対物レンズ駆動装置の検査方法、検査装置
【課題】対物レンズ駆動装置による対物レンズのフォーカス方向への移動を検査する。
【解決手段】基台と、対物レンズと、基台上で対物レンズを保持するホルダと、対物レンズがフォーカス方向に移動するようにホルダを駆動する駆動機構と、を有する対物レンズ駆動装置の検査方法に関する。対物レンズを介してレーザ光を出射させる工程と、対物レンズを介して出射されるレーザ光を所定径のアパーチャ１４２に通過させる工程と、ホルダが基台の面に最も近づく第１位置と基台の面から第１位置よりも遠ざかる第２位置との間を移動するための駆動電圧を駆動機構に与える工程と、アパーチャ１４２を通過したレーザ光を光電変換する工程と、光電変換後の信号に基づいて良否判定を行う工程と、を含む対物レンズ駆動装置の検査方法を実行させる。
【解決手段】基台と、対物レンズと、基台上で対物レンズを保持するホルダと、対物レンズがフォーカス方向に移動するようにホルダを駆動する駆動機構と、を有する対物レンズ駆動装置の検査方法に関する。対物レンズを介してレーザ光を出射させる工程と、対物レンズを介して出射されるレーザ光を所定径のアパーチャ１４２に通過させる工程と、ホルダが基台の面に最も近づく第１位置と基台の面から第１位置よりも遠ざかる第２位置との間を移動するための駆動電圧を駆動機構に与える工程と、アパーチャ１４２を通過したレーザ光を光電変換する工程と、光電変換後の信号に基づいて良否判定を行う工程と、を含む対物レンズ駆動装置の検査方法を実行させる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対物レンズ駆動装置の検査方法、検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
光ディスクに対して情報の記録又は再生用のレーザを照射するための対物レンズを駆動する対物レンズ駆動装置が知られている（例えば、特許文献１を参照。）。対物レンズ駆動装置においては、対物レンズをディスク面に対して垂直な方向に駆動することで、ディスク面上でのレーザ光の合焦ずれを補正するためのフォーカシング制御が行われる。尚、対物レンズ駆動装置は、例えば、光ディスクに対して情報を記録又は再生する光ピックアップ装置に用いられる。
【０００３】
以下、図１４を用いて、対物レンズ駆動装置１の構成について説明する。
基台１０は、略直方体状の磁石２１及び磁石２２と、磁石２１及び磁石２２とがそれぞれ固設される略矩形平板状のヨーク１１及びヨーク１２とを備える板状をなす金属製の台である。詳述すると、基台１０上に、図１４中のタンジェンシャル方向（ターンテーブル（不図示）に装着された光ディスク（不図示）のトラックの接線方向）に沿って対向するように一対の略矩形平板状のヨーク１１、１２が形成されるとともに、各ヨーク１１、１２の間にアクチュエータＡＣＴの主体部３０（アクチュエータ主体部）を備えさせるための開口された所定の収容部９０が形成されている。「アクチュエータ（ａｃｔｕａｔｏｒ）」とは、例えばエネルギーを並進運動または回転運動等に変換させる駆動装置を意味する。
【０００４】
また、磁石２１及び磁石２２は、それぞれ直方形状をなし極性の異なる単極の永久磁石である。一対の磁石２１及び磁石２２の正面同士が基台１０上の収容部９０を挟んで対向するように、磁石２１の背面部２１ｂがヨーク１１に固設されるとともに磁石２２の背面部２２ｂがヨーク２１に固設されている。例えば、磁石２１及び磁石２２の対向面間にある基台１０上の収容部９０および収容部９０の周辺／近傍に磁気ギャップが形成される。尚、磁石２１及び磁石２２においてフォーカス方向（ターンテーブル（不図示）に装着された光ディスク（不図示）の面に対して垂直な方向）にある底面部２１ａ、２２ａは、基台１０の上側の表面部１０ｂ、１０ｃに対して接着材で接着されている。図１４中に示される６１、６２は、磁石２１及び２２と基台１０との接着箇所を示している。
【０００５】
アクチュエータＡＣＴは、例えば、対物レンズＯＢＬを保持するレンズホルダ３１（ホルダ）と、対物レンズＯＢＬ等が装備されたホルダ３１等を含むアクチュエータ主体部３０を移動可能に弾性支持する略線状のサスペンションワイヤ４０（ワイヤ）と、略線状のサスペンションワイヤ４０の両端部４１、４２のうち片方の端部４２が固定される支持板５０と、ラジアル方向（ディスク面上のトラックに対して垂直な方向）に沿ったホルダ３１の対向する２つの側面部３１ａ、３１ｂにおいてそれぞれ複数本（例えば、各側面部３１ａ、３１ｂに２本ずつ）のサスペンションワイヤ４０の両端部４１、４２のうちのもう片方の端部４１をそれぞれ係止する係止部材３２と、主にラジアル方向に略沿ってアクチュエータ主体部３０を駆動させるトラッキングコイル（ｔｒａｃｋｉｎｇ ｃｏｉｌ）３３と、主にフォーカス方向に略沿ってアクチュエータ主体部３０を駆動させるフォーカスコイル（ｆｏｃｕｓ ｃｏｉｌ）３４とを備えている。また、アクチュエータＡＣＴの主体部３０の底面３０ａと、アクチュエータＡＣＴの主体部３０の底面３０ａに対しフォーカス方向に沿って離された基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａとの間に、アクチュエータＡＣＴの主体部３０をフォーカス方向に移動させるための空間９０ａが存在する。
【０００６】
サスペンションワイヤ４０は、係止部材３２を介してアクチュエータＡＣＴの主体部３０を弾性的に支持するとともに、トラッキングコイル３３やフォーカスコイル３４等に電流を流すためのリード線の機能を有した金属製のワイヤである。具体的には、サスペンションワイヤ４０は、基板１０に対し略平行に延在するように、一端部４１が係止部材３２に対して半田フラックスによりそれぞれ係止されるとともに、他端部４２が支持板５０に対して半田剤、ダンパ剤などを介して固着されている。尚、ダンパ材は、例えばアクチュエータＡＣＴの主体部３０を駆動／移動させた際の異常振動などの振動を吸収する役割を果たしている。
【０００７】
支持板５０は、サスペンションワイヤ４０の他端部４２を固定する板である。尚、支持板５０と基板１０とは、例えば金属製のケース（不図示）等を介して相互に固定される。
【０００８】
以上のとおり、図１４中で基台１０及びホルダ３１以外の構成要素は、対物レンズＯＢＬをフォーカス方向やトラッキング方向に移動させるようにホルダ３１を駆動させる駆動機構を構成している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００３−１６６６８号公報（第１−３頁、第１１−１２図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
図１４に示した対物レンズ駆動装置１を例に挙げて本願発明の主たる課題について以下に説明する。
【００１１】
接着箇所６１、６２は、磁石２１、２２の底面部２１ａ、２２ａと基台１０の上側の表面部１０ｂ、１０ｃとの間を接着剤によって接着した箇所であるが、例えば当該接着剤がホルダ３１を具備したアクチュエータＡＣＴの主体部３０の裏面３０ａと対向する基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａに流れ出したり染み出したりしてくる現象が生じる場合がある。また、当該接着剤が規定どおり接着箇所６１、６２に塗布されず、アクチュエータＡＣＴの主体部３０の裏面３０ａと対向する基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａに付着する場合もある。
【００１２】
また、例えば半田フラックスを用いた半田付け等によって、アクチュエータＡＣＴの主体部３０の係止部材３２がサスペンションワイヤ４０の一端部４１を係止しているが、当該半田付け作業の際に、アクチュエータＡＣＴの主体部３０の裏面３０ａと対向する基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａに当該半田フラックスが付着する場合がある。
【００１３】
さらに、例えば、半田剤、ダンパ剤などを用いてサスペンションワイヤ４０の他端部４２が支持板５０に固着されるが、当該固着作業の際に、アクチュエータＡＣＴの主体部３０の裏面３０ａと対向する基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａに当該ダンパ材が付着する場合がある。
【００１４】
前記のとおり、接着材、半田フラックス、ダンパ剤等といった粘着性の有る異物が、アクチュエータＡＣＴの主体部３０の裏面３０ａと対向する基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａに付着している場合を仮定する。この場合、アクチュエータＡＣＴの主体部３０をフォーカシング制御のために、アクチュエータＡＣＴの主体部３０の裏面３０ａを基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａに近づける方向に移動させたとき、前記のような粘着性の有る異物によって、アクチュエータＡＣＴの主体部３０の裏面３０ａと基台
１０の略中央の一段下がった表面１０ａとが粘着する。
【００１５】
かかる状況下で、今度はアクチュエータＡＣＴの主体部３０の裏面３０ａを基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａから遠ざける方向にアクチュエータＡＣＴの主体部３０を移動させようとすると、アクチュエータＡＣＴの主体部３０が前記粘着性を有した異物によってスムーズに移動する（制御応答が線形となる）ことができず、フォーカシング制御が意図した制御にならないという課題があった。
【００１６】
また、前記粘着性を有した異物に限らず、アクチュエータＡＣＴの主体部３０の裏面３０ａと基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａとの間にゴミ等の異物が混入するような場合であっても同様に、アクチュエータＡＣＴの主体部３０がスムーズに移動しないという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記課題を解決するために、本発明に係る対物レンズ駆動装置の検査方法は、基台と、対物レンズと、前記基台上で前記対物レンズを保持するホルダと、前記対物レンズが少なくともフォーカス方向に移動するように前記ホルダを駆動する駆動機構と、を有する対物レンズ駆動装置の検査方法において、前記対物レンズを介してレーザ光を出射させる工程と、前記対物レンズを介して出射される前記レーザ光を所定径のアパーチャに通過させる工程と、前記ホルダが前記基台の面に最も近づく第１位置と前記基台の面から前記第１位置よりも遠ざかる第２位置との間を移動するための駆動電圧を前記駆動機構に与える工程と、前記アパーチャを通過した前記レーザ光を光電変換する工程と、前記光電変換後の信号に基づいて良否判定を行う工程と、を含むことを特徴とする。
【００１８】
また、本発明に係る対物レンズ駆動装置の検査方法は、基台と、対物レンズと、前記基台上で前記対物レンズを保持するホルダと、前記対物レンズが少なくともフォーカス方向に移動するように前記ホルダを駆動する駆動機構と、を有する対物レンズ駆動装置の検査方法において、前記対物レンズを介してレーザ光を出射させる工程と、前記対物レンズを介して出射される前記レーザ光を所定径のアパーチャに通過させる工程と、前記ホルダが前記基台の面に最も近づく第１位置と前記基台の面から前記第１位置よりも遠ざかる第２位置との間を移動するための駆動電圧を前記駆動機構に与える工程と、前記アパーチャを通過した前記レーザ光を光電変換する工程と、前記光電変換後の信号に基づいて対物レンズ駆動装置の検査を行う工程と、を含み、前記対物レンズ駆動装置の検査を行うときに、必要に応じて前記駆動機構を構成するトラッキングコイルに印加させ、前記駆動機構を構成するフォーカスコイルに印加させることを特徴とする。
【００１９】
また、本発明に係る対物レンズ駆動装置の検査方法は、基台と、対物レンズと、前記基台上で前記対物レンズを保持するホルダと、前記対物レンズが少なくともフォーカス方向に移動するように前記ホルダを駆動する駆動機構と、を有する対物レンズ駆動装置の検査方法において、前記対物レンズを介してレーザ光を出射させる工程と、前記対物レンズを介して出射される前記レーザ光を所定径のアパーチャに通過させる工程と、前記ホルダが前記基台の面に最も近づく第１位置と前記基台の面から前記第１位置よりも遠ざかる第２位置との間を移動するための駆動電圧を前記駆動機構に与える工程と、前記アパーチャを通過した前記レーザ光を光電変換する工程と、前記駆動電圧の波形と前記光電変換後の波形とを表示画面に表示させる工程と、を含み、前記対物レンズ駆動装置の検査を行うときに、必要に応じて前記駆動機構を構成するトラッキングコイルに印加させ、前記駆動機構を構成するフォーカスコイルに印加させることを特徴とする。
【００２０】
また、本発明に係る対物レンズ駆動装置の検査装置は、基台上で対物レンズを保持するホルダを当該対物レンズが少なくともフォーカス方向に移動するように駆動する駆動機構
に対し、当該ホルダが当該基台の面に最も近づく第１位置と当該基台の面から当該第１位置よりも遠ざかる第２位置との間を移動するための駆動電圧を生成する駆動電圧生成器と、前記対物レンズを介して出射されるレーザ光を通過させる所定径のアパーチャと、前記アパーチャを通過した前記レーザ光を光電変換するセンサと、前記光電変換後の信号に基づいて良否判定を行う制御装置と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、対物レンズ駆動装置による対物レンズのフォーカス方向への移動を検査することができる。
【００２２】
また、本発明によれば、対物レンズ駆動装置の検査を行うときに、必要に応じて駆動機構を構成するトラッキングコイルに電圧をかけることにより、対物レンズがトラッキング方向に略沿った任意の位置上に存する状態で、駆動機構を構成するフォーカスコイルに電圧をかけて対物レンズのフォーカス方向への移動を検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本実施形態における対物レンズ駆動装置の検査装置の構成を示す図である。
【図２】本実施形態の光ピックアップ装置を取り外した場合の第２の検査治具を示す斜視図である。
【図３】本実施形態の光センサを取り外した第２の検査治具を示す平面図である。
【図４】本実施形態のアパーチャの位置調整を説明するための図である。
【図５】本実施形態のアパーチャの位置調整を説明するための図である。
【図６】本実施形態のアパーチャの位置調整を説明するための図である。
【図７】本実施形態のアパーチャの位置調整を説明するための図である。
【図８】本実施形態の対物レンズ駆動装置の検査方法を実行した結果を示す図であり、（Ａ）は正常な場合の波形表示器の表示画面を示した図であり、（Ｂ）は正常でない場合の波形表示器の表示画面を示した図である。
【図９】本実施形態の対物レンズ駆動装置の検査方法を実行した結果を示す図であり、（Ａ）は正常な場合の波形表示器の表示画面を示した拡大図であり、（Ｂ）は正常でない場合の波形表示器の表示画面を示した拡大図である。
【図１０】本実施形態の対物レンズ駆動装置の検査方法を実行した結果を示す図であり、（Ａ）は正常な場合の波形表示器の表示画面を示した概略図であり、（Ｂ）は正常でない場合の波形表示器の表示画面を示した概略図である。
【図１１】本実施形態の対物レンズ駆動装置の検査方法を実行した結果を示す図であり、（Ａ）はフォーカスコイル駆動電圧波形の信号上昇部の表示画面を示した概略図であり、（Ｂ）はセンサ出力電圧波形の信号上昇部の表示画面を示した概略図である。
【図１２】本実施形態の対物レンズ駆動装置の検査方法を実行した結果を示す図であり、（Ａ）はフォーカスコイル駆動電圧波形の信号下降部の表示画面を示した概略図であり、（Ｂ）はセンサ出力電圧波形の信号下降部の表示画面を示した概略図である。
【図１３】光ピックアップ装置の斜視図である。
【図１４】対物レンズ駆動装置の平面および断面を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下に本発明に係る対物レンズ駆動装置の検査方法、検査装置の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【実施例１】
【００２５】
＝＝＝対物レンズ駆動装置＝＝＝
対物レンズ駆動装置１は、便宜上、図１４に示される上述の対物レンズ駆動装置１の場合とする。対物レンズ駆動装置１の駆動機構は、対物レンズＯＢＬが少なくともフォーカ
ス方向に移動するようにレンズホルダ３１を駆動する駆動機構とされている。具体的に説明すると、対物レンズ駆動装置１の駆動機構は、対物レンズＯＢＬが、光ディスクのディスク面に対し略垂直な方向とされるフォーカス方向と、フォーカス方向に対して略直交する方向とされると共にタンジェンシャル方向に対して略直交する方向とされるトラッキング方向いわゆるラジアル方向と、対物レンズＯＢＬが回動する方向とされるチルト方向と、に移動するようにレンズホルダ３１を駆動する駆動機構とされている。対物レンズ駆動装置１に関する詳細内容については、図１４と共に説明した上記対物レンズ駆動装置１と同じことから、その詳細な説明を省略する。
【００２６】
＝＝＝検査装置の構成＝＝＝
図１は、本発明に係る対物レンズ駆動装置のフォーカス制御が行われるときの動作状況を検査する検査装置Ｗの全体構成を示した図である。尚、検査装置Ｗによる検査対象は、便宜上、図１４に示される上記対物レンズ駆動装置１の場合とする。
【００２７】
対物レンズ駆動装置１の検査装置Ｗは、安定化電源装置１００、第１の検査治具１１０（駆動電圧生成器）、ＡＰＣ（Ａｕｔｏｍａｔｉｃ Ｐｏｗｅｒ Ｃｏｎｔｒｏｌ）１２０、ＬＶＤＳ（Ｌｏｗ Ｖｏｌｔａｇｅ Ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ Ｓｉｇｎａｌｉｎｇ）変換器１３０、第２の検査治具１４０、Ｉ／Ｖアンプ１５０（電流／電圧変換回路）、オシロスコープ１６０（波形表示器）、Ａ／Ｄコンバータ１７０（回路）、制御プロセッサ１８０（制御装置）によって主に構成される。尚、対物レンズ駆動装置１の検査装置Ｗの仕様や、対物レンズ駆動装置１の検査方法などにより、例えばオシロスコープ１６０が装備されることなく省略されてもよい。
【００２８】
安定化電源装置１００は、ＡＰＣ１２０並びにＩ／Ｖアンプ１５０にＤＣ電圧を供給する電源装置である。安定化電源装置１００は、ケーブル１０３を介してＡＰＣ１２０と接続されるとともに、ケーブル１０５を介してＩ／Ｖアンプ１５０と接続される。
【００２９】
第１の検査治具１１０は、アクチュエータＡＣＴの主体部３０のフォーカス方向への移動を検査するための設定が行われるマスタ治具である。具体的には、光ピックアップ装置ＯＰＵを構成するアクチュエータＡＣＴのフォーカスコイル３４に印加させる駆動電圧を発生させてフォーカスコイル駆動電圧ＦＶを生成する。尚、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶは、図１中における第１の検査治具１１０の＋端子１１１、−端子１１２からツイストペアケーブル１１３によってＬＶＤＳ変換器１３０を経由して、光ピックアップ装置ＯＰＵを構成するアクチュエータＡＣＴのフォーカスコイル３４へ供給される。
【００３０】
ＡＰＣ１２０は、光ピックアップ装置ＯＰＵに具備されるレーザ光源（不図示）を一定の電力で発光させるための制御を行うものである。具体的には、ＡＰＣ１２０は、安定化電源装置１００から供給されるＤＣ電圧を受け、ＬＶＤＳ変換器１３０を介して光ピックアップ装置ＯＰＵのレーザ光源に電力を供給するとともに、光ピックアップ装置ＯＰＵのレーザ光源等に制御信号を供給する。尚、ＡＰＣ１２０から出力される制御信号は、ケーブル１２３を介してＬＶＤＳ変換器１３０に伝送される。尚、レーザ光源（光源）として例えばレーザダイオード（ＬＤ：ｌａｓｅｒ ｄｉｏｄｅ）等の発光素子などが挙げられる。
【００３１】
ＬＶＤＳ変換器１３０は、ＡＰＣ１２０からケーブル１２３を介して伝送される電力と制御信号とを受け、制御信号をＬＶＤＳ変換し、前記レーザ光源に電力と制御信号を供給するとともに、第１の検査治具１１０からツイストペアケーブル１１３を介して伝送されるフォーカスコイル駆動電圧ＦＶをアクチュエータＡＣＴのフォーカスコイル３４に印加させるものである。ＡＰＣ１２０、第１の検査治具１１０は、信号源として機能し、ＬＶＤＳ変換器１３０は、第２の検査治具１４０向けの中継装置およびＬＶＤＳトランシーバ
として機能している。ＬＶＤＳ変換器１３０は、例えばフレキシブルケーブル２４（ケーブル）等を介して第２の検査治具１４０に備えられた光ピックアップ装置ＯＰＵと接続される。
【００３２】
第２の検査治具１４０は、アクチュエータＡＣＴを構成するアクチュエータ主体部３０のフォーカス方向の移動を検査するための操作が行われる例えばスレーブ治具である。第２の検査治具１４０は、主に、ピンホール１４３を有するアパーチャ１４２、光センサ１４４、を備えて構成される。また、光ピックアップ装置ＯＰＵは、第２の検査治具１４０に備えられる。尚、アパーチャ１４２、光センサ１４４、そして光ピックアップ装置ＯＰＵは、水平面（Ｘ−Ｙ平面）に対して平行に配設される。
【００３３】
光ピックアップ装置ＯＰＵの外観構成を図１３に示す。図１３には、一部の部品が取り除かれた光ピックアップ装置ＯＰＵの一部内部構造が示されている。光ピックアップ装置ＯＰＵは、対物レンズ駆動装置１や光源等の光学系（不図示）等を金属製および／または樹脂製のケース２に収納したものであり、光源から出射された光を反射鏡等を介して対物レンズＯＢＬに照射させる光学系や、対物レンズ駆動装置１の回路基板５０（板）やサスペンションワイヤ４０等に通電可能に接続されるフレキシブルプリント基板２６やフレキシブルプリント基板２６に通電可能に接続されるフレキシブルケーブル２８等のフレキシブル基板２４（ケーブル）等を備えるものとさせて、スリム化のための各種工夫が施されたものである。尚、図１３には、例えば図１４に示したヨーク１１、磁石２１、対物レンズＯＢＬ、アクチュエータＡＣＴ、アクチュエータ主体部３０、支持板５０が示されている。
【００３４】
アパーチャ１４２は、ここでは便宜上、例えば所定径のピンホール１４３（孔）を具備したもの例えば板とされる。「アパーチャ（ａｐｅｒｔｕｒｅ）」とは、例えば、穴、隙間などを意味し、ここでは、便宜上、そのようなもの若しくはそのようなものを有するものとされる。所定のレーザ光源からのレーザ光が光ピックアップ装置ＯＰＵの対物レンズＯＢＬを通過してアパーチャ１４２に照射されると、対物レンズＯＢＬを介して出射される集光光束がアパーチャ１４２によって制限される。そして、その集光光束の一部がピンホール１４３を通過する。光センサ１４４は、アパーチャ１４２のピンホール１４３を通過した集光光束の一部（ピンホール通過光）を受光してその受光量に応じた受光電流ＰＤＯＵＴに光電変換するセンサである。光センサ１４４は、ケーブル１４５を介してＩ／Ｖアンプ１５０と接続される。
【００３５】
Ｉ／Ｖアンプ１５０は、光センサ１４４の受光電流ＰＤＯＵＴを電圧に変換してさらに増幅したセンサ出力電圧ＬＤＰを生成する例えば電流／電圧変換回路である。尚、センサ出力電圧ＬＤＰは、図１中のＩ／Ｖアンプ１５０の＋端子１５１、−端子１５２より出力される。尚、対物レンズ駆動装置１の検査装置Ｗの仕様などにより、例えば光センサ１４４とＩ／Ｖアンプ１５０とが本願請求項に係るセンサの一実施形態とされることもある。
【００３６】
オシロスコープ１６０は、例えば光センサ１４４等により光電変換後の信号に基づいて対物レンズ駆動装置１の検査を行う信号検査装置として構成されている。具体的に説明すると、オシロスコープ１６０は、第１の検査治具１１０の＋端子１１１、−端子１１２から出力されるフォーカスコイル駆動電圧ＦＶ並びにＩ／Ｖアンプ１５０の＋端子１５１、−端子１５２から出力されるセンサ出力電圧ＬＤＰを２次元のグラフとして波形表示する波形表示器である。オシロスコープ１６０は、表示画面１６１と、Ｘ軸用のチャンネル１６２（ＣＨ−Ｘ）と、Ｙ軸用のチャンネル１６４（ＣＨ−Ｙ）と、を備える。チャンネル１６２は、プローブ１６３を介して第１の検査治具１１０の＋端子１１１、−端子１１２と接続される。また、チャンネル１６４は、プローブ１６５を介してＩ／Ｖアンプ１５０の＋端子１５１、−端子１５２と接続される。
【００３７】
オシロスコープ１６０において通常モードが設定されると、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶとセンサ出力電圧ＬＤＰそれぞれの時間変化の波形（縦軸（Ｙ軸）が電圧、横軸（Ｘ軸）が時間）が表示画面１６１に表示される。また、例えばオシロスコープ１６０においてＸ−Ｙモードが設定されると、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶとセンサ出力電圧ＬＤＰとのリサージュ波形（縦軸（Ｙ軸）がセンサ出力電圧ＬＤＰ、横軸（Ｘ軸）がフォーカスコイル駆動電圧ＦＶ）が表示画面１６１に表示される。
【００３８】
Ａ／Ｄコンバータ（Ａｎａｌｏｇ ｔｏ Ｄｉｇｉｔａｌ Ｃｏｎｖｅｒｔｅｒ）１７０は、アナログ値からデジタル値への変換を行うチップもしくは基板または回路である。アナログ（ａｎａｌｏｇ）とは、物質やシステムなどの状態を連続的に変化する物理量などによって表現することを意味する。これに対し、デジタル（ｄｉｇｉｔａｌ）とは、物質やシステムなどの状態を離散的な数字や文字などの信号により表現することを意味する。Ａ／Ｄコンバータ１７０は、ケーブル１７３を介して第１の検査治具１１０の＋端子１１１、−端子１１２と接続される。また、Ａ／Ｄコンバータ１７０は、ケーブル１７５を介してＩ／Ｖアンプ１５０の＋端子１５１、−端子１５２と接続される。
【００３９】
制御プロセッサ１８０は、例えば中央演算装置を意味するＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）、ＭＰＵ（Ｍｉｃｒｏ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）、マイクロプロセッサ、マイクロコンピュータ、システムコントローラ等とされるものである。制御プロセッサ１８０は、マイクロコンピュータとして構成されている。マイクロコンピュータ（ｍｉｃｒｏ ｃｏｍｐｕｔｅｒ）とは、超小型コンピュータを意味し、例えばマイコンと略称される。制御プロセッサ１８０が備える各機能は、ソフトウェアいわゆるプログラムにより実現される。この制御プロセッサ１８０は、光センサ１４４等によって光信号が電気信号に変換され、光センサ１４４等により光電変換されたのちの電気信号に基づいて、対物レンズ駆動装置１の良否判定工程を行う制御プロセッサ１８０として構成されている。
【００４０】
対物レンズ駆動装置１の検査装置Ｗの仕様などにより、対物レンズ駆動装置１の検査装置Ｗは、例えば上記制御プロセッサ１８０を含むデジタル信号処理装置いわゆるデジタル・シグナル・プロセッサを備えて構成される。デジタル・シグナル・プロセッサとは、例えば主にデジタル信号処理に特化されたマイクロプロセッサを意味する。デジタル・シグナル・プロセッサ（ｄｉｇｉｔａｌ ｓｉｇｎａｌ ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ）は、「ＤＳＰ」と略称されている。ＤＳＰを構成する制御プロセッサ１８０を含んだチップが装備される。制御プロセッサ１８０を含むＤＳＰが用いられることにより、例えば制御プロセッサ１８０等における高速演算処理が実行可能となる。ＤＳＰが用いられることにより、信号処理が行われるときに、例えばＳＮ（ｓｉｇｎａｌ／ｎｏｉｓｅ）比が略９０ｄＢ（デシベル）以上とされ、ノイズの影響が回避され易くなり、また、周辺の雰囲気温度などによる影響も抑制され易くなる。このようなことから、ＤＳＰが用いられることにより精度の高い演算処理等が高速で行われる。
【００４１】
制御プロセッサ１８０は、ケーブル１８１を介して第１の検査治具１１０と接続される。また、制御プロセッサ１８０は、ケーブル１８３を介してＡＰＣ１２０と接続される。また、制御プロセッサ１８０は、ケーブル１８５を介してＡ／Ｄコンバータ１７０と接続される。
【００４２】
尚、各ケーブル２４、１０３、１０５、１１３、１２３、１４５、１７３、１７５、１８１、１８３、１８５、各プローブ１６３、１６５は、例えば電線を構成するものとされている。また、各ケーブル２４、１０３、１０５、１１３、１２３、１４５、１７３、１７５、１８１、１８３、１８５を着脱自在に通電可能に接続させるために、各ケーブル２
４、１０３、１０５、１１３、１２３、１４５、１７３、１７５、１８１、１８３、１８５に例えば中継基板（不図示）が装備されてもよい。
【００４３】
対物レンズ駆動装置１の検査装置Ｗは、上記安定化電源装置１００、上記ＡＰＣ１２０、上記ＬＶＤＳ変換器１３０、上記Ｉ／Ｖアンプ１５０、上記オシロスコープ１６０、上記Ａ／Ｄコンバータ１７０、上記制御プロセッサ１８０、上記第１の検査治具１１０、上記第２の検査治具１４０等のアクチュエータ・スティック・ジャンプ・対策治具などを備えて構成される。
【００４４】
＝＝＝第２の検査治具の構造＝＝＝
図２は、第２の検査治具１４０の斜視図である。図３は、第２の検査治具１４０から光センサ１４４を取り外し、光ピックアップ装置ＯＰＵを取り付けた場合における第２の検査治具１４０の平面図である。尚、図２、図３にそれぞれ示されるＸ−Ｙ−Ｚ座標は対応づけられている。
【００４５】
図２、図３中に示すＹ軸の正方向に向かって延設部１４０３ａ、１４０３ｂが延設されたコ字状の底板１４０３が、例えば水平面Ｈ（図２）上に載置される。底板１４０３のコ字の底辺部位に対して垂直に（図２、図３中に示すＺ軸の正方向に）平板状の背板１４０２が配設される。尚、背板１４０２の水平面Ｈ側の下面とは反対側（図２、図３中に示すＺ軸の正方向）にある上面Ｓ１は、水平面Ｈからの高さ方向に向けた高さｈ１の位置にある。
【００４６】
また、背板１４０２と底板１４０３の間の略直角の隙間には平板状の側板１４０４が嵌合される。側板１４０４は、背板１４０２及び底板１４０３に対して垂直に配設される。尚、側板１４０４の一方の正方形状をした面に、背板１４０２に対して垂直に（図２、図３中に示すＹ軸の正方向に）延設される例えば２本のリブを有する骨板１４０８が合わせられ、側板１４０４の他方の正方形状をした面から骨板１４０８に向けて螺入取付される４本のボルト１４０７等によって、背板１４０２および／または底板１４０３に側板１４０４が取り付けられる。
【００４７】
側板１４０４の水平面Ｈ側の下面とは反対側（図２、図３中に示すＺ軸の正方向の面）にある上面Ｓ３においては、側板１４０４と垂直に（図２、図３中に示すＸ軸の負方向に）アパーチャ１４２の短手側の端部がボルト１４０６によって結合される。この結果、アパーチャ１４２は水平面Ｈに対して平行に配設される。尚、側板１４０４の上面Ｓ３は、水平面Ｈからの高さ方向に向けた高さｈ１よりも低い高さｈ３の位置にある。
【００４８】
背板１４０２の上面Ｓ１にはボルト穴１４０２ａ、１４０２ｂが設けられており、背板１４０２に対して垂直に（図２、図３中に示すＹ軸の正方向に）光センサ１４４の端部がボルトを介して結合される。この結果、アパーチャ１４２と光センサ１４４とは、それぞれ水平面Ｈに対して平行に配設される。尚、アパーチャ１４２のピンホール１４３と光センサ１４４の受光部とが対向するように位置調整される。
【００４９】
背板１４０２の上面Ｓ１と垂直な側面Ｓ２から垂直に（図２、図３中に示すＹ軸の正方向に）金属性の２本の支持棒１４０５ａ、１４０５ｂが延設される。尚、２本の支持棒１４０５ａ、１４０５ｂは、水平面Ｈからの高さ方向に向けた高さｈ３よりも低い高さｈ２の位置より延設される。
【００５０】
ところで、図１３に示されるように、対物レンズ駆動装置１を収納するケース２例えばハウジング２ａに、光ピックアップ装置ＯＰＵを水平に（図２、図３中に示すＸ−Ｙ平面に対して平行に）支持するべく、前記の支持棒１４０５ａ、１４０５ｂを摺接可能な状態
で挿入させる挿入孔部７０ａ並びに開口穴部７０ｂが備えられている。
【００５１】
例えば、光ピックアップ装置ＯＰＵの挿入孔部７０ａに支持棒１４０５ａが挿入されるとともに、光ピックアップ装置ＯＰＵの開口穴部７０ｂに支持棒１４０５ｂが挿入されるように、光ピックアップ装置ＯＰＵが第２の検査治具１４０の各支持棒１４０５ａ、１４０５ｂに移動可能に装備されると、光ピックアップ装置ＯＰＵは、水平面Ｈに対して平行な状態で第２の検査治具１４０に装備される。アパーチャ１４２、光センサ１４４、そして光ピックアップ装置ＯＰＵは、水平面Ｈに対してそれぞれ平行に配設される。また、水平面Ｈを基準として、アパーチャ１４２は略高さｈ３の位置に、光センサ１４４は略高さｈ１の位置に、光ピックアップ装置ＯＰＵは略高さｈ２の位置にある。尚、「ｈ２＜ｈ３＜ｈ１」の関係により、図２、図３中に示すＺ軸の正方向に向けて、光ピックアップ装置ＯＰＵ、アパーチャ１４２、光センサ１４４の順に配置される。
【００５２】
＝＝＝アパーチャの位置調整＝＝＝
図３〜図７を用いてアパーチャ１４２の位置調整について説明する。尚、図４に示すＸ−Ｙ−Ｚ座標は、図２、図３に示したＸ−Ｙ−Ｚ座標と対応づけられている。
アパーチャ１４２の位置調整とは、ピンホール１４３を通過した対物レンズＯＢＬからの集光光束の一部（投影像３０２）の光量が、対物レンズＯＢＬのフォーカス方向への移動量に応じて変化するか否かを確認するために行う初期調整である。
【００５３】
まず、図３に示した第２の検査治具１４０の状態のように、第２の検査治具１４０から光センサ１４４を取り外して、目視確認によりピンホール１４３の中心が対物レンズＯＢＬの光軸Ｌに一致するようにアパーチャ１４２の位置を調整する。
【００５４】
つぎに、光センサ１４４を取り外した位置に紙をテープ等で固定する等して、投影像３０２を表示させる透過スクリーン３００を装備する。そして、光ピックアップ装置ＯＰＵのレーザ光源を例えば１ｍＷ程度で点灯させ、透過スクリーン３００に表示される投射像３０２が略円形となるようピンホール位置を調整する。
【００５５】
つぎに、第１の検査治具１１０に備えられるシフトボリューム（不図示）の調整によってフォーカスコイル駆動電圧ＦＶを正の上限値（本実施形態の場合、例えば＋２Ｖ）とし、対物レンズＯＢＬを含めたアクチュエータＡＣＴの主体部３０を透過スクリーン３００に近づかせるように（図４中に示すＺ軸の正方向に）移動させる。そして、対物レンズＯＢＬを、最も透過スクリーン３００に近づけたＯＢＬ最上位置Ｍ１（第１位置；図５参照）に停止させる。このとき、投影像３０２が最大となるように、ＯＢＬ最上位置Ｍ１におけるアパーチャ１４２から対物レンズＯＢＬまでの距離Ｔ１を側板１４０４の位置調整によって調整する。尚、投影像３０２の円形が崩れた場合にはアパーチャ１４２の位置を再調整する。
【００５６】
つぎに、第１の検査治具１１０に備えられるシフトボリューム（不図示）の調整によってフォーカスコイル駆動電圧ＦＶを正の上限値（本実施形態の場合、例えば＋２Ｖ）から負の下限値（本実施形態の場合、例えば−２Ｖ）に下げていくことで、対物レンズＯＢＬを含めたアクチュエータＡＣＴの主体部３０を透過スクリーン３００から徐々に遠ざけるように（図４中に示すＺ軸の負方向に）移動させる。即ち、対物レンズＯＢＬを、ＯＢＬ最上位置Ｍ１から、最も透過スクリーン３００から遠ざけたＯＢＬ最下位置Ｍ２（第２位置；図５参照）に向けて移動させる。尚、ＯＢＬ最下位置Ｍ２は、アパーチャ１４２から対物レンズＯＢＬまでの距離がＴ２となる位置である。このとき、対物レンズＯＢＬの移動量に応じて投影像３０２が小さくなっていくことを目視確認する。この途中で投影像３０２が大きくなるようであれば、アパーチャ１４２から対物レンズＯＢＬまでの距離Ｔ１を側板１４０４の位置調整によって再調整する。
【００５７】
ところで、第２の検査治具１４０にアパーチャ１４２を設けない場合、対物レンズＯＢＬからの集光光束が全て光センサ１４４に入射されるため、光センサ１４４の受光電流ＰＤＯＵＴ自体に変化はない。しかしながら、アパーチャ１４２を設けた場合、光センサ１４４上での照度（単位面積当たりの光量）は、合焦点ＦＰからの距離で変化することになる。詳しく説明すると、照度（単位面積当りの光束）は、合焦点ＦＰからの距離で変化する。アパーチャ１４２を設け、一定面積のピンホール１４３から光束を抽出させることにより、合焦点ＦＰからの距離で受光電流ＰＤＯＵＴを変化させることができる。
【００５８】
例えば、図６に示すように、ｒ１を合焦点最上位置Ｎ１の場合のアパーチャ１４２上での照射像の半径、ｒ２を合焦点最下位置Ｎ２の場合のアパーチャ１４２上での照射像の半径、Ｐを輝度（出射光量）とすると、合焦点最上位置Ｎ１の場合のアパーチャ１４２上での照度Ｌ１は式（１）で表現され、合焦点最下位置Ｎ２の場合のアパーチャ１４２上での照度Ｌ２は式（２）で表現される。また、照度Ｌ１に対する照度Ｌ２の比（＝Ｌ２／Ｌ１）は、式（１）、（２）を用いて式（３）で表現される。
Ｌ１＝Ｐ／π・ｒ１２ ・・・（１）
Ｌ２＝Ｐ／π・ｒ２２ ・・・（２）
Ｌ２／Ｌ１＝ｒ１２／ｒ２２ ・・・（３）
尚、半径ｒ１に対する半径ｒ２の比（＝ｒ２／ｒ１）は、合焦点最上位置Ｎ１からアパーチャ１４２までの距離Ｐ１に対する合焦点最下位置Ｎ２からアパーチャ１４２までの距離Ｐ２の比（＝Ｐ２／Ｐ１）に相当する。従って、式（３）は、式（４）のように変形することができる。
Ｌ２／Ｌ１＝Ｐ１２／Ｐ２２ ・・・（４）
【００５９】
ところで、アパーチャ１４２を使用して集光光束の一部を抽出し、光センサ１４４に入射させるとき、光センサ１４４は、アパーチャ１４２上における照度に比例した受光電流ＰＤＯＵＴを出力する。このため、式（４）により、受光電流ＰＤＯＵＴは、アパーチャ１４２と合焦点ＦＰとの間の距離Ｐ１／Ｐ２の二乗に反比例して変化することが分かる。例えば、アパーチャ１４２と合焦点ＦＰとの間の距離Ｐ１が短い場合、受光電流ＰＤＯＵＴは大きくなり、アパーチャ１４２と合焦点ＦＰとの間の距離Ｐ２が長いとき、受光電流ＰＤＯＵＴは小さくなる。
【００６０】
但し、ピンホール１４３の径との関係にも留意する必要がある。ピンホール１４３の径は、アクチュエータＡＣＴの主体部３０の移動範囲内で、アパーチャ１４２における照射像の面積よりも小さく設定し、且つ、より多くの集光光束を通過させる必要がある。ピンホール１４３の径が小さすぎる場合、受光電流ＰＤＯＵＴは検出が困難なぐらい小さくなる虞がある。一方、レーザ光の合焦点ＦＰが合焦点最上位置Ｎ１となったときに、アパーチャ１４２のピンホール１４３を透過しようとする拡大光の径に比べてピンホール１４３の径が大きすぎると、合焦点最上位置Ｎ１と合焦点最下位置Ｎ２との間でレーザ光の合焦点ＦＰが移動させられても、透過スクリーン３００にうつし出される投影像３０２の大小変化が起こらないことが発生する。このため、対物レンズＯＢＬの位置変化による受光電流ＰＤＯＵＴの変化が確認しづらくなる。従って、ピンホール１４３の径は、アクチュエータＡＣＴの主体部３０のフォーカス方向への移動範囲、アパーチャ１４２の取付位置、対物レンズＯＢＬの開口数（ＮＡ：Ｎｕｍｅｒｉｃａｌ Ａｐｅｒｔｕｒｅ）、レンズ径等のパラメータに基づいて決定する。
【００６１】
アパーチャ１４２の位置調整を終えると、透過スクリーン３００を取り除き、光センサ１４４を第２の検査治具１４０に再び取り付ける。そして、第１の検査治具１１０が備える発振ボリュームとシフトボリューム（いずれも不図示）を調整して、正弦波のフォーカスコイル駆動電圧ＦＶを生成する。尚、例えば、発振ボリュームによって正弦波の振幅が
設定され、シフトボリューム等により振幅している正弦波のピークトゥピーク値が設定されて、シフトボリュームによって正弦波の上限値と下限値がそれぞれ設定される。
【００６２】
このとき、オシロスコープ１６０の表示画面１６１において、Ｉ／Ｖアンプ１５０より出力されるセンサ出力電圧ＬＤＰの波形が、図７に示されるように、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶの正弦波の時間変化に追従（同位相、同振幅）したような波形となることを目視確認する。センサ出力電圧ＬＤＰの波形が、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶの正弦波の時間変化に追従した波形となっていなければ、再び、アパーチャ１４２の位置調整を行う。
【００６３】
＝＝＝第一の検査方法＝＝＝
図８〜図１２、図１４を用いて対物レンズ駆動装置１のフォーカス制御が行われるときの動作状況の検査方法について説明する。
【００６４】
例えば図１４に示される対物レンズ駆動装置１の如く、トラッキングコイル３３に電圧をかけずにフォーカスコイル３４に電圧をかけて、対物レンズ駆動装置１の検査方法を行う状態について説明する。
【００６５】
アパーチャ１４２の位置調整を終えた後、第１の検査治具１１０が備える発振ボリュームとシフトボリューム（いずれも不図示）を調整して、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶを正弦波（本実施形態の場合、例えば上限値＋１Ｖから下限値−２．２Ｖの波形）とする。そして、オシロスコープ１６０の表示画面１６１において、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶとセンサ出力電圧ＬＤＰとの対応関係を表現した波形表示を目視確認する。
【００６６】
図８は、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶの波形とセンサ出力電圧ＬＤＰの波形とを、同一時間軸上において並べた表示した場合のオシロスコープ１６０の画面表示例である。縦軸（Ｙ軸）が電圧を示す軸とされ、横軸（Ｘ軸）が時間を示す軸とされている。尚、図８（Ａ）は、アクチュエータＡＣＴの主体部３０のフォーカス方向への移動が正常な場合（ＯＫ（ｏｋａｙ）品の場合）の波形例を示した図であり、図８（Ｂ）は、アクチュエータＡＣＴの主体部３０のフォーカス方向への移動が正常でない場合（ＮＧ（ｎｏ ｇｏｏｄ）品の場合）の波形例を示した図である。
【００６７】
図８（Ａ）と図８（Ｂ）とを対比すると、正常でない場合、センサ出力電圧ＬＤＰはフォーカスコイル駆動電圧ＦＶの立ち上がりに対して遅延が生じ、また、センサ出力電圧ＬＤＰが立ち上がった際に例えば振動が生じていることが分かる。このことより、図８（Ｂ）の場合、アクチュエータＡＣＴの主体部３０の裏面３０ａと対向する基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａには粘着性の有る異物が付着しており、アクチュエータＡＣＴの主体部３０の裏面３０ａを基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａから遠ざける方向にアクチュエータＡＣＴの主体部３０を移動させようとすると、アクチュエータＡＣＴの主体部３０が前記の粘着性を有した異物によってスムーズに移動しない（制御応答が非線形である）ことが原因であると判別できる。
【００６８】
図９は、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶの波形とセンサ出力電圧ＬＤＰの波形とをリサージュ波形として表示した場合のオシロスコープ１６０の画面表示例である。縦軸（Ｙ軸）がセンサ出力電圧ＬＤＰとされ、横軸（Ｘ軸）がフォーカスコイル駆動電圧ＦＶとされている。尚、図９（Ａ）は、アクチュエータＡＣＴの主体部３０のフォーカス方向への移動が正常な場合の波形例を示した拡大図であり、図９（Ｂ）は、アクチュエータＡＣＴの主体部３０のフォーカス方向への移動が正常でない場合の波形例を示した拡大図である。リサージュ波形の場合、図８に示した時間変化の波形と比べて、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶの波形とセンサ出力電圧ＬＤＰの波形とを一つの波形で表現することができ、フォ
ーカスコイル駆動電圧ＦＶとセンサ出力電圧ＬＤＰとの対比が容易という利点がある。
【００６９】
図９（Ａ）に示される正常な場合、フォーカス駆動電圧ＦＶを下限値から上限値に向けて上げていくときのフォーカス駆動電圧ＦＶの変化と、センサ出力電圧ＬＤＰを下限値から上限値に向けて上げていくときのセンサ出力電圧ＬＤＰの変化とが略一致していることが分かる。一方、図９（Ｂ）に示される正常でない場合、フォーカス駆動電圧ＦＶを下限値から上限値に向けて上げていくときのフォーカス駆動電圧ＦＶの変化と、センサ出力電圧ＬＤＰを下限値から上限値に向けて上げていくときのセンサ出力電圧ＬＤＰの変化とが不一致となることが分かる。
【００７０】
尚、図９（Ｂ）に示される状態が生じた場合、フォーカス駆動電圧ＦＶを下限値から上限値に向けて上げていくとき、センサ出力電圧ＬＤＰは立ち上がりの際に遅延が生じ、また、立ち上がった後に例えば振動が生じることが分かる。このことより、図９（Ｂ）の場合、アクチュエータＡＣＴの主体部３０が前記の粘着性を有した異物によってスムーズに移動しない（制御応答が非線形である）ことが原因であると判別できる。
【００７１】
対物レンズ駆動装置１の検査方法が実行されるときに、例えば上記前工程が実行される。上記前工程における対物レンズ駆動装置１の良否判定は、センサ出力電圧ＬＤＰの信号とフォーカスコイル駆動電圧ＦＶの信号とをオシロスコープ１６０にてリサージュ図形として表示させて行われる。このように、上記した対物レンズ駆動装置１の検査方法の前工程においては、例えばセンサ出力電圧ＬＤＰの信号とフォーカスコイル駆動電圧ＦＶの信号とをオシロスコープ１６０のＸ軸用のチャンネル１６２とＹ軸用のチャンネル１６４とに入力させ、オシロスコープ１６０に表示されるリサージュ図形に基づき、人の目視によって、対物レンズ駆動装置１の良否判定が行われる。
【００７２】
しかしながら、対物レンズ駆動装置１の良否判定が人の目視によって長時間にわたって行われ続けると、間違った対物レンズ駆動装置１の良否判定が行われる可能性がある。また、人の目視によって対物レンズ駆動装置１の良否判定が行われるため、例えば人件費がかかることとなり、その結果、対物レンズ駆動装置１のコストを低く抑えることが困難となって、対物レンズ駆動装置１の製造コストが上昇するということが問題となる。
【００７３】
このようなことから、Ａ／Ｄコンバータ１７０、制御プロセッサ１８０を備える対物レンズ駆動装置１の検査装置Ｗを用いて、対物レンズ駆動装置１の検査方法を行う。以下に、Ａ／Ｄコンバータ１７０、制御プロセッサ１８０を用いた対物レンズ駆動装置１の検査方法、並びに、Ａ／Ｄコンバータ１７０、制御プロセッサ１８０を備える対物レンズ駆動装置１の検査装置Ｗの基本動作について説明する。
【００７４】
例えばセンサ出力電圧ＬＤＰの信号とフォーカスコイル駆動電圧ＦＶの信号とをＡ／Ｄコンバータ１７０に入力させ、一定時間毎のサンプリングが可能な構成とさせる。例えば制御プロセッサ１８０にて、センサ出力電圧ＬＤＰの信号、又は、センサ出力電圧ＬＤＰの信号およびフォーカスコイル駆動電圧ＦＶの信号に基づいて測定を制御させ、自動的に対物レンズ駆動装置１の良否判定を実行させる。第１の検査治具１１０、第２の検査治具１４０等のアクチュエータ・スティック・ジャンプ・対策治具などを備える対物レンズ駆動装置１の検査装置Ｗを用いて、対物レンズ駆動装置１の自動良否判定を実行させる。
【００７５】
図１０は、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶの波形とセンサ出力電圧ＬＤＰの波形とをリサージュ波形として表示した場合のオシロスコープ１６０の概略画面表示例である。横軸がフォーカスコイル駆動電圧ＦＶとされ、縦軸がセンサ出力電圧ＬＤＰとされている。尚、図１０（Ａ）は、アクチュエータＡＣＴの主体部３０のフォーカス方向への移動が正常な場合の波形例を示した概略図であり、図１０（Ｂ）は、アクチュエータＡＣＴの主体部
３０のフォーカス方向への移動が正常でない場合の波形例を示した概略図である。
【００７６】
図１０（Ａ）に示される正常な場合、フォーカス駆動電圧ＦＶを下限値から上限値に向けて上げていくときのフォーカス駆動電圧ＦＶの変化と、センサ出力電圧ＬＤＰを下限値から上限値に向けて上げていくときのセンサ出力電圧ＬＤＰの変化とが略一致していることが分かる。一方、図１０（Ｂ）に示される正常でない場合、例えば波形電圧に振動が生じ、フォーカス駆動電圧ＦＶを下限値から上限値に向けて上げていくときのフォーカス駆動電圧ＦＶの変化と、センサ出力電圧ＬＤＰを下限値から上限値に向けて上げていくときのセンサ出力電圧ＬＤＰの変化とが不一致となることが分かる。このような特性を利用して、Ａ／Ｄコンバータ１７０、制御プロセッサ１８０を用いた対物レンズ駆動装置１の検査方法を行う。
【００７７】
図１１は、同一時間内におけるフォーカスコイル駆動電圧ＦＶの波形とセンサ出力電圧ＬＤＰの波形とを示した場合のオシロスコープ１６０の概略画面表示例である。尚、図１１（Ａ）は、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶの信号上昇部の波形例を示した概略図であり、図１１（Ｂ）は、センサ出力電圧ＬＤＰの信号上昇部の波形例を示した概略図である。
【００７８】
また、図１２は、同一時間内におけるフォーカスコイル駆動電圧ＦＶの波形とセンサ出力電圧ＬＤＰの波形とを示した場合のオシロスコープ１６０の概略画面表示例である。尚、図１２（Ａ）は、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶの信号下降部の波形例を示した概略図であり、図１２（Ｂ）は、センサ出力電圧ＬＤＰの信号下降部の波形例を示した概略図である。
【００７９】
例えば、図１１（Ａ）の如く、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶの信号を下限から上限まで変化させる。この場合、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶのサンプリング期間は、例えばフォーカスコイル駆動電圧ＦＶを示す正弦波の下限から上限までの１／２周期とされている。また、例えば図１２（Ａ）の如く、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶの信号を上限から下限まで変化させる。この場合、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶのサンプリング期間は、例えばフォーカスコイル駆動電圧ＦＶを示す正弦波の上限から下限までの１／２周期とされている。
【００８０】
フォーカスコイル駆動電圧ＦＶを示す正弦波の下限から上限まで変化させると、対物レンズＯＢＬが上昇されるときに、センサ出力電圧ＬＤＰの信号は、図１１（Ｂ）の如く、略一定状態（ＭＩＮ）から上昇されて略一定状態（ＭＡＸ）となる変化を示す。また、対物レンズＯＢＬが下降されるときに、センサ出力電圧ＬＤＰの信号は、図１２（Ｂ）の如く、略一定状態（ＭＡＸ）から下降されて略一定状態（ＭＩＮ）となる変化を示す。
【００８１】
このような特性に基づき、対物レンズＯＢＬが上昇させられるときに、センサ出力電圧ＬＤＰの信号に例えば振動が生じてセンサ出力電圧ＬＤＰの信号が減少した場合に、対物レンズ駆動装置１の良否判定をＮＧとさせる。また、対物レンズＯＢＬが下降させられるときに、センサ出力電圧ＬＤＰの信号に例えば振動が生じてセンサ出力電圧ＬＤＰの信号が増加した場合に、対物レンズ駆動装置１の良否判定をＮＧとさせる。
【００８２】
対物レンズ駆動装置１の検査方法における自動判定方法について詳しく説明すると、先ず、対物レンズ駆動装置１の検査装置Ｗにおける所定の位置に、対物レンズ駆動装置１を有する光ピックアップ装置ＯＰＵを備えさせて通電可能にセットさせる。しかしながら、このときに、対物レンズ駆動装置１は、未だ通電されていない状態とされている。対物レンズ駆動装置１を通電状態とさせたのちに、例えば主に、オシロスコープ１６０、Ａ／Ｄコンバータ１７０、制御プロセッサ１８０等を用いて、対物レンズ駆動装置１の自動判定方法を実行させる。
【００８３】
先ず、ＦＶ波形の信号上昇部における制御プロセッサ１８０の設定方法ならびにＬＤＰ波形の信号上昇部における制御プロセッサ１８０の設定方法について具体的に説明する。
【００８４】
制御プロセッサ１８０からＡＰＣ１２０に信号を送信させて、安定化電源装置１００に接続されたＡＰＣ１２０を通電開始状態とさせる。すると、ＡＰＣ１２０とＬＶＤＳ変換器１３０とが通電されると共に、ＬＶＤＳ変換器１３０と光ピックアップ装置ＯＰＵとが通電される。また、光ピックアップ装置ＯＰＵに装備された光源が通電状態となり、光源からレーザ光が出射される。この場合、制御プロセッサ１８０内のプログラムにて、例えば「ＬＤ＿ＯＮ」の工程が実行されて、ＡＰＣ１２０が通電状態にされる。
【００８５】
次に、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶの信号における下限の電圧設定が行われる。このときに、初期値を下限に設定させる。この場合、制御プロセッサ１８０内のプログラムにて、例えば「ＯＢＬ下限位置設定」の工程が実行される。
【００８６】
次に、制御プロセッサ１８０内のプログラムにて、例えば「ｉ←０」と設定させる。次に、Ａ／Ｄコンバータ１７０に対し、制御プロセッサ１８０内のプログラムにて、例えば「フォーカスコイル駆動電圧ＦＶの値→ＦＶＶ（ｉ）」と設定させると共に、例えば「センサ出力電圧ＬＤＰの値→ＬＤＰＶ（ｉ）」と設定させる。
【００８７】
次に、制御プロセッサ１８０内のプログラムにて「ｉ」をインクリメントさせる。インクリメント（ｉｎｃｒｅｍｅｎｔ）とは、プログラミングで、繰返し処理などが行われる際に、数値を定められた大きさで増加させることを意味する。このときに「ｉ＜１００」の場合には、再び、例えば「フォーカスコイル駆動電圧ＦＶの値→ＦＶＶ（ｉ）」と設定させると共に、例えば「センサ出力電圧ＬＤＰの値→ＬＤＰＶ（ｉ）」と設定させる。「ｉ＝１００」となるまで、繰り返して、「フォーカスコイル駆動電圧ＦＶの値→ＦＶＶ（ｉ）」と設定させると共に、「センサ出力電圧ＬＤＰの値→ＬＤＰＶ（ｉ）」と設定させる。「ｉ≧１００」とされたときに、制御プロセッサ１８０内のプログラムにて、「ＬＤＰ（１００）」、又は、「ＬＤＰ（１００）」及び「ＦＶ（１００）」とされたときの値に基づく判定が行われる。例えば下式（５）に基づく判定が制御プロセッサ１８０にて行われる。
ＬＤＰ（１００）：ＬＤＰ（ｍ＋１）＞ＬＤＰ（ｍ）（但し、０＜ｍ＜９８）…（５）
【００８８】
例えば、前記式（５）を満足する対物レンズ駆動装置１は、良品の対物レンズ駆動装置１たとえばＯＫ品の対物レンズ駆動装置１と判定される。これに対し、前記式（５）を満足しない対物レンズ駆動装置１は、不良品の対物レンズ駆動装置１たとえばＮＧ品の対物レンズ駆動装置１と判定される。
【００８９】
なお、前記式（５）に基づく判定が制御プロセッサ１８０にて行われるときに、例えば併せて下式（６）に基づく照合・判定が制御プロセッサ１８０にて行われてもよい。
ＦＶ（１００）：ＦＶ（ｍ＋１）＞ＦＶ（ｍ）（但し、０＜ｍ＜９８）…（６）
【００９０】
例えば、前記式（６）を満足する対物レンズ駆動装置１は、良品の対物レンズ駆動装置１たとえばＯＫ品の対物レンズ駆動装置１と判定される。これに対し、前記式（６）を満足しない対物レンズ駆動装置１は、不良品の対物レンズ駆動装置１たとえばＮＧ品の対物レンズ駆動装置１と判定される。
【００９１】
例えば図１１（Ａ）および図１１（Ｂ）を用いて、対物レンズ駆動装置１の検査方法が行われる状態について詳しく説明する。
【００９２】
図１１（Ａ）および図１１（Ｂ）における横軸は、時間を示す軸とされている。また、図１１（Ａ）および図１１（Ｂ）における縦軸は、電圧を示す軸とされている。フォーカスコイル駆動電圧ＦＶを示す正弦波の下限から上限までの１／２周期の時間を例えばｉ＝０，１，２，３，４，……９５，９６，９７，９８，９９というように整数にて１００分割させる。センサ出力電圧ＬＤＰの値、又は、センサ出力電圧ＬＤＰの値およびフォーカスコイル駆動電圧ＦＶの値が、時間と共に増加する結果が得られた対物レンズ駆動装置１に対しては、制御プロセッサ１８０にてＯＫ品の対物レンズ駆動装置１と判定される。しかしながら、センサ出力電圧ＬＤＰの値、又は、センサ出力電圧ＬＤＰの値およびフォーカスコイル駆動電圧ＦＶの値が、時間と共に減少することのある結果が得られた対物レンズ駆動装置１に対しては、制御プロセッサ１８０にてＮＧ品の対物レンズ駆動装置１と判定される。
【００９３】
次に、ＦＶ波形の信号下降部における制御プロセッサ１８０の設定方法ならびにＬＤＰ波形の信号下降部における制御プロセッサ１８０の設定方法について具体的に説明する。
【００９４】
制御プロセッサ１８０からＡＰＣ１２０に信号を送信させて、安定化電源装置１００に接続されたＡＰＣ１２０を通電開始状態とさせる。すると、ＡＰＣ１２０とＬＶＤＳ変換器１３０とが通電されると共に、ＬＶＤＳ変換器１３０と光ピックアップ装置ＯＰＵとが通電される。また、光ピックアップ装置ＯＰＵに装備された光源が通電状態となり、光源からレーザ光が出射される。この場合、制御プロセッサ１８０内のプログラムにて、例えば「ＬＤ＿ＯＮ」の工程が実行されて、ＡＰＣ１２０が通電状態にされる。
【００９５】
次に、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶの信号における上限の電圧設定が行われる。このときに、初期値を上限に設定させる。この場合、制御プロセッサ１８０内のプログラムにて、例えば「ＯＢＬ上限位置設定」の工程が実行される。
【００９６】
次に、制御プロセッサ１８０内のプログラムにて、例えば「ｊ←０」と設定させる。次に、Ａ／Ｄコンバータ１７０に対し、制御プロセッサ１８０内のプログラムにて、例えば「フォーカスコイル駆動電圧ＦＶの値→ＦＶＶ（ｊ）」と設定させると共に、例えば「センサ出力電圧ＬＤＰの値→ＬＤＰＶ（ｊ）」と設定させる。
【００９７】
次に、制御プロセッサ１８０内のプログラムにて「ｊ」をインクリメントさせる。このときに「ｊ＜１００」の場合には、再び、例えば「フォーカスコイル駆動電圧ＦＶの値→ＦＶＶ（ｊ）」と設定させると共に、例えば「センサ出力電圧ＬＤＰの値→ＬＤＰＶ（ｊ）」と設定させる。「ｊ＝１００」となるまで、繰り返して、「フォーカスコイル駆動電圧ＦＶの値→ＦＶＶ（ｊ）」と設定させると共に、「センサ出力電圧ＬＤＰの値→ＬＤＰＶ（ｊ）」と設定させる。「ｊ≧１００」とされたときに、制御プロセッサ１８０内のプログラムにて、「ＬＤＰ（１００）」、又は、「ＬＤＰ（１００）」及び「ＦＶ（１００）」とされたときの値に基づく判定が行われる。例えば下式（７）に基づく判定が制御プロセッサ１８０にて行われる。
ＬＤＰ（１００）：ＬＤＰ（ｎ＋１）＜ＬＤＰ（ｎ）（但し、０＜ｎ＜９８）…（７）
【００９８】
例えば、前記式（７）を満足する対物レンズ駆動装置１は、良品の対物レンズ駆動装置１たとえばＯＫ品の対物レンズ駆動装置１と判定される。これに対し、前記式（７）を満足しない対物レンズ駆動装置１は、不良品の対物レンズ駆動装置１たとえばＮＧ品の対物レンズ駆動装置１と判定される。
【００９９】
なお、前記式（７）に基づく判定が制御プロセッサ１８０にて行われるときに、例えば併せて下式（８）に基づく照合・判定が制御プロセッサ１８０にて行われてもよい。
ＦＶ（１００）：ＦＶ（ｎ＋１）＜ＦＶ（ｎ）（但し、０＜ｎ＜９８）…（８）
【０１００】
例えば、前記式（８）を満足する対物レンズ駆動装置１は、良品の対物レンズ駆動装置１たとえばＯＫ品の対物レンズ駆動装置１と判定される。これに対し、前記式（８）を満足しない対物レンズ駆動装置１は、不良品の対物レンズ駆動装置１たとえばＮＧ品の対物レンズ駆動装置１と判定される。
【０１０１】
また、例えば図１２（Ａ）および図１２（Ｂ）を用いて、対物レンズ駆動装置１の検査方法が行われる状態について詳しく説明する。
【０１０２】
図１２（Ａ）および図１２（Ｂ）における横軸は、時間を示す軸とされている。また、図１２（Ａ）および図１２（Ｂ）における縦軸は、電圧を示す軸とされている。フォーカスコイル駆動電圧ＦＶを示す正弦波の上限から下限までの１／２周期の時間を例えばｉ＝０，１，２，３，４，……９５，９６，９７，９８，９９というように整数にて１００分割させる。センサ出力電圧ＬＤＰの値、又は、センサ出力電圧ＬＤＰの値およびフォーカスコイル駆動電圧ＦＶの値が、時間と共に減少する結果が得られた対物レンズ駆動装置１に対しては、制御プロセッサ１８０にてＯＫ品の対物レンズ駆動装置１と判定される。しかしながら、センサ出力電圧ＬＤＰの値、又は、センサ出力電圧ＬＤＰの値およびフォーカスコイル駆動電圧ＦＶの値が、時間と共に増加することのある結果が得られた対物レンズ駆動装置１に対しては、制御プロセッサ１８０にてＮＧ品の対物レンズ駆動装置１と判定される。
【０１０３】
このようにすることで、対物レンズ駆動装置１のフォーカス動作に例えば波打つ動作が生じたときに、この対物レンズ駆動装置１は不良品であると制御プロセッサ１８０にマイコン判定させることが可能となる。
【０１０４】
このように対物レンズ駆動装置１の検査方法ならびに対物レンズ駆動装置１の検査装置Ｗの基本動作確認を行ったのちに、例えば、オシロスコープ１６０が通電可能に接続されていた第１のプローブ１６３を第１の検査治具１１０から取り外すと共に、オシロスコープ１６０が通電可能に接続されていた第２のプローブ１６５をＩ／Ｖアンプ１５０から取り外して、対物レンズ駆動装置１の検査装置Ｗから各プローブ１６３、１６５およびオシロスコープ１６０を取り除く。オシロスコープ１６０が装備されていない対物レンズ駆動装置１の検査装置Ｗとされても、検査装置Ｗの制御プロセッサ１８０内のプログラムにて、例えば図１１および／または図１２に示すような判定工程が行われることにより、対物レンズ駆動装置１の良否判定が行われる。オシロスコープ１６０が装備されている対物レンズ駆動装置１の検査装置Ｗ、又は、オシロスコープ１６０が装備されていない対物レンズ駆動装置１の検査装置Ｗの何れの対物レンズ駆動装置１の検査装置Ｗが用いられても、対物レンズ駆動装置１の検査方法は良好に行われる。
【０１０５】
Ａ／Ｄコンバータ１７０、制御プロセッサ１８０を備える対物レンズ駆動装置１の検査装置Ｗが用いられて対物レンズ駆動装置１の検査方法が実行されることにより、対物レンズ駆動装置１による対物レンズＯＢＬのフォーカス方向への移動を検査することができる。
【実施例２】
【０１０６】
つぎに本発明に係る対物レンズ駆動装置の検査方法の他の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【０１０７】
尚、実施例１における対物レンズ駆動装置１ならびに対物レンズ駆動装置１の検査装置Ｗと、実施例２における対物レンズ駆動装置１ならびに対物レンズ駆動装置１の検査装置Ｗと、は、同一のものとされていることから、ここではその詳細な説明を省略した。
【０１０８】
＝＝＝第二の検査方法＝＝＝
つぎに、例えばトラッキングコイル３３に電圧がかけられると共にフォーカスコイル３４に電圧がかけられて、対物レンズ駆動装置１の検査方法が行われる状態について説明する。
【０１０９】
上記図１〜図１４に示され、上記プログラムによる上記インクリメント、上記式（５）、上記式（６）、上記式（７）、上記式（８）等を含む上記「第一の検査方法」においては、トラッキングコイル３３に電圧をかけずにフォーカスコイル３４に電圧をかけて、対物レンズ駆動装置１の検査方法を実行させるが、「第二の検査方法」においては、例えば必要に応じてトラッキングコイル３３に所定の電圧をかけて、対物レンズ駆動装置１が平面視（図１４の上側）されたときに対物レンズＯＢＬを備えたアクチュエータ主体部３０の略中心を例えばラジアル方向に略沿ってラジアル方向の一側位置Ｙ１から他側位置Ｙ２までの間の任意の検査測定させたい位置に移動させ、ラジアル方向の一側位置Ｙ１から他側位置Ｙ２までの間の任意の検査測定位置において、対物レンズＯＢＬを備えたアクチュエータ主体部３０をフォーカス方向に動作させて対物レンズ駆動装置１の検査方法を実行させる。この点において、「第一の検査方法」と「第二の検査方法」とが異なるが、他の部分においては、「第一の検査方法」と「第二の検査方法」とは同じとされる。
【０１１０】
「第二の検査方法」において、上記図１〜図１４に示され、上記プログラムによる上記インクリメント、上記式（５）、上記式（６）、上記式（７）、上記式（８）等を含む上記「第一の検査方法」に基づいたものと同一のものについては、同一の符号を用い、その詳細な説明を省略した。
【０１１１】
トラッキングコイル３３にかけられる電圧は、例えば対物レンズＯＢＬを備えたアクチュエータ主体部３０の略中心がラジアル方向に略沿って移動可能な範囲内においてアクチュエータ主体部３０を動作させるときに対応する電圧とする。
【０１１２】
平面視されたアクチュエータ主体部３０の略中心がラジアル方向に略沿って移動可能な範囲内において、例えば、ラジアル方向の一側位置Ｙ１をプラス側位置Ｙ１とさせ、ラジアル方向の他側位置Ｙ２をマイナス側位置Ｙ２とさせ、一側位置Ｙ１とされるプラス側位置Ｙ１と他側位置Ｙ２とされるマイナス側位置Ｙ２との間の略中央位置Ｙ０をゼロ（０）位置Ｙ０とさせる。
【０１１３】
また、例えば、平面視されたアクチュエータ主体部３０の略中心がラジアル方向に略沿って最もプラス側位置Ｙ１に寄せられたときのトラッキング信号値をトラッキング信号のＭＡＸ値とさせ、平面視されたアクチュエータ主体部３０の略中心がラジアル方向に略沿って最もマイナス側位置Ｙ２に寄せられたときのトラッキング信号値をトラッキング信号のＭＩＮ値とさせる。
【０１１４】
また、例えば、平面視されたアクチュエータ主体部３０の略中心がラジアル方向に略沿って最もプラス側位置Ｙ１に寄せられたときに、対物レンズＯＢＬを備えたアクチュエータ主体部３０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の下限から上限に向けて移動させたり、対物レンズＯＢＬを備えたアクチュエータ主体部３０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の上限から下限に向けて移動させたりする。
【０１１５】
また、例えば、平面視されたアクチュエータ主体部３０の略中心がラジアル方向に略沿った最もプラス側位置Ｙ１と最もマイナス側位置Ｙ２との間の略中央位置Ｙ０に存在させられたときに、対物レンズＯＢＬを備えたアクチュエータ主体部３０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の下限から上限に向けて移動させたり、対物レンズＯＢＬを備え
たアクチュエータ主体部３０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の上限から下限に向けて移動させたりする。
【０１１６】
また、例えば、平面視されたアクチュエータ主体部３０の略中心がラジアル方向に略沿って最もマイナス側位置Ｙ２に寄せられたときに、対物レンズＯＢＬを備えたアクチュエータ主体部３０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の下限から上限に向けて移動させたり、対物レンズＯＢＬを備えたアクチュエータ主体部３０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の上限から下限に向けて移動させたりする。
【０１１７】
このようにすることにより、平面視されたアクチュエータ主体部３０をラジアル方向に略沿った任意の各位置に移動変更させ、アクチュエータ主体部３０のラジアル方向に略沿った任意の各位置上において、対物レンズＯＢＬを備えるアクチュエータ主体部３０がフォーカス方向に略沿ってスムーズに動作するものか否かの検査が確実に行われる。
【０１１８】
平面視されたアクチュエータ主体部３０の略中心がラジアル方向に略沿って最もプラス側位置Ｙ１に寄せられたときの一側位置Ｙ１を例えばディスク外周部側略最大位置Ｙ１と定める。また、平面視されたアクチュエータ主体部３０の略中心がラジアル方向に略沿って移動可能な範囲内において、一側位置Ｙ１と他側位置Ｙ２との略中間を例えば略中央位置Ｙ０と定める。また、平面視されたアクチュエータ主体部３０の略中心がラジアル方向に略沿って最もマイナス側位置Ｙ２に寄せられたときの他側位置Ｙ２を例えばディスク内周部側略最大位置Ｙ２と定める。
【０１１９】
例えば、平面視されたアクチュエータ主体部３０をラジアル方向に略沿って位置変更させ、ディスク外周部側略最大位置Ｙ１、略中央位置Ｙ０、及びディスク内周部側略最大位置Ｙ２の三箇所の位置で、対物レンズ駆動装置１の検査方法を実行させる。
【０１２０】
まず、アクチュエータ主体部３０を構成するトラッキングコイル３３にトラッキングコイル駆動電圧ＴＶ−ＯＵＴをかけ、平面視されたアクチュエータ主体部３０をラジアル方向に略沿ってディスク外周部側略最大位置Ｙ１に移動させる。
【０１２１】
トラッキングコイル駆動電圧ＴＶ−ＯＵＴは、例えば下式（９）に基づいて定められる。
【数１】
【０１２２】
つぎに、例えば、上記プログラムによる上記インクリメント、上記式（５）、上記式（６）、上記式（７）、上記式（８）等を含む上記「第一の検査方法」に記載された各工程等に基づいて、対物レンズ駆動装置１の検査方法を行う。対物レンズＯＢＬを備えたアクチュエータ主体部３０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の下限から上限に向けて移動させたり、対物レンズＯＢＬを備えたアクチュエータ主体部３０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の上限から下限に向けて移動させたりして、ディスク外周部側略最大位置Ｙ１におけるアクチュエータ主体部３０の作動状態を検査する。
【０１２３】
つぎに、アクチュエータ主体部３０を構成するトラッキングコイル３３に微弱なトラッキングコイル駆動電圧ＴＶ−ＣＥＮＴＥＲをかけたり、トラッキングコイル駆動電圧をかけるのを止めたりする等して、平面視されたアクチュエータ主体部３０をラジアル方向に略沿って略中央位置Ｙ０に移動させる。
【０１２４】
トラッキングコイル駆動電圧ＴＶ−ＣＥＮＴＥＲは、例えば下式（１０）に基づいて定められる。
トラッキングコイル駆動電圧ＴＶ−ＣＥＮＴＥＲ＝０ …（１０）
【０１２５】
例えば対物レンズ駆動装置１の検査方法の実行方法等により、平面視されたアクチュエータ主体部３０の略中心がラジアル方向に略沿って略中央位置Ｙ０に存在するときに、アクチュエータ主体部３０を構成するトラッキングコイル３３に微弱なトラッキングコイル駆動電圧をかけることなく、上記プログラムによる上記インクリメント、上記式（５）、上記式（６）、上記式（７）、上記式（８）等を含む上記「第一の検査方法」に記載された各工程等に基づいて、対物レンズ駆動装置１の検査方法を行う。
【０１２６】
つぎに、例えば、上記プログラムによる上記インクリメント、上記式（５）、上記式（６）、上記式（７）、上記式（８）等を含む上記「第一の検査方法」に記載された各工程等に基づいて、対物レンズ駆動装置１の検査方法を行う。対物レンズＯＢＬを備えたアクチュエータ主体部３０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の下限から上限に向けて移動させたり、対物レンズＯＢＬを備えたアクチュエータ主体部３０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の上限から下限に向けて移動させたりして、略中央位置Ｙ０におけるアクチュエータ主体部３０の作動状態を検査する。
【０１２７】
つぎに、アクチュエータ主体部３０を構成するトラッキングコイル３３にトラッキングコイル駆動電圧ＴＶ−ＩＮをかけ、平面視されたアクチュエータ主体部３０をラジアル方向に略沿ってディスク内周部側略最大位置Ｙ２に移動させる。
【０１２８】
トラッキングコイル駆動電圧ＴＶ−ＩＮは、例えば下式（１１）に基づいて定められる。
【数２】
【０１２９】
つぎに、例えば、上記プログラムによる上記インクリメント、上記式（５）、上記式（６）、上記式（７）、上記式（８）等を含む上記「第一の検査方法」に記載された各工程等に基づいて、対物レンズ駆動装置１の検査方法を行う。対物レンズＯＢＬを備えたアクチュエータ主体部３０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の下限から上限に向けて移動させたり、対物レンズＯＢＬを備えたアクチュエータ主体部３０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の上限から下限に向けて移動させたりして、ディスク内周部側略最大位置Ｙ２におけるアクチュエータ主体部３０の作動状態を検査する。
【０１３０】
対物レンズＯＢＬを有する対物レンズ駆動装置１の検査を行うときに、対物レンズＯＢＬが備えられた対物レンズ駆動装置１の駆動機構を構成するフォーカスコイル３４にフォ
ーカス駆動電圧ＦＶを印加させる。そのときに必要に応じて、対物レンズＯＢＬが備えられた対物レンズ駆動装置１の駆動機構を構成するトラッキングコイル３３にトラッキング駆動電圧ＴＶ−ＩＮ、ＴＶ−ＯＵＴ、及び／又はＴＶ−ＣＥＮＴＥＲを印加させ、平面視されたアクチュエータ主体部３０をラジアル方向に略沿って任意の位置に移動させてから、対物レンズＯＢＬが備えられた対物レンズ駆動装置１の駆動機構を構成するフォーカスコイル３４にフォーカス駆動電圧ＦＶを印加させて、対物レンズＯＢＬを有する対物レンズ駆動装置１の検査を行う。
【０１３１】
対物レンズＯＢＬが備えられた対物レンズ駆動装置１の検査方法を実行するときに、必要に応じて対物レンズ駆動装置１の駆動機構を構成するトラッキングコイル３３に電圧をかけることにより、対物レンズ駆動装置１が略平面視されたときの対物レンズＯＢＬを有するアクチュエータ主体部３０がトラッキング方向に略沿った任意の位置上に移動される。対物レンズＯＢＬを有するアクチュエータ主体部３０がトラッキング方向に略沿った任意の位置上に存する状態で、対物レンズ駆動装置１の駆動機構を構成するフォーカスコイル３４に電圧をかけて、対物レンズＯＢＬを有するアクチュエータ主体部３０のフォーカス方向への移動を例えば制御プロセッサ１８０等を用いてマイコン検査／判定させることができる。
【０１３２】
以上、本発明の実施形態について説明したが、前述した実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明はその趣旨を逸脱することなく変更／改良され得るとともに、本発明にはその等価物も含まれるものである。
【０１３３】
例えば、光センサ１４４等により光電変換後の信号に基づいて対物レンズ駆動装置１の検査を行う信号検査装置としてオシロスコープ１６０が例示されているが、オシロスコープ１６０以外の他の装置が信号検査装置として用いられてもよい。例えば、光センサ１４４等により光電変換後の信号に基づいて対物レンズ駆動装置１の検査を行う信号検査装置として、制御プロセッサ１８０が用いられてもよい。光センサ１４４等により光電変換後の信号に基づいて対物レンズ駆動装置１の検査を行う信号検査装置として、例えば、オシロスコープ１６０または制御プロセッサ１８０の何れか一方または両方が用いられてもよい。
【０１３４】
また、例えば対物レンズ駆動装置１の検査方法の実行方法等により、必要に応じてトラッキングコイル３３に所定の電圧をかけて、対物レンズ駆動装置１が平面視（図１４の上側）されたときに対物レンズＯＢＬを備えたアクチュエータ主体部３０の略中心を例えばラジアル方向に略沿ってラジアル方向の他側位置Ｙ２から一側位置Ｙ１までの間の任意の検査測定させたい位置に移動させ、ラジアル方向の他側位置Ｙ２から一側位置Ｙ１までの間の任意の検査測定位置において、対物レンズＯＢＬを備えたアクチュエータ主体部３０をフォーカス方向に動作させて対物レンズ駆動装置１の検査方法を実行させてもよい。
【産業上の利用可能性】
【０１３５】
例えば対物レンズ駆動装置による対物レンズのフォーカス方向への移動を検査可能な対物レンズ駆動装置の検査方法、検査装置に適用可能とされる。
【符号の説明】
【０１３６】
１ 対物レンズ駆動装置
１０ 基板（基台）
１０ａ 表面
１１、１２ ヨーク
２１、２２ 磁石
３０ アクチュエータ主体部（主体部）
３０ａ 裏面（底面）
３１ レンズホルダ（ホルダ）
３２ 係止部材
３３ トラッキングコイル
３４ フォーカスコイル
４０ サスペンションワイヤ（ワイヤ）
５０ 支持板（板）
１００ 安定化電源装置（電源装置）
１１０ 第１の検査治具（駆動電圧生成器）
１２０ ＡＰＣ
１３０ ＬＶＤＳ変換器
１４０ 第２の検査治具（スレーブ治具）
１４２ アパーチャ
１４４ 光センサ（センサ）
１５０ Ｉ／Ｖアンプ（電流／電圧変換回路）
１６０ オシロスコープ（波形表示器）
１６１ 表示画面
１７０ Ａ／Ｄコンバータ（回路）
１８０ 制御プロセッサ（制御装置）
ＡＣＴ アクチュエータ
ＦＶ フォーカスコイル駆動電圧（フォーカス駆動電圧）
ＬＤＰ センサ出力電圧
Ｍ１ ＯＢＬ最上位置（第１位置）
Ｍ２ ＯＢＬ最下位置（第２位置）
ＯＢＬ 対物レンズ
ＯＰＵ 光ピックアップ装置
ＴＶ−ＣＥＮＴＥＲ、ＴＶ−ＩＮ、ＴＶ−ＯＵＴ トラッキングコイル駆動電圧（トラッキング駆動電圧）
Ｗ 検査装置
Ｙ０ 略中央位置（位置）
Ｙ１ ディスク外周部側略最大位置（位置）
Ｙ２ ディスク内周部側略最大位置（位置）
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対物レンズ駆動装置の検査方法、検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
光ディスクに対して情報の記録又は再生用のレーザを照射するための対物レンズを駆動する対物レンズ駆動装置が知られている（例えば、特許文献１を参照。）。対物レンズ駆動装置においては、対物レンズをディスク面に対して垂直な方向に駆動することで、ディスク面上でのレーザ光の合焦ずれを補正するためのフォーカシング制御が行われる。尚、対物レンズ駆動装置は、例えば、光ディスクに対して情報を記録又は再生する光ピックアップ装置に用いられる。
【０００３】
以下、図１４を用いて、対物レンズ駆動装置１の構成について説明する。
基台１０は、略直方体状の磁石２１及び磁石２２と、磁石２１及び磁石２２とがそれぞれ固設される略矩形平板状のヨーク１１及びヨーク１２とを備える板状をなす金属製の台である。詳述すると、基台１０上に、図１４中のタンジェンシャル方向（ターンテーブル（不図示）に装着された光ディスク（不図示）のトラックの接線方向）に沿って対向するように一対の略矩形平板状のヨーク１１、１２が形成されるとともに、各ヨーク１１、１２の間にアクチュエータＡＣＴの主体部３０（アクチュエータ主体部）を備えさせるための開口された所定の収容部９０が形成されている。「アクチュエータ（ａｃｔｕａｔｏｒ）」とは、例えばエネルギーを並進運動または回転運動等に変換させる駆動装置を意味する。
【０００４】
また、磁石２１及び磁石２２は、それぞれ直方形状をなし極性の異なる単極の永久磁石である。一対の磁石２１及び磁石２２の正面同士が基台１０上の収容部９０を挟んで対向するように、磁石２１の背面部２１ｂがヨーク１１に固設されるとともに磁石２２の背面部２２ｂがヨーク２１に固設されている。例えば、磁石２１及び磁石２２の対向面間にある基台１０上の収容部９０および収容部９０の周辺／近傍に磁気ギャップが形成される。尚、磁石２１及び磁石２２においてフォーカス方向（ターンテーブル（不図示）に装着された光ディスク（不図示）の面に対して垂直な方向）にある底面部２１ａ、２２ａは、基台１０の上側の表面部１０ｂ、１０ｃに対して接着材で接着されている。図１４中に示される６１、６２は、磁石２１及び２２と基台１０との接着箇所を示している。
【０００５】
アクチュエータＡＣＴは、例えば、対物レンズＯＢＬを保持するレンズホルダ３１（ホルダ）と、対物レンズＯＢＬ等が装備されたホルダ３１等を含むアクチュエータ主体部３０を移動可能に弾性支持する略線状のサスペンションワイヤ４０（ワイヤ）と、略線状のサスペンションワイヤ４０の両端部４１、４２のうち片方の端部４２が固定される支持板５０と、ラジアル方向（ディスク面上のトラックに対して垂直な方向）に沿ったホルダ３１の対向する２つの側面部３１ａ、３１ｂにおいてそれぞれ複数本（例えば、各側面部３１ａ、３１ｂに２本ずつ）のサスペンションワイヤ４０の両端部４１、４２のうちのもう片方の端部４１をそれぞれ係止する係止部材３２と、主にラジアル方向に略沿ってアクチュエータ主体部３０を駆動させるトラッキングコイル（ｔｒａｃｋｉｎｇ ｃｏｉｌ）３３と、主にフォーカス方向に略沿ってアクチュエータ主体部３０を駆動させるフォーカスコイル（ｆｏｃｕｓ ｃｏｉｌ）３４とを備えている。また、アクチュエータＡＣＴの主体部３０の底面３０ａと、アクチュエータＡＣＴの主体部３０の底面３０ａに対しフォーカス方向に沿って離された基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａとの間に、アクチュエータＡＣＴの主体部３０をフォーカス方向に移動させるための空間９０ａが存在する。
【０００６】
サスペンションワイヤ４０は、係止部材３２を介してアクチュエータＡＣＴの主体部３０を弾性的に支持するとともに、トラッキングコイル３３やフォーカスコイル３４等に電流を流すためのリード線の機能を有した金属製のワイヤである。具体的には、サスペンションワイヤ４０は、基板１０に対し略平行に延在するように、一端部４１が係止部材３２に対して半田フラックスによりそれぞれ係止されるとともに、他端部４２が支持板５０に対して半田剤、ダンパ剤などを介して固着されている。尚、ダンパ材は、例えばアクチュエータＡＣＴの主体部３０を駆動／移動させた際の異常振動などの振動を吸収する役割を果たしている。
【０００７】
支持板５０は、サスペンションワイヤ４０の他端部４２を固定する板である。尚、支持板５０と基板１０とは、例えば金属製のケース（不図示）等を介して相互に固定される。
【０００８】
以上のとおり、図１４中で基台１０及びホルダ３１以外の構成要素は、対物レンズＯＢＬをフォーカス方向やトラッキング方向に移動させるようにホルダ３１を駆動させる駆動機構を構成している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００３−１６６６８号公報（第１−３頁、第１１−１２図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
図１４に示した対物レンズ駆動装置１を例に挙げて本願発明の主たる課題について以下に説明する。
【００１１】
接着箇所６１、６２は、磁石２１、２２の底面部２１ａ、２２ａと基台１０の上側の表面部１０ｂ、１０ｃとの間を接着剤によって接着した箇所であるが、例えば当該接着剤がホルダ３１を具備したアクチュエータＡＣＴの主体部３０の裏面３０ａと対向する基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａに流れ出したり染み出したりしてくる現象が生じる場合がある。また、当該接着剤が規定どおり接着箇所６１、６２に塗布されず、アクチュエータＡＣＴの主体部３０の裏面３０ａと対向する基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａに付着する場合もある。
【００１２】
また、例えば半田フラックスを用いた半田付け等によって、アクチュエータＡＣＴの主体部３０の係止部材３２がサスペンションワイヤ４０の一端部４１を係止しているが、当該半田付け作業の際に、アクチュエータＡＣＴの主体部３０の裏面３０ａと対向する基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａに当該半田フラックスが付着する場合がある。
【００１３】
さらに、例えば、半田剤、ダンパ剤などを用いてサスペンションワイヤ４０の他端部４２が支持板５０に固着されるが、当該固着作業の際に、アクチュエータＡＣＴの主体部３０の裏面３０ａと対向する基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａに当該ダンパ材が付着する場合がある。
【００１４】
前記のとおり、接着材、半田フラックス、ダンパ剤等といった粘着性の有る異物が、アクチュエータＡＣＴの主体部３０の裏面３０ａと対向する基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａに付着している場合を仮定する。この場合、アクチュエータＡＣＴの主体部３０をフォーカシング制御のために、アクチュエータＡＣＴの主体部３０の裏面３０ａを基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａに近づける方向に移動させたとき、前記のような粘着性の有る異物によって、アクチュエータＡＣＴの主体部３０の裏面３０ａと基台
１０の略中央の一段下がった表面１０ａとが粘着する。
【００１５】
かかる状況下で、今度はアクチュエータＡＣＴの主体部３０の裏面３０ａを基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａから遠ざける方向にアクチュエータＡＣＴの主体部３０を移動させようとすると、アクチュエータＡＣＴの主体部３０が前記粘着性を有した異物によってスムーズに移動する（制御応答が線形となる）ことができず、フォーカシング制御が意図した制御にならないという課題があった。
【００１６】
また、前記粘着性を有した異物に限らず、アクチュエータＡＣＴの主体部３０の裏面３０ａと基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａとの間にゴミ等の異物が混入するような場合であっても同様に、アクチュエータＡＣＴの主体部３０がスムーズに移動しないという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記課題を解決するために、本発明に係る対物レンズ駆動装置の検査方法は、基台と、対物レンズと、前記基台上で前記対物レンズを保持するホルダと、前記対物レンズが少なくともフォーカス方向に移動するように前記ホルダを駆動する駆動機構と、を有する対物レンズ駆動装置の検査方法において、前記対物レンズを介してレーザ光を出射させる工程と、前記対物レンズを介して出射される前記レーザ光を所定径のアパーチャに通過させる工程と、前記ホルダが前記基台の面に最も近づく第１位置と前記基台の面から前記第１位置よりも遠ざかる第２位置との間を移動するための駆動電圧を前記駆動機構に与える工程と、前記アパーチャを通過した前記レーザ光を光電変換する工程と、前記光電変換後の信号に基づいて良否判定を行う工程と、を含むことを特徴とする。
【００１８】
また、本発明に係る対物レンズ駆動装置の検査方法は、基台と、対物レンズと、前記基台上で前記対物レンズを保持するホルダと、前記対物レンズが少なくともフォーカス方向に移動するように前記ホルダを駆動する駆動機構と、を有する対物レンズ駆動装置の検査方法において、前記対物レンズを介してレーザ光を出射させる工程と、前記対物レンズを介して出射される前記レーザ光を所定径のアパーチャに通過させる工程と、前記ホルダが前記基台の面に最も近づく第１位置と前記基台の面から前記第１位置よりも遠ざかる第２位置との間を移動するための駆動電圧を前記駆動機構に与える工程と、前記アパーチャを通過した前記レーザ光を光電変換する工程と、前記光電変換後の信号に基づいて対物レンズ駆動装置の検査を行う工程と、を含み、前記対物レンズ駆動装置の検査を行うときに、必要に応じて前記駆動機構を構成するトラッキングコイルに印加させ、前記駆動機構を構成するフォーカスコイルに印加させることを特徴とする。
【００１９】
また、本発明に係る対物レンズ駆動装置の検査方法は、基台と、対物レンズと、前記基台上で前記対物レンズを保持するホルダと、前記対物レンズが少なくともフォーカス方向に移動するように前記ホルダを駆動する駆動機構と、を有する対物レンズ駆動装置の検査方法において、前記対物レンズを介してレーザ光を出射させる工程と、前記対物レンズを介して出射される前記レーザ光を所定径のアパーチャに通過させる工程と、前記ホルダが前記基台の面に最も近づく第１位置と前記基台の面から前記第１位置よりも遠ざかる第２位置との間を移動するための駆動電圧を前記駆動機構に与える工程と、前記アパーチャを通過した前記レーザ光を光電変換する工程と、前記駆動電圧の波形と前記光電変換後の波形とを表示画面に表示させる工程と、を含み、前記対物レンズ駆動装置の検査を行うときに、必要に応じて前記駆動機構を構成するトラッキングコイルに印加させ、前記駆動機構を構成するフォーカスコイルに印加させることを特徴とする。
【００２０】
また、本発明に係る対物レンズ駆動装置の検査装置は、基台上で対物レンズを保持するホルダを当該対物レンズが少なくともフォーカス方向に移動するように駆動する駆動機構
に対し、当該ホルダが当該基台の面に最も近づく第１位置と当該基台の面から当該第１位置よりも遠ざかる第２位置との間を移動するための駆動電圧を生成する駆動電圧生成器と、前記対物レンズを介して出射されるレーザ光を通過させる所定径のアパーチャと、前記アパーチャを通過した前記レーザ光を光電変換するセンサと、前記光電変換後の信号に基づいて良否判定を行う制御装置と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、対物レンズ駆動装置による対物レンズのフォーカス方向への移動を検査することができる。
【００２２】
また、本発明によれば、対物レンズ駆動装置の検査を行うときに、必要に応じて駆動機構を構成するトラッキングコイルに電圧をかけることにより、対物レンズがトラッキング方向に略沿った任意の位置上に存する状態で、駆動機構を構成するフォーカスコイルに電圧をかけて対物レンズのフォーカス方向への移動を検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本実施形態における対物レンズ駆動装置の検査装置の構成を示す図である。
【図２】本実施形態の光ピックアップ装置を取り外した場合の第２の検査治具を示す斜視図である。
【図３】本実施形態の光センサを取り外した第２の検査治具を示す平面図である。
【図４】本実施形態のアパーチャの位置調整を説明するための図である。
【図５】本実施形態のアパーチャの位置調整を説明するための図である。
【図６】本実施形態のアパーチャの位置調整を説明するための図である。
【図７】本実施形態のアパーチャの位置調整を説明するための図である。
【図８】本実施形態の対物レンズ駆動装置の検査方法を実行した結果を示す図であり、（Ａ）は正常な場合の波形表示器の表示画面を示した図であり、（Ｂ）は正常でない場合の波形表示器の表示画面を示した図である。
【図９】本実施形態の対物レンズ駆動装置の検査方法を実行した結果を示す図であり、（Ａ）は正常な場合の波形表示器の表示画面を示した拡大図であり、（Ｂ）は正常でない場合の波形表示器の表示画面を示した拡大図である。
【図１０】本実施形態の対物レンズ駆動装置の検査方法を実行した結果を示す図であり、（Ａ）は正常な場合の波形表示器の表示画面を示した概略図であり、（Ｂ）は正常でない場合の波形表示器の表示画面を示した概略図である。
【図１１】本実施形態の対物レンズ駆動装置の検査方法を実行した結果を示す図であり、（Ａ）はフォーカスコイル駆動電圧波形の信号上昇部の表示画面を示した概略図であり、（Ｂ）はセンサ出力電圧波形の信号上昇部の表示画面を示した概略図である。
【図１２】本実施形態の対物レンズ駆動装置の検査方法を実行した結果を示す図であり、（Ａ）はフォーカスコイル駆動電圧波形の信号下降部の表示画面を示した概略図であり、（Ｂ）はセンサ出力電圧波形の信号下降部の表示画面を示した概略図である。
【図１３】光ピックアップ装置の斜視図である。
【図１４】対物レンズ駆動装置の平面および断面を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下に本発明に係る対物レンズ駆動装置の検査方法、検査装置の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【実施例１】
【００２５】
＝＝＝対物レンズ駆動装置＝＝＝
対物レンズ駆動装置１は、便宜上、図１４に示される上述の対物レンズ駆動装置１の場合とする。対物レンズ駆動装置１の駆動機構は、対物レンズＯＢＬが少なくともフォーカ
ス方向に移動するようにレンズホルダ３１を駆動する駆動機構とされている。具体的に説明すると、対物レンズ駆動装置１の駆動機構は、対物レンズＯＢＬが、光ディスクのディスク面に対し略垂直な方向とされるフォーカス方向と、フォーカス方向に対して略直交する方向とされると共にタンジェンシャル方向に対して略直交する方向とされるトラッキング方向いわゆるラジアル方向と、対物レンズＯＢＬが回動する方向とされるチルト方向と、に移動するようにレンズホルダ３１を駆動する駆動機構とされている。対物レンズ駆動装置１に関する詳細内容については、図１４と共に説明した上記対物レンズ駆動装置１と同じことから、その詳細な説明を省略する。
【００２６】
＝＝＝検査装置の構成＝＝＝
図１は、本発明に係る対物レンズ駆動装置のフォーカス制御が行われるときの動作状況を検査する検査装置Ｗの全体構成を示した図である。尚、検査装置Ｗによる検査対象は、便宜上、図１４に示される上記対物レンズ駆動装置１の場合とする。
【００２７】
対物レンズ駆動装置１の検査装置Ｗは、安定化電源装置１００、第１の検査治具１１０（駆動電圧生成器）、ＡＰＣ（Ａｕｔｏｍａｔｉｃ Ｐｏｗｅｒ Ｃｏｎｔｒｏｌ）１２０、ＬＶＤＳ（Ｌｏｗ Ｖｏｌｔａｇｅ Ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ Ｓｉｇｎａｌｉｎｇ）変換器１３０、第２の検査治具１４０、Ｉ／Ｖアンプ１５０（電流／電圧変換回路）、オシロスコープ１６０（波形表示器）、Ａ／Ｄコンバータ１７０（回路）、制御プロセッサ１８０（制御装置）によって主に構成される。尚、対物レンズ駆動装置１の検査装置Ｗの仕様や、対物レンズ駆動装置１の検査方法などにより、例えばオシロスコープ１６０が装備されることなく省略されてもよい。
【００２８】
安定化電源装置１００は、ＡＰＣ１２０並びにＩ／Ｖアンプ１５０にＤＣ電圧を供給する電源装置である。安定化電源装置１００は、ケーブル１０３を介してＡＰＣ１２０と接続されるとともに、ケーブル１０５を介してＩ／Ｖアンプ１５０と接続される。
【００２９】
第１の検査治具１１０は、アクチュエータＡＣＴの主体部３０のフォーカス方向への移動を検査するための設定が行われるマスタ治具である。具体的には、光ピックアップ装置ＯＰＵを構成するアクチュエータＡＣＴのフォーカスコイル３４に印加させる駆動電圧を発生させてフォーカスコイル駆動電圧ＦＶを生成する。尚、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶは、図１中における第１の検査治具１１０の＋端子１１１、−端子１１２からツイストペアケーブル１１３によってＬＶＤＳ変換器１３０を経由して、光ピックアップ装置ＯＰＵを構成するアクチュエータＡＣＴのフォーカスコイル３４へ供給される。
【００３０】
ＡＰＣ１２０は、光ピックアップ装置ＯＰＵに具備されるレーザ光源（不図示）を一定の電力で発光させるための制御を行うものである。具体的には、ＡＰＣ１２０は、安定化電源装置１００から供給されるＤＣ電圧を受け、ＬＶＤＳ変換器１３０を介して光ピックアップ装置ＯＰＵのレーザ光源に電力を供給するとともに、光ピックアップ装置ＯＰＵのレーザ光源等に制御信号を供給する。尚、ＡＰＣ１２０から出力される制御信号は、ケーブル１２３を介してＬＶＤＳ変換器１３０に伝送される。尚、レーザ光源（光源）として例えばレーザダイオード（ＬＤ：ｌａｓｅｒ ｄｉｏｄｅ）等の発光素子などが挙げられる。
【００３１】
ＬＶＤＳ変換器１３０は、ＡＰＣ１２０からケーブル１２３を介して伝送される電力と制御信号とを受け、制御信号をＬＶＤＳ変換し、前記レーザ光源に電力と制御信号を供給するとともに、第１の検査治具１１０からツイストペアケーブル１１３を介して伝送されるフォーカスコイル駆動電圧ＦＶをアクチュエータＡＣＴのフォーカスコイル３４に印加させるものである。ＡＰＣ１２０、第１の検査治具１１０は、信号源として機能し、ＬＶＤＳ変換器１３０は、第２の検査治具１４０向けの中継装置およびＬＶＤＳトランシーバ
として機能している。ＬＶＤＳ変換器１３０は、例えばフレキシブルケーブル２４（ケーブル）等を介して第２の検査治具１４０に備えられた光ピックアップ装置ＯＰＵと接続される。
【００３２】
第２の検査治具１４０は、アクチュエータＡＣＴを構成するアクチュエータ主体部３０のフォーカス方向の移動を検査するための操作が行われる例えばスレーブ治具である。第２の検査治具１４０は、主に、ピンホール１４３を有するアパーチャ１４２、光センサ１４４、を備えて構成される。また、光ピックアップ装置ＯＰＵは、第２の検査治具１４０に備えられる。尚、アパーチャ１４２、光センサ１４４、そして光ピックアップ装置ＯＰＵは、水平面（Ｘ−Ｙ平面）に対して平行に配設される。
【００３３】
光ピックアップ装置ＯＰＵの外観構成を図１３に示す。図１３には、一部の部品が取り除かれた光ピックアップ装置ＯＰＵの一部内部構造が示されている。光ピックアップ装置ＯＰＵは、対物レンズ駆動装置１や光源等の光学系（不図示）等を金属製および／または樹脂製のケース２に収納したものであり、光源から出射された光を反射鏡等を介して対物レンズＯＢＬに照射させる光学系や、対物レンズ駆動装置１の回路基板５０（板）やサスペンションワイヤ４０等に通電可能に接続されるフレキシブルプリント基板２６やフレキシブルプリント基板２６に通電可能に接続されるフレキシブルケーブル２８等のフレキシブル基板２４（ケーブル）等を備えるものとさせて、スリム化のための各種工夫が施されたものである。尚、図１３には、例えば図１４に示したヨーク１１、磁石２１、対物レンズＯＢＬ、アクチュエータＡＣＴ、アクチュエータ主体部３０、支持板５０が示されている。
【００３４】
アパーチャ１４２は、ここでは便宜上、例えば所定径のピンホール１４３（孔）を具備したもの例えば板とされる。「アパーチャ（ａｐｅｒｔｕｒｅ）」とは、例えば、穴、隙間などを意味し、ここでは、便宜上、そのようなもの若しくはそのようなものを有するものとされる。所定のレーザ光源からのレーザ光が光ピックアップ装置ＯＰＵの対物レンズＯＢＬを通過してアパーチャ１４２に照射されると、対物レンズＯＢＬを介して出射される集光光束がアパーチャ１４２によって制限される。そして、その集光光束の一部がピンホール１４３を通過する。光センサ１４４は、アパーチャ１４２のピンホール１４３を通過した集光光束の一部（ピンホール通過光）を受光してその受光量に応じた受光電流ＰＤＯＵＴに光電変換するセンサである。光センサ１４４は、ケーブル１４５を介してＩ／Ｖアンプ１５０と接続される。
【００３５】
Ｉ／Ｖアンプ１５０は、光センサ１４４の受光電流ＰＤＯＵＴを電圧に変換してさらに増幅したセンサ出力電圧ＬＤＰを生成する例えば電流／電圧変換回路である。尚、センサ出力電圧ＬＤＰは、図１中のＩ／Ｖアンプ１５０の＋端子１５１、−端子１５２より出力される。尚、対物レンズ駆動装置１の検査装置Ｗの仕様などにより、例えば光センサ１４４とＩ／Ｖアンプ１５０とが本願請求項に係るセンサの一実施形態とされることもある。
【００３６】
オシロスコープ１６０は、例えば光センサ１４４等により光電変換後の信号に基づいて対物レンズ駆動装置１の検査を行う信号検査装置として構成されている。具体的に説明すると、オシロスコープ１６０は、第１の検査治具１１０の＋端子１１１、−端子１１２から出力されるフォーカスコイル駆動電圧ＦＶ並びにＩ／Ｖアンプ１５０の＋端子１５１、−端子１５２から出力されるセンサ出力電圧ＬＤＰを２次元のグラフとして波形表示する波形表示器である。オシロスコープ１６０は、表示画面１６１と、Ｘ軸用のチャンネル１６２（ＣＨ−Ｘ）と、Ｙ軸用のチャンネル１６４（ＣＨ−Ｙ）と、を備える。チャンネル１６２は、プローブ１６３を介して第１の検査治具１１０の＋端子１１１、−端子１１２と接続される。また、チャンネル１６４は、プローブ１６５を介してＩ／Ｖアンプ１５０の＋端子１５１、−端子１５２と接続される。
【００３７】
オシロスコープ１６０において通常モードが設定されると、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶとセンサ出力電圧ＬＤＰそれぞれの時間変化の波形（縦軸（Ｙ軸）が電圧、横軸（Ｘ軸）が時間）が表示画面１６１に表示される。また、例えばオシロスコープ１６０においてＸ−Ｙモードが設定されると、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶとセンサ出力電圧ＬＤＰとのリサージュ波形（縦軸（Ｙ軸）がセンサ出力電圧ＬＤＰ、横軸（Ｘ軸）がフォーカスコイル駆動電圧ＦＶ）が表示画面１６１に表示される。
【００３８】
Ａ／Ｄコンバータ（Ａｎａｌｏｇ ｔｏ Ｄｉｇｉｔａｌ Ｃｏｎｖｅｒｔｅｒ）１７０は、アナログ値からデジタル値への変換を行うチップもしくは基板または回路である。アナログ（ａｎａｌｏｇ）とは、物質やシステムなどの状態を連続的に変化する物理量などによって表現することを意味する。これに対し、デジタル（ｄｉｇｉｔａｌ）とは、物質やシステムなどの状態を離散的な数字や文字などの信号により表現することを意味する。Ａ／Ｄコンバータ１７０は、ケーブル１７３を介して第１の検査治具１１０の＋端子１１１、−端子１１２と接続される。また、Ａ／Ｄコンバータ１７０は、ケーブル１７５を介してＩ／Ｖアンプ１５０の＋端子１５１、−端子１５２と接続される。
【００３９】
制御プロセッサ１８０は、例えば中央演算装置を意味するＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）、ＭＰＵ（Ｍｉｃｒｏ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）、マイクロプロセッサ、マイクロコンピュータ、システムコントローラ等とされるものである。制御プロセッサ１８０は、マイクロコンピュータとして構成されている。マイクロコンピュータ（ｍｉｃｒｏ ｃｏｍｐｕｔｅｒ）とは、超小型コンピュータを意味し、例えばマイコンと略称される。制御プロセッサ１８０が備える各機能は、ソフトウェアいわゆるプログラムにより実現される。この制御プロセッサ１８０は、光センサ１４４等によって光信号が電気信号に変換され、光センサ１４４等により光電変換されたのちの電気信号に基づいて、対物レンズ駆動装置１の良否判定工程を行う制御プロセッサ１８０として構成されている。
【００４０】
対物レンズ駆動装置１の検査装置Ｗの仕様などにより、対物レンズ駆動装置１の検査装置Ｗは、例えば上記制御プロセッサ１８０を含むデジタル信号処理装置いわゆるデジタル・シグナル・プロセッサを備えて構成される。デジタル・シグナル・プロセッサとは、例えば主にデジタル信号処理に特化されたマイクロプロセッサを意味する。デジタル・シグナル・プロセッサ（ｄｉｇｉｔａｌ ｓｉｇｎａｌ ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ）は、「ＤＳＰ」と略称されている。ＤＳＰを構成する制御プロセッサ１８０を含んだチップが装備される。制御プロセッサ１８０を含むＤＳＰが用いられることにより、例えば制御プロセッサ１８０等における高速演算処理が実行可能となる。ＤＳＰが用いられることにより、信号処理が行われるときに、例えばＳＮ（ｓｉｇｎａｌ／ｎｏｉｓｅ）比が略９０ｄＢ（デシベル）以上とされ、ノイズの影響が回避され易くなり、また、周辺の雰囲気温度などによる影響も抑制され易くなる。このようなことから、ＤＳＰが用いられることにより精度の高い演算処理等が高速で行われる。
【００４１】
制御プロセッサ１８０は、ケーブル１８１を介して第１の検査治具１１０と接続される。また、制御プロセッサ１８０は、ケーブル１８３を介してＡＰＣ１２０と接続される。また、制御プロセッサ１８０は、ケーブル１８５を介してＡ／Ｄコンバータ１７０と接続される。
【００４２】
尚、各ケーブル２４、１０３、１０５、１１３、１２３、１４５、１７３、１７５、１８１、１８３、１８５、各プローブ１６３、１６５は、例えば電線を構成するものとされている。また、各ケーブル２４、１０３、１０５、１１３、１２３、１４５、１７３、１７５、１８１、１８３、１８５を着脱自在に通電可能に接続させるために、各ケーブル２
４、１０３、１０５、１１３、１２３、１４５、１７３、１７５、１８１、１８３、１８５に例えば中継基板（不図示）が装備されてもよい。
【００４３】
対物レンズ駆動装置１の検査装置Ｗは、上記安定化電源装置１００、上記ＡＰＣ１２０、上記ＬＶＤＳ変換器１３０、上記Ｉ／Ｖアンプ１５０、上記オシロスコープ１６０、上記Ａ／Ｄコンバータ１７０、上記制御プロセッサ１８０、上記第１の検査治具１１０、上記第２の検査治具１４０等のアクチュエータ・スティック・ジャンプ・対策治具などを備えて構成される。
【００４４】
＝＝＝第２の検査治具の構造＝＝＝
図２は、第２の検査治具１４０の斜視図である。図３は、第２の検査治具１４０から光センサ１４４を取り外し、光ピックアップ装置ＯＰＵを取り付けた場合における第２の検査治具１４０の平面図である。尚、図２、図３にそれぞれ示されるＸ−Ｙ−Ｚ座標は対応づけられている。
【００４５】
図２、図３中に示すＹ軸の正方向に向かって延設部１４０３ａ、１４０３ｂが延設されたコ字状の底板１４０３が、例えば水平面Ｈ（図２）上に載置される。底板１４０３のコ字の底辺部位に対して垂直に（図２、図３中に示すＺ軸の正方向に）平板状の背板１４０２が配設される。尚、背板１４０２の水平面Ｈ側の下面とは反対側（図２、図３中に示すＺ軸の正方向）にある上面Ｓ１は、水平面Ｈからの高さ方向に向けた高さｈ１の位置にある。
【００４６】
また、背板１４０２と底板１４０３の間の略直角の隙間には平板状の側板１４０４が嵌合される。側板１４０４は、背板１４０２及び底板１４０３に対して垂直に配設される。尚、側板１４０４の一方の正方形状をした面に、背板１４０２に対して垂直に（図２、図３中に示すＹ軸の正方向に）延設される例えば２本のリブを有する骨板１４０８が合わせられ、側板１４０４の他方の正方形状をした面から骨板１４０８に向けて螺入取付される４本のボルト１４０７等によって、背板１４０２および／または底板１４０３に側板１４０４が取り付けられる。
【００４７】
側板１４０４の水平面Ｈ側の下面とは反対側（図２、図３中に示すＺ軸の正方向の面）にある上面Ｓ３においては、側板１４０４と垂直に（図２、図３中に示すＸ軸の負方向に）アパーチャ１４２の短手側の端部がボルト１４０６によって結合される。この結果、アパーチャ１４２は水平面Ｈに対して平行に配設される。尚、側板１４０４の上面Ｓ３は、水平面Ｈからの高さ方向に向けた高さｈ１よりも低い高さｈ３の位置にある。
【００４８】
背板１４０２の上面Ｓ１にはボルト穴１４０２ａ、１４０２ｂが設けられており、背板１４０２に対して垂直に（図２、図３中に示すＹ軸の正方向に）光センサ１４４の端部がボルトを介して結合される。この結果、アパーチャ１４２と光センサ１４４とは、それぞれ水平面Ｈに対して平行に配設される。尚、アパーチャ１４２のピンホール１４３と光センサ１４４の受光部とが対向するように位置調整される。
【００４９】
背板１４０２の上面Ｓ１と垂直な側面Ｓ２から垂直に（図２、図３中に示すＹ軸の正方向に）金属性の２本の支持棒１４０５ａ、１４０５ｂが延設される。尚、２本の支持棒１４０５ａ、１４０５ｂは、水平面Ｈからの高さ方向に向けた高さｈ３よりも低い高さｈ２の位置より延設される。
【００５０】
ところで、図１３に示されるように、対物レンズ駆動装置１を収納するケース２例えばハウジング２ａに、光ピックアップ装置ＯＰＵを水平に（図２、図３中に示すＸ−Ｙ平面に対して平行に）支持するべく、前記の支持棒１４０５ａ、１４０５ｂを摺接可能な状態
で挿入させる挿入孔部７０ａ並びに開口穴部７０ｂが備えられている。
【００５１】
例えば、光ピックアップ装置ＯＰＵの挿入孔部７０ａに支持棒１４０５ａが挿入されるとともに、光ピックアップ装置ＯＰＵの開口穴部７０ｂに支持棒１４０５ｂが挿入されるように、光ピックアップ装置ＯＰＵが第２の検査治具１４０の各支持棒１４０５ａ、１４０５ｂに移動可能に装備されると、光ピックアップ装置ＯＰＵは、水平面Ｈに対して平行な状態で第２の検査治具１４０に装備される。アパーチャ１４２、光センサ１４４、そして光ピックアップ装置ＯＰＵは、水平面Ｈに対してそれぞれ平行に配設される。また、水平面Ｈを基準として、アパーチャ１４２は略高さｈ３の位置に、光センサ１４４は略高さｈ１の位置に、光ピックアップ装置ＯＰＵは略高さｈ２の位置にある。尚、「ｈ２＜ｈ３＜ｈ１」の関係により、図２、図３中に示すＺ軸の正方向に向けて、光ピックアップ装置ＯＰＵ、アパーチャ１４２、光センサ１４４の順に配置される。
【００５２】
＝＝＝アパーチャの位置調整＝＝＝
図３〜図７を用いてアパーチャ１４２の位置調整について説明する。尚、図４に示すＸ−Ｙ−Ｚ座標は、図２、図３に示したＸ−Ｙ−Ｚ座標と対応づけられている。
アパーチャ１４２の位置調整とは、ピンホール１４３を通過した対物レンズＯＢＬからの集光光束の一部（投影像３０２）の光量が、対物レンズＯＢＬのフォーカス方向への移動量に応じて変化するか否かを確認するために行う初期調整である。
【００５３】
まず、図３に示した第２の検査治具１４０の状態のように、第２の検査治具１４０から光センサ１４４を取り外して、目視確認によりピンホール１４３の中心が対物レンズＯＢＬの光軸Ｌに一致するようにアパーチャ１４２の位置を調整する。
【００５４】
つぎに、光センサ１４４を取り外した位置に紙をテープ等で固定する等して、投影像３０２を表示させる透過スクリーン３００を装備する。そして、光ピックアップ装置ＯＰＵのレーザ光源を例えば１ｍＷ程度で点灯させ、透過スクリーン３００に表示される投射像３０２が略円形となるようピンホール位置を調整する。
【００５５】
つぎに、第１の検査治具１１０に備えられるシフトボリューム（不図示）の調整によってフォーカスコイル駆動電圧ＦＶを正の上限値（本実施形態の場合、例えば＋２Ｖ）とし、対物レンズＯＢＬを含めたアクチュエータＡＣＴの主体部３０を透過スクリーン３００に近づかせるように（図４中に示すＺ軸の正方向に）移動させる。そして、対物レンズＯＢＬを、最も透過スクリーン３００に近づけたＯＢＬ最上位置Ｍ１（第１位置；図５参照）に停止させる。このとき、投影像３０２が最大となるように、ＯＢＬ最上位置Ｍ１におけるアパーチャ１４２から対物レンズＯＢＬまでの距離Ｔ１を側板１４０４の位置調整によって調整する。尚、投影像３０２の円形が崩れた場合にはアパーチャ１４２の位置を再調整する。
【００５６】
つぎに、第１の検査治具１１０に備えられるシフトボリューム（不図示）の調整によってフォーカスコイル駆動電圧ＦＶを正の上限値（本実施形態の場合、例えば＋２Ｖ）から負の下限値（本実施形態の場合、例えば−２Ｖ）に下げていくことで、対物レンズＯＢＬを含めたアクチュエータＡＣＴの主体部３０を透過スクリーン３００から徐々に遠ざけるように（図４中に示すＺ軸の負方向に）移動させる。即ち、対物レンズＯＢＬを、ＯＢＬ最上位置Ｍ１から、最も透過スクリーン３００から遠ざけたＯＢＬ最下位置Ｍ２（第２位置；図５参照）に向けて移動させる。尚、ＯＢＬ最下位置Ｍ２は、アパーチャ１４２から対物レンズＯＢＬまでの距離がＴ２となる位置である。このとき、対物レンズＯＢＬの移動量に応じて投影像３０２が小さくなっていくことを目視確認する。この途中で投影像３０２が大きくなるようであれば、アパーチャ１４２から対物レンズＯＢＬまでの距離Ｔ１を側板１４０４の位置調整によって再調整する。
【００５７】
ところで、第２の検査治具１４０にアパーチャ１４２を設けない場合、対物レンズＯＢＬからの集光光束が全て光センサ１４４に入射されるため、光センサ１４４の受光電流ＰＤＯＵＴ自体に変化はない。しかしながら、アパーチャ１４２を設けた場合、光センサ１４４上での照度（単位面積当たりの光量）は、合焦点ＦＰからの距離で変化することになる。詳しく説明すると、照度（単位面積当りの光束）は、合焦点ＦＰからの距離で変化する。アパーチャ１４２を設け、一定面積のピンホール１４３から光束を抽出させることにより、合焦点ＦＰからの距離で受光電流ＰＤＯＵＴを変化させることができる。
【００５８】
例えば、図６に示すように、ｒ１を合焦点最上位置Ｎ１の場合のアパーチャ１４２上での照射像の半径、ｒ２を合焦点最下位置Ｎ２の場合のアパーチャ１４２上での照射像の半径、Ｐを輝度（出射光量）とすると、合焦点最上位置Ｎ１の場合のアパーチャ１４２上での照度Ｌ１は式（１）で表現され、合焦点最下位置Ｎ２の場合のアパーチャ１４２上での照度Ｌ２は式（２）で表現される。また、照度Ｌ１に対する照度Ｌ２の比（＝Ｌ２／Ｌ１）は、式（１）、（２）を用いて式（３）で表現される。
Ｌ１＝Ｐ／π・ｒ１２ ・・・（１）
Ｌ２＝Ｐ／π・ｒ２２ ・・・（２）
Ｌ２／Ｌ１＝ｒ１２／ｒ２２ ・・・（３）
尚、半径ｒ１に対する半径ｒ２の比（＝ｒ２／ｒ１）は、合焦点最上位置Ｎ１からアパーチャ１４２までの距離Ｐ１に対する合焦点最下位置Ｎ２からアパーチャ１４２までの距離Ｐ２の比（＝Ｐ２／Ｐ１）に相当する。従って、式（３）は、式（４）のように変形することができる。
Ｌ２／Ｌ１＝Ｐ１２／Ｐ２２ ・・・（４）
【００５９】
ところで、アパーチャ１４２を使用して集光光束の一部を抽出し、光センサ１４４に入射させるとき、光センサ１４４は、アパーチャ１４２上における照度に比例した受光電流ＰＤＯＵＴを出力する。このため、式（４）により、受光電流ＰＤＯＵＴは、アパーチャ１４２と合焦点ＦＰとの間の距離Ｐ１／Ｐ２の二乗に反比例して変化することが分かる。例えば、アパーチャ１４２と合焦点ＦＰとの間の距離Ｐ１が短い場合、受光電流ＰＤＯＵＴは大きくなり、アパーチャ１４２と合焦点ＦＰとの間の距離Ｐ２が長いとき、受光電流ＰＤＯＵＴは小さくなる。
【００６０】
但し、ピンホール１４３の径との関係にも留意する必要がある。ピンホール１４３の径は、アクチュエータＡＣＴの主体部３０の移動範囲内で、アパーチャ１４２における照射像の面積よりも小さく設定し、且つ、より多くの集光光束を通過させる必要がある。ピンホール１４３の径が小さすぎる場合、受光電流ＰＤＯＵＴは検出が困難なぐらい小さくなる虞がある。一方、レーザ光の合焦点ＦＰが合焦点最上位置Ｎ１となったときに、アパーチャ１４２のピンホール１４３を透過しようとする拡大光の径に比べてピンホール１４３の径が大きすぎると、合焦点最上位置Ｎ１と合焦点最下位置Ｎ２との間でレーザ光の合焦点ＦＰが移動させられても、透過スクリーン３００にうつし出される投影像３０２の大小変化が起こらないことが発生する。このため、対物レンズＯＢＬの位置変化による受光電流ＰＤＯＵＴの変化が確認しづらくなる。従って、ピンホール１４３の径は、アクチュエータＡＣＴの主体部３０のフォーカス方向への移動範囲、アパーチャ１４２の取付位置、対物レンズＯＢＬの開口数（ＮＡ：Ｎｕｍｅｒｉｃａｌ Ａｐｅｒｔｕｒｅ）、レンズ径等のパラメータに基づいて決定する。
【００６１】
アパーチャ１４２の位置調整を終えると、透過スクリーン３００を取り除き、光センサ１４４を第２の検査治具１４０に再び取り付ける。そして、第１の検査治具１１０が備える発振ボリュームとシフトボリューム（いずれも不図示）を調整して、正弦波のフォーカスコイル駆動電圧ＦＶを生成する。尚、例えば、発振ボリュームによって正弦波の振幅が
設定され、シフトボリューム等により振幅している正弦波のピークトゥピーク値が設定されて、シフトボリュームによって正弦波の上限値と下限値がそれぞれ設定される。
【００６２】
このとき、オシロスコープ１６０の表示画面１６１において、Ｉ／Ｖアンプ１５０より出力されるセンサ出力電圧ＬＤＰの波形が、図７に示されるように、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶの正弦波の時間変化に追従（同位相、同振幅）したような波形となることを目視確認する。センサ出力電圧ＬＤＰの波形が、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶの正弦波の時間変化に追従した波形となっていなければ、再び、アパーチャ１４２の位置調整を行う。
【００６３】
＝＝＝第一の検査方法＝＝＝
図８〜図１２、図１４を用いて対物レンズ駆動装置１のフォーカス制御が行われるときの動作状況の検査方法について説明する。
【００６４】
例えば図１４に示される対物レンズ駆動装置１の如く、トラッキングコイル３３に電圧をかけずにフォーカスコイル３４に電圧をかけて、対物レンズ駆動装置１の検査方法を行う状態について説明する。
【００６５】
アパーチャ１４２の位置調整を終えた後、第１の検査治具１１０が備える発振ボリュームとシフトボリューム（いずれも不図示）を調整して、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶを正弦波（本実施形態の場合、例えば上限値＋１Ｖから下限値−２．２Ｖの波形）とする。そして、オシロスコープ１６０の表示画面１６１において、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶとセンサ出力電圧ＬＤＰとの対応関係を表現した波形表示を目視確認する。
【００６６】
図８は、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶの波形とセンサ出力電圧ＬＤＰの波形とを、同一時間軸上において並べた表示した場合のオシロスコープ１６０の画面表示例である。縦軸（Ｙ軸）が電圧を示す軸とされ、横軸（Ｘ軸）が時間を示す軸とされている。尚、図８（Ａ）は、アクチュエータＡＣＴの主体部３０のフォーカス方向への移動が正常な場合（ＯＫ（ｏｋａｙ）品の場合）の波形例を示した図であり、図８（Ｂ）は、アクチュエータＡＣＴの主体部３０のフォーカス方向への移動が正常でない場合（ＮＧ（ｎｏ ｇｏｏｄ）品の場合）の波形例を示した図である。
【００６７】
図８（Ａ）と図８（Ｂ）とを対比すると、正常でない場合、センサ出力電圧ＬＤＰはフォーカスコイル駆動電圧ＦＶの立ち上がりに対して遅延が生じ、また、センサ出力電圧ＬＤＰが立ち上がった際に例えば振動が生じていることが分かる。このことより、図８（Ｂ）の場合、アクチュエータＡＣＴの主体部３０の裏面３０ａと対向する基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａには粘着性の有る異物が付着しており、アクチュエータＡＣＴの主体部３０の裏面３０ａを基台１０の略中央の一段下がった表面１０ａから遠ざける方向にアクチュエータＡＣＴの主体部３０を移動させようとすると、アクチュエータＡＣＴの主体部３０が前記の粘着性を有した異物によってスムーズに移動しない（制御応答が非線形である）ことが原因であると判別できる。
【００６８】
図９は、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶの波形とセンサ出力電圧ＬＤＰの波形とをリサージュ波形として表示した場合のオシロスコープ１６０の画面表示例である。縦軸（Ｙ軸）がセンサ出力電圧ＬＤＰとされ、横軸（Ｘ軸）がフォーカスコイル駆動電圧ＦＶとされている。尚、図９（Ａ）は、アクチュエータＡＣＴの主体部３０のフォーカス方向への移動が正常な場合の波形例を示した拡大図であり、図９（Ｂ）は、アクチュエータＡＣＴの主体部３０のフォーカス方向への移動が正常でない場合の波形例を示した拡大図である。リサージュ波形の場合、図８に示した時間変化の波形と比べて、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶの波形とセンサ出力電圧ＬＤＰの波形とを一つの波形で表現することができ、フォ
ーカスコイル駆動電圧ＦＶとセンサ出力電圧ＬＤＰとの対比が容易という利点がある。
【００６９】
図９（Ａ）に示される正常な場合、フォーカス駆動電圧ＦＶを下限値から上限値に向けて上げていくときのフォーカス駆動電圧ＦＶの変化と、センサ出力電圧ＬＤＰを下限値から上限値に向けて上げていくときのセンサ出力電圧ＬＤＰの変化とが略一致していることが分かる。一方、図９（Ｂ）に示される正常でない場合、フォーカス駆動電圧ＦＶを下限値から上限値に向けて上げていくときのフォーカス駆動電圧ＦＶの変化と、センサ出力電圧ＬＤＰを下限値から上限値に向けて上げていくときのセンサ出力電圧ＬＤＰの変化とが不一致となることが分かる。
【００７０】
尚、図９（Ｂ）に示される状態が生じた場合、フォーカス駆動電圧ＦＶを下限値から上限値に向けて上げていくとき、センサ出力電圧ＬＤＰは立ち上がりの際に遅延が生じ、また、立ち上がった後に例えば振動が生じることが分かる。このことより、図９（Ｂ）の場合、アクチュエータＡＣＴの主体部３０が前記の粘着性を有した異物によってスムーズに移動しない（制御応答が非線形である）ことが原因であると判別できる。
【００７１】
対物レンズ駆動装置１の検査方法が実行されるときに、例えば上記前工程が実行される。上記前工程における対物レンズ駆動装置１の良否判定は、センサ出力電圧ＬＤＰの信号とフォーカスコイル駆動電圧ＦＶの信号とをオシロスコープ１６０にてリサージュ図形として表示させて行われる。このように、上記した対物レンズ駆動装置１の検査方法の前工程においては、例えばセンサ出力電圧ＬＤＰの信号とフォーカスコイル駆動電圧ＦＶの信号とをオシロスコープ１６０のＸ軸用のチャンネル１６２とＹ軸用のチャンネル１６４とに入力させ、オシロスコープ１６０に表示されるリサージュ図形に基づき、人の目視によって、対物レンズ駆動装置１の良否判定が行われる。
【００７２】
しかしながら、対物レンズ駆動装置１の良否判定が人の目視によって長時間にわたって行われ続けると、間違った対物レンズ駆動装置１の良否判定が行われる可能性がある。また、人の目視によって対物レンズ駆動装置１の良否判定が行われるため、例えば人件費がかかることとなり、その結果、対物レンズ駆動装置１のコストを低く抑えることが困難となって、対物レンズ駆動装置１の製造コストが上昇するということが問題となる。
【００７３】
このようなことから、Ａ／Ｄコンバータ１７０、制御プロセッサ１８０を備える対物レンズ駆動装置１の検査装置Ｗを用いて、対物レンズ駆動装置１の検査方法を行う。以下に、Ａ／Ｄコンバータ１７０、制御プロセッサ１８０を用いた対物レンズ駆動装置１の検査方法、並びに、Ａ／Ｄコンバータ１７０、制御プロセッサ１８０を備える対物レンズ駆動装置１の検査装置Ｗの基本動作について説明する。
【００７４】
例えばセンサ出力電圧ＬＤＰの信号とフォーカスコイル駆動電圧ＦＶの信号とをＡ／Ｄコンバータ１７０に入力させ、一定時間毎のサンプリングが可能な構成とさせる。例えば制御プロセッサ１８０にて、センサ出力電圧ＬＤＰの信号、又は、センサ出力電圧ＬＤＰの信号およびフォーカスコイル駆動電圧ＦＶの信号に基づいて測定を制御させ、自動的に対物レンズ駆動装置１の良否判定を実行させる。第１の検査治具１１０、第２の検査治具１４０等のアクチュエータ・スティック・ジャンプ・対策治具などを備える対物レンズ駆動装置１の検査装置Ｗを用いて、対物レンズ駆動装置１の自動良否判定を実行させる。
【００７５】
図１０は、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶの波形とセンサ出力電圧ＬＤＰの波形とをリサージュ波形として表示した場合のオシロスコープ１６０の概略画面表示例である。横軸がフォーカスコイル駆動電圧ＦＶとされ、縦軸がセンサ出力電圧ＬＤＰとされている。尚、図１０（Ａ）は、アクチュエータＡＣＴの主体部３０のフォーカス方向への移動が正常な場合の波形例を示した概略図であり、図１０（Ｂ）は、アクチュエータＡＣＴの主体部
３０のフォーカス方向への移動が正常でない場合の波形例を示した概略図である。
【００７６】
図１０（Ａ）に示される正常な場合、フォーカス駆動電圧ＦＶを下限値から上限値に向けて上げていくときのフォーカス駆動電圧ＦＶの変化と、センサ出力電圧ＬＤＰを下限値から上限値に向けて上げていくときのセンサ出力電圧ＬＤＰの変化とが略一致していることが分かる。一方、図１０（Ｂ）に示される正常でない場合、例えば波形電圧に振動が生じ、フォーカス駆動電圧ＦＶを下限値から上限値に向けて上げていくときのフォーカス駆動電圧ＦＶの変化と、センサ出力電圧ＬＤＰを下限値から上限値に向けて上げていくときのセンサ出力電圧ＬＤＰの変化とが不一致となることが分かる。このような特性を利用して、Ａ／Ｄコンバータ１７０、制御プロセッサ１８０を用いた対物レンズ駆動装置１の検査方法を行う。
【００７７】
図１１は、同一時間内におけるフォーカスコイル駆動電圧ＦＶの波形とセンサ出力電圧ＬＤＰの波形とを示した場合のオシロスコープ１６０の概略画面表示例である。尚、図１１（Ａ）は、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶの信号上昇部の波形例を示した概略図であり、図１１（Ｂ）は、センサ出力電圧ＬＤＰの信号上昇部の波形例を示した概略図である。
【００７８】
また、図１２は、同一時間内におけるフォーカスコイル駆動電圧ＦＶの波形とセンサ出力電圧ＬＤＰの波形とを示した場合のオシロスコープ１６０の概略画面表示例である。尚、図１２（Ａ）は、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶの信号下降部の波形例を示した概略図であり、図１２（Ｂ）は、センサ出力電圧ＬＤＰの信号下降部の波形例を示した概略図である。
【００７９】
例えば、図１１（Ａ）の如く、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶの信号を下限から上限まで変化させる。この場合、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶのサンプリング期間は、例えばフォーカスコイル駆動電圧ＦＶを示す正弦波の下限から上限までの１／２周期とされている。また、例えば図１２（Ａ）の如く、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶの信号を上限から下限まで変化させる。この場合、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶのサンプリング期間は、例えばフォーカスコイル駆動電圧ＦＶを示す正弦波の上限から下限までの１／２周期とされている。
【００８０】
フォーカスコイル駆動電圧ＦＶを示す正弦波の下限から上限まで変化させると、対物レンズＯＢＬが上昇されるときに、センサ出力電圧ＬＤＰの信号は、図１１（Ｂ）の如く、略一定状態（ＭＩＮ）から上昇されて略一定状態（ＭＡＸ）となる変化を示す。また、対物レンズＯＢＬが下降されるときに、センサ出力電圧ＬＤＰの信号は、図１２（Ｂ）の如く、略一定状態（ＭＡＸ）から下降されて略一定状態（ＭＩＮ）となる変化を示す。
【００８１】
このような特性に基づき、対物レンズＯＢＬが上昇させられるときに、センサ出力電圧ＬＤＰの信号に例えば振動が生じてセンサ出力電圧ＬＤＰの信号が減少した場合に、対物レンズ駆動装置１の良否判定をＮＧとさせる。また、対物レンズＯＢＬが下降させられるときに、センサ出力電圧ＬＤＰの信号に例えば振動が生じてセンサ出力電圧ＬＤＰの信号が増加した場合に、対物レンズ駆動装置１の良否判定をＮＧとさせる。
【００８２】
対物レンズ駆動装置１の検査方法における自動判定方法について詳しく説明すると、先ず、対物レンズ駆動装置１の検査装置Ｗにおける所定の位置に、対物レンズ駆動装置１を有する光ピックアップ装置ＯＰＵを備えさせて通電可能にセットさせる。しかしながら、このときに、対物レンズ駆動装置１は、未だ通電されていない状態とされている。対物レンズ駆動装置１を通電状態とさせたのちに、例えば主に、オシロスコープ１６０、Ａ／Ｄコンバータ１７０、制御プロセッサ１８０等を用いて、対物レンズ駆動装置１の自動判定方法を実行させる。
【００８３】
先ず、ＦＶ波形の信号上昇部における制御プロセッサ１８０の設定方法ならびにＬＤＰ波形の信号上昇部における制御プロセッサ１８０の設定方法について具体的に説明する。
【００８４】
制御プロセッサ１８０からＡＰＣ１２０に信号を送信させて、安定化電源装置１００に接続されたＡＰＣ１２０を通電開始状態とさせる。すると、ＡＰＣ１２０とＬＶＤＳ変換器１３０とが通電されると共に、ＬＶＤＳ変換器１３０と光ピックアップ装置ＯＰＵとが通電される。また、光ピックアップ装置ＯＰＵに装備された光源が通電状態となり、光源からレーザ光が出射される。この場合、制御プロセッサ１８０内のプログラムにて、例えば「ＬＤ＿ＯＮ」の工程が実行されて、ＡＰＣ１２０が通電状態にされる。
【００８５】
次に、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶの信号における下限の電圧設定が行われる。このときに、初期値を下限に設定させる。この場合、制御プロセッサ１８０内のプログラムにて、例えば「ＯＢＬ下限位置設定」の工程が実行される。
【００８６】
次に、制御プロセッサ１８０内のプログラムにて、例えば「ｉ←０」と設定させる。次に、Ａ／Ｄコンバータ１７０に対し、制御プロセッサ１８０内のプログラムにて、例えば「フォーカスコイル駆動電圧ＦＶの値→ＦＶＶ（ｉ）」と設定させると共に、例えば「センサ出力電圧ＬＤＰの値→ＬＤＰＶ（ｉ）」と設定させる。
【００８７】
次に、制御プロセッサ１８０内のプログラムにて「ｉ」をインクリメントさせる。インクリメント（ｉｎｃｒｅｍｅｎｔ）とは、プログラミングで、繰返し処理などが行われる際に、数値を定められた大きさで増加させることを意味する。このときに「ｉ＜１００」の場合には、再び、例えば「フォーカスコイル駆動電圧ＦＶの値→ＦＶＶ（ｉ）」と設定させると共に、例えば「センサ出力電圧ＬＤＰの値→ＬＤＰＶ（ｉ）」と設定させる。「ｉ＝１００」となるまで、繰り返して、「フォーカスコイル駆動電圧ＦＶの値→ＦＶＶ（ｉ）」と設定させると共に、「センサ出力電圧ＬＤＰの値→ＬＤＰＶ（ｉ）」と設定させる。「ｉ≧１００」とされたときに、制御プロセッサ１８０内のプログラムにて、「ＬＤＰ（１００）」、又は、「ＬＤＰ（１００）」及び「ＦＶ（１００）」とされたときの値に基づく判定が行われる。例えば下式（５）に基づく判定が制御プロセッサ１８０にて行われる。
ＬＤＰ（１００）：ＬＤＰ（ｍ＋１）＞ＬＤＰ（ｍ）（但し、０＜ｍ＜９８）…（５）
【００８８】
例えば、前記式（５）を満足する対物レンズ駆動装置１は、良品の対物レンズ駆動装置１たとえばＯＫ品の対物レンズ駆動装置１と判定される。これに対し、前記式（５）を満足しない対物レンズ駆動装置１は、不良品の対物レンズ駆動装置１たとえばＮＧ品の対物レンズ駆動装置１と判定される。
【００８９】
なお、前記式（５）に基づく判定が制御プロセッサ１８０にて行われるときに、例えば併せて下式（６）に基づく照合・判定が制御プロセッサ１８０にて行われてもよい。
ＦＶ（１００）：ＦＶ（ｍ＋１）＞ＦＶ（ｍ）（但し、０＜ｍ＜９８）…（６）
【００９０】
例えば、前記式（６）を満足する対物レンズ駆動装置１は、良品の対物レンズ駆動装置１たとえばＯＫ品の対物レンズ駆動装置１と判定される。これに対し、前記式（６）を満足しない対物レンズ駆動装置１は、不良品の対物レンズ駆動装置１たとえばＮＧ品の対物レンズ駆動装置１と判定される。
【００９１】
例えば図１１（Ａ）および図１１（Ｂ）を用いて、対物レンズ駆動装置１の検査方法が行われる状態について詳しく説明する。
【００９２】
図１１（Ａ）および図１１（Ｂ）における横軸は、時間を示す軸とされている。また、図１１（Ａ）および図１１（Ｂ）における縦軸は、電圧を示す軸とされている。フォーカスコイル駆動電圧ＦＶを示す正弦波の下限から上限までの１／２周期の時間を例えばｉ＝０，１，２，３，４，……９５，９６，９７，９８，９９というように整数にて１００分割させる。センサ出力電圧ＬＤＰの値、又は、センサ出力電圧ＬＤＰの値およびフォーカスコイル駆動電圧ＦＶの値が、時間と共に増加する結果が得られた対物レンズ駆動装置１に対しては、制御プロセッサ１８０にてＯＫ品の対物レンズ駆動装置１と判定される。しかしながら、センサ出力電圧ＬＤＰの値、又は、センサ出力電圧ＬＤＰの値およびフォーカスコイル駆動電圧ＦＶの値が、時間と共に減少することのある結果が得られた対物レンズ駆動装置１に対しては、制御プロセッサ１８０にてＮＧ品の対物レンズ駆動装置１と判定される。
【００９３】
次に、ＦＶ波形の信号下降部における制御プロセッサ１８０の設定方法ならびにＬＤＰ波形の信号下降部における制御プロセッサ１８０の設定方法について具体的に説明する。
【００９４】
制御プロセッサ１８０からＡＰＣ１２０に信号を送信させて、安定化電源装置１００に接続されたＡＰＣ１２０を通電開始状態とさせる。すると、ＡＰＣ１２０とＬＶＤＳ変換器１３０とが通電されると共に、ＬＶＤＳ変換器１３０と光ピックアップ装置ＯＰＵとが通電される。また、光ピックアップ装置ＯＰＵに装備された光源が通電状態となり、光源からレーザ光が出射される。この場合、制御プロセッサ１８０内のプログラムにて、例えば「ＬＤ＿ＯＮ」の工程が実行されて、ＡＰＣ１２０が通電状態にされる。
【００９５】
次に、フォーカスコイル駆動電圧ＦＶの信号における上限の電圧設定が行われる。このときに、初期値を上限に設定させる。この場合、制御プロセッサ１８０内のプログラムにて、例えば「ＯＢＬ上限位置設定」の工程が実行される。
【００９６】
次に、制御プロセッサ１８０内のプログラムにて、例えば「ｊ←０」と設定させる。次に、Ａ／Ｄコンバータ１７０に対し、制御プロセッサ１８０内のプログラムにて、例えば「フォーカスコイル駆動電圧ＦＶの値→ＦＶＶ（ｊ）」と設定させると共に、例えば「センサ出力電圧ＬＤＰの値→ＬＤＰＶ（ｊ）」と設定させる。
【００９７】
次に、制御プロセッサ１８０内のプログラムにて「ｊ」をインクリメントさせる。このときに「ｊ＜１００」の場合には、再び、例えば「フォーカスコイル駆動電圧ＦＶの値→ＦＶＶ（ｊ）」と設定させると共に、例えば「センサ出力電圧ＬＤＰの値→ＬＤＰＶ（ｊ）」と設定させる。「ｊ＝１００」となるまで、繰り返して、「フォーカスコイル駆動電圧ＦＶの値→ＦＶＶ（ｊ）」と設定させると共に、「センサ出力電圧ＬＤＰの値→ＬＤＰＶ（ｊ）」と設定させる。「ｊ≧１００」とされたときに、制御プロセッサ１８０内のプログラムにて、「ＬＤＰ（１００）」、又は、「ＬＤＰ（１００）」及び「ＦＶ（１００）」とされたときの値に基づく判定が行われる。例えば下式（７）に基づく判定が制御プロセッサ１８０にて行われる。
ＬＤＰ（１００）：ＬＤＰ（ｎ＋１）＜ＬＤＰ（ｎ）（但し、０＜ｎ＜９８）…（７）
【００９８】
例えば、前記式（７）を満足する対物レンズ駆動装置１は、良品の対物レンズ駆動装置１たとえばＯＫ品の対物レンズ駆動装置１と判定される。これに対し、前記式（７）を満足しない対物レンズ駆動装置１は、不良品の対物レンズ駆動装置１たとえばＮＧ品の対物レンズ駆動装置１と判定される。
【００９９】
なお、前記式（７）に基づく判定が制御プロセッサ１８０にて行われるときに、例えば併せて下式（８）に基づく照合・判定が制御プロセッサ１８０にて行われてもよい。
ＦＶ（１００）：ＦＶ（ｎ＋１）＜ＦＶ（ｎ）（但し、０＜ｎ＜９８）…（８）
【０１００】
例えば、前記式（８）を満足する対物レンズ駆動装置１は、良品の対物レンズ駆動装置１たとえばＯＫ品の対物レンズ駆動装置１と判定される。これに対し、前記式（８）を満足しない対物レンズ駆動装置１は、不良品の対物レンズ駆動装置１たとえばＮＧ品の対物レンズ駆動装置１と判定される。
【０１０１】
また、例えば図１２（Ａ）および図１２（Ｂ）を用いて、対物レンズ駆動装置１の検査方法が行われる状態について詳しく説明する。
【０１０２】
図１２（Ａ）および図１２（Ｂ）における横軸は、時間を示す軸とされている。また、図１２（Ａ）および図１２（Ｂ）における縦軸は、電圧を示す軸とされている。フォーカスコイル駆動電圧ＦＶを示す正弦波の上限から下限までの１／２周期の時間を例えばｉ＝０，１，２，３，４，……９５，９６，９７，９８，９９というように整数にて１００分割させる。センサ出力電圧ＬＤＰの値、又は、センサ出力電圧ＬＤＰの値およびフォーカスコイル駆動電圧ＦＶの値が、時間と共に減少する結果が得られた対物レンズ駆動装置１に対しては、制御プロセッサ１８０にてＯＫ品の対物レンズ駆動装置１と判定される。しかしながら、センサ出力電圧ＬＤＰの値、又は、センサ出力電圧ＬＤＰの値およびフォーカスコイル駆動電圧ＦＶの値が、時間と共に増加することのある結果が得られた対物レンズ駆動装置１に対しては、制御プロセッサ１８０にてＮＧ品の対物レンズ駆動装置１と判定される。
【０１０３】
このようにすることで、対物レンズ駆動装置１のフォーカス動作に例えば波打つ動作が生じたときに、この対物レンズ駆動装置１は不良品であると制御プロセッサ１８０にマイコン判定させることが可能となる。
【０１０４】
このように対物レンズ駆動装置１の検査方法ならびに対物レンズ駆動装置１の検査装置Ｗの基本動作確認を行ったのちに、例えば、オシロスコープ１６０が通電可能に接続されていた第１のプローブ１６３を第１の検査治具１１０から取り外すと共に、オシロスコープ１６０が通電可能に接続されていた第２のプローブ１６５をＩ／Ｖアンプ１５０から取り外して、対物レンズ駆動装置１の検査装置Ｗから各プローブ１６３、１６５およびオシロスコープ１６０を取り除く。オシロスコープ１６０が装備されていない対物レンズ駆動装置１の検査装置Ｗとされても、検査装置Ｗの制御プロセッサ１８０内のプログラムにて、例えば図１１および／または図１２に示すような判定工程が行われることにより、対物レンズ駆動装置１の良否判定が行われる。オシロスコープ１６０が装備されている対物レンズ駆動装置１の検査装置Ｗ、又は、オシロスコープ１６０が装備されていない対物レンズ駆動装置１の検査装置Ｗの何れの対物レンズ駆動装置１の検査装置Ｗが用いられても、対物レンズ駆動装置１の検査方法は良好に行われる。
【０１０５】
Ａ／Ｄコンバータ１７０、制御プロセッサ１８０を備える対物レンズ駆動装置１の検査装置Ｗが用いられて対物レンズ駆動装置１の検査方法が実行されることにより、対物レンズ駆動装置１による対物レンズＯＢＬのフォーカス方向への移動を検査することができる。
【実施例２】
【０１０６】
つぎに本発明に係る対物レンズ駆動装置の検査方法の他の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【０１０７】
尚、実施例１における対物レンズ駆動装置１ならびに対物レンズ駆動装置１の検査装置Ｗと、実施例２における対物レンズ駆動装置１ならびに対物レンズ駆動装置１の検査装置Ｗと、は、同一のものとされていることから、ここではその詳細な説明を省略した。
【０１０８】
＝＝＝第二の検査方法＝＝＝
つぎに、例えばトラッキングコイル３３に電圧がかけられると共にフォーカスコイル３４に電圧がかけられて、対物レンズ駆動装置１の検査方法が行われる状態について説明する。
【０１０９】
上記図１〜図１４に示され、上記プログラムによる上記インクリメント、上記式（５）、上記式（６）、上記式（７）、上記式（８）等を含む上記「第一の検査方法」においては、トラッキングコイル３３に電圧をかけずにフォーカスコイル３４に電圧をかけて、対物レンズ駆動装置１の検査方法を実行させるが、「第二の検査方法」においては、例えば必要に応じてトラッキングコイル３３に所定の電圧をかけて、対物レンズ駆動装置１が平面視（図１４の上側）されたときに対物レンズＯＢＬを備えたアクチュエータ主体部３０の略中心を例えばラジアル方向に略沿ってラジアル方向の一側位置Ｙ１から他側位置Ｙ２までの間の任意の検査測定させたい位置に移動させ、ラジアル方向の一側位置Ｙ１から他側位置Ｙ２までの間の任意の検査測定位置において、対物レンズＯＢＬを備えたアクチュエータ主体部３０をフォーカス方向に動作させて対物レンズ駆動装置１の検査方法を実行させる。この点において、「第一の検査方法」と「第二の検査方法」とが異なるが、他の部分においては、「第一の検査方法」と「第二の検査方法」とは同じとされる。
【０１１０】
「第二の検査方法」において、上記図１〜図１４に示され、上記プログラムによる上記インクリメント、上記式（５）、上記式（６）、上記式（７）、上記式（８）等を含む上記「第一の検査方法」に基づいたものと同一のものについては、同一の符号を用い、その詳細な説明を省略した。
【０１１１】
トラッキングコイル３３にかけられる電圧は、例えば対物レンズＯＢＬを備えたアクチュエータ主体部３０の略中心がラジアル方向に略沿って移動可能な範囲内においてアクチュエータ主体部３０を動作させるときに対応する電圧とする。
【０１１２】
平面視されたアクチュエータ主体部３０の略中心がラジアル方向に略沿って移動可能な範囲内において、例えば、ラジアル方向の一側位置Ｙ１をプラス側位置Ｙ１とさせ、ラジアル方向の他側位置Ｙ２をマイナス側位置Ｙ２とさせ、一側位置Ｙ１とされるプラス側位置Ｙ１と他側位置Ｙ２とされるマイナス側位置Ｙ２との間の略中央位置Ｙ０をゼロ（０）位置Ｙ０とさせる。
【０１１３】
また、例えば、平面視されたアクチュエータ主体部３０の略中心がラジアル方向に略沿って最もプラス側位置Ｙ１に寄せられたときのトラッキング信号値をトラッキング信号のＭＡＸ値とさせ、平面視されたアクチュエータ主体部３０の略中心がラジアル方向に略沿って最もマイナス側位置Ｙ２に寄せられたときのトラッキング信号値をトラッキング信号のＭＩＮ値とさせる。
【０１１４】
また、例えば、平面視されたアクチュエータ主体部３０の略中心がラジアル方向に略沿って最もプラス側位置Ｙ１に寄せられたときに、対物レンズＯＢＬを備えたアクチュエータ主体部３０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の下限から上限に向けて移動させたり、対物レンズＯＢＬを備えたアクチュエータ主体部３０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の上限から下限に向けて移動させたりする。
【０１１５】
また、例えば、平面視されたアクチュエータ主体部３０の略中心がラジアル方向に略沿った最もプラス側位置Ｙ１と最もマイナス側位置Ｙ２との間の略中央位置Ｙ０に存在させられたときに、対物レンズＯＢＬを備えたアクチュエータ主体部３０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の下限から上限に向けて移動させたり、対物レンズＯＢＬを備え
たアクチュエータ主体部３０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の上限から下限に向けて移動させたりする。
【０１１６】
また、例えば、平面視されたアクチュエータ主体部３０の略中心がラジアル方向に略沿って最もマイナス側位置Ｙ２に寄せられたときに、対物レンズＯＢＬを備えたアクチュエータ主体部３０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の下限から上限に向けて移動させたり、対物レンズＯＢＬを備えたアクチュエータ主体部３０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の上限から下限に向けて移動させたりする。
【０１１７】
このようにすることにより、平面視されたアクチュエータ主体部３０をラジアル方向に略沿った任意の各位置に移動変更させ、アクチュエータ主体部３０のラジアル方向に略沿った任意の各位置上において、対物レンズＯＢＬを備えるアクチュエータ主体部３０がフォーカス方向に略沿ってスムーズに動作するものか否かの検査が確実に行われる。
【０１１８】
平面視されたアクチュエータ主体部３０の略中心がラジアル方向に略沿って最もプラス側位置Ｙ１に寄せられたときの一側位置Ｙ１を例えばディスク外周部側略最大位置Ｙ１と定める。また、平面視されたアクチュエータ主体部３０の略中心がラジアル方向に略沿って移動可能な範囲内において、一側位置Ｙ１と他側位置Ｙ２との略中間を例えば略中央位置Ｙ０と定める。また、平面視されたアクチュエータ主体部３０の略中心がラジアル方向に略沿って最もマイナス側位置Ｙ２に寄せられたときの他側位置Ｙ２を例えばディスク内周部側略最大位置Ｙ２と定める。
【０１１９】
例えば、平面視されたアクチュエータ主体部３０をラジアル方向に略沿って位置変更させ、ディスク外周部側略最大位置Ｙ１、略中央位置Ｙ０、及びディスク内周部側略最大位置Ｙ２の三箇所の位置で、対物レンズ駆動装置１の検査方法を実行させる。
【０１２０】
まず、アクチュエータ主体部３０を構成するトラッキングコイル３３にトラッキングコイル駆動電圧ＴＶ−ＯＵＴをかけ、平面視されたアクチュエータ主体部３０をラジアル方向に略沿ってディスク外周部側略最大位置Ｙ１に移動させる。
【０１２１】
トラッキングコイル駆動電圧ＴＶ−ＯＵＴは、例えば下式（９）に基づいて定められる。
【数１】
【０１２２】
つぎに、例えば、上記プログラムによる上記インクリメント、上記式（５）、上記式（６）、上記式（７）、上記式（８）等を含む上記「第一の検査方法」に記載された各工程等に基づいて、対物レンズ駆動装置１の検査方法を行う。対物レンズＯＢＬを備えたアクチュエータ主体部３０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の下限から上限に向けて移動させたり、対物レンズＯＢＬを備えたアクチュエータ主体部３０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の上限から下限に向けて移動させたりして、ディスク外周部側略最大位置Ｙ１におけるアクチュエータ主体部３０の作動状態を検査する。
【０１２３】
つぎに、アクチュエータ主体部３０を構成するトラッキングコイル３３に微弱なトラッキングコイル駆動電圧ＴＶ−ＣＥＮＴＥＲをかけたり、トラッキングコイル駆動電圧をかけるのを止めたりする等して、平面視されたアクチュエータ主体部３０をラジアル方向に略沿って略中央位置Ｙ０に移動させる。
【０１２４】
トラッキングコイル駆動電圧ＴＶ−ＣＥＮＴＥＲは、例えば下式（１０）に基づいて定められる。
トラッキングコイル駆動電圧ＴＶ−ＣＥＮＴＥＲ＝０ …（１０）
【０１２５】
例えば対物レンズ駆動装置１の検査方法の実行方法等により、平面視されたアクチュエータ主体部３０の略中心がラジアル方向に略沿って略中央位置Ｙ０に存在するときに、アクチュエータ主体部３０を構成するトラッキングコイル３３に微弱なトラッキングコイル駆動電圧をかけることなく、上記プログラムによる上記インクリメント、上記式（５）、上記式（６）、上記式（７）、上記式（８）等を含む上記「第一の検査方法」に記載された各工程等に基づいて、対物レンズ駆動装置１の検査方法を行う。
【０１２６】
つぎに、例えば、上記プログラムによる上記インクリメント、上記式（５）、上記式（６）、上記式（７）、上記式（８）等を含む上記「第一の検査方法」に記載された各工程等に基づいて、対物レンズ駆動装置１の検査方法を行う。対物レンズＯＢＬを備えたアクチュエータ主体部３０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の下限から上限に向けて移動させたり、対物レンズＯＢＬを備えたアクチュエータ主体部３０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の上限から下限に向けて移動させたりして、略中央位置Ｙ０におけるアクチュエータ主体部３０の作動状態を検査する。
【０１２７】
つぎに、アクチュエータ主体部３０を構成するトラッキングコイル３３にトラッキングコイル駆動電圧ＴＶ−ＩＮをかけ、平面視されたアクチュエータ主体部３０をラジアル方向に略沿ってディスク内周部側略最大位置Ｙ２に移動させる。
【０１２８】
トラッキングコイル駆動電圧ＴＶ−ＩＮは、例えば下式（１１）に基づいて定められる。
【数２】
【０１２９】
つぎに、例えば、上記プログラムによる上記インクリメント、上記式（５）、上記式（６）、上記式（７）、上記式（８）等を含む上記「第一の検査方法」に記載された各工程等に基づいて、対物レンズ駆動装置１の検査方法を行う。対物レンズＯＢＬを備えたアクチュエータ主体部３０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の下限から上限に向けて移動させたり、対物レンズＯＢＬを備えたアクチュエータ主体部３０をフォーカス方向に略沿ってフォーカス位置の上限から下限に向けて移動させたりして、ディスク内周部側略最大位置Ｙ２におけるアクチュエータ主体部３０の作動状態を検査する。
【０１３０】
対物レンズＯＢＬを有する対物レンズ駆動装置１の検査を行うときに、対物レンズＯＢＬが備えられた対物レンズ駆動装置１の駆動機構を構成するフォーカスコイル３４にフォ
ーカス駆動電圧ＦＶを印加させる。そのときに必要に応じて、対物レンズＯＢＬが備えられた対物レンズ駆動装置１の駆動機構を構成するトラッキングコイル３３にトラッキング駆動電圧ＴＶ−ＩＮ、ＴＶ−ＯＵＴ、及び／又はＴＶ−ＣＥＮＴＥＲを印加させ、平面視されたアクチュエータ主体部３０をラジアル方向に略沿って任意の位置に移動させてから、対物レンズＯＢＬが備えられた対物レンズ駆動装置１の駆動機構を構成するフォーカスコイル３４にフォーカス駆動電圧ＦＶを印加させて、対物レンズＯＢＬを有する対物レンズ駆動装置１の検査を行う。
【０１３１】
対物レンズＯＢＬが備えられた対物レンズ駆動装置１の検査方法を実行するときに、必要に応じて対物レンズ駆動装置１の駆動機構を構成するトラッキングコイル３３に電圧をかけることにより、対物レンズ駆動装置１が略平面視されたときの対物レンズＯＢＬを有するアクチュエータ主体部３０がトラッキング方向に略沿った任意の位置上に移動される。対物レンズＯＢＬを有するアクチュエータ主体部３０がトラッキング方向に略沿った任意の位置上に存する状態で、対物レンズ駆動装置１の駆動機構を構成するフォーカスコイル３４に電圧をかけて、対物レンズＯＢＬを有するアクチュエータ主体部３０のフォーカス方向への移動を例えば制御プロセッサ１８０等を用いてマイコン検査／判定させることができる。
【０１３２】
以上、本発明の実施形態について説明したが、前述した実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明はその趣旨を逸脱することなく変更／改良され得るとともに、本発明にはその等価物も含まれるものである。
【０１３３】
例えば、光センサ１４４等により光電変換後の信号に基づいて対物レンズ駆動装置１の検査を行う信号検査装置としてオシロスコープ１６０が例示されているが、オシロスコープ１６０以外の他の装置が信号検査装置として用いられてもよい。例えば、光センサ１４４等により光電変換後の信号に基づいて対物レンズ駆動装置１の検査を行う信号検査装置として、制御プロセッサ１８０が用いられてもよい。光センサ１４４等により光電変換後の信号に基づいて対物レンズ駆動装置１の検査を行う信号検査装置として、例えば、オシロスコープ１６０または制御プロセッサ１８０の何れか一方または両方が用いられてもよい。
【０１３４】
また、例えば対物レンズ駆動装置１の検査方法の実行方法等により、必要に応じてトラッキングコイル３３に所定の電圧をかけて、対物レンズ駆動装置１が平面視（図１４の上側）されたときに対物レンズＯＢＬを備えたアクチュエータ主体部３０の略中心を例えばラジアル方向に略沿ってラジアル方向の他側位置Ｙ２から一側位置Ｙ１までの間の任意の検査測定させたい位置に移動させ、ラジアル方向の他側位置Ｙ２から一側位置Ｙ１までの間の任意の検査測定位置において、対物レンズＯＢＬを備えたアクチュエータ主体部３０をフォーカス方向に動作させて対物レンズ駆動装置１の検査方法を実行させてもよい。
【産業上の利用可能性】
【０１３５】
例えば対物レンズ駆動装置による対物レンズのフォーカス方向への移動を検査可能な対物レンズ駆動装置の検査方法、検査装置に適用可能とされる。
【符号の説明】
【０１３６】
１ 対物レンズ駆動装置
１０ 基板（基台）
１０ａ 表面
１１、１２ ヨーク
２１、２２ 磁石
３０ アクチュエータ主体部（主体部）
３０ａ 裏面（底面）
３１ レンズホルダ（ホルダ）
３２ 係止部材
３３ トラッキングコイル
３４ フォーカスコイル
４０ サスペンションワイヤ（ワイヤ）
５０ 支持板（板）
１００ 安定化電源装置（電源装置）
１１０ 第１の検査治具（駆動電圧生成器）
１２０ ＡＰＣ
１３０ ＬＶＤＳ変換器
１４０ 第２の検査治具（スレーブ治具）
１４２ アパーチャ
１４４ 光センサ（センサ）
１５０ Ｉ／Ｖアンプ（電流／電圧変換回路）
１６０ オシロスコープ（波形表示器）
１６１ 表示画面
１７０ Ａ／Ｄコンバータ（回路）
１８０ 制御プロセッサ（制御装置）
ＡＣＴ アクチュエータ
ＦＶ フォーカスコイル駆動電圧（フォーカス駆動電圧）
ＬＤＰ センサ出力電圧
Ｍ１ ＯＢＬ最上位置（第１位置）
Ｍ２ ＯＢＬ最下位置（第２位置）
ＯＢＬ 対物レンズ
ＯＰＵ 光ピックアップ装置
ＴＶ−ＣＥＮＴＥＲ、ＴＶ−ＩＮ、ＴＶ−ＯＵＴ トラッキングコイル駆動電圧（トラッキング駆動電圧）
Ｗ 検査装置
Ｙ０ 略中央位置（位置）
Ｙ１ ディスク外周部側略最大位置（位置）
Ｙ２ ディスク内周部側略最大位置（位置）
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台と、対物レンズと、前記基台上で前記対物レンズを保持するホルダと、前記対物レンズが少なくともフォーカス方向に移動するように前記ホルダを駆動する駆動機構と、を有する対物レンズ駆動装置の検査方法において、
前記対物レンズを介してレーザ光を出射させる工程と、
前記対物レンズを介して出射される前記レーザ光を所定径のアパーチャに通過させる工程と、
前記ホルダが前記基台の面に最も近づく第１位置と前記基台の面から前記第１位置よりも遠ざかる第２位置との間を移動するための駆動電圧を前記駆動機構に与える工程と、
前記アパーチャを通過した前記レーザ光を光電変換する工程と、
前記光電変換後の信号に基づいて良否判定を行う工程と、
を含む
ことを特徴とする対物レンズ駆動装置の検査方法。
【請求項２】
請求項１に記載の対物レンズ駆動装置の検査方法において、
前記対物レンズ駆動装置の検査を行うときに、必要に応じて前記駆動機構を構成するトラッキングコイルに印加させ、前記駆動機構を構成するフォーカスコイルに印加させる
ことを特徴とする対物レンズ駆動装置の検査方法。
【請求項３】
請求項１に記載の対物レンズ駆動装置の検査方法において、
前記駆動機構は、前記対物レンズが前記フォーカス方向ならびに前記フォーカス方向に対して略直交する方向とされるトラッキング方向に移動するように前記ホルダを駆動する駆動機構とされ、
前記対物レンズ駆動装置の検査を行うときに、必要に応じて前記駆動機構を構成するトラッキングコイルに印加させ、前記駆動機構を構成するフォーカスコイルに印加させる
ことを特徴とする対物レンズ駆動装置の検査方法。
【請求項４】
基台と、対物レンズと、前記基台上で前記対物レンズを保持するホルダと、前記対物レンズが少なくともフォーカス方向に移動するように前記ホルダを駆動する駆動機構と、を有する対物レンズ駆動装置の検査方法において、
前記対物レンズを介してレーザ光を出射させる工程と、
前記対物レンズを介して出射される前記レーザ光を所定径のアパーチャに通過させる工程と、
前記ホルダが前記基台の面に最も近づく第１位置と前記基台の面から前記第１位置よりも遠ざかる第２位置との間を移動するための駆動電圧を前記駆動機構に与える工程と、
前記アパーチャを通過した前記レーザ光を光電変換する工程と、
前記光電変換後の信号に基づいて対物レンズ駆動装置の検査を行う工程と、
を含み、
前記対物レンズ駆動装置の検査を行うときに、必要に応じて前記駆動機構を構成するトラッキングコイルに印加させ、前記駆動機構を構成するフォーカスコイルに印加させる
ことを特徴とする対物レンズ駆動装置の検査方法。
【請求項５】
基台と、対物レンズと、前記基台上で前記対物レンズを保持するホルダと、前記対物レンズが少なくともフォーカス方向に移動するように前記ホルダを駆動する駆動機構と、を有する対物レンズ駆動装置の検査方法において、
前記対物レンズを介してレーザ光を出射させる工程と、
前記対物レンズを介して出射される前記レーザ光を所定径のアパーチャに通過させる工程と、
前記ホルダが前記基台の面に最も近づく第１位置と前記基台の面から前記第１位置より
も遠ざかる第２位置との間を移動するための駆動電圧を前記駆動機構に与える工程と、
前記アパーチャを通過した前記レーザ光を光電変換する工程と、
前記駆動電圧の波形と前記光電変換後の波形とを表示画面に表示させる工程と、
を含み、
前記対物レンズ駆動装置の検査を行うときに、必要に応じて前記駆動機構を構成するトラッキングコイルに印加させ、前記駆動機構を構成するフォーカスコイルに印加させる
ことを特徴とする対物レンズ駆動装置の検査方法。
【請求項６】
基台上で対物レンズを保持するホルダを当該対物レンズが少なくともフォーカス方向に移動するように駆動する駆動機構に対し、当該ホルダが当該基台の面に最も近づく第１位置と当該基台の面から当該第１位置よりも遠ざかる第２位置との間を移動するための駆動電圧を生成する駆動電圧生成器と、
前記対物レンズを介して出射されるレーザ光を通過させる所定径のアパーチャと、
前記アパーチャを通過した前記レーザ光を光電変換するセンサと、
前記光電変換後の信号に基づいて良否判定を行う制御装置と、
を備える
ことを特徴とする対物レンズ駆動装置の検査装置。
【請求項１】
基台と、対物レンズと、前記基台上で前記対物レンズを保持するホルダと、前記対物レンズが少なくともフォーカス方向に移動するように前記ホルダを駆動する駆動機構と、を有する対物レンズ駆動装置の検査方法において、
前記対物レンズを介してレーザ光を出射させる工程と、
前記対物レンズを介して出射される前記レーザ光を所定径のアパーチャに通過させる工程と、
前記ホルダが前記基台の面に最も近づく第１位置と前記基台の面から前記第１位置よりも遠ざかる第２位置との間を移動するための駆動電圧を前記駆動機構に与える工程と、
前記アパーチャを通過した前記レーザ光を光電変換する工程と、
前記光電変換後の信号に基づいて良否判定を行う工程と、
を含む
ことを特徴とする対物レンズ駆動装置の検査方法。
【請求項２】
請求項１に記載の対物レンズ駆動装置の検査方法において、
前記対物レンズ駆動装置の検査を行うときに、必要に応じて前記駆動機構を構成するトラッキングコイルに印加させ、前記駆動機構を構成するフォーカスコイルに印加させる
ことを特徴とする対物レンズ駆動装置の検査方法。
【請求項３】
請求項１に記載の対物レンズ駆動装置の検査方法において、
前記駆動機構は、前記対物レンズが前記フォーカス方向ならびに前記フォーカス方向に対して略直交する方向とされるトラッキング方向に移動するように前記ホルダを駆動する駆動機構とされ、
前記対物レンズ駆動装置の検査を行うときに、必要に応じて前記駆動機構を構成するトラッキングコイルに印加させ、前記駆動機構を構成するフォーカスコイルに印加させる
ことを特徴とする対物レンズ駆動装置の検査方法。
【請求項４】
基台と、対物レンズと、前記基台上で前記対物レンズを保持するホルダと、前記対物レンズが少なくともフォーカス方向に移動するように前記ホルダを駆動する駆動機構と、を有する対物レンズ駆動装置の検査方法において、
前記対物レンズを介してレーザ光を出射させる工程と、
前記対物レンズを介して出射される前記レーザ光を所定径のアパーチャに通過させる工程と、
前記ホルダが前記基台の面に最も近づく第１位置と前記基台の面から前記第１位置よりも遠ざかる第２位置との間を移動するための駆動電圧を前記駆動機構に与える工程と、
前記アパーチャを通過した前記レーザ光を光電変換する工程と、
前記光電変換後の信号に基づいて対物レンズ駆動装置の検査を行う工程と、
を含み、
前記対物レンズ駆動装置の検査を行うときに、必要に応じて前記駆動機構を構成するトラッキングコイルに印加させ、前記駆動機構を構成するフォーカスコイルに印加させる
ことを特徴とする対物レンズ駆動装置の検査方法。
【請求項５】
基台と、対物レンズと、前記基台上で前記対物レンズを保持するホルダと、前記対物レンズが少なくともフォーカス方向に移動するように前記ホルダを駆動する駆動機構と、を有する対物レンズ駆動装置の検査方法において、
前記対物レンズを介してレーザ光を出射させる工程と、
前記対物レンズを介して出射される前記レーザ光を所定径のアパーチャに通過させる工程と、
前記ホルダが前記基台の面に最も近づく第１位置と前記基台の面から前記第１位置より
も遠ざかる第２位置との間を移動するための駆動電圧を前記駆動機構に与える工程と、
前記アパーチャを通過した前記レーザ光を光電変換する工程と、
前記駆動電圧の波形と前記光電変換後の波形とを表示画面に表示させる工程と、
を含み、
前記対物レンズ駆動装置の検査を行うときに、必要に応じて前記駆動機構を構成するトラッキングコイルに印加させ、前記駆動機構を構成するフォーカスコイルに印加させる
ことを特徴とする対物レンズ駆動装置の検査方法。
【請求項６】
基台上で対物レンズを保持するホルダを当該対物レンズが少なくともフォーカス方向に移動するように駆動する駆動機構に対し、当該ホルダが当該基台の面に最も近づく第１位置と当該基台の面から当該第１位置よりも遠ざかる第２位置との間を移動するための駆動電圧を生成する駆動電圧生成器と、
前記対物レンズを介して出射されるレーザ光を通過させる所定径のアパーチャと、
前記アパーチャを通過した前記レーザ光を光電変換するセンサと、
前記光電変換後の信号に基づいて良否判定を行う制御装置と、
を備える
ことを特徴とする対物レンズ駆動装置の検査装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【公開番号】特開２０１０−１３５０４５（Ｐ２０１０−１３５０４５Ａ）
【公開日】平成２２年６月１７日（２０１０．６．１７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−４７９５０（Ｐ２００９−４７９５０）
【出願日】平成２１年３月２日（２００９．３．２）
【出願人】（０００００１８８９）三洋電機株式会社 (18,308)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年６月１７日（２０１０．６．１７）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年３月２日（２００９．３．２）
【出願人】（０００００１８８９）三洋電機株式会社 (18,308)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]