異物検査方法及び装置
【課題】シート状の被検査物について、幅寸法が大きかったり、材質が非透光性であっても、表面の微小異物の検出が可能で、また被検査物幅方向における検出感度や検出最小サイズがばらつかない異物検査方法、装置を提供する。
【解決手段】シート状の被検査物１を搬送路途中で受けローラ２に巻き掛けて搬送させ、その巻掛け搬送部分１ａの幅方向に交差する方向から、その巻掛け搬送部分１ａの搬送方向所望位置の幅方向両端を結ぶ線上の被検査部の表面１ｂに沿って、正面視が線状のレーザ光３を照射する。そしてこの線状レーザ光３を、被検査部表面１ｂ及びその直上部分を挟んだ対向位置で受光してその光量を測定し、この測定結果に基づいて被検査物１の表面に異物４があるか否かを判定する。レーザ光のビームウェストの影響を受けずに、また非透光性の被検査物についてもその表面の異物の検出を可能とした。
【解決手段】シート状の被検査物１を搬送路途中で受けローラ２に巻き掛けて搬送させ、その巻掛け搬送部分１ａの幅方向に交差する方向から、その巻掛け搬送部分１ａの搬送方向所望位置の幅方向両端を結ぶ線上の被検査部の表面１ｂに沿って、正面視が線状のレーザ光３を照射する。そしてこの線状レーザ光３を、被検査部表面１ｂ及びその直上部分を挟んだ対向位置で受光してその光量を測定し、この測定結果に基づいて被検査物１の表面に異物４があるか否かを判定する。レーザ光のビームウェストの影響を受けずに、また非透光性の被検査物についてもその表面の異物の検出を可能とした。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査物表面における異物、特に微小異物の有無を検査する異物検査方法及び装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の技術としては特許文献１に記載のものがあった。
これは、被検査物であるシートの走行方向に交差する方向（被検査物幅方向）から、被検査物表面に沿ってレーザ光を照射し、対向位置で受光して、レーザ光の遮光量を測定することによって被検査物表面の異物を検出するというものである。
【０００３】
【特許文献１】特開平６−１８０２９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら上記従来技術では、次のような問題点があった。
レーザ光は、その照射位置及び受光位置相互間の中央部分はくびれ（ビームウェスト）、端部側では広がるという性質をもつ。このため、レーザ光照射位置及び受光位置相互間の中央部分における異物の検出が難しくなり（検出下限高さが高くなり）、被検査物の幅寸法が大きい場合に、検出できる異物の最小サイズに限界が生じた。また、被検査物幅方向の中心部と端部側との間で検出感度に相違が生じた。
また、透光性の被検査物では、検査時、レーザ光が被検査物にかかってもその光は透過してしまうので被検査物表面において散乱光は殆ど発生せず、異物検出に支障を与えない。しかし、非透光性の被検査物では、レーザ光が被検査物にかかった場合、その光は被検査物を透過せず全てが散乱光となってしまう。このため、非透光性の多層コート薄膜等の被検査物の表面にある異物の検出は困難になった。
更に、被検査物の大きさ（幅寸法）に対して、検出したい異物の大きさが著しく小さい（被検査物及び異物間のサイズ比が極めて大きい）場合には、検出できる異物のサイズに制限が生じた。例えば、被検査物の幅寸法＝数百ｍｍ以上に対して、検出したい異物のサイズが１ｍｍ以下である、というような場合、受光して得られる信号の変化量は非常に小さくなってノイズとの判別が困難になり、この点からも異物の検出は困難になった。
【０００５】
本発明は、上記のような実情に鑑みなされたもので、被検査物の幅寸法が大きい、特に、検出したい異物の大きさに比べて極めて大きい場合でも、また被検査物が非透光性の金属等であっても、微小の異物の検出が可能で、更に、被検査物幅方向の中心部と端部側との間の検出感度に相違が生じることもなく、被検査物幅方向の各位置における検出可能な異物の最小サイズもばらつかない異物検査方法及び装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題は、異物検査方法及び装置を下記各態様の構成とすることによって解決される。
各態様は、請求項と同様に、項に区分し、各項に番号を付し、必要に応じて他の項の番号を引用する形式で記載する。これは、あくまでも本発明の理解を容易にするためであり、本明細書に記載の技術的特徴及びそれらの組合わせが以下の各項に記載のものに限定されると解釈されるべきではない。また、１つの項に複数の事項が記載されている場合、それら複数の事項を常に一緒に採用しなければならないわけではなく、一部の事項のみを取り出して採用することも可能である。
【０００７】
以下の各項のうち、（１）項が請求項１に、（２）項が請求項２に、（３）項が請求項３に、各々対応する。
【０００８】
（１）シート状の被検査物を搬送路途中で受けローラに巻き掛けて搬送させ、その巻掛け搬送部分の幅方向に交差する方向から、その巻掛け搬送部分の搬送方向所望位置の幅方向両端を結ぶ線上の被検査部の表面に沿って、正面視が線状のレーザ光を照射し、この照射レーザ光を、前記被検査部の表面及びその近傍部分を挟んだ対向位置で受光してその光量を測定し、又は前記照射レーザ光が前記被検査部に接近する箇所におけるその被検査部からの散乱光を受光してその光量を測定し、この光量測定結果に基づいて前記被検査物の表面に異物があるか否かを判定する異物検査方法。
「シート状の被検査物」は、透明か非透明か等、透光性の有無を問わない。したがって金属箔等の非透明材も被検査物に含まれる。
「線状のレーザ光」としては、一般にシート光あるいはスリット光等と称されるレーザ光が用いられる。
「異物」には、被検査物の表面に付着した異物や同表面に生成されている異物等を含む。
光量の測定は、一般的には光電変換素子に照射レーザ光／散乱光を入射させることにより行われる。この場合、基本的には光電変換素子の出力信号値が光量測定結果となる。
（２）前記レーザ光の照射を、前記巻掛け搬送部分の搬送方向ほぼ中央位置に設定された被検査部における接線方向から行うことを特徴とする（１）項に記載の異物検査方法。
被検査物の搬送による振動（搬送時振動）は異物の検査精度を低下させる。異物の検出をその高さの差によって行う場合に特にそうである。しかしレーザ光の照射を、巻掛け搬送部分の搬送方向ほぼ中央位置に設定された被検査部における接線方向から行えば、レーザ光が被検査物表面に最も接近する位置（照射目標位置）が、巻掛け搬送部分の搬送方向ほぼ中央位置、つまり搬送時振動が最も少ない位置となり、異物の検査精度の低下を防止し得る。
また、レーザ光の照射を本項のように行えば、上述した異物検査精度の低下を防止する効果を有しつつ、被検査物の受けローラ巻掛け部分において最も突き出た被検査物表面をローラの径方向に直交する方向からレーザ光を照射することになる。つまり、被検査物表面に異物があった場合に、その異物の高さを最も有効に捉えることになり、異物の検出をその高さの差によって行う場合に、特に有益である。
（３）搬送するシート状の被検査物が巻き掛けられた受けローラと、この受けローラに巻き掛けられて搬送される前記被検査物の巻掛け搬送部分の幅方向に交差する方向から、その巻掛け搬送部分の搬送方向所望位置の幅方向両端を結ぶ線上の被検査部の表面に沿って、正面視が線状のレーザ光を照射する線状レーザ光照射手段と、この線状レーザ光照射手段からの照射レーザ光を、前記被検査部の表面及びその近傍部分を挟んだ対向位置で受光してその光量に応じた信号を出力し、又は前記照射レーザ光が前記被検査部に接近する箇所におけるその被検査部からの散乱光を受光してその光量に応じた信号を出力する受光手段と、この受光手段からの出力信号に基づいて前記被検査物の表面に異物があるか否かを判定する異物判定手段とを具備することを特徴とする異物検査装置。
「シート状の被検査物」、「線状のレーザ光」及び「異物」等の語句については、上掲（１）項と同様である。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、被検査物の幅寸法が大きい、特に、検出したい異物の大きさに比べて極めて大きい場合でも、また被検査物が非透光性の金属等であっても、微小の異物の検出が可能になる。更に、被検査物幅方向の中心部と端部側との間の検出感度に相違が生じることもなく、また、被検査物幅方向の各位置における検出可能な異物の最小サイズもばらつきなく、異物の検出が可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づき説明する。なお、各図間において、同一符号は同一又は相当部分を示す。
まず、本発明による異物検査方法の第１実施形態の概略を図１及び図２を参照して説明する。図１は側面図、図２は平面図である。
両図から分かるように、第１実施形態は、シート状の被検査物１を搬送路途中で受けローラ２に巻き掛けて搬送させ、その被検査物１の巻掛け搬送部分１ａの幅方向にほぼ直交する方向から、その巻掛け搬送部分１ａの搬送方向所望位置の幅方向両端を結ぶ直線上の被検査部の表面１ｂに沿って、正面視が線状のレーザ光３を照射する第１工程を有する。
そして、照射した上記レーザ光（照射レーザ光：以下、線状レーザ光と略称する。）３を、上記被検査部の表面（以下、被検査部表面と略称する。）１ｂ及びその近傍部分を挟んだ対向位置で受光してその光量を測定し、この光量測定結果に基づいて被検査物１、詳しくは被検査部表面１ｂに異物４があるか否かを連続的に判定する第２工程を有する異物検査方法である。
なお異物４は、その存在を分かりやすくするため、実際よりも著しく拡大して描いてある。
【００１１】
以下に詳しく述べると、第１実施形態では、被検査部表面１ｂの直上にかつ同被検査部表面１ｂと平行に、線状レーザ光３を照射する。被検査部表面１ｂからの距離は、検出したい異物４の被検査部表面１ｂからの高さ寸法に応じて決定する。低い（小さい）異物４を検出したい場合には、高い（大きな）異物４を検出する場合に比べて、上記距離を小さく決定する。
受けローラ２の径は、線状レーザ光３のビームウェストの径やその広がりから決定する。
【００１２】
照射した線状レーザ光３は、被検査部表面１ｂ及びその直上部分を挟んだ対向位置で光電変換素子（受光手段）５により受光するが、この光電変換素子５としては、ＰＤ（フォトダイオード）やＰＳＤ（位置検出素子：Position Sensitive Detector）が用いられる。
異物４の被検査物１上の位置まで検知したい場合には、光電変換素子５にＰＳＤが用いられる。この場合、被検査物１の幅方向の位置の特定にＰＳＤを用い、被検査物１の搬送方向における位置（長さ方向の位置）は受けローラの径と回転数から計算により求める。被検査物１の搬送方向のある位置で検出される信号の量は、その方向の全信号量と比べて非常に小さいが、ＰＳＤは微小な信号変化に対しても高感度で検出できるので、被検査物１の搬送方向のある位置における異物４による信号を検出可能である。
被検査物１の搬送速度が速い場合には、単に異物４の有無のみを検出することとし、光電変換素子５にＰＤが用いられる。
【００１３】
上述第１実施形態では、被検査部表面１ｂにおける異物４の有無を光電変換素子５の受光量の差として検出する。
すなわち、被検査部表面１ｂに異物４がない場合には、光電変換素子５は照射された線状レーザ光３をそのまま受光（全受光）するため、全受光に応じた電流（全電流）を発生し、その測定値（光量測定結果）により異物なしと判定される。
被検査部表面１ｂに異物４がある場合には、この異物４によって散乱された分だけ光電変換素子５が受光する光量が減少するため、光電変換素子５の発生電流は低下し（全電流よりも低い電流となり）、その測定値により異物ありと判定される。図１及び図２中、６は異物４によって生じた散乱光を示す。
【００１４】
このように第１実施形態では、光電変換素子５からの信号に基づいて、具体的には光電変換素子５の出力電流の大きさを測定することによって、被検査物１の表面における異物４の有無が検出される。通常、異物４の有無の検出をするためには、光電変換素子５からの信号を増幅した信号の値（増幅信号値）に対して閾値を設定し、この閾値に上記増幅信号値が達していない場合に異物ありと判定するように構成される。
【００１５】
なお図１及び図２において、１１はレーザ光源である。このレーザ光源１１からのレーザ光１２は、同レーザ光源１１とで線状レーザ光照射装置１３を構成する光学レンズ１４によって、被検査物１の幅まで広がる線状レーザ光３に変えられる。
遮光板１５は、光電変換素子５に入射する線状レーザ光３を、同光電変換素子５の受光領域サイズに規制するために配置されている。
【００１６】
第１実施形態は、被検査物１が帯状体であってその供給リール（図示せず）から連続的に繰り出しながらその表面を連続して検査する工程に適用可能であり、これによれば高速、高精度の異物検出が可能となる。特に、帯状体が多層コート薄膜であり、薄膜量産ラインにおける膜表面の微小異物の連続検査工程に適用して、検査の速度、精度上、大なる効果を発揮できる。
【００１７】
次に、本発明による異物検査方法の第２実施形態の概略を図３及び図４を参照して説明する。図３は側面図、図４は平面図である。
両図から分かるように、第２実施形態は、上述した第１実施形態におけると同様の第１工程を有する。そして、その第１工程において照射した線状レーザ光３が巻掛け搬送部分１ａに接近する箇所におけるその巻掛け搬送部分１ａからの散乱光６を受光してその光量を測定し、この光量測定結果に基づいて被検査物１、詳しくは被検査部表面１ｂに異物４があるか否かを連続的に判定する第２工程を有する方法である。
なお、異物４が実際よりも著しく拡大して描いてあることは、図１及び図２と同様である。また、散乱光６の測定は、基本的には照射した線状レーザ光３が巻掛け搬送部分１ａに最も接近する箇所において行われる。
【００１８】
以下に詳しく述べると、第２実施形態では、巻掛け搬送部分１ａに最も接近する箇所におけるその巻掛け搬送部分１ａからの散乱光６を受光するが、この光電変換素子（受光手段）５としては光電子増倍管が用いられる。
第２実施形態においても、被検査部表面１ｂにおける異物４の有無を光電変換素子５の受光量の差として検出するが、この第２実施形態では、次のようにして、異物４の有無を判定する。
すなわち、被検査部表面１ｂに異物４がない場合には、線状レーザ光３は同被検査部表面１ｂにおいて散乱されず、全てが遮光板７で受光される。このため、光電変換素子（光電子増倍管）５に光の入射はなく、光電変換素子５に電流は発生せず、その測定値（光量測定結果）により異物なしと判定される。
被検査部表面１ｂに異物がある場合には、この異物４によって線状レーザ光３が散乱され、その散乱光６が光電変換素子５に集光される。したがって、光電変換素子５に電流が発生し、その測定値により異物ありと判定される。
【００１９】
なお、被検査部表面１ｂの直上にかつ同被検査部表面１ｂと平行に、線状レーザ光３を照射すること、
被検査部表面１ｂからの距離は、検出したい異物４の被検査部表面１ｂからの高さ寸法に応じて決定すること、
受けローラ２の径は、線状レーザ光３のビームウェストの径やその広がりから決定すること等は、上述第１実施形態と同様である。
【００２０】
このように第２実施形態では、光電変換素子５からの信号に基づいて、具体的には光電変換素子５の出力電流の大きさを測定することによって、被検査物１の表面における異物４の有無が検出される。通常、異物４の有無の検出をするためには、光電変換素子５からの信号を増幅した信号の値（増幅信号値）に対して閾値を設定し、この閾値を上記増幅信号値が超えた場合に異物ありと判定するように構成される。
【００２１】
第２実施形態においても、被検査物１が帯状体であってその供給リール（図示せず）から連続的に繰り出しながらその表面を連続して検査する工程に適用可能であり、これによれば高速、高精度の異物検出が可能となる。特に、帯状体が多層コート薄膜であり、薄膜量産ラインにおける膜表面の微小異物の連続検査工程に適用して、検査の速度、精度上、大なる効果を発揮できる。
【００２２】
次に、本発明方法の第１実施形態が適用された装置（第１異物検査装置）について、図５を参照して説明する。
図５は第１異物検査装置の一実施形態を示す構成図である。
図示例では、被検査物１は帯状体であってその供給リール（図示せず）から受けローラ２を経由して例えば矢印ア方向に連続的に繰出し搬送されている。この搬送には公知の搬送手段が用いられる。被検査物１の搬送方向は矢印ア方向とは逆の方向であってもよい。
また図示例では、線状レーザ光３は被検査部表面１ｂの直上にかつ同被検査部表面１ｂと平行に、照射する。
レーザ光源１１、光学レンズ１４、遮光板１５、光電変換素子５及び受けローラ２の各構成、機能は図１に示したものと同様である。
光学レンズ４１は、光電変換素子５に入射する線状レーザ光３を、同光電変換素子５の受光領域サイズに合わせて集光するために配置されている。光学レンズ４１を配置した場合には遮光板１５を省略してもよい。
【００２３】
アンプ４２は、受影器５の光電変換素子５からの信号（光電流）を増幅する回路であり、Ａ／Ｄ変換器４３は、アンプ４２からの出力信号（アナログ信号）をデジタル信号に変換して出力する回路である。
異物判定装置４４は、Ａ／Ｄ変換器４３の出力信号を受けて、現在、線状レーザ光３が照射されている被検査部表面１ｂ部分における光電変換素子５の出力電流、詳しくはその増幅信号の値（増幅信号値）が予め定めた閾値に達していないか否かを演算し、結果（異物４の有無）をディスプレイに出力する装置である。この異物判定装置４４は、図示例ではパーソナルコンピュータ及びこれにインストールされたプログラムからなる。
【００２４】
本実施形態においては、異物４の検出をその高さの差によって行うため、被検査物１の搬送による振動（搬送時振動）や本装置自体の振動（装置振動）により異物４の検査精度が大きく左右される。このため、次のように対処されている。
上記搬送時振動に対しては、線状レーザ光３が被検査部表面１ｂに最も接近する位置（照射目標位置）を、受けローラ２に巻き掛けられた巻掛け搬送部分１ａの搬送方向のほぼ中央位置になるように、レーザ光源１１、光学レンズ１４，４１、遮光板１５及び光電変換素子５を配置する。受けローラ２に巻き掛けられた巻掛け搬送部分１ａの搬送方向のほぼ中央位置が搬送時振動を最も受け難いからである。
上記装置振動に対しては、レーザ光源１１、光学レンズ１４，４１、遮光板１５及び光電変換素子５を枠体等からなる部品組込み構体に一体に組み込み、受けローラ２の回転軸支持部材に固着する。レーザ光源１１、光学レンズ１４，４１、遮光板１５及び光電変換素子５の組み込み体が受けローラ２の振動に追随して振動し、受けローラ２の振動がキャンセルされるからである。
【００２５】
次に、このような第１異物検査装置の動作について説明する。
まず、帯状の被検査物１が受けローラ２を経由して矢印ア方向に搬送されると共に、レーザ光源１１からレーザ光３が出射され、光学レンズ１４を通して線状（線状レーザ光３が）に変えられ、被検査部表面１ｂの直上にかつ同被検査部表面１ｂと平行に、照射されているとする。また、所定の時間間隔（検査タイミング）で光電変換素子５の出力電流がアンプ４２及びＡ／Ｄ変換器４３を介して異物判定装置４４に取り込まれているとする。
【００２６】
いま、ある検査タイミングにおいて、被検査部表面１ｂに異物４がない場合について説明すると、この場合、光電変換素子５は、照射された線状レーザ光３をそのまま受光（全受光）するため、全受光に応じた電流（全電流）を発生する。この光電変換素子５の発生電流（出力電流）は、アンプ４２で増幅され、Ａ／Ｄ変換器４３を介して異物判定装置４４に入力されるが、その値は予め定めた閾値に達しているので異物判定装置４４は異物なしと判定し、結果をメッセージや記号／数値等によってディスプレイに表示する。
【００２７】
被検査部表面１ｂに異物４がある場合には、この異物４によって散乱された分だけ光電変換素子５が受光する光量が減少するため、光電変換素子５の発生電流は低下する（全電流よりも低い電流となる）。この光電変換素子５の発生電流（出力電流）は、アンプ４２で増幅され、Ａ／Ｄ変換器４３を介して異物判定装置４４に入力されるが、異物４がある場合、その値は予め定めた閾値に達していないので異物判定装置４４は異物ありと判定し、結果をメッセージや記号／数値等によってディスプレイに表示する。
【００２８】
次に、本発明方法の第２実施形態が適用された装置（第２異物検査装置）について、図６を参照して説明する。なお、図３及び図５と共通する構成については、これら図３及び図５における符号と同一の符号を付してその説明を省略する。
図６は第２異物検査装置の一実施形態を示す構成図で、図中、６１は暗箱である。第２異物検査装置においては、光電変換素子５は巻掛け搬送部分１ａからの散乱光６を受光するが、この散乱光６は微弱である。したがって、光電変換素子５として光電子増倍管が用いられるが、本実施形態では、更に、散乱光６を受光する巻掛け搬送部分１ａに接近する箇所に暗箱６１を配設し、この暗箱６１内に上記光電変換素子（光電子増倍管）５を配置した。つまり、散乱光６を光電変換素子５に集光されるように構成したもので、これによれば、微弱な散乱光６の検知も可能、換言すれば微小な異物４の検出が可能となる。
暗箱６１の内側は、例えぱ、巻掛け搬送部分１ａ上に又は散乱光６の光量が多い箇所に集光レンズを配置する等により、暗箱６１内に入ってきた散乱光６が光電変換素子５に有効に集まる構造されている。
【００２９】
更に本実施形態では、光電変換素子５の光入射面側に線状レーザ光３の波長のみを透過させる光学フィルタ６２を配置し、外乱（ノイズ光）の影響を抑える構成とした。
被検査物１の搬送による振動や本装置自体の振動により異物４の検査精度が大きく左右されることは上述した第１異物検査装置の場合と同様であり、第１異物検査装置の場合と同様の対処がなされている。
【００３０】
次に、このような第２異物検査装置の動作について説明する。
帯状の被検査物１が矢印ア方向へ搬送され、また、レーザ光源１１からのレーザ光３が線状レーザ光３に変えられ、被検査部表面１ｂの直上にかつ同被検査部表面１ｂと平行に照射されおり、更に、所定の検査タイミングで光電変換素子５の出力電流がアンプ４２、Ａ／Ｄ変換器４３を介して異物判定装置４４に取り込まれている点については第１異物検査装置の場合と同様である。
【００３１】
いま、ある検査タイミングにおいて、被検査部表面１ｂに異物４がない場合について説明すると、この場合、線状レーザ光３は同被検査部表面１ｂにおいて散乱されず、光電変換素子５に光の入射はない。したがって、光電変換素子５に電流は発生せず、Ａ／Ｄ変換器４３からの信号値は予め定めた閾値に達していないので異物判定装置４４は異物なしと判定し、結果をメッセージや記号／数値等によってディスプレイに表示する。
【００３２】
被検査部表面１ｂに異物４がある場合には、この異物４によって線状レーザ光３が散乱され、その散乱光６が光電変換素子５に集光されて、光電変換素子５に電流が発生する。この光電変換素子５の発生電流（出力電流）は、アンプ４２で増幅され、Ａ／Ｄ変換器４３を介して異物判定装置４４に入力されるが、その値は予め定めた閾値に達しているので異物判定装置４４は異物ありと判定し、結果をメッセージや記号／数値等によってディスプレイに表示する。
【００３３】
上述第１，第２異物検査装置の各実施形態では、被検査物１を受けローラ２に巻き掛けて搬送させ、その巻掛け搬送部分１ａの幅方向にほぼ直交する方向から、その巻掛け搬送部分１ａの搬送方向所望位置の幅方向両端を結ぶ直線上の被検査部表面１ｂに沿って、線状レーザ光３を照射するように構成した。
そして、第１異物検査装置においては、その線状レーザ光３を、被検査部表面１ｂ及びその直上部分を挟んだ対向位置で受光し、その光量を測定することにより、被検査部表面１ｂに異物４があるか否かを判定するように構成した。また、第２異物検査装置においては、その線状レーザ光３が巻掛け搬送部分１ａに接近する箇所におけるその巻掛け搬送部分１ａからの散乱光を受光し、その光量を測定することにより、被検査部表面１ｂに異物４があるか否かを判定するように構成した。
【００３４】
したがって、これら第１，第２異物検査装置の各実施形態によれば、レーザ光のビームウェストの影響を受けることなく異物の検出が可能となり、被検査物の幅寸法が検出したい異物の大きさに比べて極めて大きい場合でも、また被検査物が非透光性の金属等であっても、微小の異物の検出が可能になる。更に、被検査物幅方向の中心部と端部側との間の検出感度に相違が生じることもなく、被検査物幅方向の各位置における検出可能な異物の最小サイズもばらつくことなく異物の検出が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明による異物検査方法の第１実施形態の概略を示す側面図である。
【図２】同じく平面図である。
【図３】本発明による異物検査方法の第２実施形態の概略を示す側面図である。
【図４】同じく平面図である。
【図５】本発明方法の第１実施形態が適用された装置（第１異物検査装置）の一実施形態を示す構成図である。
【図６】同じく第２実施形態が適用された装置（第２異物検査装置）の一実施形態を示す構成図である。
【符号の説明】
【００３６】
１：被検査物、１ａ：巻掛け搬送部分、１ｂ：被検査部表面、２：受けローラ、３：線状レーザ光、４：異物、５：光電変換素子（受光手段）、６：散乱光、７，１５：遮光板、１１：レーザ光源、１２：レーザ光、１３：線状レーザ光照射装置（線状光照射手段）、１４，４１：光学レンズ、４４：異物判定装置（異物判定手段）。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査物表面における異物、特に微小異物の有無を検査する異物検査方法及び装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の技術としては特許文献１に記載のものがあった。
これは、被検査物であるシートの走行方向に交差する方向（被検査物幅方向）から、被検査物表面に沿ってレーザ光を照射し、対向位置で受光して、レーザ光の遮光量を測定することによって被検査物表面の異物を検出するというものである。
【０００３】
【特許文献１】特開平６−１８０２９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら上記従来技術では、次のような問題点があった。
レーザ光は、その照射位置及び受光位置相互間の中央部分はくびれ（ビームウェスト）、端部側では広がるという性質をもつ。このため、レーザ光照射位置及び受光位置相互間の中央部分における異物の検出が難しくなり（検出下限高さが高くなり）、被検査物の幅寸法が大きい場合に、検出できる異物の最小サイズに限界が生じた。また、被検査物幅方向の中心部と端部側との間で検出感度に相違が生じた。
また、透光性の被検査物では、検査時、レーザ光が被検査物にかかってもその光は透過してしまうので被検査物表面において散乱光は殆ど発生せず、異物検出に支障を与えない。しかし、非透光性の被検査物では、レーザ光が被検査物にかかった場合、その光は被検査物を透過せず全てが散乱光となってしまう。このため、非透光性の多層コート薄膜等の被検査物の表面にある異物の検出は困難になった。
更に、被検査物の大きさ（幅寸法）に対して、検出したい異物の大きさが著しく小さい（被検査物及び異物間のサイズ比が極めて大きい）場合には、検出できる異物のサイズに制限が生じた。例えば、被検査物の幅寸法＝数百ｍｍ以上に対して、検出したい異物のサイズが１ｍｍ以下である、というような場合、受光して得られる信号の変化量は非常に小さくなってノイズとの判別が困難になり、この点からも異物の検出は困難になった。
【０００５】
本発明は、上記のような実情に鑑みなされたもので、被検査物の幅寸法が大きい、特に、検出したい異物の大きさに比べて極めて大きい場合でも、また被検査物が非透光性の金属等であっても、微小の異物の検出が可能で、更に、被検査物幅方向の中心部と端部側との間の検出感度に相違が生じることもなく、被検査物幅方向の各位置における検出可能な異物の最小サイズもばらつかない異物検査方法及び装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題は、異物検査方法及び装置を下記各態様の構成とすることによって解決される。
各態様は、請求項と同様に、項に区分し、各項に番号を付し、必要に応じて他の項の番号を引用する形式で記載する。これは、あくまでも本発明の理解を容易にするためであり、本明細書に記載の技術的特徴及びそれらの組合わせが以下の各項に記載のものに限定されると解釈されるべきではない。また、１つの項に複数の事項が記載されている場合、それら複数の事項を常に一緒に採用しなければならないわけではなく、一部の事項のみを取り出して採用することも可能である。
【０００７】
以下の各項のうち、（１）項が請求項１に、（２）項が請求項２に、（３）項が請求項３に、各々対応する。
【０００８】
（１）シート状の被検査物を搬送路途中で受けローラに巻き掛けて搬送させ、その巻掛け搬送部分の幅方向に交差する方向から、その巻掛け搬送部分の搬送方向所望位置の幅方向両端を結ぶ線上の被検査部の表面に沿って、正面視が線状のレーザ光を照射し、この照射レーザ光を、前記被検査部の表面及びその近傍部分を挟んだ対向位置で受光してその光量を測定し、又は前記照射レーザ光が前記被検査部に接近する箇所におけるその被検査部からの散乱光を受光してその光量を測定し、この光量測定結果に基づいて前記被検査物の表面に異物があるか否かを判定する異物検査方法。
「シート状の被検査物」は、透明か非透明か等、透光性の有無を問わない。したがって金属箔等の非透明材も被検査物に含まれる。
「線状のレーザ光」としては、一般にシート光あるいはスリット光等と称されるレーザ光が用いられる。
「異物」には、被検査物の表面に付着した異物や同表面に生成されている異物等を含む。
光量の測定は、一般的には光電変換素子に照射レーザ光／散乱光を入射させることにより行われる。この場合、基本的には光電変換素子の出力信号値が光量測定結果となる。
（２）前記レーザ光の照射を、前記巻掛け搬送部分の搬送方向ほぼ中央位置に設定された被検査部における接線方向から行うことを特徴とする（１）項に記載の異物検査方法。
被検査物の搬送による振動（搬送時振動）は異物の検査精度を低下させる。異物の検出をその高さの差によって行う場合に特にそうである。しかしレーザ光の照射を、巻掛け搬送部分の搬送方向ほぼ中央位置に設定された被検査部における接線方向から行えば、レーザ光が被検査物表面に最も接近する位置（照射目標位置）が、巻掛け搬送部分の搬送方向ほぼ中央位置、つまり搬送時振動が最も少ない位置となり、異物の検査精度の低下を防止し得る。
また、レーザ光の照射を本項のように行えば、上述した異物検査精度の低下を防止する効果を有しつつ、被検査物の受けローラ巻掛け部分において最も突き出た被検査物表面をローラの径方向に直交する方向からレーザ光を照射することになる。つまり、被検査物表面に異物があった場合に、その異物の高さを最も有効に捉えることになり、異物の検出をその高さの差によって行う場合に、特に有益である。
（３）搬送するシート状の被検査物が巻き掛けられた受けローラと、この受けローラに巻き掛けられて搬送される前記被検査物の巻掛け搬送部分の幅方向に交差する方向から、その巻掛け搬送部分の搬送方向所望位置の幅方向両端を結ぶ線上の被検査部の表面に沿って、正面視が線状のレーザ光を照射する線状レーザ光照射手段と、この線状レーザ光照射手段からの照射レーザ光を、前記被検査部の表面及びその近傍部分を挟んだ対向位置で受光してその光量に応じた信号を出力し、又は前記照射レーザ光が前記被検査部に接近する箇所におけるその被検査部からの散乱光を受光してその光量に応じた信号を出力する受光手段と、この受光手段からの出力信号に基づいて前記被検査物の表面に異物があるか否かを判定する異物判定手段とを具備することを特徴とする異物検査装置。
「シート状の被検査物」、「線状のレーザ光」及び「異物」等の語句については、上掲（１）項と同様である。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、被検査物の幅寸法が大きい、特に、検出したい異物の大きさに比べて極めて大きい場合でも、また被検査物が非透光性の金属等であっても、微小の異物の検出が可能になる。更に、被検査物幅方向の中心部と端部側との間の検出感度に相違が生じることもなく、また、被検査物幅方向の各位置における検出可能な異物の最小サイズもばらつきなく、異物の検出が可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づき説明する。なお、各図間において、同一符号は同一又は相当部分を示す。
まず、本発明による異物検査方法の第１実施形態の概略を図１及び図２を参照して説明する。図１は側面図、図２は平面図である。
両図から分かるように、第１実施形態は、シート状の被検査物１を搬送路途中で受けローラ２に巻き掛けて搬送させ、その被検査物１の巻掛け搬送部分１ａの幅方向にほぼ直交する方向から、その巻掛け搬送部分１ａの搬送方向所望位置の幅方向両端を結ぶ直線上の被検査部の表面１ｂに沿って、正面視が線状のレーザ光３を照射する第１工程を有する。
そして、照射した上記レーザ光（照射レーザ光：以下、線状レーザ光と略称する。）３を、上記被検査部の表面（以下、被検査部表面と略称する。）１ｂ及びその近傍部分を挟んだ対向位置で受光してその光量を測定し、この光量測定結果に基づいて被検査物１、詳しくは被検査部表面１ｂに異物４があるか否かを連続的に判定する第２工程を有する異物検査方法である。
なお異物４は、その存在を分かりやすくするため、実際よりも著しく拡大して描いてある。
【００１１】
以下に詳しく述べると、第１実施形態では、被検査部表面１ｂの直上にかつ同被検査部表面１ｂと平行に、線状レーザ光３を照射する。被検査部表面１ｂからの距離は、検出したい異物４の被検査部表面１ｂからの高さ寸法に応じて決定する。低い（小さい）異物４を検出したい場合には、高い（大きな）異物４を検出する場合に比べて、上記距離を小さく決定する。
受けローラ２の径は、線状レーザ光３のビームウェストの径やその広がりから決定する。
【００１２】
照射した線状レーザ光３は、被検査部表面１ｂ及びその直上部分を挟んだ対向位置で光電変換素子（受光手段）５により受光するが、この光電変換素子５としては、ＰＤ（フォトダイオード）やＰＳＤ（位置検出素子：Position Sensitive Detector）が用いられる。
異物４の被検査物１上の位置まで検知したい場合には、光電変換素子５にＰＳＤが用いられる。この場合、被検査物１の幅方向の位置の特定にＰＳＤを用い、被検査物１の搬送方向における位置（長さ方向の位置）は受けローラの径と回転数から計算により求める。被検査物１の搬送方向のある位置で検出される信号の量は、その方向の全信号量と比べて非常に小さいが、ＰＳＤは微小な信号変化に対しても高感度で検出できるので、被検査物１の搬送方向のある位置における異物４による信号を検出可能である。
被検査物１の搬送速度が速い場合には、単に異物４の有無のみを検出することとし、光電変換素子５にＰＤが用いられる。
【００１３】
上述第１実施形態では、被検査部表面１ｂにおける異物４の有無を光電変換素子５の受光量の差として検出する。
すなわち、被検査部表面１ｂに異物４がない場合には、光電変換素子５は照射された線状レーザ光３をそのまま受光（全受光）するため、全受光に応じた電流（全電流）を発生し、その測定値（光量測定結果）により異物なしと判定される。
被検査部表面１ｂに異物４がある場合には、この異物４によって散乱された分だけ光電変換素子５が受光する光量が減少するため、光電変換素子５の発生電流は低下し（全電流よりも低い電流となり）、その測定値により異物ありと判定される。図１及び図２中、６は異物４によって生じた散乱光を示す。
【００１４】
このように第１実施形態では、光電変換素子５からの信号に基づいて、具体的には光電変換素子５の出力電流の大きさを測定することによって、被検査物１の表面における異物４の有無が検出される。通常、異物４の有無の検出をするためには、光電変換素子５からの信号を増幅した信号の値（増幅信号値）に対して閾値を設定し、この閾値に上記増幅信号値が達していない場合に異物ありと判定するように構成される。
【００１５】
なお図１及び図２において、１１はレーザ光源である。このレーザ光源１１からのレーザ光１２は、同レーザ光源１１とで線状レーザ光照射装置１３を構成する光学レンズ１４によって、被検査物１の幅まで広がる線状レーザ光３に変えられる。
遮光板１５は、光電変換素子５に入射する線状レーザ光３を、同光電変換素子５の受光領域サイズに規制するために配置されている。
【００１６】
第１実施形態は、被検査物１が帯状体であってその供給リール（図示せず）から連続的に繰り出しながらその表面を連続して検査する工程に適用可能であり、これによれば高速、高精度の異物検出が可能となる。特に、帯状体が多層コート薄膜であり、薄膜量産ラインにおける膜表面の微小異物の連続検査工程に適用して、検査の速度、精度上、大なる効果を発揮できる。
【００１７】
次に、本発明による異物検査方法の第２実施形態の概略を図３及び図４を参照して説明する。図３は側面図、図４は平面図である。
両図から分かるように、第２実施形態は、上述した第１実施形態におけると同様の第１工程を有する。そして、その第１工程において照射した線状レーザ光３が巻掛け搬送部分１ａに接近する箇所におけるその巻掛け搬送部分１ａからの散乱光６を受光してその光量を測定し、この光量測定結果に基づいて被検査物１、詳しくは被検査部表面１ｂに異物４があるか否かを連続的に判定する第２工程を有する方法である。
なお、異物４が実際よりも著しく拡大して描いてあることは、図１及び図２と同様である。また、散乱光６の測定は、基本的には照射した線状レーザ光３が巻掛け搬送部分１ａに最も接近する箇所において行われる。
【００１８】
以下に詳しく述べると、第２実施形態では、巻掛け搬送部分１ａに最も接近する箇所におけるその巻掛け搬送部分１ａからの散乱光６を受光するが、この光電変換素子（受光手段）５としては光電子増倍管が用いられる。
第２実施形態においても、被検査部表面１ｂにおける異物４の有無を光電変換素子５の受光量の差として検出するが、この第２実施形態では、次のようにして、異物４の有無を判定する。
すなわち、被検査部表面１ｂに異物４がない場合には、線状レーザ光３は同被検査部表面１ｂにおいて散乱されず、全てが遮光板７で受光される。このため、光電変換素子（光電子増倍管）５に光の入射はなく、光電変換素子５に電流は発生せず、その測定値（光量測定結果）により異物なしと判定される。
被検査部表面１ｂに異物がある場合には、この異物４によって線状レーザ光３が散乱され、その散乱光６が光電変換素子５に集光される。したがって、光電変換素子５に電流が発生し、その測定値により異物ありと判定される。
【００１９】
なお、被検査部表面１ｂの直上にかつ同被検査部表面１ｂと平行に、線状レーザ光３を照射すること、
被検査部表面１ｂからの距離は、検出したい異物４の被検査部表面１ｂからの高さ寸法に応じて決定すること、
受けローラ２の径は、線状レーザ光３のビームウェストの径やその広がりから決定すること等は、上述第１実施形態と同様である。
【００２０】
このように第２実施形態では、光電変換素子５からの信号に基づいて、具体的には光電変換素子５の出力電流の大きさを測定することによって、被検査物１の表面における異物４の有無が検出される。通常、異物４の有無の検出をするためには、光電変換素子５からの信号を増幅した信号の値（増幅信号値）に対して閾値を設定し、この閾値を上記増幅信号値が超えた場合に異物ありと判定するように構成される。
【００２１】
第２実施形態においても、被検査物１が帯状体であってその供給リール（図示せず）から連続的に繰り出しながらその表面を連続して検査する工程に適用可能であり、これによれば高速、高精度の異物検出が可能となる。特に、帯状体が多層コート薄膜であり、薄膜量産ラインにおける膜表面の微小異物の連続検査工程に適用して、検査の速度、精度上、大なる効果を発揮できる。
【００２２】
次に、本発明方法の第１実施形態が適用された装置（第１異物検査装置）について、図５を参照して説明する。
図５は第１異物検査装置の一実施形態を示す構成図である。
図示例では、被検査物１は帯状体であってその供給リール（図示せず）から受けローラ２を経由して例えば矢印ア方向に連続的に繰出し搬送されている。この搬送には公知の搬送手段が用いられる。被検査物１の搬送方向は矢印ア方向とは逆の方向であってもよい。
また図示例では、線状レーザ光３は被検査部表面１ｂの直上にかつ同被検査部表面１ｂと平行に、照射する。
レーザ光源１１、光学レンズ１４、遮光板１５、光電変換素子５及び受けローラ２の各構成、機能は図１に示したものと同様である。
光学レンズ４１は、光電変換素子５に入射する線状レーザ光３を、同光電変換素子５の受光領域サイズに合わせて集光するために配置されている。光学レンズ４１を配置した場合には遮光板１５を省略してもよい。
【００２３】
アンプ４２は、受影器５の光電変換素子５からの信号（光電流）を増幅する回路であり、Ａ／Ｄ変換器４３は、アンプ４２からの出力信号（アナログ信号）をデジタル信号に変換して出力する回路である。
異物判定装置４４は、Ａ／Ｄ変換器４３の出力信号を受けて、現在、線状レーザ光３が照射されている被検査部表面１ｂ部分における光電変換素子５の出力電流、詳しくはその増幅信号の値（増幅信号値）が予め定めた閾値に達していないか否かを演算し、結果（異物４の有無）をディスプレイに出力する装置である。この異物判定装置４４は、図示例ではパーソナルコンピュータ及びこれにインストールされたプログラムからなる。
【００２４】
本実施形態においては、異物４の検出をその高さの差によって行うため、被検査物１の搬送による振動（搬送時振動）や本装置自体の振動（装置振動）により異物４の検査精度が大きく左右される。このため、次のように対処されている。
上記搬送時振動に対しては、線状レーザ光３が被検査部表面１ｂに最も接近する位置（照射目標位置）を、受けローラ２に巻き掛けられた巻掛け搬送部分１ａの搬送方向のほぼ中央位置になるように、レーザ光源１１、光学レンズ１４，４１、遮光板１５及び光電変換素子５を配置する。受けローラ２に巻き掛けられた巻掛け搬送部分１ａの搬送方向のほぼ中央位置が搬送時振動を最も受け難いからである。
上記装置振動に対しては、レーザ光源１１、光学レンズ１４，４１、遮光板１５及び光電変換素子５を枠体等からなる部品組込み構体に一体に組み込み、受けローラ２の回転軸支持部材に固着する。レーザ光源１１、光学レンズ１４，４１、遮光板１５及び光電変換素子５の組み込み体が受けローラ２の振動に追随して振動し、受けローラ２の振動がキャンセルされるからである。
【００２５】
次に、このような第１異物検査装置の動作について説明する。
まず、帯状の被検査物１が受けローラ２を経由して矢印ア方向に搬送されると共に、レーザ光源１１からレーザ光３が出射され、光学レンズ１４を通して線状（線状レーザ光３が）に変えられ、被検査部表面１ｂの直上にかつ同被検査部表面１ｂと平行に、照射されているとする。また、所定の時間間隔（検査タイミング）で光電変換素子５の出力電流がアンプ４２及びＡ／Ｄ変換器４３を介して異物判定装置４４に取り込まれているとする。
【００２６】
いま、ある検査タイミングにおいて、被検査部表面１ｂに異物４がない場合について説明すると、この場合、光電変換素子５は、照射された線状レーザ光３をそのまま受光（全受光）するため、全受光に応じた電流（全電流）を発生する。この光電変換素子５の発生電流（出力電流）は、アンプ４２で増幅され、Ａ／Ｄ変換器４３を介して異物判定装置４４に入力されるが、その値は予め定めた閾値に達しているので異物判定装置４４は異物なしと判定し、結果をメッセージや記号／数値等によってディスプレイに表示する。
【００２７】
被検査部表面１ｂに異物４がある場合には、この異物４によって散乱された分だけ光電変換素子５が受光する光量が減少するため、光電変換素子５の発生電流は低下する（全電流よりも低い電流となる）。この光電変換素子５の発生電流（出力電流）は、アンプ４２で増幅され、Ａ／Ｄ変換器４３を介して異物判定装置４４に入力されるが、異物４がある場合、その値は予め定めた閾値に達していないので異物判定装置４４は異物ありと判定し、結果をメッセージや記号／数値等によってディスプレイに表示する。
【００２８】
次に、本発明方法の第２実施形態が適用された装置（第２異物検査装置）について、図６を参照して説明する。なお、図３及び図５と共通する構成については、これら図３及び図５における符号と同一の符号を付してその説明を省略する。
図６は第２異物検査装置の一実施形態を示す構成図で、図中、６１は暗箱である。第２異物検査装置においては、光電変換素子５は巻掛け搬送部分１ａからの散乱光６を受光するが、この散乱光６は微弱である。したがって、光電変換素子５として光電子増倍管が用いられるが、本実施形態では、更に、散乱光６を受光する巻掛け搬送部分１ａに接近する箇所に暗箱６１を配設し、この暗箱６１内に上記光電変換素子（光電子増倍管）５を配置した。つまり、散乱光６を光電変換素子５に集光されるように構成したもので、これによれば、微弱な散乱光６の検知も可能、換言すれば微小な異物４の検出が可能となる。
暗箱６１の内側は、例えぱ、巻掛け搬送部分１ａ上に又は散乱光６の光量が多い箇所に集光レンズを配置する等により、暗箱６１内に入ってきた散乱光６が光電変換素子５に有効に集まる構造されている。
【００２９】
更に本実施形態では、光電変換素子５の光入射面側に線状レーザ光３の波長のみを透過させる光学フィルタ６２を配置し、外乱（ノイズ光）の影響を抑える構成とした。
被検査物１の搬送による振動や本装置自体の振動により異物４の検査精度が大きく左右されることは上述した第１異物検査装置の場合と同様であり、第１異物検査装置の場合と同様の対処がなされている。
【００３０】
次に、このような第２異物検査装置の動作について説明する。
帯状の被検査物１が矢印ア方向へ搬送され、また、レーザ光源１１からのレーザ光３が線状レーザ光３に変えられ、被検査部表面１ｂの直上にかつ同被検査部表面１ｂと平行に照射されおり、更に、所定の検査タイミングで光電変換素子５の出力電流がアンプ４２、Ａ／Ｄ変換器４３を介して異物判定装置４４に取り込まれている点については第１異物検査装置の場合と同様である。
【００３１】
いま、ある検査タイミングにおいて、被検査部表面１ｂに異物４がない場合について説明すると、この場合、線状レーザ光３は同被検査部表面１ｂにおいて散乱されず、光電変換素子５に光の入射はない。したがって、光電変換素子５に電流は発生せず、Ａ／Ｄ変換器４３からの信号値は予め定めた閾値に達していないので異物判定装置４４は異物なしと判定し、結果をメッセージや記号／数値等によってディスプレイに表示する。
【００３２】
被検査部表面１ｂに異物４がある場合には、この異物４によって線状レーザ光３が散乱され、その散乱光６が光電変換素子５に集光されて、光電変換素子５に電流が発生する。この光電変換素子５の発生電流（出力電流）は、アンプ４２で増幅され、Ａ／Ｄ変換器４３を介して異物判定装置４４に入力されるが、その値は予め定めた閾値に達しているので異物判定装置４４は異物ありと判定し、結果をメッセージや記号／数値等によってディスプレイに表示する。
【００３３】
上述第１，第２異物検査装置の各実施形態では、被検査物１を受けローラ２に巻き掛けて搬送させ、その巻掛け搬送部分１ａの幅方向にほぼ直交する方向から、その巻掛け搬送部分１ａの搬送方向所望位置の幅方向両端を結ぶ直線上の被検査部表面１ｂに沿って、線状レーザ光３を照射するように構成した。
そして、第１異物検査装置においては、その線状レーザ光３を、被検査部表面１ｂ及びその直上部分を挟んだ対向位置で受光し、その光量を測定することにより、被検査部表面１ｂに異物４があるか否かを判定するように構成した。また、第２異物検査装置においては、その線状レーザ光３が巻掛け搬送部分１ａに接近する箇所におけるその巻掛け搬送部分１ａからの散乱光を受光し、その光量を測定することにより、被検査部表面１ｂに異物４があるか否かを判定するように構成した。
【００３４】
したがって、これら第１，第２異物検査装置の各実施形態によれば、レーザ光のビームウェストの影響を受けることなく異物の検出が可能となり、被検査物の幅寸法が検出したい異物の大きさに比べて極めて大きい場合でも、また被検査物が非透光性の金属等であっても、微小の異物の検出が可能になる。更に、被検査物幅方向の中心部と端部側との間の検出感度に相違が生じることもなく、被検査物幅方向の各位置における検出可能な異物の最小サイズもばらつくことなく異物の検出が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明による異物検査方法の第１実施形態の概略を示す側面図である。
【図２】同じく平面図である。
【図３】本発明による異物検査方法の第２実施形態の概略を示す側面図である。
【図４】同じく平面図である。
【図５】本発明方法の第１実施形態が適用された装置（第１異物検査装置）の一実施形態を示す構成図である。
【図６】同じく第２実施形態が適用された装置（第２異物検査装置）の一実施形態を示す構成図である。
【符号の説明】
【００３６】
１：被検査物、１ａ：巻掛け搬送部分、１ｂ：被検査部表面、２：受けローラ、３：線状レーザ光、４：異物、５：光電変換素子（受光手段）、６：散乱光、７，１５：遮光板、１１：レーザ光源、１２：レーザ光、１３：線状レーザ光照射装置（線状光照射手段）、１４，４１：光学レンズ、４４：異物判定装置（異物判定手段）。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート状の被検査物を搬送路途中で受けローラに巻き掛けて搬送させ、
その巻掛け搬送部分の幅方向に交差する方向から、その巻掛け搬送部分の搬送方向所望位置の幅方向両端を結ぶ線上の被検査部の表面に沿って、正面視が線状のレーザ光を照射し、
この照射レーザ光を、前記被検査部の表面及びその近傍部分を挟んだ対向位置で受光してその光量を測定し、又は前記照射レーザ光が前記被検査部に接近する箇所におけるその被検査部からの散乱光を受光してその光量を測定し、
この光量測定結果に基づいて前記被検査物の表面に異物があるか否かを判定する異物検査方法。
【請求項２】
前記レーザ光の照射を、前記巻掛け搬送部分の搬送方向ほぼ中央位置に設定された被検査部における接線方向から行うことを特徴とする請求項１に記載の異物検査方法。
【請求項３】
搬送するシート状の被検査物が巻き掛けられた受けローラと、
この受けローラに巻き掛けられて搬送される前記被検査物の巻掛け搬送部分の幅方向に交差する方向から、その巻掛け搬送部分の搬送方向所望位置の幅方向両端を結ぶ線上の被検査部の表面に沿って、正面視が線状のレーザ光を照射する線状レーザ光照射手段と、
この線状レーザ光照射手段からの照射レーザ光を、前記被検査部の表面及びその近傍部分を挟んだ対向位置で受光してその光量に応じた信号を出力し、又は前記照射レーザ光が前記被検査部に接近する箇所におけるその被検査部からの散乱光を受光してその光量に応じた信号を出力する受光手段と、
この受光手段からの出力信号に基づいて前記被検査物の表面に異物があるか否かを判定する異物判定手段とを具備することを特徴とする異物検査装置。
【請求項１】
シート状の被検査物を搬送路途中で受けローラに巻き掛けて搬送させ、
その巻掛け搬送部分の幅方向に交差する方向から、その巻掛け搬送部分の搬送方向所望位置の幅方向両端を結ぶ線上の被検査部の表面に沿って、正面視が線状のレーザ光を照射し、
この照射レーザ光を、前記被検査部の表面及びその近傍部分を挟んだ対向位置で受光してその光量を測定し、又は前記照射レーザ光が前記被検査部に接近する箇所におけるその被検査部からの散乱光を受光してその光量を測定し、
この光量測定結果に基づいて前記被検査物の表面に異物があるか否かを判定する異物検査方法。
【請求項２】
前記レーザ光の照射を、前記巻掛け搬送部分の搬送方向ほぼ中央位置に設定された被検査部における接線方向から行うことを特徴とする請求項１に記載の異物検査方法。
【請求項３】
搬送するシート状の被検査物が巻き掛けられた受けローラと、
この受けローラに巻き掛けられて搬送される前記被検査物の巻掛け搬送部分の幅方向に交差する方向から、その巻掛け搬送部分の搬送方向所望位置の幅方向両端を結ぶ線上の被検査部の表面に沿って、正面視が線状のレーザ光を照射する線状レーザ光照射手段と、
この線状レーザ光照射手段からの照射レーザ光を、前記被検査部の表面及びその近傍部分を挟んだ対向位置で受光してその光量に応じた信号を出力し、又は前記照射レーザ光が前記被検査部に接近する箇所におけるその被検査部からの散乱光を受光してその光量に応じた信号を出力する受光手段と、
この受光手段からの出力信号に基づいて前記被検査物の表面に異物があるか否かを判定する異物判定手段とを具備することを特徴とする異物検査装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【公開番号】特開２００９−８５８６９（Ｐ２００９−８５８６９Ａ）
【公開日】平成２１年４月２３日（２００９．４．２３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−２５８７１１（Ｐ２００７−２５８７１１）
【出願日】平成１９年１０月２日（２００７．１０．２）
【出願人】（０００００３２０７）トヨタ自動車株式会社 (59,920)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年４月２３日（２００９．４．２３）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年１０月２日（２００７．１０．２）
【出願人】（０００００３２０７）トヨタ自動車株式会社 (59,920)
【Ｆターム（参考）】
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