説明

有機物含有排水の処理方法及び装置

【課題】有機物含有排水を嫌気性生物処理及び逆浸透膜処理によって、効率よく処理することができる有機物含有排水の処理方法を提供する。
【解決手段】有機物含有排水を嫌気性生物処理し、この嫌気性生物処理により得られた処理液を第1の膜分離液で膜分離し、この第1の膜分離からの透過水を逆浸透膜で処理する有機物含有排水の処理方法において、該第1の膜分離手段からの透過水を脱炭酸処理した後、好ましくはアンモニアストリッピング処理し、その後、前記逆浸透膜で処理する。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は有機物含有排水の処理方法及び装置に関する。
【背景技術】
【0002】
半導体製造、液晶製造等の電子産業工場においては、イソプロピルアルコール、メタノールなどのアルコール類、モノエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドなどの窒素含有有機物、ジメチルスルホキシドのような硫黄含有有機物がプロセス工程において、洗浄剤、剥離剤などとして使用されている。近年、これら電子産業工場では、有機物を含む排水を生物処理し、その処理水を純水製造の原料として用いる水回収が進んでいる。
【0003】
生物処理水を純水製造に再利用する場合、処理水を固液分離装置で処理して微生物体を分離した後、逆浸透膜分離装置で脱塩処理することがある(例えば、特開2007−175582号公報)。また、特開2009−148714号公報には、有機物含有排水を嫌気MBR(メンブレンバイオリアクター)で処理し、処理水を直接RO(逆浸透膜)装置に供給して排水回収する方法が記載されている。特開2002−336886号公報には、有機物含有排水を生物活性炭で処理した後、逆浸透膜処理することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開2007−175582号公報
【特許文献2】特開2009−148714号公報
【特許文献3】特開2002−336886号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
嫌気MBRは簡単な構成で汚泥を固液分離できるため、特開2009−148714の様に処理水を直接ROに供給できるが、嫌気MBR処理水には、炭酸、アンモニウムイオン、硫化物イオンが高濃度に含まれていることが多く、ROの塩類負荷が高くなるため、ROのフラックスが低くなってしまう。また、これらアンモニア、炭酸、硫化水素は、処理水の通常のpHである7〜8においては非解離で存在するものが多く、低分子量であるためRO膜を透過し、回収水に残留してしまうという問題があった。
【0006】
本発明は、有機物含有排水を嫌気性生物処理及び逆浸透膜処理によって、効率よく処理することができる有機物含有排水の処理方法及び装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
請求項1の有機物含有排水の処理方法は、有機物含有排水を嫌気性生物処理し、この嫌気性生物処理により得られた処理水を第1の膜分離手段で膜分離し、この第1の膜分離手段からの透過水を逆浸透膜で処理する有機物含有排水の処理方法において、該第1の膜分離手段からの透過水を脱炭酸処理した後、前記逆浸透膜で処理することを特徴とするものである。
【0008】
請求項2の有機物含有排水の処理方法は、請求項1において、前記第1の膜分離手段からの透過水をpH9.5以下で曝気又は減圧処理することにより脱炭酸処理を行うことを特徴とするものである。
【0009】
請求項3の有機物含有排水の処理方法は、請求項1又は2において、脱炭酸処理した水にアルカリを添加してpH9.5以上として前記逆浸透膜で処理することを特徴とするものである。
【0010】
請求項4の有機物含有排水の処理方法は、請求項3において、脱炭酸処理した水にアルカリを添加してpH9.5以上とした後、曝気してアンモニアを除去し、その後、前記逆浸透膜で処理することを特徴とするものである。
【0011】
請求項5の有機物含有排水の処理装置は、有機物含有排水を嫌気性生物処理する嫌気性生物処理手段と、該嫌気性生物処理手段からの処理水を膜分離する第1の膜分離手段と、該第1の膜分離手段からの透過水を処理する逆浸透膜装置とを有する有機物含有排水の処理装置において、該第1の膜分離手段からの処理水を脱炭酸手段で脱炭酸処理した後、前記逆浸透膜装置で処理することを特徴とするものである。
【0012】
請求項6の有機物含有排水の処理装置は、請求項5において、前記脱炭酸手段からの脱炭酸水に対しpH9.5以上となるようにアルカリを添加するアルカリ添加手段を備えたことを特徴とするものである。
【0013】
請求項7の有機物含有排水の処理装置は、請求項6において、前記脱炭酸手段からの脱炭酸水に対しpH9.5以上となるようにアルカリを添加した後、曝気してアンモニアを除去するアンモニア除去手段を備えたことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【0014】
嫌気性生物処理水を脱炭酸したり、あるいはさらに脱アンモニア処理することにより、嫌気性生物処理水に溶解する主なイオンである炭酸イオン、硫化物イオン、アンモニウムイオンが減少し、ROへの塩類負荷が大幅に低減され、ROのフラックス(透過流束)を高くすることができる。
【0015】
脱炭酸処理した脱炭酸水にアルカリを添加してpH9.5以上の条件でRO処理することにより、殺菌剤などの添加なしにRO膜でのスライムの増殖が抑制されるうえに、界面活性剤などの有機物の吸着による汚染を少なくすることができる。また、前段で除去されなかった炭酸、硫化物も高pH条件では多くがイオンとして存在するため、ROで高い除去率で除去され、回収水に残留することがなくなる。この際、予め脱炭酸処理しているので、嫌気性生物処理水のpH緩衝能が低下しており、嫌気性生物処理水に直接にアルカリを添加するよりも少ない添加量でpH9.5以上とすることができる。アルカリ添加量が少ないため、添加したアルカリによるROへの塩類負荷も低減される。
【図面の簡単な説明】
【0016】
【図1】本発明の一例を示すフロー図である。
【図2】実施例及び比較例の結果を示すグラフである
【発明を実施するための形態】
【0017】
以下に本発明の有機物含有排水の処理方法及び装置の実施の形態を詳細に説明する。なお、第1図は本発明方法及び装置の一例を示すフロー図である。
【0018】
[有機物含有排水]
本発明において、処理対象となる有機物含有排水は、特に限定されるものではないが、例えば、電子産業排水、化学工場排水などが挙げられる。半導体、液晶などの電子部品製造プロセスでは、現像工程、剥離工程、エッチング工程、洗浄工程などから各種の有機性排水が多量に発生し、しかも排水を回収して純水レベルに浄化して再使用することが望まれているので、これらの排水は本発明の処理対象排水として適している。
【0019】
このような有機物含有排水中の有機物は、イソプロピルアルコール(IPA)、エチルアルコールなどのアルコール類のほか、モノエタノールアミン(MEA)、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド(TMAH)などの有機態窒素、アンモニア態窒素を含有する有機性排水や、ジメチルスルホキシド(DMSO)などの有機硫黄化合物などが例示されるが、これらに限定されない。
【0020】
[嫌気性生物処理]
排水を嫌気的に生物処理するための嫌気性生物処理手段としては、有機物の分解効率に優れるものであれば良く、各種の嫌気性生物処理方式の生物反応槽が使用できる。
【0021】
嫌気性生物処理手段は、酸生成反応とメタン生成反応とを同一槽で行う1槽式でも、各反応を別の槽で行う2槽式でも良い。各反応槽は浮遊方式(撹拌方式)、汚泥床方式(スラッジブランケット方式)など任意の方式でよく、また、担体添加型、造粒汚泥型であってもよい。
【0022】
嫌気性生物処理手段としては特に限定されないが、UASB(上向流式嫌気性スラッジブランケット)やMBR(メンブレンバイオリアクター)方式、特にMBR方式の反応槽が、高負荷運転が可能であることから好ましい。
【0023】
嫌気槽のCODCr負荷は1〜30kg/m・d、特には2〜10kg/m・dが好ましい。嫌気槽の温度は25〜40℃、もしくは45〜60℃が好ましく、HRTは6〜72hr程度、特には12〜48hrが好ましい。
【0024】
嫌気性生物処理水の固液分離を行う手段としては膜分離が好適である。この膜は、MF、UF、もしくはNF(ナノフィルタ)膜が好適である。膜形状は平膜、チューブラ膜、中空糸膜などのいずれでもよい。膜の配置も浸漬型、槽外型などのいずれであってもよい。
【0025】
[脱炭酸処理]
本発明では、この嫌気性生物処理した後固液分離した嫌気性生物処理水を脱炭酸処理する。脱炭酸を行うには、嫌気性生物処理水に必要に応じキレート剤を添加した後、好ましくはpH9.5以下、特に好ましくは8.0以下で曝気又は減圧吸引する。これにより、溶解している炭酸ガス、硫化水素が除去される。曝気する場合、用いるガスは、空気、窒素、酸素など、炭酸ガス、硫化水素を含まないガスであればよいが、望ましくは窒素ガスや、嫌気槽の発生ガスから炭酸ガスを除去したものなど、酸素を含まないガスがよい。良好に運転されている嫌気MBR処理水のpHは7〜8であり、通常の場合、脱炭酸工程でのpH調整は不要であるが、塩酸、硫酸などの無機酸を添加し、pHを下げて脱炭酸処理しても良い。
【0026】
嫌気性生物処理水が脱炭酸されることにより、この処理水のpHは(元の排水の種類にもよるが)、9前後まで上昇する。pHが9.5を超えるようであれば酸を添加してpH9.5以下に調整するのが好ましい。
【0027】
なお、脱炭酸処理される水のpHが低いほど、脱炭酸処理により炭酸ガス及び硫化水素は除去されやすくなるが、後段でpH9.5以上に調整するのに大量のアルカリが必要となり、不経済であるだけでなく、塩類濃度が上昇し、後段のROの負荷となるため望ましくない。
【0028】
[アンモニアストリッピング]
本発明では、脱炭酸した嫌気性生物処理水をRO処理するのに先立って、NaOH、KOHなどのアルカリを添加し、pHを9.5以上、望ましくは10〜11に調整した後、曝気することで溶解しているアンモニアを除去するのが好ましい。
【0029】
このようにアンモニアストリッピングを行うことにより、後段のRO処理の塩類負荷が低減され、ROのフラックスが高くなる。また、pH9.5以上の高pHの水をRO処理することにより、殺菌剤を添加しなくてもRO装置でのスライムの増殖が抑制されると共に、界面活性剤などの有機物の吸着による汚染を少なくすることができる。また、前段で除去されなかった炭酸、硫化物も高pH条件では多くがイオンとして存在するため、ROで高い除去率が得られ、回収水に残留することがなくなる。予め脱炭酸処理しているので、処理水のpH緩衝能が低くなっており、嫌気性生物処理水に直接アルカリを添加するよりも、アルカリ添加量が少なくて済む。添加アルカリが少ないので、ROへの塩類負荷も低減される。
【0030】
[プレフィルター]
上記のアンモニアストリッピング処理水は、プレフィルターで濾過された後、RO装置に供給されるのが好ましい。このプレフィルターとしてはMF膜などを用いることができるが、これに限定されない。
【実施例】
【0031】
以下に実施例及び比較例を挙げて本発明をより具体的に説明する。
【0032】
[実施例1]
第1図に示すフロー(ただしプレフィルターは省略)に従って原水を処理した。主な条件は次の通りである。
<原水>
TOC 600mg/L、ThOD 2,400mg/L、T−N 150mg/L、T−P 3.0mg/L
有機物の組成
テトラメチルアンモニウムヒドロキシド 1,000mg/L
ジメチルスルホキシド 250mg/L
<嫌気MBR>
温度 37℃
実容量 10L
HRT 9.5hr(ThOD負荷 6kg/m・d)
下水浄化汚泥を種汚泥として6ヶ月馴養
槽内MLSS 12,000mg/Lを維持するように汚泥を引き抜いて運転を継続する。
膜:内圧式槽外型チューブラUF(孔径0.03μm、日本ノリット製)
<脱炭酸槽>
HRT 30min
スケール分散剤(栗田工業製ウェルクリンA801)を30ppmになるように添加
pH調整なし(8.8〜9.0で推移)
曝気:嫌気槽から発生するガスを水洗した後、鉄系脱硫剤で処理したガスを使用
CO 3%、HS 10ppm
曝気量 0.5Nm/m/hr
温度:30〜33℃
<アンモニアストリッピング槽>
HRT 30min
2N NaOHでpH10.5に調整
曝気:嫌気槽から発生するガスを水に通した後、鉄系脱硫剤を充填したカラムに通気したガスを使用
CO 3%、HS 10ppm
曝気量 0.5Nm/m/hr
温度:30〜33℃
<RO装置>
平膜セル型RO装置(膜は日東電工(株)ES−20を使用)
2N NaOHでpH10.5に調整
圧力 1.5MPa
温度 25℃
【0033】
嫌気MBR処理水、脱炭酸処理水、アンモニアストリッピング処理水及びRO処理水の水質を表1に示す。表1においてICは無機炭素を表す。また、RO装置の透過流束(フラックス)の経時変化を第2図に示す。
【0034】
【表1】

【0035】
[比較例1]
実施例1において、嫌気MBR処理水のUF透過水をそのまま(即ち、脱炭酸及びアンモニアストリッピングなしに)RO装置に供給した。それ以外は実施例1と同一条件にて処理を行った。このときのRO給水及びRO透過水の水質及びROフラックスを表1及び第2図に示す。
【0036】
表1に示すように、実施例1では、嫌気MBR処理水中の炭酸、アンモニア、硫化物が低減されることで、RO給水の導電率が約3/4に低下した。その結果、第2図に示すように、100時間通水後のROフラックスは比較例1の0.46m/dに対し、実施例1では0.70m/dとなり、1.5倍に向上した。また、その過程で使用したNaOHの量も比較例の23.4mmol/L−処理水に対し、実施例1では14.3mmol/Lであり、約6割に低減された。

【特許請求の範囲】
【請求項1】
有機物含有排水を嫌気性生物処理し、この嫌気性生物処理により得られた処理水を第1の膜分離手段で膜分離し、この第1の膜分離手段からの透過水を逆浸透膜で処理する有機物含有排水の処理方法において、
該第1の膜分離手段からの透過水を脱炭酸処理した後、前記逆浸透膜で処理することを特徴とする有機物含有排水の処理方法。
【請求項2】
請求項1において、前記第1の膜分離手段からの透過水をpH9.5以下で曝気又は減圧処理することにより脱炭酸処理を行うことを特徴とする有機物含有排水の処理方法。
【請求項3】
請求項1又は2において、脱炭酸処理した水にアルカリを添加してpH9.5以上として前記逆浸透膜で処理することを特徴とする有機物含有排水の処理方法。
【請求項4】
請求項3において、脱炭酸処理した水にアルカリを添加してpH9.5以上とした後、曝気してアンモニアを除去し、その後、前記逆浸透膜で処理することを特徴とする有機物含有排水の処理方法。
【請求項5】
有機物含有排水を嫌気性生物処理する嫌気性生物処理手段と、該嫌気性生物処理手段からの処理水を膜分離する第1の膜分離手段と、
該第1の膜分離手段からの透過水を処理する逆浸透膜装置と
を有する有機物含有排水の処理装置において、
該第1の膜分離手段からの処理水を脱炭酸手段で脱炭酸処理した後、前記逆浸透膜装置で処理することを特徴とする有機物含有排水の処理装置。
【請求項6】
請求項5において、前記脱炭酸手段からの脱炭酸水に対しpH9.5以上となるようにアルカリを添加するアルカリ添加手段を備えたことを特徴とする有機物含有排水の処理装置。
【請求項7】
請求項6において、前記脱炭酸手段からの脱炭酸水に対しpH9.5以上となるようにアルカリを添加した後、曝気してアンモニアを除去するアンモニア除去手段を備えたことを特徴とする有機物含有排水の処理装置。

【図1】
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【図2】
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【公開番号】特開2011−212585(P2011−212585A)
【公開日】平成23年10月27日(2011.10.27)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2010−83130(P2010−83130)
【出願日】平成22年3月31日(2010.3.31)
【出願人】(000001063)栗田工業株式会社 (1,536)
【Fターム(参考)】