弾性波デバイス
【課題】小型化が可能な櫛形電極を用いた弾性波デバイスを提供する。
【解決手段】共振器１、２を含む弾性波デバイス８において、共振器１、２は一組の櫛形電極１０、２０、３０、４０を備え、櫛形電極それぞれの電極指は、弾性波伝播方向に交互に並ぶように配置される。電極指の交差幅は、弾性波伝播方向において変化している。共振器１、２は、弾性波伝播方向に垂直な方向に並んで配置されており、共振器１において交差幅が周りより短くなっている部分Ｓ１と、共振器２において交差幅が周りより長くなっている部分Ｌ２とが、弾性波伝播方向に垂直な方向において対向する位置に配置される。
【解決手段】共振器１、２を含む弾性波デバイス８において、共振器１、２は一組の櫛形電極１０、２０、３０、４０を備え、櫛形電極それぞれの電極指は、弾性波伝播方向に交互に並ぶように配置される。電極指の交差幅は、弾性波伝播方向において変化している。共振器１、２は、弾性波伝播方向に垂直な方向に並んで配置されており、共振器１において交差幅が周りより短くなっている部分Ｓ１と、共振器２において交差幅が周りより長くなっている部分Ｌ２とが、弾性波伝播方向に垂直な方向において対向する位置に配置される。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、通信機器等の電気回路に用いられる弾性波デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯電話等に用いられる高周波デバイスは、小型化が必須である。弾性表面（SAW）を用いたフィルタ、デュープレクサは、小型軽量といった特徴で携帯電話の小型化に貢献してきたが、さらに小型化、高性能化が求められている。低損失化のため、SAWの共振器を用いたラダータイプフィルタが一般に用いられている。また、高性能化のためにデバイスの持つ温度特性を改善しようとする技術がある。その一つとして、SAWを励振する櫛形電極の表面を正の温度係数を持つSiO2等で覆い、温度特性を補償する技術がある。これは、SAWの中でもラブ波と呼ばれる波を使うものである（例えば、特許文献１参照）。このような櫛形電極を有する弾性波フィルタは、櫛形電極の開口長方向に高次のモード（横モード）が立ちやすく、それを抑える技術として交差幅に重み付けをつけるアポタイズ重み付けが用いられてきた（例えば、特許文献２および特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開2007-251710号公報
【特許文献２】特開平8-125490号公報
【特許文献３】特開平3-216010号公報
【特許文献４】特許3119579号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、アポタイズ重み付けが成された櫛形電極は、励振に寄与しない電極（ダミー電極）が必要となる。そのため、ダミー電極の分だけ櫛形電極のサイズが大きくなってしまう。上記課題を鑑みて、本発明は、小型化が可能な櫛形電極を用いた弾性波デバイスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本願開示の弾性波デバイスは、圧電基板上に設けられた複数の共振器を含む弾性波デバイスであって、前記共振器は、前記圧電基板上に設けられた複数の電極指を有する、一組の櫛形電極を備える。前記一組の櫛形電極それぞれの電極指は、弾性波伝播方向に交互に並ぶように配置され、前記電極指の交差幅は、前記弾性波伝播方向において変化している。前記複数の共振器は、弾性波伝播方向に垂直な方向に並んで配置されており、前記複数の共振器のうち１の共振器において前記交差幅が周りより短くなっている部分と、前記１の共振器の隣の共振器において交差幅が周りより長くなっている部分とが、前記弾性波伝播方向に垂直な方向において対向する位置に配置される。
【発明の効果】
【０００６】
本願開示によれば、櫛形電極を用いた弾性波デバイスの小型化が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】第１の実施形態にかかる弾性波デバイスの上面図
【図２】図１に示す共振器の境界について説明するための図
【図３】比較のための弾性波デバイスの上面図
【図４】比較のための弾性波デバイスの上面図
【図５】第１の実施形態にかかる弾性波デバイスの変形例の上面図
【図６】第２の実施形態にかかる弾性波デバイスの上面図
【図７】第２の実施形態にかかる弾性波デバイスの変形例を示す上面図
【図８】電極指の周期が異なる櫛形電極が互いに接続される場合の例を示す上面図
【図９】通信機器の構成例を示す図
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して具体的に説明する。
【０００９】
（第１の実施形態）
［弾性波デバイスの構成］
図１は、第１の実施形態にかかる弾性波デバイスの上面図である。図１に示す弾性波デバイス８は、圧電基板７上に直列に接続された２つの共振器１、２を備える。共振器１は、弾性波を励起させる一組の櫛形電極１０、２０と、当該弾性波の伝播方向の両側に設けられた反射器３ａ、３ｂとを備える。櫛形電極１０、２０は、等間隔で平行に並ぶ複数の電極指１１、２１と、これら電極指１１、２１が接続されるバスバー１２、２２を有する。櫛形電極１０、２０それぞれの電極指１１、２１が交互にかつ平行に並ぶように一組の櫛形電極１０、２０は配置されている。弾性波は、電極指１１、２１に垂直な方向に伝播する。
【００１０】
なお、櫛形電極１０、２０は、ＩＤＴ(Inter Digital Transducer)電極とも称される。また、本実施形態では、複数の電極指とそれらが接続されるバスバーとを含む電極を櫛形電極としている。そして、２つの櫛形電極１０、２０（上下の櫛形電極とも称される）が、一組の櫛形電極として共振器を構成している例について説明している。
【００１１】
櫛形電極１０の電極指１１が、隣の電極指２１（他方の櫛形電極２０の電極指２１）と、弾性波の伝播方向において重なる（＝交差する）部分の長さ（＝交差幅）は、弾性波の伝播方向において変化している。すなわち、櫛形電極１０、２０の電極指１１、２１にはアポタイズ重み付けが施されている。共振器１においては、交差幅が周りより短くなっている部分Ｓ１と、交差幅が周りより長くなっている部分Ｌ１とが弾性波の伝播方向において周期的に現れるよう、アポタイズ重み付けされている。ここでは、交差幅の２つのピークおよびピークの両側の谷（３箇所）が周期的に現れている。
【００１２】
交差幅が短い部分Ｓ１から交差幅が長い部分Ｌ１にかけては、交差幅の電極指ごとの増加量は一定であり、交差幅が短い部分Ｓ１から交差幅が長い部分Ｌ１にかけては、交差幅の電極指ごとの減少量は一定である。
【００１３】
共振器２も共振器１と同様の構成である。すなわち、電極指３１およびバスバー２２を有する櫛形電極３０と、電極指４１、バスバー４２を有する櫛形電極４０とが、それぞれの電極指が交互かつ平行に並ぶように配置される。櫛形電極３０、４０の両側には、反射器４ａ、４ｂが設けられる。共振器２におけるアポタイズ重み付けも共振器１と同様である。
【００１４】
ここで、共振器２の一方の櫛形電極３０は、隣接する共振器１の櫛形電極２０とバスバー２２を共有している。すなわち、櫛形電極２０のバスバー２２と櫛形電極３０のバスバー２２にもなっている。これにより、共振器１と共振器２と接続される。なお、共振器１、２それぞれ櫛形電極にバスバーを設け、バスバー間を配線で接続してもよい。
【００１５】
図１に示す例では、共振器１における、共振器２に接続されていない方のバスバー１２には端子電極５が、共振器２におけるバスバー４２には端子電極６が接続されている。端子電極５、６間で、２つの共振器１、２が直列接続された構成となる。
【００１６】
共振器１において、交差幅が周りより大きくなっている部分Ｌ１は、共振器２において交差幅が回りより小さくなっている部分Ｓ１に対向する位置に配置される。すなわち、共振器１において交差幅が最大になっている部分Ｌ１と、共振器２において交差幅が最小になっている部分Ｓ２が、弾性波の伝播方向に垂直な方向に並ぶように配置される。この配置により、櫛形電極において、励振に寄与しないダミー電極部分の面積を減らし、基板上のスペースを有効に活用することができる。
【００１７】
図１に示す例では、共振器１における交差幅の変化の周期と、共振器２における交差幅の変化の周期は同じなので、共振器１における交差幅の３箇所の谷のうち２箇所に、共振器２における交差幅の２つのピークを対向させて配置することが可能である。このように、複数の共振器において、電極指の交差幅は、前記弾性波伝播方向において一定の周期で極大および極小になるように変化しており、１つの共振器において交差幅が極大になっている部分と、隣の共振器において交差幅が極小になっている部分とが、弾性波伝播方向に垂直な方向において対向するように、複数の共振器が配置されることが好ましい。これにより、１の共振器の交差幅極大の部分を、隣の共振器の交差幅極小の部分に、より効率よく適合させて配置することが可能になる。
【００１８】
また、共振器１における電極指１１、２１の交差部分の一部と、共振器２における電極指３１、４１の交差部分とは、弾性波伝播方向において重なるようにアポタイズ重み付けが施されている。そのため、交差部分が重なる分だけ、開口長方向のサイズを小さくすることができる。
【００１９】
ここで、互いに接続される、共振器１の櫛形電極２０と、共振器２の櫛形電極３０との境界の形状について説明する。図２は、図１に示す共振器１、２の境界について説明するための図である。図２に示す例では、共振器１における櫛形電極２０の電極指２１と櫛形電極１０の電極指１１との交差部分（互いに対向している部分）は、励振に寄与する部分と言える。同様に、共振器２において、櫛形電極３０の電極指３１と、櫛形電極４０の電極指４１との交差部分が励振に寄与する部分と言える。この共振器１の励振に寄与する部部と、共振器２の励振に寄与する部分とを弾性波伝播方向に垂直な方向に結ぶ線の中点Ｒの集合により表される線を境界Ｋとしている。すなわち、互いに接続される上下の櫛型電極２０、３０間のバスバーに相当する部分（励振に寄与しない櫛型電極部分と交差部分との境界の点Ｐ１、Ｐ２を結ぶ線の中点により表される線を櫛型電極２０、３０の境界Ｋとしている。
【００２０】
本実施形態では、境界Ｋは、櫛形電極１０、２０における電極指の交差部分の包絡線Ｆ２に沿った形となる。すなわち、櫛形電極２０と櫛形電極３０の境界に位置するバスバー２２は、櫛形電極１０、２０における電極指の交差部分の包絡線Ｆ２の一部と同じ形状である。これにより、ダミー電極をより減少させることができ、スペースをより効率よく使用することができる。
【００２１】
なお、図１、２に示す例では、櫛形電極１０、２０における電極指交差部分の包絡線Ｆ１、Ｆ２は、複数のピークまたは谷を含む折れ線で表されている。アポタイズ重み付けを電極指の交差部分の包絡線は、上記例に限られない。例えば、包絡線は、正弦歯曲線のような波形や、その他の曲線であってもよい。
【００２２】
また、本実施形態では、共振器１において交差幅が周りよりも短くなっている部分の電極指１１とバスバー２２とが接続される部分で、バスバー２２は、共振器１の電極指１１、２１の交差部分（共振部）方向へ屈曲している。すなわち、バスバー２２は、電極指１１、２１の交差幅が短い部分では、バスバーは交差幅の短い部分の方向へ屈曲して形成される。このように、バスバーを交差幅の短い側へ屈曲させることで、共振器の面積を縮小し、基板上のスペースを有効に活用することができる。
【００２３】
また、図１に示す例では、共振器１、２間の共有のバスバー２２が屈曲しているが、共振器１、２間を接続するバスバー２２のみでなく、共振器１、２の端子電極に接続される側のバスバー１２、４２が内側（交差部分側へ）屈曲していてもよい。これにより、共振器の面積をさらに縮小し、基板上のスペースをさらに有効に活用することができる。
【００２４】
［効果、その他］
図３および図４は、比較のための弾性波デバイスの上面図である。図３、４に示す弾性波デバイスでは、アポタイズ重み付けされた櫛形電極を備えた共振器１５および共振器１６が、直列に接続されている。図３では、共振器１５と共振器１６は、配線パターン１７で接続されている。図４では、共振器１５と共振器１６は、バスバー１８を共有している。図３、４いずれの場合も、共振器１５における、電極指の交差幅の極大部分と、共振器１６における電極指の交差幅の極大部分とが対向するように配置されている。
【００２５】
これに対して、図１、２では、共振器１の交差幅の極大部分Ｌ１と、共振器２の交差幅の極小部分Ｓ２とが、対向するように配置されている。そのため、図３、４に示す構成に比べて、互いに接続される櫛形電極２０、３０間の距離を小さくできる。その結果、図１、２に示す弾性波デバイスの開口長方向のサイズＨ１は、図３、４に示す弾性波デバイスの開口長方向のサイズＨ２、Ｈ３いずれよりも小さくすることができる。すなわち、弾性波デバイスの小型化が可能になる。
【００２６】
携帯電話等向けの櫛形電極を有する弾性波デバイスには、圧電基板として、例えば、LiTaO3が用いられる。また、ラブ波の実用化と広帯域化の要求から、電気機械結合係数k2のより大きなLiNbO3基板も用いられることもある。LiTaO3基板に対し、LiNbO3基板は、櫛形電極の開口長方向に高次のモード（横モード）が立ちやすく、それを抑える技術として、アポタイズ重み付けが好適に用いられる。
【００２７】
ところで、櫛形電極の電極指の周期λは、用いる圧電基板の音速vとフィルタの周波数fによっておおよそ決まり、それらの関係は、例えば、（式）v=fλで表すことができる。櫛形電極の対数（ついすう）は、所望のインピーダンスによって決まる。したがって、圧電基板とフィルタの周波数が決まれば、櫛形電極のサイズもほぼ決まる。そのため、従来の櫛形電極の構成では、それ以上の小型化が困難であった。本実施形態によれば、アポタイズ重み付けにより、高次モードを有効に抑えつつも、櫛形電極の小型化が可能になる。
【００２８】
（変形例）
図５は、第１の実施形態にかかる弾性波デバイスの変形例の上面図である。図５において、図１および図２と同じ部分には、同じ番号を付している。図５に示す弾性波デバイス８ａにおいては、図１にしめすように互いに接続される櫛形電極２０、３０がバスバー２２を共有する代わりに、隣り合う共振器間１，２において互いに接続される櫛形電極２０、３０が電極指１９を共有している。これにより、バスバー２２を一部省略できる。バスバーの省略によりさらなる小型化が可能になる。
【００２９】
すなわち、櫛形電極２０の交差部分と櫛形電極３０の交差部分とが弾性波の伝播方向に垂直な方向において対向している部分では、櫛形電極２０と櫛形電極３０は、電極指１９を共有している。すなわち、共振器１の他方（共振器２に接続されていない方）の櫛形電極１０の電極指１１と、共振器２における他方（共振器１に接続されていない方）の櫛形電極４０の電極指４１との間には、共通の電極指１９が設けられている。電極指１９は、櫛形電極２０の電極指であり、櫛形電極３０の電極指でもある。なお、櫛形電極２０の交差部分と櫛形電極３０の交差部分が対向していない部分には、バスバー２２、３２が設けられる。このように、櫛形電極は、バスバーと、バスバーに接続される複数の電極指を備える構成に限られず、複数の電極指のみを備える構成であってもよい。
【００３０】
そして、互いに接続される櫛形電極２０、３０間の境界Ｋは、櫛形電極２０の交差部分の包絡線Ｆ２に沿った形状となっている。図５に示す構成の弾性波デバイスも、図１のバスバー２２を有する場合と同様に、直列に接続された２つの共振器として機能する。また、境界Ｋが、櫛形電極２０の交差部分の包絡線Ｆ２に沿った形状となるため、ダミー電極をより減少させることができ、スペースをより効率よく使用することができる。なお、本変形例のようなバスバーの省略は、電極指の周期が同じ共振器を接続する場合に、特に有効である。
【００３１】
（第２の実施形態）
図６は、第２の実施形態にかかる弾性波デバイスの上面図である。図５において、図１および図２と同じ部分には、同じ番号を付している。図６に示す弾性波デバイス８ｂは、２つの端子電極５、６間で直列に接続された２つの共振器１、２を含む。
【００３２】
共振器１では、バスバー１２に接続された電極指１１と、共有の電極指１９との交差部分で弾性波が励振される。共振器２では、共有の電極指１９とバスバー４２に接続された電極指４１との交差部分で弾性波が励振される。共振器１における電極指１１、１９の交差幅は、周期的に現れる２つの極大部分と、極大部分の両側の極小部分を有するように、アポタイズ重み付けされている。共振器２における電極指１９、４１の交差幅は共振器１における２つの極大部分が極小になり、共振器１の極小部分において極大になるようにアポタイズ重み付けされている。
【００３３】
また、共振器１における櫛形電極１０と共振器２における櫛形電極４０との境界Ｋは、共振器１における電極指１１、１９の交差部分の包絡線および共振器２における電極指１９、４１の交差部分の包絡線と同じ形状になっている。
【００３４】
さらに、互いに接続される共振器１および共振器２の電極指交差部分の伝搬路方向の長さは、共振器１、２いずれか１つの共振器の電極指交差部分の長さと同じになるように、それぞれの交差部分が配置されている。すなわち、互いに接続される櫛形電極の伝搬路方向の長さＬ１が、一つの櫛形電極よりも大きくならない。このように、アポタイズ位置を設定することで、伝搬方向のサイズは大きくならず、開口長方向のサイズを小さくできる。
【００３５】
（変形例）
図７は、第２の実施形態にかかる弾性波デバイスの変形例を示す上面図である。図７に示す弾性波デバイス８ｃでは、対数の異なる共振器１、２が直列に接続されている。共振器１における交差幅の極大部分が、共振器２における交差幅が極小部分に対向するようにアポタイズ重み付けが設定される。共振器１の電極指１１、１９の交差部分と、共振器２の電極指１９、４１の交差部分とが対向する部分では、電極指１９を、共振器１と共振器２で共有されている。図７に示す構成により、伝搬方向のサイズは変えず、かつ、交差幅の最大値も変えずに、小型化が可能になる。
【００３６】
［その他の変形例］
上記実施形態においては、互いに接続される共振器１、２双方における電極指の交差部分の包絡線の形状が同じである場合を説明したが、必ずしも同じでなくてもよい。例えば、交差幅の極大値が異なる場合であっても、共振器１の交差幅極大部分と共振器２の交差幅極小部分を対向させて配置することで、小型化は可能である。
【００３７】
また、交差幅の変化の周期が共振器１、２で異なる場合も、共振器１の交差幅極大部分を、共振器２の交差幅極小部分の付近に対向させて配置することで、小型化は可能である。
【００３８】
また、共振器周波数（周期）が異なる複数の共振器を接続する場合も、同様に、小型化が可能である。例えば、共振器周波数が異なる共振器は、互いに接続される櫛形電極の電極指の周期が異なる。例えば、図１に示すように互いに接続される櫛形電極間に共有のバスバーを設けることで、電極指の周期が異なる共振器を接続することができる。
【００３９】
図８は、電極指の周期が異なる櫛形電極が互いに接続される場合の例を示す上面図である。図８において、図６と同じ部分には同じ符号を付している。図８に示す例では、共振器１における櫛形電極１０の電極指１１の周期と、共振器２ａにおける櫛形電極４０ａの電極指４１ａの周期は異なっている。電極指１１は、弾性波伝播方向において、共有の電極指１９の一部と対向（交差）している。電極指４１ａも、また、共有の電極指１９の他の部分と対向（交差）している。電極指１１と電極指１９の交差部分と、電極指４１ａと電極指１９との交差部分との間の領域において、電極指１９が曲げて形成されている。このように、共有の電極指１９の一部を曲げて形成することで、周期の異なる電極指を持つ共振器１、２ａを接続している。
【００４０】
例えば、共振器を直列と並列に接続したラダータイプフィルタでは、直列共振器の共振周波数と、並列共振器の反共振周波数がほぼ一致するように櫛形電極は調整されている。しかし、直列共振器どうしでも所望の特性を得るために、周波数（周期）が異なっている場合がある。また、フィルタの並列腕に、複数の周波数（周期）の異なる共振器を直列に接続したものを挿入する場合もある。このような場合でも、上記実施形態を適用できる
また、以上の実施形態では、開口幅方向の縮小を最優先にした場合の例を説明した。すなわち、共振器の交差幅が周りより最も短くなっている部分（谷の位置）、隣の共振器の交差幅が周りより最も長くなっている部分（ピークの位置）とが、弾性波伝播方向に垂直な方向において同じ位置にある例を説明した。一方の共振器における交差幅が極大の位置と、その隣の共振器における交差幅が極小の位置とは、弾性波伝播方向において厳密に一致する必要は必ずしもない。例えば、上記極小位置と上記極大位置とが少々ずれていても、共振器の交差幅が周りより短くなっている部分と、隣の共振器の交差幅が周りより長くなっている部分とが、弾性波伝播方向に垂直な方向において対向する位置にあれば、共振器の面積を縮小させ、面積の有効利用が可能になる。このような面積の縮小効果と、その他の種々の条件とのバランスを考慮して、適切に電極指を配置することが好ましい。
【００４１】
例えば、図５や図７で示したような、バスバー２２が細くなってしまう場合において、バスバーの抵抗と、面積の有効利用とのバランスを考慮した位置に電極指およびバスバーを配置する事が望ましい。あるいは図１や図２や図５で示した例で、かつ、横方向に無限に余裕が無い場合において、縦方向と横方向の面積のバランスを考慮した位置に電極指およびバスバーを配置する事が望ましい。
【００４２】
また、上記実施形態では、共振器が直列に接続される場合について説明したが、同様にして複数の共振器を並列に接続することもできる。例えば、図１に示す構成において、共有のバスバー２２から配線を引き出して信号線に接続し、端子電極６をグランドに接続することで、信号線に対して並列に接続された共振器が得られる。あるいは、バスバー２２に信号線をつないで、端子電極５および端子電極６をＧＮＤに落としたものでもよい。
【００４３】
上記実施形態では、圧電基板７上に２つの共振器が設けられる場合を例示したが、例えば、圧電基板７上に３つ以上の共振器を設けた弾性波フィルタも、本発明の実施形態に含まれる。また、上記の弾性波デバイスや、弾性波フィルタを含むモジュール、通信機器も本発明の実施形態の一つである。
【００４４】
図９は、通信機器の構成例を示す図である。図９に示す通信機器５０においては、モジュール基板５１上に、通信モジュール６０、ＲＦＩＣ５３およびベースバンドＩＣ５４が設けられている。通信モジュール６０には、例えば、上記実施形態で示した弾性波デバイスを用いることができる。
【００４５】
通信モジュール６０の送信端子ＴｘはＲＦＩＣ５３に接続され、受信端子ＲｘもＲＦＩＣ５３に接続されている。ＲＦＩＣ５３はベースバンドＩＣ５４に接続されている。ＲＦＩＣ５３は、半導体チップおよびその他の部品により形成することができる。ＲＦＩＣ５３には、受信端子から入力された受信信号を処理するための受信回路および、送信信号を処理するための送信回路を含む回路が集積されている。
【００４６】
また、ベースバンドＩＣ５４も半導体チップおよびその他の部品により実現することができる。ベースバンドＩＣ５４には、ＲＦＩＣ５３に含まれる受信回路から受け取った受信信号を、音声信号やパッケットデータに変換するための回路と、音声信号やパッケットデータを送信信号に変換してＲＦＩＣ５３に含まれる送信回路に出力するため回路とが集積される。
【００４７】
図示しないが、ベースバンドＩＣ５４には、例えば、スピーカ、ディスプレイ等の出力機器が接続されており、ベースバンドＩＣ５４で受信信号から変換された音声信号やパケットデータを出力し、通信機器５０のユーザに認識させることができる。また、マイク、ボタン等の通信機器５０が備える入力機器もベースバンドＩＣ５４に接続されており、ユーザから入力された音声やデータをベースバンドＩＣ５４が送信信号に変換することができる構成になっている。なお、通信機器５０の構成は、図９に示す例に限られない。
【符号の説明】
【００４８】
１，２ 共振器
３ａ、４ａ 反射器
５，６ 端子電極
７ 圧電基板
８ 弾性波デバイス
１０、２０、３０、４０ 櫛形電極
１１、１９、２１、３１、４１ 電極指
１２、２２、３２、４２ バスバー
５０ 通信機器
５１ モジュール基板
６０ 通信モジュール
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、通信機器等の電気回路に用いられる弾性波デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯電話等に用いられる高周波デバイスは、小型化が必須である。弾性表面（SAW）を用いたフィルタ、デュープレクサは、小型軽量といった特徴で携帯電話の小型化に貢献してきたが、さらに小型化、高性能化が求められている。低損失化のため、SAWの共振器を用いたラダータイプフィルタが一般に用いられている。また、高性能化のためにデバイスの持つ温度特性を改善しようとする技術がある。その一つとして、SAWを励振する櫛形電極の表面を正の温度係数を持つSiO2等で覆い、温度特性を補償する技術がある。これは、SAWの中でもラブ波と呼ばれる波を使うものである（例えば、特許文献１参照）。このような櫛形電極を有する弾性波フィルタは、櫛形電極の開口長方向に高次のモード（横モード）が立ちやすく、それを抑える技術として交差幅に重み付けをつけるアポタイズ重み付けが用いられてきた（例えば、特許文献２および特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開2007-251710号公報
【特許文献２】特開平8-125490号公報
【特許文献３】特開平3-216010号公報
【特許文献４】特許3119579号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、アポタイズ重み付けが成された櫛形電極は、励振に寄与しない電極（ダミー電極）が必要となる。そのため、ダミー電極の分だけ櫛形電極のサイズが大きくなってしまう。上記課題を鑑みて、本発明は、小型化が可能な櫛形電極を用いた弾性波デバイスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本願開示の弾性波デバイスは、圧電基板上に設けられた複数の共振器を含む弾性波デバイスであって、前記共振器は、前記圧電基板上に設けられた複数の電極指を有する、一組の櫛形電極を備える。前記一組の櫛形電極それぞれの電極指は、弾性波伝播方向に交互に並ぶように配置され、前記電極指の交差幅は、前記弾性波伝播方向において変化している。前記複数の共振器は、弾性波伝播方向に垂直な方向に並んで配置されており、前記複数の共振器のうち１の共振器において前記交差幅が周りより短くなっている部分と、前記１の共振器の隣の共振器において交差幅が周りより長くなっている部分とが、前記弾性波伝播方向に垂直な方向において対向する位置に配置される。
【発明の効果】
【０００６】
本願開示によれば、櫛形電極を用いた弾性波デバイスの小型化が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】第１の実施形態にかかる弾性波デバイスの上面図
【図２】図１に示す共振器の境界について説明するための図
【図３】比較のための弾性波デバイスの上面図
【図４】比較のための弾性波デバイスの上面図
【図５】第１の実施形態にかかる弾性波デバイスの変形例の上面図
【図６】第２の実施形態にかかる弾性波デバイスの上面図
【図７】第２の実施形態にかかる弾性波デバイスの変形例を示す上面図
【図８】電極指の周期が異なる櫛形電極が互いに接続される場合の例を示す上面図
【図９】通信機器の構成例を示す図
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して具体的に説明する。
【０００９】
（第１の実施形態）
［弾性波デバイスの構成］
図１は、第１の実施形態にかかる弾性波デバイスの上面図である。図１に示す弾性波デバイス８は、圧電基板７上に直列に接続された２つの共振器１、２を備える。共振器１は、弾性波を励起させる一組の櫛形電極１０、２０と、当該弾性波の伝播方向の両側に設けられた反射器３ａ、３ｂとを備える。櫛形電極１０、２０は、等間隔で平行に並ぶ複数の電極指１１、２１と、これら電極指１１、２１が接続されるバスバー１２、２２を有する。櫛形電極１０、２０それぞれの電極指１１、２１が交互にかつ平行に並ぶように一組の櫛形電極１０、２０は配置されている。弾性波は、電極指１１、２１に垂直な方向に伝播する。
【００１０】
なお、櫛形電極１０、２０は、ＩＤＴ(Inter Digital Transducer)電極とも称される。また、本実施形態では、複数の電極指とそれらが接続されるバスバーとを含む電極を櫛形電極としている。そして、２つの櫛形電極１０、２０（上下の櫛形電極とも称される）が、一組の櫛形電極として共振器を構成している例について説明している。
【００１１】
櫛形電極１０の電極指１１が、隣の電極指２１（他方の櫛形電極２０の電極指２１）と、弾性波の伝播方向において重なる（＝交差する）部分の長さ（＝交差幅）は、弾性波の伝播方向において変化している。すなわち、櫛形電極１０、２０の電極指１１、２１にはアポタイズ重み付けが施されている。共振器１においては、交差幅が周りより短くなっている部分Ｓ１と、交差幅が周りより長くなっている部分Ｌ１とが弾性波の伝播方向において周期的に現れるよう、アポタイズ重み付けされている。ここでは、交差幅の２つのピークおよびピークの両側の谷（３箇所）が周期的に現れている。
【００１２】
交差幅が短い部分Ｓ１から交差幅が長い部分Ｌ１にかけては、交差幅の電極指ごとの増加量は一定であり、交差幅が短い部分Ｓ１から交差幅が長い部分Ｌ１にかけては、交差幅の電極指ごとの減少量は一定である。
【００１３】
共振器２も共振器１と同様の構成である。すなわち、電極指３１およびバスバー２２を有する櫛形電極３０と、電極指４１、バスバー４２を有する櫛形電極４０とが、それぞれの電極指が交互かつ平行に並ぶように配置される。櫛形電極３０、４０の両側には、反射器４ａ、４ｂが設けられる。共振器２におけるアポタイズ重み付けも共振器１と同様である。
【００１４】
ここで、共振器２の一方の櫛形電極３０は、隣接する共振器１の櫛形電極２０とバスバー２２を共有している。すなわち、櫛形電極２０のバスバー２２と櫛形電極３０のバスバー２２にもなっている。これにより、共振器１と共振器２と接続される。なお、共振器１、２それぞれ櫛形電極にバスバーを設け、バスバー間を配線で接続してもよい。
【００１５】
図１に示す例では、共振器１における、共振器２に接続されていない方のバスバー１２には端子電極５が、共振器２におけるバスバー４２には端子電極６が接続されている。端子電極５、６間で、２つの共振器１、２が直列接続された構成となる。
【００１６】
共振器１において、交差幅が周りより大きくなっている部分Ｌ１は、共振器２において交差幅が回りより小さくなっている部分Ｓ１に対向する位置に配置される。すなわち、共振器１において交差幅が最大になっている部分Ｌ１と、共振器２において交差幅が最小になっている部分Ｓ２が、弾性波の伝播方向に垂直な方向に並ぶように配置される。この配置により、櫛形電極において、励振に寄与しないダミー電極部分の面積を減らし、基板上のスペースを有効に活用することができる。
【００１７】
図１に示す例では、共振器１における交差幅の変化の周期と、共振器２における交差幅の変化の周期は同じなので、共振器１における交差幅の３箇所の谷のうち２箇所に、共振器２における交差幅の２つのピークを対向させて配置することが可能である。このように、複数の共振器において、電極指の交差幅は、前記弾性波伝播方向において一定の周期で極大および極小になるように変化しており、１つの共振器において交差幅が極大になっている部分と、隣の共振器において交差幅が極小になっている部分とが、弾性波伝播方向に垂直な方向において対向するように、複数の共振器が配置されることが好ましい。これにより、１の共振器の交差幅極大の部分を、隣の共振器の交差幅極小の部分に、より効率よく適合させて配置することが可能になる。
【００１８】
また、共振器１における電極指１１、２１の交差部分の一部と、共振器２における電極指３１、４１の交差部分とは、弾性波伝播方向において重なるようにアポタイズ重み付けが施されている。そのため、交差部分が重なる分だけ、開口長方向のサイズを小さくすることができる。
【００１９】
ここで、互いに接続される、共振器１の櫛形電極２０と、共振器２の櫛形電極３０との境界の形状について説明する。図２は、図１に示す共振器１、２の境界について説明するための図である。図２に示す例では、共振器１における櫛形電極２０の電極指２１と櫛形電極１０の電極指１１との交差部分（互いに対向している部分）は、励振に寄与する部分と言える。同様に、共振器２において、櫛形電極３０の電極指３１と、櫛形電極４０の電極指４１との交差部分が励振に寄与する部分と言える。この共振器１の励振に寄与する部部と、共振器２の励振に寄与する部分とを弾性波伝播方向に垂直な方向に結ぶ線の中点Ｒの集合により表される線を境界Ｋとしている。すなわち、互いに接続される上下の櫛型電極２０、３０間のバスバーに相当する部分（励振に寄与しない櫛型電極部分と交差部分との境界の点Ｐ１、Ｐ２を結ぶ線の中点により表される線を櫛型電極２０、３０の境界Ｋとしている。
【００２０】
本実施形態では、境界Ｋは、櫛形電極１０、２０における電極指の交差部分の包絡線Ｆ２に沿った形となる。すなわち、櫛形電極２０と櫛形電極３０の境界に位置するバスバー２２は、櫛形電極１０、２０における電極指の交差部分の包絡線Ｆ２の一部と同じ形状である。これにより、ダミー電極をより減少させることができ、スペースをより効率よく使用することができる。
【００２１】
なお、図１、２に示す例では、櫛形電極１０、２０における電極指交差部分の包絡線Ｆ１、Ｆ２は、複数のピークまたは谷を含む折れ線で表されている。アポタイズ重み付けを電極指の交差部分の包絡線は、上記例に限られない。例えば、包絡線は、正弦歯曲線のような波形や、その他の曲線であってもよい。
【００２２】
また、本実施形態では、共振器１において交差幅が周りよりも短くなっている部分の電極指１１とバスバー２２とが接続される部分で、バスバー２２は、共振器１の電極指１１、２１の交差部分（共振部）方向へ屈曲している。すなわち、バスバー２２は、電極指１１、２１の交差幅が短い部分では、バスバーは交差幅の短い部分の方向へ屈曲して形成される。このように、バスバーを交差幅の短い側へ屈曲させることで、共振器の面積を縮小し、基板上のスペースを有効に活用することができる。
【００２３】
また、図１に示す例では、共振器１、２間の共有のバスバー２２が屈曲しているが、共振器１、２間を接続するバスバー２２のみでなく、共振器１、２の端子電極に接続される側のバスバー１２、４２が内側（交差部分側へ）屈曲していてもよい。これにより、共振器の面積をさらに縮小し、基板上のスペースをさらに有効に活用することができる。
【００２４】
［効果、その他］
図３および図４は、比較のための弾性波デバイスの上面図である。図３、４に示す弾性波デバイスでは、アポタイズ重み付けされた櫛形電極を備えた共振器１５および共振器１６が、直列に接続されている。図３では、共振器１５と共振器１６は、配線パターン１７で接続されている。図４では、共振器１５と共振器１６は、バスバー１８を共有している。図３、４いずれの場合も、共振器１５における、電極指の交差幅の極大部分と、共振器１６における電極指の交差幅の極大部分とが対向するように配置されている。
【００２５】
これに対して、図１、２では、共振器１の交差幅の極大部分Ｌ１と、共振器２の交差幅の極小部分Ｓ２とが、対向するように配置されている。そのため、図３、４に示す構成に比べて、互いに接続される櫛形電極２０、３０間の距離を小さくできる。その結果、図１、２に示す弾性波デバイスの開口長方向のサイズＨ１は、図３、４に示す弾性波デバイスの開口長方向のサイズＨ２、Ｈ３いずれよりも小さくすることができる。すなわち、弾性波デバイスの小型化が可能になる。
【００２６】
携帯電話等向けの櫛形電極を有する弾性波デバイスには、圧電基板として、例えば、LiTaO3が用いられる。また、ラブ波の実用化と広帯域化の要求から、電気機械結合係数k2のより大きなLiNbO3基板も用いられることもある。LiTaO3基板に対し、LiNbO3基板は、櫛形電極の開口長方向に高次のモード（横モード）が立ちやすく、それを抑える技術として、アポタイズ重み付けが好適に用いられる。
【００２７】
ところで、櫛形電極の電極指の周期λは、用いる圧電基板の音速vとフィルタの周波数fによっておおよそ決まり、それらの関係は、例えば、（式）v=fλで表すことができる。櫛形電極の対数（ついすう）は、所望のインピーダンスによって決まる。したがって、圧電基板とフィルタの周波数が決まれば、櫛形電極のサイズもほぼ決まる。そのため、従来の櫛形電極の構成では、それ以上の小型化が困難であった。本実施形態によれば、アポタイズ重み付けにより、高次モードを有効に抑えつつも、櫛形電極の小型化が可能になる。
【００２８】
（変形例）
図５は、第１の実施形態にかかる弾性波デバイスの変形例の上面図である。図５において、図１および図２と同じ部分には、同じ番号を付している。図５に示す弾性波デバイス８ａにおいては、図１にしめすように互いに接続される櫛形電極２０、３０がバスバー２２を共有する代わりに、隣り合う共振器間１，２において互いに接続される櫛形電極２０、３０が電極指１９を共有している。これにより、バスバー２２を一部省略できる。バスバーの省略によりさらなる小型化が可能になる。
【００２９】
すなわち、櫛形電極２０の交差部分と櫛形電極３０の交差部分とが弾性波の伝播方向に垂直な方向において対向している部分では、櫛形電極２０と櫛形電極３０は、電極指１９を共有している。すなわち、共振器１の他方（共振器２に接続されていない方）の櫛形電極１０の電極指１１と、共振器２における他方（共振器１に接続されていない方）の櫛形電極４０の電極指４１との間には、共通の電極指１９が設けられている。電極指１９は、櫛形電極２０の電極指であり、櫛形電極３０の電極指でもある。なお、櫛形電極２０の交差部分と櫛形電極３０の交差部分が対向していない部分には、バスバー２２、３２が設けられる。このように、櫛形電極は、バスバーと、バスバーに接続される複数の電極指を備える構成に限られず、複数の電極指のみを備える構成であってもよい。
【００３０】
そして、互いに接続される櫛形電極２０、３０間の境界Ｋは、櫛形電極２０の交差部分の包絡線Ｆ２に沿った形状となっている。図５に示す構成の弾性波デバイスも、図１のバスバー２２を有する場合と同様に、直列に接続された２つの共振器として機能する。また、境界Ｋが、櫛形電極２０の交差部分の包絡線Ｆ２に沿った形状となるため、ダミー電極をより減少させることができ、スペースをより効率よく使用することができる。なお、本変形例のようなバスバーの省略は、電極指の周期が同じ共振器を接続する場合に、特に有効である。
【００３１】
（第２の実施形態）
図６は、第２の実施形態にかかる弾性波デバイスの上面図である。図５において、図１および図２と同じ部分には、同じ番号を付している。図６に示す弾性波デバイス８ｂは、２つの端子電極５、６間で直列に接続された２つの共振器１、２を含む。
【００３２】
共振器１では、バスバー１２に接続された電極指１１と、共有の電極指１９との交差部分で弾性波が励振される。共振器２では、共有の電極指１９とバスバー４２に接続された電極指４１との交差部分で弾性波が励振される。共振器１における電極指１１、１９の交差幅は、周期的に現れる２つの極大部分と、極大部分の両側の極小部分を有するように、アポタイズ重み付けされている。共振器２における電極指１９、４１の交差幅は共振器１における２つの極大部分が極小になり、共振器１の極小部分において極大になるようにアポタイズ重み付けされている。
【００３３】
また、共振器１における櫛形電極１０と共振器２における櫛形電極４０との境界Ｋは、共振器１における電極指１１、１９の交差部分の包絡線および共振器２における電極指１９、４１の交差部分の包絡線と同じ形状になっている。
【００３４】
さらに、互いに接続される共振器１および共振器２の電極指交差部分の伝搬路方向の長さは、共振器１、２いずれか１つの共振器の電極指交差部分の長さと同じになるように、それぞれの交差部分が配置されている。すなわち、互いに接続される櫛形電極の伝搬路方向の長さＬ１が、一つの櫛形電極よりも大きくならない。このように、アポタイズ位置を設定することで、伝搬方向のサイズは大きくならず、開口長方向のサイズを小さくできる。
【００３５】
（変形例）
図７は、第２の実施形態にかかる弾性波デバイスの変形例を示す上面図である。図７に示す弾性波デバイス８ｃでは、対数の異なる共振器１、２が直列に接続されている。共振器１における交差幅の極大部分が、共振器２における交差幅が極小部分に対向するようにアポタイズ重み付けが設定される。共振器１の電極指１１、１９の交差部分と、共振器２の電極指１９、４１の交差部分とが対向する部分では、電極指１９を、共振器１と共振器２で共有されている。図７に示す構成により、伝搬方向のサイズは変えず、かつ、交差幅の最大値も変えずに、小型化が可能になる。
【００３６】
［その他の変形例］
上記実施形態においては、互いに接続される共振器１、２双方における電極指の交差部分の包絡線の形状が同じである場合を説明したが、必ずしも同じでなくてもよい。例えば、交差幅の極大値が異なる場合であっても、共振器１の交差幅極大部分と共振器２の交差幅極小部分を対向させて配置することで、小型化は可能である。
【００３７】
また、交差幅の変化の周期が共振器１、２で異なる場合も、共振器１の交差幅極大部分を、共振器２の交差幅極小部分の付近に対向させて配置することで、小型化は可能である。
【００３８】
また、共振器周波数（周期）が異なる複数の共振器を接続する場合も、同様に、小型化が可能である。例えば、共振器周波数が異なる共振器は、互いに接続される櫛形電極の電極指の周期が異なる。例えば、図１に示すように互いに接続される櫛形電極間に共有のバスバーを設けることで、電極指の周期が異なる共振器を接続することができる。
【００３９】
図８は、電極指の周期が異なる櫛形電極が互いに接続される場合の例を示す上面図である。図８において、図６と同じ部分には同じ符号を付している。図８に示す例では、共振器１における櫛形電極１０の電極指１１の周期と、共振器２ａにおける櫛形電極４０ａの電極指４１ａの周期は異なっている。電極指１１は、弾性波伝播方向において、共有の電極指１９の一部と対向（交差）している。電極指４１ａも、また、共有の電極指１９の他の部分と対向（交差）している。電極指１１と電極指１９の交差部分と、電極指４１ａと電極指１９との交差部分との間の領域において、電極指１９が曲げて形成されている。このように、共有の電極指１９の一部を曲げて形成することで、周期の異なる電極指を持つ共振器１、２ａを接続している。
【００４０】
例えば、共振器を直列と並列に接続したラダータイプフィルタでは、直列共振器の共振周波数と、並列共振器の反共振周波数がほぼ一致するように櫛形電極は調整されている。しかし、直列共振器どうしでも所望の特性を得るために、周波数（周期）が異なっている場合がある。また、フィルタの並列腕に、複数の周波数（周期）の異なる共振器を直列に接続したものを挿入する場合もある。このような場合でも、上記実施形態を適用できる
また、以上の実施形態では、開口幅方向の縮小を最優先にした場合の例を説明した。すなわち、共振器の交差幅が周りより最も短くなっている部分（谷の位置）、隣の共振器の交差幅が周りより最も長くなっている部分（ピークの位置）とが、弾性波伝播方向に垂直な方向において同じ位置にある例を説明した。一方の共振器における交差幅が極大の位置と、その隣の共振器における交差幅が極小の位置とは、弾性波伝播方向において厳密に一致する必要は必ずしもない。例えば、上記極小位置と上記極大位置とが少々ずれていても、共振器の交差幅が周りより短くなっている部分と、隣の共振器の交差幅が周りより長くなっている部分とが、弾性波伝播方向に垂直な方向において対向する位置にあれば、共振器の面積を縮小させ、面積の有効利用が可能になる。このような面積の縮小効果と、その他の種々の条件とのバランスを考慮して、適切に電極指を配置することが好ましい。
【００４１】
例えば、図５や図７で示したような、バスバー２２が細くなってしまう場合において、バスバーの抵抗と、面積の有効利用とのバランスを考慮した位置に電極指およびバスバーを配置する事が望ましい。あるいは図１や図２や図５で示した例で、かつ、横方向に無限に余裕が無い場合において、縦方向と横方向の面積のバランスを考慮した位置に電極指およびバスバーを配置する事が望ましい。
【００４２】
また、上記実施形態では、共振器が直列に接続される場合について説明したが、同様にして複数の共振器を並列に接続することもできる。例えば、図１に示す構成において、共有のバスバー２２から配線を引き出して信号線に接続し、端子電極６をグランドに接続することで、信号線に対して並列に接続された共振器が得られる。あるいは、バスバー２２に信号線をつないで、端子電極５および端子電極６をＧＮＤに落としたものでもよい。
【００４３】
上記実施形態では、圧電基板７上に２つの共振器が設けられる場合を例示したが、例えば、圧電基板７上に３つ以上の共振器を設けた弾性波フィルタも、本発明の実施形態に含まれる。また、上記の弾性波デバイスや、弾性波フィルタを含むモジュール、通信機器も本発明の実施形態の一つである。
【００４４】
図９は、通信機器の構成例を示す図である。図９に示す通信機器５０においては、モジュール基板５１上に、通信モジュール６０、ＲＦＩＣ５３およびベースバンドＩＣ５４が設けられている。通信モジュール６０には、例えば、上記実施形態で示した弾性波デバイスを用いることができる。
【００４５】
通信モジュール６０の送信端子ＴｘはＲＦＩＣ５３に接続され、受信端子ＲｘもＲＦＩＣ５３に接続されている。ＲＦＩＣ５３はベースバンドＩＣ５４に接続されている。ＲＦＩＣ５３は、半導体チップおよびその他の部品により形成することができる。ＲＦＩＣ５３には、受信端子から入力された受信信号を処理するための受信回路および、送信信号を処理するための送信回路を含む回路が集積されている。
【００４６】
また、ベースバンドＩＣ５４も半導体チップおよびその他の部品により実現することができる。ベースバンドＩＣ５４には、ＲＦＩＣ５３に含まれる受信回路から受け取った受信信号を、音声信号やパッケットデータに変換するための回路と、音声信号やパッケットデータを送信信号に変換してＲＦＩＣ５３に含まれる送信回路に出力するため回路とが集積される。
【００４７】
図示しないが、ベースバンドＩＣ５４には、例えば、スピーカ、ディスプレイ等の出力機器が接続されており、ベースバンドＩＣ５４で受信信号から変換された音声信号やパケットデータを出力し、通信機器５０のユーザに認識させることができる。また、マイク、ボタン等の通信機器５０が備える入力機器もベースバンドＩＣ５４に接続されており、ユーザから入力された音声やデータをベースバンドＩＣ５４が送信信号に変換することができる構成になっている。なお、通信機器５０の構成は、図９に示す例に限られない。
【符号の説明】
【００４８】
１，２ 共振器
３ａ、４ａ 反射器
５，６ 端子電極
７ 圧電基板
８ 弾性波デバイス
１０、２０、３０、４０ 櫛形電極
１１、１９、２１、３１、４１ 電極指
１２、２２、３２、４２ バスバー
５０ 通信機器
５１ モジュール基板
６０ 通信モジュール
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電基板上に設けられた複数の共振器を含む弾性波デバイスであって、
前記共振器は、前記圧電基板上に設けられた複数の電極指を有する、一組の櫛形電極を備え、
前記一組の櫛形電極それぞれの電極指は、弾性波伝播方向に交互に並ぶように配置され、
前記電極指の交差幅は、前記弾性波伝播方向において変化しており、
前記複数の共振器は、弾性波伝播方向に垂直な方向に並んで配置されており、
前記複数の共振器のうち１の共振器において前記交差幅が周りより短くなっている部分と、前記１の共振器の隣の共振器において交差幅が周りより長くなっている部分とが、前記弾性波伝播方向に垂直な方向において対向する位置に配置される、弾性波デバイス。
【請求項２】
前記複数の共振器において、前記電極指の交差幅は、前記弾性波伝播方向において一定の周期で極大および極小になるように変化しており、
前記１の共振器において交差幅が極大になっている部分と、前記１の共振器の隣の共振器において交差幅が極小になっている部分とが、弾性波伝播方向に垂直な方向において対向するように、前記複数の共振器が配置される、請求項１に記載の弾性波デバイス。
【請求項３】
前記１の共振器における電極指の交差部分と、前記隣の共振器の電極指の交差部分とが、前記弾性波伝搬方向において重なっている、請求項１または２に記載の弾性波デバイス。
【請求項４】
前記第１の共振器と前記隣の共振器との間にバスバーが設けられ、
前記バスバーは、前記第１の共振器または前記隣の共振器における前記電極指の交差部分の包絡線に沿った形状である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の弾性波デバイス。
【請求項５】
前記１の共振器の櫛形電極と、当該櫛形電極に接続される、前記隣の共振器の櫛形電極は、電極指を共有しており、
前記１の共振器における電極指の交差部分と、前記隣の共振器における各電極指の交差部分とを結ぶ、前記弾性波伝播方向に垂直な方向における線分の中点の集合で表される境界線が、前記第１の共振器または前記隣の共振器における前記電極指の交差部分の包絡線に沿った形状である、請求項１〜４のいずれか１項に記載の弾性波デバイス。
【請求項６】
請求項１〜５に記載の弾性波デバイスを含む通信機器。
【請求項７】
圧電基板上に設けられた複数の共振器を含む弾性波デバイスであって、
前記共振器は、前記圧電基板上に設けられた複数の電極指と、当該電極指を接続するバスバーとを有する、櫛形電極を備え、
前記櫛形電極それぞれの電極指は、弾性波伝播方向に交互に並ぶように配置され、
前記電極指の交差幅は、前記弾性波伝播方向において変化しており、
前記バスバーの交差幅の短い電極指に接続される部分が、前記電極指が交互に並ぶ電極指が交差する共振部方向へ屈曲している弾性波デバイス。
【請求項１】
圧電基板上に設けられた複数の共振器を含む弾性波デバイスであって、
前記共振器は、前記圧電基板上に設けられた複数の電極指を有する、一組の櫛形電極を備え、
前記一組の櫛形電極それぞれの電極指は、弾性波伝播方向に交互に並ぶように配置され、
前記電極指の交差幅は、前記弾性波伝播方向において変化しており、
前記複数の共振器は、弾性波伝播方向に垂直な方向に並んで配置されており、
前記複数の共振器のうち１の共振器において前記交差幅が周りより短くなっている部分と、前記１の共振器の隣の共振器において交差幅が周りより長くなっている部分とが、前記弾性波伝播方向に垂直な方向において対向する位置に配置される、弾性波デバイス。
【請求項２】
前記複数の共振器において、前記電極指の交差幅は、前記弾性波伝播方向において一定の周期で極大および極小になるように変化しており、
前記１の共振器において交差幅が極大になっている部分と、前記１の共振器の隣の共振器において交差幅が極小になっている部分とが、弾性波伝播方向に垂直な方向において対向するように、前記複数の共振器が配置される、請求項１に記載の弾性波デバイス。
【請求項３】
前記１の共振器における電極指の交差部分と、前記隣の共振器の電極指の交差部分とが、前記弾性波伝搬方向において重なっている、請求項１または２に記載の弾性波デバイス。
【請求項４】
前記第１の共振器と前記隣の共振器との間にバスバーが設けられ、
前記バスバーは、前記第１の共振器または前記隣の共振器における前記電極指の交差部分の包絡線に沿った形状である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の弾性波デバイス。
【請求項５】
前記１の共振器の櫛形電極と、当該櫛形電極に接続される、前記隣の共振器の櫛形電極は、電極指を共有しており、
前記１の共振器における電極指の交差部分と、前記隣の共振器における各電極指の交差部分とを結ぶ、前記弾性波伝播方向に垂直な方向における線分の中点の集合で表される境界線が、前記第１の共振器または前記隣の共振器における前記電極指の交差部分の包絡線に沿った形状である、請求項１〜４のいずれか１項に記載の弾性波デバイス。
【請求項６】
請求項１〜５に記載の弾性波デバイスを含む通信機器。
【請求項７】
圧電基板上に設けられた複数の共振器を含む弾性波デバイスであって、
前記共振器は、前記圧電基板上に設けられた複数の電極指と、当該電極指を接続するバスバーとを有する、櫛形電極を備え、
前記櫛形電極それぞれの電極指は、弾性波伝播方向に交互に並ぶように配置され、
前記電極指の交差幅は、前記弾性波伝播方向において変化しており、
前記バスバーの交差幅の短い電極指に接続される部分が、前記電極指が交互に並ぶ電極指が交差する共振部方向へ屈曲している弾性波デバイス。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【公開番号】特開２０１０−２３９３９６（Ｐ２０１０−２３９３９６Ａ）
【公開日】平成２２年１０月２１日（２０１０．１０．２１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−８５２８０（Ｐ２００９−８５２８０）
【出願日】平成２１年３月３１日（２００９．３．３１）
【出願人】（０００２０４２８４）太陽誘電株式会社 (964)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年１０月２１日（２０１０．１０．２１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年３月３１日（２００９．３．３１）
【出願人】（０００２０４２８４）太陽誘電株式会社 (964)
【Ｆターム（参考）】
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