研磨方法、研磨装置
【課題】比較的長尺のワークを研磨加工する際に、煩雑なダミーワークの準備や段取り等を必要とすることなく、短時間で高精度な研磨面を得る。
【解決手段】ダミーワーク１０７に長尺のワーク１０８が収容される収納穴１０７ａを設け、背面側に配置したバネ１０９によって突出方向に付勢しつつワーク１０８の第２被研磨面１０８ｓを収納穴１０７ａから露出させた状態で、ダミーワーク１０７の第１被研磨面１０７ｓとともに研磨工具１０１の研磨作用面１０１ｓに摺接させて研磨加工を行う。ダミーワーク１０７は研磨後に交換される他の研磨対象の複数のワーク１０８に共通に用いられる。
【解決手段】ダミーワーク１０７に長尺のワーク１０８が収容される収納穴１０７ａを設け、背面側に配置したバネ１０９によって突出方向に付勢しつつワーク１０８の第２被研磨面１０８ｓを収納穴１０７ａから露出させた状態で、ダミーワーク１０７の第１被研磨面１０７ｓとともに研磨工具１０１の研磨作用面１０１ｓに摺接させて研磨加工を行う。ダミーワーク１０７は研磨後に交換される他の研磨対象の複数のワーク１０８に共通に用いられる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、研磨技術に関し、たとえば、レンズやプリズムなどの光学素子等のワークの研磨技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
たとえば、光学素子の製造分野では、光学素子等のワークの加工面を工具と摺り合わせることで、工具表面形状をワーク加工面に転写する加工方法として、特許文献１に開示される研磨技術が知られている。
【０００３】
この特許文献１には、回転軸の一端に同軸に固定された円柱状の研磨用工具の端面に設けられた研磨面の口径を当該研磨用工具の外径と一致させることで、曲率半径が一定のレンズを継続して研磨加工可能にしようとする技術が開示されている。
【０００４】
一般的に平面および球面の光学素子はこの特許文献１のような研磨加工を行って、加工面の精度を得ている。しかし、ワークの形状において、加工径に対して中心厚の大きいレンズ、すなわち、光軸方向に長尺のレンズでは、加工中のレンズの保持方法を考慮する必要がある。
【０００５】
特許文献２には、このような加工径に対して中心厚の大きいレンズの保持具が開示されている。すなわち、光軸方向に細長いレンズの外周部を治具で保持し、この治具の外周部に、当該レンズの研磨面と同じ曲率の端部を有する捨てヤトイを固定して、レンズおよび捨てヤトイを同時に研磨することで、加工時には通常のレンズと同じような研磨装置を用いた加工が可能なように工夫されている。
【０００６】
上述のように、光軸方向に長尺のワークを加工する際には、ワークの姿勢が一定に保てないため、加工中にワーク加工面と工具面との密着が得られにくく、そのために特許文献２のようにワーク外周に捨てヤトイを配置させる例が多い。
【０００７】
しかしながら、複数のワークの加工が必要な場合には、ワーク毎に捨てヤトイ等のダミーワークを用意する必要が生じ、ダミーワークの製作や管理が煩雑になるとともに、ワーク毎の新しいダミーワークの研磨面を、その都度研磨工具に馴染ませる段取り加工が必要となり、段取りを含めた研磨工程全体の所要時間が長くなる、という技術的課題がある。
【０００８】
また、たとえば、ワークの径が数ｍｍ、長さが数百ｍｍになるようなファイバー形状のものを加工する際には、特許文献２のような治具固定を行ってしまうと、その長さによる加工中の姿勢の不安定さを克服するだけの大きな径を有する捨てヤトイを準備して、治具に固定する必要がある。このように捨てヤトイの径が大きくなると、捨てヤトイを含めた加工面全面が工具形状に倣い、高い加工面精度を得るのに時間がかかってしまう、という技術的課題もある。
【特許文献１】特開平８−２０６９５３号公報
【特許文献２】特開平５−１７７５２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、比較的長尺のワークを研磨加工する際に、煩雑なダミーワークの準備や段取り等を必要とすることなく、短時間で高精度な研磨面が得られる研磨技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の第１の観点は、第１被研磨面に少なくとも一つの収納穴が開設されたダミーワークを準備する工程と、
前記ダミーワークの前記収納穴にワークを装填する工程と、
前記ワークを前記収納穴から突出する方向に付勢しつつ、前記ダミーワークの前記第１被研磨面および前記収納穴から突出する前記ワークの第２被研磨面に研磨工具を摺接させて研磨する工程と、
を含む研磨方法を提供する。
【００１１】
本発明の第２の観点は、第１の観点に記載の研磨方法において、
前記研磨工具の前記ダミーワークの前記第１被研磨面に対する相対的な単位面積当たりの摺動荷重圧力と、前記ワークの前記第２被研磨面の前記研磨工具に対する単位面積当たりの付勢圧力とがほぼ等しくなるように前記ワークを付勢する研磨方法を提供する。
【００１２】
本発明の第３の観点は、第１の観点に記載の研磨方法において、
前記ダミーワークおよび前記ワークの前記第１および第２被研磨面を下向きにして、上向きの前記研磨工具に対向させて研磨を行う研磨方法を提供する。
【００１３】
本発明の第４の観点は、第１の観点に記載の研磨方法において、
前記ワークは、光学素子である研磨方法を提供する。
本発明の第５の観点は、第１被研磨面に少なくとも一つの収納穴が開設されたダミーワークと、
前記ダミーワークの前記収納穴に装填されたワークを前記収納穴から突出する方向に付勢する付勢手段と、
前記ダミーワークの前記第１被研磨面および前記収納穴から突出する前記ワークの第２被研磨面に摺接する研磨工具と、
前記ダミーワークと前記研磨工具に相対的な摺動変位を与える摺動機構部と、
を含む研磨装置を提供する。
【００１４】
本発明の第６の観点は、第５の観点に記載の研磨装置において、
前記付勢手段は、前記研磨工具の前記ダミーワークの前記第１被研磨面に対する相対的な単位面積当たりの摺動荷重圧力と、前記ワークの前記第２被研磨面の前記研磨工具に対する単位面積当たりの付勢圧力とがほぼ等しくなるように前記ワークを付勢する研磨装置を提供する。
【００１５】
本発明の第７の観点は、第５の観点に記載の研磨装置において、
前記ダミーワークおよび前記ワークの前記第１および第２被研磨面を下向きの姿勢で上向きの前記研磨工具に対向して研磨が行われる研磨装置を提供する。
【００１６】
本発明の第８の観点は、第５の観点に記載の研磨装置において、
前記付勢手段と前記ワークとの間に介在する保護部材を備えた研磨装置を提供する。
本発明の第９の観点は、第５の観点に記載の研磨装置において、
前記ワークは光学素子である研磨装置を提供する。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、比較的長尺のワークを研磨加工する際に、煩雑なダミーワークの準備や段取り等を必要とすることなく、短時間で高精度な研磨面が得られる研磨技術を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
（実施の形態１）
図１は、本発明の一実施の形態である研磨方法を実施する研磨装置の構成の一例を示す断面図である。
【００１９】
本実施の形態の研磨装置１１０は、摺動機構部としての上軸部１２０および下軸部１３０を備えている。
上軸部１２０は、研磨作用面１０１ｓを備えた研磨工具１０１と、この研磨工具１０１を、自在継手１０２ａを介して回転自在および傾動自在に保持するかんざし１０２と、かんざし１０２を支持し、図示せぬ制御装置にて図１の紙面の左右方向に揺動可能な揺動部１０３と、下軸部１３０の方向に摺動荷重を与えるためにかんざし１０２上に配置されたおもり１０４とを備えている。
【００２０】
下軸部１３０は、駆動ベルト１０６ａを介して回転軸１０５を回転させるモータ１０６と、回転軸１０５の上部に固定可能に配置され、第１被研磨面１０７ｓを上向きにした円盤形状のダミーワーク１０７を備えている。
【００２１】
本実施の形態の場合、ダミーワーク１０７の第１被研磨面１０７ｓの中心部および回転軸１０５の中心部には、同一の口径の収納穴１０７ａおよび収納穴１０５ａが同軸に開口して設けられ、この収納穴１０７ａおよび収納穴１０５ａには、第２被研磨面１０８ｓを上向きにした姿勢でワーク１０８が挿入されている。
【００２２】
すなわち、ワーク１０８は、たとえば光軸方向に細長い長尺の光学素子等からなり、長手方向の両端部には、研磨加工の対象となる光学機能面が設けられている。そして、ワーク１０８の一方の端部の光学機能面が第２被研磨面１０８ｓとして、ダミーワーク１０７の第１被研磨面１０７ｓにおける収納穴１０７ａの開口部に露出するように、収納穴１０７ａおよび収納穴１０５ａの内部に挿入されている。
【００２３】
ワーク１０８の第２被研磨面１０８ｓと反対側の下端部の光学機能面等からなる付勢端１０８ｚと、収納穴１０５ａの底部との間には、当該ワーク１０８を上方の研磨工具１０１の方向に向けて突出する方向に付勢する荷重を付与するためのバネ１０９（付勢手段）が設けられている。
【００２４】
以下、本実施の形態の研磨装置１１０による加工動作の説明を行う。
最初に、上述のような収納穴１０７ａを備えたダミーワーク１０７を準備しておく。そして、このダミーワーク１０７を回転軸１０５の端部に装着する。
【００２５】
次に、ワーク１０８を、研磨対象の第１被研磨面１０７ｓを上側にした姿勢で、ダミーワーク１０７の収納穴１０７ａおよび回転軸１０５の収納穴１０５ａに挿入する。このとき、ワーク１０８の下端（付勢端１０８ｚ）がバネ１０９と当接する状態となる。この状態では、ワーク１０８の上面はダミーワーク１０７の上面よりも突出している状態になっている。
【００２６】
次に、研磨工具１０１をかんざし１０２に回転自在に保持させた状態で、研磨作用面１０１ｓを、ダミーワーク１０７およびワーク１０８の上面（すなわち第１被研磨面１０７ｓおよび第２被研磨面１０８ｓ）に当接させる。さらに、かんざし１０２に、所定の重量のおもり１０４を載せる。この状態で、加工液１１１を吐出させて研磨作用面１０１ｓと第１被研磨面１０７ｓおよび第２被研磨面１０８ｓの間に供給しつつ、図示せぬ制御装置によって、モータ１０６による下軸部１３０の回転と、揺動部１０３による上軸部１２０の揺動を開始させる。
【００２７】
これによって、研磨工具１０１（研磨作用面１０１ｓ）によるダミーワーク１０７（第１被研磨面１０７ｓ）および、当該ダミーワーク１０７の収納穴１０７ａから露出したワーク１０８（第２被研磨面１０８ｓ）の研磨加工が開始される。
【００２８】
上述のように、ワーク１０８は下端の付勢端１０８ｚがバネ１０９によって付勢されることにより、その第２被研磨面１０８ｓが研磨工具１０１の研磨作用面１０１ｓに密着するように荷重をかけられている。
【００２９】
この研磨加工中の状態では、ダミーワーク１０７とワーク１０８の上面（第１被研磨面１０７ｓと第２被研磨面１０８ｓ）の高さは、研磨工具１０１の研磨作用面１０１ｓに当接した状態で揃っている。また、ワーク１０８の加工径が小さいことよって加工精度が不安定になりやすい点については、上述のように、当該ワーク１０８をダミーワーク１０７の収納穴１０７ａ等に収納して安定して保持したことによって解決されている。
【００３０】
本実施の形態の場合には、特に、バネ１０９の付勢力による加工中のワーク１０８の研磨工具１０１に対する押圧荷重の単位面積当たりの大きさ（付勢圧力ｐ１）を、おもり１０４による加工中の研磨工具１０１の荷重の単位面積当たりの大きさ（摺動荷重圧力ｐ０）にほぼ等しくなるように揃えておく。
【００３１】
これにより、研磨工具１０１の加工面（研磨作用面１０１ｓ）内の荷重の大きさが、ダミーワーク１０７の第１被研磨面１０７ｓと、収納穴１０７ａから露出したワーク１０８の第２被研磨面１０８ｓとで等しくなるため、研磨工具１０１の研磨作用面１０１ｓの磨耗を均一にすることができ、高い面精度を得ることが可能となる。
【００３２】
ワーク１０８の第２被研磨面１０８ｓが所定の精度に研磨された後、当該ワーク１０８をダミーワーク１０７から取り出す。そして反対側の付勢端１０８ｚ（光学機能面）の研磨も必要な場合は、上下を反転して、付勢端１０８ｚの側の光学機能面を第２被研磨面１０８ｓとして、再度、ダミーワーク１０７に装填して、上述と同様の研磨加工を行う。
【００３３】
あるいは、次のワーク１０８を現在のダミーワーク１０７に装填して、同様の研磨加工を行う。
ダミーワーク１０７の第１被研磨面１０７ｓは、研磨工具１０１の研磨作用面１０１ｓとすでに馴染んでいるため、別のワーク１０８に交換しても馴染み用の段取り研磨等は不要である。
【００３４】
このように、本実施の形態１によれば、ダミーワーク１０７を複数のワーク１０８の研磨加工に共通に反復して使用することができ、ダミーワークを必要とする光軸方向に長尺なワーク１０８の加工において、個々のワーク毎に新たなダミーワークを準備する必要がなく、形状精度に大きく関わる工具面（本実施の形態の研磨作用面１０１ｓ）とダミーワーク面（本実施の形態の第１被研磨面１０７ｓ）のなじみをダミーワーク毎に確認調整する必要がない。
【００３５】
すなわち、本実施の形態によれば、たとえば、光軸方向に比較的長尺のワーク１０８を研磨加工する際に、煩雑なダミーワーク１０７の準備や研磨面の馴染み作業等の段取り等を必要とすることなく、短時間でワーク１０８の第２被研磨面１０８ｓに高精度な研磨面が得られる。
（実施の形態２）
本実施の形態２は、上述の実施の形態１のワーク保持の形式において、ダミーワーク１０７内に複数のワークを保持できるようにしたものである。上軸部１２０の構成は上述の実施の形態１と共通であるので、下軸部１３０の構成のみ図２Ａ、図２Ｂに例示して説明する。
【００３６】
図２Ａは、本実施の形態２の研磨装置１１０の下軸部１３０を上面から見た平面図である。ダミーワーク１０７には複数の収納穴１０７ａ、収納穴１０７ｂ、収納穴１０７ｃ、収納穴１０７ｄ、収納穴１０７ｅが設けられ、これらの収納穴の各々に複数のワーク１０８ａ、ワーク１０８ｂ、ワーク１０８ｃ、ワーク１０８ｄ、ワーク１０８ｅが個別に第２被研磨面１０８ｓを上向きにした姿勢で挿入されている。
【００３７】
図２Ｂは、本実施の形態２の研磨装置１１０の下軸部１３０の中央部の断面図である。ダミーワーク１０７に設けられた複数の収納穴１０７ａから収納穴１０７ｄの各々と開口位置が一致するように、回転軸１０５の側にも複数の収納穴１０５ａ、収納穴１０５ｂ、収納穴１０５ｃ、収納穴１０５ｄ、収納穴１０５ｅが設けられている。
【００３８】
これらの各収納穴の底部には、上述の実施の形態１と同様に、ワーク１０８を突出させる方向に付勢するバネ１０９が設けられている。
この実施の形態２によれば、上述の実施の形態１と同様の効果が得られるとともに、複数のワーク１０８をダミーワーク１０７に装填して複数の第２被研磨面１０８ｓを同時に加工することができるため、研磨装置１１０を用いた研磨工程における生産性が向上する。
（実施の形態３）
図３は、本発明の実施の形態３である研磨装置２１０の構成例を示す断面図である。
【００３９】
本実施の形態３の研磨装置２１０は、上述の実施の形態１に例示された上軸部および下軸部の上下の配置を逆にし、研磨工具２０７を下軸部２３０に配置し、ダミーワーク２０１およびワーク１０８を上軸部２２０に配置した構成となっている。
【００４０】
すなわち、本実施の形態３の研磨装置２１０は、摺動機構部としての上軸部２２０および下軸部２３０とを備えている。
上軸部２２０は、ダミーワーク２０１と、その背面側に偏心なく固定されたワーク保持部材２０２と、自在継手２０３ａを介して、これらを回転自在に保持するかんざし２０３と、かんざし２０３を固定し図示せぬ制御装置にて左右に揺動可能な揺動部２０４と、下軸方向に荷重を与えるためにかんざし２０３上に配置されるおもり２０５とを備えている。
【００４１】
ダミーワーク２０１の中心部およびワーク保持部材２０２の中心部には、同一口径の収納穴２０１ａおよび収納穴２０２ａが同軸となるように設けられている。この場合、収納穴２０１ａおよび２０２ａには、付勢端１０８ｚを上側にし、第２被研磨面１０８ｓを下向きにした姿勢でワーク１０８が挿入されている。
【００４２】
ワーク１０８の第２被研磨面１０８ｓとは反対側の付勢端１０８ｚとワーク保持部材２０２の収納穴２０２ａの上端内の天井部分との間には、当該ワーク１０８を下方の研磨工具２０７の方向に向けて荷重付与が可能なように付勢するバネ２０８（付勢手段）が配置されている。
【００４３】
下軸部２３０は、駆動ベルト２１１ａを介して回転軸２０９を回転させるモータ２１１と、回転軸２０９の上端部に固定可能に配置され、研磨作用面２０７ｓを上向きにした円盤形状の研磨工具２０７とからなる。
【００４４】
本実施の形態３の研磨装置２１０の加工動作の説明を行う。
まず、ワーク１０８をダミーワーク２０１の収納穴２０１ａおよびワーク保持部材２０２の収納穴２０２ａに挿入する。このときワーク１０８の上端の付勢端１０８ｚがバネ２０８と当接する。この状態では、ワーク１０８の下端部（第２被研磨面１０８ｓ）はダミーワーク２０１の下面（第１被研磨面２０１ｓ）よりも突出している状態になっている。
【００４５】
次に、ワーク保持部材２０２を、かんざし２０３に回転自在に保持させた状態で、ダミーワーク２０１およびワーク１０８を研磨工具２０７の上面（研磨作用面２０７ｓ）に当接させる。さらに、かんざし２０３におもり２０５を載せる。
【００４６】
この状態で、研磨工具２０７の研磨作用面２０７ｓの上に加工液２１２を吐出供給させ、図示せぬ制御装置によって、モータ２１１による下軸部２３０の回転と揺動部２０４による上軸部２２０の揺動を開始させる。
【００４７】
これによって、研磨工具２０７の研磨作用面２０７ｓには、ダミーワーク２０１の第１被研磨面２０１ｓと、当該ダミーワーク２０１の収納穴２０１ａから露出したワーク１０８の第２被研磨面１０８ｓが摺接し、研磨加工が開始される。
【００４８】
そして、所定の時間研磨した後、ワーク１０８を反転させて、付勢端１０８ｚの側を第２被研磨面１０８ｓとして再度、ダミーワーク１０７に装填するか、あるいは、研磨済みのワーク１０８を、別の未研磨のワーク１０８に交換して、共通のダミーワーク２０１を用いて次の研磨加工を行う。
【００４９】
この実施の形態３の研磨装置２１０によれば、上述の実施の形態１の研磨装置１１０と同様の効果が得られるとともに、ダミーワーク２０１およびワーク１０８を上軸部２２０に配置する構成であるために、ワーク１０８を挿入するダミーワーク２０１の収納穴２０１ａの隙間に加工液２１２が侵入することがなく、ワーク１０８の加工液２１２による汚染等を研磨に必要な最小限に止めることが可能となる。
【００５０】
なお、上述の各実施の形態では、ダミーワークの収納穴内のワークを付勢して研磨荷重を付与する手段としてバネを用いたが、エアシリンダや、ソレノイド、圧電素子等の機構を用いてもよい。
【００５１】
また、ワーク１０８に荷重を与える際にバネ１０９やバネ２０８等の付勢手段がワーク１０８の付勢端１０８ｚと接触することによる当該付勢端１０８ｚの損傷を防ぐために、図４に例示されるような保護部材を用いてもよい。
【００５２】
この保護部材３０１は、ワーク１０８の加工面(第２被研磨面１０８ｓ)の反対側の端部である付勢端１０８ｚ（たとえば、光学機能面）に配置されるもので、たとえば、熱可塑性ワックス３０３によって固定される。
【００５３】
これによって、バネ１０９やバネ２０８等の付勢手段がワーク１０８の付勢端１０８ｚに直接接触することがなくなり、接触に起因した付勢端１０８ｚのキズの発生を防止することができる。
【００５４】
なお、保護部材３０１として、ワーク１０８の材質よりも軟らかい材料を使うことでワックスによる固定を行わなくても同様の効果は得られるが、加工中のワーク１０８の付勢端１０８ｚと保護部材３０１との擦れによってキズが発生する可能性があるので、保護部材３０１はワーク１０８の付勢端１０８ｚに固定することが望ましい。
【００５５】
研磨加工の対象となるワークは、上述の各実施の形態で例示したような単一の材料からなるワーク１０８のような構成に限らない。
たとえば、図５に例示されるように、ガラス管ヤトイ４０２内に、ワックス４０３を用いて、複数本のガラスファイバー４０１を固定した構造のワーク４００の端面を研磨加工の対象として、上述の各実施の形態に例示される研磨加工に供することも可能である。
【００５６】
以上説明したように、本発明の各実施の形態によれば、ダミーワークを必要とするワークの加工において、ワーク毎に新たなダミーワークを準備する必要がなく、形状精度に大きく関わる工具面（研磨作用面１０１ｓ、研磨作用面２０７ｓ）とダミーワーク面（第１被研磨面１０７ｓ、第１被研磨面２０１ｓ）のなじみをダミーワーク毎に確認調整する必要がない。これにより、高い効率かつ面精度でワークの研磨加工を行うことができる。
【００５７】
なお、本発明は、上述の実施の形態に例示した構成に限らず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
たとえば、ダミーワーク１０７およびワーク１０８の第１被研磨面１０７ｓおよび第２被研磨面１０８ｓは、平坦面に限らず、同一の曲率を有する曲面であってもよい。
【００５８】
また、ワークとしては光学素子に限らず、一般の精密部品でもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の一実施の形態である研磨方法を実施する研磨装置の構成の一例を示す断面図である。
【図２Ａ】本発明の他の実施の形態である研磨装置の下軸部を上から見た平面図である。
【図２Ｂ】本発明の他の実施の形態である研磨装置の下軸部の中央部の断面図である。
【図３】本発明のさらに他の実施の形態である研磨装置の構成例を示す断面図である。
【図４】本発明の各実施の形態である研磨装置に供されるワークの構成の変形例を示す側面図である。
【図５】本発明の各実施の形態である研磨装置に供されるワークの構成の変形例を示す平面図である。
【符号の説明】
【００６０】
１０１ 研磨工具
１０１ｓ 研磨作用面
１０２ かんざし
１０２ａ 自在継手
１０３ 揺動部
１０４ おもり
１０５ 回転軸
１０５ａ〜１０５ｅ 収納穴
１０６ モータ
１０６ａ 駆動ベルト
１０７ ダミーワーク
１０７ａ〜１０７ｅ 収納穴
１０７ｓ 第１被研磨面
１０８ ワーク
１０８ａ〜１０８ｅ ワーク
１０８ｓ 第２被研磨面
１０８ｚ 付勢端
１０９ バネ
１１０ 研磨装置
１１１ 加工液
１２０ 上軸部
１３０ 下軸部
２０１ ダミーワーク
２０１ａ 収納穴
２０１ｓ 第１被研磨面
２０２ ワーク保持部材
２０２ａ 収納穴
２０３ かんざし
２０３ａ 自在継手
２０４ 揺動部
２０５ おもり
２０７ 研磨工具
２０７ｓ 研磨作用面
２０８ バネ
２０９ 回転軸
２１０ 研磨装置
２１１ モータ
２１１ａ 駆動ベルト
２１２ 加工液
２２０ 上軸部
２３０ 下軸部
３０１ 保護部材
３０３ 熱可塑性ワックス
４００ ワーク
４０１ ガラスファイバー
４０２ ガラス管ヤトイ
４０３ ワックス
ｐ０ 摺動荷重圧力
ｐ１ 付勢圧力
【技術分野】
【０００１】
本発明は、研磨技術に関し、たとえば、レンズやプリズムなどの光学素子等のワークの研磨技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
たとえば、光学素子の製造分野では、光学素子等のワークの加工面を工具と摺り合わせることで、工具表面形状をワーク加工面に転写する加工方法として、特許文献１に開示される研磨技術が知られている。
【０００３】
この特許文献１には、回転軸の一端に同軸に固定された円柱状の研磨用工具の端面に設けられた研磨面の口径を当該研磨用工具の外径と一致させることで、曲率半径が一定のレンズを継続して研磨加工可能にしようとする技術が開示されている。
【０００４】
一般的に平面および球面の光学素子はこの特許文献１のような研磨加工を行って、加工面の精度を得ている。しかし、ワークの形状において、加工径に対して中心厚の大きいレンズ、すなわち、光軸方向に長尺のレンズでは、加工中のレンズの保持方法を考慮する必要がある。
【０００５】
特許文献２には、このような加工径に対して中心厚の大きいレンズの保持具が開示されている。すなわち、光軸方向に細長いレンズの外周部を治具で保持し、この治具の外周部に、当該レンズの研磨面と同じ曲率の端部を有する捨てヤトイを固定して、レンズおよび捨てヤトイを同時に研磨することで、加工時には通常のレンズと同じような研磨装置を用いた加工が可能なように工夫されている。
【０００６】
上述のように、光軸方向に長尺のワークを加工する際には、ワークの姿勢が一定に保てないため、加工中にワーク加工面と工具面との密着が得られにくく、そのために特許文献２のようにワーク外周に捨てヤトイを配置させる例が多い。
【０００７】
しかしながら、複数のワークの加工が必要な場合には、ワーク毎に捨てヤトイ等のダミーワークを用意する必要が生じ、ダミーワークの製作や管理が煩雑になるとともに、ワーク毎の新しいダミーワークの研磨面を、その都度研磨工具に馴染ませる段取り加工が必要となり、段取りを含めた研磨工程全体の所要時間が長くなる、という技術的課題がある。
【０００８】
また、たとえば、ワークの径が数ｍｍ、長さが数百ｍｍになるようなファイバー形状のものを加工する際には、特許文献２のような治具固定を行ってしまうと、その長さによる加工中の姿勢の不安定さを克服するだけの大きな径を有する捨てヤトイを準備して、治具に固定する必要がある。このように捨てヤトイの径が大きくなると、捨てヤトイを含めた加工面全面が工具形状に倣い、高い加工面精度を得るのに時間がかかってしまう、という技術的課題もある。
【特許文献１】特開平８−２０６９５３号公報
【特許文献２】特開平５−１７７５２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、比較的長尺のワークを研磨加工する際に、煩雑なダミーワークの準備や段取り等を必要とすることなく、短時間で高精度な研磨面が得られる研磨技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の第１の観点は、第１被研磨面に少なくとも一つの収納穴が開設されたダミーワークを準備する工程と、
前記ダミーワークの前記収納穴にワークを装填する工程と、
前記ワークを前記収納穴から突出する方向に付勢しつつ、前記ダミーワークの前記第１被研磨面および前記収納穴から突出する前記ワークの第２被研磨面に研磨工具を摺接させて研磨する工程と、
を含む研磨方法を提供する。
【００１１】
本発明の第２の観点は、第１の観点に記載の研磨方法において、
前記研磨工具の前記ダミーワークの前記第１被研磨面に対する相対的な単位面積当たりの摺動荷重圧力と、前記ワークの前記第２被研磨面の前記研磨工具に対する単位面積当たりの付勢圧力とがほぼ等しくなるように前記ワークを付勢する研磨方法を提供する。
【００１２】
本発明の第３の観点は、第１の観点に記載の研磨方法において、
前記ダミーワークおよび前記ワークの前記第１および第２被研磨面を下向きにして、上向きの前記研磨工具に対向させて研磨を行う研磨方法を提供する。
【００１３】
本発明の第４の観点は、第１の観点に記載の研磨方法において、
前記ワークは、光学素子である研磨方法を提供する。
本発明の第５の観点は、第１被研磨面に少なくとも一つの収納穴が開設されたダミーワークと、
前記ダミーワークの前記収納穴に装填されたワークを前記収納穴から突出する方向に付勢する付勢手段と、
前記ダミーワークの前記第１被研磨面および前記収納穴から突出する前記ワークの第２被研磨面に摺接する研磨工具と、
前記ダミーワークと前記研磨工具に相対的な摺動変位を与える摺動機構部と、
を含む研磨装置を提供する。
【００１４】
本発明の第６の観点は、第５の観点に記載の研磨装置において、
前記付勢手段は、前記研磨工具の前記ダミーワークの前記第１被研磨面に対する相対的な単位面積当たりの摺動荷重圧力と、前記ワークの前記第２被研磨面の前記研磨工具に対する単位面積当たりの付勢圧力とがほぼ等しくなるように前記ワークを付勢する研磨装置を提供する。
【００１５】
本発明の第７の観点は、第５の観点に記載の研磨装置において、
前記ダミーワークおよび前記ワークの前記第１および第２被研磨面を下向きの姿勢で上向きの前記研磨工具に対向して研磨が行われる研磨装置を提供する。
【００１６】
本発明の第８の観点は、第５の観点に記載の研磨装置において、
前記付勢手段と前記ワークとの間に介在する保護部材を備えた研磨装置を提供する。
本発明の第９の観点は、第５の観点に記載の研磨装置において、
前記ワークは光学素子である研磨装置を提供する。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、比較的長尺のワークを研磨加工する際に、煩雑なダミーワークの準備や段取り等を必要とすることなく、短時間で高精度な研磨面が得られる研磨技術を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
（実施の形態１）
図１は、本発明の一実施の形態である研磨方法を実施する研磨装置の構成の一例を示す断面図である。
【００１９】
本実施の形態の研磨装置１１０は、摺動機構部としての上軸部１２０および下軸部１３０を備えている。
上軸部１２０は、研磨作用面１０１ｓを備えた研磨工具１０１と、この研磨工具１０１を、自在継手１０２ａを介して回転自在および傾動自在に保持するかんざし１０２と、かんざし１０２を支持し、図示せぬ制御装置にて図１の紙面の左右方向に揺動可能な揺動部１０３と、下軸部１３０の方向に摺動荷重を与えるためにかんざし１０２上に配置されたおもり１０４とを備えている。
【００２０】
下軸部１３０は、駆動ベルト１０６ａを介して回転軸１０５を回転させるモータ１０６と、回転軸１０５の上部に固定可能に配置され、第１被研磨面１０７ｓを上向きにした円盤形状のダミーワーク１０７を備えている。
【００２１】
本実施の形態の場合、ダミーワーク１０７の第１被研磨面１０７ｓの中心部および回転軸１０５の中心部には、同一の口径の収納穴１０７ａおよび収納穴１０５ａが同軸に開口して設けられ、この収納穴１０７ａおよび収納穴１０５ａには、第２被研磨面１０８ｓを上向きにした姿勢でワーク１０８が挿入されている。
【００２２】
すなわち、ワーク１０８は、たとえば光軸方向に細長い長尺の光学素子等からなり、長手方向の両端部には、研磨加工の対象となる光学機能面が設けられている。そして、ワーク１０８の一方の端部の光学機能面が第２被研磨面１０８ｓとして、ダミーワーク１０７の第１被研磨面１０７ｓにおける収納穴１０７ａの開口部に露出するように、収納穴１０７ａおよび収納穴１０５ａの内部に挿入されている。
【００２３】
ワーク１０８の第２被研磨面１０８ｓと反対側の下端部の光学機能面等からなる付勢端１０８ｚと、収納穴１０５ａの底部との間には、当該ワーク１０８を上方の研磨工具１０１の方向に向けて突出する方向に付勢する荷重を付与するためのバネ１０９（付勢手段）が設けられている。
【００２４】
以下、本実施の形態の研磨装置１１０による加工動作の説明を行う。
最初に、上述のような収納穴１０７ａを備えたダミーワーク１０７を準備しておく。そして、このダミーワーク１０７を回転軸１０５の端部に装着する。
【００２５】
次に、ワーク１０８を、研磨対象の第１被研磨面１０７ｓを上側にした姿勢で、ダミーワーク１０７の収納穴１０７ａおよび回転軸１０５の収納穴１０５ａに挿入する。このとき、ワーク１０８の下端（付勢端１０８ｚ）がバネ１０９と当接する状態となる。この状態では、ワーク１０８の上面はダミーワーク１０７の上面よりも突出している状態になっている。
【００２６】
次に、研磨工具１０１をかんざし１０２に回転自在に保持させた状態で、研磨作用面１０１ｓを、ダミーワーク１０７およびワーク１０８の上面（すなわち第１被研磨面１０７ｓおよび第２被研磨面１０８ｓ）に当接させる。さらに、かんざし１０２に、所定の重量のおもり１０４を載せる。この状態で、加工液１１１を吐出させて研磨作用面１０１ｓと第１被研磨面１０７ｓおよび第２被研磨面１０８ｓの間に供給しつつ、図示せぬ制御装置によって、モータ１０６による下軸部１３０の回転と、揺動部１０３による上軸部１２０の揺動を開始させる。
【００２７】
これによって、研磨工具１０１（研磨作用面１０１ｓ）によるダミーワーク１０７（第１被研磨面１０７ｓ）および、当該ダミーワーク１０７の収納穴１０７ａから露出したワーク１０８（第２被研磨面１０８ｓ）の研磨加工が開始される。
【００２８】
上述のように、ワーク１０８は下端の付勢端１０８ｚがバネ１０９によって付勢されることにより、その第２被研磨面１０８ｓが研磨工具１０１の研磨作用面１０１ｓに密着するように荷重をかけられている。
【００２９】
この研磨加工中の状態では、ダミーワーク１０７とワーク１０８の上面（第１被研磨面１０７ｓと第２被研磨面１０８ｓ）の高さは、研磨工具１０１の研磨作用面１０１ｓに当接した状態で揃っている。また、ワーク１０８の加工径が小さいことよって加工精度が不安定になりやすい点については、上述のように、当該ワーク１０８をダミーワーク１０７の収納穴１０７ａ等に収納して安定して保持したことによって解決されている。
【００３０】
本実施の形態の場合には、特に、バネ１０９の付勢力による加工中のワーク１０８の研磨工具１０１に対する押圧荷重の単位面積当たりの大きさ（付勢圧力ｐ１）を、おもり１０４による加工中の研磨工具１０１の荷重の単位面積当たりの大きさ（摺動荷重圧力ｐ０）にほぼ等しくなるように揃えておく。
【００３１】
これにより、研磨工具１０１の加工面（研磨作用面１０１ｓ）内の荷重の大きさが、ダミーワーク１０７の第１被研磨面１０７ｓと、収納穴１０７ａから露出したワーク１０８の第２被研磨面１０８ｓとで等しくなるため、研磨工具１０１の研磨作用面１０１ｓの磨耗を均一にすることができ、高い面精度を得ることが可能となる。
【００３２】
ワーク１０８の第２被研磨面１０８ｓが所定の精度に研磨された後、当該ワーク１０８をダミーワーク１０７から取り出す。そして反対側の付勢端１０８ｚ（光学機能面）の研磨も必要な場合は、上下を反転して、付勢端１０８ｚの側の光学機能面を第２被研磨面１０８ｓとして、再度、ダミーワーク１０７に装填して、上述と同様の研磨加工を行う。
【００３３】
あるいは、次のワーク１０８を現在のダミーワーク１０７に装填して、同様の研磨加工を行う。
ダミーワーク１０７の第１被研磨面１０７ｓは、研磨工具１０１の研磨作用面１０１ｓとすでに馴染んでいるため、別のワーク１０８に交換しても馴染み用の段取り研磨等は不要である。
【００３４】
このように、本実施の形態１によれば、ダミーワーク１０７を複数のワーク１０８の研磨加工に共通に反復して使用することができ、ダミーワークを必要とする光軸方向に長尺なワーク１０８の加工において、個々のワーク毎に新たなダミーワークを準備する必要がなく、形状精度に大きく関わる工具面（本実施の形態の研磨作用面１０１ｓ）とダミーワーク面（本実施の形態の第１被研磨面１０７ｓ）のなじみをダミーワーク毎に確認調整する必要がない。
【００３５】
すなわち、本実施の形態によれば、たとえば、光軸方向に比較的長尺のワーク１０８を研磨加工する際に、煩雑なダミーワーク１０７の準備や研磨面の馴染み作業等の段取り等を必要とすることなく、短時間でワーク１０８の第２被研磨面１０８ｓに高精度な研磨面が得られる。
（実施の形態２）
本実施の形態２は、上述の実施の形態１のワーク保持の形式において、ダミーワーク１０７内に複数のワークを保持できるようにしたものである。上軸部１２０の構成は上述の実施の形態１と共通であるので、下軸部１３０の構成のみ図２Ａ、図２Ｂに例示して説明する。
【００３６】
図２Ａは、本実施の形態２の研磨装置１１０の下軸部１３０を上面から見た平面図である。ダミーワーク１０７には複数の収納穴１０７ａ、収納穴１０７ｂ、収納穴１０７ｃ、収納穴１０７ｄ、収納穴１０７ｅが設けられ、これらの収納穴の各々に複数のワーク１０８ａ、ワーク１０８ｂ、ワーク１０８ｃ、ワーク１０８ｄ、ワーク１０８ｅが個別に第２被研磨面１０８ｓを上向きにした姿勢で挿入されている。
【００３７】
図２Ｂは、本実施の形態２の研磨装置１１０の下軸部１３０の中央部の断面図である。ダミーワーク１０７に設けられた複数の収納穴１０７ａから収納穴１０７ｄの各々と開口位置が一致するように、回転軸１０５の側にも複数の収納穴１０５ａ、収納穴１０５ｂ、収納穴１０５ｃ、収納穴１０５ｄ、収納穴１０５ｅが設けられている。
【００３８】
これらの各収納穴の底部には、上述の実施の形態１と同様に、ワーク１０８を突出させる方向に付勢するバネ１０９が設けられている。
この実施の形態２によれば、上述の実施の形態１と同様の効果が得られるとともに、複数のワーク１０８をダミーワーク１０７に装填して複数の第２被研磨面１０８ｓを同時に加工することができるため、研磨装置１１０を用いた研磨工程における生産性が向上する。
（実施の形態３）
図３は、本発明の実施の形態３である研磨装置２１０の構成例を示す断面図である。
【００３９】
本実施の形態３の研磨装置２１０は、上述の実施の形態１に例示された上軸部および下軸部の上下の配置を逆にし、研磨工具２０７を下軸部２３０に配置し、ダミーワーク２０１およびワーク１０８を上軸部２２０に配置した構成となっている。
【００４０】
すなわち、本実施の形態３の研磨装置２１０は、摺動機構部としての上軸部２２０および下軸部２３０とを備えている。
上軸部２２０は、ダミーワーク２０１と、その背面側に偏心なく固定されたワーク保持部材２０２と、自在継手２０３ａを介して、これらを回転自在に保持するかんざし２０３と、かんざし２０３を固定し図示せぬ制御装置にて左右に揺動可能な揺動部２０４と、下軸方向に荷重を与えるためにかんざし２０３上に配置されるおもり２０５とを備えている。
【００４１】
ダミーワーク２０１の中心部およびワーク保持部材２０２の中心部には、同一口径の収納穴２０１ａおよび収納穴２０２ａが同軸となるように設けられている。この場合、収納穴２０１ａおよび２０２ａには、付勢端１０８ｚを上側にし、第２被研磨面１０８ｓを下向きにした姿勢でワーク１０８が挿入されている。
【００４２】
ワーク１０８の第２被研磨面１０８ｓとは反対側の付勢端１０８ｚとワーク保持部材２０２の収納穴２０２ａの上端内の天井部分との間には、当該ワーク１０８を下方の研磨工具２０７の方向に向けて荷重付与が可能なように付勢するバネ２０８（付勢手段）が配置されている。
【００４３】
下軸部２３０は、駆動ベルト２１１ａを介して回転軸２０９を回転させるモータ２１１と、回転軸２０９の上端部に固定可能に配置され、研磨作用面２０７ｓを上向きにした円盤形状の研磨工具２０７とからなる。
【００４４】
本実施の形態３の研磨装置２１０の加工動作の説明を行う。
まず、ワーク１０８をダミーワーク２０１の収納穴２０１ａおよびワーク保持部材２０２の収納穴２０２ａに挿入する。このときワーク１０８の上端の付勢端１０８ｚがバネ２０８と当接する。この状態では、ワーク１０８の下端部（第２被研磨面１０８ｓ）はダミーワーク２０１の下面（第１被研磨面２０１ｓ）よりも突出している状態になっている。
【００４５】
次に、ワーク保持部材２０２を、かんざし２０３に回転自在に保持させた状態で、ダミーワーク２０１およびワーク１０８を研磨工具２０７の上面（研磨作用面２０７ｓ）に当接させる。さらに、かんざし２０３におもり２０５を載せる。
【００４６】
この状態で、研磨工具２０７の研磨作用面２０７ｓの上に加工液２１２を吐出供給させ、図示せぬ制御装置によって、モータ２１１による下軸部２３０の回転と揺動部２０４による上軸部２２０の揺動を開始させる。
【００４７】
これによって、研磨工具２０７の研磨作用面２０７ｓには、ダミーワーク２０１の第１被研磨面２０１ｓと、当該ダミーワーク２０１の収納穴２０１ａから露出したワーク１０８の第２被研磨面１０８ｓが摺接し、研磨加工が開始される。
【００４８】
そして、所定の時間研磨した後、ワーク１０８を反転させて、付勢端１０８ｚの側を第２被研磨面１０８ｓとして再度、ダミーワーク１０７に装填するか、あるいは、研磨済みのワーク１０８を、別の未研磨のワーク１０８に交換して、共通のダミーワーク２０１を用いて次の研磨加工を行う。
【００４９】
この実施の形態３の研磨装置２１０によれば、上述の実施の形態１の研磨装置１１０と同様の効果が得られるとともに、ダミーワーク２０１およびワーク１０８を上軸部２２０に配置する構成であるために、ワーク１０８を挿入するダミーワーク２０１の収納穴２０１ａの隙間に加工液２１２が侵入することがなく、ワーク１０８の加工液２１２による汚染等を研磨に必要な最小限に止めることが可能となる。
【００５０】
なお、上述の各実施の形態では、ダミーワークの収納穴内のワークを付勢して研磨荷重を付与する手段としてバネを用いたが、エアシリンダや、ソレノイド、圧電素子等の機構を用いてもよい。
【００５１】
また、ワーク１０８に荷重を与える際にバネ１０９やバネ２０８等の付勢手段がワーク１０８の付勢端１０８ｚと接触することによる当該付勢端１０８ｚの損傷を防ぐために、図４に例示されるような保護部材を用いてもよい。
【００５２】
この保護部材３０１は、ワーク１０８の加工面(第２被研磨面１０８ｓ)の反対側の端部である付勢端１０８ｚ（たとえば、光学機能面）に配置されるもので、たとえば、熱可塑性ワックス３０３によって固定される。
【００５３】
これによって、バネ１０９やバネ２０８等の付勢手段がワーク１０８の付勢端１０８ｚに直接接触することがなくなり、接触に起因した付勢端１０８ｚのキズの発生を防止することができる。
【００５４】
なお、保護部材３０１として、ワーク１０８の材質よりも軟らかい材料を使うことでワックスによる固定を行わなくても同様の効果は得られるが、加工中のワーク１０８の付勢端１０８ｚと保護部材３０１との擦れによってキズが発生する可能性があるので、保護部材３０１はワーク１０８の付勢端１０８ｚに固定することが望ましい。
【００５５】
研磨加工の対象となるワークは、上述の各実施の形態で例示したような単一の材料からなるワーク１０８のような構成に限らない。
たとえば、図５に例示されるように、ガラス管ヤトイ４０２内に、ワックス４０３を用いて、複数本のガラスファイバー４０１を固定した構造のワーク４００の端面を研磨加工の対象として、上述の各実施の形態に例示される研磨加工に供することも可能である。
【００５６】
以上説明したように、本発明の各実施の形態によれば、ダミーワークを必要とするワークの加工において、ワーク毎に新たなダミーワークを準備する必要がなく、形状精度に大きく関わる工具面（研磨作用面１０１ｓ、研磨作用面２０７ｓ）とダミーワーク面（第１被研磨面１０７ｓ、第１被研磨面２０１ｓ）のなじみをダミーワーク毎に確認調整する必要がない。これにより、高い効率かつ面精度でワークの研磨加工を行うことができる。
【００５７】
なお、本発明は、上述の実施の形態に例示した構成に限らず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
たとえば、ダミーワーク１０７およびワーク１０８の第１被研磨面１０７ｓおよび第２被研磨面１０８ｓは、平坦面に限らず、同一の曲率を有する曲面であってもよい。
【００５８】
また、ワークとしては光学素子に限らず、一般の精密部品でもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の一実施の形態である研磨方法を実施する研磨装置の構成の一例を示す断面図である。
【図２Ａ】本発明の他の実施の形態である研磨装置の下軸部を上から見た平面図である。
【図２Ｂ】本発明の他の実施の形態である研磨装置の下軸部の中央部の断面図である。
【図３】本発明のさらに他の実施の形態である研磨装置の構成例を示す断面図である。
【図４】本発明の各実施の形態である研磨装置に供されるワークの構成の変形例を示す側面図である。
【図５】本発明の各実施の形態である研磨装置に供されるワークの構成の変形例を示す平面図である。
【符号の説明】
【００６０】
１０１ 研磨工具
１０１ｓ 研磨作用面
１０２ かんざし
１０２ａ 自在継手
１０３ 揺動部
１０４ おもり
１０５ 回転軸
１０５ａ〜１０５ｅ 収納穴
１０６ モータ
１０６ａ 駆動ベルト
１０７ ダミーワーク
１０７ａ〜１０７ｅ 収納穴
１０７ｓ 第１被研磨面
１０８ ワーク
１０８ａ〜１０８ｅ ワーク
１０８ｓ 第２被研磨面
１０８ｚ 付勢端
１０９ バネ
１１０ 研磨装置
１１１ 加工液
１２０ 上軸部
１３０ 下軸部
２０１ ダミーワーク
２０１ａ 収納穴
２０１ｓ 第１被研磨面
２０２ ワーク保持部材
２０２ａ 収納穴
２０３ かんざし
２０３ａ 自在継手
２０４ 揺動部
２０５ おもり
２０７ 研磨工具
２０７ｓ 研磨作用面
２０８ バネ
２０９ 回転軸
２１０ 研磨装置
２１１ モータ
２１１ａ 駆動ベルト
２１２ 加工液
２２０ 上軸部
２３０ 下軸部
３０１ 保護部材
３０３ 熱可塑性ワックス
４００ ワーク
４０１ ガラスファイバー
４０２ ガラス管ヤトイ
４０３ ワックス
ｐ０ 摺動荷重圧力
ｐ１ 付勢圧力
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１被研磨面に少なくとも一つの収納穴が開設されたダミーワークを準備する工程と、
前記ダミーワークの前記収納穴にワークを装填する工程と、
前記ワークを前記収納穴から突出する方向に付勢しつつ、前記ダミーワークの前記第１被研磨面および前記収納穴から突出する前記ワークの第２被研磨面に研磨工具を摺接させて研磨する工程と、
を含むことを特徴とする研磨方法。
【請求項２】
請求項１記載の研磨方法において、
前記研磨工具の前記ダミーワークの前記第１被研磨面に対する相対的な単位面積当たりの摺動荷重圧力と、前記ワークの前記第２被研磨面の前記研磨工具に対する単位面積当たりの付勢圧力とがほぼ等しくなるように前記ワークを付勢することを特徴とする研磨方法。
【請求項３】
請求項１記載の研磨方法において、
前記ダミーワークおよび前記ワークの前記第１および第２被研磨面を下向きにして、上向きの前記研磨工具に対向させて研磨を行うことを特徴とする研磨方法。
【請求項４】
請求項１記載の研磨方法において、
前記ワークは、光学素子であることを特徴とする研磨方法。
【請求項５】
第１被研磨面に少なくとも一つの収納穴が開設されたダミーワークと、
前記ダミーワークの前記収納穴に装填されたワークを前記収納穴から突出する方向に付勢する付勢手段と、
前記ダミーワークの前記第１被研磨面および前記収納穴から突出する前記ワークの第２被研磨面に摺接する研磨工具と、
前記ダミーワークと前記研磨工具に相対的な摺動変位を与える摺動機構部と、
を含むことを特徴とする研磨装置。
【請求項６】
請求項５記載の研磨装置において、
前記付勢手段は、前記研磨工具の前記ダミーワークの前記第１被研磨面に対する相対的な単位面積当たりの摺動荷重圧力と、前記ワークの前記第２被研磨面の前記研磨工具に対する単位面積当たりの付勢圧力とがほぼ等しくなるように前記ワークを付勢することを特徴とする研磨装置。
【請求項７】
請求項５記載の研磨装置において、
前記ダミーワークおよび前記ワークの前記第１および第２被研磨面を下向きの姿勢で上向きの前記研磨工具に対向して研磨が行われることを特徴とする研磨装置。
【請求項８】
請求項５記載の研磨装置において、
前記付勢手段と前記ワークとの間に介在する保護部材を備えたことを特徴とする研磨装置。
【請求項９】
請求項５記載の研磨装置において、
前記ワークは光学素子であることを特徴とする研磨装置。
【請求項１】
第１被研磨面に少なくとも一つの収納穴が開設されたダミーワークを準備する工程と、
前記ダミーワークの前記収納穴にワークを装填する工程と、
前記ワークを前記収納穴から突出する方向に付勢しつつ、前記ダミーワークの前記第１被研磨面および前記収納穴から突出する前記ワークの第２被研磨面に研磨工具を摺接させて研磨する工程と、
を含むことを特徴とする研磨方法。
【請求項２】
請求項１記載の研磨方法において、
前記研磨工具の前記ダミーワークの前記第１被研磨面に対する相対的な単位面積当たりの摺動荷重圧力と、前記ワークの前記第２被研磨面の前記研磨工具に対する単位面積当たりの付勢圧力とがほぼ等しくなるように前記ワークを付勢することを特徴とする研磨方法。
【請求項３】
請求項１記載の研磨方法において、
前記ダミーワークおよび前記ワークの前記第１および第２被研磨面を下向きにして、上向きの前記研磨工具に対向させて研磨を行うことを特徴とする研磨方法。
【請求項４】
請求項１記載の研磨方法において、
前記ワークは、光学素子であることを特徴とする研磨方法。
【請求項５】
第１被研磨面に少なくとも一つの収納穴が開設されたダミーワークと、
前記ダミーワークの前記収納穴に装填されたワークを前記収納穴から突出する方向に付勢する付勢手段と、
前記ダミーワークの前記第１被研磨面および前記収納穴から突出する前記ワークの第２被研磨面に摺接する研磨工具と、
前記ダミーワークと前記研磨工具に相対的な摺動変位を与える摺動機構部と、
を含むことを特徴とする研磨装置。
【請求項６】
請求項５記載の研磨装置において、
前記付勢手段は、前記研磨工具の前記ダミーワークの前記第１被研磨面に対する相対的な単位面積当たりの摺動荷重圧力と、前記ワークの前記第２被研磨面の前記研磨工具に対する単位面積当たりの付勢圧力とがほぼ等しくなるように前記ワークを付勢することを特徴とする研磨装置。
【請求項７】
請求項５記載の研磨装置において、
前記ダミーワークおよび前記ワークの前記第１および第２被研磨面を下向きの姿勢で上向きの前記研磨工具に対向して研磨が行われることを特徴とする研磨装置。
【請求項８】
請求項５記載の研磨装置において、
前記付勢手段と前記ワークとの間に介在する保護部材を備えたことを特徴とする研磨装置。
【請求項９】
請求項５記載の研磨装置において、
前記ワークは光学素子であることを特徴とする研磨装置。
【図１】
【図２Ａ】
【図２Ｂ】
【図３】
【図４】
【図５】
【図２Ａ】
【図２Ｂ】
【図３】
【図４】
【図５】
【公開番号】特開２００８−２６４９６０（Ｐ２００８−２６４９６０Ａ）
【公開日】平成２０年１１月６日（２００８．１１．６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−１１３３９２（Ｐ２００７−１１３３９２）
【出願日】平成１９年４月２３日（２００７．４．２３）
【出願人】（００００００３７６）オリンパス株式会社 (11,466)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年１１月６日（２００８．１１．６）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年４月２３日（２００７．４．２３）
【出願人】（００００００３７６）オリンパス株式会社 (11,466)
【Ｆターム（参考）】
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