表面検査装置
【課題】検査対象物の搬送速度に変動が生じた場合であっても均一な表面画像データを得ること。
【解決手段】このカード印刷装置１は、媒体を搬送路Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３上を搬送させながら、媒体表面を検査する装置において、撮像部５ａの走査タイミングを制御すると同時に、撮像部５ａからの照明光の照明時間を、予め記憶した複数の走査ライン毎の照明時間データに基づいて、複数の走査ライン毎に制御する制御部１５を備え、制御部１５は、検査用試料を対象にして、撮像部５ａを制御することにより複数の走査ライン毎の撮像データの平均輝度を予め取得した後に、平均輝度が目標値に近づくような照明光の照明時間の補正値を算出し、補正値を反映した複数の走査ライン毎の照明時間データを予め記憶し、検査対象の媒体の撮像時には該照明時間データに基づいて照明光の照明時間を変更する。
【解決手段】このカード印刷装置１は、媒体を搬送路Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３上を搬送させながら、媒体表面を検査する装置において、撮像部５ａの走査タイミングを制御すると同時に、撮像部５ａからの照明光の照明時間を、予め記憶した複数の走査ライン毎の照明時間データに基づいて、複数の走査ライン毎に制御する制御部１５を備え、制御部１５は、検査用試料を対象にして、撮像部５ａを制御することにより複数の走査ライン毎の撮像データの平均輝度を予め取得した後に、平均輝度が目標値に近づくような照明光の照明時間の補正値を算出し、補正値を反映した複数の走査ライン毎の照明時間データを予め記憶し、検査対象の媒体の撮像時には該照明時間データに基づいて照明光の照明時間を変更する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象物の表面状態を検査する表面検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、カードや紙幣等の表面画像データを撮像素子によって取り込み、その表面の状態を検査する装置が知られている。このような装置の例としては、検査対象物を調光機能付きの照明装置によって照明して、その検査対象物をラインセンサによって撮像し、そのラインセンサからの出力を画像処理装置によって処理する装置や、被検査物にライン状に光を照射し、被検査物表面の光照射ラインに対して平行な検出ラインを撮像する検査装置がある（下記特許文献１〜２参照）。
【０００３】
このような従来の装置では、ラインセンサの出力を基にして得られる平均受光レベルに基づいて、目標とする受光レベルを得るための照明装置に対する出力レベルを求め、その出力レベルを照明装置に出力することによって照明装置の光量を調整している。また、撮像した検出ラインの光量分布をモニタテレビに表示させて、照明手段やラインセンサの位置を、その表示された光量分布を見て調整することも行われている。
【特許文献１】特開平９−１７９９６０号公報
【特許文献２】特開平９−２９７１０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述した従来の検査装置を用いて、装置内を搬送されている検査対象物を検査しようとした場合には搬送速度の変動が生じることがあるので、照明装置に対する出力レベルを調整したとしても検査対象物の表面全体において均一な撮像データを得ることは困難であった。また、照明装置やラインセンサの位置をマニュアルで調整する必要があるため、調整作業が面倒であるという問題があった。
【０００５】
そこで、本発明は、かかる課題に鑑みて為されたものであり、検査対象物の搬送速度に変動が生じた場合であっても均一な表面画像データを得ることが可能な表面検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため、本発明の表面検査装置は、検査対象物を搬送手段によって所定の搬送速度で搬送路上を搬送させながら、検査対象物に向けて発光部から照明光を照射するとともに、ラインセンサによって該検査対象物を所定の走査周期で複数の走査ラインに区切って順次撮像する表面検査装置において、ラインセンサの走査タイミングを制御すると同時に、発光部の照明光の照明時間を、予め記憶した複数の走査ライン毎の照明時間データに基づいて、複数の走査ライン毎に制御する制御手段を備え、制御手段は、搬送手段によって搬送される補正用試料を対象にして、発光部及びラインセンサを制御することにより複数の走査ライン毎の撮像データの輝度値を予め取得した後に、輝度値が目標値に近づくような照明光の照明時間の補正値を算出し、補正値を反映した複数の走査ライン毎の照明時間データを予め記憶し、検査対象物の撮像時には該照明時間データに基づいて照明光の照明時間を変更する。
【０００７】
このような表面検査装置によれば、検査対象物を検査する前に、補正用試料が搬送路上に搬送され、走査ライン毎に予め記憶した照明時間データに基づいて照明光が照射されると同時に所定の走査周期で撮像される。その結果として得られた走査ライン毎の撮像データの輝度値に基づいて、輝度値が目標値に近づくような走査ライン毎の照明時間の補正値が算出され、その後に検査対象物を検査する際には、その補正値に基づいて走査ライン毎に照明時間が変更されて検査対象物の表面の撮像データが取得される。これにより、検査対象物の搬送の際に搬送速度にムラが生じる場合であっても、それに起因して発生する撮像データにおける濃度ムラの発生を効率よく防止することができ、検査対象物の検査の精度が向上する。特に、照明光の照明時間を変更する場合は発光部の応答性が高いので、画像データの輝度補正の精度がより向上する。
【０００８】
制御手段は、補正用試料を対象にして得られた輝度値に所定の係数を乗ずることによって補正値を算出する、ことが好ましい。この場合、輝度値と照明時間との関係が線形関係に近似されることを利用して補正値を算出することができ、画像データの濃度ムラを確実に補正することができる。
【０００９】
また、搬送手段による検査対象物の搬送速度を検出するエンコーダを更に備え、制御手段は、エンコーダからの出力に基づいて、走査タイミング及び照明光の照明時間を制御することも好ましい。かかる構成を採れば、ラインセンサの走査タイミングと照明光の照明時間を搬送速度に応じて制御することができるので、検査対象物における走査ラインのピッチを一定にして、画像データの伸縮を防止することができるとともに、照明光の照射タイミングも走査ラインのピッチに合わせることにより輝度のムラを低減することができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の表面検査装置によれば、検査対象物の搬送速度に変動が生じた場合であっても均一な表面画像データを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、図面を参照しつつ本発明に係る表面検査装置について詳細に説明する。
【００１２】
図１に示すカード印刷装置１は、ＩＣカード、クレジットカード等の媒体（検査対象物）を印刷した後に、その媒体の表面の印刷状態を検査する装置である。
【００１３】
このカード印刷装置１には、装置内部に媒体を供給するためのホッパー部２が設けられ、ホッパー部２から供給された媒体は、図示しない搬送機構によってその表面を搬送路Ｌ１の上側に向けた状態で搬送路Ｌ１上を搬送されて、媒体の表面を印刷するための印刷部３の内部に導入される。印刷部３によって表面が印刷された媒体は、搬送機構によって搬送路Ｌ１に沿って設けられた反転機４まで戻された後、反転機４によって搬送路Ｌ１に交差する搬送路Ｌ２に沿った方向に回転されてから、搬送機構によって搬送路Ｌ２に沿って搬送される。搬送路Ｌ２上には撮像部５ａが設けられ、搬送路Ｌ２上に搬送される媒体の表面の印刷状態が撮像部５ａによって検査される。
【００１４】
さらに、撮像部５ａによって検査された媒体は、搬送路Ｌ２に沿って設けられた反転機６まで搬送された後、反転機６によって搬送路Ｌ２に交差する搬送路Ｌ３の上側にその裏面を向けるまで回転される。そして、その媒体は、搬送路Ｌ３上に設けられた印刷部７の内部に導入されてその裏面が印刷される。裏面が印刷された媒体は、搬送路Ｌ３上の撮像部５ｂの内部を通されることによりその裏面の印刷状態が検査された後、ラミネート部８へ導入されて、ラミネート材（保護シート）で被覆される。最後に、媒体は、撮像部５ａ，５ｂの検査結果の良否に応じて、２つに分割されたスタッカ９に分別して排出される。
【００１５】
次に、撮像部５ａの構成についてより詳細に説明する。なお、撮像部５ｂの構成は撮像部５ａと同一であるのでその説明を省略する。
【００１６】
撮像部５ａは、図２に示すように、長尺状の形状を有し、搬送路Ｌ２を構成する２本の互いに平行な搬送ベルト１０をまたがるように、すなわち、搬送ベルト１０による搬送方向がその長手方向と略垂直になるように配置されている。この撮像部５ａは、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）ラインセンサを内蔵し、搬送ベルト１０上に搬送されてきた媒体Ａが搬送ベルト１０と撮像部５ａとの間を通過する際に、媒体Ａの搬送ベルト１０の上側の表面を、撮像部５ａの長手方向に沿った複数の走査ラインに区切って順次撮像する。この搬送ベルト１０による媒体Ａの搬送速度は様々な速度に設定されうるが、例えば、58mm/secで一定の速度になるように設定されている。また、撮像部５ａには、媒体Ａの表面の走査ラインに向けて照明光を照射するＬＥＤ発光部も内蔵されている。さらに、搬送ベルト１０には、媒体Ａの実際の搬送速度を検出するためのロータリエンコーダ１１が取り付けられている。
【００１７】
図３を参照して、カード印刷装置１の内部構成についてより詳細に説明する。同図に示すように、撮像部５ａには撮像部５ａの走査周期及び照明タイミングを制御するカメラ制御基板１２が接続され、カメラ制御基板１２には、媒体の搬送速度を設定するためのホストコントローラ１３が接続されている。さらに、ホストコントローラ１３には、搬送速度の設定信号に応じて搬送路Ｌ２上の媒体の搬送速度を調整する搬送制御部１４が接続され、この搬送制御部１４は搬送ベルト１０を駆動する搬送機構（図示せず）に接続されている。また、カメラ制御基板１２には、搬送ベルト１０の駆動軸の回転角度、すなわち媒体の搬送距離を検出するロータリエンコーダ１１が接続されている。
【００１８】
このカメラ制御基板１２は、制御部１５、カメラＩ／Ｆ部１６、照明調光回路部１７、エンコーダ入力部１８、メモリ部１９、及びホストＩ／Ｆ部２０を備えている。
【００１９】
カメラＩ／Ｆ部１６は、制御部１５又はメモリ部１９と撮像部５ａ内のＣＣＤラインセンサとの間で送受信される信号を中継及び変換し、照明調光回路部１７は、制御部１５から撮像部５ａ内のＬＥＤ照明部に送信される照明タイミングの制御信号を中継及び変換する。また、ホストＩ／Ｆ部２０は、ホストコントローラ１３と制御部１５との間で送受信される信号を中継及び変換する。エンコーダ入力部１８は、搬送路Ｌ２上の媒体が所定距離搬送される度にロータリエンコーダ１１から出力されるパルス信号を受信し、そのパルス信号の受信を制御部１５に通知する。
【００２０】
制御部１５は、図示しない媒体の到来センサによって搬送路Ｌ２における媒体の到来を検知すると同時に、ロータリエンコーダ１１からのパルス信号をカウントすることにより、搬送路Ｌ２上の媒体の位置を検出する。そして、制御部１５は、検出した媒体の位置に基づいて、媒体表面上での走査ラインが等間隔になるように、撮像部５ａのＣＣＤラインセンサによる走査タイミングを制御する。具体的には、制御部１５は、媒体がＣＣＤラインセンサの撮像可能範囲に到来してから所定ピッチだけ移動する毎に、撮像部５ａに対して走査タイミングを通知する走査パルス信号を送出する。これにより、撮像部５ａのＣＣＤラインセンサは、１つの走査パルス信号を受けてから次の走査パルス信号を受けるまでの間に媒体の走査ライン上の像を露光する。ＣＣＤラインセンサにより生成された走査ライン毎の画像データは、カメラＩ／Ｆ部１６を経由して制御部１５に順次出力された後、媒体の表面全体の画像データとして合成されて、ホストＩ／Ｆ部２０を経由してホストコントローラ１３に出力される。そして、ホストコントローラ１３によって媒体の画像データが予め格納された基本画像パターンと一致するか否かが判定されて、媒体表面の印刷状態の良否が判定される。
【００２１】
同時に、制御部１５は、照明調光回路部１７に照明制御信号を送出することにより、撮像部５ａによる照明光の照明時間を、媒体の走査ライン毎に制御する。すなわち、メモリ部１９には、予め媒体表面のｎ本の走査ライン毎に照明光の照明時間データＴ１〜Ｔｎが格納されており、制御部１５は、その照明時間データＴ１〜Ｔｎをその都度読み出して、各走査ラインの走査開始タイミングからそれぞれの照明時間Ｔ１〜Ｔｎを経過するまでの間で照明光を照射するように、照明調光回路部１７に照明制御信号を順次送出する。従って、各走査ラインの走査開始タイミングが照明光の照射開始タイミングと一致する。なお、メモリ部１９には、初期に設定される照明時間データとして、全ての走査ラインに関して同一の照明時間データＴ０が設定されている。
【００２２】
ここで、図４は、搬送路Ｌ２上における媒体の搬送速度がほぼ一定に維持されている状態における（ａ）走査パルス信号、（ｂ）照明制御信号、及び（ｃ）撮像部５ａによる露光時間を示すタイミングチャート、図５は、搬送路Ｌ２上における媒体の搬送速度に走査ライン間でムラが発生した状態における（ａ）走査パルス信号、（ｂ）照明制御信号、及び（ｃ）撮像部５ａによる露光時間を示すタイミングチャートである。媒体の搬送速度が隣り合う走査ライン間で一定の場合は、走査パルス信号が一定周期Ｔａ１で生成され、露光時間も走査ライン間で同一となっている（図４（ａ）、（ｃ））。この場合は、照明時間が各走査ライン間で同一時間Ｔ０に設定されれば（図４（ｂ））、全走査ラインにおける画像の輝度のムラが少ないことが容易に理解できる。これに対して、媒体の搬送速度が変動している場合は、走査パルス信号の間隔が走査ライン間で変動し、各走査ライン間で露光時間が変化してしまう（図５（ａ）、（ｃ））。この場合に、照明時間を各走査ライン間で同一時間Ｔ０としてしまうと（図５（ｂ））、媒体表面全体の画像において輝度ムラが発生してしまうことになる。一般には、搬送ベルト等を利用した搬送機構は、長時間使用していくうちに駆動系において搬送ムラが発生するようになったり、製造過程における精度変動によりがたつきが生じることは避けられない。
【００２３】
そこで、媒体の表面画像における輝度ムラを防止するために、カメラ制御基板１２は、以下のような照明時間の自動調整機能を有する。
【００２４】
すなわち、メモリ部１９には、予め撮像部５ａによって検査対象の媒体と同一形状で白色の検査用試料を静止状態で撮像した場合の照明時間と平均ライン輝度との関係を示す標準データが格納されている。制御部１５は、照明時間と平均ライン輝度とがほぼ比例関係にあることを利用して、予めこの標準データに基づいて、撮像部５ａにおける照明時間ＴＢと平均ライン輝度Ｙとの関係を示す係数α＝Ｙ／ＴＢを算出して、この係数αをメモリ部１９に格納しておく。ここで、平均ライン輝度とは走査ライン内の画素の輝度値の平均である。
【００２５】
そして、制御部１５は、上記の検査用試料を搬送路Ｌ２上に搬送させた状態で、撮像部５ａによって各走査ラインの画像データを取得し、走査ライン毎の平均ライン輝度Ｙｎを算出する。その後、制御部１５は、メモリ部１９から係数αを読み出して、平均ライン輝度Ｙｎから各走査ラインの照明時間ＴＢｎを下記式（１）；
ＴＢｎ＝Ｙｎ／α …（１）
により導出する。さらに、制御部１５は、導出した照明時間ＴＢｎと初期設定された照明時間Ｔ０との差分｜ＴＢｎ−Ｔ０｜を算出し、ロータリエンコーダ１１からのパルス信号を基にして検出される実際の搬送速度と、ホストコントローラ１３によって設定されている搬送速度とを比較する。この比較の結果、実際の搬送速度のほうが大きい場合は、制御部１５は、メモリ部１９に格納されている走査ライン毎の照明時間データＴ０に差分値｜ＴＢｎ−Ｔ０｜を加算して更新し、実際の搬送速度のほうが小さい場合は、メモリ部１９に格納されている走査ライン毎の照明時間データＴ０から差分値｜ＴＢｎ−Ｔ０｜を減算して更新する。このような補正処理が全走査ラインに関して完了した後に、検査対象の媒体を搬送路Ｌ１〜Ｌ３上に搬送させて検査対象の媒体表面の画像を検査することにより、平均ライン輝度が均一になるように走査ライン毎の照明時間が補正される。
【００２６】
図６は、制御部１５によって補正された照明時間データに基づいて撮像処理された場合であって、（ａ）は、搬送ムラにより媒体の実際の搬送速度が設定値よりも大きい場合の走査パルス、照明制御信号、及び撮像部５ａによる露光時間を示すタイミングチャートであり、（ｂ）は、搬送ムラにより媒体の実際の搬送速度が設定値よりも小さい場合の走査パルス、照明制御信号、及び撮像部５ａによる露光時間を示すタイミングチャートである。図６（ａ）に示すように、実際の搬送速度が大きい場合は、走査周期Ｔａ４が短くなるのに従って露光時間が相対的に短くなるので、照明時間データの初期値に差分値ΔＴＢ＝｜ＴＢｎ−Ｔ０｜が加算されることによって照明時間が長くされる。これに対して、図６（ａ）に示すように、実際の搬送速度が小さい場合は、走査周期Ｔａ５が長くなるのに従って露光時間が相対的に長くなるので、照明時間データの初期値から差分値ΔＴＢ＝｜ＴＢｎ−Ｔ０｜を減算されることによって照明時間が短くされる。
【００２７】
以下、図７及び図８を参照して、カード印刷装置１を利用した媒体表面の印刷状態の検査方法について説明する。図７は、媒体検査前の前工程における標準データの設定手順を示すフローチャートであり、図８は、照明時間データの補正データの設定手順を示すフローチャートである。
【００２８】
まず、検査用試料を静止状態で撮像部５ａの下部に配置させる（ステップＳ０１）。この場合の検査用試料の位置は、実際の搬送路Ｌ２に相当する位置と一致させる。次に、搬送路Ｌ２の搬送速度の設定値と目標とする解像度とに基づいて走査ラインの理論上の走査周期を算出し、その走査周期をカメラ制御基板１２に設定する（ステップＳ０２）。さらに、スキャンする撮像部５ａの照明時間の最小値及び最大値をカメラ制御基板１２に設定する（ステップＳ０３）。そして、カメラ制御基板１２の制御部１５によって撮像部５ａが制御されて、照明時間の最小値に基づいて照明光が照射されると同時に検査用資料が１走査周期分撮像される（ステップＳ０４）。さらに、カメラ制御基板１２の制御部１５により、取得された１走査ライン分の画像データに基づいて平均ライン輝度が算出されてそのデータが記憶される（ステップＳ０５）。そして、制御部１５により、照明時間の最大値に至るまで照明時間が50μsecずつ増加されながら、ステップＳ０４及びステップＳ０５の処理が繰り返される（ステップＳ０６及びステップＳ０７）。
【００２９】
次に、制御部１５により、照明時間ごとの画像データに基づいて、各走査ラインの照明時間データの初期値Ｔ０として適切な輝度が得られるような値が選択され、メモリ部１９に設定される（ステップＳ０８）。そして、制御部１５により、ステップＳ０５で算出した平均ライン輝度と照明時間との対応データ表が作成されてメモリ部１９に格納される（ステップＳ０９）。図９は、制御部１５により算出された平均ライン輝度と照明時間との関係の一例を示すグラフであり、平均ライン輝度と照明時間との関係はほぼ線形関係に近似される。
【００３０】
図８に移って、以上のようにして照明時間と平均ライン輝度との関係を示す標準データである対応データ表が予め作成された状態で対応データ表を作成した際に用いた検査用試料を、搬送路Ｌ２上に搬送させる（ステップＳ１１）。そして、カメラ制御基板１２によって撮像部５ａの走査タイミング及び照明タイミングを制御させることによって、検査用試料の走査ライン毎の画像データが取得される（ステップＳ１２）。その後、制御部１５によって走査ライン毎の平均ライン輝度Ｙ１〜Ｙｎが算出される（ステップＳ１３）。次に、制御部１５により、得られた第１の走査ラインの平均ライン輝度Ｙ１と目標とする平均ライン輝度が比較される（ステップＳ１４）。この比較の結果、目標値との間で差分が生じている場合には、制御部１５により、対応データ表から予め計算された係数αを式（１）に適用することにより、第１走査ラインの照明時間ＴＢ１が算出された後、メモリ部１９に格納されている第１走査ラインの照明時間データＴ０に、差分値ΔＴＢが加算又は減算される（ステップＳ１５）。その後、制御部１５により、全ての走査ラインについての平均ライン輝度が取得されながら、ステップＳ１４及びステップＳ１５の処理が繰り返される（ステップＳ１６及びステップＳ１７）。最後に、制御部１５により補正された全走査ラインに対応する照明時間データが、メモリ部１９に格納される（ステップＳ１８）。
【００３１】
上述した標準データの設定及び照明時間データの補正は、撮像部５ｂに対しても同様に処理される。この状態において、検査対象の媒体をカード印刷装置１の搬送路Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３に搬送させることにより、媒体の表面及び裏面の検査が行われる。
【００３２】
以上説明したカード印刷装置１によれば、媒体表面を検査する前に、検査用試料が搬送路Ｌ２，Ｌ３上に搬送され、走査ライン毎に予め記憶した照明時間データに基づいて照明光が照射されると同時に所定の走査周期で撮像される。その結果として得られた走査ライン毎の撮像データの平均輝度に基づいて、平均輝度が目標値に近づくような走査ライン毎の照明時間の補正値が算出され、その後に検査対象の媒体を検査する際には、その補正値に基づいて走査ライン毎に照明時間が変更されて媒体表面の撮像データが取得される。これにより、媒体搬送の際に搬送速度にムラが生じる場合であっても、それに起因して発生する撮像データにおける濃度ムラの発生を効率よく防止することができ、媒体の検査精度が向上する。特に、照明光の照明時間を変更する場合は光強度を調整する場合に比較して撮像部５ａ，５ｂのＬＥＤ発光部の応答性が高いので、画像データの輝度補正の精度がより向上する。
【００３３】
また、制御部１５により検査用試料を対象にして得られた平均ライン輝度に係数１／αを乗ずることによって補正値が算出されるので、画像データの輝度値と照明時間との関係が線形関係に近似されることを利用して補正値を算出することができ、画像データの濃度ムラを確実に補正することができる。
【００３４】
また、ロータリエンコーダ１１からの出力に基づいて、撮像部５ａ，５ｂによる走査タイミング及び照明時間が制御されるので、ＣＣＤラインセンサの走査タイミングとＬＥＤ発光部の照明時間を媒体の搬送速度に応じて制御することができ、媒体表面における走査ラインのピッチを一定にして、画像データの伸縮を防止することができるとともに、照明光の照射タイミングも走査ラインのピッチに合わせることにより輝度のムラを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の好適な一実施形態であるカード印刷装置の内部構成を示す正面図である。
【図２】図１の搬送路及び撮像部の位置関係を示す斜視図である。
【図３】図１のカード印刷装置の主要部のブロック図である。
【図４】搬送路上における媒体の搬送速度がほぼ一定に維持されている状態における（ａ）走査パルス信号、（ｂ）照明制御信号、及び（ｃ）撮像部５ａによる露光時間を示すタイミングチャートである。
【図５】搬送路上における媒体の搬送速度に走査ライン間でムラが発生した状態における（ａ）走査パルス信号、（ｂ）照明制御信号、及び（ｃ）撮像部５ａによる露光時間を示すタイミングチャートである。
【図６】（ａ）は、搬送ムラにより媒体の実際の搬送速度が設定値よりも大きい場合の走査パルス、照明制御信号、及び露光時間を示すタイミングチャート、（ｂ）は、搬送ムラにより媒体の実際の搬送速度が設定値よりも小さい場合の走査パルス、照明制御信号、及び露光時間を示すタイミングチャートである。
【図７】媒体検査前の前工程における標準データの設定手順を示すフローチャートである。
【図８】照明時間データの補正データの設定手順を示すフローチャートである。
【図９】図３の制御部により算出された平均ライン輝度と照明時間との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
【００３６】
１…カード印刷装置、５ａ，５ｂ…撮像部、１０…搬送ベルト（搬送手段）、１１…ロータリエンコーダ、１５…制御部（制御手段）、Ａ…媒体、Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３…搬送路。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象物の表面状態を検査する表面検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、カードや紙幣等の表面画像データを撮像素子によって取り込み、その表面の状態を検査する装置が知られている。このような装置の例としては、検査対象物を調光機能付きの照明装置によって照明して、その検査対象物をラインセンサによって撮像し、そのラインセンサからの出力を画像処理装置によって処理する装置や、被検査物にライン状に光を照射し、被検査物表面の光照射ラインに対して平行な検出ラインを撮像する検査装置がある（下記特許文献１〜２参照）。
【０００３】
このような従来の装置では、ラインセンサの出力を基にして得られる平均受光レベルに基づいて、目標とする受光レベルを得るための照明装置に対する出力レベルを求め、その出力レベルを照明装置に出力することによって照明装置の光量を調整している。また、撮像した検出ラインの光量分布をモニタテレビに表示させて、照明手段やラインセンサの位置を、その表示された光量分布を見て調整することも行われている。
【特許文献１】特開平９−１７９９６０号公報
【特許文献２】特開平９−２９７１０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述した従来の検査装置を用いて、装置内を搬送されている検査対象物を検査しようとした場合には搬送速度の変動が生じることがあるので、照明装置に対する出力レベルを調整したとしても検査対象物の表面全体において均一な撮像データを得ることは困難であった。また、照明装置やラインセンサの位置をマニュアルで調整する必要があるため、調整作業が面倒であるという問題があった。
【０００５】
そこで、本発明は、かかる課題に鑑みて為されたものであり、検査対象物の搬送速度に変動が生じた場合であっても均一な表面画像データを得ることが可能な表面検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため、本発明の表面検査装置は、検査対象物を搬送手段によって所定の搬送速度で搬送路上を搬送させながら、検査対象物に向けて発光部から照明光を照射するとともに、ラインセンサによって該検査対象物を所定の走査周期で複数の走査ラインに区切って順次撮像する表面検査装置において、ラインセンサの走査タイミングを制御すると同時に、発光部の照明光の照明時間を、予め記憶した複数の走査ライン毎の照明時間データに基づいて、複数の走査ライン毎に制御する制御手段を備え、制御手段は、搬送手段によって搬送される補正用試料を対象にして、発光部及びラインセンサを制御することにより複数の走査ライン毎の撮像データの輝度値を予め取得した後に、輝度値が目標値に近づくような照明光の照明時間の補正値を算出し、補正値を反映した複数の走査ライン毎の照明時間データを予め記憶し、検査対象物の撮像時には該照明時間データに基づいて照明光の照明時間を変更する。
【０００７】
このような表面検査装置によれば、検査対象物を検査する前に、補正用試料が搬送路上に搬送され、走査ライン毎に予め記憶した照明時間データに基づいて照明光が照射されると同時に所定の走査周期で撮像される。その結果として得られた走査ライン毎の撮像データの輝度値に基づいて、輝度値が目標値に近づくような走査ライン毎の照明時間の補正値が算出され、その後に検査対象物を検査する際には、その補正値に基づいて走査ライン毎に照明時間が変更されて検査対象物の表面の撮像データが取得される。これにより、検査対象物の搬送の際に搬送速度にムラが生じる場合であっても、それに起因して発生する撮像データにおける濃度ムラの発生を効率よく防止することができ、検査対象物の検査の精度が向上する。特に、照明光の照明時間を変更する場合は発光部の応答性が高いので、画像データの輝度補正の精度がより向上する。
【０００８】
制御手段は、補正用試料を対象にして得られた輝度値に所定の係数を乗ずることによって補正値を算出する、ことが好ましい。この場合、輝度値と照明時間との関係が線形関係に近似されることを利用して補正値を算出することができ、画像データの濃度ムラを確実に補正することができる。
【０００９】
また、搬送手段による検査対象物の搬送速度を検出するエンコーダを更に備え、制御手段は、エンコーダからの出力に基づいて、走査タイミング及び照明光の照明時間を制御することも好ましい。かかる構成を採れば、ラインセンサの走査タイミングと照明光の照明時間を搬送速度に応じて制御することができるので、検査対象物における走査ラインのピッチを一定にして、画像データの伸縮を防止することができるとともに、照明光の照射タイミングも走査ラインのピッチに合わせることにより輝度のムラを低減することができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の表面検査装置によれば、検査対象物の搬送速度に変動が生じた場合であっても均一な表面画像データを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、図面を参照しつつ本発明に係る表面検査装置について詳細に説明する。
【００１２】
図１に示すカード印刷装置１は、ＩＣカード、クレジットカード等の媒体（検査対象物）を印刷した後に、その媒体の表面の印刷状態を検査する装置である。
【００１３】
このカード印刷装置１には、装置内部に媒体を供給するためのホッパー部２が設けられ、ホッパー部２から供給された媒体は、図示しない搬送機構によってその表面を搬送路Ｌ１の上側に向けた状態で搬送路Ｌ１上を搬送されて、媒体の表面を印刷するための印刷部３の内部に導入される。印刷部３によって表面が印刷された媒体は、搬送機構によって搬送路Ｌ１に沿って設けられた反転機４まで戻された後、反転機４によって搬送路Ｌ１に交差する搬送路Ｌ２に沿った方向に回転されてから、搬送機構によって搬送路Ｌ２に沿って搬送される。搬送路Ｌ２上には撮像部５ａが設けられ、搬送路Ｌ２上に搬送される媒体の表面の印刷状態が撮像部５ａによって検査される。
【００１４】
さらに、撮像部５ａによって検査された媒体は、搬送路Ｌ２に沿って設けられた反転機６まで搬送された後、反転機６によって搬送路Ｌ２に交差する搬送路Ｌ３の上側にその裏面を向けるまで回転される。そして、その媒体は、搬送路Ｌ３上に設けられた印刷部７の内部に導入されてその裏面が印刷される。裏面が印刷された媒体は、搬送路Ｌ３上の撮像部５ｂの内部を通されることによりその裏面の印刷状態が検査された後、ラミネート部８へ導入されて、ラミネート材（保護シート）で被覆される。最後に、媒体は、撮像部５ａ，５ｂの検査結果の良否に応じて、２つに分割されたスタッカ９に分別して排出される。
【００１５】
次に、撮像部５ａの構成についてより詳細に説明する。なお、撮像部５ｂの構成は撮像部５ａと同一であるのでその説明を省略する。
【００１６】
撮像部５ａは、図２に示すように、長尺状の形状を有し、搬送路Ｌ２を構成する２本の互いに平行な搬送ベルト１０をまたがるように、すなわち、搬送ベルト１０による搬送方向がその長手方向と略垂直になるように配置されている。この撮像部５ａは、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）ラインセンサを内蔵し、搬送ベルト１０上に搬送されてきた媒体Ａが搬送ベルト１０と撮像部５ａとの間を通過する際に、媒体Ａの搬送ベルト１０の上側の表面を、撮像部５ａの長手方向に沿った複数の走査ラインに区切って順次撮像する。この搬送ベルト１０による媒体Ａの搬送速度は様々な速度に設定されうるが、例えば、58mm/secで一定の速度になるように設定されている。また、撮像部５ａには、媒体Ａの表面の走査ラインに向けて照明光を照射するＬＥＤ発光部も内蔵されている。さらに、搬送ベルト１０には、媒体Ａの実際の搬送速度を検出するためのロータリエンコーダ１１が取り付けられている。
【００１７】
図３を参照して、カード印刷装置１の内部構成についてより詳細に説明する。同図に示すように、撮像部５ａには撮像部５ａの走査周期及び照明タイミングを制御するカメラ制御基板１２が接続され、カメラ制御基板１２には、媒体の搬送速度を設定するためのホストコントローラ１３が接続されている。さらに、ホストコントローラ１３には、搬送速度の設定信号に応じて搬送路Ｌ２上の媒体の搬送速度を調整する搬送制御部１４が接続され、この搬送制御部１４は搬送ベルト１０を駆動する搬送機構（図示せず）に接続されている。また、カメラ制御基板１２には、搬送ベルト１０の駆動軸の回転角度、すなわち媒体の搬送距離を検出するロータリエンコーダ１１が接続されている。
【００１８】
このカメラ制御基板１２は、制御部１５、カメラＩ／Ｆ部１６、照明調光回路部１７、エンコーダ入力部１８、メモリ部１９、及びホストＩ／Ｆ部２０を備えている。
【００１９】
カメラＩ／Ｆ部１６は、制御部１５又はメモリ部１９と撮像部５ａ内のＣＣＤラインセンサとの間で送受信される信号を中継及び変換し、照明調光回路部１７は、制御部１５から撮像部５ａ内のＬＥＤ照明部に送信される照明タイミングの制御信号を中継及び変換する。また、ホストＩ／Ｆ部２０は、ホストコントローラ１３と制御部１５との間で送受信される信号を中継及び変換する。エンコーダ入力部１８は、搬送路Ｌ２上の媒体が所定距離搬送される度にロータリエンコーダ１１から出力されるパルス信号を受信し、そのパルス信号の受信を制御部１５に通知する。
【００２０】
制御部１５は、図示しない媒体の到来センサによって搬送路Ｌ２における媒体の到来を検知すると同時に、ロータリエンコーダ１１からのパルス信号をカウントすることにより、搬送路Ｌ２上の媒体の位置を検出する。そして、制御部１５は、検出した媒体の位置に基づいて、媒体表面上での走査ラインが等間隔になるように、撮像部５ａのＣＣＤラインセンサによる走査タイミングを制御する。具体的には、制御部１５は、媒体がＣＣＤラインセンサの撮像可能範囲に到来してから所定ピッチだけ移動する毎に、撮像部５ａに対して走査タイミングを通知する走査パルス信号を送出する。これにより、撮像部５ａのＣＣＤラインセンサは、１つの走査パルス信号を受けてから次の走査パルス信号を受けるまでの間に媒体の走査ライン上の像を露光する。ＣＣＤラインセンサにより生成された走査ライン毎の画像データは、カメラＩ／Ｆ部１６を経由して制御部１５に順次出力された後、媒体の表面全体の画像データとして合成されて、ホストＩ／Ｆ部２０を経由してホストコントローラ１３に出力される。そして、ホストコントローラ１３によって媒体の画像データが予め格納された基本画像パターンと一致するか否かが判定されて、媒体表面の印刷状態の良否が判定される。
【００２１】
同時に、制御部１５は、照明調光回路部１７に照明制御信号を送出することにより、撮像部５ａによる照明光の照明時間を、媒体の走査ライン毎に制御する。すなわち、メモリ部１９には、予め媒体表面のｎ本の走査ライン毎に照明光の照明時間データＴ１〜Ｔｎが格納されており、制御部１５は、その照明時間データＴ１〜Ｔｎをその都度読み出して、各走査ラインの走査開始タイミングからそれぞれの照明時間Ｔ１〜Ｔｎを経過するまでの間で照明光を照射するように、照明調光回路部１７に照明制御信号を順次送出する。従って、各走査ラインの走査開始タイミングが照明光の照射開始タイミングと一致する。なお、メモリ部１９には、初期に設定される照明時間データとして、全ての走査ラインに関して同一の照明時間データＴ０が設定されている。
【００２２】
ここで、図４は、搬送路Ｌ２上における媒体の搬送速度がほぼ一定に維持されている状態における（ａ）走査パルス信号、（ｂ）照明制御信号、及び（ｃ）撮像部５ａによる露光時間を示すタイミングチャート、図５は、搬送路Ｌ２上における媒体の搬送速度に走査ライン間でムラが発生した状態における（ａ）走査パルス信号、（ｂ）照明制御信号、及び（ｃ）撮像部５ａによる露光時間を示すタイミングチャートである。媒体の搬送速度が隣り合う走査ライン間で一定の場合は、走査パルス信号が一定周期Ｔａ１で生成され、露光時間も走査ライン間で同一となっている（図４（ａ）、（ｃ））。この場合は、照明時間が各走査ライン間で同一時間Ｔ０に設定されれば（図４（ｂ））、全走査ラインにおける画像の輝度のムラが少ないことが容易に理解できる。これに対して、媒体の搬送速度が変動している場合は、走査パルス信号の間隔が走査ライン間で変動し、各走査ライン間で露光時間が変化してしまう（図５（ａ）、（ｃ））。この場合に、照明時間を各走査ライン間で同一時間Ｔ０としてしまうと（図５（ｂ））、媒体表面全体の画像において輝度ムラが発生してしまうことになる。一般には、搬送ベルト等を利用した搬送機構は、長時間使用していくうちに駆動系において搬送ムラが発生するようになったり、製造過程における精度変動によりがたつきが生じることは避けられない。
【００２３】
そこで、媒体の表面画像における輝度ムラを防止するために、カメラ制御基板１２は、以下のような照明時間の自動調整機能を有する。
【００２４】
すなわち、メモリ部１９には、予め撮像部５ａによって検査対象の媒体と同一形状で白色の検査用試料を静止状態で撮像した場合の照明時間と平均ライン輝度との関係を示す標準データが格納されている。制御部１５は、照明時間と平均ライン輝度とがほぼ比例関係にあることを利用して、予めこの標準データに基づいて、撮像部５ａにおける照明時間ＴＢと平均ライン輝度Ｙとの関係を示す係数α＝Ｙ／ＴＢを算出して、この係数αをメモリ部１９に格納しておく。ここで、平均ライン輝度とは走査ライン内の画素の輝度値の平均である。
【００２５】
そして、制御部１５は、上記の検査用試料を搬送路Ｌ２上に搬送させた状態で、撮像部５ａによって各走査ラインの画像データを取得し、走査ライン毎の平均ライン輝度Ｙｎを算出する。その後、制御部１５は、メモリ部１９から係数αを読み出して、平均ライン輝度Ｙｎから各走査ラインの照明時間ＴＢｎを下記式（１）；
ＴＢｎ＝Ｙｎ／α …（１）
により導出する。さらに、制御部１５は、導出した照明時間ＴＢｎと初期設定された照明時間Ｔ０との差分｜ＴＢｎ−Ｔ０｜を算出し、ロータリエンコーダ１１からのパルス信号を基にして検出される実際の搬送速度と、ホストコントローラ１３によって設定されている搬送速度とを比較する。この比較の結果、実際の搬送速度のほうが大きい場合は、制御部１５は、メモリ部１９に格納されている走査ライン毎の照明時間データＴ０に差分値｜ＴＢｎ−Ｔ０｜を加算して更新し、実際の搬送速度のほうが小さい場合は、メモリ部１９に格納されている走査ライン毎の照明時間データＴ０から差分値｜ＴＢｎ−Ｔ０｜を減算して更新する。このような補正処理が全走査ラインに関して完了した後に、検査対象の媒体を搬送路Ｌ１〜Ｌ３上に搬送させて検査対象の媒体表面の画像を検査することにより、平均ライン輝度が均一になるように走査ライン毎の照明時間が補正される。
【００２６】
図６は、制御部１５によって補正された照明時間データに基づいて撮像処理された場合であって、（ａ）は、搬送ムラにより媒体の実際の搬送速度が設定値よりも大きい場合の走査パルス、照明制御信号、及び撮像部５ａによる露光時間を示すタイミングチャートであり、（ｂ）は、搬送ムラにより媒体の実際の搬送速度が設定値よりも小さい場合の走査パルス、照明制御信号、及び撮像部５ａによる露光時間を示すタイミングチャートである。図６（ａ）に示すように、実際の搬送速度が大きい場合は、走査周期Ｔａ４が短くなるのに従って露光時間が相対的に短くなるので、照明時間データの初期値に差分値ΔＴＢ＝｜ＴＢｎ−Ｔ０｜が加算されることによって照明時間が長くされる。これに対して、図６（ａ）に示すように、実際の搬送速度が小さい場合は、走査周期Ｔａ５が長くなるのに従って露光時間が相対的に長くなるので、照明時間データの初期値から差分値ΔＴＢ＝｜ＴＢｎ−Ｔ０｜を減算されることによって照明時間が短くされる。
【００２７】
以下、図７及び図８を参照して、カード印刷装置１を利用した媒体表面の印刷状態の検査方法について説明する。図７は、媒体検査前の前工程における標準データの設定手順を示すフローチャートであり、図８は、照明時間データの補正データの設定手順を示すフローチャートである。
【００２８】
まず、検査用試料を静止状態で撮像部５ａの下部に配置させる（ステップＳ０１）。この場合の検査用試料の位置は、実際の搬送路Ｌ２に相当する位置と一致させる。次に、搬送路Ｌ２の搬送速度の設定値と目標とする解像度とに基づいて走査ラインの理論上の走査周期を算出し、その走査周期をカメラ制御基板１２に設定する（ステップＳ０２）。さらに、スキャンする撮像部５ａの照明時間の最小値及び最大値をカメラ制御基板１２に設定する（ステップＳ０３）。そして、カメラ制御基板１２の制御部１５によって撮像部５ａが制御されて、照明時間の最小値に基づいて照明光が照射されると同時に検査用資料が１走査周期分撮像される（ステップＳ０４）。さらに、カメラ制御基板１２の制御部１５により、取得された１走査ライン分の画像データに基づいて平均ライン輝度が算出されてそのデータが記憶される（ステップＳ０５）。そして、制御部１５により、照明時間の最大値に至るまで照明時間が50μsecずつ増加されながら、ステップＳ０４及びステップＳ０５の処理が繰り返される（ステップＳ０６及びステップＳ０７）。
【００２９】
次に、制御部１５により、照明時間ごとの画像データに基づいて、各走査ラインの照明時間データの初期値Ｔ０として適切な輝度が得られるような値が選択され、メモリ部１９に設定される（ステップＳ０８）。そして、制御部１５により、ステップＳ０５で算出した平均ライン輝度と照明時間との対応データ表が作成されてメモリ部１９に格納される（ステップＳ０９）。図９は、制御部１５により算出された平均ライン輝度と照明時間との関係の一例を示すグラフであり、平均ライン輝度と照明時間との関係はほぼ線形関係に近似される。
【００３０】
図８に移って、以上のようにして照明時間と平均ライン輝度との関係を示す標準データである対応データ表が予め作成された状態で対応データ表を作成した際に用いた検査用試料を、搬送路Ｌ２上に搬送させる（ステップＳ１１）。そして、カメラ制御基板１２によって撮像部５ａの走査タイミング及び照明タイミングを制御させることによって、検査用試料の走査ライン毎の画像データが取得される（ステップＳ１２）。その後、制御部１５によって走査ライン毎の平均ライン輝度Ｙ１〜Ｙｎが算出される（ステップＳ１３）。次に、制御部１５により、得られた第１の走査ラインの平均ライン輝度Ｙ１と目標とする平均ライン輝度が比較される（ステップＳ１４）。この比較の結果、目標値との間で差分が生じている場合には、制御部１５により、対応データ表から予め計算された係数αを式（１）に適用することにより、第１走査ラインの照明時間ＴＢ１が算出された後、メモリ部１９に格納されている第１走査ラインの照明時間データＴ０に、差分値ΔＴＢが加算又は減算される（ステップＳ１５）。その後、制御部１５により、全ての走査ラインについての平均ライン輝度が取得されながら、ステップＳ１４及びステップＳ１５の処理が繰り返される（ステップＳ１６及びステップＳ１７）。最後に、制御部１５により補正された全走査ラインに対応する照明時間データが、メモリ部１９に格納される（ステップＳ１８）。
【００３１】
上述した標準データの設定及び照明時間データの補正は、撮像部５ｂに対しても同様に処理される。この状態において、検査対象の媒体をカード印刷装置１の搬送路Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３に搬送させることにより、媒体の表面及び裏面の検査が行われる。
【００３２】
以上説明したカード印刷装置１によれば、媒体表面を検査する前に、検査用試料が搬送路Ｌ２，Ｌ３上に搬送され、走査ライン毎に予め記憶した照明時間データに基づいて照明光が照射されると同時に所定の走査周期で撮像される。その結果として得られた走査ライン毎の撮像データの平均輝度に基づいて、平均輝度が目標値に近づくような走査ライン毎の照明時間の補正値が算出され、その後に検査対象の媒体を検査する際には、その補正値に基づいて走査ライン毎に照明時間が変更されて媒体表面の撮像データが取得される。これにより、媒体搬送の際に搬送速度にムラが生じる場合であっても、それに起因して発生する撮像データにおける濃度ムラの発生を効率よく防止することができ、媒体の検査精度が向上する。特に、照明光の照明時間を変更する場合は光強度を調整する場合に比較して撮像部５ａ，５ｂのＬＥＤ発光部の応答性が高いので、画像データの輝度補正の精度がより向上する。
【００３３】
また、制御部１５により検査用試料を対象にして得られた平均ライン輝度に係数１／αを乗ずることによって補正値が算出されるので、画像データの輝度値と照明時間との関係が線形関係に近似されることを利用して補正値を算出することができ、画像データの濃度ムラを確実に補正することができる。
【００３４】
また、ロータリエンコーダ１１からの出力に基づいて、撮像部５ａ，５ｂによる走査タイミング及び照明時間が制御されるので、ＣＣＤラインセンサの走査タイミングとＬＥＤ発光部の照明時間を媒体の搬送速度に応じて制御することができ、媒体表面における走査ラインのピッチを一定にして、画像データの伸縮を防止することができるとともに、照明光の照射タイミングも走査ラインのピッチに合わせることにより輝度のムラを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の好適な一実施形態であるカード印刷装置の内部構成を示す正面図である。
【図２】図１の搬送路及び撮像部の位置関係を示す斜視図である。
【図３】図１のカード印刷装置の主要部のブロック図である。
【図４】搬送路上における媒体の搬送速度がほぼ一定に維持されている状態における（ａ）走査パルス信号、（ｂ）照明制御信号、及び（ｃ）撮像部５ａによる露光時間を示すタイミングチャートである。
【図５】搬送路上における媒体の搬送速度に走査ライン間でムラが発生した状態における（ａ）走査パルス信号、（ｂ）照明制御信号、及び（ｃ）撮像部５ａによる露光時間を示すタイミングチャートである。
【図６】（ａ）は、搬送ムラにより媒体の実際の搬送速度が設定値よりも大きい場合の走査パルス、照明制御信号、及び露光時間を示すタイミングチャート、（ｂ）は、搬送ムラにより媒体の実際の搬送速度が設定値よりも小さい場合の走査パルス、照明制御信号、及び露光時間を示すタイミングチャートである。
【図７】媒体検査前の前工程における標準データの設定手順を示すフローチャートである。
【図８】照明時間データの補正データの設定手順を示すフローチャートである。
【図９】図３の制御部により算出された平均ライン輝度と照明時間との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
【００３６】
１…カード印刷装置、５ａ，５ｂ…撮像部、１０…搬送ベルト（搬送手段）、１１…ロータリエンコーダ、１５…制御部（制御手段）、Ａ…媒体、Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３…搬送路。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物を搬送手段によって所定の搬送速度で搬送路上を搬送させながら、前記検査対象物に向けて発光部から照明光を照射するとともに、ラインセンサによって該検査対象物を所定の走査周期で複数の走査ラインに区切って順次撮像する表面検査装置において、
前記ラインセンサの走査タイミングを制御すると同時に、前記発光部の前記照明光の照明時間を、予め記憶した前記複数の走査ライン毎の照明時間データに基づいて、前記複数の走査ライン毎に制御する制御手段を備え、
前記制御手段は、前記搬送手段によって搬送される補正用試料を対象にして、前記発光部及び前記ラインセンサを制御することにより前記複数の走査ライン毎の撮像データの輝度値を予め取得した後に、前記輝度値が目標値に近づくような前記照明光の照明時間の補正値を算出し、前記補正値を反映した前記複数の走査ライン毎の前記照明時間データを予め記憶し、前記検査対象物の撮像時には該照明時間データに基づいて前記照明光の照明時間を変更する、
ことを特徴とする表面検査装置。
【請求項２】
前記制御手段は、前記補正用試料を対象にして得られた前記輝度値に所定の係数を乗ずることによって前記補正値を算出する、
ことを特徴とする請求項１記載の表面検査装置。
【請求項３】
前記搬送手段による前記検査対象物の搬送速度を検出するエンコーダを更に備え、
前記制御手段は、前記エンコーダからの出力に基づいて、前記走査タイミング及び前記照明光の照明時間を制御する、
ことを特徴とする請求項１又は２記載の表面検査装置。
【請求項１】
検査対象物を搬送手段によって所定の搬送速度で搬送路上を搬送させながら、前記検査対象物に向けて発光部から照明光を照射するとともに、ラインセンサによって該検査対象物を所定の走査周期で複数の走査ラインに区切って順次撮像する表面検査装置において、
前記ラインセンサの走査タイミングを制御すると同時に、前記発光部の前記照明光の照明時間を、予め記憶した前記複数の走査ライン毎の照明時間データに基づいて、前記複数の走査ライン毎に制御する制御手段を備え、
前記制御手段は、前記搬送手段によって搬送される補正用試料を対象にして、前記発光部及び前記ラインセンサを制御することにより前記複数の走査ライン毎の撮像データの輝度値を予め取得した後に、前記輝度値が目標値に近づくような前記照明光の照明時間の補正値を算出し、前記補正値を反映した前記複数の走査ライン毎の前記照明時間データを予め記憶し、前記検査対象物の撮像時には該照明時間データに基づいて前記照明光の照明時間を変更する、
ことを特徴とする表面検査装置。
【請求項２】
前記制御手段は、前記補正用試料を対象にして得られた前記輝度値に所定の係数を乗ずることによって前記補正値を算出する、
ことを特徴とする請求項１記載の表面検査装置。
【請求項３】
前記搬送手段による前記検査対象物の搬送速度を検出するエンコーダを更に備え、
前記制御手段は、前記エンコーダからの出力に基づいて、前記走査タイミング及び前記照明光の照明時間を制御する、
ことを特徴とする請求項１又は２記載の表面検査装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【公開番号】特開２００９−１３３７６４（Ｐ２００９−１３３７６４Ａ）
【公開日】平成２１年６月１８日（２００９．６．１８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−３１１０３０（Ｐ２００７−３１１０３０）
【出願日】平成１９年１１月３０日（２００７．１１．３０）
【出願人】（０００００１２２５）日本電産コパル株式会社 (755)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年６月１８日（２００９．６．１８）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年１１月３０日（２００７．１１．３０）
【出願人】（０００００１２２５）日本電産コパル株式会社 (755)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]