液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ素子の製造方法
【課題】基板上の膜形成領域ごとにほぼ一定量の液状体を液滴として安定的に塗布することができる液状体の吐出方法、この液状体の吐出方法を用いたカラーフィルタの製造方法および有機ＥＬ素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】本適用例の液状体の吐出方法は、複数のノズル５２と基板とを相対移動させる走査を複数回行い、基板上に配列された複数の膜形成領域３ｒ1，３ｒ2，３ｒ3に複数のノズル５２から液状体を液滴Ｄとして吐出する吐出工程を有する液状体の吐出方法であって、吐出工程は、複数回の走査において液滴Ｄを吐出するノズル５２の選択パターンの組み合わせが膜形成領域３ｒ1，３ｒ2，３ｒ3ごとに同じであるとした。
【解決手段】本適用例の液状体の吐出方法は、複数のノズル５２と基板とを相対移動させる走査を複数回行い、基板上に配列された複数の膜形成領域３ｒ1，３ｒ2，３ｒ3に複数のノズル５２から液状体を液滴Ｄとして吐出する吐出工程を有する液状体の吐出方法であって、吐出工程は、複数回の走査において液滴Ｄを吐出するノズル５２の選択パターンの組み合わせが膜形成領域３ｒ1，３ｒ2，３ｒ3ごとに同じであるとした。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機能性材料を含む液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ素子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
機能性材料を含む液状体の吐出方法として、複数のノズルからなるノズル列のうち、被吐出物の膜形成領域に掛かる隣り合うノズルからは同時に液状体を吐出しないように使用するノズルを選択して吐出を行う第１吐出工程と、膜形成領域に掛かる隣り合うノズルからは同時に液状体を吐出しないように第１吐出工程とは異なる組み合わせのノズルを選択して吐出を行う第２吐出工程と、を備えた吐出方法が知られている（特許文献１）。
【０００３】
上記吐出方法は、複数のノズルを時分割駆動する方法であって、ノズルの選択の仕方を工夫することにより、隣り合うノズル間の吐出量のバラツキを低減しようとするものである。
【０００４】
また、他の液状体の吐出方法としては、複数の被吐出部が設けられた基板と機能液を液滴として吐出可能な吐出ヘッドとを相対的に複数回走査させ、複数回の走査において、各被吐出部の領域全体に機能液を吐出する全体吐出走査を被吐出部ごとに少なくとも１回行うと共に、全体吐出走査以外の走査では被吐出部の周縁部のうち少なくとも一部を避けるように機能液を吐出する部分吐出走査を行う液滴吐出方法が知られている（特許文献２）。
【０００５】
上記液滴吐出方法は、全体吐出走査と部分吐出走査とを分けて行うことにより、異なる種類の機能液同士が混ざることを抑えることができるとしている。
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−１５２３３９号公報
【特許文献２】特開２００７−２９９４６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１の吐出方法を特許文献２の液滴吐出方法に適用することが考えられる。しかしながら、部分吐出走査における複数のノズルと複数の被吐出部との相対的な位置関係によっては、すべての被吐出部において部分吐出するようにノズルの選択を行うことが困難となるという課題がある。
【０００８】
また、ノズルごとに吐出される液滴の吐出量は、ノズル間の電気的、機械的なクロストークの影響を受け、ノズル選択の仕方に寄らず完全に同一にすることは基本的に難しいという課題がある。
【０００９】
一方で液滴吐出法を工業的に用いる場合、液滴の吐出量がある程度ばらついていても、被吐出部に機能液（液状体）を安定した塗布量で塗布することが求められている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【００１１】
［適用例１］本適用例の液状体の吐出方法は、複数のノズルと基板とを相対移動させる走査を複数回行い、前記基板上に配列された複数の膜形成領域に前記複数のノズルから液状体を液滴として吐出する吐出工程を有する液状体の吐出方法であって、前記吐出工程は、前記複数回の前記走査において前記液滴を吐出するノズルの選択パターンの組み合わせが前記膜形成領域ごとに同じであることを特徴とする。
【００１２】
液滴吐出法（インクジェット法）を用いて、複数のノズルから液状体を液滴として吐出する場合、ノズル間のクロストーク（電気的、機械的）などによりノズルごとに吐出される液滴の吐出量がばらつく。液滴の吐出量のばらつきは、吐出された液状体の塗布量に影響する。したがって、複数のノズルのうち液滴を吐出するノズルをどのように選択するかが、量的な精度に影響する。この方法によれば、走査ごとのノズルの選択パターン（選択の仕方）によって膜形成領域に吐出される液滴の吐出量がばらついたとしても、複数回の走査におけるノズルの選択パターンの組み合わせが同じであるため、複数回の走査が終了した時点では、膜形成領域ごとにほぼ一定量の液状体を安定的に吐出することができる。
【００１３】
［適用例２］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記吐出工程は、前記走査ごとに前記膜形成領域ごとの前記ノズルの選択パターンが異なるとしてもよい。
走査における複数のノズルと基板上に配列した複数の膜形成領域との相対的な位置関係によって、膜形成領域ごとに必ず同数のノズルが掛かるとは限らない。この方法によれば、走査における複数のノズルと複数の膜形成領域との相対的な位置関係に対応して、膜形成領域ごとのノズルの選択パターンを走査ごとに異ならせることにより、複数回の走査が終了した時点では、膜形成領域ごとにほぼ一定量の液状体を安定的に吐出することができる。
【００１４】
［適用例３］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記吐出工程は、前記走査ごとに前記膜形成領域ごとの前記ノズルの選択パターンが一定であることが好ましい。
この方法によれば、走査ごとに膜形成領域ごとのノズルの選択パターンを一定とすることにより、選択されたノズルの吐出特性を走査ごとに安定させることができる。したがって、膜形成領域ごとにほぼ一定量の液状体をより安定的に吐出することができる。
【００１５】
［適用例４］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記吐出工程は、前記複数回の前記走査に亘って前記膜形成領域ごとの前記ノズルの選択パターンが一定であることがより好ましい。
この方法によれば、複数回の走査に亘って選択されたノズルの吐出特性が安定するので、走査ごとにノズルの選択パターンが変わる場合に比べて、膜形成領域ごとにほぼ一定量の液状体をより安定的に吐出することができる。
【００１６】
［適用例５］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記吐出工程は、周期的に発生する複数の駆動波形のうちの１つを選択された前記ノズルの駆動手段に印加することにより前記液滴を吐出することを特徴とする。
この方法によれば、複数のノズルのうち選択されたノズルから、時分割駆動により液滴が吐出される。
したがって、膜形成領域ごとに選択されたノズルが複数であっても、当該ノズルの駆動手段に同時に駆動波形が印加されない。よって、ノズル間の電気的なクロストークにより吐出された液滴の吐出量がばらつくことを低減できる。すなわち、ほぼ一定量の液状体をばらつきを低減して安定的に吐出することができる。
【００１７】
［適用例６］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記吐出工程は、前記走査において、前記ノズルの選択パターンにより選択された複数のノズルのうち、隣り合うノズルの前記駆動手段に同じ前記駆動波形を印加せず、且つ前記複数の駆動波形ごとの選択がほぼ均等であることが好ましい。
この方法によれば、選択された複数のノズルに適用される駆動波形が特定の駆動波形に偏らず、走査において複数の駆動波形がほぼ均等に用いられる。したがって、選択されたノズルの数が増えて駆動波形が鈍ったとしても、複数の駆動波形間の鈍り方を一様とすることができる。すなわち、駆動波形の鈍りに起因する液滴の吐出量のばらつきを一様とすることができ、膜形成領域ごとにほぼ一定量の液状体を安定的に吐出することができる。
【００１８】
［適用例７］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記吐出工程は、前記走査において前記膜形成領域ごとに掛かるノズルのうち、前記膜形成領域の中央に近い少なくとも１つのノズルを用いることが好ましい。
この方法によれば、吐出すべきすべての液滴を膜形成領域の中央付近に着弾させることができる。したがって、液滴の飛行曲がりの影響により膜形成領域に必要な液滴が着弾しない、あるいは不必要な液滴が着弾することを低減して、ほぼ一定量の液状体を安定的に吐出することができる。
【００１９】
［適用例８］本適用例のカラーフィルタの製造方法は、基板上の複数の膜形成領域に複数色の着色層を有するカラーフィルタの製造方法であって、上記適用例の液状体の吐出方法を用い、着色層形成材料を含む複数色の液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を固化して前記複数色の着色層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とする。
【００２０】
この方法によれば、上記適用例の液状体の吐出方法を用いている。したがって、吐出工程では、同色の膜形成領域にほぼ一定量の対応する色の液状体を安定的に吐出し、成膜工程では、同色の膜形成領域において、ほぼ同等の膜厚を有する着色層を形成することができる。すなわち、色ごとに安定した光学特性を有するカラーフィルタを製造することができる。
【００２１】
［適用例９］本適用例の有機ＥＬ素子の製造方法は、基板上の複数の膜形成領域に発光層を含む機能層を有する有機ＥＬ素子の製造方法であって、上記適用例の液状体の吐出方法を用い、発光層形成材料を含む液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を固化して前記発光層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とする。
【００２２】
この方法によれば、上記適用例の液状体の吐出方法を用いている。したがって、吐出工程では、膜形成領域にほぼ一定量の液状体を安定的に吐出し、成膜工程では、膜形成領域ごとにほぼ同等の膜厚を有する発光層を形成することができる。すなわち、安定した発光特性を有する有機ＥＬ素子を製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面を参照して説明する。
【００２４】
（実施形態１）
＜液滴吐出装置＞
まず、液状体を液滴として吐出可能な液滴吐出装置について図１〜図６を参照して説明する。図１は、液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。
【００２５】
図１に示すように、液滴吐出装置１０は、ワークＷを主走査方向（Ｘ軸方向）に移動させるワーク移動機構２０と、ヘッドユニット９を副走査方向（Ｙ軸方向）に移動させるヘッド移動機構３０とを備えている。
【００２６】
ワーク移動機構２０は、一対のガイドレール２１と、一対のガイドレール２１に沿って移動する移動台２２と、移動台２２上に回転機構６を介して配設されたワークＷを載置するステージ５とを備えている。
移動台２２は、ガイドレール２１の内部に設けられたエアスライダとリニアモータ（図示省略）により主走査方向に移動する。移動台２２には、タイミング信号生成部としてのエンコーダ１２（図４参照）が設けられている。
エンコーダ１２は、移動台２２の主走査方向への相対移動に伴って、ガイドレール２１に並設されたリニアスケール（図示省略）の目盛を読み取って、タイミング信号としてのエンコーダパルスを生成する。
ステージ５はワークＷを吸着固定可能であると共に、回転機構６によってワークＷ内の基準軸を正確に主走査方向、副走査方向に合わせることが可能となっている。なお、エンコーダ１２の配設は、これに限らず、例えば、移動台２２を回転軸に沿ってＸ軸方向に相対移動するよう構成し、回転軸を回転させる駆動部を設けた場合には、エンコーダ１２を駆動部に設けてもよい。駆動部としては、サーボモータなどが挙げられる。
【００２７】
ヘッド移動機構３０は、一対のガイドレール３１と、一対のガイドレール３１に沿って移動する移動台３２とを備えている。移動台３２には、回転機構７を介して吊設されたキャリッジ８が設けられている。
キャリッジ８には、複数の液滴吐出ヘッド５０（図２参照）が搭載されたヘッドユニット９が取り付けられている。
また、液滴吐出ヘッド５０に液状体を供給するための液状体供給機構（図示省略）と、複数の液滴吐出ヘッド５０の電気的な駆動制御を行うためのヘッドドライバ４８（図４参照）とが設けられている。
移動台３２がキャリッジ８をＹ軸方向に移動させてヘッドユニット９をワークＷに対して対向配置する。
【００２８】
液滴吐出装置１０は、上記構成の他にも、ヘッドユニット９に搭載された複数の液滴吐出ヘッド５０のノズル目詰まり解消、ノズル面の異物や汚れの除去などのメンテナンスを行うメンテナンス機構が、複数の液滴吐出ヘッド５０を臨む位置に配設されている。
また、液滴吐出ヘッド５０ごとに吐出された液状体を受けて、その重量を計測する電子天秤などの計測器を有する重量計測機構を備えている。図１では、メンテナンス機構および重量計測機構は、図示省略した。
【００２９】
図２は液滴吐出ヘッドの構造を示す概略図である。同図（ａ）は斜視図、同図（ｂ）はノズルの配置状態を示す平面図である。
【００３０】
図２（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド５０は、所謂２連のものであり、２連の接続針５４を有する液状体の導入部５３と、導入部５３に積層されたヘッド基板５５と、ヘッド基板５５上に配置され内部に液状体のヘッド内流路が形成されたヘッド本体５６とを備えている。接続針５４は、前述した液状体供給機構（図示省略）に配管を経由して接続され、液状体をヘッド内流路に供給する。ヘッド基板５５には、フレキシブルフラットケーブル（図示省略）を介してヘッドドライバ４８（図４参照）に接続される２連のコネクタ５８が設けられている。
【００３１】
ヘッド本体５６は、圧電素子で構成されたキャビティを有する加圧部５７と、ノズル面５１ａに２つのノズル列５２ａ，５２ｂが相互に平行に形成されたノズルプレート５１とを有している。
【００３２】
図２（ｂ）に示すように、２つのノズル列５２ａ，５２ｂは、それぞれ複数（１８０個）のノズル５２がピッチＰ１で略等間隔に並べられており、互いにピッチＰ１の半分のピッチＰ２ずれた状態でノズルプレート５１に配設されている。この場合、ピッチＰ１は、およそ１４１μｍである。よって、ノズル列５２ｃに直交する方向から見ると３６０個のノズル５２がおよそ７０．５μｍのノズルピッチで配列した状態となっている。以降説明上、ノズル５２の間隔は、ノズルピッチＰ２とする。また、ノズル５２の径は、およそ２７μｍである。
【００３３】
液滴吐出ヘッド５０は、ヘッドドライバ４８から電気信号としての駆動信号が圧電素子に印加されると加圧部５７のキャビティの体積変動が起こり、これによるポンプ作用でキャビティに充填された液状体が加圧され、ノズル５２から液状体を液滴として吐出することができる。
【００３４】
液滴吐出ヘッド５０における駆動手段は、圧電素子に限らない。アクチュエータとしての振動板を静電吸着により変位させる電気機械変換素子や、液状体を加熱してノズル５２から液滴として吐出させる電気熱変換素子（サーマル方式）でもよい。
【００３５】
図３は、ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図である。詳しくは、ワークＷに対向する側から見た図である。
【００３６】
図３に示すように、ヘッドユニット９は、複数の液滴吐出ヘッド５０が配設されるヘッドプレート９ａを備えている。ヘッドプレート９ａには、３つの液滴吐出ヘッド５０からなるヘッド群５０Ａと、同じく３つの液滴吐出ヘッド５０からなるヘッド群５０Ｂの合計６個の液滴吐出ヘッド５０が搭載されている。この場合、ヘッド群５０ＡのヘッドＲ１（液滴吐出ヘッド５０）とヘッド群５０ＢのヘッドＲ２（液滴吐出ヘッド５０）とは同種の液状体を吐出する。他のヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同様である。すなわち、３種の異なる液状体を吐出可能な構成となっている。
【００３７】
１つの液滴吐出ヘッド５０によって描画可能な描画幅をＬ0とし、これをノズル列５２ｃの有効長とする。以降、ノズル列５２ｃとは、３６０個のノズル５２から構成されるものを指す。
【００３８】
この場合、ヘッドＲ１とヘッドＲ２は、主走査方向（Ｘ軸方向）から見て隣り合うノズル列５２ｃが主走査方向と直交する副走査方向（Ｙ軸方向）に１ノズルピッチを置いて連続するように主走査方向に並列して配設されている。したがって、同種の液状体を吐出するヘッドＲ１とヘッドＲ２の有効な描画幅Ｌ1は、描画幅Ｌ0の２倍となっている。ヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同様に主走査方向に並列して配置されている。
【００３９】
なお、液滴吐出ヘッド５０に設けられるノズル列５２ｃは、２連に限らず、１連でもよい。
【００４０】
次に液滴吐出装置１０の制御系について説明する。図４は、液滴吐出装置の制御系を示すブロック図である。図４に示すように、液滴吐出装置１０の制御系は、液滴吐出ヘッド５０、ワーク移動機構２０、ヘッド移動機構３０などを駆動する各種ドライバを有する駆動部４６と、駆動部４６を含め液滴吐出装置１０を制御する制御部４０とを備えている。
【００４１】
駆動部４６は、ワーク移動機構２０およびヘッド移動機構３０の各リニアモータをそれぞれ駆動制御する移動用ドライバ４７と、液滴吐出ヘッド５０を吐出制御するヘッド駆動部としてのヘッドドライバ４８とを備えている。この他にも重量計測用ドライバと、メンテナンス用ドライバとを備えているが図示省略した。
【００４２】
制御部４０は、ＣＰＵ４１と、ＲＯＭ４２と、ＲＡＭ４３と、Ｐ−ＣＯＮ４４とを備え、これらは互いにバス４５を介して接続されている。Ｐ−ＣＯＮ４４には、上位コンピュータ１１が接続されている。ＲＯＭ４２は、ＣＰＵ４１で処理する制御プログラムなどを記憶する制御プログラム領域と、描画動作や機能回復処理などを行うための制御データなどを記憶する制御データ領域とを有している。
【００４３】
ＲＡＭ４３は、ワークＷに描画を行うための描画データを記憶する描画データ記憶部、ワークＷおよび液滴吐出ヘッド５０（実際には、ノズル列５２ａ，５２ｂ）の位置データを記憶する位置データ記憶部などの各種記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。Ｐ−ＣＯＮ４４には、駆動部４６の各種ドライバなどが接続されており、ＣＰＵ４１の機能を補うと共に、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ４４は、上位コンピュータ１１からの各種指令などをそのままあるいは加工してバス４５に取り込むと共に、ＣＰＵ４１と連動して、ＣＰＵ４１などからバス４５に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部４６に出力する。
【００４４】
そして、ＣＰＵ４１は、ＲＯＭ４２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して各種検出信号、各種指令、各種データなどを入力し、ＲＡＭ４３内の各種データなどを処理した後、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して駆動部４６などに各種の制御信号を出力することにより、液滴吐出装置１０全体を制御している。例えば、ＣＰＵ４１は、液滴吐出ヘッド５０、ワーク移動機構２０およびヘッド移動機構３０を制御して、ヘッドユニット９とワークＷとを対向配置させる。そして、ヘッドユニット９とワークＷとの相対移動に同期して、ヘッドユニット９に搭載された各液滴吐出ヘッド５０の複数のノズル５２からワークＷに液状体を液滴として吐出するようにヘッドドライバ４８に制御信号を送出する。この場合、Ｘ軸方向へのワークＷの移動に同期して液状体を吐出することを主走査と呼び、Ｙ軸方向にヘッドユニット９を移動させることを副走査と呼ぶ。本実施形態の液滴吐出装置１０は、主走査と副走査とを組み合わせて複数回繰り返すことにより液状体を吐出描画することができる。主走査は、液滴吐出ヘッド５０に対して一方向へのワークＷの移動に限らず、ワークＷを往復させて行うこともできる。
【００４５】
エンコーダ１２は、ヘッドドライバ４８に電気的に接続され、主走査に伴ってエンコーダパルスを生成する。主走査では、所定の移動速度で移動台２２を移動させるので、エンコーダパルスが周期的に発生する。
【００４６】
上位コンピュータ１１は、制御プログラムや制御データなどの制御情報を液滴吐出装置１０に送出する。また、基板上の膜形成領域ごとに必要量の液状体を液滴として配置する吐出制御データとしての配置情報を生成する配置情報生成部の機能を有している。配置情報は、膜形成領域における液滴の吐出位置（言い換えれば、ワークＷとノズル５２との相対位置）、液滴の配置数（言い換えれば、ノズル５２ごとの吐出数）、主走査における複数のノズル５２のＯＮ／ＯＦＦ（言い換えれば、複数のノズル５２の選択パターン）、吐出タイミングなどの情報を、例えば、ビットマップとして表したものである。上位コンピュータ１１は、上記配置情報を生成するだけでなく、ＲＡＭ４３に一旦格納された上記配置情報を修正することも可能である。
【００４７】
次に図５、図６を参照して、ヘッドドライバについて説明する。図５はヘッドドライバの電気的な構成を示すブロック図、図６は駆動手段に印加される駆動波形のタイミングチャートである。
【００４８】
図５に示すように、ヘッド駆動部としてのヘッドドライバ４８は、ＣＰＵ７１と、２つのメモリ７２，７３と、駆動信号（ＣＯＭ）を生成する駆動信号生成回路７４と、クロック信号（ＣＫ）を生成する発信回路７５と、エンコーダ１２に接続されエンコーダパルスをカウント（計数）するカウンタ７６と、を備えている。また、シフトレジスタ８１と、ラッチ回路８２と、レベルシフタ８３と、スイッチ８４とを備えている。これらの電気的な構成はバス７７を介して接続されている。これにより、液滴吐出ヘッド５０の各ノズル５２に対応する圧電素子５９に選択的に駆動信号（ＣＯＭ）を印加できるように構成されている。
【００４９】
ＣＰＵ７１は、駆動信号をデジタルデータとして生成し、メモリ７２に記憶（格納）させる。駆動信号生成回路７４は、当該デジタルデータをアナログ信号に変換して圧電素子５９に印加する駆動信号（ＣＯＭ）を生成する。メモリ７２は、例えば、ＳＲＡＭである。
【００５０】
なお、本実施形態において、発信回路７５は、２０ＭＨｚの水晶振動子を基準クロックとしてクロック信号を生成している。ＣＰＵ７１は、クロック信号に基づいて駆動信号（ＣＯＭ）をデジタルデータとして生成している。したがって、０．０５μｓｅｃ刻みでの駆動信号（ＣＯＭ）の設定が可能である。また、０．０５μｓｅｃ刻みで液滴を吐出する吐出タイミングの制御が可能である。
【００５１】
上位コンピュータ１１は、ワークＷ上において液滴をドットとして配置する吐出制御データとしての配置情報をヘッドドライバ４８に伝送する。伝送された配置情報は、主走査における往動と復動とに分けて生成されており、一時的にメモリ７３に記憶（格納）される。メモリ７３は、例えば、ＳＤＲＡＭである。
【００５２】
配置情報は、ワークＷに対する複数のノズル５２の相対的な吐出予定位置、液滴を吐出するノズル５２の選択、液滴の吐出回数、液滴を吐出する際の吐出タイミング情報を含むものである。吐出タイミング情報は、主走査においてエンコーダ１２が生成するエンコーダパルスの出力数を、吐出予定位置に対応させて数値化したものである。そしてＣＰＵ７１は、これらの吐出制御データに基づいて、ノズルデータ信号（ＳＩ）や駆動信号（ＣＯＭ）を、ノズル列単位ごとに次のように生成する。
【００５３】
すなわち、ＣＰＵ７１は、吐出制御データをデコードしてノズル５２ごとのＯＮ／ＯＦＦ情報を含むノズルデータを生成する。また、駆動信号生成回路７４は、ＣＰＵ７１が算出したノズルデータに基づいて駆動信号（ＣＯＭ）の設定および生成を行う。
【００５４】
ノズルデータをシリアル信号化したノズルデータ信号（ＳＩ）は、クロック信号（ＣＫ）に同期してシフトレジスタ８１に伝送され、ノズル５２ごとのＯＮ／ＯＦＦ情報がそれぞれ記憶される。そして、カウンタ７６がカウントしたエンコーダパルスに同期して、ＣＰＵ７１が生成したラッチ信号（ＬＡＴ）が各ラッチ回路８２に入力されることで、ノズルデータがラッチされる。ラッチされたノズルデータはレベルシフタ８３によって増幅され、ノズルデータが「ＯＮ」の場合には所定の電圧がスイッチ８４に供給される。また、ノズルデータが「ＯＦＦ」の場合には、スイッチ８４への電圧供給は行われない。
【００５５】
かくして、レベルシフタ８３で昇圧された電圧がスイッチ８４に供給されている間は、圧電素子５９に駆動信号（ＣＯＭ）が印加され、液滴がノズル５２から吐出される。
【００５６】
このような吐出制御は、ヘッドユニット９とワークＷとの相対移動（主走査）に同期して、図６に示すように周期的に行われる。
【００５７】
図６に示すように、圧電素子５９を駆動する駆動信号ＣＯＭは、中間電位を挟んで振幅する矩形状のパルス信号を組み合わせたものであり、周期的に発生する複数の駆動波形Ａ１からなる。一つの駆動波形Ａ１によって、次のように一つの液滴を吐出するようになっている。
【００５８】
すなわち、パルス信号の電位レベルを上昇させることにより、液状体を加圧部５７（図２参照）のキャビティ内に引き込む。次に、電位レベルを急峻に下降させることにより、キャビティ内の液状体を急激に加圧し、液状体をノズル５２から押し出して液滴化する（吐出）。最後に降下した電位レベルを中間電位に戻すことによって、キャビティ内の圧力振動（固有振動）を打ち消す。
【００５９】
駆動波形Ａ１における電圧成分や時間成分（パルス信号の傾きやパルス信号間の接続間隔など）などは、吐出量や吐出安定性などに大きく関わっているパラメータであり、予め適切な設計を要するものである。
本実施形態では、主走査における液滴吐出ヘッド５０とワークＷとの相対移動速度（ステージ５をＸ軸方向に移動させる移動速度）が２００ｍｍ／秒に設定されている。また、ＬＡＴ信号の発生タイミングｆ1は、移動台２２に備えられたエンコーダ１２が出力するエンコーダパルスを基準とし、液滴吐出ヘッド５０の固有周波数特性を考慮して２０ｋＨｚに設定されている。したがって、吐出分解能が相対移動速度をラッチ周期で除したものとすれば、吐出分解能の単位が１０μｍとなる。すなわち、吐出分解能の単位でノズル５２ごとに吐出タイミングを設定することが可能である。言い換えればワークＷの表面に１０μｍ単位の吐出間隔で主走査方向に液滴を配置することができる。
【００６０】
このような液滴吐出装置１０によれば、ワークＷに対して位置精度よく、液滴を吐出することができる。
【００６１】
前述したように液滴吐出ヘッド５０は、複数のノズル５２からなる２つのノズル列５２ａ，５２ｂ（総称してノズル列５２ｃ）を有している。上記のような駆動波形Ａ１を圧電素子５９に印加して複数のノズル５２から液滴を吐出した場合、ノズル５２ごとに設けられた圧電素子５９の固有電気特性のばらつきや、それぞれのノズル５２に連通するキャビティなどヘッド内流路の設計上の違いなどにより、ノズル５２ごとに吐出された液滴の吐出量がばらつくことが判明している。特にノズル間における電気的、機械的なクロストークは、吐出量のばらつきにおける重要な因子である。
【００６２】
上記液滴吐出装置１０では、このような吐出量のばらつきを考慮して、液滴を吐出するノズル５２の選択パターンを工夫することで、液状体の塗布量を安定化させている。具体的には、後述する液状体の吐出方法において説明する。
【００６３】
＜カラーフィルタの製造方法＞
次に、本実施形態の液状体の吐出方法について、カラーフィルタの製造方法を例に、図７〜図１２を参照して説明する。図７（ａ）および（ｂ）はカラーフィルタの構成を示す概略平面図、図８（ａ）〜（ｆ）はカラーフィルタの製造方法を示す概略断面図、図９〜図１２は液状体の吐出方法の実施例を示す概略平面図である。
【００６４】
図７（ａ）に示すように、カラーフィルタ２は、用いられる電気光学装置のサイズに応じて、透明なガラス基板１の表面に単数あるいは複数配設されている。同図（ａ）では、１つのガラス基板１に６つのカラーフィルタ２が所定の間隔を置いて、Ｘ軸方向とＹ軸方向とにマトリクス状に配置された例を示している。なお、カラーフィルタ２を形成する基板は、ガラスに限定されない。透明な樹脂を原料とするプラスチック基板でもよい。
【００６５】
図７（ｂ）に示すように、カラーフィルタ２は、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）、３色の着色層３を有している。着色層３は、それぞれ隔壁部４で区画されており、同色の着色層３がＹ軸方向（副走査方向）に配列し、異なる色の着色層３がＸ軸方向（主走査方向）に繰り返し配列している。すなわち、カラーフィルタ２は、ストライプ方式の着色層３の配置を採用している。
【００６６】
このようなカラーフィルタ２の製造方法は、液滴吐出装置１０を用い、隔壁部４で区画された膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに、着色層形成材料を含む３色の液状体を液滴として吐出する吐出工程と、吐出された液状体を乾燥させることにより３色の着色層３を形成する成膜工程とを備えている。吐出工程では、ガラス基板１を着色層３のストライプ方向がＹ軸方向と合致するようにステージ５に載置して、液滴吐出ヘッド５０とガラス基板１とを対向配置させ、Ｘ軸方向にステージ５を相対移動させる主走査を行う。各膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに必要量の液状体が付与されるように、複数回の主走査を行って３色の液状体をそれぞれ液滴として吐出する。
【００６７】
まず、図８（ａ）に示すように、ガラス基板１の表面に、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂを区画するように隔壁部４を形成する（隔壁部形成工程）。形成方法としては、真空蒸着法やスパッタ法により、ＣｒやＡｌなどの金属膜または金属化合物の膜をガラス基板１の表面に遮光性を有するように成膜する。そしてフォトリソグラフィ法により、感光性樹脂（フォトレジスト）を塗布して膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂが開口するように露光・現像・エッチングして第１隔壁部４ａを形成する。続いてフォトリソグラフィ法により、感光性の隔壁部形成材料をおよそ２μｍの厚みで塗布して露光・現像し、第１隔壁部４ａ上に第２隔壁部４ｂを形成する。隔壁部４は、第１隔壁部４ａと第２隔壁部４ｂとからなる所謂二層バンク構造となっている。なお、隔壁部４は、これに限らず、遮光性を有する感光性の隔壁部形成材料を用いて形成した第２隔壁部４ｂのみの一層構造としてもよい。
【００６８】
次に、後の液状体の吐出工程において、吐出された液状体が膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに着弾して濡れ拡がるように、ガラス基板１の表面を親液処理する。また、吐出された液状体の一部が第２隔壁部４ｂに着弾したとしても膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂ内に収まるように、第２隔壁部４ｂの少なくとも頭頂部を撥液処理する。
【００６９】
表面処理方法としては、隔壁部４が形成されたガラス基板１に対して、Ｏ2を処理ガスとするプラズマ処理とフッ素系ガスを処理ガスとするプラズマ処理とを行う。すなわち、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂが親液処理され、その後感光性樹脂からなる第２隔壁部４ｂの表面（壁面を含む）が撥液処理される。なお、第２隔壁部４ｂを形成する材料自体が撥液性を有していれば後者の処理を省くこともできる。
【００７０】
続いて、液滴吐出装置１０のステージ５に表面処理されたガラス基板１を載置する。そして、図８（ｂ）および（ｃ）に示すように、ガラス基板１が載置されたステージ５と液滴吐出ヘッド５０との主走査方向への相対移動に同期して、着色層形成材料を含む液状体が充填された液滴吐出ヘッド５０の複数のノズル５２から液状体を液滴Ｄとして膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに吐出する（液状体の吐出工程）。膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに吐出される液状体の塗布量は、あらかじめ膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂごとに選択されるノズル５２の選択パターンと液滴Ｄの吐出数などが主走査ごとに設定された吐出データに基づいて、制御部４０のＣＰＵ４１から適正な制御信号がヘッドドライバ４８に送られて制御される。これにより、ほぼ一定量の液状体が膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂごとに塗布される。より詳しい液状体の吐出方法は後述する実施例にて説明する。
【００７１】
次に、図８（ｄ）に示すように、ガラス基板１に吐出された液状体から溶媒成分を蒸発させて、着色層形成材料からなる着色層３を成膜する（成膜工程）。本実施形態では、液状体の吐出工程で異なる着色層形成材料を含む３色の液状体をそれぞれ異なる液滴吐出ヘッド５０に充填し、当該液滴吐出ヘッド５０をヘッドユニット９に装備して、各液滴吐出ヘッド５０から所望の膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに液状体を吐出する。そして、溶媒の蒸気圧を一定にして乾燥することが可能な減圧乾燥装置にガラス基板１をセットして減圧乾燥し、Ｒ、Ｇ、Ｂ、３色の着色層３を形成した。なお、１色の液状体を吐出して乾燥する工程を３回繰り返してもよい。
先の液状体の吐出工程において、ほぼ一定量の液状体が膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂごとに塗布されているので、ほぼ一定の膜厚を有する着色層３を形成することができる。なお、着色層３の膜厚は、色ごとに設定すればよく、必ずしも３色が同一でなくてもよい。必要な膜厚の設定に基づいて、必要量の液状体を対応する膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに吐出すればよい。
【００７２】
次に、図８（ｅ）に示すように、着色層３と第２隔壁部４ｂとを覆うように平坦化層１３を形成する（平坦化層形成工程）。形成方法としては、スピンコート法、ロールコート法などによりアクリル系樹脂をコーティングして乾燥させる方法が挙げられる。また、感光性アクリル樹脂をコーティングしてから紫外光を照射して硬化させる方法も採用することができる。膜厚は、およそ１００ｎｍである。なお、着色層３が形成されたガラス基板１の表面が比較的に平坦ならば、平坦化層形成工程を省いてもよい。
【００７３】
次に、図８（ｆ）に示すように、平坦化層１３の上にＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などからなる透明電極１４を成膜する（透明電極成膜工程）。成膜方法としては、ＩＴＯなどの導電材料をターゲットとして真空中で蒸着あるいはスパッタする方法が挙げられる。膜厚は、およそ１０ｎｍである。形成された透明電極１４は、カラーフィルタ２が用いられる電気光学装置によって適宜必要な形状（パターン）に加工される。なお、電気光学装置の構成によっては、透明電極１４を必要としない場合もある。
【００７４】
＜液状体の吐出方法＞
本実施形態の液状体の吐出方法について実施例を参照して、さらに詳しく説明する。本実施形態の液状体の吐出方法における基本的な考え方は、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂごとに液滴Ｄを吐出するノズル５２の選択パターン（選択の仕方）の組み合わせを、複数回の主走査において同色の膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂごとに同じとすることである。
【００７５】
（実施例１）
図９（ａ）〜（ｄ）は、実施例１の液状体の吐出方法を示す概略平面図である。
【００７６】
実施例１の液状体の吐出方法は、４回の主走査において同色の膜形成領域３ｒごとにノズル５２の選択パターンの組み合わせが同じである。また、副走査方向（Ｙ軸方向）において、膜形成領域３ｒの配置ピッチは、実質的なノズルピッチＰ２（図２（ｂ）参照）の整数倍となっていない。したがって、主走査において膜形成領域３ｒに常に同数のノズル５２が掛かるとは限らないため、複数のノズル５２と複数の膜形成領域３ｒとの相対的な位置関係に応じて、ノズル５２の選択パターンを主走査ごとに変えたものである。
【００７７】
具体的には、図９（ａ）に示すように、例えば、１回目の主走査では、ノズル列５２ｃにおける複数のノズル５２の配列方向と、同色の膜形成領域３ｒの配列方向とが一致するように、液滴吐出装置１０のヘッドユニット９とガラス基板１とを位置決めして、選択されたノズル５２から液滴Ｄを吐出する。膜形成領域３ｒ1には６つのノズルＮ1〜Ｎ6が掛かるが、膜形成領域３ｒ1内に確実に液滴Ｄを着弾させるために、膜形成領域３ｒ1の中央に近い４つのノズルＮ2〜Ｎ5を連続して選択して、主走査方向（Ｘ軸方向）にそれぞれ３滴、合計１２滴の液滴Ｄを吐出している。
【００７８】
同様にして隣接する膜形成領域３ｒ2では、３つのノズルＮ9〜Ｎ11を連続して選択して、それぞれ３滴、合計９滴の液滴Ｄを吐出している。さらに、膜形成領域３ｒ3では、４つのノズルＮ15〜Ｎ18を連続して選択して、それぞれ３滴、合計１２滴の液滴Ｄを吐出している。
【００７９】
２回目の主走査では、図９（ｂ）に示すように、膜形成領域３ｒ1では、中央に近い３つのノズルＮ3〜Ｎ5を連続して選択して、それぞれ３滴、合計９滴の液滴Ｄを吐出している。膜形成領域３ｒ2では、中央に近い４つのノズルＮ9〜Ｎ12を連続して選択して、それぞれ３滴、合計１２滴の液滴Ｄを吐出している。さらに、膜形成領域３ｒ3では、中央に近い１つのノズルＮ17を選択して、３滴の液滴Ｄを吐出している。
【００８０】
３回目の主走査では、図９（ｃ）に示すように、膜形成領域３ｒ1では、中央に近い２つのノズルＮ3，Ｎ4を連続して選択して、それぞれ３滴、合計６滴の液滴Ｄを吐出している。膜形成領域３ｒ2では、中央に近い１つのノズルＮ10を選択して、３滴の液滴Ｄを吐出している。さらに、膜形成領域３ｒ3では、中央に近い２つのノズルＮ16，Ｎ17を連続して選択して、それぞれ３滴、合計６滴の液滴Ｄを吐出している。
【００８１】
４回目の主走査では、図９（ｄ）に示すように、膜形成領域３ｒ1では、中央に近い１つのノズルＮ4を選択して、３滴の液滴Ｄを吐出している。膜形成領域３ｒ2では、中央に近い２つのノズルＮ10，Ｎ11を連続して選択して、それぞれ３滴、合計６滴の液滴Ｄを吐出している。さらに、膜形成領域３ｒ3では、中央に近い３つのノズルＮ16〜Ｎ18を連続して選択して、それぞれ３滴、合計９滴の液滴Ｄを吐出している。
【００８２】
このような４回の主走査を行うことにより、各膜形成領域３ｒ1，３ｒ2，３ｒ3にはそれぞれ合計３０滴（同じ吐出数）の液滴Ｄが吐出される。
【００８３】
実施例１では、４回の主走査が終了した時点で、各膜形成領域３ｒにおいて、選択されるノズル５２の数が１つ、２つ、３つ、４つの各選択パターンを組み合わせて液滴Ｄが吐出されている。さらには、それぞれの選択パターンにおけるノズル５２の選択方法が、同一である。具体的には、複数のノズル５２を選択する場合に、主走査方向（Ｘ軸方向）から見て副走査方向（Ｙ軸方向）に必ず連続するように選択されている。このような選択パターンの組み合わせは、他の膜形成領域３ｒにおいても同様である。
【００８４】
副走査方向に連続してノズル５２を選択して液滴Ｄを吐出する場合、前述したようにノズル間の電気的、機械的なクロストークの影響を受けて、吐出された液滴Ｄの吐出量がばらつくおそれがある。ところが、４回の主走査において、ノズル５２の選択パターンの組み合わせを同色の膜形成領域３ｒ1，３ｒ2，３ｒ3ごとに同じとすることによって、選択されたノズル５２から吐出される液滴Ｄの吐出量のばらつきが選択パターンごとに一様となり、結果的にほぼ一定量の液状体が各膜形成領域３ｒ1，３ｒ2，３ｒ3に安定的に塗布される。
さらには、膜形成領域３ｒの中央に近い少なくとも１つのノズル５２を選択して吐出しているので、液滴Ｄが中央付近に着弾する。したがって、液滴Ｄの飛行曲がりにより、不必要な液滴Ｄが隣接する膜形成領域３ｒに着弾する着弾不良（言い換えれば、必要な液滴Ｄが所望の膜形成領域３ｒに着弾しない着弾不良）を低減できる。
【００８５】
このようなノズル５２の選択パターンの組み合わせは、当然ながら他の同色の膜形成領域３ｇ，３ｂにおいても同様に行われる。なお、図９（ａ）〜（ｄ）において、主走査方向から見てノズル列５２ｃを直線的に記載したが、実際には、２つのノズル列５２ａ，５２ｂにより構成されている（図２（ｂ）参照）。したがって、ノズル間の電気的、機械的なクロストークを考慮したノズル５２の選択パターンを設定する場合、選択パターンがノズル列５２ａ，５２ｂごとに同一となるように設定することが望ましい。
【００８６】
実施例１は、４回の主走査において、複数の膜形成領域３ｒに対して常に同じ番号の複数のノズル５２が相対的に位置しているとしたが、これに限定されない。複数回の主走査においてノズル５２の選択パターンの組み合わせが同一であれば、少なくとも１回の主走査において複数のノズル５２の相対的な配置を変えてもよい。すなわち、ヘッドユニット９をＹ軸方向に移動させる副走査を入れてから主走査を行ってもよい。これにより、液滴Ｄの吐出量のばらつきを分散させることができる。
【００８７】
（実施例２）
図１０（ａ）〜（ｄ）は、実施例２の液状体の吐出方法を示す概略平面図である。実施例２の液状体の吐出方法は、実施例１に対して、ノズル５２の選択パターンを一部変えたものである。具体的には、図１０（ａ）および（ｂ）に示すように、１回目、２回目の主走査におけるノズル５２の選択パターンは、実施例１と同じである。図１０（ｃ）に示すように、３回目の主走査の膜形成領域３ｒ1，３ｒ3において、主走査方向から見て連続しないように２つのノズル５２を選択している。同様に、４回目の主走査では、図１０（ｄ）に示すように、膜形成領域３ｒ2において、主走査方向から見て連続しないように２つのノズル５２を選択している。
【００８８】
すなわち、各膜形成領域３ｒ1，３ｒ2，３ｒ3において、複数のノズル５２を選択する場合、必ずしも副走査方向に連続して選択しなくてもよい。言い換えれば、複数回の主走査においてノズル５２の選択パターンの組み合わせが同一であれば、不連続にノズル５２を選択してもよい。
【００８９】
実施例２の液状体の吐出方法によれば、実施例１の効果を奏すると共に、複数のノズル５２と膜形成領域３ｒ1，３ｒ2，３ｒ3との相対的な配置に応じて、ノズル５２の選択の自由度を高めることができる。なお、副走査方向に３つ以上のノズル５２を選択可能な場合、選択パターンが同じならば副走査方向に不連続なノズル５２の選択を含んでいてもよい。
【００９０】
（実施例３）
図１１（ａ）〜（ｄ）は、実施例３の液状体の吐出方法を示す概略平面図である。実施例３の液状体の吐出方法は、実施例１に対して、膜形成領域３ｒ1，３ｒ2，３ｒ3ごとのノズル５２の選択パターンを主走査ごとに同じとしている。また、複数回の主走査が進むに従って、ノズル５２の選択数を減らしている。
【００９１】
具体的には、図１１（ａ）に示すように、１回目の主走査では、膜形成領域３ｒ1，３ｒ2，３ｒ3ごとに連続して４つのノズル５２を選択する選択パターンを用いている。２回目の主走査では、図１１（ｂ）に示すように、連続して３つのノズル５２を選択する選択パターンを用いている。３回目の主走査では、図１１（ｃ）に示すように、連続して２つのノズル５２を選択する選択パターンを用いている。４回目の主走査では、図１１（ｄ）に示すように、１つのノズル５２を選択する選択パターンを用いている。
【００９２】
実施例３の液状体の吐出方法によれば、実施例１の効果に加えて、ノズル５２の選択パターンが主走査ごとに同一であるため、選択されたノズル５２の吐出特性が主走査ごとに安定し、吐出される液滴Ｄの吐出量のばらつきを低減することができる。
さらには、複数回の主走査が進むに従って、ノズル５２の選択数を減らしているので、急激に吐出数が増えて、液状体が膜形成領域３ｒ1，３ｒ2，３ｒ3から溢れてしまうことを防いでいる。すなわち、ほぼ一定量の液状体を安定的に塗布することができる。
【００９３】
（実施例４）
図１２（ａ）〜（ｄ）は、実施例４の液状体の吐出方法を示す概略平面図である。実施例４の液状体の吐出方法は、実施例１に対して、膜形成領域３ｒ1，３ｒ2，３ｒ3ごとのノズル５２の選択パターンを複数回（４回）の主走査に亘って一定としている。
【００９４】
具体的には、図１２（ａ）〜（ｄ）に示すように、各主走査において膜形成領域３ｒ1，３ｒ2，３ｒ3ごとに３つのノズル５２を副走査方向に連続して選択する選択パターンを用いている。また、合計の液滴数（吐出数）が膜形成領域３ｒ1，３ｒ2，３ｒ3ごとに３０滴（同数）となるように、３回目と４回目の主走査において吐出数を調整している。
【００９５】
実施例４の液状体の吐出方法によれば、実施例１の効果に加えて、複数回の主走査に亘ってノズル５２の選択パターンが同一であるため、選択されたノズル５２の吐出特性が複数回の主走査に亘って安定し、吐出される液滴Ｄの吐出量のばらつきをより低減することができる。なお、この場合も、副走査を組み合わせ、ノズル５２の選択パターンが同一であれば、少なくとも１回の主走査において複数のノズル５２の相対的な配置を変えてもよい。
【００９６】
上記実施例１〜４の図９〜図１２に示した膜形成領域３ｒ1，３ｒ2，３ｒ3ごとの液滴Ｄの着弾状態は、必ずしもその配置を示すものではなく、主走査ごとの液滴数（吐出数）を示すものである。したがって、実際には、吐出分解能が１０μｍである液滴吐出装置１０を用いることにより、膜形成領域３ｒ1，３ｒ2，３ｒ3の中央付近に集中的に液滴Ｄを吐出することが可能である。よって、膜形成領域３ｒ1，３ｒ2，３ｒ3の平面的なサイズが小さくなっても、本実施形態の液状体の吐出方法を適用することができる。
また、当然ながら液状体の塗布量は、膜形成領域３ｒ1，３ｒ2，３ｒ3の平面的且つ立体的なサイズと、これに形成される着色層３の膜厚のねらい値によって、適宜設定される。
また、上記実施例１〜４では、選択されたノズル５２から、各主走査ごとに同数の液滴Ｄを吐出したが、これに限定されない。例えば、複数回の主走査が終了した時点で、ノズル５２の選択パターンの組み合わせおよび液滴Ｄの総吐出数が同一であれば、複数のノズル５２を選択する選択パターンにおいて、吐出される液滴数（吐出数）を少なくとも１つの選択されたノズル５２において変えてもよい。これによれば、複数回の主走査によって吐出される液滴Ｄの吐出数をより細かく調整することができる。すなわち、膜形成領域３ｒ1，３ｒ2，３ｒ3ごとに塗布される液状体の塗布量がねらいの値により近づくように調整することができる。
【００９７】
（実施形態２）
＜他の液状体の吐出方法＞
次に、他の液状体の吐出方法について図１３を参照して説明する。図１３は実施形態２の駆動手段に印加される駆動波形のタイミングチャートである。
【００９８】
ＬＡＴ信号の１周期の間に発生する駆動波形は、１つに限定されない。例えば、図１３に示すように、ＬＡＴ信号の１周期ｆ2において、２つの駆動波形Ａ１，Ａ２を発生させる。そして、ＬＡＴ信号とＣＨ信号とにより、２つの駆動波形Ａ１，Ａ２のうちのいずれかを選択する制御信号の構成としてもよい。これによれば、図６に示したＬＡＴ信号および駆動波形Ａ１の構成に比べて、各駆動波形Ａ１，Ａ２の発生周期を短く設定し、高周波駆動が可能となる。このようにすれば、より短時間に必要量の液状体を対応する膜形成領域に付与することができる。
【００９９】
さらに、例えば、上記実施形態１の実施例１の液状体の吐出方法を示す図９（ａ）において、膜形成領域３ｒ1，３ｒ2，３ｒ3には、ノズルＮ2〜Ｎ5とノズルＮ9〜Ｎ11およびノズルＮ15〜Ｎ18が選択されて液滴Ｄが吐出される。
【０１００】
本実施形態の他の液状体の吐出方法は、周期的に発生する上記駆動波形Ａ１，Ａ２を順次選択する波形選択パターンを、上記選択されたノズルＮ2〜Ｎ5とノズルＮ9〜Ｎ11およびノズルＮ15〜Ｎ18に適用させるものである。
【０１０１】
具体的には、ノズルＮ2，Ｎ4，Ｎ9，Ｎ11，Ｎ16，Ｎ18に対応する圧電素子５９に駆動波形Ａ１を印加し、ノズルＮ3，Ｎ5，Ｎ10，Ｎ15，Ｎ17に対応する圧電素子５９に駆動波形Ａ２を印加する。このようにすれば、選択された複数のノズル５２のうち隣り合うノズル５２に同じ駆動波形が印加されない。すなわち、副走査方向に配列する選択された複数のノズル５２に対して２つの駆動波形Ａ１，Ａ２を順次選択する波形選択パターンを採用する。なお、波形選択の順序は、駆動波形Ａ２、駆動波形Ａ１の順でもよい。また、ＬＡＴ信号で規定される１周期に発生する駆動波形の数は、これに限定されず、３つ以上としてもよい。その場合でも、複数の駆動波形を順次選択する波形選択パターンを適用する。
【０１０２】
上記他の液状体の吐出方法によれば、周期的に発生する複数の駆動波形Ａ１，Ａ２のうちから１つを選択して、上記選択されたノズル５２の圧電素子５９に印加するので、選択された複数のノズル５２から同時に液滴Ｄが吐出されない。したがって、選択されたノズル間の少なくとも電気的なクロストークに起因する液滴Ｄの吐出量のばらつきを低減することができる。
【０１０３】
さらには、複数の駆動波形Ａ１，Ａ２を順次選択する波形選択パターンを上記ノズル５２の選択パターンに適用するので、主走査において２つの駆動波形Ａ１，Ａ２の選択が偏らず均等となる。したがって、駆動波形Ａ１，Ａ２が偏って選択された場合に起こる駆動波形Ａ１，Ａ２の鈍りが軽減される。すなわち、駆動波形Ａ１，Ａ２の鈍りに起因する液滴Ｄの吐出量のばらつきが低減され、膜形成領域３ｒ1，３ｒ2，３ｒ3ごとに塗布量のばらつきを抑えてほぼ一定量の液状体を安定的に塗布することができる。
【０１０４】
このような他の液状体の吐出方法は、他の同色の膜形成領域３ｇ，３ｂを主走査する場合にも適用されることは言うまでもない。また、上記実施形態１の実施例１〜４のすべてに適用することができる。そして、周期的に発生する複数の駆動波形Ａ１，Ａ２は、互いに同じ駆動波形でなくてもよい。駆動波形Ａ１，Ａ２における最大電位（言い換えれば駆動電圧）を変えることにより、吐出される液滴Ｄの吐出量を変えることができ、膜形成領域に塗布される液状体の塗布量をさらに微調整することが可能となる。
【０１０５】
（実施形態３）
次に、上記実施形態１の液状体の吐出方法または上記実施形態２の他の液状体の吐出方法を適用した有機ＥＬ（Electro Luminescence）素子の製造方法について、図１４および図１５を参照して説明する。図１４は有機ＥＬ装置を示す概略断面図、図１５（ａ）〜（ｆ）は有機ＥＬ素子の製造方法を示す概略断面図である。
【０１０６】
＜有機ＥＬ装置＞
図１４に示すように、本実施形態の有機ＥＬ装置６００は、有機ＥＬ素子としての発光素子部６０３を有する素子基板６０１と、素子基板６０１と空間６２２を隔てて封着された封止基板６２０とを備えている。また素子基板６０１は、素子基板６０１上に回路素子部６０２を備えており、発光素子部６０３は、回路素子部６０２上に重畳して形成され、回路素子部６０２により駆動されるものである。発光素子部６０３には、有機発光材料からなる３色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂがそれぞれの膜形成領域としての発光層形成領域Ａに形成され、ストライプ状となっている。素子基板６０１は、３色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂに対応する３つの発光層形成領域Ａを１組の絵素とし、この絵素が素子基板６０１の回路素子部６０２上にマトリクス状に配置されたものである。有機ＥＬ装置６００は、発光素子部６０３からの発光が素子基板６０１側に射出するものである。
【０１０７】
封止基板６２０は、ガラスまたは金属からなるもので、封止樹脂を介して素子基板６０１に接合されており、封止された内側の表面には、ゲッター剤６２１が貼り付けられている。ゲッター剤６２１は、素子基板６０１と封止基板６２０との間の空間６２２に侵入した水または酸素を吸収して、発光素子部６０３が侵入した水または酸素によって劣化することを防ぐものである。なお、このゲッター剤６２１は省略しても良い。
【０１０８】
素子基板６０１は、回路素子部６０２上に複数の発光層形成領域Ａを有するものであって、複数の発光層形成領域Ａを区画するバンク６１８と、複数の発光層形成領域Ａに形成された電極６１３と、電極６１３に積層された正孔注入／輸送層６１７ａとを備えている。また複数の発光層形成領域Ａ内に発光層形成材料を含む３種の液状体を付与して形成された発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂを有する発光素子部６０３を備えている。バンク６１８は、絶縁材料を用いて形成され、正孔注入／輸送層６１７ａ上に積層された発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂと電極６１３とが電気的に短絡しないように、電極６１３の周囲を覆っている。
【０１０９】
素子基板６０１は、例えばガラスなどの透明な基板からなり、素子基板６０１上にシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。なお、半導体膜６０７には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度Ｐイオン打ち込みにより形成されている。なお、Ｐイオンが導入されなかった部分がチャネル領域６０７ｃとなっている。さらに下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、ゲート絶縁膜６０８上にはＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗなどからなるゲート電極６０９が形成され、ゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。ゲート電極６０９は半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置に設けられている。また、第１層間絶縁膜６１１ａおよび第２層間絶縁膜６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ接続されるコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などからなる透明な電極６１３が所定の形状にパターニングされて配置され、一方のコンタクトホール６１２ａがこの電極６１３に接続されている。また、もう一方のコンタクトホール６１２ｂが電源線６１４に接続されている。このようにして、回路素子部６０２には、各電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５が形成されている。なお、回路素子部６０２には、保持容量とスイッチング用の薄膜トランジスタも形成されているが、図１４ではこれらの図示を省略している。
【０１１０】
発光素子部６０３は、陽極としての電極６１３と、電極６１３上に順次積層された正孔注入／輸送層６１７ａ、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ（総称して発光層Ｌｕ）と、バンク６１８と発光層Ｌｕとを覆うように積層された陰極６０４とを備えている。正孔注入／輸送層６１７ａと発光層Ｌｕとにより発光が励起される機能層６１７を構成している。なお、陰極６０４と封止基板６２０およびゲッター剤６２１を透明な材料で構成すれば、封止基板６２０側から発光する光を射出させることができる。
【０１１１】
有機ＥＬ装置６００は、ゲート電極６０９に接続された走査線（図示省略）とソース領域６０７ａに接続された信号線（図示省略）とを有し、走査線に伝わった走査信号によりスイッチング用の薄膜トランジスタ（図示省略）がオンになると、そのときの信号線の電位が保持容量に保持され、該保持容量の状態に応じて、駆動用の薄膜トランジスタ６１５のオン・オフ状態が決まる。そして、駆動用の薄膜トランジスタ６１５のチャネル領域６０７ｃを介して、電源線６１４から電極６１３に電流が流れ、さらに正孔注入／輸送層６１７ａと発光層Ｌｕとを介して陰極６０４に電流が流れる。発光層Ｌｕは、これを流れる電流量に応じて発光する。有機ＥＬ装置６００は、このような発光素子部６０３の発光メカニズムにより、所望の文字や画像などを表示することができる。また、有機ＥＬ装置６００は、発光層Ｌｕが上記実施形態１の液状体の吐出方法または上記実施形態２の他の液状体の吐出方法を用いて形成されているため、ほぼ一定量の液状体が各発光層形成領域Ａに付与され、発光ムラ、輝度ムラなどの表示不具合の少ない高い表示品質を有すると共に、高精細な表示を可能としている。
【０１１２】
＜有機ＥＬ素子の製造方法＞
次に本実施形態の有機ＥＬ素子としての発光素子部６０３の製造方法について図１５を参照して説明する。なお、図１５（ａ）〜（ｆ）においては、素子基板６０１上に形成された回路素子部６０２は、図示を省略している。
【０１１３】
本実施形態の発光素子部６０３の製造方法は、素子基板６０１の複数の発光層形成領域Ａに対応する位置に電極６１３を形成する工程と、電極６１３に一部が掛かるようにバンク６１８を形成するバンク形成工程とを備えている。またバンク６１８で区画された発光層形成領域Ａの表面処理を行う工程と、表面処理された発光層形成領域Ａに正孔注入／輸送層形成材料を含む液状体を付与して正孔注入／輸送層６１７ａを吐出描画する工程と、吐出された液状体を乾燥して正孔注入／輸送層６１７ａを成膜する工程とを備えている。また、発光層形成領域Ａに発光層形成材料を含む３種の液状体を吐出する吐出工程と、吐出された３種の液状体を乾燥して発光層Ｌｕを成膜する成膜工程とを備えている。さらに、バンク６１８と発光層Ｌｕを覆うように陰極６０４を形成する工程を備えている。各液状体の発光層形成領域Ａへの付与は、上記実施形態１の液状体の吐出方法または上記実施形態２の他の液状体の吐出方法を用いて行う。よって、図３に示したヘッドユニット９における液滴吐出ヘッド５０の配置を適用する。
【０１１４】
電極（陽極）形成工程では、図１５（ａ）に示すように、素子基板６０１の発光層形成領域Ａに対応する位置に電極６１３を形成する。形成方法としては、例えば、素子基板６０１の表面にＩＴＯなどの透明電極材料を用いて真空中でスパッタ法あるいは蒸着法で透明電極膜を形成する。その後、フォトリソグラフィ法にて必要な部分だけを残してエッチングして電極６１３を形成する方法が挙げられる。そしてバンク形成工程へ進む。
【０１１５】
バンク形成工程では、図１５（ｂ）に示すように、素子基板６０１の複数の電極６１３の周囲を覆うようにバンク６１８を形成する。バンク６１８の材料としては、後述する発光層形成材料を含む３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの溶媒に対して耐久性を有するものであることが望ましく、さらに、フッ素系ガスを処理ガスとするプラズマ処理により撥液化できること、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、感光性ポリイミドなどといった絶縁性を有する有機材料が好ましい。バンク６１８の形成方法としては、例えば、電極６１３が形成された素子基板６０１の表面に感光性の上記有機材料をロールコート法やスピンコート法で塗布し、乾燥させて厚みがおよそ２〜３μｍの感光性樹脂層を形成する。そして、発光層形成領域Ａに対応した大きさで開口部が設けられたマスクを素子基板６０１と所定の位置で対向させて露光・現像することにより、バンク６１８を形成する方法が挙げられる。そして、表面処理工程へ進む。
【０１１６】
発光層形成領域Ａを表面処理する工程では、バンク６１８が形成された素子基板６０１の表面を、まずＯ2ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより電極６１３の表面、バンク６１８の表面（壁面を含む）を活性化させて親液処理する。次にＣＦ4などのフッ素系ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより有機材料である感光性樹脂からなるバンク６１８の表面のみにフッ素系ガスが反応して撥液処理される。そして、正孔注入／輸送層形成工程へ進む。
【０１１７】
正孔注入／輸送層形成工程では、図１５（ｃ）に示すように、正孔注入／輸送層形成材料を含む液状体９０を発光層形成領域Ａに付与する。液状体９０を付与する方法としては、図３のヘッドユニット９を備えた液滴吐出装置１０と上記実施形態１の液状体の吐出方法または上記実施形態２の他の液状体の吐出方法を用いる。液滴吐出ヘッド５０から吐出された液状体９０は、液滴Ｄとして素子基板６０１の電極６１３に着弾して濡れ拡がる。液状体９０は発光層形成領域Ａの面積に応じて、ほぼ一定量が液滴Ｄとして吐出される。そして乾燥・成膜工程へ進む。
【０１１８】
乾燥・成膜工程では、素子基板６０１を例えばランプアニールなどの方法で加熱することにより、液状体９０の溶媒成分を乾燥させて除去し、電極６１３のバンク６１８により区画された領域に正孔注入／輸送層６１７ａが形成される。本実施形態では、正孔注入／輸送層形成材料として３，４−ポリエチレンジオキシチオフェン／ポリスチレンスルフォン酸（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ）を用いた。なお、本実施形態では、各発光層形成領域Ａに同一材料からなる正孔注入／輸送層６１７ａを形成したが、後に形成される発光層Ｌｕに対応して正孔注入／輸送層６１７ａの材料を発光層形成領域Ａごとに変えてもよい。そして次の液状体の吐出工程へ進む。
【０１１９】
液状体の吐出工程では、図１５（ｄ）に示すように、液滴吐出装置１０を用いて複数の液滴吐出ヘッド５０から複数の発光層形成領域Ａに発光層形成材料を含む３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂを付与する。液状体１００Ｒは発光層６１７Ｒ（赤色）を形成する材料を含み、液状体１００Ｇは発光層６１７Ｇ（緑色）を形成する材料を含み、液状体１００Ｂは発光層６１７Ｂ（青色）を形成する材料を含んでいる。着弾した各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂは、発光層形成領域Ａに濡れ拡がって断面形状が円弧状に盛り上がる。これらの液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂを付与する方法としては、上記実施形態１の液状体の吐出方法または上記実施形態２の他の液状体の吐出方法を用いた。駆動波形（電圧パルス）の設定は、液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂごとに行うことが望ましい。すなわち、各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが充填される液滴吐出ヘッド５０ごとに駆動波形の設定を行う。そして、乾燥・成膜工程へ進む。
【０１２０】
乾燥・成膜工程では、図１５（ｅ）に示すように、吐出された各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの溶媒成分を乾燥させて除去し、各発光層形成領域Ａの正孔注入／輸送層６１７ａに各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂが積層されるように成膜する。各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが吐出された素子基板６０１の乾燥方法としては、溶媒の蒸発速度をほぼ一定とすることが可能な、減圧乾燥が好ましい。そして陰極形成工程へ進む。
【０１２１】
陰極形成工程では、図１５（ｆ）に示すように、素子基板６０１の各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂとバンク６１８の表面とを覆うように陰極６０４を形成する。陰極６０４の材料としては、Ｃａ、Ｂａ、Ａｌなどの金属やＬｉＦなどのフッ化物を組み合わせて用いるのが好ましい。特に発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂに近い側に仕事関数が小さいＣａ、Ｂａ、ＬｉＦの膜を形成し、遠い側に仕事関数が大きいＡｌなどの膜を形成するのが好ましい。また、陰極６０４の上にＳｉＯ2、ＳｉＮなどの保護層を積層してもよい。このようにすれば、陰極６０４の酸化を防止することができる。陰極６０４の形成方法としては、蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法などが挙げられる。特に発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂの熱による損傷を防止できるという点では、蒸着法が好ましい。
【０１２２】
このようにして出来上がった素子基板６０１は、ほぼ一定量の各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが液滴Ｄとして発光層形成領域Ａに付与され、乾燥・成膜化後の膜厚が、それぞれの発光層形成領域Ａにおいて、ほぼ一定となった各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂを有する。
【０１２３】
上記実施形態３の発光素子部６０３の製造方法によれば、液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの吐出工程では、上記実施形態１の液状体の吐出方法または上記実施形態２の他の液状体の吐出方法を用いて素子基板６０１に配置された発光層形成領域Ａに、ほぼ一定量の各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが安定的に塗布されている。乾燥・成膜後の膜厚が、それぞれの発光層形成領域Ａにおいて、ほぼ一定となった各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂが得られる。
【０１２４】
また、上記実施形態３の発光素子部６０３の製造方法を用いて、有機ＥＬ装置６００を製造すれば、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂの膜厚がほぼ一定であるため、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂごとの抵抗がほぼ一定となる。よって、回路素子部６０２により発光素子部６０３に駆動電圧を印加して発光させると、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂごとの抵抗ムラによる発光ムラや輝度ムラなどが低減される。すなわち、発光ムラや輝度ムラなどが少なく、高精細で見映えのよい表示品質を有する有機ＥＬ装置６００を製造することができる。
【０１２５】
上記実施形態以外にも様々な変形例が考えられる。以下、変形例を挙げて説明する。
【０１２６】
（変形例１）上記実施形態１の液状体の吐出方法の実施例１〜４において、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに掛かるノズル５２に適用する駆動波形Ａ１は、吐出される異種（異色）の液状体ごとに異ならせてもよい。これによれば、液状体ごとにねらいの吐出量で液滴Ｄを吐出させることができる。
【０１２７】
（変形例２）上記実施形態１のカラーフィルタ２の製造方法において、Ｒ，Ｇ，Ｂ、３色の着色層３の配置は、ストライプ方式に限定されない。斜め方向に同色の着色層３が配列するモザイク方式、三角形の頂点にあたる位置に各色の着色層３が配置されるデルタ方式であっても、上記実施形態１の液状体の吐出方法を適用することができる。また、着色層３は３色に限定されず、Ｒ，Ｇ，Ｂ以外の色を加えた多色でもよい。
【０１２８】
（変形例３）上記実施形態２の他の液状体の吐出方法において、複数の駆動波形Ａ１，Ａ２をノズル５２の選択パターン（選択された複数のノズル５２）に適用させる方法は、これに限定されない。例えば、３つの駆動波形Ａ１，Ａ２，Ａ３を周期的に発生させる。図９（ａ）に示した１回目の主走査では、膜形成領域３ｒ1，３ｒ2，３ｒ3の選択された複数のノズル５２に対して、ノズルＮ2には駆動波形Ａ１、ノズルＮ3には駆動波形Ａ２、ノズルＮ4には駆動波形Ａ３、ノズルＮ5には駆動波形Ａ２、ノズルＮ9には駆動波形Ａ１、ノズルＮ10には駆動波形Ａ３、ノズルＮ11には駆動波形Ａ１、ノズルＮ15には駆動波形Ａ３、ノズルＮ16には駆動波形Ａ２というように適用してもよい。すなわち、選択された複数のノズル５２のうち隣り合うノズル５２に同じ駆動波形を適用せず、且つ各駆動波形Ａ１，Ａ２，Ａ３の選択がほぼ均等となるように適用することが望ましい。これによれば、ノズル間の少なくとも電気的なクロストークの発生を抑え、且つ駆動波形の鈍りによる液滴Ｄの吐出量のばらつきを低減することができる。
【０１２９】
（変形例４）上記実施形態３の発光素子部６０３の製造方法は、３色の発光層Ｌｕを形成することに限定されない。例えば、白色や赤色など単色の構成としてもよい。これによれば、単色の有機ＥＬ素子を備えた照明装置や感光装置を提供することができる。
【０１３０】
（変形例５）上記実施形態１の液状体の吐出方法および上記実施形態２の他の液状体の吐出方法において、主走査における複数のノズル５２と膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂとの相対的な位置関係は、これに限定されない。例えば、液滴吐出装置１０において回転機構７を駆動し、複数のノズル５２の配列方向と、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂの配列方向とが交差するようにヘッドユニット９をワークＷ（ガラス基板１）に対して位置決めする。これによれば、主走査において膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに掛かるノズル５２の数を増やすことができ、より高密度に液滴Ｄを着弾させることができる。
【０１３１】
（変形例６）上記実施形態１の液状体の吐出方法または上記実施形態２の他の液状体の吐出方法を適用可能なデバイスの製造方法は、カラーフィルタ２の製造方法または有機ＥＬ素子の製造方法に限定されない。前述したように正孔注入／輸送層の形成にも適用できる。また、例えば、基板上の膜形成領域に導電材料を含む液状体を吐出して、所定のパターンを有する配線を形成する金属配線の製造方法、基板上の膜形成領域に位相差膜形成材料を含む液状体を吐出して、表示用の画素を構成する位相差膜を形成する方法などにも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１３２】
【図１】液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。
【図２】（ａ）は液滴吐出ヘッドを示す斜視図、（ｂ）はノズルの配置状態を示す平面図。
【図３】ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図。
【図４】液滴吐出装置の制御系を示すブロック図。
【図５】ヘッドドライバの電気的な構成を示すブロック図。
【図６】実施形態１の駆動手段に印加される駆動波形のタイミングチャート。
【図７】（ａ）および（ｂ）はカラーフィルタの構成を示す概略平面図。
【図８】（ａ）〜（ｆ）はカラーフィルタの製造方法を示す概略断面図。
【図９】実施例１の液状体の吐出方法を示す概略平面図。
【図１０】実施例２の液状体の吐出方法を示す概略平面図。
【図１１】実施例３の液状体の吐出方法を示す概略平面図。
【図１２】実施例４の液状体の吐出方法を示す概略平面図。
【図１３】実施形態２の駆動手段に印加される駆動波形のタイミングチャート。
【図１４】有機ＥＬ装置の構造を示す概略断面図。
【図１５】（ａ）〜（ｆ）は有機ＥＬ素子の製造方法を示す概略断面図。
【符号の説明】
【０１３３】
１…基板としてのガラス基板、２…カラーフィルタ、３…着色層、３ｒ，３ｇ，３ｂ…膜形成領域、５２…ノズル、５９…駆動手段としての圧電素子、１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂ…発光層形成材料を含む液状体、６０３…有機ＥＬ素子としての発光素子部、６１７…機能層、６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ…発光層、Ａ…膜形成領域としての発光層形成領域、Ａ１，Ａ２…駆動波形、Ｄ…液滴。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機能性材料を含む液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ素子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
機能性材料を含む液状体の吐出方法として、複数のノズルからなるノズル列のうち、被吐出物の膜形成領域に掛かる隣り合うノズルからは同時に液状体を吐出しないように使用するノズルを選択して吐出を行う第１吐出工程と、膜形成領域に掛かる隣り合うノズルからは同時に液状体を吐出しないように第１吐出工程とは異なる組み合わせのノズルを選択して吐出を行う第２吐出工程と、を備えた吐出方法が知られている（特許文献１）。
【０００３】
上記吐出方法は、複数のノズルを時分割駆動する方法であって、ノズルの選択の仕方を工夫することにより、隣り合うノズル間の吐出量のバラツキを低減しようとするものである。
【０００４】
また、他の液状体の吐出方法としては、複数の被吐出部が設けられた基板と機能液を液滴として吐出可能な吐出ヘッドとを相対的に複数回走査させ、複数回の走査において、各被吐出部の領域全体に機能液を吐出する全体吐出走査を被吐出部ごとに少なくとも１回行うと共に、全体吐出走査以外の走査では被吐出部の周縁部のうち少なくとも一部を避けるように機能液を吐出する部分吐出走査を行う液滴吐出方法が知られている（特許文献２）。
【０００５】
上記液滴吐出方法は、全体吐出走査と部分吐出走査とを分けて行うことにより、異なる種類の機能液同士が混ざることを抑えることができるとしている。
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−１５２３３９号公報
【特許文献２】特開２００７−２９９４６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１の吐出方法を特許文献２の液滴吐出方法に適用することが考えられる。しかしながら、部分吐出走査における複数のノズルと複数の被吐出部との相対的な位置関係によっては、すべての被吐出部において部分吐出するようにノズルの選択を行うことが困難となるという課題がある。
【０００８】
また、ノズルごとに吐出される液滴の吐出量は、ノズル間の電気的、機械的なクロストークの影響を受け、ノズル選択の仕方に寄らず完全に同一にすることは基本的に難しいという課題がある。
【０００９】
一方で液滴吐出法を工業的に用いる場合、液滴の吐出量がある程度ばらついていても、被吐出部に機能液（液状体）を安定した塗布量で塗布することが求められている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【００１１】
［適用例１］本適用例の液状体の吐出方法は、複数のノズルと基板とを相対移動させる走査を複数回行い、前記基板上に配列された複数の膜形成領域に前記複数のノズルから液状体を液滴として吐出する吐出工程を有する液状体の吐出方法であって、前記吐出工程は、前記複数回の前記走査において前記液滴を吐出するノズルの選択パターンの組み合わせが前記膜形成領域ごとに同じであることを特徴とする。
【００１２】
液滴吐出法（インクジェット法）を用いて、複数のノズルから液状体を液滴として吐出する場合、ノズル間のクロストーク（電気的、機械的）などによりノズルごとに吐出される液滴の吐出量がばらつく。液滴の吐出量のばらつきは、吐出された液状体の塗布量に影響する。したがって、複数のノズルのうち液滴を吐出するノズルをどのように選択するかが、量的な精度に影響する。この方法によれば、走査ごとのノズルの選択パターン（選択の仕方）によって膜形成領域に吐出される液滴の吐出量がばらついたとしても、複数回の走査におけるノズルの選択パターンの組み合わせが同じであるため、複数回の走査が終了した時点では、膜形成領域ごとにほぼ一定量の液状体を安定的に吐出することができる。
【００１３】
［適用例２］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記吐出工程は、前記走査ごとに前記膜形成領域ごとの前記ノズルの選択パターンが異なるとしてもよい。
走査における複数のノズルと基板上に配列した複数の膜形成領域との相対的な位置関係によって、膜形成領域ごとに必ず同数のノズルが掛かるとは限らない。この方法によれば、走査における複数のノズルと複数の膜形成領域との相対的な位置関係に対応して、膜形成領域ごとのノズルの選択パターンを走査ごとに異ならせることにより、複数回の走査が終了した時点では、膜形成領域ごとにほぼ一定量の液状体を安定的に吐出することができる。
【００１４】
［適用例３］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記吐出工程は、前記走査ごとに前記膜形成領域ごとの前記ノズルの選択パターンが一定であることが好ましい。
この方法によれば、走査ごとに膜形成領域ごとのノズルの選択パターンを一定とすることにより、選択されたノズルの吐出特性を走査ごとに安定させることができる。したがって、膜形成領域ごとにほぼ一定量の液状体をより安定的に吐出することができる。
【００１５】
［適用例４］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記吐出工程は、前記複数回の前記走査に亘って前記膜形成領域ごとの前記ノズルの選択パターンが一定であることがより好ましい。
この方法によれば、複数回の走査に亘って選択されたノズルの吐出特性が安定するので、走査ごとにノズルの選択パターンが変わる場合に比べて、膜形成領域ごとにほぼ一定量の液状体をより安定的に吐出することができる。
【００１６】
［適用例５］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記吐出工程は、周期的に発生する複数の駆動波形のうちの１つを選択された前記ノズルの駆動手段に印加することにより前記液滴を吐出することを特徴とする。
この方法によれば、複数のノズルのうち選択されたノズルから、時分割駆動により液滴が吐出される。
したがって、膜形成領域ごとに選択されたノズルが複数であっても、当該ノズルの駆動手段に同時に駆動波形が印加されない。よって、ノズル間の電気的なクロストークにより吐出された液滴の吐出量がばらつくことを低減できる。すなわち、ほぼ一定量の液状体をばらつきを低減して安定的に吐出することができる。
【００１７】
［適用例６］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記吐出工程は、前記走査において、前記ノズルの選択パターンにより選択された複数のノズルのうち、隣り合うノズルの前記駆動手段に同じ前記駆動波形を印加せず、且つ前記複数の駆動波形ごとの選択がほぼ均等であることが好ましい。
この方法によれば、選択された複数のノズルに適用される駆動波形が特定の駆動波形に偏らず、走査において複数の駆動波形がほぼ均等に用いられる。したがって、選択されたノズルの数が増えて駆動波形が鈍ったとしても、複数の駆動波形間の鈍り方を一様とすることができる。すなわち、駆動波形の鈍りに起因する液滴の吐出量のばらつきを一様とすることができ、膜形成領域ごとにほぼ一定量の液状体を安定的に吐出することができる。
【００１８】
［適用例７］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記吐出工程は、前記走査において前記膜形成領域ごとに掛かるノズルのうち、前記膜形成領域の中央に近い少なくとも１つのノズルを用いることが好ましい。
この方法によれば、吐出すべきすべての液滴を膜形成領域の中央付近に着弾させることができる。したがって、液滴の飛行曲がりの影響により膜形成領域に必要な液滴が着弾しない、あるいは不必要な液滴が着弾することを低減して、ほぼ一定量の液状体を安定的に吐出することができる。
【００１９】
［適用例８］本適用例のカラーフィルタの製造方法は、基板上の複数の膜形成領域に複数色の着色層を有するカラーフィルタの製造方法であって、上記適用例の液状体の吐出方法を用い、着色層形成材料を含む複数色の液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を固化して前記複数色の着色層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とする。
【００２０】
この方法によれば、上記適用例の液状体の吐出方法を用いている。したがって、吐出工程では、同色の膜形成領域にほぼ一定量の対応する色の液状体を安定的に吐出し、成膜工程では、同色の膜形成領域において、ほぼ同等の膜厚を有する着色層を形成することができる。すなわち、色ごとに安定した光学特性を有するカラーフィルタを製造することができる。
【００２１】
［適用例９］本適用例の有機ＥＬ素子の製造方法は、基板上の複数の膜形成領域に発光層を含む機能層を有する有機ＥＬ素子の製造方法であって、上記適用例の液状体の吐出方法を用い、発光層形成材料を含む液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を固化して前記発光層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とする。
【００２２】
この方法によれば、上記適用例の液状体の吐出方法を用いている。したがって、吐出工程では、膜形成領域にほぼ一定量の液状体を安定的に吐出し、成膜工程では、膜形成領域ごとにほぼ同等の膜厚を有する発光層を形成することができる。すなわち、安定した発光特性を有する有機ＥＬ素子を製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面を参照して説明する。
【００２４】
（実施形態１）
＜液滴吐出装置＞
まず、液状体を液滴として吐出可能な液滴吐出装置について図１〜図６を参照して説明する。図１は、液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。
【００２５】
図１に示すように、液滴吐出装置１０は、ワークＷを主走査方向（Ｘ軸方向）に移動させるワーク移動機構２０と、ヘッドユニット９を副走査方向（Ｙ軸方向）に移動させるヘッド移動機構３０とを備えている。
【００２６】
ワーク移動機構２０は、一対のガイドレール２１と、一対のガイドレール２１に沿って移動する移動台２２と、移動台２２上に回転機構６を介して配設されたワークＷを載置するステージ５とを備えている。
移動台２２は、ガイドレール２１の内部に設けられたエアスライダとリニアモータ（図示省略）により主走査方向に移動する。移動台２２には、タイミング信号生成部としてのエンコーダ１２（図４参照）が設けられている。
エンコーダ１２は、移動台２２の主走査方向への相対移動に伴って、ガイドレール２１に並設されたリニアスケール（図示省略）の目盛を読み取って、タイミング信号としてのエンコーダパルスを生成する。
ステージ５はワークＷを吸着固定可能であると共に、回転機構６によってワークＷ内の基準軸を正確に主走査方向、副走査方向に合わせることが可能となっている。なお、エンコーダ１２の配設は、これに限らず、例えば、移動台２２を回転軸に沿ってＸ軸方向に相対移動するよう構成し、回転軸を回転させる駆動部を設けた場合には、エンコーダ１２を駆動部に設けてもよい。駆動部としては、サーボモータなどが挙げられる。
【００２７】
ヘッド移動機構３０は、一対のガイドレール３１と、一対のガイドレール３１に沿って移動する移動台３２とを備えている。移動台３２には、回転機構７を介して吊設されたキャリッジ８が設けられている。
キャリッジ８には、複数の液滴吐出ヘッド５０（図２参照）が搭載されたヘッドユニット９が取り付けられている。
また、液滴吐出ヘッド５０に液状体を供給するための液状体供給機構（図示省略）と、複数の液滴吐出ヘッド５０の電気的な駆動制御を行うためのヘッドドライバ４８（図４参照）とが設けられている。
移動台３２がキャリッジ８をＹ軸方向に移動させてヘッドユニット９をワークＷに対して対向配置する。
【００２８】
液滴吐出装置１０は、上記構成の他にも、ヘッドユニット９に搭載された複数の液滴吐出ヘッド５０のノズル目詰まり解消、ノズル面の異物や汚れの除去などのメンテナンスを行うメンテナンス機構が、複数の液滴吐出ヘッド５０を臨む位置に配設されている。
また、液滴吐出ヘッド５０ごとに吐出された液状体を受けて、その重量を計測する電子天秤などの計測器を有する重量計測機構を備えている。図１では、メンテナンス機構および重量計測機構は、図示省略した。
【００２９】
図２は液滴吐出ヘッドの構造を示す概略図である。同図（ａ）は斜視図、同図（ｂ）はノズルの配置状態を示す平面図である。
【００３０】
図２（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド５０は、所謂２連のものであり、２連の接続針５４を有する液状体の導入部５３と、導入部５３に積層されたヘッド基板５５と、ヘッド基板５５上に配置され内部に液状体のヘッド内流路が形成されたヘッド本体５６とを備えている。接続針５４は、前述した液状体供給機構（図示省略）に配管を経由して接続され、液状体をヘッド内流路に供給する。ヘッド基板５５には、フレキシブルフラットケーブル（図示省略）を介してヘッドドライバ４８（図４参照）に接続される２連のコネクタ５８が設けられている。
【００３１】
ヘッド本体５６は、圧電素子で構成されたキャビティを有する加圧部５７と、ノズル面５１ａに２つのノズル列５２ａ，５２ｂが相互に平行に形成されたノズルプレート５１とを有している。
【００３２】
図２（ｂ）に示すように、２つのノズル列５２ａ，５２ｂは、それぞれ複数（１８０個）のノズル５２がピッチＰ１で略等間隔に並べられており、互いにピッチＰ１の半分のピッチＰ２ずれた状態でノズルプレート５１に配設されている。この場合、ピッチＰ１は、およそ１４１μｍである。よって、ノズル列５２ｃに直交する方向から見ると３６０個のノズル５２がおよそ７０．５μｍのノズルピッチで配列した状態となっている。以降説明上、ノズル５２の間隔は、ノズルピッチＰ２とする。また、ノズル５２の径は、およそ２７μｍである。
【００３３】
液滴吐出ヘッド５０は、ヘッドドライバ４８から電気信号としての駆動信号が圧電素子に印加されると加圧部５７のキャビティの体積変動が起こり、これによるポンプ作用でキャビティに充填された液状体が加圧され、ノズル５２から液状体を液滴として吐出することができる。
【００３４】
液滴吐出ヘッド５０における駆動手段は、圧電素子に限らない。アクチュエータとしての振動板を静電吸着により変位させる電気機械変換素子や、液状体を加熱してノズル５２から液滴として吐出させる電気熱変換素子（サーマル方式）でもよい。
【００３５】
図３は、ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図である。詳しくは、ワークＷに対向する側から見た図である。
【００３６】
図３に示すように、ヘッドユニット９は、複数の液滴吐出ヘッド５０が配設されるヘッドプレート９ａを備えている。ヘッドプレート９ａには、３つの液滴吐出ヘッド５０からなるヘッド群５０Ａと、同じく３つの液滴吐出ヘッド５０からなるヘッド群５０Ｂの合計６個の液滴吐出ヘッド５０が搭載されている。この場合、ヘッド群５０ＡのヘッドＲ１（液滴吐出ヘッド５０）とヘッド群５０ＢのヘッドＲ２（液滴吐出ヘッド５０）とは同種の液状体を吐出する。他のヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同様である。すなわち、３種の異なる液状体を吐出可能な構成となっている。
【００３７】
１つの液滴吐出ヘッド５０によって描画可能な描画幅をＬ0とし、これをノズル列５２ｃの有効長とする。以降、ノズル列５２ｃとは、３６０個のノズル５２から構成されるものを指す。
【００３８】
この場合、ヘッドＲ１とヘッドＲ２は、主走査方向（Ｘ軸方向）から見て隣り合うノズル列５２ｃが主走査方向と直交する副走査方向（Ｙ軸方向）に１ノズルピッチを置いて連続するように主走査方向に並列して配設されている。したがって、同種の液状体を吐出するヘッドＲ１とヘッドＲ２の有効な描画幅Ｌ1は、描画幅Ｌ0の２倍となっている。ヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同様に主走査方向に並列して配置されている。
【００３９】
なお、液滴吐出ヘッド５０に設けられるノズル列５２ｃは、２連に限らず、１連でもよい。
【００４０】
次に液滴吐出装置１０の制御系について説明する。図４は、液滴吐出装置の制御系を示すブロック図である。図４に示すように、液滴吐出装置１０の制御系は、液滴吐出ヘッド５０、ワーク移動機構２０、ヘッド移動機構３０などを駆動する各種ドライバを有する駆動部４６と、駆動部４６を含め液滴吐出装置１０を制御する制御部４０とを備えている。
【００４１】
駆動部４６は、ワーク移動機構２０およびヘッド移動機構３０の各リニアモータをそれぞれ駆動制御する移動用ドライバ４７と、液滴吐出ヘッド５０を吐出制御するヘッド駆動部としてのヘッドドライバ４８とを備えている。この他にも重量計測用ドライバと、メンテナンス用ドライバとを備えているが図示省略した。
【００４２】
制御部４０は、ＣＰＵ４１と、ＲＯＭ４２と、ＲＡＭ４３と、Ｐ−ＣＯＮ４４とを備え、これらは互いにバス４５を介して接続されている。Ｐ−ＣＯＮ４４には、上位コンピュータ１１が接続されている。ＲＯＭ４２は、ＣＰＵ４１で処理する制御プログラムなどを記憶する制御プログラム領域と、描画動作や機能回復処理などを行うための制御データなどを記憶する制御データ領域とを有している。
【００４３】
ＲＡＭ４３は、ワークＷに描画を行うための描画データを記憶する描画データ記憶部、ワークＷおよび液滴吐出ヘッド５０（実際には、ノズル列５２ａ，５２ｂ）の位置データを記憶する位置データ記憶部などの各種記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。Ｐ−ＣＯＮ４４には、駆動部４６の各種ドライバなどが接続されており、ＣＰＵ４１の機能を補うと共に、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ４４は、上位コンピュータ１１からの各種指令などをそのままあるいは加工してバス４５に取り込むと共に、ＣＰＵ４１と連動して、ＣＰＵ４１などからバス４５に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部４６に出力する。
【００４４】
そして、ＣＰＵ４１は、ＲＯＭ４２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して各種検出信号、各種指令、各種データなどを入力し、ＲＡＭ４３内の各種データなどを処理した後、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して駆動部４６などに各種の制御信号を出力することにより、液滴吐出装置１０全体を制御している。例えば、ＣＰＵ４１は、液滴吐出ヘッド５０、ワーク移動機構２０およびヘッド移動機構３０を制御して、ヘッドユニット９とワークＷとを対向配置させる。そして、ヘッドユニット９とワークＷとの相対移動に同期して、ヘッドユニット９に搭載された各液滴吐出ヘッド５０の複数のノズル５２からワークＷに液状体を液滴として吐出するようにヘッドドライバ４８に制御信号を送出する。この場合、Ｘ軸方向へのワークＷの移動に同期して液状体を吐出することを主走査と呼び、Ｙ軸方向にヘッドユニット９を移動させることを副走査と呼ぶ。本実施形態の液滴吐出装置１０は、主走査と副走査とを組み合わせて複数回繰り返すことにより液状体を吐出描画することができる。主走査は、液滴吐出ヘッド５０に対して一方向へのワークＷの移動に限らず、ワークＷを往復させて行うこともできる。
【００４５】
エンコーダ１２は、ヘッドドライバ４８に電気的に接続され、主走査に伴ってエンコーダパルスを生成する。主走査では、所定の移動速度で移動台２２を移動させるので、エンコーダパルスが周期的に発生する。
【００４６】
上位コンピュータ１１は、制御プログラムや制御データなどの制御情報を液滴吐出装置１０に送出する。また、基板上の膜形成領域ごとに必要量の液状体を液滴として配置する吐出制御データとしての配置情報を生成する配置情報生成部の機能を有している。配置情報は、膜形成領域における液滴の吐出位置（言い換えれば、ワークＷとノズル５２との相対位置）、液滴の配置数（言い換えれば、ノズル５２ごとの吐出数）、主走査における複数のノズル５２のＯＮ／ＯＦＦ（言い換えれば、複数のノズル５２の選択パターン）、吐出タイミングなどの情報を、例えば、ビットマップとして表したものである。上位コンピュータ１１は、上記配置情報を生成するだけでなく、ＲＡＭ４３に一旦格納された上記配置情報を修正することも可能である。
【００４７】
次に図５、図６を参照して、ヘッドドライバについて説明する。図５はヘッドドライバの電気的な構成を示すブロック図、図６は駆動手段に印加される駆動波形のタイミングチャートである。
【００４８】
図５に示すように、ヘッド駆動部としてのヘッドドライバ４８は、ＣＰＵ７１と、２つのメモリ７２，７３と、駆動信号（ＣＯＭ）を生成する駆動信号生成回路７４と、クロック信号（ＣＫ）を生成する発信回路７５と、エンコーダ１２に接続されエンコーダパルスをカウント（計数）するカウンタ７６と、を備えている。また、シフトレジスタ８１と、ラッチ回路８２と、レベルシフタ８３と、スイッチ８４とを備えている。これらの電気的な構成はバス７７を介して接続されている。これにより、液滴吐出ヘッド５０の各ノズル５２に対応する圧電素子５９に選択的に駆動信号（ＣＯＭ）を印加できるように構成されている。
【００４９】
ＣＰＵ７１は、駆動信号をデジタルデータとして生成し、メモリ７２に記憶（格納）させる。駆動信号生成回路７４は、当該デジタルデータをアナログ信号に変換して圧電素子５９に印加する駆動信号（ＣＯＭ）を生成する。メモリ７２は、例えば、ＳＲＡＭである。
【００５０】
なお、本実施形態において、発信回路７５は、２０ＭＨｚの水晶振動子を基準クロックとしてクロック信号を生成している。ＣＰＵ７１は、クロック信号に基づいて駆動信号（ＣＯＭ）をデジタルデータとして生成している。したがって、０．０５μｓｅｃ刻みでの駆動信号（ＣＯＭ）の設定が可能である。また、０．０５μｓｅｃ刻みで液滴を吐出する吐出タイミングの制御が可能である。
【００５１】
上位コンピュータ１１は、ワークＷ上において液滴をドットとして配置する吐出制御データとしての配置情報をヘッドドライバ４８に伝送する。伝送された配置情報は、主走査における往動と復動とに分けて生成されており、一時的にメモリ７３に記憶（格納）される。メモリ７３は、例えば、ＳＤＲＡＭである。
【００５２】
配置情報は、ワークＷに対する複数のノズル５２の相対的な吐出予定位置、液滴を吐出するノズル５２の選択、液滴の吐出回数、液滴を吐出する際の吐出タイミング情報を含むものである。吐出タイミング情報は、主走査においてエンコーダ１２が生成するエンコーダパルスの出力数を、吐出予定位置に対応させて数値化したものである。そしてＣＰＵ７１は、これらの吐出制御データに基づいて、ノズルデータ信号（ＳＩ）や駆動信号（ＣＯＭ）を、ノズル列単位ごとに次のように生成する。
【００５３】
すなわち、ＣＰＵ７１は、吐出制御データをデコードしてノズル５２ごとのＯＮ／ＯＦＦ情報を含むノズルデータを生成する。また、駆動信号生成回路７４は、ＣＰＵ７１が算出したノズルデータに基づいて駆動信号（ＣＯＭ）の設定および生成を行う。
【００５４】
ノズルデータをシリアル信号化したノズルデータ信号（ＳＩ）は、クロック信号（ＣＫ）に同期してシフトレジスタ８１に伝送され、ノズル５２ごとのＯＮ／ＯＦＦ情報がそれぞれ記憶される。そして、カウンタ７６がカウントしたエンコーダパルスに同期して、ＣＰＵ７１が生成したラッチ信号（ＬＡＴ）が各ラッチ回路８２に入力されることで、ノズルデータがラッチされる。ラッチされたノズルデータはレベルシフタ８３によって増幅され、ノズルデータが「ＯＮ」の場合には所定の電圧がスイッチ８４に供給される。また、ノズルデータが「ＯＦＦ」の場合には、スイッチ８４への電圧供給は行われない。
【００５５】
かくして、レベルシフタ８３で昇圧された電圧がスイッチ８４に供給されている間は、圧電素子５９に駆動信号（ＣＯＭ）が印加され、液滴がノズル５２から吐出される。
【００５６】
このような吐出制御は、ヘッドユニット９とワークＷとの相対移動（主走査）に同期して、図６に示すように周期的に行われる。
【００５７】
図６に示すように、圧電素子５９を駆動する駆動信号ＣＯＭは、中間電位を挟んで振幅する矩形状のパルス信号を組み合わせたものであり、周期的に発生する複数の駆動波形Ａ１からなる。一つの駆動波形Ａ１によって、次のように一つの液滴を吐出するようになっている。
【００５８】
すなわち、パルス信号の電位レベルを上昇させることにより、液状体を加圧部５７（図２参照）のキャビティ内に引き込む。次に、電位レベルを急峻に下降させることにより、キャビティ内の液状体を急激に加圧し、液状体をノズル５２から押し出して液滴化する（吐出）。最後に降下した電位レベルを中間電位に戻すことによって、キャビティ内の圧力振動（固有振動）を打ち消す。
【００５９】
駆動波形Ａ１における電圧成分や時間成分（パルス信号の傾きやパルス信号間の接続間隔など）などは、吐出量や吐出安定性などに大きく関わっているパラメータであり、予め適切な設計を要するものである。
本実施形態では、主走査における液滴吐出ヘッド５０とワークＷとの相対移動速度（ステージ５をＸ軸方向に移動させる移動速度）が２００ｍｍ／秒に設定されている。また、ＬＡＴ信号の発生タイミングｆ1は、移動台２２に備えられたエンコーダ１２が出力するエンコーダパルスを基準とし、液滴吐出ヘッド５０の固有周波数特性を考慮して２０ｋＨｚに設定されている。したがって、吐出分解能が相対移動速度をラッチ周期で除したものとすれば、吐出分解能の単位が１０μｍとなる。すなわち、吐出分解能の単位でノズル５２ごとに吐出タイミングを設定することが可能である。言い換えればワークＷの表面に１０μｍ単位の吐出間隔で主走査方向に液滴を配置することができる。
【００６０】
このような液滴吐出装置１０によれば、ワークＷに対して位置精度よく、液滴を吐出することができる。
【００６１】
前述したように液滴吐出ヘッド５０は、複数のノズル５２からなる２つのノズル列５２ａ，５２ｂ（総称してノズル列５２ｃ）を有している。上記のような駆動波形Ａ１を圧電素子５９に印加して複数のノズル５２から液滴を吐出した場合、ノズル５２ごとに設けられた圧電素子５９の固有電気特性のばらつきや、それぞれのノズル５２に連通するキャビティなどヘッド内流路の設計上の違いなどにより、ノズル５２ごとに吐出された液滴の吐出量がばらつくことが判明している。特にノズル間における電気的、機械的なクロストークは、吐出量のばらつきにおける重要な因子である。
【００６２】
上記液滴吐出装置１０では、このような吐出量のばらつきを考慮して、液滴を吐出するノズル５２の選択パターンを工夫することで、液状体の塗布量を安定化させている。具体的には、後述する液状体の吐出方法において説明する。
【００６３】
＜カラーフィルタの製造方法＞
次に、本実施形態の液状体の吐出方法について、カラーフィルタの製造方法を例に、図７〜図１２を参照して説明する。図７（ａ）および（ｂ）はカラーフィルタの構成を示す概略平面図、図８（ａ）〜（ｆ）はカラーフィルタの製造方法を示す概略断面図、図９〜図１２は液状体の吐出方法の実施例を示す概略平面図である。
【００６４】
図７（ａ）に示すように、カラーフィルタ２は、用いられる電気光学装置のサイズに応じて、透明なガラス基板１の表面に単数あるいは複数配設されている。同図（ａ）では、１つのガラス基板１に６つのカラーフィルタ２が所定の間隔を置いて、Ｘ軸方向とＹ軸方向とにマトリクス状に配置された例を示している。なお、カラーフィルタ２を形成する基板は、ガラスに限定されない。透明な樹脂を原料とするプラスチック基板でもよい。
【００６５】
図７（ｂ）に示すように、カラーフィルタ２は、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）、３色の着色層３を有している。着色層３は、それぞれ隔壁部４で区画されており、同色の着色層３がＹ軸方向（副走査方向）に配列し、異なる色の着色層３がＸ軸方向（主走査方向）に繰り返し配列している。すなわち、カラーフィルタ２は、ストライプ方式の着色層３の配置を採用している。
【００６６】
このようなカラーフィルタ２の製造方法は、液滴吐出装置１０を用い、隔壁部４で区画された膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに、着色層形成材料を含む３色の液状体を液滴として吐出する吐出工程と、吐出された液状体を乾燥させることにより３色の着色層３を形成する成膜工程とを備えている。吐出工程では、ガラス基板１を着色層３のストライプ方向がＹ軸方向と合致するようにステージ５に載置して、液滴吐出ヘッド５０とガラス基板１とを対向配置させ、Ｘ軸方向にステージ５を相対移動させる主走査を行う。各膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに必要量の液状体が付与されるように、複数回の主走査を行って３色の液状体をそれぞれ液滴として吐出する。
【００６７】
まず、図８（ａ）に示すように、ガラス基板１の表面に、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂを区画するように隔壁部４を形成する（隔壁部形成工程）。形成方法としては、真空蒸着法やスパッタ法により、ＣｒやＡｌなどの金属膜または金属化合物の膜をガラス基板１の表面に遮光性を有するように成膜する。そしてフォトリソグラフィ法により、感光性樹脂（フォトレジスト）を塗布して膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂが開口するように露光・現像・エッチングして第１隔壁部４ａを形成する。続いてフォトリソグラフィ法により、感光性の隔壁部形成材料をおよそ２μｍの厚みで塗布して露光・現像し、第１隔壁部４ａ上に第２隔壁部４ｂを形成する。隔壁部４は、第１隔壁部４ａと第２隔壁部４ｂとからなる所謂二層バンク構造となっている。なお、隔壁部４は、これに限らず、遮光性を有する感光性の隔壁部形成材料を用いて形成した第２隔壁部４ｂのみの一層構造としてもよい。
【００６８】
次に、後の液状体の吐出工程において、吐出された液状体が膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに着弾して濡れ拡がるように、ガラス基板１の表面を親液処理する。また、吐出された液状体の一部が第２隔壁部４ｂに着弾したとしても膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂ内に収まるように、第２隔壁部４ｂの少なくとも頭頂部を撥液処理する。
【００６９】
表面処理方法としては、隔壁部４が形成されたガラス基板１に対して、Ｏ2を処理ガスとするプラズマ処理とフッ素系ガスを処理ガスとするプラズマ処理とを行う。すなわち、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂが親液処理され、その後感光性樹脂からなる第２隔壁部４ｂの表面（壁面を含む）が撥液処理される。なお、第２隔壁部４ｂを形成する材料自体が撥液性を有していれば後者の処理を省くこともできる。
【００７０】
続いて、液滴吐出装置１０のステージ５に表面処理されたガラス基板１を載置する。そして、図８（ｂ）および（ｃ）に示すように、ガラス基板１が載置されたステージ５と液滴吐出ヘッド５０との主走査方向への相対移動に同期して、着色層形成材料を含む液状体が充填された液滴吐出ヘッド５０の複数のノズル５２から液状体を液滴Ｄとして膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに吐出する（液状体の吐出工程）。膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに吐出される液状体の塗布量は、あらかじめ膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂごとに選択されるノズル５２の選択パターンと液滴Ｄの吐出数などが主走査ごとに設定された吐出データに基づいて、制御部４０のＣＰＵ４１から適正な制御信号がヘッドドライバ４８に送られて制御される。これにより、ほぼ一定量の液状体が膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂごとに塗布される。より詳しい液状体の吐出方法は後述する実施例にて説明する。
【００７１】
次に、図８（ｄ）に示すように、ガラス基板１に吐出された液状体から溶媒成分を蒸発させて、着色層形成材料からなる着色層３を成膜する（成膜工程）。本実施形態では、液状体の吐出工程で異なる着色層形成材料を含む３色の液状体をそれぞれ異なる液滴吐出ヘッド５０に充填し、当該液滴吐出ヘッド５０をヘッドユニット９に装備して、各液滴吐出ヘッド５０から所望の膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに液状体を吐出する。そして、溶媒の蒸気圧を一定にして乾燥することが可能な減圧乾燥装置にガラス基板１をセットして減圧乾燥し、Ｒ、Ｇ、Ｂ、３色の着色層３を形成した。なお、１色の液状体を吐出して乾燥する工程を３回繰り返してもよい。
先の液状体の吐出工程において、ほぼ一定量の液状体が膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂごとに塗布されているので、ほぼ一定の膜厚を有する着色層３を形成することができる。なお、着色層３の膜厚は、色ごとに設定すればよく、必ずしも３色が同一でなくてもよい。必要な膜厚の設定に基づいて、必要量の液状体を対応する膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに吐出すればよい。
【００７２】
次に、図８（ｅ）に示すように、着色層３と第２隔壁部４ｂとを覆うように平坦化層１３を形成する（平坦化層形成工程）。形成方法としては、スピンコート法、ロールコート法などによりアクリル系樹脂をコーティングして乾燥させる方法が挙げられる。また、感光性アクリル樹脂をコーティングしてから紫外光を照射して硬化させる方法も採用することができる。膜厚は、およそ１００ｎｍである。なお、着色層３が形成されたガラス基板１の表面が比較的に平坦ならば、平坦化層形成工程を省いてもよい。
【００７３】
次に、図８（ｆ）に示すように、平坦化層１３の上にＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などからなる透明電極１４を成膜する（透明電極成膜工程）。成膜方法としては、ＩＴＯなどの導電材料をターゲットとして真空中で蒸着あるいはスパッタする方法が挙げられる。膜厚は、およそ１０ｎｍである。形成された透明電極１４は、カラーフィルタ２が用いられる電気光学装置によって適宜必要な形状（パターン）に加工される。なお、電気光学装置の構成によっては、透明電極１４を必要としない場合もある。
【００７４】
＜液状体の吐出方法＞
本実施形態の液状体の吐出方法について実施例を参照して、さらに詳しく説明する。本実施形態の液状体の吐出方法における基本的な考え方は、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂごとに液滴Ｄを吐出するノズル５２の選択パターン（選択の仕方）の組み合わせを、複数回の主走査において同色の膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂごとに同じとすることである。
【００７５】
（実施例１）
図９（ａ）〜（ｄ）は、実施例１の液状体の吐出方法を示す概略平面図である。
【００７６】
実施例１の液状体の吐出方法は、４回の主走査において同色の膜形成領域３ｒごとにノズル５２の選択パターンの組み合わせが同じである。また、副走査方向（Ｙ軸方向）において、膜形成領域３ｒの配置ピッチは、実質的なノズルピッチＰ２（図２（ｂ）参照）の整数倍となっていない。したがって、主走査において膜形成領域３ｒに常に同数のノズル５２が掛かるとは限らないため、複数のノズル５２と複数の膜形成領域３ｒとの相対的な位置関係に応じて、ノズル５２の選択パターンを主走査ごとに変えたものである。
【００７７】
具体的には、図９（ａ）に示すように、例えば、１回目の主走査では、ノズル列５２ｃにおける複数のノズル５２の配列方向と、同色の膜形成領域３ｒの配列方向とが一致するように、液滴吐出装置１０のヘッドユニット９とガラス基板１とを位置決めして、選択されたノズル５２から液滴Ｄを吐出する。膜形成領域３ｒ1には６つのノズルＮ1〜Ｎ6が掛かるが、膜形成領域３ｒ1内に確実に液滴Ｄを着弾させるために、膜形成領域３ｒ1の中央に近い４つのノズルＮ2〜Ｎ5を連続して選択して、主走査方向（Ｘ軸方向）にそれぞれ３滴、合計１２滴の液滴Ｄを吐出している。
【００７８】
同様にして隣接する膜形成領域３ｒ2では、３つのノズルＮ9〜Ｎ11を連続して選択して、それぞれ３滴、合計９滴の液滴Ｄを吐出している。さらに、膜形成領域３ｒ3では、４つのノズルＮ15〜Ｎ18を連続して選択して、それぞれ３滴、合計１２滴の液滴Ｄを吐出している。
【００７９】
２回目の主走査では、図９（ｂ）に示すように、膜形成領域３ｒ1では、中央に近い３つのノズルＮ3〜Ｎ5を連続して選択して、それぞれ３滴、合計９滴の液滴Ｄを吐出している。膜形成領域３ｒ2では、中央に近い４つのノズルＮ9〜Ｎ12を連続して選択して、それぞれ３滴、合計１２滴の液滴Ｄを吐出している。さらに、膜形成領域３ｒ3では、中央に近い１つのノズルＮ17を選択して、３滴の液滴Ｄを吐出している。
【００８０】
３回目の主走査では、図９（ｃ）に示すように、膜形成領域３ｒ1では、中央に近い２つのノズルＮ3，Ｎ4を連続して選択して、それぞれ３滴、合計６滴の液滴Ｄを吐出している。膜形成領域３ｒ2では、中央に近い１つのノズルＮ10を選択して、３滴の液滴Ｄを吐出している。さらに、膜形成領域３ｒ3では、中央に近い２つのノズルＮ16，Ｎ17を連続して選択して、それぞれ３滴、合計６滴の液滴Ｄを吐出している。
【００８１】
４回目の主走査では、図９（ｄ）に示すように、膜形成領域３ｒ1では、中央に近い１つのノズルＮ4を選択して、３滴の液滴Ｄを吐出している。膜形成領域３ｒ2では、中央に近い２つのノズルＮ10，Ｎ11を連続して選択して、それぞれ３滴、合計６滴の液滴Ｄを吐出している。さらに、膜形成領域３ｒ3では、中央に近い３つのノズルＮ16〜Ｎ18を連続して選択して、それぞれ３滴、合計９滴の液滴Ｄを吐出している。
【００８２】
このような４回の主走査を行うことにより、各膜形成領域３ｒ1，３ｒ2，３ｒ3にはそれぞれ合計３０滴（同じ吐出数）の液滴Ｄが吐出される。
【００８３】
実施例１では、４回の主走査が終了した時点で、各膜形成領域３ｒにおいて、選択されるノズル５２の数が１つ、２つ、３つ、４つの各選択パターンを組み合わせて液滴Ｄが吐出されている。さらには、それぞれの選択パターンにおけるノズル５２の選択方法が、同一である。具体的には、複数のノズル５２を選択する場合に、主走査方向（Ｘ軸方向）から見て副走査方向（Ｙ軸方向）に必ず連続するように選択されている。このような選択パターンの組み合わせは、他の膜形成領域３ｒにおいても同様である。
【００８４】
副走査方向に連続してノズル５２を選択して液滴Ｄを吐出する場合、前述したようにノズル間の電気的、機械的なクロストークの影響を受けて、吐出された液滴Ｄの吐出量がばらつくおそれがある。ところが、４回の主走査において、ノズル５２の選択パターンの組み合わせを同色の膜形成領域３ｒ1，３ｒ2，３ｒ3ごとに同じとすることによって、選択されたノズル５２から吐出される液滴Ｄの吐出量のばらつきが選択パターンごとに一様となり、結果的にほぼ一定量の液状体が各膜形成領域３ｒ1，３ｒ2，３ｒ3に安定的に塗布される。
さらには、膜形成領域３ｒの中央に近い少なくとも１つのノズル５２を選択して吐出しているので、液滴Ｄが中央付近に着弾する。したがって、液滴Ｄの飛行曲がりにより、不必要な液滴Ｄが隣接する膜形成領域３ｒに着弾する着弾不良（言い換えれば、必要な液滴Ｄが所望の膜形成領域３ｒに着弾しない着弾不良）を低減できる。
【００８５】
このようなノズル５２の選択パターンの組み合わせは、当然ながら他の同色の膜形成領域３ｇ，３ｂにおいても同様に行われる。なお、図９（ａ）〜（ｄ）において、主走査方向から見てノズル列５２ｃを直線的に記載したが、実際には、２つのノズル列５２ａ，５２ｂにより構成されている（図２（ｂ）参照）。したがって、ノズル間の電気的、機械的なクロストークを考慮したノズル５２の選択パターンを設定する場合、選択パターンがノズル列５２ａ，５２ｂごとに同一となるように設定することが望ましい。
【００８６】
実施例１は、４回の主走査において、複数の膜形成領域３ｒに対して常に同じ番号の複数のノズル５２が相対的に位置しているとしたが、これに限定されない。複数回の主走査においてノズル５２の選択パターンの組み合わせが同一であれば、少なくとも１回の主走査において複数のノズル５２の相対的な配置を変えてもよい。すなわち、ヘッドユニット９をＹ軸方向に移動させる副走査を入れてから主走査を行ってもよい。これにより、液滴Ｄの吐出量のばらつきを分散させることができる。
【００８７】
（実施例２）
図１０（ａ）〜（ｄ）は、実施例２の液状体の吐出方法を示す概略平面図である。実施例２の液状体の吐出方法は、実施例１に対して、ノズル５２の選択パターンを一部変えたものである。具体的には、図１０（ａ）および（ｂ）に示すように、１回目、２回目の主走査におけるノズル５２の選択パターンは、実施例１と同じである。図１０（ｃ）に示すように、３回目の主走査の膜形成領域３ｒ1，３ｒ3において、主走査方向から見て連続しないように２つのノズル５２を選択している。同様に、４回目の主走査では、図１０（ｄ）に示すように、膜形成領域３ｒ2において、主走査方向から見て連続しないように２つのノズル５２を選択している。
【００８８】
すなわち、各膜形成領域３ｒ1，３ｒ2，３ｒ3において、複数のノズル５２を選択する場合、必ずしも副走査方向に連続して選択しなくてもよい。言い換えれば、複数回の主走査においてノズル５２の選択パターンの組み合わせが同一であれば、不連続にノズル５２を選択してもよい。
【００８９】
実施例２の液状体の吐出方法によれば、実施例１の効果を奏すると共に、複数のノズル５２と膜形成領域３ｒ1，３ｒ2，３ｒ3との相対的な配置に応じて、ノズル５２の選択の自由度を高めることができる。なお、副走査方向に３つ以上のノズル５２を選択可能な場合、選択パターンが同じならば副走査方向に不連続なノズル５２の選択を含んでいてもよい。
【００９０】
（実施例３）
図１１（ａ）〜（ｄ）は、実施例３の液状体の吐出方法を示す概略平面図である。実施例３の液状体の吐出方法は、実施例１に対して、膜形成領域３ｒ1，３ｒ2，３ｒ3ごとのノズル５２の選択パターンを主走査ごとに同じとしている。また、複数回の主走査が進むに従って、ノズル５２の選択数を減らしている。
【００９１】
具体的には、図１１（ａ）に示すように、１回目の主走査では、膜形成領域３ｒ1，３ｒ2，３ｒ3ごとに連続して４つのノズル５２を選択する選択パターンを用いている。２回目の主走査では、図１１（ｂ）に示すように、連続して３つのノズル５２を選択する選択パターンを用いている。３回目の主走査では、図１１（ｃ）に示すように、連続して２つのノズル５２を選択する選択パターンを用いている。４回目の主走査では、図１１（ｄ）に示すように、１つのノズル５２を選択する選択パターンを用いている。
【００９２】
実施例３の液状体の吐出方法によれば、実施例１の効果に加えて、ノズル５２の選択パターンが主走査ごとに同一であるため、選択されたノズル５２の吐出特性が主走査ごとに安定し、吐出される液滴Ｄの吐出量のばらつきを低減することができる。
さらには、複数回の主走査が進むに従って、ノズル５２の選択数を減らしているので、急激に吐出数が増えて、液状体が膜形成領域３ｒ1，３ｒ2，３ｒ3から溢れてしまうことを防いでいる。すなわち、ほぼ一定量の液状体を安定的に塗布することができる。
【００９３】
（実施例４）
図１２（ａ）〜（ｄ）は、実施例４の液状体の吐出方法を示す概略平面図である。実施例４の液状体の吐出方法は、実施例１に対して、膜形成領域３ｒ1，３ｒ2，３ｒ3ごとのノズル５２の選択パターンを複数回（４回）の主走査に亘って一定としている。
【００９４】
具体的には、図１２（ａ）〜（ｄ）に示すように、各主走査において膜形成領域３ｒ1，３ｒ2，３ｒ3ごとに３つのノズル５２を副走査方向に連続して選択する選択パターンを用いている。また、合計の液滴数（吐出数）が膜形成領域３ｒ1，３ｒ2，３ｒ3ごとに３０滴（同数）となるように、３回目と４回目の主走査において吐出数を調整している。
【００９５】
実施例４の液状体の吐出方法によれば、実施例１の効果に加えて、複数回の主走査に亘ってノズル５２の選択パターンが同一であるため、選択されたノズル５２の吐出特性が複数回の主走査に亘って安定し、吐出される液滴Ｄの吐出量のばらつきをより低減することができる。なお、この場合も、副走査を組み合わせ、ノズル５２の選択パターンが同一であれば、少なくとも１回の主走査において複数のノズル５２の相対的な配置を変えてもよい。
【００９６】
上記実施例１〜４の図９〜図１２に示した膜形成領域３ｒ1，３ｒ2，３ｒ3ごとの液滴Ｄの着弾状態は、必ずしもその配置を示すものではなく、主走査ごとの液滴数（吐出数）を示すものである。したがって、実際には、吐出分解能が１０μｍである液滴吐出装置１０を用いることにより、膜形成領域３ｒ1，３ｒ2，３ｒ3の中央付近に集中的に液滴Ｄを吐出することが可能である。よって、膜形成領域３ｒ1，３ｒ2，３ｒ3の平面的なサイズが小さくなっても、本実施形態の液状体の吐出方法を適用することができる。
また、当然ながら液状体の塗布量は、膜形成領域３ｒ1，３ｒ2，３ｒ3の平面的且つ立体的なサイズと、これに形成される着色層３の膜厚のねらい値によって、適宜設定される。
また、上記実施例１〜４では、選択されたノズル５２から、各主走査ごとに同数の液滴Ｄを吐出したが、これに限定されない。例えば、複数回の主走査が終了した時点で、ノズル５２の選択パターンの組み合わせおよび液滴Ｄの総吐出数が同一であれば、複数のノズル５２を選択する選択パターンにおいて、吐出される液滴数（吐出数）を少なくとも１つの選択されたノズル５２において変えてもよい。これによれば、複数回の主走査によって吐出される液滴Ｄの吐出数をより細かく調整することができる。すなわち、膜形成領域３ｒ1，３ｒ2，３ｒ3ごとに塗布される液状体の塗布量がねらいの値により近づくように調整することができる。
【００９７】
（実施形態２）
＜他の液状体の吐出方法＞
次に、他の液状体の吐出方法について図１３を参照して説明する。図１３は実施形態２の駆動手段に印加される駆動波形のタイミングチャートである。
【００９８】
ＬＡＴ信号の１周期の間に発生する駆動波形は、１つに限定されない。例えば、図１３に示すように、ＬＡＴ信号の１周期ｆ2において、２つの駆動波形Ａ１，Ａ２を発生させる。そして、ＬＡＴ信号とＣＨ信号とにより、２つの駆動波形Ａ１，Ａ２のうちのいずれかを選択する制御信号の構成としてもよい。これによれば、図６に示したＬＡＴ信号および駆動波形Ａ１の構成に比べて、各駆動波形Ａ１，Ａ２の発生周期を短く設定し、高周波駆動が可能となる。このようにすれば、より短時間に必要量の液状体を対応する膜形成領域に付与することができる。
【００９９】
さらに、例えば、上記実施形態１の実施例１の液状体の吐出方法を示す図９（ａ）において、膜形成領域３ｒ1，３ｒ2，３ｒ3には、ノズルＮ2〜Ｎ5とノズルＮ9〜Ｎ11およびノズルＮ15〜Ｎ18が選択されて液滴Ｄが吐出される。
【０１００】
本実施形態の他の液状体の吐出方法は、周期的に発生する上記駆動波形Ａ１，Ａ２を順次選択する波形選択パターンを、上記選択されたノズルＮ2〜Ｎ5とノズルＮ9〜Ｎ11およびノズルＮ15〜Ｎ18に適用させるものである。
【０１０１】
具体的には、ノズルＮ2，Ｎ4，Ｎ9，Ｎ11，Ｎ16，Ｎ18に対応する圧電素子５９に駆動波形Ａ１を印加し、ノズルＮ3，Ｎ5，Ｎ10，Ｎ15，Ｎ17に対応する圧電素子５９に駆動波形Ａ２を印加する。このようにすれば、選択された複数のノズル５２のうち隣り合うノズル５２に同じ駆動波形が印加されない。すなわち、副走査方向に配列する選択された複数のノズル５２に対して２つの駆動波形Ａ１，Ａ２を順次選択する波形選択パターンを採用する。なお、波形選択の順序は、駆動波形Ａ２、駆動波形Ａ１の順でもよい。また、ＬＡＴ信号で規定される１周期に発生する駆動波形の数は、これに限定されず、３つ以上としてもよい。その場合でも、複数の駆動波形を順次選択する波形選択パターンを適用する。
【０１０２】
上記他の液状体の吐出方法によれば、周期的に発生する複数の駆動波形Ａ１，Ａ２のうちから１つを選択して、上記選択されたノズル５２の圧電素子５９に印加するので、選択された複数のノズル５２から同時に液滴Ｄが吐出されない。したがって、選択されたノズル間の少なくとも電気的なクロストークに起因する液滴Ｄの吐出量のばらつきを低減することができる。
【０１０３】
さらには、複数の駆動波形Ａ１，Ａ２を順次選択する波形選択パターンを上記ノズル５２の選択パターンに適用するので、主走査において２つの駆動波形Ａ１，Ａ２の選択が偏らず均等となる。したがって、駆動波形Ａ１，Ａ２が偏って選択された場合に起こる駆動波形Ａ１，Ａ２の鈍りが軽減される。すなわち、駆動波形Ａ１，Ａ２の鈍りに起因する液滴Ｄの吐出量のばらつきが低減され、膜形成領域３ｒ1，３ｒ2，３ｒ3ごとに塗布量のばらつきを抑えてほぼ一定量の液状体を安定的に塗布することができる。
【０１０４】
このような他の液状体の吐出方法は、他の同色の膜形成領域３ｇ，３ｂを主走査する場合にも適用されることは言うまでもない。また、上記実施形態１の実施例１〜４のすべてに適用することができる。そして、周期的に発生する複数の駆動波形Ａ１，Ａ２は、互いに同じ駆動波形でなくてもよい。駆動波形Ａ１，Ａ２における最大電位（言い換えれば駆動電圧）を変えることにより、吐出される液滴Ｄの吐出量を変えることができ、膜形成領域に塗布される液状体の塗布量をさらに微調整することが可能となる。
【０１０５】
（実施形態３）
次に、上記実施形態１の液状体の吐出方法または上記実施形態２の他の液状体の吐出方法を適用した有機ＥＬ（Electro Luminescence）素子の製造方法について、図１４および図１５を参照して説明する。図１４は有機ＥＬ装置を示す概略断面図、図１５（ａ）〜（ｆ）は有機ＥＬ素子の製造方法を示す概略断面図である。
【０１０６】
＜有機ＥＬ装置＞
図１４に示すように、本実施形態の有機ＥＬ装置６００は、有機ＥＬ素子としての発光素子部６０３を有する素子基板６０１と、素子基板６０１と空間６２２を隔てて封着された封止基板６２０とを備えている。また素子基板６０１は、素子基板６０１上に回路素子部６０２を備えており、発光素子部６０３は、回路素子部６０２上に重畳して形成され、回路素子部６０２により駆動されるものである。発光素子部６０３には、有機発光材料からなる３色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂがそれぞれの膜形成領域としての発光層形成領域Ａに形成され、ストライプ状となっている。素子基板６０１は、３色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂに対応する３つの発光層形成領域Ａを１組の絵素とし、この絵素が素子基板６０１の回路素子部６０２上にマトリクス状に配置されたものである。有機ＥＬ装置６００は、発光素子部６０３からの発光が素子基板６０１側に射出するものである。
【０１０７】
封止基板６２０は、ガラスまたは金属からなるもので、封止樹脂を介して素子基板６０１に接合されており、封止された内側の表面には、ゲッター剤６２１が貼り付けられている。ゲッター剤６２１は、素子基板６０１と封止基板６２０との間の空間６２２に侵入した水または酸素を吸収して、発光素子部６０３が侵入した水または酸素によって劣化することを防ぐものである。なお、このゲッター剤６２１は省略しても良い。
【０１０８】
素子基板６０１は、回路素子部６０２上に複数の発光層形成領域Ａを有するものであって、複数の発光層形成領域Ａを区画するバンク６１８と、複数の発光層形成領域Ａに形成された電極６１３と、電極６１３に積層された正孔注入／輸送層６１７ａとを備えている。また複数の発光層形成領域Ａ内に発光層形成材料を含む３種の液状体を付与して形成された発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂを有する発光素子部６０３を備えている。バンク６１８は、絶縁材料を用いて形成され、正孔注入／輸送層６１７ａ上に積層された発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂと電極６１３とが電気的に短絡しないように、電極６１３の周囲を覆っている。
【０１０９】
素子基板６０１は、例えばガラスなどの透明な基板からなり、素子基板６０１上にシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。なお、半導体膜６０７には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度Ｐイオン打ち込みにより形成されている。なお、Ｐイオンが導入されなかった部分がチャネル領域６０７ｃとなっている。さらに下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、ゲート絶縁膜６０８上にはＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗなどからなるゲート電極６０９が形成され、ゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。ゲート電極６０９は半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置に設けられている。また、第１層間絶縁膜６１１ａおよび第２層間絶縁膜６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ接続されるコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などからなる透明な電極６１３が所定の形状にパターニングされて配置され、一方のコンタクトホール６１２ａがこの電極６１３に接続されている。また、もう一方のコンタクトホール６１２ｂが電源線６１４に接続されている。このようにして、回路素子部６０２には、各電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５が形成されている。なお、回路素子部６０２には、保持容量とスイッチング用の薄膜トランジスタも形成されているが、図１４ではこれらの図示を省略している。
【０１１０】
発光素子部６０３は、陽極としての電極６１３と、電極６１３上に順次積層された正孔注入／輸送層６１７ａ、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ（総称して発光層Ｌｕ）と、バンク６１８と発光層Ｌｕとを覆うように積層された陰極６０４とを備えている。正孔注入／輸送層６１７ａと発光層Ｌｕとにより発光が励起される機能層６１７を構成している。なお、陰極６０４と封止基板６２０およびゲッター剤６２１を透明な材料で構成すれば、封止基板６２０側から発光する光を射出させることができる。
【０１１１】
有機ＥＬ装置６００は、ゲート電極６０９に接続された走査線（図示省略）とソース領域６０７ａに接続された信号線（図示省略）とを有し、走査線に伝わった走査信号によりスイッチング用の薄膜トランジスタ（図示省略）がオンになると、そのときの信号線の電位が保持容量に保持され、該保持容量の状態に応じて、駆動用の薄膜トランジスタ６１５のオン・オフ状態が決まる。そして、駆動用の薄膜トランジスタ６１５のチャネル領域６０７ｃを介して、電源線６１４から電極６１３に電流が流れ、さらに正孔注入／輸送層６１７ａと発光層Ｌｕとを介して陰極６０４に電流が流れる。発光層Ｌｕは、これを流れる電流量に応じて発光する。有機ＥＬ装置６００は、このような発光素子部６０３の発光メカニズムにより、所望の文字や画像などを表示することができる。また、有機ＥＬ装置６００は、発光層Ｌｕが上記実施形態１の液状体の吐出方法または上記実施形態２の他の液状体の吐出方法を用いて形成されているため、ほぼ一定量の液状体が各発光層形成領域Ａに付与され、発光ムラ、輝度ムラなどの表示不具合の少ない高い表示品質を有すると共に、高精細な表示を可能としている。
【０１１２】
＜有機ＥＬ素子の製造方法＞
次に本実施形態の有機ＥＬ素子としての発光素子部６０３の製造方法について図１５を参照して説明する。なお、図１５（ａ）〜（ｆ）においては、素子基板６０１上に形成された回路素子部６０２は、図示を省略している。
【０１１３】
本実施形態の発光素子部６０３の製造方法は、素子基板６０１の複数の発光層形成領域Ａに対応する位置に電極６１３を形成する工程と、電極６１３に一部が掛かるようにバンク６１８を形成するバンク形成工程とを備えている。またバンク６１８で区画された発光層形成領域Ａの表面処理を行う工程と、表面処理された発光層形成領域Ａに正孔注入／輸送層形成材料を含む液状体を付与して正孔注入／輸送層６１７ａを吐出描画する工程と、吐出された液状体を乾燥して正孔注入／輸送層６１７ａを成膜する工程とを備えている。また、発光層形成領域Ａに発光層形成材料を含む３種の液状体を吐出する吐出工程と、吐出された３種の液状体を乾燥して発光層Ｌｕを成膜する成膜工程とを備えている。さらに、バンク６１８と発光層Ｌｕを覆うように陰極６０４を形成する工程を備えている。各液状体の発光層形成領域Ａへの付与は、上記実施形態１の液状体の吐出方法または上記実施形態２の他の液状体の吐出方法を用いて行う。よって、図３に示したヘッドユニット９における液滴吐出ヘッド５０の配置を適用する。
【０１１４】
電極（陽極）形成工程では、図１５（ａ）に示すように、素子基板６０１の発光層形成領域Ａに対応する位置に電極６１３を形成する。形成方法としては、例えば、素子基板６０１の表面にＩＴＯなどの透明電極材料を用いて真空中でスパッタ法あるいは蒸着法で透明電極膜を形成する。その後、フォトリソグラフィ法にて必要な部分だけを残してエッチングして電極６１３を形成する方法が挙げられる。そしてバンク形成工程へ進む。
【０１１５】
バンク形成工程では、図１５（ｂ）に示すように、素子基板６０１の複数の電極６１３の周囲を覆うようにバンク６１８を形成する。バンク６１８の材料としては、後述する発光層形成材料を含む３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの溶媒に対して耐久性を有するものであることが望ましく、さらに、フッ素系ガスを処理ガスとするプラズマ処理により撥液化できること、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、感光性ポリイミドなどといった絶縁性を有する有機材料が好ましい。バンク６１８の形成方法としては、例えば、電極６１３が形成された素子基板６０１の表面に感光性の上記有機材料をロールコート法やスピンコート法で塗布し、乾燥させて厚みがおよそ２〜３μｍの感光性樹脂層を形成する。そして、発光層形成領域Ａに対応した大きさで開口部が設けられたマスクを素子基板６０１と所定の位置で対向させて露光・現像することにより、バンク６１８を形成する方法が挙げられる。そして、表面処理工程へ進む。
【０１１６】
発光層形成領域Ａを表面処理する工程では、バンク６１８が形成された素子基板６０１の表面を、まずＯ2ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより電極６１３の表面、バンク６１８の表面（壁面を含む）を活性化させて親液処理する。次にＣＦ4などのフッ素系ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより有機材料である感光性樹脂からなるバンク６１８の表面のみにフッ素系ガスが反応して撥液処理される。そして、正孔注入／輸送層形成工程へ進む。
【０１１７】
正孔注入／輸送層形成工程では、図１５（ｃ）に示すように、正孔注入／輸送層形成材料を含む液状体９０を発光層形成領域Ａに付与する。液状体９０を付与する方法としては、図３のヘッドユニット９を備えた液滴吐出装置１０と上記実施形態１の液状体の吐出方法または上記実施形態２の他の液状体の吐出方法を用いる。液滴吐出ヘッド５０から吐出された液状体９０は、液滴Ｄとして素子基板６０１の電極６１３に着弾して濡れ拡がる。液状体９０は発光層形成領域Ａの面積に応じて、ほぼ一定量が液滴Ｄとして吐出される。そして乾燥・成膜工程へ進む。
【０１１８】
乾燥・成膜工程では、素子基板６０１を例えばランプアニールなどの方法で加熱することにより、液状体９０の溶媒成分を乾燥させて除去し、電極６１３のバンク６１８により区画された領域に正孔注入／輸送層６１７ａが形成される。本実施形態では、正孔注入／輸送層形成材料として３，４−ポリエチレンジオキシチオフェン／ポリスチレンスルフォン酸（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ）を用いた。なお、本実施形態では、各発光層形成領域Ａに同一材料からなる正孔注入／輸送層６１７ａを形成したが、後に形成される発光層Ｌｕに対応して正孔注入／輸送層６１７ａの材料を発光層形成領域Ａごとに変えてもよい。そして次の液状体の吐出工程へ進む。
【０１１９】
液状体の吐出工程では、図１５（ｄ）に示すように、液滴吐出装置１０を用いて複数の液滴吐出ヘッド５０から複数の発光層形成領域Ａに発光層形成材料を含む３種の液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂを付与する。液状体１００Ｒは発光層６１７Ｒ（赤色）を形成する材料を含み、液状体１００Ｇは発光層６１７Ｇ（緑色）を形成する材料を含み、液状体１００Ｂは発光層６１７Ｂ（青色）を形成する材料を含んでいる。着弾した各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂは、発光層形成領域Ａに濡れ拡がって断面形状が円弧状に盛り上がる。これらの液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂを付与する方法としては、上記実施形態１の液状体の吐出方法または上記実施形態２の他の液状体の吐出方法を用いた。駆動波形（電圧パルス）の設定は、液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂごとに行うことが望ましい。すなわち、各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが充填される液滴吐出ヘッド５０ごとに駆動波形の設定を行う。そして、乾燥・成膜工程へ進む。
【０１２０】
乾燥・成膜工程では、図１５（ｅ）に示すように、吐出された各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの溶媒成分を乾燥させて除去し、各発光層形成領域Ａの正孔注入／輸送層６１７ａに各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂが積層されるように成膜する。各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが吐出された素子基板６０１の乾燥方法としては、溶媒の蒸発速度をほぼ一定とすることが可能な、減圧乾燥が好ましい。そして陰極形成工程へ進む。
【０１２１】
陰極形成工程では、図１５（ｆ）に示すように、素子基板６０１の各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂとバンク６１８の表面とを覆うように陰極６０４を形成する。陰極６０４の材料としては、Ｃａ、Ｂａ、Ａｌなどの金属やＬｉＦなどのフッ化物を組み合わせて用いるのが好ましい。特に発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂに近い側に仕事関数が小さいＣａ、Ｂａ、ＬｉＦの膜を形成し、遠い側に仕事関数が大きいＡｌなどの膜を形成するのが好ましい。また、陰極６０４の上にＳｉＯ2、ＳｉＮなどの保護層を積層してもよい。このようにすれば、陰極６０４の酸化を防止することができる。陰極６０４の形成方法としては、蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法などが挙げられる。特に発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂの熱による損傷を防止できるという点では、蒸着法が好ましい。
【０１２２】
このようにして出来上がった素子基板６０１は、ほぼ一定量の各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが液滴Ｄとして発光層形成領域Ａに付与され、乾燥・成膜化後の膜厚が、それぞれの発光層形成領域Ａにおいて、ほぼ一定となった各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂを有する。
【０１２３】
上記実施形態３の発光素子部６０３の製造方法によれば、液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂの吐出工程では、上記実施形態１の液状体の吐出方法または上記実施形態２の他の液状体の吐出方法を用いて素子基板６０１に配置された発光層形成領域Ａに、ほぼ一定量の各液状体１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂが安定的に塗布されている。乾燥・成膜後の膜厚が、それぞれの発光層形成領域Ａにおいて、ほぼ一定となった各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂが得られる。
【０１２４】
また、上記実施形態３の発光素子部６０３の製造方法を用いて、有機ＥＬ装置６００を製造すれば、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂの膜厚がほぼ一定であるため、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂごとの抵抗がほぼ一定となる。よって、回路素子部６０２により発光素子部６０３に駆動電圧を印加して発光させると、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂごとの抵抗ムラによる発光ムラや輝度ムラなどが低減される。すなわち、発光ムラや輝度ムラなどが少なく、高精細で見映えのよい表示品質を有する有機ＥＬ装置６００を製造することができる。
【０１２５】
上記実施形態以外にも様々な変形例が考えられる。以下、変形例を挙げて説明する。
【０１２６】
（変形例１）上記実施形態１の液状体の吐出方法の実施例１〜４において、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに掛かるノズル５２に適用する駆動波形Ａ１は、吐出される異種（異色）の液状体ごとに異ならせてもよい。これによれば、液状体ごとにねらいの吐出量で液滴Ｄを吐出させることができる。
【０１２７】
（変形例２）上記実施形態１のカラーフィルタ２の製造方法において、Ｒ，Ｇ，Ｂ、３色の着色層３の配置は、ストライプ方式に限定されない。斜め方向に同色の着色層３が配列するモザイク方式、三角形の頂点にあたる位置に各色の着色層３が配置されるデルタ方式であっても、上記実施形態１の液状体の吐出方法を適用することができる。また、着色層３は３色に限定されず、Ｒ，Ｇ，Ｂ以外の色を加えた多色でもよい。
【０１２８】
（変形例３）上記実施形態２の他の液状体の吐出方法において、複数の駆動波形Ａ１，Ａ２をノズル５２の選択パターン（選択された複数のノズル５２）に適用させる方法は、これに限定されない。例えば、３つの駆動波形Ａ１，Ａ２，Ａ３を周期的に発生させる。図９（ａ）に示した１回目の主走査では、膜形成領域３ｒ1，３ｒ2，３ｒ3の選択された複数のノズル５２に対して、ノズルＮ2には駆動波形Ａ１、ノズルＮ3には駆動波形Ａ２、ノズルＮ4には駆動波形Ａ３、ノズルＮ5には駆動波形Ａ２、ノズルＮ9には駆動波形Ａ１、ノズルＮ10には駆動波形Ａ３、ノズルＮ11には駆動波形Ａ１、ノズルＮ15には駆動波形Ａ３、ノズルＮ16には駆動波形Ａ２というように適用してもよい。すなわち、選択された複数のノズル５２のうち隣り合うノズル５２に同じ駆動波形を適用せず、且つ各駆動波形Ａ１，Ａ２，Ａ３の選択がほぼ均等となるように適用することが望ましい。これによれば、ノズル間の少なくとも電気的なクロストークの発生を抑え、且つ駆動波形の鈍りによる液滴Ｄの吐出量のばらつきを低減することができる。
【０１２９】
（変形例４）上記実施形態３の発光素子部６０３の製造方法は、３色の発光層Ｌｕを形成することに限定されない。例えば、白色や赤色など単色の構成としてもよい。これによれば、単色の有機ＥＬ素子を備えた照明装置や感光装置を提供することができる。
【０１３０】
（変形例５）上記実施形態１の液状体の吐出方法および上記実施形態２の他の液状体の吐出方法において、主走査における複数のノズル５２と膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂとの相対的な位置関係は、これに限定されない。例えば、液滴吐出装置１０において回転機構７を駆動し、複数のノズル５２の配列方向と、膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂの配列方向とが交差するようにヘッドユニット９をワークＷ（ガラス基板１）に対して位置決めする。これによれば、主走査において膜形成領域３ｒ，３ｇ，３ｂに掛かるノズル５２の数を増やすことができ、より高密度に液滴Ｄを着弾させることができる。
【０１３１】
（変形例６）上記実施形態１の液状体の吐出方法または上記実施形態２の他の液状体の吐出方法を適用可能なデバイスの製造方法は、カラーフィルタ２の製造方法または有機ＥＬ素子の製造方法に限定されない。前述したように正孔注入／輸送層の形成にも適用できる。また、例えば、基板上の膜形成領域に導電材料を含む液状体を吐出して、所定のパターンを有する配線を形成する金属配線の製造方法、基板上の膜形成領域に位相差膜形成材料を含む液状体を吐出して、表示用の画素を構成する位相差膜を形成する方法などにも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１３２】
【図１】液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。
【図２】（ａ）は液滴吐出ヘッドを示す斜視図、（ｂ）はノズルの配置状態を示す平面図。
【図３】ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図。
【図４】液滴吐出装置の制御系を示すブロック図。
【図５】ヘッドドライバの電気的な構成を示すブロック図。
【図６】実施形態１の駆動手段に印加される駆動波形のタイミングチャート。
【図７】（ａ）および（ｂ）はカラーフィルタの構成を示す概略平面図。
【図８】（ａ）〜（ｆ）はカラーフィルタの製造方法を示す概略断面図。
【図９】実施例１の液状体の吐出方法を示す概略平面図。
【図１０】実施例２の液状体の吐出方法を示す概略平面図。
【図１１】実施例３の液状体の吐出方法を示す概略平面図。
【図１２】実施例４の液状体の吐出方法を示す概略平面図。
【図１３】実施形態２の駆動手段に印加される駆動波形のタイミングチャート。
【図１４】有機ＥＬ装置の構造を示す概略断面図。
【図１５】（ａ）〜（ｆ）は有機ＥＬ素子の製造方法を示す概略断面図。
【符号の説明】
【０１３３】
１…基板としてのガラス基板、２…カラーフィルタ、３…着色層、３ｒ，３ｇ，３ｂ…膜形成領域、５２…ノズル、５９…駆動手段としての圧電素子、１００Ｒ，１００Ｇ，１００Ｂ…発光層形成材料を含む液状体、６０３…有機ＥＬ素子としての発光素子部、６１７…機能層、６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ…発光層、Ａ…膜形成領域としての発光層形成領域、Ａ１，Ａ２…駆動波形、Ｄ…液滴。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルと基板とを相対移動させる走査を複数回行い、前記基板上に配列された複数の膜形成領域に前記複数のノズルから液状体を液滴として吐出する吐出工程を有する液状体の吐出方法であって、
前記吐出工程は、前記複数回の前記走査において前記液滴を吐出するノズルの選択パターンの組み合わせが前記膜形成領域ごとに同じであることを特徴とする液状体の吐出方法。
【請求項２】
前記吐出工程は、前記走査ごとに前記膜形成領域ごとの前記ノズルの選択パターンが異なることを特徴とする請求項１に記載の液状体の吐出方法。
【請求項３】
前記吐出工程は、前記走査ごとに前記膜形成領域ごとの前記ノズルの選択パターンが一定であることを特徴とする請求項１に記載の液状体の吐出方法。
【請求項４】
前記吐出工程は、前記複数回の前記走査に亘って前記膜形成領域ごとの前記ノズルの選択パターンが一定であることを特徴とする請求項１に記載の液状体の吐出方法。
【請求項５】
前記吐出工程は、周期的に発生する複数の駆動波形のうちの１つを選択された前記ノズルの駆動手段に印加することにより前記液滴を吐出することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。
【請求項６】
前記吐出工程は、前記走査において、前記ノズルの選択パターンにより選択された複数のノズルのうち、隣り合うノズルの前記駆動手段に同じ前記駆動波形を印加せず、且つ前記複数の駆動波形ごとの選択がほぼ均等であることを特徴とする請求項５に記載の液状体の吐出方法。
【請求項７】
前記吐出工程は、前記走査において前記膜形成領域ごとに掛かるノズルのうち、前記膜形成領域の中央に近い少なくとも１つのノズルを用いることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。
【請求項８】
基板上の複数の膜形成領域に複数色の着色層を有するカラーフィルタの製造方法であって、
請求項１乃至７に記載の液状体の吐出方法を用い、着色層形成材料を含む複数色の液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と、
吐出された前記液状体を固化して前記複数色の着色層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項９】
基板上の複数の膜形成領域に発光層を含む機能層を有する有機ＥＬ素子の製造方法であって、
請求項１乃至７に記載の液状体の吐出方法を用い、発光層形成材料を含む液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と、
吐出された前記液状体を固化して前記発光層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とする有機ＥＬ素子の製造方法。
【請求項１】
複数のノズルと基板とを相対移動させる走査を複数回行い、前記基板上に配列された複数の膜形成領域に前記複数のノズルから液状体を液滴として吐出する吐出工程を有する液状体の吐出方法であって、
前記吐出工程は、前記複数回の前記走査において前記液滴を吐出するノズルの選択パターンの組み合わせが前記膜形成領域ごとに同じであることを特徴とする液状体の吐出方法。
【請求項２】
前記吐出工程は、前記走査ごとに前記膜形成領域ごとの前記ノズルの選択パターンが異なることを特徴とする請求項１に記載の液状体の吐出方法。
【請求項３】
前記吐出工程は、前記走査ごとに前記膜形成領域ごとの前記ノズルの選択パターンが一定であることを特徴とする請求項１に記載の液状体の吐出方法。
【請求項４】
前記吐出工程は、前記複数回の前記走査に亘って前記膜形成領域ごとの前記ノズルの選択パターンが一定であることを特徴とする請求項１に記載の液状体の吐出方法。
【請求項５】
前記吐出工程は、周期的に発生する複数の駆動波形のうちの１つを選択された前記ノズルの駆動手段に印加することにより前記液滴を吐出することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。
【請求項６】
前記吐出工程は、前記走査において、前記ノズルの選択パターンにより選択された複数のノズルのうち、隣り合うノズルの前記駆動手段に同じ前記駆動波形を印加せず、且つ前記複数の駆動波形ごとの選択がほぼ均等であることを特徴とする請求項５に記載の液状体の吐出方法。
【請求項７】
前記吐出工程は、前記走査において前記膜形成領域ごとに掛かるノズルのうち、前記膜形成領域の中央に近い少なくとも１つのノズルを用いることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。
【請求項８】
基板上の複数の膜形成領域に複数色の着色層を有するカラーフィルタの製造方法であって、
請求項１乃至７に記載の液状体の吐出方法を用い、着色層形成材料を含む複数色の液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と、
吐出された前記液状体を固化して前記複数色の着色層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項９】
基板上の複数の膜形成領域に発光層を含む機能層を有する有機ＥＬ素子の製造方法であって、
請求項１乃至７に記載の液状体の吐出方法を用い、発光層形成材料を含む液状体を前記複数の膜形成領域に吐出する吐出工程と、
吐出された前記液状体を固化して前記発光層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とする有機ＥＬ素子の製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【公開番号】特開２００９−１４８６９４（Ｐ２００９−１４８６９４Ａ）
【公開日】平成２１年７月９日（２００９．７．９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−３２８３７９（Ｐ２００７−３２８３７９）
【出願日】平成１９年１２月２０日（２００７．１２．２０）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年７月９日（２００９．７．９）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年１２月２０日（２００７．１２．２０）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]