【課題】被検体の観察面の微細な凹凸による光の散乱を簡単に抑制し、被検体の内部を観察できる内部状態観察方法を提供する。
【解決手段】光を用いてランバード原石５１（被検体）の内部を観察する内部状態観察方法であって、ランバード原石５１の観察面５７に、光透過性を有するフィルム６０を貼り付けるフィルム貼付工程と、ランバード原石５１の表面に光を照射しつつ、観察面５７からフィルム６０を介してランバード原石５１の内部を観察する内部観察工程と、を備え、フィルム６０は、平坦に形成された最外層６１と、最外層６１の一方面側に形成され、観察面５７に自己吸着する自己吸着層６２と、を備え、自己吸着層６２の厚さは、観察面５７の表面粗さにおける最大高さよりも厚く形成されていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】等速自在継手用ブーツ等の成形部品の欠陥を安定して効率的にしかも安価に検出することができる欠陥検出方法及び欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】軸方向両端部に開口部を有し、かつこの開口部に外径側に突出する突起部２を設けた弾性材料からなる筒状の成形部品３０における欠陥を検査する。軸心廻りに回転している成形部品に対してその突起部２の突起量を検出する。その後、その検出した測定データから成形部品３０の回転振れ及び変形に基づく変位を修正した修正データを算出する。次に、設定された欠陥判断基準となる閾値と修正データとの比較と、設定された区間内での修正データの傾きの正常値との比較とを行う。これらの比較に基づいて成形部品の欠陥を検査する。 （もっと読む）

【課題】板材の表面の側端部近傍における汚れ、傷、めっき不良、異物の付着等を検出することができる板材検査方法及び板材検査装置を提供すること。
【解決手段】板材Ｗの表面側から反射用の照明光を照射するとともに、板材Ｗの裏面側からバックライト用の照明光を照射して、板材Ｗの表面と板材Ｗの側端部よりも外側の部分までを含む範囲Ｓを撮像部４で撮像する。そして、その画像に基づいて板材Ｗの表面で反射した反射光１２の光量と、板材Ｗの側端部Ｗｂよりも外側部分のバックライト光１１の光量を測定して、これら２つの光量が同一且つ予め設定された範囲の光量となるように、反射用の照明光とバックライト用の照明光の光量を調節する。そして、光量の調節がなされた状態で、板材Ｗの表面と板材Ｗの側端部Ｗｂよりも外側の部分とを含む範囲を撮像して、その撮像した画像に基づいて板材Ｗの欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】基板が備えるそりやうねりの影響を考慮しながら、正確かつ簡便に、異物の付着や欠陥を有した箇所を異常箇所として検出することができる基板の検査方法、及び、この方法を利用した基板の検査装置を提供する。
【解決手段】基板の表面に対してｐ偏光の光を照射して得られた鏡面反射光から、基板の表面を複数の小領域に分割した分割小領域に対応する画素を有した基板画像を取得し、該基板画像に基づき、異物の付着や欠陥を有した箇所を異常箇所として検出する基板の検査方法であり、ｉ）基板の理論上のブリュースター角θ_Bを含む角度範囲ｄでｐ偏光の入射角を相対的に変化させる入射面内走査とii）入射面と基板とが交わる線を中心軸にして基板を相対的に傾斜させる傾斜走査とを組み合わせて基板画像を取得し、上記で得られた全基板画像において画素の光量が一度もゼロにならない分割小領域を基板の異常箇所として検出するようにする。 （もっと読む）

【課題】ＡＣＦの有無の検出速度を向上させて、表示基板に貼付されたＡＣＦの全面の検査を行うことができるようにする。
【解決手段】ＡＣＦ有無検出装置１は、ライン光源２と、表示基板１００から反射された光Ｌを検出するラインセンサ３とを備えている。ライン光源２は、表示基板１００にＡＣＦ１０９を貼付した貼付箇所に対して略線状の光を照射する。ラインセンサ３には、ライン光源２から照射された光Ｌに対して略平行に配置された線状のセンサ部を設けている。 （もっと読む）

【課題】レーザ計測装置を用いて複雑な形状を有する検査物の検査を行う際にも、短時間に高精度な測定を行うことが可能な検査装置を提供する。
【解決手段】この外観検査装置１００（検査装置）は、実装済み基板１１０を撮像する撮像部３１と、実装済み基板１１０上の計測位置にレーザ光を照射して実装済み基板１１０からの反射光を受光することにより、実装済み基板１１０の形状を計測する第１レーザ計測部３３および第２レーザ計測部３４と、撮像部３１による実装済み基板１１０の撮像画像に基づいて、撮像画像中に含まれるレーザ計測に不適な領域（レーザ計測除外領域）を判定し、レーザ計測除外領域を第１レーザ計測部３３または第２レーザ計測部３４による計測対象から除外する演算処理部４１とを備える。 （もっと読む）

【課題】被覆が剥離された被覆電線端部の良否を的確に検査することのできる被覆電線検査装置及び電線処理機を提供する。
【解決手段】被覆が剥離された被覆電線Ｄの端部Ｔの状態を検査する被覆電線検査装置Ａであって、被覆が剥離された芯線Ｓの端面Ｔを撮像する第１撮像手段３ａと、被覆が剥離された芯線Ｓの側面を撮像する第２撮像手段３ｂと、前記各撮像手段３ａ、３ｂにより撮像された画像に基づいて前記剥離の良否を判定する判定手段９とを備えている。 （もっと読む）

【課題】検査負荷を軽減すること。
【解決手段】検出装置は、画像表示装置が色を表示する際に用いる原色ごとに、全表示領域にわたって原色を点灯した該画像表示装置の画像を撮像する。そして、検出装置は、原色ごとに撮像された画像である第一の撮像画像各々から、画像表示装置の各画素のうち周辺より暗い画素である暗点の位置を検出する。そして、検出装置は、検出した各暗点の位置に対応する前記画像表示装置の対応領域を撮像時の点灯色で点灯させる点灯パターンを作成する。そして、検出装置は、作成した点灯パターンに基づいて点灯した前記画像表示装置の画像を撮像し、撮像した画像である第二の撮像画像のうち対応領域に対応する画像部分から、暗点の位置または該暗点の個数を検出する。 （もっと読む）

【課題】Ｏリング外壁シール部（リング状の外傾斜部）の正反射像を得て、傷、打痕、クラック等の高速検査に適用する。
【解決手段】Ｏリング７に対して弧を描く位置に列をなすＬＥＤ光源１からの照明光束は、直接にＯリング７に照射されるとともに、シリンドリカルミラー５を介してＯリング７に照射される。照明光束により照射されたＯリング７の外壁シール部からの正反射光は、シリンドリカルミラー５を介して正反射像を形成する。 （もっと読む）

【課題】筒状物に存在する傷、ピンホール、薄肉部等の欠陥を精度良く簡便に検査し得る筒状物の検査方法及び検査装置を提供すること。
【解決手段】本発明は、筒状の形状を有し且つその中心軸方向の一端が開放されて開口端１ａとされ且つ他端が閉じている中空の筒状物１の欠陥を検査する筒状物の検査方法である。筒状物１の周囲に配置された照明手段２０から該筒状物１の外周面１ｃ全体に光を照射しつつ、開口端１ａから筒状物１の中空部２内に光が入らないように該開口端１ａを遮光した状態で、撮像手段４０によって開口端１ａから中空部２内を撮像し、撮像された中空部２内の画像を画像処理することによって、外周面１ｃを透過して中空部２内に漏洩する光の強度を検出する。 （もっと読む）

【課題】ムラ評価装置、ムラ評価方法、ディスプレイ検査装置、およびプログラムを提供すること。
【解決手段】ムラ評価装置１００は、ディスプレイ装置の表示領域から設定された半径の球面を走査して前記表示領域に存在する表示ムラについて複数の画像を取得するムラ検出部１１０と、ムラ検出部の取得した複数の画像から、当該画像におけるムラの特徴値と、当該画像を取得した位置とを対応付けてムラ立体を生成し、指定された観視角度から仮想平面を見た場合のムラ立体を重畳したムラ重畳イメージを生成する情報処理装置１５０とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】インクジェット方式により着色されたカラーフィルタの検査方法において、ハーフ白抜け欠陥等の膜厚不足を引き起こしているカラーフィルタ画素を判定する検査方法を提供すること。
【解決手段】カラーフィルタの表面に対して斜め方向に照明し、その反射光を撮像手段にて入力した画像の中に輝度が異常となる部分を有するカラーフィルタ画素を検出することができる検査方法であって、高輝度の異常部がカラーフィルタ画素の長辺方向または短辺方向に略連続している場合に、該当画素に膜厚不足の欠陥が発生していると判定する。 （もっと読む）

【課題】 太陽電池ウェーハなどの多結晶シリコンウェーハの表面を撮像装置で撮像した画像によって欠陥検査を行う場合、通常の可視光照明では、シリコンウェーハの結晶体の模様が撮像されて、表面にある欠陥との判別が困難である。
【解決手段】照明光としてｐ偏光照明を用い、さらに検査対象物の表面に対してブリュースター角で入射するように照明手段を配置することにより、正常個所では反射光が著しく減衰し、欠陥がある場合のみ反射光が現れるように構成した。このことにより、多結晶体の模様が画像に映ることがないようにし、欠陥個所のみ濃淡のある画像を得ることにより欠陥検査を行う。 （もっと読む）

【課題】露光工程前に異物検出を行い、基板に付着している異物を同定するシステムを提供する。
【解決手段】基板上に付着する異物を同定するシステムであって、異物の特性と発生状況を示す異物発生状況集計データベースと異物の発生状況と該異物の分析結果による異物名の対比を示す異物分析情報管理データベースと異物検出装置とを有し、基板上の付着異物を基板を露光する前に前記異物検出装置によって得られた検出結果情報と前記異物発生状況集計データベースとを照合し、照合して得られた照合結果と前記異物分析情報管理データベースとを対比して推定異物情報を取得して異物を同定することを特徴とする異物同定システム。 （もっと読む）

【課題】円筒体における凸状欠陥の検査を簡単かつ正確に行える円筒体の表面検査装置を提供する。
【解決手段】本発明は、円筒体Ｗを軸心回りに回転させつつ、表面状態を検査するようにした円筒体の表面検査装置を対象とする。本装置は、円筒体Ｗの周面端部に転がり接触し、かつ円筒体の位置を規定する基準ローラ５１と、円筒体Ｗの周面端部に凸状欠陥Ｗ５が形成されている場合に、その凸状欠陥Ｗ５に基準ローラ５１が接触して、円筒体Ｗが乗り上がることにより、円筒体が径方向に変位する際の変位量を検出する変位量検出手段と、変位量検出手段からの情報に基づいて、円筒体における凸状欠陥の有無を検出する凸状欠陥検出手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】鋼板穴検出装置の穴検出精度検査の頻度を確保して、鋼板穴検出装置の穴検出精度を確保することが可能な鋼板穴検出装置の穴検出精度検査方法を提供する。
【解決手段】先に通板される鋼板１と後に通板される鋼板１の溶接部１０に形成された、鋼板トラッキング用の穴１１が検出されるか否かを判定し、当該溶接部１０に形成された穴１１が検出される場合に鋼板穴検出装置の穴検出精度良好と判定することとしたため、予め穴１１の開設されたダミーコイル１２を用いることなく穴検出精度の検査を行うことができ、鋼板穴検出装置の穴検出精度検査の頻度を確保して、鋼板穴検出装置の穴検出精度を確保することができると共に、穴検出精度のために新たに穴を開設する必要がなく、その分だけ、穴検出精度検査が容易になると共に穴検出精度検査の頻度を増加することも可能となる。 （もっと読む）

【課題】ウエハの表面検査とその検査結果の観察検証の両方を行うことができる表面検査装置及び表面検査方法を提供する。
【解決手段】表面検査装置のステージ１５に載置したウエハ１０の表面（被検査面）に照明光１１，１２を照射して、ウエハ１０の表面を走査し、ウエハ１０の表面に対する仰角が異なるように配置した複数の検出器５ａ，５ｂによりウエハ１０からの散乱光を検出して表面検査を行った後、表面検査装置に設けた光学顕微鏡５０によりウエハ１０上における散乱光の検出位置の画像を取得し、この画像を用いて表面検査結果の観察検証を行う。 （もっと読む）

【課題】 所定領域の歪の値を迅速に測定することを可能にする。
【解決手段】 成形し徐冷されて移動するガラスリボンの帯状領域を、既知の偏光光を通過させ、この帯状領域の各点を通過した光の偏光方位の変化を画素単位で検出して算出し、前記算出した各点の偏光方位の変化量から前記ガラスリボンの帯状領域の各点の歪を一度に求め、前記ガラスリボンの移動にあわせて所定の間隔で、前記帯状領域の歪を求めることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】検査者による欠陥の見逃しや欠陥評価のバラツキを抑えて正確にかつ効率良く被検物の表面の外観検査を行うことが可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置１は、被検物の表面を撮影するための撮影手段５ｃと、撮影手段を制御して画像データを生成し出力する制御手段１１と、画像データを解析して被検物の表面の欠陥を検出し欠陥データを取得する解析手段１２と、画像データと対応する被検物の表面の観察像及び欠陥データと対応する被検物の表面の欠陥情報からなる画像を生成する画像生成手段１５と、画像を表示する表示手段６と、画像データ及び欠陥データを格納する格納手段１４と、画像上で任意に欠陥を選択可能な選択手段７とを備え、画像生成手段１５は、選択手段７によって画像上の欠陥が選択されると当該欠陥と他の欠陥とを区別した画像を格納手段１４に格納された画像データ及び欠陥データから再生成し表示手段６に表示させる。 （もっと読む）

【課題】光学式センサ装置の設置状態を、煩雑な作業を要することなく確認できるようにする。
【解決手段】光学式センサ装置では、受光器４のＣＣＤにおいて撮影された計測画像（ワーク５０上に異物５１が配置されている状態での画像）とリファレンス画像（ワーク５０上に異物５１が配置されていない状態での画像）の差分が算出され、当該差分に基づいた画像が表示される。作業者は、当該画像に基づいて、たとえば異物５１の有無が両画像の差分に現れているか否か等の判断を行なうことにより、その時点での投光器３と受光器４の光軸が合っているか否かの判断をすることができる。 （もっと読む）