液滴吐出装置、パターン膜形成部材の製造方法
【課題】隣接する所定領域に塗布された機能液同士の接触を防止する。
【解決手段】液滴吐出ヘッドとワークとを相対的に移動させながら、前記ワークに向けて前記機能液を液滴として吐出させる制御部を備え、前記制御部では、前記ワーク上の所定領域に着弾させる前記液滴の主滴とサテライトとの着弾距離を制御する。
【解決手段】液滴吐出ヘッドとワークとを相対的に移動させながら、前記ワークに向けて前記機能液を液滴として吐出させる制御部を備え、前記制御部では、前記ワーク上の所定領域に着弾させる前記液滴の主滴とサテライトとの着弾距離を制御する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置、パターン膜形成部材の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、パターン膜形成部材としてのカラーフィルターの製造方法では、基材上に形成された区画部によって区画された所定領域に向けて、パターン膜の材料を含む機能液を液滴として吐出して、機能液を所定領域に付着させる方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１０−１４２４１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のカラーフィルターの製造方法では、液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと基材とを相対的に移動させながら、液滴を吐出して、当該液滴を基材面に着弾させ、機能液を基材上に付着させている。ところで、液滴吐出ヘッドのノズルから機能液を液滴として吐出した際、液滴の主滴に追随して尾引き部やサテライト等が発生することがある。この場合、液滴吐出ヘッドと基材とが相対的に移動しているため、尾引き部やサテライトは、主滴が基材に着弾するタイミングよりも遅れて着弾する。その結果、尾引き部やサテライトは、主滴が着弾された位置からずれた位置に付着することになる。すなわち、所望した位置からずれた位置に付着してしまうことになる。そうすると、例えば、尾引き部やサテライトが区画部に乗り上がって付着してしまった場合には、隣接する所定領域内に塗布された機能液同士が接触して混色が発生してしまう、という課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例にかかる液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドとワークとを相対的に移動させながら、前記ワークに向けて機能液を液滴として吐出させる制御部を備え、前記制御部では、前記ワーク上の所定領域に着弾させる前記液滴の主滴とサテライトとの着弾距離を制御しながら、前記液滴を吐出させることを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、液滴吐出ヘッドから液滴を吐出させた際、液滴の主部となる主滴と、当該主滴に追従するサテライトとが吐出されるが、ワークの所定領域内に、主滴とサテライトとが着弾した距離（着弾距離）が制御される。すなわち、ワークの所定領域において着弾距離を短くしたり、長くしたりすることが可能となる。このため、例えば、着弾距離を短く（着弾された主滴とサテライトとの距離を短く）した場合には、主滴とサテライトとが一体になって着弾、もしくは、主滴の近傍にサテライトが着弾することとなり、液滴の着弾位置精度を向上させることができる。一方、着弾距離を長く（着弾された主滴とサテライトとの距離を長く）した場合には、主滴とサテライトとが離れて着弾することとなり、機能液の塗布面積を広げることができる。従って、例えば、カラーフィルターの製造にあっては、所定領域（画素領域）に対して着弾距離を制御することにより、混色等の発生を低減させるとともに生産性を向上させることができる。
【０００８】
［適用例２］上記適用例にかかる液滴吐出装置の前記制御部は、前記所定領域に対して、前記液滴吐出ヘッドの移動方向側の前記着弾距離が、前記液滴吐出ヘッドの移動方向の反対側の前記着弾距離よりも短くなるように制御することを特徴とする。
【０００９】
この構成によれば、液滴吐出ヘッドの移動方向の反対側に比べ、液滴吐出ヘッドの移動方向側では、主滴とサテライトとがほぼ同一の位置に着弾される。すなわち、所定領域であって、液滴吐出ヘッドの移動方向側では液滴の着弾精度が高くなる。このため、例えば、カラーフィルターの製造にあっては、隣接する所定領域間における機能液の接触が低減し、混色等を低減させることができる。
【００１０】
［適用例３］上記適用例にかかる液滴吐出装置の前記制御部では、前記所定領域内において、前記液滴が吐出される前記液滴吐出ヘッドのノズルプレートの面から吐出された前記液滴が着弾する前記ワークの着弾面までの距離を制御しながら、前記液滴を吐出させることを特徴とする。
【００１１】
この構成によれば、所定領域内においてノズル面からワークの着弾面までの距離、すなわち、プラテンギャップが制御されながら液滴が吐出される。この場合、例えば、プラテンギャップを小さくする方向に制御することにより、主滴とサテライトがそれぞれ着弾する時間差が短くなるため、着弾距離を短くすることができる。一方、プラテンギャップを大きくする方向に制御することにより、主滴とサテライトがそれぞれ着弾する時間差が長くなるため、着弾距離を長くすることができる。
【００１２】
［適用例４］上記適用例にかかる液滴吐出装置の前記制御部では、前記所定領域内において、前記液滴吐出ヘッドと前記ワークとが相対的に移動する移動速度を制御しながら、前記液滴を吐出させることを特徴とする。
【００１３】
この構成によれば、移動速度を遅い方向に制御する場合には、主滴が着弾してから液滴吐出ヘッドとワークの相対的な移動距離が短いため、着弾距離を短くすることができる。一方、移動速度を速い方向に制御する場合には、主滴が着弾してから液滴吐出ヘッドとワークの相対的な移動距離が長いため、着弾距離を長くすることができる。
【００１４】
［適用例５］上記適用例にかかる液滴吐出装置の前記制御部では、前記所定領域内において、前記液滴の吐出速度を制御しながら、前記液滴を吐出させることを特徴とする。
【００１５】
この構成によれば、吐出速度を遅い方向に制御する場合には、主滴とサテライトとの距離が比較的に短い状態で吐出されるため、主滴とサテライトとの着弾の時間差が短くなり、着弾距離を短くすることができる。一方、吐出速度を速い方向に制御する場合には、主滴とサテライトとの距離が比較的に長い状態で吐出されるため、主滴とサテライトとの着弾の時間差が長くなり、着弾距離を長くすることができる。
【００１６】
［適用例６］本適用例にかかるパターン膜形成部材の製造方法は、液滴吐出ヘッドとワークとを相対的に移動させながら、前記ワークに向けて機能液を液滴として吐出して、前記ワーク上にパターン膜を形成するパターン膜形成部材の製造方法であって、前記ワーク上の所定領域において、主滴とサテライトとの着弾距離を異ならせながら、前記液滴を吐出して、前記ワーク上に前記機能液を塗布する塗布工程を含むことを特徴とする。
【００１７】
この構成によれば、液滴吐出ヘッドから液滴を吐出させた際、液滴の主部となる主滴と、当該主滴に追従するサテライトとが吐出されるが、ワークの所定領域内に、主滴とサテライトとが着弾した距離（着弾距離）が制御される。すなわち、ワークの所定領域において着弾距離を短くしたり、長くしたりすることが可能となる。このため、例えば、着弾距離を短く（着弾された主滴とサテライトとの距離を短く）した場合には、主滴とサテライトとが一体になって着弾、もしくは、主滴の近傍にサテライトが着弾することとなり、液滴の着弾位置精度を向上させることができる。一方、着弾距離を長く（着弾された主滴とサテライトとの距離を長く）した場合には、主滴とサテライトとが離れて着弾することとなり、機能液の塗布面積を広げることができる。従って、例えば、カラーフィルターの製造にあっては、所定領域（画素領域）に対して着弾距離を制御することにより、混色等の発生を低減させるとともに生産性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】第１実施形態にかかる液滴吐出装置の構成を示す斜視図。
【図２】液滴吐出ヘッドの構成を示す断面図。
【図３】第１実施形態にかかる液滴吐出装置の制御部の構成を示すブロック図。
【図４】液滴の吐出状態及び着弾状態を示す説明図。
【図５】第１実施形態にかかる液滴吐出装置の動作を示す説明図。
【図６】カラーフィルターの構成を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図。
【図７】カラーフィルターの製造方法を示すフローチャート。
【図８】第１実施形態にかかるカラーフィルターの製造方法を示す工程図。
【図９】カラーフィルターの製造方法を示す工程図。
【図１０】電気光学装置としての液晶ディスプレイの構成を示す断面図。
【図１１】電子機器としてのテレビ受像機の構成を示す斜視図。
【図１２】第２実施形態にかかる液滴吐出装置の動作を示す説明図。
【図１３】第２実施形態にかかるカラーフィルターの製造方法を示す工程図。
【図１４】第３実施形態にかかる液滴吐出装置の動作を示す説明図。
【図１５】第３実施形態にかかるカラーフィルターの製造方法を示す工程図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明を具体化した第１〜第３実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材ごとに縮尺を異ならせて図示している。
【００２０】
［第１実施形態］
（液滴吐出装置の構成）
まず、液滴吐出装置の構成について説明する。図１は、第１実施形態にかかる液滴吐出装置の構成を示す斜視図である。
【００２１】
図１において、液滴吐出装置３０は、機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド５０を有するヘッド機構部３２と、液滴吐出ヘッド５０から吐出された液滴の吐出対象であるワーク１０を載置するワーク機構部３３と、液滴吐出ヘッド５０に機能液を供給する材料供給部３４と、液滴吐出ヘッド５０の保守を行うメンテナンス機構部３５と、これら各機構部および供給部を統括的に制御する制御部３６等を備えている。
【００２２】
本実施形態の液滴吐出装置３０は、床上に設置された複数の支持脚４１と、支持脚４１の上側に設置された定盤４２を備えている。定盤４２の上側には、ワーク機構部３３が定盤４２の長手方向（Ｘ軸方向）に延在するように配置されている。ワーク機構部３３の上方には、定盤４２に固定された２本の支持柱５２で支持されているヘッド機構部３２が、ワーク機構部３３と直交する方向（Ｙ軸方向）に延在して配置されている。また、定盤４２の一方の端部には、ヘッド機構部３２の液滴吐出ヘッド５０から連通して機能液を供給する材料供給部３４が配置されている。そして、ヘッド機構部３２の一方の支持柱５２近傍には、メンテナンス機構部３５がワーク機構部３３と並んでＸ軸方向に延在するように配置されている。さらに、定盤４２の下側には、制御部３６が備えられている。
【００２３】
ヘッド機構部３２は、機能液を吐出する液滴吐出ヘッド５０と、液滴吐出ヘッド５０を懸架したヘッドキャリッジ５１と、ヘッドキャリッジ５１のＹ軸方向への移動をガイドするＹ軸ガイド５３と、Ｙ軸ガイド５３の側方にＹ軸ガイド５３と平行に設置されたＹ軸リニアモーター５４と、液滴吐出ヘッド５０のＺ軸方向への移動をガイドするＺ軸ガイド５５（図示せず）と、Ｚ軸ガイド５５の側方にＺ軸ガイド５５と平行に設置されたＺ軸リニアモーター５６（図示せず）等を備えている。
【００２４】
ワーク機構部３３は、ヘッド機構部３２の下方に位置し、ヘッド機構部３２とほぼ同様の構成でＸ軸方向に延在するように配置されており、ワーク１０を載置する載置台６１と、載置台６１の移動をガイドするＸ軸ガイド６３と、Ｘ軸ガイド６３の側方にＸ軸ガイド６３と平行に設置されたＸ軸リニアモーター６４等を備えている。
【００２５】
これらの構成により、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０とは、それぞれＹ軸方向およびＸ軸方向に往復自在に移動することができる。最初に、液滴吐出ヘッド５０の移動について説明する。液滴吐出ヘッド５０を懸架したヘッドキャリッジ５１は、Ｙ軸ガイド５３に移動可能に取り付けられている。図示しないが、ヘッドキャリッジ５１からＹ軸リニアモーター５４側へ張り出している突起部が、Ｙ軸リニアモーター５４と係合して駆動力を得ることにより、ヘッドキャリッジ５１がＹ軸ガイド５３に沿って任意の位置に移動する。また、液滴吐出ヘッド５０は、図示しないＺ軸ガイド５５に移動可能に取り付けられている。そして、液滴吐出ヘッド５０からＺ軸リニアモーター５６側へ張り出している突起部が、Ｚ軸リニアモーター５６と係合して駆動力を得ることにより、液滴吐出ヘッド５０がＺ軸ガイド５５に沿って任意の位置に移動する。同様に、載置台６１に搭載されたワーク１０もＸ軸方向に自在に移動する。
【００２６】
このように、液滴吐出ヘッド５０は、Ｙ軸方向の吐出位置まで移動して停止し、下方にあるワーク１０のＸ軸方向の移動に同調して、液滴を吐出する構成となっている。Ｘ軸方向に移動するワーク１０と、Ｙ軸方向に移動する液滴吐出ヘッド５０とを相対的に制御することにより、ワーク１０上に機能液を吐出することができる。さらに、液滴吐出ヘッド５０は、ワーク１０のＸ軸方向の移動に同調して、Ｚ軸方向に移動しながらワーク１０上に機能液を吐出することができる。
【００２７】
液滴吐出ヘッド５０に機能液を供給する材料供給部３４は、タンク７５と、ポンプ７４と、タンク７５からポンプ７４を経て液滴吐出ヘッド５０までを接続する流路チューブ７９とを備えている。
【００２８】
図２は、液滴吐出ヘッドの構成を示す断面図である。図２に示すように、液滴吐出ヘッド５０は、ノズルプレート１１５を備え、ノズルプレート１１５には、ノズル１２０が形成されている。ノズルプレート１１５の上側であってノズル１２０と相対する位置には、ノズル１２０に連通するキャビティ１１１が形成されている。そして、キャビティ１１１には、材料供給部３４から機能液が供給される。
【００２９】
キャビティ１１１の上側には、上下方向（Ｚ方向：縦振動）に振動して、キャビティ１１１内の容積を拡大縮小する振動板１１４と、上下方向に伸縮して振動板１１４を振動させる加圧手段としての圧電素子１１３が配設されている。そして、液滴吐出ヘッド５０が圧電素子１１３を制御駆動するための駆動信号を受けると、圧電素子１１３が伸張して、振動板１１４がキャビティ１１１内の容積を縮小する。その結果、ノズル１２０から縮小した容積分の機能液が液滴１２１として吐出される。なお、本実施形態では、加圧手段として、縦振動型の圧電素子１１３を用いたが、特に、これに限定されず、例えば、下電極と圧電体層と上電極とを積層形成した撓み変形型の圧電素子を用いてもよい。また、圧力発生手段として、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズルから液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用してもよい。さらには、発熱体を用いてノズル内に泡を発生させ、その泡によって機能液を液滴として吐出させる構成を有する吐出ヘッドであってもよい。
【００３０】
図１に戻り、次に、メンテナンス機構部３５について説明する。メンテナンス機構部３５は、キャッピングユニット８６、ワイピングユニット８７、およびフラッシングユニット８８のメンテナンスユニットを備えている。さらに、メンテナンスユニットを載置するメンテキャリッジ８１と、メンテキャリッジ８１の移動をガイドするメンテキャリッジガイド８２と、メンテキャリッジ８１と一体の螺合部８５と、螺合部８５が螺合するボールねじ８４と、ボールねじ８４を回転させるメンテモーター８３とを備えている。これにより、メンテモーター８３が正逆回転すると、ボールねじ８４が回転し、螺合部８５を介してメンテキャリッジ８１が、Ｘ軸方向に移動する。メンテキャリッジ８１が液滴吐出ヘッド５０のメンテナンスのために移動するときには、Ｙ軸ガイド５３に沿って液滴吐出ヘッド５０が移動して、メンテナンスユニットの直上部に臨んでいる。
【００３１】
メンテナンスユニットのキャッピングユニット８６は、液滴吐出装置３０が稼動していない時に、液滴吐出ヘッド５０に密着してキャッピングし、機能液が乾燥してノズル１２０が詰まるなどの不具合が生じないようにする。ワイピングユニット８７は、機能液の連続吐出後やキャッピング時にノズル１２０に付着した機能液などを、洗浄液を含むワイピング布で拭い、全ノズルの清浄な状態を維持する。フラッシングユニット８８は、液滴吐出装置３０の稼動開始時やワーク１０への加工前に、ノズル１２０から吐出される機能液を受け、ノズル１２０の吐出状態を常に良好な状態にする。
【００３２】
これらのメンテナンスユニットにより、液滴吐出装置３０の非稼動時やワーク１０を交換載置している加工待ち時などに、液滴吐出ヘッド５０の状態を保全して良好な吐出状態を保つことができる。
【００３３】
次に、以上述べた構成を制御する制御部３６の構成について説明する。図３は、制御部３６の構成を示すブロック図である。制御部３６は、指令部１３０と駆動部１４０とを備え、指令部１３０は、ＣＰＵ１３２、記憶手段としてのＲＯＭ１３３、ＲＡＭ１３４および入出力インターフェース１３１からなり、ＣＰＵ１３２が入出力インターフェース１３１を介して入力される各種信号を、ＲＯＭ１３３、ＲＡＭ１３４のデータに基づき処理し、入出力インターフェース１３１を介して駆動部１４０へ制御信号を出力する。
【００３４】
駆動部１４０は、ヘッドドライバー１４１、モータードライバー１４２、ポンプドライバー１４３、メンテドライバー１４５を備えている。モータードライバー１４２は、指令部１３０の制御信号により、Ｘ軸リニアモーター６４、Ｙ軸リニアモーター５４、Ｚ軸リニアモーター５６を制御し、ワーク１０、液滴吐出ヘッド５０の移動を制御する。さらに、メンテモーター８３を制御してメンテナンス機構部３５の必要なユニットをメンテナンス位置へ移動させる。ヘッドドライバー１４１は、液滴吐出ヘッド５０からの機能液の吐出を制御し、モータードライバー１４２の制御と同調して、ワーク１０上の所定位置に吐出などが行えるようにする。また、ポンプドライバー１４３は、機能液の吐出状態に対応してポンプ７４を制御し、液滴吐出ヘッド５０への供給を最適に制御する。そして、メンテドライバー１４５は、メンテナンス機構部３５のキャッピングユニット８６、ワイピングユニット８７およびフラッシングユニット８８を制御する。
【００３５】
次に、液滴吐出ヘッド５０から液滴１２１が吐出され、吐出された液滴１２１がワークに塗布される状態等について説明する。図４は、液滴の吐出状態及び着弾状態を示す説明図である。
【００３６】
まず、液滴の吐出状態について説明する。図４（ａ）は、液滴吐出ヘッド５０のノズル１２０から吐出された液滴１２１の状態を示している。図４（ａ）に示すように、液滴１２１は、主滴１２１ａと当該主滴１２１ａに追従するサテライト１２１ｃ等で形成される。さらに詳細には、主滴１２１ａと、主滴１２１ａに追随する尾引き部１２１ｂと、当該尾引き部１２１ｂに追随してサテライト１２１ｃが形成される。
【００３７】
次に、液滴の着弾状態について説明する。図４（ｂ）〜（ｆ）は、吐出された液滴１２１がワーク１０の面に着弾する状態を示したものである。なお、図４（ｂ）〜（ｆ）では、液滴吐出ヘッド５０を固定して、ワーク１０をＸ軸方向に一定速度で移動させた場合を例にして説明する。また、図４（ｂ）〜（ｆ）において、ワーク１０に着弾した主滴１２１ａ、尾引き部１２１ｂ、サテライト１２１ｃに対応して主滴１２１ａ’、尾引き部１２１ｂ’、サテライト１２１ｃ’と表している。
【００３８】
まず、図４（ｂ）では、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０とを相対的に移動させながら、ワーク１０に向けて液滴１２１が吐出された状態を示している。吐出された液滴１２１は、ワーク１０に向けて、主滴１２１ａ、尾引き部１２１ｂ、サテライト１２１ｃの順で移動する。
【００３９】
図４（ｃ）では、ワーク１０の表面に液滴１２１が着弾した状態を示している。図４（ｃ）に示すように、まず、主滴１２１ａがワーク１０の面に着弾する。このとき、尾引き部１２１ｂやサテライト１２１ｃは、主滴１２１ａに比べて遅れて進んでいるため、ワーク１０の面に着弾していない。
【００４０】
次に、図４（ｄ）に示すように、主滴１２１ａに続いて尾引き部１２１ｂがワーク１０の面に着弾する。主滴１２１ａがワーク１０に着弾して尾引き部１２１ｂがワーク１０に着弾するまでの間、ワーク１０がＸ軸方向に移動しているため、尾引き部１２１ｂは、主滴１２１ａの着弾位置に対して、Ｘ軸の負方向側にずれて着弾される。換言すれば、ワーク１０の移動方向に対して上流側にずれて着弾される。
【００４１】
次に、図４（ｅ）に示すように、尾引き部１２１ｂに続いてサテライト１２１ｃがワーク１０の面に着弾する。尾引き部１２１ｂがワーク１０に着弾してサテライト１２１ｃがワーク１０に着弾するまでの間、ワーク１０がＸ軸方向に移動しているため、サテライト１２１ｃは、尾引き部１２１ｂの着弾位置に対して、Ｘ軸の負方向側にずれて着弾される。換言すれば、ワーク１０の移動方向に対して上流側にずれて着弾される。また、図５（ｆ）は、図５（ｅ）の液滴１２１の着弾状態を平面視したものである。図５（ｆ）に示すように、尾引き部１２１ｂやサテライト１２１ｃは、主滴１２１ａの着弾位置からずれた位置に着弾する。なお、本実施形態では、着弾した主滴１２１ａ’のほぼ中心からサテライト１２１ｃ’の端部までの距離を着弾距離ＡＤと定める。
【００４２】
以上、図４に示したように、液滴吐出ヘッド５０から吐出された液滴１２１は、ワーク１０に着弾する際、主滴１２１ａの着弾位置に対してサテライト１２１ｃの着弾位置がずれてしまう傾向にある。従って、例えば、液滴吐出ヘッド５０をカラーフィルター等の製造に適用して吐出した場合では、液滴１２１の着弾位置がずれて隣接するパターン膜形成領域に塗布された機能液と接触し、混色を起こしてしまうおそれがある。そこで、本実施形態では、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０とを相対的に移動させながら、ワーク１０上の所定領域に着弾させる液滴１２１の主滴１２１ａ’とサテライト１２１ｃ’との着弾距離ＡＤを制御して液滴１２１を吐出させる。具体的には、液滴１２１が吐出される液滴吐出ヘッド５０のノズルプレート１１５の面から吐出された液滴１２１が着弾するワーク１０の面までの距離を制御しながら液滴１２１を吐出させる。すなわち、プラテンギャップＰＧを制御しながら液滴１２１を吐出させる。以下、制御方法について説明する。
【００４３】
図５は、プラテンギャップＰＧを制御する制御方法を示す説明図である。本実施形態では、図５（ａ）、（ｃ）に示す２種類のプラテンギャップＰＧ１，ＰＧ２で制御する場合について説明する。プラテンギャップＰＧ１は、プラテンギャップＰＧ２よりも小さく設定される。各プラテンギャップＰＧ１，ＰＧ２の設定は、Ｚ軸リニアモーター５６を駆動させることにより行われる。そして、液滴吐出ヘッド５０をＺ軸方向に移動させながら、すなわち、プラテンギャップＰＧ１からプラテンギャップＰＧ２へ、或いは、プラテンギャップＰＧ２からプラテンギャップＰＧ１へ変化させながらワーク１０に向けて液滴１２１を吐出する。
【００４４】
まず、図５（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０とを相対的に移動させながら、プラテンギャップＰＧ１で液滴１２１を吐出させた場合には、図５（ｂ）に示すように、主滴１２１ａ’とサテライト１２１ｃ’がそれぞれ着弾する時間差が短くなるため、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’上、或いは、主滴１２１ａ’の近傍に着弾され、着弾距離ＡＤ１が比較的短くなる。一方、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０とを相対的に移動させながら、プラテンギャップＰＧ２で液滴１２１を吐出させた場合には、図５（ｄ）に示すように、主滴１２１ａ’とサテライト１２１ｃ’がそれぞれ着弾する時間差が長くなるため、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’から離れた位置に着弾され、着弾距離ＡＤ２が比較的長くなる。従って、プラテンギャップＰＧ１，ＰＧ２を制御することにより、ワーク１０上に向けて吐出された液滴１２１の着弾距離ＡＤを制御することができる。
【００４５】
次に、パターン膜形成部材の製造方法において上記の液滴吐出装置３０を適用した例について具体的に説明する。
【００４６】
（パターン膜形成部材の構成）
まず、パターン膜形成部材の構成について説明する。なお、本実施形態では、パターン膜形成部材としてのカラーフィルターの構成について説明する。図６は、カラーフィルターの構成を示し、図６（ａ）は、平面図であり、同図（ｂ）は、同図（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【００４７】
図６（ａ），（ｂ）において、カラーフィルター１は、ワーク１０と、ワーク１０の上に形成された区画部１１と、区画部１１によって区画された所定領域（色素膜形成領域）１６と、所定領域１６に形成されたパターン膜としての色素膜１４と、区画部１１と色素膜１４の上に形成された保護膜１８等で構成されている。
【００４８】
ワーク１０は、透明性を有し、一般にガラス基材が用いられるが、他にプラスチック等も使用可能であり、カラーフィルター機能として透過率、強度等の必要特性を有するものであれば特に限定されるものではない。区画部１１は、遮光性を有し、金属、樹脂等を用いることができる。
【００４９】
（パターン膜形成部材の製造方法）
次に、パターン形成部材の製造方法について説明する。パターン膜形成部材の製造方法は、液滴吐出ヘッドとワークとを相対的に移動させながら、ワークに向けて機能液を液滴として吐出して、ワーク上にパターン膜を形成するパターン膜形成部材の製造方法であって、ワーク上の所定領域において、主滴とサテライトとの着弾距離を異ならせながら、液滴を吐出して、ワーク上に機能液を塗布する塗布工程を含むものである。なお、本実施形態では、パターン膜形成部材としてのカラーフィルターの製造方法について説明する。図７は、カラーフィルターの製造方法を示すフローチャートである。
【００５０】
まず、ワーク載置工程Ｓ１では、例えば、ガラス基材上に区画部１１が形成されたワーク１０を液滴吐出装置３０の載置台６１上に載置する。
【００５１】
次いで、塗布工程Ｓ２では、ワーク１０上の所定領域１６において、主滴１２１ａ’とサテライト１２１ｃ’との着弾距離ＡＤを異ならせて液滴１２１を塗布する。さらに詳細には、所定領域１６に対して、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側の着弾距離ＡＤが、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側の着弾距離ＡＤよりも短くなるように塗布する。本実施形態では、所定領域１６内において、液滴１２１が吐出される液滴吐出ヘッド５０のノズルプレート１１５面から吐出された液滴１２１が着弾するワーク１０の着弾面までの距離、すなわち、プラテンギャップＰＧを制御しながら液滴１２１を吐出する。本実施形態では、相対的にギャップが短いプラテンギャップＰＧ１と、相対的にギャップが長いプラテンギャップＰＧ２とを設定しながら液滴１２１を吐出する。以下、具体的に説明する。
【００５２】
まず、図８（ａ）に示すように、ワーク１０上に形成された区画部１１によって区画された所定領域１６Ａであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側の領域においてプラテンギャップＰＧ２で液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、図９（ａ）に示すように、主滴１２１ａ’とサテライト１２１ｃ’がそれぞれ着弾する時間差が長くなるため、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’から離れた位置に着弾される。
【００５３】
次いで、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的移動が進み、所定領域１６Ａであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側の領域では、図８（ｂ）に示すように、プラテンギャップＰＧ１で液滴１２１を吐出する。すなわち、所定領域１６Ａであって、隣接する所定領域１６Ｂに近接した領域では、比較的ギャップが短いプラテンギャップＰＧ１で液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、図９（ｂ）に示すように、主滴１２１ａ’とサテライト１２１ｃ’がそれぞれ着弾する時間差が短くなるため、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’上、或いは、主滴１２１ａ’の近傍に着弾される。
【００５４】
次いで、図８（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的移動が進み、所定領域１６Ｂであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側の領域においてプラテンギャップＰＧ２で液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、図９（ｃ）に示すように、主滴１２１ａ’とサテライト１２１ｃ’がそれぞれ着弾する時間差が長くなるため、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’から離れた位置に着弾される。
【００５５】
次いで、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的移動が進み、所定領域１６Ｂであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側の領域では、図８（ｄ）に示すように、プラテンギャップＰＧ１で液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、図９（ｄ）に示すように、主滴１２１ａ’とサテライト１２１ｃ’がそれぞれ着弾する時間差が短くなるため、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’上、或いは、主滴１２１ａ’の近傍に着弾される。
【００５６】
このように、所定領域１６Ａと所定領域１６Ａに隣接する所定領域１６Ｂとの関係おいて、液滴吐出ヘッド５０の移動方向に対応する所定領域１６Ａ、すなわち、所定領域１６Ａの隣接する所定領域１６Ｂに近接する領域では、着弾距離ＡＤが短くなるため、区画部１１上に乗り上げて付着することがないので、隣接する所定領域１６に塗布された機能液との接触が低減される。一方、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側では、着弾距離ＡＤが長くなる、すなわち、塗布面積を広げることができる。
【００５７】
この後、さらに、同一の所定領域１６Ａ，１６Ｂ内に機能液を塗布する必要がある場合は、先の相対移動とは逆方向に液滴吐出ヘッド５０とワーク１０とを相対移動させながら液滴１２１を吐出させる。具体的には、図８（ｅ）に示すように、所定領域１６Ｂであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側の領域においてプラテンギャップＰＧ２で液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、図９（ｅ）に示すように、主滴１２１ａ’とサテライト１２１ｃ’がそれぞれ着弾する時間差が長くなるため、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’から離れた位置に着弾される。
【００５８】
次いで、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的移動が進み、所定領域１６Ｂであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側の領域では、図８（ｆ）に示すように、プラテンギャップＰＧ１で液滴１２１を吐出する。すなわち、所定領域１６Ｂであって、隣接する所定領域１６Ａに近接した領域では、プラテンギャップＰＧ１で液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、図９（ｆ）に示すように、主滴１２１ａ’とサテライト１２１ｃ’がそれぞれ着弾する時間差が短くなるため、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’上、或いは、主滴１２１ａ’の近傍に着弾される。
【００５９】
次いで、図８（ｇ）に示すように、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的移動が進み、所定領域１６Ａであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側の領域においてプラテンギャップＰＧ２で液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、図９（ｇ）に示すように、主滴１２１ａ’とサテライト１２１ｃ’がそれぞれ着弾する時間差が長くなるため、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’から離れた位置に着弾される。
【００６０】
次いで、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的移動が進み、所定領域１６Ａであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側の領域では、図８（ｈ）に示すように、プラテンギャップＰＧ１で液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、図９（ｈ）に示すように、主滴１２１ａ’とサテライト１２１ｃ’がそれぞれ着弾する時間差が短くなるため、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’上、或いは、主滴１２１ａ’の近傍に着弾される。このように、所定領域１６Ａと所定領域１６Ａに隣接する所定領域１６Ｂとの関係おいて、液滴吐出ヘッド５０の移動方向に対応する所定領域１６Ａ、すなわち、所定領域１６Ａの隣接する所定領域１６Ｂに近接する領域では、着弾距離ＡＤが短くなるため、区画部１１上に乗り上げて付着することがないので、隣接する所定領域１６に塗布された機能液との接触が低減される。一方、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側では、着弾距離ＡＤが長くなる、すなわち、塗布面積を広げることができる。なお、さらに、同一の所定領域１６Ａ，１６Ｂ内に機能液を塗布する必要がある場合は、図８に示す塗布工程を繰り返す。
【００６１】
そして、機能液の塗布が終了した場合には、固化工程Ｓ３に移行する。固化工程Ｓ３では、塗布された機能液を、例えば、乾燥等により固化する。これにより、パターン膜としての色素膜１４が形成される。その後、必要に応じて、区画部１１と色素膜１４の上に保護膜１８を形成する。保護膜１８の形成方法としては、スピンコート法等が用いられ、材料としては、光硬化タイプ、熱硬化タイプあるいは光熱併用タイプの樹脂材料、蒸着、スパッタ等によって形成された無機膜等を用いることができる。以上、上記の製造方法によって、カラーフィルター１（図６参照）が形成される。
【００６２】
（電気光学装置）
次に、本実施形態にかかる電気光学装置について説明する。図１０は、電気光学装置としての液晶ディスプレイの構成を示す断面図である。
【００６３】
図１０において、液晶ディスプレイ１５０は、カラーフィルター１と、カラーフィルター１に対向して配置された素子基材１５１と、シール材１５２によって接着されたカラーフィルター１と素子基材１５１の隙間に充填された液晶１５３等で構成されている。
【００６４】
カラーフィルター１の保護膜１８の上には共通電極１６１が形成され、共通電極１６１の上には配向膜１６２が形成されている。また、ワーク１０の色素膜１４が形成された面の反対面には偏光板１７５が備えられている。
【００６５】
素子基材１５１は、透明性を有する基材１７０と、基材１７０の上に形成されたＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子１７１と、基材１７０とＴＦＴ素子１７１の上に形成された配向膜１７２等で構成されている。また、基材１７０のＴＦＴ素子１７１が形成された面の反対面には偏光板１７６が備えられている。
【００６６】
（電子機器）
次に、本実施形態にかかる電子機器について説明する。図１１は、電子機器としてのテレビ受像機の構成を示す斜視図である。図１１において、テレビ受像機１８０の表示部に液晶ディスプレイ１５０が搭載されている。
【００６７】
従って、上記の第１実施形態によれば、以下に示す効果がある。
【００６８】
所定領域１６内において、相対的にギャップを小さくしたプラテンギャップＰＧ１で液滴１２１を吐出させることにより、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃがそれぞれ着弾する時間差が短くなるため、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’上、或いは、主滴１２１ａ’の近傍に着弾され、着弾距離ＡＤ１を短くすることができる。一方、相対的にギャップを大きくしたプラテンギャップＰＧ２で液滴１２１を吐出させることにより、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃがそれぞれ着弾する時間差が長くなるため、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’から離れた位置に着弾され、着弾距離ＡＤ２を長くすることができる。すなわち、所定領域１６内で、プラテンギャップＰＧ１で吐出することにより液滴１２１の着弾精度を高めることができる。また、プラテンギャップＰＧ２で吐出することにより液滴１２１の着弾領域を広げることができる。従って、例えば、カラーフィルター１の製造において、ワーク１０上に形成された複数の所定領域１６に機能液を塗布する場合に、所定領域１６であって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側ではプラテンギャップＰＧ１で液滴１２１を吐出させ、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側ではプラテンギャップＰＧ２で液滴１２１を吐出させることにより、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側の着弾距離ＡＤ１が、短くなるため、隣接する所定領域１６に塗布された機能液との接触がなくなり、混色を低減することができる。また、他の領域では、塗布面積を広げることができるため、機能液を効率よく塗布することができる。
【００６９】
［第２実施形態］
次に、第２実施形態について説明する。先の第１実施形態では、プラテンギャップＰＧ１，ＰＧ２を制御しながら液滴１２１を吐出させたが、第２実施形態では、所定領域１６内において、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０とが相対的に移動する移動速度を制御しながら、液滴１２１を吐出させる。以下、制御方法について説明する。なお、液滴吐出装置３０の基本的な構成は、第１実施形態と同様なので説明を省略する。但し、本第２実施形態の液滴吐出装置３０では、液滴吐出ヘッド５０をＺ軸方向に移動させるＺ軸ガイド５５及びＺ軸リニアモーター５６を省略してもよい。
【００７０】
図１２は、相対的な移動速度を制御する制御方法を示す説明図である。本実施形態では、図１２（ａ）、（ｃ）に示す２種類の移動速度ＳＰａ，ＳＰｂで制御する場合について説明する。なお、移動速度ＳＰａ，ＳＰｂの違いをベクトルで表示している。ここで、移動速度ＳＰａは、移動速度ＳＰｂよりも遅くなるように設定される。各移動速度ＳＰａ，ＳＰｂの設定は、Ｘ軸リニアモーター６４を駆動制御することにより行われる。そして、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０とが相対的に移動する移動速度ＳＰａ，ＳＰｂを、例えば、移動速度ＳＰａから移動速度ＳＰｂへ、或いは、移動速度ＳＰｂから移動速度ＳＰａへ変化させながらワーク１０に向けて液滴１２１を吐出する。
【００７１】
まず、図１２（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０とが相対的に移動する移動速度ＳＰａで液滴１２１を吐出させた場合には、主滴１２１ａが着弾してからの液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的な移動速度が遅いために、主滴１２１ａ’が着弾してからのワーク１０の移動距離が短くなり、図１２（ｂ）に示すように、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’上、或いは、主滴１２１ａ’の近傍に着弾され、着弾距離ＡＤ１が比較的短くなる。一方、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０とが相対的に移動する移動速度ＳＰｂで液滴１２１を吐出させた場合には、主滴１２１ａが着弾してからの液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的な移動が速いため、主滴１２１ａ’が着弾してからのワーク１０の移動距離が長くなり、図１２（ｄ）に示すように、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’から離れた位置に着弾され、着弾距離ＡＤ２が比較的長くなる。従って、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０とが相対的に移動する移動速度ＳＰａ，ＳＰｂを制御することにより、ワーク１０上に向けて吐出された液滴１２１の着弾距離ＡＤを制御することができる。
【００７２】
次に、パターン膜形成部材の製造方法において上記の液滴吐出装置３０を適用した例について具体的に説明する。なお、パターン膜形成部材の製造方法は、図７に示すフローチャートと同様である。
【００７３】
まず、ワーク載置工程Ｓ１では、例えば、ガラス基材上に区画部１１が形成されたワーク１０を液滴吐出装置３０の載置台６１上に載置する。
【００７４】
次いで、塗布工程Ｓ２では、ワーク１０上の所定領域１６において、主滴１２１ａ’とサテライト１２１ｃ’との着弾距離ＡＤを異ならせて液滴１２１を塗布する。さらに詳細には、所定領域１６に対して、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側の着弾距離ＡＤが、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側の着弾距離ＡＤよりも短くなるように塗布する。本実施形態では、所定領域１６内において、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０とが相対的に移動する移動速度を制御しながら液滴１２１を吐出する。本実施形態では、相対的に速度が遅い移動速度ＳＰａと、相対的に速度が速い移動速度ＳＰｂとを設定しながら液滴１２１を吐出する。以下、具体的に説明する。
【００７５】
まず、図１３（ａ）に示すように、ワーク１０上に形成された区画部１１によって区画された所定領域１６Ａであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側の領域において移動速度ＳＰｂの状態で液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、まず、主滴１２１ａが着弾する。そして、主滴１２１ａが着弾してからサテライト１２１ｃが着弾するまでの間、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的な移動が速いため、図９（ａ）に示すように、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’から離れた位置に着弾される。
【００７６】
次いで、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的移動が進み、所定領域１６Ａであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側の領域では、図１３（ｂ）に示すように、移動速度ＳＰａの状態で液滴１２１を吐出する。すなわち、所定領域１６Ａであって、隣接する所定領域１６Ｂに近接した領域では、比較的速度が遅い移動速度ＳＰａで液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、ワーク１０の移動速度が比較的遅いため、主滴１２１ａ’が着弾してからの移動距離が短くなり、図９（ｂ）に示すように、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’上、或いは、主滴１２１ａ’の近傍に着弾される。
【００７７】
次いで、図１３（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的移動が進み、所定領域１６Ｂであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側の領域において移動速度ＳＰｂで液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、まず、主滴１２１ａが着弾する。そして、主滴１２１ａが着弾してからサテライト１２１ｃが着弾するまでの間、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的な移動が速いため、図９（ｃ）に示すように、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’から離れた位置に着弾される。
【００７８】
次いで、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的移動が進み、所定領域１６Ｂであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側の領域では、図１３（ｄ）に示すように、移動速度ＳＰａで液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、ワーク１０の移動速度が比較的遅いため、主滴１２１ａ’が着弾してからの移動距離が短くなり、図９（ｄ）に示すように、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’上、或いは、主滴１２１ａ’の近傍に着弾される。
【００７９】
この後、さらに、同一の所定領域１６Ａ，１６Ｂ内に機能液を塗布する必要がある場合は、先の相対移動とは逆方向に液滴吐出ヘッド５０とワーク１０とを相対移動させながら液滴１２１を吐出させる。具体的には、図１３（ｅ）に示すように、所定領域１６Ｂであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側の領域において移動速度ＳＰｂで液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、まず、主滴１２１ａが着弾する。そして、主滴１２１ａが着弾してからサテライト１２１ｃが着弾するまでの間、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的な移動が速いため、図９（ｅ）に示すように、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’から離れた位置に着弾される。
【００８０】
次いで、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的移動が進み、所定領域１６Ｂであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側の領域では、図１３（ｆ）に示すように、移動速度ＳＰａで液滴１２１を吐出する。すなわち、所定領域１６Ｂであって、隣接する所定領域１６Ａに近接した領域では、比較的速度が遅い移動速度ＳＰａで液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、ワーク１０の移動速度が比較的遅いため、主滴１２１ａ’が着弾してからの移動距離が短くなり、図９（ｆ）に示すように、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’上、或いは、主滴１２１ａ’の近傍に着弾される。
【００８１】
次いで、図１３（ｇ）に示すように、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的移動が進み、所定領域１６Ａであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側の領域において移動速度ＳＰｂで液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、まず、主滴１２１ａが着弾する。そして、主滴１２１ａが着弾してからサテライト１２１ｃが着弾するまでの間、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的な移動が速いため、図９（ｇ）に示すように、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’から離れた位置に着弾される。
【００８２】
次いで、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的移動が進み、所定領域１６Ａであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側の領域では、図１３（ｈ）に示すように、移動速度ＳＰａで液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、ワーク１０の移動速度が比較的遅いため、主滴１２１ａ’が着弾してからの移動距離が短くなり、図９（ｈ）に示すように、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’上、或いは、主滴１２１ａ’の近傍に着弾される。
【００８３】
上記のように、所定領域１６Ａと所定領域１６Ａに隣接する所定領域１６Ｂとの関係おいて、液滴吐出ヘッド５０の移動方向に対応する所定領域１６Ａ、すなわち、所定領域１６Ａの隣接する所定領域１６Ｂに近接する領域では、着弾距離ＡＤが短くなるため、区画部１１上に乗り上げて付着することがないので、隣接する所定領域１６に塗布された機能液との接触が低減される。一方、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側では、着弾距離ＡＤが長くなる、すなわち、塗布面積を広げることができる。すなわち、所定領域１６Ａ，１６Ｂに効率よく機能液を塗布することができる。なお、さらに、同一の所定領域１６Ａ，１６Ｂ内に機能液を塗布する必要がある場合は、図１３に示す塗布工程を繰り返す。
【００８４】
そして、機能液の塗布が終了した場合には、固化工程Ｓ３に移行する。なお、固化工程Ｓ３の内容は、第１実施形態と同様なので説明を省略する。そして、上記の製造方法によって、カラーフィルター１（図６参照）が形成される。
【００８５】
なお、パターン膜形成部材の構成、電気光学装置の構成、電子機器の構成については、第１実施形態と同様なので説明を省略する。
【００８６】
従って、上記の第２実施形態によれば、以下に示す効果がある。
【００８７】
所定領域１６内において、相対的に速度が遅い移動速度ＳＰａで液滴１２１を吐出させることにより、主滴１２１ａ’が着弾されてからのワーク１０の移動距離が短くなるため、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’上、或いは、主滴１２１ａ’の近傍に着弾され、着弾距離ＡＤ１を短くすることができる。一方、相対的に速度が速い移動速度ＳＰｂで液滴１２１を吐出させることにより、主滴１２１ａ’が着弾されてからのワーク１０の移動距離が長くなるため、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’から離れた位置に着弾され、着弾距離ＡＤ２を長くすることができる。すなわち、所定領域１６内で、移動速度ＳＰａで吐出することにより液滴１２１の着弾精度を高めることができる。また、移動速度ＳＰｂで吐出することにより液滴１２１の着弾領域を広げることができる。従って、例えば、カラーフィルター１の製造において、ワーク１０上に形成さえた複数の所定領域１６に機能液を塗布する場合に、所定領域１６であって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側では移動速度ＳＰａで液滴１２１を吐出させ、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側では移動速度ＳＰｂで液滴１２１を吐出させることにより、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側の着弾距離ＡＤ１が、短くなるため、隣接する所定領域１６に塗布された機能液との接触がなくなり、混色を低減することができる。また、他の領域では、塗布面積を広げることができるため、機能液を効率よく塗布することができる。
【００８８】
［第３実施形態］
次に、第３実施形態について説明する。先の第１実施形態では、プラテンギャップＰＧを制御し、また、第２実施形態では、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０とが相対的に移動する移動速度ＳＰを制御したが、本第３実施形態では、所定領域内において、液滴１２１の吐出速度を制御しながら、液滴を吐出させる。以下、制御方法について説明する。なお、液滴吐出装置３０の基本的な構成は、第１実施形態と同様なので説明を省略する。但し、第３実施形態の液滴吐出装置３０では、液滴吐出ヘッド５０をＺ軸方向に移動させるＺ軸ガイド５５及びＺ軸リニアモーター５６を省略してもよい。
【００８９】
図１４は、吐出速度を制御する制御方法を示す説明図である。本実施形態では、図１４（ａ）、（ｃ）に示す２種類の吐出速度ＶＳａ，ＶＳｂで制御する場合について説明する。なお、吐出速度ＶＳａ，ＶＳｂの違いをベクトルで表示しており、吐出速度ＶＳａは、吐出速度ＶＳｂよりも遅い速度である。各吐出速度ＶＳａ，ＶＳｂの設定は、各ノズル１２０に対応する圧電素子１１３を制御駆動することにより行われる。そして、吐出速度ＶＳａ，ＶＳｂを、例えば、吐出速度ＶＳａから吐出速度ＶＳｂへ、或いは、吐出速度ＶＳｂから吐出速度ＶＳａへ変化させながらワーク１０に向けて液滴１２１を吐出する。
【００９０】
まず、図１４（ａ）に示すように、吐出速度ＶＳａで液滴１２１を吐出させた場合には、吐出過程において、主滴１２１ａの吐出速度に対してサテライト１２１ｃの吐出速度が同等、或いは、それ以上の速度になるため、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃとの距離が短い状態で吐出される。そのため、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃが着弾する時間差が短くなり、図１４（ｂ）に示すように、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’上、或いは、主滴１２１ａ’の近傍に着弾され、着弾距離ＡＤ１が比較的短くなる。一方、図１４（ｃ）に示すように、吐出速度ＶＳｂで液滴１２１を吐出させた場合には、吐出過程において、主滴１２１ａの吐出速度に対してサテライト１２１ｃの吐出速度が遅いため、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃとの距離が長い状態で吐出される。そのため、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃが着弾する時間差が長くなり、図１４（ｄ）に示すように、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’から離れた位置に着弾され、着弾距離ＡＤ２が比較的長くなる。従って、吐出速度ＶＳａ，ＶＳｂを制御することにより、ワーク１０上に向けて吐出された液滴１２１の着弾距離ＡＤを制御することができる。
【００９１】
次に、パターン膜形成部材の製造方法において上記の液滴吐出装置３０を適用した例について具体的に説明する。なお、パターン膜形成部材の製造方法は、図７に示すフローチャートと同様である。
【００９２】
まず、ワーク載置工程Ｓ１では、例えば、ガラス基材上に区画部１１が形成されたワーク１０を液滴吐出装置３０の載置台６１上に載置する。
【００９３】
次いで、塗布工程Ｓ２では、ワーク１０上の所定領域１６において、主滴１２１ａ’とサテライト１２１ｃ’との着弾距離ＡＤを異ならせて液滴１２１を塗布する。さらに詳細には、所定領域１６に対して、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側の着弾距離ＡＤが、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側の着弾距離ＡＤよりも短くなるように塗布する。本実施形態では、所定領域１６内において、液滴吐出ヘッド５０から吐出する吐出速度を制御しながら液滴１２１を吐出する。本実施形態では、相対的に速度が遅い吐出速度ＶＳａと、相対的に速度が速い吐出速度ＶＳｂに制御しながら液滴１２１を吐出する。以下、具体的に説明する。
【００９４】
まず、図１５（ａ）に示すように、ワーク１０上に形成された区画部１１によって区画された所定領域１６Ａであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側の領域において吐出速度ＶＳｂの状態で液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、吐出過程において、主滴１２１ａの吐出速度に対してサテライト１２１ｃの吐出速度が遅いため、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃとの距離が長い状態で吐出される。そのため、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃが着弾する時間差が長くなり、図９（ａ）に示すように、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’から離れた位置に着弾される。
【００９５】
次いで、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的移動が進み、所定領域１６Ａであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側の領域では、図１５（ｂ）に示すように、吐出速度ＶＳａの状態で液滴１２１を吐出する。すなわち、所定領域１６Ａであって、隣接する所定領域１６Ｂに近接した領域では、比較的速度が遅い吐出速度ＶＳａで液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、吐出過程において、主滴１２１ａの吐出速度に対してサテライト１２１ｃの吐出速度が同等、或いは、それ以上の速度になるため、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃとの距離が短い状態で吐出される。そのため、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃが着弾する時間差が短くなり、図９（ｂ）に示すように、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’上、或いは、主滴１２１ａ’の近傍に着弾される。
【００９６】
次いで、図１５（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的移動が進み、所定領域１６Ｂであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側の領域において吐出速度ＶＳｂで液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、吐出過程において、主滴１２１ａの吐出速度に対してサテライト１２１ｃの吐出速度が遅いため、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃとの距離が長い状態で吐出される。そのため、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃが着弾する時間差が長くなり、図９（ｃ）に示すように、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’から離れた位置に着弾される。
【００９７】
次いで、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的移動が進み、所定領域１６Ｂであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側の領域では、図１５（ｄ）に示すように、吐出速度ＶＳａで液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、吐出過程において、主滴１２１ａの吐出速度に対してサテライト１２１ｃの吐出速度が同等、或いは、それ以上の速度になるため、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃとの距離が短い状態で吐出される。そのため、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃが着弾する時間差が短くなり、図９（ｄ）に示すように、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’上、或いは、主滴１２１ａ’の近傍に着弾される。
【００９８】
この後、さらに、同一の所定領域１６Ａ，１６Ｂ内に機能液を塗布する必要がある場合は、先の相対移動とは逆方向に液滴吐出ヘッド５０とワーク１０とを相対移動させながら液滴１２１を吐出させる。具体的には、図１５（ｅ）に示すように、ワーク１０上に形成された区画部１１によって区画された所定領域１６Ｂであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側の領域において吐出速度ＶＳｂの状態で液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、吐出過程において、主滴１２１ａの吐出速度に対してサテライト１２１ｃの吐出速度が遅いため、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃとの距離が長い状態で吐出される。そのため、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃが着弾する時間差が長くなり、図９（ｅ）に示すように、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’から離れた位置に着弾される。
【００９９】
次いで、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的移動が進み、所定領域１６Ｂであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側の領域では、図１５（ｆ）に示すように、吐出速度ＶＳａの状態で液滴１２１を吐出する。すなわち、所定領域１６Ｂであって、隣接する所定領域１６Ａに近接した領域では、比較的速度が遅い吐出速度ＶＳａで液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、吐出過程において、主滴１２１ａの吐出速度に対してサテライト１２１ｃの吐出速度が同等、或いは、それ以上の速度になるため、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃとの距離が短い状態で吐出される。そのため、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃが着弾する時間差が短くなり、図９（ｆ）に示すように、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’上、或いは、主滴１２１ａ’の近傍に着弾される。
【０１００】
次いで、図１５（ｇ）に示すように、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的移動が進み、所定領域１６Ａであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側の領域において吐出速度ＶＳｂで液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、吐出過程において、主滴１２１ａの吐出速度に対してサテライト１２１ｃの吐出速度が遅いため、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃとの距離が長い状態で吐出される。そのため、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃが着弾する時間差が長くなり、図９（ｇ）に示すように、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’から離れた位置に着弾される。
【０１０１】
次いで、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的移動が進み、所定領域１６Ａであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側の領域では、図１５（ｈ）に示すように、吐出速度ＶＳａで液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、吐出過程において、主滴１２１ａの吐出速度に対してサテライト１２１ｃの吐出速度が同等、或いは、それ以上の速度になるため、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃとの距離が短い状態で吐出される。そのため、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃが着弾する時間差が短くなり、図９（ｈ）に示すように、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’上、或いは、主滴１２１ａ’の近傍に着弾される。
【０１０２】
上記のように、所定領域１６Ａと所定領域１６Ａに隣接する所定領域１６Ｂとの関係おいて、液滴吐出ヘッド５０の移動方向に対応する所定領域１６Ａ、すなわち、所定領域１６Ａの隣接する所定領域１６Ｂに近接する領域では、着弾距離ＡＤが短くなるため、区画部１１上に乗り上げて付着することがないので、隣接する所定領域１６に塗布された機能液との接触が低減される。一方、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側では、着弾距離ＡＤが長くなる、すなわち、塗布面積を広げることができる。すなわち、所定領域１６Ａ，１６Ｂに効率よく機能液を塗布することができる。なお、さらに、同一の所定領域１６Ａ，１６Ｂ内に機能液を塗布する必要がある場合は、図１５に示す塗布工程を繰り返す。
【０１０３】
そして、機能液の塗布が終了した場合には、固化工程Ｓ３に移行する。なお、固化工程Ｓ３の内容は、第１実施形態と同様なので説明を省略する。そして、上記の製造方法によって、カラーフィルター１（図１参照）が形成される。
【０１０４】
なお、パターン膜形成部材の構成、電気光学装置の構成、電子機器の構成については、第１実施形態と同様なので説明を省略する。
【０１０５】
従って、上記の第３実施形態によれば、以下に示す効果がある。
【０１０６】
所定領域１６内において、相対的に速度が遅い吐出速度ＶＳａで液滴１２１を吐出させることにより、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃとの距離が短い状態で吐出されるため、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’上、或いは、主滴１２１ａ’の近傍に着弾され、着弾距離ＡＤ１を短くすることができる。一方、相対的に速度が速い吐出速度ＶＳｂで液滴１２１を吐出させることにより、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃとの距離が長い状態で吐出されるため、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’から離れた位置に着弾され、着弾距離ＡＤ２を長くすることができる。すなわち、所定領域１６内で、吐出速度ＶＳａで吐出することにより液滴１２１の着弾精度を高めることができる。また、吐出速度ＶＳｂで吐出することにより液滴１２１の着弾領域を広げることができる。従って、例えば、カラーフィルター１の製造において、ワーク１０上に形成された複数の所定領域１６に機能液を塗布する場合に、所定領域１６であって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側では吐出速度ＶＳａで液滴１２１を吐出させ、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側では吐出速度ＶＳｂで液滴１２１を吐出させることにより、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側の着弾距離ＡＤ１が、短くなるため、隣接する所定領域１６に塗布された機能液との接触がなくなり、混色を低減することができる。また、他の領域では、塗布面積を広げることができるため、機能液を効率よく塗布することができる。
【０１０７】
なお、上記の実施形態に限定されるものではなく、以下のような変形例が挙げられる。
【０１０８】
（変形例１）第１実施形態では、２種類のプラテンギャップＰＧ１，ＰＧ２で制御したが、これに限定されない。３種類以上のプラテンギャップＰＧで制御してもよい。また、第２及び第３実施形態についても同様にして、３種類以上の移動速度ＳＰ、吐出速度ＶＳで制御してもよい。このようにしても、所定領域１６内において、着弾距離ＡＤが制御されるため、上記同様の効果を得ることができる。
【０１０９】
（変形例２）第１実施形態では、プラテンギャップＰＧ１とプラテンギャップＰＧ２を交互に変更したが、これに限定されない。例えば、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０とを相対的に移動させながら徐々にプラテンギャップＰＧ１をプラテンギャップＰＧ２に変更するように制御してもよい。プラテンギャップＰＧ２をプラテンギャップＰＧ１に変更する場合も同様である。このようにしても、上記同様の効果を得ることができる。また、第２及び第３実施形態についても同様にして、移動速度ＳＰａと移動速度ＳＰｂとの変更を徐々に行ってもよいし、吐出速度ＶＳａと吐出速度ＶＳｂとの変更を徐々に行ってもよい。このようにしても上記同様の効果を得ることができる。
【０１１０】
（変形例３）上記実施形態では、所定領域１６に対して、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側の着弾距離ＡＤ１が、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側の着弾距離ＡＤ２よりも短くなるように制御したが、これに限定されず、所定領域１６の端部における着弾距離が、所定領域の中央部おける着弾距離よりも短くなるように制御してもよい。このようにすれば、所定領域が隣接する位置においては、いずれも着弾距離が短くなるため、隣接する所定領域に塗布された機能液との接触を防止することができる。
【０１１１】
（変形例４）上記実施形態では、吐出された液滴１２１の主滴１２１ａとサテライト１２１ｃの着弾距離ＡＤの制御を行ったが、これに限定されず、例えば、サテライト１２１ｃが吐出されない場合には、吐出された液滴１２１の主滴１２１ａと主滴１２１ａに追従する尾引き部１２１ｂの着弾距離を制御してもよい。このようにしても、上記同様の効果を得ることができる。
【０１１２】
（変形例５）第１実施形態では、プラテンギャップＰＧの制御を行い、第２実施形態では、移動速度ＳＰの制御を行い、第３実施形態では、吐出速度ＶＰの制御を行ったが、例えば、これらの制御を適宜組み合わせてもよい。このようにしても、上記同様の効果を得ることができる。
【０１１３】
（変形例６）上記実施形態では、パターン膜形成部材としてカラーフィルター１を例として説明したが、これに限定されることなく、例えば、ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）発光部材、シリカガラス前駆体、金属化合物等の導電部材、誘電体部材等についても適用することができる。
【符号の説明】
【０１１４】
１…パターン膜形成部材としてのカラーフィルター、１０…ワーク、１１…区画部、１６，１６Ａ，１６Ｂ…所定領域、３０…液滴吐出装置、３２…ヘッド機構部、３３…ワーク機構部、３４…材料供給部、３５…メンテナンス機構部、３６…制御部、５０…液滴吐出ヘッド、５１…ヘッドキャリッジ、５５…Ｚ軸ガイド、５６…Ｚ軸リニアモーター、６１…載置台、１１３…圧電素子、１１５…ノズルプレート、１２０…ノズル、１２１…液滴、１２１ａ…主滴、１２１ｂ…尾引き部、１２１ｃ…サテライト、１５０…電気光学装置としての液晶ディスプレイ、１８０…電子機器としてのテレビ受像機。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置、パターン膜形成部材の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、パターン膜形成部材としてのカラーフィルターの製造方法では、基材上に形成された区画部によって区画された所定領域に向けて、パターン膜の材料を含む機能液を液滴として吐出して、機能液を所定領域に付着させる方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１０−１４２４１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のカラーフィルターの製造方法では、液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと基材とを相対的に移動させながら、液滴を吐出して、当該液滴を基材面に着弾させ、機能液を基材上に付着させている。ところで、液滴吐出ヘッドのノズルから機能液を液滴として吐出した際、液滴の主滴に追随して尾引き部やサテライト等が発生することがある。この場合、液滴吐出ヘッドと基材とが相対的に移動しているため、尾引き部やサテライトは、主滴が基材に着弾するタイミングよりも遅れて着弾する。その結果、尾引き部やサテライトは、主滴が着弾された位置からずれた位置に付着することになる。すなわち、所望した位置からずれた位置に付着してしまうことになる。そうすると、例えば、尾引き部やサテライトが区画部に乗り上がって付着してしまった場合には、隣接する所定領域内に塗布された機能液同士が接触して混色が発生してしまう、という課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例にかかる液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドとワークとを相対的に移動させながら、前記ワークに向けて機能液を液滴として吐出させる制御部を備え、前記制御部では、前記ワーク上の所定領域に着弾させる前記液滴の主滴とサテライトとの着弾距離を制御しながら、前記液滴を吐出させることを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、液滴吐出ヘッドから液滴を吐出させた際、液滴の主部となる主滴と、当該主滴に追従するサテライトとが吐出されるが、ワークの所定領域内に、主滴とサテライトとが着弾した距離（着弾距離）が制御される。すなわち、ワークの所定領域において着弾距離を短くしたり、長くしたりすることが可能となる。このため、例えば、着弾距離を短く（着弾された主滴とサテライトとの距離を短く）した場合には、主滴とサテライトとが一体になって着弾、もしくは、主滴の近傍にサテライトが着弾することとなり、液滴の着弾位置精度を向上させることができる。一方、着弾距離を長く（着弾された主滴とサテライトとの距離を長く）した場合には、主滴とサテライトとが離れて着弾することとなり、機能液の塗布面積を広げることができる。従って、例えば、カラーフィルターの製造にあっては、所定領域（画素領域）に対して着弾距離を制御することにより、混色等の発生を低減させるとともに生産性を向上させることができる。
【０００８】
［適用例２］上記適用例にかかる液滴吐出装置の前記制御部は、前記所定領域に対して、前記液滴吐出ヘッドの移動方向側の前記着弾距離が、前記液滴吐出ヘッドの移動方向の反対側の前記着弾距離よりも短くなるように制御することを特徴とする。
【０００９】
この構成によれば、液滴吐出ヘッドの移動方向の反対側に比べ、液滴吐出ヘッドの移動方向側では、主滴とサテライトとがほぼ同一の位置に着弾される。すなわち、所定領域であって、液滴吐出ヘッドの移動方向側では液滴の着弾精度が高くなる。このため、例えば、カラーフィルターの製造にあっては、隣接する所定領域間における機能液の接触が低減し、混色等を低減させることができる。
【００１０】
［適用例３］上記適用例にかかる液滴吐出装置の前記制御部では、前記所定領域内において、前記液滴が吐出される前記液滴吐出ヘッドのノズルプレートの面から吐出された前記液滴が着弾する前記ワークの着弾面までの距離を制御しながら、前記液滴を吐出させることを特徴とする。
【００１１】
この構成によれば、所定領域内においてノズル面からワークの着弾面までの距離、すなわち、プラテンギャップが制御されながら液滴が吐出される。この場合、例えば、プラテンギャップを小さくする方向に制御することにより、主滴とサテライトがそれぞれ着弾する時間差が短くなるため、着弾距離を短くすることができる。一方、プラテンギャップを大きくする方向に制御することにより、主滴とサテライトがそれぞれ着弾する時間差が長くなるため、着弾距離を長くすることができる。
【００１２】
［適用例４］上記適用例にかかる液滴吐出装置の前記制御部では、前記所定領域内において、前記液滴吐出ヘッドと前記ワークとが相対的に移動する移動速度を制御しながら、前記液滴を吐出させることを特徴とする。
【００１３】
この構成によれば、移動速度を遅い方向に制御する場合には、主滴が着弾してから液滴吐出ヘッドとワークの相対的な移動距離が短いため、着弾距離を短くすることができる。一方、移動速度を速い方向に制御する場合には、主滴が着弾してから液滴吐出ヘッドとワークの相対的な移動距離が長いため、着弾距離を長くすることができる。
【００１４】
［適用例５］上記適用例にかかる液滴吐出装置の前記制御部では、前記所定領域内において、前記液滴の吐出速度を制御しながら、前記液滴を吐出させることを特徴とする。
【００１５】
この構成によれば、吐出速度を遅い方向に制御する場合には、主滴とサテライトとの距離が比較的に短い状態で吐出されるため、主滴とサテライトとの着弾の時間差が短くなり、着弾距離を短くすることができる。一方、吐出速度を速い方向に制御する場合には、主滴とサテライトとの距離が比較的に長い状態で吐出されるため、主滴とサテライトとの着弾の時間差が長くなり、着弾距離を長くすることができる。
【００１６】
［適用例６］本適用例にかかるパターン膜形成部材の製造方法は、液滴吐出ヘッドとワークとを相対的に移動させながら、前記ワークに向けて機能液を液滴として吐出して、前記ワーク上にパターン膜を形成するパターン膜形成部材の製造方法であって、前記ワーク上の所定領域において、主滴とサテライトとの着弾距離を異ならせながら、前記液滴を吐出して、前記ワーク上に前記機能液を塗布する塗布工程を含むことを特徴とする。
【００１７】
この構成によれば、液滴吐出ヘッドから液滴を吐出させた際、液滴の主部となる主滴と、当該主滴に追従するサテライトとが吐出されるが、ワークの所定領域内に、主滴とサテライトとが着弾した距離（着弾距離）が制御される。すなわち、ワークの所定領域において着弾距離を短くしたり、長くしたりすることが可能となる。このため、例えば、着弾距離を短く（着弾された主滴とサテライトとの距離を短く）した場合には、主滴とサテライトとが一体になって着弾、もしくは、主滴の近傍にサテライトが着弾することとなり、液滴の着弾位置精度を向上させることができる。一方、着弾距離を長く（着弾された主滴とサテライトとの距離を長く）した場合には、主滴とサテライトとが離れて着弾することとなり、機能液の塗布面積を広げることができる。従って、例えば、カラーフィルターの製造にあっては、所定領域（画素領域）に対して着弾距離を制御することにより、混色等の発生を低減させるとともに生産性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】第１実施形態にかかる液滴吐出装置の構成を示す斜視図。
【図２】液滴吐出ヘッドの構成を示す断面図。
【図３】第１実施形態にかかる液滴吐出装置の制御部の構成を示すブロック図。
【図４】液滴の吐出状態及び着弾状態を示す説明図。
【図５】第１実施形態にかかる液滴吐出装置の動作を示す説明図。
【図６】カラーフィルターの構成を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図。
【図７】カラーフィルターの製造方法を示すフローチャート。
【図８】第１実施形態にかかるカラーフィルターの製造方法を示す工程図。
【図９】カラーフィルターの製造方法を示す工程図。
【図１０】電気光学装置としての液晶ディスプレイの構成を示す断面図。
【図１１】電子機器としてのテレビ受像機の構成を示す斜視図。
【図１２】第２実施形態にかかる液滴吐出装置の動作を示す説明図。
【図１３】第２実施形態にかかるカラーフィルターの製造方法を示す工程図。
【図１４】第３実施形態にかかる液滴吐出装置の動作を示す説明図。
【図１５】第３実施形態にかかるカラーフィルターの製造方法を示す工程図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明を具体化した第１〜第３実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材ごとに縮尺を異ならせて図示している。
【００２０】
［第１実施形態］
（液滴吐出装置の構成）
まず、液滴吐出装置の構成について説明する。図１は、第１実施形態にかかる液滴吐出装置の構成を示す斜視図である。
【００２１】
図１において、液滴吐出装置３０は、機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド５０を有するヘッド機構部３２と、液滴吐出ヘッド５０から吐出された液滴の吐出対象であるワーク１０を載置するワーク機構部３３と、液滴吐出ヘッド５０に機能液を供給する材料供給部３４と、液滴吐出ヘッド５０の保守を行うメンテナンス機構部３５と、これら各機構部および供給部を統括的に制御する制御部３６等を備えている。
【００２２】
本実施形態の液滴吐出装置３０は、床上に設置された複数の支持脚４１と、支持脚４１の上側に設置された定盤４２を備えている。定盤４２の上側には、ワーク機構部３３が定盤４２の長手方向（Ｘ軸方向）に延在するように配置されている。ワーク機構部３３の上方には、定盤４２に固定された２本の支持柱５２で支持されているヘッド機構部３２が、ワーク機構部３３と直交する方向（Ｙ軸方向）に延在して配置されている。また、定盤４２の一方の端部には、ヘッド機構部３２の液滴吐出ヘッド５０から連通して機能液を供給する材料供給部３４が配置されている。そして、ヘッド機構部３２の一方の支持柱５２近傍には、メンテナンス機構部３５がワーク機構部３３と並んでＸ軸方向に延在するように配置されている。さらに、定盤４２の下側には、制御部３６が備えられている。
【００２３】
ヘッド機構部３２は、機能液を吐出する液滴吐出ヘッド５０と、液滴吐出ヘッド５０を懸架したヘッドキャリッジ５１と、ヘッドキャリッジ５１のＹ軸方向への移動をガイドするＹ軸ガイド５３と、Ｙ軸ガイド５３の側方にＹ軸ガイド５３と平行に設置されたＹ軸リニアモーター５４と、液滴吐出ヘッド５０のＺ軸方向への移動をガイドするＺ軸ガイド５５（図示せず）と、Ｚ軸ガイド５５の側方にＺ軸ガイド５５と平行に設置されたＺ軸リニアモーター５６（図示せず）等を備えている。
【００２４】
ワーク機構部３３は、ヘッド機構部３２の下方に位置し、ヘッド機構部３２とほぼ同様の構成でＸ軸方向に延在するように配置されており、ワーク１０を載置する載置台６１と、載置台６１の移動をガイドするＸ軸ガイド６３と、Ｘ軸ガイド６３の側方にＸ軸ガイド６３と平行に設置されたＸ軸リニアモーター６４等を備えている。
【００２５】
これらの構成により、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０とは、それぞれＹ軸方向およびＸ軸方向に往復自在に移動することができる。最初に、液滴吐出ヘッド５０の移動について説明する。液滴吐出ヘッド５０を懸架したヘッドキャリッジ５１は、Ｙ軸ガイド５３に移動可能に取り付けられている。図示しないが、ヘッドキャリッジ５１からＹ軸リニアモーター５４側へ張り出している突起部が、Ｙ軸リニアモーター５４と係合して駆動力を得ることにより、ヘッドキャリッジ５１がＹ軸ガイド５３に沿って任意の位置に移動する。また、液滴吐出ヘッド５０は、図示しないＺ軸ガイド５５に移動可能に取り付けられている。そして、液滴吐出ヘッド５０からＺ軸リニアモーター５６側へ張り出している突起部が、Ｚ軸リニアモーター５６と係合して駆動力を得ることにより、液滴吐出ヘッド５０がＺ軸ガイド５５に沿って任意の位置に移動する。同様に、載置台６１に搭載されたワーク１０もＸ軸方向に自在に移動する。
【００２６】
このように、液滴吐出ヘッド５０は、Ｙ軸方向の吐出位置まで移動して停止し、下方にあるワーク１０のＸ軸方向の移動に同調して、液滴を吐出する構成となっている。Ｘ軸方向に移動するワーク１０と、Ｙ軸方向に移動する液滴吐出ヘッド５０とを相対的に制御することにより、ワーク１０上に機能液を吐出することができる。さらに、液滴吐出ヘッド５０は、ワーク１０のＸ軸方向の移動に同調して、Ｚ軸方向に移動しながらワーク１０上に機能液を吐出することができる。
【００２７】
液滴吐出ヘッド５０に機能液を供給する材料供給部３４は、タンク７５と、ポンプ７４と、タンク７５からポンプ７４を経て液滴吐出ヘッド５０までを接続する流路チューブ７９とを備えている。
【００２８】
図２は、液滴吐出ヘッドの構成を示す断面図である。図２に示すように、液滴吐出ヘッド５０は、ノズルプレート１１５を備え、ノズルプレート１１５には、ノズル１２０が形成されている。ノズルプレート１１５の上側であってノズル１２０と相対する位置には、ノズル１２０に連通するキャビティ１１１が形成されている。そして、キャビティ１１１には、材料供給部３４から機能液が供給される。
【００２９】
キャビティ１１１の上側には、上下方向（Ｚ方向：縦振動）に振動して、キャビティ１１１内の容積を拡大縮小する振動板１１４と、上下方向に伸縮して振動板１１４を振動させる加圧手段としての圧電素子１１３が配設されている。そして、液滴吐出ヘッド５０が圧電素子１１３を制御駆動するための駆動信号を受けると、圧電素子１１３が伸張して、振動板１１４がキャビティ１１１内の容積を縮小する。その結果、ノズル１２０から縮小した容積分の機能液が液滴１２１として吐出される。なお、本実施形態では、加圧手段として、縦振動型の圧電素子１１３を用いたが、特に、これに限定されず、例えば、下電極と圧電体層と上電極とを積層形成した撓み変形型の圧電素子を用いてもよい。また、圧力発生手段として、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズルから液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用してもよい。さらには、発熱体を用いてノズル内に泡を発生させ、その泡によって機能液を液滴として吐出させる構成を有する吐出ヘッドであってもよい。
【００３０】
図１に戻り、次に、メンテナンス機構部３５について説明する。メンテナンス機構部３５は、キャッピングユニット８６、ワイピングユニット８７、およびフラッシングユニット８８のメンテナンスユニットを備えている。さらに、メンテナンスユニットを載置するメンテキャリッジ８１と、メンテキャリッジ８１の移動をガイドするメンテキャリッジガイド８２と、メンテキャリッジ８１と一体の螺合部８５と、螺合部８５が螺合するボールねじ８４と、ボールねじ８４を回転させるメンテモーター８３とを備えている。これにより、メンテモーター８３が正逆回転すると、ボールねじ８４が回転し、螺合部８５を介してメンテキャリッジ８１が、Ｘ軸方向に移動する。メンテキャリッジ８１が液滴吐出ヘッド５０のメンテナンスのために移動するときには、Ｙ軸ガイド５３に沿って液滴吐出ヘッド５０が移動して、メンテナンスユニットの直上部に臨んでいる。
【００３１】
メンテナンスユニットのキャッピングユニット８６は、液滴吐出装置３０が稼動していない時に、液滴吐出ヘッド５０に密着してキャッピングし、機能液が乾燥してノズル１２０が詰まるなどの不具合が生じないようにする。ワイピングユニット８７は、機能液の連続吐出後やキャッピング時にノズル１２０に付着した機能液などを、洗浄液を含むワイピング布で拭い、全ノズルの清浄な状態を維持する。フラッシングユニット８８は、液滴吐出装置３０の稼動開始時やワーク１０への加工前に、ノズル１２０から吐出される機能液を受け、ノズル１２０の吐出状態を常に良好な状態にする。
【００３２】
これらのメンテナンスユニットにより、液滴吐出装置３０の非稼動時やワーク１０を交換載置している加工待ち時などに、液滴吐出ヘッド５０の状態を保全して良好な吐出状態を保つことができる。
【００３３】
次に、以上述べた構成を制御する制御部３６の構成について説明する。図３は、制御部３６の構成を示すブロック図である。制御部３６は、指令部１３０と駆動部１４０とを備え、指令部１３０は、ＣＰＵ１３２、記憶手段としてのＲＯＭ１３３、ＲＡＭ１３４および入出力インターフェース１３１からなり、ＣＰＵ１３２が入出力インターフェース１３１を介して入力される各種信号を、ＲＯＭ１３３、ＲＡＭ１３４のデータに基づき処理し、入出力インターフェース１３１を介して駆動部１４０へ制御信号を出力する。
【００３４】
駆動部１４０は、ヘッドドライバー１４１、モータードライバー１４２、ポンプドライバー１４３、メンテドライバー１４５を備えている。モータードライバー１４２は、指令部１３０の制御信号により、Ｘ軸リニアモーター６４、Ｙ軸リニアモーター５４、Ｚ軸リニアモーター５６を制御し、ワーク１０、液滴吐出ヘッド５０の移動を制御する。さらに、メンテモーター８３を制御してメンテナンス機構部３５の必要なユニットをメンテナンス位置へ移動させる。ヘッドドライバー１４１は、液滴吐出ヘッド５０からの機能液の吐出を制御し、モータードライバー１４２の制御と同調して、ワーク１０上の所定位置に吐出などが行えるようにする。また、ポンプドライバー１４３は、機能液の吐出状態に対応してポンプ７４を制御し、液滴吐出ヘッド５０への供給を最適に制御する。そして、メンテドライバー１４５は、メンテナンス機構部３５のキャッピングユニット８６、ワイピングユニット８７およびフラッシングユニット８８を制御する。
【００３５】
次に、液滴吐出ヘッド５０から液滴１２１が吐出され、吐出された液滴１２１がワークに塗布される状態等について説明する。図４は、液滴の吐出状態及び着弾状態を示す説明図である。
【００３６】
まず、液滴の吐出状態について説明する。図４（ａ）は、液滴吐出ヘッド５０のノズル１２０から吐出された液滴１２１の状態を示している。図４（ａ）に示すように、液滴１２１は、主滴１２１ａと当該主滴１２１ａに追従するサテライト１２１ｃ等で形成される。さらに詳細には、主滴１２１ａと、主滴１２１ａに追随する尾引き部１２１ｂと、当該尾引き部１２１ｂに追随してサテライト１２１ｃが形成される。
【００３７】
次に、液滴の着弾状態について説明する。図４（ｂ）〜（ｆ）は、吐出された液滴１２１がワーク１０の面に着弾する状態を示したものである。なお、図４（ｂ）〜（ｆ）では、液滴吐出ヘッド５０を固定して、ワーク１０をＸ軸方向に一定速度で移動させた場合を例にして説明する。また、図４（ｂ）〜（ｆ）において、ワーク１０に着弾した主滴１２１ａ、尾引き部１２１ｂ、サテライト１２１ｃに対応して主滴１２１ａ’、尾引き部１２１ｂ’、サテライト１２１ｃ’と表している。
【００３８】
まず、図４（ｂ）では、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０とを相対的に移動させながら、ワーク１０に向けて液滴１２１が吐出された状態を示している。吐出された液滴１２１は、ワーク１０に向けて、主滴１２１ａ、尾引き部１２１ｂ、サテライト１２１ｃの順で移動する。
【００３９】
図４（ｃ）では、ワーク１０の表面に液滴１２１が着弾した状態を示している。図４（ｃ）に示すように、まず、主滴１２１ａがワーク１０の面に着弾する。このとき、尾引き部１２１ｂやサテライト１２１ｃは、主滴１２１ａに比べて遅れて進んでいるため、ワーク１０の面に着弾していない。
【００４０】
次に、図４（ｄ）に示すように、主滴１２１ａに続いて尾引き部１２１ｂがワーク１０の面に着弾する。主滴１２１ａがワーク１０に着弾して尾引き部１２１ｂがワーク１０に着弾するまでの間、ワーク１０がＸ軸方向に移動しているため、尾引き部１２１ｂは、主滴１２１ａの着弾位置に対して、Ｘ軸の負方向側にずれて着弾される。換言すれば、ワーク１０の移動方向に対して上流側にずれて着弾される。
【００４１】
次に、図４（ｅ）に示すように、尾引き部１２１ｂに続いてサテライト１２１ｃがワーク１０の面に着弾する。尾引き部１２１ｂがワーク１０に着弾してサテライト１２１ｃがワーク１０に着弾するまでの間、ワーク１０がＸ軸方向に移動しているため、サテライト１２１ｃは、尾引き部１２１ｂの着弾位置に対して、Ｘ軸の負方向側にずれて着弾される。換言すれば、ワーク１０の移動方向に対して上流側にずれて着弾される。また、図５（ｆ）は、図５（ｅ）の液滴１２１の着弾状態を平面視したものである。図５（ｆ）に示すように、尾引き部１２１ｂやサテライト１２１ｃは、主滴１２１ａの着弾位置からずれた位置に着弾する。なお、本実施形態では、着弾した主滴１２１ａ’のほぼ中心からサテライト１２１ｃ’の端部までの距離を着弾距離ＡＤと定める。
【００４２】
以上、図４に示したように、液滴吐出ヘッド５０から吐出された液滴１２１は、ワーク１０に着弾する際、主滴１２１ａの着弾位置に対してサテライト１２１ｃの着弾位置がずれてしまう傾向にある。従って、例えば、液滴吐出ヘッド５０をカラーフィルター等の製造に適用して吐出した場合では、液滴１２１の着弾位置がずれて隣接するパターン膜形成領域に塗布された機能液と接触し、混色を起こしてしまうおそれがある。そこで、本実施形態では、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０とを相対的に移動させながら、ワーク１０上の所定領域に着弾させる液滴１２１の主滴１２１ａ’とサテライト１２１ｃ’との着弾距離ＡＤを制御して液滴１２１を吐出させる。具体的には、液滴１２１が吐出される液滴吐出ヘッド５０のノズルプレート１１５の面から吐出された液滴１２１が着弾するワーク１０の面までの距離を制御しながら液滴１２１を吐出させる。すなわち、プラテンギャップＰＧを制御しながら液滴１２１を吐出させる。以下、制御方法について説明する。
【００４３】
図５は、プラテンギャップＰＧを制御する制御方法を示す説明図である。本実施形態では、図５（ａ）、（ｃ）に示す２種類のプラテンギャップＰＧ１，ＰＧ２で制御する場合について説明する。プラテンギャップＰＧ１は、プラテンギャップＰＧ２よりも小さく設定される。各プラテンギャップＰＧ１，ＰＧ２の設定は、Ｚ軸リニアモーター５６を駆動させることにより行われる。そして、液滴吐出ヘッド５０をＺ軸方向に移動させながら、すなわち、プラテンギャップＰＧ１からプラテンギャップＰＧ２へ、或いは、プラテンギャップＰＧ２からプラテンギャップＰＧ１へ変化させながらワーク１０に向けて液滴１２１を吐出する。
【００４４】
まず、図５（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０とを相対的に移動させながら、プラテンギャップＰＧ１で液滴１２１を吐出させた場合には、図５（ｂ）に示すように、主滴１２１ａ’とサテライト１２１ｃ’がそれぞれ着弾する時間差が短くなるため、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’上、或いは、主滴１２１ａ’の近傍に着弾され、着弾距離ＡＤ１が比較的短くなる。一方、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０とを相対的に移動させながら、プラテンギャップＰＧ２で液滴１２１を吐出させた場合には、図５（ｄ）に示すように、主滴１２１ａ’とサテライト１２１ｃ’がそれぞれ着弾する時間差が長くなるため、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’から離れた位置に着弾され、着弾距離ＡＤ２が比較的長くなる。従って、プラテンギャップＰＧ１，ＰＧ２を制御することにより、ワーク１０上に向けて吐出された液滴１２１の着弾距離ＡＤを制御することができる。
【００４５】
次に、パターン膜形成部材の製造方法において上記の液滴吐出装置３０を適用した例について具体的に説明する。
【００４６】
（パターン膜形成部材の構成）
まず、パターン膜形成部材の構成について説明する。なお、本実施形態では、パターン膜形成部材としてのカラーフィルターの構成について説明する。図６は、カラーフィルターの構成を示し、図６（ａ）は、平面図であり、同図（ｂ）は、同図（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【００４７】
図６（ａ），（ｂ）において、カラーフィルター１は、ワーク１０と、ワーク１０の上に形成された区画部１１と、区画部１１によって区画された所定領域（色素膜形成領域）１６と、所定領域１６に形成されたパターン膜としての色素膜１４と、区画部１１と色素膜１４の上に形成された保護膜１８等で構成されている。
【００４８】
ワーク１０は、透明性を有し、一般にガラス基材が用いられるが、他にプラスチック等も使用可能であり、カラーフィルター機能として透過率、強度等の必要特性を有するものであれば特に限定されるものではない。区画部１１は、遮光性を有し、金属、樹脂等を用いることができる。
【００４９】
（パターン膜形成部材の製造方法）
次に、パターン形成部材の製造方法について説明する。パターン膜形成部材の製造方法は、液滴吐出ヘッドとワークとを相対的に移動させながら、ワークに向けて機能液を液滴として吐出して、ワーク上にパターン膜を形成するパターン膜形成部材の製造方法であって、ワーク上の所定領域において、主滴とサテライトとの着弾距離を異ならせながら、液滴を吐出して、ワーク上に機能液を塗布する塗布工程を含むものである。なお、本実施形態では、パターン膜形成部材としてのカラーフィルターの製造方法について説明する。図７は、カラーフィルターの製造方法を示すフローチャートである。
【００５０】
まず、ワーク載置工程Ｓ１では、例えば、ガラス基材上に区画部１１が形成されたワーク１０を液滴吐出装置３０の載置台６１上に載置する。
【００５１】
次いで、塗布工程Ｓ２では、ワーク１０上の所定領域１６において、主滴１２１ａ’とサテライト１２１ｃ’との着弾距離ＡＤを異ならせて液滴１２１を塗布する。さらに詳細には、所定領域１６に対して、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側の着弾距離ＡＤが、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側の着弾距離ＡＤよりも短くなるように塗布する。本実施形態では、所定領域１６内において、液滴１２１が吐出される液滴吐出ヘッド５０のノズルプレート１１５面から吐出された液滴１２１が着弾するワーク１０の着弾面までの距離、すなわち、プラテンギャップＰＧを制御しながら液滴１２１を吐出する。本実施形態では、相対的にギャップが短いプラテンギャップＰＧ１と、相対的にギャップが長いプラテンギャップＰＧ２とを設定しながら液滴１２１を吐出する。以下、具体的に説明する。
【００５２】
まず、図８（ａ）に示すように、ワーク１０上に形成された区画部１１によって区画された所定領域１６Ａであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側の領域においてプラテンギャップＰＧ２で液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、図９（ａ）に示すように、主滴１２１ａ’とサテライト１２１ｃ’がそれぞれ着弾する時間差が長くなるため、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’から離れた位置に着弾される。
【００５３】
次いで、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的移動が進み、所定領域１６Ａであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側の領域では、図８（ｂ）に示すように、プラテンギャップＰＧ１で液滴１２１を吐出する。すなわち、所定領域１６Ａであって、隣接する所定領域１６Ｂに近接した領域では、比較的ギャップが短いプラテンギャップＰＧ１で液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、図９（ｂ）に示すように、主滴１２１ａ’とサテライト１２１ｃ’がそれぞれ着弾する時間差が短くなるため、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’上、或いは、主滴１２１ａ’の近傍に着弾される。
【００５４】
次いで、図８（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的移動が進み、所定領域１６Ｂであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側の領域においてプラテンギャップＰＧ２で液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、図９（ｃ）に示すように、主滴１２１ａ’とサテライト１２１ｃ’がそれぞれ着弾する時間差が長くなるため、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’から離れた位置に着弾される。
【００５５】
次いで、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的移動が進み、所定領域１６Ｂであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側の領域では、図８（ｄ）に示すように、プラテンギャップＰＧ１で液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、図９（ｄ）に示すように、主滴１２１ａ’とサテライト１２１ｃ’がそれぞれ着弾する時間差が短くなるため、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’上、或いは、主滴１２１ａ’の近傍に着弾される。
【００５６】
このように、所定領域１６Ａと所定領域１６Ａに隣接する所定領域１６Ｂとの関係おいて、液滴吐出ヘッド５０の移動方向に対応する所定領域１６Ａ、すなわち、所定領域１６Ａの隣接する所定領域１６Ｂに近接する領域では、着弾距離ＡＤが短くなるため、区画部１１上に乗り上げて付着することがないので、隣接する所定領域１６に塗布された機能液との接触が低減される。一方、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側では、着弾距離ＡＤが長くなる、すなわち、塗布面積を広げることができる。
【００５７】
この後、さらに、同一の所定領域１６Ａ，１６Ｂ内に機能液を塗布する必要がある場合は、先の相対移動とは逆方向に液滴吐出ヘッド５０とワーク１０とを相対移動させながら液滴１２１を吐出させる。具体的には、図８（ｅ）に示すように、所定領域１６Ｂであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側の領域においてプラテンギャップＰＧ２で液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、図９（ｅ）に示すように、主滴１２１ａ’とサテライト１２１ｃ’がそれぞれ着弾する時間差が長くなるため、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’から離れた位置に着弾される。
【００５８】
次いで、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的移動が進み、所定領域１６Ｂであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側の領域では、図８（ｆ）に示すように、プラテンギャップＰＧ１で液滴１２１を吐出する。すなわち、所定領域１６Ｂであって、隣接する所定領域１６Ａに近接した領域では、プラテンギャップＰＧ１で液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、図９（ｆ）に示すように、主滴１２１ａ’とサテライト１２１ｃ’がそれぞれ着弾する時間差が短くなるため、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’上、或いは、主滴１２１ａ’の近傍に着弾される。
【００５９】
次いで、図８（ｇ）に示すように、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的移動が進み、所定領域１６Ａであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側の領域においてプラテンギャップＰＧ２で液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、図９（ｇ）に示すように、主滴１２１ａ’とサテライト１２１ｃ’がそれぞれ着弾する時間差が長くなるため、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’から離れた位置に着弾される。
【００６０】
次いで、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的移動が進み、所定領域１６Ａであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側の領域では、図８（ｈ）に示すように、プラテンギャップＰＧ１で液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、図９（ｈ）に示すように、主滴１２１ａ’とサテライト１２１ｃ’がそれぞれ着弾する時間差が短くなるため、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’上、或いは、主滴１２１ａ’の近傍に着弾される。このように、所定領域１６Ａと所定領域１６Ａに隣接する所定領域１６Ｂとの関係おいて、液滴吐出ヘッド５０の移動方向に対応する所定領域１６Ａ、すなわち、所定領域１６Ａの隣接する所定領域１６Ｂに近接する領域では、着弾距離ＡＤが短くなるため、区画部１１上に乗り上げて付着することがないので、隣接する所定領域１６に塗布された機能液との接触が低減される。一方、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側では、着弾距離ＡＤが長くなる、すなわち、塗布面積を広げることができる。なお、さらに、同一の所定領域１６Ａ，１６Ｂ内に機能液を塗布する必要がある場合は、図８に示す塗布工程を繰り返す。
【００６１】
そして、機能液の塗布が終了した場合には、固化工程Ｓ３に移行する。固化工程Ｓ３では、塗布された機能液を、例えば、乾燥等により固化する。これにより、パターン膜としての色素膜１４が形成される。その後、必要に応じて、区画部１１と色素膜１４の上に保護膜１８を形成する。保護膜１８の形成方法としては、スピンコート法等が用いられ、材料としては、光硬化タイプ、熱硬化タイプあるいは光熱併用タイプの樹脂材料、蒸着、スパッタ等によって形成された無機膜等を用いることができる。以上、上記の製造方法によって、カラーフィルター１（図６参照）が形成される。
【００６２】
（電気光学装置）
次に、本実施形態にかかる電気光学装置について説明する。図１０は、電気光学装置としての液晶ディスプレイの構成を示す断面図である。
【００６３】
図１０において、液晶ディスプレイ１５０は、カラーフィルター１と、カラーフィルター１に対向して配置された素子基材１５１と、シール材１５２によって接着されたカラーフィルター１と素子基材１５１の隙間に充填された液晶１５３等で構成されている。
【００６４】
カラーフィルター１の保護膜１８の上には共通電極１６１が形成され、共通電極１６１の上には配向膜１６２が形成されている。また、ワーク１０の色素膜１４が形成された面の反対面には偏光板１７５が備えられている。
【００６５】
素子基材１５１は、透明性を有する基材１７０と、基材１７０の上に形成されたＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子１７１と、基材１７０とＴＦＴ素子１７１の上に形成された配向膜１７２等で構成されている。また、基材１７０のＴＦＴ素子１７１が形成された面の反対面には偏光板１７６が備えられている。
【００６６】
（電子機器）
次に、本実施形態にかかる電子機器について説明する。図１１は、電子機器としてのテレビ受像機の構成を示す斜視図である。図１１において、テレビ受像機１８０の表示部に液晶ディスプレイ１５０が搭載されている。
【００６７】
従って、上記の第１実施形態によれば、以下に示す効果がある。
【００６８】
所定領域１６内において、相対的にギャップを小さくしたプラテンギャップＰＧ１で液滴１２１を吐出させることにより、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃがそれぞれ着弾する時間差が短くなるため、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’上、或いは、主滴１２１ａ’の近傍に着弾され、着弾距離ＡＤ１を短くすることができる。一方、相対的にギャップを大きくしたプラテンギャップＰＧ２で液滴１２１を吐出させることにより、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃがそれぞれ着弾する時間差が長くなるため、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’から離れた位置に着弾され、着弾距離ＡＤ２を長くすることができる。すなわち、所定領域１６内で、プラテンギャップＰＧ１で吐出することにより液滴１２１の着弾精度を高めることができる。また、プラテンギャップＰＧ２で吐出することにより液滴１２１の着弾領域を広げることができる。従って、例えば、カラーフィルター１の製造において、ワーク１０上に形成された複数の所定領域１６に機能液を塗布する場合に、所定領域１６であって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側ではプラテンギャップＰＧ１で液滴１２１を吐出させ、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側ではプラテンギャップＰＧ２で液滴１２１を吐出させることにより、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側の着弾距離ＡＤ１が、短くなるため、隣接する所定領域１６に塗布された機能液との接触がなくなり、混色を低減することができる。また、他の領域では、塗布面積を広げることができるため、機能液を効率よく塗布することができる。
【００６９】
［第２実施形態］
次に、第２実施形態について説明する。先の第１実施形態では、プラテンギャップＰＧ１，ＰＧ２を制御しながら液滴１２１を吐出させたが、第２実施形態では、所定領域１６内において、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０とが相対的に移動する移動速度を制御しながら、液滴１２１を吐出させる。以下、制御方法について説明する。なお、液滴吐出装置３０の基本的な構成は、第１実施形態と同様なので説明を省略する。但し、本第２実施形態の液滴吐出装置３０では、液滴吐出ヘッド５０をＺ軸方向に移動させるＺ軸ガイド５５及びＺ軸リニアモーター５６を省略してもよい。
【００７０】
図１２は、相対的な移動速度を制御する制御方法を示す説明図である。本実施形態では、図１２（ａ）、（ｃ）に示す２種類の移動速度ＳＰａ，ＳＰｂで制御する場合について説明する。なお、移動速度ＳＰａ，ＳＰｂの違いをベクトルで表示している。ここで、移動速度ＳＰａは、移動速度ＳＰｂよりも遅くなるように設定される。各移動速度ＳＰａ，ＳＰｂの設定は、Ｘ軸リニアモーター６４を駆動制御することにより行われる。そして、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０とが相対的に移動する移動速度ＳＰａ，ＳＰｂを、例えば、移動速度ＳＰａから移動速度ＳＰｂへ、或いは、移動速度ＳＰｂから移動速度ＳＰａへ変化させながらワーク１０に向けて液滴１２１を吐出する。
【００７１】
まず、図１２（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０とが相対的に移動する移動速度ＳＰａで液滴１２１を吐出させた場合には、主滴１２１ａが着弾してからの液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的な移動速度が遅いために、主滴１２１ａ’が着弾してからのワーク１０の移動距離が短くなり、図１２（ｂ）に示すように、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’上、或いは、主滴１２１ａ’の近傍に着弾され、着弾距離ＡＤ１が比較的短くなる。一方、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０とが相対的に移動する移動速度ＳＰｂで液滴１２１を吐出させた場合には、主滴１２１ａが着弾してからの液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的な移動が速いため、主滴１２１ａ’が着弾してからのワーク１０の移動距離が長くなり、図１２（ｄ）に示すように、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’から離れた位置に着弾され、着弾距離ＡＤ２が比較的長くなる。従って、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０とが相対的に移動する移動速度ＳＰａ，ＳＰｂを制御することにより、ワーク１０上に向けて吐出された液滴１２１の着弾距離ＡＤを制御することができる。
【００７２】
次に、パターン膜形成部材の製造方法において上記の液滴吐出装置３０を適用した例について具体的に説明する。なお、パターン膜形成部材の製造方法は、図７に示すフローチャートと同様である。
【００７３】
まず、ワーク載置工程Ｓ１では、例えば、ガラス基材上に区画部１１が形成されたワーク１０を液滴吐出装置３０の載置台６１上に載置する。
【００７４】
次いで、塗布工程Ｓ２では、ワーク１０上の所定領域１６において、主滴１２１ａ’とサテライト１２１ｃ’との着弾距離ＡＤを異ならせて液滴１２１を塗布する。さらに詳細には、所定領域１６に対して、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側の着弾距離ＡＤが、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側の着弾距離ＡＤよりも短くなるように塗布する。本実施形態では、所定領域１６内において、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０とが相対的に移動する移動速度を制御しながら液滴１２１を吐出する。本実施形態では、相対的に速度が遅い移動速度ＳＰａと、相対的に速度が速い移動速度ＳＰｂとを設定しながら液滴１２１を吐出する。以下、具体的に説明する。
【００７５】
まず、図１３（ａ）に示すように、ワーク１０上に形成された区画部１１によって区画された所定領域１６Ａであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側の領域において移動速度ＳＰｂの状態で液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、まず、主滴１２１ａが着弾する。そして、主滴１２１ａが着弾してからサテライト１２１ｃが着弾するまでの間、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的な移動が速いため、図９（ａ）に示すように、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’から離れた位置に着弾される。
【００７６】
次いで、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的移動が進み、所定領域１６Ａであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側の領域では、図１３（ｂ）に示すように、移動速度ＳＰａの状態で液滴１２１を吐出する。すなわち、所定領域１６Ａであって、隣接する所定領域１６Ｂに近接した領域では、比較的速度が遅い移動速度ＳＰａで液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、ワーク１０の移動速度が比較的遅いため、主滴１２１ａ’が着弾してからの移動距離が短くなり、図９（ｂ）に示すように、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’上、或いは、主滴１２１ａ’の近傍に着弾される。
【００７７】
次いで、図１３（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的移動が進み、所定領域１６Ｂであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側の領域において移動速度ＳＰｂで液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、まず、主滴１２１ａが着弾する。そして、主滴１２１ａが着弾してからサテライト１２１ｃが着弾するまでの間、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的な移動が速いため、図９（ｃ）に示すように、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’から離れた位置に着弾される。
【００７８】
次いで、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的移動が進み、所定領域１６Ｂであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側の領域では、図１３（ｄ）に示すように、移動速度ＳＰａで液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、ワーク１０の移動速度が比較的遅いため、主滴１２１ａ’が着弾してからの移動距離が短くなり、図９（ｄ）に示すように、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’上、或いは、主滴１２１ａ’の近傍に着弾される。
【００７９】
この後、さらに、同一の所定領域１６Ａ，１６Ｂ内に機能液を塗布する必要がある場合は、先の相対移動とは逆方向に液滴吐出ヘッド５０とワーク１０とを相対移動させながら液滴１２１を吐出させる。具体的には、図１３（ｅ）に示すように、所定領域１６Ｂであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側の領域において移動速度ＳＰｂで液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、まず、主滴１２１ａが着弾する。そして、主滴１２１ａが着弾してからサテライト１２１ｃが着弾するまでの間、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的な移動が速いため、図９（ｅ）に示すように、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’から離れた位置に着弾される。
【００８０】
次いで、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的移動が進み、所定領域１６Ｂであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側の領域では、図１３（ｆ）に示すように、移動速度ＳＰａで液滴１２１を吐出する。すなわち、所定領域１６Ｂであって、隣接する所定領域１６Ａに近接した領域では、比較的速度が遅い移動速度ＳＰａで液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、ワーク１０の移動速度が比較的遅いため、主滴１２１ａ’が着弾してからの移動距離が短くなり、図９（ｆ）に示すように、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’上、或いは、主滴１２１ａ’の近傍に着弾される。
【００８１】
次いで、図１３（ｇ）に示すように、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的移動が進み、所定領域１６Ａであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側の領域において移動速度ＳＰｂで液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、まず、主滴１２１ａが着弾する。そして、主滴１２１ａが着弾してからサテライト１２１ｃが着弾するまでの間、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的な移動が速いため、図９（ｇ）に示すように、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’から離れた位置に着弾される。
【００８２】
次いで、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的移動が進み、所定領域１６Ａであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側の領域では、図１３（ｈ）に示すように、移動速度ＳＰａで液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、ワーク１０の移動速度が比較的遅いため、主滴１２１ａ’が着弾してからの移動距離が短くなり、図９（ｈ）に示すように、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’上、或いは、主滴１２１ａ’の近傍に着弾される。
【００８３】
上記のように、所定領域１６Ａと所定領域１６Ａに隣接する所定領域１６Ｂとの関係おいて、液滴吐出ヘッド５０の移動方向に対応する所定領域１６Ａ、すなわち、所定領域１６Ａの隣接する所定領域１６Ｂに近接する領域では、着弾距離ＡＤが短くなるため、区画部１１上に乗り上げて付着することがないので、隣接する所定領域１６に塗布された機能液との接触が低減される。一方、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側では、着弾距離ＡＤが長くなる、すなわち、塗布面積を広げることができる。すなわち、所定領域１６Ａ，１６Ｂに効率よく機能液を塗布することができる。なお、さらに、同一の所定領域１６Ａ，１６Ｂ内に機能液を塗布する必要がある場合は、図１３に示す塗布工程を繰り返す。
【００８４】
そして、機能液の塗布が終了した場合には、固化工程Ｓ３に移行する。なお、固化工程Ｓ３の内容は、第１実施形態と同様なので説明を省略する。そして、上記の製造方法によって、カラーフィルター１（図６参照）が形成される。
【００８５】
なお、パターン膜形成部材の構成、電気光学装置の構成、電子機器の構成については、第１実施形態と同様なので説明を省略する。
【００８６】
従って、上記の第２実施形態によれば、以下に示す効果がある。
【００８７】
所定領域１６内において、相対的に速度が遅い移動速度ＳＰａで液滴１２１を吐出させることにより、主滴１２１ａ’が着弾されてからのワーク１０の移動距離が短くなるため、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’上、或いは、主滴１２１ａ’の近傍に着弾され、着弾距離ＡＤ１を短くすることができる。一方、相対的に速度が速い移動速度ＳＰｂで液滴１２１を吐出させることにより、主滴１２１ａ’が着弾されてからのワーク１０の移動距離が長くなるため、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’から離れた位置に着弾され、着弾距離ＡＤ２を長くすることができる。すなわち、所定領域１６内で、移動速度ＳＰａで吐出することにより液滴１２１の着弾精度を高めることができる。また、移動速度ＳＰｂで吐出することにより液滴１２１の着弾領域を広げることができる。従って、例えば、カラーフィルター１の製造において、ワーク１０上に形成さえた複数の所定領域１６に機能液を塗布する場合に、所定領域１６であって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側では移動速度ＳＰａで液滴１２１を吐出させ、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側では移動速度ＳＰｂで液滴１２１を吐出させることにより、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側の着弾距離ＡＤ１が、短くなるため、隣接する所定領域１６に塗布された機能液との接触がなくなり、混色を低減することができる。また、他の領域では、塗布面積を広げることができるため、機能液を効率よく塗布することができる。
【００８８】
［第３実施形態］
次に、第３実施形態について説明する。先の第１実施形態では、プラテンギャップＰＧを制御し、また、第２実施形態では、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０とが相対的に移動する移動速度ＳＰを制御したが、本第３実施形態では、所定領域内において、液滴１２１の吐出速度を制御しながら、液滴を吐出させる。以下、制御方法について説明する。なお、液滴吐出装置３０の基本的な構成は、第１実施形態と同様なので説明を省略する。但し、第３実施形態の液滴吐出装置３０では、液滴吐出ヘッド５０をＺ軸方向に移動させるＺ軸ガイド５５及びＺ軸リニアモーター５６を省略してもよい。
【００８９】
図１４は、吐出速度を制御する制御方法を示す説明図である。本実施形態では、図１４（ａ）、（ｃ）に示す２種類の吐出速度ＶＳａ，ＶＳｂで制御する場合について説明する。なお、吐出速度ＶＳａ，ＶＳｂの違いをベクトルで表示しており、吐出速度ＶＳａは、吐出速度ＶＳｂよりも遅い速度である。各吐出速度ＶＳａ，ＶＳｂの設定は、各ノズル１２０に対応する圧電素子１１３を制御駆動することにより行われる。そして、吐出速度ＶＳａ，ＶＳｂを、例えば、吐出速度ＶＳａから吐出速度ＶＳｂへ、或いは、吐出速度ＶＳｂから吐出速度ＶＳａへ変化させながらワーク１０に向けて液滴１２１を吐出する。
【００９０】
まず、図１４（ａ）に示すように、吐出速度ＶＳａで液滴１２１を吐出させた場合には、吐出過程において、主滴１２１ａの吐出速度に対してサテライト１２１ｃの吐出速度が同等、或いは、それ以上の速度になるため、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃとの距離が短い状態で吐出される。そのため、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃが着弾する時間差が短くなり、図１４（ｂ）に示すように、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’上、或いは、主滴１２１ａ’の近傍に着弾され、着弾距離ＡＤ１が比較的短くなる。一方、図１４（ｃ）に示すように、吐出速度ＶＳｂで液滴１２１を吐出させた場合には、吐出過程において、主滴１２１ａの吐出速度に対してサテライト１２１ｃの吐出速度が遅いため、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃとの距離が長い状態で吐出される。そのため、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃが着弾する時間差が長くなり、図１４（ｄ）に示すように、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’から離れた位置に着弾され、着弾距離ＡＤ２が比較的長くなる。従って、吐出速度ＶＳａ，ＶＳｂを制御することにより、ワーク１０上に向けて吐出された液滴１２１の着弾距離ＡＤを制御することができる。
【００９１】
次に、パターン膜形成部材の製造方法において上記の液滴吐出装置３０を適用した例について具体的に説明する。なお、パターン膜形成部材の製造方法は、図７に示すフローチャートと同様である。
【００９２】
まず、ワーク載置工程Ｓ１では、例えば、ガラス基材上に区画部１１が形成されたワーク１０を液滴吐出装置３０の載置台６１上に載置する。
【００９３】
次いで、塗布工程Ｓ２では、ワーク１０上の所定領域１６において、主滴１２１ａ’とサテライト１２１ｃ’との着弾距離ＡＤを異ならせて液滴１２１を塗布する。さらに詳細には、所定領域１６に対して、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側の着弾距離ＡＤが、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側の着弾距離ＡＤよりも短くなるように塗布する。本実施形態では、所定領域１６内において、液滴吐出ヘッド５０から吐出する吐出速度を制御しながら液滴１２１を吐出する。本実施形態では、相対的に速度が遅い吐出速度ＶＳａと、相対的に速度が速い吐出速度ＶＳｂに制御しながら液滴１２１を吐出する。以下、具体的に説明する。
【００９４】
まず、図１５（ａ）に示すように、ワーク１０上に形成された区画部１１によって区画された所定領域１６Ａであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側の領域において吐出速度ＶＳｂの状態で液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、吐出過程において、主滴１２１ａの吐出速度に対してサテライト１２１ｃの吐出速度が遅いため、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃとの距離が長い状態で吐出される。そのため、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃが着弾する時間差が長くなり、図９（ａ）に示すように、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’から離れた位置に着弾される。
【００９５】
次いで、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的移動が進み、所定領域１６Ａであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側の領域では、図１５（ｂ）に示すように、吐出速度ＶＳａの状態で液滴１２１を吐出する。すなわち、所定領域１６Ａであって、隣接する所定領域１６Ｂに近接した領域では、比較的速度が遅い吐出速度ＶＳａで液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、吐出過程において、主滴１２１ａの吐出速度に対してサテライト１２１ｃの吐出速度が同等、或いは、それ以上の速度になるため、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃとの距離が短い状態で吐出される。そのため、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃが着弾する時間差が短くなり、図９（ｂ）に示すように、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’上、或いは、主滴１２１ａ’の近傍に着弾される。
【００９６】
次いで、図１５（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的移動が進み、所定領域１６Ｂであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側の領域において吐出速度ＶＳｂで液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、吐出過程において、主滴１２１ａの吐出速度に対してサテライト１２１ｃの吐出速度が遅いため、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃとの距離が長い状態で吐出される。そのため、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃが着弾する時間差が長くなり、図９（ｃ）に示すように、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’から離れた位置に着弾される。
【００９７】
次いで、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的移動が進み、所定領域１６Ｂであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側の領域では、図１５（ｄ）に示すように、吐出速度ＶＳａで液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、吐出過程において、主滴１２１ａの吐出速度に対してサテライト１２１ｃの吐出速度が同等、或いは、それ以上の速度になるため、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃとの距離が短い状態で吐出される。そのため、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃが着弾する時間差が短くなり、図９（ｄ）に示すように、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’上、或いは、主滴１２１ａ’の近傍に着弾される。
【００９８】
この後、さらに、同一の所定領域１６Ａ，１６Ｂ内に機能液を塗布する必要がある場合は、先の相対移動とは逆方向に液滴吐出ヘッド５０とワーク１０とを相対移動させながら液滴１２１を吐出させる。具体的には、図１５（ｅ）に示すように、ワーク１０上に形成された区画部１１によって区画された所定領域１６Ｂであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側の領域において吐出速度ＶＳｂの状態で液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、吐出過程において、主滴１２１ａの吐出速度に対してサテライト１２１ｃの吐出速度が遅いため、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃとの距離が長い状態で吐出される。そのため、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃが着弾する時間差が長くなり、図９（ｅ）に示すように、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’から離れた位置に着弾される。
【００９９】
次いで、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的移動が進み、所定領域１６Ｂであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側の領域では、図１５（ｆ）に示すように、吐出速度ＶＳａの状態で液滴１２１を吐出する。すなわち、所定領域１６Ｂであって、隣接する所定領域１６Ａに近接した領域では、比較的速度が遅い吐出速度ＶＳａで液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、吐出過程において、主滴１２１ａの吐出速度に対してサテライト１２１ｃの吐出速度が同等、或いは、それ以上の速度になるため、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃとの距離が短い状態で吐出される。そのため、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃが着弾する時間差が短くなり、図９（ｆ）に示すように、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’上、或いは、主滴１２１ａ’の近傍に着弾される。
【０１００】
次いで、図１５（ｇ）に示すように、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的移動が進み、所定領域１６Ａであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側の領域において吐出速度ＶＳｂで液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、吐出過程において、主滴１２１ａの吐出速度に対してサテライト１２１ｃの吐出速度が遅いため、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃとの距離が長い状態で吐出される。そのため、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃが着弾する時間差が長くなり、図９（ｇ）に示すように、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’から離れた位置に着弾される。
【０１０１】
次いで、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０との相対的移動が進み、所定領域１６Ａであって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側の領域では、図１５（ｈ）に示すように、吐出速度ＶＳａで液滴１２１を吐出する。吐出された液滴１２１は、吐出過程において、主滴１２１ａの吐出速度に対してサテライト１２１ｃの吐出速度が同等、或いは、それ以上の速度になるため、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃとの距離が短い状態で吐出される。そのため、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃが着弾する時間差が短くなり、図９（ｈ）に示すように、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’上、或いは、主滴１２１ａ’の近傍に着弾される。
【０１０２】
上記のように、所定領域１６Ａと所定領域１６Ａに隣接する所定領域１６Ｂとの関係おいて、液滴吐出ヘッド５０の移動方向に対応する所定領域１６Ａ、すなわち、所定領域１６Ａの隣接する所定領域１６Ｂに近接する領域では、着弾距離ＡＤが短くなるため、区画部１１上に乗り上げて付着することがないので、隣接する所定領域１６に塗布された機能液との接触が低減される。一方、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側では、着弾距離ＡＤが長くなる、すなわち、塗布面積を広げることができる。すなわち、所定領域１６Ａ，１６Ｂに効率よく機能液を塗布することができる。なお、さらに、同一の所定領域１６Ａ，１６Ｂ内に機能液を塗布する必要がある場合は、図１５に示す塗布工程を繰り返す。
【０１０３】
そして、機能液の塗布が終了した場合には、固化工程Ｓ３に移行する。なお、固化工程Ｓ３の内容は、第１実施形態と同様なので説明を省略する。そして、上記の製造方法によって、カラーフィルター１（図１参照）が形成される。
【０１０４】
なお、パターン膜形成部材の構成、電気光学装置の構成、電子機器の構成については、第１実施形態と同様なので説明を省略する。
【０１０５】
従って、上記の第３実施形態によれば、以下に示す効果がある。
【０１０６】
所定領域１６内において、相対的に速度が遅い吐出速度ＶＳａで液滴１２１を吐出させることにより、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃとの距離が短い状態で吐出されるため、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’上、或いは、主滴１２１ａ’の近傍に着弾され、着弾距離ＡＤ１を短くすることができる。一方、相対的に速度が速い吐出速度ＶＳｂで液滴１２１を吐出させることにより、主滴１２１ａとサテライト１２１ｃとの距離が長い状態で吐出されるため、サテライト１２１ｃ’は、主滴１２１ａ’から離れた位置に着弾され、着弾距離ＡＤ２を長くすることができる。すなわち、所定領域１６内で、吐出速度ＶＳａで吐出することにより液滴１２１の着弾精度を高めることができる。また、吐出速度ＶＳｂで吐出することにより液滴１２１の着弾領域を広げることができる。従って、例えば、カラーフィルター１の製造において、ワーク１０上に形成された複数の所定領域１６に機能液を塗布する場合に、所定領域１６であって、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側では吐出速度ＶＳａで液滴１２１を吐出させ、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側では吐出速度ＶＳｂで液滴１２１を吐出させることにより、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側の着弾距離ＡＤ１が、短くなるため、隣接する所定領域１６に塗布された機能液との接触がなくなり、混色を低減することができる。また、他の領域では、塗布面積を広げることができるため、機能液を効率よく塗布することができる。
【０１０７】
なお、上記の実施形態に限定されるものではなく、以下のような変形例が挙げられる。
【０１０８】
（変形例１）第１実施形態では、２種類のプラテンギャップＰＧ１，ＰＧ２で制御したが、これに限定されない。３種類以上のプラテンギャップＰＧで制御してもよい。また、第２及び第３実施形態についても同様にして、３種類以上の移動速度ＳＰ、吐出速度ＶＳで制御してもよい。このようにしても、所定領域１６内において、着弾距離ＡＤが制御されるため、上記同様の効果を得ることができる。
【０１０９】
（変形例２）第１実施形態では、プラテンギャップＰＧ１とプラテンギャップＰＧ２を交互に変更したが、これに限定されない。例えば、液滴吐出ヘッド５０とワーク１０とを相対的に移動させながら徐々にプラテンギャップＰＧ１をプラテンギャップＰＧ２に変更するように制御してもよい。プラテンギャップＰＧ２をプラテンギャップＰＧ１に変更する場合も同様である。このようにしても、上記同様の効果を得ることができる。また、第２及び第３実施形態についても同様にして、移動速度ＳＰａと移動速度ＳＰｂとの変更を徐々に行ってもよいし、吐出速度ＶＳａと吐出速度ＶＳｂとの変更を徐々に行ってもよい。このようにしても上記同様の効果を得ることができる。
【０１１０】
（変形例３）上記実施形態では、所定領域１６に対して、液滴吐出ヘッド５０の移動方向側の着弾距離ＡＤ１が、液滴吐出ヘッド５０の移動方向の反対側の着弾距離ＡＤ２よりも短くなるように制御したが、これに限定されず、所定領域１６の端部における着弾距離が、所定領域の中央部おける着弾距離よりも短くなるように制御してもよい。このようにすれば、所定領域が隣接する位置においては、いずれも着弾距離が短くなるため、隣接する所定領域に塗布された機能液との接触を防止することができる。
【０１１１】
（変形例４）上記実施形態では、吐出された液滴１２１の主滴１２１ａとサテライト１２１ｃの着弾距離ＡＤの制御を行ったが、これに限定されず、例えば、サテライト１２１ｃが吐出されない場合には、吐出された液滴１２１の主滴１２１ａと主滴１２１ａに追従する尾引き部１２１ｂの着弾距離を制御してもよい。このようにしても、上記同様の効果を得ることができる。
【０１１２】
（変形例５）第１実施形態では、プラテンギャップＰＧの制御を行い、第２実施形態では、移動速度ＳＰの制御を行い、第３実施形態では、吐出速度ＶＰの制御を行ったが、例えば、これらの制御を適宜組み合わせてもよい。このようにしても、上記同様の効果を得ることができる。
【０１１３】
（変形例６）上記実施形態では、パターン膜形成部材としてカラーフィルター１を例として説明したが、これに限定されることなく、例えば、ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）発光部材、シリカガラス前駆体、金属化合物等の導電部材、誘電体部材等についても適用することができる。
【符号の説明】
【０１１４】
１…パターン膜形成部材としてのカラーフィルター、１０…ワーク、１１…区画部、１６，１６Ａ，１６Ｂ…所定領域、３０…液滴吐出装置、３２…ヘッド機構部、３３…ワーク機構部、３４…材料供給部、３５…メンテナンス機構部、３６…制御部、５０…液滴吐出ヘッド、５１…ヘッドキャリッジ、５５…Ｚ軸ガイド、５６…Ｚ軸リニアモーター、６１…載置台、１１３…圧電素子、１１５…ノズルプレート、１２０…ノズル、１２１…液滴、１２１ａ…主滴、１２１ｂ…尾引き部、１２１ｃ…サテライト、１５０…電気光学装置としての液晶ディスプレイ、１８０…電子機器としてのテレビ受像機。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴吐出ヘッドとワークとを相対的に移動させながら、前記ワークに向けて機能液を液滴として吐出させる制御部を備え、
前記制御部では、
前記ワーク上の所定領域に着弾させる前記液滴の主滴とサテライトとの着弾距離を制御しながら、前記液滴を吐出させることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出装置において、
前記制御部は、
前記所定領域に対して、前記液滴吐出ヘッドの移動方向側の前記着弾距離が、前記液滴吐出ヘッドの移動方向の反対側の前記着弾距離よりも短くなるように制御することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の液滴吐出装置において、
前記制御部では、
前記所定領域内において、前記液滴が吐出される前記液滴吐出ヘッドのノズルプレートの面から吐出された前記液滴が着弾する前記ワークの着弾面までの距離を制御しながら、前記液滴を吐出させることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項４】
請求項１または２に記載の液滴吐出装置において、
前記制御部では、
前記所定領域内において、前記液滴吐出ヘッドと前記ワークとが相対的に移動する移動速度を制御しながら、前記液滴を吐出させることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項５】
請求項１または２に記載の液滴吐出装置において、
前記制御部では、
前記所定領域内において、前記液滴の吐出速度を制御しながら、前記液滴を吐出させることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項６】
液滴吐出ヘッドとワークとを相対的に移動させながら、前記ワークに向けて機能液を液滴として吐出して、前記ワーク上にパターン膜を形成するパターン膜形成部材の製造方法であって、
前記ワーク上の所定領域において、主滴とサテライトとの着弾距離を異ならせながら、前記液滴を吐出して、前記ワーク上に前記機能液を塗布する塗布工程を含むことを特徴とするパターン膜形成部材の製造方法。
【請求項１】
液滴吐出ヘッドとワークとを相対的に移動させながら、前記ワークに向けて機能液を液滴として吐出させる制御部を備え、
前記制御部では、
前記ワーク上の所定領域に着弾させる前記液滴の主滴とサテライトとの着弾距離を制御しながら、前記液滴を吐出させることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出装置において、
前記制御部は、
前記所定領域に対して、前記液滴吐出ヘッドの移動方向側の前記着弾距離が、前記液滴吐出ヘッドの移動方向の反対側の前記着弾距離よりも短くなるように制御することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の液滴吐出装置において、
前記制御部では、
前記所定領域内において、前記液滴が吐出される前記液滴吐出ヘッドのノズルプレートの面から吐出された前記液滴が着弾する前記ワークの着弾面までの距離を制御しながら、前記液滴を吐出させることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項４】
請求項１または２に記載の液滴吐出装置において、
前記制御部では、
前記所定領域内において、前記液滴吐出ヘッドと前記ワークとが相対的に移動する移動速度を制御しながら、前記液滴を吐出させることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項５】
請求項１または２に記載の液滴吐出装置において、
前記制御部では、
前記所定領域内において、前記液滴の吐出速度を制御しながら、前記液滴を吐出させることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項６】
液滴吐出ヘッドとワークとを相対的に移動させながら、前記ワークに向けて機能液を液滴として吐出して、前記ワーク上にパターン膜を形成するパターン膜形成部材の製造方法であって、
前記ワーク上の所定領域において、主滴とサテライトとの着弾距離を異ならせながら、前記液滴を吐出して、前記ワーク上に前記機能液を塗布する塗布工程を含むことを特徴とするパターン膜形成部材の製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【公開番号】特開２０１２−４０４９９（Ｐ２０１２−４０４９９Ａ）
【公開日】平成２４年３月１日（２０１２．３．１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−１８３７１０（Ｐ２０１０−１８３７１０）
【出願日】平成２２年８月１９日（２０１０．８．１９）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年３月１日（２０１２．３．１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年８月１９日（２０１０．８．１９）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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