被搬送物及び防振機構
【課題】例えば半導体素子製造用の各種基板を収容するＦＯＵＰ等の被搬送物において、耐久性を有する構成により、搬送手段から把持手段及びフランジを介して本体部に伝わる振動を安定して抑制する。
【解決手段】搬送車（１）により搬送されると共に該搬送車に設けられた把持手段（２ａ）により把持される被搬送物（１００）は、本体部（１１）と、把持手段により把持されるフランジ（１２）と、フランジ及び本体部の間に配置され、搬送車から把持手段及びフランジを介して本体部に伝わる振動を吸収する吸振手段（１３）とを備える。
【解決手段】搬送車（１）により搬送されると共に該搬送車に設けられた把持手段（２ａ）により把持される被搬送物（１００）は、本体部（１１）と、把持手段により把持されるフランジ（１２）と、フランジ及び本体部の間に配置され、搬送車から把持手段及びフランジを介して本体部に伝わる振動を吸収する吸振手段（１３）とを備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体素子製造用の各種基板を収容するＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）等の被搬送物、及び該被搬送物を搬送する際に生じる振動を防止する防振機構の技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の被搬送物の防振機構として、ＦＯＵＰを構成するＦＯＵＰ本体とその内部に配置される棚部とが、別体に構成されており、これらＦＯＵＰ本体と棚部との間に、弾性体を介在させることにより、搬送の際に生じる振動を吸収する機構がある（特許文献１参照）。このようなＦＯＵＰが搬送される際には、典型的には、ビークル等の搬送車に設けられたグリッパにより、ＦＯＵＰ本体の上面に一体に設けられたフランジが把持されることで、搬送車の下方にＦＯＵＰが吊り下がった状態となる。
【０００３】
また、フランジとＦＯＵＰ本体との間に弾性体を介在させることで、搬送時の振動を吸収する防振機構もある。具体的には、例えば弾性体において、一端がボルト等の固定手段によりグリッパの下面に、他端が同様の固定手段によりＦＯＵＰ本体の上面に取り付けられている。フランジ及びＦＯＵＰ本体は、このような弾性体を介して、上下方向に連結されている。ＦＯＵＰが搬送される際には、ＦＯＵＰ本体の荷重で、弾性体が下方へ引っ張られた状態となる。
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１２３６７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述した特許文献１記載の防振機構によれば、弾性体により、ＦＯＵＰ本体から棚部へ伝わる振動の少なくとも一部が吸収されることで、棚部に収納されている、例えばウェハ等の基板の振動が抑制される。しかしながら、弾性体が変形することで、ＦＯＵＰ本体と棚部との位置ずれが発生してしまう恐れがある。
【０００６】
一般的に、搬送車により搬送されているＦＯＵＰは、基板に各種処理を施すための、例えば処理ステーションに設置されたロードポート等の載置台に載置される。すると、ＦＯＵＰと処理ステーションとは、相互の開口部が合うように連結され、処理ステーション内に設置される、例えばハンドリング用ロボットにより、棚部に収納されている基板が順次処理ステーション内に取り入れられる。通常、ハンドリング用ロボット（以下、単に「ロボット」と言う）は、載置台の上面から基板の高さを基準として、上下方向で位置決めされる。このため、ＦＯＵＰ本体と棚部とに位置ずれが生じてしまうと、基板とロボットとに位置ずれが生じることになり、ロボットによる正確なハンドリングを阻害してしまう。このような一連の位置ずれは、搬送時に、搬送車からグリッパ及びフランジを介してＦＯＵＰ本体に伝わる振動に起因する。
【０００７】
また、フランジ及びＦＯＵＰ本体が弾性体により連結される上述の防振機構によれば、ゴムやゲル等からなる弾性体では、その引っ張りの強度が低いために、所定期間以上継続して使用されると、弾性体が破断等で損傷する恐れがあり、ＦＯＵＰ本体の落下を招きかねない。
【０００８】
本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、耐久性を有する構成により、搬送車からグリッパ等の把持部及びフランジを介して、ＦＯＵＰ本体等の被搬送物本体に伝わる振動を抑制することを可能ならしめる被搬送物、及び該被搬送物の防振機構を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の被搬送物は上記課題を解決するために、搬送車により搬送されると共に該搬送車に設けられた把持手段により把持される被搬送物であって、本体部と、前記把持手段により把持されるフランジと、前記フランジ及び前記本体部の間に配置され、前記搬送車から前記把持手段及び前記フランジを介して前記本体部に伝わる振動を吸収する吸振手段とを備え、前記吸振手段は、弾性材料から形成されており、圧縮された状態で、前記フランジ及び前記本体部の間に一又は複数配置される。
【００１０】
本発明の被搬送物によれば、例えばＦＯＵＰ等である当該被搬送物は、搬送車により搬送される。搬送車は、例えばビークル等であって、半導体素子製造用の施設内に敷設された軌道上を走行すると共に、該軌道に沿って配設される製造装置やストッカ等に対して被搬送物の搬送を行う。このような搬送車は、例えばその内部に昇降可能なホイストを備えており、このホイストには、被搬送物を把持するためのグリッパ等の把持手段が設けられる。
【００１１】
本発明の被搬送物は、本体部と、フランジと、吸振手段とを備える。本体部は、例えばその内部に複数の棚を備えており、各棚に、半導体素子製造用の各種基板を収納可能である。具体的に、本体部は、例えば各種基板を収納可能な収納部と、フランジにより保持される被保持部との２つの部位からなっており、例えばこの被保持部の一部が鍔部となっている。また、フランジは、例えば搬送車の把持手段により把持される被把持部と、本体部の被保持部を保持する保持部との２つの部位からなっている。被把持部は、当該被搬送物が搬送される際に、把持手段により把持される。保持部は、例えば両端部が内側に屈曲され、側方から視て左右対称の形状とする。当該被搬送物の組み立て段階で、この両端部が被保持部（本体部）の鍔部の下方に配置されることで、フランジ及び本体部が接続される。この接続により、搬送時にフランジが把持手段により把持される状態（以下、「把持状態」と謂う）では、本体部の荷重により、保持部が鍔部を下面側から支持する状態、言い換えれば、フランジに本体部が吊り下がった状態となる。
【００１２】
ここで特に、搬送車の走行に伴って生じる振動は、搬送車から、該搬送車に設けられるグリッパ、及び該グリッパに把持されるフランジを介して、本体部に伝わる。しかるに、本発明によれば、このような振動を防止又は抑制するために、フランジ及び本体部の間に、吸振手段が配置される。
【００１３】
吸振手段は、当該被搬送物の組み立て段階で、フランジの保持部、及び本体部の被保持部（鍔部）の間に配置される。この配置により、フランジ及び本体部の間で圧縮される吸振手段が、搬送車の走行に伴う振動に応じて、本来の形状を変形させることで、搬送車からの振動の少なくとも一部を吸収する。具体的には、吸振手段は、圧縮された弾性材料の弾力によって、極めて効率よく、フランジから本体部へ伝わろうとする振動を吸収できる。また、弾性材料の着座も極めて安定すると共に、弾性材料の寿命を長くすることも容易にして可能となる。特に、弾性材料の破断を容易にして回避できる。
【００１４】
吸振手段は、例えば適度の弾性を有するゴムや樹脂、ゲル等からなる。この吸振手段は、その形体として、例えば本体部の鍔部の下面に沿うように、例えば１つの輪体であったり、複数の直方体であってもよい。吸振手段として、例えば４個の直方体が配置される場合、振動が４箇所に分散されるので、１つの輪体が配置されるのと比較して、本体部への振動を抑制することができる。
【００１５】
特に、背景技術と比べると、本発明によれば、本体部に伝わる振動が抑制されるので、各種機構、各種機械的部品などが備えられる本体部における故障発生等を著しく低減できる。これと共に、本体部が振動により搬送車の内壁などに衝突するような不都合も効果的に回避可能となる。逆に言えば、本体部及びその内部に対して、要求される機械耐性は著しく低くて済み、これらとして簡易な構造の採用も可能となり、実践上大変有利となる。
【００１６】
以上のように、フランジ及び本体部の間で圧縮される吸振手段を配置することで、これらフランジ及び本体部の間の振動を吸振手段により吸収して、搬送車からグリッパ（把持部）及びフランジを介して本体部に伝わる振動を抑制することができる。更に、搬送時に、吸振手段が圧縮される構成により、吸振手段が引っ張られる構成と比較して、吸振手段の耐久性を確保すると共に、振動を安定して抑制することができる。
【００１７】
本発明の被搬送物の一態様では、前記本体部は、その上面に鍔部を有し、前記フランジは、前記吸振手段を介して、前記鍔部を下面側から支持する。
【００１８】
ここで、本発明に類似する背景技術に、吸振手段である連結部と、フランジと、本体部とを備え、連結部を介してフランジと本体部とを連結している被搬送物がある。該連結部が、例えばゴムやゲル等からなる弾性体からなる場合に、その引っ張りの強度が低いために、所定期間以上継続して連結部が使用されると、連結部に破断等の損壊が生じて、ＦＯＵＰ本体が把持部から離脱してしまう恐れがある。本発明によれば、フランジが吸振手段を介して本体部の鍔部を下面側から支持する構造とされるので、本体部が離脱する可能性は殆ど無い。
【００１９】
この態様によれば、把持状態では、フランジに本体部が吊り下がった状態になり、本体部の荷重により吸振手段が圧縮される。この圧縮される吸振手段は、搬送車からの振動に応じて本来の形状を変形させることで、本体部に伝わる振動を抑制することができる。
【００２０】
この態様では、前記フランジの下面側に螺子込まれており、頭部及び螺子切り部を有するＴ型のボルトを更に備え、前記鍔部には、前記螺子切り部を挿通可能な孔部が設けられており、前記ボルトは、前記鍔部の下面側から前記孔部に挿通された前記螺子切り部の先端部が前記フランジの下面側に螺子込まれて固定されることにより、前記フランジ及び前記本体部を相互に接続し、前記吸振手段は、前記頭部及び前記本体部の間に配置されてもよい。
【００２１】
このように構成すれば、ボルトを介して、フランジ及び本体部が接続される。具体的に、フランジは、例えば上述の被把持部であって、特にこの被把持部には、ボルトの螺子切り部と螺合するナットが埋め込まれている。本体部は、例えば上述の収納部と、上述の被保持部との２つの部位からなっており、特に被保持部の鍔部には、螺子切り部を挿通可能な孔部が形成されている。ボルトについて、頭部は、その直径が孔部の内径よりも大きく形成されており、鍔部の下面に当接する。また、螺子切り部は、鍔部の下面側から孔部に挿通され、挿通されたその先端部がフランジ（被把持部）のナットに螺合される。この螺合により、フランジの下面及び被保持部の上面の間に所定間隔を保ちつつ、フランジに本体部が固定される。
【００２２】
当該被搬送物の組み立て段階で、フランジ及び本体部を接続するには、被保持部（本体部）の上面の所定の接続位置に被把持部（フランジ）が配置され、更に本体部の下面且つ孔部の周囲に吸振手段が配置される。続いて、配置された吸振手段側から孔部にボルトの螺子切り部が挿通され、挿通されたその先端部が被把持部のナットに螺合される。この螺合により、フランジ及び本体部が接続される。この場合、把持状態で、本体部がフランジに吊り下がった状態になると共に、被把持部(フランジ)に固定されるボルトの頭部、及び本体部の間で吸振手段が圧縮される。
【００２３】
このように、吸振手段は、ボルトの頭部、及び本体部の間に配置される。この配置により、搬送車から把持部及びフランジを介して本体部に伝わる振動を吸振手段により抑制することができる。
【００２４】
本発明の被搬送物の他の態様では、前記本体部の上面側に螺子込まれており、頭部及び螺子切り部を有するＴ型のボルトを更に備え、前記フランジには、前記螺子切り部を挿通可能な孔部が設けられており、前記ボルトは、前記フランジの上面側から前記孔部に挿通された前記螺子切り部の先端部が前記本体部に螺子込まれて固定されることにより、前記フランジ及び前記本体部を相互に接続し、前記吸振手段は、前記フランジ及び前記頭部の間に配置される。
【００２５】
この態様によれば、ボルトを介して、フランジ及び本体部が接続される。具体的に、本体部は、例えば上述の収納部と、該収納部の上面に一体に設けられ、ボルトの螺子切り部と螺合するナットが埋め込まれた固定部との２つの部位からなっている。固定部は、例えば側方から視て左右対称な２つの部位から構成してもいいし、１つの部位のみで構成してもよい。フランジは、例えば上述の被把持部であって、特に被把持部には、螺子切り部を挿通可能な孔部が形成されている。ボルトについて、頭部は、その直径が孔部の内径よりも大きく形成されており、フランジ（被把持部）の上面に当接する。また、螺子切り部は、フランジの上面側から孔部に挿通され、挿通されたその先端部が固定部（本体部）のナットに螺合される。この螺合により、フランジの下面及び固定部の上面の間に所定間隔を保ちつつ、フランジに本体部が固定される。
【００２６】
当該被搬送物の組み立て段階で、フランジ及び本体部を接続するには、固定部（本体部）の上面の所定の接続位置に被把持部（フランジ）が配置され、更に配置された被把持部の孔部の周囲に吸振手段が配置される。続いて、配置された吸振手段側から孔部にボルトの螺子切り部が挿通され、挿通されたその先端部が固定部のナットに螺合される。この螺合により、フランジ及び本体部が接続される。この場合、把持状態で、本体部がフランジに吊り下がった状態になると共に、フランジ、及び固定部（本体部）に固定されるボルトの頭部の間で吸振手段が圧縮される。
【００２７】
このように、吸振手段は、フランジ、及びボルトの頭部の間に配置される。この配置により、搬送車から把持部及びフランジを介して本体部に伝わる振動を吸振手段により抑制することができる。
【００２８】
上述のボルトを備える態様では、前記孔部は、複数設けられ、前記ボルトは、前記複数の孔部に対応して複数備えられ、前記吸振手段は、前記複数のボルトに対応して複数配置されてもよい。
【００２９】
このように構成すれば、吸振手段は、例えば適度の弾性を有するゴムや樹脂、ゲル等からなる。この吸振手段は、その形体として、ボルトの頭部に沿うように、例えば１つの輪体であることが望ましい。例えば１つのボルトに対応する吸振手段が１つの輪体とする場合に、フランジ（例えば被把持部）又は本体部（例えば被保持部）に孔部が複数設けられる場合に、複数の孔部に対応してボルトが複数使用されると共に、複数のボルトに対応して吸振手段が複数配置される。即ち、フランジ又は本体部の孔部、ボルト、及び吸振手段の数は、同一になる。このように、吸振手段である輪体が複数配置される場合、振動が複数箇所に分散されるので、輪体が１つ配置されるのと比較して、本体部への振動を抑制することができる。
【００３０】
本発明の被搬送物の防振機構は上記課題を解決するために、搬送車により搬送されると共に該搬送車に設けられた把持手段により把持される被搬送物の防振機構であって、前記被搬送物の本体部と前記被搬送物における前記把持手段により把持されるフランジとの間に配置され、前記搬送車から前記把持手段及び前記フランジを介して前記本体部に伝わる振動を吸収する吸振手段を備え、前記吸振手段は、弾性材料から形成されており、圧縮された状態で、前記本体部及び前記フランジの間に一又は複数配置される。
【００３１】
本発明の被搬送物の防振機構によれば、上述した本発明に係る被搬送物の場合と同様に、フランジ及び本体部の間で圧縮される吸振手段を配置することで、これらフランジ及び本体部の間の振動を吸振手段により吸収して、搬送車からグリッパ（把持部）及びフランジを介して本体部に伝わる振動を抑制することができる。更に、搬送時に、吸振手段が圧縮される構成により、吸振手段が引っ張られる構成と比較して、吸振手段の耐久性を確保すると共に、振動を安定して抑制することができる。
【００３２】
尚、本発明に係る防振機構においても、上述した本発明に係る被搬送物における各種態様と同様の各種態様を採ることが可能である。
【００３３】
本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための最良の形態から明らかにされる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
以下、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。
【００３５】
＜第１実施形態＞
【００３６】
先ず、第１実施形態に係る被搬送物の構成について図１及び図２を参照して説明する。ここに図１は、第１実施形態に係る被搬送物を概略的に示す正面図であり、図２は、第１実施形態に係る被搬送物を上面側から視た上面図である。
【００３７】
図１において、第１実施形態に係る被搬送物１００は、例えばＯＨＴ或いはビークルである搬送車１により、レールに沿って搬送される。この搬送の際、被搬送物１００は、搬送車１の底側に設けられたグリッパ２により把持される。グリッパ２は、本発明に係る「把持手段」の一例として、被搬送物１００を把持する把持状態、及び被搬送物１００を解放する解放状態に変位可能な把持部２ａを備える。即ち、把持部２ａの両端部は、内側に屈曲可能に構成されており、把持状態において、それら先端が対向している。図１に示すように、把持部２ａは、把持状態で両端部が後述のフランジ１２を下面側から支持することで、被搬送物１００を把持する。
【００３８】
被搬送物１００は、本体部１１と、フランジ１２と、吸振部材１３とを備えており、本発明では特に、搬送車１からグリッパ２及びフランジ１２を介して本体部１１に伝わる振動を吸振部材１３が抑制するように構成されている。
【００３９】
本体部１１は、収納部１１ａと、被保持部１１ｂとを有する。収納部１１ａは、内部に複数の棚部（図示せず）を備えており、各棚部に、半導体素子製造用の各種基板を収納可能である。被保持部１１ｂは、収納部１１ａの上面に固着されており、被保持部１１ｂの一部は、鍔部になっている。
【００４０】
フランジ１２は、被把持部１２ａと、保持部１２ｂとを有する。被把持部１２ａは、把持部２ａに下面側から支持されることで、グリッパ２に把持される。保持部１２ｂは、被把持部１２ａの下面に固着されている。保持部１２ｂの両端部は、内側に屈曲されており、それら先端が対向している。これら両端部は、被保持部１１ｂの鍔部の下方に位置する。このため、把持部２ａが被把持部１２ａを把持する状態（把持状態）で、保持部１２ｂは、被保持部１１ｂの鍔部を支持すると共に、本体部１１全体を保持する。
【００４１】
吸振部材１３は、本発明に係る「吸振手段」の一例として、ゴムから形成されており、図２に示すように、４つの直方体から構成される。吸振部材１３は、フランジ１２及び本体部１１の間、詳しくは、保持部１２ｂ及び被保持部１１ｂの鍔部の間に配置されている。各吸振部材１３は、これら保持部１２ｂ及び被保持部１１ｂの間で変形自在に圧縮されることで、本体部１１に伝わる振動を吸収する。尚、吸振部材１３は、ゴムの他に、樹脂やゲル等から形成されてもよい。
【００４２】
再び図１において、第１実施形態の被搬送物１００が搬送車１により搬送される状態について説明する。被搬送物１００が搬送される際には、把持状態とされる把持部２ａにより、被把持部１２ａが把持される。この時、被搬送物１００において、保持部１２ｂにより被保持部１１ｂが吸振部材１３を介して支持されると共に、吸振部材１３が本体部１１全体の荷重で圧縮される。この圧縮された吸振部材１３が、振動に応じて変形されることで、本体部１１に伝わる振動が抑制される。
【００４３】
このように、第１実施形態によれば、フランジ１２及び本体部１１の間で圧縮される吸振部材１３を配置するので、搬送車１からグリッパ２及びフランジ１２を介して本体部１１に伝わる振動を抑制すると共に、吸振部材１３の耐久性を確保することができる。
【００４４】
尚、第１実施形態の被搬送物１００では、吸振部材１３が４つの直方体から構成されるが、被保持部１１ｂの鍔部に沿った１つの輪体としてもよい。
【００４５】
＜第２実施形態＞
【００４６】
次に、第２実施形態に係る被搬送物の構成について図３及び図４を参照して説明する。ここに図３は、第２実施形態に係る被搬送物を概略的に示す正面図であり、図４は、第２実施形態に係る被搬送物を上面側から視た上面図である。以下、第１実施形態の被搬送物１００と略同一に構成される部位について、被搬送物１００の場合と同名又は同一の符号を付すと共に、その説明を省略し、本実施形態の特徴的内容について特に記載する。
【００４７】
第２実施形態に係る被搬送物２００は、第１実施形態の被搬送物１００と比較して、吸振手段の形体、並びに被保持部（本体部）及び保持部（フランジ）の形体が異なる。また、本体部及びフランジの接続にボルトが使用される。
【００４８】
図３において、被搬送物２００は、本体部２１と、フランジ２２と、吸振部材２３と、ボルト２４とを備える。
【００４９】
本体部２１は、収納部２１ａと、被保持部２１ｂとを有する。被保持部２１ｂの一部は鍔部になっており、図４に示すように、特に鍔部には、４つの孔部２１ｃが開けられている。これら４つの孔部２１ｃの内径は、後述のボルト２４の螺子切り部２４ｂを挿通可能な大きさに形成されている。
【００５０】
フランジ２２は、グリッパ２により把持される被把持部２２ａである。被把持部２２ａの下面には、ナット２２ｃが埋め込まれている。このナット２２ｃにボルト２４の螺子切り部２４ｂの先端部が螺合されることで、フランジ２２及び本体部２１が接続される。
【００５１】
ボルト２４は、頭部２４ａと、螺子切り部２４ｂとを有するＴ型ボルトである。頭部２４ａの直径は、孔部２１ｃの内径よりも大きく形成されている。螺子切り部２４ｂは、被保持部２１ｂの下面側から孔部２１ｃに挿通されており、挿通された先端部が、被把持部２２ａのナット２２ｃに螺合されている。この螺合により、被把持部２２ｂの下面、及び本体部２１の被保持部２１ｂの上面の間に所定間隔を保ちつつ、フランジ２２に本体部２１全体が保持される。図４に示すように、ボルト２４は、４つの孔部２１ｃに対応して４つ使用される。
【００５２】
吸振部材２３は、ボルト２４の頭部２４ａ、及び本体部２１の被保持部２１ｂの間に配置されている。各吸振部材２３は、これら頭部２４ａ及び被保持部２１ｂの間で変形自在に圧縮されることで、本体部２１に伝わる振動を吸収する。
【００５３】
再び図３において、第２実施形態の被搬送物２００が搬送される状態について説明する。被搬送物２００が搬送される際には、把持状態とされる把持部２ａにより、被把持部２２ａが把持される。この時、被搬送物２００において、被把持部２２ａに固定されたボルト２４により、被保持部２１ｂが吸振部材２３を介して支持されると共に、吸振部材２３が、ボルト２４の頭部２４ａ及び被保持部２１ｂの間で、本体部２１全体の荷重により圧縮される。この圧縮された吸振部材２３が、振動に応じて変形されることで、本体部２１に伝わる振動が抑制される。
【００５４】
このように、第２実施形態によれば、フランジ２２に固定されたボルト２４の頭部２４ａ、及び本体部２１の間で圧縮される吸振部材２３を配置するので、搬送車１からグリッパ２及びフランジ２２を介して本体部２１に伝わる振動を抑制すると共に、吸振部材２３の耐久性を確保することができる。
【００５５】
尚、第２実施形態の被搬送物２００では、吸振部材２３が４つの輪体から構成されるが、各輪体を複数の直方体から構成してもよい。
【００５６】
＜第３実施形態＞
【００５７】
次に、第３実施形態に係る被搬送物の構成について図５及び図６を参照して説明する。ここに図５は、第３実施形態に係る被搬送物を概略的に示す正面図であり、図６は、第３実施形態に係る被搬送物を上面側から視た上面図である。以下、第２実施形態の被搬送物２００と略同一に構成される部位について、被搬送物１００及び２００の場合と同名又は同一の符号を付すと共に、その説明を省略し、本実施形態の特徴的内容について特に記載する。
【００５８】
第３実施形態に係る被搬送物３００は、第２実施形態の被搬送物２００と比較して、被保持部（本体部）及び保持部（フランジ）の形体、並びに本体部及びフランジを接続するボルトの配置が異なる。
【００５９】
図５において、被搬送物３００は、本体部３１と、フランジ３２と、吸振部材３３と、ボルト３４とを備える。
【００６０】
本体部３１は、収納部３１ａと、固定部３１ｂとを有する。固定部３１ｂは、収納部３１ａの上面に固着されている。固定部３１ｂの上面には、ナット３１ｃが埋め込まれており、このナット３１ｃに後述のボルト３４の螺子切り部３４ｂの端部が螺合されることで、フランジ３２及び本体部３１が接続される。
【００６１】
ボルト３４は、頭部３４ａと、螺子切り部３４ｂとを有するＴ型ボルトである。頭部３４ａの直径は、後述のフランジ３２の孔部３２ｃの内径よりも大きく形成されている。螺子切り部３４ｂは、フランジ３２の被把持部３２ａの上面側から孔部３２ｃに挿通されており、挿通された先端部が、固定部３１ｂのナット３１ｃに螺合されている。この螺合により、被把持部３２ａの下面、及び固定部３１ｂの上面の間に所定間隔を保ちつつ、フランジ部３２に本体部３１全体が保持される。図６に示すように、ボルト３４は、フランジ３２の４つの孔部３２ｃに対応して４つ使用される。
【００６２】
フランジ３２は、グリッパ２により把持される被把持部３２ａであって、特に被保持部３２ａには、４つの孔部３２ｃが開けられている。これら４つの孔部３２ｃの内径は、螺子切り部３４ｂを挿通可能な大きさに形成されている。
【００６３】
吸振部材３３は、フランジ３２の被把持部３２ａ、及びボルト３４の頭部３４ａの間に配置されている。各吸振部材３３は、これら被把持部３２ａ及び頭部２４ａの間で変形自在に圧縮されることで、本体部３１に伝わる振動を吸収する。
【００６４】
再び図５において、第３実施形態の被搬送物が搬送される状態について説明する。被搬送物３００が搬送される際には、把持状態とされる把持部２ａにより、被把持部３２ａが把持される。この時、被搬送物３００において、被把持部３２ａに挿通されると共に固定部３１ｂに固定されたボルト３４により、本体部３１全体が吸振部材２３を介して吊り下げられると共に、吸振部材３３が、被把持部３２ａ及びボルト３４の頭部３４ａの間で、本体部３１全体の荷重により圧縮される。この圧縮された吸振部材３３が、振動に応じて変形されることで、本体部３１に伝わる振動が抑制される。
【００６５】
このように、第３実施形態によれば、フランジ３２、及び本体部３１に固定されたボルト３４の頭部３４ａの間で圧縮される吸振部材３３を配置するので、搬送車１からグリッパ２及びフランジ３２を介して本体部３１に伝わる振動を抑制すると共に、吸振部材３３の耐久性を確保することができる。
【００６６】
尚、第３実施形態の被搬送物３００では、固定部３１ｂが２つの部位から構成されるが、１つの部位で構成されてもよい。例えば、図７に示すように、第３実施形態の変形形態である被搬送物４００の本体部４１は、収納部４１ａと、固定部４１ｂと、ボルト４３とを有する。固定部４１ｂは、２つの部位に別離されずに、１つの部位になっており、この１つの部位に複数のナット４１ｃが埋め込まれている。このように、固定部を１つの部位にすることで、振動の大きさや方向に応じて、振動をより抑制することができる。
【００６７】
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う被搬送物の防振機構もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】第１実施形態に係る被搬送物を示す概略的正面図である。
【図２】第１実施形態に係る被搬送物を上面側から視た上面図である。
【図３】第２実施形態に係る被搬送物を示す概略的正面図である。
【図４】第２実施形態に係る被搬送物を上面側から視た上面図である。
【図５】第３実施形態に係る被搬送物を示す概略的正面図である。
【図６】第３実施形態に係る被搬送物を上面側から視た上面図である。
【図７】第３実施形態の変形形態に係る被搬送物を示す概略的正面図である。
【符号の説明】
【００６９】
１…搬送車、２…グリッパ、１１…本体部、１２…フランジ、１３…吸振部材、１００…被搬送物
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体素子製造用の各種基板を収容するＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）等の被搬送物、及び該被搬送物を搬送する際に生じる振動を防止する防振機構の技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の被搬送物の防振機構として、ＦＯＵＰを構成するＦＯＵＰ本体とその内部に配置される棚部とが、別体に構成されており、これらＦＯＵＰ本体と棚部との間に、弾性体を介在させることにより、搬送の際に生じる振動を吸収する機構がある（特許文献１参照）。このようなＦＯＵＰが搬送される際には、典型的には、ビークル等の搬送車に設けられたグリッパにより、ＦＯＵＰ本体の上面に一体に設けられたフランジが把持されることで、搬送車の下方にＦＯＵＰが吊り下がった状態となる。
【０００３】
また、フランジとＦＯＵＰ本体との間に弾性体を介在させることで、搬送時の振動を吸収する防振機構もある。具体的には、例えば弾性体において、一端がボルト等の固定手段によりグリッパの下面に、他端が同様の固定手段によりＦＯＵＰ本体の上面に取り付けられている。フランジ及びＦＯＵＰ本体は、このような弾性体を介して、上下方向に連結されている。ＦＯＵＰが搬送される際には、ＦＯＵＰ本体の荷重で、弾性体が下方へ引っ張られた状態となる。
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１２３６７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述した特許文献１記載の防振機構によれば、弾性体により、ＦＯＵＰ本体から棚部へ伝わる振動の少なくとも一部が吸収されることで、棚部に収納されている、例えばウェハ等の基板の振動が抑制される。しかしながら、弾性体が変形することで、ＦＯＵＰ本体と棚部との位置ずれが発生してしまう恐れがある。
【０００６】
一般的に、搬送車により搬送されているＦＯＵＰは、基板に各種処理を施すための、例えば処理ステーションに設置されたロードポート等の載置台に載置される。すると、ＦＯＵＰと処理ステーションとは、相互の開口部が合うように連結され、処理ステーション内に設置される、例えばハンドリング用ロボットにより、棚部に収納されている基板が順次処理ステーション内に取り入れられる。通常、ハンドリング用ロボット（以下、単に「ロボット」と言う）は、載置台の上面から基板の高さを基準として、上下方向で位置決めされる。このため、ＦＯＵＰ本体と棚部とに位置ずれが生じてしまうと、基板とロボットとに位置ずれが生じることになり、ロボットによる正確なハンドリングを阻害してしまう。このような一連の位置ずれは、搬送時に、搬送車からグリッパ及びフランジを介してＦＯＵＰ本体に伝わる振動に起因する。
【０００７】
また、フランジ及びＦＯＵＰ本体が弾性体により連結される上述の防振機構によれば、ゴムやゲル等からなる弾性体では、その引っ張りの強度が低いために、所定期間以上継続して使用されると、弾性体が破断等で損傷する恐れがあり、ＦＯＵＰ本体の落下を招きかねない。
【０００８】
本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、耐久性を有する構成により、搬送車からグリッパ等の把持部及びフランジを介して、ＦＯＵＰ本体等の被搬送物本体に伝わる振動を抑制することを可能ならしめる被搬送物、及び該被搬送物の防振機構を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の被搬送物は上記課題を解決するために、搬送車により搬送されると共に該搬送車に設けられた把持手段により把持される被搬送物であって、本体部と、前記把持手段により把持されるフランジと、前記フランジ及び前記本体部の間に配置され、前記搬送車から前記把持手段及び前記フランジを介して前記本体部に伝わる振動を吸収する吸振手段とを備え、前記吸振手段は、弾性材料から形成されており、圧縮された状態で、前記フランジ及び前記本体部の間に一又は複数配置される。
【００１０】
本発明の被搬送物によれば、例えばＦＯＵＰ等である当該被搬送物は、搬送車により搬送される。搬送車は、例えばビークル等であって、半導体素子製造用の施設内に敷設された軌道上を走行すると共に、該軌道に沿って配設される製造装置やストッカ等に対して被搬送物の搬送を行う。このような搬送車は、例えばその内部に昇降可能なホイストを備えており、このホイストには、被搬送物を把持するためのグリッパ等の把持手段が設けられる。
【００１１】
本発明の被搬送物は、本体部と、フランジと、吸振手段とを備える。本体部は、例えばその内部に複数の棚を備えており、各棚に、半導体素子製造用の各種基板を収納可能である。具体的に、本体部は、例えば各種基板を収納可能な収納部と、フランジにより保持される被保持部との２つの部位からなっており、例えばこの被保持部の一部が鍔部となっている。また、フランジは、例えば搬送車の把持手段により把持される被把持部と、本体部の被保持部を保持する保持部との２つの部位からなっている。被把持部は、当該被搬送物が搬送される際に、把持手段により把持される。保持部は、例えば両端部が内側に屈曲され、側方から視て左右対称の形状とする。当該被搬送物の組み立て段階で、この両端部が被保持部（本体部）の鍔部の下方に配置されることで、フランジ及び本体部が接続される。この接続により、搬送時にフランジが把持手段により把持される状態（以下、「把持状態」と謂う）では、本体部の荷重により、保持部が鍔部を下面側から支持する状態、言い換えれば、フランジに本体部が吊り下がった状態となる。
【００１２】
ここで特に、搬送車の走行に伴って生じる振動は、搬送車から、該搬送車に設けられるグリッパ、及び該グリッパに把持されるフランジを介して、本体部に伝わる。しかるに、本発明によれば、このような振動を防止又は抑制するために、フランジ及び本体部の間に、吸振手段が配置される。
【００１３】
吸振手段は、当該被搬送物の組み立て段階で、フランジの保持部、及び本体部の被保持部（鍔部）の間に配置される。この配置により、フランジ及び本体部の間で圧縮される吸振手段が、搬送車の走行に伴う振動に応じて、本来の形状を変形させることで、搬送車からの振動の少なくとも一部を吸収する。具体的には、吸振手段は、圧縮された弾性材料の弾力によって、極めて効率よく、フランジから本体部へ伝わろうとする振動を吸収できる。また、弾性材料の着座も極めて安定すると共に、弾性材料の寿命を長くすることも容易にして可能となる。特に、弾性材料の破断を容易にして回避できる。
【００１４】
吸振手段は、例えば適度の弾性を有するゴムや樹脂、ゲル等からなる。この吸振手段は、その形体として、例えば本体部の鍔部の下面に沿うように、例えば１つの輪体であったり、複数の直方体であってもよい。吸振手段として、例えば４個の直方体が配置される場合、振動が４箇所に分散されるので、１つの輪体が配置されるのと比較して、本体部への振動を抑制することができる。
【００１５】
特に、背景技術と比べると、本発明によれば、本体部に伝わる振動が抑制されるので、各種機構、各種機械的部品などが備えられる本体部における故障発生等を著しく低減できる。これと共に、本体部が振動により搬送車の内壁などに衝突するような不都合も効果的に回避可能となる。逆に言えば、本体部及びその内部に対して、要求される機械耐性は著しく低くて済み、これらとして簡易な構造の採用も可能となり、実践上大変有利となる。
【００１６】
以上のように、フランジ及び本体部の間で圧縮される吸振手段を配置することで、これらフランジ及び本体部の間の振動を吸振手段により吸収して、搬送車からグリッパ（把持部）及びフランジを介して本体部に伝わる振動を抑制することができる。更に、搬送時に、吸振手段が圧縮される構成により、吸振手段が引っ張られる構成と比較して、吸振手段の耐久性を確保すると共に、振動を安定して抑制することができる。
【００１７】
本発明の被搬送物の一態様では、前記本体部は、その上面に鍔部を有し、前記フランジは、前記吸振手段を介して、前記鍔部を下面側から支持する。
【００１８】
ここで、本発明に類似する背景技術に、吸振手段である連結部と、フランジと、本体部とを備え、連結部を介してフランジと本体部とを連結している被搬送物がある。該連結部が、例えばゴムやゲル等からなる弾性体からなる場合に、その引っ張りの強度が低いために、所定期間以上継続して連結部が使用されると、連結部に破断等の損壊が生じて、ＦＯＵＰ本体が把持部から離脱してしまう恐れがある。本発明によれば、フランジが吸振手段を介して本体部の鍔部を下面側から支持する構造とされるので、本体部が離脱する可能性は殆ど無い。
【００１９】
この態様によれば、把持状態では、フランジに本体部が吊り下がった状態になり、本体部の荷重により吸振手段が圧縮される。この圧縮される吸振手段は、搬送車からの振動に応じて本来の形状を変形させることで、本体部に伝わる振動を抑制することができる。
【００２０】
この態様では、前記フランジの下面側に螺子込まれており、頭部及び螺子切り部を有するＴ型のボルトを更に備え、前記鍔部には、前記螺子切り部を挿通可能な孔部が設けられており、前記ボルトは、前記鍔部の下面側から前記孔部に挿通された前記螺子切り部の先端部が前記フランジの下面側に螺子込まれて固定されることにより、前記フランジ及び前記本体部を相互に接続し、前記吸振手段は、前記頭部及び前記本体部の間に配置されてもよい。
【００２１】
このように構成すれば、ボルトを介して、フランジ及び本体部が接続される。具体的に、フランジは、例えば上述の被把持部であって、特にこの被把持部には、ボルトの螺子切り部と螺合するナットが埋め込まれている。本体部は、例えば上述の収納部と、上述の被保持部との２つの部位からなっており、特に被保持部の鍔部には、螺子切り部を挿通可能な孔部が形成されている。ボルトについて、頭部は、その直径が孔部の内径よりも大きく形成されており、鍔部の下面に当接する。また、螺子切り部は、鍔部の下面側から孔部に挿通され、挿通されたその先端部がフランジ（被把持部）のナットに螺合される。この螺合により、フランジの下面及び被保持部の上面の間に所定間隔を保ちつつ、フランジに本体部が固定される。
【００２２】
当該被搬送物の組み立て段階で、フランジ及び本体部を接続するには、被保持部（本体部）の上面の所定の接続位置に被把持部（フランジ）が配置され、更に本体部の下面且つ孔部の周囲に吸振手段が配置される。続いて、配置された吸振手段側から孔部にボルトの螺子切り部が挿通され、挿通されたその先端部が被把持部のナットに螺合される。この螺合により、フランジ及び本体部が接続される。この場合、把持状態で、本体部がフランジに吊り下がった状態になると共に、被把持部(フランジ)に固定されるボルトの頭部、及び本体部の間で吸振手段が圧縮される。
【００２３】
このように、吸振手段は、ボルトの頭部、及び本体部の間に配置される。この配置により、搬送車から把持部及びフランジを介して本体部に伝わる振動を吸振手段により抑制することができる。
【００２４】
本発明の被搬送物の他の態様では、前記本体部の上面側に螺子込まれており、頭部及び螺子切り部を有するＴ型のボルトを更に備え、前記フランジには、前記螺子切り部を挿通可能な孔部が設けられており、前記ボルトは、前記フランジの上面側から前記孔部に挿通された前記螺子切り部の先端部が前記本体部に螺子込まれて固定されることにより、前記フランジ及び前記本体部を相互に接続し、前記吸振手段は、前記フランジ及び前記頭部の間に配置される。
【００２５】
この態様によれば、ボルトを介して、フランジ及び本体部が接続される。具体的に、本体部は、例えば上述の収納部と、該収納部の上面に一体に設けられ、ボルトの螺子切り部と螺合するナットが埋め込まれた固定部との２つの部位からなっている。固定部は、例えば側方から視て左右対称な２つの部位から構成してもいいし、１つの部位のみで構成してもよい。フランジは、例えば上述の被把持部であって、特に被把持部には、螺子切り部を挿通可能な孔部が形成されている。ボルトについて、頭部は、その直径が孔部の内径よりも大きく形成されており、フランジ（被把持部）の上面に当接する。また、螺子切り部は、フランジの上面側から孔部に挿通され、挿通されたその先端部が固定部（本体部）のナットに螺合される。この螺合により、フランジの下面及び固定部の上面の間に所定間隔を保ちつつ、フランジに本体部が固定される。
【００２６】
当該被搬送物の組み立て段階で、フランジ及び本体部を接続するには、固定部（本体部）の上面の所定の接続位置に被把持部（フランジ）が配置され、更に配置された被把持部の孔部の周囲に吸振手段が配置される。続いて、配置された吸振手段側から孔部にボルトの螺子切り部が挿通され、挿通されたその先端部が固定部のナットに螺合される。この螺合により、フランジ及び本体部が接続される。この場合、把持状態で、本体部がフランジに吊り下がった状態になると共に、フランジ、及び固定部（本体部）に固定されるボルトの頭部の間で吸振手段が圧縮される。
【００２７】
このように、吸振手段は、フランジ、及びボルトの頭部の間に配置される。この配置により、搬送車から把持部及びフランジを介して本体部に伝わる振動を吸振手段により抑制することができる。
【００２８】
上述のボルトを備える態様では、前記孔部は、複数設けられ、前記ボルトは、前記複数の孔部に対応して複数備えられ、前記吸振手段は、前記複数のボルトに対応して複数配置されてもよい。
【００２９】
このように構成すれば、吸振手段は、例えば適度の弾性を有するゴムや樹脂、ゲル等からなる。この吸振手段は、その形体として、ボルトの頭部に沿うように、例えば１つの輪体であることが望ましい。例えば１つのボルトに対応する吸振手段が１つの輪体とする場合に、フランジ（例えば被把持部）又は本体部（例えば被保持部）に孔部が複数設けられる場合に、複数の孔部に対応してボルトが複数使用されると共に、複数のボルトに対応して吸振手段が複数配置される。即ち、フランジ又は本体部の孔部、ボルト、及び吸振手段の数は、同一になる。このように、吸振手段である輪体が複数配置される場合、振動が複数箇所に分散されるので、輪体が１つ配置されるのと比較して、本体部への振動を抑制することができる。
【００３０】
本発明の被搬送物の防振機構は上記課題を解決するために、搬送車により搬送されると共に該搬送車に設けられた把持手段により把持される被搬送物の防振機構であって、前記被搬送物の本体部と前記被搬送物における前記把持手段により把持されるフランジとの間に配置され、前記搬送車から前記把持手段及び前記フランジを介して前記本体部に伝わる振動を吸収する吸振手段を備え、前記吸振手段は、弾性材料から形成されており、圧縮された状態で、前記本体部及び前記フランジの間に一又は複数配置される。
【００３１】
本発明の被搬送物の防振機構によれば、上述した本発明に係る被搬送物の場合と同様に、フランジ及び本体部の間で圧縮される吸振手段を配置することで、これらフランジ及び本体部の間の振動を吸振手段により吸収して、搬送車からグリッパ（把持部）及びフランジを介して本体部に伝わる振動を抑制することができる。更に、搬送時に、吸振手段が圧縮される構成により、吸振手段が引っ張られる構成と比較して、吸振手段の耐久性を確保すると共に、振動を安定して抑制することができる。
【００３２】
尚、本発明に係る防振機構においても、上述した本発明に係る被搬送物における各種態様と同様の各種態様を採ることが可能である。
【００３３】
本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための最良の形態から明らかにされる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
以下、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。
【００３５】
＜第１実施形態＞
【００３６】
先ず、第１実施形態に係る被搬送物の構成について図１及び図２を参照して説明する。ここに図１は、第１実施形態に係る被搬送物を概略的に示す正面図であり、図２は、第１実施形態に係る被搬送物を上面側から視た上面図である。
【００３７】
図１において、第１実施形態に係る被搬送物１００は、例えばＯＨＴ或いはビークルである搬送車１により、レールに沿って搬送される。この搬送の際、被搬送物１００は、搬送車１の底側に設けられたグリッパ２により把持される。グリッパ２は、本発明に係る「把持手段」の一例として、被搬送物１００を把持する把持状態、及び被搬送物１００を解放する解放状態に変位可能な把持部２ａを備える。即ち、把持部２ａの両端部は、内側に屈曲可能に構成されており、把持状態において、それら先端が対向している。図１に示すように、把持部２ａは、把持状態で両端部が後述のフランジ１２を下面側から支持することで、被搬送物１００を把持する。
【００３８】
被搬送物１００は、本体部１１と、フランジ１２と、吸振部材１３とを備えており、本発明では特に、搬送車１からグリッパ２及びフランジ１２を介して本体部１１に伝わる振動を吸振部材１３が抑制するように構成されている。
【００３９】
本体部１１は、収納部１１ａと、被保持部１１ｂとを有する。収納部１１ａは、内部に複数の棚部（図示せず）を備えており、各棚部に、半導体素子製造用の各種基板を収納可能である。被保持部１１ｂは、収納部１１ａの上面に固着されており、被保持部１１ｂの一部は、鍔部になっている。
【００４０】
フランジ１２は、被把持部１２ａと、保持部１２ｂとを有する。被把持部１２ａは、把持部２ａに下面側から支持されることで、グリッパ２に把持される。保持部１２ｂは、被把持部１２ａの下面に固着されている。保持部１２ｂの両端部は、内側に屈曲されており、それら先端が対向している。これら両端部は、被保持部１１ｂの鍔部の下方に位置する。このため、把持部２ａが被把持部１２ａを把持する状態（把持状態）で、保持部１２ｂは、被保持部１１ｂの鍔部を支持すると共に、本体部１１全体を保持する。
【００４１】
吸振部材１３は、本発明に係る「吸振手段」の一例として、ゴムから形成されており、図２に示すように、４つの直方体から構成される。吸振部材１３は、フランジ１２及び本体部１１の間、詳しくは、保持部１２ｂ及び被保持部１１ｂの鍔部の間に配置されている。各吸振部材１３は、これら保持部１２ｂ及び被保持部１１ｂの間で変形自在に圧縮されることで、本体部１１に伝わる振動を吸収する。尚、吸振部材１３は、ゴムの他に、樹脂やゲル等から形成されてもよい。
【００４２】
再び図１において、第１実施形態の被搬送物１００が搬送車１により搬送される状態について説明する。被搬送物１００が搬送される際には、把持状態とされる把持部２ａにより、被把持部１２ａが把持される。この時、被搬送物１００において、保持部１２ｂにより被保持部１１ｂが吸振部材１３を介して支持されると共に、吸振部材１３が本体部１１全体の荷重で圧縮される。この圧縮された吸振部材１３が、振動に応じて変形されることで、本体部１１に伝わる振動が抑制される。
【００４３】
このように、第１実施形態によれば、フランジ１２及び本体部１１の間で圧縮される吸振部材１３を配置するので、搬送車１からグリッパ２及びフランジ１２を介して本体部１１に伝わる振動を抑制すると共に、吸振部材１３の耐久性を確保することができる。
【００４４】
尚、第１実施形態の被搬送物１００では、吸振部材１３が４つの直方体から構成されるが、被保持部１１ｂの鍔部に沿った１つの輪体としてもよい。
【００４５】
＜第２実施形態＞
【００４６】
次に、第２実施形態に係る被搬送物の構成について図３及び図４を参照して説明する。ここに図３は、第２実施形態に係る被搬送物を概略的に示す正面図であり、図４は、第２実施形態に係る被搬送物を上面側から視た上面図である。以下、第１実施形態の被搬送物１００と略同一に構成される部位について、被搬送物１００の場合と同名又は同一の符号を付すと共に、その説明を省略し、本実施形態の特徴的内容について特に記載する。
【００４７】
第２実施形態に係る被搬送物２００は、第１実施形態の被搬送物１００と比較して、吸振手段の形体、並びに被保持部（本体部）及び保持部（フランジ）の形体が異なる。また、本体部及びフランジの接続にボルトが使用される。
【００４８】
図３において、被搬送物２００は、本体部２１と、フランジ２２と、吸振部材２３と、ボルト２４とを備える。
【００４９】
本体部２１は、収納部２１ａと、被保持部２１ｂとを有する。被保持部２１ｂの一部は鍔部になっており、図４に示すように、特に鍔部には、４つの孔部２１ｃが開けられている。これら４つの孔部２１ｃの内径は、後述のボルト２４の螺子切り部２４ｂを挿通可能な大きさに形成されている。
【００５０】
フランジ２２は、グリッパ２により把持される被把持部２２ａである。被把持部２２ａの下面には、ナット２２ｃが埋め込まれている。このナット２２ｃにボルト２４の螺子切り部２４ｂの先端部が螺合されることで、フランジ２２及び本体部２１が接続される。
【００５１】
ボルト２４は、頭部２４ａと、螺子切り部２４ｂとを有するＴ型ボルトである。頭部２４ａの直径は、孔部２１ｃの内径よりも大きく形成されている。螺子切り部２４ｂは、被保持部２１ｂの下面側から孔部２１ｃに挿通されており、挿通された先端部が、被把持部２２ａのナット２２ｃに螺合されている。この螺合により、被把持部２２ｂの下面、及び本体部２１の被保持部２１ｂの上面の間に所定間隔を保ちつつ、フランジ２２に本体部２１全体が保持される。図４に示すように、ボルト２４は、４つの孔部２１ｃに対応して４つ使用される。
【００５２】
吸振部材２３は、ボルト２４の頭部２４ａ、及び本体部２１の被保持部２１ｂの間に配置されている。各吸振部材２３は、これら頭部２４ａ及び被保持部２１ｂの間で変形自在に圧縮されることで、本体部２１に伝わる振動を吸収する。
【００５３】
再び図３において、第２実施形態の被搬送物２００が搬送される状態について説明する。被搬送物２００が搬送される際には、把持状態とされる把持部２ａにより、被把持部２２ａが把持される。この時、被搬送物２００において、被把持部２２ａに固定されたボルト２４により、被保持部２１ｂが吸振部材２３を介して支持されると共に、吸振部材２３が、ボルト２４の頭部２４ａ及び被保持部２１ｂの間で、本体部２１全体の荷重により圧縮される。この圧縮された吸振部材２３が、振動に応じて変形されることで、本体部２１に伝わる振動が抑制される。
【００５４】
このように、第２実施形態によれば、フランジ２２に固定されたボルト２４の頭部２４ａ、及び本体部２１の間で圧縮される吸振部材２３を配置するので、搬送車１からグリッパ２及びフランジ２２を介して本体部２１に伝わる振動を抑制すると共に、吸振部材２３の耐久性を確保することができる。
【００５５】
尚、第２実施形態の被搬送物２００では、吸振部材２３が４つの輪体から構成されるが、各輪体を複数の直方体から構成してもよい。
【００５６】
＜第３実施形態＞
【００５７】
次に、第３実施形態に係る被搬送物の構成について図５及び図６を参照して説明する。ここに図５は、第３実施形態に係る被搬送物を概略的に示す正面図であり、図６は、第３実施形態に係る被搬送物を上面側から視た上面図である。以下、第２実施形態の被搬送物２００と略同一に構成される部位について、被搬送物１００及び２００の場合と同名又は同一の符号を付すと共に、その説明を省略し、本実施形態の特徴的内容について特に記載する。
【００５８】
第３実施形態に係る被搬送物３００は、第２実施形態の被搬送物２００と比較して、被保持部（本体部）及び保持部（フランジ）の形体、並びに本体部及びフランジを接続するボルトの配置が異なる。
【００５９】
図５において、被搬送物３００は、本体部３１と、フランジ３２と、吸振部材３３と、ボルト３４とを備える。
【００６０】
本体部３１は、収納部３１ａと、固定部３１ｂとを有する。固定部３１ｂは、収納部３１ａの上面に固着されている。固定部３１ｂの上面には、ナット３１ｃが埋め込まれており、このナット３１ｃに後述のボルト３４の螺子切り部３４ｂの端部が螺合されることで、フランジ３２及び本体部３１が接続される。
【００６１】
ボルト３４は、頭部３４ａと、螺子切り部３４ｂとを有するＴ型ボルトである。頭部３４ａの直径は、後述のフランジ３２の孔部３２ｃの内径よりも大きく形成されている。螺子切り部３４ｂは、フランジ３２の被把持部３２ａの上面側から孔部３２ｃに挿通されており、挿通された先端部が、固定部３１ｂのナット３１ｃに螺合されている。この螺合により、被把持部３２ａの下面、及び固定部３１ｂの上面の間に所定間隔を保ちつつ、フランジ部３２に本体部３１全体が保持される。図６に示すように、ボルト３４は、フランジ３２の４つの孔部３２ｃに対応して４つ使用される。
【００６２】
フランジ３２は、グリッパ２により把持される被把持部３２ａであって、特に被保持部３２ａには、４つの孔部３２ｃが開けられている。これら４つの孔部３２ｃの内径は、螺子切り部３４ｂを挿通可能な大きさに形成されている。
【００６３】
吸振部材３３は、フランジ３２の被把持部３２ａ、及びボルト３４の頭部３４ａの間に配置されている。各吸振部材３３は、これら被把持部３２ａ及び頭部２４ａの間で変形自在に圧縮されることで、本体部３１に伝わる振動を吸収する。
【００６４】
再び図５において、第３実施形態の被搬送物が搬送される状態について説明する。被搬送物３００が搬送される際には、把持状態とされる把持部２ａにより、被把持部３２ａが把持される。この時、被搬送物３００において、被把持部３２ａに挿通されると共に固定部３１ｂに固定されたボルト３４により、本体部３１全体が吸振部材２３を介して吊り下げられると共に、吸振部材３３が、被把持部３２ａ及びボルト３４の頭部３４ａの間で、本体部３１全体の荷重により圧縮される。この圧縮された吸振部材３３が、振動に応じて変形されることで、本体部３１に伝わる振動が抑制される。
【００６５】
このように、第３実施形態によれば、フランジ３２、及び本体部３１に固定されたボルト３４の頭部３４ａの間で圧縮される吸振部材３３を配置するので、搬送車１からグリッパ２及びフランジ３２を介して本体部３１に伝わる振動を抑制すると共に、吸振部材３３の耐久性を確保することができる。
【００６６】
尚、第３実施形態の被搬送物３００では、固定部３１ｂが２つの部位から構成されるが、１つの部位で構成されてもよい。例えば、図７に示すように、第３実施形態の変形形態である被搬送物４００の本体部４１は、収納部４１ａと、固定部４１ｂと、ボルト４３とを有する。固定部４１ｂは、２つの部位に別離されずに、１つの部位になっており、この１つの部位に複数のナット４１ｃが埋め込まれている。このように、固定部を１つの部位にすることで、振動の大きさや方向に応じて、振動をより抑制することができる。
【００６７】
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う被搬送物の防振機構もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】第１実施形態に係る被搬送物を示す概略的正面図である。
【図２】第１実施形態に係る被搬送物を上面側から視た上面図である。
【図３】第２実施形態に係る被搬送物を示す概略的正面図である。
【図４】第２実施形態に係る被搬送物を上面側から視た上面図である。
【図５】第３実施形態に係る被搬送物を示す概略的正面図である。
【図６】第３実施形態に係る被搬送物を上面側から視た上面図である。
【図７】第３実施形態の変形形態に係る被搬送物を示す概略的正面図である。
【符号の説明】
【００６９】
１…搬送車、２…グリッパ、１１…本体部、１２…フランジ、１３…吸振部材、１００…被搬送物
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送車により搬送されると共に該搬送車に設けられた把持手段により把持される被搬送物であって、
本体部と、
前記把持手段により把持されるフランジと、
前記フランジ及び前記本体部の間に配置され、前記搬送車から前記把持手段及び前記フランジを介して前記本体部に伝わる振動を吸収する吸振手段と
を備え、
前記吸振手段は、弾性材料から形成されており、圧縮された状態で、前記フランジ及び前記本体部の間に一又は複数配置されることを特徴とする被搬送物。
【請求項２】
前記本体部は、その上面に鍔部を有し、
前記フランジは、前記吸振手段を介して、前記鍔部を下面側から支持する
ことを特徴とする請求項１に記載の被搬送物。
【請求項３】
前記フランジの下面側に螺子込まれており、頭部及び螺子切り部を有するＴ型のボルトを更に備え、
前記鍔部には、前記螺子切り部を挿通可能な孔部が設けられており、
前記ボルトは、前記鍔部の下面側から前記孔部に挿通された前記螺子切り部の先端部が前記フランジの下面側に螺子込まれて固定されることにより、前記フランジ及び前記本体部を相互に接続し、
前記吸振手段は、前記頭部及び前記本体部の間に配置される
ことを特徴とする請求項２に記載の被搬送物。
【請求項４】
前記本体部の上面側に螺子込まれており、頭部及び螺子切り部を有するＴ型のボルトを更に備え、
前記フランジには、前記螺子切り部を挿通可能な孔部が設けられており、
前記ボルトは、前記フランジの上面側から前記孔部に挿通された前記螺子切り部の先端部が前記本体部に螺子込まれて固定されることにより、前記フランジ及び前記本体部を相互に接続し、
前記吸振手段は、前記フランジ及び前記頭部の間に配置される
ことを特徴とする請求項１に記載の被搬送物。
【請求項５】
前記孔部は、複数設けられ、
前記ボルトは、前記複数の孔部に対応して複数備えられ、
前記吸振手段は、前記複数のボルトに対応して複数配置される
ことを特徴とする請求項３又は４に記載の被搬送物。
【請求項６】
搬送車により搬送されると共に該搬送車に設けられた把持手段により把持される被搬送物の防振機構であって、
前記被搬送物の本体部と前記被搬送物における前記把持手段により把持されるフランジとの間に配置され、前記搬送車から前記把持手段及び前記フランジを介して前記本体部に伝わる振動を吸収する吸振手段を備え、
前記吸振手段は、弾性材料から形成されており、圧縮された状態で、前記本体部及び前記フランジの間に一又は複数配置される
ことを特徴とする被搬送物の防振機構。
【請求項１】
搬送車により搬送されると共に該搬送車に設けられた把持手段により把持される被搬送物であって、
本体部と、
前記把持手段により把持されるフランジと、
前記フランジ及び前記本体部の間に配置され、前記搬送車から前記把持手段及び前記フランジを介して前記本体部に伝わる振動を吸収する吸振手段と
を備え、
前記吸振手段は、弾性材料から形成されており、圧縮された状態で、前記フランジ及び前記本体部の間に一又は複数配置されることを特徴とする被搬送物。
【請求項２】
前記本体部は、その上面に鍔部を有し、
前記フランジは、前記吸振手段を介して、前記鍔部を下面側から支持する
ことを特徴とする請求項１に記載の被搬送物。
【請求項３】
前記フランジの下面側に螺子込まれており、頭部及び螺子切り部を有するＴ型のボルトを更に備え、
前記鍔部には、前記螺子切り部を挿通可能な孔部が設けられており、
前記ボルトは、前記鍔部の下面側から前記孔部に挿通された前記螺子切り部の先端部が前記フランジの下面側に螺子込まれて固定されることにより、前記フランジ及び前記本体部を相互に接続し、
前記吸振手段は、前記頭部及び前記本体部の間に配置される
ことを特徴とする請求項２に記載の被搬送物。
【請求項４】
前記本体部の上面側に螺子込まれており、頭部及び螺子切り部を有するＴ型のボルトを更に備え、
前記フランジには、前記螺子切り部を挿通可能な孔部が設けられており、
前記ボルトは、前記フランジの上面側から前記孔部に挿通された前記螺子切り部の先端部が前記本体部に螺子込まれて固定されることにより、前記フランジ及び前記本体部を相互に接続し、
前記吸振手段は、前記フランジ及び前記頭部の間に配置される
ことを特徴とする請求項１に記載の被搬送物。
【請求項５】
前記孔部は、複数設けられ、
前記ボルトは、前記複数の孔部に対応して複数備えられ、
前記吸振手段は、前記複数のボルトに対応して複数配置される
ことを特徴とする請求項３又は４に記載の被搬送物。
【請求項６】
搬送車により搬送されると共に該搬送車に設けられた把持手段により把持される被搬送物の防振機構であって、
前記被搬送物の本体部と前記被搬送物における前記把持手段により把持されるフランジとの間に配置され、前記搬送車から前記把持手段及び前記フランジを介して前記本体部に伝わる振動を吸収する吸振手段を備え、
前記吸振手段は、弾性材料から形成されており、圧縮された状態で、前記本体部及び前記フランジの間に一又は複数配置される
ことを特徴とする被搬送物の防振機構。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２００９−１７６７６５（Ｐ２００９−１７６７６５Ａ）
【公開日】平成２１年８月６日（２００９．８．６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−１０５５９（Ｐ２００８−１０５５９）
【出願日】平成２０年１月２１日（２００８．１．２１）
【出願人】（３０２０５９２７４）アシスト テクノロジーズ ジャパン株式会社 (146)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年８月６日（２００９．８．６）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年１月２１日（２００８．１．２１）
【出願人】（３０２０５９２７４）アシスト テクノロジーズ ジャパン株式会社 (146)
【Ｆターム（参考）】
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