液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法および有機ＥＬ装置の製造方法
【課題】複数の被吐出領域へ吐出される液状体の偏りを低減させ、領域内に掲載される薄膜の厚さの不均一を低減させる。
【解決手段】複数のノズル５２からなるノズル列５２ａを有する液滴吐出ヘッド５０と複数の略矩形形状の被吐出領域１０３を備えた基板Ｂとを前記液滴吐出ヘッド５０の配置方向と略直交する主走査方向に相対移動させながら、前記ノズル５２から前記被吐出領域１０３に前記液状体を吐出する吐出工程を有し、前記被吐出領域１０３は、配列方向が略直交するとともに面積の異なる第１被吐出領域１０３ｒ'，１０３ｇ'１０３ｂ'および第２被吐出領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂとからなり、前記吐出工程において、面積の大きい前記第１被吐出領域１０３ｒ'，１０３ｇ'１０３ｂ'の長辺方向が前記主走査方向に沿うように配置されることを特徴とする液状体の吐出方法。
【解決手段】複数のノズル５２からなるノズル列５２ａを有する液滴吐出ヘッド５０と複数の略矩形形状の被吐出領域１０３を備えた基板Ｂとを前記液滴吐出ヘッド５０の配置方向と略直交する主走査方向に相対移動させながら、前記ノズル５２から前記被吐出領域１０３に前記液状体を吐出する吐出工程を有し、前記被吐出領域１０３は、配列方向が略直交するとともに面積の異なる第１被吐出領域１０３ｒ'，１０３ｇ'１０３ｂ'および第２被吐出領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂとからなり、前記吐出工程において、面積の大きい前記第１被吐出領域１０３ｒ'，１０３ｇ'１０３ｂ'の長辺方向が前記主走査方向に沿うように配置されることを特徴とする液状体の吐出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状体をノズルから吐出する液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法および有機ＥＬ装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶表示装置等のカラーフィルタ、有機ＥＬ装置の成膜等の分野に、機能性材料を含む液状体を吐出する液状体の吐出方法が適用されている。この液状体の吐出方法には液滴吐出装置が用いられる。液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドと呼ばれる液滴吐出機構を有している。この液滴吐出ヘッドには、複数のノズルが規則的に形成されている。カラーフィルタや有機ＥＬ装置の製造では、これらのノズルから機能性材料を含む液状体を基板等に液滴として吐出して、機能性材料からなる薄膜を形成する。
【０００３】
近年、表示装置は、適用される分野が拡大しており、様々なサイズのパネルが提供されている。また、表示装置の高画質化の要求もあり、それに応えるため高精細、高密度なカラーフィルタや有機ＥＬ装置の成膜を実現しなくてはならない。そのため、様々なサイズの基板に対して、液状体を、高精細、高密度に吐出することが重要になってきている。また、表示装置のパネルの需要が増加し、パネルの生産性を向上させるため、１枚の大型基板から多数のパネルを製造したいとの要求もある。この場合、取り数の効率を追求するため、または、１枚の基板から異なったサイズのパネルを生産するため、様々なレイアウトが検討されている。レイアウトによっては、液状体が吐出される最小単位の領域である画素領域の配置が、９０度異なる場合がある。
【０００４】
ワーク（基板）に液滴吐出ヘッドから液状体を液滴として吐出してパターンの描画を行う液滴吐出装置および液滴吐出方法として、ワークを第１方向および第１方向と略直交する第２方向に移動させて、第２方向に沿ってあらかじめ位置決めされた複数のキャリッジに配設された液滴吐出ヘッドのノズルから液状体を吐出してパターンの描画を行う液滴吐出装置および液滴吐出方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−１８７７５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
前述の液滴吐出装置は、あらかじめ位置決めされたノズルから液状体を基板の所定の領域に吐出する。なお、ノズルは一定のピッチで列状に構成されており、液状体が吐出される最小単位の領域である画素領域は略矩形形状に形成されている。そのため、ノズルの吐出ばらつきを分散させるためにも、できるだけ多くのノズルを画素領域に対向すべく画素領域の長辺とノズル列とは平行に配置されることが好ましい。ところが、基板に配置方向の異なる画素領域が混在して構成されていると、ノズル列に対して短辺が平行に配置される画素領域が存在することになる。この場合、領域内に液状体を吐出できるノズルが制約され、領域内の偏った位置に液状体が吐出され、領域内に液状体の吐出量の偏りが生ずる虞がある。液状体の吐出量の偏りが生ずると、領域に形成される薄膜の厚さの不均一が発生する可能性がある。液晶表示装置等のカラーフィルタ、有機ＥＬ装置の機能膜等の薄膜において、膜厚の不均一が発生すると、製造された表示装置の画像品質が低下してしまうという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００８】
（適用例１）液状体を液滴として吐出する複数のノズルが列状に配設されたノズル列を有する複数の液滴吐出ヘッドと複数の略矩形形状の被吐出領域を備えた基板とを前記液滴吐出ヘッドの配置方向と略直交する主走査方向に相対移動させながら、前記ノズルから前記被吐出領域に前記液状体を吐出する吐出工程を有し、前記被吐出領域は、略矩形形状の長辺方向が一定の方向に沿うように前記基板上に配設された第１被吐出領域と、前記第１被吐出領域より面積の小さい略矩形形状に形成されるとともに前記第１被吐出領域の配設方向と略直交する方向に配設される第２被吐出領域とからなり、前記吐出工程において、前記第１被吐出領域の長辺方向を前記主走査方向に沿うように配置することを特徴とする液状体の吐出方法。
【０００９】
この方法によれば、ノズル列を有する液滴吐出ヘッドの配置方向を、面積の大きい第１被吐出領域の略矩形形状の短辺方向および面積の小さい第２被吐出領域の略矩形形状の長辺方向と同一方向にすることができる。すなわち、面積の大きい第１被吐出領域は略矩形形状の短辺方向に、面積の小さい第２被吐出領域は略矩形形状の長辺方向に、ノズルを配置することができる。そのため、面積の異なる第１被吐出領域および第２被吐出領域が同一基板内に混在していても、それぞれの被吐出領域内に液状体を吐出することができるノズルの数を多くすることができる。従って、被吐出領域内の偏った位置に液状体が吐出され液状体の吐出量の偏りが発生することを低減することができる。その結果、それぞれの被吐出領域に形成される薄膜の厚さの不均一を低減させることができる。従って、品質の安定した少なくとも２種類の薄膜を製造することができ生産性の向上に寄与することができる。
【００１０】
（適用例２）前記吐出工程において、前記第１被吐出領域の短辺方向の領域内に少なくとも２つ以上の前記ノズルが対向することを特徴とする上記の液状体の吐出方法。
【００１１】
この方法によれば、第１被吐出領域に対して複数のノズルを対向させ液状体を吐出することができる。そのため、ノズルの吐出特性のばらつきがあったとしても複数のノズルを用いることによって吐出特性のばらつきを分散させることができる。その結果、被吐出領域に形成される薄膜の厚さの不均一を低減させることができる。
【００１２】
（適用例３）前記ノズルから吐出され前記第１被吐出領域に配置される前記液滴の前記第１被吐出領域の短辺方向の配置間隔は、前記ノズル列を前記短辺方向に対して角度を有するように配置することによって調整可能であることを特徴とする上記の液状体の吐出方法。
【００１３】
この方法によれば、液滴吐出ヘッドのノズル列を、第１被吐出領域の短辺方向に対して角度を有するように配置することによって、第１被吐出領域の短辺方向に配置される液滴の配置間隔は、実質的に狭くすることができる。すなわち、第１被吐出領域に対してより多くのノズルを対向させ液状体を吐出することができる。そのため、被吐出領域内の偏った位置に液状体が吐出され液状体の吐出量の偏りが発生することを低減することができる。その結果、被吐出領域に形成される薄膜の厚さの不均一を低減させることができる。
【００１４】
（適用例４）前記吐出工程は、前記液滴吐出ヘッドと前記基板との前記主走査方向の複数回の相対移動の間に、前記液滴吐出ヘッドと前記基板とを前記主走査方向と略直交する副走査方向に相対移動させることを特徴とする上記の液状体の吐出方法。
【００１５】
この方法によれば、吐出工程において、液滴吐出ヘッドと基板とを主走査方向と略直交する副走査方向に相対移動させる、すなわち改行動作を行いながら、ノズルから被吐出領域に液状体を吐出することができる。そのため、例えば、第１被吐出領域の短辺方向に配置することができる液滴を実質的に多くすることができる。そのため、被吐出領域内の偏った位置に液状体が吐出され液状体の吐出量の偏りが発生することを低減することができる。その結果、被吐出領域に形成される薄膜の厚さの不均一を低減させることができる。
【００１６】
（適用例５）基板上の複数の被吐出領域に複数色の着色層を形成するカラーフィルタの製造方法であって、複数の前記被吐出領域は、配設方向が互いに直交する第１被吐出領域と第２被吐出領域とからなり、上記の液状体の吐出方法を用いて、着色層形成材料を含む複数色の液状体を複数の前記被吐出領域に吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を固化して前記複数色の着色層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【００１７】
この方法によれば、配設方向が互いに直交する第１被吐出領域および第２被吐出領域に形成される着色層の厚さの不均一を低減させることができるとともに、着色層の配列方向が異なる少なくとも２種のカラーフィルタを高い生産性で製造することができる。
【００１８】
（適用例６）基板上の複数の被吐出領域に発光層を含む機能層を有する有機ＥＬ素子を複数備えた有機ＥＬ装置の製造方法であって、複数の前記被吐出領域は、配設方向が互いに直交する第１被吐出領域と第２被吐出領域とからなり、上記の液状体の吐出方法を用い、発光層形成材料を含む液状体を複数の前記被吐出領域に吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を固化して前記発光層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【００１９】
この方法によれば、配設方向が互いに直交する第１被吐出領域および第２被吐出領域に形成される発光層の厚さの不均一を低減させることができるとともに、有機ＥＬ素子の配列方向が異なる少なくとも２種の有機ＥＬ装置を高い生産性で製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
本発明を、基板上に区画された複数の画素領域に複数色の着色層を有するカラーフィルタの製造を例にとり説明する。着色層は、画素構成要素であり、複数のノズルから画素領域に向けて着色層形成材料を含む液状体が液滴として吐出されて形成される。この液状体を液滴として吐出するには、以下に説明する液状体吐出装置を用いる。
【００２１】
（液状体吐出装置の構成について）
まず、液状体を吐出する液滴吐出ヘッドを備えた液状体吐出装置について図１を参照して説明する。図１は、液状体吐出装置の構成を示す概略斜視図である。
図１に示すように、液状体吐出装置１０は、被吐出領域（膜形成領域）を有する基板Ｂを主走査方向に移動させる基板移動機構２０と、複数の液滴吐出ヘッドを有するヘッドユニット９を副走査方向に移動させるヘッド移動機構３０とを備えている。この液状体吐出装置１０は、基板Ｂとヘッドユニット９との相対位置を変化させつつ、ヘッドユニット９に搭載された複数の液滴吐出ヘッドから液状体を液滴として吐出して、基板Ｂに液状体で所定の機能膜を形成するものである。なお、図中のＸ方向は基板Ｂの移動方向すなわち主走査方向を示し、Ｙ方向はヘッドユニット９の移動方向すなわち副走査方向を示し、Ｚ方向は、Ｘ方向とＹ方向とに直交する方向を示している。
【００２２】
このような液状体吐出装置１０を用いて、例えば、赤、緑および青の３色のフィルタエレメントを有するカラーフィルタを製造する場合は、液状体吐出装置１０の各々の液滴吐出ヘッドから、赤、緑および青の３色の液状体のいずれかを基板Ｂの膜形成領域に液滴として吐出して、赤、緑および青の３色のフィルタエレメントを形成する。
【００２３】
ここで、液状体吐出装置１０の各構成について説明する。
基板移動機構２０は、一対のガイドレール２１と、一対のガイドレール２１に沿って移動する移動テーブル２２と、移動テーブル２２上に基板Ｂを吸着固定可能に載置するステージ５とを備えている。移動テーブル２２は、ガイドレール２１の内部に設けられた図示しないエアスライダとリニアモータによりＸ方向（主走査方向）に移動する。
【００２４】
ヘッド移動機構３０は、一対のガイドレール３１と、一対のガイドレール３１に沿って移動する第１の移動台３２とを備えている。第１の移動台３２にはキャリッジ８が設けられ、キャリッジ８には複数の液滴吐出ヘッド５０（図２参照）を搭載したヘッドユニット９がヘッドユニット回転機構７０を介して取り付けられている。ヘッドユニット９は、ヘッドユニット回転機構７０により図１に示す回転軸Ｌを中心にＸＹ平面において回転することができる。そして、第１の移動台３２は、キャリッジ８をＹ方向（副走査方向）に移動させてヘッドユニット９を基板Ｂに対してＺ方向に所定の間隔をあけて対向配置することができる。
【００２５】
液状体吐出装置１０は、上記構成の他にも、ヘッドユニット９に搭載された複数の液滴吐出ヘッド５０のノズルの目詰まりの解消等のメンテナンスを行うメンテナンス機構６０を備えている。また、液状体吐出装置１０は、液滴吐出ヘッド５０に液状体を供給するための液状体供給機構や、液滴吐出ヘッド５０もしくはノズルごとに吐出された液状体を受けて、その吐出重量を計測する電子天秤等の計測器を有する吐出量計測機構が設けられている。これらの各機構は、制御部４（図４参照）によって制御される。図１では、制御部４、液状体供給機構および吐出量計測機構は、図示省略した。
【００２６】
（液滴吐出ヘッドについて）
ここで複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドについて図２および図３を参照して説明する。図２は液滴吐出ヘッドの構造を示す概略図である。（ａ）は概略分解斜視図、（ｂ）はノズル部の構造を示す断面図である。図３は、ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図である。詳しくは、基板Ｂに対向する側から見た図である。なお、図３に示すＸ方向、Ｙ方向は、図１に示すＸ方向、Ｙ方向と同一な方向を示す。
【００２７】
図２（ａ）および（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド５０は、液滴Ｄが吐出される複数のノズル５２を有するノズルプレート５１と、複数のノズル５２がそれぞれ連通するキャビティ５５を区画する隔壁５４を有するキャビティプレート５３と、各キャビティ５５に対応する駆動素子としての振動子５９を有する振動板５８とが、順に積層され接合された構造となっている。
【００２８】
キャビティプレート５３は、ノズル５２に連通するキャビティ５５を区画する隔壁５４と、キャビティ５５に液状体を充填するための流路５６，５７とを有している。流路５７は、ノズルプレート５１と振動板５８とによって挟まれ、出来上がった空間が、液状体が貯留されるリザーバの役目を果たす。液状体は、液状体供給機構から配管を通じて供給され、振動板５８に設けられた供給孔５８ａを通じてリザーバに貯留された後に、流路５６を通じて各キャビティ５５に充填される。
【００２９】
図２（ｂ）に示すように、振動子５９は、ピエゾ素子５９ｃと、ピエゾ素子５９ｃを挟む一対の電極５９ａ，５９ｂとからなる圧電素子である。外部から一対の電極５９ａ，５９ｂに、駆動信号としての駆動波形が印加されることにより接合された振動板５８を変形させる。これにより隔壁５４で仕切られたキャビティ５５の体積が増加して、液状体がリザーバからキャビティ５５に吸引される。そして、駆動波形の印加が終了すると、振動板５８は元に戻り充填された液状体を加圧する。これにより、ノズル５２から液状体を液滴Ｄとして吐出できる構造となっている。ピエゾ素子５９ｃへ印加される駆動波形を制御することにより、それぞれのノズル５２に対して液状体の吐出制御を行うことができる。
【００３０】
図３に示すように、上述の液滴吐出ヘッド５０は、ヘッドユニット９のヘッドプレート９ａに配置される。ヘッドプレート９ａには、３つの液滴吐出ヘッド５０からなるヘッド群５０Ａと、同じく３つの液滴吐出ヘッド５０からなるヘッド群５０Ｂの合計６個の液滴吐出ヘッド５０が搭載されている。この場合、ヘッド群５０Ａの液滴吐出ヘッド５０（ヘッドＲ１）とヘッド群５０Ｂの液滴吐出ヘッド５０（ヘッドＲ２）とは同種の液状体を吐出する。他のヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同様である。すなわち、３種の異なる液状体を吐出可能な構成となっている。
【００３１】
各液滴吐出ヘッド５０は、一定のノズルピッチＰで配設された複数（１８０個）のノズル５２からなるノズル列５２ａを有している。そのため、１つの各液滴吐出ヘッド５０は長さＬなる吐出幅を有している。ヘッドＲ１とヘッドＲ２とは、主走査方向（Ｘ方向）から見て隣り合うノズル列５２ａが主走査方向と直交する副走査方向（Ｙ方向）に１ノズルピッチＰを置いて連続するように主走査方向に並列して配設されている。そのため、ヘッドＲ１およびヘッドＲ２は、長さ２Ｌの吐出幅を有している。
【００３２】
また、前述のようにヘッドユニット９は、ヘッドユニット回転機構７０により図１に示す回転軸Ｌを中心にＸＹ平面において回転することができる。すなわち、ヘッドプレート９ａは、図３に示すように、回転軸Ｌがヘッドプレート９ａを貫く点ｌを中心にＸＹ平面において回転することができる。なお、点ｌはヘッドプレート９ａの略中心に位置する。
【００３３】
本実施例では、ノズル列５２ａが１列の場合について説明しているがこれに限定されない。液滴吐出ヘッド５０は、複数のノズル列５２ａが図中Ｘ方向に一定の間隔をおいて、Ｙ方向に１／２ピッチ（Ｐ／２）ずれて配列されていてもよい。このようにすることにより、実質的なノズルピッチＰが狭くなり、高精細に液滴Ｄを吐出することができる。
【００３４】
（液状体吐出装置の制御系について）
次に液状体吐出装置１０の制御系について図４を参照して説明する。図４は、液状体吐出装置の制御系を示すブロック図である。
図４に示すように、液状体吐出装置１０の制御系は、液滴吐出ヘッド５０、基板移動機構２０、ヘッド移動機構３０等を駆動する各種ドライバを有する駆動部４６と、駆動部４６を含め液状体吐出装置１０を制御する制御部４とを備えている。駆動部４６は、基板移動機構２０およびヘッド移動機構３０の各リニアモータをそれぞれ駆動制御する移動用ドライバ４７と、液滴吐出ヘッド５０を吐出制御するヘッドドライバ４８と、ヘッドユニット９を回転させるヘッドユニット回転機構７０を制御するヘッド回転用ドライバ６８と、メンテナンス機構６０の各メンテナンス用ユニットを駆動制御するメンテナンス用ドライバ４９と、吐出量計測機構を制御する図示しない吐出量計測用ドライバとを備えている。
【００３５】
制御部４は、ＣＰＵ４１と、ＲＯＭ４２と、ＲＡＭ４３と、Ｐ−ＣＯＮ４４とを備え、これらは互いにバス４５を介して接続されている。Ｐ−ＣＯＮ４４には、上位コンピュータ１１が接続されている。ＲＯＭ４２は、ＣＰＵ４１で処理する制御プログラム等を記憶する制御プログラム領域と、描画動作や機能回復処理等を行うための制御データ等を記憶する制御データ領域とを有している。
【００３６】
ＲＡＭ４３は、基板Ｂにパターンを描画するパターンデータを記憶するパターンデータ記憶部等の各種記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。Ｐ−ＣＯＮ４４には、駆動部４６の各種ドライバ等が接続されており、ＣＰＵ４１の機能を補うとともに、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ４４は、上位コンピュータ１１からの各種指令等をそのままあるいは加工してバス４５に取り込むとともに、ＣＰＵ４１と連動して、ＣＰＵ４１等からバス４５に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部４６に出力する。
【００３７】
そして、ＣＰＵ４１は、ＲＯＭ４２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して各種検出信号、各種指令、各種データ等を入力し、ＲＡＭ４３内の各種データ等を処理した後、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して駆動部４６等に各種の制御信号を出力することにより、液状体吐出装置１０全体を制御している。例えば、ＣＰＵ４１は、液滴吐出ヘッド５０、基板移動機構２０およびヘッド移動機構３０を制御して、ヘッドユニット９と基板Ｂとを対向配置させる。そして、ヘッドユニット９と基板Ｂとの相対移動に同期して、ヘッドユニット９に搭載された各液滴吐出ヘッド５０の所定数のノズル５２から基板Ｂに液状体を液滴Ｄとして吐出してパターンを形成する。
【００３８】
この場合、Ｘ方向への基板Ｂの移動に同期して液状体を吐出することを主走査と呼び、Ｙ方向にヘッドユニット９を移動させることを副走査と呼ぶ。本実施例の液状体吐出装置１０は、主走査と副走査とを組み合わせて複数回繰り返すことにより液状体を吐出することができる。主走査は、液滴吐出ヘッド５０に対して一方向への基板Ｂの移動に限らず、基板Ｂを往復させて行うこともできる。
【００３９】
上位コンピュータ１１は、制御プログラムや制御データ等の制御情報を液状体吐出装置１０に送出するだけでなく、これらの制御情報を修正することもできる。また、ノズル５２の位置情報等に基づいて、基板Ｂ上の吐出領域ごとに必要量の液状体を液滴Ｄとして配置する配置情報を生成する配置情報生成部としての機能を有している。配置情報は、吐出させるノズル５２と待機させるノズル５２との分類および吐出領域における液滴Ｄの吐出位置（言い換えれば、基板Ｂとノズル５２との相対位置）、液滴Ｄの配置数（言い換えれば、ノズル５２ごとの吐出数、吐出割合）、主走査における複数のノズル５２のＯＮ／ＯＦＦ、吐出タイミング等の情報を、例えば、ビットマップとして現したものである。
【００４０】
（液状体の吐出方法およびカラーフィルタの製造方法）
次に、本実施形態の液状体の吐出方法を適用したカラーフィルタの製造方法について図５〜図９を参照して説明する。図５（ａ）はカラーフィルタを示す概略平面図であり、同図（ｂ）は同図（ａ）のＣ−Ｃ’断面図である。図６はカラーフィルタの製造方法を示すフローチャートであり、図７（ａ）〜（ｄ）はカラーフィルタの製造方法を示す概略断面図である。
【００４１】
図５（ａ）および（ｂ）に示すように、カラーフィルタ１００は、透明なガラスなどの基板１０１上に赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）３色のフィルタエレメントである着色層１０３を有している。着色層１０３が形成される矩形形状の被吐出領域としての膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂは隔壁部１０４によりマトリクス状に区画されている。本実施形態のカラーフィルタ１００は、同色の着色層１０３が直線的に配列するいわゆるストライプ方式のカラーフィルタである。
【００４２】
図５（ｂ）に示すように、隔壁部１０４は、第１隔壁部１０４ａと第２隔壁部１０４ｂとからなる２層構造となっている。第１隔壁部１０４ａは、例えば、ＣｒやＡｌなどの金属薄膜からなり遮光性を有している。第２隔壁部１０４ｂは、例えば、樹脂材料からなる。なお、二層構造に限定されず、遮光性を有する部材を含む樹脂材料により隔壁部１０４を構成する一層構造でもよい。
【００４３】
着色層１０３は、着色材料を含む透光性樹脂材料からなる。本実施形態では、このようなカラーフィルタ１００を上述の液状体吐出装置１０を用いて製造する。
【００４４】
図６に示すように、本実施形態のカラーフィルタ１００の製造方法は、隔壁部１０４を形成する隔壁部形成工程（ステップＳ１）と、隔壁部１０４が形成された基板１０１の表面を表面処理する表面処理工程（ステップＳ２）と、着色層形成材料を含む液状体を吐出する液状体の吐出工程（ステップＳ３）と、吐出された液状体を乾燥させて着色層１０３を形成する乾燥工程（ステップＳ４）とを基本的に備えるものである。
【００４５】
図６のステップＳ１では、まず、基板１０１の表面にＣｒやＡｌなどの金属薄膜を成膜する。成膜方法としては真空蒸着法、スパッタ法などが挙げられる。膜厚は、例えば遮光性が得られるように０．１μｍ程度とする。これをフォトリソグラフィ法によりパターニングして開口させた図７（ａ）に示す第１隔壁部１０４ａを形成する。次いで、第１隔壁部１０４ａを覆って感光性樹脂を厚み２μｍ程度に塗布し、同じくフォトリソグラフィ法によりパターニングして、第１隔壁部１０４ａ上に第２隔壁部１０４ｂを形成する。これにより図７（ａ）に示すように基板１０１上に開口した矩形形状の膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂを形成する。そして、ステップＳ２へ進む。
【００４６】
図６のステップＳ２では、後の液状体の吐出工程において、吐出された液状体が膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂに着弾して濡れ拡がるように、基板１０１の表面を親液処理する。また、吐出された液状体の一部が第２隔壁部１０４ｂに着弾したとしても膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂ内に収まるように、第２隔壁部１０４ｂの少なくとも上面部を撥液処理する。
【００４７】
表面処理方法としては、隔壁部１０４が形成された基板１０１に対して、Ｏ2を処理ガスとするプラズマ処理とフッ素系ガスを処理ガスとするプラズマ処理とを行う。すなわち、膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂが親液処理され、その後、感光性樹脂からなる第２隔壁部１０４ｂの上面が撥液処理される。なお、第２隔壁部１０４ｂを形成する材料自体が撥液性を有していれば後者の処理を省くこともできる。そして、ステップＳ３へ進む。
【００４８】
図６のステップＳ３では、図１に示す液状体吐出装置１０のステージ５に表面処理された基板１０１を載置する。そして、図３に示したヘッドユニット９の液滴吐出ヘッド５０から異なる着色層形成材料を含む３色の液状体をそれぞれ吐出する。詳しくは、図７（ｂ）および（ｃ）に示すように、基板１０１と液滴吐出ヘッド５０との主走査方向への相対移動に同期して、液滴吐出ヘッド５０のノズル５２から３色の液状体のそれぞれを液滴Ｄとして所望の膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂに吐出する。膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂに吐出される液状体の吐出量は、予め膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂごとに選択されるノズル５２の選択パターンと液滴Ｄの吐出数などが主走査ごとに設定された吐出データに基づいて、制御部４のＣＰＵ４１から適正な制御信号がヘッドドライバ４８に送られて制御される。これにより、所定量の液状体が膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂごとに吐出される。そして、ステップＳ４へ進む。
【００４９】
図６のステップＳ４では、図７（ｄ）に示すように、基板１０１に吐出された液状体から溶媒成分を蒸発させて、着色層形成材料からなる着色層１０３を形成する。本実施形態では、溶媒の蒸気圧を一定にして乾燥することが可能な減圧乾燥装置に基板１０１をセットして減圧乾燥し、Ｒ，Ｇ，Ｂ３色の着色層１０３を形成した。なお、１色の液状体を吐出して乾燥する工程を３回繰り返してもよい。ステップＳ３の液状体の吐出工程において、着色層１０３の膜厚は、色ごとに設定すればよく、必ずしも３色が同一でなくてもよい。必要な膜厚の設定に基づいて、必要量の液状体を対応する膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂに吐出すればよい。
【００５０】
カラーフィルタ１００が形成される基板１０１の大きさは、これを用いる表示装置の大きさによる。また、同一の大きさの表示装置であっても画素が高密度に配置されている場合は、対応するカラーフィルタ１００の着色層１０３の配置も高密度な配置が要求される。
【００５１】
カラーフィルタ１００をより効率的に生産する方法として、一般的には基板１０１よりも面積が大きいマザー基板Ｂに多面取りする方法が採用されている。だが、マザー基板Ｂの大きさによって面積的に効率的なカラーフィルタ１００のサイズが決まる。面積的に非効率なサイズのカラーフィルタ１００を多面取りすると、空きスペースが生ずる。よって、この空きスペースに異なるサイズのカラーフィルタ１００を面付けしてマザー基板Ｂを無駄なく利用することが考えられる。
【００５２】
マザー基板Ｂ上に異なるサイズのカラーフィルタ１００を面付けする場合、膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂの配列方向すなわちストライプ方向が互いに直交することがある。前述したように膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂにおける液滴の配置は、主走査における吐出タイミングにより液状体が吐出されることにより実現される。主走査方向から見た複数のノズル５２は、前述したように一定のノズルピッチＰで配設されている。従って、マザー基板Ｂ上において矩形形状の膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂの配列方向が異なる場合には、配列方向によって膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂに対向するノズル５２の数が制約される場合がある。
【００５３】
本実施形態の液状体の吐出方法を用いたカラーフィルタ１００の製造方法は、マザー基板Ｂにおける膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂの配置に基づいて、好適な液状体の吐出方法を提供するものである。詳しくは実施例を参照して説明する。
【００５４】
（第１実施例）
ここで第１実施例のカラーフィルタの製造方法を図８および図９を参照して説明する。図８は、液状体の吐出工程におけるヘッドユニットとマザー基板との相対配置を示す概略平面図であり、図９（ａ）および（ｂ）は、液状体の吐出工程における液滴の配置を示す概略平面図である。なお、図８および図９に示すＸ方向、Ｙ方向は、図１に示すＸ方向、Ｙ方向と同一な方向を示す。
【００５５】
図８に示すように、第１実施例におけるマザー基板Ｂは、マザー基板Ｂの長辺に沿って複数（７つ）面付けされた第２パネルＥ２と、長辺と短辺とに沿ってマトリクス状に複数（４つ）面付けされた第１パネルＥ１と、を有している。第２パネルＥ２の面積は第１パネルＥ１の面積よりも小さい。
【００５６】
第２パネルＥ２には、第２被吐出領域としての矩形形状の膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂがマトリクス状に複数配列している。同様に、第１パネルＥ１には、第１被吐出領域としての矩形形状の膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'がマトリクス状に複数配列している。ここで膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂの面積は、膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'の面積よりも小さい。膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂと膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'とは、同種（同色）の液状体が吐出されるストライプ方向が直交している。また、それぞれに所望の液状体が所定量吐出されて着色層１０３が形成される。
【００５７】
液状体の吐出工程では、図１に示す液状体吐出装置１０を用いて、ヘッド移動機構３０において副走査方向（Ｙ方向）に配置した複数のヘッドユニット９に対して、マザー基板Ｂの長辺がほぼ平行となるようにマザー基板Ｂをステージ５上に位置決めする。そして、主走査方向（Ｘ方向）にステージ５を移動させる間にヘッドユニット９に搭載された液滴吐出ヘッド５０からマザー基板Ｂに向けて液状体を吐出する。
【００５８】
この場合、膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂの長辺方向は副走査方向（Ｙ方向）に合致している。膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'の長辺方向は主走査方向（Ｘ方向）に合致している。また、液滴吐出ヘッド５０に配列されたノズル列５２ａは、ヘッドユニット回転機構７０により副走査方向（Ｙ方向）に合致するように配置されている。その結果、図９（ａ）に示すように、複数のノズル５２からなるノズル列５２ａは、矩形形状の膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂの長辺方向に沿って配置されている。
【００５９】
例えば、主走査（Ｘ方向）において、赤の液状体が吐出される膜形成領域１０３ｒには、４つのノズル５２がかかりそれぞれから液滴Ｄ１を吐出する。これにより膜形成領域１０３ｒにはそれぞれ４滴の液滴Ｄ１が塗布される。着弾した液滴Ｄ１は、膜形成領域１０３ｒ内に濡れ拡がる。また、主走査方向においては、吐出タイミングを制御することにより膜形成領域１０３ｒのいずれか任意の位置に液滴Ｄ１を着弾させることができる。副走査方向（Ｙ方向）における着弾位置は、膜形成領域１０３ｒの副走査方向における配置ピッチとノズルピッチＰとの関係から膜形成領域１０３ｒごとに必ずしも同一とは限らない。なお、第２パネルＥ２における他の膜形成領域１０３ｇ，１０３ｂにおいても同様に所望の液状体を液滴Ｄ１として４滴ずつ吐出する。
【００６０】
図９（ｂ）に示すように、上記主走査において、例えば、膜形成領域１０３ｒに対して面積が大きく配列方向が直交する膜形成領域１０３ｒ'には、２つのノズル５２が掛かる。そして、それぞれのノズル５２から主走査方向に複数の液滴Ｄ１を吐出する。これにより各膜形成領域１０３ｒ'ごとに液滴Ｄ１が塗布される。主走査方向においては、吐出タイミングを制御することにより膜形成領域１０３ｒ'のいずれか任意の位置に液滴Ｄ１を着弾させることができる。一方、副走査方向（Ｙ方向）における着弾位置は、膜形成領域１０３ｒ'の副走査方向における配置ピッチとノズルピッチＰとの関係から膜形成領域１０３ｒ'ごとに２つのノズル５２が掛かるものの必ずしも同一とは限らない。なお、第１パネルＥ１における他の膜形成領域１０３ｇ'，１０３ｂ'においても同様に所望の液状体を液滴Ｄ１として吐出する。
【００６１】
上述したように第１実施例の吐出工程では、膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'に対して面積の小さい膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂにより多くのノズル５２が掛かるようにヘッドユニット９とマザー基板Ｂとを位置決めして、それぞれの膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂと膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'とに液滴Ｄ１を吐出することができる。
【００６２】
以下、第１実施例の効果を記載する。
（１）この実施例の液状体の吐出方法によれば、ノズル列５２ａの配置方向を、面積の大きい第１被吐出領域としての膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'の短辺方向および面積の小さい第２被吐出領域としての膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂの長辺方向と同一方向にすることができる。すなわち、面積の大きい膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'は短辺方向に、面積の小さい膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂは長辺方向に、ノズル５２を配置することができる。そのため、面積の異なる第１被吐出領域および第２被吐出領域が同一基板内に混在していても、それぞれの被吐出領域内に液状体を吐出することができるノズルの数を多く配置することができる。従って、被吐出領域内の偏った位置に液状体が吐出され液状体の吐出量の偏りが発生することを低減することができる。その結果、被吐出領域に形成される薄膜の厚さの不均一を低減させることができる。
【００６３】
（２）この実施例の液状体の吐出方法によれば、配列方向が互いに直交する面積の異なる膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'および膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂに形成される着色層１０３の厚さの不均一を低減させることができる。すなわち、着色層１０３の配列方向が異なり、大きさの異なる少なくとも２種のカラーフィルタ１００を高い生産性で製造することができる。
【００６４】
（第２実施例）
ここで、第２実施例のカラーフィルタの製造方法について、図１０および図１１を参照して説明する。図１０は、第２実施例の液状体の吐出工程におけるヘッドユニットとマザー基板との相対配置を示す概略平面図、図１１は、第２実施例の液状体の吐出工程における液滴の配置を示す概略平面図である。なお、図１０および図１１に示すＸ方向、Ｙ方向は、図１に示すＸ方向、Ｙ方向と同一な方向を示す。また、第１実施例と同様な構成および内容については、符号を等しくして説明を省略する。
【００６５】
第２実施例におけるマザー基板は、第１実施例のマザー基板Ｂと同様に７つの第２パネルＥ２と、４つの第１パネルＥ１とを有している。従って、第２パネルＥ２には、第２被吐出領域としての矩形形状の膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂがマトリクス状に複数配列されており、第１パネルＥ１には、第１被吐出領域としての矩形形状の膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'がマトリクス状に複数配列されている。
【００６６】
液状体の吐出工程では、図１に示す液状体吐出装置１０を用いて、ヘッド移動機構３０において副走査方向（Ｙ方向）に配置した複数のヘッドユニット９に対して、マザー基板Ｂの長辺がほぼ平行となるようにマザー基板Ｂをステージ５上に位置決めする。ただし、第２実施例では、図１０に示すように、ヘッドユニット回転機構７０を用いてヘッドユニット９を点ｌを中心にＹ方向に対してα度だけ回転させる。その結果、液滴吐出ヘッド５０に配列されたノズル列５２ａもα度だけ回転して、配置される。
【００６７】
すなわち、図１１（ａ）に示すように、複数のノズル５２からなるノズル列５２ａは、矩形形状の膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂの長辺方向からα度の角度を有して配置される。そして、主走査方向（Ｘ方向）にステージ５を移動させる間にヘッドユニット９に搭載された液滴吐出ヘッド５０からマザー基板Ｂに向けて液状体を吐出する。この場合、ノズル列５２ａは、Ｙ方向に対してα度の角度を有しているため、膜形成領域１０３ｒに対する実質的な液滴の配置間隔Ｐ１（Ｐ×Ｃｏｓα）は、ノズル列５２ａのノズルピッチＰより狭くなる。
【００６８】
そのため、主走査（Ｘ方向）において、赤の液状体が吐出される膜形成領域１０３ｒには、５つのノズル５２がかかりそれぞれから液滴Ｄ１を吐出する。これにより膜形成領域１０３ｒにはそれぞれ５滴の液滴Ｄ１が塗布される。主走査方向においては、吐出タイミングを制御することにより膜形成領域１０３ｒのいずれか任意の位置に液滴Ｄ１を着弾させることができる。すなわち、膜形成領域１０３ｒのＸ方向の任意の位置に１列に液滴を配置することができる。なお、第２パネルＥ２における他の膜形成領域１０３ｇ，１０３ｂにおいても同様に所望の液状体を液滴Ｄ１として５滴ずつ吐出する。
【００６９】
図１１（ｂ）に示すように、同様に、ノズル列５２ａは、Ｙ方向に対してα度の角度を有しているため、膜形成領域１０３ｒに対して面積が大きく配列方向が直交する膜形成領域１０３ｒ'に対する実質的な液滴の配置間隔Ｐ１（Ｐ×Ｃｏｓα）は、ノズル列５２ａのノズルピッチＰより狭くなる。従って、膜形成領域１０３ｒ'には、３つのノズル５２が掛かる。そして、それぞれのノズル５２から液滴Ｄ１を吐出する。これにより各膜形成領域１０３ｒ'の副走査方向に３滴の液滴Ｄ１が塗布される。主走査方向においては、吐出タイミングを制御することにより膜形成領域１０３ｒ'のいずれか任意の位置に液滴Ｄ１を着弾させることができる。なお、第１パネルＥ１における他の膜形成領域１０３ｇ'，１０３ｂ'においても同様に所望の液状体を液滴Ｄ１として吐出する。
【００７０】
以下、第２実施例の効果を記載する。
（１）この実施例の液状体の吐出方法によれば、ノズル列５２ａを、第１被吐出領域としての膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'の短辺方向に対して角度αを有するように配置することによって、膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'の短辺方向に配置される液滴の配置間隔Ｐ１をノズルピッチＰより実質的に狭くすることができる。すなわち、膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'に対してより多くのノズル５２から液状体を吐出することができる。そのため、被吐出領域内の偏った位置に液状体が吐出され液状体の吐出量の偏りが発生することを低減することができる。その結果、被吐出領域に形成される薄膜の厚さの不均一を低減させることができる。
【００７１】
（２）この実施例の液状体の吐出方法によれば、被吐出領域に対してより多くのノズル５２を対向させ液状体を吐出することができる。そのため、ノズル５２の吐出特性のばらつきがあったとしてもより多くのノズル５２を用いることによって吐出特性のばらつきを分散させることができる。その結果、被吐出領域に形成される薄膜の厚さの不均一を低減させることができる。
【００７２】
（３）この実施例の液状体の吐出方法によれば、ヘッドユニット９の回転角度αを調整することによって、ノズルピッチＰに関わらず被吐出領域に着弾する液滴の配置間隔Ｐ１を任意に設定することができる。そのため、被吐出領域の副走査方向のサイズに関わらず多くのノズル５２から液状体を液滴として吐出することができる。そのため、被吐出領域内の偏った位置に液状体が吐出され液状体の吐出量の偏りが発生することを低減することができる。また、ノズル５２の吐出特性のばらつきがあったとしても複数のノズル５２を用いることによって吐出特性のばらつきを分散させることができる。その結果、被吐出領域に形成される薄膜の厚さの不均一を低減させることができる。
【００７３】
（４）また、被吐出領域に着弾する液滴の配置間隔Ｐ１を任意に設定することができるため、被吐出領域に対して高密度、高精細に液状体を吐出することができる。そのため、高密度、高精細な薄膜を形成することができ表示装置の高画質化に寄与することができる。
【００７４】
（５）この実施例の液状体の吐出方法によれば、配列方向が互いに直交し面積の異なる膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'および膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂに形成される着色層１０３の厚さの不均一を低減させることができる。すなわち、着色層１０３の配列方向が異なり、大きさの異なる少なくとも２種のカラーフィルタ１００を高い生産性で製造することができる。
【００７５】
（第３実施例）
ここで、第３実施例のカラーフィルタの製造方法について、図１２を参照して説明する。図１２は、第３実施例の液状体の吐出工程における液滴の配置を示す概略平面図である。なお、図１２に示すＸ方向、Ｙ方向は、図１に示すＸ方向、Ｙ方向と同一な方向を示す。また、第１および第２実施例と同様な構成および内容については、符号を等しくして説明を省略する。
【００７６】
第３実施例におけるマザー基板は、第１および第２実施例のマザー基板Ｂと同様に７つの第２パネルＥ２と、４つの第１パネルＥ１とを有している。従って、第２パネルＥ２には、第２被吐出領域としての矩形形状の膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂがマトリクス状に複数配列されており、第１パネルＥ１には、第１被吐出領域としての矩形形状の膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'がマトリクス状に複数配列されている。
【００７７】
液状体の吐出工程では、図１に示す液状体吐出装置１０を用いて、ヘッド移動機構３０において副走査方向（Ｙ方向）に配置した複数のヘッドユニット９に対して、マザー基板Ｂの長辺がほぼ平行となるようにマザー基板Ｂをステージ５上に位置決めする。そして、主走査方向（Ｘ方向）にステージ５を移動させ、ヘッドユニット９に搭載された液滴吐出ヘッド５０からマザー基板Ｂに向けて液状体を吐出する。
【００７８】
このとき、ヘッドユニット９に搭載された液滴吐出ヘッド５０のノズル列５２ａは、副走査方向に対して角度αを有していてもよいし、副走査方向と同一な方向に配置されていてもよい。本実施例では、ノズル列５２ａが副走査方向と同一な方向に配置されている場合を例にとり説明する。また、本実施例では説明を簡便にするため、第１被吐出領域としての膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'に液状体を吐出する場合を例にとり説明する。
【００７９】
この場合、図１２（ａ）に示すように、複数のノズル５２i（ｉは１からｉまでの自然数）からなるノズル列５２ａは、膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'の短辺方向に沿って配置されている。本実施例では、膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'の短辺方向の幅が小さく形成されているため、例えば、２つのノズル５２1，５２2から赤の液状体を膜形成領域１０３ｒ'に同時に吐出すると、隣接する膜形成領域１０３ｇ'に赤の液状体が混入する虞がある。そのため、赤の液状体が吐出される膜形成領域１０３ｒ'には、１つのノズル５２1のみを用いる必要がある。なお、同様にモザイク状に配設された他の膜形成領域１０３ｒ'には、１つのノズル５２6が用いられる。
【００８０】
図１に示すステージ５によりマザー基板Ｂを図１２中Ｘ（＋）方向に移動させながらノズル５２1，５２6から液滴Ｄ１を吐出する１回目の吐出動作を行うと、図１２（ａ）に示すように、膜形成領域１０３ｒ'の図中左側に液滴Ｄ１が列状に配置される。なお、Ｘ方向の配置間隔は、吐出タイミングを制御することにより任意の間隔に調整できる。
【００８１】
次いで、図１に示すヘッド移動機構３０によりヘッドユニット９を図１２中Ｙ（−）方向に微量移動させる。移動距離を調整することにより、図１２（ｂ）に示すように、赤の液状体が吐出される膜形成領域１０３ｒ'には、ノズル５２2およびノズル５２7が対向する。そして、マザー基板Ｂを図１２中Ｘ（−）方向に移動させながらノズル５２2，５２7から液滴Ｄ２を吐出する２回目の吐出動作を行うと、膜形成領域１０３ｒ'の図中右側に液滴Ｄ２が列状に配置される。
【００８２】
このように、マザー基板ＢのＸ方向（主走査方向）の移動およびノズル５２iからの液状体の吐出の間にヘッドユニット９のＹ方向（副走査方向）の微量移動を行うことによって、膜形成領域１０３ｒ'のＹ方向の異なった位置に異なったノズル５２iから液状体を液滴Ｄとして配置することができる。
【００８３】
なお、液状体の吐出量の調整、もしくは、より高密度な液滴の配置を望む場合は、図１２（ｃ）に示すように、２回目の吐出動作の後、図１に示すヘッド移動機構３０によりヘッドユニット９を図１２中Ｙ（−）方向にさらに微量移動させ、ノズル５２2およびノズル５２7を液滴Ｄ１および液滴Ｄ２からなる液滴列の間に対向させ、マザー基板Ｂを図１２中Ｘ（＋）方向に移動させながらノズル５２2，５２7から液滴Ｄ３を吐出する３回目の吐出動作を行う。このようにすることにより、膜形成領域１０３ｒ'には液滴Ｄ１〜Ｄ３からなる３列の液滴列が形成される。
【００８４】
以下、第３実施例の効果を記載する。
（１）この実施例の液状体の吐出方法によれば、マザー基板ＢのＸ方向（主走査方向）の移動およびノズル５２iからの液状体の吐出の間にヘッドユニット９のＹ方向（副走査方向）の微量移動を行うことによって、膜形成領域１０３のＹ方向の異なった位置に異なったノズル５２iから液状体を液滴Ｄとして配置することができる。そのため、膜形成領域１０３に配置することができる液滴Ｄを実質的に多くすることができる。そのため、膜形成領域１０３内の偏った位置に液状体が吐出され液状体の吐出量の偏りが発生することを低減することができる。その結果、被吐出領域に形成される薄膜の厚さの不均一を低減させることができる。
【００８５】
（２）この実施例の液状体の吐出方法によれば、膜形成領域１０３に対してより多くのノズル５２iを対向させ液状体を吐出することができる。そのため、ノズル５２の吐出特性のばらつきがあったとしてもより多くのノズル５２iを用いることによって吐出特性のばらつきを分散させることができる。その結果、膜形成領域１０３に形成される薄膜の厚さの不均一を低減させることができる。
【００８６】
（３）この実施例の液状体の吐出方法によれば、ヘッド移動機構３０によるヘッドユニット９の移動量を調整することによって、ノズルピッチＰに関わらず被吐出領域に着弾する液滴の配置間隔を任意に設定することができる。そのため、被吐出領域の副走査方向のサイズに関わらず多くのノズル５２から液状体を液滴として吐出することができる。そのため、被吐出領域内の偏った位置に液状体が吐出され液状体の吐出量の偏りが発生することを低減することができる。また、ノズル５２の吐出特性のばらつきがあったとしても複数のノズル５２を用いることによって吐出特性のばらつきを分散させることができる。その結果、被吐出領域に形成される薄膜の厚さの不均一を低減させることができる。
【００８７】
（４）また、被吐出領域に着弾する液滴の配置間隔を任意に設定することができるため、被吐出領域に対して高密度、高精細に液状体を吐出することができる。そのため、高密度、高精細な薄膜を形成することができ表示装置の高画質化に寄与することができる。
【００８８】
（５）この実施例の液状体の吐出方法によれば、配列方向が互いに直交する面積の異なる膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'および膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂに形成される着色層１０３の厚さの不均一を低減させることができる。すなわち、着色層１０３の配列方向が異なり、大きさの異なる少なくとも２種のカラーフィルタ１００を高い生産性で製造することができる。
【００８９】
（第４実施例）
次に前述の液状体の配置方法を用いた有機ＥＬ装置の製造方法について説明する。
（有機ＥＬ装置）
図１３は、有機ＥＬ装置の要部構造を示す概略断面図である。図１３に示すように、本実施形態の電気光学装置としての有機ＥＬ装置６００は、有機ＥＬ素子としての発光素子部６０３を有する素子基板６０１と、素子基板６０１と空間６２２を隔てて封着された封止基板６２０とを備えている。また素子基板６０１は、素子基板６０１上に回路素子部６０２を備えており、発光素子部６０３は、回路素子部６０２上に重畳して形成され、回路素子部６０２により駆動されるものである。発光素子部６０３には、３色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂがそれぞれの色要素領域としての被吐出領域Ｑに形成され、ストライプ状となっている。素子基板６０１は、３色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂに対応する３つの被吐出領域Ｑを１組の絵素とし、この絵素が素子基板６０１の回路素子部６０２上にマトリクス状に配置されたものである。本実施形態の有機ＥＬ装置６００は、発光素子部６０３からの発光が素子基板６０１側に出射するものである。
【００９０】
封止基板６２０は、ガラス又は金属からなるもので、封止樹脂を介して素子基板６０１に接合されており、封止された内側の表面には、ゲッター剤６２１が貼り付けられている。ゲッター剤６２１は、素子基板６０１と封止基板６２０との間の空間６２２に侵入した水又は酸素を吸収して、発光素子部６０３が侵入した水又は酸素によって劣化することを防ぐものである。なお、このゲッター剤６２１は省略しても良い。
【００９１】
本実施形態の素子基板６０１は、回路素子部６０２上に複数の被吐出領域Ｑを有するものであって、複数の被吐出領域Ｑを区画する隔壁部としてのバンク６１８と、複数の被吐出領域Ｑに形成された電極６１３と、電極６１３に積層された正孔注入／輸送層６１７ａとを備えている。また複数の被吐出領域Ｑ内に発光層形成材料を含む３種の液状体を付与して形成された発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂを有する色要素としての発光素子部６０３を備えている。バンク６１８は、下層バンク６１８ａと被吐出領域Ｑを実質的に区画する上層バンク６１８ｂとからなり、下層バンク６１８ａは、被吐出領域Ｑの内側に張り出すように設けられて、電極６１３と各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂとが直接接触して電気的に短絡することを防止するためにＳｉＯ2等の無機絶縁材料により形成されている。
【００９２】
素子基板６０１は、例えばガラス等の透明な基板からなり、素子基板６０１上にシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。なお、半導体膜６０７には、ソース領域６０７ａ及びドレイン領域６０７ｂが高濃度Ｐイオン打ち込みにより形成されている。なお、Ｐが導入されなかった部分がチャネル領域６０７ｃとなっている。さらに下地保護膜６０６及び半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、ゲート絶縁膜６０８上にはＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等からなるゲート電極６０９が形成され、ゲート電極６０９及びゲート絶縁膜６０８上には透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。ゲート電極６０９は半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置に設けられている。また、第１層間絶縁膜６１１ａおよび第２層間絶縁膜６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ接続されるコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）等からなる透明な電極６１３が所定の形状にパターニングされて配置され（電極形成工程）、一方のコンタクトホール６１２ａがこの電極６１３に接続されている。また、もう一方のコンタクトホール６１２ｂが電源線６１４に接続されている。このようにして、回路素子部６０２には、各電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５が形成されている。なお、回路素子部６０２には、保持容量とスイッチング用の薄膜トランジスタも形成されているが、図１３ではこれらの図示を省略している。
【００９３】
発光素子部６０３は、陽極としての電極６１３と、電極６１３上に順次積層された正孔注入／輸送層６１７ａ、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ（総称して発光層６１７ｂ）と、上層バンク６１８ｂと発光層６１７ｂとを覆うように積層された陰極６０４とを備えている。なお、陰極６０４と封止基板６２０およびゲッター剤６２１を透明な材料で構成すれば、封止基板６２０側から発光する光を出射させることができる。
【００９４】
有機ＥＬ装置６００は、ゲート電極６０９に接続された走査線（図示省略）とソース領域６０７ａに接続された信号線（図示省略）とを有し、走査線に伝わった走査信号によりスイッチング用の薄膜トランジスタ（図示省略）がオンになると、そのときの信号線の電位が保持容量に保持され、該保持容量の状態に応じて、駆動用の薄膜トランジスタ６１５のオン・オフ状態が決まる。そして、駆動用の薄膜トランジスタ６１５のチャネル領域６０７ｃを介して、電源線６１４から電極６１３に電流が流れ、更に正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを介して陰極６０４に電流が流れる。発光層６１７ｂは、これを流れる電流量に応じて発光する。有機ＥＬ装置６００は、このような発光素子部６０３の発光メカニズムにより、所望の文字や画像などを表示することができる。
【００９５】
（有機ＥＬ装置の製造方法）
次に本実施形態の有機ＥＬ装置の製造方法について図１４および図１５に基づいて説明する。図１４は、有機ＥＬ装置の製造方法を示すフローチャート、図１５は、有機ＥＬ装置の製造方法を示す概略断面図である。なお、図１５（ａ）〜（ｆ）においては、素子基板６０１上に形成された回路素子部６０２は、図示を省略している。
【００９６】
図１４に示すように、有機ＥＬ装置の製造方法は、素子基板６０１の複数の被吐出領域Ｑに対応する位置に電極６１３を形成する工程と、電極６１３に一部が掛かるように下層バンク６１８ａを形成し、さらに下層バンク６１８ａ上に実質的に被吐出領域Ｑを区画するように上層バンク６１８ｂを形成するバンク（隔壁部）形成工程とを備えている。また上層バンク６１８ｂで区画された被吐出領域Ｑの表面処理を行う工程と、表面処理された被吐出領域Ｑに正孔注入／輸送層形成材料を含む液状体を付与して正孔注入／輸送層６１７ａを吐出描画する工程と、吐出された液状体を乾燥して正孔注入／輸送層６１７ａを成膜する工程とを備えている。また、正孔注入／輸送層６１７ａが形成された被吐出領域Ｑの表面処理を行う工程と、表面処理された被吐出領域Ｑに色要素形成材料としての発光層形成材料を含む３種の液状体を付与して発光層６１７ｂを吐出描画する色要素描画工程としての発光層描画工程と、吐出された３種の液状体を乾燥して発光層６１７ｂを成膜する工程とを備えている。さらに、上層バンク６１８ｂと発光層６１７ｂを覆うように陰極６０４を形成する工程を備えている。各液状体の被吐出領域Ｑへの付与は、液状体吐出装置１０を用いて行う。
【００９７】
図１４のステップＳ１１は、電極（陽極）形成工程である。ステップＳ１１では、図１５（ａ）に示すように、回路素子部６０２がすでに形成された素子基板６０１の被吐出領域Ｑに対応する位置に電極６１３を形成する。形成方法としては、例えば、素子基板６０１の表面にＩＴＯ等の透明電極材料を用いて真空中でスパッタ法あるいは蒸着法で透明電極膜を形成する。その後、フォトリソグラフィ法にて必要な部分だけを残してエッチングして電極６１３を形成する方法が挙げられる。また、フォトレジストで素子基板６０１を先に覆って、電極６１３を形成する領域が開口するように露光・現像する。そして開口部にＩＴＯ等の透明電極膜を形成し、残存したフォトレジストを除く方法でもよい。そしてステップＳ１２へ進む。
【００９８】
図１４のステップＳ１２は、バンク（隔壁部）形成工程である。ステップＳ１２では、図１５（ｂ）に示すように、素子基板６０１の複数の電極６１３の一部を覆うように下層バンク６１８ａを形成する。下層バンク６１８ａの材料としては、無機材料である絶縁性のＳｉＯ2（酸化珪素）を用いている。下層バンク６１８ａの形成方法としては、例えば、後に形成される発光層６１７ｂに対応して、各電極６１３の表面をレジスト等を用いてマスキングする。そしてマスキングされた素子基板６０１を真空装置に投入し、ＳｉＯ2をターゲットあるいは原料としてスパッタリングや真空蒸着することにより下層バンク６１８ａを形成する方法が挙げられる。レジスト等のマスキングは、後に剥離する。なお、下層バンク６１８ａは、ＳｉＯ2により形成されているため、その膜厚が２００ｎｍ以下であれば十分な透明性を有しており、後に正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが積層されても発光を阻害することはない。
【００９９】
続いて、各被吐出領域Ｑを実質的に区画するように下層バンク６１８ａの上に上層バンク６１８ｂを形成する。上層バンク６１８ｂの材料としては、後述する発光層形成材料を含む３種の液状体８４Ｒ，８４Ｇ，８４Ｂの溶媒に対して耐久性を有するものであることが望ましく、さらに、フッ素系ガスを処理ガスとするプラズマ処理によりテトラフルオロエチレン化できること、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、感光性ポリイミドなどといった有機材料が好ましい。上層バンク６１８ｂの形成方法としては、例えば、下層バンク６１８ａが形成された素子基板６０１の表面に感光性の前記有機材料をロールコート法やスピンコート法で塗布し、乾燥させて厚みがおよそ２μｍの感光性樹脂層を形成する。そして、被吐出領域Ｑに対応した大きさで開口部が設けられたマスクを素子基板６０１と所定の位置で対向させて露光・現像することにより、上層バンク６１８ｂを形成する方法が挙げられる。これにより下層バンク６１８ａと上層バンク６１８ｂとを有する隔壁部としてのバンク６１８が形成される。そして、ステップＳ１３へ進む。
【０１００】
図１４のステップＳ１３は、被吐出領域Ｑを表面処理する工程である。ステップＳ１３では、バンク６１８が形成された素子基板６０１の表面を、まずＯ2ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより電極６１３の表面、下層バンク６１８ａの張り出し部および上層バンク６１８ｂの表面（壁面を含む）を活性化させて親液処理する。つぎにＣＦ4等のフッ素系ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより有機材料である感光性樹脂からなる上層バンク６１８ｂの表面のみにフッ素系ガスが反応して撥液処理される。そして、ステップＳ１４へ進む。
【０１０１】
図１４のステップＳ１４は、正孔注入／輸送層形成工程である。ステップＳ１４では、図１５（ｃ）に示すように、正孔注入／輸送層形成材料を含む液状体８２を被吐出領域Ｑに付与する。液状体８２を付与する方法としては、前述の液状体吐出装置１０を用いる。液滴吐出ヘッド５０から吐出された液状体８２は、液滴として素子基板６０１の電極６１３に着弾して濡れ拡がる。液状体８２は被吐出領域Ｑの面積に応じて必要量が液滴として吐出され表面張力で盛り上がった状態となる。液状体吐出装置１０により、１種の液状体８２を吐出して描画するので、少なくとも１回の主走査により吐出描画が可能である。そしてステップＳ１５へ進む。
【０１０２】
図１４のステップＳ１５は、乾燥・成膜工程である。ステップＳ１５では、素子基板６０１を例えばランプアニール等の方法で加熱することにより、液状体８２の溶媒成分を乾燥させて除去し、電極６１３の下層バンク６１８ａにより区画された領域に正孔注入／輸送層６１７ａが形成される。本実施形態では、正孔注入／輸送層形成材料としてＰＥＤＯＴ（Polyethylene Dioxy Thiophene；ポリエチレンジオキシチオフェン）を用いた。なお、この場合、各被吐出領域Ｑに同一材料からなる正孔注入／輸送層６１７ａを形成したが、後の発光層の形成材料に対応して正孔注入／輸送層６１７ａの材料を被吐出領域Ｑごとに変えてもよい。そしてステップＳ１６へ進む。
【０１０３】
図１４のステップＳ１６は、正孔注入／輸送層６１７ａが形成された素子基板６０１を表面処理する工程である。ステップＳ１６では、上記の正孔注入／輸送層形成材料を用いて正孔注入／輸送層６１７ａを形成した場合、その表面が、次のステップＳ１７で用いられる３種の液状体８４Ｒ，８４Ｇ，８４Ｂに対して撥液性を有するので、少なくとも被吐出領域Ｑの領域内を再び親液性を有するように表面処理を行う。表面処理の方法としては、３種の液状体８４Ｒ，８４Ｇ，８４Ｂに用いられる溶媒を塗布して乾燥する。溶媒の塗布方法としては、スプレー法、スピンコート法等の方法が挙げられる。そしてステップＳ１７へ進む。
【０１０４】
図１４のステップＳ１７は、ＲＧＢ発光層描画工程である。ステップＳ１７では、図１５（ｄ）に示すように、前述の液状体の配置方法を適用して液状体吐出装置１０の異なる液滴吐出ヘッド５０から複数の被吐出領域Ｑに発光層形成材料を含む３種の液状体８４Ｒ，８４Ｇ，８４Ｂを付与する。液状体８４Ｒは発光層６１７Ｒ（赤色）を形成する材料を含み、液状体８４Ｇは発光層６１７Ｇ（緑色）を形成する材料を含み、液状体８４Ｂは発光層６１７Ｂ（青色）を形成する材料を含んでいる。着弾した各液状体８４Ｒ，８４Ｇ，８４Ｂは、被吐出領域Ｑに濡れ拡がって断面形状が円弧状に盛り上がる。そして、ステップＳ１８へ進む。
【０１０５】
図１４のステップＳ１８は、乾燥・成膜工程である。ステップＳ１８では、図１５（ｅに示すように、吐出描画された各液状体８４Ｒ，８４Ｇ，８４Ｂの溶媒成分を乾燥させて除去し、各被吐出領域Ｑの正孔注入／輸送層６１７ａに各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂが積層されるように成膜化する。各液状体８４Ｒ，８４Ｇ，８４Ｂが吐出描画された素子基板６０１の乾燥方法としては、溶媒の蒸発速度をほぼ一定とすることが可能な、減圧乾燥が好ましい。そしてステップＳ１９へ進む。
【０１０６】
図１４のステップＳ１９は、陰極形成工程である。ステップＳ１９では、図１５（ｆ）に示すように、素子基板６０１の各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂと上層バンク６１８ｂの表面とを覆うように陰極６０４を形成する。陰極６０４の材料としては、Ｃａ、Ｂａ、Ａｌ等の金属やＬｉＦ等のフッ化物を組み合わせて用いるのが好ましい。特に発光層に近い側に仕事関数が小さいＣａ、Ｂａ、ＬｉＦの膜を形成し、遠い側に仕事関数が大きいＡｌ等の膜を形成するのが好ましい。また、陰極６０４の上にＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層を積層してもよい。このようにすれば、陰極６０４の酸化を防止することができる。陰極６０４の形成方法としては、蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等が挙げられる。特に発光層の熱による損傷を防止できるという点では、蒸着法が好ましい。このようにして出来上がった素子基板６０１を用いて有機ＥＬ装置６００を製造する。
【０１０７】
以下、第４実施形態の効果を記載する。
（１）この有機ＥＬ装置６００の製造方法によれば、発光層描画工程において、面積が異なるとともに配列方向が互いに直交する素子基板６０１の２種類の被吐出領域Ｑに、前述の液状体の吐出方法を用いて３種の液状体８４Ｒ，８４Ｇ，８４Ｂを吐出して、３種の色要素としての発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂを形成することができる。そして、２種類の被吐出領域Ｑに形成される発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂの厚さの不均一を低減させることができるとともに、有機ＥＬ素子としての発光素子部６０３の配列方向が異なる少なくとも２種の有機ＥＬ装置６００を高い生産性で製造することができる。
【０１０８】
以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態に対しては、本発明の趣旨から逸脱しない範囲で様々な変形を加えることができる。例えば上記実施形態以外の変形例は、以下の通りである。
【０１０９】
（変形例１）上記実施形態で説明したマザー基板Ｂにおける第１パネルＥ１および第２パネルＥ２のレイアウトは１実施例でありこれに限定されない。第１パネルＥ１および第２パネルＥ２がマザー基板Ｂにおいて、ある規則性を有して配置されていればよい。また、本実施形態で説明した第１被吐出領域および第２被吐出領域のレイアウトは、いわゆるストライプ方式の場合について説明したが、これに限定されない。いわゆるモザイク方式もしくはデルタ方式のレイアウトであってもよい。
【０１１０】
（変形例２）上記実施形態では、第１被吐出領域および第２被吐出領域の面積が異なる場合を例にとり説明したがこれに限定されない。例えば、第１被吐出領域および第２被吐出領域とが同じ面積で配列方向が異なっている場合でも、ノズル列５２ａに短辺方向が沿っている被吐出領域に対して上記で説明した液状体の吐出方法を適用して、被吐出領域の短辺方向にかかるノズル５２の数を多く設定することができる。そのため、被吐出領域内の偏った位置に液状体が吐出され液状体の吐出量の偏りが発生することを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１１１】
【図１】液状体吐出装置の構成を示す概略斜視図。
【図２】液滴吐出ヘッドの構造を示す概略図。
【図３】ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図。
【図４】液状体吐出装置の制御系を示すブロック図。
【図５】カラーフィルタを示す概略図。
【図６】カラーフィルタの製造方法を示すフローチャート。
【図７】カラーフィルタの製造方法を示す概略断面図。
【図８】ヘッドユニットとマザー基板との相対配置を示す概略平面図。
【図９】液状体の吐出工程における液滴の配置を示す概略平面図。
【図１０】第２実施例におけるヘッドユニットとマザー基板との相対配置を示す概略平面図。
【図１１】第２実施例における液滴の配置を示す概略平面図。
【図１２】第３実施例における液滴の配置を示す概略平面図。
【図１３】有機ＥＬ装置の要部構造を示す概略断面図。
【図１４】有機ＥＬ装置の製造方法を示すフローチャート。
【図１５】有機ＥＬ装置の製造方法を示す概略断面図。
【符号の説明】
【０１１２】
４…制御部、９…ヘッドユニット、９ａ…ヘッドプレート、１０…液状体吐出装置、２０…基板移動機構、３０…ヘッド移動機構、５０…液滴吐出ヘッド、５２，５２i…ノズル、５２ａ…ノズル列、７０…ヘッドユニット回転機構、１００…カラーフィルタ、１０３…着色層、１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂ…第２被吐出領域としての膜形成領域、１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'…第１被吐出領域としての膜形成領域、６００…有機ＥＬ装置、６０３…有機ＥＬ素子としての発光素子部、６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ…発光層、６１７ａ…正孔注入／輸送層、Ｂ…マザー基板（基板）、Ｄ，Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３…液滴、Ｅ１…第１パネル、Ｅ２…第２パネル、Ｐ…ノズルピッチ、Ｐ１…液滴配置間隔。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状体をノズルから吐出する液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法および有機ＥＬ装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶表示装置等のカラーフィルタ、有機ＥＬ装置の成膜等の分野に、機能性材料を含む液状体を吐出する液状体の吐出方法が適用されている。この液状体の吐出方法には液滴吐出装置が用いられる。液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドと呼ばれる液滴吐出機構を有している。この液滴吐出ヘッドには、複数のノズルが規則的に形成されている。カラーフィルタや有機ＥＬ装置の製造では、これらのノズルから機能性材料を含む液状体を基板等に液滴として吐出して、機能性材料からなる薄膜を形成する。
【０００３】
近年、表示装置は、適用される分野が拡大しており、様々なサイズのパネルが提供されている。また、表示装置の高画質化の要求もあり、それに応えるため高精細、高密度なカラーフィルタや有機ＥＬ装置の成膜を実現しなくてはならない。そのため、様々なサイズの基板に対して、液状体を、高精細、高密度に吐出することが重要になってきている。また、表示装置のパネルの需要が増加し、パネルの生産性を向上させるため、１枚の大型基板から多数のパネルを製造したいとの要求もある。この場合、取り数の効率を追求するため、または、１枚の基板から異なったサイズのパネルを生産するため、様々なレイアウトが検討されている。レイアウトによっては、液状体が吐出される最小単位の領域である画素領域の配置が、９０度異なる場合がある。
【０００４】
ワーク（基板）に液滴吐出ヘッドから液状体を液滴として吐出してパターンの描画を行う液滴吐出装置および液滴吐出方法として、ワークを第１方向および第１方向と略直交する第２方向に移動させて、第２方向に沿ってあらかじめ位置決めされた複数のキャリッジに配設された液滴吐出ヘッドのノズルから液状体を吐出してパターンの描画を行う液滴吐出装置および液滴吐出方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−１８７７５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
前述の液滴吐出装置は、あらかじめ位置決めされたノズルから液状体を基板の所定の領域に吐出する。なお、ノズルは一定のピッチで列状に構成されており、液状体が吐出される最小単位の領域である画素領域は略矩形形状に形成されている。そのため、ノズルの吐出ばらつきを分散させるためにも、できるだけ多くのノズルを画素領域に対向すべく画素領域の長辺とノズル列とは平行に配置されることが好ましい。ところが、基板に配置方向の異なる画素領域が混在して構成されていると、ノズル列に対して短辺が平行に配置される画素領域が存在することになる。この場合、領域内に液状体を吐出できるノズルが制約され、領域内の偏った位置に液状体が吐出され、領域内に液状体の吐出量の偏りが生ずる虞がある。液状体の吐出量の偏りが生ずると、領域に形成される薄膜の厚さの不均一が発生する可能性がある。液晶表示装置等のカラーフィルタ、有機ＥＬ装置の機能膜等の薄膜において、膜厚の不均一が発生すると、製造された表示装置の画像品質が低下してしまうという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００８】
（適用例１）液状体を液滴として吐出する複数のノズルが列状に配設されたノズル列を有する複数の液滴吐出ヘッドと複数の略矩形形状の被吐出領域を備えた基板とを前記液滴吐出ヘッドの配置方向と略直交する主走査方向に相対移動させながら、前記ノズルから前記被吐出領域に前記液状体を吐出する吐出工程を有し、前記被吐出領域は、略矩形形状の長辺方向が一定の方向に沿うように前記基板上に配設された第１被吐出領域と、前記第１被吐出領域より面積の小さい略矩形形状に形成されるとともに前記第１被吐出領域の配設方向と略直交する方向に配設される第２被吐出領域とからなり、前記吐出工程において、前記第１被吐出領域の長辺方向を前記主走査方向に沿うように配置することを特徴とする液状体の吐出方法。
【０００９】
この方法によれば、ノズル列を有する液滴吐出ヘッドの配置方向を、面積の大きい第１被吐出領域の略矩形形状の短辺方向および面積の小さい第２被吐出領域の略矩形形状の長辺方向と同一方向にすることができる。すなわち、面積の大きい第１被吐出領域は略矩形形状の短辺方向に、面積の小さい第２被吐出領域は略矩形形状の長辺方向に、ノズルを配置することができる。そのため、面積の異なる第１被吐出領域および第２被吐出領域が同一基板内に混在していても、それぞれの被吐出領域内に液状体を吐出することができるノズルの数を多くすることができる。従って、被吐出領域内の偏った位置に液状体が吐出され液状体の吐出量の偏りが発生することを低減することができる。その結果、それぞれの被吐出領域に形成される薄膜の厚さの不均一を低減させることができる。従って、品質の安定した少なくとも２種類の薄膜を製造することができ生産性の向上に寄与することができる。
【００１０】
（適用例２）前記吐出工程において、前記第１被吐出領域の短辺方向の領域内に少なくとも２つ以上の前記ノズルが対向することを特徴とする上記の液状体の吐出方法。
【００１１】
この方法によれば、第１被吐出領域に対して複数のノズルを対向させ液状体を吐出することができる。そのため、ノズルの吐出特性のばらつきがあったとしても複数のノズルを用いることによって吐出特性のばらつきを分散させることができる。その結果、被吐出領域に形成される薄膜の厚さの不均一を低減させることができる。
【００１２】
（適用例３）前記ノズルから吐出され前記第１被吐出領域に配置される前記液滴の前記第１被吐出領域の短辺方向の配置間隔は、前記ノズル列を前記短辺方向に対して角度を有するように配置することによって調整可能であることを特徴とする上記の液状体の吐出方法。
【００１３】
この方法によれば、液滴吐出ヘッドのノズル列を、第１被吐出領域の短辺方向に対して角度を有するように配置することによって、第１被吐出領域の短辺方向に配置される液滴の配置間隔は、実質的に狭くすることができる。すなわち、第１被吐出領域に対してより多くのノズルを対向させ液状体を吐出することができる。そのため、被吐出領域内の偏った位置に液状体が吐出され液状体の吐出量の偏りが発生することを低減することができる。その結果、被吐出領域に形成される薄膜の厚さの不均一を低減させることができる。
【００１４】
（適用例４）前記吐出工程は、前記液滴吐出ヘッドと前記基板との前記主走査方向の複数回の相対移動の間に、前記液滴吐出ヘッドと前記基板とを前記主走査方向と略直交する副走査方向に相対移動させることを特徴とする上記の液状体の吐出方法。
【００１５】
この方法によれば、吐出工程において、液滴吐出ヘッドと基板とを主走査方向と略直交する副走査方向に相対移動させる、すなわち改行動作を行いながら、ノズルから被吐出領域に液状体を吐出することができる。そのため、例えば、第１被吐出領域の短辺方向に配置することができる液滴を実質的に多くすることができる。そのため、被吐出領域内の偏った位置に液状体が吐出され液状体の吐出量の偏りが発生することを低減することができる。その結果、被吐出領域に形成される薄膜の厚さの不均一を低減させることができる。
【００１６】
（適用例５）基板上の複数の被吐出領域に複数色の着色層を形成するカラーフィルタの製造方法であって、複数の前記被吐出領域は、配設方向が互いに直交する第１被吐出領域と第２被吐出領域とからなり、上記の液状体の吐出方法を用いて、着色層形成材料を含む複数色の液状体を複数の前記被吐出領域に吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を固化して前記複数色の着色層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【００１７】
この方法によれば、配設方向が互いに直交する第１被吐出領域および第２被吐出領域に形成される着色層の厚さの不均一を低減させることができるとともに、着色層の配列方向が異なる少なくとも２種のカラーフィルタを高い生産性で製造することができる。
【００１８】
（適用例６）基板上の複数の被吐出領域に発光層を含む機能層を有する有機ＥＬ素子を複数備えた有機ＥＬ装置の製造方法であって、複数の前記被吐出領域は、配設方向が互いに直交する第１被吐出領域と第２被吐出領域とからなり、上記の液状体の吐出方法を用い、発光層形成材料を含む液状体を複数の前記被吐出領域に吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を固化して前記発光層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【００１９】
この方法によれば、配設方向が互いに直交する第１被吐出領域および第２被吐出領域に形成される発光層の厚さの不均一を低減させることができるとともに、有機ＥＬ素子の配列方向が異なる少なくとも２種の有機ＥＬ装置を高い生産性で製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
本発明を、基板上に区画された複数の画素領域に複数色の着色層を有するカラーフィルタの製造を例にとり説明する。着色層は、画素構成要素であり、複数のノズルから画素領域に向けて着色層形成材料を含む液状体が液滴として吐出されて形成される。この液状体を液滴として吐出するには、以下に説明する液状体吐出装置を用いる。
【００２１】
（液状体吐出装置の構成について）
まず、液状体を吐出する液滴吐出ヘッドを備えた液状体吐出装置について図１を参照して説明する。図１は、液状体吐出装置の構成を示す概略斜視図である。
図１に示すように、液状体吐出装置１０は、被吐出領域（膜形成領域）を有する基板Ｂを主走査方向に移動させる基板移動機構２０と、複数の液滴吐出ヘッドを有するヘッドユニット９を副走査方向に移動させるヘッド移動機構３０とを備えている。この液状体吐出装置１０は、基板Ｂとヘッドユニット９との相対位置を変化させつつ、ヘッドユニット９に搭載された複数の液滴吐出ヘッドから液状体を液滴として吐出して、基板Ｂに液状体で所定の機能膜を形成するものである。なお、図中のＸ方向は基板Ｂの移動方向すなわち主走査方向を示し、Ｙ方向はヘッドユニット９の移動方向すなわち副走査方向を示し、Ｚ方向は、Ｘ方向とＹ方向とに直交する方向を示している。
【００２２】
このような液状体吐出装置１０を用いて、例えば、赤、緑および青の３色のフィルタエレメントを有するカラーフィルタを製造する場合は、液状体吐出装置１０の各々の液滴吐出ヘッドから、赤、緑および青の３色の液状体のいずれかを基板Ｂの膜形成領域に液滴として吐出して、赤、緑および青の３色のフィルタエレメントを形成する。
【００２３】
ここで、液状体吐出装置１０の各構成について説明する。
基板移動機構２０は、一対のガイドレール２１と、一対のガイドレール２１に沿って移動する移動テーブル２２と、移動テーブル２２上に基板Ｂを吸着固定可能に載置するステージ５とを備えている。移動テーブル２２は、ガイドレール２１の内部に設けられた図示しないエアスライダとリニアモータによりＸ方向（主走査方向）に移動する。
【００２４】
ヘッド移動機構３０は、一対のガイドレール３１と、一対のガイドレール３１に沿って移動する第１の移動台３２とを備えている。第１の移動台３２にはキャリッジ８が設けられ、キャリッジ８には複数の液滴吐出ヘッド５０（図２参照）を搭載したヘッドユニット９がヘッドユニット回転機構７０を介して取り付けられている。ヘッドユニット９は、ヘッドユニット回転機構７０により図１に示す回転軸Ｌを中心にＸＹ平面において回転することができる。そして、第１の移動台３２は、キャリッジ８をＹ方向（副走査方向）に移動させてヘッドユニット９を基板Ｂに対してＺ方向に所定の間隔をあけて対向配置することができる。
【００２５】
液状体吐出装置１０は、上記構成の他にも、ヘッドユニット９に搭載された複数の液滴吐出ヘッド５０のノズルの目詰まりの解消等のメンテナンスを行うメンテナンス機構６０を備えている。また、液状体吐出装置１０は、液滴吐出ヘッド５０に液状体を供給するための液状体供給機構や、液滴吐出ヘッド５０もしくはノズルごとに吐出された液状体を受けて、その吐出重量を計測する電子天秤等の計測器を有する吐出量計測機構が設けられている。これらの各機構は、制御部４（図４参照）によって制御される。図１では、制御部４、液状体供給機構および吐出量計測機構は、図示省略した。
【００２６】
（液滴吐出ヘッドについて）
ここで複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドについて図２および図３を参照して説明する。図２は液滴吐出ヘッドの構造を示す概略図である。（ａ）は概略分解斜視図、（ｂ）はノズル部の構造を示す断面図である。図３は、ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図である。詳しくは、基板Ｂに対向する側から見た図である。なお、図３に示すＸ方向、Ｙ方向は、図１に示すＸ方向、Ｙ方向と同一な方向を示す。
【００２７】
図２（ａ）および（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド５０は、液滴Ｄが吐出される複数のノズル５２を有するノズルプレート５１と、複数のノズル５２がそれぞれ連通するキャビティ５５を区画する隔壁５４を有するキャビティプレート５３と、各キャビティ５５に対応する駆動素子としての振動子５９を有する振動板５８とが、順に積層され接合された構造となっている。
【００２８】
キャビティプレート５３は、ノズル５２に連通するキャビティ５５を区画する隔壁５４と、キャビティ５５に液状体を充填するための流路５６，５７とを有している。流路５７は、ノズルプレート５１と振動板５８とによって挟まれ、出来上がった空間が、液状体が貯留されるリザーバの役目を果たす。液状体は、液状体供給機構から配管を通じて供給され、振動板５８に設けられた供給孔５８ａを通じてリザーバに貯留された後に、流路５６を通じて各キャビティ５５に充填される。
【００２９】
図２（ｂ）に示すように、振動子５９は、ピエゾ素子５９ｃと、ピエゾ素子５９ｃを挟む一対の電極５９ａ，５９ｂとからなる圧電素子である。外部から一対の電極５９ａ，５９ｂに、駆動信号としての駆動波形が印加されることにより接合された振動板５８を変形させる。これにより隔壁５４で仕切られたキャビティ５５の体積が増加して、液状体がリザーバからキャビティ５５に吸引される。そして、駆動波形の印加が終了すると、振動板５８は元に戻り充填された液状体を加圧する。これにより、ノズル５２から液状体を液滴Ｄとして吐出できる構造となっている。ピエゾ素子５９ｃへ印加される駆動波形を制御することにより、それぞれのノズル５２に対して液状体の吐出制御を行うことができる。
【００３０】
図３に示すように、上述の液滴吐出ヘッド５０は、ヘッドユニット９のヘッドプレート９ａに配置される。ヘッドプレート９ａには、３つの液滴吐出ヘッド５０からなるヘッド群５０Ａと、同じく３つの液滴吐出ヘッド５０からなるヘッド群５０Ｂの合計６個の液滴吐出ヘッド５０が搭載されている。この場合、ヘッド群５０Ａの液滴吐出ヘッド５０（ヘッドＲ１）とヘッド群５０Ｂの液滴吐出ヘッド５０（ヘッドＲ２）とは同種の液状体を吐出する。他のヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同様である。すなわち、３種の異なる液状体を吐出可能な構成となっている。
【００３１】
各液滴吐出ヘッド５０は、一定のノズルピッチＰで配設された複数（１８０個）のノズル５２からなるノズル列５２ａを有している。そのため、１つの各液滴吐出ヘッド５０は長さＬなる吐出幅を有している。ヘッドＲ１とヘッドＲ２とは、主走査方向（Ｘ方向）から見て隣り合うノズル列５２ａが主走査方向と直交する副走査方向（Ｙ方向）に１ノズルピッチＰを置いて連続するように主走査方向に並列して配設されている。そのため、ヘッドＲ１およびヘッドＲ２は、長さ２Ｌの吐出幅を有している。
【００３２】
また、前述のようにヘッドユニット９は、ヘッドユニット回転機構７０により図１に示す回転軸Ｌを中心にＸＹ平面において回転することができる。すなわち、ヘッドプレート９ａは、図３に示すように、回転軸Ｌがヘッドプレート９ａを貫く点ｌを中心にＸＹ平面において回転することができる。なお、点ｌはヘッドプレート９ａの略中心に位置する。
【００３３】
本実施例では、ノズル列５２ａが１列の場合について説明しているがこれに限定されない。液滴吐出ヘッド５０は、複数のノズル列５２ａが図中Ｘ方向に一定の間隔をおいて、Ｙ方向に１／２ピッチ（Ｐ／２）ずれて配列されていてもよい。このようにすることにより、実質的なノズルピッチＰが狭くなり、高精細に液滴Ｄを吐出することができる。
【００３４】
（液状体吐出装置の制御系について）
次に液状体吐出装置１０の制御系について図４を参照して説明する。図４は、液状体吐出装置の制御系を示すブロック図である。
図４に示すように、液状体吐出装置１０の制御系は、液滴吐出ヘッド５０、基板移動機構２０、ヘッド移動機構３０等を駆動する各種ドライバを有する駆動部４６と、駆動部４６を含め液状体吐出装置１０を制御する制御部４とを備えている。駆動部４６は、基板移動機構２０およびヘッド移動機構３０の各リニアモータをそれぞれ駆動制御する移動用ドライバ４７と、液滴吐出ヘッド５０を吐出制御するヘッドドライバ４８と、ヘッドユニット９を回転させるヘッドユニット回転機構７０を制御するヘッド回転用ドライバ６８と、メンテナンス機構６０の各メンテナンス用ユニットを駆動制御するメンテナンス用ドライバ４９と、吐出量計測機構を制御する図示しない吐出量計測用ドライバとを備えている。
【００３５】
制御部４は、ＣＰＵ４１と、ＲＯＭ４２と、ＲＡＭ４３と、Ｐ−ＣＯＮ４４とを備え、これらは互いにバス４５を介して接続されている。Ｐ−ＣＯＮ４４には、上位コンピュータ１１が接続されている。ＲＯＭ４２は、ＣＰＵ４１で処理する制御プログラム等を記憶する制御プログラム領域と、描画動作や機能回復処理等を行うための制御データ等を記憶する制御データ領域とを有している。
【００３６】
ＲＡＭ４３は、基板Ｂにパターンを描画するパターンデータを記憶するパターンデータ記憶部等の各種記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。Ｐ−ＣＯＮ４４には、駆動部４６の各種ドライバ等が接続されており、ＣＰＵ４１の機能を補うとともに、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ４４は、上位コンピュータ１１からの各種指令等をそのままあるいは加工してバス４５に取り込むとともに、ＣＰＵ４１と連動して、ＣＰＵ４１等からバス４５に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部４６に出力する。
【００３７】
そして、ＣＰＵ４１は、ＲＯＭ４２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して各種検出信号、各種指令、各種データ等を入力し、ＲＡＭ４３内の各種データ等を処理した後、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して駆動部４６等に各種の制御信号を出力することにより、液状体吐出装置１０全体を制御している。例えば、ＣＰＵ４１は、液滴吐出ヘッド５０、基板移動機構２０およびヘッド移動機構３０を制御して、ヘッドユニット９と基板Ｂとを対向配置させる。そして、ヘッドユニット９と基板Ｂとの相対移動に同期して、ヘッドユニット９に搭載された各液滴吐出ヘッド５０の所定数のノズル５２から基板Ｂに液状体を液滴Ｄとして吐出してパターンを形成する。
【００３８】
この場合、Ｘ方向への基板Ｂの移動に同期して液状体を吐出することを主走査と呼び、Ｙ方向にヘッドユニット９を移動させることを副走査と呼ぶ。本実施例の液状体吐出装置１０は、主走査と副走査とを組み合わせて複数回繰り返すことにより液状体を吐出することができる。主走査は、液滴吐出ヘッド５０に対して一方向への基板Ｂの移動に限らず、基板Ｂを往復させて行うこともできる。
【００３９】
上位コンピュータ１１は、制御プログラムや制御データ等の制御情報を液状体吐出装置１０に送出するだけでなく、これらの制御情報を修正することもできる。また、ノズル５２の位置情報等に基づいて、基板Ｂ上の吐出領域ごとに必要量の液状体を液滴Ｄとして配置する配置情報を生成する配置情報生成部としての機能を有している。配置情報は、吐出させるノズル５２と待機させるノズル５２との分類および吐出領域における液滴Ｄの吐出位置（言い換えれば、基板Ｂとノズル５２との相対位置）、液滴Ｄの配置数（言い換えれば、ノズル５２ごとの吐出数、吐出割合）、主走査における複数のノズル５２のＯＮ／ＯＦＦ、吐出タイミング等の情報を、例えば、ビットマップとして現したものである。
【００４０】
（液状体の吐出方法およびカラーフィルタの製造方法）
次に、本実施形態の液状体の吐出方法を適用したカラーフィルタの製造方法について図５〜図９を参照して説明する。図５（ａ）はカラーフィルタを示す概略平面図であり、同図（ｂ）は同図（ａ）のＣ−Ｃ’断面図である。図６はカラーフィルタの製造方法を示すフローチャートであり、図７（ａ）〜（ｄ）はカラーフィルタの製造方法を示す概略断面図である。
【００４１】
図５（ａ）および（ｂ）に示すように、カラーフィルタ１００は、透明なガラスなどの基板１０１上に赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）３色のフィルタエレメントである着色層１０３を有している。着色層１０３が形成される矩形形状の被吐出領域としての膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂは隔壁部１０４によりマトリクス状に区画されている。本実施形態のカラーフィルタ１００は、同色の着色層１０３が直線的に配列するいわゆるストライプ方式のカラーフィルタである。
【００４２】
図５（ｂ）に示すように、隔壁部１０４は、第１隔壁部１０４ａと第２隔壁部１０４ｂとからなる２層構造となっている。第１隔壁部１０４ａは、例えば、ＣｒやＡｌなどの金属薄膜からなり遮光性を有している。第２隔壁部１０４ｂは、例えば、樹脂材料からなる。なお、二層構造に限定されず、遮光性を有する部材を含む樹脂材料により隔壁部１０４を構成する一層構造でもよい。
【００４３】
着色層１０３は、着色材料を含む透光性樹脂材料からなる。本実施形態では、このようなカラーフィルタ１００を上述の液状体吐出装置１０を用いて製造する。
【００４４】
図６に示すように、本実施形態のカラーフィルタ１００の製造方法は、隔壁部１０４を形成する隔壁部形成工程（ステップＳ１）と、隔壁部１０４が形成された基板１０１の表面を表面処理する表面処理工程（ステップＳ２）と、着色層形成材料を含む液状体を吐出する液状体の吐出工程（ステップＳ３）と、吐出された液状体を乾燥させて着色層１０３を形成する乾燥工程（ステップＳ４）とを基本的に備えるものである。
【００４５】
図６のステップＳ１では、まず、基板１０１の表面にＣｒやＡｌなどの金属薄膜を成膜する。成膜方法としては真空蒸着法、スパッタ法などが挙げられる。膜厚は、例えば遮光性が得られるように０．１μｍ程度とする。これをフォトリソグラフィ法によりパターニングして開口させた図７（ａ）に示す第１隔壁部１０４ａを形成する。次いで、第１隔壁部１０４ａを覆って感光性樹脂を厚み２μｍ程度に塗布し、同じくフォトリソグラフィ法によりパターニングして、第１隔壁部１０４ａ上に第２隔壁部１０４ｂを形成する。これにより図７（ａ）に示すように基板１０１上に開口した矩形形状の膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂを形成する。そして、ステップＳ２へ進む。
【００４６】
図６のステップＳ２では、後の液状体の吐出工程において、吐出された液状体が膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂに着弾して濡れ拡がるように、基板１０１の表面を親液処理する。また、吐出された液状体の一部が第２隔壁部１０４ｂに着弾したとしても膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂ内に収まるように、第２隔壁部１０４ｂの少なくとも上面部を撥液処理する。
【００４７】
表面処理方法としては、隔壁部１０４が形成された基板１０１に対して、Ｏ2を処理ガスとするプラズマ処理とフッ素系ガスを処理ガスとするプラズマ処理とを行う。すなわち、膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂが親液処理され、その後、感光性樹脂からなる第２隔壁部１０４ｂの上面が撥液処理される。なお、第２隔壁部１０４ｂを形成する材料自体が撥液性を有していれば後者の処理を省くこともできる。そして、ステップＳ３へ進む。
【００４８】
図６のステップＳ３では、図１に示す液状体吐出装置１０のステージ５に表面処理された基板１０１を載置する。そして、図３に示したヘッドユニット９の液滴吐出ヘッド５０から異なる着色層形成材料を含む３色の液状体をそれぞれ吐出する。詳しくは、図７（ｂ）および（ｃ）に示すように、基板１０１と液滴吐出ヘッド５０との主走査方向への相対移動に同期して、液滴吐出ヘッド５０のノズル５２から３色の液状体のそれぞれを液滴Ｄとして所望の膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂに吐出する。膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂに吐出される液状体の吐出量は、予め膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂごとに選択されるノズル５２の選択パターンと液滴Ｄの吐出数などが主走査ごとに設定された吐出データに基づいて、制御部４のＣＰＵ４１から適正な制御信号がヘッドドライバ４８に送られて制御される。これにより、所定量の液状体が膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂごとに吐出される。そして、ステップＳ４へ進む。
【００４９】
図６のステップＳ４では、図７（ｄ）に示すように、基板１０１に吐出された液状体から溶媒成分を蒸発させて、着色層形成材料からなる着色層１０３を形成する。本実施形態では、溶媒の蒸気圧を一定にして乾燥することが可能な減圧乾燥装置に基板１０１をセットして減圧乾燥し、Ｒ，Ｇ，Ｂ３色の着色層１０３を形成した。なお、１色の液状体を吐出して乾燥する工程を３回繰り返してもよい。ステップＳ３の液状体の吐出工程において、着色層１０３の膜厚は、色ごとに設定すればよく、必ずしも３色が同一でなくてもよい。必要な膜厚の設定に基づいて、必要量の液状体を対応する膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂに吐出すればよい。
【００５０】
カラーフィルタ１００が形成される基板１０１の大きさは、これを用いる表示装置の大きさによる。また、同一の大きさの表示装置であっても画素が高密度に配置されている場合は、対応するカラーフィルタ１００の着色層１０３の配置も高密度な配置が要求される。
【００５１】
カラーフィルタ１００をより効率的に生産する方法として、一般的には基板１０１よりも面積が大きいマザー基板Ｂに多面取りする方法が採用されている。だが、マザー基板Ｂの大きさによって面積的に効率的なカラーフィルタ１００のサイズが決まる。面積的に非効率なサイズのカラーフィルタ１００を多面取りすると、空きスペースが生ずる。よって、この空きスペースに異なるサイズのカラーフィルタ１００を面付けしてマザー基板Ｂを無駄なく利用することが考えられる。
【００５２】
マザー基板Ｂ上に異なるサイズのカラーフィルタ１００を面付けする場合、膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂの配列方向すなわちストライプ方向が互いに直交することがある。前述したように膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂにおける液滴の配置は、主走査における吐出タイミングにより液状体が吐出されることにより実現される。主走査方向から見た複数のノズル５２は、前述したように一定のノズルピッチＰで配設されている。従って、マザー基板Ｂ上において矩形形状の膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂの配列方向が異なる場合には、配列方向によって膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂに対向するノズル５２の数が制約される場合がある。
【００５３】
本実施形態の液状体の吐出方法を用いたカラーフィルタ１００の製造方法は、マザー基板Ｂにおける膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂの配置に基づいて、好適な液状体の吐出方法を提供するものである。詳しくは実施例を参照して説明する。
【００５４】
（第１実施例）
ここで第１実施例のカラーフィルタの製造方法を図８および図９を参照して説明する。図８は、液状体の吐出工程におけるヘッドユニットとマザー基板との相対配置を示す概略平面図であり、図９（ａ）および（ｂ）は、液状体の吐出工程における液滴の配置を示す概略平面図である。なお、図８および図９に示すＸ方向、Ｙ方向は、図１に示すＸ方向、Ｙ方向と同一な方向を示す。
【００５５】
図８に示すように、第１実施例におけるマザー基板Ｂは、マザー基板Ｂの長辺に沿って複数（７つ）面付けされた第２パネルＥ２と、長辺と短辺とに沿ってマトリクス状に複数（４つ）面付けされた第１パネルＥ１と、を有している。第２パネルＥ２の面積は第１パネルＥ１の面積よりも小さい。
【００５６】
第２パネルＥ２には、第２被吐出領域としての矩形形状の膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂがマトリクス状に複数配列している。同様に、第１パネルＥ１には、第１被吐出領域としての矩形形状の膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'がマトリクス状に複数配列している。ここで膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂの面積は、膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'の面積よりも小さい。膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂと膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'とは、同種（同色）の液状体が吐出されるストライプ方向が直交している。また、それぞれに所望の液状体が所定量吐出されて着色層１０３が形成される。
【００５７】
液状体の吐出工程では、図１に示す液状体吐出装置１０を用いて、ヘッド移動機構３０において副走査方向（Ｙ方向）に配置した複数のヘッドユニット９に対して、マザー基板Ｂの長辺がほぼ平行となるようにマザー基板Ｂをステージ５上に位置決めする。そして、主走査方向（Ｘ方向）にステージ５を移動させる間にヘッドユニット９に搭載された液滴吐出ヘッド５０からマザー基板Ｂに向けて液状体を吐出する。
【００５８】
この場合、膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂの長辺方向は副走査方向（Ｙ方向）に合致している。膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'の長辺方向は主走査方向（Ｘ方向）に合致している。また、液滴吐出ヘッド５０に配列されたノズル列５２ａは、ヘッドユニット回転機構７０により副走査方向（Ｙ方向）に合致するように配置されている。その結果、図９（ａ）に示すように、複数のノズル５２からなるノズル列５２ａは、矩形形状の膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂの長辺方向に沿って配置されている。
【００５９】
例えば、主走査（Ｘ方向）において、赤の液状体が吐出される膜形成領域１０３ｒには、４つのノズル５２がかかりそれぞれから液滴Ｄ１を吐出する。これにより膜形成領域１０３ｒにはそれぞれ４滴の液滴Ｄ１が塗布される。着弾した液滴Ｄ１は、膜形成領域１０３ｒ内に濡れ拡がる。また、主走査方向においては、吐出タイミングを制御することにより膜形成領域１０３ｒのいずれか任意の位置に液滴Ｄ１を着弾させることができる。副走査方向（Ｙ方向）における着弾位置は、膜形成領域１０３ｒの副走査方向における配置ピッチとノズルピッチＰとの関係から膜形成領域１０３ｒごとに必ずしも同一とは限らない。なお、第２パネルＥ２における他の膜形成領域１０３ｇ，１０３ｂにおいても同様に所望の液状体を液滴Ｄ１として４滴ずつ吐出する。
【００６０】
図９（ｂ）に示すように、上記主走査において、例えば、膜形成領域１０３ｒに対して面積が大きく配列方向が直交する膜形成領域１０３ｒ'には、２つのノズル５２が掛かる。そして、それぞれのノズル５２から主走査方向に複数の液滴Ｄ１を吐出する。これにより各膜形成領域１０３ｒ'ごとに液滴Ｄ１が塗布される。主走査方向においては、吐出タイミングを制御することにより膜形成領域１０３ｒ'のいずれか任意の位置に液滴Ｄ１を着弾させることができる。一方、副走査方向（Ｙ方向）における着弾位置は、膜形成領域１０３ｒ'の副走査方向における配置ピッチとノズルピッチＰとの関係から膜形成領域１０３ｒ'ごとに２つのノズル５２が掛かるものの必ずしも同一とは限らない。なお、第１パネルＥ１における他の膜形成領域１０３ｇ'，１０３ｂ'においても同様に所望の液状体を液滴Ｄ１として吐出する。
【００６１】
上述したように第１実施例の吐出工程では、膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'に対して面積の小さい膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂにより多くのノズル５２が掛かるようにヘッドユニット９とマザー基板Ｂとを位置決めして、それぞれの膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂと膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'とに液滴Ｄ１を吐出することができる。
【００６２】
以下、第１実施例の効果を記載する。
（１）この実施例の液状体の吐出方法によれば、ノズル列５２ａの配置方向を、面積の大きい第１被吐出領域としての膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'の短辺方向および面積の小さい第２被吐出領域としての膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂの長辺方向と同一方向にすることができる。すなわち、面積の大きい膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'は短辺方向に、面積の小さい膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂは長辺方向に、ノズル５２を配置することができる。そのため、面積の異なる第１被吐出領域および第２被吐出領域が同一基板内に混在していても、それぞれの被吐出領域内に液状体を吐出することができるノズルの数を多く配置することができる。従って、被吐出領域内の偏った位置に液状体が吐出され液状体の吐出量の偏りが発生することを低減することができる。その結果、被吐出領域に形成される薄膜の厚さの不均一を低減させることができる。
【００６３】
（２）この実施例の液状体の吐出方法によれば、配列方向が互いに直交する面積の異なる膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'および膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂに形成される着色層１０３の厚さの不均一を低減させることができる。すなわち、着色層１０３の配列方向が異なり、大きさの異なる少なくとも２種のカラーフィルタ１００を高い生産性で製造することができる。
【００６４】
（第２実施例）
ここで、第２実施例のカラーフィルタの製造方法について、図１０および図１１を参照して説明する。図１０は、第２実施例の液状体の吐出工程におけるヘッドユニットとマザー基板との相対配置を示す概略平面図、図１１は、第２実施例の液状体の吐出工程における液滴の配置を示す概略平面図である。なお、図１０および図１１に示すＸ方向、Ｙ方向は、図１に示すＸ方向、Ｙ方向と同一な方向を示す。また、第１実施例と同様な構成および内容については、符号を等しくして説明を省略する。
【００６５】
第２実施例におけるマザー基板は、第１実施例のマザー基板Ｂと同様に７つの第２パネルＥ２と、４つの第１パネルＥ１とを有している。従って、第２パネルＥ２には、第２被吐出領域としての矩形形状の膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂがマトリクス状に複数配列されており、第１パネルＥ１には、第１被吐出領域としての矩形形状の膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'がマトリクス状に複数配列されている。
【００６６】
液状体の吐出工程では、図１に示す液状体吐出装置１０を用いて、ヘッド移動機構３０において副走査方向（Ｙ方向）に配置した複数のヘッドユニット９に対して、マザー基板Ｂの長辺がほぼ平行となるようにマザー基板Ｂをステージ５上に位置決めする。ただし、第２実施例では、図１０に示すように、ヘッドユニット回転機構７０を用いてヘッドユニット９を点ｌを中心にＹ方向に対してα度だけ回転させる。その結果、液滴吐出ヘッド５０に配列されたノズル列５２ａもα度だけ回転して、配置される。
【００６７】
すなわち、図１１（ａ）に示すように、複数のノズル５２からなるノズル列５２ａは、矩形形状の膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂの長辺方向からα度の角度を有して配置される。そして、主走査方向（Ｘ方向）にステージ５を移動させる間にヘッドユニット９に搭載された液滴吐出ヘッド５０からマザー基板Ｂに向けて液状体を吐出する。この場合、ノズル列５２ａは、Ｙ方向に対してα度の角度を有しているため、膜形成領域１０３ｒに対する実質的な液滴の配置間隔Ｐ１（Ｐ×Ｃｏｓα）は、ノズル列５２ａのノズルピッチＰより狭くなる。
【００６８】
そのため、主走査（Ｘ方向）において、赤の液状体が吐出される膜形成領域１０３ｒには、５つのノズル５２がかかりそれぞれから液滴Ｄ１を吐出する。これにより膜形成領域１０３ｒにはそれぞれ５滴の液滴Ｄ１が塗布される。主走査方向においては、吐出タイミングを制御することにより膜形成領域１０３ｒのいずれか任意の位置に液滴Ｄ１を着弾させることができる。すなわち、膜形成領域１０３ｒのＸ方向の任意の位置に１列に液滴を配置することができる。なお、第２パネルＥ２における他の膜形成領域１０３ｇ，１０３ｂにおいても同様に所望の液状体を液滴Ｄ１として５滴ずつ吐出する。
【００６９】
図１１（ｂ）に示すように、同様に、ノズル列５２ａは、Ｙ方向に対してα度の角度を有しているため、膜形成領域１０３ｒに対して面積が大きく配列方向が直交する膜形成領域１０３ｒ'に対する実質的な液滴の配置間隔Ｐ１（Ｐ×Ｃｏｓα）は、ノズル列５２ａのノズルピッチＰより狭くなる。従って、膜形成領域１０３ｒ'には、３つのノズル５２が掛かる。そして、それぞれのノズル５２から液滴Ｄ１を吐出する。これにより各膜形成領域１０３ｒ'の副走査方向に３滴の液滴Ｄ１が塗布される。主走査方向においては、吐出タイミングを制御することにより膜形成領域１０３ｒ'のいずれか任意の位置に液滴Ｄ１を着弾させることができる。なお、第１パネルＥ１における他の膜形成領域１０３ｇ'，１０３ｂ'においても同様に所望の液状体を液滴Ｄ１として吐出する。
【００７０】
以下、第２実施例の効果を記載する。
（１）この実施例の液状体の吐出方法によれば、ノズル列５２ａを、第１被吐出領域としての膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'の短辺方向に対して角度αを有するように配置することによって、膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'の短辺方向に配置される液滴の配置間隔Ｐ１をノズルピッチＰより実質的に狭くすることができる。すなわち、膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'に対してより多くのノズル５２から液状体を吐出することができる。そのため、被吐出領域内の偏った位置に液状体が吐出され液状体の吐出量の偏りが発生することを低減することができる。その結果、被吐出領域に形成される薄膜の厚さの不均一を低減させることができる。
【００７１】
（２）この実施例の液状体の吐出方法によれば、被吐出領域に対してより多くのノズル５２を対向させ液状体を吐出することができる。そのため、ノズル５２の吐出特性のばらつきがあったとしてもより多くのノズル５２を用いることによって吐出特性のばらつきを分散させることができる。その結果、被吐出領域に形成される薄膜の厚さの不均一を低減させることができる。
【００７２】
（３）この実施例の液状体の吐出方法によれば、ヘッドユニット９の回転角度αを調整することによって、ノズルピッチＰに関わらず被吐出領域に着弾する液滴の配置間隔Ｐ１を任意に設定することができる。そのため、被吐出領域の副走査方向のサイズに関わらず多くのノズル５２から液状体を液滴として吐出することができる。そのため、被吐出領域内の偏った位置に液状体が吐出され液状体の吐出量の偏りが発生することを低減することができる。また、ノズル５２の吐出特性のばらつきがあったとしても複数のノズル５２を用いることによって吐出特性のばらつきを分散させることができる。その結果、被吐出領域に形成される薄膜の厚さの不均一を低減させることができる。
【００７３】
（４）また、被吐出領域に着弾する液滴の配置間隔Ｐ１を任意に設定することができるため、被吐出領域に対して高密度、高精細に液状体を吐出することができる。そのため、高密度、高精細な薄膜を形成することができ表示装置の高画質化に寄与することができる。
【００７４】
（５）この実施例の液状体の吐出方法によれば、配列方向が互いに直交し面積の異なる膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'および膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂに形成される着色層１０３の厚さの不均一を低減させることができる。すなわち、着色層１０３の配列方向が異なり、大きさの異なる少なくとも２種のカラーフィルタ１００を高い生産性で製造することができる。
【００７５】
（第３実施例）
ここで、第３実施例のカラーフィルタの製造方法について、図１２を参照して説明する。図１２は、第３実施例の液状体の吐出工程における液滴の配置を示す概略平面図である。なお、図１２に示すＸ方向、Ｙ方向は、図１に示すＸ方向、Ｙ方向と同一な方向を示す。また、第１および第２実施例と同様な構成および内容については、符号を等しくして説明を省略する。
【００７６】
第３実施例におけるマザー基板は、第１および第２実施例のマザー基板Ｂと同様に７つの第２パネルＥ２と、４つの第１パネルＥ１とを有している。従って、第２パネルＥ２には、第２被吐出領域としての矩形形状の膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂがマトリクス状に複数配列されており、第１パネルＥ１には、第１被吐出領域としての矩形形状の膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'がマトリクス状に複数配列されている。
【００７７】
液状体の吐出工程では、図１に示す液状体吐出装置１０を用いて、ヘッド移動機構３０において副走査方向（Ｙ方向）に配置した複数のヘッドユニット９に対して、マザー基板Ｂの長辺がほぼ平行となるようにマザー基板Ｂをステージ５上に位置決めする。そして、主走査方向（Ｘ方向）にステージ５を移動させ、ヘッドユニット９に搭載された液滴吐出ヘッド５０からマザー基板Ｂに向けて液状体を吐出する。
【００７８】
このとき、ヘッドユニット９に搭載された液滴吐出ヘッド５０のノズル列５２ａは、副走査方向に対して角度αを有していてもよいし、副走査方向と同一な方向に配置されていてもよい。本実施例では、ノズル列５２ａが副走査方向と同一な方向に配置されている場合を例にとり説明する。また、本実施例では説明を簡便にするため、第１被吐出領域としての膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'に液状体を吐出する場合を例にとり説明する。
【００７９】
この場合、図１２（ａ）に示すように、複数のノズル５２i（ｉは１からｉまでの自然数）からなるノズル列５２ａは、膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'の短辺方向に沿って配置されている。本実施例では、膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'の短辺方向の幅が小さく形成されているため、例えば、２つのノズル５２1，５２2から赤の液状体を膜形成領域１０３ｒ'に同時に吐出すると、隣接する膜形成領域１０３ｇ'に赤の液状体が混入する虞がある。そのため、赤の液状体が吐出される膜形成領域１０３ｒ'には、１つのノズル５２1のみを用いる必要がある。なお、同様にモザイク状に配設された他の膜形成領域１０３ｒ'には、１つのノズル５２6が用いられる。
【００８０】
図１に示すステージ５によりマザー基板Ｂを図１２中Ｘ（＋）方向に移動させながらノズル５２1，５２6から液滴Ｄ１を吐出する１回目の吐出動作を行うと、図１２（ａ）に示すように、膜形成領域１０３ｒ'の図中左側に液滴Ｄ１が列状に配置される。なお、Ｘ方向の配置間隔は、吐出タイミングを制御することにより任意の間隔に調整できる。
【００８１】
次いで、図１に示すヘッド移動機構３０によりヘッドユニット９を図１２中Ｙ（−）方向に微量移動させる。移動距離を調整することにより、図１２（ｂ）に示すように、赤の液状体が吐出される膜形成領域１０３ｒ'には、ノズル５２2およびノズル５２7が対向する。そして、マザー基板Ｂを図１２中Ｘ（−）方向に移動させながらノズル５２2，５２7から液滴Ｄ２を吐出する２回目の吐出動作を行うと、膜形成領域１０３ｒ'の図中右側に液滴Ｄ２が列状に配置される。
【００８２】
このように、マザー基板ＢのＸ方向（主走査方向）の移動およびノズル５２iからの液状体の吐出の間にヘッドユニット９のＹ方向（副走査方向）の微量移動を行うことによって、膜形成領域１０３ｒ'のＹ方向の異なった位置に異なったノズル５２iから液状体を液滴Ｄとして配置することができる。
【００８３】
なお、液状体の吐出量の調整、もしくは、より高密度な液滴の配置を望む場合は、図１２（ｃ）に示すように、２回目の吐出動作の後、図１に示すヘッド移動機構３０によりヘッドユニット９を図１２中Ｙ（−）方向にさらに微量移動させ、ノズル５２2およびノズル５２7を液滴Ｄ１および液滴Ｄ２からなる液滴列の間に対向させ、マザー基板Ｂを図１２中Ｘ（＋）方向に移動させながらノズル５２2，５２7から液滴Ｄ３を吐出する３回目の吐出動作を行う。このようにすることにより、膜形成領域１０３ｒ'には液滴Ｄ１〜Ｄ３からなる３列の液滴列が形成される。
【００８４】
以下、第３実施例の効果を記載する。
（１）この実施例の液状体の吐出方法によれば、マザー基板ＢのＸ方向（主走査方向）の移動およびノズル５２iからの液状体の吐出の間にヘッドユニット９のＹ方向（副走査方向）の微量移動を行うことによって、膜形成領域１０３のＹ方向の異なった位置に異なったノズル５２iから液状体を液滴Ｄとして配置することができる。そのため、膜形成領域１０３に配置することができる液滴Ｄを実質的に多くすることができる。そのため、膜形成領域１０３内の偏った位置に液状体が吐出され液状体の吐出量の偏りが発生することを低減することができる。その結果、被吐出領域に形成される薄膜の厚さの不均一を低減させることができる。
【００８５】
（２）この実施例の液状体の吐出方法によれば、膜形成領域１０３に対してより多くのノズル５２iを対向させ液状体を吐出することができる。そのため、ノズル５２の吐出特性のばらつきがあったとしてもより多くのノズル５２iを用いることによって吐出特性のばらつきを分散させることができる。その結果、膜形成領域１０３に形成される薄膜の厚さの不均一を低減させることができる。
【００８６】
（３）この実施例の液状体の吐出方法によれば、ヘッド移動機構３０によるヘッドユニット９の移動量を調整することによって、ノズルピッチＰに関わらず被吐出領域に着弾する液滴の配置間隔を任意に設定することができる。そのため、被吐出領域の副走査方向のサイズに関わらず多くのノズル５２から液状体を液滴として吐出することができる。そのため、被吐出領域内の偏った位置に液状体が吐出され液状体の吐出量の偏りが発生することを低減することができる。また、ノズル５２の吐出特性のばらつきがあったとしても複数のノズル５２を用いることによって吐出特性のばらつきを分散させることができる。その結果、被吐出領域に形成される薄膜の厚さの不均一を低減させることができる。
【００８７】
（４）また、被吐出領域に着弾する液滴の配置間隔を任意に設定することができるため、被吐出領域に対して高密度、高精細に液状体を吐出することができる。そのため、高密度、高精細な薄膜を形成することができ表示装置の高画質化に寄与することができる。
【００８８】
（５）この実施例の液状体の吐出方法によれば、配列方向が互いに直交する面積の異なる膜形成領域１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'および膜形成領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂに形成される着色層１０３の厚さの不均一を低減させることができる。すなわち、着色層１０３の配列方向が異なり、大きさの異なる少なくとも２種のカラーフィルタ１００を高い生産性で製造することができる。
【００８９】
（第４実施例）
次に前述の液状体の配置方法を用いた有機ＥＬ装置の製造方法について説明する。
（有機ＥＬ装置）
図１３は、有機ＥＬ装置の要部構造を示す概略断面図である。図１３に示すように、本実施形態の電気光学装置としての有機ＥＬ装置６００は、有機ＥＬ素子としての発光素子部６０３を有する素子基板６０１と、素子基板６０１と空間６２２を隔てて封着された封止基板６２０とを備えている。また素子基板６０１は、素子基板６０１上に回路素子部６０２を備えており、発光素子部６０３は、回路素子部６０２上に重畳して形成され、回路素子部６０２により駆動されるものである。発光素子部６０３には、３色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂがそれぞれの色要素領域としての被吐出領域Ｑに形成され、ストライプ状となっている。素子基板６０１は、３色の発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂに対応する３つの被吐出領域Ｑを１組の絵素とし、この絵素が素子基板６０１の回路素子部６０２上にマトリクス状に配置されたものである。本実施形態の有機ＥＬ装置６００は、発光素子部６０３からの発光が素子基板６０１側に出射するものである。
【００９０】
封止基板６２０は、ガラス又は金属からなるもので、封止樹脂を介して素子基板６０１に接合されており、封止された内側の表面には、ゲッター剤６２１が貼り付けられている。ゲッター剤６２１は、素子基板６０１と封止基板６２０との間の空間６２２に侵入した水又は酸素を吸収して、発光素子部６０３が侵入した水又は酸素によって劣化することを防ぐものである。なお、このゲッター剤６２１は省略しても良い。
【００９１】
本実施形態の素子基板６０１は、回路素子部６０２上に複数の被吐出領域Ｑを有するものであって、複数の被吐出領域Ｑを区画する隔壁部としてのバンク６１８と、複数の被吐出領域Ｑに形成された電極６１３と、電極６１３に積層された正孔注入／輸送層６１７ａとを備えている。また複数の被吐出領域Ｑ内に発光層形成材料を含む３種の液状体を付与して形成された発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂを有する色要素としての発光素子部６０３を備えている。バンク６１８は、下層バンク６１８ａと被吐出領域Ｑを実質的に区画する上層バンク６１８ｂとからなり、下層バンク６１８ａは、被吐出領域Ｑの内側に張り出すように設けられて、電極６１３と各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂとが直接接触して電気的に短絡することを防止するためにＳｉＯ2等の無機絶縁材料により形成されている。
【００９２】
素子基板６０１は、例えばガラス等の透明な基板からなり、素子基板６０１上にシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。なお、半導体膜６０７には、ソース領域６０７ａ及びドレイン領域６０７ｂが高濃度Ｐイオン打ち込みにより形成されている。なお、Ｐが導入されなかった部分がチャネル領域６０７ｃとなっている。さらに下地保護膜６０６及び半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、ゲート絶縁膜６０８上にはＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等からなるゲート電極６０９が形成され、ゲート電極６０９及びゲート絶縁膜６０８上には透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。ゲート電極６０９は半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置に設けられている。また、第１層間絶縁膜６１１ａおよび第２層間絶縁膜６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ接続されるコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）等からなる透明な電極６１３が所定の形状にパターニングされて配置され（電極形成工程）、一方のコンタクトホール６１２ａがこの電極６１３に接続されている。また、もう一方のコンタクトホール６１２ｂが電源線６１４に接続されている。このようにして、回路素子部６０２には、各電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５が形成されている。なお、回路素子部６０２には、保持容量とスイッチング用の薄膜トランジスタも形成されているが、図１３ではこれらの図示を省略している。
【００９３】
発光素子部６０３は、陽極としての電極６１３と、電極６１３上に順次積層された正孔注入／輸送層６１７ａ、各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ（総称して発光層６１７ｂ）と、上層バンク６１８ｂと発光層６１７ｂとを覆うように積層された陰極６０４とを備えている。なお、陰極６０４と封止基板６２０およびゲッター剤６２１を透明な材料で構成すれば、封止基板６２０側から発光する光を出射させることができる。
【００９４】
有機ＥＬ装置６００は、ゲート電極６０９に接続された走査線（図示省略）とソース領域６０７ａに接続された信号線（図示省略）とを有し、走査線に伝わった走査信号によりスイッチング用の薄膜トランジスタ（図示省略）がオンになると、そのときの信号線の電位が保持容量に保持され、該保持容量の状態に応じて、駆動用の薄膜トランジスタ６１５のオン・オフ状態が決まる。そして、駆動用の薄膜トランジスタ６１５のチャネル領域６０７ｃを介して、電源線６１４から電極６１３に電流が流れ、更に正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを介して陰極６０４に電流が流れる。発光層６１７ｂは、これを流れる電流量に応じて発光する。有機ＥＬ装置６００は、このような発光素子部６０３の発光メカニズムにより、所望の文字や画像などを表示することができる。
【００９５】
（有機ＥＬ装置の製造方法）
次に本実施形態の有機ＥＬ装置の製造方法について図１４および図１５に基づいて説明する。図１４は、有機ＥＬ装置の製造方法を示すフローチャート、図１５は、有機ＥＬ装置の製造方法を示す概略断面図である。なお、図１５（ａ）〜（ｆ）においては、素子基板６０１上に形成された回路素子部６０２は、図示を省略している。
【００９６】
図１４に示すように、有機ＥＬ装置の製造方法は、素子基板６０１の複数の被吐出領域Ｑに対応する位置に電極６１３を形成する工程と、電極６１３に一部が掛かるように下層バンク６１８ａを形成し、さらに下層バンク６１８ａ上に実質的に被吐出領域Ｑを区画するように上層バンク６１８ｂを形成するバンク（隔壁部）形成工程とを備えている。また上層バンク６１８ｂで区画された被吐出領域Ｑの表面処理を行う工程と、表面処理された被吐出領域Ｑに正孔注入／輸送層形成材料を含む液状体を付与して正孔注入／輸送層６１７ａを吐出描画する工程と、吐出された液状体を乾燥して正孔注入／輸送層６１７ａを成膜する工程とを備えている。また、正孔注入／輸送層６１７ａが形成された被吐出領域Ｑの表面処理を行う工程と、表面処理された被吐出領域Ｑに色要素形成材料としての発光層形成材料を含む３種の液状体を付与して発光層６１７ｂを吐出描画する色要素描画工程としての発光層描画工程と、吐出された３種の液状体を乾燥して発光層６１７ｂを成膜する工程とを備えている。さらに、上層バンク６１８ｂと発光層６１７ｂを覆うように陰極６０４を形成する工程を備えている。各液状体の被吐出領域Ｑへの付与は、液状体吐出装置１０を用いて行う。
【００９７】
図１４のステップＳ１１は、電極（陽極）形成工程である。ステップＳ１１では、図１５（ａ）に示すように、回路素子部６０２がすでに形成された素子基板６０１の被吐出領域Ｑに対応する位置に電極６１３を形成する。形成方法としては、例えば、素子基板６０１の表面にＩＴＯ等の透明電極材料を用いて真空中でスパッタ法あるいは蒸着法で透明電極膜を形成する。その後、フォトリソグラフィ法にて必要な部分だけを残してエッチングして電極６１３を形成する方法が挙げられる。また、フォトレジストで素子基板６０１を先に覆って、電極６１３を形成する領域が開口するように露光・現像する。そして開口部にＩＴＯ等の透明電極膜を形成し、残存したフォトレジストを除く方法でもよい。そしてステップＳ１２へ進む。
【００９８】
図１４のステップＳ１２は、バンク（隔壁部）形成工程である。ステップＳ１２では、図１５（ｂ）に示すように、素子基板６０１の複数の電極６１３の一部を覆うように下層バンク６１８ａを形成する。下層バンク６１８ａの材料としては、無機材料である絶縁性のＳｉＯ2（酸化珪素）を用いている。下層バンク６１８ａの形成方法としては、例えば、後に形成される発光層６１７ｂに対応して、各電極６１３の表面をレジスト等を用いてマスキングする。そしてマスキングされた素子基板６０１を真空装置に投入し、ＳｉＯ2をターゲットあるいは原料としてスパッタリングや真空蒸着することにより下層バンク６１８ａを形成する方法が挙げられる。レジスト等のマスキングは、後に剥離する。なお、下層バンク６１８ａは、ＳｉＯ2により形成されているため、その膜厚が２００ｎｍ以下であれば十分な透明性を有しており、後に正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが積層されても発光を阻害することはない。
【００９９】
続いて、各被吐出領域Ｑを実質的に区画するように下層バンク６１８ａの上に上層バンク６１８ｂを形成する。上層バンク６１８ｂの材料としては、後述する発光層形成材料を含む３種の液状体８４Ｒ，８４Ｇ，８４Ｂの溶媒に対して耐久性を有するものであることが望ましく、さらに、フッ素系ガスを処理ガスとするプラズマ処理によりテトラフルオロエチレン化できること、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、感光性ポリイミドなどといった有機材料が好ましい。上層バンク６１８ｂの形成方法としては、例えば、下層バンク６１８ａが形成された素子基板６０１の表面に感光性の前記有機材料をロールコート法やスピンコート法で塗布し、乾燥させて厚みがおよそ２μｍの感光性樹脂層を形成する。そして、被吐出領域Ｑに対応した大きさで開口部が設けられたマスクを素子基板６０１と所定の位置で対向させて露光・現像することにより、上層バンク６１８ｂを形成する方法が挙げられる。これにより下層バンク６１８ａと上層バンク６１８ｂとを有する隔壁部としてのバンク６１８が形成される。そして、ステップＳ１３へ進む。
【０１００】
図１４のステップＳ１３は、被吐出領域Ｑを表面処理する工程である。ステップＳ１３では、バンク６１８が形成された素子基板６０１の表面を、まずＯ2ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより電極６１３の表面、下層バンク６１８ａの張り出し部および上層バンク６１８ｂの表面（壁面を含む）を活性化させて親液処理する。つぎにＣＦ4等のフッ素系ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより有機材料である感光性樹脂からなる上層バンク６１８ｂの表面のみにフッ素系ガスが反応して撥液処理される。そして、ステップＳ１４へ進む。
【０１０１】
図１４のステップＳ１４は、正孔注入／輸送層形成工程である。ステップＳ１４では、図１５（ｃ）に示すように、正孔注入／輸送層形成材料を含む液状体８２を被吐出領域Ｑに付与する。液状体８２を付与する方法としては、前述の液状体吐出装置１０を用いる。液滴吐出ヘッド５０から吐出された液状体８２は、液滴として素子基板６０１の電極６１３に着弾して濡れ拡がる。液状体８２は被吐出領域Ｑの面積に応じて必要量が液滴として吐出され表面張力で盛り上がった状態となる。液状体吐出装置１０により、１種の液状体８２を吐出して描画するので、少なくとも１回の主走査により吐出描画が可能である。そしてステップＳ１５へ進む。
【０１０２】
図１４のステップＳ１５は、乾燥・成膜工程である。ステップＳ１５では、素子基板６０１を例えばランプアニール等の方法で加熱することにより、液状体８２の溶媒成分を乾燥させて除去し、電極６１３の下層バンク６１８ａにより区画された領域に正孔注入／輸送層６１７ａが形成される。本実施形態では、正孔注入／輸送層形成材料としてＰＥＤＯＴ（Polyethylene Dioxy Thiophene；ポリエチレンジオキシチオフェン）を用いた。なお、この場合、各被吐出領域Ｑに同一材料からなる正孔注入／輸送層６１７ａを形成したが、後の発光層の形成材料に対応して正孔注入／輸送層６１７ａの材料を被吐出領域Ｑごとに変えてもよい。そしてステップＳ１６へ進む。
【０１０３】
図１４のステップＳ１６は、正孔注入／輸送層６１７ａが形成された素子基板６０１を表面処理する工程である。ステップＳ１６では、上記の正孔注入／輸送層形成材料を用いて正孔注入／輸送層６１７ａを形成した場合、その表面が、次のステップＳ１７で用いられる３種の液状体８４Ｒ，８４Ｇ，８４Ｂに対して撥液性を有するので、少なくとも被吐出領域Ｑの領域内を再び親液性を有するように表面処理を行う。表面処理の方法としては、３種の液状体８４Ｒ，８４Ｇ，８４Ｂに用いられる溶媒を塗布して乾燥する。溶媒の塗布方法としては、スプレー法、スピンコート法等の方法が挙げられる。そしてステップＳ１７へ進む。
【０１０４】
図１４のステップＳ１７は、ＲＧＢ発光層描画工程である。ステップＳ１７では、図１５（ｄ）に示すように、前述の液状体の配置方法を適用して液状体吐出装置１０の異なる液滴吐出ヘッド５０から複数の被吐出領域Ｑに発光層形成材料を含む３種の液状体８４Ｒ，８４Ｇ，８４Ｂを付与する。液状体８４Ｒは発光層６１７Ｒ（赤色）を形成する材料を含み、液状体８４Ｇは発光層６１７Ｇ（緑色）を形成する材料を含み、液状体８４Ｂは発光層６１７Ｂ（青色）を形成する材料を含んでいる。着弾した各液状体８４Ｒ，８４Ｇ，８４Ｂは、被吐出領域Ｑに濡れ拡がって断面形状が円弧状に盛り上がる。そして、ステップＳ１８へ進む。
【０１０５】
図１４のステップＳ１８は、乾燥・成膜工程である。ステップＳ１８では、図１５（ｅに示すように、吐出描画された各液状体８４Ｒ，８４Ｇ，８４Ｂの溶媒成分を乾燥させて除去し、各被吐出領域Ｑの正孔注入／輸送層６１７ａに各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂが積層されるように成膜化する。各液状体８４Ｒ，８４Ｇ，８４Ｂが吐出描画された素子基板６０１の乾燥方法としては、溶媒の蒸発速度をほぼ一定とすることが可能な、減圧乾燥が好ましい。そしてステップＳ１９へ進む。
【０１０６】
図１４のステップＳ１９は、陰極形成工程である。ステップＳ１９では、図１５（ｆ）に示すように、素子基板６０１の各発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂと上層バンク６１８ｂの表面とを覆うように陰極６０４を形成する。陰極６０４の材料としては、Ｃａ、Ｂａ、Ａｌ等の金属やＬｉＦ等のフッ化物を組み合わせて用いるのが好ましい。特に発光層に近い側に仕事関数が小さいＣａ、Ｂａ、ＬｉＦの膜を形成し、遠い側に仕事関数が大きいＡｌ等の膜を形成するのが好ましい。また、陰極６０４の上にＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層を積層してもよい。このようにすれば、陰極６０４の酸化を防止することができる。陰極６０４の形成方法としては、蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等が挙げられる。特に発光層の熱による損傷を防止できるという点では、蒸着法が好ましい。このようにして出来上がった素子基板６０１を用いて有機ＥＬ装置６００を製造する。
【０１０７】
以下、第４実施形態の効果を記載する。
（１）この有機ＥＬ装置６００の製造方法によれば、発光層描画工程において、面積が異なるとともに配列方向が互いに直交する素子基板６０１の２種類の被吐出領域Ｑに、前述の液状体の吐出方法を用いて３種の液状体８４Ｒ，８４Ｇ，８４Ｂを吐出して、３種の色要素としての発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂを形成することができる。そして、２種類の被吐出領域Ｑに形成される発光層６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂの厚さの不均一を低減させることができるとともに、有機ＥＬ素子としての発光素子部６０３の配列方向が異なる少なくとも２種の有機ＥＬ装置６００を高い生産性で製造することができる。
【０１０８】
以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態に対しては、本発明の趣旨から逸脱しない範囲で様々な変形を加えることができる。例えば上記実施形態以外の変形例は、以下の通りである。
【０１０９】
（変形例１）上記実施形態で説明したマザー基板Ｂにおける第１パネルＥ１および第２パネルＥ２のレイアウトは１実施例でありこれに限定されない。第１パネルＥ１および第２パネルＥ２がマザー基板Ｂにおいて、ある規則性を有して配置されていればよい。また、本実施形態で説明した第１被吐出領域および第２被吐出領域のレイアウトは、いわゆるストライプ方式の場合について説明したが、これに限定されない。いわゆるモザイク方式もしくはデルタ方式のレイアウトであってもよい。
【０１１０】
（変形例２）上記実施形態では、第１被吐出領域および第２被吐出領域の面積が異なる場合を例にとり説明したがこれに限定されない。例えば、第１被吐出領域および第２被吐出領域とが同じ面積で配列方向が異なっている場合でも、ノズル列５２ａに短辺方向が沿っている被吐出領域に対して上記で説明した液状体の吐出方法を適用して、被吐出領域の短辺方向にかかるノズル５２の数を多く設定することができる。そのため、被吐出領域内の偏った位置に液状体が吐出され液状体の吐出量の偏りが発生することを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１１１】
【図１】液状体吐出装置の構成を示す概略斜視図。
【図２】液滴吐出ヘッドの構造を示す概略図。
【図３】ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図。
【図４】液状体吐出装置の制御系を示すブロック図。
【図５】カラーフィルタを示す概略図。
【図６】カラーフィルタの製造方法を示すフローチャート。
【図７】カラーフィルタの製造方法を示す概略断面図。
【図８】ヘッドユニットとマザー基板との相対配置を示す概略平面図。
【図９】液状体の吐出工程における液滴の配置を示す概略平面図。
【図１０】第２実施例におけるヘッドユニットとマザー基板との相対配置を示す概略平面図。
【図１１】第２実施例における液滴の配置を示す概略平面図。
【図１２】第３実施例における液滴の配置を示す概略平面図。
【図１３】有機ＥＬ装置の要部構造を示す概略断面図。
【図１４】有機ＥＬ装置の製造方法を示すフローチャート。
【図１５】有機ＥＬ装置の製造方法を示す概略断面図。
【符号の説明】
【０１１２】
４…制御部、９…ヘッドユニット、９ａ…ヘッドプレート、１０…液状体吐出装置、２０…基板移動機構、３０…ヘッド移動機構、５０…液滴吐出ヘッド、５２，５２i…ノズル、５２ａ…ノズル列、７０…ヘッドユニット回転機構、１００…カラーフィルタ、１０３…着色層、１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂ…第２被吐出領域としての膜形成領域、１０３ｒ'，１０３ｇ'，１０３ｂ'…第１被吐出領域としての膜形成領域、６００…有機ＥＬ装置、６０３…有機ＥＬ素子としての発光素子部、６１７Ｒ，６１７Ｇ，６１７Ｂ…発光層、６１７ａ…正孔注入／輸送層、Ｂ…マザー基板（基板）、Ｄ，Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３…液滴、Ｅ１…第１パネル、Ｅ２…第２パネル、Ｐ…ノズルピッチ、Ｐ１…液滴配置間隔。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状体を液滴として吐出する複数のノズルが列状に配設されたノズル列を有する複数の液滴吐出ヘッドと複数の略矩形形状の被吐出領域を備えた基板とを前記液滴吐出ヘッドの配置方向と略直交する主走査方向に相対移動させながら、前記ノズルから前記被吐出領域に前記液状体を吐出する吐出工程を有し、
前記被吐出領域は、略矩形形状の長辺方向が一定の方向に沿うように前記基板上に配設された第１被吐出領域と、前記第１被吐出領域より面積の小さい略矩形形状に形成されるとともに前記第１被吐出領域の配設方向と略直交する方向に配設される第２被吐出領域とからなり、
前記吐出工程において、前記第１被吐出領域の長辺方向を前記主走査方向に沿うように配置することを特徴とする液状体の吐出方法。
【請求項２】
前記吐出工程において、前記第１被吐出領域の短辺方向の領域内に少なくとも２つ以上の前記ノズルが対向することを特徴とする請求項１に記載の液状体の吐出方法。
【請求項３】
前記ノズルから吐出され前記第１被吐出領域に配置される前記液滴の前記第１被吐出領域の短辺方向の配置間隔は、前記ノズル列を前記短辺方向に対して角度を有するように配置することによって調整可能であることを特徴とする請求項１または２に記載の液状体の吐出方法。
【請求項４】
前記吐出工程は、前記液滴吐出ヘッドと前記基板との前記主走査方向の複数回の相対移動の間に、前記液滴吐出ヘッドと前記基板とを前記主走査方向と略直交する副走査方向に相対移動させることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。
【請求項５】
基板上の複数の被吐出領域に複数色の着色層を形成するカラーフィルタの製造方法であって、
複数の前記被吐出領域は、配設方向が互いに直交する第１被吐出領域と第２被吐出領域とからなり、
請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法を用いて、着色層形成材料を含む複数色の液状体を複数の前記被吐出領域に吐出する吐出工程と、
吐出された前記液状体を固化して前記複数色の着色層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項６】
基板上の複数の被吐出領域に発光層を含む機能層を有する有機ＥＬ素子を複数備えた有機ＥＬ装置の製造方法であって、
複数の前記被吐出領域は、配設方向が互いに直交する第１被吐出領域と第２被吐出領域とからなり、
請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法を用い、発光層形成材料を含む液状体を複数の前記被吐出領域に吐出する吐出工程と、
吐出された前記液状体を固化して前記発光層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【請求項１】
液状体を液滴として吐出する複数のノズルが列状に配設されたノズル列を有する複数の液滴吐出ヘッドと複数の略矩形形状の被吐出領域を備えた基板とを前記液滴吐出ヘッドの配置方向と略直交する主走査方向に相対移動させながら、前記ノズルから前記被吐出領域に前記液状体を吐出する吐出工程を有し、
前記被吐出領域は、略矩形形状の長辺方向が一定の方向に沿うように前記基板上に配設された第１被吐出領域と、前記第１被吐出領域より面積の小さい略矩形形状に形成されるとともに前記第１被吐出領域の配設方向と略直交する方向に配設される第２被吐出領域とからなり、
前記吐出工程において、前記第１被吐出領域の長辺方向を前記主走査方向に沿うように配置することを特徴とする液状体の吐出方法。
【請求項２】
前記吐出工程において、前記第１被吐出領域の短辺方向の領域内に少なくとも２つ以上の前記ノズルが対向することを特徴とする請求項１に記載の液状体の吐出方法。
【請求項３】
前記ノズルから吐出され前記第１被吐出領域に配置される前記液滴の前記第１被吐出領域の短辺方向の配置間隔は、前記ノズル列を前記短辺方向に対して角度を有するように配置することによって調整可能であることを特徴とする請求項１または２に記載の液状体の吐出方法。
【請求項４】
前記吐出工程は、前記液滴吐出ヘッドと前記基板との前記主走査方向の複数回の相対移動の間に、前記液滴吐出ヘッドと前記基板とを前記主走査方向と略直交する副走査方向に相対移動させることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法。
【請求項５】
基板上の複数の被吐出領域に複数色の着色層を形成するカラーフィルタの製造方法であって、
複数の前記被吐出領域は、配設方向が互いに直交する第１被吐出領域と第２被吐出領域とからなり、
請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法を用いて、着色層形成材料を含む複数色の液状体を複数の前記被吐出領域に吐出する吐出工程と、
吐出された前記液状体を固化して前記複数色の着色層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項６】
基板上の複数の被吐出領域に発光層を含む機能層を有する有機ＥＬ素子を複数備えた有機ＥＬ装置の製造方法であって、
複数の前記被吐出領域は、配設方向が互いに直交する第１被吐出領域と第２被吐出領域とからなり、
請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法を用い、発光層形成材料を含む液状体を複数の前記被吐出領域に吐出する吐出工程と、
吐出された前記液状体を固化して前記発光層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【公開番号】特開２０１０−９４６００（Ｐ２０１０−９４６００Ａ）
【公開日】平成２２年４月３０日（２０１０．４．３０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−２６７１４４（Ｐ２００８−２６７１４４）
【出願日】平成２０年１０月１６日（２００８．１０．１６）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年４月３０日（２０１０．４．３０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年１０月１６日（２００８．１０．１６）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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