液状体配置方法および電気光学装置の製造方法、並びに電気光学装置、電子機器
【課題】高いノズルの利用効率の下で少ないムラで液状体を配置することができる液状体配置方法、および当該液状体配置方法を用いた電気光学装置の製造方法、並びに当該製造方法により製造された電気光学装置、電子機器を提供すること。
【解決手段】各走査では、一の区画領域４１Ｒに対して、互いに隣接する二つのノズルにより、第１の電気パルスによる液滴（Ａで図示）の吐出が先ず行われ、続いて第２の電気パルスによる液滴（Ｂで図示）の吐出が行われる。両液滴は、同一のノズルから吐出されながらも、他のノズルと比較した吐出量のばらつきに関して互いに異なる性質を示すため、擬似的に異なるノズルで吐出されたものとみなすことができる。
【解決手段】各走査では、一の区画領域４１Ｒに対して、互いに隣接する二つのノズルにより、第１の電気パルスによる液滴（Ａで図示）の吐出が先ず行われ、続いて第２の電気パルスによる液滴（Ｂで図示）の吐出が行われる。両液滴は、同一のノズルから吐出されながらも、他のノズルと比較した吐出量のばらつきに関して互いに異なる性質を示すため、擬似的に異なるノズルで吐出されたものとみなすことができる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出法を用いた液状体配置方法、電気光学装置とその製造方法、電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液滴吐出法を用いて多様な機能性膜を形成する手法が注目されており、例えば、特許文献１には、液滴吐出法を用いた液晶表示装置のカラーフィルタの製造方法が示されている。具体的には、基板に対して走査する液滴吐出ヘッド（以下、ヘッドとする）の微細ノズルから色材を含む液状体（液滴）を吐出させて、当該基板上に形成された区画領域内に液状体を配置（描画）し、さらに配置された液状体を乾燥等により固化させて着色膜を形成するようになっている。
【０００３】
ところで、吐出される液状体の量（吐出量）にはノズル間で僅かながらもばらつきが存在するため、基板内の領域と使用するノズルとの関係によって、配置される液状体の量にムラ（描画ムラ）が生じてしまうという問題がある。このような描画ムラを低減するため、特許文献１では、構造的に吐出量のばらつきを生じ易いノズルについて、描画における使用を禁止するようにしている。
【０００４】
また、特許文献１では、一の区画領域内に液状体を配置するにあたり、複数回の走査に分けて、使用するノズルを走査毎に違えながら液状体の配置を行うようにしている。これは、一区画領域あたりに使用するノズルの数を増やすことにより、ノズル間の特性差を統計的に分散させることをねらったものである。
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−１５９７８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、一区画領域あたりに使用するノズルの数を増やすという方法は、ノズルの有効利用という点で不利であり、描画時間の長大化をもたらす原因となる。
【０００７】
本発明は、上述の課題を解決するためになされたもので、高いノズルの利用効率の下で少ないムラで液状体を配置することができる液状体配置方法、および当該液状体配置方法を用いた電気光学装置の製造方法、並びに当該製造方法により製造された電気光学装置、電子機器を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、複数のノズルからなるノズル群を有するヘッドの基板に対する走査の下、前記ノズルと連通する液室の圧力を制御する圧力制御手段に電気パルスを供給して、当該ノズルから液状体を吐出することにより、前記基板に当該液状体を配置する液状体配置方法であって、第１の前記電気パルスを用いて、前記基板の一の領域内に対して前記液状体の吐出を行う第１吐出ステップと、前記第１吐出ステップと同一の前記走査、同一の前記ノズルにより、第２の前記電気パルスを用いて、前記一の領域内に対して前記液状体の吐出を行う第２吐出ステップと、を有することを特徴とする。
【０００９】
また好ましくは、前記液状体配置方法において、前記第１の電気パルスを用いて吐出を行った際の前記ノズル群内の吐出量の分布幅をａ１、前記第２の電気パルスを用いて吐出を行った際の前記ノズル群内の吐出量の分布幅をａ２、前記第１および第２の電気パルスの両方を用いて吐出を行った際の前記ノズル群内の総和の吐出量の分布幅をｂとしたときに、ｂ＜ａ１＋ａ２を満たすことを特徴とする。
【００１０】
これらの発明の液状体配置方法によれば、基板の一の領域内に対して、第１の電気パルスにより吐出された液滴（液状体）と第２の電気パルスにより吐出された液滴（液状体）とが、同一の走査で配置される。これらの両液滴は、同一のノズルから吐出されながらも、他のノズルと比較した特性ばらつきに関して互いに異なる性質を示すこととなり、擬似的に異なるノズルで吐出されたものとみなすことができる。このため、上記の走査におけるノズル間の吐出量のばらつきは実質的に分散され、少ないムラで液状体を配置することができる。
【００１１】
また好ましくは、前記第１および第２の電気パルスが、前記液室を減圧するための第１サブパルスと、前記第１サブパルスの終点の電位を保持する第２サブパルスと、前記第２サブパルスに続いて前記液室を加圧して前記液状体を前記ノズルから吐出させるための第３サブパルスを有している前記液状体配置方法において、少なくとも前記第２サブパルスの時間成分が、前記第１の電気パルスと前記第２の電気パルスとで違えられていることを特徴とする。
【００１２】
この発明の液状体配置方法によれば、吐出量のばらつき分布に対する依存性の高い第２サブパルスを第１および第２電気パルス間で違えるようにしているので、上述の効果を好適に得ることができる。
【００１３】
本発明の機能性膜を備える電気光学装置は、前記液状体配置方法を用いて前記液状体を前記基板に配置する工程と、当該配置された液状体を固化して機能性膜を形成する工程と、を有することを特徴とする。
この発明の電気光学装置の製造方法によれば、上記の液状体配置方法を用いて電気光学装置の構成要素である機能性膜を形成しているので、基板上の領域間におけるムラの少ない機能性膜を備えた電気光学装置を効率的に製造することができる。
【００１４】
本発明は、複数のノズルからなるノズル群を有するヘッドの基板に対する走査の下、前記ノズルと連通する液室の圧力を制御する圧力制御手段に電気パルスを供給して、当該ノズルから前記基板の一の領域に対して液状体が吐出され、当該吐出された液状体の固化により形成された機能性膜を構成要素として備える電気光学装置であって、前記一の領域内に対する前記液状体の吐出は、第１および第２の電気パルスをそれぞれ用いて行われており、前記第１の電気パルスを用いた吐出と前記第２の電気パルスを用いた吐出とは、同一の前記走査、同一の前記ノズルにより行われていることを特徴とする。
【００１５】
この発明の電気光学装置を構成する機能性膜の形成にあたっては、基板の一の領域内に対して、第１の電気パルスにより吐出された液滴（液状体）と第２の電気パルスにより吐出された液滴（液状体）とが、同一の走査で配置される。これらの両液滴は、同一のノズルから吐出されながらも、他のノズルと比較した特性ばらつきに関して互いに異なる性質を示すこととなり、擬似的に異なるノズルで吐出されたものとみなすことができる。このため、上記の走査におけるノズル間の吐出量のばらつきは実質的に分散され、少ないムラで液状体を配置することができる。すなわち、この発明の電気光学装置は、膜厚ムラの少ない機能性膜を備えているため高品質である。
【００１６】
本発明の電子機器は、前記電気光学装置を備えることを特徴とする。
この発明の電子機器は、上記電気光学装置を備えているので、高品質であると共に製造効率が高いという利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
なお、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。また、以下の説明で参照する図では、図示の便宜上、部材ないし部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。
【００１８】
（液滴吐出装置）
まずは、図１、図２、図３を参照して、本発明に係る液滴吐出装置の機械的構成について説明する。
図１は、液滴吐出装置の全体構成を示す概略図である。図２は、ヘッドの吐出面を示す平面図である。図３は、ヘッドモジュールの内部構造の一例を示す要部断面図である。
【００１９】
図１において、液滴吐出装置１００は、基板１０１を載置するための載置台１０２と、液状体の吐出を行うヘッド１０３と、ヘッド１０３に液状体を供給する液状体供給手段１０６と、を備えている。ヘッド１０３は、載置台１０２に対してＸ軸方向に往復動（主走査）可能なように、主走査手段１０４を介して本体部（図示せず）に取り付けられている。また、載置台１０２は、ヘッド１０３に対してＹ軸方向に往復動（副走査）可能なように、副走査手段１０５を介して本体部（図示せず）に取り付けられている。
【００２０】
液状体供給手段１０６は、複数種の液状体をヘッド１０３に供給可能なように構成されている。使用される液状体としては、水や有機溶媒、およびこれらの溶液のほか、液体中に固体微粒子を分散させたものなどを採用することもできる。
【００２１】
ヘッド１０３の載置台１０２に対する対向面（吐出面）には、図２に示すように、複数のヘッドモジュール１１ａ，１１ｂ，１１ｃが取り付けられており、ヘッドモジュール１１ａ〜１１ｃにはノズル１７が形成されている。このノズル１７は、主走査方向に直交する方向（Ｙ軸方向）にライン状に配列されて、ノズル群としてのノズル列１６ａ〜１６ｆを構成している。
【００２２】
本実施形態のノズル列１６ａ〜１６ｆはそれぞれ１６０個のノズルで構成されている。また、ノズル列１６ａ〜１６ｆの両端側には網掛け部を重ねて図示するノズルが存在するが、これらは使用しないダミーノズルとなっている。ノズル列１６ａ〜１６ｆは、それぞれ１４２μｍのノズルピッチ構成となっており、ヘッド１０３がＸ軸方向に主走査された場合において、互いに補完し合って連続した７１μｍピッチの走査軌跡を描くような位置関係とされている。
【００２３】
ヘッドモジュール１１ａ（１１ｂ，１１ｃについても同様）の内部構造は、図３に示すようになっている。すなわち、ヘッドモジュール１１ａは、ノズル１７の個々と連通する液室であるキャビティ２２と、各キャビティ２２と連通するノズル列１６ａ，１６ｂ単位の共通室であるリザーバ２３とを備えている。キャビティ２２の天蓋部２４は可撓性膜２５により可動するようになっており、天蓋部２４と接合された圧力制御手段としての圧電素子２６の駆動によってキャビティ２２内の圧力が制御されるようになっている。
【００２４】
キャビティ２２の圧力制御は、より具体的には、圧電素子２６に供給される電気パルスを用いて行われ、この圧力制御によってキャビティ２２内の液状体をノズル１７から吐出させることができる（詳しくは後述する）。かくして、ヘッド１０３の走査に同期して発信される電気パルスの供給／非供給の制御をノズル１７毎に行うことにより、基板１０１上の任意の領域に液状体を配置（描画）することが可能となっている。
【００２５】
ヘッド１０３には、ヘッドモジュール１１ａ〜１１ｃ以外にも、図示を省略した他のヘッドモジュールが取り付けられている。当該他のヘッドモジュールは、ヘッドモジュール１１ａ〜１１ｃとは異なる種類の液状体に対応して設けられたものである。
【００２６】
また、液滴吐出装置の構成は上述の態様に限定されるものではなく、例えば、ヘッド１０３の固定の下、載置台１０２がＸＹ方向に往復動するような構成とすることもできるし、載置台１０２の固定の下、ヘッド１０３がＸＹ方向に往復動するような構成とすることもできる。また、ノズル列１６ａ〜１６ｆのノズルピッチを変更したり、ノズル列１６ａ〜１６ｆの伸長方向をＹ軸方向に対して傾けた構成とすることもできる。
【００２７】
次に、図４、図５、図６、図７を参照して、液滴吐出装置の電気的構成と電気パルスによる液滴の吐出について説明する。
図４は、液滴吐出装置の電気的構成を示すブロック図である。図５は、駆動信号の一例を示すタイミング図である。図６は、圧力制御の過程におけるヘッドモジュールの内部構造を示す要部断面図である。図７は、吐出量のノズル列内の分布の一例を示す図である。
【００２８】
図４において、液滴吐出装置１００は、走査制御および、各ノズル列１６ａ〜１６ｆ（図２参照）毎の吐出制御を行う制御部１２０を備えている。制御部１２０は、外部インターフェース（Ｉ／Ｆ）１２１を介してホストコンピュータ１０７と接続され、また内部Ｉ／Ｆ１２２を介して、各ノズル列１６ａ〜１６ｆごとに設けられたヘッド駆動回路１３１および主走査手段１０４、副走査手段１０５と接続されている。
【００２９】
制御部１２０は、ＣＰＵ１２３と、ＣＰＵ１２３のワークメモリやバッファメモリとして機能するＲＡＭ１２４と、各種制御情報を記憶するＲＯＭ１２５と、クロック信号（ＣＫ）を生成する発信回路１２６と、電気パルスＰＳ_Ａ，ＰＳ_Ｂ（図５参照）を含んでなる駆動信号（ＣＯＭ）を生成する駆動信号生成回路１２７とを備えている。また、ヘッド駆動回路１３１は、各ノズル毎の圧電素子２６に対応して、シフトレジスタ１３２、ラッチ回路１３３、レベルシフタ１３４、スイッチ１３５を備えている。
【００３０】
ホストコンピュータ１０７は、描画対象面における液滴の配置を表したいわゆるビットマップ形式の描画パターンデータを制御部１２０に伝送する。そして、ＣＰＵ１２３は、描画パターンデータをデコードしてノズル毎のＯＮ／ＯＦＦ情報であるノズルデータを生成する。ノズルデータは、シリアル信号（ＳＩ）化されて、クロック信号（ＣＫ）に同期して各シフトレジスタ１３２に伝送される。
【００３１】
シフトレジスタ１３２に伝送されたノズルデータは、ラッチ信号（ＬＡＴ（図５参照））がラッチ回路１３３に入力されるタイミングでラッチされ、さらにレベルシフタ１３４でスイッチ１３５用のゲート信号に変換される。かくして、ノズルデータが「ＯＮ」の場合にはスイッチ１３５が開いて圧電素子２６に駆動信号（ＣＯＭ（図５参照））が供給され、ノズルデータが「ＯＦＦ」の場合には、スイッチ１３５が閉じられる。
【００３２】
駆動信号（ＣＯＭ）は、図５に示すように、主走査と同期したタイミングで設定される一描画周期内に、中間電位で接続された第１の電気パルスＰＳ_Ａと第２の電気パルスＰＳ_Ｂとを有している。「ＯＮ」とされたノズルの圧電素子２６には第１および第２の電気パルスＰＳ_Ａ，ＰＳ_Ｂが連続して供給され、対応するキャビティ２２の圧力制御が行われる。
【００３３】
第１の電気パルスＰＳ_Ａは、中間電位からの充電を行う第１サブパルスｐ１Ａと、第１サブパルスの終点の電位を維持する第２サブパルスｐ２Ａと、第２サブパルスの維持電位からの放電を行う第３サブパルスｐ３Ａと、第３サブパルスの終点の電位を維持する第４サブパルスｐ４Ａと、第４サブパルスの維持電位からの中間電位への充電を行う第５サブパルスｐ５Ａを有している。
【００３４】
第１サブパルスｐ１Ａが圧電素子２６に供給されると、図６（ａ）に示すように、キャビティ２２の容量が拡張されて内部の圧力が低下し（減圧過程）、液状体ＬのメニスカスＭｅがノズル１７の内方に引き込まれる。また、第１サブパルスｐ１Ａにより、キャビティ２２を含む流路系にはヘルムホルツ共振が誘起され、第２サブパルスｐ２Ａが圧電素子２６に供給されている間において、キャビティ２２の容量および内圧はこのヘルムホルツ共振に従って振動する。次いで、第３サブパルスｐ３Ａが圧電素子２６に供給されると、図６（ｂ）に示すように、キャビティ２２の容量が縮小されて内部の圧力が上昇し（加圧過程）、ノズル１７から液状体Ｌが押し出される。押し出された液状体Ｌはその後液滴として飛行し、基板１０１（図１参照）上に配置される。
【００３５】
第３サブパルスｐ３Ａによって低下した電位レベルは、第４サブパルスｐ４Ａを経て第５サブパルスｐ５Ａによって中間電位まで回復される。第５サブパルスｐ５Ａは、電位レベルの回復に加え、第３サブパルスｐ３Ａによって誘起されたヘルムホルツ共振を強制的に打ち消す役割も担っている。
【００３６】
第２サブパルスｐ２Ａの時間成分：ｔ２_Ａは、第１サブパルスｐ１Ａによって誘起されるヘルムホルツ共振と、第３サブパルスｐ３Ａによって誘起されるヘルムホルツ共振との位相差のタイミングを規定する役割を果たしている。両者の共振の位相差によって、第３サブパルスｐ３Ａによりノズル１７から押し出される液状体の挙動は変わってくるため、この時間成分：ｔ２_Ａは、液滴の量（吐出量）や速度に関わる重要な要素の一つとなっている。
【００３７】
また、吐出量は、キャビティ２２周りの構造上のばらつきやリザーバ２３とキャビティ２２との位置関係などによっても影響されるため、吐出に係るノズル１７によってばらつきを有する。図７は、あるノズル列について、ノズル１７の配列方向を横軸にして吐出量の分布を示したものであり、この例では、第１の電気パルスＰＳ_Ａに対応する吐出量は、ａ１の分布幅（最小値と最大値の差）で、ノズル列の端部付近で相対的に多くなるような分布を示している。尚、図７は、ノズル列内の全てのノズル１７から同時に液滴を吐出させたときの吐出量を示すものである。
【００３８】
第１の電気パルスＰＳ_Ａに続いて圧電素子２６に供給される第２の電気パルスＰＳ_Ｂは、第１の電気パルスＰＳ_Ａと同様の構成を有している。すなわち、中間電位からの充電を行う第１サブパルスｐ１Ｂと、第１サブパルスの終点の電位を維持する第２サブパルスｐ２Ｂと、第２サブパルスの維持電位からの放電を行う第３サブパルスｐ３Ｂと、第３サブパルスの終点の電位を維持する第４サブパルスｐ４Ｂと、第４サブパルスの維持電位からの中間電位への充電を行う第５サブパルスｐ５Ｂを有している。
【００３９】
サブパルスｐ１Ｂ〜ｐ５Ｂの役割は、第１電気パルスＰＳ_Ａにおけるサブパルスｐ１Ａ〜ｐ５Ａと同じであるが、サブパルスｐ１Ａ〜ｐ５Ａとサブパルスｐ１Ｂ〜ｐ５Ｂとでは、電圧、時間の成分に関して部分的に違えられている。とりわけ、第２サブパルスｐ２Ａの時間成分：ｔ２_Ａと第２サブパルスｐ２Ｂの時間成分：ｔ２_Ｂとが異なっており、これに起因して、ノズル列内における吐出量の分布にも違いが見られる（図７参照）。すなわち、この例では、第２の電気パルスＰＳ_Ｂによる吐出量は、ａ２の分布幅（最小値と最大値の差）で、ノズル列の端部付近で相対的に少なくなるような分布を示している。
【００４０】
図７に示されるように、ノズル列内における吐出量の分布の傾向は、第１の電気パルスＰＳ_Ａに係る液滴と第２の電気パルスＰＳ_Ｂに係る液滴とで明らかな差があり、あたかも異なるノズル列であるかのような性質を示している。このため、両液滴の総和としての吐出量に着目すると、単独の電気パルスに係るノズル間のばらつきは統計的に分散され、当該ばらつきは実質的に縮小されていると考えることができる。これにより、両液滴の総和に係る吐出量の分布幅ｂ（最小値と最大値の幅）は、単独の電気パルスに係る吐出量の分布幅ａ１，ａ２の単純和：ａ１＋ａ２よりも小さくなっている。
【００４１】
このように、本実施形態の液滴吐出装置１００（図１参照）は、一描画周期内において複数種の電気パルスによる液滴をペアとして吐出するようになっており、ノズル間の吐出量のばらつきについて実質的な低減を図るようになっている。
【００４２】
吐出量のばらつき分布の傾向は、特に、第２サブパルスｐ２Ａ，ｐ２Ｂの時間成分：ｔ２_Ａ，ｔ２_Ｂに対して強い依存性を有する。但し、当該成分の調整により全く自由な制御が可能であるというわけではなく、本実施形態にあっても、ヘッドモジュール単位で個々にｔ２_Ａ，ｔ２_Ｂおよび他の成分の適正化を図ることで、分布幅ｂを小さくするような工夫が行われている。尚、いうまでもないが、サブパルスの成分の最適化においては、ノズル列内の平均吐出量や液滴の平均速度、吐出安定性などにも十分配慮する必要がある。
【００４３】
（液晶表示装置）
次に、図８を参照して、本発明に係る電気光学装置の一例としての液晶表示装置について説明する。
図８は、液晶表示装置の要部構造を示す概略断面図である。
【００４４】
図８に示すように、電気光学装置としての液晶表示装置２５０は、パッシブマトリクス型液晶表示装置であって、複数の着色膜２６４を有するカラーフィルタ基板（ＣＦ基板）２６１と、複数の電極２６８を有する対向基板２７１と、ＣＦ基板２６１と対向基板２７１との間に狭持された液晶２７０とを備えた液晶表示パネル２６０を有している。このような液晶表示装置２５０は、受光型の表示装置であるため、例えば対向基板２７１の背面側にＬＥＤ素子、ＥＬ、冷陰極管などの光源を有する照明装置（図示を省略）を備えている。尚、本実施形態の液晶表示装置２５０は、これに限定されず、例えば対向基板２７１にＴＦＴやＴＦＤなどのスイッチング素子を備えたアクティブマトリクス型液晶表示装置であってもよい。
【００４５】
対向基板２７１には、例えば透明な樹脂またはガラス基板が用いられており、ＣＦ基板２６１との対向面側にＩＴＯからなる透明な複数の電極２６８を有している。電極２６８は、対向するＣＦ基板２６１に設けられたＩＴＯからなる透明な電極２６６と直交してＹ方向に延在している。すなわち、液晶表示パネル２６０は、互いに対向すると共に直交して格子状に配置された電極２６６と電極２６８とを有している。そして電極２６６と電極２６８とが直交して重なった部分が表示用の画素領域となっている。
【００４６】
ＣＦ基板２６１は、例えば透明な樹脂またはガラス基板を用いており、所定のパターンで形成された遮光膜２６２と、遮光膜２６２の上に形成されたバンク２６３とを備えている。また、遮光膜２６２およびバンク２６３によって区画された区画領域にＲ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）に対応する着色膜２６４と、着色膜２６４とバンク２６３を覆う平坦化層としてのＯＣ（オーバーコート）膜２６５とを備えている。電極２６６はＯＣ膜２６５上に形成されている。尚、電極２６６との密着性を確保するために、ＯＣ膜２６５の上にさらにＳｉＯ2などの薄膜を形成するようにしてもよい。
【００４７】
液晶表示パネル２６０は、このようなＣＦ基板２６１と対向基板２７１とをギャップ材２７２を介して所定の間隔で対向配置させ、両基板２６１，２７１の間に図示しないシール材により液晶２７０を封止したものである。基板２６１，２７１における液晶２７０の封入面側には、液晶２７０の分子を所定の方向に配向させる配向膜２６７，２６９が設けられている。
【００４８】
尚、液晶表示パネル２６０の前面側と背面側の表面には、通常、入射あるいは出射する光を偏向させる偏光板や、視角等を改善するための光学機能性フィルムとしての位相差フィルム等が配設されるが、これらは省略している。
【００４９】
遮光膜２６２は、ＣＦ基板２６１上に、Ｃｒ、Ｎｉ、Ａｌ等の不透明な金属、あるいはこれらの金属の酸化物等の化合物を材料として、気相法とフォトリソグラフィー法を用いて製造することができる。
【００５０】
バンク２６３は、遮光膜２６２が形成されたＣＦ基板２６１上に、ロールコート法やスピンコート法により厚みがおよそ２μｍの感光性樹脂層を形成した後、フォトリソグラフィー法によりパターニングを施して得ることができる。
【００５１】
機能性膜としての着色膜２６４Ｂ，２６４Ｇ，２６４Ｒは、上述した液滴吐出装置を用いて、それぞれＢ，Ｇ，Ｒに対応する三色の色材（有機顔料）を含む液状体（着色液）をバンク２６３による区画領域内に配置し、配置された液状体を乾燥等により固化（膜化）すること（液滴吐出法）により形成することができる。尚、液状体の配置に関する詳しい工程については後述する。
【００５２】
機能性膜としてのＯＣ膜２６５は、透明なアクリル系樹脂を含む液状体を用いて、スピンコート法、オフセット印刷により形成することができるほか、液滴吐出法により形成することもできる。
【００５３】
機能性膜としての電極２６６，２６８は、気相法およびフォトリソグラフィー法を用いて形成することができるほか、Ａｕ，Ａｇ，Ｐｔ等の金属微粒子の分散液を用いて液滴吐出法により形成することもできる。
【００５４】
機能性膜としての配向膜２６７，２６９は、上述した液滴吐出装置１００を用いてポリイミド樹脂等を含む液状体をパターン配置して樹脂膜を形成した後、ラビング処理により配向性を付与して形成することができる。
【００５５】
（電子機器）
次に、図９を参照して、本発明に係る電子機器の一例としての携帯型情報処理装置について説明する。
図９は、携帯型情報処理装置を示す概略斜視図である。
【００５６】
図９に示すように、電子機器としての携帯型情報処理装置３００は、入力用のキーボード３０１を有する情報処理装置本体３０３と、表示部３０２とを備えている。表示部３０２には、上述した液晶表示装置２５０が用いられている。尚、液晶表示装置２５０を搭載する電子機器の他の例としては、携帯電話、腕時計等がある。
【００５７】
（液状体配置方法）
次に、図５、図１０、図１１を参照して、本発明に係る液状体配置方法について、ＣＦ基板上における着色膜の形成に係る例を挙げて説明する。
図１０（ａ），（ｂ）はそれぞれ、第１走査および第２走査における基板に対するヘッドモジュールの走査位置を示す平面図である。図１１（ａ），（ｂ）はそれぞれ、第１走査および第２走査における区画領域に対する液状体の配置位置を模式的に示す平面図である。
【００５８】
図１０において、ＣＦ基板２６１上への液状体の配置（描画）は、液滴吐出装置１００（図１参照）を用い、ヘッドモジュール１１ａ〜１１ｃの主走査とＣＦ基板２６１の所定量の移動（副走査）とを交互に繰り返すことで行われる。例えば、ＣＦ基板２６１上の領域４０に対しては、第１走査（図１０（ａ））においてはヘッドモジュール１１ｃのノズルから、第２走査（図１０（ｂ））においてはヘッドモジュール１１ｂのノズルから、それぞれ液滴（液状体）の吐出が行われることになる。
【００５９】
ＣＦ基板２６１上には、図１１に示すように、バンク２６３により区画された一の領域としての区画領域４１Ｒ，４１Ｇ，４１Ｂが、走査方向（ＸＹ軸方向）に規則的に設けられている。ここで、区画領域４１Ｒ，４１Ｇ，４１Ｂはそれぞれ、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）の着色膜２６４（図８参照）を形成するための区画領域であり、液晶表示装置２５０（図８参照）とされた状態においていわゆるストライプ型の画素配列を構成するようになっている。
【００６０】
液滴（液状体）の吐出は、ノズル列の走査位置に同期して行われるようになっており、本実施形態では、区画領域４１Ｒ，４１Ｇ，４１Ｂの主走査方向（Ｘ軸方向）の配列のピッチＰに対応して駆動信号（図５）の描画周期が設定されるようになっている。Ｒ（赤色）に対応する液滴（液状体）の配置位置を表す図１１の例では、区画領域４１Ｒ上の走査位置に対応する描画周期では液滴が吐出され、区画領域４１Ｇ，４１Ｂ上の走査位置に対応する描画周期では液滴が吐出されない（非駆動）ようになっている。また、バンク２６３にかかる位置のノズルについては、描画周期に関係なく液滴が吐出されない（非駆動）ようになっている。
【００６１】
第１走査（図１１（ａ））では、一の区画領域４１Ｒに対して、互いに隣接する二つのノズルにより、第１の電気パルスＰＳ_Ａ（図５）による液滴（Ａで図示）の吐出が先ず行われ（第１吐出ステップ）、続いて第２の電気パルスＰＳ_Ｂ（図５）による液滴（Ｂで図示）の吐出が行われる（第２吐出ステップ）。さらに、第２走査（図１１（ｂ））では、上記一の区画領域４１Ｒに対して、第１走査とは異なる別の二つのノズルにより、第１の電気パルスＰＳ_Ａ（図５）による液滴（Ａで図示）の吐出が先ず行われ（第１吐出ステップ）、続いて第２の電気パルスＰＳ_Ｂ（図５）による液滴（Ｂで図示）の吐出が行われる（第２吐出ステップ）。
【００６２】
ＣＦ基板２６１の表面には、Ｏ2プラズマ処理等による親液化処理があらかじめ施されており、第１走査および第２走査で吐出（配置）された液滴は区画領域４１Ｒ，４１Ｇ，４１Ｂ内に濡れ広がる。この際、液滴が区画領域４１Ｒ，４１Ｇ，４１Ｂ内に均一に濡れ広がるように、第１走査による液滴の配置位置と第２走査による液滴の配置位置とは、Ｙ軸方向にノズルの走査ピッチの約半分の距離だけオフセットされるようになっている。
【００６３】
上述のように、第１の電気パルスＰＳ_Ａ（図５）により吐出される液滴（Ａで図示）と第２の電気パルスＰＳ_Ｂ（図５）により吐出される液滴（Ｂで図示）とは、一の区画領域内に対して、同一走査で配置されるようになっている。これらの両液滴（Ａ，Ｂで図示）は、同一のノズルから吐出されながらも、他のノズルと比較した吐出量のばらつきに関して互いに異なる性質を示しており（図７参照）、擬似的に異なるノズルで吐出されたものとみなすことができる。このため、ノズル間の吐出量のばらつきは実質的に分散され、少ないムラで液状体を配置することができる。
【００６４】
また、第１走査と第２走査とで、一の区画領域に対して互いに異なるノズルにより液滴が吐出されるようになっていることから、ノズル間の吐出量のばらつきはより一層分散され、より一層少ないムラで液状体を配置することができる。
【００６５】
かくして、このような過程を経て形成された着色膜２６４Ｒ，２６４Ｇ，２６４Ｂ（図８参照）を備える液晶表示装置、および当該液晶表示装置を備える携帯型情報処理装置は、高品質である。
【００６６】
（変形例１）
次に、実施形態の変形例１について、先の実施形態との相違点を中心に、図１２を参照しながら説明する。
図１２は、変形例１に係る駆動信号の構成を示すタイミング図である。
【００６７】
この変形例１の駆動信号（ＣＯＭ）においては、第１の電気パルスＰＳ_Ａと第２の電気パルスＰＳ_Ｂとが異なる描画周期とされ、互いに交互に並んで配置されている。このように、第１の電気パルスＰＳ_Ａと第２の電気パルスＰＳ_Ｂとは、必ずしも同一描画周期とされていなくてもよい。尚、この駆動信号（ＣＯＭ）を用いてＣＦ基板上への液状体の配置を行う場合は、一の区画領域に対して二描画周期分の液滴の吐出が行われることになるので、それに対応した描画パターンデータを用意する必要がある。
【００６８】
（変形例２）
次に、実施形態の変形例２について、先の実施形態との相違点を中心に、図１３を参照しながら説明する。
図１３は、変形例２に係る駆動信号の構成を示すタイミング図である。
【００６９】
この変形例２の駆動信号（ＣＯＭ）は、一描画周期内に、連続する二つの第１の電気パルスＰＳ_Ａ，ＰＳ_Ａと、連続する二つの第２の電気パルスＰＳ_Ｂ，ＰＳ_Ｂとを含んでいる。このように、第１の電気パルスＰＳ_Ａと第２の電気パルスＰＳ_Ｂとは、必ずしも交互に並んで配置されていなくてもよい。尚、この駆動信号（ＣＯＭ）を用いてＣＦ基板上への液状体配置を行う場合は、一の区画領域に対して１ノズルあたり４つの液滴（一描画周期分）が吐出されることになるので、一度の走査で当該一の区画領域内への液状体の配置は完了することになる。
【００７０】
本発明は上述の実施形態に限定されない。
例えば、上述した描画方法を用いて形成される機能性膜の別の例として、例えば、有機ＥＬ表示装置における発光膜、プラズマディスプレイ装置における蛍光膜、あるいは、電気回路部分において利用される導電膜（導電配線）や高抵抗膜（抵抗素子）などが挙げられる。
また、上述の実施形態では、２種類の電気パルスにより吐出される液滴をＣＦ基板上の区画領域内に配置するようにしていたが、より多種類の電気パルスを組み合わせた態様とすることもできる。
また、各実施形態の各構成はこれらを適宜組み合わせたり、省略したり、図示しない他の構成と組み合わせたりすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】液滴吐出装置の全体構成を示す概略図。
【図２】ヘッドの吐出面を示す平面図。
【図３】ヘッドモジュールの内部構造の一例を示す要部断面図。
【図４】液滴吐出装置の電気的構成を示すブロック図。
【図５】駆動信号の一例を示すタイミング図。
【図６】（ａ），（ｂ）は、圧力制御の過程におけるヘッドモジュールの内部構造を示す要部断面図。
【図７】吐出量のノズル列内の分布の一例を示す図。
【図８】液晶表示装置の要部構造を示す概略断面図。
【図９】携帯型情報処理装置を示す概略斜視図。
【図１０】（ａ）は、第１走査における基板に対するヘッドモジュールの走査位置を示す平面図。（ｂ）は、第２走査における基板に対するヘッドモジュールの走査位置を示す平面図。
【図１１】（ａ）は、第１走査における区画領域に対する液状体の配置位置を模式的に示す平面図。（ｂ）は、第２走査における区画領域に対する液状体の配置位置を模式的に示す平面図。
【図１２】変形例１に係る駆動信号の構成を示すタイミング図。
【図１３】変形例２に係る駆動信号の構成を示すタイミング図。
【符号の説明】
【００７２】
１１ａ〜１１ｃ…ヘッドモジュール、１６ａ〜１６ｆ…ノズル群としてのノズル列、１７…ノズル、２２…ノズルと連通する液室としてのキャビティ、２６…圧力制御手段としての圧電素子、４１Ｒ，４１Ｇ，４１Ｂ…基板の一の領域としての区画領域、１００…液滴吐出装置、１０１…基板、１０３…ヘッド、２５０…電気光学装置としての液晶表示装置、２６１…基板としてのカラーフィルタ（ＣＦ）基板、２６３…バンク、２６４Ｒ，２６４Ｇ，２６４Ｂ…機能性膜としての着色膜、２６５…機能性膜としてのオーバーコート（ＯＣ）膜、２６６，２６８…機能性膜としての電極、３００…電子機器としての携帯型情報処理装置、Ｌ…液状体、ＰＳ_Ａ…第１の電気パルス、ＰＳ_Ｂ…第２の電気パルス、ｐ１Ａ，ｐ１Ｂ…第１サブパルス、ｐ２Ａ，ｐ２Ｂ…第２サブパルス、ｐ３Ａ，ｐ３Ｂ…第３サブパルス。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出法を用いた液状体配置方法、電気光学装置とその製造方法、電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液滴吐出法を用いて多様な機能性膜を形成する手法が注目されており、例えば、特許文献１には、液滴吐出法を用いた液晶表示装置のカラーフィルタの製造方法が示されている。具体的には、基板に対して走査する液滴吐出ヘッド（以下、ヘッドとする）の微細ノズルから色材を含む液状体（液滴）を吐出させて、当該基板上に形成された区画領域内に液状体を配置（描画）し、さらに配置された液状体を乾燥等により固化させて着色膜を形成するようになっている。
【０００３】
ところで、吐出される液状体の量（吐出量）にはノズル間で僅かながらもばらつきが存在するため、基板内の領域と使用するノズルとの関係によって、配置される液状体の量にムラ（描画ムラ）が生じてしまうという問題がある。このような描画ムラを低減するため、特許文献１では、構造的に吐出量のばらつきを生じ易いノズルについて、描画における使用を禁止するようにしている。
【０００４】
また、特許文献１では、一の区画領域内に液状体を配置するにあたり、複数回の走査に分けて、使用するノズルを走査毎に違えながら液状体の配置を行うようにしている。これは、一区画領域あたりに使用するノズルの数を増やすことにより、ノズル間の特性差を統計的に分散させることをねらったものである。
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−１５９７８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、一区画領域あたりに使用するノズルの数を増やすという方法は、ノズルの有効利用という点で不利であり、描画時間の長大化をもたらす原因となる。
【０００７】
本発明は、上述の課題を解決するためになされたもので、高いノズルの利用効率の下で少ないムラで液状体を配置することができる液状体配置方法、および当該液状体配置方法を用いた電気光学装置の製造方法、並びに当該製造方法により製造された電気光学装置、電子機器を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、複数のノズルからなるノズル群を有するヘッドの基板に対する走査の下、前記ノズルと連通する液室の圧力を制御する圧力制御手段に電気パルスを供給して、当該ノズルから液状体を吐出することにより、前記基板に当該液状体を配置する液状体配置方法であって、第１の前記電気パルスを用いて、前記基板の一の領域内に対して前記液状体の吐出を行う第１吐出ステップと、前記第１吐出ステップと同一の前記走査、同一の前記ノズルにより、第２の前記電気パルスを用いて、前記一の領域内に対して前記液状体の吐出を行う第２吐出ステップと、を有することを特徴とする。
【０００９】
また好ましくは、前記液状体配置方法において、前記第１の電気パルスを用いて吐出を行った際の前記ノズル群内の吐出量の分布幅をａ１、前記第２の電気パルスを用いて吐出を行った際の前記ノズル群内の吐出量の分布幅をａ２、前記第１および第２の電気パルスの両方を用いて吐出を行った際の前記ノズル群内の総和の吐出量の分布幅をｂとしたときに、ｂ＜ａ１＋ａ２を満たすことを特徴とする。
【００１０】
これらの発明の液状体配置方法によれば、基板の一の領域内に対して、第１の電気パルスにより吐出された液滴（液状体）と第２の電気パルスにより吐出された液滴（液状体）とが、同一の走査で配置される。これらの両液滴は、同一のノズルから吐出されながらも、他のノズルと比較した特性ばらつきに関して互いに異なる性質を示すこととなり、擬似的に異なるノズルで吐出されたものとみなすことができる。このため、上記の走査におけるノズル間の吐出量のばらつきは実質的に分散され、少ないムラで液状体を配置することができる。
【００１１】
また好ましくは、前記第１および第２の電気パルスが、前記液室を減圧するための第１サブパルスと、前記第１サブパルスの終点の電位を保持する第２サブパルスと、前記第２サブパルスに続いて前記液室を加圧して前記液状体を前記ノズルから吐出させるための第３サブパルスを有している前記液状体配置方法において、少なくとも前記第２サブパルスの時間成分が、前記第１の電気パルスと前記第２の電気パルスとで違えられていることを特徴とする。
【００１２】
この発明の液状体配置方法によれば、吐出量のばらつき分布に対する依存性の高い第２サブパルスを第１および第２電気パルス間で違えるようにしているので、上述の効果を好適に得ることができる。
【００１３】
本発明の機能性膜を備える電気光学装置は、前記液状体配置方法を用いて前記液状体を前記基板に配置する工程と、当該配置された液状体を固化して機能性膜を形成する工程と、を有することを特徴とする。
この発明の電気光学装置の製造方法によれば、上記の液状体配置方法を用いて電気光学装置の構成要素である機能性膜を形成しているので、基板上の領域間におけるムラの少ない機能性膜を備えた電気光学装置を効率的に製造することができる。
【００１４】
本発明は、複数のノズルからなるノズル群を有するヘッドの基板に対する走査の下、前記ノズルと連通する液室の圧力を制御する圧力制御手段に電気パルスを供給して、当該ノズルから前記基板の一の領域に対して液状体が吐出され、当該吐出された液状体の固化により形成された機能性膜を構成要素として備える電気光学装置であって、前記一の領域内に対する前記液状体の吐出は、第１および第２の電気パルスをそれぞれ用いて行われており、前記第１の電気パルスを用いた吐出と前記第２の電気パルスを用いた吐出とは、同一の前記走査、同一の前記ノズルにより行われていることを特徴とする。
【００１５】
この発明の電気光学装置を構成する機能性膜の形成にあたっては、基板の一の領域内に対して、第１の電気パルスにより吐出された液滴（液状体）と第２の電気パルスにより吐出された液滴（液状体）とが、同一の走査で配置される。これらの両液滴は、同一のノズルから吐出されながらも、他のノズルと比較した特性ばらつきに関して互いに異なる性質を示すこととなり、擬似的に異なるノズルで吐出されたものとみなすことができる。このため、上記の走査におけるノズル間の吐出量のばらつきは実質的に分散され、少ないムラで液状体を配置することができる。すなわち、この発明の電気光学装置は、膜厚ムラの少ない機能性膜を備えているため高品質である。
【００１６】
本発明の電子機器は、前記電気光学装置を備えることを特徴とする。
この発明の電子機器は、上記電気光学装置を備えているので、高品質であると共に製造効率が高いという利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
なお、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。また、以下の説明で参照する図では、図示の便宜上、部材ないし部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。
【００１８】
（液滴吐出装置）
まずは、図１、図２、図３を参照して、本発明に係る液滴吐出装置の機械的構成について説明する。
図１は、液滴吐出装置の全体構成を示す概略図である。図２は、ヘッドの吐出面を示す平面図である。図３は、ヘッドモジュールの内部構造の一例を示す要部断面図である。
【００１９】
図１において、液滴吐出装置１００は、基板１０１を載置するための載置台１０２と、液状体の吐出を行うヘッド１０３と、ヘッド１０３に液状体を供給する液状体供給手段１０６と、を備えている。ヘッド１０３は、載置台１０２に対してＸ軸方向に往復動（主走査）可能なように、主走査手段１０４を介して本体部（図示せず）に取り付けられている。また、載置台１０２は、ヘッド１０３に対してＹ軸方向に往復動（副走査）可能なように、副走査手段１０５を介して本体部（図示せず）に取り付けられている。
【００２０】
液状体供給手段１０６は、複数種の液状体をヘッド１０３に供給可能なように構成されている。使用される液状体としては、水や有機溶媒、およびこれらの溶液のほか、液体中に固体微粒子を分散させたものなどを採用することもできる。
【００２１】
ヘッド１０３の載置台１０２に対する対向面（吐出面）には、図２に示すように、複数のヘッドモジュール１１ａ，１１ｂ，１１ｃが取り付けられており、ヘッドモジュール１１ａ〜１１ｃにはノズル１７が形成されている。このノズル１７は、主走査方向に直交する方向（Ｙ軸方向）にライン状に配列されて、ノズル群としてのノズル列１６ａ〜１６ｆを構成している。
【００２２】
本実施形態のノズル列１６ａ〜１６ｆはそれぞれ１６０個のノズルで構成されている。また、ノズル列１６ａ〜１６ｆの両端側には網掛け部を重ねて図示するノズルが存在するが、これらは使用しないダミーノズルとなっている。ノズル列１６ａ〜１６ｆは、それぞれ１４２μｍのノズルピッチ構成となっており、ヘッド１０３がＸ軸方向に主走査された場合において、互いに補完し合って連続した７１μｍピッチの走査軌跡を描くような位置関係とされている。
【００２３】
ヘッドモジュール１１ａ（１１ｂ，１１ｃについても同様）の内部構造は、図３に示すようになっている。すなわち、ヘッドモジュール１１ａは、ノズル１７の個々と連通する液室であるキャビティ２２と、各キャビティ２２と連通するノズル列１６ａ，１６ｂ単位の共通室であるリザーバ２３とを備えている。キャビティ２２の天蓋部２４は可撓性膜２５により可動するようになっており、天蓋部２４と接合された圧力制御手段としての圧電素子２６の駆動によってキャビティ２２内の圧力が制御されるようになっている。
【００２４】
キャビティ２２の圧力制御は、より具体的には、圧電素子２６に供給される電気パルスを用いて行われ、この圧力制御によってキャビティ２２内の液状体をノズル１７から吐出させることができる（詳しくは後述する）。かくして、ヘッド１０３の走査に同期して発信される電気パルスの供給／非供給の制御をノズル１７毎に行うことにより、基板１０１上の任意の領域に液状体を配置（描画）することが可能となっている。
【００２５】
ヘッド１０３には、ヘッドモジュール１１ａ〜１１ｃ以外にも、図示を省略した他のヘッドモジュールが取り付けられている。当該他のヘッドモジュールは、ヘッドモジュール１１ａ〜１１ｃとは異なる種類の液状体に対応して設けられたものである。
【００２６】
また、液滴吐出装置の構成は上述の態様に限定されるものではなく、例えば、ヘッド１０３の固定の下、載置台１０２がＸＹ方向に往復動するような構成とすることもできるし、載置台１０２の固定の下、ヘッド１０３がＸＹ方向に往復動するような構成とすることもできる。また、ノズル列１６ａ〜１６ｆのノズルピッチを変更したり、ノズル列１６ａ〜１６ｆの伸長方向をＹ軸方向に対して傾けた構成とすることもできる。
【００２７】
次に、図４、図５、図６、図７を参照して、液滴吐出装置の電気的構成と電気パルスによる液滴の吐出について説明する。
図４は、液滴吐出装置の電気的構成を示すブロック図である。図５は、駆動信号の一例を示すタイミング図である。図６は、圧力制御の過程におけるヘッドモジュールの内部構造を示す要部断面図である。図７は、吐出量のノズル列内の分布の一例を示す図である。
【００２８】
図４において、液滴吐出装置１００は、走査制御および、各ノズル列１６ａ〜１６ｆ（図２参照）毎の吐出制御を行う制御部１２０を備えている。制御部１２０は、外部インターフェース（Ｉ／Ｆ）１２１を介してホストコンピュータ１０７と接続され、また内部Ｉ／Ｆ１２２を介して、各ノズル列１６ａ〜１６ｆごとに設けられたヘッド駆動回路１３１および主走査手段１０４、副走査手段１０５と接続されている。
【００２９】
制御部１２０は、ＣＰＵ１２３と、ＣＰＵ１２３のワークメモリやバッファメモリとして機能するＲＡＭ１２４と、各種制御情報を記憶するＲＯＭ１２５と、クロック信号（ＣＫ）を生成する発信回路１２６と、電気パルスＰＳ_Ａ，ＰＳ_Ｂ（図５参照）を含んでなる駆動信号（ＣＯＭ）を生成する駆動信号生成回路１２７とを備えている。また、ヘッド駆動回路１３１は、各ノズル毎の圧電素子２６に対応して、シフトレジスタ１３２、ラッチ回路１３３、レベルシフタ１３４、スイッチ１３５を備えている。
【００３０】
ホストコンピュータ１０７は、描画対象面における液滴の配置を表したいわゆるビットマップ形式の描画パターンデータを制御部１２０に伝送する。そして、ＣＰＵ１２３は、描画パターンデータをデコードしてノズル毎のＯＮ／ＯＦＦ情報であるノズルデータを生成する。ノズルデータは、シリアル信号（ＳＩ）化されて、クロック信号（ＣＫ）に同期して各シフトレジスタ１３２に伝送される。
【００３１】
シフトレジスタ１３２に伝送されたノズルデータは、ラッチ信号（ＬＡＴ（図５参照））がラッチ回路１３３に入力されるタイミングでラッチされ、さらにレベルシフタ１３４でスイッチ１３５用のゲート信号に変換される。かくして、ノズルデータが「ＯＮ」の場合にはスイッチ１３５が開いて圧電素子２６に駆動信号（ＣＯＭ（図５参照））が供給され、ノズルデータが「ＯＦＦ」の場合には、スイッチ１３５が閉じられる。
【００３２】
駆動信号（ＣＯＭ）は、図５に示すように、主走査と同期したタイミングで設定される一描画周期内に、中間電位で接続された第１の電気パルスＰＳ_Ａと第２の電気パルスＰＳ_Ｂとを有している。「ＯＮ」とされたノズルの圧電素子２６には第１および第２の電気パルスＰＳ_Ａ，ＰＳ_Ｂが連続して供給され、対応するキャビティ２２の圧力制御が行われる。
【００３３】
第１の電気パルスＰＳ_Ａは、中間電位からの充電を行う第１サブパルスｐ１Ａと、第１サブパルスの終点の電位を維持する第２サブパルスｐ２Ａと、第２サブパルスの維持電位からの放電を行う第３サブパルスｐ３Ａと、第３サブパルスの終点の電位を維持する第４サブパルスｐ４Ａと、第４サブパルスの維持電位からの中間電位への充電を行う第５サブパルスｐ５Ａを有している。
【００３４】
第１サブパルスｐ１Ａが圧電素子２６に供給されると、図６（ａ）に示すように、キャビティ２２の容量が拡張されて内部の圧力が低下し（減圧過程）、液状体ＬのメニスカスＭｅがノズル１７の内方に引き込まれる。また、第１サブパルスｐ１Ａにより、キャビティ２２を含む流路系にはヘルムホルツ共振が誘起され、第２サブパルスｐ２Ａが圧電素子２６に供給されている間において、キャビティ２２の容量および内圧はこのヘルムホルツ共振に従って振動する。次いで、第３サブパルスｐ３Ａが圧電素子２６に供給されると、図６（ｂ）に示すように、キャビティ２２の容量が縮小されて内部の圧力が上昇し（加圧過程）、ノズル１７から液状体Ｌが押し出される。押し出された液状体Ｌはその後液滴として飛行し、基板１０１（図１参照）上に配置される。
【００３５】
第３サブパルスｐ３Ａによって低下した電位レベルは、第４サブパルスｐ４Ａを経て第５サブパルスｐ５Ａによって中間電位まで回復される。第５サブパルスｐ５Ａは、電位レベルの回復に加え、第３サブパルスｐ３Ａによって誘起されたヘルムホルツ共振を強制的に打ち消す役割も担っている。
【００３６】
第２サブパルスｐ２Ａの時間成分：ｔ２_Ａは、第１サブパルスｐ１Ａによって誘起されるヘルムホルツ共振と、第３サブパルスｐ３Ａによって誘起されるヘルムホルツ共振との位相差のタイミングを規定する役割を果たしている。両者の共振の位相差によって、第３サブパルスｐ３Ａによりノズル１７から押し出される液状体の挙動は変わってくるため、この時間成分：ｔ２_Ａは、液滴の量（吐出量）や速度に関わる重要な要素の一つとなっている。
【００３７】
また、吐出量は、キャビティ２２周りの構造上のばらつきやリザーバ２３とキャビティ２２との位置関係などによっても影響されるため、吐出に係るノズル１７によってばらつきを有する。図７は、あるノズル列について、ノズル１７の配列方向を横軸にして吐出量の分布を示したものであり、この例では、第１の電気パルスＰＳ_Ａに対応する吐出量は、ａ１の分布幅（最小値と最大値の差）で、ノズル列の端部付近で相対的に多くなるような分布を示している。尚、図７は、ノズル列内の全てのノズル１７から同時に液滴を吐出させたときの吐出量を示すものである。
【００３８】
第１の電気パルスＰＳ_Ａに続いて圧電素子２６に供給される第２の電気パルスＰＳ_Ｂは、第１の電気パルスＰＳ_Ａと同様の構成を有している。すなわち、中間電位からの充電を行う第１サブパルスｐ１Ｂと、第１サブパルスの終点の電位を維持する第２サブパルスｐ２Ｂと、第２サブパルスの維持電位からの放電を行う第３サブパルスｐ３Ｂと、第３サブパルスの終点の電位を維持する第４サブパルスｐ４Ｂと、第４サブパルスの維持電位からの中間電位への充電を行う第５サブパルスｐ５Ｂを有している。
【００３９】
サブパルスｐ１Ｂ〜ｐ５Ｂの役割は、第１電気パルスＰＳ_Ａにおけるサブパルスｐ１Ａ〜ｐ５Ａと同じであるが、サブパルスｐ１Ａ〜ｐ５Ａとサブパルスｐ１Ｂ〜ｐ５Ｂとでは、電圧、時間の成分に関して部分的に違えられている。とりわけ、第２サブパルスｐ２Ａの時間成分：ｔ２_Ａと第２サブパルスｐ２Ｂの時間成分：ｔ２_Ｂとが異なっており、これに起因して、ノズル列内における吐出量の分布にも違いが見られる（図７参照）。すなわち、この例では、第２の電気パルスＰＳ_Ｂによる吐出量は、ａ２の分布幅（最小値と最大値の差）で、ノズル列の端部付近で相対的に少なくなるような分布を示している。
【００４０】
図７に示されるように、ノズル列内における吐出量の分布の傾向は、第１の電気パルスＰＳ_Ａに係る液滴と第２の電気パルスＰＳ_Ｂに係る液滴とで明らかな差があり、あたかも異なるノズル列であるかのような性質を示している。このため、両液滴の総和としての吐出量に着目すると、単独の電気パルスに係るノズル間のばらつきは統計的に分散され、当該ばらつきは実質的に縮小されていると考えることができる。これにより、両液滴の総和に係る吐出量の分布幅ｂ（最小値と最大値の幅）は、単独の電気パルスに係る吐出量の分布幅ａ１，ａ２の単純和：ａ１＋ａ２よりも小さくなっている。
【００４１】
このように、本実施形態の液滴吐出装置１００（図１参照）は、一描画周期内において複数種の電気パルスによる液滴をペアとして吐出するようになっており、ノズル間の吐出量のばらつきについて実質的な低減を図るようになっている。
【００４２】
吐出量のばらつき分布の傾向は、特に、第２サブパルスｐ２Ａ，ｐ２Ｂの時間成分：ｔ２_Ａ，ｔ２_Ｂに対して強い依存性を有する。但し、当該成分の調整により全く自由な制御が可能であるというわけではなく、本実施形態にあっても、ヘッドモジュール単位で個々にｔ２_Ａ，ｔ２_Ｂおよび他の成分の適正化を図ることで、分布幅ｂを小さくするような工夫が行われている。尚、いうまでもないが、サブパルスの成分の最適化においては、ノズル列内の平均吐出量や液滴の平均速度、吐出安定性などにも十分配慮する必要がある。
【００４３】
（液晶表示装置）
次に、図８を参照して、本発明に係る電気光学装置の一例としての液晶表示装置について説明する。
図８は、液晶表示装置の要部構造を示す概略断面図である。
【００４４】
図８に示すように、電気光学装置としての液晶表示装置２５０は、パッシブマトリクス型液晶表示装置であって、複数の着色膜２６４を有するカラーフィルタ基板（ＣＦ基板）２６１と、複数の電極２６８を有する対向基板２７１と、ＣＦ基板２６１と対向基板２７１との間に狭持された液晶２７０とを備えた液晶表示パネル２６０を有している。このような液晶表示装置２５０は、受光型の表示装置であるため、例えば対向基板２７１の背面側にＬＥＤ素子、ＥＬ、冷陰極管などの光源を有する照明装置（図示を省略）を備えている。尚、本実施形態の液晶表示装置２５０は、これに限定されず、例えば対向基板２７１にＴＦＴやＴＦＤなどのスイッチング素子を備えたアクティブマトリクス型液晶表示装置であってもよい。
【００４５】
対向基板２７１には、例えば透明な樹脂またはガラス基板が用いられており、ＣＦ基板２６１との対向面側にＩＴＯからなる透明な複数の電極２６８を有している。電極２６８は、対向するＣＦ基板２６１に設けられたＩＴＯからなる透明な電極２６６と直交してＹ方向に延在している。すなわち、液晶表示パネル２６０は、互いに対向すると共に直交して格子状に配置された電極２６６と電極２６８とを有している。そして電極２６６と電極２６８とが直交して重なった部分が表示用の画素領域となっている。
【００４６】
ＣＦ基板２６１は、例えば透明な樹脂またはガラス基板を用いており、所定のパターンで形成された遮光膜２６２と、遮光膜２６２の上に形成されたバンク２６３とを備えている。また、遮光膜２６２およびバンク２６３によって区画された区画領域にＲ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）に対応する着色膜２６４と、着色膜２６４とバンク２６３を覆う平坦化層としてのＯＣ（オーバーコート）膜２６５とを備えている。電極２６６はＯＣ膜２６５上に形成されている。尚、電極２６６との密着性を確保するために、ＯＣ膜２６５の上にさらにＳｉＯ2などの薄膜を形成するようにしてもよい。
【００４７】
液晶表示パネル２６０は、このようなＣＦ基板２６１と対向基板２７１とをギャップ材２７２を介して所定の間隔で対向配置させ、両基板２６１，２７１の間に図示しないシール材により液晶２７０を封止したものである。基板２６１，２７１における液晶２７０の封入面側には、液晶２７０の分子を所定の方向に配向させる配向膜２６７，２６９が設けられている。
【００４８】
尚、液晶表示パネル２６０の前面側と背面側の表面には、通常、入射あるいは出射する光を偏向させる偏光板や、視角等を改善するための光学機能性フィルムとしての位相差フィルム等が配設されるが、これらは省略している。
【００４９】
遮光膜２６２は、ＣＦ基板２６１上に、Ｃｒ、Ｎｉ、Ａｌ等の不透明な金属、あるいはこれらの金属の酸化物等の化合物を材料として、気相法とフォトリソグラフィー法を用いて製造することができる。
【００５０】
バンク２６３は、遮光膜２６２が形成されたＣＦ基板２６１上に、ロールコート法やスピンコート法により厚みがおよそ２μｍの感光性樹脂層を形成した後、フォトリソグラフィー法によりパターニングを施して得ることができる。
【００５１】
機能性膜としての着色膜２６４Ｂ，２６４Ｇ，２６４Ｒは、上述した液滴吐出装置を用いて、それぞれＢ，Ｇ，Ｒに対応する三色の色材（有機顔料）を含む液状体（着色液）をバンク２６３による区画領域内に配置し、配置された液状体を乾燥等により固化（膜化）すること（液滴吐出法）により形成することができる。尚、液状体の配置に関する詳しい工程については後述する。
【００５２】
機能性膜としてのＯＣ膜２６５は、透明なアクリル系樹脂を含む液状体を用いて、スピンコート法、オフセット印刷により形成することができるほか、液滴吐出法により形成することもできる。
【００５３】
機能性膜としての電極２６６，２６８は、気相法およびフォトリソグラフィー法を用いて形成することができるほか、Ａｕ，Ａｇ，Ｐｔ等の金属微粒子の分散液を用いて液滴吐出法により形成することもできる。
【００５４】
機能性膜としての配向膜２６７，２６９は、上述した液滴吐出装置１００を用いてポリイミド樹脂等を含む液状体をパターン配置して樹脂膜を形成した後、ラビング処理により配向性を付与して形成することができる。
【００５５】
（電子機器）
次に、図９を参照して、本発明に係る電子機器の一例としての携帯型情報処理装置について説明する。
図９は、携帯型情報処理装置を示す概略斜視図である。
【００５６】
図９に示すように、電子機器としての携帯型情報処理装置３００は、入力用のキーボード３０１を有する情報処理装置本体３０３と、表示部３０２とを備えている。表示部３０２には、上述した液晶表示装置２５０が用いられている。尚、液晶表示装置２５０を搭載する電子機器の他の例としては、携帯電話、腕時計等がある。
【００５７】
（液状体配置方法）
次に、図５、図１０、図１１を参照して、本発明に係る液状体配置方法について、ＣＦ基板上における着色膜の形成に係る例を挙げて説明する。
図１０（ａ），（ｂ）はそれぞれ、第１走査および第２走査における基板に対するヘッドモジュールの走査位置を示す平面図である。図１１（ａ），（ｂ）はそれぞれ、第１走査および第２走査における区画領域に対する液状体の配置位置を模式的に示す平面図である。
【００５８】
図１０において、ＣＦ基板２６１上への液状体の配置（描画）は、液滴吐出装置１００（図１参照）を用い、ヘッドモジュール１１ａ〜１１ｃの主走査とＣＦ基板２６１の所定量の移動（副走査）とを交互に繰り返すことで行われる。例えば、ＣＦ基板２６１上の領域４０に対しては、第１走査（図１０（ａ））においてはヘッドモジュール１１ｃのノズルから、第２走査（図１０（ｂ））においてはヘッドモジュール１１ｂのノズルから、それぞれ液滴（液状体）の吐出が行われることになる。
【００５９】
ＣＦ基板２６１上には、図１１に示すように、バンク２６３により区画された一の領域としての区画領域４１Ｒ，４１Ｇ，４１Ｂが、走査方向（ＸＹ軸方向）に規則的に設けられている。ここで、区画領域４１Ｒ，４１Ｇ，４１Ｂはそれぞれ、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）の着色膜２６４（図８参照）を形成するための区画領域であり、液晶表示装置２５０（図８参照）とされた状態においていわゆるストライプ型の画素配列を構成するようになっている。
【００６０】
液滴（液状体）の吐出は、ノズル列の走査位置に同期して行われるようになっており、本実施形態では、区画領域４１Ｒ，４１Ｇ，４１Ｂの主走査方向（Ｘ軸方向）の配列のピッチＰに対応して駆動信号（図５）の描画周期が設定されるようになっている。Ｒ（赤色）に対応する液滴（液状体）の配置位置を表す図１１の例では、区画領域４１Ｒ上の走査位置に対応する描画周期では液滴が吐出され、区画領域４１Ｇ，４１Ｂ上の走査位置に対応する描画周期では液滴が吐出されない（非駆動）ようになっている。また、バンク２６３にかかる位置のノズルについては、描画周期に関係なく液滴が吐出されない（非駆動）ようになっている。
【００６１】
第１走査（図１１（ａ））では、一の区画領域４１Ｒに対して、互いに隣接する二つのノズルにより、第１の電気パルスＰＳ_Ａ（図５）による液滴（Ａで図示）の吐出が先ず行われ（第１吐出ステップ）、続いて第２の電気パルスＰＳ_Ｂ（図５）による液滴（Ｂで図示）の吐出が行われる（第２吐出ステップ）。さらに、第２走査（図１１（ｂ））では、上記一の区画領域４１Ｒに対して、第１走査とは異なる別の二つのノズルにより、第１の電気パルスＰＳ_Ａ（図５）による液滴（Ａで図示）の吐出が先ず行われ（第１吐出ステップ）、続いて第２の電気パルスＰＳ_Ｂ（図５）による液滴（Ｂで図示）の吐出が行われる（第２吐出ステップ）。
【００６２】
ＣＦ基板２６１の表面には、Ｏ2プラズマ処理等による親液化処理があらかじめ施されており、第１走査および第２走査で吐出（配置）された液滴は区画領域４１Ｒ，４１Ｇ，４１Ｂ内に濡れ広がる。この際、液滴が区画領域４１Ｒ，４１Ｇ，４１Ｂ内に均一に濡れ広がるように、第１走査による液滴の配置位置と第２走査による液滴の配置位置とは、Ｙ軸方向にノズルの走査ピッチの約半分の距離だけオフセットされるようになっている。
【００６３】
上述のように、第１の電気パルスＰＳ_Ａ（図５）により吐出される液滴（Ａで図示）と第２の電気パルスＰＳ_Ｂ（図５）により吐出される液滴（Ｂで図示）とは、一の区画領域内に対して、同一走査で配置されるようになっている。これらの両液滴（Ａ，Ｂで図示）は、同一のノズルから吐出されながらも、他のノズルと比較した吐出量のばらつきに関して互いに異なる性質を示しており（図７参照）、擬似的に異なるノズルで吐出されたものとみなすことができる。このため、ノズル間の吐出量のばらつきは実質的に分散され、少ないムラで液状体を配置することができる。
【００６４】
また、第１走査と第２走査とで、一の区画領域に対して互いに異なるノズルにより液滴が吐出されるようになっていることから、ノズル間の吐出量のばらつきはより一層分散され、より一層少ないムラで液状体を配置することができる。
【００６５】
かくして、このような過程を経て形成された着色膜２６４Ｒ，２６４Ｇ，２６４Ｂ（図８参照）を備える液晶表示装置、および当該液晶表示装置を備える携帯型情報処理装置は、高品質である。
【００６６】
（変形例１）
次に、実施形態の変形例１について、先の実施形態との相違点を中心に、図１２を参照しながら説明する。
図１２は、変形例１に係る駆動信号の構成を示すタイミング図である。
【００６７】
この変形例１の駆動信号（ＣＯＭ）においては、第１の電気パルスＰＳ_Ａと第２の電気パルスＰＳ_Ｂとが異なる描画周期とされ、互いに交互に並んで配置されている。このように、第１の電気パルスＰＳ_Ａと第２の電気パルスＰＳ_Ｂとは、必ずしも同一描画周期とされていなくてもよい。尚、この駆動信号（ＣＯＭ）を用いてＣＦ基板上への液状体の配置を行う場合は、一の区画領域に対して二描画周期分の液滴の吐出が行われることになるので、それに対応した描画パターンデータを用意する必要がある。
【００６８】
（変形例２）
次に、実施形態の変形例２について、先の実施形態との相違点を中心に、図１３を参照しながら説明する。
図１３は、変形例２に係る駆動信号の構成を示すタイミング図である。
【００６９】
この変形例２の駆動信号（ＣＯＭ）は、一描画周期内に、連続する二つの第１の電気パルスＰＳ_Ａ，ＰＳ_Ａと、連続する二つの第２の電気パルスＰＳ_Ｂ，ＰＳ_Ｂとを含んでいる。このように、第１の電気パルスＰＳ_Ａと第２の電気パルスＰＳ_Ｂとは、必ずしも交互に並んで配置されていなくてもよい。尚、この駆動信号（ＣＯＭ）を用いてＣＦ基板上への液状体配置を行う場合は、一の区画領域に対して１ノズルあたり４つの液滴（一描画周期分）が吐出されることになるので、一度の走査で当該一の区画領域内への液状体の配置は完了することになる。
【００７０】
本発明は上述の実施形態に限定されない。
例えば、上述した描画方法を用いて形成される機能性膜の別の例として、例えば、有機ＥＬ表示装置における発光膜、プラズマディスプレイ装置における蛍光膜、あるいは、電気回路部分において利用される導電膜（導電配線）や高抵抗膜（抵抗素子）などが挙げられる。
また、上述の実施形態では、２種類の電気パルスにより吐出される液滴をＣＦ基板上の区画領域内に配置するようにしていたが、より多種類の電気パルスを組み合わせた態様とすることもできる。
また、各実施形態の各構成はこれらを適宜組み合わせたり、省略したり、図示しない他の構成と組み合わせたりすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】液滴吐出装置の全体構成を示す概略図。
【図２】ヘッドの吐出面を示す平面図。
【図３】ヘッドモジュールの内部構造の一例を示す要部断面図。
【図４】液滴吐出装置の電気的構成を示すブロック図。
【図５】駆動信号の一例を示すタイミング図。
【図６】（ａ），（ｂ）は、圧力制御の過程におけるヘッドモジュールの内部構造を示す要部断面図。
【図７】吐出量のノズル列内の分布の一例を示す図。
【図８】液晶表示装置の要部構造を示す概略断面図。
【図９】携帯型情報処理装置を示す概略斜視図。
【図１０】（ａ）は、第１走査における基板に対するヘッドモジュールの走査位置を示す平面図。（ｂ）は、第２走査における基板に対するヘッドモジュールの走査位置を示す平面図。
【図１１】（ａ）は、第１走査における区画領域に対する液状体の配置位置を模式的に示す平面図。（ｂ）は、第２走査における区画領域に対する液状体の配置位置を模式的に示す平面図。
【図１２】変形例１に係る駆動信号の構成を示すタイミング図。
【図１３】変形例２に係る駆動信号の構成を示すタイミング図。
【符号の説明】
【００７２】
１１ａ〜１１ｃ…ヘッドモジュール、１６ａ〜１６ｆ…ノズル群としてのノズル列、１７…ノズル、２２…ノズルと連通する液室としてのキャビティ、２６…圧力制御手段としての圧電素子、４１Ｒ，４１Ｇ，４１Ｂ…基板の一の領域としての区画領域、１００…液滴吐出装置、１０１…基板、１０３…ヘッド、２５０…電気光学装置としての液晶表示装置、２６１…基板としてのカラーフィルタ（ＣＦ）基板、２６３…バンク、２６４Ｒ，２６４Ｇ，２６４Ｂ…機能性膜としての着色膜、２６５…機能性膜としてのオーバーコート（ＯＣ）膜、２６６，２６８…機能性膜としての電極、３００…電子機器としての携帯型情報処理装置、Ｌ…液状体、ＰＳ_Ａ…第１の電気パルス、ＰＳ_Ｂ…第２の電気パルス、ｐ１Ａ，ｐ１Ｂ…第１サブパルス、ｐ２Ａ，ｐ２Ｂ…第２サブパルス、ｐ３Ａ，ｐ３Ｂ…第３サブパルス。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルからなるノズル群を有するヘッドの基板に対する走査の下、前記ノズルと連通する液室の圧力を制御する圧力制御手段に電気パルスを供給して、当該ノズルから液状体を吐出することにより、前記基板に当該液状体を配置する液状体配置方法であって、
第１の前記電気パルスを用いて、前記基板の一の領域内に対して前記液状体の吐出を行う第１吐出ステップと、
前記第１吐出ステップと同一の前記走査、同一の前記ノズルにより、第２の前記電気パルスを用いて、前記一の領域内に対して前記液状体の吐出を行う第２吐出ステップと、を有することを特徴とする液状体配置方法。
【請求項２】
前記第１の電気パルスを用いて吐出を行った際の前記ノズル群内の吐出量の分布幅をａ１、前記第２の電気パルスを用いて吐出を行った際の前記ノズル群内の吐出量の分布幅をａ２、前記第１および第２の電気パルスの両方を用いて吐出を行った際の前記ノズル群内の総和の吐出量の分布幅をｂとしたときに、
ｂ＜ａ１＋ａ２を満たすことを特徴とする請求項１に記載の液状体配置方法。
【請求項３】
前記第１および第２の電気パルスが、前記液室を減圧するための第１サブパルスと、前記第１サブパルスの終点の電位を保持する第２サブパルスと、前記第２サブパルスに続いて前記液室を加圧して前記液状体を前記ノズルから吐出させるための第３サブパルスを有している請求項１または２に記載の液状体配置方法であって、
少なくとも前記第２サブパルスの時間成分が、前記第１の電気パルスと前記第２の電気パルスとで違えられていることを特徴とする液状体配置方法。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか一項に記載の液状体配置方法を用いて前記液状体を前記基板に配置する工程と、
当該配置された液状体を固化して機能性膜を形成する工程と、を有することを特徴とする前記機能性膜を構成要素として備える電気光学装置の製造方法。
【請求項５】
複数のノズルからなるノズル群を有するヘッドの基板に対する走査の下、前記ノズルと連通する液室の圧力を制御する圧力制御手段に電気パルスを供給して、当該ノズルから前記基板の一の領域に対して液状体が吐出され、当該吐出された液状体の固化により形成された機能性膜を構成要素として備える電気光学装置であって、
前記一の領域内に対する前記液状体の吐出は、第１および第２の電気パルスをそれぞれ用いて行われており、
前記第１の電気パルスを用いた吐出と前記第２の電気パルスを用いた吐出とは、同一の前記走査、同一の前記ノズルにより行われていることを特徴とする電気光学装置。
【請求項６】
請求項５に記載の電気光学装置を備える電子機器。
【請求項１】
複数のノズルからなるノズル群を有するヘッドの基板に対する走査の下、前記ノズルと連通する液室の圧力を制御する圧力制御手段に電気パルスを供給して、当該ノズルから液状体を吐出することにより、前記基板に当該液状体を配置する液状体配置方法であって、
第１の前記電気パルスを用いて、前記基板の一の領域内に対して前記液状体の吐出を行う第１吐出ステップと、
前記第１吐出ステップと同一の前記走査、同一の前記ノズルにより、第２の前記電気パルスを用いて、前記一の領域内に対して前記液状体の吐出を行う第２吐出ステップと、を有することを特徴とする液状体配置方法。
【請求項２】
前記第１の電気パルスを用いて吐出を行った際の前記ノズル群内の吐出量の分布幅をａ１、前記第２の電気パルスを用いて吐出を行った際の前記ノズル群内の吐出量の分布幅をａ２、前記第１および第２の電気パルスの両方を用いて吐出を行った際の前記ノズル群内の総和の吐出量の分布幅をｂとしたときに、
ｂ＜ａ１＋ａ２を満たすことを特徴とする請求項１に記載の液状体配置方法。
【請求項３】
前記第１および第２の電気パルスが、前記液室を減圧するための第１サブパルスと、前記第１サブパルスの終点の電位を保持する第２サブパルスと、前記第２サブパルスに続いて前記液室を加圧して前記液状体を前記ノズルから吐出させるための第３サブパルスを有している請求項１または２に記載の液状体配置方法であって、
少なくとも前記第２サブパルスの時間成分が、前記第１の電気パルスと前記第２の電気パルスとで違えられていることを特徴とする液状体配置方法。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか一項に記載の液状体配置方法を用いて前記液状体を前記基板に配置する工程と、
当該配置された液状体を固化して機能性膜を形成する工程と、を有することを特徴とする前記機能性膜を構成要素として備える電気光学装置の製造方法。
【請求項５】
複数のノズルからなるノズル群を有するヘッドの基板に対する走査の下、前記ノズルと連通する液室の圧力を制御する圧力制御手段に電気パルスを供給して、当該ノズルから前記基板の一の領域に対して液状体が吐出され、当該吐出された液状体の固化により形成された機能性膜を構成要素として備える電気光学装置であって、
前記一の領域内に対する前記液状体の吐出は、第１および第２の電気パルスをそれぞれ用いて行われており、
前記第１の電気パルスを用いた吐出と前記第２の電気パルスを用いた吐出とは、同一の前記走査、同一の前記ノズルにより行われていることを特徴とする電気光学装置。
【請求項６】
請求項５に記載の電気光学装置を備える電子機器。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【公開番号】特開２００７−２４４９７７（Ｐ２００７−２４４９７７Ａ）
【公開日】平成１９年９月２７日（２００７．９．２７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−７０６９７（Ｐ２００６−７０６９７）
【出願日】平成１８年３月１５日（２００６．３．１５）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１９年９月２７日（２００７．９．２７）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年３月１５日（２００６．３．１５）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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