって、外周側と内周側の区別がなされる。
【００３２】
外周側第２リニアフィーダＡ１８は、シュートＡ１８ａ及び駆動部Ａ１８ｂによって構成されている。シュートＡ１８ａは、その長手方向に延びるＵ字状又はＶ字状の溝を有しており、この溝に沿って外周側の素体１を案内することにより、素体１を透明テーブルＴに向けて搬送する。シュートＡ１８ａは、透明テーブルＴの外周の接線方向に沿って延びており、その先端が透明テーブルＴの表面上に位置している。駆動部Ａ１８ｂは、図示しない電磁石と板バネとを有する電磁式のものであり、電磁石の振動が板バネにより増幅されることで自ら振動する。駆動部Ａ１８ｂは、自ら振動することによりシュートＡ１８ａを振動させ、シュートＡ１８ａに形成された溝に沿ってボールフィーダＡ１６から供給された素体１を透明テーブルＴに押し出す。これにより、素体１が透明テーブルＴの表面における周縁部に供給されることとなる。なお、本実施形態においては、素体１の側面ｓ３が透明テーブルＴの表面に当接すると共に素体１の側面ｓ４が透明テーブルＴの中心軸線Ａ側に向くように、素体１を第２リニアフィーダＡ１８によって透明テーブルＴに供給している。
【００３３】
内周側第２リニアフィーダＡ１１８は、シュートＡ１１８ａ及び駆動部Ａ１１８ｂによって構成されている。シュートＡ１１８ａは、その長手方向に延びるＵ字状又はＶ字状の溝を有しており、この溝に沿って内周側の素体１０１を案内することにより、素体１０１を透明テーブルＴに向けて搬送する。シュートＡ１１８ａは、外周側第２リニアフィーダＡ１８のシュートＡ１８ａよりも内周側で当該シュートＡ１８ａと平行をなして配置されると共に、その先端が透明テーブルＴの表面上に位置している。駆動部Ａ１１８ｂは、図示しない電磁石と板バネとを有する電磁式のものであり、電磁石の振動が板バネにより増幅されることで自ら振動する。駆動部Ａ１１８ｂは、自ら振動することによりシュートＡ１１８ａを振動させ、シュートＡ１１８ａに形成された溝に沿ってボールフィーダＡ１６から供給された素体１０１を透明テーブルＴに押し出す。これにより、素体１０１が透明テーブルＴの表面における周縁部であって素体１が供給される位置よりも内周側に供給されることとなる。径方向における素体１と素体１０１との間の間隔は５〜１５ｍｍ程度とされている。なお、本実施形態においては、素体１０１の側面ｓ１０３が透明テーブルＴの表面に当接すると共に素体１０１の側面ｓ１０４が透明テーブルＴの中心軸線Ａ側に向くように、素体１０１を内周側第２リニアフィーダＡ１１８によって透明テーブルＴに供給している。
【００３４】
この素体供給ユニットＡ１０は、図１に示すように、透明テーブルＴの外周側に並べられる素体１と内周側に並べられる素体１０１との間で、中心軸線Ａ周りの位相が互いに異なる配置となるように素体１及び素体１０１をそれぞれ供給することができる。素体供給ユニットＡ１０は、具体的に、中心軸線Ａから径方向に延びて当該中心軸線Ａ周りに等間隔をなす位相線ＰＨＬ１上に配置されるように内周側の素体１０１を供給すると、素体１０１同士の隙間を通るように中心軸線Ａから径方向に延びて当該中心軸線Ａ周りに等間隔をなす位相線ＰＨＬ２上に配置されるように外周側の素体１を供給することができる。素体供給ユニットＡ１０は、駆動部Ａ１８ｂ及び駆動部Ａ１１８ｂの振動速度を調節することによって、素体１及び素体１０１の供給スピードを調節して互いに位相が異なる配置となるように供給する。なお、図１においては、説明の便宜上、外周側良品回収ユニットＪ１０、内周側良品回収ユニットＪ１１０、外周側不良品回収ユニットＫ１０、内周側不良品回収ユニットＫ１１０で既に回収された後の素体１，１０１の位置関係を仮想線で示し、それらの素体１，１０１に対して位相線ＰＨＬ１，ＰＨＬ２を付したが、回収前の素体１，１０１についても同様の位置関係が成り立つ。
【００３５】
［第１姿勢矯正ユニットの構成］
続いて、外周側第１姿勢矯正ユニットＢ１０及び内周側第１姿勢矯正ユニットＢ１１０の構成について、図４を参照して説明する。外周側第１姿勢矯正ユニットＢ１０は、一対の姿勢矯正アームＢ１２，Ｂ１４を有する。
【００３６】
姿勢矯正アームＢ１２は、図４に示されるように、基部Ｂ１２ａと、腕部Ｂ１２ｂと、突出部Ｂ１２ｃとを有する。基部Ｂ１２ａは、透明テーブルＴの表面と略平行となるように、透明テーブルＴの外方から透明テーブルＴに向けて、透明テーブルＴの径方向に延びている。腕部Ｂ１２ｂは、基部Ｂ１２ａの先端に接続されており、透明テーブルＴの表面と略平行となるように、透明テーブルＴの外周の接線方向に沿って延びている。突出部Ｂ１２ｃは、腕部Ｂ１２ｂの先端に接続されおり、腕部Ｂ１２ｂの先端から下方（透明テーブルＴの表面側）に向けて突出している。
【００３７】
ここで、基部Ｂ１２ａ及び腕部Ｂ１２ｂは、共に、透明テーブルＴの表面から所定の距離だけ離間した状態で透明テーブルＴ上に配置されている。基部Ｂ１２ａ及び腕部Ｂ１２ｂと透明テーブルＴの表面との離間距離は、透明テーブルＴ上に供給された素体１が第１姿勢矯正ユニットＢ１０を通過する際に、素体１が基部Ｂ１２ａ及び腕部Ｂ１２ｂに接触しない程度（素体１の側面ｓ１が透明テーブルＴの表面に当接した状態となる本実施形態においては、少なくとも素体１の高さを超える程度）に設定されている。一方、突出部Ｂ１２ｃの下面（透明テーブルＴの表面と対向する面）は、透明テーブルＴの表面から僅かに離間している。
【００３８】
姿勢矯正アームＢ１４は、基部Ｂ１４ａと、腕部Ｂ１４ｂとによって構成されている。基部Ｂ１４ａは、透明テーブルＴの表面と略平行となるように、透明テーブルＴの外方から透明テーブルＴに向けて、透明テーブルＴの径方向に延びている。腕部Ｂ１４ｂは、基部Ｂ１４ａの先端に接続されており、透明テーブルＴの表面と略平行となるように、透明テーブルＴの外周の接線方向に沿って延びている。腕部Ｂ１４ｂは、基部Ｂ１４ａよりも下方（透明テーブルＴの表面側）に向けて突出している。
【００３９】
ここで、基部Ｂ１４ａは、透明テーブルＴの表面から所定の距離だけ離間した状態で透明テーブルＴ上に配置されている。基部Ｂ１４ａと透明テーブルＴの表面との離間距離は、透明テーブルＴ上に供給された素体１が第１姿勢矯正ユニットＢ１０を通過する際に、素体１が基部Ｂ１４ａに接触しない程度（素体１の側面ｓ３が透明テーブルＴの表面に当接した状態となる本実施形態においては、少なくとも素体１の高さを超える程度）に設定されている。一方、腕部Ｂ１４ｂの下面（透明テーブルＴの表面と対向する面）は、透明テーブルＴの表面から僅かに離間している。
【００４０】
姿勢矯正アームＢ１２の先端部（突出部Ｂ１２ｃのうち透明テーブルＴの回転方向に向かう側の端部）Ｂ１２ｄ及び姿勢矯正アームＢ１４の先端部（腕部Ｂ１４ｂのうち透明テーブルＴの回転方向に向かう側の端部）Ｂ１４ｃは、外周側第２リニアフィーダＡ１８のシュートＡ１８ａの先端に向かうと共に、当該先端から僅かに離間している。また、姿勢矯正アームＢ１２の先端部Ｂ１２ｄ（突出部Ｂ１２ｃ）と姿勢矯正アームＢ１４の先端部Ｂ１４ｃ（腕部Ｂ１４ｂ）との離間距離は、素体１が通過可能であると共に通過する素体１の姿勢が大きく崩されない程度（素体１の側面ｓ４が透明テーブルＴの中心軸線Ａ側に向く状態となる本実施形態においては、素体１の幅よりも僅かに広い程度）に設定されている。
【００４１】
以上のように姿勢矯正アームＢ１２，Ｂ１４が構成されているため、突出部Ｂ１２ｃ及び腕部Ｂ１４ｂが素体１を案内する機能を発揮することとなるから、素体１がシュートＡ１８ａから透明テーブルＴに供給される際に、シュートＡ１８ａの溝と透明テーブルＴの表面との間に生じている段差を素体１が通過しても、当該段差によって素体１の姿勢が崩されることなく透明テーブルＴに素体１が供給されるようになっている。また、基部Ｂ１２ａが透明テーブルＴの表面から所定の距離だけ離間しているから、素体１が突出部Ｂ１２ｃと腕部Ｂ１４ｂとの間を通過した後に、姿勢矯正アームＢ１２の基部Ｂ１２ａによって阻害されることなく素体１が透明テーブルＴによって搬送されるようになっている。
【００４２】
また、内周側第１姿勢矯正ユニットＢ１１０は、外周側第１姿勢矯正ユニットＢ１０と内周側で隣接する位置に配置されており、一対の姿勢矯正アームＢ１１２，Ｂ１１４を有する。内周側第１姿勢矯正ユニットＢ１１０は、外周側第１姿勢矯正ユニットＢ１０と同様の構成を備えており、姿勢矯正アームＢ１１２は、基部Ｂ１１２ａ、腕部Ｂ１１２ｂ、突出部Ｂ１１２ｃを備え、姿勢矯正アームＢ１１４も、基部Ｂ１１４ａ、腕部Ｂ１１４ｂ、先端部Ｂ１１４ｃ（内周側第２リニアフィーダＡ１１８のシュートＡ１１８ａの先端に向かう）とを備えている。以上のように姿勢矯正アームＢ１１２，Ｂ１１４が構成されているため、突出部Ｂ１１２ｃ及び腕部Ｂ１１４ｂが素体１０１を案内する機能を発揮することとなるから、素体１０１がシュートＡ１１８ａから透明テーブルＴに供給される際に、シュートＡ１１８ａの溝と透明テーブルＴの表面との間に生じている段差を素体１０１が通過しても、当該段差によって素体１０１の姿勢が崩されることなく透明テーブルＴに素体１０１が供給されるようになっている。また、基部Ｂ１１２ａが透明テーブルＴの表面から所定の距離だけ離間しているから、素体１０１が突出部Ｂ１１２ｃと腕部Ｂ１１４ｂとの間を通過した後に、姿勢矯正アームＢ１１２の基部Ｂ１１２ａによって阻害されることなく素体１０１が透明テーブルＴによって搬送されるようになっている。
【００４３】
［第２姿勢矯正ユニットの構成］
続いて、外周側第２姿勢矯正ユニットＣ１０及び内周側第２姿勢矯正ユニットＣ１１０の構成について、図５を参照して説明する。外周側第２姿勢矯正ユニットＣ１０と内周側第２姿勢矯正ユニットＣ１１０とは、図５に示されるように、互いに一体に構成されており、外周側第２姿勢矯正ユニットＣ１０は、姿勢矯正部材Ｃ１２と、一対のアームＣ１４，１６と、外周側レーザ発光器Ｃ１８と、外周側レーザ受光器Ｃ２０とを有し、内周側第２姿勢矯正ユニットＣ１１０は、姿勢矯正部材Ｃ１１２と、内周側レーザ発光器Ｃ１１８と、内周側レーザ受光器Ｃ１２０とを有する。
【００４４】
外周側第２姿勢矯正ユニットＣ１０の姿勢矯正部材Ｃ１２は、略直方体形状を呈する基部Ｃ１２ａと、基部Ｃ１２ａの先端に設けられた姿勢矯正部Ｃ１２ｂとを有する。姿勢矯正部材Ｃ１２は、姿勢矯正部Ｃ１２ｂが透明テーブルＴの中心軸線Ａ側に向かうように、透明テーブルＴの周縁に配置されている。
【００４５】
姿勢矯正部Ｃ１２ｂは、基部Ｃ１２ａと接続されている基端部から透明テーブルＴの中心軸線Ａ側の先端部に向かうにつれて、その厚みが薄くなっている。そのため、姿勢矯正部Ｃ１２ｂは、側方から見たときに、三角形状を呈している。また、姿勢矯正部Ｃ１２ｂの先端Ｃ１２ｃは、透明テーブルＴの中心軸線Ａ側（基部Ｃ１２ａから姿勢矯正部Ｃ１２ｂに向かう方向）に向けて突出する円弧状を呈している。この円弧状の先端Ｃ１２ｃに外周側の素体１の側面ｓ２が当接しつつ素体１が透明テーブルＴによって搬送されることで、素体１の傾きが矯正される。姿勢矯正部材Ｃ１２によって素体１の姿勢を矯正することで、姿勢矯正部材Ｃ１２を通過する全ての素体１が所望の姿勢（具体的には、透明テーブルＴの径方向に対する素体１の幅方向の傾きが±５°以内）となるようにする。これにより、いずれの素体１においても、撮像条件を略均一にすることが可能となる。
【００４６】
内周側第２姿勢矯正ユニットＣ１１０の姿勢矯正部材Ｃ１１２は、略直方体形状を呈する基部Ｃ１１２ａと、基部Ｃ１１２ａの先端に設けられた姿勢矯正部Ｃ１１２ｂとを有する。姿勢矯正部材Ｃ１１２は、姿勢矯正部Ｃ１１２ｂが透明テーブルＴの中心軸線Ａ側に向かうように、透明テーブルＴの周縁部であって姿勢矯正部材Ｃ１２と内周側で隣接する位置に配置されている。なお、姿勢矯正部材Ｃ１２の先端Ｃ１２ｃと姿勢矯正部材Ｃ１１２の外周側の端面との間には外周側の素体１が通過できる大きさの間隙が形成されている。
【００４７】
姿勢矯正部Ｃ１１２ｂは、基部Ｃ１１２ａと接続されている基端部から透明テーブルＴの中心軸線Ａ側の先端部に向かうにつれて、その厚みが薄くなっている。そのため、姿勢矯正部Ｃ１１２ｂは、側方から見たときに、三角形状を呈している。また、姿勢矯正部Ｃ１１２ｂの先端Ｃ１１２ｃは、透明テーブルＴの中心軸線Ａ側（基部Ｃ１１２ａから姿勢矯正部Ｃ１１２ｂに向かう方向）に向けて突出する円弧状を呈している。この円弧状の先端Ｃ１１２ｃに内周側の素体１０１の側面ｓ１０２が当接しつつ素体１０１が透明テーブルＴによって搬送されることで、素体１０１の傾きが矯正される。姿勢矯正部材Ｃ１１２によって素体１０１の姿勢を矯正することで、姿勢矯正部材Ｃ１１２を通過する全ての素体１０１が所望の姿勢（具体的には、透明テーブルＴの径方向に対する素体１０１の幅方向の傾きが±５°以内）となるようにする。これにより、いずれの素体１０１においても、撮像条件を略均一にすることが可能となる。
【００４８】
アームＣ１４は、側方から見てＬ字形状を呈しており、その一端が姿勢矯正部材Ｃ１２の基部Ｃ１２ａの上面側に接続され、その他端が透明テーブルＴの中心軸線Ａ側（基部Ｃ１２ａから姿勢矯正部Ｃ１２ｂに向かう方向）に向けて延びている。そのため、アームＣ１４は、透明テーブルＴの表面側に位置している。また、アームＣ１４の略中央位置には下方へ向かって延びて先端部に姿勢矯正部材Ｃ１１２の基部Ｃ１１２ａが固定される支持部Ｃ１４ａが形成されている。アームＣ１４の支持部Ｃ１４ａと姿勢矯正部材Ｃ１２との間には、外周側レーザ発光器Ｃ１８が設けられている。外周側レーザ発光器Ｃ１８は、レーザ光Ｌを、アームＣ１４から透明テーブルＴ及び外周側レーザ受光器Ｃ２０に向けて照射する。このレーザ光Ｌの照射位置は、姿勢矯正部Ｃ１２ｂの先端Ｃ１２ｃにおける頂部よりもやや透明テーブルＴの中心軸線Ａ側であって、外周側の素体１が姿勢矯正部Ｃ１２ｂの先端Ｃ１２ｃにおける頂部と接している場合には素体１にレーザ光Ｌが当たるような位置となっている。また、アームＣ１４の他端部には、内周側レーザ発光器Ｃ１１８が設けられている。内周側レーザ発光器Ｃ１１８は、レーザ光Ｌ１００を、アームＣ１４から透明テーブルＴ及び内周側レーザ受光器Ｃ１２０に向けて照射する。このレーザ光Ｌ１００の照射位置は、姿勢矯正部Ｃ１１２ｂの先端Ｃ１１２ｃにおける頂部よりもやや透明テーブルＴの中心軸線Ａ側であって、内周側の素体１０１が姿勢矯正部Ｃ１１２ｂの先端Ｃ１１２ｃにおける頂部と接している場合には素体１０１にレーザ光Ｌ１００が当たるような位置となっている。
【００４９】
アームＣ１６は、側方から見てＬ字形状を呈しており、その一端が姿勢矯正部材Ｃ１２の基部Ｃ１２ａの下面側に接続され、その他端が透明テーブルＴの中心軸線Ａ側（基部Ｃ１２ａから姿勢矯正部Ｃ１２ｂに向かう方向）に向けて延びている。そのため、アームＣ１６は、透明テーブルＴの裏面側に位置している。アームＣ１６における外周側レーザ発光器Ｃ１８の下方位置には、外周側レーザ受光器Ｃ２０が設けられている。外周側レーザ受光器Ｃ２０は、外周側レーザ発光器Ｃ１８からのレーザ光Ｌの入射の有無によって、姿勢矯正部Ｃ１２ｂの先端Ｃ１２ｃにおける頂部を外周側の素体１が通過したか否かを検出する。また、アームＣ１６の他端には、内周側レーザ受光器Ｃ１２０が設けられている。内周側レーザ受光器Ｃ１２０は、内周側レーザ発光器Ｃ１１８からのレーザ光Ｌ１００の入射の有無によって、姿勢矯正部Ｃ１１２ｂの先端Ｃ１１２ｃにおける頂部を素体１０１が通過したか否かを検出する。
【００５０】
［第１撮像ユニットの構成］
続いて、外周側第１撮像ユニットＤ１０及び内周側第１撮像ユニットＤ１１０の構成について、図６を参照して説明する。外周側第１撮像ユニットＤ１０は、外周側の素体１の側面ｓ１を撮像するためのものであり、内周側第１撮像ユニットＤ１１０は、内周側の素体１０１の側面ｓ１０１を撮像するためのものである。外周側第１撮像ユニットＤ１０による素体１の側面ｓ１の撮像は、透明テーブルＴの上方から行われ、外周側第１撮像ユニットＤ１１０による素体１０１の側面ｓ１０１の撮像は、透明テーブルＴの上方から行われる。また、内周側第１撮像ユニットＤ１１０は、透明テーブルＴにおける内周側で外周側第１撮像ユニットＤ１０と隣接する位置に配置されている。
【００５１】
外周側第１撮像ユニットＤ１０は、図６に示されるように、撮像が行われるカメラＤ１２（第１撮像部）と、図示しないレンズを収容する鏡胴Ｄ１４と、ドーム状照明Ｄ１６（第１照明部）とを有し、ドーム状照明Ｄ１６がカメラＤ１２及び鏡胴Ｄ１４よりも透明テーブルＴ上に位置する外周側の素体１寄りに位置するように透明テーブルＴの上方に配置されている。
【００５２】
ドーム状照明Ｄ１６は、椀状部材Ｄ１６ａ（第１保持部材）と、複数の投光部材Ｄ１６ｂ（第１投光部材）とにより構成されている。椀状部材Ｄ１６ａは、開口Ｄ１６ｃ（一方の開口）が設けられた側壁部Ｄ１６ｄと、鏡胴Ｄ１４と連通する開口Ｄ１６ｅ（他方の開口）が中央部分に設けられた基部Ｄ１６ｆとを含む。側壁部Ｄ１６ｄは、内壁面が開口Ｄ１６ｃから開口Ｄ１６ｅに向かう側に向けて窪んだ凹曲面状（例えば、球面状や放物面状）とされている。基部Ｄ１６ｆは、平板状を呈しており、開口Ｄ１６ｃとは反対側に配置されている。
【００５３】
ドーム状照明Ｄ１６は、椀状部材Ｄ１６ａの開口Ｄ１６ｃが透明テーブルＴ上に位置する外周側の素体１の側面ｓ１に向かうように、透明テーブルＴの上方に配置されている。そのため、カメラＤ１２の撮像軸線ＤＬは、鏡胴Ｄ１４、基部Ｄ１６ｆの開口Ｄ１６ｅ、側壁部Ｄ１６ｄ及び開口Ｄ１６ｃを通って、外周側の素体１に向かうこととなる。つまり、カメラＤ１２の撮像軸線ＤＬは、側壁部Ｄ１６ｄの内壁面によって取り囲まれている。
【００５４】
投光部材Ｄ１６ｂは、例えば発光ＬＥＤ（LightEmitting Diode）である。投光部材Ｄ１６ｂは、側壁部Ｄ１６ｄの内壁面全体及び基部Ｄ１６ｆの内壁面全体にわたって配置されている。そのため、投光部材Ｄ１６ｂもカメラＤ１２の撮像軸線ＤＬを取り囲んでおり、基部Ｄ１６ｆの内壁面に配置されている投光部材Ｄ１６ｂによって、素体１の側面ｓ１の垂線に沿った方向から素体１の側面ｓ１が照明されると共に、側壁部Ｄ１６ｄの内壁面に配置されている投光部材Ｄ１６ｂによって、素体１の側面ｓ１の垂線に対して０°を超え且つ９０°未満の方向から素体１の側面ｓ１が照明され、素体１の側面ｓ１からの反射光が鏡胴Ｄ１４及びカメラＤ１２に導入されて、素体１の側面ｓ１が撮像されることとなる。
【００５５】
このように、素体１の側面ｓ１の垂線に沿った方向から素体１の側面ｓ１が照明されることで、素体１の側面ｓ１における傷、凹凸、欠け等を明瞭に映し出すことができる。また、素体１の側面ｓ１の垂線に対して０°を超え且つ９０°未満の方向から素体１の側面ｓ１が照明されることで、素体１の側面ｓ１が様々な方向（角度）から照明され、クラックやチッピングといった素体１の側面ｓ１から内部へと繋がる欠陥を明瞭に映し出すことができる。
【００５６】
内周側第１撮像ユニットＤ１１０は、配置される位置及び撮像対象が内周側の素体１０１であることを除いては外周側第１撮像ユニットＤ１０と同様の構成を有しており、カメラＤ１２、鏡胴Ｄ１４、ドーム状照明Ｄ１６、椀状部材Ｄ１６ａ、複数の投光部材Ｄ１６ｂ、開口Ｄ１６ｃ、側壁部Ｄ１６ｄ、開口Ｄ１６ｅ、基部Ｄ１６ｆとそれぞれ同様の構成を有するカメラＤ１１２（第１撮像部）、鏡胴Ｄ１１４、ドーム状照明Ｄ１１６（第１照明部）、椀状部材Ｄ１１６ａ（第１保持部材）、複数の投光部材Ｄ１１６ｂ（第１投光部材）、開口Ｄ１１６ｃ（一方の開口）、側壁部Ｄ１１６ｄ、開口Ｄ１１６ｅ（他方の開口）、基部Ｄ１１６ｆを備えている。
【００５７】
［第２撮像ユニットの構成］
続いて、外周側第２撮像ユニットＥ１０及び内周側第２撮像ユニットＥ１１０の構成について、図７を参照して説明する。外周側第２撮像ユニットＥ１０は、外周側の素体１の側面ｓ２を撮像するためのものであり、内周側第２撮像ユニットＥ１１０は、内周側の素体１０１の側面ｓ１０２を撮像するためのものである。外周側第２撮像ユニットＥ１０による素体１の側面ｓ２の撮像は、透明テーブルＴの径方向における外方から行われ、内周側第２撮像ユニットＥ１１０による素体１０１の側面ｓ１０２の撮像は、透明テーブルＴの径方向における外側から行われる。また、内周側第２撮像ユニットＥ１１０は、透明テーブルＴにおける内周側で外周側第２撮像ユニットＥ１０と隣接する位置に配置されている。より具体的には、内周側第２撮像ユニットＥ１１０は、透明テーブルＴの径方向における外周側の素体１の配列と内周側の素体１０１の配列との間に配置されている。
【００５８】
外周側第２撮像ユニットＥ１０は、図７に示されるように、撮像が行われるカメラＥ１２（第２撮像部）と、図示しないレンズを収容する鏡胴Ｅ１４と、プリズムアダプタＥ１６と、一対の半筒状照明Ｅ１８，Ｅ２０（第２照明部）とを有し、一対の半筒状照明Ｅ１８，Ｅ２０がカメラＥ１２、鏡胴Ｅ１４及びプリズムアダプタＥ１６よりも透明テーブルＴ上に位置する内周側の素体１寄りに位置するように透明テーブルＴの周縁よりも外方に配置されている。
【００５９】
プリズムアダプタＥ１６は、素体１の側面ｓ２からの反射光が導入される開口部Ｅ１６ａと、開口部Ｅ１６ａから導入された反射光を反射する直角プリズムＥ１６ｂと、鏡胴Ｅ１４の先端と接続されると共に直角プリズムＥ１６ｂによって反射された反射光を鏡胴Ｅ１４及びカメラＥ１２に向けて導出する開口部Ｅ１６ｃとを含んで構成されている。
【００６０】
一対の半筒状照明Ｅ１８，Ｅ２０は、それぞれ、半筒状部材Ｅ１８ａ，Ｅ２０ａ（第２保持部材）と、複数の投光部材Ｅ１８ｂ，Ｅ２０ｂ（第２投光部材）とにより構成されている。半筒状部材Ｅ１８ａ，Ｅ２０ａは、それぞれ、側壁部Ｅ１８ｃ，Ｅ２０ｃと、基部Ｅ１８ｄ，Ｅ２０ｄとを含む。側壁部Ｅ１８ｃ，Ｅ２０ｃは、内壁面が半筒状部材Ｅ１８ａ，Ｅ２０ａの基端Ｅ１８ｅ，Ｅ２０ｅ側から先端Ｅ１８ｆ、Ｅ２０ｆ側に向かうにつれて拡径された曲面状（例えば、球面状や放物面状）とされている。基部Ｅ１８ｄ，Ｅ２０ｄは、平板状を呈しており、半筒状部材Ｅ１８ａ，Ｅ２０ａの基端Ｅ１８ｅ，Ｅ２０ｅ側に配置されている。つまり、一対の半筒状照明Ｅ１８，Ｅ２０は、ドーム状照明Ｄ１６が開口Ｄ１６ｃ及び開口Ｄ１６ｅの双方と交差する平面にて２つに分割されたものとなっている。そのため、一対の半筒状照明Ｅ１８，Ｅ２０は、それぞれ分割面Ｅ１８ｇ，Ｅ２０ｇを有している。
【００６１】
一対の半筒状照明Ｅ１８，Ｅ２０は、分割面Ｅ１８ｇ，Ｅ２０ｇが透明テーブルＴの表面と略平行となるように配置されている。また、一対の半筒状照明Ｅ１８，Ｅ２０は、半筒状部材Ｅ１８ａ，Ｅ２０ａの先端Ｅ１８ｆ、Ｅ２０ｆが透明テーブルＴ上に位置する素体１の側面ｓ２に向かい、互いの内壁面が向かい合い、且つ、透明テーブルＴの中心軸線Ａに沿って透明テーブルＴの表面を含む仮想平面Ｖを間に置くように配置されている。そのため、カメラＥ１２の撮像軸線ＥＬは、鏡胴Ｅ１４及びプリズムアダプタＥ１６の開口部Ｅ１６ｃを通って直角プリズムＥ１６ｂによりその向きが変えられ、その後プリズムアダプタＥ１６の開口部Ｅ１６ａ及び半筒状照明Ｅ１８と半筒状照明Ｅ２０との間を通って、素体１に向かうこととなる。
【００６２】
投光部材Ｅ１８ｂ，Ｅ２０ｂは、例えば発光ＬＥＤである。投光部材Ｅ１８ｂ，Ｅ２０ｂは、側壁部Ｅ１８ｃ，Ｅ２０ｃの内壁面全体及び基部Ｅ１８ｄ，Ｅ２０ｄの内壁面全体にわたって配置されている。そのため、基部Ｅ１８ｄ，Ｅ２０ｄの内壁面に配置されている投光部材Ｅ１８ｂ，Ｅ２０ｂによって、素体１の側面ｓ２の垂線に沿った方向から素体１の側面ｓ２が照明されると共に、側壁部Ｅ１８ｃ，Ｅ２０ｃの内壁面に配置されている投光部材Ｅ１８ｂ，Ｅ２０ｂによって、素体１の側面ｓ２の垂線に対して０°を超え且つ９０°未満の方向から素体１の側面ｓ２が照明され、素体１の側面ｓ２からの反射光が鏡胴Ｅ１４及びカメラＥ１２に導入されて、素体１の側面ｓ２が撮像されることとなる。
【００６３】
このように、素体１の側面ｓ２の垂線に沿った方向から素体１の側面ｓ２が照明されることで、素体１の側面ｓ２における傷、凹凸、欠け等を明瞭に映し出すことができる。また、素体１の側面ｓ２の垂線に対して０°を超え且つ９０°未満の方向から素体１の側面ｓ２が照明されることで、素体１の側面ｓ２が様々な方向（角度）から照明され、クラックやチッピングといった素体１の側面ｓ２から内部へと繋がる欠陥を明瞭に映し出すことができる。
【００６４】
内周側第２撮像ユニットＥ１１０は、配置される位置、撮像対象が内周側の素体１０１の側面ｓ１０２であること、及び一対の半筒状照明Ｅ１８，Ｅ２０の配置される位置を除いては外周側第２撮像ユニットＥ１０と同様の構成を有しており、カメラＥ１２、鏡胴Ｅ１４、プリズムアダプタＥ１６、一対の半筒状照明Ｅ１８，Ｅ２０、開口部Ｅ１６ａ、直角プリズムＥ１６ｂ、開口部Ｅ１６ｃ、半筒状部材Ｅ１８ａ，Ｅ２０ａ、複数の投光部材Ｅ１８ｂ，Ｅ２０ｂ、側壁部Ｅ１８ｃ，Ｅ２０ｃ、基部Ｅ１８ｄ，Ｅ２０ｄ、基端Ｅ１８ｅ，Ｅ２０ｅ、先端Ｅ１８ｆ、Ｅ２０ｆ、分割面Ｅ１８ｇ，Ｅ２０ｇと同様の構成を有するカメラＥ１１２（第２撮像部）、鏡胴Ｅ１１４、プリズムアダプタＥ１１６、一対の半筒状照明Ｅ１１８，Ｅ１２０（第２照明部）、開口部Ｅ１１６ａ、直角プリズムＥ１１６ｂ、開口部Ｅ１１６ｃ、半筒状部材Ｅ１１８ａ，Ｅ１２０ａ（第２保持部材）、複数の投光部材Ｅ１１８ｂ，Ｅ１２０ｂ（第２投光部材）、側壁部Ｅ１１８ｃ，Ｅ１２０ｃ、基部Ｅ１１８ｄ，Ｅ１２０ｄ、基端Ｅ１１８ｅ，Ｅ１２０ｅ、先端Ｅ１１８ｆ、Ｅ１２０ｆ、分割面Ｅ１１８ｇ，Ｅ１２０ｇを備えている。なお、内周側第２撮像ユニットＥ１００では、カメラＥ１１２、鏡胴Ｅ１１４、プリズムアダプタＥ１１６、半筒状照明Ｅ１１８が透明テーブルＴよりも上方に配置され、半筒状照明Ｅ１２０が透明テーブルＴよりも下方に配置されている。具体的には、半筒状照明Ｅ１１８の分割面Ｅ１８ｇ，Ｅ２０ｇが透明テーブルＴの表面と略平行となり、半筒状照明Ｅ１２０の分割面Ｅ１２０ｇが透明テーブルＴの下面と略平行となるように配置されている。また、一対の半筒状照明Ｅ１８，Ｅ２０は、半筒状部材Ｅ１８ａ，Ｅ２０ａの先端Ｅ１８ｆ、Ｅ２０ｆが透明テーブルＴ上に位置する素体１０１の側面ｓ１０２に向かい、互いの内壁面が向かい合い、且つ、透明テーブルＴの中心軸線Ａに沿って透明テーブルＴを間に置くように配置されている。そのため、カメラＥ１１２の撮像軸線ＥＬ１００は、鏡胴Ｅ１１４及びプリズムアダプタＥ１１６の開口部Ｅ１１６ｃを通って直角プリズムＥ１１６ｂによりその向きが変えられ、その後プリズムアダプタＥ１１６の開口部Ｅ１１６ａ及び半筒状照明Ｅ１１８と透明テーブルＴとの間を通って、素体１０１に向かうこととなる。
【００６５】
［第３撮像ユニットの構成］
続いて、外周側第３撮像ユニットＦ１０及び内周側第３撮像ユニットＦ１１０の構成について、図８を参照して説明する。外周側第３撮像ユニットＦ１０は、外周側の素体１の側面ｓ３を撮像するためのものであり、内周側第３撮像ユニットＦ１１０は、内周側の素体１０１の側面ｓ１０３を撮像するためのものである。外周側第３撮像ユニットＦ１０による素体１の側面ｓ３の撮像は、透明テーブルＴの下方から透明テーブルＴを通して行われ、内周側第３撮像ユニットＦ１１０による素体１０１の側面ｓ１０３の撮像は、透明テーブルＴの下方から透明テーブルＴを通して行わる。また、内周側第３撮像ユニットＦ１１０は、透明テーブルＴにおける内周側で外周側第３撮像ユニットＦ１０と隣接する位置に配置されている。
【００６６】
外周側第３撮像ユニットＦ１０は、図８に示されるように、撮像が行われるカメラＦ１２（第３撮像部）と、図示しないレンズを収容する鏡胴Ｆ１４と、プリズムアダプタＦ１６と、ドーム状照明Ｆ１８（第３照明部）とを有し、ドーム状照明Ｆ１８がカメラＦ１２、鏡胴Ｆ１４及びプリズムアダプタＦ１６よりも透明テーブルＴ上に位置する素体１寄りに位置するように透明テーブルＴの下方に配置されている。
【００６７】
プリズムアダプタＦ１６は、素体１の側面ｓ３からの反射光が導入される開口部Ｆ１６ａと、開口部Ｆ１６ａから導入された反射光を反射する直角プリズムＦ１６ｂと、鏡胴Ｆ１４の先端と接続されると共に直角プリズムＦ１６ｂによって反射された反射光を鏡胴Ｆ１４及びカメラＦ１２に向けて導出する開口部Ｆ１６ｃとを含んで構成されている。
【００６８】
ドーム状照明Ｆ１８は、椀状部材Ｆ１８ａ（第３保持部材）と、複数の投光部材Ｆ１８ｂ（第３投光部材）とにより構成されている。椀状部材Ｆ１８ａは、開口Ｆ１８ｃ（一方の開口）が設けられた側壁部Ｆ１８ｄと、開口Ｆ１８ｅ（他方の開口）が中央部分に設けられた基部Ｆ１８ｆとを含む。側壁部Ｆ１８ｄは、内壁面が開口Ｆ１８ｃから開口Ｆ１８ｅに向かう側に向けて窪んだ凹曲面状（例えば、球面状や放物面状）とされている。基部Ｆ１８ｆは、平板状を呈しており、開口Ｆ１８ｃとは反対側に配置されている。
【００６９】
ドーム状照明Ｆ１８は、椀状部材Ｆ１８ａの開口Ｆ１８ｃが透明テーブルＴ上に位置する素体１の側面ｓ３に向かうように、透明テーブルＴの下方に配置されている。そのため、カメラＦ１２の撮像軸線ＦＬは、鏡胴Ｆ１４及びプリズムアダプタＦ１６の開口部Ｆ１６ｃを通って直角プリズムＦ１６ｂによりその向きが変えられ、その後プリズムアダプタＦ１６の開口部Ｆ１６ａ、基部Ｆ１８ｆの開口Ｆ１８ｅ、側壁部Ｆ１８ｄ及び開口Ｆ１８ｃを通って、素体１に向かうこととなる。つまり、カメラＦ１２の撮像軸線ＦＬは、側壁部Ｆ１８ｄの内壁面によって取り囲まれている。
【００７０】
投光部材Ｆ１８ｂは、例えば発光ＬＥＤである。投光部材Ｆ１８ｂは、側壁部Ｆ１８ｄの内壁面全体及び基部Ｆ１８ｆの内壁面全体にわたって配置されている。そのため、投光部材Ｆ１８ｂもカメラＦ１２の撮像軸線ＦＬを取り囲んでおり、基部Ｆ１８ｆの内壁面に配置されている投光部材Ｆ１８ｂによって、素体１の側面ｓ３の垂線に沿った方向から素体１の側面ｓ３が照明されると共に、側壁部Ｆ１８ｄの内壁面に配置されている投光部材Ｆ１８ｂによって、素体１の側面ｓ３の垂線に対して０°を超え且つ９０°未満の方向から素体１の側面ｓ３が照明されて、素体１の側面ｓ３からの反射光が直角プリズムＦ１６ｂを介して鏡胴Ｆ１４及びカメラＦ１２に導入されて、素体１の側面ｓ３が撮像されることとなる。
【００７１】
このように、素体１の側面ｓ３の垂線に沿った方向から素体１の側面ｓ３が照明されることで、素体１の側面ｓ３における傷、凹凸、欠け等を明瞭に映し出すことができる。また、素体１の側面ｓ３の垂線に対して０°を超え且つ９０°未満の方向から素体１の側面ｓ３が照明されることで、素体１の側面ｓ３が様々な方向（角度）から照明され、クラックやチッピングといった素体１の側面ｓ３から内部へと繋がる欠陥を明瞭に映し出すことができる。
【００７２】
内周側第３撮像ユニットＦ１１０は、配置される位置及び撮像対象が内周側の素体１０１であることを除いては外周側第３撮像ユニットＦ１０と同様の構成を有しており、カメラＦ１２、鏡胴Ｆ１４と、プリズムアダプタＦ１６、ドーム状照明Ｆ１８、開口部Ｆ１６ａ、直角プリズムＦ１６ｂ、開口部Ｆ１６ｃ、椀状部材Ｆ１８ａ、複数の投光部材Ｆ１８ｂ、開口Ｆ１８ｃ、側壁部Ｆ１８ｄ、開口Ｆ１８ｅ、基部Ｆ１８ｆと同様の構成を有するカメラＦ１１２（第３撮像部）、鏡胴Ｆ１１４、プリズムアダプタＦ１１６、ドーム状照明Ｆ１１８（第３照明部）、開口部Ｆ１１６ａ、直角プリズムＦ１１６ｂ、開口部Ｆ１１６ｃ、椀状部材Ｆ１１８ａ（第３保持部材）、複数の投光部材Ｆ１１８ｂ（第３投光部材）、開口Ｆ１１８ｃ（一方の開口）、側壁部Ｆ１１８ｄ、開口Ｆ１１８ｅ（他方の開口）、基部Ｆ１１８ｆを備えている。
【００７３】
［第４撮像ユニットの構成］
続いて、外周側第４撮像ユニットＧ１０及び内周側第４撮像ユニットＧ１１０の構成について、図９を参照して説明する。外周側第４撮像ユニットＧ１０は、外周側の素体１の側面ｓ４を撮像するためのものであり、内周側第４撮像ユニットＧ１１０は、内周側の素体１０１の側面ｓ１０４を撮像するためのものである。外周側第４撮像ユニットＧ１０による素体１の側面ｓ４の撮像は、透明テーブルＴの径方向における内方から行われ、内周側第４撮像ユニットＧ１１０による素体１０１の側面ｓ１０４の撮像は、透明テーブルＴの径方向における内方から行われる。また、内周側第４撮像ユニットＧ１１０は、透明テーブルＴにおける内周側で外周側第４撮像ユニットＧ１０と隣接する位置に配置されている。更に、外周側第４撮像ユニットＧ１０は、透明テーブルＴの径方向における外周側の素体１の配列と内周側の素体１０１の配列との間に配置されている。
【００７４】
外周側第４撮像ユニットＧ１０は、図９に示されるように、撮像が行われるカメラＧ１２（第４撮像部）と、図示しないレンズを収容する鏡胴Ｇ１４と、プリズムアダプタＧ１６と、一対の半筒状照明Ｇ１８，Ｇ２０（第４照明部）とを有し、一対の半筒状照明Ｇ１８，Ｇ２０がカメラＧ１２、鏡胴Ｇ１４及びプリズムアダプタＧ１６よりも透明テーブルＴ上に位置する素体１寄りに位置するように透明テーブルＴの周縁近傍に配置されている。
【００７５】
プリズムアダプタＧ１６は、素体１の側面ｓ４からの反射光が導入される開口部Ｇ１６ａと、開口部Ｇ１６ａから導入された反射光を反射する直角プリズムＧ１６ｂと、鏡胴Ｇ１４の先端と接続されると共に直角プリズムＧ１６ｂによって反射された反射光を鏡胴Ｇ１４及びカメラＧ１２に向けて導出する開口部Ｇ１６ｃとを含んで構成されている。なお、プリズムアダプタＧ１６と比較して素体１が小さいことから、直角プリズムＧ１６ｂは、図９に示されるように、プリズムアダプタＧ１６内において透明テーブルＴの表面側に向かうようにやや傾けられた状態となっている。
【００７６】
一対の半筒状照明Ｇ１８，Ｇ２０は、それぞれ、半筒状部材Ｇ１８ａ，Ｇ２０ａ（第４保持部材）と、複数の投光部材Ｇ１８ｂ，Ｇ２０ｂ（第４投光部材）とにより構成されている。半筒状部材Ｇ１８ａ，Ｇ２０ａは、それぞれ、側壁部Ｇ１８ｃ，Ｇ２０ｃと、基部Ｇ１８ｄ，Ｇ２０ｄとを含む。側壁部Ｇ１８ｃ，Ｇ２０ｃは、内壁面が半筒状部材Ｇ１８ａ，Ｇ２０ａの基端Ｇ１８ｅ，Ｇ２０ｅ側から先端Ｇ１８ｆ、Ｇ２０ｆ側に向かうにつれて拡径された曲面状（例えば、球面状や放物面状）とされている。基部Ｇ１８ｄ，Ｇ２０ｄは、平板状を呈しており、半筒状部材Ｇ１８ａ，Ｇ２０ａの基端Ｇ１８ｅ，Ｇ２０ｅ側に配置されている。つまり、一対の半筒状照明Ｇ１８，Ｇ２０は、ドーム状照明Ｄ１６が開口Ｄ１６ｃ及び開口Ｄ１６ｅの双方と交差する平面にて２つに分割されたものとなっている。そのため、一対の半筒状照明Ｇ１８，Ｇ２０は、それぞれ分割面Ｇ１８ｇ，Ｇ２０ｇを有している。
【００７７】
一対の半筒状照明Ｇ１８，Ｇ２０は、分割面Ｇ１８ｇ，Ｇ２０ｇが透明テーブルＴの表面と略平行となるように配置されている。また、一対の半筒状照明Ｇ１８，Ｇ２０は、半筒状部材Ｇ１８ａ，Ｇ２０ａの先端Ｇ１８ｆ、Ｇ２０ｆが透明テーブルＴ上に位置する素体１の側面ｓ４に向かい、互いの内壁面が向かい合い、且つ、透明テーブルＴの中心軸線Ａに沿って透明テーブルＴを間に置くように配置されている。そのため、カメラＧ１２の撮像軸線ＧＬは、鏡胴Ｇ１４及びプリズムアダプタＧ１６の開口部Ｇ１６ｃを通って直角プリズムＧ１６ｂによりその向きが変えられ、その後プリズムアダプタＧ１６の開口部Ｇ１６ａ及び半筒状照明Ｇ１８と半筒状照明Ｇ２０との間を通って、素体１に向かうこととなる。
【００７８】
投光部材Ｇ１８ｂ，Ｇ２０ｂは、例えば発光ＬＥＤである。投光部材Ｇ１８ｂ，Ｇ２０ｂは、側壁部Ｇ１８ｃ，Ｇ２０ｃの内壁面全体及び基部Ｇ１８ｄ，Ｇ２０ｄの内壁面全体にわたって配置されている。そのため、基部Ｇ１８ｄ，Ｇ２０ｄの内壁面に配置されている投光部材Ｇ１８ｂ，Ｇ２０ｂによって、素体１の側面ｓ４の垂線に沿った方向から素体１の側面ｓ４が照明されると共に、側壁部Ｇ１８ｃ，Ｇ２０ｃの内壁面に配置されている投光部材Ｇ１８ｂ，Ｇ２０ｂによって、素体１の側面ｓ４の垂線に対して０°を超え且つ９０°未満の方向から素体１の側面ｓ４が照明され、素体１の側面ｓ４からの反射光が直角プリズムＧ１６ｂを介して鏡胴Ｇ１４及びカメラＧ１２に導入されて、素体１の側面ｓ４が撮像されることとなる。
【００７９】
このように、素体１の側面ｓ４の垂線に沿った方向から素体１の側面ｓ４が照明されることで、素体１の側面ｓ４における傷、凹凸、欠け等を明瞭に映し出すことができる。また、素体１の側面ｓ４の垂線に対して０°を超え且つ９０°未満の方向から素体１の側面ｓ４が照明されることで、素体１の側面ｓ４が様々な方向（角度）から照明され、クラックやチッピングといった素体１の側面ｓ４から内部へと繋がる欠陥を明瞭に映し出すことができる。
【００８０】
内周側第４撮像ユニットＧ１１０は、配置される位置及び撮像対象が内周側の素体１０１の側面ｓ１０４であることを除いては外周側第４撮像ユニットＧ１０と同様の構成を有しており、カメラＧ１２、鏡胴Ｇ１４、プリズムアダプタＧ１６、一対の半筒状照明Ｇ１８，Ｇ２０、開口部Ｇ１６ａ、直角プリズムＧ１６ｂ、開口部Ｇ１６ｃ、半筒状部材Ｇ１８ａ，Ｇ２０ａ、複数の投光部材Ｇ１８ｂ，Ｇ２０ｂ、側壁部Ｇ１８ｃ，Ｇ２０ｃ、基部Ｇ１８ｄ，Ｇ２０ｄ、基端Ｇ１８ｅ，Ｇ２０ｅ、先端Ｇ１８ｆ、Ｇ２０ｆ、分割面Ｇ１８ｇ，Ｇ２０ｇと同様の構成を有するカメラＧ１１２（第４撮像部）、鏡胴Ｇ１１４、プリズムアダプタＧ１１６、一対の半筒状照明Ｇ１１８，Ｇ１２０（第４照明部）、開口部Ｇ１６ａ、直角プリズムＧ１１６ｂ、開口部Ｇ１１６ｃ、半筒状部材Ｇ１１８ａ，Ｇ１２０ａ（第４保持部材）、複数の投光部材Ｇ１１８ｂ，Ｇ１２０ｂ（第４投光部材）、側壁部Ｇ１１８ｃ，Ｇ１２０ｃ、基部Ｇ１１８ｄ，Ｇ１２０ｄ、基端Ｇ１１８ｅ，Ｇ１２０ｅ、先端Ｇ１１８ｆ、Ｇ１２０ｆ、分割面Ｇ１１８ｇ，Ｇ１２０ｇを備えている。
【００８１】
［第５撮像ユニットの構成］
続いて、外周側第５撮像ユニットＨ１０及び内周側第５撮像ユニットＨ１１０の構成について、図１０を参照して説明する。外周側第５撮像ユニットＨ１０は、外周側の素体１の側面ｓ５を撮像するためのものであり、内周側第５撮像ユニットＨ１１０は、内周側の素体１０１の側面ｓ１０５を撮像するためのものである。外周側第５撮像ユニットＨ１０による素体１の側面ｓ５の撮像は、透明テーブルＴの回転方向Ｒにおける前方側から行われ、内周側第５撮像ユニットＨ１１０による素体１０１の側面ｓ１０５の撮像は、透明テーブルＴの回転方向Ｒにおける前方側から行われる。
【００８２】
外周側第５撮像ユニットＨ１０は、図１０に示されるように、撮像が行われるカメラＨ１２（第５撮像部）と、図示しないレンズを収容する鏡胴Ｈ１４と、プリズムアダプタＨ１６と、一対の半筒状照明Ｈ１８，Ｈ２０（第５照明部）とを有し、一対の半筒状照明Ｈ１８，Ｈ２０がカメラＨ１２、鏡胴Ｈ１４及びプリズムアダプタＨ１６よりも透明テーブルＴ上に位置する素体１寄りに位置するように透明テーブルＴの周縁近傍に配置されている。
【００８３】
プリズムアダプタＨ１６は、素体１の側面ｓ５からの反射光が導入される開口部Ｈ１６ａと、開口部Ｈ１６ａから導入された反射光を反射する直角プリズムＨ１６ｂと、鏡胴Ｈ１４の先端と接続されると共に直角プリズムＨ１６ｂによって反射された反射光を鏡胴Ｈ１４及びカメラＨ１２に向けて導出する開口部Ｈ１６ｃとを含んで構成されている。なお、プリズムアダプタＨ１６と比較して素体１が小さく、また、素体１の側面ｓ５の撮像を透明テーブルＴの回転方向Ｒにおける前方側から行うことから、カメラＨ１２、鏡胴Ｈ１４及びプリズムアダプタＨ１６が透明テーブルＴの表面側に向かうようにやや傾けられた状態となっていると共に、カメラＨ１２、鏡胴Ｈ１４及びプリズムアダプタＨ１６のうち最も透明テーブルＴ側に位置するプリズムアダプタＨ１６が透明テーブルＴの表面から所定の距離（具体的には、素体１がプリズムアダプタＨ１６と透明テーブルＴの表面との間を通過可能な距離）だけ離間した状態となっている。
【００８４】
一対の半筒状照明Ｈ１８，Ｈ２０は、それぞれ、半筒状部材Ｈ１８ａ，Ｈ２０ａ（第５保持部材）と、複数の投光部材Ｈ１８ｂ，Ｈ２０ｂ（第５投光部材）とにより構成されている。半筒状部材Ｈ１８ａ，Ｈ２０ａは、それぞれ、側壁部Ｈ１８ｃ，Ｈ２０ｃと、基部Ｈ１８ｄ，Ｈ２０ｄとを含む。側壁部Ｈ１８ｃ，Ｈ２０ｃは、内壁面が半筒状部材Ｈ１８ａ，Ｈ２０ａの基端Ｈ１８ｅ，Ｈ２０ｅ側から先端Ｈ１８ｆ、Ｈ２０ｆ側に向かうにつれて拡径された曲面状（例えば、球面状や放物面状）とされている。基部Ｈ１８ｄ，Ｈ２０ｄは、平板状を呈しており、半筒状部材Ｈ１８ａ，Ｈ２０ａの基端Ｈ１８ｅ，Ｈ２０ｅ側に配置されている。つまり、一対の半筒状照明Ｈ１８，Ｈ２０は、ドーム状照明Ｄ１６が開口Ｄ１６ｃ及び開口Ｄ１６ｅの双方と交差する平面にて２つに分割されたものとなっている。そのため、一対の半筒状照明Ｈ１８，Ｈ２０は、それぞれ分割面Ｈ１８ｇ，Ｈ２０ｇを有している。
【００８５】
一対の半筒状照明Ｈ１８，Ｈ２０は、分割面Ｈ１８ｇ，Ｈ２０ｇが透明テーブルＴの表面に対して所定の角度で傾いた状態、具体的には、先端Ｈ１８ｆ、Ｈ２０ｆ側が基端Ｈ１８ｅ，Ｈ２０ｅ側よりも透明テーブルＴに近づいた状態となるように配置されている。また、一対の半筒状照明Ｈ１８，Ｈ２０は、半筒状部材Ｈ１８ａ，Ｈ２０ａの先端Ｈ１８ｆ、Ｈ２０ｆが透明テーブルＴ上に位置する素体１の側面ｓ５に向かい、互いの内壁面が向かい合い、且つ、透明テーブルＴの中心軸線Ａに沿って透明テーブルＴを間に置くように配置されている。そのため、カメラＨ１２の撮像軸線ＨＬは、鏡胴Ｈ１４及びプリズムアダプタＨ１６の開口部Ｈ１６ｃを通って直角プリズムＨ１６ｂによりその向きが変えられ、その後プリズムアダプタＨ１６の開口部Ｈ１６ａ及び半筒状照明Ｈ１８と半筒状照明Ｈ２０との間を通って、素体１に向かうこととなる。
【００８６】
投光部材Ｈ１８ｂ，Ｈ２０ｂは、例えば発光ＬＥＤである。投光部材Ｈ１８ｂ，Ｈ２０ｂは、側壁部Ｈ１８ｃ，Ｈ２０ｃの内壁面全体及び基部Ｈ１８ｄ，Ｈ２０ｄの内壁面全体にわたって配置されている。そのため、基部Ｈ１８ｄ，Ｈ２０ｄの内壁面に配置されている投光部材Ｈ１８ｂ，Ｈ２０ｂによって、素体１の側面ｓ５の垂線に沿った方向から素体１の側面ｓ５が照明されると共に、側壁部Ｈ１８ｃ，Ｈ２０ｃの内壁面に配置されている投光部材Ｈ１８ｂ，Ｈ２０ｂによって、素体１の側面ｓ５の垂線に対して０°を超え且つ略９０°の方向から素体１の側面ｓ５が照明され、素体１の側面ｓ５からの反射光が直角プリズムＨ１６ｂを介して鏡胴Ｈ１４及びカメラＨ１２に導入されて、素体１の側面ｓ５が撮像されることとなる。
【００８７】
このように、素体１の側面ｓ５の垂線に沿った方向から素体１の側面ｓ５が照明されることで、素体１の側面ｓ５における傷、凹凸、欠け等を明瞭に映し出すことができる。また、素体１の側面ｓ５の垂線に対して０°を超え且つ略９０°の方向から素体１の側面ｓ５が照明されることで、素体１の側面ｓ５が様々な方向（角度）から照明され、クラックやチッピングといった素体１の側面ｓ５から内部へと繋がる欠陥を明瞭に映し出すことができる。
【００８８】
内周側第５撮像ユニットＨ１１０は、配置される位置及び撮像対象が内周側の素体１０１の側面ｓ１０５であることを除いては外周側第５撮像ユニットＨ１０と同様の構成を有しており、カメラＨ１２、プリズムアダプタＨ１６、一対の半筒状照明Ｈ１８，Ｈ２０、開口部Ｈ１６ａ、直角プリズムＨ１６ｂ、鏡胴Ｈ１４、開口部Ｈ１６ｃ、半筒状部材Ｈ１８ａ，Ｈ２０ａ、複数の投光部材Ｈ１８ｂ，Ｈ２０ｂ、側壁部Ｈ１８ｃ，Ｈ２０ｃ、基部Ｈ１８ｄ，Ｈ２０ｄ、基端Ｈ１８ｅ，Ｈ２０ｅ、先端Ｈ１８ｆ、Ｈ２０ｆ、分割面Ｈ１８ｇ，Ｈ２０ｇと同様の構成を有するカメラＨ１１２（第５撮像部）、プリズムアダプタＨ１１６、一対の半筒状照明Ｈ１１８，Ｈ１２０（第５照明部）、開口部Ｈ１１６ａ、直角プリズムＨ１１６ｂ、鏡胴Ｈ１１４、開口部Ｈ１１６ｃ、半筒状部材Ｈ１１８ａ，Ｈ１２０ａ（第５保持部材）、複数の投光部材Ｈ１１８ｂ，Ｈ１２０ｂ（第５投光部材）、側壁部Ｈ１１８ｃ，Ｈ１２０ｃ、基部Ｈ１１８ｄ，Ｈ１２０ｄ、基端Ｈ１１８ｅ，Ｈ１２０ｅ、先端Ｈ１１８ｆ、Ｈ１２０ｆ、分割面Ｈ１１８ｇ，Ｈ１２０ｇを備えている。
【００８９】
［第６撮像ユニットの構成］
続いて、外周側第６撮像ユニットＩ１０及び内周側第６撮像ユニットＩ１１０の構成について、図１１を参照して説明する。外周側第６撮像ユニットＩ１０は、素体１の側面ｓ６を撮像するためのものであり、内周側第６撮像ユニットＩ１１０は、素体１０１の側面ｓ１０６を撮像するためのものである。外周側第６撮像ユニットＩ１０による素体１の側面ｓ６の撮像は、透明テーブルＴの回転方向Ｒにおける後方側から行われ、内周側第６撮像ユニットＩ１１０による素体１０１の側面ｓ１０６の撮像は、透明テーブルＴの回転方向Ｒにおける後方側から行われる。
【００９０】
外周側第６撮像ユニットＩ１０は、図１１に示されるように、撮像が行われるカメラＩ１２（第６撮像部）と、図示しないレンズを収容する鏡胴Ｉ１４と、プリズムアダプタＩ１６と、一対の半筒状照明Ｉ１８，Ｉ２０（第６照明部）とを有し、一対の半筒状照明Ｉ１８，Ｉ２０がカメラＩ１２、鏡胴Ｉ１４及びプリズムアダプタＩ１６よりも透明テーブルＴ上に位置する素体１寄りに位置するように透明テーブルＴの周縁近傍に配置されている。
【００９１】
プリズムアダプタＩ１６は、素体１の側面ｓ６からの反射光が導入される開口部Ｉ１６ａと、開口部Ｉ１６ａから導入された反射光を反射する直角プリズムＩ１６ｂと、鏡胴Ｉ１４の先端と接続されると共に直角プリズムＩ１６ｂによって反射された反射光を鏡胴Ｉ１４及びカメラＩ１２に向けて導出する開口部Ｉ１６ｃとを含んで構成されている。なお、プリズムアダプタＩ１６と比較して素体１が小さく、また、素体１の側面ｓ６の撮像を透明テーブルＴの回転方向Ｒにおける後方側から行うことから、カメラＩ１２、鏡胴Ｉ１４及びプリズムアダプタＩ１６が透明テーブルＴの表面側に向かうようにやや傾けられた状態となっていると共に、カメラＩ１２、鏡胴Ｉ１４及びプリズムアダプタＩ１６のうち最も透明テーブルＴ側に位置するプリズムアダプタＩ１６が透明テーブルＴの表面から所定の距離（具体的には、素体１がプリズムアダプタＩ１６と透明テーブルＴの表面との間を通過可能な距離）だけ離間した状態となっている。
【００９２】
一対の半筒状照明Ｉ１８，Ｉ２０は、それぞれ、半筒状部材Ｉ１８ａ，Ｉ２０ａ（第６保持部材）と、複数の投光部材Ｉ１８ｂ，Ｉ２０ｂ（第６投光部材）とにより構成されている。半筒状部材Ｉ１８ａ，Ｉ２０ａは、それぞれ、側壁部Ｉ１８ｃ，Ｉ２０ｃと、基部Ｉ１８ｄ，Ｉ２０ｄとを含む。側壁部Ｉ１８ｃ，Ｉ２０ｃは、内壁面が半筒状部材Ｉ１８ａ，Ｉ２０ａの基端Ｉ１８ｅ，Ｉ２０ｅ側から先端Ｉ１８ｆ、Ｉ２０ｆ側に向かうにつれて拡径された曲面状（例えば、球面状や放物面状）とされている。基部Ｉ１８ｄ，Ｉ２０ｄは、平板状を呈しており、半筒状部材Ｉ１８ａ，Ｉ２０ａの基端Ｉ１８ｅ，Ｉ２０ｅ側に配置されている。つまり、一対の半筒状照明Ｉ１８，Ｉ２０は、ドーム状照明Ｄ１６が開口Ｄ１６ｃ及び開口Ｄ１６ｅの双方と交差する平面にて２つに分割されたものとなっている。そのため、一対の半筒状照明Ｉ１８，Ｉ２０は、それぞれ分割面Ｉ１８ｇ，Ｉ２０ｇを有している。
【００９３】
一対の半筒状照明Ｉ１８，Ｉ２０は、分割面Ｉ１８ｇ，Ｉ２０ｇが透明テーブルＴの表面に対して所定の角度で傾いた状態、具体的には、先端Ｉ１８ｆ、Ｉ２０ｆ側が基端Ｉ１８ｅ，Ｉ２０ｅ側よりも透明テーブルＴに近づいた状態となるように配置されている。また、一対の半筒状照明Ｉ１８，Ｉ２０は、半筒状部材Ｉ１８ａ，Ｉ２０ａの先端Ｉ１８ｆ、Ｉ２０ｆが透明テーブルＴ上に位置する素体１の側面ｓ６に向かい、互いの内壁面が向かい合い、且つ、透明テーブルＴの中心軸線Ａに沿って透明テーブルＴを間に置くように配置されている。そのため、カメラＩ１２の撮像軸線ＩＬは、鏡胴Ｉ１４及びプリズムアダプタＩ１６の開口部Ｉ１６ｃを通って直角プリズムＩ１６ｂによりその向きが変えられ、その後プリズムアダプタＩ１６の開口部Ｉ１６ａ及び半筒状照明Ｉ１８と半筒状照明Ｉ２０との間を通って、素体１に向かうこととなる。
【００９４】
投光部材Ｉ１８ｂ，Ｉ２０ｂは、例えば発光ＬＥＤである。投光部材Ｉ１８ｂ，Ｉ２０ｂは、側壁部Ｉ１８ｃ，Ｉ２０ｃの内壁面全体及び基部Ｉ１８ｄ，Ｉ２０ｄの内壁面全体にわたって配置されている。そのため、基部Ｉ１８ｄ，Ｉ２０ｄの内壁面に配置されている投光部材Ｉ１８ｂ，Ｉ２０ｂによって、素体１の側面ｓ６の垂線に沿った方向から素体１の側面ｓ６が照明されると共に、側壁部Ｉ１８ｃ，Ｉ２０ｃの内壁面に配置されている投光部材Ｉ１８ｂ，Ｉ２０ｂによって、素体１の側面ｓ６の垂線に対して０°を超え且つ略９０°の方向から素体１の側面ｓ６が照明され、素体１の側面ｓ６からの反射光が直角プリズムＩ１６ｂを介して鏡胴Ｉ１４及びカメラＩ１２に導入されて、素体１の側面ｓ６が撮像されることとなる。
【００９５】
このように、素体１の側面ｓ６の垂線に沿った方向から素体１の側面ｓ６が照明されることで、素体１の側面ｓ６における傷、凹凸、欠け等を明瞭に映し出すことができる。また、素体１の側面ｓ６の垂線に対して０°を超え且つ略９０°の方向から素体１の側面ｓ６が照明されることで、素体１の側面ｓ６が様々な方向（角度）から照明され、クラックやチッピングといった素体１の側面ｓ６から内部へと繋がる欠陥を明瞭に映し出すことができる。
【００９６】
内周側第６撮像ユニットＩ１１０は、配置される位置及び撮像対象が内周側の素体１０１の側面ｓ１０６であることを除いては外周側第６撮像ユニットＩ１０と同様の構成を有しており、カメラＩ１２、プリズムアダプタＩ１６、一対の半筒状照明Ｉ１８，Ｈ２０、開口部Ｉ１６ａ、直角プリズムＩ１６ｂ、鏡胴Ｉ１４、開口部Ｉ１６ｃ、半筒状部材Ｉ１８ａ，Ｉ２０ａ、複数の投光部材Ｉ１８ｂ，Ｉ２０ｂ、側壁部Ｉ１８ｃ，Ｉ２０ｃ、基部Ｉ１８ｄ，Ｉ２０ｄ、基端Ｉ１８ｅ，Ｉ２０ｅ、先端Ｉ１８ｆ、Ｉ２０ｆ、分割面Ｉ１８ｇ，Ｉ２０ｇと同様の構成を有するカメラＩ１１２（第６撮像部）、プリズムアダプタＩ１１６、一対の半筒状照明Ｉ１１８，Ｉ１２０（第６照明部）、開口部Ｉ１１６ａ、直角プリズムＩ１１６ｂ、鏡胴Ｉ１１４、開口部Ｉ１１６ｃ、半筒状部材Ｉ１１８ａ，Ｉ１２０ａ（第６保持部材）、複数の投光部材Ｉ１１８ｂ，Ｉ１２０ｂ（第６投光部材）、側壁部Ｉ１１８ｃ，Ｉ１２０ｃ、基部Ｉ１１８ｄ，Ｉ１２０ｄ、基端Ｉ１１８ｅ，Ｉ１２０ｅ、先端Ｉ１１８ｆ、Ｉ１２０ｆ、分割面Ｉ１１８ｇ，Ｉ１２０ｇを備えている。
【００９７】
［良品回収ユニット及び不良品回収ユニットの構成］
続いて、外周側良品回収ユニットＪ１０、外周側不良品回収ユニットＫ１０及び内周側良品回収ユニットＪ１１０、内周側不良品回収ユニットＫ１１０の構成について、図１２を参照して説明する。外周側良品回収ユニットＪ１０は、外観検査の結果、良品であると判断された外周側の素体１を回収するためのものであり、外周側不良品回収ユニットＫ１０は、外観検査の結果、不良品であると判断された外周側の素体１を回収するためのものである。内周側良品回収ユニットＪ１１０は、外観検査の結果、良品であると判断された内周側の素体１０１を回収するためのものであり、内周側不良品回収ユニットＫ１１０は、外観検査の結果、不良品であると判断された内周側の素体１０１を回収するためのものである。内周側良品回収ユニットＪ１１０及び内周側不良品回収ユニットＫ１１０は、外周側良品回収ユニットＪ１０及び外周側不良品回収ユニットＫ１０よりも内周側であって回転方向Ｒへ位相がずれた位置に配置されている。
【００９８】
外周側良品回収ユニットＪ１０及び外周側不良品回収ユニットＫ１０は、それぞれ、外周側イオナイザＪ１２，Ｋ１２と、回収ボックスＪ１４，Ｋ１４とを有している。外周側イオナイザＪ１２（Ｋ１２）は、大気をイオン化して、透明テーブルＴの表面に生じる電荷を中和させるためのガスを吹き付ける装置である。外周側イオナイザＪ１２（Ｋ１２）は、透明テーブルＴの周縁近傍における上方に配置されている。外周側イオナイザＪ１２（Ｋ１２）のノズルは、回収ボックスＪ１４（Ｋ１４）側に向けられ、やや透明テーブルＴの表面に向かうようにやや傾けられている。そのため、外周側イオナイザＪ１２（Ｋ１２）のノズルからイオン化されたガスが吹き出されると、そのガスが透明テーブルの表面から回収ボックスＪ１４（Ｋ１４）に向かうこととなる。
【００９９】
回収ボックスＪ１４（Ｋ１４）は、筐体Ｊ１４ａ（Ｋ１４ａ）と、筐体Ｊ１４ａ（Ｋ１４ａ）の内部に設けられたシュートＪ１４ｂ（Ｋ１４ｂ）及び緩衝シートＪ１４ｃ（Ｋ１４ｃ）とを含んで構成されている。筐体Ｊ１４ａ（Ｋ１４ａ）は、直方体形状を呈する中空の部材であって、導電性樹脂材料によって形成されている。筐体Ｊ１４ａ（Ｋ１４ａ）には、筐体Ｊ１４ａ（Ｋ１４ａ）の一の稜部が切り欠かれて開口Ｊ１４ｄ（Ｋ１４ｄ）が形成されている。筐体Ｊ１４ａ（Ｋ１４ａ）は、この開口Ｊ１４ｄ（Ｋ１４ｄ）が透明テーブルＴの周縁に向かうように、透明テーブルＴの周縁よりも外方に配置されている。なお、筐体Ｊ１４ａ（Ｋ１４ａ）は接地（アース）されており、電荷を筐体Ｊ１４ａ（Ｋ１４ａ）の外部に逃すことができるようになっている。
【０１００】
シュートＪ１４ｂ（Ｋ１４ｂ）は、三角柱形状を呈しており、導電性樹脂材料によって形成されている。シュートＪ１４ｂ（Ｋ１４ｂ）は、筐体Ｊ１４ａ（Ｋ１４ａ）内において透明テーブルＴに近づくにつれて下方に向かうように傾斜している。そのため、外周側イオナイザＪ１２（Ｋ１２）によって筐体Ｊ１４ａ（Ｋ１４ａ）内に吹き飛ばされた素体１は、シュートＪ１４ｂ（Ｋ１４ｂ）によって筐体Ｊ１４ａ（Ｋ１４ａ）内の透明テーブルＴ寄りに集められる。この際、素体１は、シュートＪ１４ｂ（Ｋ１４ｂ）の斜面を滑り降りることとなるので、素体１が筐体Ｊ１４ａ（Ｋ１４ａ）内に吹き飛ばされることにより素体１に生じる衝撃が緩和されるようになっている。
【０１０１】
緩衝シートＪ１４ｃ（Ｋ１４ｃ）は、導電性の柔軟な材料によってシート状に形成されたものである。緩衝シートＪ１４ｃ（Ｋ１４ｃ）は、その一方の主面が筐体Ｊ１４ａ（Ｋ１４ａ）における透明テーブルＴ寄りの壁部に向かうように、筐体Ｊ１４ａ（Ｋ１４ａ）の天板に取り付けられている。そのため、外周側イオナイザＪ１２（Ｋ１２）によって筐体Ｊ１４ａ（Ｋ１４ａ）内に吹き飛ばされた素体１は、まず緩衝シートＪ１４ｃ（Ｋ１４ｃ）に衝突し、シュートＪ１４ｂ（Ｋ１４ｂ）の斜面を滑り降り、その後筐体Ｊ１４ａ（Ｋ１４ａ）内に回収される。
【０１０２】
内周側良品回収ユニットＪ１１０及び内周側不良品回収ユニットＫ１１０は、外周側良品回収ユニットＪ１０及び外周側不良品回収ユニットＫ１０と同様の構成を有しており、それぞれ外周側イオナイザＪ１２，Ｋ１２、回収ボックスＪ１４，Ｋ１４、筐体Ｊ１４ａ，Ｋ１４ａ、シュートＪ１４ｂ，Ｋ１４ｂ、緩衝シートＪ１４ｃ，Ｋ１４ｃ、開口Ｊ１４ｄ，Ｋ１４ｄと同様の構成を有する内周側イオナイザＪ１１２，Ｋ１１２、回収ボックスＪ１１４，Ｋ１１４、筐体Ｊ１１４ａ，Ｋ１１４ａ、シュートＪ１１４ｂ，Ｋ１１４ｂ、緩衝シートＪ１１４ｃ，Ｋ１１４ｃ、開口Ｊ１１４ｄ，Ｋ１１４ｄを備えている。
【０１０３】
［制御部の構成］
続いて、制御部１２の構成について、図２を参照して説明する。制御部１２は、図２に示されるように、透明テーブルＴに接続されたサーボモータ、第１リニアフィーダＡ１４、ボールフィーダＡ１６、外周側第２リニアフィーダＡ１８、内周側第２リニアフィーダＡ１１８、外周側レーザ発光器Ｃ１８、内周側レーザ発光器Ｃ１１８、外周側レーザ受光器Ｃ２０、内周側レーザ受光器Ｃ１２０、外周側第１撮像ユニットＤ１０、内周側第１撮像ユニットＤ１１０、外周側第２撮像ユニットＥ１０、内周側第２撮像ユニットＥ１１０、外周側第３撮像ユニットＦ１０、内周側第３撮像ユニットＦ１１０、外周側第４撮像ユニットＧ１０、内周側第４撮像ユニットＧ１１０、外周側第５撮像ユニットＨ１０、内周側第５撮像ユニットＨ１１０、外周側第６撮像ユニットＩ１０、内周側第６撮像ユニットＩ１１０及び外周側イオナイザＪ１２，Ｋ１２、内周側イオナイザＪ１１２，Ｋ１１２と接続されている。
【０１０４】
制御部１２は、透明テーブルＴのサーボモータに信号を出力して、透明テーブルＴの回転及び停止を制御する。制御部１２は、第１リニアフィーダＡ１４、ボールフィーダＡ１６及び外周側第２リニアフィーダＡ１８、内周側第２リニアフィーダＡ１１８に信号を出力して、第１リニアフィーダＡ１４、ボールフィーダＡ１６及び外周側第２リニアフィーダＡ１８、内周側第２リニアフィーダＡ１１８の駆動及び停止を制御する。
【０１０５】
制御部１２は、外周側レーザ発光器Ｃ１８に信号を出力して、外周側レーザ受光器Ｃ２０に向けてレーザ光Ｌを照射させる。そして、外周側レーザ受光器Ｃ２０では、外周側レーザ発光器Ｃ１８からのレーザ光Ｌを受光している場合（外周側の素体１が外周側第２姿勢矯正ユニットＣ１０を通過していない場合）には制御部１２に信号を出力して、外周側レーザ発光器Ｃ１８からのレーザ光Ｌを受光していない場合（外周側の素体１の外周側第２姿勢矯正ユニットＣ１０の通過に伴い、レーザ光Ｌが素体１に照射された場合）には制御部１２への信号出力を停止する。ここで、制御部１２では、外周側レーザ受光器Ｃ２０からの信号出力が停止されたことを契機（トリガ）として、外周側の素体１が外周側第２姿勢矯正ユニットＣ１０を通過したと判断すると共に、当該素体１が各外周側撮像ユニットＤ１０，Ｅ１０，Ｆ１０，Ｇ１０，Ｈ１０，Ｉ１０及び各外周側回収ユニットＪ１０，Ｋ１０のそれぞれに到達するのにどのくらい透明テーブルＴを回転させることが必要であるのかを算出する。
【０１０６】
制御部１２は、算出された透明テーブルＴの回転量に基づいて、当該素体１が各外周側撮像ユニットＤ１０，Ｅ１０，Ｆ１０，Ｇ１０，Ｈ１０，Ｉ１０のそれぞれに到達したと判定すると、各照明Ｄ１６，Ｅ１８，Ｅ２０，Ｆ１６，Ｇ１８，Ｇ２０，Ｈ１８，Ｈ２０，Ｉ１８，Ｉ２０に信号を出力して、ストロボ光による照明を行わせると共に、各カメラＤ１２，Ｅ１２，Ｆ１２，Ｇ１２，Ｈ１２，Ｉ１２に信号を出力して、素体１の各側面ｓ１〜ｓ６を撮像させる。そして、制御部１２は、各カメラＤ１２，Ｅ１２，Ｆ１２，Ｇ１２，Ｈ１２，Ｉ１２によって撮像された素体１の側面ｓ１〜ｓ６の撮像画像データに基づいて画像処理を行い、素体１の傷等の欠陥の有無を検査し、素体１が不良品であるか否かの判断を行う。
【０１０７】
制御部１２は、算出された透明テーブルＴの回転量及び外観検査結果に基づいて、当該素体１が良品で且つ外周側良品回収ユニットＪ１０に到達したと判定すると、外周側イオナイザＪ１２に信号を出力して、外周側イオナイザＪ１２にイオン化されたガスを噴射させる。これにより、外周側の良品の素体１は、外周側イオナイザＪ１２からのイオン化されたガスによって回収ボックスＪ１４内に吹き飛ばされ、回収ボックスＪ１４に回収される。一方、制御部１２は、算出された透明テーブルＴの回転量及び外観検査結果に基づいて、当該素体１が不良品で且つ外周側不良品回収ユニットＫ１０に到達したと判定すると、外周側イオナイザＫ１２に信号を出力して、外周側イオナイザＫ１２にイオン化されたガスを噴射させる。これにより、外周側の不良品の素体１は、外周側イオナイザＫ１２からのイオン化されたガスによって回収ボックスＫ１４内に吹き飛ばされ、回収ボックスＫ１４に回収される。
【０１０８】
制御部１２は、内周側レーザ発光器Ｃ１１８に信号を出力して、内周側レーザ受光器Ｃ１２０に向けてレーザ光Ｌ１００を照射させる。そして、内周側レーザ受光器Ｃ１２０では、内周側レーザ発光器Ｃ１１８からのレーザ光Ｌを受光している場合（内周側の素体１０１が内周側第２姿勢矯正ユニットＣ１１０を通過していない場合）には制御部１２に信号を出力して、内周側レーザ発光器Ｃ１１８からのレーザ光Ｌを受光していない場合（内周側の素体１０１の内周側第２姿勢矯正ユニットＣ１１０の通過に伴い、レーザ光Ｌが素体１０１に照射された場合）には制御部１２への信号出力を停止する。ここで、制御部１２では、内周側レーザ受光器Ｃ１２０からの信号出力が停止されたことを契機（トリガ）として、内周側の素体１０１が内周側第２姿勢矯正ユニットＣ１１０を通過したと判断すると共に、当該素体１０１が各内周側撮像ユニットＤ１１０，Ｅ１１０，Ｆ１１０，Ｇ１１０，Ｈ１１０，Ｉ１１０及び各内周側回収ユニットＪ１１０，Ｋ１１０のそれぞれに到達するのにどのくらい透明テーブルＴを回転させることが必要であるのかを算出する。
【０１０９】
制御部１２は、算出された透明テーブルＴの回転量に基づいて、当該素体１０１が各内周側撮像ユニットＤ１１０，Ｅ１１０，Ｆ１１０，Ｇ１１０，Ｈ１１０，Ｉ１１０のそれぞれに到達したと判定すると、各照明Ｄ１１６，Ｅ１１８，Ｅ１２０，Ｆ１１６，Ｇ１１８，Ｇ１２０，Ｈ１１８，Ｈ１２０，Ｉ１１８，Ｉ１２０に信号を出力して、ストロボ光による照明を行わせると共に、各カメラＤ１１２，Ｅ１１２，Ｆ１１２，Ｇ１１２，Ｈ１１２，Ｉ１１２に信号を出力して、素体１０１の各側面ｓ１〜ｓ６を撮像させる。そして、制御部１２は、各カメラＤ１１２，Ｅ１１２，Ｆ１１２，Ｇ１１２，Ｈ１１２，Ｉ１１２によって撮像された素体１０１の側面ｓ１０１〜ｓ１０６の撮像画像データに基づいて画像処理を行い、素体１０１の傷等の欠陥の有無を検査し、素体１０１が不良品であるか否かの判断を行う。
【０１１０】
制御部１２は、算出された透明テーブルＴの回転量及び外観検査結果に基づいて、当該素体１０１が良品で且つ内周側良品回収ユニットＪ１１０に到達したと判定すると、内周側イオナイザＪ１１２に信号を出力して、内周側イオナイザＪ１１２にイオン化されたガスを噴射させる。これにより、内周側の良品の素体１０１は、内周側イオナイザＪ１１２からのイオン化されたガスによって回収ボックスＪ１１４内に吹き飛ばされ、回収ボックスＪ１１４に回収される。一方、制御部１２は、算出された透明テーブルＴの回転量及び外観検査結果に基づいて、当該素体１０１が不良品で且つ内周側不良品回収ユニットＫ１１０に到達したと判定すると、内周側イオナイザＫ１１２に信号を出力して、内周側イオナイザＫ１１２にイオン化されたガスを噴射させる。これにより、内周側の不良品の素体１０１は、内周側イオナイザＫ１１２からのイオン化されたガスによって回収ボックスＫ１１４内に吹き飛ばされ、回収ボックスＫ１１４に回収される。
【０１１１】
以上のような本実施形態においては、素体供給ユニットＡ１０によって、素体１の側面ｓ３が透明テーブルＴに当接するように素体１を透明テーブルＴの周縁部に配置すると共に、素体１の内周側で素体１０１の側面ｓ１０３が透明テーブルＴに当接するように素体１０１を透明テーブルＴの周縁部に配置する透明テーブルＴによって、素体１及び素体１０１を搬送している。そのため、素体１の六つの側面ｓ１〜ｓ６に向かういずれの方向からでも素体１を視認できることから、各外周側撮像ユニットＤ１０，Ｅ１０，Ｆ１０，Ｇ１０，Ｈ１０，Ｉ１０による素体１の各側面ｓ１〜ｓ６の撮像にあたって素体１を持ち替えたりする必要がなくなっている。また、素体１０１の六つの側面ｓ１０１〜ｓ１０６に向かういずれの方向からでも素体１０１を視認できることから、各内周側撮像ユニットＤ１１０，Ｅ１１０，Ｆ１１０，Ｇ１１０，Ｈ１１０，Ｉ１１０による素体１０１の各側面ｓ１０１〜ｓ１０６の撮像にあたって素体１０１を持ち替えたりする必要がなくなっている。その結果、高速に効率よく素体１０１の外観検査が行えるようになっている。
【０１１２】
ところで、近年、電子部品となる素体１，１０１はより一層の小型化が要求されている。ところが、素体１，１０１が小さくなればなるほど、素体１，１０１の表面の凹凸によって生じる陰影の割合が相対的に多くなってしまい、欠陥によって生じる陰影の識別が困難となる傾向にある。しかしながら、本実施形態においては、外周側・内周側第１撮像ユニットＤ１０，Ｄ１１０及び外周側・内周側第３撮像ユニットＦ１０，Ｆ１１０がそれぞれ有するドーム状照明Ｄ１６，Ｄ１１６，Ｆ１６，Ｆ１１６が、開口Ｄ１６ｃ，Ｄ１１６ｃ，Ｆ１６ｃ，Ｆ１１６ｃから開口Ｄ１６ｅ，Ｄ１１６ｅ，Ｆ１６ｅ，Ｆ１１６ｅに向かう側に向けて窪んだ凹曲面状とされた内壁面を含む椀状部材Ｄ１６ａ，Ｄ１１６ａ，Ｆ１６ａ，Ｆ１１６ａと、椀状部材Ｄ１６ａ，Ｄ１１６ａ，Ｆ１６ａ，Ｆ１１６ａの開口Ｄ１６ｃ，Ｄ１１６ｃ，Ｆ１６ｃ，Ｆ１１６ｃ側に向けて光を照射する複数の投光部材Ｄ１６ｂ，Ｄ１１６ｂ，Ｆ１６ｂ，Ｆ１１６ｂとを含んでいる。また、外周側・内周側第２撮像ユニットＥ１０，Ｅ１１０、外周側・内周側第４撮像ユニットＧ１０，Ｇ１１０、外周側・内周側第５撮像ユニットＨ１０，Ｈ１１０及び外周側・内周側第６撮像ユニットＩ１０，Ｉ１１０がそれぞれ有する一対の半筒状照明Ｅ１８，Ｅ１１８，Ｅ２０，Ｅ１２０，Ｇ１８，Ｇ１１８，Ｇ２０，Ｇ１２０，Ｈ１８，Ｈ１１８，Ｈ２０，Ｈ１２０，Ｉ１８，Ｉ１１８，Ｉ２０，Ｉ１２０が、半筒状を呈しており、半筒状部材Ｅ１８ａ，Ｅ１１８ａ，Ｅ２０ａ，Ｅ１２０ａ，Ｇ１８ａ，Ｇ１１８ａ，Ｇ２０ａ，Ｇ１２０ａ，Ｈ１８ａ，Ｈ１１８ａ，Ｈ２０ａ，Ｈ１２０ａ，Ｉ１８ａ，Ｉ１１８ａ，Ｉ２０ａ，Ｉ１２０ａの基端Ｅ１８ｅ，Ｅ１１８ｅ，Ｅ２０ｅ，Ｅ１２０ｅ，Ｇ１８ｅ，Ｇ１１８ｅ，Ｇ２０ｅ，Ｇ１２０ｅ，Ｈ１８ｅ，Ｈ１１８ｅ，Ｈ２０ｅ，Ｈ１２０ｅ，Ｉ１８ｅ，Ｉ１１８ｅ，Ｉ２０ｅ，Ｉ１２０ｅ側から先端Ｅ１８ｆ，Ｅ１１８ｆ，Ｅ２０ｆ，Ｅ１２０ｆ，Ｇ１８ｆ，Ｇ１１８ｆ，Ｇ２０ｆ，Ｇ１２０ｆ，Ｈ１８ｆ，Ｈ１１８ｆ，Ｈ２０ｆ，Ｈ１２０ｆ，Ｉ１８ｆ，Ｉ１１８ｆ，Ｉ２０ｆ，Ｉ１２０ｆ側に向かうにつれて拡径された曲面状の内壁面を含む半筒状部材Ｅ１８ａ，Ｅ１１８ａ，Ｅ２０ａ，Ｅ１２０ａ，Ｇ１８ａ，Ｇ１１８ａ，Ｇ２０ａ，Ｇ１２０ａ，Ｈ１８ａ，Ｈ１１８ａ，Ｈ２０ａ，Ｈ１２０ａ，Ｉ１８ａ，Ｉ１１８ａ，Ｉ２０ａ，Ｉ１２０ａと、半筒状部材Ｅ１８ａ，Ｅ１１８ａ，Ｅ２０ａ，Ｅ１２０ａ，Ｇ１８ａ，Ｇ１１８ａ，Ｇ２０ａ，Ｇ１２０ａ，Ｈ１８ａ，Ｈ１１８ａ，Ｈ２０ａ，Ｈ１２０ａ，Ｉ１８ａ，Ｉ１１８ａ，Ｉ２０ａ，Ｉ１２０ａの先端Ｅ１８ｆ，Ｅ１１８ｆ，Ｅ２０ｆ，Ｅ１２０ｆ，Ｇ１８ｆ，Ｇ１１８ｆ，Ｇ２０ｆ，Ｇ１２０ｆ，Ｈ１８ｆ，Ｈ１１８ｆ，Ｈ２０ｆ，Ｈ１２０ｆ，Ｉ１８ｆ，Ｉ１１８ｆ，Ｉ２０ｆ，Ｉ１２０ｆ側に向けて光を照射する複数の投光部材Ｅ１８ｂ，Ｅ１１８ｂ，Ｅ２０ｂ，Ｅ１２０ｂ，Ｇ１８ｂ，Ｇ１１８ｂ，Ｇ２０ｂ，Ｇ１２０ｂ，Ｈ１８ｂ，Ｈ１１８ｂ，Ｈ２０ｂ，Ｈ１２０ｂ，Ｉ１８ｂ，Ｉ１１８ｂ，Ｉ２０ｂ，Ｉ１２０ｂとをそれぞれ含み、半筒状部材Ｅ１８ａ，Ｅ１１８ａ，Ｅ２０ａ，Ｅ１２０ａ，Ｇ１８ａ，Ｇ１１８ａ，Ｇ２０ａ，Ｇ１２０ａ，Ｈ１８ａ，Ｈ１１８ａ，Ｈ２０ａ，Ｈ１２０ａ，Ｉ１８ａ，Ｉ１１８ａ，Ｉ２０ａ，Ｉ１２０ａの先端Ｅ１８ｆ，Ｅ１１８ｆ，Ｅ２０ｆ，Ｅ１２０ｆ，Ｇ１８ｆ，Ｇ１１８ｆ，Ｇ２０ｆ，Ｇ１２０ｆ，Ｈ１８ｆ，Ｈ１１８ｆ，Ｈ２０ｆ，Ｈ１２０ｆ，Ｉ１８ｆ，Ｉ１１８ｆ，Ｉ２０ｆ，Ｉ１２０ｆが透明テーブルＴ上に位置する素体１の各側面ｓ１〜ｓ６及び素体１０１の各側面ｓ１０１〜ｓ１０６のそれぞれに向かうと共に、互いの内壁面が向かい合うように配置されている。そのため、素体１の各側面ｓ１〜ｓ６及び素体１０１の各側面ｓ１０１〜ｓ１０６には様々な方向（角度）から投光部材Ｄ１６ｂ，Ｄ１１６ｂ，Ｅ１８ｂ，Ｅ１１８ｂ，Ｅ２０ｂ，Ｅ１２０ｂ，Ｆ１６ｂ，Ｆ１１６ｂ，Ｇ１８ｂ，Ｇ１１８ｂ，Ｇ２０ｂ，Ｇ１２０ｂ，Ｈ１８ｂ，Ｈ１１８ｂ，Ｈ２０ｂ，Ｈ１２０ｂ，Ｉ１８ｂ，Ｉ１１８ｂ，Ｉ２０ｂ，Ｉ１２０ｂによる光がそれぞれ照射されることとなる。その結果、素体１，１０１の表面の凹凸によって生じる陰影の影響が低減されるので、素体１，１０１の外観検査を極めて高精度に行うことが可能となる。
【０１１３】
また、本実施形態においては、透明テーブルＴの周縁近傍に、透明テーブルＴの回転方向（矢印Ｒ方向）に沿って、外周側に外周側第１撮像ユニットＤ１０、外周側第２撮像ユニットＥ１０、外周側第３撮像ユニットＦ１０、外周側第４撮像ユニットＧ１０、外周側第５撮像ユニットＨ１０及び外周側第６撮像ユニットＩ１０がこの順に配置され、内周側に内周側第１撮像ユニットＤ１１０、内周側第２撮像ユニットＥ１１０、内周側第３撮像ユニットＦ１１０、内周側第４撮像ユニットＧ１１０、内周側第５撮像ユニットＨ１１０及び内周側第６撮像ユニットＩ１１０がこの順に配置されているそのため、上記特許文献１に記載されているような従来の外観検査装置のように、透明テーブルＴ上の素体１，１０１の対向する一対の側面を同時に撮像することがない。その結果、光の干渉による影響を大幅に抑制し、素体１，１０１の外観検査を極めて高精度に行うことが可能となっている。
【０１１４】
特に、透明テーブルＴの回転方向（矢印Ｒ方向）の順に、外・内周側第５撮像ユニットＨ１０，Ｈ１１０及び外・内周側第６撮像ユニットＩ１０，Ｉ１１０が隣り合うように並んで透明テーブルＴの周縁に配置されることから、半筒状照明Ｈ１８，Ｈ１１８，Ｈ２０，Ｈ１２０と半筒状照明Ｉ１８，Ｉ１１８，Ｉ２０，Ｉ１２０とが互いに背中合わせとなる。そのため、外・内周側第５撮像ユニットＨ１０，Ｈ１１０及び外・内周側第６撮像ユニットＩ１０，Ｉ１１０が隣り合うように並んでいても、外・内周側第５撮像ユニットＨ１０，Ｈ１１０及び外・内周側第６撮像ユニットＩ１０，Ｉ１１０のうち一方の撮像ユニットにおける半筒状照明からの光が他方の撮像ユニットにおけるカメラに入射し難くなっている。
【０１１５】
また、外・内周側第４撮像ユニットＧ１０，Ｇ１１０が、外・内周側第５撮像ユニットＨ１０，Ｈ１１０と隣り合うように、透明テーブルＴの周縁に配置されている。そのため、半筒状照明Ｈ１８，Ｈ１１８，Ｈ２０，Ｈ１２０からの光が主として透明テーブルＴの外周の接線方向に向かい、カメラＧ１２，Ｇ１１２に入射し難くなっていると共に、半筒状照明Ｇ１８，Ｇ１１８，Ｇ２０，Ｇ１２０からの光が主として透明テーブルＴの径方向に向かい、カメラＨ１２，Ｈ１１２に入射し難くなっている。
【０１１６】
さらに、外・内周側第４撮像ユニットＧ１０，Ｇ１１０に対して外・内周側第５撮像ユニットＨ１０，Ｈ１１０及び外・内周側第６撮像ユニットＩ１０，Ｉ１１０とは反対側において、外・内周側第１撮像ユニットＤ１０，Ｄ１１０及び外・内周側第３撮像ユニットＦ１０，Ｆ１１０が外・内周側第２撮像ユニットＥ１０，Ｅ１１０を間に置くと共に互いに隣り合うように、外・内周側第１撮像ユニットＤ１０，Ｄ１１０、外・内周側第２撮像ユニットＥ１０，Ｅ１１０及び外・内周側第３撮像ユニットＦ１０，Ｆ１１０が透明テーブルＴの周縁に並んで配置されている。そのため、外・内周側第１撮像ユニットＤ１０，Ｄ１１０、外・内周側第２撮像ユニットＥ１０，Ｅ１１０、外・内周側第３撮像ユニットＦ１０，Ｆ１１０及び外・内周側第４撮像ユニットＧ１０，Ｇ１１０のうち一の撮像ユニットにおけるドーム状照明又は半筒状照明による照明方向と当該一の撮像ユニットと隣り合う撮像ユニットにおけるドーム状照明又は半筒状照明による照明方向とは、互いに空間的にねじれの位置の関係にある。従って、外・内周側第１撮像ユニットＤ１０，Ｄ１１０、外・内周側第２撮像ユニットＥ１０，Ｅ１１０、外・内周側第３撮像ユニットＦ１０，Ｆ１１０及び外・内周側第４撮像ユニットＧ１０，Ｇ１１０のうち一の撮像ユニットにおけるドーム状照明又は半筒状照明からの光が当該一の撮像ユニットと隣り合う撮像ユニットにおけるカメラに入射し難くなっている。以上の結果、撮像ユニット間における光の干渉をより一層排除することが可能となっている。
【０１１７】
ここで、外観検査装置１０の雰囲気における屈折率と透明テーブルＴにおける屈折率とは一般に異なっているため、透明テーブルＴの内部を通過して素体１，１０１に到達する光は、外観検査装置１０の雰囲気と透明テーブルＴとの境界面において屈折する。そのため、透明テーブルＴの内部を通過して素体１，１０１に到達する光と透明テーブルＴの内部を通過しないで直接素体１，１０１に到達する光との間の照明条件が異なってしまうことが起こり得る。しかしながら、本実施形態においては、外・内周側第２撮像ユニットＥ１０，Ｅ１１０、外・内周側第４撮像ユニットＧ１０，Ｇ１１０、外・内周側第５撮像ユニットＨ１０，Ｈ１１０及び外・内周側第６撮像ユニットＩ１０，Ｉ１１０がそれぞれ一対の半筒状照明Ｅ１８，Ｅ１１８，Ｅ２０，Ｅ１２０，Ｇ１８，Ｇ１１８，Ｇ２０，Ｇ１２０，Ｈ１８，Ｈ１１８，Ｈ２０，Ｈ１２０，Ｉ１８，Ｉ１１８，Ｉ２０，Ｉ１２０を有しており、各一対の半筒状照明Ｅ１８，Ｅ１１８，Ｅ２０，Ｅ１２０，Ｇ１８，Ｇ１１８，Ｇ２０，Ｇ１２０，Ｈ１８，Ｈ１１８，Ｈ２０，Ｈ１２０，Ｉ１８，Ｉ１１８，Ｉ２０，Ｉ１２０が、互いの内壁面が向かい合い且つ中心軸線Ａに沿って透明テーブルＴ又は透明テーブルＴの表面を含む仮想平面Ｖを間におくように配置されている。そのため、一対の半筒状照明Ｅ１８，Ｅ１１８，Ｅ２０，Ｅ１２０，Ｇ１８，Ｇ１１８，Ｇ２０，Ｇ１２０，Ｈ１８，Ｈ１１８，Ｈ２０，Ｈ１２０，Ｉ１８，Ｉ１１８，Ｉ２０，Ｉ１２０のうち一方又は両方の角度、位置等を調整しながら一対の半筒状照明Ｅ１８，Ｅ１１８，Ｅ２０，Ｅ１２０，Ｇ１８，Ｇ１１８，Ｇ２０，Ｇ１２０，Ｈ１８，Ｈ１１８，Ｈ２０，Ｈ１２０，Ｉ１８，Ｉ１１８，Ｉ２０，Ｉ１２０を配置することで、光の干渉による影響を抑制しつつ、素体１，１０１の照明条件を均一に近づけることが可能となる。
【０１１８】
更に、素体供給ユニットＡ１０で素体１，１０１を透明テーブルの周縁部の外周側と内周側に配置して二列に並べると共に、素体１と素体１０１のそれぞれに対して配置された各撮像ユニットで並列処理を行うことが可能となるため、一列で処理した場合に比して単位時間当たりの検査処理能力を向上させることが可能となる。以上によって、光の干渉による影響を大幅に抑制し、検査対象物の外観検査を極めて高精度に行うことを可能とすると共に、高い検査精度を確保しながら検査処理能力を向上させることができる。
【０１１９】
またここで、外周側第２撮像ユニットＥ１０が透明テーブルＴの径方向における外方から素体１の側面ｓ２を撮像し、半筒状部材Ｅ１８ａ，Ｅ２０ａの先端が透明テーブルＴ上に位置する素体１の側面ｓ２に向かうように一対の半筒状照明Ｅ１８，Ｅ２０が配置されていることから、一対の半筒状照明Ｅ１８，Ｅ２０は透明テーブルＴの径方向における外方に位置していることになる。そして、本実施形態においては、この一対の半筒状照明Ｅ１８，Ｅ２０が、透明テーブルＴの中心軸線Ａに沿って透明テーブルＴの表面を含む仮想平面Ｖを間に置くように配置されているので、透明テーブルＴを取り外して外観検査装置１０をメンテナンスする際に、透明テーブルＴを一対の半筒状照明Ｅ１８，Ｅ２０間を通すことができる。そのため、外観検査装置１０のメンテナンスを容易に行えるようになる。
【０１２０】
また、本実施形態においては、外・内周側良品回収ユニットＪ１０，Ｊ１１０及び外・内周側不良品回収ユニットＫ１０，Ｋ１１０によって、各撮像ユニットＤ１０，Ｅ１０，Ｆ１０，Ｇ１０，Ｈ１０，Ｉ１０，Ｄ１１０，Ｅ１１０，Ｆ１１０，Ｇ１１０，Ｈ１１０，Ｉ１１０によって各側面ｓ１〜ｓ６，ｓ１０１〜ｓ１０６の撮像が行われた後の素体１，１０１に対してイオン化されたガスを吹き付け、透明テーブルＴ上からその素体１，１０１を取り除き、回収ボックスＪ１４、Ｋ１４，Ｊ１１４、Ｋ１１４に回収している。ここで、イオン化されていないガスを透明テーブルＴに吹き付けると、吹き付けられたガスと透明テーブルＴの表面との間に摩擦が生じ、透明テーブルＴの表面が帯電することがある。このように、透明テーブルＴの表面が帯電すると、外観検査装置１０の雰囲気中のゴミや素体１，１０１の破片等の異物が透明テーブルＴの表面に付着してしまい、透明テーブルＴが汚染されたり、素体１，１０１自体が透明テーブルＴの表面に付着してしまい、素体１，１０１を透明テーブルＴから除去することが困難となるという懸念がある。しかしながら、本実施形態においては、素体１，１０１に対してイオン化されたガスを吹き付けるようにしているので、透明テーブルＴの表面の帯電を除去（除電）でき、異物や素体１，１０１の透明テーブルＴへの付着を抑制することが可能となると共に、透明テーブルＴの表面の帯電自体を防止することが可能となる。
【０１２１】
以上、本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記した実施形態に限定されるものではない。例えば、本実施形態では外観検査装置１０により素体１，１０１の外観を検査していたが、素体１，１０１の外表面に更に電極を設けて完成された各種電子部品に対しても本発明を適用することができる。
【０１２２】
また、本実施形態では、素体１，１０１の側面ｓ３，ｓ１０３が透明テーブルＴの表面に当接すると共に素体１，１０１の側面ｓ４，ｓ１０４が透明テーブルＴの中心軸線Ａ側に向くように（素体１，１０１の幅方向が透明テーブルＴの径方向に沿うと共に素体１，１０１の高さ方向が透明テーブルＴの表面の垂線に沿うように）、素体１，１０１が透明テーブルＴに供給されていたが、透明テーブルＴに供給される素体１，１０１の姿勢はこれ以外であってもよい。例えば、素体１，１０１の側面ｓ３，ｓ１０３が透明テーブルＴの表面に当接すると共に素体１，１０１の側面ｓ６，ｓ１０６が透明テーブルＴの中心軸線Ａ側に向いて（素体１，１０１の幅方向が透明テーブルＴの径方向に沿うと共に素体１，１０１の長さ方向が透明テーブルＴの表面の垂線に沿って）いてもよく、素体１，１０１の側面ｓ４，ｓ１０４が透明テーブルＴの表面に当接すると共に素体１，１０１の側面ｓ１，ｓ１０１が透明テーブルＴの中心軸線Ａ側に向いて（素体１，１０１の高さ方向が透明テーブルＴの径方向に沿うと共に素体１，１０１の幅方向が透明テーブルＴの表面の垂線に沿って）いてもよく、素体１，１０１の側面ｓ４，ｓ１０４が透明テーブルＴの表面に当接すると共に素体１，１０１の側面ｓ６，ｓ１０６が透明テーブルＴの中心軸線Ａ側に向いて（素体１，１０１の長さ方向が透明テーブルＴの径方向に沿うと共に素体１，１０１の幅方向が透明テーブルＴの表面の垂線に沿って）いてもよく、素体１，１０１の側面ｓ６，ｓ１０６が透明テーブルＴの表面に当接すると共に素体１，１０１の側面ｓ１，ｓ１０１が透明テーブルＴの中心軸線Ａ側に向いて（素体１，１０１の高さ方向が透明テーブルＴの径方向に沿うと共に素体１，１０１の長さ方向が透明テーブルＴの表面の垂線に沿って）いてもよく、素体１，１０１の側面ｓ６，ｓ１０６が透明テーブルＴの表面に当接すると共に素体１，１０１の側面ｓ４，ｓ１０４が透明テーブルＴの中心軸線Ａ側に向いて（素体１，１０１の幅方向が透明テーブルＴの径方向に沿うと共に素体１，１０１の長さ方向が透明テーブルＴの表面の垂線に沿って）いてもよい。
【０１２３】
また、本実施形態では、透明テーブルＴの周縁近傍に、透明テーブルＴの回転方向（矢印Ｒ方向）に沿って、外・内周側第１撮像ユニットＤ１０，Ｄ１１０、外・内周側第２撮像ユニットＥ１０，Ｅ１１０、外・内周側第３撮像ユニットＦ１０，Ｆ１１０、外・内周側第４撮像ユニットＧ１０，Ｇ１１０、外・内周側第５撮像ユニットＨ１０，Ｈ１１０及び外・内周側第６撮像ユニットＩ１０，Ｉ１１０がこの順に配置されていたが、この配置に限定されない。ここで、外・内周側第５撮像ユニットＨ１０，Ｈ１１０及び外・内周側第６撮像ユニットＩ１０，Ｉ１１０から構成されており、透明テーブルＴの回転方向の順に、外・内周側第５撮像ユニットＨ１０，Ｈ１１０及び外・内周側第６撮像ユニットＩ１０，Ｉ１１０が隣り合うように並んで配置される配列グループをそれぞれ外周側第２グループ及び内周側第２グループとし、外・内周側第１撮像ユニットＤ１０，Ｄ１１０、外・内周側第２撮像ユニットＥ１０，Ｅ１１０、外・内周側第３撮像ユニットＦ１０，Ｆ１１０、外・内周側第４撮像ユニットＧ１０，Ｇ１１０から構成されており、外・内周側第４撮像ユニットＧ１０，Ｇ１１０が外・内周側第５撮像ユニットＨ１０，Ｈ１１０又は外・内周側第６撮像ユニットＩ１０，Ｉ１１０と隣り合うように配置され、外・内周側第１撮像ユニットＤ１０，Ｄ１１０、外・内周側第２撮像ユニットＥ１０，Ｅ１１０及び外・内周側第３撮像ユニットＦ１０，Ｆ１１０は、外・内周側第４撮像ユニットＧ１０，Ｇ１１０に対して外・内周側第５撮像ユニットＨ１０，Ｈ１１０及び外・内周側第６撮像ユニットＩ１０，Ｉ１１０とは反対側において、外・内周側第１撮像ユニットＤ１０，Ｄ１１０及び外・内周側第３撮像ユニットＦ１０，Ｆ１１０が外・内周側第２撮像ユニットＥ１０，Ｅ１１０を間に置くと共に互いに隣り合うように並んで配置される配列グループをそれぞれ外周側第１グループ及び内周側第１グループとして説明する。まず、上述の実施形態では、透明テーブルの回転方向に、外周側第１グループ及び外周側第２グループの順に配置すると共に、内周側第１グループ及び内周側第２グループの順に配置するパターン（第１配列パターンとする）であったが、これに代えて、透明テーブルＴの回転方向に、外周側第２グループ及び外周側第１グループの順に配置すると共に、内周側第２グループ及び内周側第１グループの順に配置するパターン（第２配列パターンとする）でもよく、あるいは、透明テーブルＴの回転方向に、外周側第１グループ及び外周側第２グループの順に配置すると共に、内周側第２グループ及び内周側第１グループの順に配置するパターン（第３配列パターンとする）でもよく、あるいは、透明テーブルＴの回転方向に、外周側第２グループ及び外周側第１グループの順に配置すると共に、内周側第１グループ及び内周側第２グループの順に配置するパターン（第４配列パターンとする）であってもよい。
【０１２４】
第２配列パターンについて具体的に説明する。第２配列パターンでは、図１４に示されるように、透明テーブルＴの周縁近傍に、透明テーブルＴの回転方向に沿って、外周側第５撮像ユニットＨ１０、外周側第６撮像ユニットＩ１０、外周側第４撮像ユニットＧ１０、外周側第１撮像ユニットＤ１０、外周側第２撮像ユニットＥ１０及び外周側第３撮像ユニットＦ１０がこの順に配置されると共に、それより内周側に内周側第５撮像ユニットＨ１１０、内周側第６撮像ユニットＩ１１０、内周側第４撮像ユニットＧ１１０、内周側第１撮像ユニットＤ１１０、内周側第２撮像ユニットＥ１１０及び内周側第３撮像ユニットＦ１１０がこの順に配置される。
【０１２５】
第３配列パターンについて具体的に説明する。第３配列パターンでは、図１５に示されるように、透明テーブルＴの周縁近傍に、透明テーブルＴの回転方向に沿って、外周側第１撮像ユニットＤ１０、外周側第２撮像ユニットＥ１０、外周側第３撮像ユニットＦ１０、外周側第４撮像ユニットＧ１０、外周側第５撮像ユニットＨ１０、外周側第６撮像ユニットＩ１０、がこの順に配置されると共に、それより内周側に内周側第５撮像ユニットＨ１１０、内周側第６撮像ユニットＩ１１０、内周側第４撮像ユニットＧ１１０、内周側第１撮像ユニットＤ１１０、内周側第２撮像ユニットＥ１１０及び内周側第３撮像ユニットＦ１１０がこの順に配置される。
【０１２６】
第４配列パターンについて具体的に説明する。第４配列パターンでは、図１６に示されるように、透明テーブルＴの周縁近傍に、透明テーブルＴの回転方向に沿って、外周側第５撮像ユニットＨ１０、外周側第６撮像ユニットＩ１０、外周側第４撮像ユニットＧ１０、外周側第１撮像ユニットＤ１０、外周側第２撮像ユニットＥ１０及び外周側第３撮像ユニットＦ１０がこの順に配置されると共に、それより内周側に内周側第１撮像ユニットＤ１１０、内周側第２撮像ユニットＥ１１０、内周側第３撮像ユニットＦ１１０、内周側第４撮像ユニットＧ１１０、内周側第５撮像ユニットＨ１１０、内周側第６撮像ユニットＩ１１０がこの順に配置される。
【０１２７】
特に、第３配列パターン及び第４配列パターンを採用した場合は、外周側のグループ配列と内周側のグループ配列を互い違いにすることによって、透明テーブルＴの回転軸線周りの位相（角度位置）を考慮した場合に、同じ位相上に配置される撮像ユニットのタイプ（例えば、外周側第１撮像ユニットＤ１０と内周側第１撮像ユニットＤ１１０を同じタイプとする）を外周側と内周側とで異なるものとすることができる。これによって、外周側の撮像ユニットと内周側の撮像ユニット同士が配置上干渉することを回避し、装置全体をコンパクトな構成とすることができる。
【０１２８】
なお、第１配列パターン、第２配列パターン、第３配列パターン、第４配列パターンのいずれの場合についても、外周側第１グループ内で外周側第１撮像ユニットＤ１０と外周側第３撮像ユニットＨ１０とを入れ替えてもよく、更に、内周側第１グループ内で内周側第１撮像ユニットＤ１１０とに内周側第３撮像ユニットＨ１１０とを入れ替えてもよい。
【０１２９】
また、図１、図１４〜図１６の例では、何れも６個の外周側撮像ユニットと６個の内周側撮像ユニットの位相が同じであったが（回転方向の順で一番目の外周側撮像ユニットと一番目の内周側撮像ユニットとは径方向に隣接しており、二番目〜六番目の撮像ユニットについても同じ関係が成り立つ状態）、外周側と内周側で撮像ユニットの位相がずれていてもよい。更に、外周側あるいは内周側の撮像ユニットが回転方向に向かって撮像ユニット一つ分位相がずれていてもよく、二つ以上位相がずれていてもよい。例えば、内周側撮像ユニットが回転方向に向かって撮像ユニット一つ分の位相がずれる場合は、回転方向の順で一番目の内周側撮像ユニットは、二番目の外周側撮像ユニットと径方向に隣接する位置関係となる。ただし、この場合、透明テーブルＴの径方向において、外周側第１撮像ユニットＤ１０は、内周側第３撮像ユニットＦ１１０以外の内周側の撮像ユニットと隣接し、外周側第２撮像ユニットＥ１０は、内周側第４撮像ユニットＧ１１０以外の内周側の撮像ユニットと隣接し、外周側第３撮像ユニットＦ１０は、内周側第１撮像ユニットＤ１０以外の内周側の撮像ユニットと隣接する位置関係としなければならない。外周側と内周側とで撮像方向が互いに対向し合う撮像ユニット同士が透明テーブルＴの径方向において隣接しない配置とすることによって、一方の撮像ユニットにおける照明部からの光が他方の撮像ユニットにおけるカメラに入射し難くなっている。
【０１３０】
また、ドーム状照明Ｄ１６，Ｆ１６，Ｄ１１６，Ｆ１１６及び半筒状照明Ｅ１８，Ｅ２０，Ｇ１８，Ｇ２０，Ｈ１８，Ｈ２０，Ｉ１８，Ｉ２０，Ｅ１１８，Ｅ１２０，Ｇ１１８，Ｇ１２０，Ｈ１１８，Ｈ１２０，Ｉ１１８，Ｉ１２０の形状によって撮像ユニット間における光の干渉を排除することに加え、隣り合う撮像ユニット同士の間に遮光板等を配置することで、更に光の干渉を排除するようにしてもよい。
【０１３１】
また、本実施形態では、ドーム状照明Ｄ１６，Ｆ１６，Ｄ１１６，Ｆ１１６及び半筒状照明Ｅ１８，Ｅ２０，Ｇ１８，Ｇ２０，Ｈ１８，Ｈ２０，Ｉ１８，Ｉ２０，Ｅ１１８，Ｅ１２０，Ｇ１１８，Ｇ１２０，Ｈ１１８，Ｈ１２０，Ｉ１１８，Ｉ１２０がいずれも平板状の基部を有していたが、基部が平板状でなくてもよい。
【０１３２】
また、ドーム状照明Ｄ１６，Ｆ１６，Ｄ１１６，Ｆ１１６及び半筒状照明Ｅ１８，Ｅ２０，Ｇ１８，Ｇ２０，Ｈ１８，Ｈ２０，Ｉ１８，Ｉ２０，Ｅ１１８，Ｅ１２０，Ｇ１１８，Ｇ１２０，Ｈ１１８，Ｈ１２０，Ｉ１１８，Ｉ１２０の位置や角度を調整するための調整機構を設け、素体１，１０１の大きさ等に合わせて位置や角度を変更するようにしてもよい。特に、調整機構によって半筒状照明Ｅ１８，Ｅ２０，Ｇ１８，Ｇ２０，Ｈ１８，Ｈ２０，Ｉ１８，Ｉ２０，Ｅ１１８，Ｅ１２０，Ｇ１１８，Ｇ１２０，Ｈ１１８，Ｈ１２０，Ｉ１１８，Ｉ１２０の位置や角度を調整することで、外観検査装置１０の雰囲気と透明テーブルＴとの境界面において生じる光の屈折の影響を低減することが可能となる。
【０１３３】
また、透明テーブルＴの表面を、透明な導電膜で覆うようにしてもよい。このようにすると、導電膜において電荷が移動しやすくなるので、素体１が載置される面の帯電を抑制することが可能となる。なお、透明テーブルＴの表面を覆う透明な導電膜を接地（アース）しておくと、電荷を外部に逃すことができるようになるため好ましい。
【０１３４】
また、本実施形態では、素体１の各側面ｓ１〜ｓ６，ｓ１０１〜１０６の撮像にあたり、制御部１２によって各照明Ｄ１６，Ｅ１８，Ｅ２０，Ｆ１６，Ｇ１８，Ｇ２０，Ｈ１８，Ｈ２０，Ｉ１８，Ｉ２０，Ｄ１１６，Ｅ１１８，Ｅ１２０，Ｆ１１６，Ｇ１１８，Ｇ１２０，Ｈ１１８，Ｈ１２０，Ｉ１１８，Ｉ１２０に対しストロボ光による照明を行わせているが、各照明Ｄ１６，Ｅ１８，Ｅ２０，Ｆ１６，Ｇ１８，Ｇ２０，Ｈ１８，Ｈ２０，Ｉ１８，Ｉ２０，Ｄ１１６，Ｅ１１８，Ｅ１２０，Ｆ１１６，Ｇ１１８，Ｇ１２０，Ｈ１１８，Ｈ１２０，Ｉ１１８，Ｉ１２０を常時点灯させるようにしてもよい。ただし、ストロボ光を用いた方が、より大きな光量を瞬間的に得ることができるので、素体１，１０１の各側面ｓ１〜ｓ６，ｓ１０１〜ｓ１０６を均一に照らすことができる。
【０１３５】
また、本実施形態においては、外周側と内周側の二列並列処理を行う場合について説明したが、外周側や内周側に更に列を追加し、３列以上で並列処理を行ってもよい。これによって、更に処理能力を向上させることができる。
【符号の説明】
【０１３６】
１…素体（検査対象物）、１０…外観検査装置、１２…制御部、ｓ１…側面（第１側面）、ｓ２…側面（第２側面）、ｓ３…側面（第３側面）、ｓ４…側面（第４側面）、ｓ５…側面（第５側面）、ｓ６…側面（第６側面）、Ａ…中心軸、Ａ１０…素体供給ユニット（配置手段）、Ｄ１０…第１撮像ユニット（第１撮像手段）、Ｄ１２…カメラ（第１撮像部）、Ｄ１６…ドーム状照明（第１照明部）、Ｄ１６ａ…椀状部材（第１保持部材）、Ｄ１６ｂ…投光部材（第１投光部材）、Ｄ１６ｃ…開口（一方の開口）、Ｄ１６ｅ…開口（他方の開口）、Ｅ１０…第２撮像ユニット（第２撮像手段）、Ｅ１２…透明テーブルＴカメラ（第２撮像部）、Ｅ１８，Ｅ２０…半筒状照明（第２照明部）、Ｅ１８ａ，Ｅ２０ａ…半筒状部材（第２保持部材）、Ｅ１８ｂ，Ｅ２０ｂ…投光部材（第２投光部材）、Ｆ１０…第３撮像ユニット（第３撮像手段）、Ｆ１２…カメラ（第３撮像部）、Ｆ１８…ドーム状照明（第３照明部）、Ｆ１８ａ…椀状部材（第３保持部材）、Ｆ１８ｂ…投光部材（第３投光部材）、Ｆ１８ｃ…開口（一方の開口）、Ｆ１８ｅ…開口（他方の開口）、Ｇ１０…第４撮像ユニット（第４撮像手段）、Ｇ１２…カメラ（第４撮像部）、Ｇ１８，Ｇ２０…半筒状照明（第４照明部）、Ｇ１８ａ，Ｇ２０ａ…半筒状部材（第４保持部材）、Ｇ１８ｂ，Ｇ２０ｂ…投光部材（第４投光部材）、Ｈ１０…第５撮像ユニット（第５撮像手段）、Ｈ１２…カメラ（第５撮像部）、Ｈ１８，Ｈ２０…半筒状照明（第５照明部）、Ｈ１８ａ，Ｈ２０ａ…半筒状部材（第５保持部材）、Ｈ１８ｂ，Ｈ２０ｂ…投光部材（第５投光部材）、Ｉ１０…第６撮像ユニット（第６撮像手段）、Ｉ１２…カメラ（第６撮像部）、Ｉ１８，Ｉ２０…半筒状照明（第６照明部）、Ｉ１８ａ，Ｉ２０ａ…半筒状部材（第６保持部材）、Ｉ１８ｂ，Ｉ２０ｂ…投光部材（第６投光部材）、Ｊ１０…良品回収ユニット（除去手段）、Ｋ１０…不良品回収ユニット（除去手段）、Ｔ…透明テーブル。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１側面、第２側面、第３側面、第４側面、第５側面及び第６側面を有し、前記第１側面及び前記第３側面は、前記第２側面と前記第４側面とを連結し且つ前記第５側面と前記第６側面とを連結すると共に互いに対向しており、前記第２側面及び前記第４側面は、前記第１側面と前記第３側面とを連結し且つ前記第５側面と前記第６側面とを連結すると共に互いに対向しており、前記第５側面及び前記第６側面は、前記第１側面と前記第３側面とを連結し且つ前記第２側面と前記第４側面とを連結すると共に互いに対向している、略直方体形状の検査対象物の外観検査を行うための外観検査装置であって、
自身の中心軸を中心として一定方向に回転可能な略円形状の透明テーブルと、
前記第３側面が前記透明テーブルに当接すると共に前記第４側面が前記中心軸側に向くように、前記検査対象物を前記透明テーブルの表面における外周側の周縁部に配置すると共に、前記検査対象物を前記透明テーブルの表面における内周側の周縁部に配置する配置手段と、
前記透明テーブルの上方から外周側検査対象物の前記第１側面を撮像する外周側第１撮像手段及び前記透明テーブルの上方から内周側検査対象物の前記第１側面を撮像する内周側第１撮像手段と、
前記透明テーブルの径方向における外側から前記外周側検査対象物の前記第２側面を撮像する外周側第２撮像手段及び前記透明テーブルの径方向における外側から前記内周側検査対象物の前記第２側面を撮像する内周側第２撮像手段と、
前記透明テーブルを通して前記外周側検査対象物の前記第３側面を撮像する外周側第３撮像手段及び前記透明テーブルを通して前記内周側検査対象物の前記第３側面を撮像する内周側第３撮像手段と、
前記透明テーブルの径方向における内側から前記外周側検査対象物の前記第４側面を撮像する外周側第４撮像手段及び前記透明テーブルの径方向における内側から前記内周側検査対象物の前記第４側面を撮像する内周側第４撮像手段と、
前記透明テーブルの回転方向における前方側から前記外周側検査対象物の前記第５側面を撮像する外周側第５撮像手段及び前記透明テーブルの回転方向における前方側から前記内周側検査対象物の前記第５側面を撮像する外周側第５撮像手段と、
前記透明テーブルの回転方向における後方側から前記外周側検査対象物の前記第６側面を撮像する外周側第６撮像手段及び前記透明テーブルの回転方向における後方側から前記内周側検査対象物の前記第６側面を撮像する内周側第６撮像手段とを備え、
前記外周側第１撮像手段及び前記内周側第１撮像手段は、
前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物の前記第１側面の撮像をそれぞれ行う第１撮像部と、
前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物の前記第１側面の照明をそれぞれ行う第１照明部とを有し、
前記第１照明部は、
一対の開口が設けられており、該一対の開口のうち一方の開口から他方の開口に向かう側に窪む凹曲面状とされると共に前記第１撮像部の撮像軸線を囲む内壁面を含む第１保持部材と、
前記第１撮像部の撮像軸線を囲むように前記第１保持部材の内壁面において保持され、前記第１保持部材の前記一方の開口側に向けて光を照射する複数の第１投光部材とを含み、
前記第１撮像部よりも前記透明テーブル上に位置する前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物寄りとなると共に、前記第１保持部材の前記一方の開口が前記透明テーブル上に位置する前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物の前記第１側面に向かうようにそれぞれ配置され、
前記外周側第２撮像手段及び前記内周側第２撮像手段は、
前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物の前記第２側面の撮像をそれぞれ行う第２撮像部と、
前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物の前記第２側面の照明をそれぞれ行う一対の第２照明部とを有し、
前記一対の第２照明部は、
半筒状を呈しており、基端側から先端側に向かうにつれて拡径された曲面状の内壁面を含む第２保持部材と、
前記第２保持部材の内壁面において保持され、前記第２保持部材の前記先端側に向けて光を照射する複数の第２投光部材とをそれぞれ含み、
前記第２撮像部よりも前記透明テーブル上に位置する前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物寄りにそれぞれ配置されていると共に、前記第２保持部材の前記先端が前記透明テーブル上に位置する前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物の前記第２側面に向かい、互いの内壁面が向かい合い且つ前記中心軸に沿って前記透明テーブルの表面を含む仮想平面、及び前記透明テーブルを間に置くようにそれぞれ配置されており、
前記外周側第３撮像手段及び前記内周側第３撮像手段は、
前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物の前記第３側面の撮像をそれぞれ行う第３撮像部と、
前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物の前記第３側面の照明をそれぞれ行う第３照明部とを有し、
前記第３照明部は、
一対の開口が設けられており、該一対の開口のうち一方の開口から他方の開口に向かう側に窪む凹曲面状とされると共に前記第３撮像部の撮像軸線を囲む内壁面を含む第３保持部材と、
前記第３撮像部の撮像軸線を囲むように前記第３保持部材の内壁面において保持され、前記第３保持部材の前記一方の開口側に向けて光を照射する複数の第３投光部材とを含み、
前記第３撮像部よりも前記透明テーブル上に位置する前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物寄りとなると共に、前記第３保持部材の前記一方の開口が前記透明テーブル上に位置する前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物の前記第３側面に向かうようにそれぞれ配置され、
前記外周側第４撮像手段及び前記内周側第４撮像手段は、
前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物の前記第４側面の撮像をそれぞれ行う第４撮像部と、
前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物の前記第４側面の照明をそれぞれ行う一対の第４照明部とを有し、
前記一対の第４照明部は、
半筒状を呈しており、基端側から先端側に向かうにつれて拡径された曲面状の内壁面を含む第４保持部材と、
前記第４保持部材の内壁面において保持され、前記第４保持部材の前記前端側に向けて光を照射する複数の第４投光部材とをそれぞれ含み、
前記第４撮像部よりも前記透明テーブル上に位置する前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物寄りにそれぞれ配置されていると共に、前記第４保持部材の前記先端が前記透明テーブル上に位置する前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物の前記第４側面に向かい、互いの内壁面が向かい合い且つ前記中心軸に沿って前記透明テーブルを間に置くようにそれぞれ配置されており、
前記外周側第５撮像手段及び前記内周側第５撮像手段は、
前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物の前記第５側面の撮像をそれぞれ行う第５撮像部と、
前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物の前記第５側面の照明をそれぞれ行う一対の第５照明部とを有し、
前記一対の第５照明部は、
半筒状を呈しており、基端側から先端側に向かうにつれて拡径された曲面状の内壁面を含む第５保持部材と、
前記第５保持部材の内壁面において保持され、前記第５保持部材の前記先端側に向けて光を照射する複数の第５投光部材とをそれぞれ含み、
前記第５撮像部よりも前記透明テーブル上に位置する前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物寄りにそれぞれ配置されていると共に、前記第５保持部材の前記先端が前記透明テーブル上に位置する前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物の前記第５側面に向かい、互いの内壁面が向かい合い且つ前記中心軸に沿って前記透明テーブルを間に置くようにそれぞれ配置されており、
前記外周側第６撮像手段及び前記内周側第６撮像手段は、
前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物の前記第６側面の撮像をそれぞれ行う第６撮像部と、
前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物の前記第６側面の照明をそれぞれ行う一対の第６照明部とを有し、
前記一対の第６照明部は、
半筒状を呈しており、基端側から先端側に向かうにつれて拡径された曲面状の内壁面を含む第６保持部材と、
前記第６保持部材の内壁面において保持され、前記第６保持部材の前記先端側に向けて光を照射する複数の第６投光部材とをそれぞれ含み、
前記第６撮像部よりも前記透明テーブル上に位置する前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物寄りにそれぞれ配置されていると共に、前記第６保持部材の前記先端が前記透明テーブル上に位置する前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物の前記第６側面に向かい、互いの内壁面が向かい合い且つ前記中心軸に沿って前記透明テーブルを間に置くようにそれぞれ配置されており、
前記外周側第１撮像手段、前記外周側第２撮像手段、前記外周側第３撮像手段、前記外周側第４撮像手段、前記外周側第５撮像手段及び前記外周側第６撮像手段は、それぞれが互いに異なる位置となるように、前記透明テーブルの周縁部に沿って並んで配置され、
前記透明テーブルの回転方向の順に、前記外周側第５撮像手段及び前記外周側第６撮像手段が隣り合うように並んで配置され、
前記外周側第４撮像手段は、前記外周側第５撮像手段又は前記外周側第６撮像手段と隣り合うように配置され、
前記外周側第１撮像手段、前記外周側第２撮像手段及び前記外周側第３撮像手段は、前記外周側第４撮像手段に対して前記外周側第５撮像手段及び前記外周側第６撮像手段とは反対側において、前記外周側第１撮像手段及び前記外周側第３撮像手段が前記外周側第２撮像手段を間に置くと共に互いに隣り合うように並んで配置されており、
前記内周側第１撮像手段、前記内周側第２撮像手段、前記内周側第３撮像手段、前記内周側第４撮像手段、前記内周側第５撮像手段及び前記内周側第６撮像手段は、それぞれが互いに異なる位置となるように、前記外周側第１撮像手段、前記外周側第２撮像手段、前記外周側第３撮像手段、前記外周側第４撮像手段、前記外周側第５撮像手段及び前記外周側第６撮像手段よりも内周側において、前記透明テーブルの周縁部に沿って並んで配置され、
前記透明テーブルの回転方向の順に、前記内周側第５撮像手段及び前記内周側第６撮像手段が隣り合うように並んで配置され、
前記内周側第４撮像手段は、前記内周側第５撮像手段又は前記内周側第６撮像手段と隣り合うように配置され、
前記内周側第１撮像手段、前記内周側第２撮像手段及び前記内周側第３撮像手段は、前記内周側第４撮像手段に対して前記内周側第５撮像手段及び前記内周側第６撮像手段とは反対側において、前記内周側第１撮像手段及び前記内周側第３撮像手段が前記内周側第２撮像手段を間に置くと共に互いに隣り合うように並んで配置されていることを特徴とする外観検査装置。
【請求項２】
前記外周側第１撮像手段、前記外周側第２撮像手段、前記外周側第３撮像及び前記外周側第４撮像から構成されるグループを外周側第１グループとし、前記外周側第５撮像手段及び前記外周側第６撮像手段から構成されるグループを外周側第２グループとし、
前記内周側第１撮像手段、前記内周側第２撮像手段、前記内周側第３撮像手段及び前記内周側第４撮像から構成されるグループを内周側第１グループとし、前記内周側第５撮像手段及び前記内周側第６撮像手段から構成されるグループを内周側第２グループとした場合に、
前記透明テーブルの回転方向に、前記外周側第１グループ及び前記外周側第２グループの順に配置すると共に、前記内周側第２グループ及び前記内周側第１グループの順に配置することを特徴とする請求項１記載の外観検査装置。
【請求項３】
前記外周側第１撮像手段、前記外周側第２撮像手段、前記外周側第３撮像及び前記外周側第４撮像から構成されるグループを外周側第１グループとし、前記外周側第５撮像手段及び前記外周側第６撮像手段から構成されるグループを外周側第２グループとし、
前記内周側第１撮像手段、前記内周側第２撮像手段、前記内周側第３撮像手段及び前記内周側第４撮像から構成されるグループを内周側第１グループとし、前記内周側第５撮像手段及び前記内周側第６撮像手段から構成されるグループを内周側第２グループとした場合に、
前記透明テーブルの回転方向に、前記外周側第２グループ及び前記外周側第１グループの順に配置すると共に、前記内周側第１グループ及び前記内周側第２グループの順に配置することを特徴とする請求項１記載の外観検査装置。
【請求項４】
前記透明テーブルの径方向において、
前記外周側第１撮像手段は、前記内周側第３撮像手段以外の内周側の撮像手段と隣接し、
前記外周側第２撮像手段は、前記内周側第４撮像手段以外の内周側の撮像手段と隣接し、
前記外周側第３撮像手段は、前記内周側第１撮像手段以外の内周側の撮像手段と隣接することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載の外観検査装置。
【請求項１】
第１側面、第２側面、第３側面、第４側面、第５側面及び第６側面を有し、前記第１側面及び前記第３側面は、前記第２側面と前記第４側面とを連結し且つ前記第５側面と前記第６側面とを連結すると共に互いに対向しており、前記第２側面及び前記第４側面は、前記第１側面と前記第３側面とを連結し且つ前記第５側面と前記第６側面とを連結すると共に互いに対向しており、前記第５側面及び前記第６側面は、前記第１側面と前記第３側面とを連結し且つ前記第２側面と前記第４側面とを連結すると共に互いに対向している、略直方体形状の検査対象物の外観検査を行うための外観検査装置であって、
自身の中心軸を中心として一定方向に回転可能な略円形状の透明テーブルと、
前記第３側面が前記透明テーブルに当接すると共に前記第４側面が前記中心軸側に向くように、前記検査対象物を前記透明テーブルの表面における外周側の周縁部に配置すると共に、前記検査対象物を前記透明テーブルの表面における内周側の周縁部に配置する配置手段と、
前記透明テーブルの上方から外周側検査対象物の前記第１側面を撮像する外周側第１撮像手段及び前記透明テーブルの上方から内周側検査対象物の前記第１側面を撮像する内周側第１撮像手段と、
前記透明テーブルの径方向における外側から前記外周側検査対象物の前記第２側面を撮像する外周側第２撮像手段及び前記透明テーブルの径方向における外側から前記内周側検査対象物の前記第２側面を撮像する内周側第２撮像手段と、
前記透明テーブルを通して前記外周側検査対象物の前記第３側面を撮像する外周側第３撮像手段及び前記透明テーブルを通して前記内周側検査対象物の前記第３側面を撮像する内周側第３撮像手段と、
前記透明テーブルの径方向における内側から前記外周側検査対象物の前記第４側面を撮像する外周側第４撮像手段及び前記透明テーブルの径方向における内側から前記内周側検査対象物の前記第４側面を撮像する内周側第４撮像手段と、
前記透明テーブルの回転方向における前方側から前記外周側検査対象物の前記第５側面を撮像する外周側第５撮像手段及び前記透明テーブルの回転方向における前方側から前記内周側検査対象物の前記第５側面を撮像する外周側第５撮像手段と、
前記透明テーブルの回転方向における後方側から前記外周側検査対象物の前記第６側面を撮像する外周側第６撮像手段及び前記透明テーブルの回転方向における後方側から前記内周側検査対象物の前記第６側面を撮像する内周側第６撮像手段とを備え、
前記外周側第１撮像手段及び前記内周側第１撮像手段は、
前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物の前記第１側面の撮像をそれぞれ行う第１撮像部と、
前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物の前記第１側面の照明をそれぞれ行う第１照明部とを有し、
前記第１照明部は、
一対の開口が設けられており、該一対の開口のうち一方の開口から他方の開口に向かう側に窪む凹曲面状とされると共に前記第１撮像部の撮像軸線を囲む内壁面を含む第１保持部材と、
前記第１撮像部の撮像軸線を囲むように前記第１保持部材の内壁面において保持され、前記第１保持部材の前記一方の開口側に向けて光を照射する複数の第１投光部材とを含み、
前記第１撮像部よりも前記透明テーブル上に位置する前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物寄りとなると共に、前記第１保持部材の前記一方の開口が前記透明テーブル上に位置する前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物の前記第１側面に向かうようにそれぞれ配置され、
前記外周側第２撮像手段及び前記内周側第２撮像手段は、
前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物の前記第２側面の撮像をそれぞれ行う第２撮像部と、
前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物の前記第２側面の照明をそれぞれ行う一対の第２照明部とを有し、
前記一対の第２照明部は、
半筒状を呈しており、基端側から先端側に向かうにつれて拡径された曲面状の内壁面を含む第２保持部材と、
前記第２保持部材の内壁面において保持され、前記第２保持部材の前記先端側に向けて光を照射する複数の第２投光部材とをそれぞれ含み、
前記第２撮像部よりも前記透明テーブル上に位置する前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物寄りにそれぞれ配置されていると共に、前記第２保持部材の前記先端が前記透明テーブル上に位置する前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物の前記第２側面に向かい、互いの内壁面が向かい合い且つ前記中心軸に沿って前記透明テーブルの表面を含む仮想平面、及び前記透明テーブルを間に置くようにそれぞれ配置されており、
前記外周側第３撮像手段及び前記内周側第３撮像手段は、
前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物の前記第３側面の撮像をそれぞれ行う第３撮像部と、
前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物の前記第３側面の照明をそれぞれ行う第３照明部とを有し、
前記第３照明部は、
一対の開口が設けられており、該一対の開口のうち一方の開口から他方の開口に向かう側に窪む凹曲面状とされると共に前記第３撮像部の撮像軸線を囲む内壁面を含む第３保持部材と、
前記第３撮像部の撮像軸線を囲むように前記第３保持部材の内壁面において保持され、前記第３保持部材の前記一方の開口側に向けて光を照射する複数の第３投光部材とを含み、
前記第３撮像部よりも前記透明テーブル上に位置する前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物寄りとなると共に、前記第３保持部材の前記一方の開口が前記透明テーブル上に位置する前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物の前記第３側面に向かうようにそれぞれ配置され、
前記外周側第４撮像手段及び前記内周側第４撮像手段は、
前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物の前記第４側面の撮像をそれぞれ行う第４撮像部と、
前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物の前記第４側面の照明をそれぞれ行う一対の第４照明部とを有し、
前記一対の第４照明部は、
半筒状を呈しており、基端側から先端側に向かうにつれて拡径された曲面状の内壁面を含む第４保持部材と、
前記第４保持部材の内壁面において保持され、前記第４保持部材の前記前端側に向けて光を照射する複数の第４投光部材とをそれぞれ含み、
前記第４撮像部よりも前記透明テーブル上に位置する前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物寄りにそれぞれ配置されていると共に、前記第４保持部材の前記先端が前記透明テーブル上に位置する前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物の前記第４側面に向かい、互いの内壁面が向かい合い且つ前記中心軸に沿って前記透明テーブルを間に置くようにそれぞれ配置されており、
前記外周側第５撮像手段及び前記内周側第５撮像手段は、
前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物の前記第５側面の撮像をそれぞれ行う第５撮像部と、
前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物の前記第５側面の照明をそれぞれ行う一対の第５照明部とを有し、
前記一対の第５照明部は、
半筒状を呈しており、基端側から先端側に向かうにつれて拡径された曲面状の内壁面を含む第５保持部材と、
前記第５保持部材の内壁面において保持され、前記第５保持部材の前記先端側に向けて光を照射する複数の第５投光部材とをそれぞれ含み、
前記第５撮像部よりも前記透明テーブル上に位置する前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物寄りにそれぞれ配置されていると共に、前記第５保持部材の前記先端が前記透明テーブル上に位置する前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物の前記第５側面に向かい、互いの内壁面が向かい合い且つ前記中心軸に沿って前記透明テーブルを間に置くようにそれぞれ配置されており、
前記外周側第６撮像手段及び前記内周側第６撮像手段は、
前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物の前記第６側面の撮像をそれぞれ行う第６撮像部と、
前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物の前記第６側面の照明をそれぞれ行う一対の第６照明部とを有し、
前記一対の第６照明部は、
半筒状を呈しており、基端側から先端側に向かうにつれて拡径された曲面状の内壁面を含む第６保持部材と、
前記第６保持部材の内壁面において保持され、前記第６保持部材の前記先端側に向けて光を照射する複数の第６投光部材とをそれぞれ含み、
前記第６撮像部よりも前記透明テーブル上に位置する前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物寄りにそれぞれ配置されていると共に、前記第６保持部材の前記先端が前記透明テーブル上に位置する前記外周側検査対象物及び前記内周側検査対象物の前記第６側面に向かい、互いの内壁面が向かい合い且つ前記中心軸に沿って前記透明テーブルを間に置くようにそれぞれ配置されており、
前記外周側第１撮像手段、前記外周側第２撮像手段、前記外周側第３撮像手段、前記外周側第４撮像手段、前記外周側第５撮像手段及び前記外周側第６撮像手段は、それぞれが互いに異なる位置となるように、前記透明テーブルの周縁部に沿って並んで配置され、
前記透明テーブルの回転方向の順に、前記外周側第５撮像手段及び前記外周側第６撮像手段が隣り合うように並んで配置され、
前記外周側第４撮像手段は、前記外周側第５撮像手段又は前記外周側第６撮像手段と隣り合うように配置され、
前記外周側第１撮像手段、前記外周側第２撮像手段及び前記外周側第３撮像手段は、前記外周側第４撮像手段に対して前記外周側第５撮像手段及び前記外周側第６撮像手段とは反対側において、前記外周側第１撮像手段及び前記外周側第３撮像手段が前記外周側第２撮像手段を間に置くと共に互いに隣り合うように並んで配置されており、
前記内周側第１撮像手段、前記内周側第２撮像手段、前記内周側第３撮像手段、前記内周側第４撮像手段、前記内周側第５撮像手段及び前記内周側第６撮像手段は、それぞれが互いに異なる位置となるように、前記外周側第１撮像手段、前記外周側第２撮像手段、前記外周側第３撮像手段、前記外周側第４撮像手段、前記外周側第５撮像手段及び前記外周側第６撮像手段よりも内周側において、前記透明テーブルの周縁部に沿って並んで配置され、
前記透明テーブルの回転方向の順に、前記内周側第５撮像手段及び前記内周側第６撮像手段が隣り合うように並んで配置され、
前記内周側第４撮像手段は、前記内周側第５撮像手段又は前記内周側第６撮像手段と隣り合うように配置され、
前記内周側第１撮像手段、前記内周側第２撮像手段及び前記内周側第３撮像手段は、前記内周側第４撮像手段に対して前記内周側第５撮像手段及び前記内周側第６撮像手段とは反対側において、前記内周側第１撮像手段及び前記内周側第３撮像手段が前記内周側第２撮像手段を間に置くと共に互いに隣り合うように並んで配置されていることを特徴とする外観検査装置。
【請求項２】
前記外周側第１撮像手段、前記外周側第２撮像手段、前記外周側第３撮像及び前記外周側第４撮像から構成されるグループを外周側第１グループとし、前記外周側第５撮像手段及び前記外周側第６撮像手段から構成されるグループを外周側第２グループとし、
前記内周側第１撮像手段、前記内周側第２撮像手段、前記内周側第３撮像手段及び前記内周側第４撮像から構成されるグループを内周側第１グループとし、前記内周側第５撮像手段及び前記内周側第６撮像手段から構成されるグループを内周側第２グループとした場合に、
前記透明テーブルの回転方向に、前記外周側第１グループ及び前記外周側第２グループの順に配置すると共に、前記内周側第２グループ及び前記内周側第１グループの順に配置することを特徴とする請求項１記載の外観検査装置。
【請求項３】
前記外周側第１撮像手段、前記外周側第２撮像手段、前記外周側第３撮像及び前記外周側第４撮像から構成されるグループを外周側第１グループとし、前記外周側第５撮像手段及び前記外周側第６撮像手段から構成されるグループを外周側第２グループとし、
前記内周側第１撮像手段、前記内周側第２撮像手段、前記内周側第３撮像手段及び前記内周側第４撮像から構成されるグループを内周側第１グループとし、前記内周側第５撮像手段及び前記内周側第６撮像手段から構成されるグループを内周側第２グループとした場合に、
前記透明テーブルの回転方向に、前記外周側第２グループ及び前記外周側第１グループの順に配置すると共に、前記内周側第１グループ及び前記内周側第２グループの順に配置することを特徴とする請求項１記載の外観検査装置。
【請求項４】
前記透明テーブルの径方向において、
前記外周側第１撮像手段は、前記内周側第３撮像手段以外の内周側の撮像手段と隣接し、
前記外周側第２撮像手段は、前記内周側第４撮像手段以外の内周側の撮像手段と隣接し、
前記外周側第３撮像手段は、前記内周側第１撮像手段以外の内周側の撮像手段と隣接することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載の外観検査装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【公開番号】特開２０１０−２４９５１３（Ｐ２０１０−２４９５１３Ａ）
【公開日】平成２２年１１月４日（２０１０．１１．４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−９５７７８（Ｐ２００９−９５７７８）
【出願日】平成２１年４月１０日（２００９．４．１０）
【出願人】（０００００３０６７）ＴＤＫ株式会社 (7,238)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年１１月４日（２０１０．１１．４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年４月１０日（２００９．４．１０）
【出願人】（０００００３０６７）ＴＤＫ株式会社 (7,238)
【Ｆターム（参考）】
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