有機電子装置の構造および製造方法
本発明は、有機電子装置構造であって、前記構造は、基板、前記基板によって支持され、有機電子材料の溶液−系蒸着のためのウェルの底部を規定する底部層、前記基板上に形成された１または２以上のスペーサー層、前記ウェルの側面を規定する前記スペーサー層上に形成されるバンク層を含み、前記底部層に隣接する前記ウェルの端部の下層が切除されて前記基板上の棚を形成し、前記棚は前記有機電子材料を受け入れるくぼみを規定することを特徴とする有機電子装置構造を提供する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機電子装置、特に、有機発光ダイオードの構造および製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
本発明の理解を助けるために、先ず、ＯＬＥＤ装置のいくつかの特徴およびその製造におけるいくつかの問題点を説明する。しかしながら、本発明の実施態様は特定のＯＬＥＤ装置を引用して記載されるが、この技術は有機電子装置の製造一般に適用できることは明らかである。
【０００３】
有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）は電気光ディスプレイの特に有利な型である。これは、明るく、カラフルで、立ち上がりが早く、広い視野角を提供し、多様な基板上に安く簡単に製造することができる。有機（本明細書では、有機金属を含む）ＬＥＤは、使用される材料に応じて、多色（またはマルチカラーディスプレイ）の範囲で、ポリマーまたは低分子を使用して製造される。典型的なＯＬＥＤ装置は２つの有機材料を有し、その１つは発光ポリマー、オリゴマーまたは発光低分子量材料のような発光層であり、他はポリチオフェンまたはポリアニリンのような正孔輸送材料の層である。
【０００４】
有機ＬＥＤは、単色または多色画素ディスプレイを形成するために、画素のマトリックス中の基板上に蒸着される。多色ディスプレイは、赤、緑、青色発光画素のグループを使用して形成される。いわゆるアクティブマトリックスディスプレイは、記憶素子、通常、各画素に連結された蓄積容量およびトランジスタを有し、他方、パッシブマトリックスディスプレイはそのようなメモリ素子を有さず、その代わり、固定した画像の印象を与えるために繰返しスキャンされる。
【０００５】
図１はＯＬＥＤ装置１００の例の断面図を示す。アクティブマトリックスディスプレイにおいては、画素の１一部領域は連結された駆動回路（図示しない）によって占められている。この装置の構造は、例示のために簡略化されている。
【０００６】
ＯＬＥＤ１００は、基板１０２、通常、０．７ｍｍまたは１．１ｍｍのガラス、しかし、任意に透明なプラスチックを有し、その上にアノード層１０６が蒸着される。アノード層は、通常、約１５０ｎｍの厚さのＩＴＯ（インジウム錫酸化物）を含み、その上に、約５００ｎｍのアルミニウムの金属接続層が提供され、しばしばアノード金属と呼ばれる。ＩＴＯで被覆されたガラス基板および接続金属は、Ｃｏｒｎｉｎｇ，ＵＳＡから購入することができる。接続金属（および任意にＩＴＯ）は、ディスプレイを覆い隠さないように、従来のリソグラフィーとこれに続くエッチングにより望まれるようにパターニングされる。
【０００７】
実質的に正孔輸送層１０８ａはアノード金属上に供給され、続いて電子発光層が供給される。バンク１１２は、ポジ型またはネガ型フォトレジストから基板上に形成することができ、ウェル１１４を規定し、この中には、例えば、液滴蒸着またはインクジェット印刷によって、これらの活性有機層が選択的に蒸着される。したがって、ウェルは発光領域またはディスプレイの画素を規定する。
【０００８】
次いで、カソード層１１０が、例えば、物理真空蒸着によって適用される。カソード層は、通常、厚いアルミニウムのキャップ層で覆われたカルシウムまたはバリウムのような低仕事関数の金属を有し、任意に、例えば、電子エネルギーレベルの適合を改良するために、電子発光層に隣接して追加の層を有する。カソード線の相互の電気的絶縁はカソードセパレータ（図３ｂの３０２）を使用して達成される。通常、多数のディスプレイが基板上に形成され、形成プロセスの最後で、ディスプレイに酸化および湿気の浸入を防止するためにカプセル缶が互いに付着される前に、基板は切断される。
【０００９】
この通常のタイプの有機ＯＬＥＤは、変化する駆動電圧および効率において波長範囲に渡って発光するために、ポリマー、デンドリマーおよびいわゆる低分子を含む材料の範囲を使用して製造される。ポリマー系ＯＬＥＤの例は、ＷＯ９０／１３１４８、ＷＯ９５／０６４００およびＷＯ０９／４８１６０に記載されており、デンドリマー系材料の例はＷＯ９９／２１９３５およびＷＯ０２／０６７３４３に記載されており、低分子ＯＬＥＤ材料の例はＵＳ４，５３９，５０７に記載されている。前述のポリマー、デンドリマーおよび低分子は１重項の放射性崩壊によって発光（蛍光）する。しかしながら、励起の７５％までは、通常、非放射性崩壊を行う３重項励起である。３重項崩壊による電子発光（燐光）は、例えば、“Ｖｅｒｙ ｈｉｇｈ−ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ ｇｒｅｅｎ ｏｒｇａｎｉｃ ｌｉｇｈｔ−ｅｍｉｔｔｉｎｇ ｄｅｖｉｃｅｓ ｂａｓｅｄ ｏｎ ｅｌｅｃｔｒｏｒｏｐｈｏｓｐｈｏｒｅｓｃｅｎｃｅ”Ｍ．Ａ．Ｂａｉｄｏ，Ｓ．Ｌａｍａｎｓｋｙ，Ｐ．Ｅ．Ｂｕｒｒｏｗｓ，Ｍ．Ｅ．Ｔｈｏｍｐｓｏｎ，ａｎｄ Ｓ．Ｒ．Ｆｏｒｒｅｓｔ Ａｐｐｌｉｅｄ Ｐｈｙｓｉｃｓ Ｌｅｔｔｅｒｓ，Ｖｏｌ．７５（１）ｐｐ．４−６，Ｊｕｌｙ５，１９９９に開示されている。電子発光層は、例えば、約７０ｎｍ（乾燥）の暑さのＰＰＶ（ポリ（ｐ−フェニレンビニレン））を有し、電子発光層は、例えば、ＰＥＤＯＴ：ＰＳＳ（ポリスチレン−スルフォネート−ドープ−ポリエチレン−ジオキシチオフェン）の約５０〜２００ｎｍの厚さ、好ましくは、約１５０ｎｍを有する。
【００１０】
図３ａおよび図３ｂを参照すると、隣接するカソード線（領域３０４に蒸着される）を分離するための複数のカソード分断セパレータ３０２が基板に供給される。複数のウェルがバンク３１０によって規定され、各ウェルの周囲にそって形成され、アノード層３０６をウェルの底に露出させる。バンクの端部または面は図示されるように、通常１０および４０°の角度で基板の表面に向かって先細になる。バンクは、蒸着される有機材料で濡れないように疎水性の表面を提供し、蒸着される材料がウェル内におさまるのを助ける（極性または非極性溶媒が使用され得るが、通常使用される溶媒は極性を有する）。これは、ＥＰ０９８９７７８に開示されるようにＯ２／ＣＦ４プラズマによりポリイミドのようなバンク材料を処理することによって達成される。あるいは、ＷＯ０３／０８３９６０に開示されるように。フッ素化ポリイミドのような弗化材料の使用によってプラズマ処理工程は回避される。
【００１１】
前述したように、バンクおよびセパレータ構造はレジスト材料、例えば、バンクのためにポジ型（またはネガ型）レジストが、セパレータのためにネガ型（またはポジ型）レジストを使用して、レジスト材料から形成される。これらのレジストは、ポリイミド系であり、基板上にスピンコートされるか、またはフッ素化またはフッ素系フォトレジストが使用される。示される例においては、カソードセパレータは約２０μｍおよび１００μｍの幅であり、示された例は、（バンクが約１μｍの高さとなるように）各端部において４μｍのテーパーを有する。図３ａの画素は約３００μｍ平方であるが、後述するように、画素の大きさは、意図する用途に応じてかなり変化する。
【００１２】
インクジェット印刷技術を用いた有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）の材料の蒸着技術は、多くの文献に記載されており、例えば、Ｔ．Ｒ．Ｈｅｂｎｅｒ，Ｃ．Ｃ．Ｗｕ，Ｄ．Ｍａｒｃｙ，Ｍ．Ｈ．Ｌｕ ａｎｄ Ｊ．Ｃ．Ｓｔｒｕｍ，“Ｉｎｋ−ｊｅｔ Ｐｒｉｎｔｉｎｇ ｏｆ ｄｏｐｅｄ Ｐｏｌｙｍｅｒｓ ｆｏｒ Ｏｒｇａｎｉｃ Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｅｖｉｃｅｓ”，Ａｐｐｌｉｅｄ Ｐｈｙｓｉｃｓ Ｌｅｔｔｅｒｓ，Ｖｏｌ．７２，Ｍｏ．５，ｐｐ．５１９−５２１，１９９８；Ｙ．Ｙａｎｇ，“Ｒｅｖｉｅｗ ｏｆ Ｒｅｃｅｎｔ Ｐｒｏｇｒｅｓｓ ｏｎ Ｐｏｌｙｍｅｒ Ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｖｅｎｔ Ｄｅｖｉｃｅｓ，”ＳＰＩＥ Ｐｈｏｔｏｎｉｃｓ Ｗｅｓｔ：Ｏｐｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ ’９８，Ｃｏｎｆ．３２７９，Ｓａｎ Ｊｏｓｅ，Ｊａｎ．，１９９８；ＥＰＯ ８８０３０３；および“Ｉｎｋ−Ｊｅｔ Ｐｒｉｎｔｉｎｇ ｏｆ Ｐｏｌｙｍｅｒ Ｌｉｇｈｔ−Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｅｖｉｃｅｓ”，Ｐａｕｌ Ｃ． Ｄｕｉｎｅｖｅｌｄ，Ｍａｒｇａｒｅｅｔ Ｍ．ｄｅ Ｋｏｋ，Ｍｉｃｈａｅｌ Ｂｕｅｃｈｅｌ，Ａａｄ Ｈ．Ｓｅｍｐｅｌ，Ｋｅｅｓ Ａ．Ｈ．Ｍｕｔｓａｅｒｓ，Ｐｅｔｅｒ ｖａｎ ｄｅ Ｗｅｉｊｅｒ，Ｉｖｏ Ｇ．Ｊ．Ｃａｍｐ，Ｔｏｎ Ｊ．Ｍ．ｖａｎ ｄｅｎ Ｂｉｇｇｅｌａａｒ，Ｊａｎ−Ｅｒｉｃ Ｊ．Ｍ．Ｒｕｂｉｎｇｈ ａｎｄ Ｅｌｉａｖ Ｉ．Ｈａｓｋａｌ，Ｏｒｇａｎｉｃ Ｌｉｇｈｔ−Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ ａｎｄ Ｄｅｖｉｃｅｓ Ｖ．Ｚａｋｙａ Ｈ．Ｋａｆａｆｉ，Ｅｄｉｔｏｒ，Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓ ｏｆ ＳＰＩＥ Ｖｏｌ．４４６４（２００２）に開示されている。インクジェット技術は、低分子およびポリマーＬＥＤの両者の材料を蒸着するために使用される。
【００１３】
有機電子材料を蒸着するために、０．５％〜４％の溶媒に溶解した材料を有する揮発性の溶媒が一般的に使用される。これは、乾燥するのに数秒から数分かかり、最初の「インク」容量に比較して相対的に薄い膜をもたらす。しばしば、乾燥材料の十分な厚さを提供するためには、好ましくは乾燥が始まる前に、複数の液滴が蒸着される。使用され得る溶媒としては、シクロヘキシルベンゼンおよびアルキルベンゼン、特に、トルエンまたはキシレンが使用される。これらの混合の溶媒の使用することができる。Ｌｉｔｒｅｘ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ ｏｆ Ｃａｌｉｆｏｒｎｉａ，ＵＳＡの装置のような正確なインクジェットプリンターが使用される。適切なプリントヘッドは、ＮＨ，ＵＳＡのＸａａｒ ｏｆ Ｃａｍｂｒｉｄｅｇｅ，ＵＫ ａｎｄ Ｓｐｅｃｔｒａ，Ｉｎｋから入手できる。いくつかの特に有利な印刷手法は、本出願人の出願である２００２年１１月２８日出願ＵＫ特許出願０２２７７７８．８（および対応するＰＣＴ公開ＷＯ２００４／０４９４６６）に記載されている。
【００１４】
インクジェット印刷は、有機電子装置の材料の蒸着に多くの利点を有するが、この技術に関連する欠点もいくつか存在する。しかしながら、浅い端部を有するウェル内に蒸着された溶解した有機電子材料は、乾燥して比較的薄い端部を有する薄膜を形成する。図４ａおよび４ｂはこのプロセスを図示している。
【００１５】
図４ａは、溶解した材料４０２で満たされた壁３０８の簡略断面図を示し、図４ｂは、材料が乾燥して固体薄膜４０４を形成した後の同図を示す。この実施例において、バンクの角度は約１５°であり、バンクの高さは約１．５μｍである。見られるように、ウェルは、ふちまでいっぱいになるまで満たされる。溶液４０２はプラズマ処理されたバンク材料に対する接触角θｃとして３０°および４０°、例えば約３５°を有する。これは、溶解した材料４０２の表面が接触する（バンク）材料と、例えば、図４ａにおける４０２ａの角度を作る、溶媒が蒸発するにつれて、溶液はより濃縮され、溶液の表面は基板に向かってバンクの傾き面を下方に移動し、乾燥端部の留まりが基板上の最初に付着した濡れ端部とバンクの足（ウェルの底）の間の点で生じる。図４ｂに示されるように、この結果、乾燥材料４０４の薄膜は、バンク面に接する場所において、例えば、１０ｎｍ以下の厚さとなる。
【００１６】
出願人は、ＷＯ２００５／０７６３８６として公開された２００４年２月５日出願のＵＫ特許出願０４０２５５９．９において、ウェルの端部に向かって溶液を押す効果を有するアンダーカットバンクの使用により、より均一な充填を得るのを助けることを記載した。しかしながら、このようなバンクは製造するのが容易ではなく、一般的に、高価でありプロセスの条件に敏感なネガ型フォトレジストを使用する。したがって、ポジ型フォトレジストの使用により適した改良された技術の必要性が存在する。
【００１７】
他の問題点は、画素の大型化に伴い生じ、例えば、開口２４０μｍ〜２６０μｍは３００μｍ画素ピッチを提供する。インク液滴の容量は液滴の特徴的な長さの立方体に比例し、表面の保護範囲は画素の次元の四角に比例し、このための任意のインクの薄め方においては、より薄いインクが必要とされるように多くの材料が蒸着される。例えば、より大きな画素および８０ｎｍの望まれるＰＥＤＯＴ薄膜の厚さにおいては、１％のインクの濃度が導入されるが、１パーセントのインクを広げて、濡らし大きな画素を満たすのは困難である。これは、いわば、満杯であふれるばかりの画素は１２０ｎｍの厚さの薄膜をもたらす。さらに、製造プロセスにおいて、インクの希釈を変えることは高価である。
【００１８】
一般的に、画素ウェルの底部はＩＴＯを含み、これは、通常、１０度未満の低接触角を有し、相対的に良好な濡れ性を提供する。しかしながら、特に、大きな画素を有すると、円形を有する蒸着された液滴ほど濡れは濡れ性は完全ではなく、溶媒はウェルの底内の点で留まる傾向にあるため、蒸着された液滴はでこぼこの端部を有する。上述したように、バンク上の溶液の接触角は相対的に高いので、より多くの溶媒がウェルに加えるほど、溶液がバンクを上るより液滴の高さは高くなり、乾燥すると表面エネルギーによって溶液はウェルの端部から離れる。これは、ＰＥＤＯＴ蒸着について特に問題であり、この薄い端部はカソード（ＩＴＯ）と覆う発光ポリマー（ＬＥＰ）との直接接触をもたらし、結果、不完全で効率の低い画素となる。ＥＰ０９９３２３５においては、セイコーエプソンは、画素の底の内部端部のアノードを覆う誘電体層を蒸着することによりこの問題の解決を狙っているが、これは、配置の許容誤差の必要性を考慮すると有効な画素面積を２０％まで減らす欠点がある。
【特許文献１】国際公開２００５／０７６３８６号パンフレット
【特許文献２】欧州特許０９９３２３５号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
したがって、改良された有機電子構造および製造技術の改良、これらの問題を解決する製造技術、および、特に、有機電子発光材料を溶媒系蒸着プロセスに広げるのを助ける必要性がある。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
したがって、本発明の第１の側面によれば、有機電子装置の構造が提供され、この構造は、基板、前記基板支持され、有機電子材料の溶媒系蒸着のためのウェルの底面を規定する底面層、前記基板上に形成された１または２以上のスペーサー層、および前記底面層に隣接する前記ウェルの端部を含み、前記ウェルの端部は基板上の棚を規定するためにアンダーカットされ、前記棚は前記有機電子材料を受けるためのくぼみを有する。
【００２１】
好ましくは、前記棚の底面は実質的に水平で、１または２以上のスペーサー層によって規定される距離で基板から離れている。前記棚は前記バンクによって規定され、１または２以上の棚の層は前記スペーサー層と前記バンク層の間の構造に含まれることができ、前記棚を規定する。好ましくは、前記棚の層は誘電体を有するが、実施態様として、前記棚の層金属層を含むことができる。後述する実施態様から明らかなように、前記棚および／またはスペーサー層は、一般的に、金属、酸化物および／またはドープされたおよび／またはドープされないシリコン層のような装置の製造のために既に存在する層によって供給される。アクティブマトリックスディスプレイ装置においては、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）は各画素に連結され、次いで、前記スペーサー層は、ＴＦＴまたは酸化物層の製造に使用されるドープされたおよび／またはドープされないアモルファスシリコン層によって形成され得る。同様に、棚の層は、シリコン窒化誘電体および／または絶縁層のようなＴＦＴの製造過程で蒸着される場合の層の１つによって便利に形成される。
【００２２】
好ましくは、前記棚の下のくぼみは、前記スペーサー層と有機電子材料の接触を許容するように設定されており、すなわち、前記くぼみはスペーサー層の端部を露出する。これは、前記溶媒が前記ウェルの前記端部に留まるのを助ける。したがって、好ましい実施態様において（溶媒が少なくとも部分極性である場合）、スペーサー層はシリコン、一酸化シリコン、二酸化シリコン、またはシリコン酸窒化物などを有する。任意に、スペーサー層は（より）親水性になるように処理され得る。
【００２３】
実施態様において、スペーサー層のための親水性材料を使用することにより、ＰＥＤＯＴは親水性スペーサー層を濡らし、これによってバンク上のＬＥＰの濡れ角度を実質的に独立して調整することができるので（ＰＥＤＯＴの濡れは親水性材料によって支配されるので）、ＰＥＤＯＴおよびＬＥＴ濡れのための望ましい性質を分離させることができる。例えば、一般的に、バンクレジストはＬＥＰ溶媒に９０°より大きい濡れ角度であるが、これは、例えば、バンク材料に対してＬＥＰの濡れ性を改良するために、９０度未満、６０°または３０°ですらよい。ＰＥＤＯＴ溶媒は棚の下を流れ、疎水性層によって留められるので、ＰＥＤＯＴ層を短絡するリスクは大きく減少する。ＰＥＤＯＴ溶媒（いくつかの極性を有する溶媒が導入されるので）の留めのための親水性の端部を提供するスペーサー層について一般的に引用されているが、より一般的には、露出されたスペーサー層端部に対する溶媒の良好な濡れは、例えば、１５°、１０°以下のような低い接触角により定義されるのが望ましい。
【００２４】
上記の構造の実施態様に伴い、バンク層は通常の方向で基板に向かって先細りであり（壁の側面が近づくにつれ基板に向かって薄くなる）、したがって、バンクはポジ型フォトレジストを使用して定義される。
【００２５】
いくつかの好ましい実施態様において、この構造は、アクティブマトリックスディスプレイ画素のようなＯＬＥＤの一部を構成する。この場合において、底面層は、一般的にＩＴＯのような透明アノード層、ＰＥＤＯＴのような導電性（正孔）輸送材料の第１層を含むウェル中に蒸着される有機電子材料、第１層上を、例えば、発光ポリマー、低分子材料、デンドリマー系材料などの第２層が覆う。次いで、前記棚の下のくぼみは、有機電子材料（例えば、ＰＥＤＯＴ）の第１層で占められ、好ましくは実質的に完全にこの材料で占められ、第２の発光層は第１層を覆い、バンクを部分的に上昇する。他の実施態様において、発光層は棚の下にあり、第２のスペーサー層によってウェル端部に留められ、第２スペーサー層は、例えば、良好な濡れを提供するために発光層を蒸着するために使用される溶媒に応じて調整される。１つのこのような実施態様において、第１のスペーサー層はドープされない（アモルファス）シリコンを含み、第２のスペーサー層はドープされた（アモルファス）シリコンを含み、両者はアクティブマトリックスＴＦＴトランジスタの製造に使用され、したがって、ウェル端部で留まる蒸着に便利である。
【００２６】
関連する側面において、本発明は基板上に有機電子装置を形成する方法を提供し、前記方法は、前記基板上に１または２以上の底面層を形成する工程、前記１または２以上の底面層上に１または２以上のスペーサー層を形成する工程、前記１または２以上のスペーサー層の上にバンク材料を蒸着する工程、前記基板をエッチングして底にくぼみを規定するアンダーカットされた棚を有するウェルを規定する工程、および有機電子材料を前記ウェルに蒸着する工程を含む。
【００２７】
好ましくは、前記エッチングは少なくとも部分的には自己規定（セルフアライング）エッチングを含む。この方法において、バンクを規定するために使用されるマスクはアンダーカットされた棚をエッチングしてスペーサー層を露出するために使用され、特に、自己規定（セルフアラインド）装置において棚層をエッチングするために使用される。
【００２８】
他の側面において、本発明は、有機電子装置の液滴−蒸着−系製造のための構造における液滴蒸着ウェルの形成方法を提供する。前記方法は、基板上に親水性材料層を蒸着する工程、前記親水性材料層の上にバンク材料層を蒸着する工程、前記バンク材料層をパターニングして１または２以上の前記液滴蒸着ウェルを形成するバンクを規定する工程、前記パターニングされたバンク材料層をレジストとして使用して自己規定プロセス中において前記親水性材料層をエッチングする工程を含む。
【００２９】
実施態様において、この方法は、１つはバンク材料について、もう１つは疎水性（またはスペーサー）層についての２つの独立したマスク工程の必要性を省く。当業者は、この方法が適用される基板は、ＩＴＯのような最初の透明導電体の下層を有するものが購入または用意されてきたことを一般的に理解する。本発明のいくつかの好ましい実施態様において、バンク材料は、レジスト、好ましくは、ポジ型レジストを含む。好ましくは、バンクはバンク材料の一層のみ（これは好ましくは疎水性である）および親水性材料（酸化物のような）の１層のみを有する。
【００３０】
本発明の方法の好ましい実施態様において、疎水性材料は、誘電体材料、特にＳｉＯ２を有する。ただし、窒化シリコンおよびシリコン酸窒化物のような他の材料またはレジストも適用できる。他の実施態様において、親水性材料は、アルミニウム、クロムまたはモリクロムのような親水性金属を含む。このような実施態様において、例えば、前記金属は、アノードトラック抵抗を減らすＩＴＯ上に形成されたアノード金属を含む。この方法を用いたＯＬＥＤ装置の実施態様において、前記金属は有機電子材料に、特にＰＥＤＯＴに向けられ、その後ウェル中に蒸着される。しかしながら、前記金属が関係する材料（ＰＥＤＯＴ）のための不良な電子注入体（高い仕事関数を有する）である場合、これは、実質的に絶縁層として機能するのでこの接触は装置の十分な作動とならない。
【００３１】
自己規定エッチング工程においては、バンクレジストはマスクとして働くか、等方性または非等方性であり得る。好ましい実施態様において、エッチングはプラズマエッチングを含む。等方性エッチングは疎水性層の下を切り取る（したがって、基板および上部バンク層の間のスペーサーとして働く）。非等方性エッチングは、バンクの端部（これは通常先細である）が終了する疎水性層の端部をほぼ垂直下方に切除する。等方性エッチングの場合、ドライエッチング、特にプラズマエッチングが導入されることができ、これは下方切除内で自己規定し、下方切除の深さが制御される。あるいは、溶液エッチングを導入することができる。等方性エッチングについては、プラズマエッチングが好ましい。
【００３２】
前記装置構造のアンダーカットの実施態様については、疎水性（スペーサー）層は５００ｎｍ未満、例えば、５０ｎｍと２００ｎｍの間、およびいくつかの実施態様において約１００ｎｍである。他の実施態様において、親水性層は（効果的な）絶縁層を提供しバンク端部の底部での短絡を減らすのに役立つ場合（蒸着された有機電子材料が溶媒乾燥効果のため、より薄くなる傾向にある場合）、親水性層はより薄くすることができ、例えば、１００ｎｍ、１０ｎｍまたは５ｎｍ未満である。限界の厚さは、連続的な絶縁膜を形成する要望によって決まり、例えば、ＳｉＯ２では２ｎｍである。非等方性エッチングは、下方切除を防止し、棚を残すために切り取られるバンク材料の量を減らすので、ウェルの底部で絶縁性の棚を形成する方法の実施態様として好ましい。
【００３３】
いくつかの特に好ましい実施態様においては、Ｏ２プラズマアッシングのようなプラズマアッシング法がエッチングの後に行われる。これは、最も薄くなっているバンクの底部の一部、すなわち、ウェルの底部に隣接する部分を取り除き（同時にバンクの全体の厚みを減らす）、ウェルの底部に隣接する親水性材料を露出させる。これは、バンク材料の穴を親水性材料中のものより大きくなるように拡大させる。親水性材料層の露出部分は、前述したように、絶縁性のスペーサーとして働き、ウェルの底部の端部の短絡を防止する。特に、これは親水性ＰＥＤＯＴ溶液を引きつけ、これはこの材料の露出部分に効果的に付着し、このような蒸着された材料の液滴の端部を留める。さらに、ＰＥＤＯＴ溶液はこのように閉じ込められるので、バンク材料の層の表面エネルギーは、発光ポリマー（ＬＥＰ）層のような材料の実質的な蒸着層のために望まれる特性に向けて独立して調整される。バンクレジストの場合、例えば、これは、ＬＥＰの良好な閉じ込めのために、バンク材料をＣＦ４プラズマで処理して疎水性にすることによって行われる。（この「調整」は、わずかな「汚染効果」があるだけで、下層酸化物の親水性にほとんど影響を与えない。）あるいは、「テフロン化」またはフッ素化レジストが疎水性のバンク特性を達成するために導入される。したがって、この方法のこれらの実施態様は、大まかに言って、いわゆるＰＥＤＯＴおよびＬＥＰの溶液蒸着の結合を切り離すための異なる望まれる表面処理（親水性及び疎水性）を許容する。さらに、水中のいわゆるＰＥＤＯＴ溶液の高いバンク接触角である、９０〜１１０°は、ＰＥＤＯＴをバンクから離れさせ、したがってこの材料を閉じ込めることを助ける。
【００３４】
したがって、他の側面において、本発明は、有機電子装置の液滴蒸着系の製造のための液滴蒸着ウェルの方法を提供し、この方法は、基板上に疎水性材料を蒸着する工程、前記親水性材料の層の上にレジスト材料の層を蒸着する工程、前記レジスト材料をパターニングして前記液滴蒸着ウェルの１または２以上を形成するバンクを規定する工程、前記疎水性材料の層をパターニングして、前記１または２以上の液滴蒸着ウェルの底部領域の少なくとも一部から前記親水性材料を除く工程、およびレジスト除去法を使用して前記バンクの底部に隣接する親水性材料の前記パターンニングされた層の上部表面の一部を露出する工程を含む。
【００３５】
実施態様において、バンクを超えて突き出し、下層ＩＴＯと同様の表面エネルギーを有する底部層の供給はコストおよび開口率におおきな影響を与えずに生産性と均一性を助ける。レジスト除去（アッシング）に支配されるこの構造は自己規定プロセスでは形成されず、例えば、２つのマスクプロセスを使用して形成されてきた。
【００３６】
関連する側面において、本発明は上記の方法を使用して形成される有機電子装置を提供する。特に、このような装置は、有機電子材料で満たされた複数の液滴蒸着ウェルの下の疎水性材料のパターニングされた層を有する基板を含み、前記英的蒸着ウェルの１または２以上を形成する前記バンクの底部に隣接する疎水性材料の前記パターニング層の上部表面の一部は前記有機電子材料にさらされる。
【００３７】
さらに他の側面において、本発明は有機電子装置構造を提供し、前記構造は、基板、および前記基板により支持され、有機電子材料の溶媒系蒸着のためのウェルを規定するバンク層を含み、前記構造は、さらに、前記ウェルの内部端部および前記ウェルの底部にある平縁を規定する平縁層を含む。
【００３８】
好ましくは、前記平縁は、シリコンの酸化物および／または窒化物のような親水性材料を有する。前記平縁層は、前記装置の一部または前記装置に連結される薄膜トランジスタの酸化物層のような有機電子装置のいくつかの他の部分を形成する層からなることができる。
【００３９】
１つの実施態様において、前記平縁は基板に向かって先細りする前記バンクに一部に横たわっている。他の実施態様において、１または２以上の層はパターニングされて前記ウェルの内側端部において階段を規定し、前記平縁は前記階段に隣接する。例えば、好ましい実施態様において、前記ウェルは、アノードまたはＩＴＯ層のような底部層を有し、また、階段層（これも、前記装置の既存の層を「再使用」して供給される）は、前記ウェルの内部端部に隣接する前記底部層において高さの階段的変化を提供するように前記底部層と前記基板の間に供給される。この場合、前記平縁は前記底部におけるこの階段に接する。いくつかの実施態様において、２段は、２つ（またはそれ以上）の下側「階段」層を使用して前記底部層に規定され、前記ＩＴＯの下により高いスペーサー積層、したがって前記ウェルの端部での改良された溶媒の留めのための広い平縁領域を提供する。実施態様において、１または２以上の階段層は、１または２以上の金属層、ドープされていないシリコン層、ドープされたシリコン層および第２金属層を有する。これらの層は、例えば、ＯＬＥＤディスプレイ装置の画素に連結された薄膜トランジスタのための既存の製造プロセスに一部として既に存在し得る。好ましくは、このような装置において、前記バンク層は、ポジ型フォトレジストからなり、従来とおり基板に向かって先細る。この場合の有機電子材料の蒸着層は、導電性（正孔輸送）層およびこれを覆う発光層を有することができる。
【００４０】
他の側面において、本発明は、有機電子材料の溶媒系蒸着のための少なくとも１つのウェルを有する基板上の有機電子装置の形成方法を提供し、前記方法は、前記装置を形成するための前記有機電子材料の溶媒系蒸着の前に前記ウェルの内部端部の平縁を規定するために前記平縁層を蒸着し、非等方的にエッチングする工程を含む。
【００４１】
好ましくは、前記平縁材料は、有機電子材料を蒸着するために使用される単一の溶媒または溶媒イの混合物で濡れるように選択または処理される。好ましくは、このような濡れは、前記平縁と前記溶媒または溶媒混合物との間の接触角として１５°未満、より好ましくは１０°未満を提供する。
【００４２】
本発明は、さらに、本発明の１つの側面の方法によって製造された有機電子装置、特に、アクティブまたはパッシブＯＬＥＤディスプレイ装置を提供する。
【００４３】
図５を参照すると、これは、アクティブマトリックスＯＬＥＤ装置の画素のウェル５０２のための第１構造５００の断面図および上面図を示す。ウェル５０２は基板５０６に向けて先細るバンク５０４によって規定され、その上を、前記画素のアノードを提供するＩＴＯ層が覆う。ウェル５０２内には、ＰＥＤＯＴ層５１０が蒸着され、その上を発光ポリマー（ＬＥＰ）層５１２が覆う。図５は、ＰＥＤＯＴおよびＬＥＰ層の蒸着の前の構造の断面図を示す。
【００４４】
酸化物スペーサー層５１４はＩＴＯ層５１８の上、バンク層５０４の下に供給される。これは、前記ポジ型バンクフォトレジストのパターニングの後、従来の溶液またはドライエッチング法を使用してエッチングされる。このエッチングプロセスは、ウェル５０２の低い内部端部周辺の上に突き出る棚５１６（上面図における破線によって示される）をもたらし、蒸着工程において溶解したＰＥＤＯＴを有する溶媒が流れ込むくぼみを提供する。前記ＰＥＤＯＴ溶液は毛細管現象により前記くぼみに自然に流れ込むが、前記酸化物スペーサー５１４は親水性であるため、前記溶媒は前記棚５１６の下の層５１４の露出された内部端部にも付着する。実施態様におけるこれら２つの効果の結合が信頼性のあるＰＥＤＯＴ端部の厚さプロフィールを提供する。
【００４５】
ＰＥＤＯＴは、乾燥時に、このへこんだ端部に付着し続けるが、（疎水性）のバンクには残らない。ＰＥＤＯＴ溶液は親水性層５１４の露出された端部および／または前記くぼみの毛細管現象によって効果的に留まるので、バンクは、例えば、ＣＦ４により処理されることができ、ＰＥＤＯＴ溶液の要求から大きく独立したＬＥＰの蒸着に特に適した表面を提供する。
【００４６】
単純な例の製造過程において、ＩＴＯで被覆された基板は任意の供給者から購入され、パターニングされ、次いで、シリコン２酸化物、シリコン酸化物またはシリコン酸窒化物のようなブランケット酸化物で被覆され、疎水性層を提供する。このブランケット酸化物は、例えば、スピンオンガラスを含む。次いで、ポジ型フォトレジスト層５０４がスピンコートされ、フォトリソグラフィーによってパターニングされる（露光、現像および洗浄）。次いで、追加のマスクを必要とせずに、くぼみが酸化物スペーサー層５１４の等方性エッチングバックによって形成される。このプロセスは、バンクが有効に前記酸化物層のマスクを供給するので、自己規定プロセスである。
【００４７】
図６は、図５の画素構造５００と一緒に、および／または後述する本発明の第１および第２の側面の他の実施態様と一緒に製造される底面ゲート型ＴＦＴ構造６００の断面図を示す。図６において、図５と同じ番号は同じ構成要素を示す。この例において、基板はＩＴＯによってパターニングされないか、代わりに、第１の相対的に厚い金属材料層６０２はガラス基板５０６上に蒸着され、パターニングされてＴＦＴのゲート金属を提供する。
例えば、シリコン窒化物からなるゲート誘電体層６０４は、ゲート金属６０２上に蒸着され、ドープされていないアモルファスシリコン層６０６およびドープされたアモルファスシリコン層６０８の蒸着およびパターニングが続き、それぞれ、ＴＦＴのチャネルおよびドレイン／ソース領域を形成する。次いで、第２の金属層６１０が蒸着され、パターニングされて、トランジスタおよび絶縁層６１２のためのソースおよびドレイン導電体を提供し、次いで、例えば、シリコン窒化物が前記構造上に蒸着され、ソースおよびドレイン接続孔６１２ａがエッチングされる。次いで、ＩＴＯ層５０８が蒸着されて前記ソースおよびドレイン電極への接続が形成され、これらを１または２以上の隣接する画素に結合する。従来の工程においては、バンクフォトレジスト層５０４が蒸着される前の最後の層であるが、このＴＦＴ構造が、例えば、図５の改良されたウェル構造と関連して使用されるとき前記バンク層５０４の蒸着およびパターニング前に、前記バンク層５０４の上に追加の酸化物層（図６に示さない）が蒸着される。
【００４８】
次に、図７を参照すると、これは、図５で例示した原理を採用するより典型的な「リアルタイム」ウェル構造を示す。
【００４９】
図７および続く図において、図５および図６の同じ番号は同じ構成要素を示す。
【００５０】
図７に示されたウェル構造の実施態様において、２つの下層シリコン窒化層（誘電体層６０４および絶縁体層６１２）が示されている。
【００５１】
図８は、棚が絶縁層６１２と第２金属層６１０の結合によって供給されるウェル構造８００の追加の実施態様を示す。前の２つの実施態様と異なり、この実施態様は単に部分自己規定であり、さらに、いずれのシリコン層の前にＩＴＯ層５０８の蒸着を含む。これは、ＴＦＴ構造はただ画素のアクティブ領域に使用されるため、アクティブマトリックスディスプレイにおいて可能である、しかしながら、この実施態様において層の連続は異なるが、同じ一般的な原理が採用される。
【００５２】
概要において、シリコン６０６，６０８、金属６１０および窒化物６１２層はバンク端部内に配列され、次いで、前記金属端部の下にある前記シリコン層の等方性エッチングバックが導入されてこの構造を生成する（前記金属は、前記シリコン端部によって攻撃されないので）。金属および／または窒化物層は同時にパターニングされる。
【００５３】
ウェル構造８００において、前記棚の下のスペースは前の実施態様のそれより潜在的に深く、実施態様において（示されるように）、この深さはＰＥＤＯＴ層によって完全に満たされる。このような場合、電子発光層はＰＥＤＯＴ層によって完全に満たされない。ＰＥＤＯＴ層および電子発光層は、例えば、示されるドープされたおよびドープされないシリコン（共に親水性）のようなそれぞれ異なるスペーサー層に連結されている。有機材料層の厚さは最大５００ｎｍであり、ただし、厚さは、一般的により薄く、例えば、５０ｎｍ〜２００ｎｍであり、図８の実施態様において、棚の下のくぼみの全体高さは最大５００ｎｍ（またはこれ以上）である。
【００５４】
次に、図９を参照すると、これは、シリコン蒸着の前にＩＴＯ蒸着において伴う部分自己規定エッチング工程を使用するウェル構造９００の他の実施態様を示す。概要において、シリコンおよび窒化物層がバンク端部に配列されて、次いで、シリコン層が窒化物端部の下で等方的にエッチングバックされる。ドープされおよびドープされないシリコン層が異なる段階エッチングされるため、ＴＦＴを組み込む構造において可能である。
【００５５】
図１０は、酸化物スペーサー層がＩＴＯの後に、ただし（シリコン窒化物）絶縁層６１２の前に蒸着されるウェル構造１０００の他の実施態様を示す。この構造の形成は、くぼみが前記酸化物層の等方性エッチングバックによって形成されるので、部分的に自己規定される。ＰＥＤＯＴ溶液がくぼみに入り、親水性および／または毛細管現象によってウェルの端部に留まり、信頼性のあるＰＥＤＯＴ端部厚みプロフィールを提供するのを助ける。
【００５６】
次に、図１１を参照すると、これは、本発明の第２の側面のウェル構造の第１の実施態様の断面図（溶媒系有機材料蒸着の前および後）および上面図を示す。
【００５７】
再び、この実施態様およびこれに続くものにおいて、上記の層は同じ番号によって引用される。
【００５８】
図１１において、第１の金属層６０２がパターニングされて、その内側端部のすぐ外側のウェルの周囲に「画像フレーム」を提供する。これは、上に覆うＩＴＯ５０８における階段を形成する。次いで、ブランケット酸化物層が蒸着されて、当業者に周知な態様で等方的に（垂直に）エッチングされ、垂直端部上の材料の平縁１１０２、１１０２ａを生成する。これら酸化物平縁は親水性材料を有し、および前記ウェルの端部にＰＥＤＯＴ含有溶媒を留めるのに役立つ（ただし、この溶媒は疎水性のバンク端部に乗り上げない傾向にある）。この疎水性のＣＦ４表面処理は、ＰＥＤＯＴ溶媒がバンク上にほんの短い距離だけ上るので、ＰＥＤＯＴ蒸着から大きく独立したＬＥＰ溶媒によって適用されることができる。バンク材料、処理および／またはＬＥＰ溶媒は、したがって、ＬＥＰ溶媒がバンクをある程度濡らし、示されるようにバンクを上るＬＥＰの尾を残す。図１１はバンク端部と平縁の正確な配置を示すが、実際にはこれは生じず、この構造は、バンク端部の配置において小さなばらつき（これは、特に先細りされたバンク端部で生じる）を許容する。
【００５９】
図１２は、本発明の第２の側面によるウェル構造１２００の第１の代替の実施態様を示す。図１１に示される実施態様のように、これはある程度理想化された構造を表す。再び、平縁１１０２が形成されるが、この場合、金属階段はＩＴＯ層５０８の下ではなく上を覆う。前と同様、平縁１１０２はウェル５０２の底部における内部端部の周辺の「画像フレーム」を提供する。図１２の実施態様における注意すべき特徴は、金属６０２とＬＥＰ層５１２の直接接触である。この配列は、仕事関数の相違のために金属とＬＥＰの間の直接接触領域から光が放射されないかまたはほとんどされないので、バンク配列に対する改良された頑丈さを提供する。金属６０２はＰＥＤＯＴのような正孔輸送層（存在する場合）と接触せずに、そのためアノードとしてのその効果を減らす、および／または金属６０２およびＬＥＰ層の間の接触領域中で発光された光が見えないように実質的に不透明である、および／または低い仕事関数を有する。不透明性のために、金属６０２は好ましくは３０ｎｍを超える厚さを有する（不透明性のために必要とされる正確な厚さは材料によって異なる）。
【００６０】
図１３は、平縁１１０２がウェルバンク層５０４の傾斜面を上るウェル構造１３００の第３の（理想的な）例を示す。構造１３００は、例えば、ポジ型バンクフォトレジスト層５０４がスピンコートされフォトリソグラフィーによりパターニングされた後に、スピンオンガラスのブランケット蒸着により製造され得る。スピンオンガラスは、平縁を残してスピンオンガラスを除去する等方性、好ましくはドライエッチングを使用して、ブランケット（マスク無し）エッチングされ得る。より一般的には、他の低温またはスピンオン材料が蒸着され、続いて等方性エッチングバックによりバンクレジスト端部の内部の親水性スペーサーを形成する。図１３の実施態様はより高い平縁の利点を有し、これによって改良された溶媒留めを提供する。
【００６１】
図１４は、ウェル構造１４００の他の代替の実施態様であり、階段層は、この実施例では、シリコン窒化物絶縁層６１２の下、およびＩＴＯ層５０８の下に、ドープされないおよびドープされたアモルファスシリコン層６０６，６０８および第２金属層６１０を有する。ＩＴＯ層５０８の下にスペーサー堆積層を伴うこの構造は、潜在的により高い階段端部およびこれによってより広い平縁表面積および改良されたＰＥＤＯＴ−バンク分離を提供する。
【００６２】
図１５は、ウェル構造１５００の他の代替の実施態様であり、図１４に示されるものの似ているが、シリコン窒化物誘電体層６０４の下に、第１金属層６０２により供給された他の階段の追加を伴う、図１４に示された層の同じ組合せにより形成される２段を有する。これは、ＩＴＯ層５０８の下により高いスペーサー堆積層およびこれによって平縁１１０２の潜在的により大きな表面積を提供する。
【００６３】
図１６は、ウェル構造１６００のさらに他の代替的な実施態様を示し、この構造において先細りバンク５０４端部の２つの代替的な相対的配置を示しており、配置の寛容性を示している。
【００６４】
図１６の構造において、例示において、ＩＴＯ層５０８が金属層の１つの上に蒸着され、第１金属層６０２および次いで自己規定スペーサー平縁１１０２が（パターニングされた）ＩＴＯ層５０８の端部周辺に形成される。先細りバンク層５０４の端部は下部金属層に配置されるが、ＩＴＯ層５０８に正確に配置される必要がない。なぜなら、下層金属層６０２が露出されても、仕事関数の不適合により、形成されるダイオードは発光効率がよくないからである。したがって、図１６の構造１６００の画素の発光は本質的にＩＴＯ５０８の面積によって決まり、配置に寛容な構造を提供する。それにもかかわらず、前のように、平縁はＰＥＤＯＴ含有溶媒をウェルの側面の底部に向けて引っ張る効果を有する（および、これがＩＴＯを覆うので、濡れまたは、他の点ではバンク端部の程度は本質的に重要ではない）。
【００６５】
この原理は、いくつかの点で図１２の実施態様に類似している。ただし、この実施態様では、画素領域（の周囲）はほとんど配置の慣用性に影響を与えていない。例示されるように、図１６における第１の実施態様において、金属は透明であるが、ＰＥＤＯＴと接触せず、したがって高仕事関数金属であり得る。図１６の第２の実施態様において、金属は透明で、バンクの配置ミスのためＰＥＤＯＴと接触され、これは、この実施態様における金属層は低仕事関数を有し、ＰＥＤＯＴとの不適合を提供する。
【００６６】
図１７を参照すると、「インク液滴」蒸着ウェルの底部の疎水性材料の短く突き出た棚を有する装置を製造するために示されるように、これはＯＬＥＤの製造方法の実施態様を示す。この方法も、アンダーカットバンクを有する装置を製造するために、種々に有益である。
【００６７】
より詳細には、図１７ａ〜１７ｃはウェル構造１７００の製造における連続的な工程を示し、ここでは、前に採用した引用番号を使用し、ＯＬＥＤディスプレイの画素のためのウェル５０２は基板上のバンク５０４によって規定される。基板５０６はＩＴＯ５０８層を有し、画素のためのアノード接続を提供し、その上に酸化物スペーサー層５１４および次いでバンク材料が蒸着され、好ましくは、図１７ａに示されるように基板に傾くバンク５０４を形成する。
【００６８】
図１７ｂにおいて、ＳｉＯ２層５１４の等方性ドライ（プラズマガス）エッチングはバンク５０４をマスクとして使用して行われ、自己規定エッチングマスク法を提供する。これは、図１７ｃに示されるように、前方に出た階段の製造の用意である。これは、バンク材料で規定されるものと実質的に同じ開口を生成する。あるいは、溶液（または、ドライ、プラズマ）等方性エッチングが行われ、酸化物層５１４の下部を切除し、図１７ｂに示される真直ぐな垂直な端部ではなく、図５に示されるような一般的なタイプの構造を製造する。他の代替において、（ドライ、プラズマ）等方性エッチングが行われ、前の工程で十分なバンク材料ナ除去されて、図１７ｃに示される突き出た階段を残す。
【００６９】
図１７ｃはＯ２プラズマアッシングレジスト除去工程後の構造を示し、この工程は、画素端部において薄くなることで短絡を生じないように、バンク５０４の厚さを減らして開口を広げ、示されるようにＳｉＯ２の端部を露出する。この工程は、酸化物および下層ＩＴＯを清浄化して濡れるようにし、ＰＥＤＯＴ溶液の蒸着、これに続くＬＥＰ蒸着の準備をする。
【００７０】
この方法の実施態様は、レジストバンク画素ウェルの端部における親水性現象を提供し、酸化物層に対する独立したマスクを使用しないで自己規定または部分的自己規定によって行うことを可能にする。さらに、もし端部（突き出た階段または下部切除）構造が、アルミニウムのような層の側面に形成されると、アノード接続が低仕事関数金属（通常、アノードはＩＴＯのような高仕事関数金属である）に接触するときこのダイオード構造は非効率であるから、この層はアクティブ画素の自然な規定を提供する。この方法の実施態様は、標準のポジ型レジストが（画素バンク端部を横切るカソード金属化のための良好な階段−被覆を維持するために）使用されるのを可能にする。したがって、ＬＥＰインクは、ＰＥＴ濡れおよびＬＥＰ濡れプロセスを分断しながら、表面エネルギー改変処理（例えば、前述したように、ＣＦ４プラズマ処理）に基づいて閉じ込められる。これは、表面調整工程がＬＥＰのために調整され（画素レジスト内における良好な閉じ込めを潜在的に可能にし）、一方、ＰＥＤＯＴ濡れは、自己規定された画素端部（突き出した階段または下層切除）の親水性または毛細管現象に実質的に完全に頼るので、レジスト上のＰＥＤＴ接触角には敏感ではない。
【００７１】
本発明の実施態様は、ポジ型バンクレジストの使用を可能にし、前述した構造上の利点、特に、画素端部にわたって不連続部なしに良好な金属カソード接続を形成すること、およびＰＥＤＯＴの分離された段階およびＬＥＰ（または他の発光材料）蒸着のための構造（例えば、表面調整）の採用を容易化するためにＰＥＤＯＴおよびＬＥＰ濡れ工程を実質的に分離することを提供する。さらに、例えば、追加のマスク／パターニング工程の必要なく前述した構造の実施態様は自己規定または部分自己規定工程を使用して製造されることができる。他の実施態様は、前記アノード接続が、例えば、４電子ボルト以下および／または介在する正孔輸送層なしの低仕事関数金属により形成されるとき、発光ダイオード構造の固有の非効率性の利点をとり配置慣用性を達成する。大まかに言って、本発明の実施態様は、前記材料が蒸着されるウェルの側面においてＰＥＤＯＴ（およびＰＥＴ）溶媒の濡れ／留めを容易化するための表面エネルギー関連技術に頼る。
【００７２】
上述したウェル構造は、溶液蒸着有機電子装置の広い範囲に採用される。これらは、アクティブまたはパッシブマトリックス電子ディスプレイ装置、または、例えば、いわゆるバンク層および／または有機電子材料の蒸着のために準備される装置のためのＴＦＴ−系アクティブマトリックス背板に組み込まれる。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】ＯＬＥＤ装置の例の断面図を示す。
【図２】３色画素ＯＬＥＤディスプレイの一部の上面図を示す。
【図３ａ】パッシブマトリックスＯＬＥＤ装置の上面図を示す。
【図３ｂ】パッシブマトリックスＯＬＥＤ装置の断面図を示す。
【図４ａ】溶解した材料で満たされたＯＬＥＤディスプレイ基板のウェルの簡略断面図を示す。
【図４ｂ】乾燥した材料で満たされたＯＬＥＤディスプレイのウェルの簡略断面図を示す。
【図５】本発明の第１の側面の第１の実施態様の有機電子装置構造を示す。
【図６】本発明の側面を実施する製造並行構造に適した底面ゲート型薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）構造を示す。
【図７】本発明の第１の側面の第２の実施態様の有機電子装置構造を示す。
【図８】本発明の第１の側面の第３の実施態様の有機電子装置構造を示す。
【図９】本発明の第１の側面の第４の実施態様の有機電子装置構造を示す。
【図１０】本発明の第１の側面の第５の実施態様の有機電子装置構造を示す。
【図１１】本発明の第２の側面の第１の実施態様の有機電子装置構造を示す。
【図１２】本発明の第２の側面の第２の実施態様の有機電子装置構造を示す。
【図１３】本発明の第２の側面の第３の実施態様の有機電子装置構造を示す。
【図１４】本発明の第２の側面の第４の実施態様の有機電子装置構造を示す。
【図１５】本発明の第２の側面の第５の実施態様の有機電子装置構造を示す。
【図１６】本発明の第２の側面の第６の実施態様の有機電子装置構造を示す。
【図１７ａ】本発明の側面の実施態様の有機電子装置構造の製造を示す。
【図１７ｂ】本発明の側面の実施態様の有機電子装置構造の製造を示す。
【図１７ｃ】本発明の側面の実施態様の有機電子装置構造の製造を示す。
【符号の説明】
【００７４】
１００ ＯＬＥＤ
１０２ 基板
１０６ アノード層
１０８ 正孔輸送層
１１０ カソード層
１１２ バンク
１１４ ウェル
２００ アクティブマトリックス画素ＯＬＥＤディスプレイ
３００ 基板
３０２ カソード下層分離体
３０４ 領域
３０６ アノード層
３０８ ウェル
３１０ バンク
４００ 断面図
４０２ 溶解した材料
４０４ 固体薄膜
５００ 第１構造
５０２ ウェル
５０４ バンク
５０６ 基板
５０８ ＩＴＯ層
５１０ ＰＥＤＯＴ層
５１２ ＬＥＰ層
５１４ スペーサー
５１６ 棚
５１８ ＩＴＯ層
６００ 底面ゲート型ＴＦＴ
６０２ 金属材料層
６０４ 誘電体層
６０６ ドープされないアモルファスシリコン層
６０８ ドープされたアモルファスシリコン層
６１０ 第２金属層
１１０２ 平縁
１２００ ウェル構造
１３００ ウェル構造
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機電子装置、特に、有機発光ダイオードの構造および製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
本発明の理解を助けるために、先ず、ＯＬＥＤ装置のいくつかの特徴およびその製造におけるいくつかの問題点を説明する。しかしながら、本発明の実施態様は特定のＯＬＥＤ装置を引用して記載されるが、この技術は有機電子装置の製造一般に適用できることは明らかである。
【０００３】
有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）は電気光ディスプレイの特に有利な型である。これは、明るく、カラフルで、立ち上がりが早く、広い視野角を提供し、多様な基板上に安く簡単に製造することができる。有機（本明細書では、有機金属を含む）ＬＥＤは、使用される材料に応じて、多色（またはマルチカラーディスプレイ）の範囲で、ポリマーまたは低分子を使用して製造される。典型的なＯＬＥＤ装置は２つの有機材料を有し、その１つは発光ポリマー、オリゴマーまたは発光低分子量材料のような発光層であり、他はポリチオフェンまたはポリアニリンのような正孔輸送材料の層である。
【０００４】
有機ＬＥＤは、単色または多色画素ディスプレイを形成するために、画素のマトリックス中の基板上に蒸着される。多色ディスプレイは、赤、緑、青色発光画素のグループを使用して形成される。いわゆるアクティブマトリックスディスプレイは、記憶素子、通常、各画素に連結された蓄積容量およびトランジスタを有し、他方、パッシブマトリックスディスプレイはそのようなメモリ素子を有さず、その代わり、固定した画像の印象を与えるために繰返しスキャンされる。
【０００５】
図１はＯＬＥＤ装置１００の例の断面図を示す。アクティブマトリックスディスプレイにおいては、画素の１一部領域は連結された駆動回路（図示しない）によって占められている。この装置の構造は、例示のために簡略化されている。
【０００６】
ＯＬＥＤ１００は、基板１０２、通常、０．７ｍｍまたは１．１ｍｍのガラス、しかし、任意に透明なプラスチックを有し、その上にアノード層１０６が蒸着される。アノード層は、通常、約１５０ｎｍの厚さのＩＴＯ（インジウム錫酸化物）を含み、その上に、約５００ｎｍのアルミニウムの金属接続層が提供され、しばしばアノード金属と呼ばれる。ＩＴＯで被覆されたガラス基板および接続金属は、Ｃｏｒｎｉｎｇ，ＵＳＡから購入することができる。接続金属（および任意にＩＴＯ）は、ディスプレイを覆い隠さないように、従来のリソグラフィーとこれに続くエッチングにより望まれるようにパターニングされる。
【０００７】
実質的に正孔輸送層１０８ａはアノード金属上に供給され、続いて電子発光層が供給される。バンク１１２は、ポジ型またはネガ型フォトレジストから基板上に形成することができ、ウェル１１４を規定し、この中には、例えば、液滴蒸着またはインクジェット印刷によって、これらの活性有機層が選択的に蒸着される。したがって、ウェルは発光領域またはディスプレイの画素を規定する。
【０００８】
次いで、カソード層１１０が、例えば、物理真空蒸着によって適用される。カソード層は、通常、厚いアルミニウムのキャップ層で覆われたカルシウムまたはバリウムのような低仕事関数の金属を有し、任意に、例えば、電子エネルギーレベルの適合を改良するために、電子発光層に隣接して追加の層を有する。カソード線の相互の電気的絶縁はカソードセパレータ（図３ｂの３０２）を使用して達成される。通常、多数のディスプレイが基板上に形成され、形成プロセスの最後で、ディスプレイに酸化および湿気の浸入を防止するためにカプセル缶が互いに付着される前に、基板は切断される。
【０００９】
この通常のタイプの有機ＯＬＥＤは、変化する駆動電圧および効率において波長範囲に渡って発光するために、ポリマー、デンドリマーおよびいわゆる低分子を含む材料の範囲を使用して製造される。ポリマー系ＯＬＥＤの例は、ＷＯ９０／１３１４８、ＷＯ９５／０６４００およびＷＯ０９／４８１６０に記載されており、デンドリマー系材料の例はＷＯ９９／２１９３５およびＷＯ０２／０６７３４３に記載されており、低分子ＯＬＥＤ材料の例はＵＳ４，５３９，５０７に記載されている。前述のポリマー、デンドリマーおよび低分子は１重項の放射性崩壊によって発光（蛍光）する。しかしながら、励起の７５％までは、通常、非放射性崩壊を行う３重項励起である。３重項崩壊による電子発光（燐光）は、例えば、“Ｖｅｒｙ ｈｉｇｈ−ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ ｇｒｅｅｎ ｏｒｇａｎｉｃ ｌｉｇｈｔ−ｅｍｉｔｔｉｎｇ ｄｅｖｉｃｅｓ ｂａｓｅｄ ｏｎ ｅｌｅｃｔｒｏｒｏｐｈｏｓｐｈｏｒｅｓｃｅｎｃｅ”Ｍ．Ａ．Ｂａｉｄｏ，Ｓ．Ｌａｍａｎｓｋｙ，Ｐ．Ｅ．Ｂｕｒｒｏｗｓ，Ｍ．Ｅ．Ｔｈｏｍｐｓｏｎ，ａｎｄ Ｓ．Ｒ．Ｆｏｒｒｅｓｔ Ａｐｐｌｉｅｄ Ｐｈｙｓｉｃｓ Ｌｅｔｔｅｒｓ，Ｖｏｌ．７５（１）ｐｐ．４−６，Ｊｕｌｙ５，１９９９に開示されている。電子発光層は、例えば、約７０ｎｍ（乾燥）の暑さのＰＰＶ（ポリ（ｐ−フェニレンビニレン））を有し、電子発光層は、例えば、ＰＥＤＯＴ：ＰＳＳ（ポリスチレン−スルフォネート−ドープ−ポリエチレン−ジオキシチオフェン）の約５０〜２００ｎｍの厚さ、好ましくは、約１５０ｎｍを有する。
【００１０】
図３ａおよび図３ｂを参照すると、隣接するカソード線（領域３０４に蒸着される）を分離するための複数のカソード分断セパレータ３０２が基板に供給される。複数のウェルがバンク３１０によって規定され、各ウェルの周囲にそって形成され、アノード層３０６をウェルの底に露出させる。バンクの端部または面は図示されるように、通常１０および４０°の角度で基板の表面に向かって先細になる。バンクは、蒸着される有機材料で濡れないように疎水性の表面を提供し、蒸着される材料がウェル内におさまるのを助ける（極性または非極性溶媒が使用され得るが、通常使用される溶媒は極性を有する）。これは、ＥＰ０９８９７７８に開示されるようにＯ２／ＣＦ４プラズマによりポリイミドのようなバンク材料を処理することによって達成される。あるいは、ＷＯ０３／０８３９６０に開示されるように。フッ素化ポリイミドのような弗化材料の使用によってプラズマ処理工程は回避される。
【００１１】
前述したように、バンクおよびセパレータ構造はレジスト材料、例えば、バンクのためにポジ型（またはネガ型）レジストが、セパレータのためにネガ型（またはポジ型）レジストを使用して、レジスト材料から形成される。これらのレジストは、ポリイミド系であり、基板上にスピンコートされるか、またはフッ素化またはフッ素系フォトレジストが使用される。示される例においては、カソードセパレータは約２０μｍおよび１００μｍの幅であり、示された例は、（バンクが約１μｍの高さとなるように）各端部において４μｍのテーパーを有する。図３ａの画素は約３００μｍ平方であるが、後述するように、画素の大きさは、意図する用途に応じてかなり変化する。
【００１２】
インクジェット印刷技術を用いた有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）の材料の蒸着技術は、多くの文献に記載されており、例えば、Ｔ．Ｒ．Ｈｅｂｎｅｒ，Ｃ．Ｃ．Ｗｕ，Ｄ．Ｍａｒｃｙ，Ｍ．Ｈ．Ｌｕ ａｎｄ Ｊ．Ｃ．Ｓｔｒｕｍ，“Ｉｎｋ−ｊｅｔ Ｐｒｉｎｔｉｎｇ ｏｆ ｄｏｐｅｄ Ｐｏｌｙｍｅｒｓ ｆｏｒ Ｏｒｇａｎｉｃ Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｅｖｉｃｅｓ”，Ａｐｐｌｉｅｄ Ｐｈｙｓｉｃｓ Ｌｅｔｔｅｒｓ，Ｖｏｌ．７２，Ｍｏ．５，ｐｐ．５１９−５２１，１９９８；Ｙ．Ｙａｎｇ，“Ｒｅｖｉｅｗ ｏｆ Ｒｅｃｅｎｔ Ｐｒｏｇｒｅｓｓ ｏｎ Ｐｏｌｙｍｅｒ Ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｖｅｎｔ Ｄｅｖｉｃｅｓ，”ＳＰＩＥ Ｐｈｏｔｏｎｉｃｓ Ｗｅｓｔ：Ｏｐｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ ’９８，Ｃｏｎｆ．３２７９，Ｓａｎ Ｊｏｓｅ，Ｊａｎ．，１９９８；ＥＰＯ ８８０３０３；および“Ｉｎｋ−Ｊｅｔ Ｐｒｉｎｔｉｎｇ ｏｆ Ｐｏｌｙｍｅｒ Ｌｉｇｈｔ−Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｅｖｉｃｅｓ”，Ｐａｕｌ Ｃ． Ｄｕｉｎｅｖｅｌｄ，Ｍａｒｇａｒｅｅｔ Ｍ．ｄｅ Ｋｏｋ，Ｍｉｃｈａｅｌ Ｂｕｅｃｈｅｌ，Ａａｄ Ｈ．Ｓｅｍｐｅｌ，Ｋｅｅｓ Ａ．Ｈ．Ｍｕｔｓａｅｒｓ，Ｐｅｔｅｒ ｖａｎ ｄｅ Ｗｅｉｊｅｒ，Ｉｖｏ Ｇ．Ｊ．Ｃａｍｐ，Ｔｏｎ Ｊ．Ｍ．ｖａｎ ｄｅｎ Ｂｉｇｇｅｌａａｒ，Ｊａｎ−Ｅｒｉｃ Ｊ．Ｍ．Ｒｕｂｉｎｇｈ ａｎｄ Ｅｌｉａｖ Ｉ．Ｈａｓｋａｌ，Ｏｒｇａｎｉｃ Ｌｉｇｈｔ−Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ ａｎｄ Ｄｅｖｉｃｅｓ Ｖ．Ｚａｋｙａ Ｈ．Ｋａｆａｆｉ，Ｅｄｉｔｏｒ，Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓ ｏｆ ＳＰＩＥ Ｖｏｌ．４４６４（２００２）に開示されている。インクジェット技術は、低分子およびポリマーＬＥＤの両者の材料を蒸着するために使用される。
【００１３】
有機電子材料を蒸着するために、０．５％〜４％の溶媒に溶解した材料を有する揮発性の溶媒が一般的に使用される。これは、乾燥するのに数秒から数分かかり、最初の「インク」容量に比較して相対的に薄い膜をもたらす。しばしば、乾燥材料の十分な厚さを提供するためには、好ましくは乾燥が始まる前に、複数の液滴が蒸着される。使用され得る溶媒としては、シクロヘキシルベンゼンおよびアルキルベンゼン、特に、トルエンまたはキシレンが使用される。これらの混合の溶媒の使用することができる。Ｌｉｔｒｅｘ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ ｏｆ Ｃａｌｉｆｏｒｎｉａ，ＵＳＡの装置のような正確なインクジェットプリンターが使用される。適切なプリントヘッドは、ＮＨ，ＵＳＡのＸａａｒ ｏｆ Ｃａｍｂｒｉｄｅｇｅ，ＵＫ ａｎｄ Ｓｐｅｃｔｒａ，Ｉｎｋから入手できる。いくつかの特に有利な印刷手法は、本出願人の出願である２００２年１１月２８日出願ＵＫ特許出願０２２７７７８．８（および対応するＰＣＴ公開ＷＯ２００４／０４９４６６）に記載されている。
【００１４】
インクジェット印刷は、有機電子装置の材料の蒸着に多くの利点を有するが、この技術に関連する欠点もいくつか存在する。しかしながら、浅い端部を有するウェル内に蒸着された溶解した有機電子材料は、乾燥して比較的薄い端部を有する薄膜を形成する。図４ａおよび４ｂはこのプロセスを図示している。
【００１５】
図４ａは、溶解した材料４０２で満たされた壁３０８の簡略断面図を示し、図４ｂは、材料が乾燥して固体薄膜４０４を形成した後の同図を示す。この実施例において、バンクの角度は約１５°であり、バンクの高さは約１．５μｍである。見られるように、ウェルは、ふちまでいっぱいになるまで満たされる。溶液４０２はプラズマ処理されたバンク材料に対する接触角θｃとして３０°および４０°、例えば約３５°を有する。これは、溶解した材料４０２の表面が接触する（バンク）材料と、例えば、図４ａにおける４０２ａの角度を作る、溶媒が蒸発するにつれて、溶液はより濃縮され、溶液の表面は基板に向かってバンクの傾き面を下方に移動し、乾燥端部の留まりが基板上の最初に付着した濡れ端部とバンクの足（ウェルの底）の間の点で生じる。図４ｂに示されるように、この結果、乾燥材料４０４の薄膜は、バンク面に接する場所において、例えば、１０ｎｍ以下の厚さとなる。
【００１６】
出願人は、ＷＯ２００５／０７６３８６として公開された２００４年２月５日出願のＵＫ特許出願０４０２５５９．９において、ウェルの端部に向かって溶液を押す効果を有するアンダーカットバンクの使用により、より均一な充填を得るのを助けることを記載した。しかしながら、このようなバンクは製造するのが容易ではなく、一般的に、高価でありプロセスの条件に敏感なネガ型フォトレジストを使用する。したがって、ポジ型フォトレジストの使用により適した改良された技術の必要性が存在する。
【００１７】
他の問題点は、画素の大型化に伴い生じ、例えば、開口２４０μｍ〜２６０μｍは３００μｍ画素ピッチを提供する。インク液滴の容量は液滴の特徴的な長さの立方体に比例し、表面の保護範囲は画素の次元の四角に比例し、このための任意のインクの薄め方においては、より薄いインクが必要とされるように多くの材料が蒸着される。例えば、より大きな画素および８０ｎｍの望まれるＰＥＤＯＴ薄膜の厚さにおいては、１％のインクの濃度が導入されるが、１パーセントのインクを広げて、濡らし大きな画素を満たすのは困難である。これは、いわば、満杯であふれるばかりの画素は１２０ｎｍの厚さの薄膜をもたらす。さらに、製造プロセスにおいて、インクの希釈を変えることは高価である。
【００１８】
一般的に、画素ウェルの底部はＩＴＯを含み、これは、通常、１０度未満の低接触角を有し、相対的に良好な濡れ性を提供する。しかしながら、特に、大きな画素を有すると、円形を有する蒸着された液滴ほど濡れは濡れ性は完全ではなく、溶媒はウェルの底内の点で留まる傾向にあるため、蒸着された液滴はでこぼこの端部を有する。上述したように、バンク上の溶液の接触角は相対的に高いので、より多くの溶媒がウェルに加えるほど、溶液がバンクを上るより液滴の高さは高くなり、乾燥すると表面エネルギーによって溶液はウェルの端部から離れる。これは、ＰＥＤＯＴ蒸着について特に問題であり、この薄い端部はカソード（ＩＴＯ）と覆う発光ポリマー（ＬＥＰ）との直接接触をもたらし、結果、不完全で効率の低い画素となる。ＥＰ０９９３２３５においては、セイコーエプソンは、画素の底の内部端部のアノードを覆う誘電体層を蒸着することによりこの問題の解決を狙っているが、これは、配置の許容誤差の必要性を考慮すると有効な画素面積を２０％まで減らす欠点がある。
【特許文献１】国際公開２００５／０７６３８６号パンフレット
【特許文献２】欧州特許０９９３２３５号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
したがって、改良された有機電子構造および製造技術の改良、これらの問題を解決する製造技術、および、特に、有機電子発光材料を溶媒系蒸着プロセスに広げるのを助ける必要性がある。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
したがって、本発明の第１の側面によれば、有機電子装置の構造が提供され、この構造は、基板、前記基板支持され、有機電子材料の溶媒系蒸着のためのウェルの底面を規定する底面層、前記基板上に形成された１または２以上のスペーサー層、および前記底面層に隣接する前記ウェルの端部を含み、前記ウェルの端部は基板上の棚を規定するためにアンダーカットされ、前記棚は前記有機電子材料を受けるためのくぼみを有する。
【００２１】
好ましくは、前記棚の底面は実質的に水平で、１または２以上のスペーサー層によって規定される距離で基板から離れている。前記棚は前記バンクによって規定され、１または２以上の棚の層は前記スペーサー層と前記バンク層の間の構造に含まれることができ、前記棚を規定する。好ましくは、前記棚の層は誘電体を有するが、実施態様として、前記棚の層金属層を含むことができる。後述する実施態様から明らかなように、前記棚および／またはスペーサー層は、一般的に、金属、酸化物および／またはドープされたおよび／またはドープされないシリコン層のような装置の製造のために既に存在する層によって供給される。アクティブマトリックスディスプレイ装置においては、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）は各画素に連結され、次いで、前記スペーサー層は、ＴＦＴまたは酸化物層の製造に使用されるドープされたおよび／またはドープされないアモルファスシリコン層によって形成され得る。同様に、棚の層は、シリコン窒化誘電体および／または絶縁層のようなＴＦＴの製造過程で蒸着される場合の層の１つによって便利に形成される。
【００２２】
好ましくは、前記棚の下のくぼみは、前記スペーサー層と有機電子材料の接触を許容するように設定されており、すなわち、前記くぼみはスペーサー層の端部を露出する。これは、前記溶媒が前記ウェルの前記端部に留まるのを助ける。したがって、好ましい実施態様において（溶媒が少なくとも部分極性である場合）、スペーサー層はシリコン、一酸化シリコン、二酸化シリコン、またはシリコン酸窒化物などを有する。任意に、スペーサー層は（より）親水性になるように処理され得る。
【００２３】
実施態様において、スペーサー層のための親水性材料を使用することにより、ＰＥＤＯＴは親水性スペーサー層を濡らし、これによってバンク上のＬＥＰの濡れ角度を実質的に独立して調整することができるので（ＰＥＤＯＴの濡れは親水性材料によって支配されるので）、ＰＥＤＯＴおよびＬＥＴ濡れのための望ましい性質を分離させることができる。例えば、一般的に、バンクレジストはＬＥＰ溶媒に９０°より大きい濡れ角度であるが、これは、例えば、バンク材料に対してＬＥＰの濡れ性を改良するために、９０度未満、６０°または３０°ですらよい。ＰＥＤＯＴ溶媒は棚の下を流れ、疎水性層によって留められるので、ＰＥＤＯＴ層を短絡するリスクは大きく減少する。ＰＥＤＯＴ溶媒（いくつかの極性を有する溶媒が導入されるので）の留めのための親水性の端部を提供するスペーサー層について一般的に引用されているが、より一般的には、露出されたスペーサー層端部に対する溶媒の良好な濡れは、例えば、１５°、１０°以下のような低い接触角により定義されるのが望ましい。
【００２４】
上記の構造の実施態様に伴い、バンク層は通常の方向で基板に向かって先細りであり（壁の側面が近づくにつれ基板に向かって薄くなる）、したがって、バンクはポジ型フォトレジストを使用して定義される。
【００２５】
いくつかの好ましい実施態様において、この構造は、アクティブマトリックスディスプレイ画素のようなＯＬＥＤの一部を構成する。この場合において、底面層は、一般的にＩＴＯのような透明アノード層、ＰＥＤＯＴのような導電性（正孔）輸送材料の第１層を含むウェル中に蒸着される有機電子材料、第１層上を、例えば、発光ポリマー、低分子材料、デンドリマー系材料などの第２層が覆う。次いで、前記棚の下のくぼみは、有機電子材料（例えば、ＰＥＤＯＴ）の第１層で占められ、好ましくは実質的に完全にこの材料で占められ、第２の発光層は第１層を覆い、バンクを部分的に上昇する。他の実施態様において、発光層は棚の下にあり、第２のスペーサー層によってウェル端部に留められ、第２スペーサー層は、例えば、良好な濡れを提供するために発光層を蒸着するために使用される溶媒に応じて調整される。１つのこのような実施態様において、第１のスペーサー層はドープされない（アモルファス）シリコンを含み、第２のスペーサー層はドープされた（アモルファス）シリコンを含み、両者はアクティブマトリックスＴＦＴトランジスタの製造に使用され、したがって、ウェル端部で留まる蒸着に便利である。
【００２６】
関連する側面において、本発明は基板上に有機電子装置を形成する方法を提供し、前記方法は、前記基板上に１または２以上の底面層を形成する工程、前記１または２以上の底面層上に１または２以上のスペーサー層を形成する工程、前記１または２以上のスペーサー層の上にバンク材料を蒸着する工程、前記基板をエッチングして底にくぼみを規定するアンダーカットされた棚を有するウェルを規定する工程、および有機電子材料を前記ウェルに蒸着する工程を含む。
【００２７】
好ましくは、前記エッチングは少なくとも部分的には自己規定（セルフアライング）エッチングを含む。この方法において、バンクを規定するために使用されるマスクはアンダーカットされた棚をエッチングしてスペーサー層を露出するために使用され、特に、自己規定（セルフアラインド）装置において棚層をエッチングするために使用される。
【００２８】
他の側面において、本発明は、有機電子装置の液滴−蒸着−系製造のための構造における液滴蒸着ウェルの形成方法を提供する。前記方法は、基板上に親水性材料層を蒸着する工程、前記親水性材料層の上にバンク材料層を蒸着する工程、前記バンク材料層をパターニングして１または２以上の前記液滴蒸着ウェルを形成するバンクを規定する工程、前記パターニングされたバンク材料層をレジストとして使用して自己規定プロセス中において前記親水性材料層をエッチングする工程を含む。
【００２９】
実施態様において、この方法は、１つはバンク材料について、もう１つは疎水性（またはスペーサー）層についての２つの独立したマスク工程の必要性を省く。当業者は、この方法が適用される基板は、ＩＴＯのような最初の透明導電体の下層を有するものが購入または用意されてきたことを一般的に理解する。本発明のいくつかの好ましい実施態様において、バンク材料は、レジスト、好ましくは、ポジ型レジストを含む。好ましくは、バンクはバンク材料の一層のみ（これは好ましくは疎水性である）および親水性材料（酸化物のような）の１層のみを有する。
【００３０】
本発明の方法の好ましい実施態様において、疎水性材料は、誘電体材料、特にＳｉＯ２を有する。ただし、窒化シリコンおよびシリコン酸窒化物のような他の材料またはレジストも適用できる。他の実施態様において、親水性材料は、アルミニウム、クロムまたはモリクロムのような親水性金属を含む。このような実施態様において、例えば、前記金属は、アノードトラック抵抗を減らすＩＴＯ上に形成されたアノード金属を含む。この方法を用いたＯＬＥＤ装置の実施態様において、前記金属は有機電子材料に、特にＰＥＤＯＴに向けられ、その後ウェル中に蒸着される。しかしながら、前記金属が関係する材料（ＰＥＤＯＴ）のための不良な電子注入体（高い仕事関数を有する）である場合、これは、実質的に絶縁層として機能するのでこの接触は装置の十分な作動とならない。
【００３１】
自己規定エッチング工程においては、バンクレジストはマスクとして働くか、等方性または非等方性であり得る。好ましい実施態様において、エッチングはプラズマエッチングを含む。等方性エッチングは疎水性層の下を切り取る（したがって、基板および上部バンク層の間のスペーサーとして働く）。非等方性エッチングは、バンクの端部（これは通常先細である）が終了する疎水性層の端部をほぼ垂直下方に切除する。等方性エッチングの場合、ドライエッチング、特にプラズマエッチングが導入されることができ、これは下方切除内で自己規定し、下方切除の深さが制御される。あるいは、溶液エッチングを導入することができる。等方性エッチングについては、プラズマエッチングが好ましい。
【００３２】
前記装置構造のアンダーカットの実施態様については、疎水性（スペーサー）層は５００ｎｍ未満、例えば、５０ｎｍと２００ｎｍの間、およびいくつかの実施態様において約１００ｎｍである。他の実施態様において、親水性層は（効果的な）絶縁層を提供しバンク端部の底部での短絡を減らすのに役立つ場合（蒸着された有機電子材料が溶媒乾燥効果のため、より薄くなる傾向にある場合）、親水性層はより薄くすることができ、例えば、１００ｎｍ、１０ｎｍまたは５ｎｍ未満である。限界の厚さは、連続的な絶縁膜を形成する要望によって決まり、例えば、ＳｉＯ２では２ｎｍである。非等方性エッチングは、下方切除を防止し、棚を残すために切り取られるバンク材料の量を減らすので、ウェルの底部で絶縁性の棚を形成する方法の実施態様として好ましい。
【００３３】
いくつかの特に好ましい実施態様においては、Ｏ２プラズマアッシングのようなプラズマアッシング法がエッチングの後に行われる。これは、最も薄くなっているバンクの底部の一部、すなわち、ウェルの底部に隣接する部分を取り除き（同時にバンクの全体の厚みを減らす）、ウェルの底部に隣接する親水性材料を露出させる。これは、バンク材料の穴を親水性材料中のものより大きくなるように拡大させる。親水性材料層の露出部分は、前述したように、絶縁性のスペーサーとして働き、ウェルの底部の端部の短絡を防止する。特に、これは親水性ＰＥＤＯＴ溶液を引きつけ、これはこの材料の露出部分に効果的に付着し、このような蒸着された材料の液滴の端部を留める。さらに、ＰＥＤＯＴ溶液はこのように閉じ込められるので、バンク材料の層の表面エネルギーは、発光ポリマー（ＬＥＰ）層のような材料の実質的な蒸着層のために望まれる特性に向けて独立して調整される。バンクレジストの場合、例えば、これは、ＬＥＰの良好な閉じ込めのために、バンク材料をＣＦ４プラズマで処理して疎水性にすることによって行われる。（この「調整」は、わずかな「汚染効果」があるだけで、下層酸化物の親水性にほとんど影響を与えない。）あるいは、「テフロン化」またはフッ素化レジストが疎水性のバンク特性を達成するために導入される。したがって、この方法のこれらの実施態様は、大まかに言って、いわゆるＰＥＤＯＴおよびＬＥＰの溶液蒸着の結合を切り離すための異なる望まれる表面処理（親水性及び疎水性）を許容する。さらに、水中のいわゆるＰＥＤＯＴ溶液の高いバンク接触角である、９０〜１１０°は、ＰＥＤＯＴをバンクから離れさせ、したがってこの材料を閉じ込めることを助ける。
【００３４】
したがって、他の側面において、本発明は、有機電子装置の液滴蒸着系の製造のための液滴蒸着ウェルの方法を提供し、この方法は、基板上に疎水性材料を蒸着する工程、前記親水性材料の層の上にレジスト材料の層を蒸着する工程、前記レジスト材料をパターニングして前記液滴蒸着ウェルの１または２以上を形成するバンクを規定する工程、前記疎水性材料の層をパターニングして、前記１または２以上の液滴蒸着ウェルの底部領域の少なくとも一部から前記親水性材料を除く工程、およびレジスト除去法を使用して前記バンクの底部に隣接する親水性材料の前記パターンニングされた層の上部表面の一部を露出する工程を含む。
【００３５】
実施態様において、バンクを超えて突き出し、下層ＩＴＯと同様の表面エネルギーを有する底部層の供給はコストおよび開口率におおきな影響を与えずに生産性と均一性を助ける。レジスト除去（アッシング）に支配されるこの構造は自己規定プロセスでは形成されず、例えば、２つのマスクプロセスを使用して形成されてきた。
【００３６】
関連する側面において、本発明は上記の方法を使用して形成される有機電子装置を提供する。特に、このような装置は、有機電子材料で満たされた複数の液滴蒸着ウェルの下の疎水性材料のパターニングされた層を有する基板を含み、前記英的蒸着ウェルの１または２以上を形成する前記バンクの底部に隣接する疎水性材料の前記パターニング層の上部表面の一部は前記有機電子材料にさらされる。
【００３７】
さらに他の側面において、本発明は有機電子装置構造を提供し、前記構造は、基板、および前記基板により支持され、有機電子材料の溶媒系蒸着のためのウェルを規定するバンク層を含み、前記構造は、さらに、前記ウェルの内部端部および前記ウェルの底部にある平縁を規定する平縁層を含む。
【００３８】
好ましくは、前記平縁は、シリコンの酸化物および／または窒化物のような親水性材料を有する。前記平縁層は、前記装置の一部または前記装置に連結される薄膜トランジスタの酸化物層のような有機電子装置のいくつかの他の部分を形成する層からなることができる。
【００３９】
１つの実施態様において、前記平縁は基板に向かって先細りする前記バンクに一部に横たわっている。他の実施態様において、１または２以上の層はパターニングされて前記ウェルの内側端部において階段を規定し、前記平縁は前記階段に隣接する。例えば、好ましい実施態様において、前記ウェルは、アノードまたはＩＴＯ層のような底部層を有し、また、階段層（これも、前記装置の既存の層を「再使用」して供給される）は、前記ウェルの内部端部に隣接する前記底部層において高さの階段的変化を提供するように前記底部層と前記基板の間に供給される。この場合、前記平縁は前記底部におけるこの階段に接する。いくつかの実施態様において、２段は、２つ（またはそれ以上）の下側「階段」層を使用して前記底部層に規定され、前記ＩＴＯの下により高いスペーサー積層、したがって前記ウェルの端部での改良された溶媒の留めのための広い平縁領域を提供する。実施態様において、１または２以上の階段層は、１または２以上の金属層、ドープされていないシリコン層、ドープされたシリコン層および第２金属層を有する。これらの層は、例えば、ＯＬＥＤディスプレイ装置の画素に連結された薄膜トランジスタのための既存の製造プロセスに一部として既に存在し得る。好ましくは、このような装置において、前記バンク層は、ポジ型フォトレジストからなり、従来とおり基板に向かって先細る。この場合の有機電子材料の蒸着層は、導電性（正孔輸送）層およびこれを覆う発光層を有することができる。
【００４０】
他の側面において、本発明は、有機電子材料の溶媒系蒸着のための少なくとも１つのウェルを有する基板上の有機電子装置の形成方法を提供し、前記方法は、前記装置を形成するための前記有機電子材料の溶媒系蒸着の前に前記ウェルの内部端部の平縁を規定するために前記平縁層を蒸着し、非等方的にエッチングする工程を含む。
【００４１】
好ましくは、前記平縁材料は、有機電子材料を蒸着するために使用される単一の溶媒または溶媒イの混合物で濡れるように選択または処理される。好ましくは、このような濡れは、前記平縁と前記溶媒または溶媒混合物との間の接触角として１５°未満、より好ましくは１０°未満を提供する。
【００４２】
本発明は、さらに、本発明の１つの側面の方法によって製造された有機電子装置、特に、アクティブまたはパッシブＯＬＥＤディスプレイ装置を提供する。
【００４３】
図５を参照すると、これは、アクティブマトリックスＯＬＥＤ装置の画素のウェル５０２のための第１構造５００の断面図および上面図を示す。ウェル５０２は基板５０６に向けて先細るバンク５０４によって規定され、その上を、前記画素のアノードを提供するＩＴＯ層が覆う。ウェル５０２内には、ＰＥＤＯＴ層５１０が蒸着され、その上を発光ポリマー（ＬＥＰ）層５１２が覆う。図５は、ＰＥＤＯＴおよびＬＥＰ層の蒸着の前の構造の断面図を示す。
【００４４】
酸化物スペーサー層５１４はＩＴＯ層５１８の上、バンク層５０４の下に供給される。これは、前記ポジ型バンクフォトレジストのパターニングの後、従来の溶液またはドライエッチング法を使用してエッチングされる。このエッチングプロセスは、ウェル５０２の低い内部端部周辺の上に突き出る棚５１６（上面図における破線によって示される）をもたらし、蒸着工程において溶解したＰＥＤＯＴを有する溶媒が流れ込むくぼみを提供する。前記ＰＥＤＯＴ溶液は毛細管現象により前記くぼみに自然に流れ込むが、前記酸化物スペーサー５１４は親水性であるため、前記溶媒は前記棚５１６の下の層５１４の露出された内部端部にも付着する。実施態様におけるこれら２つの効果の結合が信頼性のあるＰＥＤＯＴ端部の厚さプロフィールを提供する。
【００４５】
ＰＥＤＯＴは、乾燥時に、このへこんだ端部に付着し続けるが、（疎水性）のバンクには残らない。ＰＥＤＯＴ溶液は親水性層５１４の露出された端部および／または前記くぼみの毛細管現象によって効果的に留まるので、バンクは、例えば、ＣＦ４により処理されることができ、ＰＥＤＯＴ溶液の要求から大きく独立したＬＥＰの蒸着に特に適した表面を提供する。
【００４６】
単純な例の製造過程において、ＩＴＯで被覆された基板は任意の供給者から購入され、パターニングされ、次いで、シリコン２酸化物、シリコン酸化物またはシリコン酸窒化物のようなブランケット酸化物で被覆され、疎水性層を提供する。このブランケット酸化物は、例えば、スピンオンガラスを含む。次いで、ポジ型フォトレジスト層５０４がスピンコートされ、フォトリソグラフィーによってパターニングされる（露光、現像および洗浄）。次いで、追加のマスクを必要とせずに、くぼみが酸化物スペーサー層５１４の等方性エッチングバックによって形成される。このプロセスは、バンクが有効に前記酸化物層のマスクを供給するので、自己規定プロセスである。
【００４７】
図６は、図５の画素構造５００と一緒に、および／または後述する本発明の第１および第２の側面の他の実施態様と一緒に製造される底面ゲート型ＴＦＴ構造６００の断面図を示す。図６において、図５と同じ番号は同じ構成要素を示す。この例において、基板はＩＴＯによってパターニングされないか、代わりに、第１の相対的に厚い金属材料層６０２はガラス基板５０６上に蒸着され、パターニングされてＴＦＴのゲート金属を提供する。
例えば、シリコン窒化物からなるゲート誘電体層６０４は、ゲート金属６０２上に蒸着され、ドープされていないアモルファスシリコン層６０６およびドープされたアモルファスシリコン層６０８の蒸着およびパターニングが続き、それぞれ、ＴＦＴのチャネルおよびドレイン／ソース領域を形成する。次いで、第２の金属層６１０が蒸着され、パターニングされて、トランジスタおよび絶縁層６１２のためのソースおよびドレイン導電体を提供し、次いで、例えば、シリコン窒化物が前記構造上に蒸着され、ソースおよびドレイン接続孔６１２ａがエッチングされる。次いで、ＩＴＯ層５０８が蒸着されて前記ソースおよびドレイン電極への接続が形成され、これらを１または２以上の隣接する画素に結合する。従来の工程においては、バンクフォトレジスト層５０４が蒸着される前の最後の層であるが、このＴＦＴ構造が、例えば、図５の改良されたウェル構造と関連して使用されるとき前記バンク層５０４の蒸着およびパターニング前に、前記バンク層５０４の上に追加の酸化物層（図６に示さない）が蒸着される。
【００４８】
次に、図７を参照すると、これは、図５で例示した原理を採用するより典型的な「リアルタイム」ウェル構造を示す。
【００４９】
図７および続く図において、図５および図６の同じ番号は同じ構成要素を示す。
【００５０】
図７に示されたウェル構造の実施態様において、２つの下層シリコン窒化層（誘電体層６０４および絶縁体層６１２）が示されている。
【００５１】
図８は、棚が絶縁層６１２と第２金属層６１０の結合によって供給されるウェル構造８００の追加の実施態様を示す。前の２つの実施態様と異なり、この実施態様は単に部分自己規定であり、さらに、いずれのシリコン層の前にＩＴＯ層５０８の蒸着を含む。これは、ＴＦＴ構造はただ画素のアクティブ領域に使用されるため、アクティブマトリックスディスプレイにおいて可能である、しかしながら、この実施態様において層の連続は異なるが、同じ一般的な原理が採用される。
【００５２】
概要において、シリコン６０６，６０８、金属６１０および窒化物６１２層はバンク端部内に配列され、次いで、前記金属端部の下にある前記シリコン層の等方性エッチングバックが導入されてこの構造を生成する（前記金属は、前記シリコン端部によって攻撃されないので）。金属および／または窒化物層は同時にパターニングされる。
【００５３】
ウェル構造８００において、前記棚の下のスペースは前の実施態様のそれより潜在的に深く、実施態様において（示されるように）、この深さはＰＥＤＯＴ層によって完全に満たされる。このような場合、電子発光層はＰＥＤＯＴ層によって完全に満たされない。ＰＥＤＯＴ層および電子発光層は、例えば、示されるドープされたおよびドープされないシリコン（共に親水性）のようなそれぞれ異なるスペーサー層に連結されている。有機材料層の厚さは最大５００ｎｍであり、ただし、厚さは、一般的により薄く、例えば、５０ｎｍ〜２００ｎｍであり、図８の実施態様において、棚の下のくぼみの全体高さは最大５００ｎｍ（またはこれ以上）である。
【００５４】
次に、図９を参照すると、これは、シリコン蒸着の前にＩＴＯ蒸着において伴う部分自己規定エッチング工程を使用するウェル構造９００の他の実施態様を示す。概要において、シリコンおよび窒化物層がバンク端部に配列されて、次いで、シリコン層が窒化物端部の下で等方的にエッチングバックされる。ドープされおよびドープされないシリコン層が異なる段階エッチングされるため、ＴＦＴを組み込む構造において可能である。
【００５５】
図１０は、酸化物スペーサー層がＩＴＯの後に、ただし（シリコン窒化物）絶縁層６１２の前に蒸着されるウェル構造１０００の他の実施態様を示す。この構造の形成は、くぼみが前記酸化物層の等方性エッチングバックによって形成されるので、部分的に自己規定される。ＰＥＤＯＴ溶液がくぼみに入り、親水性および／または毛細管現象によってウェルの端部に留まり、信頼性のあるＰＥＤＯＴ端部厚みプロフィールを提供するのを助ける。
【００５６】
次に、図１１を参照すると、これは、本発明の第２の側面のウェル構造の第１の実施態様の断面図（溶媒系有機材料蒸着の前および後）および上面図を示す。
【００５７】
再び、この実施態様およびこれに続くものにおいて、上記の層は同じ番号によって引用される。
【００５８】
図１１において、第１の金属層６０２がパターニングされて、その内側端部のすぐ外側のウェルの周囲に「画像フレーム」を提供する。これは、上に覆うＩＴＯ５０８における階段を形成する。次いで、ブランケット酸化物層が蒸着されて、当業者に周知な態様で等方的に（垂直に）エッチングされ、垂直端部上の材料の平縁１１０２、１１０２ａを生成する。これら酸化物平縁は親水性材料を有し、および前記ウェルの端部にＰＥＤＯＴ含有溶媒を留めるのに役立つ（ただし、この溶媒は疎水性のバンク端部に乗り上げない傾向にある）。この疎水性のＣＦ４表面処理は、ＰＥＤＯＴ溶媒がバンク上にほんの短い距離だけ上るので、ＰＥＤＯＴ蒸着から大きく独立したＬＥＰ溶媒によって適用されることができる。バンク材料、処理および／またはＬＥＰ溶媒は、したがって、ＬＥＰ溶媒がバンクをある程度濡らし、示されるようにバンクを上るＬＥＰの尾を残す。図１１はバンク端部と平縁の正確な配置を示すが、実際にはこれは生じず、この構造は、バンク端部の配置において小さなばらつき（これは、特に先細りされたバンク端部で生じる）を許容する。
【００５９】
図１２は、本発明の第２の側面によるウェル構造１２００の第１の代替の実施態様を示す。図１１に示される実施態様のように、これはある程度理想化された構造を表す。再び、平縁１１０２が形成されるが、この場合、金属階段はＩＴＯ層５０８の下ではなく上を覆う。前と同様、平縁１１０２はウェル５０２の底部における内部端部の周辺の「画像フレーム」を提供する。図１２の実施態様における注意すべき特徴は、金属６０２とＬＥＰ層５１２の直接接触である。この配列は、仕事関数の相違のために金属とＬＥＰの間の直接接触領域から光が放射されないかまたはほとんどされないので、バンク配列に対する改良された頑丈さを提供する。金属６０２はＰＥＤＯＴのような正孔輸送層（存在する場合）と接触せずに、そのためアノードとしてのその効果を減らす、および／または金属６０２およびＬＥＰ層の間の接触領域中で発光された光が見えないように実質的に不透明である、および／または低い仕事関数を有する。不透明性のために、金属６０２は好ましくは３０ｎｍを超える厚さを有する（不透明性のために必要とされる正確な厚さは材料によって異なる）。
【００６０】
図１３は、平縁１１０２がウェルバンク層５０４の傾斜面を上るウェル構造１３００の第３の（理想的な）例を示す。構造１３００は、例えば、ポジ型バンクフォトレジスト層５０４がスピンコートされフォトリソグラフィーによりパターニングされた後に、スピンオンガラスのブランケット蒸着により製造され得る。スピンオンガラスは、平縁を残してスピンオンガラスを除去する等方性、好ましくはドライエッチングを使用して、ブランケット（マスク無し）エッチングされ得る。より一般的には、他の低温またはスピンオン材料が蒸着され、続いて等方性エッチングバックによりバンクレジスト端部の内部の親水性スペーサーを形成する。図１３の実施態様はより高い平縁の利点を有し、これによって改良された溶媒留めを提供する。
【００６１】
図１４は、ウェル構造１４００の他の代替の実施態様であり、階段層は、この実施例では、シリコン窒化物絶縁層６１２の下、およびＩＴＯ層５０８の下に、ドープされないおよびドープされたアモルファスシリコン層６０６，６０８および第２金属層６１０を有する。ＩＴＯ層５０８の下にスペーサー堆積層を伴うこの構造は、潜在的により高い階段端部およびこれによってより広い平縁表面積および改良されたＰＥＤＯＴ−バンク分離を提供する。
【００６２】
図１５は、ウェル構造１５００の他の代替の実施態様であり、図１４に示されるものの似ているが、シリコン窒化物誘電体層６０４の下に、第１金属層６０２により供給された他の階段の追加を伴う、図１４に示された層の同じ組合せにより形成される２段を有する。これは、ＩＴＯ層５０８の下により高いスペーサー堆積層およびこれによって平縁１１０２の潜在的により大きな表面積を提供する。
【００６３】
図１６は、ウェル構造１６００のさらに他の代替的な実施態様を示し、この構造において先細りバンク５０４端部の２つの代替的な相対的配置を示しており、配置の寛容性を示している。
【００６４】
図１６の構造において、例示において、ＩＴＯ層５０８が金属層の１つの上に蒸着され、第１金属層６０２および次いで自己規定スペーサー平縁１１０２が（パターニングされた）ＩＴＯ層５０８の端部周辺に形成される。先細りバンク層５０４の端部は下部金属層に配置されるが、ＩＴＯ層５０８に正確に配置される必要がない。なぜなら、下層金属層６０２が露出されても、仕事関数の不適合により、形成されるダイオードは発光効率がよくないからである。したがって、図１６の構造１６００の画素の発光は本質的にＩＴＯ５０８の面積によって決まり、配置に寛容な構造を提供する。それにもかかわらず、前のように、平縁はＰＥＤＯＴ含有溶媒をウェルの側面の底部に向けて引っ張る効果を有する（および、これがＩＴＯを覆うので、濡れまたは、他の点ではバンク端部の程度は本質的に重要ではない）。
【００６５】
この原理は、いくつかの点で図１２の実施態様に類似している。ただし、この実施態様では、画素領域（の周囲）はほとんど配置の慣用性に影響を与えていない。例示されるように、図１６における第１の実施態様において、金属は透明であるが、ＰＥＤＯＴと接触せず、したがって高仕事関数金属であり得る。図１６の第２の実施態様において、金属は透明で、バンクの配置ミスのためＰＥＤＯＴと接触され、これは、この実施態様における金属層は低仕事関数を有し、ＰＥＤＯＴとの不適合を提供する。
【００６６】
図１７を参照すると、「インク液滴」蒸着ウェルの底部の疎水性材料の短く突き出た棚を有する装置を製造するために示されるように、これはＯＬＥＤの製造方法の実施態様を示す。この方法も、アンダーカットバンクを有する装置を製造するために、種々に有益である。
【００６７】
より詳細には、図１７ａ〜１７ｃはウェル構造１７００の製造における連続的な工程を示し、ここでは、前に採用した引用番号を使用し、ＯＬＥＤディスプレイの画素のためのウェル５０２は基板上のバンク５０４によって規定される。基板５０６はＩＴＯ５０８層を有し、画素のためのアノード接続を提供し、その上に酸化物スペーサー層５１４および次いでバンク材料が蒸着され、好ましくは、図１７ａに示されるように基板に傾くバンク５０４を形成する。
【００６８】
図１７ｂにおいて、ＳｉＯ２層５１４の等方性ドライ（プラズマガス）エッチングはバンク５０４をマスクとして使用して行われ、自己規定エッチングマスク法を提供する。これは、図１７ｃに示されるように、前方に出た階段の製造の用意である。これは、バンク材料で規定されるものと実質的に同じ開口を生成する。あるいは、溶液（または、ドライ、プラズマ）等方性エッチングが行われ、酸化物層５１４の下部を切除し、図１７ｂに示される真直ぐな垂直な端部ではなく、図５に示されるような一般的なタイプの構造を製造する。他の代替において、（ドライ、プラズマ）等方性エッチングが行われ、前の工程で十分なバンク材料ナ除去されて、図１７ｃに示される突き出た階段を残す。
【００６９】
図１７ｃはＯ２プラズマアッシングレジスト除去工程後の構造を示し、この工程は、画素端部において薄くなることで短絡を生じないように、バンク５０４の厚さを減らして開口を広げ、示されるようにＳｉＯ２の端部を露出する。この工程は、酸化物および下層ＩＴＯを清浄化して濡れるようにし、ＰＥＤＯＴ溶液の蒸着、これに続くＬＥＰ蒸着の準備をする。
【００７０】
この方法の実施態様は、レジストバンク画素ウェルの端部における親水性現象を提供し、酸化物層に対する独立したマスクを使用しないで自己規定または部分的自己規定によって行うことを可能にする。さらに、もし端部（突き出た階段または下部切除）構造が、アルミニウムのような層の側面に形成されると、アノード接続が低仕事関数金属（通常、アノードはＩＴＯのような高仕事関数金属である）に接触するときこのダイオード構造は非効率であるから、この層はアクティブ画素の自然な規定を提供する。この方法の実施態様は、標準のポジ型レジストが（画素バンク端部を横切るカソード金属化のための良好な階段−被覆を維持するために）使用されるのを可能にする。したがって、ＬＥＰインクは、ＰＥＴ濡れおよびＬＥＰ濡れプロセスを分断しながら、表面エネルギー改変処理（例えば、前述したように、ＣＦ４プラズマ処理）に基づいて閉じ込められる。これは、表面調整工程がＬＥＰのために調整され（画素レジスト内における良好な閉じ込めを潜在的に可能にし）、一方、ＰＥＤＯＴ濡れは、自己規定された画素端部（突き出した階段または下層切除）の親水性または毛細管現象に実質的に完全に頼るので、レジスト上のＰＥＤＴ接触角には敏感ではない。
【００７１】
本発明の実施態様は、ポジ型バンクレジストの使用を可能にし、前述した構造上の利点、特に、画素端部にわたって不連続部なしに良好な金属カソード接続を形成すること、およびＰＥＤＯＴの分離された段階およびＬＥＰ（または他の発光材料）蒸着のための構造（例えば、表面調整）の採用を容易化するためにＰＥＤＯＴおよびＬＥＰ濡れ工程を実質的に分離することを提供する。さらに、例えば、追加のマスク／パターニング工程の必要なく前述した構造の実施態様は自己規定または部分自己規定工程を使用して製造されることができる。他の実施態様は、前記アノード接続が、例えば、４電子ボルト以下および／または介在する正孔輸送層なしの低仕事関数金属により形成されるとき、発光ダイオード構造の固有の非効率性の利点をとり配置慣用性を達成する。大まかに言って、本発明の実施態様は、前記材料が蒸着されるウェルの側面においてＰＥＤＯＴ（およびＰＥＴ）溶媒の濡れ／留めを容易化するための表面エネルギー関連技術に頼る。
【００７２】
上述したウェル構造は、溶液蒸着有機電子装置の広い範囲に採用される。これらは、アクティブまたはパッシブマトリックス電子ディスプレイ装置、または、例えば、いわゆるバンク層および／または有機電子材料の蒸着のために準備される装置のためのＴＦＴ−系アクティブマトリックス背板に組み込まれる。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】ＯＬＥＤ装置の例の断面図を示す。
【図２】３色画素ＯＬＥＤディスプレイの一部の上面図を示す。
【図３ａ】パッシブマトリックスＯＬＥＤ装置の上面図を示す。
【図３ｂ】パッシブマトリックスＯＬＥＤ装置の断面図を示す。
【図４ａ】溶解した材料で満たされたＯＬＥＤディスプレイ基板のウェルの簡略断面図を示す。
【図４ｂ】乾燥した材料で満たされたＯＬＥＤディスプレイのウェルの簡略断面図を示す。
【図５】本発明の第１の側面の第１の実施態様の有機電子装置構造を示す。
【図６】本発明の側面を実施する製造並行構造に適した底面ゲート型薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）構造を示す。
【図７】本発明の第１の側面の第２の実施態様の有機電子装置構造を示す。
【図８】本発明の第１の側面の第３の実施態様の有機電子装置構造を示す。
【図９】本発明の第１の側面の第４の実施態様の有機電子装置構造を示す。
【図１０】本発明の第１の側面の第５の実施態様の有機電子装置構造を示す。
【図１１】本発明の第２の側面の第１の実施態様の有機電子装置構造を示す。
【図１２】本発明の第２の側面の第２の実施態様の有機電子装置構造を示す。
【図１３】本発明の第２の側面の第３の実施態様の有機電子装置構造を示す。
【図１４】本発明の第２の側面の第４の実施態様の有機電子装置構造を示す。
【図１５】本発明の第２の側面の第５の実施態様の有機電子装置構造を示す。
【図１６】本発明の第２の側面の第６の実施態様の有機電子装置構造を示す。
【図１７ａ】本発明の側面の実施態様の有機電子装置構造の製造を示す。
【図１７ｂ】本発明の側面の実施態様の有機電子装置構造の製造を示す。
【図１７ｃ】本発明の側面の実施態様の有機電子装置構造の製造を示す。
【符号の説明】
【００７４】
１００ ＯＬＥＤ
１０２ 基板
１０６ アノード層
１０８ 正孔輸送層
１１０ カソード層
１１２ バンク
１１４ ウェル
２００ アクティブマトリックス画素ＯＬＥＤディスプレイ
３００ 基板
３０２ カソード下層分離体
３０４ 領域
３０６ アノード層
３０８ ウェル
３１０ バンク
４００ 断面図
４０２ 溶解した材料
４０４ 固体薄膜
５００ 第１構造
５０２ ウェル
５０４ バンク
５０６ 基板
５０８ ＩＴＯ層
５１０ ＰＥＤＯＴ層
５１２ ＬＥＰ層
５１４ スペーサー
５１６ 棚
５１８ ＩＴＯ層
６００ 底面ゲート型ＴＦＴ
６０２ 金属材料層
６０４ 誘電体層
６０６ ドープされないアモルファスシリコン層
６０８ ドープされたアモルファスシリコン層
６１０ 第２金属層
１１０２ 平縁
１２００ ウェル構造
１３００ ウェル構造
【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機電子装置構造であって、前記構造は、
基板、
前記基板によって支持され、有機電子材料の溶液−系蒸着のためのウェルの底部を規定する底部層、
前記基板上に形成された１または２以上のスペーサー層、
前記ウェルの側面を規定する前記スペーサー層上に形成されるバンク層を含み、
前記底部層に隣接する前記ウェルの端部の下層が切除されて前記基板上の棚を形成し、前記棚は前記有機電子材料を受け入れるくぼみを規定することを特徴とする有機電子装置構造。
【請求項２】
前記棚の下側はほぼ水平であり、前記１または２以上のスペーサー層によって規定される距離で前記基板または底部層から離れていることを特徴とする請求項１に記載の有機電子装置構造。
【請求項３】
前記棚の前記下側は前記バンク層によって規定されることを特徴とする請求項１または２に記載の有機電子装置構造。
【請求項４】
前記棚を規定するための、前記スペーサー層と前記バンク層の間に少なくとも１つの棚をさらに含むことを特徴とする有機電子装置構造。
【請求項５】
少なくとも１つの棚層が誘電体層を含むことを特徴とする有機電子装置構造。
【請求項６】
前記少なくとも１つの棚層が金属層を含むことを特徴とする請求項４または５に記載の有機電子装置構造。
【請求項７】
前記くぼみは、前記スペーサー層と前記有機電子材料の間の接続を可能にするように設定されていることを特徴とする有機電子装置構造。
【請求項８】
前記スペーサー層は親水性材料からなる請求項７に記載の有機電子装置構造。
【請求項９】
前記スペーサー層はシリコンの酸化物および／または窒化物を含むことを特徴とする有機電子装置構造。
【請求項１０】
前記スペーサー層はドープされたまたはドープされないシリコンを含む請求項８に記載の有機電子装置構造。
【請求項１１】
前記バンク層の厚さは前記ウェルの側面が近づくにつれ基板に向けて薄くなることを特徴とする請求項８に記載の有機電子装置構造。
【請求項１２】
前記バンク層はポジ型フォトレジストを含む請求項１ないし１１のいずれかに記載の有機電子装置構造。
【請求項１３】
前記底部層はアノード層を有し、前記有機電子材料は電子材料の第１層および発光材料の第２層を含み、前記くぼみは導電性材料の前記第１層で占められていることを特徴とする請求項１ないし１２のいずれかに記載の有機電子装置構造。
【請求項１４】
基板上に有機電子装置を形成する方法であって、
前記基板上に１または２以上の底部層を形成する工程、
前記１または２以上の底部層の上に１または２以上のスペーサー層を形成する工程、
前記１または２以上のスペーサー層の上にバンク材料を蒸着する工程、
前記基板をエッチングして、その底部にくぼみを規定する下層が切除された棚を有するウェルを規定する工程、および
有機電子材料を前記ウェル中に蒸着する工程を含む方法。
【請求項１５】
前記棚の下側はほぼ水平で、１または２以上のスペーサー層によって規定される距離により前記底部層から離れていることを特徴とする請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
前記エッチング工程は、前記ウェルおよび前記くぼみの少なくとも部分的な自己規定（セルフアラインド）エッチング工程を含むことを特徴とする請求項１４または１５に記載の方法。
【請求項１７】
有機電子装置の液滴蒸着−系製造のための構造における液滴蒸着ウェルの形成方法であって、
基板上に、親水性材料層を蒸着する工程、
前記親水性材料層の上にバンク材料層を蒸着する工程、
前記バンク材料層をパターニングして前記液滴蒸着ウェルの１または２以上を形成するバンクを規定する工程、および
前記バンク材料のパターニング層をマスクとして使用して、セルフアラインド（自己規定）プロセスにおいて、前記新水性材料層をエッチングする工程を含む形成方法。
【請求項１８】
前記エッチング工程は、前記バンクの端部において、前記親水性層における下層切除を規定する等方性エッチング工程を含む請求項１７に記載の形成方法。
【請求項１９】
前記エッチング工程は、非等方性エッチング工程を含む請求項１７に記載の形成方法。
【請求項２０】
前記バンクは、前記バンク材料の単一層および前記親水性材料の単一層によって規定される請求項１７ないし１９のいずれかに記載の形成方法。
【請求項２１】
前記親水性材料は誘電体材料を含む請求項１７ないし２０のいずれかに記載の形成方法。
【請求項２２】
前記親水性材料は金属を含む請求項１７ないし２０のいずれかに記載の形成方法。
【請求項２３】
前記バンク材料はレジスト材料を含み、前記方法は、前記液滴蒸着ウェルの１または２以上を形成する前記バンクの底部に隣接する親水性材料の前記エッチングされた層の上部表面の一部を露出するために、前記エッチング工程の後にレジストの切除を行う工程をさらに含む請求項１７ないし２２のいずれかに記載の形成方法。
【請求項２４】
有機電子装置の液滴蒸着−系製造のための構造における液滴蒸着ウェルの形成方法であって、
基板上に、親水性材料層を蒸着する工程、
前記親水性材料層の上にバンク材料層を蒸着する工程、
前記バンク材料層をパターニングして前記液滴蒸着ウェルの１または２以上を形成するバンクを規定する工程、および
前記親水性材料層をパターニングして、前記液滴蒸着ウェルの１または２以上の底部領域の少なくとも１部から前記親水性材料を除去する工程、
レジスト切除法を使用して、前記液滴蒸着ウェルの１または２以上を形成する前記バンクの底部に隣接する親水性材料の前記パターニングされた層の上部表面の一部を露出する工程を含む方法。
【請求項２５】
前記レジスト切除法はプラズマアッシングを含む請求項２３または２４に記載の方法。
【請求項２６】
前記液滴蒸着ウェル中に液滴蒸着プロセスを使用して溶解した有機電子材料を蒸着することにより、前記有機電子装置を形成する工程をさらに含む請求項１７ないし２５のいずれかに記載の方法。
【請求項２７】
前記有機電子装置はＯＬＥＤ装置を含み、前記溶解した有機電子材料はＰＥＤＯＴの親水性溶液を含む請求項２６に記載の方法。
【請求項２８】
有機電子材料で満たされた複数の液滴蒸着ウェルの下の親水性材料のパターニングされた層を有する基板から構成される有機電子装置であって、前記液滴蒸着の１または２以上を形成する前記バンクの底部に隣接する親水性材料の前記パターニングされた層の上部表面の一部が前記有機電子材料に露出される有機電子装置。
【請求項２９】
有機電子装置構造であって、
基板、および
前記基板によって支持され、有機電子材料の溶媒−系蒸着のためのウェルを規定するバンク層を含み、
前記構造は、さらに前記ウェルの内部端部および前記ウェルの底部にある平縁を規定するようにパターニングされた平縁層を含む有機電子装置構造。
【請求項３０】
前記平縁は親水性材料を含む請求項２９に記載の有機電子装置構造。
【請求項３１】
シリコンの酸化物および／または窒化物を含む請求項２９に記載の有機電子装置構造。
【請求項３２】
前記バンク層の厚さは前記ウェルの側面が近づくにつれ基板に向けて薄くなり、前記平縁は前記バンク層の前記薄くなった部分に乗り上げることを特徴とする請求項２９ないし３１のいずれかに記載の有機電子装置構造。
【請求項３３】
前記ウェルの前記内部端部における段部を規定するようにパターニングされる１または２以上の段部層を含み、前記平縁が前記段部に接することを特徴とする請求項２９ないし３１のいずれかに記載の有機電子装置構造。
【請求項３４】
前記基板によって支持され、前記ウェルの前記底部を規定する底部層、前記段部層と前記基板層の間にあり、前記段部は前記基板からの前記底部層の距離の段差を有し、前記平縁は前記底部層に接することを特徴とする請求項３３に記載の有機電子装置構造。
【請求項３５】
前記平縁のための前記ウェルの前記内部端部における２段を規定するようにパターニングされた少なくとも２つの前記段部層を有する有機電子装置構造。
【請求項３６】
前記バンク層の厚さは前記ウェルの側面が近づくにつれ基板に向けて薄くなり、前記底部層の位置と前記ウェルの内部端部周辺の前記有機電子材料の接触を可能にすること特徴とする請求項３４または３５に記載の有機電子装置構造。
【請求項３７】
前記１または２以上の段部層は、前記有機電子装置の活性部分のための金属および／またはシリコン層を有する請求項２９ないし３６のいずれかに記載の有機電子装置構造。
【請求項３８】
前記バンク層は、ポジ型フォトレジストを含み、前記有機電子金属は導電性材料の第１層と発光材料の第２層を含む請求項２９ないし３７のいずれかに記載の有機電子装置構造。
【請求項３９】
有機電子材料の溶媒−系蒸着のための少なくとも１つのウェルを有する基板上への有機電子装置の形成方法であって、前記方法は、前記装置の形成のための前記有機電子材料の溶媒−系蒸着の前に、平縁層を蒸着して前記平縁層を等方的にエッチングして、前記ウェルの内部端部において平縁を規定することを特徴とする方法。
【請求項１】
有機電子装置構造であって、前記構造は、
基板、
前記基板によって支持され、有機電子材料の溶液−系蒸着のためのウェルの底部を規定する底部層、
前記基板上に形成された１または２以上のスペーサー層、
前記ウェルの側面を規定する前記スペーサー層上に形成されるバンク層を含み、
前記底部層に隣接する前記ウェルの端部の下層が切除されて前記基板上の棚を形成し、前記棚は前記有機電子材料を受け入れるくぼみを規定することを特徴とする有機電子装置構造。
【請求項２】
前記棚の下側はほぼ水平であり、前記１または２以上のスペーサー層によって規定される距離で前記基板または底部層から離れていることを特徴とする請求項１に記載の有機電子装置構造。
【請求項３】
前記棚の前記下側は前記バンク層によって規定されることを特徴とする請求項１または２に記載の有機電子装置構造。
【請求項４】
前記棚を規定するための、前記スペーサー層と前記バンク層の間に少なくとも１つの棚をさらに含むことを特徴とする有機電子装置構造。
【請求項５】
少なくとも１つの棚層が誘電体層を含むことを特徴とする有機電子装置構造。
【請求項６】
前記少なくとも１つの棚層が金属層を含むことを特徴とする請求項４または５に記載の有機電子装置構造。
【請求項７】
前記くぼみは、前記スペーサー層と前記有機電子材料の間の接続を可能にするように設定されていることを特徴とする有機電子装置構造。
【請求項８】
前記スペーサー層は親水性材料からなる請求項７に記載の有機電子装置構造。
【請求項９】
前記スペーサー層はシリコンの酸化物および／または窒化物を含むことを特徴とする有機電子装置構造。
【請求項１０】
前記スペーサー層はドープされたまたはドープされないシリコンを含む請求項８に記載の有機電子装置構造。
【請求項１１】
前記バンク層の厚さは前記ウェルの側面が近づくにつれ基板に向けて薄くなることを特徴とする請求項８に記載の有機電子装置構造。
【請求項１２】
前記バンク層はポジ型フォトレジストを含む請求項１ないし１１のいずれかに記載の有機電子装置構造。
【請求項１３】
前記底部層はアノード層を有し、前記有機電子材料は電子材料の第１層および発光材料の第２層を含み、前記くぼみは導電性材料の前記第１層で占められていることを特徴とする請求項１ないし１２のいずれかに記載の有機電子装置構造。
【請求項１４】
基板上に有機電子装置を形成する方法であって、
前記基板上に１または２以上の底部層を形成する工程、
前記１または２以上の底部層の上に１または２以上のスペーサー層を形成する工程、
前記１または２以上のスペーサー層の上にバンク材料を蒸着する工程、
前記基板をエッチングして、その底部にくぼみを規定する下層が切除された棚を有するウェルを規定する工程、および
有機電子材料を前記ウェル中に蒸着する工程を含む方法。
【請求項１５】
前記棚の下側はほぼ水平で、１または２以上のスペーサー層によって規定される距離により前記底部層から離れていることを特徴とする請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
前記エッチング工程は、前記ウェルおよび前記くぼみの少なくとも部分的な自己規定（セルフアラインド）エッチング工程を含むことを特徴とする請求項１４または１５に記載の方法。
【請求項１７】
有機電子装置の液滴蒸着−系製造のための構造における液滴蒸着ウェルの形成方法であって、
基板上に、親水性材料層を蒸着する工程、
前記親水性材料層の上にバンク材料層を蒸着する工程、
前記バンク材料層をパターニングして前記液滴蒸着ウェルの１または２以上を形成するバンクを規定する工程、および
前記バンク材料のパターニング層をマスクとして使用して、セルフアラインド（自己規定）プロセスにおいて、前記新水性材料層をエッチングする工程を含む形成方法。
【請求項１８】
前記エッチング工程は、前記バンクの端部において、前記親水性層における下層切除を規定する等方性エッチング工程を含む請求項１７に記載の形成方法。
【請求項１９】
前記エッチング工程は、非等方性エッチング工程を含む請求項１７に記載の形成方法。
【請求項２０】
前記バンクは、前記バンク材料の単一層および前記親水性材料の単一層によって規定される請求項１７ないし１９のいずれかに記載の形成方法。
【請求項２１】
前記親水性材料は誘電体材料を含む請求項１７ないし２０のいずれかに記載の形成方法。
【請求項２２】
前記親水性材料は金属を含む請求項１７ないし２０のいずれかに記載の形成方法。
【請求項２３】
前記バンク材料はレジスト材料を含み、前記方法は、前記液滴蒸着ウェルの１または２以上を形成する前記バンクの底部に隣接する親水性材料の前記エッチングされた層の上部表面の一部を露出するために、前記エッチング工程の後にレジストの切除を行う工程をさらに含む請求項１７ないし２２のいずれかに記載の形成方法。
【請求項２４】
有機電子装置の液滴蒸着−系製造のための構造における液滴蒸着ウェルの形成方法であって、
基板上に、親水性材料層を蒸着する工程、
前記親水性材料層の上にバンク材料層を蒸着する工程、
前記バンク材料層をパターニングして前記液滴蒸着ウェルの１または２以上を形成するバンクを規定する工程、および
前記親水性材料層をパターニングして、前記液滴蒸着ウェルの１または２以上の底部領域の少なくとも１部から前記親水性材料を除去する工程、
レジスト切除法を使用して、前記液滴蒸着ウェルの１または２以上を形成する前記バンクの底部に隣接する親水性材料の前記パターニングされた層の上部表面の一部を露出する工程を含む方法。
【請求項２５】
前記レジスト切除法はプラズマアッシングを含む請求項２３または２４に記載の方法。
【請求項２６】
前記液滴蒸着ウェル中に液滴蒸着プロセスを使用して溶解した有機電子材料を蒸着することにより、前記有機電子装置を形成する工程をさらに含む請求項１７ないし２５のいずれかに記載の方法。
【請求項２７】
前記有機電子装置はＯＬＥＤ装置を含み、前記溶解した有機電子材料はＰＥＤＯＴの親水性溶液を含む請求項２６に記載の方法。
【請求項２８】
有機電子材料で満たされた複数の液滴蒸着ウェルの下の親水性材料のパターニングされた層を有する基板から構成される有機電子装置であって、前記液滴蒸着の１または２以上を形成する前記バンクの底部に隣接する親水性材料の前記パターニングされた層の上部表面の一部が前記有機電子材料に露出される有機電子装置。
【請求項２９】
有機電子装置構造であって、
基板、および
前記基板によって支持され、有機電子材料の溶媒−系蒸着のためのウェルを規定するバンク層を含み、
前記構造は、さらに前記ウェルの内部端部および前記ウェルの底部にある平縁を規定するようにパターニングされた平縁層を含む有機電子装置構造。
【請求項３０】
前記平縁は親水性材料を含む請求項２９に記載の有機電子装置構造。
【請求項３１】
シリコンの酸化物および／または窒化物を含む請求項２９に記載の有機電子装置構造。
【請求項３２】
前記バンク層の厚さは前記ウェルの側面が近づくにつれ基板に向けて薄くなり、前記平縁は前記バンク層の前記薄くなった部分に乗り上げることを特徴とする請求項２９ないし３１のいずれかに記載の有機電子装置構造。
【請求項３３】
前記ウェルの前記内部端部における段部を規定するようにパターニングされる１または２以上の段部層を含み、前記平縁が前記段部に接することを特徴とする請求項２９ないし３１のいずれかに記載の有機電子装置構造。
【請求項３４】
前記基板によって支持され、前記ウェルの前記底部を規定する底部層、前記段部層と前記基板層の間にあり、前記段部は前記基板からの前記底部層の距離の段差を有し、前記平縁は前記底部層に接することを特徴とする請求項３３に記載の有機電子装置構造。
【請求項３５】
前記平縁のための前記ウェルの前記内部端部における２段を規定するようにパターニングされた少なくとも２つの前記段部層を有する有機電子装置構造。
【請求項３６】
前記バンク層の厚さは前記ウェルの側面が近づくにつれ基板に向けて薄くなり、前記底部層の位置と前記ウェルの内部端部周辺の前記有機電子材料の接触を可能にすること特徴とする請求項３４または３５に記載の有機電子装置構造。
【請求項３７】
前記１または２以上の段部層は、前記有機電子装置の活性部分のための金属および／またはシリコン層を有する請求項２９ないし３６のいずれかに記載の有機電子装置構造。
【請求項３８】
前記バンク層は、ポジ型フォトレジストを含み、前記有機電子金属は導電性材料の第１層と発光材料の第２層を含む請求項２９ないし３７のいずれかに記載の有機電子装置構造。
【請求項３９】
有機電子材料の溶媒−系蒸着のための少なくとも１つのウェルを有する基板上への有機電子装置の形成方法であって、前記方法は、前記装置の形成のための前記有機電子材料の溶媒−系蒸着の前に、平縁層を蒸着して前記平縁層を等方的にエッチングして、前記ウェルの内部端部において平縁を規定することを特徴とする方法。
【図１】
【図２】
【図３ａ】
【図３ｂ】
【図４ａ】
【図４ｂ】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７ａ】
【図１７ｂ】
【図１７ｃ】
【図２】
【図３ａ】
【図３ｂ】
【図４ａ】
【図４ｂ】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７ａ】
【図１７ｂ】
【図１７ｃ】
【公表番号】特表２００９−５０６４９０（Ｐ２００９−５０６４９０Ａ）
【公表日】平成２１年２月１２日（２００９．２．１２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−５２７５０４（Ｐ２００８−５２７５０４）
【出願日】平成１８年８月２２日（２００６．８．２２）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＧＢ２００６／００３１３５
【国際公開番号】ＷＯ２００７／０２３２７２
【国際公開日】平成１９年３月１日（２００７．３．１）
【公序良俗違反の表示】
（特許庁注：以下のものは登録商標）
１．テフロン
【出願人】（５９７０６３０４８）ケンブリッジ ディスプレイ テクノロジー リミテッド (152)
【Ｆターム（参考）】
【公表日】平成２１年２月１２日（２００９．２．１２）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年８月２２日（２００６．８．２２）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＧＢ２００６／００３１３５
【国際公開番号】ＷＯ２００７／０２３２７２
【国際公開日】平成１９年３月１日（２００７．３．１）
【公序良俗違反の表示】
（特許庁注：以下のものは登録商標）
１．テフロン
【出願人】（５９７０６３０４８）ケンブリッジ ディスプレイ テクノロジー リミテッド (152)
【Ｆターム（参考）】
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