水晶素板洗浄用治具
【課題】第１の外装体と第２の外装体との隙間に水晶素板が入り込み、水晶素板が破損してしまうことを低減すると共に、生産性を向上させる水晶素板洗浄用治具を提供することを課題とする。
【解決手段】 水晶素板洗浄用治具１００は、第１及び第２の外装体１１０及び１２０を備えている。第１の外装体１１０は、水晶素板１０が設けられる収容部１１１を有し、収容部１１１の底面に第１の貫通孔１１２が設けられ、収容部１１１を囲むようにして磁石部１１３が設けられている。第２の外装体１２０は、第２の貫通孔１２２を有しており、収容部１１１を覆うように磁石部１１３によって第１の外装体１１０に固定される。
【解決手段】 水晶素板洗浄用治具１００は、第１及び第２の外装体１１０及び１２０を備えている。第１の外装体１１０は、水晶素板１０が設けられる収容部１１１を有し、収容部１１１の底面に第１の貫通孔１１２が設けられ、収容部１１１を囲むようにして磁石部１１３が設けられている。第２の外装体１２０は、第２の貫通孔１２２を有しており、収容部１１１を覆うように磁石部１１３によって第１の外装体１１０に固定される。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄く形成された板状体を洗浄する際に用いる水晶素板洗浄用治具に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
水晶素板は、従来より、その主面に励振用電極が形成されて通信機器や電子機器等に搭載される圧電デバイスに用いられている。
【０００３】
水晶素板は、励振用電極を形成する前に洗浄される。水晶素板は小さく割れやすいため、水晶素板の洗浄には、水晶素板洗浄用治具が用いられる。具体的には、水晶素板洗浄用治具は、第１の外装体と第２の外装体とから構成されている。
【０００４】
第１の外装体は、第１の基部と第１の枠部により構成されている。第１の枠部は、一枚板の金属板をエッチング加工することによって複数設けられ、第１の枠部で囲まれた部分が第１の収容部となる。つまり、第１の収容部は、第１の基部と第１の枠部により形成される。第１の収容部は、その内部に水晶素板が挿入可能であり、第１の収容部底面となる第１の枠部内の第１の基部に第１の貫通孔が設けられている。
【０００５】
第２の外装体は、第２の基部と第２の枠部により構成されている。第２の枠部は、一枚板の金属板をエッチング加工することによって設けられ、第２の枠部で囲まれた部分が第２の収容部となる。つまり、第２の収容部は、第２の基部と第２の枠部により形成される。第２の基部と第２の枠部により第２の収容部が複数形成されており、第２の収容部底面となる第２の枠部内の第２の基部に第２の貫通孔が設けられている。水晶素板が、第１の収容部の水晶素板に対向する底面と第２の収容部の水晶素板に対向する底面にはさまれて第１の外装体から脱落しないようになっている（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
この従来の水晶素板洗浄用治具を用いた水晶素板の洗浄は、水晶素板を収容し、洗浄用治具を洗浄槽に浸けて、水晶素板洗浄用治具に向かって水流を噴射することによって、水晶素板に付着している研磨粉やごみ等の付着物を落とすシャワー洗浄を行なっている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００９−２４０９７７号公報
【特許文献２】特開２００７−２８４５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、従来の水晶素板洗浄用治具は、第１の外装体及び第２の外装体が四隅に設けられた磁石部によって固定されているものであり、第１の外装体及び第２の外装体のどちらか一方の外側に向いている面に対して水流を噴射することにより、第１の貫通孔内及び第２の貫通孔内から第１の収容部内及び第２の収容部内に入った水流の水圧によって、水流を噴射している側と反対側の面の外装体が撓んで第１の外装体と第２の外装体との間に不要な隙間が生じ、この隙間に水晶素板が入り込み、水晶素板が第１の外装体の第１の枠部と第２の外装体の第２の枠部とで挟まれることによって、水晶素板が割れてしまうといった課題があった。また、水流を噴射している側と反対側の面の外装体が撓んだ状態になることから、水晶素板が固定されなくなるため、第１の外装体の第１の枠部と第２の外装体の第２の枠部との間に生じた隙間に入り込んだ水晶素板を収容部に再整理する工程が必要になるため、生産性が低下してしまうといった課題があった。
【０００９】
本発明は前記課題に鑑みてなされたものであり、第１の外装体の第１の枠部と第２の外装体の第２の枠部との隙間に水晶素板が入り込み、水晶素板が破損してしまうことを低減すると共に、生産性を向上させる水晶素板洗浄用治具を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一つの態様による水晶素板洗浄用治具は、第１及び第２の外装体を備えている。第１の外装体は、水晶素板が設けられる収容部を有し、収容部の底面に第１の貫通孔が設けられ、収容部を囲むようにして磁石部が設けられている。第２の外装体は、第２の貫通孔を有しており、収容部を覆うように磁石部によって第１の外装体に固定される。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の一つの態様による水晶素板洗浄用治具において、第１の外装体は、水晶素板が設けられる収容部を有し、収容部の底面に第１の貫通孔が設けられ、収容部を囲むようにして磁石部が設けられている。第２の外装体は、第２の貫通孔を有しており、収容部を覆うように磁石部によって第１の外装体に固定されることによって、洗浄時に収容部内に入った水流の水圧によって、水流を噴射している側と反対側の外装体が浮くことがなくなり、第１の外装体の第１の枠部と第２の外装体の第２の基部との間に隙間が生じず、前記隙間に水晶素板が入り込むことを低減することができるので、第１の外装体の第１の枠部と第２の外装体の第２の基部とで挟まれることがなくなり、水晶素板が破損することを低減することができる。また、第１の外装体の第１の枠部と第２の外装体の第２の基部との間に隙間が生じないため、水晶素板が入り込むことがなくなり、水晶素板を第１の収容部に再整理する工程が必要ないので、生産性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一つの実施形態に係る水晶素板洗浄用治具を第１の外装体側から見た分解斜視図である。
【図２】図１に示された水晶素板洗浄用治具を第２の外装体側から見た分解斜視図である。
【図３】図１に示された水晶素板洗浄用治具に水晶素板が収容された状態を示している部分断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態における水晶素板洗浄用治具について添付図面を参照して詳細に説明する。図１〜図３に示す水晶素板洗浄用治具１００は、水晶素板１０を収容し、その水晶素板洗浄用治具１００を洗浄槽（図示せず）に浸けて、水晶素板洗浄用治具１００に向かって水流を噴射することによって、水晶素板１０の表面に水流を当てて、水晶素板１０に付着している付着物を落とすことにより洗浄する際に用いるものである。以下、水晶素板１０、水晶素板洗浄用治具１００の順に説明する。
【００１４】
（水晶素板）
水晶素板１０は、人工水晶体から所定のカットアングルで切断し外形加工を施された概略平板状で平面形状が例えば四角形となっている。水晶素板１０の厚みは、例えば、２０μｍ〜５０μｍとなっている。このように洗浄された水晶素板１０の表裏両主面には励振用電極（図示せず）が被着形成され水晶振動素子（図示せず）となる。水晶振動素子は、外部からの電圧が引き出し電極（図示せず）を介して励振用電極に印加されると、所定の振動モード及び周波数で励振を起こすようになっている。励振用電極は、水晶素板１０の表裏両主面に金属膜を積層するようにして被着・形成したものであり、水晶素板１０の上面には、クロム（Ｃｒ）、チタン（Ｔｉ）からなる第１の金属膜が形成され、第１の金属膜の上面に金（Ａｕ）からなる第２の金属膜が積層するように形成されている。
【００１５】
（水晶素板洗浄用治具）
（第１の実施形態）
図１〜図２に示すように、第１の実施形態に係る水晶素板洗浄用治具１００は、第１の外装体１１０と第２の外装体１２０とから構成されている。図１〜図２に示す第１の外装体１１０は、例えば、ＳＵＳ４３０及びＳＵＳ４４０等のステンレス鋼によって構成された一枚板の金属板により構成されている。第１の外装体１１０は、第１の基部１１０ａと第１の枠部１１０ｂと磁石部１１３とにより構成されている。第１の枠部１１０ｂは、一枚板の金属板をエッチング加工することによって複数設けられ、第１の枠部１１０ｂで囲まれた部分が収容部１１１となる。つまり、収容部１１１は、第１の基部１１０ａと第１の枠部１１０ｂにより形成される。図３に示されているように、収容部１１１を囲むようにして溝部１１４が設けられている。また、磁石部１１３は、溝部１１４内に設けられている。
【００１６】
収容部１１１は、その内部に水晶素板１０を収容することが可能であり、収容部１１１底面となる第１の枠部１１０ｂ内の第１の基部１１０ａに第１の貫通孔１１２が設けられている。第１の貫通孔１１２は、金属板をエッチング加工等をすることにより設けられている。第１の貫通孔１１２は、水晶素板１０の主面に設けられる励振用電極及び引き出し電極の形状を成している。本実施形態の治具１００は、洗浄工程の後に行われる励振用電極及び引き出し電極の形成工程においてマスクとして用いられる。したがって、本実施形態の水晶素板洗浄用治具１００は、洗浄工程から励振用電極及び引き出し電極の形成工程までの共通治具として用いられる。
【００１７】
また、第１の外装体１１０の厚みは、第１の基部１１０ａと第１の枠部１１０ｂの厚みを足して、例えば、７０〜１４０μｍになっている。
【００１８】
溝部１１４は、収容部１１１を囲むようにして、第１の枠部１１０ｂの主面に設けられている。
【００１９】
磁石部１１３は、例えばフェライト等から形成され、第１の外装体１１０の第１の枠部１１０ｂの主面の溝部１１４内に設けられている。磁石部１１３は、向かい合う位置にある後述する第２の外装体１２０の第２の基部１２０ａと固定することができるようになっている。収容部１１１を囲むようにして磁石部１１３が設けられていることにより磁石部１１３で第１の外装体１１０と第２の外装体１２０とを固定されているため、洗浄時に収容部１１１内に入った水流の水圧によって水流を噴射している側と反対側の外装体が浮くことがなくなり、第１の外装体１１０の第１の枠部１１０ｂと第２の外装体１２０の第２の基部１２０ａとの間に隙間を生じることがなくなる。よって、第１の外装体１１０の第１の枠部１１０ｂと第２の外装体１２０の第２の基部１２０ａとの間に水晶素板１０が入り込むことを低減する。
【００２０】
図１〜図２に示す第２の外装体１２０は、第１の外装体１１０と同様に、例えば、ＳＵＳ４３０及びＳＵＳ４４０等のステンレス鋼によって構成された一枚板の金属板により構成されている。第２の外装体１２０は、第２の基部１２０ａと凸部１２０ｂにより構成されている。凸部１２０ｂは、一枚板の金属板をエッチング加工することによって形成されている。
【００２１】
凸部１２０ｂは、第２の基部１２０ａに複数形成されており、凸部１２０ｂの主面には、第２の貫通孔１２２が設けられている。第２の貫通孔１２２は、金属板をエッチング加工等をすることにより設けられている。第２の貫通孔１２２は、水晶素板１０の主面に設けられる励振用電極の形状を成している。
【００２２】
また、凸部１２０ｂの主面の外周サイズは、第１の外装体１１０の収容部１１１の外周サイズよりも小さくなっており、この収容部１１１内に第２の外装体１２０の凸部１２０ｂが嵌め込むことができるようになっている。このように収容部１１１に凸部１２０ｂを嵌め込むことによって、収容部１１１の底面と凸部１２０ｂの主面が水晶素板１０と向かい合うようになっている。
【００２３】
この水晶素板１０と対向する収容部１１１の底面の中央と凸部１２０ｂの主面の中央には、第１の外装体１１０と第２の外装体１２０の一方の主面から他方に主面に貫通された第１の貫通孔１１２、第２の貫通孔１２２が設けられている。尚、収容部１１１の開口サイズは、内部に収容する水晶素板１０の主面サイズより大きくなっている。また、第２の外装体１２０の厚みは、第２の基部１２０ａと凸部１２０ｂの厚みを足して、例えば、７０〜１４０μｍになっている。また、第１の外装体１１０の収容部１１１の底面と第２の外装体１２０の凸部１２０ｂの主面との間隔は、収容される水晶素板１０の厚み程度となっている。
【００２４】
このような水晶素板洗浄用治具１００は、第１の外装体１１０の収容部１１１内に水晶素板１０を収容し、第２の外装体１２０の凸部１２０ｂを第１の外装体１１０の収容部１１１内に嵌め込むようにして、第１の外装体１１０と第２の外装体１２０を重ね合わせ、第１の外装体１１０に前記収容部１１１を囲むようにして設けられている磁石部１１３は、向かい合う位置にある第２の外装体１２０の基板部１２０ａと接合固定状態になることで使用される。水晶素板１０が収容された水晶素板洗浄用治具１００の第１の貫通孔１１２及び第２の貫通孔１２２の開口に向けて水流を噴射させる。第１の外装体１１０に設けられた第１の貫通孔１１２と第２の外装体１２０に設けられた第２の貫通孔１２２を通して、水流が水晶素板１０にあたることによって、水晶素板１０に付着している付着物が落とされ、水晶素板１０の洗浄を行なっている。
【００２５】
このように、本発明の水晶素板洗浄用治具１００によれば、水晶素板１０が挿入可能とするように、第１の基部１１０ａと第１の枠部１１０ｂにより設けられる収容部１１１を有し、収容部１１１底面に第１の貫通孔１１２が設けられ、収容部１１１を囲むようにして磁石部１１３が設けられている第１の外装体１１０と、第２の基部１２０ａと凸部１２０ｂを有し、凸部１２０ｂの主面に第２の貫通孔１２２が設けられている第２の外装体１２０と、を備え、第１の貫通孔１１２と第２の貫通孔１２２が向かい合う位置になるように、凸部１２０ｂが収容部１１１内に嵌め込めるようにして設けられていることによって、磁石部１１３により第１の外装体１１０と第２の外装体１２０とを固定することができるので、洗浄時に収容部１１１内に入った水流の水圧によって、水流を噴射している側と反対側の外装体が浮くことがなくなり、第１の外装体１１０の第１の枠部１１０ｂと第２の外装体１２０の第２の基部１２０ａとの間に隙間が生じることがなくなるため、水晶素板１０が入り込むことを低減することができる。よって、前記水晶素板１０が第１の外装体１１０の第１の枠部１１０ｂと第２の外装体１２０の第２の基部１２０ｂとで挟まれることがなくなるため、水晶素板１０が破損することを低減することができる。また、第１の外装体１１０の第１の枠部１１０ｂと第２の外装体１２０の第２の基部１２０ａとの間に水晶素板１０が入り込むことがなくなり、水晶素板１０を収容部１１１に再整理する工程が必要ないので、生産性を向上させることができる。
【００２６】
また、第２の外装体１２０が第１の外装体１１０の収容部１１１に嵌め込まれる凸部１２０ｂを有しており、前記第２の貫通孔１２２が前記凸部１２０ｂに設けられていることにより、水晶素板１０を収容部１１１底面と第２の外装体１２０の凸部１２０ｂの主面とで挟みながら固定することができ、第２の貫通孔１２２を通って水流を確実に水晶素板１０に当てることで洗浄することができる。また、第２の外装体１２０が第１の外装体１１０の収容部１１１に嵌め込まれる凸部１２０ｂを有していることにより、第１の外装体１１０と第２の外装体１２０との位置ずれをさらに低減することができる。
【００２７】
さらに、前記磁石部１１３は、前記収容部１１１を囲むようにして溝部１１４が設けられ、前記溝部１１４内に設けられていることにより、磁石部１１３が位置ずれすることを低減することができるので、精度良く第１の外装体１１０と第２の外装体１２０を固定することができる。さらに、磁石部１１３の主面と第１の外装体１１０の第１の枠部１１０ｂの主面とが面一となるようにした場合は、第１の外装体１１０の第１の枠部１１０ｂと第２の外装体１２０の第１の基部１２０ａとの隙間に水流が入り込んで外れてしまうことをさらに低減することができる。
【００２８】
尚、本発明は実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。また、実施形態においては、第１の貫通孔１１２、第２の貫通孔１２２は、平面形状は四角形で記載されていたが、円形でも構わない。また、水晶素板１０も平面形状は四角形で記載されていたが、円形の板であっても構わない。
【符号の説明】
【００２９】
１０・・・水晶素板
１１０・・・第１の外装体
１１０ａ・・・第１の基部
１１０ｂ・・・第１の枠部
１１１・・・収容部
１１２・・・第１の貫通孔
１１３・・・磁石部
１１４・・・溝部
１２０・・・第２の外装体
１２０ａ・・・第２の基部
１２０ｂ・・・凸部
１２２・・・第２の貫通孔
１００・・・水晶素板洗浄用治具
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄く形成された板状体を洗浄する際に用いる水晶素板洗浄用治具に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
水晶素板は、従来より、その主面に励振用電極が形成されて通信機器や電子機器等に搭載される圧電デバイスに用いられている。
【０００３】
水晶素板は、励振用電極を形成する前に洗浄される。水晶素板は小さく割れやすいため、水晶素板の洗浄には、水晶素板洗浄用治具が用いられる。具体的には、水晶素板洗浄用治具は、第１の外装体と第２の外装体とから構成されている。
【０００４】
第１の外装体は、第１の基部と第１の枠部により構成されている。第１の枠部は、一枚板の金属板をエッチング加工することによって複数設けられ、第１の枠部で囲まれた部分が第１の収容部となる。つまり、第１の収容部は、第１の基部と第１の枠部により形成される。第１の収容部は、その内部に水晶素板が挿入可能であり、第１の収容部底面となる第１の枠部内の第１の基部に第１の貫通孔が設けられている。
【０００５】
第２の外装体は、第２の基部と第２の枠部により構成されている。第２の枠部は、一枚板の金属板をエッチング加工することによって設けられ、第２の枠部で囲まれた部分が第２の収容部となる。つまり、第２の収容部は、第２の基部と第２の枠部により形成される。第２の基部と第２の枠部により第２の収容部が複数形成されており、第２の収容部底面となる第２の枠部内の第２の基部に第２の貫通孔が設けられている。水晶素板が、第１の収容部の水晶素板に対向する底面と第２の収容部の水晶素板に対向する底面にはさまれて第１の外装体から脱落しないようになっている（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
この従来の水晶素板洗浄用治具を用いた水晶素板の洗浄は、水晶素板を収容し、洗浄用治具を洗浄槽に浸けて、水晶素板洗浄用治具に向かって水流を噴射することによって、水晶素板に付着している研磨粉やごみ等の付着物を落とすシャワー洗浄を行なっている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００９−２４０９７７号公報
【特許文献２】特開２００７−２８４５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、従来の水晶素板洗浄用治具は、第１の外装体及び第２の外装体が四隅に設けられた磁石部によって固定されているものであり、第１の外装体及び第２の外装体のどちらか一方の外側に向いている面に対して水流を噴射することにより、第１の貫通孔内及び第２の貫通孔内から第１の収容部内及び第２の収容部内に入った水流の水圧によって、水流を噴射している側と反対側の面の外装体が撓んで第１の外装体と第２の外装体との間に不要な隙間が生じ、この隙間に水晶素板が入り込み、水晶素板が第１の外装体の第１の枠部と第２の外装体の第２の枠部とで挟まれることによって、水晶素板が割れてしまうといった課題があった。また、水流を噴射している側と反対側の面の外装体が撓んだ状態になることから、水晶素板が固定されなくなるため、第１の外装体の第１の枠部と第２の外装体の第２の枠部との間に生じた隙間に入り込んだ水晶素板を収容部に再整理する工程が必要になるため、生産性が低下してしまうといった課題があった。
【０００９】
本発明は前記課題に鑑みてなされたものであり、第１の外装体の第１の枠部と第２の外装体の第２の枠部との隙間に水晶素板が入り込み、水晶素板が破損してしまうことを低減すると共に、生産性を向上させる水晶素板洗浄用治具を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一つの態様による水晶素板洗浄用治具は、第１及び第２の外装体を備えている。第１の外装体は、水晶素板が設けられる収容部を有し、収容部の底面に第１の貫通孔が設けられ、収容部を囲むようにして磁石部が設けられている。第２の外装体は、第２の貫通孔を有しており、収容部を覆うように磁石部によって第１の外装体に固定される。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の一つの態様による水晶素板洗浄用治具において、第１の外装体は、水晶素板が設けられる収容部を有し、収容部の底面に第１の貫通孔が設けられ、収容部を囲むようにして磁石部が設けられている。第２の外装体は、第２の貫通孔を有しており、収容部を覆うように磁石部によって第１の外装体に固定されることによって、洗浄時に収容部内に入った水流の水圧によって、水流を噴射している側と反対側の外装体が浮くことがなくなり、第１の外装体の第１の枠部と第２の外装体の第２の基部との間に隙間が生じず、前記隙間に水晶素板が入り込むことを低減することができるので、第１の外装体の第１の枠部と第２の外装体の第２の基部とで挟まれることがなくなり、水晶素板が破損することを低減することができる。また、第１の外装体の第１の枠部と第２の外装体の第２の基部との間に隙間が生じないため、水晶素板が入り込むことがなくなり、水晶素板を第１の収容部に再整理する工程が必要ないので、生産性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一つの実施形態に係る水晶素板洗浄用治具を第１の外装体側から見た分解斜視図である。
【図２】図１に示された水晶素板洗浄用治具を第２の外装体側から見た分解斜視図である。
【図３】図１に示された水晶素板洗浄用治具に水晶素板が収容された状態を示している部分断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態における水晶素板洗浄用治具について添付図面を参照して詳細に説明する。図１〜図３に示す水晶素板洗浄用治具１００は、水晶素板１０を収容し、その水晶素板洗浄用治具１００を洗浄槽（図示せず）に浸けて、水晶素板洗浄用治具１００に向かって水流を噴射することによって、水晶素板１０の表面に水流を当てて、水晶素板１０に付着している付着物を落とすことにより洗浄する際に用いるものである。以下、水晶素板１０、水晶素板洗浄用治具１００の順に説明する。
【００１４】
（水晶素板）
水晶素板１０は、人工水晶体から所定のカットアングルで切断し外形加工を施された概略平板状で平面形状が例えば四角形となっている。水晶素板１０の厚みは、例えば、２０μｍ〜５０μｍとなっている。このように洗浄された水晶素板１０の表裏両主面には励振用電極（図示せず）が被着形成され水晶振動素子（図示せず）となる。水晶振動素子は、外部からの電圧が引き出し電極（図示せず）を介して励振用電極に印加されると、所定の振動モード及び周波数で励振を起こすようになっている。励振用電極は、水晶素板１０の表裏両主面に金属膜を積層するようにして被着・形成したものであり、水晶素板１０の上面には、クロム（Ｃｒ）、チタン（Ｔｉ）からなる第１の金属膜が形成され、第１の金属膜の上面に金（Ａｕ）からなる第２の金属膜が積層するように形成されている。
【００１５】
（水晶素板洗浄用治具）
（第１の実施形態）
図１〜図２に示すように、第１の実施形態に係る水晶素板洗浄用治具１００は、第１の外装体１１０と第２の外装体１２０とから構成されている。図１〜図２に示す第１の外装体１１０は、例えば、ＳＵＳ４３０及びＳＵＳ４４０等のステンレス鋼によって構成された一枚板の金属板により構成されている。第１の外装体１１０は、第１の基部１１０ａと第１の枠部１１０ｂと磁石部１１３とにより構成されている。第１の枠部１１０ｂは、一枚板の金属板をエッチング加工することによって複数設けられ、第１の枠部１１０ｂで囲まれた部分が収容部１１１となる。つまり、収容部１１１は、第１の基部１１０ａと第１の枠部１１０ｂにより形成される。図３に示されているように、収容部１１１を囲むようにして溝部１１４が設けられている。また、磁石部１１３は、溝部１１４内に設けられている。
【００１６】
収容部１１１は、その内部に水晶素板１０を収容することが可能であり、収容部１１１底面となる第１の枠部１１０ｂ内の第１の基部１１０ａに第１の貫通孔１１２が設けられている。第１の貫通孔１１２は、金属板をエッチング加工等をすることにより設けられている。第１の貫通孔１１２は、水晶素板１０の主面に設けられる励振用電極及び引き出し電極の形状を成している。本実施形態の治具１００は、洗浄工程の後に行われる励振用電極及び引き出し電極の形成工程においてマスクとして用いられる。したがって、本実施形態の水晶素板洗浄用治具１００は、洗浄工程から励振用電極及び引き出し電極の形成工程までの共通治具として用いられる。
【００１７】
また、第１の外装体１１０の厚みは、第１の基部１１０ａと第１の枠部１１０ｂの厚みを足して、例えば、７０〜１４０μｍになっている。
【００１８】
溝部１１４は、収容部１１１を囲むようにして、第１の枠部１１０ｂの主面に設けられている。
【００１９】
磁石部１１３は、例えばフェライト等から形成され、第１の外装体１１０の第１の枠部１１０ｂの主面の溝部１１４内に設けられている。磁石部１１３は、向かい合う位置にある後述する第２の外装体１２０の第２の基部１２０ａと固定することができるようになっている。収容部１１１を囲むようにして磁石部１１３が設けられていることにより磁石部１１３で第１の外装体１１０と第２の外装体１２０とを固定されているため、洗浄時に収容部１１１内に入った水流の水圧によって水流を噴射している側と反対側の外装体が浮くことがなくなり、第１の外装体１１０の第１の枠部１１０ｂと第２の外装体１２０の第２の基部１２０ａとの間に隙間を生じることがなくなる。よって、第１の外装体１１０の第１の枠部１１０ｂと第２の外装体１２０の第２の基部１２０ａとの間に水晶素板１０が入り込むことを低減する。
【００２０】
図１〜図２に示す第２の外装体１２０は、第１の外装体１１０と同様に、例えば、ＳＵＳ４３０及びＳＵＳ４４０等のステンレス鋼によって構成された一枚板の金属板により構成されている。第２の外装体１２０は、第２の基部１２０ａと凸部１２０ｂにより構成されている。凸部１２０ｂは、一枚板の金属板をエッチング加工することによって形成されている。
【００２１】
凸部１２０ｂは、第２の基部１２０ａに複数形成されており、凸部１２０ｂの主面には、第２の貫通孔１２２が設けられている。第２の貫通孔１２２は、金属板をエッチング加工等をすることにより設けられている。第２の貫通孔１２２は、水晶素板１０の主面に設けられる励振用電極の形状を成している。
【００２２】
また、凸部１２０ｂの主面の外周サイズは、第１の外装体１１０の収容部１１１の外周サイズよりも小さくなっており、この収容部１１１内に第２の外装体１２０の凸部１２０ｂが嵌め込むことができるようになっている。このように収容部１１１に凸部１２０ｂを嵌め込むことによって、収容部１１１の底面と凸部１２０ｂの主面が水晶素板１０と向かい合うようになっている。
【００２３】
この水晶素板１０と対向する収容部１１１の底面の中央と凸部１２０ｂの主面の中央には、第１の外装体１１０と第２の外装体１２０の一方の主面から他方に主面に貫通された第１の貫通孔１１２、第２の貫通孔１２２が設けられている。尚、収容部１１１の開口サイズは、内部に収容する水晶素板１０の主面サイズより大きくなっている。また、第２の外装体１２０の厚みは、第２の基部１２０ａと凸部１２０ｂの厚みを足して、例えば、７０〜１４０μｍになっている。また、第１の外装体１１０の収容部１１１の底面と第２の外装体１２０の凸部１２０ｂの主面との間隔は、収容される水晶素板１０の厚み程度となっている。
【００２４】
このような水晶素板洗浄用治具１００は、第１の外装体１１０の収容部１１１内に水晶素板１０を収容し、第２の外装体１２０の凸部１２０ｂを第１の外装体１１０の収容部１１１内に嵌め込むようにして、第１の外装体１１０と第２の外装体１２０を重ね合わせ、第１の外装体１１０に前記収容部１１１を囲むようにして設けられている磁石部１１３は、向かい合う位置にある第２の外装体１２０の基板部１２０ａと接合固定状態になることで使用される。水晶素板１０が収容された水晶素板洗浄用治具１００の第１の貫通孔１１２及び第２の貫通孔１２２の開口に向けて水流を噴射させる。第１の外装体１１０に設けられた第１の貫通孔１１２と第２の外装体１２０に設けられた第２の貫通孔１２２を通して、水流が水晶素板１０にあたることによって、水晶素板１０に付着している付着物が落とされ、水晶素板１０の洗浄を行なっている。
【００２５】
このように、本発明の水晶素板洗浄用治具１００によれば、水晶素板１０が挿入可能とするように、第１の基部１１０ａと第１の枠部１１０ｂにより設けられる収容部１１１を有し、収容部１１１底面に第１の貫通孔１１２が設けられ、収容部１１１を囲むようにして磁石部１１３が設けられている第１の外装体１１０と、第２の基部１２０ａと凸部１２０ｂを有し、凸部１２０ｂの主面に第２の貫通孔１２２が設けられている第２の外装体１２０と、を備え、第１の貫通孔１１２と第２の貫通孔１２２が向かい合う位置になるように、凸部１２０ｂが収容部１１１内に嵌め込めるようにして設けられていることによって、磁石部１１３により第１の外装体１１０と第２の外装体１２０とを固定することができるので、洗浄時に収容部１１１内に入った水流の水圧によって、水流を噴射している側と反対側の外装体が浮くことがなくなり、第１の外装体１１０の第１の枠部１１０ｂと第２の外装体１２０の第２の基部１２０ａとの間に隙間が生じることがなくなるため、水晶素板１０が入り込むことを低減することができる。よって、前記水晶素板１０が第１の外装体１１０の第１の枠部１１０ｂと第２の外装体１２０の第２の基部１２０ｂとで挟まれることがなくなるため、水晶素板１０が破損することを低減することができる。また、第１の外装体１１０の第１の枠部１１０ｂと第２の外装体１２０の第２の基部１２０ａとの間に水晶素板１０が入り込むことがなくなり、水晶素板１０を収容部１１１に再整理する工程が必要ないので、生産性を向上させることができる。
【００２６】
また、第２の外装体１２０が第１の外装体１１０の収容部１１１に嵌め込まれる凸部１２０ｂを有しており、前記第２の貫通孔１２２が前記凸部１２０ｂに設けられていることにより、水晶素板１０を収容部１１１底面と第２の外装体１２０の凸部１２０ｂの主面とで挟みながら固定することができ、第２の貫通孔１２２を通って水流を確実に水晶素板１０に当てることで洗浄することができる。また、第２の外装体１２０が第１の外装体１１０の収容部１１１に嵌め込まれる凸部１２０ｂを有していることにより、第１の外装体１１０と第２の外装体１２０との位置ずれをさらに低減することができる。
【００２７】
さらに、前記磁石部１１３は、前記収容部１１１を囲むようにして溝部１１４が設けられ、前記溝部１１４内に設けられていることにより、磁石部１１３が位置ずれすることを低減することができるので、精度良く第１の外装体１１０と第２の外装体１２０を固定することができる。さらに、磁石部１１３の主面と第１の外装体１１０の第１の枠部１１０ｂの主面とが面一となるようにした場合は、第１の外装体１１０の第１の枠部１１０ｂと第２の外装体１２０の第１の基部１２０ａとの隙間に水流が入り込んで外れてしまうことをさらに低減することができる。
【００２８】
尚、本発明は実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。また、実施形態においては、第１の貫通孔１１２、第２の貫通孔１２２は、平面形状は四角形で記載されていたが、円形でも構わない。また、水晶素板１０も平面形状は四角形で記載されていたが、円形の板であっても構わない。
【符号の説明】
【００２９】
１０・・・水晶素板
１１０・・・第１の外装体
１１０ａ・・・第１の基部
１１０ｂ・・・第１の枠部
１１１・・・収容部
１１２・・・第１の貫通孔
１１３・・・磁石部
１１４・・・溝部
１２０・・・第２の外装体
１２０ａ・・・第２の基部
１２０ｂ・・・凸部
１２２・・・第２の貫通孔
１００・・・水晶素板洗浄用治具
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水晶素板が設けられる収容部を有し、前記収容部の底面に第１の貫通孔が設けられ、前記収容部を囲むようにして磁石部が設けられている第１の外装体と、
第２の貫通孔を有しており、前記収容部を覆うように前記磁石部によって前記第１の外装体に固定される第２の外装体とを備えていることを特徴とする水晶素板洗浄用治具。
【請求項２】
前記第２の外装体が前記収容部に嵌め込まれる凸部を有しており、前記第２の貫通孔が前記凸部に設けられていることを特徴とする請求項１記載の水晶素板洗浄用治具。
【請求項３】
前記磁石部は、前記収容部を囲むようにして溝部が設けられ、前記溝部内に設けられていることを特徴とする請求項１記載の水晶素板洗浄用治具。
【請求項１】
水晶素板が設けられる収容部を有し、前記収容部の底面に第１の貫通孔が設けられ、前記収容部を囲むようにして磁石部が設けられている第１の外装体と、
第２の貫通孔を有しており、前記収容部を覆うように前記磁石部によって前記第１の外装体に固定される第２の外装体とを備えていることを特徴とする水晶素板洗浄用治具。
【請求項２】
前記第２の外装体が前記収容部に嵌め込まれる凸部を有しており、前記第２の貫通孔が前記凸部に設けられていることを特徴とする請求項１記載の水晶素板洗浄用治具。
【請求項３】
前記磁石部は、前記収容部を囲むようにして溝部が設けられ、前記溝部内に設けられていることを特徴とする請求項１記載の水晶素板洗浄用治具。
【図１】
【図２】
【図３】
【図２】
【図３】
【公開番号】特開２０１２−２５０１３９（Ｐ２０１２−２５０１３９Ａ）
【公開日】平成２４年１２月２０日（２０１２．１２．２０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１２２４６１（Ｐ２０１１−１２２４６１）
【出願日】平成２３年５月３１日（２０１１．５．３１）
【出願人】（０００１０４７２２）京セラクリスタルデバイス株式会社 (870)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年１２月２０日（２０１２．１２．２０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年５月３１日（２０１１．５．３１）
【出願人】（０００１０４７２２）京セラクリスタルデバイス株式会社 (870)
【Ｆターム（参考）】
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